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JP6164072B2 - Liquid crystal panel manufacturing apparatus and liquid crystal panel manufacturing method - Google Patents

Liquid crystal panel manufacturing apparatus and liquid crystal panel manufacturing method Download PDF

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JP6164072B2 JP2013253584A JP2013253584A JP6164072B2 JP 6164072 B2 JP6164072 B2 JP 6164072B2 JP 2013253584 A JP2013253584 A JP 2013253584A JP 2013253584 A JP2013253584 A JP 2013253584A JP 6164072 B2 JP6164072 B2 JP 6164072B2
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Description

本発明の実施形態は、液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法に関する。   Embodiments described herein relate generally to a liquid crystal panel manufacturing apparatus and a liquid crystal panel manufacturing method.

液晶パネルの製造において、光反応性を持つ高分子体を備えた被処理パネルに、紫外線ランプ等の光源を用いて、所定波長の光を照射することにより、高分子体を化学反応させて配向機能を持たせる光配向という工程を行う方法がある。   In the manufacture of liquid crystal panels, a polymer panel is irradiated with light of a predetermined wavelength using a light source such as an ultraviolet lamp on a panel to be processed that has a photoreactive polymer. There is a method of performing a process called photo-alignment to give a function.

特に、ブルー相液晶を高分子で安定化させた状態、即ち高分子安定化ブルー相(Polymer Stabilized Blue Phase:PSBP)を発現させるためには、光照射時の被処理パネルの温度むら及び温度の経時変化が表示特性のむらに与える影響が大きい。このために、被処理パネルに所定波長の光を照射する液晶パネルの製造方法では、紫外線照射時の被処理パネルの温度の不均一の抑制と、被処理パネルの表面の温度の変化の抑制とが強く望まれる。   In particular, in order to develop a state in which the blue phase liquid crystal is stabilized with a polymer, that is, a polymer stabilized blue phase (PSBP), the temperature unevenness and temperature of the panel to be processed during light irradiation are reduced. The influence of the change over time on the uneven display characteristics is great. For this reason, in the method for manufacturing a liquid crystal panel that irradiates the panel to be processed with light of a predetermined wavelength, the unevenness of the temperature of the panel to be processed at the time of ultraviolet irradiation, Is strongly desired.

そこで、光反応性物質を含む液晶パネルの製造工程において用いられる紫外線照射装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に示された紫外線照射装置は、光源エレメントの各々における外套管の内部に冷却風を供給する冷却機構を備える構成が記載されている。   Therefore, an ultraviolet irradiation device used in a manufacturing process of a liquid crystal panel containing a photoreactive substance has been proposed (see, for example, Patent Document 1). The ultraviolet irradiation device disclosed in Patent Document 1 describes a configuration including a cooling mechanism that supplies cooling air to the inside of the outer tube of each light source element.

特開2011−215463号公報JP 2011-215463 A

しかしながら、特許文献1に示された紫外線照射装置では、高分子安定化ブルー相を発現させるための被処理パネルの温度の不均一を抑制したり、被処理パネルの温度の変化を抑制したりすることが困難である。   However, in the ultraviolet irradiation device disclosed in Patent Document 1, nonuniformity of the temperature of the panel to be processed for expressing the polymer-stabilized blue phase is suppressed, or the change of the temperature of the panel to be processed is suppressed. Is difficult.

本発明は、被処理パネルの温度の不均一の抑制と、被処理パネルの温度の変化を抑制する液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a liquid crystal panel manufacturing apparatus and a liquid crystal panel manufacturing method that suppress unevenness of the temperature of the panel to be processed and suppress changes in the temperature of the panel to be processed.

実施形態の液晶パネルの製造装置は、光照射部と;照射ボックスと;ステージと;チャンバーと;循環型空冷装置と;を備える。光照射部は、光を放出する。照射ボックスは、光照射部からの光を透過する窓材を有する。ステージは、窓材と対面するように設けられかつ被処理パネルが載置される載置面を備えている。ステージは、内部に載置面の光が照射されるエリアを温度制御する液体を流通させる。チャンバーは、照射ボックスとステージを覆う。循環型空冷装置は、チャンバーに設けられた導入口と排出口とを備え、導入口から導入された気体が排出口から排出され、チャンバー内の温度を制御する。   The liquid crystal panel manufacturing apparatus of the embodiment includes a light irradiation unit; an irradiation box; a stage; a chamber; and a circulation type air cooling apparatus. The light irradiation unit emits light. The irradiation box has a window material that transmits light from the light irradiation unit. The stage is provided so as to face the window member and includes a placement surface on which the panel to be processed is placed. A stage distribute | circulates the liquid which temperature-controls the area where the light of a mounting surface is irradiated inside. The chamber covers the irradiation box and the stage. The circulation type air cooling apparatus includes an inlet and an outlet provided in the chamber, and the gas introduced from the inlet is discharged from the outlet to control the temperature in the chamber.

本発明によれば、被処理パネルの温度の不均一の抑制と、被処理パネルの温度の変化を抑制する液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing apparatus of a liquid crystal panel and the manufacturing method of a liquid crystal panel which suppress the nonuniformity of the temperature of a to-be-processed panel and the temperature change of a to-be-processed panel can be provided.

図1は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus according to an embodiment. 図2は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment. 図3は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置により光が照射される被処理パネルの構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a panel to be processed which is irradiated with light by the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment. 図4は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の窓材の透過する光を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating light transmitted through the window material of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment. 図5は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の窓材の構成を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the configuration of the window material of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment. 図6は、比較例と本発明品1、2の温度変化の測定箇所を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing measurement points of temperature change of the comparative example and the products 1 and 2 of the present invention. 図7は、実施形態の変形例に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus according to a modification of the embodiment. 図8は、実施形態の他の変形例に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus according to another modification of the embodiment.

以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造装置1は、光照射部10と、照射ボックス20と、ステージ30と、チャンバー40と、循環型空冷装置50とを備える。光照射部10は、光を放出する。照射ボックス20は、光照射部10からの光を透過する窓材21を有する。ステージ30は、窓材21と対面するように設けられかつ被処理パネル2が載置される載置面31を備えている。ステージ30は、内部に載置面31の光が照射されるエリアを温度制御する液体を流通させる。チャンバー40は、照射ボックス20とステージ30を覆う。循環型空冷装置50は、チャンバー40に設けられた導入口51と排出口52とを備え、導入口51から導入された気体が排出口52から排出され、チャンバー40内の温度を制御する。   The liquid crystal panel manufacturing apparatus 1 according to the embodiment described below includes a light irradiation unit 10, an irradiation box 20, a stage 30, a chamber 40, and a circulation type air cooling device 50. The light irradiation unit 10 emits light. The irradiation box 20 includes a window material 21 that transmits light from the light irradiation unit 10. The stage 30 includes a placement surface 31 that is provided so as to face the window member 21 and on which the panel to be processed 2 is placed. The stage 30 circulates a liquid that controls the temperature of the area of the mounting surface 31 where the light is irradiated. The chamber 40 covers the irradiation box 20 and the stage 30. The circulation type air cooling device 50 includes an inlet 51 and an outlet 52 provided in the chamber 40, and the gas introduced from the inlet 51 is discharged from the outlet 52 to control the temperature in the chamber 40.

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造装置1は、前記窓材21が、予め定められた波長の紫外線もしくは赤外線の透過を抑制、または予め定められた波長の紫外線および赤外線の双方の透過を抑制する機能を備える。   In the liquid crystal panel manufacturing apparatus 1 according to the embodiment described below, the window material 21 suppresses transmission of ultraviolet rays or infrared rays having a predetermined wavelength, or both ultraviolet rays and infrared rays having a predetermined wavelength. The function which suppresses permeation of is provided.

