JP6341821B2 - 外観検査システム - Google Patents

Description

本発明は、照明装置により照らした検査対象面に対する外観検査を行う際に用いて好適な外観検査システムに関する。

一般に、検査対象面を撮像装置により撮像し、検査対象面におけるキズ等の欠陥部分の存在有無を検査する欠陥検査システム（外観検査システム）は知られており、通常、撮像装置により撮像する部位を明るく照らして欠陥部分を顕在化させるための照明装置が付属している。

従来、照明装置が付属した外観検査システムとしては、特許文献１及び２に開示される欠陥検査装置が知られている。同文献１に開示される欠陥検査装置は、シリンドリカルレンズを使用することにより、ラインファイバ照明装置からの偏平状の光の内、ｘ軸方向の成分光を標本にフォーカスさせ、ｙ軸方向の成分光を標本にデフォーカスさせるように構成したものである。また、同文献２に開示される欠陥検査装置は、複数の点光源がライン状に並べられ、各光源から照射される光の光軸が所定の点において交わるように各光源が配置され、かつ、所定の点が光検出手段から外れるように配置されるとともに、所定の点が光検出手段内の光集光手段を含む平面内であって光検出手段を中心とした周辺領域に存在するように配する構成を備えたものである。

特開平１０−１２３０６０号公報 特開２０１３−２０５３３２号公報

しかし、上述した従来における欠陥検査装置（外観検査システム）は、次のような解決すべき課題が存在した。

第一に、従来の装置は、基本的に、明視野照明又は暗視野照明のいずれか一方に基づく検査機能に留まるため、単体装置として明暗双方の照明に基づく検査を行うことができない。結局、明視野照明と暗視野照明に基づく双方の検査を行う場合には、異なる二台の各専用装置を用意する必要がある。また、各種検査機能を実現する観点からは必ずしも十分であるとは言えず、例えば、検査対象面に正常に存在する研磨目（ヘアライン）等を目立たなくして欠陥のみを顕在化させる機能、或いは照明色や光波長を変更してカラーカメラに準じた検査を可能にする機能、更には目視検査ができない面を可視化して目視検査を可能にする機能などの実現が困難である。このように、多機能性を実現するには、他の装置と組合わせて使用する必要があるなど、単体装置としてみた場合における拡張性及び多機能性（多様性）に欠ける。

第二に、単体装置としての多機能性を実現するのは、必ずしも技術的に困難であるとは言えないが、部品点数の増加が避けられず、装置全体の大幅なサイズアップを招くとともに、コストアップ要因にもなる。したがって、サイズ的及びコスト的に不利にならず、高品質で均質性の高い照明装置を付属させるとともに、明瞭で確実な検出機能を実現する外観検査システムの構築は容易でない。

本発明は、このような背景技術に存在する課題を解決した外観検査システムの提供を目的とするものである。

本発明に係る外観検査システム１は、検査対象面Ｓｄに対して照明を行う照明装置Ｍ１と、この照明装置Ｍ１により照射された検査対象面Ｓｄを撮像部Ｄ２により撮像し、かつ画像処理部Ｄ３による画像処理により検査対象面Ｓｄの外観検査を行う撮像装置Ｄ１とを備える外観検査システムであって、照明装置Ｍ１に、中央に配した第一光源ブロックＢ１及びこの第一光源ブロックＢ１の周囲に配した第二光源ブロックＢ２を有する光源ユニット３と、光軸を第一光源ブロックＢ１に一致させるとともに、光源ユニット３の光Ｃｏを、等方性の照射角度を有する光Ｃｐｓに変換し、検査対象面Ｓｄに照射する光学処理系Ｕｃと、光源ユニット３の点灯制御を行う照明コントローラＭｃとを設けるとともに、撮像装置Ｄ１に、第一光源ブロックＢ１からの光Ｃｐｓを透過し、かつ第二光源ブロックＢ２からの光Ｃｐｓを非透過にする瞳Ｄｉｒを設けてなることを特徴とする。

この場合、発明の好適な態様により、光源ユニット３は、横方向に三列，縦方向に三行となる、マトリクス状に配した計九つの光源部３ａ，３ｂ…３ｉにより構成し、中央に配した一つの光源部３ｅを第一光源ブロックＢ１とし、周囲に配した八つの光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉを第二光源ブロックＢ２として用いることができる。また、光源部３ａ…は、一又は二以上のＬＥＤ１１…を用いて構成できる。なお、光源部３ａ…としては、発色の異なる複数種類のＬＥＤ１１，１１ｒ，１１ｂ，１１ｇを選択して使用可能に構成してもよいし、光波長の異なる複数種類のＬＥＤ１１，１１ｉ，１１ｕを選択して使用可能に構成してもよい。他方、撮像部Ｄ２にはリニア撮像部（Ｄ２）を用いることができるとともに、光学処理系Ｕｃは、光源部３ａ…から出射した光Ｃｏ…を平行光Ｃｐ…に変換する前段光学部４ａ…と、この前段光学部４ａ…から出射した平行光Ｃｐ…を複数のライン状の小光源部５ｓ…に変換して多光源化する多光源化部５ａ…と、各小光源部５ｓ…から出射した各光Ｃｐｓ…を集光し、検査対象面Ｓｄに照射してライン照明Ｃに変換する後段光学部６とを備えて構成できる。

このような構成を有する本発明に係る外観検査システム１によれば、次のような顕著な効果を奏する。

（１） 単体装置として明視野照明及び暗視野照明に基づく双方の検査を容易に行うことができるとともに、加えて、各種検査機能を実現できる。具体的には、検査対象面Ｓｄに正常に存在する研磨目（ヘアライン）等を目立たなくして欠陥のみを顕在化させる機能，照明色や光波長を変更してカラーカメラに準じた検査を可能にする機能，目視検査ができない面を可視化して目視検査を可能にする機能，などの各種機能を実現でき、拡張性及び多機能性（多様性）に優れた外観検査システム１を提供できる。

（２） 各種検査機能を備える多機能性を実現できると同時に、比較的単純な構成及び少ない部品点数により容易に実施できる。したがって、システム全体の大幅なサイズダウン及びコストダウンを実現できる。

