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JP6487266B2 - Manufacturing system - Google Patents

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JP6487266B2
JP6487266B2 JP2015090689A JP2015090689A JP6487266B2 JP 6487266 B2 JP6487266 B2 JP 6487266B2 JP 2015090689 A JP2015090689 A JP 2015090689A JP 2015090689 A JP2015090689 A JP 2015090689A JP 6487266 B2 JP6487266 B2 JP 6487266B2
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隆之 矢澤
佳久 増澤
佳久 増澤
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Nidec Sankyo Corp
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Description

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットを備える製造システムに関する。 The present invention relates to a manufacturing system comprising a industrial robot for conveying a conveying object.

従来、パネル素材を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、昇降可能に設置された支持ユニットと、支持ユニットに取り付けられたアームユニットと、アームユニットに取り付けられたハンドユニットとを備えている。支持ユニットは、昇降可能かつ回動可能に設置された柱部と、柱部から水平方向の一方向へ延びるベース部と、ベース部の先端側に回動可能に支持されるヘッド部とを備えている。アームユニットは、一対の多関節アームを備えており、一対の多関節アームの基端側は、ヘッド部に回動可能に連結されている。ハンドユニットは、一対の多関節アームのそれぞれの先端側に回動可能に連結される２個のハンドを備えている。   Conventionally, an industrial robot that conveys a panel material is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a support unit that is installed so as to be able to move up and down, an arm unit that is attached to the support unit, and a hand unit that is attached to the arm unit. The support unit includes a column portion that can be moved up and down and rotatable, a base portion that extends in one horizontal direction from the column portion, and a head portion that is rotatably supported on the tip side of the base portion. ing. The arm unit includes a pair of articulated arms, and the base end sides of the pair of articulated arms are rotatably connected to the head unit. The hand unit includes two hands that are rotatably connected to the distal ends of the pair of articulated arms.

また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、パネル処理装置において使用される。このパネル処理装置において、産業用ロボットは、トランスファーチャンバーの内部に配置されている。具体的には、産業用ロボットは、上下方向から見たときに支持ユニットの柱部の回動中心とトランスファーチャンバーの中心とが一致するように配置されている。トランスファーチャンバーの周りには、パネル供給部と、複数のパネル処理ユニットと、パネル搬出部とがトランスファーチャンバーを囲むように配置されている。パネル供給部は、パネル素材の供給ポートを備えている。パネル処理ユニットは、パネル素材の搬入出ポートを備えている。パネル搬出部は、パネル素材の搬出ポートを備えている。供給ポート、搬入出ポートおよび搬出ポートは、トランスファーチャンバーに接続されている。   The industrial robot described in Patent Document 1 is used in a panel processing apparatus. In this panel processing apparatus, the industrial robot is disposed inside the transfer chamber. Specifically, the industrial robot is arranged so that the center of rotation of the column portion of the support unit coincides with the center of the transfer chamber when viewed from the vertical direction. Around the transfer chamber, a panel supply unit, a plurality of panel processing units, and a panel carry-out unit are arranged so as to surround the transfer chamber. The panel supply unit includes a panel material supply port. The panel processing unit includes a panel material loading / unloading port. The panel carry-out section has a panel material carry-out port. The supply port, the carry-in / out port, and the carry-out port are connected to the transfer chamber.

特許文献１に記載の産業用ロボットは、柱部の昇降動作および回動動作と、ヘッド部の回動動作と、多関節アームの伸縮動作とを行って、パネル供給部、パネル処理ユニットおよびパネル搬出部に対するパネル素材の搬送を行う。なお、ベース部に対してヘッド部が回動する際には、回動する部分の回動半径が小さくなるように、多関節アームは縮んでいる。   The industrial robot described in Patent Document 1 performs a lifting / lowering operation and a pivoting operation of a column part, a pivoting operation of a head part, and an expansion / contraction operation of an articulated arm, and a panel supply unit, a panel processing unit, and a panel The panel material is transported to the carry-out section. When the head portion rotates with respect to the base portion, the articulated arm is contracted so that the turning radius of the rotating portion becomes small.

特開２０１４−７３５５８号公報JP 2014-73558 A

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、パネル供給部、パネル処理ユニットおよびパネル搬出部に対してパネル素材の適切な搬送を行うために、パネル供給部、パネル処理ユニットおよびパネル搬出部の奥行に応じてハンドの長さが設定される。したがって、パネル供給部、パネル処理ユニットおよびパネル搬出部の奥行が深くなるとハンドの長さが長くなるが、特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、ハンドの長さが長くなると、ヘッド部が回動するときにヘッド部と一緒に回動する部分の回動半径が大きくなるおそれがある。ヘッド部と一緒に回動する部分の回動半径が大きくなると、ヘッド部と一緒に回動する部分とトランスファーチャンバーとの干渉を防止するために、水平方向においてトランスファーチャンバーを大きくしなければならず、パネル処理装置を設置するための広い設置スペースが必要になる。   In the industrial robot described in Patent Document 1, in order to appropriately transport the panel material to the panel supply unit, the panel processing unit, and the panel carry-out unit, the depth of the panel supply unit, the panel processing unit, and the panel carry-out unit is set. The length of the hand is set accordingly. Therefore, when the depth of the panel supply unit, the panel processing unit, and the panel carry-out unit becomes deep, the length of the hand increases. However, in the industrial robot described in Patent Document 1, when the length of the hand increases, the head unit rotates. There is a possibility that the turning radius of the portion that turns together with the head portion when moving is increased. If the turning radius of the part that rotates together with the head part increases, the transfer chamber must be enlarged in the horizontal direction to prevent interference between the part that rotates together with the head part and the transfer chamber. A wide installation space is required for installing the panel processing apparatus.

そこで、本発明の課題は、ハンドの長さが長くなっても、ハンドやアーム等が内部に配置されるトランスファーチャンバーを水平方向で小型化することが可能な製造システムを提供することにある。 An object of the present invention, even if the length of the hand is long, is to provide a manufacturing system capable of hand and arm, etc. become smaller in transfer chamber horizontal disposed inside .