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造装置1は、被処理パネル2が、カラーフィルタ基板3又は対向基板4と、対向基板4と、液晶層5とを備える。対向基板4は、カラーフィルタ基板3に対向する。液晶層5は、カラーフィルタ基板3と、対向基板4との間に設けられる。被処理パネル2は、カラーフィルタ基板3側が載置面31と接触するようにステージ30に配置され、光照射部10は、対向基板4の側から被処理パネル2に光を照射する。   In the liquid crystal panel manufacturing apparatus 1 according to the embodiment described below, the panel to be processed 2 includes a color filter substrate 3 or a counter substrate 4, a counter substrate 4, and a liquid crystal layer 5. The counter substrate 4 faces the color filter substrate 3. The liquid crystal layer 5 is provided between the color filter substrate 3 and the counter substrate 4. The panel 2 to be processed is disposed on the stage 30 so that the color filter substrate 3 side is in contact with the placement surface 31, and the light irradiation unit 10 irradiates the panel 2 to be processed from the counter substrate 4 side.

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造装置1は、液晶層5が、少なくとも、ネマティック液晶組成物、ブルー相を発現する液晶組成物、及び、重合性モノマーを含んでいる。液晶層5は、光の照射により高分子安定化ブルー相を発現する。   In the liquid crystal panel manufacturing apparatus 1 according to the embodiment described below, the liquid crystal layer 5 includes at least a nematic liquid crystal composition, a liquid crystal composition expressing a blue phase, and a polymerizable monomer. The liquid crystal layer 5 develops a polymer-stabilized blue phase when irradiated with light.

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造装置1は、光照射部10が、300nm〜400nmを主波長とし、かつ、載置面における365nmの波長の光の照度が15mW/cm以下の光源11を備える。 In addition, in the liquid crystal panel manufacturing apparatus 1 according to the embodiment described below, the light irradiation unit 10 has a main wavelength of 300 nm to 400 nm, and the illuminance of light having a wavelength of 365 nm on the mounting surface is 15 mW / cm 2. The following light source 11 is provided.

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造装置1は、光が照射されるときの被処理パネル2における温度が、10℃〜70℃の間の設定温度に対して、±0.5℃以内となるように、ステージ30および循環型空冷装置50が制御される。   Further, in the liquid crystal panel manufacturing apparatus 1 according to the embodiment described below, the temperature in the panel 2 to be processed when irradiated with light is ± 0. The stage 30 and the circulation type air cooling device 50 are controlled so as to be within 5 ° C.

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネルの製造方法は、光を放出する光照射部10と;光照射部10からの光を透過する窓材21を有する照射ボックス20と;窓材21と対面するように設けられかつ被処理パネル2が載置される載置面31を備え、内部に載置面31の光が照射されるエリアを温度制御する液体を流通させるステージ30と;照射ボックス20とステージ30を覆うチャンバー40と;チャンバー40に設けられた導入口51と排出口52とを備え、導入口51から導入された気体が排出口52から排出され、チャンバー40内の温度を制御する循環型空冷装置53と;を備え、ステージ30の載置面31に被処理パネル2を載置するステップと;ステージ30内に前記液体を流通させるとともに、前記気体を導入口51からチャンバー40内に導入して排出口52から排出循環させながら、載置面31に配置される被処理パネル2に窓材21を通して光照射部10から光を照射するステップと;を有する。   Moreover, the manufacturing method of the liquid crystal panel which concerns on embodiment described below is the light irradiation part 10 which emits light; The irradiation box 20 which has the window material 21 which permeate | transmits the light from the light irradiation part 10, and; A stage 30 provided with a placement surface 31 on which the panel 2 to be treated is placed, and a liquid for controlling the temperature in an area irradiated with light on the placement surface 31; A chamber 40 covering the box 20 and the stage 30; and an inlet 51 and an outlet 52 provided in the chamber 40. The gas introduced from the inlet 51 is exhausted from the outlet 52, and the temperature in the chamber 40 is adjusted. A circulating air-cooling device 53 for controlling; placing the panel to be treated 2 on the placement surface 31 of the stage 30; circulating the liquid in the stage 30, and introducing the gas Having; while discharged circulated from the discharge port 52 is introduced into the chamber 40 from 51, and the step of irradiating the light from the light irradiation unit 10 through the processed panel 2 to the window material 21 arranged on the mounting surface 31.

[実施形態]
次に、本発明の実施形態に係る液晶パネルの製造装置1を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す図、図2は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す断面図、図3は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置により光が照射される被処理パネルの構成を示す断面図、図4は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の窓材の透過する光を説明する図、図5は、実施形態に係る液晶パネルの製造装置の窓材の構成を示す断面図である。
[Embodiment]
Next, a liquid crystal panel manufacturing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment, and FIG. Sectional drawing which shows the structure of the to-be-processed panel irradiated with light by the manufacturing apparatus of the said liquid crystal panel, FIG. 4 is a figure explaining the light which the window material of the manufacturing apparatus of the liquid crystal panel which concerns on embodiment transmits, FIG. It is sectional drawing which shows the structure of the window material of the manufacturing apparatus of the liquid crystal panel which concerns on embodiment.

図1に示された実施形態の液晶パネルの製造装置(以下、単に製造装置と記す)1は、一定の温度に保ちながら被処理パネル2に光を照射して、被処理パネル2に例えば液晶ディスプレイを構成する高分子安定化ブルー相などを発現させるものである。製造装置1により光が照射される被処理パネル2は、図3に示すように、カラーフィルタ基板3と、カラーフィルタ基板3に対向する対向基板4と、カラーフィルタ基板3と対向基板4との間に設けられた液晶層5とを備えている。   A liquid crystal panel manufacturing apparatus (hereinafter simply referred to as a manufacturing apparatus) 1 according to the embodiment shown in FIG. 1 irradiates a panel 2 to be processed while maintaining a constant temperature, and applies, for example, liquid crystal to the panel 2 to be processed. The polymer-stabilized blue phase constituting the display is developed. As shown in FIG. 3, the panel 2 to be processed irradiated with light by the manufacturing apparatus 1 includes a color filter substrate 3, a counter substrate 4 facing the color filter substrate 3, and the color filter substrate 3 and the counter substrate 4. And a liquid crystal layer 5 provided therebetween.

カラーフィルタ基板3は、例えば、赤色、緑色、青色の光を透過するカラーフィルタを基板上に配置し、保護膜で覆ったものである。対向基板4は、電極がアレイ状に配置された基板である。液晶層5は、少なくとも、ネマティック液晶組成物、ブルー相を発現する液晶組成物、及び、重合性モノマーを含んでいる。液晶層5は、製造装置1による光の照射により、高分子安定化ブルー相を発現するものである。   The color filter substrate 3 is, for example, a color filter that transmits red, green, and blue light is disposed on a substrate and covered with a protective film. The counter substrate 4 is a substrate on which electrodes are arranged in an array. The liquid crystal layer 5 includes at least a nematic liquid crystal composition, a liquid crystal composition expressing a blue phase, and a polymerizable monomer. The liquid crystal layer 5 expresses a polymer-stabilized blue phase when irradiated with light from the production apparatus 1.

液晶層5を構成するネマティック液晶組成物とは、誘電異方性を有する材料で構成される。   The nematic liquid crystal composition constituting the liquid crystal layer 5 is made of a material having dielectric anisotropy.