（３） 好適な態様により、光源ユニット３を構成するに際し、横方向に三列，縦方向に三行となる、マトリクス状に配した計九つの光源部３ａ，３ｂ…３ｉを設け、中央に配した一つの光源部３ｅを第一光源ブロックＢ１とし、周囲に配した八つの光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉを第二光源ブロックＢ２とすれば、必要最少限の光源部３ａ，３ｂ…３ｉにより、明視野照明及び暗視野照明、更には上述した各種検査機能を実現できるため、システム全体における有効なサイズダウン及びコストダウンに寄与できる。

（４） 好適な態様により、光源部３ａ…に、一又は二以上のＬＥＤ１１…を用いれば、ＬＥＤの有する高指向性，低消費電力性，長寿命性，小型軽量性，点滅高速性等の各種メリットを享受できるため、特に、外観検査システム１にとって最適な照明装置Ｍ１を構築できる。

（５） 好適な態様により、光源部３ａ…として、発色の異なる複数種類のＬＥＤ１１，１１ｒ，１１ｂ，１１ｇを選択して使用可能に構成すれば、照明色の変更を容易に行えるとともに、照明色を変更してカラーカメラに準じた検査も容易に実施できるなど、照明色の観点から多様性（多機能性）を高めることができる。

（６） 好適な態様により、光源部３ａ…として、光波長の異なる複数種類のＬＥＤ１１，１１ｉ，１１ｕを選択して使用可能に構成すれば、目視検査ができないものであっても可視化により検査可能にできるなど、光波長の観点から多様性（多機能性）を高めることができる。

（７） 好適な態様により、撮像部Ｄ２としてリニア撮像部（Ｄ２）を用いれば、ＣＣＤ等の比較的小型で簡易なリニアイメージセンサを使用できるため、撮像装置Ｄ１側におけるサイズダウン及びコストダウンに寄与できる。

（８） 好適な態様により、光学処理系Ｕｃを構成するに際し、光源部３ａ…から出射した光Ｃｏ…を平行光Ｃｐ…に変換する前段光学部４ａ…と、この前段光学部４ａ…から出射した平行光Ｃｐ…を複数のライン状の小光源部５ｓ…に変換して多光源化する多光源化部５ａ…と、各小光源部５ｓ…から出射した各光Ｃｐｓ…を集光し、検査対象面Ｓｄに照射してライン照明Ｃに変換する後段光学部６とを備えて構成すれば、Ｘ方向とＹ方向における照射角度（入射角度）の異方性を有効に解消できるため、検査対象面ＳｄにおけるＸ方向とＹ方向の見え方に差を生じる不具合を解消できるとともに、高品質かつ均一性（均質性）の高いライン照明Ｃを行うことができる。これにより、欠陥部分の形状やサイズが誤って認識される不具合を解消し、明瞭で確実な検出機能を確保した信頼性の高い外観検査システム１を構築できる。

本発明の好適実施形態に係る外観検査システムの全体構成図、 同外観検査システムに備える照明装置の内部構造を示す斜視図、 同照明装置に備える光源ユニットの正面図、 同照明装置に備える前段光学ユニットの正面図、 同照明装置に備える多光源化ユニットの正面図、 同照明装置に備えるインテグレータレンズの部分（Ａ−Ａ線）拡大断面図を含む正面図、 同照明装置を側面方向から見た原理構成図、 同照明装置を透過方式に用いた外観検査システムの概略構成図、 同照明装置を反射方式に用いた外観検査システムの概略構成図、 同外観検査システムを用いた明視野測定時の作用説明図、 同外観検査システムを用いた暗視野測定時の作用説明図、 同照明装置の特徴的作用の説明図、 同照明装置の他の特徴的作用の説明図、 同照明装置の一部キャンセル時の使用説明図、 同照明装置の一部キャンセル時の他の使用説明図、 同照明装置の各種使用例を示す説明表、 同外観検査システムにおける照明装置の変更実施形態に係る使用例の説明表、 同外観検査システムの変更実施形態に係る照明装置の使用説明図、 同照明装置の他の使用説明図、

次に、本発明に係る好適実施形態を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。

まず、本実施形態に係る外観検査システム１における照明装置Ｍ１及び撮像装置Ｄ１の構成について、図１〜図７を参照して説明する。

照明装置Ｍ１は、図１及び図２に示すように、大別して、光源ユニット３と光学処理系Ｕｃを備える。光源ユニット３は、図３に示すように、中央に配した第一光源ブロックＢ１及びこの第一光源ブロックＢ１の周囲に配した第二光源ブロックＢ２を備えて構成するとともに、光学処理系Ｕｃは、光軸を第一光源ブロックＢ１に一致させるとともに、光源ユニット３の光Ｃｏを、等方性の照射角度を有する光Ｃｐｓに変換し、検査対象面Ｓｄに照射する機能を備える。これにより、ライン照明Ｃを行うことができるライン照明装置Ｍ１を構成できる。

以下、ライン照明装置Ｍ１の具体的構成について説明する。２１はキャビネットを示し、平坦かつ前後に長いベース盤２１ｂとこのベース盤２１ｂの上方を覆うカバー体２１ｃからなる。カバー体２１ｃは前後の端面部が開放されている。また、ベース盤２１ｂの後端位置には後端板部２２を配設し、この後端板部２２の内面に光源ユニット３を取付けるとともに、この光源ユニット３の前方であって、ベース盤２１ｂ上には、図１及び図２に示すように、前段光学ユニット４，多光源化ユニット５，後段光学部６を、光軸方向Ｆｓ前方へ順次配し、光学処理系Ｕｃとして構成する。

光源ユニット３は、図３に示すように、複数の光源部、例示は、九つの光源部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３ｈ，３ｉを備え、横方向（Ｘ方向）三列，縦方向（Ｙ方向）三行となるように、マトリクス状に配する。なお、Ｘ方向は、後述するライン照明Ｃのライン方向Ｆｘであり、Ｙ方向はラインの幅方向Ｆｙである。そして、一つの光源部３ａ（他の光源部３ｂ，３ｃ…３ｉも同じ）は、四個のＬＥＤ（発光ダイオード）１１…を横方向に配列させるとともに、矩形基板２３の面上に実装して構成する。なお、ＬＥＤ１１…の色は白色である。使用するＬＥＤとしては指向性の比較的高いタイプが望ましい。