上記の課題を解決するため、本発明の製造システムは、搬送対象物が搭載される２個のハンドと、上下方向を回動の軸方向として２個のハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される２本のアームと、上下方向を回動の軸方向として２本のアームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、上下方向を回動の軸方向としてアーム支持部が先端側に回動可能に連結されるスイングアームと、上下方向を回動の軸方向としてスイングアームの基端側が回動可能に連結される本体部とを有する産業用ロボットと、上下方向から見たときの形状が正方形状となるトランスファーチャンバーと、を備え、２本のアームの基端側は、互いに隣接した状態でアーム支持部に連結され、アームは、互いに相対回動可能に連結される少なくとも２個のアーム部を有する多関節アームであるとともに、ハンドの先端がアーム支持部から離れるように伸びる位置とハンドの先端がアーム支持部に近づくように縮む位置との間で伸縮可能となっており、上下方向から見たときの、スイングアームに対するアーム支持部の回動中心を支持部回動中心とすると、アームは、搬送対象物がハンドに搭載された状態における搬送対象物を含めたハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径よりもハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置まで縮むことが可能になっており、トランスファーチャンバーの内部に、ハンド、アーム、アーム支持部およびスイングアームが配置され、上下方向から見たときに、正方形状をなすトランスファーチャンバーの一辺に平行な方向を第１方向とし、第１方向に直交する方向を第２方向とし、第１方向の一方側を第３方向側とし、第３方向側の反対側を第４方向側とすると、上下方向から見たときに、本体部に対するスイングアームの回動中心であるアーム回動中心は、第２方向においてトランスファーチャンバーの中心に配置されるとともに第１方向においてトランスファーチャンバーの中心よりも第４方向側に配置され、上下方向から見たときに、支持部回動中心とアーム回動中心との距離は、第１方向におけるトランスファーチャンバーの中心とアーム回動中心との距離よりも長くなっており、アーム回動中心を中心にしてスイングアームを回転させたときの、上下方向から見たときの支持部回動中心の軌跡を仮想円とすると、スイングアームは、上下方向から見たときに仮想円の一部をなす円弧であって第１方向におけるトランスファーチャンバーの中心よりも第３方向側の円弧上を支持部回動中心が通過する範囲でアーム回動中心を中心に回動し、ハンドの先端側が第３方向側に配置されハンドの基端側が第４方向側に配置された状態でスイングアームがアーム回動中心を中心に回動するときには、アームは、搬送対象物がハンドに搭載された状態における搬送対象物を含めたハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径よりもハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置まで縮んでおり、ハンドの先端側が第４方向側に配置されハンドの基端側が第３方向側に配置された状態でスイングアームがアーム回動中心を中心に回動するときには、アームは、搬送対象物がハンドに搭載された状態における搬送対象物を含めたハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径よりもハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径が小さくなる位置まで縮んでいることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the manufacturing system of the present invention is capable of rotating the two hands each carrying the object to be transported and the two hands each having the up and down direction as the axis direction of rotation. Two arms connected to each other, an arm support portion that is pivotally connected to the base end side of the two arms with the vertical direction as the axial direction of rotation, and an arm support with the vertical direction as the axial direction of rotation An industrial robot having a swing arm that is pivotally connected to the distal end side, and a main body that is pivotally connected to the base end side of the swing arm with the vertical direction being the axial direction of rotation, and the vertical direction A transfer chamber having a square shape when viewed from above, and the base ends of the two arms are connected to the arm support portion in a state of being adjacent to each other, and the arms are connected to each other so as to be relatively rotatable. At least two It is an articulated arm having a head part, and is extendable between a position where the tip of the hand extends so as to be away from the arm support part and a position where the tip of the hand contracts so as to approach the arm support part, When the center of rotation of the arm support part relative to the swing arm is the support part rotation center when viewed from the vertical direction, the arm is the tip of the hand including the conveyance object in a state where the conveyance object is mounted on the hand. It can be shrunk to a position where the turning radius with respect to the support portion turning center on the base end side of the hand is larger than the turning radius with respect to the support portion turning center on the side, and the hand, The arm, the arm support part, and the swing arm are arranged, and when viewed from above and below, the first direction parallel to one side of the square transfer chamber is the first. When viewed from above and below, assuming that the first direction is the second direction, one side of the first direction is the third direction, and the opposite side of the third direction is the fourth direction. In addition, the arm rotation center that is the rotation center of the swing arm with respect to the main body is disposed at the center of the transfer chamber in the second direction and at the fourth direction side of the center of the transfer chamber in the first direction, When viewed from above and below, the distance between the support center rotation center and the arm rotation center is longer than the distance between the transfer chamber center and the arm rotation center in the first direction. When the swing arm is rotated around the center and the trajectory of the center of rotation of the support portion when viewed from the vertical direction is a virtual circle, the swing arm is temporarily viewed from the vertical direction. A circular arc that forms part of a virtual circle and rotates around the arm rotation center within a range in which the rotation center of the support portion passes on the third direction arc from the center of the transfer chamber in the first direction; When the swing arm pivots around the arm pivot center with the distal end side of the hand arranged in the third direction side and the proximal end side of the hand arranged in the fourth direction side, It is contracted to a position where the turning radius with respect to the support portion rotation center on the base end side of the hand is larger than the rotation radius with respect to the support portion rotation center on the distal end side of the hand including the conveyance target in the mounted state. When the swing arm rotates around the center of rotation with the distal end side of the hand arranged in the fourth direction and the proximal end side of the hand arranged in the third direction, the arm Installed in It is retracted to a position where the rotation radius is small with respect to the transport object the support portion rotation center of the base end side of the hand of the rotation radius for the tip side of the supporting portion turning center of the hand, including the state It is characterized by.

本発明の産業用ロボットでは、上下方向から見たときの、スイングアームに対するアーム支持部の回動中心を支持部回動中心とすると、アームは、搬送対象物がハンドに搭載された状態における搬送対象物を含めたハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径よりもハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置まで縮むことが可能になっている。そのため、本発明では、搬送対象物を含めたハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径よりもハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置までアームを縮めた状態で、スイングアームに対してアーム支持部を所定方向へ回動させることで、ハンドの長さが長くなっていても、また、水平方向においてトランスファーチャンバーを小型化しても、スイングアームに対してアーム支持部が回動する際の、回動する部分とトランスファーチャンバーの壁面との干渉を防止することが可能になる。したがって、本発明では、ハンドの長さが長くなっていても、トランスファーチャンバーを水平方向で小型化することが可能になる。   In the industrial robot of the present invention, when the rotation center of the arm support portion with respect to the swing arm when viewed from above and below is the support portion rotation center, the arm is transported in a state where the object to be transported is mounted on the hand. It is possible to shrink to a position where the turning radius with respect to the support portion rotation center on the base end side of the hand becomes larger than the rotation radius with respect to the support portion rotation center on the distal end side of the hand including the object. Therefore, in the present invention, the arm is moved to a position where the turning radius with respect to the support portion rotation center on the proximal end side of the hand is larger than the rotation radius with respect to the support portion rotation center on the distal end side of the hand including the object to be conveyed. Even if the length of the hand is long or the transfer chamber is downsized in the horizontal direction by rotating the arm support in a predetermined direction with respect to the swing arm in the contracted state, On the other hand, when the arm support portion rotates, it is possible to prevent interference between the rotating portion and the wall surface of the transfer chamber. Therefore, in the present invention, the transfer chamber can be downsized in the horizontal direction even when the length of the hand is long.

また、本発明では、搬送対象物を含めたハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径よりもハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置までアームを縮めた状態で、かつ、本体部に対してスイングアームが回動するときにハンドの先端側がトランスファーチャンバーの壁面に近づくようにアームおよびハンドを配置した状態で、本体部に対してスイングアームを回動させることで、ハンドの長さが長くなっていても、また、水平方向においてトランスファーチャンバーを小型化しても、本体部に対してスイングアームが回動する際の、回動する部分とトランスファーチャンバーの壁面との干渉を防止することが可能になる。したがって、本発明では、ハンドの長さが長くなっていても、トランスファーチャンバーを水平方向で小型化することが可能になる。   In the present invention, the arm is moved to a position where the turning radius with respect to the support portion rotation center on the base end side of the hand is larger than the rotation radius with respect to the support portion rotation center on the distal end side of the hand including the object to be conveyed. With the arm and hand placed so that the tip end of the hand approaches the wall surface of the transfer chamber when the swing arm rotates relative to the main body, the swing arm is rotated relative to the main body. Even if the length of the hand is increased by moving it, or even if the transfer chamber is downsized in the horizontal direction, the rotating part and the transfer chamber when the swing arm rotates with respect to the main body part It becomes possible to prevent interference with the wall surface. Therefore, in the present invention, the transfer chamber can be downsized in the horizontal direction even when the length of the hand is long.

また、本発明では、搬送対象物を含めたハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径よりもハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置までアームを縮めた状態で、かつ、本体部に対してスイングアームが回動するときにハンドの先端側がトランスファーチャンバーの壁面に近づくようにアームおよびハンドを配置した状態で、本体部に対してスイングアームを回動させることで、スイングアームの長さを短くしても、本体部に対してスイングアームが回動する際の、回動する部分とトランスファーチャンバーの壁面との干渉を防止することが可能になる。したがって、本発明では、スイングアームの長さを短くすることで産業用ロボットを水平方向で小型化することが可能になり、その結果、トランスファーチャンバーを水平方向で小型化することが可能になる。また、本発明では、スイングアームの長さを短くすることが可能になるため、スイングアームの厚さ（上下方向の厚さ）を薄くしても、スイングアームの剛性を確保することが可能になる。したがって、本発明では、スイングアームの厚さを薄くすることで産業用ロボットを上下方向（鉛直方向）で小型化することが可能になり、その結果、トランスファーチャンバーを上下方向で小型化することが可能になる。   In the present invention, the arm is moved to a position where the turning radius with respect to the support portion rotation center on the base end side of the hand is larger than the rotation radius with respect to the support portion rotation center on the distal end side of the hand including the object to be conveyed. With the arm and hand placed so that the tip end of the hand approaches the wall surface of the transfer chamber when the swing arm rotates relative to the main body, the swing arm is rotated relative to the main body. By moving the swing arm, even if the swing arm is shortened, it is possible to prevent interference between the rotating portion and the wall surface of the transfer chamber when the swing arm rotates with respect to the main body. . Therefore, in the present invention, the industrial robot can be downsized in the horizontal direction by reducing the length of the swing arm, and as a result, the transfer chamber can be downsized in the horizontal direction. Further, according to the present invention, the swing arm can be shortened, so that the rigidity of the swing arm can be ensured even if the thickness (vertical thickness) of the swing arm is reduced. Become. Therefore, in the present invention, it is possible to reduce the size of the industrial robot in the vertical direction (vertical direction) by reducing the thickness of the swing arm. As a result, the transfer chamber can be reduced in the vertical direction. It becomes possible.

