JP6305655B1 - 配管系の熱伝導被覆体、配管系の加熱装置、熱伝導被覆体の製造方法及びその取付方法、並びに、加熱装置の製造方法及びその取付方法 - Google Patents

Abstract

取り付けや取り外しの作業性を向上できる熱伝導被覆体を提供する。熱伝導被覆体（１０）は連結穴（１１ｃ）が形成されている第１熱伝導部材（１１）と連結穴（１２ｃ）が形成されている第２熱伝導部材（１２）とを有している。さらに熱伝導被覆体（１０）は、連結穴（１１ｃ）に差し込まれる第１差し込み部（１３ａ）と連結穴（１２ｃ）に差し込まれる第２差し込み部（１３ｂ）とを有している連結部材（１３）を有している。差し込み部（１３ａ）、（１３ｂ）のうち少なくとも一方は連結部材（１３）の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である。

Description

本発明は、配管や配管に接続されているバルブなどで構成される配管系を覆う熱伝導被覆体、及び配管系を加熱する加熱装置に関する。

ガスや液体などの流体が流れる配管を備えている装置（例えば半導体の製造装置）においては、流体を高温に保つために、配管の外側にヒータが取り付けられる場合がある。径の小さい配管が利用される場合、配管の外側にヒータが密着しないために、配管の一部の温度が低くなり、配管全体の温度が均一化されない場合がある。これを防止するため、従来、アルミニウムなどの熱伝導率が高い材料で形成されたブロックで配管の外側を覆い、ブロックの外側をヒータで覆う場合がある（例えば、下記特許文献１、このブロックをここでは「被覆ブロック」と称する）。被覆ブロックは円筒状であり、その内側に配管が配置されている。この構造によると、被覆ブロックにヒータを比較的容易に密着させることができるので、配管全体の温度を均一化し易くなる。

特開２００７−２９８６号公報

被覆ブロックは、それぞれが円筒の半分の形状を有する２つの部材で構成されている（ここでは、この部材を「ブロック半体」と称する）。この２つのブロック半体が合体することで円筒状の被覆ブロックが構成される。２つのブロック半体の合体には、被覆ブロックの外側を取り囲むリングや螺子などの固定具が利用される。ところが、このような固定具を利用する構造では、被覆ブロックの取り付けや取り外しの作業性が良くない。

本発明の目的の一つは、取り付けや取り外しの作業性を向上できる熱伝導被覆体、加熱装置、熱伝導被覆体の製造方法及びその取付方法、並びに、加熱装置の製造方法及びその取付方法を提供することにある。

上記課題を解決するための熱伝導被覆体は、金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有し、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材とを合体させる連結部材とを有している。前記第１差し込み部と前記第２差し込み部の少なくとも一方の差し込み部は、前記連結部材の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である。この熱伝導被覆体によれば、熱伝導部材の取り付けや取り外しの作業性を向上できる。

上記課題を解決するための加熱装置は、前記熱伝導被覆体と、前記熱伝導被覆体を覆い且つ前記熱伝導被覆体を通して前記配管系を加熱するヒータとを有している。この加熱装置によれば、熱伝導部材の取り付けや取り外しの作業性を向上できる。

上記課題を解決するための熱伝導被覆体の製造方法及びその取付方法は、次の通りである。これらの方法に係る熱伝導被覆体は、金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有する連結部材と、を備える。
前記熱伝導被覆体の製造方法は、前記第１差し込み部を前記第１の穴に差し込むことによって、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能な第２の差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材を前記第１熱伝達部材に取り付ける工程を有する。
前記熱伝導被覆体の取付方法は、前記第１差し込み部が前記第１の穴に差し込まれて、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である前記第２差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材が前記第１熱伝導部材に取り付けられている状態で、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材が前記配管系を覆うようにそれらを合体させるために、前記第２差し込み部を前記第２熱伝導部材の前記第２の穴に差し込む工程を有する。

上記課題を解決するための加熱装置の製造方法及びその取付方法は、次の通りである。これらの方法に係る加熱装置は、金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有する連結部材と、前記熱伝導被覆体を覆い、前記熱伝導被覆体を通して前記配管系を加熱するためのヒータとを備える。
前記加熱装置の製造方法は、前記第１差し込み部を前記第１の穴に差し込むことによって、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能な第２の差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材を前記第１熱伝達部材に取り付ける工程を有する。
前記加熱装置の取付方法は、前記第１差し込み部が前記第１の穴に差し込まれて、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である前記第２差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材が前記第１熱伝導部材に取り付けられている状態で、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材が前記配管系を覆うようにそれらを合体させるために、前記第２差し込み部を前記第２熱伝導部材の前記第２の穴に差し込む工程を有する。