これにより、各光源部３ａ…において、中央に配した一つの光源部３ｅが第一光源ブロックＢ１を構成し、周囲に配した八つの光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉが第二光源ブロックＢ２を構成する。各光源部３ａ…は選択使用或いは組合せ使用が可能である。このように、光源ユニット３を構成するに際し、横方向に三列，縦方向に三行となる、マトリクス状に配した計九つの光源部３ａ，３ｂ…３ｉを設け、中央の光源部３ｅを第一光源ブロックＢ１とし、周囲八つの光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉを第二光源ブロックＢ２として用いれば、必要最少限の光源部３ａ，３ｂ…３ｉにより、明視野照明及び暗視野照明、更には上述した各種検査機能を実現できるため、システム全体における有効なサイズダウン及びコストダウンに寄与できる利点がある。また、各光源部３ａ…はＬＥＤ１１…を用いて構成したため、ＬＥＤの有する高指向性，低消費電力性，長寿命性，小型軽量性，点滅高速性等の各種メリットを享受でき、特に、外観検査システム１にとって最適な照明装置Ｍ１を構築できる利点がある。

一方、各光源部３ａ…から出射した光Ｃｏ…は、光学処理系Ｕｃにおける前段光学ユニット４に入射する。前段光学ユニット４は、図４に示すように、各光源部３ａ，３ｂ…から出射した光をそれぞれ透過させるとともに、ユニットフレーム２４に支持される複数（例示は九つ）のコリメータレンズ部４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈ，４ｉを備える。したがって、各コリメータレンズ部４ａ…は各光源部３ａ…に対応した位置に配する。一つのコリメータレンズ部４ｅ（他のコリメータレンズ部４ａ…４ｄ及び４ｆ…４ｉも同じ）は、図１及び図７に示すように、前後に配した一対のコリメータレンズ４ｅｐ，４ｅｑにより構成し、透過する光に対する前段の光学調整、即ち、光源部３ｅ…からの光が平行光Ｃｐ…となるように調整（変換）する機能を備える。

そして、各コリメータレンズ部４ａ…から出射した平行光Ｃｐ…は、多光源化ユニット５に入射する。多光源化ユニット５は、図５に示すように、ユニットフレーム２５に支持される複数（例示は九つ）の多光源化部５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ，５ｇ，５ｈ，５ｉを備える。したがって、各多光源化部５ａ…は、各コリメータレンズ部４ａ…に対応した位置に配する。一つの多光源化部５ｅ（他の多光源化部５ａ…５ｄ及び５ｆ…５ｉも同じ）は、コリメータレンズ部４ｅから出射した平行光Ｃｐを複数の小光源部５ｓ…に変換して多光源化する機能を備える。

多光源化部５ｅは、図１及び図７に示すように、前後に配した一対のインテグレータレンズ１２，１２を用いて構成する。一つのインテグレータレンズ１２を図６に示す。このインテグレータレンズ１２は、各入射面（又は出射面）１２ｓｆがライン状の小光源部５ｓ…となる複数のロッドレンズ部１２ｓ…を縦横マトリクス状に配して構成したものである。多光源化部５ｅ…として、このようなインテグレータレンズ１２…を用いれば、多光源化を実現するに際し、少ない部品点数により容易かつ高品質に多光源化できるとともに、均質性の高いライン照明Ｃを生成する最も望ましい実施形態とすることができる。

また、各ロッドレンズ部１２ｓ…の形状は同一であって、かつライン方向Ｆｘに細長の長方形となるとともに、ロッドレンズ部１２ｓの入射面（又は出射面）１２ｓｆにおけるＸ方向及びＹ方向の断面はいずれも所定の曲率により円弧形成する。この場合、各ロッドレンズ部１２ｓ…から出射する各光Ｃｐｓ…の形状（出射面１２ｓｆの形状）と検査対象面Ｓｄにおけるライン照明Ｃの形状は相似形状となる。即ち、各ロッドレンズ部１２ｓ…から出射する各光Ｃｐｓ…は、後述する後段光学部６を介して集光され、かつ重畳されたライン照明Ｃとなる。したがって、小傷等であってもクリアに見ることができ、明瞭で確実な検出機能を確保できるとともに、見落としが生じにくいため、信頼性及び安定性の高い外観検査システム１を実現できる。

ところで、ロッドレンズ部１２ｓを設計するに際しては、図６に示すように、出射面１２ｓｆにおける、ライン方向Ｆｘの長さＬｘｓを、幅方向Ｆｙの長さＬｙｓに対して５倍以上に設定する。通常、リニアタイプの撮像系を構成するＣＣＤ等のリニアイメージセンサは、ドット状に形成された多数の撮像素子（受光素子）がライン方向に配列した構成を備えており、ライン方向Ｆｘの長さは、幅方向Ｆｙの長さに対して数千倍程度となる。

したがって、ライン照明Ｃにおいても、ライン方向Ｆｘの長さＬｘｓを、幅方向Ｆｙの長さＬｙｓに対して数千倍程度に設定すれば、無駄な照明部分をより少なくし、リニア撮像系に対してマッチングさせることができるため、効率的なライン照明Ｃを行うことができる。しかし、ロッドレンズ部１２ｓをモールド成形する場合、現時点では、製造上の制約もあり、リニア撮像系に対してマッチングさせることは困難である。しかし、可能な限り、この倍率を大きくすることが望ましく、これにより、より細いライン照明Ｃが可能になるため、リニア撮像系に対して、よりマッチングさせることができる。したがって、この倍率を５倍以上に設定すれば、少なくともライン状の照明を行う観点からは、その目的を実現できるとともに、製造技術面が許容する限り、できるだけ大きな倍率を設定することが望ましい。

また、このようなインテグレータレンズ１２は、透明な合成樹脂素材を使用し、複数のロッドレンズ部１２ｓ…をモールド成形により一体に形成できる。このように形成すれば、金型を用いたプラスチック成形法により容易かつ低コストに製作できるとともに、量産性にも優れる利点がある。そして、多光源化部５ｅを構成するに際しては、同一のインテグレータレンズ１２を二つ用意し、前後に並べて配する。これにより、一方が入光側のインテグレータレンズ１２となり、他方が出光側のインテグレータレンズとなる。この際、一方のインテグレータレンズ１２の入射面１２ｓｆ…側と他方のインテグレータレンズ１２の出射面１２ｓｆ…側は相互に反対側を向くことになる。