以上のように、本発明では、ハンドの長さが長くなっても、ハンドやアーム等が内部に配置されるトランスファーチャンバーを水平方向で小型化することが可能になる。   As described above, according to the present invention, even when the length of the hand is increased, the transfer chamber in which the hand, the arm, and the like are disposed can be downsized in the horizontal direction.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットが製造システムに組み込まれた状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state in which the industrial robot concerning embodiment of this invention was integrated in the manufacturing system. 図１に示す産業用ロボットの正面図である。It is a front view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot shown in FIG. 図４に示すスイングアームの動作等を説明するための平面図である。FIG. 5 is a plan view for explaining the operation and the like of the swing arm shown in FIG. 4. 図１に示す製造システムにおける産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the manufacturing system shown in FIG. 図１に示す製造システムにおける産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the manufacturing system shown in FIG. 図１に示す製造システムにおける産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the manufacturing system shown in FIG. 図１に示す製造システムにおける産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the manufacturing system shown in FIG. 図１に示す製造システムにおける産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the manufacturing system shown in FIG. 図１に示す製造システムにおける産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the manufacturing system shown in FIG. 図１に示す製造システムにおける産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating operation | movement of the industrial robot in the manufacturing system shown in FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットおよび製造システムの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１が製造システム３に組み込まれた状態を示す平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の正面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図５は、図４に示すスイングアーム１７の動作等を説明するための平面図である。 (Composition of industrial robot and manufacturing system)
FIG. 1 is a plan view showing a state in which an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention is incorporated in a manufacturing system 3. FIG. 2 is a front view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 4 is a plan view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 5 is a plan view for explaining the operation of the swing arm 17 shown in FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、たとえば、搬送対象物である有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、有機ＥＬディスプレイの製造システム３に組み込まれて使用される水平多関節ロボットである。   The industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as “robot 1”) is, for example, a glass substrate 2 (hereinafter referred to as “substrate 2”) for an organic EL (organic electroluminescence) display, which is an object to be transported. ). The robot 1 is a horizontal articulated robot used by being incorporated in an organic EL display manufacturing system 3.

製造システム３は、トランスファーチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）と、チャンバー４を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー５〜９（以下、「チャンバー５〜９」とする。）とを備えている。本形態の製造システム３は、５個のチャンバー５〜９を備えている。チャンバー４〜９は、真空チャンバーであり、チャンバー４〜９の内部は、真空になっている。チャンバー４の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１を構成する後述のフォーク部２１がチャンバー５〜９内に入り込むことで、ロボット１は、複数のチャンバー５〜９の間で基板２を搬送する。チャンバー５〜９には、各種の装置等が配置されており、ロボット１で搬送された基板２が収容される。また、チャンバー５〜９では、基板２に対して各種の処理が行われる。   The manufacturing system 3 includes a transfer chamber 4 (hereinafter referred to as “chamber 4”) and a plurality of process chambers 5 to 9 (hereinafter referred to as “chambers 5-9”) disposed so as to surround the chamber 4. And. The manufacturing system 3 according to this embodiment includes five chambers 5 to 9. The chambers 4 to 9 are vacuum chambers, and the inside of the chambers 4 to 9 is in a vacuum. A part of the robot 1 is disposed inside the chamber 4. The fork unit 21 (to be described later) constituting the robot 1 enters the chambers 5 to 9, so that the robot 1 transports the substrate 2 between the plurality of chambers 5 to 9. Various devices and the like are disposed in the chambers 5 to 9, and the substrate 2 transported by the robot 1 is accommodated therein. In the chambers 5 to 9, various processes are performed on the substrate 2.

チャンバー４は、上下方向から見たときの形状が正方形状となる略直方体の箱状に形成されている。以下では、上下方向から見たときに、正方形状をなすチャンバー４の一辺に平行な方向（図１のＸ方向）を「前後方向」とし、前後方向に直交する方向（図１のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１のＸ２方向側）を「奥側」とし、奥側の反対側（図１のＸ１方向側）を「手前側」とし、左右方向の一方側（図１のＹ１方向側）を「右」側とし、右側の反対側（図１のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態の前後方向（Ｘ方向）は第１方向であり、左右方向（Ｙ方向）は第２方向であり、奥側（Ｘ２方向側）は第３方向側であり、手前側（Ｘ１方向側）は第４方向側である。   The chamber 4 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape having a square shape when viewed from above and below. Hereinafter, a direction parallel to one side of the square-shaped chamber 4 (X direction in FIG. 1) when viewed from above and below is referred to as “front-rear direction”, and a direction orthogonal to the front-rear direction (Y direction in FIG. 1). Is “left-right direction”. In addition, one side in the front-rear direction (X2 direction side in FIG. 1) is “back side”, and the opposite side (X1 direction side in FIG. 1) is “front side”, and one side in the left-right direction (FIG. 1). Is the “right” side, and the opposite side (the Y2 direction side in FIG. 1) is the “left” side. In this embodiment, the front-rear direction (X direction) is the first direction, the left-right direction (Y direction) is the second direction, the back side (X2 direction side) is the third direction side, and the front side (X1 direction side) ) Is the fourth direction side.

チャンバー５は、チャンバー４の左側に配置されている。また、チャンバー５は、前後方向において、チャンバー５の中心とチャンバー４の中心とに一致するように配置されている。チャンバー６、７は、チャンバー４の手前側に配置され、チャンバー８、９は、チャンバー４の奥側に配置されている。また、チャンバー６とチャンバー７とは左右方向で隣り合うように配置され、チャンバー８とチャンバー９とは左右方向で隣り合うように配置されている。チャンバー６とチャンバー８とは左右方向において同じ位置に配置され、チャンバー７とチャンバー９とは左右方向において同じ位置に配置されている。また、チャンバー６、８は、チャンバー７、９よりも左側に配置されている。チャンバー５〜９のそれぞれとチャンバー４との接続部分には、ゲートが形成されている。   The chamber 5 is disposed on the left side of the chamber 4. The chamber 5 is arranged so as to coincide with the center of the chamber 5 and the center of the chamber 4 in the front-rear direction. The chambers 6 and 7 are disposed on the front side of the chamber 4, and the chambers 8 and 9 are disposed on the back side of the chamber 4. Moreover, the chamber 6 and the chamber 7 are arrange | positioned so that it may adjoin in the left-right direction, and the chamber 8 and the chamber 9 are arrange | positioned so that it may adjoin in the left-right direction. The chamber 6 and the chamber 8 are disposed at the same position in the left-right direction, and the chamber 7 and the chamber 9 are disposed at the same position in the left-right direction. The chambers 6 and 8 are arranged on the left side of the chambers 7 and 9. A gate is formed at a connection portion between each of the chambers 5 to 9 and the chamber 4.

ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド１２、１３と、ハンド１２が先端側に回動可能に連結されるアーム１４と、ハンド１３が先端側に回動可能に連結されるアーム１５と、アーム１４、１５の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部１６と、アーム支持部１６が先端側に回動可能に連結されるスイングアーム１７と、スイングアーム１７の基端側が回動可能に連結される本体部１８とを備えている。ハンド１２、１３、アーム１４、１５、アーム支持部１６およびスイングアーム１７は、本体部１８の上側に配置されている。ハンド１２、１３、アーム１４、１５、アーム支持部１６、スイングアーム１７および本体部１８の上端側は、チャンバー４の内部に配置されている。   The robot 1 includes two hands 12 and 13 on which a substrate 2 is mounted, an arm 14 that the hand 12 is rotatably connected to the distal end side, and an arm that the hand 13 is rotatably connected to the distal end side. 15, an arm support portion 16 to which the base end sides of the arms 14 and 15 are rotatably connected, a swing arm 17 to which the arm support portion 16 is rotatably connected to the distal end side, and a base end of the swing arm 17 And a main body 18 that is rotatably connected to the side. The hands 12 and 13, the arms 14 and 15, the arm support portion 16 and the swing arm 17 are disposed on the upper side of the main body portion 18. The upper ends of the hands 12, 13, arms 14, 15, arm support 16, swing arm 17, and main body 18 are arranged inside the chamber 4.