ブルー相を発現する液晶組成物とは、安定に存在できる温度範囲を例えば、室温、具体的には0℃以上に拡大しながらも、光が照射されることで、ネマティック液晶組成物よりも高応答性を可能とする材料である。ブルー相を発現する液晶組成物とは、例えば、10℃〜70℃の間の所定の設定温度に対して、±0.5℃以内に保たれた状態で、光が照射されると、むらなく高分子安定化ブルー相を発現するものである。例えば、設定温度が55℃である場合には、ブルー相を発現する液晶組成物とは、54.5℃〜55.5℃の範囲内に温度が保たれた状態で、光が照射されると、むらなく高分子安定化ブルー相を発現するものであり、設定温度が60℃である場合には、ブルー相を発現する液晶組成物とは、59.5℃〜60.5℃の範囲内に温度が保たれた状態で、光が照射されると、むらなく高分子安定化ブルー相を発現するものである。   A liquid crystal composition exhibiting a blue phase is a temperature range that can stably exist, for example, at room temperature, specifically, 0 ° C. or higher, while being irradiated with light, which is higher than that of a nematic liquid crystal composition. It is a material that enables responsiveness. A liquid crystal composition that develops a blue phase is, for example, unevenness when irradiated with light in a state of being kept within ± 0.5 ° C. with respect to a predetermined set temperature between 10 ° C. and 70 ° C. And exhibiting a polymer-stabilized blue phase. For example, when the set temperature is 55 ° C., the liquid crystal composition exhibiting a blue phase is irradiated with light while the temperature is maintained within a range of 54.5 ° C. to 55.5 ° C. When the set temperature is 60 ° C., the liquid crystal composition expressing the blue phase is in the range of 59.5 ° C. to 60.5 ° C. When light is irradiated with the temperature kept inside, the polymer-stabilized blue phase is uniformly exhibited.

重合性モノマーとは、ネマティック液晶組成物や高分子安定化ブルー相を発現する液晶組成物の組成を安定化させるための材料である。   The polymerizable monomer is a material for stabilizing the composition of a nematic liquid crystal composition or a liquid crystal composition that exhibits a polymer-stabilized blue phase.

製造装置1は、図1および図2に示すように、光を放出する光照射部10と、照射ボックス20と、ステージ30と、チャンバー40と、循環型空冷装置50と、制御手段60などを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the manufacturing apparatus 1 includes a light irradiation unit 10 that emits light, an irradiation box 20, a stage 30, a chamber 40, a circulation type air cooling device 50, a control unit 60, and the like. I have.

光照射部10は、光を放出するものであって、照射ボックス20内、具体的には、照射ボックス20に光照射部10からの光を透過する窓材21と対面するステージ30の載置面31上に載置される被処理パネル2に窓材21を通して光を照射可能なものである。光照射部10は、光源としての棒状ランプ11を複数備えている。棒状ランプ11は、水銀、鉄やヨウ素などのメタルハライド、アルゴンなどの希ガスを封入して、主に紫外線を放出するメタルハライドランプなどの直線状に延びた管型ランプである。棒状ランプ11は、300nm〜400nmを主波長とし、かつ、365nmの波長の光(紫外線)の照度が15mW/cm以下である。また、棒状ランプ11の長手方向は、チャンバー40に設けられた導入口51から排出口52に向う方向即ちチャンバー40内での気体としての気体が流れる方向と平行である。なお、照度計としてUV−M02(株式会社オーク製作所製)を用い、受光器としてUV−SN35(株式会社オーク製作所製)を用いることができる。 The light irradiation unit 10 emits light, and the stage 30 facing the window member 21 that transmits light from the light irradiation unit 10 in the irradiation box 20, specifically, the irradiation box 20. The panel 2 to be processed placed on the surface 31 can be irradiated with light through the window material 21. The light irradiation unit 10 includes a plurality of rod-shaped lamps 11 as light sources. The rod-shaped lamp 11 is a tube lamp that extends linearly, such as a metal halide lamp that mainly emits ultraviolet rays by enclosing a metal halide such as mercury, iron or iodine, or a rare gas such as argon. The rod-shaped lamp 11 has a main wavelength of 300 nm to 400 nm, and the illuminance of light (ultraviolet light) having a wavelength of 365 nm is 15 mW / cm 2 or less. Further, the longitudinal direction of the rod-shaped lamp 11 is parallel to the direction from the inlet 51 provided in the chamber 40 to the outlet 52, that is, the direction in which gas as gas in the chamber 40 flows. In addition, UV-M02 (made by Oak Manufacturing Co., Ltd.) can be used as an illuminance meter, and UV-SN35 (made by Oak Manufacturing Co., Ltd.) can be used as a light receiver.

本実施形態で、棒状ランプ11は、三つ設けられ、かつ、照射ボックス20およびステージ30、載置面31上に載置された被処理パネル2の上方に配置されている。また、棒状ランプ11は、この棒状ランプ11が照射する光を通す図示しない水冷ジャケットに覆われている。水冷ジャケットは、水が充填され、この充填された水が循環されることで、棒状ランプ11を所望の動作温度に保つものである。   In the present embodiment, three rod-shaped lamps 11 are provided and are disposed above the panel 2 to be processed placed on the irradiation box 20, the stage 30, and the placement surface 31. Further, the rod-shaped lamp 11 is covered with a water cooling jacket (not shown) through which light irradiated by the rod-shaped lamp 11 passes. The water-cooled jacket is filled with water, and the charged water is circulated to keep the rod-shaped lamp 11 at a desired operating temperature.

照射ボックス20は、箱状に形成され、ステージ30の載置面31に載置される被処理パネル2を内部に収容するように、ステージ30上に配置される。また、照射ボックス20は、光照射部10と載置面31との間に設けられ、光照射部10からの光が照射される窓材21を有している。   The irradiation box 20 is formed in a box shape and is disposed on the stage 30 so as to accommodate the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 of the stage 30 therein. The irradiation box 20 includes a window member 21 that is provided between the light irradiation unit 10 and the placement surface 31 and is irradiated with light from the light irradiation unit 10.

窓材21は、予め定められた波長の紫外線および赤外線の双方の透過を抑制する機能を有するものである。窓材21は、液晶層5が高分子安定化ブルー相を発現するのに適する波長の光を透過させ、他の光の透過を抑制(制限)するものである。本実施形態で、窓材21は、図5に示すように、第1のフィルタ22と、第2のフィルタ23とが重ねられて構成されている。第1のフィルタ22は、図4に実線で示すように、波長[nm]がA〜Bの紫外線を透過させ、他の光(波長[nm]がAよりも短い紫外線、波長[nm]がBよりも長い紫外線、可視光線、赤外線)の透過を抑制(制限)する。第2のフィルタ23は、図4に二点鎖線で示すように、波長[nm]がC〜Dの紫外線、可視光線、赤外線を透過させ、他の光(特に、波長[nm]がCよりも短い紫外線、波長[nm]がDよりも長い赤外線)の透過を抑制(制限)する。なお、Cは、Aよりも長く、Bよりも短く、Bは、Dよりも短い。このため、本実施形態で、窓材21は、図4に平行斜線で示すように、波長[nm]がC〜Bの紫外線を透過し、他の光の透過を抑制(制限)するものである。また、本発明では、前述した第2のフィルタ23に波長[nm]がA〜Bの紫外線を透過させかつ他の光の透過を抑制(制限)するフィルタを蒸着することで、窓材21を構成してもよい。   The window material 21 has a function of suppressing transmission of both ultraviolet rays and infrared rays having a predetermined wavelength. The window material 21 transmits light having a wavelength suitable for the liquid crystal layer 5 to exhibit a polymer-stabilized blue phase, and suppresses (limits) transmission of other light. In the present embodiment, the window material 21 is configured by overlapping a first filter 22 and a second filter 23 as shown in FIG. As shown by a solid line in FIG. 4, the first filter 22 transmits ultraviolet rays having a wavelength [nm] of A to B, and other light (ultraviolet rays having a wavelength [nm] shorter than A, wavelength [nm] Transmission (ultraviolet light, visible light, infrared light) longer than B is suppressed (restricted). As shown by a two-dot chain line in FIG. 4, the second filter 23 transmits ultraviolet rays, visible rays, and infrared rays having a wavelength [nm] of C to D, and other light (especially, the wavelength [nm] is from C). Also suppresses (limits) transmission of short ultraviolet rays and infrared rays having a wavelength [nm] longer than D). C is longer than A, shorter than B, and B is shorter than D. Therefore, in this embodiment, the window material 21 transmits ultraviolet rays having a wavelength [nm] of C to B and suppresses (limits) the transmission of other light, as indicated by parallel oblique lines in FIG. is there. Moreover, in this invention, the window material 21 is made to vapor-deposit the filter which permeate | transmits the ultraviolet-ray whose wavelength [nm] is AB from the 2nd filter 23 mentioned above, and suppresses (limits) transmission of other light. It may be configured.