一方、後段光学部６は、全てのロッドレンズ部１２ｓ…における出射面１２ｓｆ…から出射する各光Ｃｐｓ…を集光するとともに、等方性の照射角度を有する光Ｃｐｓに変換し、検査対象面Ｓｄに照射する機能を備える。このため、後段光学部６には、前後に配した二つのレンズブロック６ｐ，６ｑを備える。この場合、ベース盤２１ｂの前端位置には出射用レンズブロック６ｑを配するとともに、出射用レンズブロック６ｑと多光源化ユニット５間には調整用レンズブロック６ｐを配する。なお、出射用レンズブロック６ｑは、前後に配した二つの平凸レンズ６ｑｍ，６ｑｎにより構成するとともに、調整用レンズブロック６ｐは両凸レンズにより構成する。さらに、出射用レンズブロック６ｑには、各光Ｃｐｓ…の出射範囲を規制する開口窓２８ｏを有する出射光規制部２８を付設する。この場合、開口窓２８ｏの形状にはライン照明Ｃが透過できる形状を選定し、出射光規制部２８はベース盤２１ｂの前端位置に配する。このように、出射用レンズブロック６ｑに、光Ｃｐｓ…の出射範囲を規制する開口窓２８ｏを有する出射光規制部２８を付設すれば、無用な光Ｃｐｓ…の拡散や進入を防止できるため、良質のライン照明Ｃを行える利点がある。

なお、前段光学ユニット４，多光源化ユニット５，後段光学部６の一部となる調整用レンズブロック６ｐ，の全部又は一部は、ベース盤２１ｂの上面に形成した凹状のガイド部２６に沿って光軸方向Ｆｓへ変位させることができる。これにより、光軸方向Ｆｓの位置を変更し、フォーカシング調整等の光学調整を行うことができる。一方、Ｍｃは光源ユニット３の点灯制御を行う照明コントローラであり、前述した光源ユニット３を接続する。これにより、光源ユニット３における各光源ブロック３ａ，３ｂ，３ｃ…のＬＥＤ１１…に対する点灯／消灯制御を各光源ブロック３ａ，３ｂ，３ｃ…単位で行うことができるとともに、必要に応じて照度等の調整を行うことができる。

他方、撮像装置Ｄ１は、図１に示すように、上述した照明装置Ｍ１により照射された検査対象面Ｓｄを撮像し、かつ画像処理部Ｄ３による画像処理により検査対象面Ｓｄの外観検査を行う機能を備える。このため、撮像装置Ｄ１には、例えば、ＣＣＤ等のリニアイメージセンサを用いたリニア撮像部Ｄ２を内蔵する。したがって、例示のリニア撮像部Ｄ２は、ドット状に形成された多数の撮像素子（受光素子）がライン方向に配列した構成を備えている。また、例示の撮像装置Ｄ１は、リニア撮像部Ｄ２の手前に第二レンズ部５２を備えるとともに、前端位置には第一レンズ部５１を備えている。さらに、第一レンズ部５１と第二レンズ部５２間には、瞳（入射瞳）Ｄｉｒを備える。この場合、入射瞳Ｄｉｒは、第一光源ブロックＢ１からの光Ｃｐｓを透過し、かつ第二光源ブロックＢ２からの光Ｃｐｓを非透過にするように設定される。一方、リニア撮像部Ｄ２は、マイクロコンピュータを利用したデータ記憶処理やデータ演算処理を含む各種データ処理機能及び各種制御機能を有するシステムコントローラＤｃに接続する。したがって、システムコントローラＤｃには、リニア撮像部Ｄ２から得られる画像データを処理して外観検査を行う画像処理部５３を内蔵する。このシステムコントローラＤｃは前述した照明コントローラＭｃに対して相互通信可能にすることが望ましい。

このように、撮像部Ｄ２として、リニア撮像部（Ｄ２）を用いれば、ＣＣＤ等の比較的小型で簡易なリニアイメージセンサを使用できるため、撮像装置Ｄ１側のサイズダウン及びコストダウンに寄与できる利点がある。また、光学処理系Ｕｃを構成するに際し、光源部３ａ…から出射した光Ｃｏ…を平行光Ｃｐ…に変換する前段光学部４ａ…と、この前段光学部４ａ…から出射した平行光Ｃｐ…を複数のライン状の小光源部５ｓ…に変換して多光源化する多光源化部５ａ…と、各小光源部５ｓ…から出射した各光Ｃｐｓ…を集光し、検査対象面Ｓｄに照射してライン照明Ｃに変換する後段光学部６とを備えて構成すれば、Ｘ方向とＹ方向における照射角度（入射角度）の異方性を有効に解消できる。これにより、検査対象面ＳｄにおけるＸ方向とＹ方向の見え方に差を生じる不具合を解消でき、もって、高品質かつ均一性（均質性）の高いライン照明Ｃを行うことができる。この結果、欠陥部分の形状やサイズが誤って認識される不具合を解消し、明瞭で確実な検出機能を確保した信頼性の高い外観検査システム１を構築できる。

次に、本実施形態に係る外観検査システム１の使用方法及び各部の動作について、図１〜図９を参照して説明する。

図８（図１）は、透過方式による外観検査システム１を例示する。同図において、Ｇは検査対象物であり、一例として、透明なガラスプレート製品を示す。したがって、このガラスプレート製品Ｇの表面が検査対象面Ｓｄとなり、ガラスプレート製品Ｇの一方の面（検査対象面Ｓｄ）には撮像装置Ｄ１を対面させて配するとともに、他方の面にライン照明装置Ｍ１を対面させて配する。

