[go: up one dir, main page]

JP6573840B2 - 有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物 - Google Patents

有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物 Download PDF

Info

Publication number
JP6573840B2
JP6573840B2 JP2016038022A JP2016038022A JP6573840B2 JP 6573840 B2 JP6573840 B2 JP 6573840B2 JP 2016038022 A JP2016038022 A JP 2016038022A JP 2016038022 A JP2016038022 A JP 2016038022A JP 6573840 B2 JP6573840 B2 JP 6573840B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
formula
group
organic semiconductor
represented
organic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016038022A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017157637A (ja
Inventor
陽介 山本
陽介 山本
渡邉 哲也
哲也 渡邉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2016038022A priority Critical patent/JP6573840B2/ja
Publication of JP2017157637A publication Critical patent/JP2017157637A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6573840B2 publication Critical patent/JP6573840B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Oxygen Or Sulfur (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Description

本発明は、有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物に関する。
液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、RFID(radio frequency identifier:RFタグ)若しくはメモリ等の論理回路を用いる装置、又は、太陽電池等には、半導体素子が利用されている。中でも、有機半導体膜を有する有機半導体素子は、軽量化又は低コスト化が可能で柔軟性にも優れることから、無機半導体膜を有する無機半導体素子に対して、優位性を備えている。このような有機半導体素子としては、電流量若しくは電圧量を制御する有機薄膜トランジスタ素子、光エネルギーを電力に変換する有機光電変換デバイス、又は、熱エネルギーを電力に変換する有機熱電変換デバイス等が挙げられる。
これらの有機半導体素子において、有機化合物を含有する有機半導体膜の研究が進められている。このような有機化合物として、例えば、有機ポリマー又は低分子有機化合物が挙げられる。低分子有機化合物の一例を挙げると、フルオレン骨格の9位に2つのオクチル基を持つジチエノフルオレンがある(非特許文献1)。
Organic Letters,2014,16,936−939
有機半導体素子を搭載した液晶ディスプレイ等は、近年、高性能化が急速に進展している。しかも、用途が多様化しており、従来に比べて、高温高湿環境等の環境下で使用される機会が増えている。高温高湿環境として、例えば、温度50〜85℃、湿度50〜85RH%の環境が挙げられる。そのため、有機半導体素子には、キャリア移動度について、高い初期性能に加えて、高温高湿環境下においても維持する耐久性(高温高湿耐性ともいう)が求められている。また、動作安定性の点で、優れたヒステリシス特性(電圧制御性)を示すことも重要である。
本発明は、高いキャリア移動度及び高温高湿耐性と、優れたヒステリシス特性とを示す有機半導体素子を提供することを課題とする。また、本発明は、上記特性を有する有機半導体素子に用いる、有機半導体膜、有機半導体組成物及び化合物を提供することを課題とする。
本発明者は、鋭意検討を重ねた結果、フルオレン骨格のベンゼン環それぞれに芳香族複素環を更に縮合させ、かつ2つの芳香族複素環の少なくとも一方に特定の置換基を導入した化合物が有機半導体素子の有機半導体膜に用いることができること、更に、この化合物を含む有機半導体膜が、有機半導体素子に用いた場合に、高いキャリア移動度及び高温高湿耐性と、優れたヒステリシス特性とを付与できることを見出した。本発明はこれらの知見に基づき、更に検討を重ね、完成されるに至ったものである。
本発明の上記課題は下記の手段により解決された。
<1>下記式(2−2)で表される化合物を含有する有機半導体膜を備えた有機半導体素子。
Figure 0006573840
(2−2)中、
Xは各々独立に酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。
は、CRY1Y2又はSiRY1Y2を示し、RY1及びRY2は各々独立に水素原子又は置換基を示す
及びRは各々独立に下記式(Z)で表される基を示す。p及びqは各々独立に0〜2の整数である。ただし、p+qは1以上の整数である。
及びRは各々独立に置換基を示す。r及びsは各々独立に0〜2の整数である。
−L−R (Z)
式(Z)中、Lは、単結合、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基、又は、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基を示す。
は、アルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を示す。
Figure 0006573840
式(L−1)〜式(L−12)中、
**は、式(2−2)中のXを環構成原子とする芳香族複素環との連結部位、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示し、*はR、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示す。
m1は0〜4の整数であり、m2は各々独立に0〜2の整数である。
Z1は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
Z2は各々独立に置換基を示す。
2>r及びsが、いずれも0である<1>に記載の有機半導体素子。
3>p及びqが、いずれも1である<1>又は<2>に記載の有機半導体素子。
>Y が、CRY1Y2である<1>〜<>のいずれか1つに記載の有機半導体素子。
5>Xが、酸素原子又は硫黄原子である<>〜<>のいずれか1つに記載の有機半導体素子。
6>式(2−2)で表される化合物が下記式(3−2)で表される<>〜<>のいずれか1つに記載の有機半導体素子。
Figure 0006573840
式(3−2)中、R31及びR32は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
Xは各々独立に酸素原子又は硫黄原子を示す。
及びRは、それぞれ、式(2−2)のR及びRと同義である。
<7>式(2−2)のR Y1 及びR Y2 、又は式(3−2)のR 31 及びR 32 が、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基である<1>〜<6>のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
8>式(2−2)又は式(3−2)におけるR及びRが、Lが式(L−1)、式(L−9)、式(L−10)及び式(L−11)のいずれかで表される連結基、又は式(L−1)、式(L−4)、式(L−5)及び式(L−7)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基であり、Rがアルキル基である基を示す<1>〜<>のいずれか1つに記載の有機半導体素子。
>有機半導体素子が、有機薄膜トランジスタ素子である<1>〜<>のいずれか1つに記載の有機半導体素子。
10>下記式(2−2)で表される化合物。
Figure 0006573840
(2−2)中、Xは各々独立に酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。
は、CRY1Y2又はSiRY1Y2を示し、RY1及びRY2は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
及びRは各々独立に下記式(Z)で表される基を示す。p及びqは各々独立に0〜2の整数である。ただし、p+qは1以上の整数である。
及びRは各々独立に置換基を示す。r及びsは各々独立に0〜2の整数である。
−L−R (Z)
式(Z)中、Lは、単結合、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基、又は、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基を示す。
は、アルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を示す。
Figure 0006573840
式(L−1)〜式(L−12)中、
**は、式(2−2)中のXを環構成原子とする芳香族複素環との連結部位、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示し、*はR、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示す。
m1は0〜4の整数であり、m2は各々独立に0〜2の整数である。
Z1は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
Z2は各々独立に置換基を示す。
11>r及びsが、いずれも0である<10>に記載の化合物。
12>p及びqが、いずれも1である<10>又は<11>に記載の化合物。
13>Y CRY1Y2である<10>〜<12>のいずれか1つに記載の化合物。
14>Xが、酸素原子又は硫黄原子である<10>〜<13>のいずれか1つに記載の化合物。
15>式(2−2)で表される化合物が下記式(3−2)で表される<10>〜<14>のいずれか1つに記載の化合物。
Figure 0006573840
式(3−2)中、R31及びR32は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
Xは各々独立に酸素原子又は硫黄原子を示す。
及びRは、それぞれ、式(2−2)のR及びRと同義である。
<16>式(2−2)のR Y1 及びR Y2 、又は式(3−2)のR 31 及びR 32 が、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基である<10>〜<15>のいずれか1つに記載の化合物。
17>式(2−2)又は式(3−2)におけるR及びRが、Lが式(L−1)、式(L−9)、式(L−10)及び式(L−11)のいずれかで表される連結基、又は式(L−1)、式(L−4)、式(L−5)及び式(L−7)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基であり、Rがアルキル基である基を示す<10>〜<16>のいずれか1つに記載の化合物。
18>上記<10>〜<17>のいずれか1つに記載の化合物と溶媒とを含有する有機半導体組成物。
19>上記<10>〜<17>のいずれか1つに記載の化合物を含有する有機半導体膜。
本発明によれば、高いキャリア移動度及び高温高湿耐性と、優れたヒステリシス特性とを示す有機半導体素子を提供することができる。また、本発明によれば、有機半導体素子に上記の優れた特性を付与可能な有機半導体膜、並びにこれに用いる有機半導体組成物及び化合物を提供することができる。
本発明の半導体素子の一例であるボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタ素子を示す断面模式図である。 本発明の半導体素子の一例であるボトムゲート−トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタ素子を示す断面模式図である。
本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」と記載するときは、アクリレート、メタアクレート、又は、両者を意味する。
本明細書において、化合物の表示については、化合物そのものの他、その塩、そのイオンを含む。また、目的とする効果を損なわない範囲で、構造の一部を変化させたものを含む。
また、置換又は無置換を明記していない化合物については、目的とする効果を損なわない範囲で、任意の置換基を有するものを含む。このことは、置換基及び連結基等(以下、置換基等という)についても同様である。
本明細書おいて、特定の符号で表示された置換基等が複数あるとき、又は、複数の置換基等を同時に規定するときには、特段の断りがない限り、それぞれの置換基等は互いに同一でも異なっていてもよい。このことは、置換基等の数の規定についても同様である。また、複数の置換基等が近接(特に隣接)するとき、特段の断りがない限り、それらが互いに連結して環を形成してもよい。
また、基の炭素数が限定されている場合、この基の炭素数は、特段の断りがない限り、置換基を含めた全炭素数を意味する。
本発明において、基が非環状骨格及び環状骨格を形成しうる場合、特段の断りがない限り、この基は、非環状骨格の基と環状骨格の基を含む。例えば、アルキル基は、直鎖アルキル基、分岐アルキル基及び環状(シクロ)アルキル基を含む。基が環状骨格を形成しうる場合、環状骨格を形成する基の原子数の下限は、この基について具体的に記載した原子数の下限にかかわらず、3以上であり、5以上が好ましい。
本発明の好ましい実施形態について以下に説明するが、本発明はこれに限定されない。
[式(1)で表される化合物]
まず、本発明の、式(1)で表される化合物(以下、本発明の化合物ということがある。)について説明する。
本発明の化合物を含有する有機半導体膜は、有機半導体素子に、高いキャリア移動度及び高温高湿耐性と、優れたヒステリシス特性とを付与できる。その理由は、詳細には定かではないが、次のように考えられる。本発明の化合物は、後述するように、特定の縮合環構造に、式(Z)で表される基を少なくとも1つ有している。この基を有することにより、後述する有機半導体組成物としたときに、溶媒に対する溶解性(溶解度)が向上して、有機半導体膜の生産性が向上する。しかも、形成される有機半導体膜において、有機半導体組成物を適用した被適用基材に対して本発明の化合物が所定の方向(被適用基材に対して上記特定の縮合環構造が起立状態)に密に配列する。更に電極近傍においても配列の秩序性が維持される。そのため、膜質安定性が向上する。その結果、有機半導体膜は、有機半導体素子に用いた場合に、高いキャリア移動度及び高温高湿耐性と、優れたヒステリシス特性とを示すと、考えられる。
Figure 0006573840
式(1)中、Yは、CRY1Y2又はSiRY1Y2を示し、CRY1Y2が好ましい。
Y1及びRY2は、それぞれ、水素原子又は置換基を示す。RY1及びRY2として採りうる置換基としては、特に限定されない。好ましい置換基としては、アルキル基(炭素数は、1〜6が好ましく、1〜5がより好ましく、1〜3が更に好ましい。)、アルケニル基(炭素数は、2〜6が好ましく、2〜4がより好ましい。)、アルキニル基(炭素数は、2〜6が好ましく、2〜4がより好ましい。)、アルコキシ基(炭素数は、1〜6が好ましく、1〜3がより好ましい。)、芳香族炭化水素基(炭素数は、6〜18が好ましく、6〜10がより好ましい。)、芳香族複素環基(5〜7員環が好ましい。環構成ヘテロ原子としては、特に限定されないが、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、セレン原子又はケイ素原子が好ましい。炭素数は、4〜18が好ましく、6〜10がより好ましい。)。RY1及びRY2は、いずれもアルキル基であることが好ましい。
環A及び環Bは、それぞれ、芳香族複素環を示し、隣接するベンゼン環と縮環している。
環A及び環Bとして採りうる芳香族複素環としては、特に限定されず、単環であっても、2環以上の環が縮合した縮合環であってもよい。この芳香族複素環は単環であることが好ましい。
芳香族複素環が有する環構成ヘテロ原子としては、特に限定されないが、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、セレン原子又はケイ素原子が好ましく、酸素原子、窒素原子、硫黄原子又はセレン原子がより好ましく、酸素原子又は硫黄原子が更に好ましく、硫黄原子が特に好ましい。環構成ヘテロ原子数は、例えば、1〜3個が挙げられ、1又は2個が好ましく、1個がより好ましい。
単環の芳香族複素環としては、上記環構成ヘテロ原子を含むものであれば特に限定されない。単環の環員数は、特に限定されないが、5〜7員環が好ましい。このような単環の芳香族複素環としては、例えば、チオフェン環、フラン環、ピロール環、セレノフェン環、チアゾール環、オキサゾール環、イソチアゾール環、イソオキサゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、チアジアゾール環、オキサジアゾール環、若しくはシロール環等の5員環の芳香族複素環、又は、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、若しくはピリダジン環等の6員環の芳香族複素環が挙げられる。
縮合環の芳香族複素環としては、上記の、単環の芳香族複素環が複数縮合してなる環、及び、上記の、単環の芳香族複素環と炭化水素環が複数縮合してなる環等が挙げられる。炭化水素環としては、環構成原子として炭素原子のみで形成される環であればよく、例えば、ベンゼン環又はシクロペンタジエン環が挙げられる。ここで、縮合する環の数は、特に限定されず、例えば2〜4個であることが好ましく、2個又は3個であることがより好ましい。
縮合環の芳香族複素環としては、例えば、ベンゾフラン環、ベンゾチオフェン環、ベンゾピロール環、インドール環、ベンゾセレノフェン環、インダゾール環、イソインドール環、キノリン環、チエノピリジン環、シクロペンタジフラン環、シクロペンタジチオフェン環、チエノ[3,2−b]チオフェン環、チエノ[2,3−b]チオフェン環、チエノ[3,4−b]チオフェン環、トリチオフェン環等が挙げられる。
芳香族複素環としては、下記に示す環が好ましく、中でも、チオフェン環、フラン環、セレノフェン環、ピロール環又はチエノ[2,3−b]チオフェン環がより好ましく、チオフェン環、フラン環、セレノフェン環又はピロール環が更に好ましく、チオフェン環又はフラン環が特に好ましく、チオフェン環が最も好ましい。
下記の芳香族複素環において、R21は、後述するXとして採りうるNR21のR21と同義であり、好ましいものも同じである。
Figure 0006573840
式(1)における2つの芳香族複素環は、互いに同一であっても異なっていてもよく、同一であることが好ましい。
縮合環の芳香族複素環において、式(1)中のベンゼン環と縮合する環は、芳香族複素環及び炭化水素環のいずれであってもよい。また、このベンゼン環と縮合する環の結合位置は、特に限定されず、例えば、ベンゼン環と縮合する環が5員環である場合、2位及び3位の環構成原子が挙げられる。この他にも、後記する例示化合物における結合位置が挙げられる。
式(1)におけるR及びRは、それぞれ、下記式(Z)で表される基を示す。