また、本発明で、窓材21は、液晶層5が高分子安定化ブルー相を発現するのに適する波長の光を透過させることができるのであれば、予め定められた波長の紫外線の透過を抑制(制限)するフィルタで構成されてもよく、予め定められた波長の赤外線の透過を抑制(制限)するフィルタで構成されてもよい。このように、本発明で、窓材21は、液晶層5が高分子安定化ブルー相を発現するのに適する波長によって、予め定められた波長の紫外線もしくは赤外線の透過を抑制(制限)する機能を備えていればよい。   In the present invention, if the window material 21 can transmit light having a wavelength suitable for the liquid crystal layer 5 to exhibit a polymer-stabilized blue phase, the window material 21 transmits ultraviolet light having a predetermined wavelength. It may be configured by a filter that suppresses (limits), or may be configured by a filter that suppresses (limits) transmission of infrared light having a predetermined wavelength. Thus, in the present invention, the window material 21 has a function of suppressing (limiting) transmission of ultraviolet rays or infrared rays having a predetermined wavelength according to a wavelength suitable for the liquid crystal layer 5 to exhibit a polymer-stabilized blue phase. As long as it has.

ステージ30は、被処理パネル2を載置する載置面31を備え、内部に一定温度の液体としての水を循環させることで、載置面31に載置された被処理パネル2の温度を制御するものである。載置面31は、窓材21と対面するように設けられて、光照射部10と対向している。なお、本発明では、載置面31に載置される被処理パネル2が保たれる温度ができるだけ一定であるのが望ましく、載置面31に載置される被処理パネル2の温度が一定に保たれるのであれば、ステージ30内に循環される流体としての液体の温度が載置面31に載置される被処理パネル2の温度よりも若干低い温度であっても若干高い温度であってもよい。なお、本発明で、ステージ30は、水の他に種々の液体を循環させてもよい。   The stage 30 includes a mounting surface 31 on which the panel to be processed 2 is mounted, and the temperature of the panel to be processed 2 mounted on the mounting surface 31 is increased by circulating water as a liquid having a constant temperature inside. It is something to control. The mounting surface 31 is provided so as to face the window member 21 and faces the light irradiation unit 10. In the present invention, it is desirable that the temperature at which the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 is kept as constant as possible, and the temperature of the panel 2 to be treated placed on the placement surface 31 is constant. If the temperature of the liquid circulated in the stage 30 is slightly lower than the temperature of the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31, the temperature is slightly higher. There may be. In the present invention, the stage 30 may circulate various liquids in addition to water.

ステージ30上には、カラーフィルタ基板3側が載置面31と接触するように、被処理パネル2が載置される。即ち、被処理パネル2は、カラーフィルタ基板3が載置面31に接触するように、ステージ30の載置面31上に載置される。このために、光照射部10は、対向基板4の側から被処理パネル2に光を照射する。   On the stage 30, the processed panel 2 is placed so that the color filter substrate 3 side is in contact with the placement surface 31. That is, the panel 2 to be processed is placed on the placement surface 31 of the stage 30 so that the color filter substrate 3 contacts the placement surface 31. For this purpose, the light irradiation unit 10 irradiates the processed panel 2 with light from the counter substrate 4 side.

ステージ30は、アルミニウム合金などで構成された厚手の平板状に形成され、内部に被処理パネル2が所望の温度となるような温度の液体が循環される循環路(図示せず)が設けられている。ステージ30には、被処理パネル2の温度を一定に保ち、かつ、ステージ30の循環路内で流体としての液体を循環させる流体保温循環手段32が接続している。流体保温循環手段32は、例えば、液体を循環させるための循環路に連結された配管(図2に一部を示す)33、周知のヒータ、冷却装置や配管33内の液体を送り出すポンプなどで構成される。   The stage 30 is formed in a thick flat plate shape made of aluminum alloy or the like, and a circulation path (not shown) through which a liquid having a temperature at which the panel 2 to be processed reaches a desired temperature is provided. ing. Connected to the stage 30 is a fluid heat and circulation means 32 that keeps the temperature of the panel 2 to be treated constant and circulates a liquid as a fluid in the circulation path of the stage 30. The fluid heat-retaining / circulating means 32 is, for example, a pipe (partly shown in FIG. 2) 33 connected to a circulation path for circulating the liquid, a well-known heater, a cooling device, a pump for sending out the liquid in the pipe 33, or the like. Composed.

チャンバー40は、箱状に形成され、照射ボックス20とステージ30との全体を覆い、上部に光照射部10を設けている。   The chamber 40 is formed in a box shape, covers the entire irradiation box 20 and the stage 30, and has the light irradiation unit 10 on the top.

循環型空冷装置50は、図2に示すように、チャンバー40に設けられた導入口51と排出口52とを備え、導入口51から導入された気体が排出口52から排出され、チャンバー40内の温度を制御するものである。循環型空冷装置50は、導入口51から導入された気体を排出口52から排出して、チャンバー40内の温度を制御することで、チャンバー40内の温度即ち照射ボックス20内の被処理パネル2の温度を一定の温度に保つものである。   As shown in FIG. 2, the circulation type air cooling device 50 includes an introduction port 51 and a discharge port 52 provided in the chamber 40, and gas introduced from the introduction port 51 is discharged from the discharge port 52. The temperature is controlled. The circulation type air cooling device 50 discharges the gas introduced from the introduction port 51 from the discharge port 52 and controls the temperature in the chamber 40, whereby the temperature in the chamber 40, that is, the panel 2 to be processed in the irradiation box 20. Is to keep the temperature at a constant temperature.

本実施形態で、導入口51は、チャンバー40の長手方向の一端部の下部に開口し、排出口52は、チャンバー40の他端部の上部に開口している。循環型空冷装置50は、導入口51から導入される気体をチャンバー40内に流し、排出口52から排出する。循環型空冷装置50は、例えば、導入口51と排出口52とに加えて、気体を導入口51、チャンバー40内、排出口52とに順に循環させるための送風管(図2に示す)53と、気体を一定温度に保つ周知のヒータ、冷却装置や送風管53内の気体を送り出す送風機などを備えている。   In the present embodiment, the introduction port 51 opens at a lower portion of one end portion in the longitudinal direction of the chamber 40, and the discharge port 52 opens at an upper portion of the other end portion of the chamber 40. The circulation type air cooling device 50 causes the gas introduced from the inlet 51 to flow into the chamber 40 and discharges it from the outlet 52. The circulation type air cooling device 50 includes, for example, a blower pipe (shown in FIG. 2) 53 for circulating gas in order through the inlet 51, the chamber 40, and the outlet 52 in addition to the inlet 51 and the outlet 52. And a well-known heater for keeping the gas at a constant temperature, a cooling device, a blower for sending out the gas in the blower pipe 53, and the like.

なお、本発明で、導入口51、チャンバー40内、排出口52と順に循環される気体の温度と、載置面31に載置される被処理パネル2が保たれる温度とはできるだけ等しいのが望ましく、載置面31に載置される被処理パネル2が一定の温度に保たれるのであれば、循環される気体の温度が載置面31に載置される被処理パネル2の温度よりも若干低い温度であっても若干高い温度であってもよい。なお、気体の温度は、あくまで、目標とされる温度であって、実際の温度と異なる場合もある。   In the present invention, the temperature of the gas circulated in order from the introduction port 51, the chamber 40, and the discharge port 52, and the temperature at which the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 is kept as equal as possible. If the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 is maintained at a constant temperature, the temperature of the circulated gas is the temperature of the panel 2 to be placed placed on the placement surface 31. It may be a slightly lower temperature or a slightly higher temperature. Note that the gas temperature is only a target temperature and may be different from the actual temperature.