このようなシステム構成を有する外観検査システム１の全体の動作は次のようになる。まず、検査動作時には、撮像装置Ｄ１におけるリニア撮像部Ｄ２によりライン方向（Ｘ方向）に沿った画像読取りが行われるとともに、所定周期により繰り返し行われる。また、例示の場合、ガラスプレート製品Ｇは停止状態にあり、リニア撮像部Ｄ２及びライン照明装置Ｍ１が、Ｘ方向（ライン方向Ｆｘ）に対して直角方向となるＹ方向へ移動する。一方、リニア撮像部Ｄ２により読取ったイメージデータはシステムコントローラＤｃに付与される。システムコントローラＤｃには画像処理部５３を内蔵するため、この画像処理部５３による画像処理が行われるとともに、検査対象面Ｓｄにおけるキズや汚れ等の欠陥に対する検出処理が行われる。この際、ライン照明装置Ｍ１は、リニア撮像部Ｄ２により撮像する検査対象面Ｓｄに対するライン照明Ｃを行う。このライン照明Ｃは、検査対象面Ｓｄに対して裏側から照射され、光Ｃｐｓはガラスプレート製品Ｇを透過して撮像装置Ｄ１側に至る。その他、図８において、６１は撮像装置Ｄ１とライン照明装置Ｍ１を連結する連結部を示すとともに、６２は連結部６１をＹ方向（紙面表裏方向）に移動させる移動装置を示す。

なお、外観検査システム１として、図８（図１）に示す透過方式により構成した場合を説明したが、図９に示すような反射方式により構成してもよい。図９に示す反射方式の外観検査システム１は、撮像装置Ｄ１及びライン照明装置Ｍ１の双方を、ガラスプレート製品Ｇの一方側の面に対して配設するという基本的な構成を備える。例示の構成は、撮像装置Ｄ１とライン照明装置Ｍ１の位置を固定し、ガラスプレート製品Ｇを、搬送装置６３により矢印Ｆｃ方向へ搬送するようにした。さらに、ライン照明装置Ｍ１を配設するに際しては、検査対象面Ｓｄに対する直角線Ｈに対してＱｉの角度でライン照明Ｃを照射できるように、位置及び角度を選定して配設するとともに、撮像装置Ｄ１を配設するに際しては、同直角線Ｈに対してＱｅの角度で反射する光Ｃｐｓが入射できる位置及び角度を選定して配設する。

次に、本実施形態に係る外観検査システム１の各種使用例（各種検査機能）について、図７及び図１０〜図１６を参照して説明する。

本実施形態に係る外観検査システム１は、照明コントローラＭｃにより、光源ユニット３の点灯制御、即ち、各光源部３ａ…３ｉの選択的な点灯制御により様々な照明モードを実現する。

最初に、明視野照明モードと暗視野照明モードによる外観検査機能について、図７及び図１０〜図１３を参照して説明する。

まず、明視野照明モードでは、図１０（ａ）に示すように、ライン照明装置Ｍ１における第一光源ブロックＢ１を構成する中央に配した一つの光源部３ｅのみ点灯させ、この第一光源ブロックＢ１の周囲に配した第二光源ブロックＢ２、即ち、他の八つの光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉを消灯させる点灯パターンとなる。これにより、光源部３ｅにおける横方向（ライン方向Ｆｘ）に並んだ四個のＬＥＤ１１…が点灯し、図７に示すように、所定の指向特性及び光分布特性を有する光Ｃｏが出射し、前段光学ユニット４における対応するコリメータレンズブロック４ｅに入射する。コリメータレンズブロック４ｅは、前後に配した一対のコリメータレンズ４ｅｐ，４ｅｑを備えており、コリメータレンズブロック４ｅを透過した光Ｃｏは収差が補正された平行光Ｃｐに調整（変換）される。

そして、この平行光Ｃｐは、多光源化ユニット５における対応する多光源化部５ｅに入射する。これにより、平行光Ｃｐは、前後に配した一対のインテグレータレンズ１２，１２により多光源化され、後段のインテグレータレンズ１２の各ロッドレンズ部１２ｓ…における各出射面１２ｓｆ…からそれぞれ光Ｃｐｓ…が出射する。この光Ｃｐｓ…はいわば多数のライン状の光源による均一性のある光分布特性となる。

各出射面１２ｓｆ…から出射した光Ｃｐｓ…は、全て調整用レンズブロック６ｐに入射するとともに、さらに、出射用レンズブロック６ｑを介して外部に照射される。この際、出射用レンズブロック６ｑから出射した各光Ｃｐｓ…は重畳し、検査対象面Ｓｄに対しては一本のライン照明Ｃとなって照射される。図１０（ｃ）に、ライン方向Ｆｘにおける光Ｃｐｓを示すとともに、図１０（ｂ）に、幅方向Ｆｙにおける光Ｃｐｓを示す。ライン照明Ｃのライン方向Ｆｘの長さはＬｘとなり、ライン照明Ｃの幅方向Ｆｙの長さはＬｙとなる（図１２（ａ），（ｂ）参照）。なお、図１０（ｂ），（ｃ）において、５１，５２は撮像装置Ｄ１に内蔵するレンズ、Ｄ２はリニア撮像部（リニアイメージセンサ）、Ｄｉｒは入射瞳を示す。

明視野照明モードの場合、図１０（ｂ），（ｃ）から明らかなように、検査対象面Ｓｄにおけるライン照明Ｃが照射された部位は、そのまま撮像画像として全て入射瞳Ｄｉｒを通過し、有効な画像データとして画像処理される。ところで、この場合、図１２に示すように、検査対象面Ｓｄに対する幅方向Ｆｙから見た入射角度Ｑｙ（同図（ａ））と検査対象面Ｓｄに対するライン方向Ｆｘから見た入射角度Ｑｘ（同図（ｂ））は、等しくなるように設定（設計）される。また、図１３に示すように、インテグレータレンズ１２のどの位置から出射した光Ｃｐｓ…であっても検査対象面Ｓｄにおけるライン照明Ｃの位置に重畳するように設定（設計）されている。

したがって、検査対象面Ｓｄに対する入射角度（照射角度）の異方性を有効に解消でき、均一性に優れたライン照明Ｃを行うことができる。これにより、例えば、格子状の黒パターンが表示された面に対してライン照明Ｃを行った場合、この黒パターンのＹ方向とＸ方向は共に濃い黒色に見え、良好なコントラストを示す。なお、入射角度に異方性を有する従来の照明の場合には、格子状の黒パターンにおけるＹ方向がＸ方向よりも薄く見えたり細く見えてしまう。即ち、Ｘ方向とＹ方向の見え方に差を生じ、検査対象となる欠陥部分の形状やサイズが誤って認識されるが、本実施形態に係る外観検査システム１に備えるライン照明装置Ｍ１ではこのような不具合が解消される。この結果、検査品質の向上、さらには外観検査システム１の信頼性向上に寄与できるとともに、特に、明視野照明モードで用いた場合、指向性の高い照明となり、検査対象面Ｓｄにおけるパターンエッジのコントラストを高めることができる。