ハンド１２、１３は、アーム１４、１５に連結される基部２０と、基板２が搭載されるフォーク部２１とを備えている。フォーク部２１は、基部２０から水平方向へ突出するように基部２０に固定されている。基板２は、フォーク部２１の先端側部分に搭載されている。すなわち、基板２は、ハンド１２、１３の先端側部分に搭載されている。本形態では、チャンバー５〜９の奥行が深くなっており、フォーク部２１の長さは長くなっている。すなわち、ハンド１２、１３の長さは長くなっている。また、本形態では、ハンド１２は、ハンド１３よりも上側に配置されている。   The hands 12 and 13 include a base portion 20 connected to the arms 14 and 15 and a fork portion 21 on which the substrate 2 is mounted. The fork portion 21 is fixed to the base portion 20 so as to protrude from the base portion 20 in the horizontal direction. The substrate 2 is mounted on the tip side portion of the fork portion 21. That is, the substrate 2 is mounted on the tip side portions of the hands 12 and 13. In this embodiment, the depth of the chambers 5 to 9 is deep, and the length of the fork portion 21 is long. That is, the length of the hands 12 and 13 is long. In the present embodiment, the hand 12 is disposed above the hand 13.

アーム１４、１５は、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部２２と第２アーム部２３との２個のアーム部によって構成された多関節アームである。第１アーム部２２の基端側は、上下方向を回動の軸方向としてアーム支持部１６に回動可能に連結されている。アーム１４の第１アーム部２２の基端側とアーム１５の第１アーム部２２の基端側とは、水平方向において互いに隣接した状態でアーム支持部１６に連結されている。すなわち、２本のアーム１４、１５の基端側は、互いに隣接した状態でアーム支持部１６に連結されている。また、アーム１４とアーム１５とは、互いに隣接した状態で配置されており、上下方向において同じ位置に配置されている。   The arms 14 and 15 are multi-joint arms constituted by two arm parts, a first arm part 22 and a second arm part 23, which are connected to each other so as to be relatively rotatable. The base end side of the first arm portion 22 is rotatably connected to the arm support portion 16 with the vertical direction as the axis direction of rotation. The proximal end side of the first arm portion 22 of the arm 14 and the proximal end side of the first arm portion 22 of the arm 15 are connected to the arm support portion 16 in a state of being adjacent to each other in the horizontal direction. That is, the base end sides of the two arms 14 and 15 are connected to the arm support portion 16 in a state of being adjacent to each other. Moreover, the arm 14 and the arm 15 are arrange | positioned in the mutually adjacent state, and are arrange | positioned in the same position in the up-down direction.

第１アーム部２２の先端側には、上下方向を回動の軸方向として第２アーム部２３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部２３の先端側には、上下方向を回動の軸方向としてハンド１２、１３が回動可能に連結されている。水平方向において、アーム支持部１６に対する第１アーム部２２の回動中心と第１アーム部２２に対する第２アーム部２３の回動中心との距離と、第１アーム部２２に対する第２アーム部２３の回動中心と第２アーム部２３に対するハンド１２、１３の回動中心との距離とは等しくなっている。   The proximal end side of the second arm portion 23 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 22 with the vertical direction as the axial direction of rotation. Hands 12 and 13 are rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 23 with the vertical direction as the axial direction of rotation. In the horizontal direction, the distance between the rotation center of the first arm portion 22 relative to the arm support portion 16 and the rotation center of the second arm portion 23 relative to the first arm portion 22, and the second arm portion 23 relative to the first arm portion 22. And the distance between the rotation center of the hands 12 and 13 with respect to the second arm portion 23 is equal.

アーム１４、１５は、ハンド１２、１３の先端がアーム支持部１６から離れるように伸びる位置（図７〜図１０、図１２参照）と、ハンド１２、１３の先端がアーム支持部１６に近づくように縮む位置（図１参照）との間で伸縮可能となっている。アーム１４、１５のそれぞれには、アーム１４、１５のそれぞれを伸縮させるアーム駆動機構が連結されている。アーム駆動機構は、ハンド１２、１３が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム１４、１５を伸縮させる。本形態では、アーム１４、１５の伸縮量が等しいときに、ハンド１２とハンド１３とは上下方向で重なっている。また、このときには、上下方向から見ると、アーム１４とアーム１５とは線対称に配置されている。   The arms 14 and 15 extend so that the tips of the hands 12 and 13 are separated from the arm support 16 (see FIGS. 7 to 10 and 12), and the tips of the hands 12 and 13 approach the arm support 16. It can be expanded and contracted with the position (see FIG. 1) that contracts. Each of the arms 14 and 15 is connected to an arm driving mechanism that expands and contracts each of the arms 14 and 15. The arm drive mechanism expands and contracts the arms 14 and 15 so that the hands 12 and 13 move linearly with the hands 12 and 13 facing in a certain direction. In this embodiment, when the arms 14 and 15 have the same amount of expansion / contraction, the hand 12 and the hand 13 overlap in the vertical direction. At this time, the arm 14 and the arm 15 are arranged in line symmetry when viewed from above and below.

アーム支持部１６は、円板状に形成されている。このアーム支持部１６は、上下方向を回動の軸方向としてスイングアーム１７の先端側に回動可能に連結されている。図４に示すように、上下方向から見たときに、スイングアーム１７に対するアーム支持部１６の回動中心である支持部回動中心Ｃ１と、アーム支持部１６に対するアーム１４の第１アーム部２２の回動中心であるアーム回動中心Ｃ２と、アーム支持部１６に対するアーム１５の第１アーム部２２の回動中心であるアーム回動中心Ｃ３とを結ぶと二等辺三角形が形成される。アーム支持部１６には、アーム支持部１６を回動させる回動機構が連結されている。なお、アーム支持部１６は、三角板状や四角板状等の多角板状に形成されても良いし、楕円板状等に形成されても良い。   The arm support portion 16 is formed in a disc shape. The arm support portion 16 is rotatably connected to the distal end side of the swing arm 17 with the vertical direction as the axial direction of rotation. As shown in FIG. 4, when viewed from above and below, the support portion rotation center C <b> 1 that is the rotation center of the arm support portion 16 with respect to the swing arm 17 and the first arm portion 22 of the arm 14 with respect to the arm support portion 16. An isosceles triangle is formed by connecting the arm rotation center C2 that is the rotation center of the arm 15 and the arm rotation center C3 that is the rotation center of the first arm portion 22 of the arm 15 with respect to the arm support portion 16. A rotation mechanism that rotates the arm support 16 is connected to the arm support 16. Note that the arm support portion 16 may be formed in a polygonal plate shape such as a triangular plate shape or a quadrangular plate shape, or may be formed in an elliptical plate shape or the like.

スイングアーム１７は、上下方向から見たときの形状が長円形状となる１個のアーム部によって構成されている。スイングアーム１７の基端側は、上下方向を回動の軸方向として本体部１８に回動可能に連結されている。本体部１８は、中空状に形成されるケース体２４を備えている。ケース体２４の中には、スイングアーム１７を回動させる回動機構と、スイングアーム１７を昇降させる昇降機構とが収容されている。   The swing arm 17 is configured by one arm portion having an elliptical shape when viewed from the vertical direction. The base end side of the swing arm 17 is rotatably connected to the main body 18 with the vertical direction as the axis direction of rotation. The main body 18 includes a case body 24 formed in a hollow shape. The case body 24 accommodates a turning mechanism for turning the swing arm 17 and an elevating mechanism for raising and lowering the swing arm 17.

本形態では、図４に示すように、アーム１４、１５は、基板２がハンド１２、１３に搭載された状態における基板２を含めたハンド１２、１３の先端側の支持部回動中心Ｃ１に対する回動半径（より具体的には、基板２を含めたハンド１２、１３の先端側の最大回動半径）Ｒ１よりもハンド１２、１３の基端側の支持部回動中心Ｃ１に対する回動半径（より具体的には、ハンド１２、１３の基端側の最大回動半径）Ｒ２が大きくなる位置まで縮むことが可能になっている。ここで、アーム１４、１５が最も縮んで回動半径Ｒ１が最小になったときの回動半径Ｒ１は、図１の二点鎖線で示すように、上下方向から見たときに、アーム１４、１５が伸縮する際の第１アーム部２２の先端が、回動半径Ｒ１によって規定される仮想円からはみ出さない大きさとなっている。   In this embodiment, as shown in FIG. 4, the arms 14, 15 are relative to the support rotation center C <b> 1 on the tip side of the hands 12, 13 including the substrate 2 in a state where the substrate 2 is mounted on the hands 12, 13. Turning radius (more specifically, the maximum turning radius on the distal end side of the hands 12, 13 including the substrate 2) The turning radius with respect to the support portion turning center C1 on the base end side of the hands 12, 13 relative to R1 (More specifically, the maximum turning radius on the base end side of the hands 12 and 13) It is possible to shrink to a position where R2 becomes large. Here, when the arms 14 and 15 are contracted most and the turning radius R1 is minimized, the turning radius R1 is as shown by the two-dot chain line in FIG. The tip of the first arm portion 22 when the 15 is expanded and contracted has a size that does not protrude from the virtual circle defined by the turning radius R1.

