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JP5566921B2 - Method for manufacturing printed wiring board using aluminum as conductive pattern - Google Patents

Method for manufacturing printed wiring board using aluminum as conductive pattern Download PDF

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JP5566921B2 JP2011007036A JP2011007036A JP5566921B2 JP 5566921 B2 JP5566921 B2 JP 5566921B2 JP 2011007036 A JP2011007036 A JP 2011007036A JP 2011007036 A JP2011007036 A JP 2011007036A JP 5566921 B2 JP5566921 B2 JP 5566921B2
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Description

本発明は、アルミニウムを導電パターンとしたプリント配線基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing a printed wiring board in which the aluminum and the conductive pattern.

プリント配線板の主導体材料は何十年も前から銅箔に限られてきた。最近、大電流・高放熱が要求されるプリント配線板の主導体として、200〜500μmの厚銅板が用いられたものがある。しかし、厚銅を主導体としたプリント配線板は高重量となり、特に軽量化が要求されるハイブリット自動車や次世代自動車等では、プリント配線板の軽量化が望まれている。   The main conductor material for printed wiring boards has been limited to copper foil for decades. Recently, a thick copper plate having a thickness of 200 to 500 μm has been used as a main conductor of a printed wiring board that requires high current and high heat dissipation. However, printed wiring boards using thick copper as the main conductor are heavy, and particularly in hybrid automobiles and next-generation automobiles that are required to be lightweight, it is desired to reduce the weight of the printed wiring boards.

そこで、軽量化及び放熱を目的として、アルミニウム板をベース基材とした回路基板が提案されている。例えば、アルミニウム板を使用した回路基板として、アルミニウム板上に片面又は両面に導体層を有する回路基板を接着して積層したメタルベース基板や、アルミニウムを両側の導体層の間に接着して積層した3層構造のメタルコアのプリント基板が実用化されている(特許文献1)。これらの回路基板は、放熱の目的でアルミニウムを用いているが、導体としては銅が使用されている。そのため、高温環境下では、主導体である銅板とアルミニウム板との線膨張係数の違いから接着のための絶縁層で剥離が生じ、十分な信頼性が確保できなかった。   Therefore, a circuit board using an aluminum plate as a base material has been proposed for the purpose of weight reduction and heat dissipation. For example, as a circuit board using an aluminum plate, a metal base substrate obtained by bonding and laminating a circuit board having a conductor layer on one side or both sides on an aluminum plate, or laminating and laminating aluminum between conductor layers on both sides. A printed circuit board with a metal core having a three-layer structure has been put into practical use (Patent Document 1). These circuit boards use aluminum for the purpose of heat dissipation, but copper is used as a conductor. Therefore, in a high temperature environment, peeling occurred in the insulating layer for adhesion due to the difference in coefficient of linear expansion between the copper plate as the main conductor and the aluminum plate, and sufficient reliability could not be secured.

かかる課題を解決するために、電子部品等を実装するための回路パターンをアルミニウム板で構成したものがある(特許文献2)。具体的には、導体としてのアルミニウム板が絶縁機能を含む接着剤であるプリプレグと相互に接着されて積層され、このアルミニウム板の表面にアルミニウム表面処理が施されて、亜鉛置換皮膜、ニッケルめっき皮膜及び銅めっき皮膜の積層皮膜が形成され、この銅めっき皮膜上に前処理及び化学銅めっきを経て電気銅めっき皮膜、スルーホールめっきが形成され、この電気銅めっき皮膜、前記積層皮膜及び前記アルミニウム板に前記回路パターンが形成されたものである。   In order to solve such a problem, there is one in which a circuit pattern for mounting an electronic component or the like is formed of an aluminum plate (Patent Document 2). Specifically, an aluminum plate as a conductor is laminated with a prepreg, which is an adhesive having an insulating function, and the surface of the aluminum plate is subjected to an aluminum surface treatment to obtain a zinc-substituted film or a nickel plating film. And a copper plating film, and a copper plating film and a through-hole plating are formed on the copper plating film through pretreatment and chemical copper plating. The copper plating film, the multilayer film, and the aluminum plate Are formed with the circuit pattern.