一方、暗視野照明モードでは、図１１（ａ）に示すように、第一光源ブロックＢ１となる中央の光源部３ｅのみを消灯させ、第二光源ブロックＢ２、即ち、光源部３ｅを除いた他の全ての光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉを点灯させる点灯パターンとなる。図１１（ｃ）に、ライン方向Ｆｘにおける光線を示すとともに、図１１（ｂ）に、幅方向Ｆｙにおける光線を示す。この場合、ライン照明Ｃのライン方向Ｆｘの長さはＬｘとなり、ライン照明Ｃの幅方向Ｆｘの長さはＬｙとなる。なお、図１１（ｂ），（ｃ）において、５１，５２は撮像装置Ｄ１に内蔵するレンズ、Ｄ２はリニア撮像部（リニアイメージセンサ）、Ｄｉｒは入射瞳を示す。

暗視野照明モードの場合、図１１（ｂ），（ｃ）から明らかなように、検査対象面Ｓｄにおけるライン照明Ｃに照射された部位は、全て入射瞳Ｄｉｒを避けた周囲に分散し、リニア撮像部Ｄ２には届かないように設定（設計）される。したがって、リニア撮像部Ｄ２によりライン照明Ｃが直接撮像されることがないとともに、ライン照射Ｃが照射された検査対象面Ｓｄは画像として撮像される。即ち、暗視野照明による外観検査が可能となる。このような暗視野照明モードは、凹凸や傾斜のある部分による散乱光を画像化できる利点がある。

以上、明視野照明モードと暗視野照明モードについて説明したが、九つの光源部３ａ…３ｉを全て同時に点灯させる全照明モードによる照明も可能である。この場合、上述した明視野照明モードによる検出と暗視野照明モードによる検出の双方を同時に行うことができる。このような全照明モードでは、拡散性を有する従来のような照明を行うことができる。また、各光源部３ａ…のＯＮ／ＯＦＦ切換タイミングとリニア撮像部Ｄ２からのデータ取込タイミングを同時に制御し、１回のスキャニングにより、１ライン目は明視野照明による画像を取り込み、２ライン目は明視野照明及び暗視野照明による画像を取り込み、３ライン目は暗視野照明による画像を取り込めば、三つの照明モードによる同時検出も可能となる。

次に、一部キャンセル照明モードによる外観検査機能について、図１４及び図１５を参照して説明する。

図１４は、光源ユニット３において、中央列の縦に配した上下二つの光源部３ｂと３ｈのみを点灯させ、残りの光源部３ａ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３ｉを消灯させる点灯パターンとなる。この場合、左右両側に位置する光源部３ａ…，３ｃ…を点灯させないため、左右両側からの散乱光の進入が無くなる。したがって、図１４（ａ）に示すように、検査対象面Ｓｄに縦線Ｋｖが正常に存在する場合であっても、図１４（ｂ）に示すように、縦線Ｋｖが見えなくなり又は見えにくくなり、傷Ｋｐ…の存在を相対的に目立つ状態にすることができる。特に、中央の光源部３ｅを点灯させないため、コントラストをより高めることができる。

図１５は、光源ユニット３の中央行の横方向に配した両側二つの光源部３ｄ，３ｆのみを点灯させ、他の光源部３ａ…３ｃ，３ｅ，３ｇ…３ｉを消灯させる点灯パターンとなる。この場合、上側及び下側に位置する光源部３ａ…，３ｇ…を点灯させないため、上側及び下側からの散乱光の進入が無くなる。したがって、図１５（ａ）に示すように、検査対象面Ｓｄに横線Ｋｈが正常に存在する場合であっても、図１５（ｂ）に示すように、横線Ｋｈが見えなくなり又は見えにくくなり、傷Ｋｐ…の存在を相対的に目立つ状態にすることができる。この場合も中央の光源部３ｅを点灯させないため、コントラストをより高めることができる。

図１４及び図１５は、検査対象面Ｓｄに正常に存在する研磨目（ヘアライン）等を目立たなくして欠陥のみを顕在化させる場合に有効である。その他、図示を省略したが、光源ユニット３の中央列の縦に配した三つの光源部３ｂ，３ｅ，３ｈ及び左右列の一方における縦に配した三つの光源部３ｃ，３ｆ，３ｉを点灯させる点灯パターンでは、図９に示した反射方式により検査を行う場合に有効である。即ち、反射方式により検査を行う場合、斜め方向から光を照射するため、反射光による悪影響を排除し、欠陥部分をより見え易くすることができる。

以上、各光源部３ａ…３ｉの選択的な点灯制御による各種照明モードについて説明したが、本実施形態に係る外観検査システム１は、その他、各光源部３ａ…に対する様々な点灯パターンによる使用が可能である。図１６に他の点灯パターンによる使用例の説明表を示す。

図１６（ａ）は、光源ユニット３の上下行の双方における横に配した三つの光源部３ａ，３ｂ，３ｃと三つの光源部３ｇ，４ｈ，３ｉを点灯させ、中央行における横に配した三つの光源部３ｄ，３ｅ，３ｆを消灯させる点灯パターンである。この点灯パターンは、特に、横キズ，横スジ，ピン状の凹凸欠陥，異物の検出に用いることができる。図１６（ｂ）は、光源ユニット３の左右列の双方における縦に配した三つの光源部３ａ，３ｄ，３ｇと三つの光源部３ｃ，４ｆ，３ｉを点灯させ、中央列における縦に配した三つの光源部３ｂ，３ｅ，３ｈを消灯させる点灯パターンである。この点灯パターンは、特に、縦キズ，縦スジ，ピン状の凹凸欠陥，異物の検出に用いることができる。図１６（ｃ）は、光源ユニット３の右上と左下に位置する二つの光源部３ｃ，３ｇを点灯させ、他の七つの光源部３ａ，３ｂ，３ｄ…３ｆ，３ｈ，３ｉを消灯させる点灯パターンである。この点灯パターンは、特に、右下がりの斜めキズ，右下がりの斜めスジ，ピン状の凹凸欠陥，異物の検出に用いることができる。図１６（ｄ）は、光源ユニット３の左上と右下に位置する二つの光源部３ａ，３ｉを点灯させ、他の七つの光源部３ｂ…３ｈを消灯させる点灯パターンである。この点灯パターンは、特に、左下がりの斜めキズ，左下がりの斜めスジ，ピン状の凹凸欠陥，異物の検出に用いることができる。