−L−R (Z)

式(Z)中、Lは、単結合、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基(2価)、又は、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基を示す。
Figure 0006573840
式(L−1)〜式(L−12)において、**は、A環若しくはB環との連結部位、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示し、*は、R、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示す。
Z1は、それぞれ、水素原子又は置換基を示す。
Z2は、それぞれ、置換基を示す。
Z1及びRZ2として採りうる置換基としては、特に限定されないが、下記置換基群Gから選択される基が挙げられる。中でも、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基又は芳香族炭化水素基が好ましく、フッ素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又は、フェニル基がより好ましい。
<置換基群G
ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子若しくはヨウ素原子)、アルキル基(シクロアルキル基、ビシクロアルキル基、トリシクロアルキル基を含む)、アルケニル基(シクロアルケニル基、ビシクロアルケニル基を含む。)、アルキニル基、芳香族炭化水素基(アリール基ともいう)、芳香族複素環基(ヘテロアリール基ともいう)、シアノ基、ヒドロキシ基、ニトロ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、シリルオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、アミノ基(アニリノ基を含む)、アンモニオ基、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキル若しくはアリールスルホニルアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロアリールチオ基、スルファモイル基、スルホ基、アルキル若しくはアリールスルフィニル基、アルキル若しくはアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリール若しくはヘテロアリールアゾ基、イミド基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスフィニルオキシ基、ホスフィニルアミノ基、ホスホノ基、シリル基、ヒドラジノ基、ウレイド基、ボロン酸基(−B(OH))、ホスファト基(−OPO(OH))又はスルファト基(−OSOH)
具体的には、式(L−1)及び式(L−2)におけるRZ1としては、それぞれ、水素原子又は炭素数1〜8の置換若しくは無置換のアルキル基が好ましく、水素原子又は炭素数1〜6の無置換のアルキル基がより好ましく、水素原子又は炭素数1〜3の無置換のアルキル基が更に好ましく、水素原子が特に好ましい。式(L−1)で表される連結基に含まれる2つのRZ1中、置換基の個数は0又は1であることが好ましく、0であることが特に好ましい。
式(L−6)におけるRZ1としては、水素原子又は置換若しくは無置換のアルキル基が好ましく、水素原子又は炭素数1〜4の置換若しくは無置換のアルキル基がより好ましく、炭素数1〜4の置換若しくは無置換のアルキル基が更に好ましい。
式(L−9)〜式(L−12)におけるRZ2としては、それぞれ、置換若しくは無置換のアルキル基、置換若しくは無置換のアルケニル基、置換若しくは無置換のアルキニル基、置換若しくは無置換のアルコキシ基が好ましく、炭素数1〜12の置換若しくは無置換のアルキル基、炭素数2〜12の置換若しくは無置換のアルケニル基、炭素数2〜12の置換若しくは無置換のアルキニル基、又は、炭素数1〜12の置換若しくは無置換のアルコキシ基がより好ましい。
式(L−9)〜式(L−12)において、RZ2が結合する位置は特に限定されない。
m1は、0〜4の整数であり、0〜1の整数が好ましく、0が好ましい。
m2は、それぞれ、0〜2の整数であり、0又は1が好ましく、0が好ましい。
Lが式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基である場合、Lは、式(L−1)、式(L−2)、式(L−3)、式(L−9)、式(L−10)、式(L−11)のいずれかで表される連結基が好ましく、式(L−1)、式(L−9)、式(L−10)及び式(L−11)のいずれかで表される連結基がより好ましく、式(L−1)及び式(L−11)のいずれかで表される連結基が更に好ましい。
Lが、式(L−1)〜(L−12)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基である場合、式(L−1)〜(L−12)のいずれかで表される連結基の結合数は、2以上であれば特に限定されず、2〜10であることが好ましく、2〜8であることがより好ましく、2〜6であることが特に好ましい。
上記各式で表される連結基が2つ以上結合した連結基としては、特に限定されず、後述する例示化合物又は実施例で用いた化合物が有する連結基が挙げられる。中でも、式(L−1)、式(L−4)、式(L−5)及び式(L−7)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基が好ましく、式(L−1)、式(L−4)、式(L−5)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基がより好ましく、式(L−1)及び式(L−4)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基が特に好ましい。
例えば、式(L−4)で表される連結基1つと式(L−7)で表される連結基1つとが結合した連結基として、**−C(=O)−O−*、又は、**−O−C(=O)−*が挙げられる。また、式(L−6)で表される連結基1つと式(L−7)で表される連結基1つとが結合した連結基として、**−C(=O)−NRZ1−*、又は、**−NRZ1−C(=O)−*が挙げられる。ここで、*、**及びRZ1は上記の通りである。
また、上記A環又はB環に結合する、式(L−1)で表される連結基を複数(例えば2〜5個)有するもの(アルキレン基)も好ましい。
Lとしては、式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基、又は、式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基が好ましい。
上記式(Z)において、Rは、アルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を示す。これらの中でも、Rはアルキル基であることが好ましい。
として採りうるアルキル基は、直鎖、分岐及び環状のいずれであってもよく、直鎖アルキル基であることが好ましい。
本発明において、上記式(Z)で表される基として、置換又は無置換のアルキル基(炭素数n個)のみが存在する場合、式(L−1)で表される基(Lに相当)1個と、炭素数(n−1)のアルキル基(Rに相当)とが結合した基として、解釈する。具体的には、n−オクチル基の場合、Lとして式(L−1)中のRZ1がいずれも水素原子であるメチレン基1個と、Rとしてn−ヘプチル基とが結合した基と解釈する。
式(Z)で表される基にアルキル基が含まれる場合、L及びR中のアルキル基の合計炭素数が4個以上であるとキャリア移動度が高くなる。L及びR中のアルキル基の合計炭素数の上限は、特に限定されないが、例えば20個とすることができる。
として採りうるアルキル基の好ましい炭素数は、上記各式で表される連結基によって、次のように定まる。
Lが式(L−1)で表される連結基である場合、Rとして採りうるアルキル基は、置換アルキル基でも無置換アルキル基でもよく、炭素数は2以上であることが好ましく、炭素数2〜15であることがより好ましく、炭素数3〜10であることがキャリア移動度を高める観点から更に好ましい。
Lが式(L−2)又は式(L−3)で表される連結基である場合、Rとして採りうるアルキル基は、置換アルキル基でも無置換アルキル基でもよく、炭素数は2以上であることが好ましく、炭素数2〜12がより好ましく、キャリア移動度を高める観点から、炭素数3〜10が更に好ましく、炭素数4〜9が特に好ましい。
Lが式(L−4)〜式(L−12)で表される連結基である場合、Rとして採りうるアルキル基は、置換アルキル基でも無置換アルキル基でもよく、炭素数は1〜15が好ましく、炭素数1〜10がより好ましく、炭素数1〜7がキャリア移動度を高める観点から更に好ましい。
Lが2以上の式(L−1)〜(L−12)のいずれかで表される2価の連結基が結合した連結基を示す場合、上記のRとして採りうる、置換若しくは無置換のアルキル基の炭素数の好ましい範囲は、Rに隣接する式(L−1)〜(L−12)の種類によって、上記のように定まる。
として採りうるハロアルキル基は、Rとして採りうる上記アルキル基が有する水素原子がハロゲン原子で置換されたアルキル基である。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子若しくはヨウ素原子等が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロアルキル基において、ハロゲン原子で置換される水素原子数は、特に限定されない。例えば、アルキル基の水素原子の全部がフッ素原子で置換されたパーフルオロアルキル基が挙げられる。