本発明の実施形態に係る加熱装置の例を示す斜視図である。 加熱装置が備えている熱伝導被覆体の分解斜視図である。 加熱装置の断面図であり、その切断面の位置は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線で示されている。この図では、ヒータは熱伝導被覆体の外側を取り囲んでいる。 図３の拡大図である。 図４のＶ−Ｖ線で示す切断面で得られる断面図である。 バルブユニットに取り付けられている熱伝導被覆体の例を示す平面図である。 図６Ａで例示する熱伝導被覆体の正面図である。 図６Ａ及び図６Ｂで例示する熱伝導被覆体の斜視図である。 図７に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線での断面図である。

以下、本発明の一実施形態について説明する。図１は本発明の実施形態の一例である加熱装置１を示す斜視図である。図１では、ヒータ２０が開かれている様子が示されている。図２は加熱装置１が備えている熱伝導被覆体１０の分解斜視図である。図３は加熱装置１の断面図であり、その切断面の位置は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線で示されている。図３では、図１とは異なり、ヒータ２０が熱伝導被覆体１０の外側を覆っている様子が示されている。図４は図３の拡大図である。図５は図４のＶ−Ｖ線で示す切断面で得られる断面図である。

加熱装置１は配管系の外側を覆う熱伝導被覆体と、熱伝導被覆体の外側を覆い配管系を加熱するためのヒータとを有している。ここで配管系とは、配管や、配管に接続されているバルブ、配管の継手、エルボなどを含む。図１に示すように、本実施形態では、加熱装置１は直線状に伸びている配管１００を覆う熱伝導被覆体１０を有している。また、加熱装置１は熱伝導被覆体１０の外側を覆うヒータ２０を有している。配管１００は、例えば１／８インチ配管や、１／４インチ配管、３／８インチ配管、１／２インチ配管など径が比較的小さい配管である。

図１に示すように、熱伝導被覆体１０は筒状であり、その内側に配管１００が配置されている。熱伝導被覆体１０は全体として、例えば略円形の断面を有する筒状である。熱伝導被覆体１０は略四角形の断面を有する筒状でもよい。熱伝導被覆体１０は第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを有している。各熱伝導部材１１、１２は、熱伝導被覆体１０の軸線Ｃ１を中心とする円弧状の断面を有する部材である。言い換えれば、熱伝導部材１１、１２のそれぞれは、円筒の略半分の形状を有している。熱伝導部材１１、１２は軸線Ｃ１に直交する方向で合体して、円筒状の熱伝導被覆体１０を構成している。換言すれば、熱伝導被覆体１０は、配管系を挟持又は覆うことができるように熱伝導部材１１、１２同士が合体してなる。

熱伝導部材１１、１２は比較的高い熱伝導率を有する金属で形成されている。熱伝導部材１１、１２は例えばアルミニウムで形成される。熱伝導部材１１、１２は例えば銅で形成されてもよい。熱伝導部材１１、１２のそれぞれは金属によって一体的に形成されている。例えば、熱伝導部材１１、１２は、軸線Ｃ１の方向に材料を押し出す押し出し成形や、鋳造によって一体的に形成される。後述するように、熱伝導部材１１、１２には穴１１ｃ、１２ｃがそれぞれ形成されている。これら穴１１ｃ、１２ｃは、成型品に切削加工を施すことによって形成される。

図３に示すように、熱伝導部材１１、１２は互いに向き合う面１１ａ、１２ａをそれぞれ有している（面１１ａ、１２ａを「対向面」と称する）。第１熱伝導部材１１の対向面１１ａには溝１１ｂが形成され、第２熱伝導部材１２の対向面１２ａには溝１２ｂが形成されている（図２参照）。溝１１ｂ、１２ｂの内側に配管１００が配置されている。好ましくは、溝１１ｂ、１２ｂの内面は配管１００の外面に合わせて湾曲し、配管１００の外面に密着する。すなわち、溝１１ｂ、１２ｂの内面の全体が配管１００の外面に接する。これによって、配管１００を均一に加熱することができる。熱伝導部材１１、１２の構造は熱伝導被覆体１０の例に限られない。例えば、熱伝導部材１１、１２の一方にだけ溝が形成され、その溝に配管１００が配置されてもよい。

図３に示すように、第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２との間に配管１００が配置されている状態で、対向面１１ａ、１２ａの間には隙間Ｇ１が設けられている。これによると、溝１１ｂ、１２ｂの内面と配管１００の外面との密着性が確保し易くなる。また配管１００から第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを取り外す際には、隙間Ｇ１に指をかけて第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを互いに離間させることができるので作業効率（具体的には取外し効率又は解体効率）が良い。なお、このような隙間Ｇ１は必ずしも設けられていなくてもよい。