また、図５に示すように、上下方向から見たときに、本体部１８に対するスイングアーム１７の回動中心であるアーム回動中心Ｃ４は、左右方向においてチャンバー４の中心に配置されるとともに前後方向においてチャンバー４の中心よりも手前側に配置されている。また、上下方向から見たときに、アーム回動中心Ｃ４と支持部回動中心Ｃ１との距離は、前後方向におけるチャンバー４の中心とアーム回動中心Ｃ４との距離Ｌ（すなわち、前後方向におけるチャンバー４の中心線ＣＬ１とアーム回動中心Ｃ４との距離Ｌ）よりも長くなっている。   Further, as shown in FIG. 5, when viewed from above and below, the arm rotation center C4, which is the rotation center of the swing arm 17 with respect to the main body 18, is disposed at the center of the chamber 4 in the left-right direction and is It is arranged on the near side of the center of the chamber 4 in the direction. When viewed from the vertical direction, the distance between the arm rotation center C4 and the support portion rotation center C1 is the distance L between the center of the chamber 4 and the arm rotation center C4 in the front-rear direction (that is, in the front-rear direction). It is longer than the distance L) between the center line CL1 of the chamber 4 and the arm rotation center C4.

アーム回動中心Ｃ４を中心にしてスイングアーム１７を回転させたときの、上下方向から見たときの支持部回動中心Ｃ１の軌跡を仮想円とすると、本形態では、図５に示すように、スイングアーム１７は、上下方向から見たときにこの仮想円の一部をなす円弧ＣＡであって前後方向におけるチャンバー４の中心よりも奥側の円弧ＣＡ上を支持部回動中心Ｃ１が通過する範囲でアーム回動中心Ｃ４を中心に回動する。本形態では、上下方向から見たときに、前後方向におけるチャンバー４の中心線ＣＬ１とこの仮想円との２個の交点（すなわち、円弧ＣＡの両端点）の一方と、左右方向におけるチャンバー６、８の中心線ＣＬ２と中心線ＣＬ１との交点とが一致しており、中心線ＣＬ１とこの仮想円との２個の交点の他方と、左右方向におけるチャンバー７、９の中心線ＣＬ３と中心線ＣＬ１との交点とが一致している。   Assuming that the locus of the support portion rotation center C1 when viewed from the vertical direction when the swing arm 17 is rotated about the arm rotation center C4 is a virtual circle, in this embodiment, as shown in FIG. The swing arm 17 is an arc CA that forms a part of this imaginary circle when viewed from the vertical direction, and the support part rotation center C1 passes through the arc CA on the back side of the center of the chamber 4 in the front-rear direction. The arm pivots about the arm pivot center C4 within the range. In this embodiment, when viewed from the vertical direction, one of two intersections (that is, both end points of the arc CA) of the center line CL1 of the chamber 4 and the virtual circle in the front-rear direction, and the chamber 6 in the left-right direction, The intersection of the center line CL2 and the center line CL1 coincides with the other of the two intersections of the center line CL1 and the virtual circle, and the center line CL3 and the center line of the chambers 7 and 9 in the left-right direction. The intersection with CL1 coincides.

（産業用ロボットの動作）
図６〜図１２は、図１に示す製造システム３における産業用ロボット１の動作を説明するための平面図である。 (Operation of industrial robots)
6 to 12 are plan views for explaining the operation of the industrial robot 1 in the manufacturing system 3 shown in FIG.

製造システム３において、たとえば、チャンバー５に基板２を搬入したりチャンバー５から基板２を搬出する前には、図６に示すように、ハンド１２、１３の先端側が左側に配置されハンド１２、１３の基端側が右側に配置されるように、アーム１４、１５が縮んだ状態で、ロボット１は待機する。このときには、上下方向から見ると、中心線ＣＬ１と中心線ＣＬ２との交点と支持部回動中心Ｃ１とが一致している。また、このときには、アーム１４、１５は、ハンド１２、１３の先端側の支持部回動中心Ｃ１に対する回動半径Ｒ１よりもハンド１２、１３の基端側の支持部回動中心Ｃ１に対する回動半径Ｒ２が大きくなる位置まで縮んでいる。具体的には、この状態において、支持部回動中心Ｃ１を中心にしてアーム支持部１６が回動しても、ハンド１２、１３の先端側がチャンバー４の左側の内壁面に干渉しない位置までアーム１４、１５は縮んでいる。その後、図７に示すように、アーム１４およびアーム１５の少なくともいずれか一方が伸縮して、チャンバー５に基板２を搬入したりチャンバー５から基板２を搬出する。   In the manufacturing system 3, for example, before the substrate 2 is loaded into the chamber 5 or the substrate 2 is unloaded from the chamber 5, the front ends of the hands 12 and 13 are arranged on the left side as shown in FIG. The robot 1 stands by in a state where the arms 14 and 15 are contracted so that the base end side of the robot is disposed on the right side. At this time, when viewed from above and below, the intersection of the center line CL1 and the center line CL2 coincides with the support portion rotation center C1. Further, at this time, the arms 14 and 15 rotate with respect to the support portion rotation center C1 on the base end side of the hands 12 and 13 rather than the rotation radius R1 with respect to the support portion rotation center C1 on the distal end side of the hands 12 and 13. It has shrunk to a position where the radius R2 becomes large. Specifically, in this state, even if the arm support portion 16 rotates about the support portion rotation center C1, the arms 12 and 13 are armed to a position where they do not interfere with the left inner wall surface of the chamber 4. 14 and 15 are contracted. Thereafter, as shown in FIG. 7, at least one of the arm 14 and the arm 15 expands and contracts, and the substrate 2 is loaded into the chamber 5 or unloaded from the chamber 5.

また、たとえば、その後、チャンバー８に基板２を搬入したりチャンバー８から基板２を搬出する場合には、図６に示す状態で、図６の時計回りの方向（以下、この方向を「時計方向」とする。）へ支持部回動中心Ｃ１を中心にして９０°、アーム支持部１６が回動する。その後、図８に示すように、アーム１４およびアーム１５の少なくともいずれか一方が伸縮して、チャンバー８に基板２を搬入したりチャンバー８から基板２を搬出する。   Further, for example, when the substrate 2 is subsequently loaded into the chamber 8 or unloaded from the chamber 8, the clockwise direction of FIG. 6 (hereinafter, this direction is referred to as “clockwise direction” in the state shown in FIG. The arm support portion 16 is rotated by 90 ° about the support portion rotation center C1. Thereafter, as shown in FIG. 8, at least one of the arm 14 and the arm 15 expands and contracts, and the substrate 2 is loaded into the chamber 8 or unloaded from the chamber 8.

また、たとえば、その後、チャンバー９に基板２を搬入したりチャンバー９から基板２を搬出する場合には、図１に示すように、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が大きくなる位置までアーム１４、１５が縮んだ状態で、アーム回動中心Ｃ４を中心にしてスイングアーム１７が時計方向へ回動する。具体的には、上下方向から見たときに、中心線ＣＬ１と中心線ＣＬ３との交点と支持部回動中心Ｃ１とが一致するまで、スイングアーム１７が回動する。その後、図９に示すように、アーム１４およびアーム１５の少なくともいずれか一方が伸縮して、チャンバー９に基板２を搬入したりチャンバー９から基板２を搬出する。   Further, for example, when the substrate 2 is subsequently loaded into the chamber 9 or the substrate 2 is unloaded from the chamber 9, the arm is moved to a position where the turning radius R2 becomes larger than the turning radius R1, as shown in FIG. In a state in which 14 and 15 are contracted, the swing arm 17 is rotated clockwise about the arm rotation center C4. Specifically, the swing arm 17 rotates until the intersection of the center line CL1 and the center line CL3 and the support portion rotation center C1 coincide with each other when viewed from the vertical direction. Thereafter, as shown in FIG. 9, at least one of the arm 14 and the arm 15 expands and contracts, and the substrate 2 is loaded into the chamber 9 or unloaded from the chamber 9.