また、製造装置1は、例えば、排出口52の近傍などの適宜箇所に、ステージ30の内部に設けられた循環路を流通する液体、水冷ジャケットに循環される水や、チャンバー40の内外を循環される気体などの温度を検知する温度センサ(図示せず)を設けている。製造装置1は、例えば、導入口51の近傍などの適宜箇所に、導入口51から照射ボックス20内に導入される気体の流量を検知する流量センサを設けている。   In addition, the manufacturing apparatus 1 circulates the liquid circulating in the circulation path provided inside the stage 30, the water circulated in the water-cooling jacket, and the inside and outside of the chamber 40 at appropriate places such as the vicinity of the discharge port 52. There is provided a temperature sensor (not shown) for detecting the temperature of the gas or the like. The manufacturing apparatus 1 is provided with a flow rate sensor that detects the flow rate of the gas introduced from the introduction port 51 into the irradiation box 20 at an appropriate location such as the vicinity of the introduction port 51.

制御手段60は、製造装置1による光の照射動作を制御するものである。制御手段60は、流体保温循環手段32、循環型空冷装置50、光照射部10などに接続されている。制御手段60は、例えばCPU等で構成された演算処理装置やROM、RAM等を備える図示しないマイクロプロセッサを主体として構成されており、処理動作の状態を表示する表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる操作手段と接続されている。   The control means 60 controls the light irradiation operation by the manufacturing apparatus 1. The control means 60 is connected to the fluid heat and circulation means 32, the circulation type air cooling device 50, the light irradiation unit 10, and the like. The control means 60 is mainly composed of an arithmetic processing unit constituted by a CPU or the like, and a microprocessor (not shown) provided with a ROM, a RAM, etc., and a display means for displaying the status of the processing operation, and an operator can process content information. Etc. are connected to the operation means used when registering.

制御手段60は、ステージ30の載置面31に載置された被処理パネル2に光照射部10から光を照射する際には、温度センサなどの検知結果などに基づいて、棒状ランプ11を覆う水冷ジャケットを制御して、棒状ランプ11を所望の動作温度に保つ。また、制御手段60は、ステージ30の載置面31に載置された被処理パネル2に光照射部10から光を照射する際には、温度センサなどの検知結果などに基づいて、流体保温循環手段32を制御してステージ30に循環される液体の温度を一定に保ち、循環型空冷装置50を制御してチャンバー40の内外に循環される気体の温度を一定に保って、ステージ30の載置面31に載置された被処理パネル2の温度を一定に保つ。   When irradiating light from the light irradiation unit 10 to the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 of the stage 30, the control means 60 controls the rod lamp 11 based on the detection result of a temperature sensor or the like. The covered water cooling jacket is controlled to keep the bar lamp 11 at the desired operating temperature. In addition, when irradiating light from the light irradiation unit 10 to the processing panel 2 placed on the placement surface 31 of the stage 30, the control means 60 keeps the fluid warming based on the detection result of a temperature sensor or the like. The temperature of the liquid circulated to the stage 30 is controlled to be constant by controlling the circulation means 32, and the temperature of the gas circulated inside and outside of the chamber 40 is controlled to be constant by controlling the circulation type air cooling device 50. The temperature of the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 is kept constant.

例えば、制御手段60により、被処理パネル2に光照射部10から光を照射する際には、光が照射されるときの被処理パネル2の温度が、10℃〜70℃の間の所定の設定温度に対して±0.5℃以内となるように、ステージ30および循環型空冷装置50が制御される。即ち、本発明では、ステージ30の載置面31に載置された被処理パネル2の温度を一定に保つとは、10℃〜70℃の間の所定の設定温度に対して±0.5℃以内の温度に保つことをいう。例えば、設定温度が55℃である場合には、制御手段60により、被処理パネル2の温度が54.5℃〜55.5℃の範囲内の温度に保たれるように、流体保温循環手段32に循環される液体の温度及び照射ボックス20内の温度などが制御される。設定温度が60℃である場合には、制御手段60により、被処理パネル2の温度が59.5℃〜60.5℃の範囲内の温度に保たれるように、流体保温循環手段32に循環される液体の温度及び照射ボックス20内に導入される気体の流量、温度などが制御される。   For example, when the control unit 60 irradiates the processing panel 2 with light from the light irradiation unit 10, the temperature of the processing panel 2 when the light is irradiated is a predetermined value between 10 ° C. and 70 ° C. The stage 30 and the circulation type air cooling device 50 are controlled so as to be within ± 0.5 ° C. with respect to the set temperature. That is, in the present invention, to keep the temperature of the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 of the stage 30 constant is ± 0.5 with respect to a predetermined set temperature between 10 ° C. and 70 ° C. It means keeping the temperature within ℃. For example, when the set temperature is 55 ° C., the fluid heat insulation and circulation means so that the temperature of the panel 2 to be processed is maintained at a temperature within the range of 54.5 ° C. to 55.5 ° C. by the control means 60. The temperature of the liquid circulated to 32 and the temperature in the irradiation box 20 are controlled. When the set temperature is 60 ° C., the control means 60 causes the fluid heat and circulation means 32 to keep the temperature of the panel 2 to be treated at a temperature within the range of 59.5 ° C. to 60.5 ° C. The temperature of the circulated liquid and the flow rate and temperature of the gas introduced into the irradiation box 20 are controlled.

次に、前述した構成の実施形態に係る製造装置1を用いた液晶パネルの製造方法、即ち、被処理パネル2に光を照射する方法を説明する。まず、オペレータが処理内容情報を制御手段60に登録し、処理動作の開始指示があった場合に、処理動作を開始する。そして、処理動作において、ステージ30の載置面31に被処理パネル2を載置する。そして、制御手段60は、ステージ30内に液体を流通させるとともに、導入口51を通して気体をチャンバー40内に導入して排出口52から排出させるとともに、水冷ジャケット内に水を循環させる。制御手段60は、載置面31に載置される被処理パネル2に窓材21を通して光照射部10から一定時間光を照射する。一定時間、光が照射された被処理パネル2は、ステージ30から取り外され、光照射前の被処理パネル2がステージ30の載置面31に載置される。前述した工程と同様に、光を照射する。   Next, a method for manufacturing a liquid crystal panel using the manufacturing apparatus 1 according to the embodiment having the above-described configuration, that is, a method for irradiating the panel to be processed 2 with light will be described. First, when the operator registers the processing content information in the control means 60 and receives an instruction to start the processing operation, the processing operation is started. In the processing operation, the panel 2 to be processed is placed on the placement surface 31 of the stage 30. The control means 60 circulates the liquid in the stage 30, introduces gas into the chamber 40 through the inlet 51, discharges it from the outlet 52, and circulates water in the water-cooled jacket. The control means 60 irradiates the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 with light from the light irradiation unit 10 through the window material 21 for a certain period of time. The panel to be processed 2 irradiated with light for a certain period of time is removed from the stage 30, and the panel to be processed 2 before light irradiation is placed on the placement surface 31 of the stage 30. In the same manner as described above, light is irradiated.