図３に示すように、第１熱伝導部材１１の対向面１１ａには穴１１ｃが形成されている。また、第２熱伝導部材１２の対向面１２ａには穴１２ｂが形成されている（以下ではこれらの穴１１ｃ、１２ｃを「連結穴」と称する）。連結穴１１ｃ、１２ｃは互いに対応する位置に形成され、軸線Ｃ１に直交する方向において互いに向き合っている。熱伝導被覆体１０は熱伝導部材１１、１２とは別個に形成された連結部材１３を有している。連結部材１３は連結穴１１ｃ、１２ｃに差し込まれて熱伝導部材１１、１２を合体させる。熱伝導被覆体１０の例では、連結部材１３はその差し込み方向に細長いピン状である。

第１熱伝導部材１１の対向面１１ａには複数の連結穴１１ｃが形成されている。第２熱伝導部材１２の対向面１２ａにも複数の連結穴１２ｃが形成されている。詳細には、第１熱伝導部材１１の対向面１１ａは、溝１１ｂの一方側と、溝１１ｂを挟んで反対側とに連結穴１１ｃを有している（図３参照）。また、対向面１１ａは、熱伝導被覆体１０の軸線Ｃ１に沿った方向（配管１００の延伸方向）において並ぶ複数の連結穴１１ｃを有している。熱伝導被覆体１０の一例では、第１熱伝導部材１１の両端部に２つの連結穴１１ｃが形成されている。第１熱伝導部材１１と同様に、第２熱伝導部材１２の対向面１２ａは、溝１２ｂの一方側と、溝１２ｂを挟んで反対側とに連結穴１２ｃを有している（図３参照）。また、対向面１２ａは、熱伝導被覆体１０の軸線Ｃ１に沿った方向（配管１００の延伸方向）において並ぶ複数の連結穴１２ｃを有している。連結穴１１ｃ、１２ｃの数や位置は、熱伝導被覆体１０の例に限られない。例えば、熱伝導部材１１、１２のそれぞれは軸線Ｃ１に沿った方向に並ぶ３つの連結穴１１ｃ、１２ｃを有してもよい。

図３に示すように、連結部材１３は第１熱伝導部材１１の連結穴１１ｃに差し込まれる部分１３ａと、第２熱伝導部材１２の連結穴１２ｃに差し込まれる部分１３ｂとを有している（以下では、部分１３ａを「第１差し込み部」と称し、部分１３ｂを「第２差し込み部」と称する）。連結部材１３は、差し込み部１３ａ、１３ｂが連結部材１３の差し込み方向に対して直交する方向、すなわち連結穴１１ｃ、１２ｃの径方向に弾性変形可能となるように構成されている。言い換えると、第１差し込み部１３ａは第１熱伝導部材１１の連結穴１１ｃのサイズに合わせて弾性変形可能である。第２差し込み部１３ｂは第２熱伝導部材１２の連結穴１２ｃのサイズに合わせて弾性変形可能である。熱伝導被覆体１０のこの構造によると、螺子や熱伝導部材１１、１２の外周を囲むリング状の固定具を利用して熱伝導部材１１、１２を合体させる構造に比べて、熱伝導部材１１、１２の取り付けや取り外しの作業性を向上できる。

連結部材１３は金属によって形成されている。例えば、連結部材１３はステンレス、鋼などの鉄合金、アルミニウムなどで形成される。連結部材１３の材料はこれに限られない。例えば連結部材１３は樹脂で形成されてもよい。

図３及び図５に示すように、熱伝導被覆体１０の例では、連結部材１３は、連結部材１３の差し込み方向に伸びている筒状であり、連結部材１３には、連結部材１３の延伸方向に沿ったスリット１３ｃが形成されている。連結部材１３は所謂スプリングピンである。スリット１３ｃは第１差し込み部１３ａと第２差し込み部１３ｂとに亘って形成されている。詳細には、スリット１３ｃは連結部材１３の一方の端部（図３において上端）から連結部材１３の他方の端部（図３において下端）まで続いている。スリット１３ｃの幅Ｗ１（図５参照）が変化することによって、連結部材１３の径は変化する。言い換えれば、連結部材１３はその径が変化するように弾性変形可能である。熱伝導被覆体１０の例では、スリット１３ｃは連結部材１３の延伸方向に伸びている波形状を有している。しかしながら、スリット１３ｃは直線状でもよい。