として採りうるアリール基としては、特に限定されないが、炭素数6〜18の芳香族炭化水素基が挙げられ、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基が好ましく、炭素数6の芳香族炭化水素基がより好ましい。アリール基としては、単環の基であっても、2環以上の縮環の基であってもよい。
アリール基としては、ベンゼン環基、ナフタレン環基、又は、3環以上の環が縮合した芳香族炭化水素(例えばフルオレン環)から1つの水素原子を取り除いた基が更に好ましい。3環以上の環が縮合した芳香族炭化水素において、縮合する環の数は、3個以上であれば特に限定されないが、例えば、3〜6個が好ましい。3環以上の環が縮合した芳香族炭化水素から水素原子を1つ取り除いた基としては、例えば、フルオレン環、アントラセン環、フェナントレン環、クリセン環若しくはピレン環から水素原子を1つ取り除いた基が挙げられる。
アリール基としては、キャリア移動度がより優れたものになるという観点から、ベンゼン環基、又は、ナフタレン環基であることが好ましく、ベンゼン環基であることが好ましい。
として採りうるヘテロアリール基としては、環構成原子として、窒素原子、酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を少なくとも1つ有する環基が挙げられる。このヘテロアリール基は、単環の基であっても、2環以上の縮環の基であってもよい。単環の基である場合、その環員数は5〜7員が好ましい。
ヘテロアリール基を形成する芳香族複素環としては、例えば、ピロール環、フラン環、チオフェン環、セレノフェン環、オキサゾール環、チアゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、チアジアゾール環、ピリジン環若しくはトリアジン環等の単環が挙げられる。また、これらの単環うち少なくとも2個の単環を組み合わせた縮合環、又は、少なくとも1個の上記単環と、少なくとも1つのベンゼン環若しくはシクロペンタジエン環との縮合環等が挙げられる。縮合環において、組み合わされる環の数は、2個以上であれば特に限定されないが、例えば、2〜6個が好ましい。
ヘテロアリール基としては、中でも、チオフェン環基、フラン環基が好ましい。
として採りうるシロキサン基としては、(RSiSi−O−基が挙げられる。RSiは水素原子又は置換基であり、置換基としてはアルキル基(好ましくは炭素数1〜3)が好ましい。3個のRSiのうち置換基の数は、特に限定されず、0〜3個であればよいが、3個とも置換基であることが好ましい。3個のRSiは互いに同一でも異なっていてもよい。
として採りうる、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基としては、ケイ素原子を1個有するシロキサン単位が2個以上結合した基が挙げられる。オリゴシロキサン基としては、シロキサン単位の繰り返し数が2〜4であることが好ましく、2又は3であることが更に好ましい。また、ケイ素原子には、水素原子又はアルキル基が結合することが好ましい。ケイ素原子にアルキル基が結合する場合、アルキル基の炭素数は1〜3であることが好ましく、例えば、メチル基又はエチル基が結合することが好ましい。ケイ素原子には、同一のアルキル基が結合してもよく、異なるアルキル基又は水素原子が結合してもよい。また、オリゴシロキサン基を構成するシロキサン単位のうち末端のシロキサン単位以外はすべて同一であっても異なっていてもよいが、すべて同一であることが好ましい。
として採りうるトリアルキルシリル基としては、例えば、ケイ素原子に置換又は無置換のアルキル基が3個結合した基が挙げられる。ケイ素原子に結合するアルキル基の炭素数は、1〜3であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基又はイソプロピル基が挙げられる。ケイ素原子に結合するアルキル基は、同一のアルキル基でも、異なるアルキル基でもよい。
は、置換基を有していてもよい。この場合、置換基としては、特に限定されず、例えば、上記置換群Gから選択される基が挙げられる。
本発明において、R及びRとしては、Lが式(L−1)、式(L−9)、式(L−10)及び式(L−11)のいずれかで表される連結基、又は式(L−1)、式(L−4)、式(L−5)及び式(L−7)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基であり、Rがアルキル基である基が好ましい。
環A又は環BがR又はRを有する場合、各環において、R又はRが結合する位置(環構成原子)は、特に限定されない。例えば、環A及び環Bが単環の芳香族複素環である場合、各環の環構成ヘテロ原子(1位)に対して2位又は3位が挙げられ、2位が好ましい。環A及び環Bが縮合環の芳香族複素環である場合、隣接する、式(1)中のベンゼン環と縮環してない環において、環構成ヘテロ原子(1位)に対して2位又は3位が挙げられ、2位が好ましい。
式(1)において、p及びqは、それぞれ、0〜2の整数であり、0又は1が好ましく、1がより好ましく、いずれも、1であることが特に好ましい。ただし、pとqとの合計(p+q)は、1以上の整数であり、1〜2が好ましく、2がより好ましい。
式(1)において、R及びRは、それぞれ、置換基を示す。R及びRとして採りうる置換基としては、特に限定されないが、上述の置換基群Gから選択される基が挙げられる。中でも、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基が好ましく、フッ素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又は、フェニル基がより好ましい。
r及びsは、それぞれ、0〜2の整数であり、0又は1が好ましく、0がより好ましく、いずれも0であることが特に好ましい。
式(1)で表される化合物は、下記式(2−1)又は式(2−2)で表される化合物が好ましい。
Figure 0006573840
式(2−1)又は式(2−2)中、Xは、それぞれ、酸素原子、硫黄原子、セレン原子又はNR21を示し、酸素原子又は硫黄原子が好ましく、硫黄原子がより好ましい。ここで、R21は水素原子又は置換基を示す。R21として採りうる置換基としては、特に限定されず、RY1及びRY2として採りうる置換基と同義であり、好ましい範囲も同じである。R21は水素原子又はアルキル基であることが好ましい。
式(2−1)又は式(2−2)におけるY、R〜R及びp〜sは、それぞれ、上記式(1)におけるY、R〜R及びp〜sと同義であり、好ましい範囲も同じである。
式(2−1)及び式(2−2)で表される化合物は、それぞれ、下記式(3−1)及び式(3−2)で表される化合物であることが好ましい。
Figure 0006573840
式(3−1)及び式(3−2)中、R31及びR32は、それぞれ、水素原子又は置換基を示す。R31及びR32として採りうる置換基としては、特に限定されず、RY1及びRY2として採りうる置換基と同義であり、好ましい範囲も同じである。R31及びR32はいずれもアルキル基であることが好ましい。
Xは、それぞれ、酸素原子又は硫黄原子を示し、硫黄原子が好ましい。
式(3−1)及び式(3−2)におけるR及びRは、それぞれ、上記式(1)のR及びRと同義であり、好ましい範囲も同じである。
式(1)で表される化合物は、分子量が3000以下であることが好ましく、2000以下であることがより好ましく、1000以下であることが更に好ましく、850以下であることが特に好ましい。分子量を上記上限値以下とすることにより、溶媒への溶解性を高めることができるため好ましい。
一方で、有機半導体膜の膜質安定性の観点からは、分子量は300以上であることが好ましく、400以上であることがより好ましい。
式(1)で表される化合物の合成方法は、特に限定されず、通常の方法を参照して、合成することができる。例えば、縮合多環芳香環化合物(フルオレン骨格のベンゼン環それぞれに芳香族複素環を更に縮合させた環)に対して、遷移金属触媒を用いたカップリング反応により、置換基(R及びR)を導入する方法等が挙げられる。
上記式(1)で表される化合物の具体例を以下及び実施例に示すが、本発明はこれらに限定されない。以下に示す化合物において、アルキル基は直鎖アルキル基又は分岐アルキル基であり、直鎖アルキル基が好ましい。
Figure 0006573840
Figure 0006573840
Figure 0006573840
Figure 0006573840
[有機半導体組成物]
次に、本発明の有機半導体組成物について、説明する。
この有機半導体組成物は、上述の、式(1)で表される化合物と溶媒とを含有し、本発明の有機半導体膜の形成に好ましく用いられる。
<式(1)で表される化合物>
式(1)で表される化合物は、上述の通りであり、1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。
有機半導体組成物の、化合物の含有率は、特に限定されず、例えば、後述する溶媒を除いた固形分中の含有率で表すことができる。固形分中の含有率としては、例えば、後述する有機半導体膜中の化合物の含有率と同じ範囲にすることが好ましい。
<溶媒>
溶媒は、上述の化合物を溶解又は分散させるものであれば特に限定されず、無機溶媒又は有機溶媒が挙げられる。中でも、有機溶媒が好ましい。溶媒は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