前述した構成の実施形態に係る製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、ステージ30内に液体を循環させて、被処理パネル2の温度を一定の温度に保つように制御されることに加え、被処理パネル2を収容する照射ボックス20を覆うチャンバー40内の気体を一定に保つ。また、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、被処理パネル2を収容する照射ボックス20の内部と照射ボックス20の外部、すなわち、チャンバー40の内部の温度を略同じ且つ略一定に保つことができ、照射ボックス20からチャンバー40への温度の放熱を抑制することができるため、照射ボックス20内の温度の変化を抑制することができる。したがって、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、照射ボックス20内の被処理パネル2の温度の変化を抑制することができる。また、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、載置面31に載置された被処理パネル2の温度をステージ30内の液体により一定に保つことができる。したがって、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、照射ボックス20内の被処理パネル2の温度の変化を抑制することができる。   According to the manufacturing apparatus 1 and the liquid crystal panel manufacturing method according to the embodiment having the above-described configuration, the liquid is circulated in the stage 30 so that the temperature of the panel to be processed 2 is controlled to be constant. In addition, the gas in the chamber 40 covering the irradiation box 20 that accommodates the panel to be processed 2 is kept constant. Further, according to the manufacturing apparatus 1 and the liquid crystal panel manufacturing method, the temperature inside the irradiation box 20 that houses the panel 2 to be processed and the outside of the irradiation box 20, that is, the temperature inside the chamber 40 is kept substantially the same and substantially constant. Since the heat radiation from the irradiation box 20 to the chamber 40 can be suppressed, the temperature change in the irradiation box 20 can be suppressed. Therefore, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of a liquid crystal panel, the temperature change of the to-be-processed panel 2 in the irradiation box 20 can be suppressed. Further, according to the manufacturing apparatus 1 and the liquid crystal panel manufacturing method, the temperature of the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 can be kept constant by the liquid in the stage 30. Therefore, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of a liquid crystal panel, the temperature change of the to-be-processed panel 2 in the irradiation box 20 can be suppressed.

さらに、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、窓材21が、液晶層5が高分子安定化ブルー相を発現するのに適する波長の光を透過させ、他の光の透過を制限するので、被処理パネル2に高分子安定化ブルー相を発現するのに最低限必要な光のみ照射することとなる。したがって、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、光照射部10から載置面31に載置された被処理パネル2に光が照射されても、被処理パネル2に対して不所望の光が照射されることが抑制できる。特に、被処理パネル2に対して温度変化をもたらす赤外線などの不所望の光が照射されることが抑制することができる。よって、載置面31に載置された被処理パネル2の温度が上昇することを抑制することができる。したがって、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、照射ボックス20内の被処理パネル2の温度の変化をより確実に抑制することができる。   Furthermore, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of the liquid crystal panel, the window material 21 transmits light having a wavelength suitable for the liquid crystal layer 5 to express the polymer-stabilized blue phase, and restricts transmission of other light. Therefore, only the minimum light necessary to develop the polymer-stabilized blue phase is irradiated on the panel 2 to be treated. Therefore, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of the liquid crystal panel, even if light is irradiated from the light irradiation unit 10 to the processing panel 2 placed on the mounting surface 31, it is undesirable for the processing panel 2. Can be suppressed from being irradiated. In particular, it is possible to prevent the panel 2 from being irradiated with undesired light such as infrared rays that cause a temperature change. Therefore, it can suppress that the temperature of the to-be-processed panel 2 mounted in the mounting surface 31 rises. Therefore, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of a liquid crystal panel, the change of the temperature of the to-be-processed panel 2 in the irradiation box 20 can be suppressed more reliably.

また、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、照射ボックス20を覆うチャンバー40内に気体を導入する。このために、チャンバー40内の気体の温度と照射ボックス20内の温度とを略同じに保つことができる。したがって、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、被処理パネル2の温度の不均一を抑制することができる。   Moreover, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of a liquid crystal panel, gas is introduced into the chamber 40 covering the irradiation box 20. For this reason, the temperature of the gas in the chamber 40 and the temperature in the irradiation box 20 can be kept substantially the same. Therefore, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of a liquid crystal panel, the temperature non-uniformity of the panel 2 to be processed can be suppressed.

また、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、照射ボックス20を覆うチャンバー40内に一定温度の気体を導入する。このために、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、光が照射されるときの被処理パネル2における温度が、例えば、50℃や60℃などの、製造装置1の外気の温度との差が大きくても、照射ボックス20内に設けられた被処理パネル2が製造装置1外部との温度差により放熱されることによる被処理パネル2の温度変化を抑制できる。   Moreover, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of the liquid crystal panel, a gas having a constant temperature is introduced into the chamber 40 covering the irradiation box 20. For this reason, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of the liquid crystal panel, the temperature in the panel 2 to be treated when irradiated with light is, for example, the temperature of the outside air of the manufacturing apparatus 1 such as 50 ° C. or 60 ° C. Even if the difference is large, it is possible to suppress the temperature change of the panel 2 to be processed due to the heat dissipation of the panel 2 to be processed provided in the irradiation box 20 due to the temperature difference from the outside of the manufacturing apparatus 1.

したがって、製造装置1及び液晶パネルの製造方法によれば、載置面31に載置された被処理パネル2の温度の不均一の抑制を図ることができ、被処理パネル2の温度の変化を抑制することができる。   Therefore, according to the manufacturing apparatus 1 and the manufacturing method of the liquid crystal panel, it is possible to suppress nonuniformity of the temperature of the panel 2 to be processed placed on the mounting surface 31, and to change the temperature of the panel 2 to be processed. Can be suppressed.

また、製造装置1によれば、カラーフィルタ基板3が載置面31に接触するように、被処理パネル2をステージ30上に載置して、光照射部10が対向基板4に向けて光を照射する。また、製造装置1によれば、液晶層5が高分子安定化ブルー相を発現する液晶組成物を含んでいる。さらに、光照射部10は300nm〜400nmを主波長としかつ波長が365nmの光の照度が15mW/cm以下である棒状ランプ11を備えている。また、被処理パネル2に光が照射されるときの被処理パネル2における温度が、10℃〜70℃の間の設定温度に対して、±0.5℃以内となるように、ステージ30の液体及び照射ボックス20内に導入される気体を制御する。したがって、製造装置1によれば、光を液晶層5に作用させて、高分子安定化ブルー相を確実に発現させることができる。 Moreover, according to the manufacturing apparatus 1, the panel 2 to be processed is placed on the stage 30 so that the color filter substrate 3 is in contact with the placement surface 31, and the light irradiation unit 10 emits light toward the counter substrate 4. Irradiate. Moreover, according to the manufacturing apparatus 1, the liquid crystal layer 5 contains a liquid crystal composition that expresses a polymer-stabilized blue phase. Furthermore, the light irradiation unit 10 includes a rod-shaped lamp 11 having a main wavelength of 300 nm to 400 nm and an illuminance of light having a wavelength of 365 nm of 15 mW / cm 2 or less. Further, the temperature of the stage 30 when the panel 2 is irradiated with light is within ± 0.5 ° C. with respect to the set temperature between 10 ° C. and 70 ° C. The liquid and the gas introduced into the irradiation box 20 are controlled. Therefore, according to the manufacturing apparatus 1, light can be made to act on the liquid crystal layer 5, and a polymer stabilized blue phase can be expressed reliably.

また、製造装置1によれば、導入口51をチャンバー40の下部に設け、排出口52をチャンバー40の上部に設けているので、チャンバー40の下部から気体が導入されるため、照射ボックス20には気体が直接当たりにくくなり、照射ボックス20内の気体の温度変化を抑制できる。このために、製造装置1によれば、より照射ボックス20内の気体の温度の変化を抑制することができる。   In addition, according to the manufacturing apparatus 1, since the introduction port 51 is provided in the lower part of the chamber 40 and the discharge port 52 is provided in the upper part of the chamber 40, gas is introduced from the lower part of the chamber 40. Is difficult for the gas to directly hit, and the temperature change of the gas in the irradiation box 20 can be suppressed. For this reason, according to the manufacturing apparatus 1, the change of the temperature of the gas in the irradiation box 20 can be suppressed more.

次に、前述した実施形態に係る製造装置1及び液晶パネルの製造方法の効果を確認した。結果を表1に示す。表1は、比較例及び本発明品1、2の温度変化の結果を示す図である。   Next, the effects of the manufacturing apparatus 1 and the liquid crystal panel manufacturing method according to the above-described embodiment were confirmed. The results are shown in Table 1. Table 1 is a graph showing the results of temperature changes of Comparative Examples and Invention Products 1 and 2.