連結部材１３（第１差し込み部１３ａと第２差し込み部１３ｂ）の自由状態の外径は、連結穴１１ｃ、１２ｃの径以上になっている（「自由状態」は連結部材１３が連結穴１１ｃ、１２ｃに差し込まれていない状態である）。また連結部材１３が連結穴１１ｃ、１２ｃに差し込まれている状態では、連結部材１３の自由状態よりも、スリット１３ｃの幅は小さくなっている。したがって、連結部材１３が連結穴１１ｃ、１２ｃに差し込まれている状態では、連結部材１３の外面はその弾性力によって連結穴１１ｃ、１２ｃの内面に押しつけられている。これによって、連結部材１３の外面と連結穴１１ｃ、１２ｃの内面との間に摩擦が生じ、連結部材１３の差し込み部１３ａ、１３ｂは連結穴１１ｃ、１２ｃにそれぞれ固定されている。

連結部材１３の形状・構造は、熱伝導被覆体１０の例に限られない。例えば、第１差し込み部１３ａと第２差し込み部１３ｂのうち一方の差し込み部だけが、その径が変化するように弾性変形可能であってもよい。すなわち、一方の差し込み部だけにスリット１３ｃが形成されてもよい。この場合、他方の差し込み部は連結穴に圧入されてもよい。さらに他の例では、連結部材１３は２つの連結穴１１ｃ、１２ｃに差し込まれる板ばねを有してもよい。この場合、板ばねの一方の端部は連結穴１１ｃの内面に押しつけられ、板ばねの一方の端部は連結穴１２ｃの内面に押しつけられてもよい。連結部材１３は複数の板ばねで構成されてもよい。

熱伝導被覆体１０の例では、連結部材１３は円形の断面を有する筒状である（図５参照）。連結穴１１ｃ、１２ｃは平面視で円形の穴である。この構造によれば、図５に示されるように、連結部材１３の外面が広い範囲に亘って連結穴１１ｃ、１２ｃの内面に接する。そのため、熱伝導部材１１、１２の合体強度が確保し易くなる。また、熱伝導被覆体１０が有している円筒状の連結部材１３によれば、連結部材１３の製造が容易となる。例えば、連結部材１３は小さな板状部材を円筒状に丸めることによって形成できる。

連結部材１３は、その自由状態において、一方の端部から他方の端部に亘って同じ外径を有している（上述したように、「自由状態」とは連結部材１３が連結穴１１ｃ、１２ｃに差し込まれていない状態である）。一方、第２熱伝導部材１２の連結穴１２ｃの少なくとも一部は、第１熱伝導部材１１の連結穴１１ｃの径よりも大きな径を有している。具体的には、図４に示すように、連結穴１２ｃの開口端寄りの部分１２ｄは、連結穴１１ｃの径よりも大きな径を有している（この部分１２ｄを、以下では「大径部」と称する）。より具体的には、連結穴１２ｃの縁は面取りされている。それによって、連結穴１１ｃに向かって（すなわち、連結穴１２ｃの開口端に向かって）連結穴１２ｃの径が徐々に大きくなるように、大径部１２ｄに斜面が形成されている。連結部材１３を連結穴１２ｃに差し込むときに、連結部材１３の先端がこの斜面によってガイドされるので、作業性を向上できる。第１熱伝導部材１１の連結穴１１ｃにはそのような面取りはなされていない。そのため、連結部材１３の第１差し込み部１３ａが連結穴１１ｃに固定されている力は、第２差し込み部１３ｂが連結穴１２ｃに固定されている力よりも大きい。この構造によると、図２に示すように、第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを分離するとき、連結部材１３が第１熱伝導部材１１に固定されている状態が維持される。これによって、熱伝導被覆体１０の取り外しの作業性を向上できる。また、面取りを利用する上述の構造によれば、煩雑な作業を要することなく第２熱伝導部材１２を形成できる。

上述したように、熱伝導部材１１、１２には複数の連結穴１１ｃ、１２ｃが形成されている。全ての連結穴１２ｃは連結穴１１ｃよりも大きな径を有する大径部１２ｄを有している。そのため、図２に示すように、第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを分離するとき、全ての連結部材１３が第１熱伝導部材１１に固定されている状態が維持される。このことによって、熱伝導被覆体１０の取り外しの作業性や、その後の取り付けの作業性をさらに向上できる。連結穴１２ｃの大径部１２ｄに形成されるのは必ずしも斜面（面取り）でなくてもよい。すなわち、大径部１２ｄの径は連結穴１２ｃの深さ方向において一定でもよい。