有機溶媒としては、特に限定されないが、ヘキサン、オクタン若しくはデカン等の炭化水素溶媒、トルエン、キシレン、メシチレン、エチルベンゼン、デカリン、1−メチルナフタレン、テトラリン若しくはアニソール等の芳香族炭化水素溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン若しくはシクロヘキサノン等のケトン溶媒、ジクロロメタン、クロロホルム、テトラクロロメタン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン若しくはクロロトルエン等のハロゲン化炭化水素溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル若しくは乳酸エチル等のエステル溶媒、メタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ若しくはエチレングリコール等のアルコール溶媒、ブトキシベンゼン、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン若しくはジオキサン等のエーテル溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド若しくはN,N−ジメチルアセトアミド等のアミド溶媒、1−メチル−2−ピロリドン若しくは1−メチル−2−イミダゾリジノン等のイミド溶媒、ジメチルスルホキサイド等のスルホキシド溶媒、又は、アセトニトリル等のニトリル溶媒等が挙げられる。
有機半導体組成物中の、溶媒の含有率は、90〜99.99質量%であることが好ましく、95〜99.99質量%であることがより好ましく、96〜99.95質量%であることが更に好ましい。
<その他の成分>
本発明の有機半導体組成物は、本発明の化合物及び溶媒以外の成分を含有してもよい。
このような成分として、バインダーポリマー、又は、各種の添加剤等が挙げられる。
(バインダーポリマー)
本発明の有機半導体組成物は、バインダーポリマーを含有してもよい。バインダーポリマーの種類は、有機半導体組成物に通常用いられるバインダーポリマーを特に制限されることなく、用いることができる。
このようなバインダーポリマーとしては、例えば、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリビニルシンナメート、ポリ(4−ジビニルベンゼン)、ポリ(4−ビニルフェノール)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリシロキサン、ポリスルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、セルロース、ポリエチレン若しくはポリプロピレンなどの絶縁性ポリマー、及び、これらの共重合体、ポリシラン、ポリカルバゾール、ポリアリールアミン、ポリフルオレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリアセン若しくはポリヘテロアセンなどの半導体ポリマー、及び、これらの共重合体、ゴム、又は、熱可塑性エラストマーを挙げることができる。
中でも、バインダーポリマーとしては、ベンゼン環を有する高分子化合物(ベンゼン環基を有する繰り返し単位を有する高分子)が好ましい。ベンゼン環基を有する繰り返し単位の含有量は特に制限されないが、全繰り返し単位中、50モル%以上が好ましく、70モル%以上がより好ましく、90モル%以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、100モル%が挙げられる。
バインダーポリマーの重量平均分子量は、特に限定されないが、1,000〜1,000万が好ましく、3,000〜500万がより好ましく、5,000〜300万が更に好ましい。
有機半導体組成物の、バインダーポリマーの含有率は、特に限定されず、例えば、固形分中の含有率としては、後述する有機半導体膜中の、バインダーポリマーの含有率と同じ範囲にすることが好ましい。バインダーポリマーの含有率が上記範囲内にある有機半導体組成物を用いて有機薄膜トランジスタ素子の有機半導体膜を形成すると、有機薄膜トランジスタ素子のキャリア移動度及び耐熱性が更に向上する。
(添加剤)
添加剤としては、有機半導体組成物に通常用いられるものを特に制限されることなく、用いることができる。
有機半導体組成物の、添加剤の含有率は、特に限定されず、例えば、固形分中の含有率としては、後述する有機半導体膜中の、添加剤の含有率と同じ範囲にすることが好ましい。上記範囲であると、膜形成性に優れる。例えば、添加剤の含有率が上記範囲内にある有機半導体組成物を用いて有機薄膜トランジスタ素子の有機半導体膜を形成すると、膜形成性に優れ、有機薄膜トランジスタ素子のキャリア移動度及び耐熱性がより向上する。
<調製方法>
有機半導体組成物の調製方法としては、特に制限されず、通常の調製方法を採用できる。例えば、溶媒に所定量の各成分を添加して、適宜攪拌処理することにより、本発明の有機半導体組成物を調製することができる。
[有機半導体膜]
本発明の有機半導体膜について、説明する。
本発明の有機半導体膜は、上述の、本発明の化合物を含有し、上記バインダーポリマー又は添加剤を含有していてもよい。本発明の化合物、バインダーポリマー及び添加剤については上述した通りである。
本発明の有機半導体膜に含有される、本発明の化合物は、1種でもよく、2種以上でもよい。
有機半導体膜中の、化合物の含有率は、特に限定されず適宜に設定できる。例えば、10質量%以上であることが好ましく、30質量%以上であることがより好ましく、50質量%以上であることが更に好ましい。その上限は、100質量%とすることができ、例えば、90質量%以下であることが好ましく、80質量%以下であることが更に好ましい。
バインダーポリマーは、1種を含有していてもよく、2種以上を含有していてもよい。
有機半導体膜中の、バインダーポリマーの含有率は、特に限定されず適宜に設定できる。例えば、90質量%以下が好ましく、75質量%以下であることがより好ましく、50質量%以下であることが更に好ましい。その下限は、0質量%以上とすることができ、例えば、1質量%以上であることが好ましく、10質量%以上であることがより好ましく、20質量%以上であることが更に好ましい。
添加剤は、1種を含有していてもよく、2種以上を含有していてもよい。
有機半導体膜中の、添加剤の含有率は、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることが好ましく、1質量%以下であることがより好ましい。
有機半導体膜の膜厚は、適用される有機半導体素子に応じて一義的に決定することができない。例えば、有機薄膜トランジスタ素子に適用する場合、有機半導体膜の膜厚は、10〜500nmが好ましく、20〜200nmがより好ましい。
この有機半導体膜は、上述の、本発明の有機半導体組成物を用いて後述する方法により、形成されることが好ましい。
本発明の有機半導体膜は、有機半導体素子に好ましく適用され、より好ましくは有機薄膜トランジスタ素子に適用される。
[有機半導体素子]
本発明の有機半導体素子は、本発明の有機半導体膜を備えている。
本発明の有機半導体素子としては、特に限定されないが、非発光性の有機半導体デバイスとして好ましく用いられる。非発光性の有機半導体デバイスとしては、発光することを目的としないデバイスであればよく、例えば、有機薄膜トランジスタ素子、有機光電変換素子(光センサ用途の個体撮像素子又はエネルギー変換用途の太陽電池等)、ガスセンサ、有機整流素子、有機インバーター、情報記録素子等が挙げられる。非発光性の有機半導体デバイスは、有機半導体膜をエレクトロニクス要素として機能させることが好ましい。
<有機薄膜トランジスタ素子>
本発明の有機半導体膜の好ましい適用態様の一つとして、有機薄膜トランジスタ素子に適用した態様について説明するが、本発明の半導体素子はこれに限定されるものではない。
本発明の有機薄膜トランジスタ素子(有機TFT素子ともいう)は、上述した本発明の有機半導体膜(有機半導体層)を有し、更に、ソース電極と、ドレイン電極と、ゲート電極と、を有することができる。
本発明の有機TFT素子は、基板上に、ゲート電極と、有機半導体層と、ゲート電極及び有機半導体層の間に設けられたゲート絶縁層と、有機半導体層に接して設けられ、有機半導体層を介して連結されたソース電極及びドレイン電極とを有する。この有機TFT素子においては、有機半導体層とゲート絶縁層が隣接して設けられる。
本発明の有機薄膜トランジスタ素子は、上記各層を備えていればその構造については特に限定されない。例えば、ボトムコンタクト型(ボトムゲート−ボトムコンタクト型及びトップゲート−ボトムコンタクト型)、又は、トップコンタクト型(ボトムゲート−トップコンタクト型及びトップゲート−トップコンタクト型)などのいずれの構造を有していてもよい。
以下、本発明の有機薄膜トランジスタ素子の一例について、図面を参照して説明する。
− ボトムゲート−ボトムコンタクト型有機薄膜トランジスタ素子 −
図1は、本発明の半導体素子の一例であるボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタ素子100の断面模式図である。
有機薄膜トランジスタ素子100は、図1に示されるように、基板(基材)10と、ゲート電極20と、ゲート絶縁膜30と、ソース電極40及びドレイン電極42と、有機半導体膜50と、封止層60とを、この順で、有する。
以下、基板(基材)、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜(有機半導体層)及び封止層、並びに、それぞれの作製方法について詳述する。
(基板)
基板は、後述するゲート電極、ソース電極及びドレイン電極等を支持する役割を果たす。