なお、表1に示された場合では、光照射部10から載置面31に載置された被処理パネル2に光を照射した時の被処理パネル2の図6に示す測定箇所A〜Iの温度変化を測定した。   In the case shown in Table 1, the measurement locations A to I shown in FIG. 6 of the panel 2 to be processed when the panel 2 mounted on the mounting surface 31 is irradiated with light from the light irradiation unit 10. The temperature change of was measured.

なお、測定箇所であるA〜Iは、図6に示された箇所に設けられた温度センサの検知結果を示している。図6は、比較例と本発明品1、2の温度変化の測定箇所を示す平面図である。A〜Iの検知結果を示す温度センサは、図6に示すように、製造装置1の平面視において、被処理パネル2即ち載置面31上に設けられている。Aは、導入口51寄りの一方の隅部に設けられた温度センサの検知結果を示し、Bは、導入口51寄りの棒状ランプ11の一方の端部の真下に設けられた温度センサの検知結果を示し、Cは、導入口51寄りの他方の隅部に設けられた温度センサの検知結果を示している。Dは、載置面31の長手方向の中央部の幅方向の一方の端部に設けられた温度センサの検知結果を示し、Eは、載置面31の長手方向の中央部でかつ棒状ランプ11の中央部の真下に設けられた温度センサの検知結果を示し、Fは、載置面31の長手方向の中央部の幅方向の他方の端部に設けられた温度センサの検知結果を示している。Gは、排出口52寄りの一方の隅部に設けられた温度センサの検知結果を示し、Hは、排出口52寄りの棒状ランプ11の他方の端部の真下に設けられた温度センサの検知結果を示し、Iは、排出口52寄りの他方の隅部に設けられた温度センサの検知結果を示している。   In addition, AI which is a measurement location has shown the detection result of the temperature sensor provided in the location shown by FIG. FIG. 6 is a plan view showing measurement points of temperature change of the comparative example and the products 1 and 2 of the present invention. As shown in FIG. 6, the temperature sensor indicating the detection results A to I is provided on the panel 2 to be processed, that is, the placement surface 31 in the plan view of the manufacturing apparatus 1. A shows the detection result of the temperature sensor provided at one corner near the introduction port 51, and B shows the detection of the temperature sensor provided directly below one end of the rod-shaped lamp 11 near the introduction port 51. A result is shown and C has shown the detection result of the temperature sensor provided in the other corner part near the inlet 51. FIG. D indicates the detection result of the temperature sensor provided at one end in the width direction of the central portion of the mounting surface 31 in the longitudinal direction, and E indicates the central portion of the mounting surface 31 in the longitudinal direction and a rod-shaped lamp. 11 shows the detection result of the temperature sensor provided directly below the central portion of 11, and F shows the detection result of the temperature sensor provided at the other end in the width direction of the central portion of the mounting surface 31 in the longitudinal direction. ing. G indicates the detection result of the temperature sensor provided at one corner near the discharge port 52, and H indicates the detection of the temperature sensor provided directly below the other end of the bar lamp 11 near the discharge port 52. A result is shown, I shows the detection result of the temperature sensor provided in the other corner part near the discharge port 52. FIG.

表1の本発明品1とは、ステージ30の設定温度を55℃として、循環型空冷装置50によりチャンバー40内を循環される気体の温度を55℃としている。表1の本発明品2とは、ステージ30の設定温度を60℃として、循環型空冷装置50によりチャンバー40内を循環される気体の温度を60℃としている。また、表1の比較例とは、ステージ30の設定温度を60℃として、循環型空冷装置50による気体の循環を停止している。また、測定にあたっては、測定開始から1200秒後までの測定箇所A〜Iそれぞれの温度変化を測定した。表1の○は、高分子安定化ブルー相を安定的に発現させるように、被処理パネル2を一定の温度に保つことができることを示し、×は、高分子安定化ブルー相を安定的に発現させるように、被処理パネル2を一定の温度に保つことができないことを示している。   With the product 1 of the present invention in Table 1, the set temperature of the stage 30 is 55 ° C., and the temperature of the gas circulated in the chamber 40 by the circulation type air cooling device 50 is 55 ° C. With the product 2 of the present invention in Table 1, the set temperature of the stage 30 is 60 ° C., and the temperature of the gas circulated in the chamber 40 by the circulation type air cooling device 50 is 60 ° C. Further, in the comparative example of Table 1, the set temperature of the stage 30 is set to 60 ° C., and the circulation of gas by the circulation type air cooling device 50 is stopped. Moreover, in the measurement, the temperature change of each measurement location AI from the measurement start to 1200 seconds after was measured. ○ in Table 1 indicates that the panel 2 to be treated can be kept at a constant temperature so that the polymer-stabilized blue phase is stably expressed, and × indicates the polymer-stabilized blue phase stably. It shows that the to-be-processed panel 2 cannot be maintained at a constant temperature so as to express.

Figure 0006164072
Figure 0006164072

表1の比較例によれば、載置面31に載置される被処理パネル2を一定の温度に保つように制御されるステージ30のみを用いても測定箇所A、測定箇所Gおよび測定箇所Iでの温度が59.5℃を下回ることがあり、測定箇所Eおよび測定箇所Hでの温度が60.5℃を超えることがある。また、比較例では、測定箇所A、測定箇所Gおよび測定箇所Iでの最低温度が59.0℃となり、測定箇所Eおよび測定箇所Hでの最高温度が60.8℃となる。このために、比較例によれば、光が照射されると、載置面31上の被処理パネル2の温度が上昇し、チャンバー40内の気体を循環させないことで温度むらが生じることが明らかとなった。よって、比較例によれば、高分子安定化ブルー相を安定的に発現させるように、被処理パネル2の温度の不均一を抑制できないとともに、被処理パネル2の温度の変化を抑制できないことが明らかとなった。   According to the comparative example of Table 1, the measurement location A, the measurement location G, and the measurement location can be obtained using only the stage 30 that is controlled so as to keep the processing panel 2 placed on the placement surface 31 at a constant temperature. The temperature at I may be less than 59.5 ° C., and the temperature at measurement location E and measurement location H may exceed 60.5 ° C. In the comparative example, the minimum temperature at the measurement location A, measurement location G, and measurement location I is 59.0 ° C., and the maximum temperature at the measurement location E and measurement location H is 60.8 ° C. For this reason, according to the comparative example, when light is irradiated, the temperature of the panel 2 to be processed on the mounting surface 31 rises, and it is clear that temperature unevenness occurs because the gas in the chamber 40 is not circulated. It became. Therefore, according to the comparative example, the temperature unevenness of the panel to be processed 2 cannot be suppressed and the change in the temperature of the panel to be processed 2 cannot be suppressed so that the polymer-stabilized blue phase can be stably expressed. It became clear.

表1の本発明品1、2によれば、載置面31に載置される被処理パネル2を一定の温度に保つように制御されるステージ30と循環型空冷装置50とを用いることで、測定箇所A〜測定箇所Iの全ての温度が54.5℃〜55.5℃又は59.5℃〜60.5℃の範囲となる。このために、本発明品1、2によれば、高分子安定化ブルー相を安定的に発現させるように、被処理パネル2の温度の不均一の抑制を図ることができ、被処理パネル2の温度の変化を抑制できることが明らかとなった。   According to the products 1 and 2 of the present invention in Table 1, by using the stage 30 and the circulation type air cooling device 50 that are controlled so as to keep the panel 2 to be processed placed on the placement surface 31 at a constant temperature. In addition, all the temperatures at the measurement points A to I are in the range of 54.5 ° C to 55.5 ° C or 59.5 ° C to 60.5 ° C. For this reason, according to the products 1 and 2 of the present invention, it is possible to suppress uneven temperature of the panel 2 to be treated so that the polymer-stabilized blue phase is stably expressed. It became clear that the change of the temperature can be suppressed.