熱伝導被覆体１０の例では、連結穴１２ｃの径は連結穴１１ｃの径よりも大きい（連結穴１２ｃの径は、例えば連結穴１１ｃの径の１．１倍以下、１．３倍以下、１．５倍以下、又は１．７倍以下で構成することができる）。これによって、連結部材１３の第１差し込み部１３ａが連結穴１１ｃに固定されている力が、第２差し込み部１３ｂが連結穴１２ｃに固定されている力よりも大きくなる。その結果、第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを分離するとき、連結部材１３が第１熱伝導部材１１に固定されている状態が維持される。これによって、熱伝導被覆体１０の取り外しの作業性を向上できる。他の例では、第１差し込み部１３ａの連結穴１１ｃへの固定力（摩擦力）が、第２差し込み部１３ｂの連結穴１２ｃへの固定力（摩擦力）よりも大きくなるように、連結部材１３が形成されてもよい。具体的には、第１差し込み部１３ａの外径が第２差し込み部１３ｂの外径よりも大きくてもよい。この場合、第１熱伝導部材１１の連結穴１１ｃの径は第２熱伝導部材１２の連結穴１２ｃの径と等しくてもよい。その他の例として、第１差し込み部１３ａの長さと第２差し込み部１３ｂの長さについて一方が他方より長くなるように構成して、連結穴１１ｃ、１２ｃへの固定力（摩擦力）を異ならせることも可能である。

図３に示すように、熱伝導被覆体１０の例では、連結穴１１ｃは第１熱伝導部材１１を貫通していない。すなわち、連結穴１１ｃは底部を有している。そのため、第１熱伝導部材１１の外周面１１ｅ（ヒータ２０が接する面、図１参照）には、連結穴１１ｃは表れていない。同様に、連結穴１２ｃは第２熱伝導部材１２を貫通していない。そのため、第２熱伝導部材１２の外周面１２ｅ（ヒータ２０が接する面、図１参照）には、連結穴１２ｃは表れていない。その結果、図１に示すように、熱伝導部材１１、１２が合体している状態で、連結部材１３は熱伝導被覆体１０の外面に表れない。この構造によると、熱伝導被覆体１０の外周面にヒータ２０に接しない部分が生じるのを防ぐことができる。

熱伝導被覆体１０の例に換えて、連結穴１１ｃは第１熱伝導部材１１を貫通してもよい。同様に、連結穴１２ｃは第２熱伝導部材１２を貫通してもよい。この場合でも、連結部材１３は、その端部が第１熱伝導部材１１の外周面１１ｅと第２熱伝導部材１２の外周面１２ｅとから突出しない長さを有するのが望ましい。

連結部材１３の長さは、好ましくは、連結部材１３が熱伝導部材１１、１２を図４に示すように合体している状態で連結部材１３の少なくとも一方の端部が連結穴１１ｃ、１２ｃの底部（最も深い部分）に当たらないように、設定される。こうすることによって、熱伝導部材１１、１２間の隙間Ｇ１が確実に確保できる。連結部材１３の直径Ｄと長さＬとの比（Ｌ／Ｄ）は、例えば１．８から１２．５の範囲である。また、連結部材１３の直径Ｄと厚さｔとの比（ｔ／Ｄ）は、例えば０．０９から０．１９の範囲である。例えば、連結部材１３の直径Ｄは約２ｍｍ（具体的には２．１５ｍｍから２．２５ｍｍ）である。この場合、連結部材１３の長さＬは例えば約４ｍｍから約２０ｍｍであり、連結部材１３の厚さｔは例えば約０．２ｍｍから約０．４ｍｍとすることができる。連結部材１３の寸法は、これに限られない。例えば、連結部材１３の直径Ｄは２ｍｍより小さくてもよいし、２ｍｍより大きくてもよい。例えば、連結部材１３の寸法は、直径Ｄが約１．６ｍｍから２．７５ｍｍの範囲、長さＬが約３ｍｍから２０ｍｍの範囲、厚さｔが約０．１５ｍｍから０．５ｍｍの範囲で構成してもよい。

図４に示すように、第１差し込み部１３ａの長さＬ１は第１差し込み部１３ａの直径Ｄ１よりも大きいのが好ましい。同様に、第２差し込み部１３ｂの長さＬ２は第２差し込み部１３ｂの直径Ｄ２よりも大きいのが好ましい。こうすることによって、差し込み部１３ａ、１３ｂの連結穴１１ｃ、１２ｃへの固定力を十分に確保することが容易となる。差し込み部１３ａ、１３ｂの直径Ｄ１、Ｄ２（即ち連結部材１３の直径Ｄ）は、上述したように、例えば約２ｍｍである。この場合、差し込み部１３ａ、１３ｂのそれぞれの長さは、２ｍｍ以上であるのが好ましい。