このように、ハンド１２、１３の先端側が奥側に配置されハンド１２、１３の基端側が手前側に配置された状態でスイングアーム１７がアーム回動中心Ｃ４を中心に回動するときには、アーム１４、１５は、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が大きくなる位置まで縮んでいる。なお、このときには、アーム回動中心Ｃ４を中心にしてスイングアーム１７が時計方向へ回動しても、ハンド１２、１３の先端側がチャンバー４の奥側の内壁面に干渉しない位置までアーム１４、１５は縮んでいる。   Thus, when the swing arm 17 rotates about the arm rotation center C4 with the distal end side of the hands 12, 13 disposed on the back side and the proximal end side of the hands 12, 13 disposed on the near side, 14 and 15 are contracted to a position where the turning radius R2 is larger than the turning radius R1. At this time, even if the swing arm 17 rotates clockwise about the arm rotation center C4, the arms 14 and 13 reach the position where the front ends of the hands 12 and 13 do not interfere with the inner wall surface on the back side of the chamber 4. 15 is shrunk.

また、たとえば、チャンバー５に基板２を搬入したりチャンバー５から基板２を搬出した後に、チャンバー６に基板２を搬入したりチャンバー６から基板２を搬出する場合には、図６に示す状態で、図６の反時計回りの方向（以下、この方向を「反時計方向」とする。）へ支持部回動中心Ｃ１を中心にして９０°、アーム支持部１６が回動する。その後、図１０に示すように、アーム１４およびアーム１５の少なくともいずれか一方が伸縮して、チャンバー６に基板２を搬入したりチャンバー６から基板２を搬出する。   Further, for example, when the substrate 2 is loaded into the chamber 5 or the substrate 2 is unloaded from the chamber 5 and then the substrate 2 is loaded into the chamber 6 or unloaded from the chamber 6, the state shown in FIG. 6, the arm support portion 16 rotates 90 degrees around the support portion rotation center C1 in the counterclockwise direction of FIG. 6 (hereinafter, this direction is referred to as “counterclockwise direction”). Thereafter, as shown in FIG. 10, at least one of the arm 14 and the arm 15 expands and contracts, and the substrate 2 is loaded into the chamber 6 or unloaded from the chamber 6.

また、たとえば、その後、チャンバー７に基板２を搬入したりチャンバー７から基板２を搬出する場合には、図１１に示すように、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が小さくなる位置までアーム１４、１５が縮んだ状態で、アーム回動中心Ｃ４を中心にしてスイングアーム１７が時計方向へ回動する。具体的には、上下方向から見たときに、中心線ＣＬ１と中心線ＣＬ３との交点と支持部回動中心Ｃ１とが一致するまで、スイングアーム１７が回動する。その後、図１２に示すように、アーム１４およびアーム１５の少なくともいずれか一方が伸縮して、チャンバー７に基板２を搬入したりチャンバー７から基板２を搬出する。   Further, for example, when the substrate 2 is subsequently carried into the chamber 7 or the substrate 2 is unloaded from the chamber 7, the arm is moved to a position where the turning radius R2 becomes smaller than the turning radius R1, as shown in FIG. In a state in which 14 and 15 are contracted, the swing arm 17 is rotated clockwise about the arm rotation center C4. Specifically, the swing arm 17 rotates until the intersection of the center line CL1 and the center line CL3 and the support portion rotation center C1 coincide with each other when viewed from the vertical direction. Thereafter, as shown in FIG. 12, at least one of the arm 14 and the arm 15 expands and contracts, and the substrate 2 is loaded into the chamber 7 or unloaded from the chamber 7.

このように、ハンド１２、１３の先端側が手前側に配置されハンド１２、１３の基端側が奥側に配置された状態でスイングアーム１７がアーム回動中心Ｃ４を中心に回動するときには、アーム１４、１５は、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が小さくなる位置まで縮んでいる。なお、このときには、アーム回動中心Ｃ４を中心にしてスイングアーム１７が時計方向へ回動しても、ハンド１２、１３の基端側がチャンバー４の奥側の内壁面に干渉しない位置までアーム１４、１５は縮んでいる。   As described above, when the swing arm 17 rotates about the arm rotation center C4 in a state where the distal ends of the hands 12 and 13 are disposed on the front side and the proximal ends of the hands 12 and 13 are disposed on the rear side, 14 and 15 are contracted to a position where the turning radius R2 is smaller than the turning radius R1. At this time, even if the swing arm 17 rotates clockwise about the arm rotation center C4, the arm 14 reaches a position where the proximal end side of the hands 12, 13 does not interfere with the inner wall surface on the back side of the chamber 4. , 15 is shrunk.

また、たとえば、チャンバー９に基板２を搬入したりチャンバー９から基板２を搬出した後に、チャンバー７に基板２を搬入したりチャンバー７から基板２を搬出する場合には、図６に示す位置と同じ位置までアーム１４、１５が縮んだ状態で、時計方向へ１８０°、アーム支持部１６が回動する。その後、図１２に示すように、アーム１４およびアーム１５の少なくともいずれか一方が伸縮して、チャンバー７に基板２を搬入したりチャンバー７から基板２を搬出する。   Further, for example, when the substrate 2 is loaded into the chamber 9 or the substrate 2 is unloaded from the chamber 9 and then the substrate 2 is loaded into the chamber 7 or unloaded from the chamber 7, the position shown in FIG. With the arms 14 and 15 contracted to the same position, the arm support portion 16 rotates 180 ° clockwise. Thereafter, as shown in FIG. 12, at least one of the arm 14 and the arm 15 expands and contracts, and the substrate 2 is loaded into the chamber 7 or unloaded from the chamber 7.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アーム１４、１５は、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が大きくなる位置まで縮むことが可能になっており、たとえば、チャンバー５に基板２を搬入したりチャンバー５から基板２を搬出した後に、チャンバー８に基板２を搬入したりチャンバー８から基板２を搬出する場合やチャンバー６に基板２を搬入したりチャンバー６から基板２を搬出する場合等に、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が大きくなる位置までアーム１４、１５が縮んだ状態で、支持部回動中心Ｃ１を中心にしてアーム支持部１６が回動する。すなわち、本形態では、上下方向から見たときに中心線ＣＬ１と中心線ＣＬ２との交点と支持部回動中心Ｃ１とが一致している状態でハンド１２、１３の先端側が支持部回動中心Ｃ１よりも左側を通過するように、支持部回動中心Ｃ１を中心にしてアーム支持部１６が回動する場合や、上下方向から見たときに中心線ＣＬ１と中心線ＣＬ３との交点と支持部回動中心Ｃ１とが一致している状態でハンド１２、１３の先端側が支持部回動中心Ｃ１よりも右側を通過するように、支持部回動中心Ｃ１を中心にしてアーム支持部１６が回動する場合に、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が大きくなる位置までアーム１４、１５が縮んでいる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the arms 14 and 15 can be shrunk to a position where the turning radius R2 is larger than the turning radius R1, and for example, the substrate 2 is loaded into the chamber 5. Or after unloading the substrate 2 from the chamber 5, when loading the substrate 2 into the chamber 8, unloading the substrate 2 from the chamber 8, loading the substrate 2 into the chamber 6, or unloading the substrate 2 from the chamber 6, etc. In the state where the arms 14 and 15 are contracted to a position where the turning radius R2 is larger than the turning radius R1, the arm support portion 16 is turned around the support portion turning center C1. That is, in this embodiment, when viewed from the up and down direction, the front end side of the hands 12 and 13 is the support portion rotation center in a state where the intersection of the center line CL1 and the center line CL2 and the support portion rotation center C1 coincide. When the arm support portion 16 rotates around the support portion rotation center C1 so as to pass the left side of C1, or when viewed from the vertical direction, the intersection of the center line CL1 and the center line CL3 and the support The arm support portion 16 is centered on the support portion rotation center C1 so that the distal ends of the hands 12 and 13 pass on the right side of the support portion rotation center C1 in a state where the portion rotation center C1 coincides. When turning, the arms 14 and 15 are contracted to a position where the turning radius R2 is larger than the turning radius R1.

そのため、本形態では、ハンド１２、１３の長さが長くなっていても、また、上下方向から見たときのチャンバー４の形状が正方形状となっており左右方向におけるチャンバー４の大きさが小さくなっていても、中心線ＣＬ１と中心線ＣＬ２との交点と支持部回動中心Ｃ１とが一致している状態で、あるいは、中心線ＣＬ１と中心線ＣＬ３との交点と支持部回動中心Ｃ１とが一致している状態で、支持部回動中心Ｃ１を中心にしてアーム支持部１６が回動する際の、ハンド１２、１３の先端側部分とチャンバー４の左右の壁面との干渉を防止することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド１２、１３の長さが長くなっていても、チャンバー４を左右方向で小型化することが可能になる。   Therefore, in this embodiment, even if the lengths of the hands 12 and 13 are long, the shape of the chamber 4 when viewed from the vertical direction is square, and the size of the chamber 4 in the horizontal direction is small. Even in the state where the intersection between the center line CL1 and the center line CL2 and the support part rotation center C1 coincide with each other, or the intersection between the center line CL1 and the center line CL3 and the support part rotation center C1. Prevents the interference between the tip side portions of the hands 12 and 13 and the left and right wall surfaces of the chamber 4 when the arm support portion 16 rotates about the support portion rotation center C1. It becomes possible to do. Therefore, in this embodiment, even if the lengths of the hands 12 and 13 are increased, the chamber 4 can be downsized in the left-right direction.