基板の種類は、特に制限されず、例えば、プラスチック基板、シリコン基板、ガラス基板又はセラミック基板等が挙げられる。中でも、各デバイスへの適用性及びコストの観点から、ガラス基板又はプラスチック基板であることが好ましい。
基板の厚みは、特に限定されないが、例えば、10mm以下であるのが好ましく、2mm以下であるのが更に好ましく、1.5mm以下であるのが特に好ましい。一方、0.01mm以上であるのが好ましく、0.05mm以上であるのが更に好ましい。
(ゲート電極)
ゲート電極は、有機TFT素子のゲート電極として用いられている通常の電極を特に制限されることなく適用できる。
ゲート電極を形成する材料(電極材料)としては、特に限定されず、例えば、金、銀、アルミニウム、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、マグネシウム、カルシウム、バリウム若しくはナトリウム等の金属、InO、SnO若しくはインジウム錫酸化物(ITO)等の導電性の酸化物、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン若しくはポリジアセチレン等の導電性高分子、シリコン、ゲルマニウム若しくはガリウム砒素等の半導体、又は、フラーレン、カーボンナノチューブ若しくはグラファイト等の炭素材料等が挙げられる。中でも、上記金属が好ましく、銀又はアルミニウムがより好ましい。
ゲート電極の厚みは、特に限定されないが、20〜200nmであることが好ましい。
ゲート電極は、上記基板として機能するものでもよく、この場合、上記基板はなくてもよい。
ゲート電極を形成する方法は、特に限定されないが、例えば、基板上に、上述の電極材料を真空蒸着(以下単に、蒸着ともいう)又はスパッタする方法、上述の電極材料を含有する電極形成用組成物を塗布又は印刷する方法等が挙げられる。また、電極をパターニングする場合、パターニング方法としては、例えば、インクジェット印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷若しくは凸版印刷(フレキソ印刷)等の印刷法、フォトリソグラフィー法又はマスク蒸着法等が挙げられる。
(ゲート絶縁膜)
ゲート絶縁層は、絶縁性を有する層であれば特に限定されず、単層であってもよいし、多層であってもよい。
ゲート絶縁膜を形成する材料としては、特に限定されず、例えば、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、メラミン樹脂、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリスルフォン、ポリベンゾキサゾール、ポリシルセスキオキサン、エポキシ樹脂若しくはフェノール樹脂等のポリマー、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム若しくは酸化チタン等の酸化物、又は、窒化ケイ素等の窒化物等が挙げられる。中でも、有機半導体膜との相性から、上記ポリマーであることが好ましい。
これらの材料は、1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。
ゲート絶縁膜の膜厚は、特に限定されないが、100〜1000nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜を形成する方法は、特に限定されないが、例えば、ゲート電極が形成された基板上に、上記材料を含有するゲート絶縁膜形成用組成物を塗布する方法、上記材料を蒸着又はスパッタする方法等が挙げられる。
(ソース電極及びドレイン電極)
本発明の有機TFT素子において、ソース電極は、配線を通じて外部から電流が流入する電極である。また、ドレイン電極は、配線を通じて外部に電流を送り出す電極である。
ソース電極及びドレイン電極を形成する材料は、上述したゲート電極を形成する電極材料と同じものを用いることができる。中でも、金属が好ましく、銀がより好ましい。
ソース電極及びドレイン電極の厚みは、特に限定されないが、それぞれ、1nm以上が好ましく、10nm以上が特に好ましい。また、500nm以下が好ましく、300nm以下が特に好ましい。
ソース電極とドレイン電極との間の間隔(ゲート長)は、適宜に決定できるが、例えば、200μm以下が好ましく、100μm以下が特に好ましい。また、ゲート幅は、適宜に決定できるが、例えば、5000μm以下が好ましく、1000μm以下が特に好ましい。
ソース電極及びドレイン電極を形成する方法は、特に限定されないが、例えば、ゲート電極とゲート絶縁膜とが形成された基板上に、電極材料を真空蒸着又はスパッタする方法、電極形成用組成物を塗布又は印刷する方法等が挙げられる。パターニングする場合、パターニングする方法は上述したゲート電極の方法と同じである。
(有機半導体膜)
有機TFT素子において、有機半導体膜として上述の本発明の有機半導体膜を用いる。
この有機半導体膜は、上述した有機半導体組成物を塗布して形成することができる。具体的には、上述した有機半導体組成物を基板上に塗布して、乾燥させることにより、有機半導体膜を形成することができる。
本発明において、有機半導体組成物を基板上に塗布するとは、有機半導体組成物を基板に直接適用する態様のみならず、基板上に設けられた別の層を介して基板の上方に有機半導体組成物を適用する態様も含むものとする。別の層としては、例えば、ゲート絶縁膜、ソース電極又はドレイン電極が挙げられる。
有機半導体組成物の塗布方法としては、通常の方法を用いることができ、例えば、バーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ドクターブレード法、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、グラビア印刷法又はスクリーン印刷法が挙げられる。更に、有機半導体組成物の塗布方法としては、特開2013−207085号公報に記載の有機半導体膜の形成方法(いわゆるギャップキャスト法)、国際公開第2014/175351号に記載の有機半導体薄膜の製造方法(いわゆるエッジキャスト法又は連続エッジキャスト法)等も好適に用いられる。
乾燥(乾燥処理)は、有機半導体組成物に含まれる各成分の種類により適宜の条件を選定できる。自然乾燥であってもよいが、生産性を向上させる観点から、加熱処理が好ましい。加熱処理条件は、一義的に決定できないが、例えば、加熱温度としては30〜250℃が好ましく、40〜200℃がより好ましく、50〜150℃が更に好ましく、加熱時間としては10〜300分が好ましく、20〜180分がより好ましい。
(封止層)
本発明の有機薄膜トランジスタ素子は、耐久性の観点から、最外層に封止層を備えるのが好ましい。封止層には、有機TFT素子に通常用いられる封止剤(封止層形成用組成物)を用いることができる。
封止層の膜厚は、特に限定されないが、0.2〜10μmであることが好ましい。
− ボトムゲート−トップコンタクト型有機薄膜トランジスタ素子 −
図2は、本発明の半導体素子の一例であるボトムゲート−トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタ素子200を表す断面模式図である。
有機薄膜トランジスタ素子200は、図2に示されるように、基板10と、ゲート電極20と、ゲート絶縁膜30と、ソース電極40及びドレイン電極42と、有機半導体膜50と、封止層60とを、この順で、有する。
有機薄膜トランジスタ素子200は、層構成(積層態様)が異なること以外は、有機薄膜トランジスタ素子100を同じである。したがって、基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層については、上述の、ボトムゲート−ボトムコンタクト型有機薄膜トランジスタ素子におけるものと同じであるので、その説明を省略する。
本発明を実施例に基づき更に詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されない。
各例に用いた化合物1〜19を以下に示す。下記化合物において、アルキル基は直鎖アルキル基である。
Figure 0006573840
[合成例]
<合成例1:化合物1の合成>
下記スキームに従い、化合物1を合成した。なお、3,6−ジブロモ−9,9−ジメチルフルオレンは、Journal of Material Chemistry,2012,22,p.4383−4390に記載の方法に従い合成し、中間体1は非特許文献1に記載の方法を参考に合成した。
Figure 0006573840
―中間体2の合成―
窒素雰囲気下、中間体1(2g、6.53mmol)及びテトラヒドロフラン(THF、65mL)を混合し、−90℃に冷却した。これに、リチウムテトラメチルピペリジン(TMPLi、14.0mmol)のテトラヒドロフラン溶液14mLを滴下した後、−90℃で1時間攪拌した。次いで、得られた液に、ジブロモテトラクロロエタン(6.37g、19.6mmol)を20mLのテトラヒドロフランに溶解した溶液を滴下し、更に30分攪拌した。反応溶液を室温(約20℃)まで昇温した後、水を加えて反応をクエンチした後、反応生成物をクロロホルムで抽出した。有機相を硫酸ナトリウムで乾燥させた後、ろ過し、濃縮した。得られた粗生成物をトルエン/メタノールで2回再結晶し、中間体2(1.97g、収率65%)を得た。
―化合物1の合成―