上述したように、加熱装置１はヒータ２０を有している。図３に示すように、ヒータ２０は熱伝導被覆体１０の外側を全周に亘って覆う。ヒータ２０は、例えば熱伝導被覆体１０の外側を覆うように丸めたり、熱伝導被覆体１０を露出するように広げたりできる柔軟性を有する。この場合、ヒータ２０は、熱伝導被覆体１０の外側を覆うように丸められた状態で固定される。例えば、ヒータ２０の外側にベルト（不図示）が巻かれたり、ヒータ２０の縁に面ファスナー（不図示）が設けられる。

ヒータ２０の構造は、ここで説明する加熱装置１の例に限られない。例えば、ヒータ２０は必ずしも柔軟性を有するものでなくてもよい。この場合、ヒータ２０はそれぞれが円弧状の断面を有する複数のパーツで構成されてもよい。そして、それらが組み合わされることで、ヒータ２０は熱伝導被覆体１０の外側を全周に亘って覆ってもよい。

図１に示すように、加熱装置１の例では、ヒータ２０は電気を受けて発熱する電熱線２１を有している。電熱線２１は例えばニクロム線やスレンレス線である。また、ヒータ２０は電熱線２１を収容する収容部２２を有している。収容部２２は、例えば袋２２ａ（図３参照）と、熱伝導性を有する繊維や粒子で構成され、袋２２ａの内側に充填される熱伝導部２２ｂ（図３参照）とを有する。

上述したように、熱伝導被覆体１０は、連結穴１１ｃが形成されている対向面１１ａを有している第１熱伝導部材１１と、連結穴１２ｃが形成されている対向面１２ａを有している第２熱伝導部材１２と、連結穴１１ｃに差し込まれる第１差し込み部１３ａと連結穴１２ｃに差し込まれる第２差し込み部１３ｂとを有し、第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを合体させる連結部材１３と、を有している。第１差し込み部１３ａと第２差し込み部１３ｂは、連結部材１３の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である。この熱伝導被覆体１０によれば、配管１００への熱伝導部材１１、１２の取り付けの作業性や、熱伝導部材１１、１２の取り外しの作業性を向上できる。

熱伝導被覆体１０及び加熱装置１の製造過程では、連結部材１３の第１差し込み部１３ａが第１熱伝導部材１１の連結穴１１ｃに差し込まれる。複数の連結穴１１ｃが第１熱伝導部材１１に形成されている場合には、各連結穴１１ｃに第１差し込み部１３ａを差し込む。このことによって、第２差し込み部１３ｂが第１熱伝導部材１１の対向面１１ａから突出するように連結部材１３が第１熱伝達部材１１に取り付けられる。熱伝導被覆体１０及び加熱装置１の配管系への取付過程においては、第２差し込み部１３ｂが第１熱伝導部材１１の対向面１１ａから突出している状態で、第２差し込み部１３ｂが第２熱伝導部材１２の連結穴１２ｃに差し込まれる。このことによって、第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２が合体し、配管系を覆う。その後、ヒータ２０で熱伝導被覆体１０を覆う。

なお、本発明は以上説明した実施形態に限られず、種々の変更が可能である。

例えば、配管１００は屈曲部を有してもよい。この場合、２つの熱伝導部材１１、１２の一方又は双方に、屈曲部との干渉を避けるための切り欠きが形成されてもよい。

また、加熱装置１は、配管１００の延伸方向に並ぶ複数の熱伝導部材を有してもよい。この場合、連結穴は熱伝導部材の端面（例えば、図２の符号１１ｆ、１２ｆ参照）に形成され、連結部材１３は配管１００の延伸方向に並ぶ２つの熱伝導部材の合体に利用されてもよい。

熱伝導被覆体１０は配管系に設けられるバルブを覆ってもよい。この場合、熱伝導被覆体１０は複数の板状の熱伝導部材を有してもよい。そして、それら複数の熱伝導部材が合体することによってバルブを取り囲む箱状の熱伝導被覆体１０を形成してもよい。この場合、板状の熱伝導部材の表面や端面に連結穴が形成され、その連結穴に連結部材１３が差し込まれてもよい。

図６Ａ、図６Ｂ、図７、および図８は箱状の熱伝導被覆体の一例である熱伝導被覆体１１０を示す図である。図６Ａ及び図６Ｂはそれぞれ、バルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂに取り付けられている熱伝導被覆体１１０の平面図及び正面図である。図７は熱伝導被覆体１１０の斜視図である。図８は図７に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線での熱伝導被覆体１１０の断面図である。

図６Ａ及び図６Ｂの例では、配管系はバルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂと連結管１２１とを有している。各バルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂはバルブを収容している本体１２０ａと、本体１２０ａに取り付けられているアクチュエータ１２０ｂとを有している。連結管１２１は２つのバルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂの本体１２０ａを連結している。