(変形例)
図7は、実施形態の変形例に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す断面図であり、前述した実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。本発明では、図7に示すように、導入口51が、チャンバー40の長手方向の他端部の上部に開口し、排出口52が、チャンバー40の一端部の下部に開口してもよい。図7に示された変形例は、チャンバー40の上部から気体が導入されるために、照射ボックス20には気体が直接当たり、照射ボックス20内の気体の温度をより早く所望の条件にすることができる。
(Modification)
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus according to a modification of the embodiment. The same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. In the present invention, as shown in FIG. 7, the introduction port 51 may open at the upper portion of the other end portion in the longitudinal direction of the chamber 40, and the discharge port 52 may open at the lower portion of one end portion of the chamber 40. In the modification shown in FIG. 7, since gas is introduced from the upper part of the chamber 40, the gas directly hits the irradiation box 20, and the temperature of the gas in the irradiation box 20 is set to a desired condition earlier. Can do.

図8は、実施形態の他の変形例に係る液晶パネルの製造装置の概略の構成を示す断面図であり、前述した実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。図8に示すように、導入口51が、チャンバー40の下部に複数開口し、排出口52が、チャンバー40の上部に複数開口してもよい。図8に示された変形例は、チャンバー40に複数の導入口51から気体が導入されるため、照射ボックス20内の気体の温度を更に早く所望の条件にすることができる。   FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus according to another modification of the embodiment. The same parts as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. As shown in FIG. 8, a plurality of inlets 51 may be opened at the lower part of the chamber 40, and a plurality of outlets 52 may be opened at the upper part of the chamber 40. In the modification shown in FIG. 8, the gas is introduced into the chamber 40 from the plurality of inlets 51, so that the temperature of the gas in the irradiation box 20 can be set to a desired condition more quickly.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。   Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof, as well as included in the scope and gist of the invention.

1 液晶パネルの製造装置
2 被処理パネル
3 カラーフィルタ基板
4 対向基板
5 液晶層
10 光照射部
11 棒状ランプ(光源)
20 照射ボックス
21 窓材
30 ステージ
31 載置面
40 チャンバー
50 循環型空冷装置
51 導入口
52 排出口
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal panel manufacturing apparatus 2 Panel to be processed 3 Color filter substrate 4 Counter substrate 5 Liquid crystal layer 10 Light irradiation part 11 Rod lamp (light source)
20 Irradiation box 21 Window material 30 Stage 31 Placement surface 40 Chamber 50 Circulating air cooling device 51 Inlet port 52 Outlet port

Claims (7)

光を放出する光照射部と;
前記光照射部からの光を透過する窓材を有する照射ボックスと;
前記窓材と対面するように設けられかつ被処理パネルが載置される載置面を備え、内部に前記載置面の前記光が照射されるエリアを温度制御する液体を流通させるステージと;
前記照射ボックスと前記ステージを覆うチャンバーと;
前記チャンバーに設けられた導入口と排出口とを備え、前記導入口から導入された気体が前記排出口から排出され、前記チャンバー内の温度を制御する循環型空冷装置と;
を備える液晶パネルの製造装置。
A light irradiator that emits light;
An irradiation box having a window material that transmits light from the light irradiation unit;
A stage provided with a placement surface on which the panel to be treated is placed so as to face the window material, and in which a liquid for controlling the temperature of the area of the placement surface irradiated with the light is circulated;
A chamber covering the irradiation box and the stage;
A circulation type air-cooling device comprising an inlet and an outlet provided in the chamber, wherein the gas introduced from the inlet is exhausted from the outlet and controls the temperature in the chamber;
An apparatus for manufacturing a liquid crystal panel.
前記窓材は、予め定められた波長の紫外線もしくは赤外線の透過を抑制、または予め定められた波長の紫外線および赤外線の双方の透過を抑制する機能を備える
請求項1に記載の液晶パネルの製造装置。
The apparatus for manufacturing a liquid crystal panel according to claim 1, wherein the window member has a function of suppressing transmission of ultraviolet rays or infrared rays having a predetermined wavelength, or suppressing transmission of both ultraviolet rays and infrared rays having a predetermined wavelength. .
前記被処理パネルは、カラーフィルタ基板と、前記カラーフィルタ基板に対向する対向基板と、前記カラーフィルタ基板と前記対向基板との間に設けられた液晶層と、を備えており、
前記被処理パネルは、前記カラーフィルタ基板側が前記載置面と接触するように前記ステージに配置され、前記光照射部は、前記対向基板の側から前記被処理パネルに前記光を照射する
請求項1又は請求項2に記載の液晶パネルの製造装置。
The panel to be processed includes a color filter substrate, a counter substrate facing the color filter substrate, and a liquid crystal layer provided between the color filter substrate and the counter substrate.
The processed panel is disposed on the stage so that the color filter substrate side is in contact with the mounting surface, and the light irradiation unit irradiates the processed panel with light from the counter substrate side. The apparatus for manufacturing a liquid crystal panel according to claim 1.
前記液晶層は、少なくとも、ネマティック液晶組成物、ブルー相を発現する液晶組成物、及び、重合性モノマーを含んでおり、前記光の照射により、高分子安定化ブルー相を発現する
請求項3に記載の液晶パネルの製造装置。
The liquid crystal layer includes at least a nematic liquid crystal composition, a liquid crystal composition that develops a blue phase, and a polymerizable monomer, and exhibits a polymer-stabilized blue phase upon irradiation with the light. The manufacturing apparatus of the liquid crystal panel of description.
前記光照射部は、300nm〜400nmを主波長とし、かつ、前記載置面における波長が365nmの光の照度が15mW/cm以下の光源を備える
請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の液晶パネルの製造装置。
The light irradiation unit includes a light source having a main wavelength of 300 nm to 400 nm, and an illuminance of light having a wavelength of 365 nm on the placement surface of 15 mW / cm 2 or less. The manufacturing apparatus of the liquid crystal panel of description.
前記被処理パネルに前記光が照射されるときの前記被処理パネルにおける温度が、10℃〜70℃の間の設定温度に対して、±0.5℃以内となるように、前記ステージおよび前記循環型空冷装置が制御される
請求項1〜5のうちいずれか一項に記載の液晶パネルの製造装置。
The stage and the stage so that the temperature of the panel to be processed when the light is irradiated to the panel to be processed is within ± 0.5 ° C. with respect to a set temperature between 10 ° C. and 70 ° C. The apparatus for manufacturing a liquid crystal panel according to any one of claims 1 to 5, wherein a circulating air cooling device is controlled.
光を放出する光照射部と;
前記光照射部からの光を透過する窓材を有する照射ボックスと;
前記窓材と対面するように設けられかつ被処理パネルが載置される載置面を備え、内部に前記載置面の前記光が照射されるエリアを温度制御する液体を流通させるステージと;
前記照射ボックスと前記ステージを覆うチャンバーと;
前記チャンバーに設けられた導入口と排出口とを備え、前記導入口から導入された気体が前記排出口から排出され、前記チャンバー内の温度を制御する循環型空冷装置と;
を備え、
前記ステージの前記載置面に前記被処理パネルを載置するステップと;
前記ステージ内に前記液体を流通させるとともに、前記気体を前記導入口から前記チャンバー内に導入して前記排出口から排出循環させながら、前記載置面に配置される前記被処理パネルに前記窓材を通して前記光照射部から光を照射するステップと;
を有する液晶パネルの製造方法。
A light irradiator that emits light;
An irradiation box having a window material that transmits light from the light irradiation unit;
A stage provided with a placement surface on which the panel to be treated is placed so as to face the window material, and in which a liquid for controlling the temperature of the area of the placement surface irradiated with the light is circulated;
A chamber covering the irradiation box and the stage;
A circulation type air-cooling device comprising an inlet and an outlet provided in the chamber, wherein the gas introduced from the inlet is exhausted from the outlet and controls the temperature in the chamber;
With
Placing the treated panel on the placement surface of the stage;
The window material is disposed on the panel to be processed, which is disposed on the mounting surface, while circulating the liquid in the stage and introducing the gas from the introduction port into the chamber and exhausting and circulating the gas from the discharge port. Irradiating light from the light irradiating part through;
A method of manufacturing a liquid crystal panel having
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