窒素雰囲気下、中間体2(300mg、0.65mmol)、0.5M(モル/L)のブチル臭化亜鉛のテトラヒドロフラン溶液(7.8mL、3.9mmol)及び[1,1’−ビス(ジフェニルホスフィノ)フェロセン]ジクロロパラジウム(II)のジクロロメタン付加物(53mg、0.06mmol)を混合し、3時間加熱還流した。反応溶液を室温まで冷却した後、メタノールを加えてアルキル金属試薬を失活させ、反応生成物をクロロホルムで抽出した。有機相を水で洗浄し、硫酸ナトリウムで乾燥した後にろ過し、濃縮した。得られた粗生成物を分取精製用のゲル浸透クロマトグラフィ(GPC(Gel Permeation Chromatography)、溶出液:テトラヒドロフラン)で精製し、化合物1(122mg、収率:45%)を得た。
<合成例2:化合物10の合成>
下記スキームに従い、化合物10を合成した。
Figure 0006573840
窒素雰囲気下、中間体2(300mg、0.65mmol)、(5−ヘキシルチオフェン−2−イル)トリメチルスズ(535mg、1.62mmol)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF、6.5mL)、0.5Mの塩化リチウムのテトラヒドロフラン溶液(3.3mL、1.65mmol)及びテトラキストリフェニルホスフィンパラジウム(0)(37mg、32,3μmol)を混合し、100℃で5時間加熱撹拌した。反応溶液を濃縮乾固した後、シリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶出液:クロロホルム)で精製した。得られた粗生成物を更に分取精製用のゲル浸透クロマトグラフィ(GPC、溶出液:テトラヒドロフラン)で精製し、化合物10(223mg、収率54%)を得た。
<合成例3:化合物12の合成>
下記スキームに従い、化合物12を合成した。
Figure 0006573840
窒素雰囲気下、マグネシウムリボン(165mg、6.79mmol)及びテトラヒドロフラン(1.5mL)を混合した。これに、ヨウ素を1粒加え、次いで、1−ブロモ−3−メトキシプロパン(989mg、6.46mmol)をテトラヒドロフラン(4mL)に希釈した溶液を滴下し、更に1時間攪拌して、グリニャール試薬を調製した。
0.5Mの塩化亜鉛のテトラヒドロフラン溶液(12.9mL、6.46mmol)を0℃まで冷却し、上記で調製したグリニャール試薬を滴下した。反応溶液を室温まで昇温した後、中間体2(300mg、0.65mmol)及び[1,1’−ビス(ジフェニルホスフィノ)フェロセン]ジクロロパラジウム(II)のジクロロメタン付加物(53mg、0.06mmol)を加え、3時間加熱還流した。反応溶液を室温まで冷却した後、メタノールを加えてアルキル金属試薬を失活させ、反応生成物をクロロホルムで抽出した。有機相を水で洗浄し、硫酸ナトリウムで乾燥した後に、ろ過し、濃縮した。得られた粗生成物を分取精製用のゲル浸透クロマトグラフィ(GPC、溶出液:テトラヒドロフラン)で精製し、化合物15(125mg、収率43%)を得た。
<合成例4:化合物2〜9、11及び13〜19の合成>
上記合成例1、2又は3と同様にして、化合物2〜9、11及び13〜19を合成した。
<比較のための化合物>
下記に示す比較化合物1〜3を準備した。
比較化合物1及び比較化合物2は、いずれも、非特許文献1に記載の化合物であり、非特許文献1に記載の合成方法に準じて、合成した。
比較化合物3は、非特許文献1に記載の合成方法に準じて、合成した。
Figure 0006573840
[有機半導体組成物の調製例]
トルエン1mLと、表1に示す化合物1mgとを硝子バイヤルに投入し、ミックスローター(アズワン社製)により、60℃で1時間撹拌混合した。次いで、得られた液を0.5μmのメンブレンフィルターでろ過して、本発明の有機半導体組成物1〜17、参考のための有機半導体組成物18及び19、並びに比較のための有機半導体組成物c1〜c3を調製した。
得られた各組成物中の化合物の含有率は、いずれも、0.11質量%であった。
[実施例1]
図1に示すボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタ素子100を製造し、その特性を評価した。
<有機薄膜トランジスタ素子の製造>
ガラス基板(イーグルXG:コーニング社製、厚み1.1mm)上に、アルミニウムを蒸着してゲート電極(厚み50nm)を形成した。その上に、ゲート絶縁膜形成用組成物(ポリビニルフェノール/メラミン樹脂=1質量部/1質量部のPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液(固形分濃度2質量%))をスピンコートし、150℃で60分間ベーク(加熱乾燥)して、膜厚400nmのゲート絶縁膜を形成した。
次いで、その上に、銀インク(銀ナノコロイドH−1(商品名)、三菱マテリアル社製)を、インクジェット装置:DMP−2831(商品名、富士フイルムダイマティクス社製)を用いて、ソース電極及びドレイン電極状(厚み約100nm、ゲート長100μm及びゲート幅200μm)に、印刷(描画)した。その後、オーブンにて180℃で30分ベークし、焼結して、ソース電極及びドレイン電極を形成した。このようにして素子前駆体を得た。
窒素グローブボックス中で、素子前駆体の上に、表1に示す各有機半導体組成物を300μLキャストした後、ホットプレート上で、60℃で1時間乾燥して、有機半導体層(膜厚200nm)を形成した。このようにして、本発明の有機薄膜トランジスタ素子1〜17、参考のための有機薄膜トランジスタ18及び19、並びに比較のための有機薄膜トランジスタ素子C1〜C3をそれぞれ製造した。
有機半導体層中の化合物の含有率は、いずれも、100質量%であった。
<有機薄膜トランジスタ素子の評価>
製造した各有機薄膜トランジスタ素子について、半導体特性評価装置:B2900A(商品名、アジレントテクノロジーズ社製)を用いて、大気下で、以下の性能評価をした。その結果を表1に示す。
(キャリア移動度μの測定)
各有機薄膜トランジスタ素子のソース電極−ドレイン電極間に−60Vの電圧を印加し、ゲート電圧を+20V〜−80Vの範囲で変化させ、ドレイン電流Iを表す下記式を用いてキャリア移動度μ(cm/Vs)を算出し、評価した。キャリア移動度μは、高いほど好ましく、本試験において、0.05cm/Vs以上であることが好ましく、0.1cm/Vs以上であることがより好ましく、0.2cm/Vs以上であることが特に好ましい。
=(w/2L)μC(V−Vth
式中、Lはゲート長、wはゲート幅、μはキャリア移動度、Cはゲート絶縁層の単位面積当たりの容量、Vはゲート電圧、Vthは閾値電圧を、それぞれ、表す。
(高温高湿耐性(高温高湿環境下での経時安定性))
上記「キャリア移動度μの測定」試験において、キャリア移動度μが0.01cm/Vs以上の有機薄膜トランジスタ素子を、それぞれ、50℃、相対湿度80%の環境下で24時間保管した後、上記「キャリア移動度μの測定」と同様の方法により、キャリア移動度μを測定した。
各有機薄膜トランジスタ素子において、保管前のキャリア移動度μBeと保管後のキャリア移動度μAfとを用いて、下記式に基づいて、キャリア移動度維持率(%)を算出し、これを高温高湿環境下での経時安定性の指標とした。得られたキャリア移動度維持率を、下記評価基準により、評価した。キャリア移動度維持率は大きいほど高温高湿環境下での経時安定性が高く、本試験において、「B」以上であることが好ましく、「A」であることがより好ましい。
キャリア移動度維持率(%)=(キャリア移動度μAf/キャリア移動度μBe)×100
キャリア移動度維持率(%)が、
「A」:90%以上
「B」:75%以上90%未満
「C」:50%以上75%未満
「D」:25%以上50%未満
(ヒステリシス特性の評価)
ソース電極−ドレイン電極間にかかる電圧を−60Vに固定し、ゲート電圧を+20V〜−80Vの範囲で変化させ、閾値電圧Vth を求めた。また、同様にして、ソース電極−ドレイン電極間にかかる電圧を−60Vに固定し、ゲート電圧を−80V〜+20Vへ変化させたときの閾値電圧Vth を求めた。Vth とVth との差分の絶対値をヒステリシス特性の指標に用いた。上記絶対値が0に近いほど、ヒステリシス特性に優れる。ヒステリシス特性が優れると、有機薄膜膜トランジスタ素子を安定して動作させることができる。
th とVth との差分の絶対値が、
「A」:0V以上3V未満
「B」:3V以上7V未満
「C」:7V以上
Figure 0006573840
表1の結果から、以下のことが分かる。
有機薄膜トランジスタ素子C1〜C3は、いずれも、式(Z)で表される基を有しない上述の比較化合物を含有する有機半導体層を備えており、キャリア移動度μ又は高温高湿耐性と、ヒステリシス特性とがともに十分ではなかった。すなわち、比較化合物1及び2を含有する有機半導体膜を備えた有機薄膜トランジスタ素子C1及びC2は、キャリア移動度μが小さすぎ、またヒステリシス特性も低く、有機薄膜トランジスタとして十分に機能しないものであった。また、比較化合物3を含有する有機半導体膜を備えた有機薄膜トランジスタ素子C3は、キャリア移動度μ、高温高湿耐性及びヒステリシス特性のいずれも劣るものであった。
これに対して、式(Z)で表される基を有する化合物1〜19を用いた有機薄膜トランジスタ素子1〜19は、いずれも、高いキャリア移動度μ及び高温高湿耐性を示し、更にヒステリシス特性にも優れることが分かった。
特に、式(Z)のLが式(L−1)又は式(L−11)で表される連結基であると、更にこれらの連結基に結合するRがアルキル基であると、0.20cm/Vs以上のキャリア移動度μを示し、キャリア移動度μ、高温高湿耐性及びヒステリシス特性をより高い水準で兼ね備えることができた(素子No.1〜5、10及び16〜19)。
10 基板
20 ゲート電極
30 ゲート絶縁膜
40 ソース電極
42 ドレイン電極
50 有機半導体膜(半導体活性層)
60 封止層
100、200 有機薄膜トランジスタ素子