熱伝導被覆体１１０は複数の板状の熱伝導部材で構成され、それらが互いに合体することによって箱状となっている。図７に示すように、熱伝導被覆体１１０は熱伝導部材として、例えば、底プレート１１１、サイドプレート１１２、上部プレート１１３、及び仕切プレート１１４を有する。バルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂの本体１２０ａは底プレート１１１の前部に配置され、底プレート１１１に取り付けられている。底プレート１１１の後部の右側及び左側にサイドプレート１１２が配置され、サイドプレート１１２の上側に上部プレート１１３が配置されている。底プレート１１１、サイドプレート１１２、及び上部プレート１１３は箱状であり、連結管１２１を取り囲んでいる。２つのバルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂの間に仕切プレート１１４が配置されている。プレート１１１〜１１４は、上述した熱伝導部材１１、１２と同様に、例えばアルミニウムで形成される。プレート１１１〜１１４は例えば銅で形成されてもよい。

互いに隣り合う２枚のプレートは、上述した連結部材１３によって合体している。図８に示すように、例えば、底プレート１１１は、連結穴１１１ｃが形成されている対向面１１１ａを有している。サイドプレート１１２は、連結穴１１２ｃが形成されている対向面１１２ａを有している。連結部材１３は、連結穴１１１ｃに差し込まれる第１差し込み部１３ａと連結穴１１２ｃに差し込まれる第２差し込み部１３ｂとを有している。上述したように、第１差し込み部１３ａと第２差し込み部１３ｂは、連結部材１３の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である。上部プレート１１３とサイドプレート１１２との合体、及び仕切プレート１１４と底プレート１１１との合体にも連結部材１３が使用されている。この熱伝導被覆体１１０によれば、配管系へのプレート１１１〜１１４の取り付けの作業性や、プレート１１１〜１１４の取り外しの作業性を向上できる。互いに隣り合う２枚のプレートの合体には複数の連結部材１３が利用されてもよい。また、熱伝導被覆体１１０はヒータ２０によって覆われてもよい。

なお、バルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂや連結管１２１の構造は、図６Ａ、図６Ｂの例に限られず、適宜変更されてよい。また、熱伝導被覆体１１０の構造も、バルブユニット１２０Ａ、１２０Ｂや連結管１２１の構造に合わせて変更されてよい。例えば、熱伝導被覆体１１０は１つのバルブユニットの本体を取り囲む箱状に形成されてもよい。

さらに他の例として、熱伝導被覆体１０は配管系に設けられるエルボを覆ってもよい。この場合、熱伝導被覆体１０の熱伝導部材１１、１２には、上述した直線的に伸びる溝１１ｂ、１２ｂに換えて、エルボに合わせて湾曲する溝が形成されてもよい。

熱伝導部材１１、１２のうちの一方には、温度センサの検知部が差し込まれる穴が形成されてもよい。この穴は、例えば、熱伝導部材１１、１２の外周面１１ｅ、１２ｅに形成される。

熱伝導被覆体１０は、第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とが連結部材１３により連結（合体）した連結状態から第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを分離（離間）させて連結解除するための連結解除溝を有してもよい。連結解除溝は例えば、熱伝導部材１１、１２のうちの少なくとも一方において、ドライバー等の棒状工具の先端部側が差し込まれる溝（切欠部）として形成されてもよい。この溝は、例えば、熱伝導部材１１、１２の外周面１１ｅ、１２ｅ及び／又は端面１１ｆ、１２ｆかつ対向面１１ａ、１２ａに形成される。かかる連結解除溝に棒状工具を差し込んでてこの原理を利用することにより、連結部材１３により連結状態にある第１熱伝導部材１１と第２熱伝導部材１２とを容易に分離して連結解除でき、熱伝導被覆体１０の取り外しの作業性をより一層向上できる。

Claims (16)