次に、外観検査システム１に備えるライン照明装置Ｍ１の変更実施形態について、図１７〜図１９を参照して説明する。

図１７は、各光源部３ａ…にカラーＬＥＤを使用するとともに、ライン撮像部Ｄ２に三ラインカラーＣＣＤリニアイメージセンサ等を使用することにより、特定のカラーに対応する光源部３ａ…のみを特定して検出できるようにしたものである。図１７中、「Ｂ」は青色、「Ｇ」は緑色、「Ｒ」は赤色を示している。

図１７（ａ）は、光源ユニット３における中央の光源部３ｅ（第一光源ブロックＢ１）に赤色ＬＥＤを使用し、他の光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉ（第二光源ブロックＢ２）に青色ＬＥＤを使用したものである。これにより、各光源部３ａ…の全てを点灯させた状態において、ライン撮像部Ｄ２から赤色信号（Ｒ成分の画像）のみを取り込めば、明視野照明モードによる外観検査機能を実現できるとともに、ライン撮像部Ｄ２から青色信号（Ｂ成分の画像）のみを取り込めば、暗視野照明モードによる外観検査機能を実現できる。したがって、明視野照明モードと暗視野照明モードによる双方の外観検査機能を同時に実現できる。

図１７（ｂ）は、光源ユニット３における中央の光源部３ｅ（第一光源ブロックＢ１）に赤色ＬＥＤを使用するとともに、四隅となる、左上，右上，左下，右下の四つの光源部３ａ，３ｃ，３ｇ，３ｉに青色ＬＥＤを使用し、さらに、中央の光源部３ｅに対して上下及び左右に位置する四つの光源部３ｂ，３ｄ，３ｆ，３ｈに緑色ＬＥＤを使用したものである。これにより、各光源部３ａ…の全てを点灯させた状態において、ライン撮像部Ｄ２から赤色信号（Ｒ成分の画像）のみを取り込めば、明視野照明モードによる外観検査機能を実現できるとともに、ライン撮像部Ｄ２から青色信号（Ｂ成分の画像）のみを取り込めば、縦キズ，縦スジ，横キズ，横スジの検出を行うことができ、さらに、ライン撮像部Ｄ２から緑色信号（Ｇ成分の画像）のみを取り込めば、斜めキズ，斜めスジの検出を行うことができる。

図１７（ｃ）は、光源ユニット３における中央の光源部３ｅ（第一光源ブロックＢ１）を消灯させるとともに、中央の光源部３ｅに対して左右に位置する二つの光源部３ｄ，３ｆに赤色ＬＥＤを使用し、中央の光源部３ｅに対して上下に位置する二つの光源部３ｂ，３ｈに緑色ＬＥＤを使用し、他の位置となる四隅、即ち、左上，右上，左下，右下の四つの光源部３ａ，３ｃ，３ｇ，３ｉに青色ＬＥＤを使用したものである。これにより、各光源部３ａ…の全てを点灯させた状態において、ライン撮像部Ｄ２から赤色信号（Ｒ成分の画像）のみを取り込めば、縦キズ，縦スジの検出を行うことができるとともに、ライン撮像部Ｄ２から緑色信号（Ｇ成分の画像）のみを取り込めば、横キズ，横スジの検出を行うことができ、さらに、ライン撮像部Ｄ２から青色信号（Ｂ成分の画像）のみを取り込めば、斜めキズ，斜めスジの検出を行うことができる。

他方、図１８は、各光源部３ａ…に、発色の異なる複数種類のＬＥＤ１１…，１１ｒ…，１１ｇ…，１１ｂ…を設け、各ＬＥＤ１１…，１１ｒ…，１１ｇ…，１１ｂ…を選択的に発光可能に構成したものである。例示の場合、光源部３ａ（他の光源部３ｂ…３ｉも同じ）における最上段に四列の白色ＬＥＤ１１…を配し、次の段に四列の赤色ＬＥＤ１１ｒ…を配し、次の段に四列の緑色ＬＥＤ１１ｇ…を配し、最下段に四列の青色ＬＥＤ１１ｂ…を、配したものであり、縦方向に四行となる。使用時には、各段のＬＥＤ１１…，１１ｒ…，１１ｇ…，１１ｂ…を選択的に点灯させることができる。この際、光源ユニット３を上下に変位させ、点灯させたＬＥＤ１１…（又はＬＥＤ１１ｒ…，１１ｇ…，１１ｂ…）を光軸上に位置させる。これにより、照明色の変更を容易に行えるとともに、照明色を変更してカラーカメラに準じた検査も容易に実施できるなど、照明色の観点から多様性（多機能性）を高めることができる。

図１９は、各光源部３ａ…に、光波長の異なる複数種類のＬＥＤ１１…，１１ｉ…，１１ｕ…を設け、各ＬＥＤ１１…，１１ｉ…，１１ｕ…を選択的に発光可能に構成したものである。例示の場合、光源部３ａ（他の光源部３ｂ…３ｉも同じ）における最上段に白色ＬＥＤ１１…を配し、次の段に近赤外線ＬＥＤ１１ｉ…を配し、最下段に近紫外線ＬＥＤ１１ｕ…を配したものであり、縦方向に三行となる。使用時には、各段のＬＥＤ１１…，１１ｉ…，１１ｕ…を選択的に点灯させることができる。この際、光源ユニット３を上下に変位させ、点灯させたＬＥＤ１１…（又はＬＥＤ１１ｉ…，１１ｕ…）を光軸上に位置させる。これにより、目視検査ができないものであっても可視化により検査可能にできるなど、光波長の観点から多様性（多機能性）を高めることができる。