本形態では、スイングアーム１７は、図５に示すように、円弧ＣＡ上を支持部回動中心Ｃ１が通過する範囲でアーム回動中心Ｃ４を中心に回動するが、ハンド１２、１３の先端側が奥側に配置されハンド１２、１３の基端側が手前側に配置された状態でスイングアーム１７がアーム回動中心Ｃ４を中心に回動するときに、アーム１４、１５は、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が大きくなる位置まで縮んでおり、ハンド１２、１３の先端側が手前側に配置されハンド１２、１３の基端側が奥側に配置された状態でスイングアーム１７がアーム回動中心Ｃ４を中心に回動するときには、アーム１４、１５は、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が小さくなる位置まで縮んでいる。そのため、本形態では、ハンド１２、１３の長さが長くなっていても、また、前後方向においてチャンバー４の大きさが小さくなっていても、本体部１８に対してスイングアーム１７が回動する際の、ハンド１２、１３の先端側部分や基端側部分とチャンバー４の奥側の壁面との干渉を防止することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド１２、１３の長さが長くなっていても、チャンバー４を前後方向で小型化することが可能になる。   In this embodiment, as shown in FIG. 5, the swing arm 17 rotates about the arm rotation center C <b> 4 within the range in which the support unit rotation center C <b> 1 passes on the arc CA. When the swing arm 17 rotates about the arm rotation center C4 in a state where the side is disposed on the back side and the proximal end side of the hands 12, 13 is disposed on the front side, the arms 14 and 15 have the rotation radius R1. The swing arm 17 is retracted to a position where the turning radius R2 becomes larger than the swing arm 17 with the distal end side of the hands 12 and 13 disposed on the near side and the proximal end side of the hands 12 and 13 disposed on the rear side. When rotating around the center C4, the arms 14 and 15 are contracted to a position where the turning radius R2 is smaller than the turning radius R1. Therefore, in this embodiment, even if the lengths of the hands 12 and 13 are long and the size of the chamber 4 is small in the front-rear direction, the swing arm 17 rotates with respect to the main body 18. In this case, it is possible to prevent interference between the distal end side portion and the proximal end side portion of the hands 12 and 13 and the inner wall surface of the chamber 4. Therefore, in this embodiment, the chamber 4 can be downsized in the front-rear direction even if the lengths of the hands 12 and 13 are increased.

また、本形態では、ハンド１２、１３の先端側が奥側に配置されハンド１２、１３の基端側が手前側に配置された状態でスイングアーム１７がアーム回動中心Ｃ４を中心に回動するときに、アーム１４、１５は、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が大きくなる位置まで縮んでおり、ハンド１２、１３の先端側が手前側に配置されハンド１２、１３の基端側が奥側に配置された状態でスイングアーム１７がアーム回動中心Ｃ４を中心に回動するときには、アーム１４、１５は、回動半径Ｒ１よりも回動半径Ｒ２が小さくなる位置まで縮んでいるため、スイングアーム１７の長さを短くしても、本体部１８に対してスイングアーム１７が回動する際の、ハンド１２、１３の先端側部分や基端側部分とチャンバー４の奥側の壁面との干渉を防止することが可能になる。したがって、本形態では、スイングアーム１７を短くすることが可能になり、その結果、内部にスイングアーム１７が配置されるチャンバー４を前後方向で小型化することが可能になる。また、本形態では、スイングアーム１７の長さを短くすることが可能になるため、スイングアーム１７の厚さ（上下方向）の厚さを薄くしても、スイングアーム１７の剛性を確保することが可能になる。したがって、本形態では、スイングアーム１７の厚さを薄くすることが可能になり、その結果、内部にスイングアーム１７が配置されるチャンバー４を上下方向で小型化することが可能になる。   Further, in this embodiment, when the swing arm 17 rotates about the arm rotation center C4 in a state where the distal end side of the hands 12, 13 is disposed on the back side and the proximal end side of the hands 12, 13 is disposed on the near side. In addition, the arms 14 and 15 are contracted to a position where the turning radius R2 is larger than the turning radius R1, the distal ends of the hands 12 and 13 are disposed on the front side, and the proximal ends of the hands 12 and 13 are located on the back side. When the swing arm 17 is rotated about the arm rotation center C4 in the disposed state, the arms 14 and 15 are contracted to a position where the rotation radius R2 is smaller than the rotation radius R1, and thus the swing arm 17 Even if the length of 17 is shortened, interference between the distal end side portion and the proximal end side portion of the hands 12 and 13 and the inner wall surface of the chamber 4 when the swing arm 17 rotates with respect to the main body portion 18. Prevent Door is possible. Therefore, in this embodiment, the swing arm 17 can be shortened, and as a result, the chamber 4 in which the swing arm 17 is disposed can be downsized in the front-rear direction. In this embodiment, since the length of the swing arm 17 can be shortened, the rigidity of the swing arm 17 can be ensured even if the thickness (vertical direction) of the swing arm 17 is reduced. Is possible. Therefore, in this embodiment, the thickness of the swing arm 17 can be reduced, and as a result, the chamber 4 in which the swing arm 17 is disposed can be downsized in the vertical direction.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、アーム回動中心Ｃ４は、左右方向においてチャンバー４の中心に配置されているが、アーム回動中心Ｃ４は、左右方向においてチャンバー４の中心からずれた位置に配置されても良い。また、上述した形態では、アーム回動中心Ｃ４は、前後方向においてチャンバー４の中心よりも手前側に配置されているが、アーム回動中心Ｃ４は、前後方向においてチャンバー４の中心と一致する位置に配置されても良いし、前後方向においてチャンバー４の中心より奥側に配置されても良い。また、上述した形態では、上下方向から見たときに、アーム回動中心Ｃ４と支持部回動中心Ｃ１との距離は、前後方向におけるチャンバー４の中心とアーム回動中心Ｃ４との距離Ｌよりも長くなっているが、アーム回動中心Ｃ４と支持部回動中心Ｃ１との距離は、距離Ｌと等しくても良いし、距離Ｌより短くても良い。   In the embodiment described above, the arm rotation center C4 is disposed at the center of the chamber 4 in the left-right direction. However, the arm rotation center C4 may be disposed at a position shifted from the center of the chamber 4 in the left-right direction. . Further, in the above-described form, the arm rotation center C4 is disposed on the front side of the center of the chamber 4 in the front-rear direction, but the arm rotation center C4 is a position that coincides with the center of the chamber 4 in the front-rear direction. It may be arranged at the back of the chamber 4 in the front-rear direction. In the embodiment described above, the distance between the arm rotation center C4 and the support portion rotation center C1 when viewed from the vertical direction is greater than the distance L between the center of the chamber 4 and the arm rotation center C4 in the front-rear direction. However, the distance between the arm rotation center C4 and the support portion rotation center C1 may be equal to the distance L or may be shorter than the distance L.

上述した形態では、チャンバー４は、上下方向から見たときの形状が正方形状となるように形成されている。この他にもたとえば、チャンバー４は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とする長方形状となるように形成されても良いし、上下方向から見たときの形状が前後方向を長手方向とする長方形状となるように形成されても良い。また、上述した形態では、製造システム３は、５個のチャンバー（プロセスチャンバー）５〜９を備えているが、製造システム３が備えるプロセスチャンバーの数は、４個以下であっても良いし、６個以上であっても良い。   In the embodiment described above, the chamber 4 is formed so that the shape when viewed from the up-down direction is a square shape. In addition, for example, the chamber 4 may be formed so that the shape when viewed from the vertical direction is a rectangular shape whose longitudinal direction is the horizontal direction, or the shape when viewed from the vertical direction is the front-rear direction. It may be formed so as to have a rectangular shape with the length in the longitudinal direction. Moreover, in the form mentioned above, although the manufacturing system 3 is provided with the five chambers (process chamber) 5-9, the number of the process chambers with which the manufacturing system 3 is provided may be four or less, It may be 6 or more.