1. 金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、
   金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、
   前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有し、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材とを合体させる連結部材と、を有し、
   前記第１差し込み部と前記第２差し込み部の少なくとも一方の差し込み部は、前記連結部材の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能であり、
   前記第１差し込み部が前記第１の穴に固定される力は、前記第２差し込み部が前記第２の穴に固定される力よりも大きい
   ことを特徴とする配管系の熱伝導被覆体。
2. 前記第１差し込み部と前記第２差し込み部の双方は、前記連結部材の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である
   ことを特徴とする請求項１に記載の配管系の熱伝導被覆体。
3. 前記連結部材は、前記連結部材の差し込み方向に伸びている筒状であり且つ前記連結部材の径が変化するように弾性変形可能である
   ことを特徴とする請求項２に記載の配管系の熱伝導被覆体。
4. 前記連結部材は、前記連結部材の差し込み方向に伸びており且つ前記連結部材の差し込み方向に沿ったスリットが形成されている筒状である
   ことを特徴とする請求項３に記載の配管系の熱伝導被覆体。
5. 前記少なくとも一方の前記差し込み部は、前記連結部材の差し込み方向に伸びている筒状であり、且つ前記少なくとも一方の前記差し込み部の径が変化するように弾性変形可能である
   ことを特徴とする請求項１に記載の配管系の熱伝導被覆体。
6. 前記第２の穴の少なくとも一部は前記第１の穴の径よりも大きな径を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の配管系の熱伝導被覆体。
7. 前記第２の穴の開口端寄りの部分は、前記第１の穴の径よりも大きな径を有している
   ことを特徴とする請求項６に記載の配管系の熱伝導被覆体。
8. 前記第１差し込み部の長さは前記第１差し込み部の直径よりも大きい、及び／又は前記第２差し込み部の長さは前記第２差し込み部の直径よりも大きい
   ことを特徴とする請求項１に記載の配管系の熱伝導被覆体。
9. 前記連結部材の直径に対する前記連結部材の長さの比は、１．８から１２．５の範囲にある
   ことを特徴とする請求項１に記載の配管系の熱伝導被覆体。
10. 前記第１熱伝導部材の前記第１の面と前記第２熱伝導部材の前記第２の面のうち少なくとも一方の面には、前記配管系を構成する配管が配置される溝が形成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載の配管系の熱伝導被覆体。
11. 前記連結部材は金属によって形成されている
    ことを特徴とする請求項１に記載の配管系の熱伝導被覆体。
12. 請求項１に記載される配管系の熱伝導被覆体と、
    前記熱伝導被覆体を覆い、前記熱伝導被覆体を通して前記配管系を加熱するヒータと、を有している
    ことを特徴とする配管系の加熱装置。
13. 金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、
    金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、
    前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有する連結部材と、を備え、
    前記第１差し込み部が前記第１の穴に固定される力は、前記第２差し込み部が前記第２の穴に固定される力よりも大きい配管系の熱伝導被覆体の製造方法であって、
    前記第１差し込み部を前記第１の穴に差し込むことによって、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能な第２の差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材を前記第１熱伝達部材に取り付ける工程を有する
    ことを特徴とする配管系の熱伝導被覆体の製造方法。
14. 金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、
    金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、
    前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有する連結部材と、を備え、
    前記第１差し込み部が前記第１の穴に固定される力は、前記第２差し込み部が前記第２の穴に固定される力よりも大きい配管系の熱伝導被覆体の取付方法であって、
    前記第１差し込み部が前記第１の穴に差し込まれて、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である前記第２差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材が前記第１熱伝導部材に取り付けられている状態で、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材が前記配管系を覆うようにそれらを合体させるために、前記第２差し込み部を前記第２熱伝導部材の前記第２の穴に差し込む工程を有する
    ことを特徴とする配管系の熱伝導被覆体の取付方法。
15. 金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、
    金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、
    前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有する連結部材と、
    前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材とを覆い、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材とを通して前記配管系を加熱するためのヒータとを備え、
    前記第１差し込み部が前記第１の穴に固定される力は、前記第２差し込み部が前記第２の穴に固定される力よりも大きい配管系の加熱装置の製造方法であって、
    前記第１差し込み部を前記第１の穴に差し込むことによって、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能な第２の差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材を前記第１熱伝達部材に取り付ける工程を有する
    ことを特徴とする配管系の加熱装置の製造方法。
16. 金属で形成され、第１の穴が形成されている第１の面を有している、配管系を覆うための第１熱伝導部材と、
    金属で形成され、第１の面と向き合い且つ第２の穴が形成されている第２の面を有している、前記第１熱伝導部材と合体して前記配管系を覆うための第２熱伝導部材と、
    前記第１の穴に差し込まれる第１差し込み部と前記第２の穴に差し込まれる第２差し込み部とを有する連結部材と、
    前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材とを覆い、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材とを通して前記配管系を加熱するためのヒータとを備え、
    前記第１差し込み部が前記第１の穴に固定される力は、前記第２差し込み部が前記第２の穴に固定される力よりも大きい配管系の加熱装置の取付方法であって、
    前記第１差し込み部が前記第１の穴に差し込まれて、前記第１差し込み部の差し込み方向に対して直交する方向に弾性変形可能である前記第２差し込み部が前記第１の面から突出するように前記連結部材が前記第１熱伝導部材に取り付けられている状態で、前記第１熱伝導部材と前記第２熱伝導部材が前記配管系を覆うようにそれらを合体させるために、前記第２差し込み部を前記第２熱伝導部材の前記第２の穴に差し込む工程を有する
    ことを特徴とする配管系の加熱装置の取付方法。

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