Claims (19)

  1. 下記式(2−2)で表される化合物を含有する有機半導体膜を備えた有機半導体素子。
    Figure 0006573840
    (2−2)中、
    Xは各々独立に酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。
    は、CRY1Y2又はSiRY1Y2を示し、RY1及びRY2は各々独立に水素原子又は置換基を示す
    及びRは各々独立に下記式(Z)で表される基を示す。p及びqは各々独立に0〜2の整数である。ただし、p+qは1以上の整数である。
    及びRは各々独立に置換基を示す。r及びsは各々独立に0〜2の整数である。
    −L−R (Z)
    式(Z)中、
    Lは、単結合、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基、又は、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基を示す。
    は、アルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を示す。
    Figure 0006573840
    式(L−1)〜式(L−12)中、
    **は、式(2−2)中のXを環構成原子とする芳香族複素環との連結部位、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示し、*は前記R、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示す。
    m1は0〜4の整数であり、m2は各々独立に0〜2の整数である。
    Z1は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
    Z2は各々独立に置換基を示す。
  2. 前記r及びsが、いずれも0である請求項1に記載の有機半導体素子。
  3. 前記p及びqが、いずれも1である請求項1又は2に記載の有機半導体素子。
  4. 前記Y が、CR Y1 Y2 である請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
  5. 前記Xが、酸素原子又は硫黄原子である請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
  6. 前記式(2−2)で表される化合物が下記式(3−2)で表される請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
    Figure 0006573840
    式(3−2)中、
    31 及びR 32 は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
    Xは各々独立に酸素原子又は硫黄原子を示す。
    及びR は、それぞれ、前記式(2−2)のR 及びR と同義である。
  7. 前記式(2−2)のR Y1 及びR Y2 、又は前記式(3−2)のR 31 及びR 32 が、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基である請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
  8. 前記式(2−2)又は前記式(3−2)におけるR 及びR が、Lが前記式(L−1)、前記式(L−9)、前記式(L−10)及び前記式(L−11)のいずれかで表される連結基、又は前記式(L−1)、前記式(L−4)、前記式(L−5)及び前記式(L−7)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基であり、R がアルキル基である基を示す請求項1〜7のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
  9. 前記有機半導体素子が、有機薄膜トランジスタ素子である請求項1〜8のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
  10. 下記式(2−2)で表される化合物。
    Figure 0006573840
    式(2−2)中、
    Xは各々独立に酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を示す。
    は、CR Y1 Y2 又はSiR Y1 Y2 を示し、R Y1 及びR Y2 は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
    及びR は各々独立に下記式(Z)で表される基を示す。p及びqは各々独立に0〜2の整数である。ただし、p+qは1以上の整数である。
    及びR は各々独立に置換基を示す。r及びsは各々独立に0〜2の整数である。
    −L−R (Z)
    式(Z)中、
    Lは、単結合、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基、又は、下記式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基を示す。
    は、アルキル基、ハロアルキル基、シアノ基、ビニル基、エチニル基、アリール基、ヘテロアリール基、シロキサン基、ケイ素原子数が2以上のオリゴシロキサン基、又は、トリアルキルシリル基を示す。
    Figure 0006573840
    式(L−1)〜式(L−12)中、
    **は、式(2−2)中のXを環構成原子とする芳香族複素環との連結部位、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示し、*は前記R 、又は式(L−1)〜式(L−12)のいずれかで表される他の連結基との結合部位を示す。
    m1は0〜4の整数であり、m2は各々独立に0〜2の整数である。
    Z1 は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
    Z2 は各々独立に置換基を示す。
  11. 前記r及びsが、いずれも0である請求項10に記載の化合物。
  12. 前記p及びqが、いずれも1である請求項10又は11に記載の化合物。
  13. 前記式Y が、CR Y1 Y2 である請求項10〜12のいずれか1項に記載の化合物。
  14. 前記Xが、酸素原子又は硫黄原子である請求項10〜13のいずれか1項に記載の化合物。
  15. 前記式(2−2)で表される化合物が下記式(3−2)で表される請求項10〜14のいずれか1項に記載の化合物。
    Figure 0006573840
    式(3−2)中、
    31 及びR 32 は各々独立に水素原子又は置換基を示す。
    Xは各々独立に酸素原子又は硫黄原子を示す。
    及びR は、それぞれ、前記式(2−2)のR 及びR と同義である。
  16. 前記式(2−2)のR Y1 及びR Y2 、又は前記式(3−2)のR 31 及びR 32 が、各々独立に、炭素数1〜6のアルキル基である請求項10〜15のいずれか1項に記載の化合物。
  17. 前記式(2−2)又は前記式(3−2)におけるR 及びR が、Lが前記式(L−1)、前記式(L−9)、前記式(L−10)及び前記式(L−11)のいずれかで表される連結基、又は前記式(L−1)、前記式(L−4)、前記式(L−5)及び前記式(L−7)のいずれかで表される連結基が2つ以上結合した連結基であり、R がアルキル基である基を示す請求項10〜16のいずれか1項に記載の化合物。
  18. 請求項10〜17のいずれか1項に記載の化合物と溶媒とを含有する有機半導体組成物。
  19. 請求項10〜17のいずれか1項に記載の化合物を含有する有機半導体膜。
JP2016038022A 2016-02-29 2016-02-29 有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物 Active JP6573840B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016038022A JP6573840B2 (ja) 2016-02-29 2016-02-29 有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016038022A JP6573840B2 (ja) 2016-02-29 2016-02-29 有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017157637A JP2017157637A (ja) 2017-09-07
JP6573840B2 true JP6573840B2 (ja) 2019-09-11