上述した形態では、アーム１４、１５は、第１アーム部２２と第２アーム部２３との２個のアーム部によって構成されているが、アーム１４、１５は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は有機ＥＬディスプレイ用の基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。   In the embodiment described above, the arms 14 and 15 are constituted by two arm parts, ie, the first arm part 22 and the second arm part 23, but the arms 14 and 15 are constituted by three or more arm parts. May be. Further, in the above-described embodiment, the transport object to be transported by the robot 1 is the organic EL display substrate 2, but the transport object to be transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display. However, it may be a semiconductor wafer or the like.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３ 製造システム
４ チャンバー（トランスファーチャンバー）
１２、１３ ハンド
１４、１５ アーム
１６ アーム支持部
１７ スイングアーム
１８ 本体部
２２ 第１アーム部（アーム部）
２３ 第２アーム部（アーム部）
Ｃ１ 支持部回動中心
Ｃ４ アーム回動中心
ＣＡ 円弧
Ｌ 第１方向におけるトランスファーチャンバーの中心とアーム回動中心との距離
Ｒ１ ハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径
Ｒ２ ハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径
Ｘ 第１方向
Ｘ１ 第４方向側
Ｘ２ 第３方向側
Ｙ 第２方向 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, transport object)
3 Manufacturing system 4 Chamber (transfer chamber)
12, 13 Hands 14, 15 Arm 16 Arm support 17 Swing arm 18 Body 22 First arm (arm)
23 Second arm part (arm part)
C1 Support Center Rotation Center C4 Arm Rotation Center CA Arc L L Distance between the center of the transfer chamber and the arm rotation center in the first direction R1 Rotation radius relative to the support section rotation center on the distal end side of the hand R2 Base end of the hand Turning radius with respect to the support center turning side on the side X first direction X1 fourth direction side X2 third direction side Y second direction

Claims (1)

搬送対象物が搭載される２個のハンドと、上下方向を回動の軸方向として２個の前記ハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される２本のアームと、上下方向を回動の軸方向として２本の前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、上下方向を回動の軸方向として前記アーム支持部が先端側に回動可能に連結されるスイングアームと、上下方向を回動の軸方向として前記スイングアームの基端側が回動可能に連結される本体部とを有する産業用ロボットと、
上下方向から見たときの形状が正方形状となるトランスファーチャンバーと、を備え、
２本の前記アームの基端側は、互いに隣接した状態で前記アーム支持部に連結され、
前記アームは、互いに相対回動可能に連結される少なくとも２個のアーム部を有する多関節アームであるとともに、前記ハンドの先端が前記アーム支持部から離れるように伸びる位置と前記ハンドの先端が前記アーム支持部に近づくように縮む位置との間で伸縮可能となっており、
上下方向から見たときの、前記スイングアームに対する前記アーム支持部の回動中心を支持部回動中心とすると、
前記アームは、前記搬送対象物が前記ハンドに搭載された状態における前記搬送対象物を含めた前記ハンドの先端側の前記支持部回動中心に対する回動半径よりも前記ハンドの基端側の前記支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置まで縮むことが可能になっており、
前記トランスファーチャンバーの内部に、前記ハンド、前記アーム、前記アーム支持部および前記スイングアームが配置され、
上下方向から見たときに、正方形状をなす前記トランスファーチャンバーの一辺に平行な方向を第１方向とし、前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、前記第１方向の一方側を第３方向側とし、前記第３方向側の反対側を第４方向側とすると、
上下方向から見たときに、前記本体部に対する前記スイングアームの回動中心であるアーム回動中心は、前記第２方向において前記トランスファーチャンバーの中心に配置されるとともに前記第１方向において前記トランスファーチャンバーの中心よりも前記第４方向側に配置され、
上下方向から見たときに、前記支持部回動中心と前記アーム回動中心との距離は、前記第１方向における前記トランスファーチャンバーの中心と前記アーム回動中心との距離よりも長くなっており、
前記アーム回動中心を中心にして前記スイングアームを回転させたときの、上下方向から見たときの前記支持部回動中心の軌跡を仮想円とすると、
前記スイングアームは、上下方向から見たときに前記仮想円の一部をなす円弧であって前記第１方向における前記トランスファーチャンバーの中心よりも前記第３方向側の前記円弧上を前記支持部回動中心が通過する範囲で前記アーム回動中心を中心に回動し、
前記ハンドの先端側が前記第３方向側に配置され前記ハンドの基端側が前記第４方向側に配置された状態で前記スイングアームが前記アーム回動中心を中心に回動するときには、前記アームは、前記搬送対象物が前記ハンドに搭載された状態における前記搬送対象物を含めた前記ハンドの先端側の前記支持部回動中心に対する回動半径よりも前記ハンドの基端側の前記支持部回動中心に対する回動半径が大きくなる位置まで縮んでおり、
前記ハンドの先端側が前記第４方向側に配置され前記ハンドの基端側が前記第３方向側に配置された状態で前記スイングアームが前記アーム回動中心を中心に回動するときには、前記アームは、前記搬送対象物が前記ハンドに搭載された状態における前記搬送対象物を含めた前記ハンドの先端側の前記支持部回動中心に対する回動半径よりも前記ハンドの基端側の前記支持部回動中心に対する回動半径が小さくなる位置まで縮んでいることを特徴とする製造システム。 Two hands on which the object to be transported is mounted, two arms each of which is pivotably connected to the distal end side with the up-down direction as an axial direction of rotation, and the up-down direction. An arm support that pivotally connects the proximal ends of the two arms as the axial direction of movement, and the arm support that is pivotally connected to the distal end with the vertical direction as the axial direction of rotation. An industrial robot having a swing arm, and a main body that is pivotally connected to a base end side of the swing arm with the vertical direction as an axial direction of rotation ;
A transfer chamber having a square shape when viewed from above and below ,
The base end sides of the two arms are connected to the arm support portion in a state of being adjacent to each other,
The arm is an articulated arm having at least two arm parts that are connected to each other so as to be rotatable relative to each other, and the position where the tip of the hand extends away from the arm support part and the tip of the hand It can be expanded and contracted with the position that shrinks to approach the arm support part,
When the rotation center of the arm support part with respect to the swing arm when viewed from the vertical direction is the support part rotation center,
The arm is configured such that the proximal end side of the hand is closer to the turning radius than the turning radius of the support portion turning center on the distal end side of the hand including the transport target object in a state where the transport target object is mounted on the hand. It is possible to shrink to a position where the turning radius with respect to the support part turning center becomes large ,
Inside the transfer chamber, the hand, the arm, the arm support portion and the swing arm are arranged,
When viewed from the vertical direction, the direction parallel to one side of the square transfer chamber is defined as the first direction, the direction orthogonal to the first direction is defined as the second direction, and one side of the first direction is defined as the first direction. When the third direction side and the opposite side of the third direction side as the fourth direction side,
When viewed from above and below, an arm rotation center that is the rotation center of the swing arm with respect to the main body is disposed at the center of the transfer chamber in the second direction and the transfer chamber in the first direction. Is arranged on the fourth direction side from the center of
When viewed from the vertical direction, the distance between the support rotation center and the arm rotation center is longer than the distance between the transfer chamber center and the arm rotation center in the first direction. ,
When a locus of the support part rotation center when viewed from the up and down direction when the swing arm is rotated around the arm rotation center is a virtual circle,
The swing arm is an arc that forms a part of the imaginary circle when viewed from above and below, and is arranged on the support portion around the arc on the third direction side of the center of the transfer chamber in the first direction. Rotate around the arm rotation center in the range that the movement center passes,
When the swing arm rotates about the arm rotation center in a state where the distal end side of the hand is disposed on the third direction side and the proximal end side of the hand is disposed on the fourth direction side, the arm is , The support portion rotation on the base end side of the hand with respect to the turning radius with respect to the rotation center of the support portion on the distal end side of the hand including the transfer target object in a state where the transfer object is mounted on the hand. It has shrunk to a position where the turning radius with respect to the center of movement becomes large,
When the swing arm rotates around the arm rotation center in a state where the distal end side of the hand is disposed on the fourth direction side and the proximal end side of the hand is disposed on the third direction side, the arm is , The support portion rotation on the base end side of the hand with respect to the turning radius with respect to the rotation center of the support portion on the distal end side of the hand including the transfer target object in a state where the transfer object is mounted on the hand. A manufacturing system characterized in that the manufacturing system is contracted to a position where the turning radius with respect to the moving center becomes small.
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