このように、本実施形態に係る外観検査システム１は、基本構成として、検査対象面Ｓｄに対して照明を行う照明装置Ｍ１と、この照明装置Ｍ１により照射された検査対象面Ｓｄをリニア撮像部Ｄ２により撮像し、かつ画像処理部Ｄ３による画像処理により検査対象面Ｓｄの外観検査を行う撮像装置Ｄ１とを備えるとともに、特に、ライン照明装置Ｍ１に、中央に配した第一光源ブロックＢ１及びこの第一光源ブロックＢ１の周囲に配した第二光源ブロックＢ２を有する光源ユニット３と、光軸を第一光源ブロックＢ１に一致させることにより、光源ユニット３の光Ｃｏを、等方性の照射角度を有する光Ｃｐｓに変換して検査対象面Ｓｄに照射する光学処理系Ｕｃと、光源ユニット３の点灯制御を行う照明コントローラＭｃとを設けるとともに、撮像装置Ｄ１に、第一光源ブロックＢ１からの光Ｃｐｓを透過し、かつ第二光源ブロックＢ２からの光Ｃｐｓを非透過にする瞳Ｄｉｒを設けてなるため、単体装置として明視野照明及び暗視野照明に基づく双方の検査を容易に行うことができるとともに、加えて、各種検査機能を実現できる。具体的には、検査対象面Ｓｄに正常に存在する研磨目（ヘアライン）等を目立たなくして欠陥のみを顕在化させる機能，照明色や光波長を変更してカラーカメラに準じた検査を可能にする機能，目視検査ができない面を可視化して目視検査を可能にする機能，などの各種機能を実現でき、拡張性及び多機能性（多様性）に優れた外観検査システム１を提供できる。また、各種検査機能を備える多機能性を実現できると同時に、比較的単純な構成及び少ない部品点数により容易に実施できる。したがって、システム全体の大幅なサイズダウン及びコストダウンを実現できる。

以上、好適実施形態（変更実施形態）について詳細に説明したが、本発明は、このような各実施形態に限定されるものではなく、細部の構成，形状，素材，数量，手法等において、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更，追加，削除することができる。

例えば、光源ユニット３は、横方向に三列，縦方向に三行となる、マトリクス状に配した計九つの光源部３ａ，３ｂ…３ｉを備え、中央に配した一つの光源部３ｅを第一光源ブロックＢ１とし、他の八つの光源部３ａ…３ｄ及び３ｆ…３ｉを第二光源ブロックＢ２として用いた場合を示したが、各光源部３ａ，３ｂ…の列数及び行数は任意の数により実施できるとともに、必ずしも横方向及び縦方向に配列させることを要しない。したがって、ドーナツ形に構成した一つの光源部を第二光源ブロックＢ２としてもよい。また、光源部３ａ…に、一又は二以上のＬＥＤ（発光ダイオード）１１…を用いた場合を例示したが、基本的には光を発する各種発光手段（レーザー等）を適用できるとともに、発色や光波長の種類は例示のものに限定されるものではない。一方、多光源化部５ａ…として、インテグレータレンズ１２を用いた場合を例示したが、同様の機能を有する他の多光源化部により置換できる。他方、撮像装置Ｄ１にリニア撮像部（Ｄ２）を内蔵した場合と照明装置Ｍ１にライン照明装置（Ｍ１）を用いた場合を例示したが、例示に限定されることなく、各種方式の撮像装置Ｄ１及び照明装置Ｍ１を利用可能である。

本発明に係る外観検査システムは、製品等の各種検査対象物におけるキズ，スジ，点，汚れ，凹凸，付着物等の検出に利用できる。

１：外観検査システム，３：光源ユニット，３ａ：光源部，３ｂ：光源部，３ｃ：光源部，３ｄ：光源部，３ｅ：光源部，３ｆ：光源部，３ｇ：光源部，３ｈ：光源部，３ｉ：光源部Ｓｄ：検査対象面，４ａ…：前段光学部，５ａ…：多光源化部，５ｓ…：小光源部，６：後段光学部，１１…：ＬＥＤ，１１ｒ：ＬＥＤ，１１ｂ：ＬＥＤ，１１ｇ：ＬＥＤ，１１ｉ：ＬＥＤ，１１ｕ：ＬＥＤ，Ｍ１：照明装置（ライン照明装置），Ｍｃ：照明コントローラ，Ｄ１：撮像装置，Ｄ２：撮像部（リニア撮像部），Ｄ３：画像処理部，Ｄｉｒ：瞳，Ｂ１：第一光源ブロック，Ｂ２：第二光源ブロック，Ｃ：ライン照明，Ｃｏ：光源ユニットの光，Ｃｐ…：平行光，Ｃｐｓ：光，Ｕｃ：光学処理系

Claims (7)

1. 検査対象面に対して照明を行う照明装置と、この照明装置により照射された検査対象面を撮像部により撮像し、かつ画像処理部による画像処理により検査対象面の外観検査を行う撮像装置とを備える外観検査システムであって、前記照明装置に、中央に配した第一光源ブロック及びこの第一光源ブロックの周囲に配した第二光源ブロックを有する光源ユニットと、光軸を前記第一光源ブロックに一致させるとともに、前記光源ユニットの光を、等方性の照射角度を有する光に変換し、前記検査対象面に照射する光学処理系と、前記光源ユニットの点灯制御を行う照明コントローラとを設けるとともに、前記撮像装置に、前記第一光源ブロックからの光を透過し、かつ前記第二光源ブロックからの光を非透過にする瞳を設けてなることを特徴とする外観検査システム。
2. 前記光源ユニットは、横方向に三列，縦方向に三行となる、マトリクス状に配した計九つの光源部により構成し、中央に配した一つの光源部を前記第一光源ブロックとし、周囲に配した八つの光源部を前記第二光源ブロックとして用いることを特徴とする請求項１記載の外観検査システム。
3. 前記光源部は、一又は二以上のＬＥＤを用いて構成することを特徴とする請求項２記載の外観検査システム。
4. 前記光源部は、発色の異なる複数種類のＬＥＤを選択して使用可能に構成することを特徴とする請求項３記載の外観検査システム。
5. 前記光源部は、光波長の異なる複数種類のＬＥＤを選択して使用可能に構成することを特徴とする請求項３又は４記載の外観検査システム。
6. 前記撮像部にはリニア撮像部を用いることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の外観検査システム。
7. 前記光学処理系は、前記光源部から出射した光を平行光に変換する前段光学部と、この前段光学部から出射した平行光を複数のライン状の小光源部に変換して多光源化する多光源化部と、各小光源部から出射した各光を集光し、検査対象面に照射してライン照明に変換する後段光学部とを備えることを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載の外観検査システム。

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