Family

ID=59810079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016038022A Active JP6573840B2 (ja) 2016-02-29 2016-02-29 有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6573840B2 (ja)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102267948B (zh) * 2011-06-17 2013-09-04 上海大学 芴并二咪唑衍生物及其制备方法
KR101853875B1 (ko) * 2011-06-22 2018-05-03 삼성디스플레이 주식회사 헤테로고리 화합물 및 이를 포함한 유기발광 소자
JP5859911B2 (ja) * 2012-05-07 2016-02-16 富士フイルム株式会社 有機薄膜太陽電池、これに用いられる組成物および半導体膜の製造方法
CN103145730B (zh) * 2013-02-06 2016-02-03 华东师范大学 双噻吩并芴及衍生物和制备方法
WO2016009890A1 (ja) * 2014-07-18 2016-01-21 富士フイルム株式会社 有機半導体膜形成用組成物、並びに、有機半導体素子及びその製造方法
CN104557972B (zh) * 2015-01-20 2017-02-22 武汉理工大学 双(噻吩并[3,2‑b]噻吩)并芴单体、共轭聚合物及其应用
CN104788466A (zh) * 2015-03-20 2015-07-22 华东师范大学 双呋喃并芴酮及其衍生物及制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017157637A (ja) 2017-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6556844B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、化合物、並びに、有機半導体膜
KR101443189B1 (ko) 신규한 다이케토피롤로피롤 중합체 및 이를 이용한 유기 전자 소자
JP6061886B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ、有機半導体薄膜および有機半導体材料
WO2018061821A1 (ja) 有機半導体膜形成用組成物、有機半導体膜及びその製造方法、並びに、有機半導体素子
JP6448652B2 (ja) 有機半導体素子及びその製造方法、並びにトポケミカル重合性有機半導体化合物
JP6927504B2 (ja) 有機半導体素子、有機半導体組成物、有機半導体膜、有機半導体膜の製造方法、及び、これらに用いるポリマー
JP6706316B2 (ja) 有機半導体素子、重合体、有機半導体組成物及び有機半導体膜
JP6561123B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ、有機薄膜トランジスタの製造方法、有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、有機半導体膜、化合物
CA2797308C (en) Semiconductor composition
JP6484724B2 (ja) 有機半導体組成物、有機半導体膜、有機薄膜トランジスタおよび有機薄膜トランジスタの製造方法
JP6483265B2 (ja) 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタ用材料、有機薄膜トランジスタ用組成物、化合物、並びに、有機半導体膜
JP2016146435A (ja) 有機半導体素子及びその製造方法、有機半導体膜形成用組成物、並びに、有機半導体膜の製造方法
JP6709275B2 (ja) 有機半導体膜、有機半導体素子、重合体及び有機半導体組成物
JP6573840B2 (ja) 有機半導体素子、並びに、これに用いる有機半導体膜、化合物及び有機半導体組成物
JP6205074B2 (ja) 有機半導体素子及びその製造方法、化合物、有機半導体膜形成用組成物、並びに、有機半導体膜
CN105378961B (zh) 有机膜晶体管、有机半导体膜、有机半导体材料和它们的应用
WO2016076196A1 (ja) 有機半導体素子及び化合物
JP6574052B2 (ja) 有機半導体素子、重合体、有機半導体組成物及び有機半導体膜

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180222

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20180222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190312

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190508

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190806

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190814

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6573840

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250