しかし、特許文献2に記載の発明は、アルミニウム板と銅めっき皮膜とを同時かつ選択的にエッチングするという複雑な加工方法が必要であり、さらにエッチング時に高度な液管理技術が必要であるという問題点があった。また、特許文献2に記載の発明では、「銅パターンを形成する際に用いたドライフィルムを使用してアルミニウムパターンを形成するのである」が、アルミニウム導体がサイドエッチによりテーパー状になり、ニッケル−銅導体の両端が少し浮きアンダーカットの状態になるという問題点があった。   However, the invention described in Patent Document 2 requires a complicated processing method of simultaneously and selectively etching an aluminum plate and a copper plating film, and further requires a high liquid management technique at the time of etching. There was a point. Further, in the invention described in Patent Document 2, “the aluminum pattern is formed using the dry film used for forming the copper pattern”, but the aluminum conductor is tapered by side etching, and the nickel- There was a problem that both ends of the copper conductor floated slightly and became undercut.

特開平09−18140号公報Japanese Patent Laid-Open No. 09-18140 特開2007−27618号公報JP 2007-27618 A

そこで、本発明は、こうした課題を鑑みてなされたものであり、アルミニウム板と銅めっき皮膜を同時かつ選択的にエッチングするという複雑な加工方法を必要とせず、さらにエッチング時に高度な液管理技術も必要のないプリント配線基板の製造方法を提供することを主目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of these problems, and does not require a complicated processing method of simultaneously and selectively etching an aluminum plate and a copper plating film, and also has advanced liquid management technology at the time of etching. a main object to provide a method for manufacturing a need for such type printed wiring board.

本発明は、上述の目的を達成するために、以下の手段を採った。   In order to achieve the above-mentioned object, the present invention employs the following means.

本発明にかかるプリント配線基板は、
コア用アルミニウム板と、前記コア用アルミニウム板の少なくとも一方の表面に積層されるプリプレグと、前記プリプレグの表面に積層される回路形成用アルミニウム板と、を有するプリント配線基板の製造方法において、
前記回路形成用アルミニウム板は、エッチングにより導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、
前記導電パターンの表面の少なくとも一部に、亜鉛置換皮膜を形成した後に、無電解ニッケルめっき被膜を形成する無電解ニッケルめっき被膜形成工程と、
前記プリプレグ表面、前記無電解ニッケルめっき皮膜及び前記導電パターンの少なくとも一部に無電解銅めっき皮膜を形成する無電解めっき被膜形成工程と、
前記無電解銅めっき皮膜の表面に電着フォトレジスト皮膜を形成する電着フォトレジスト被膜形成工程と、
スルーホール及び導体上のハンダ付けの必要な部位のみ前記電着フォトレジスト皮膜を除去する電着フォトレジスト被膜除去工程と、
を含むことを特徴とする。
The printed wiring board according to the present invention is
In a method for manufacturing a printed wiring board, comprising: a core aluminum plate; a prepreg laminated on at least one surface of the core aluminum plate; and a circuit forming aluminum plate laminated on the surface of the prepreg.
The circuit forming aluminum plate includes a conductive pattern forming step of forming a conductive pattern by etching ;
An electroless nickel plating film forming step of forming an electroless nickel plating film after forming a zinc replacement film on at least a part of the surface of the conductive pattern ;
An electroless plating film forming step of forming an electroless copper plating film on at least a part of the prepreg surface, the electroless nickel plating film and the conductive pattern ;
An electrodeposition photoresist film forming step of forming an electrodeposition photoresist film on the surface of the electroless copper plating film ;
And electrodeposited photoresist film removing step of removing the electrodeposited photoresist film only soldering the necessary sites on Suruho Le及 beauty conductors,
It is characterized by including .

本発明にかかるプリント配線基板の製造方法は、コア用アルミニウム板と、プリプレグと、回路形成用アルミニウム板とを接着積層した積層板である。この積層板の最外層に配置される回路形成用アルミニウム板をめっき工程より先にエッチングして導電パターンを形成する。従って、アルミニウム板と銅めっき皮膜とを選択的にエッチングするという複雑な加工工程を必要とせず、かつその際の選択によるエッチング液の管理をする必要もないという効果を有する。 The method for producing a printed wiring board according to the present invention is a laminated plate obtained by bonding and laminating a core aluminum plate, a prepreg, and a circuit forming aluminum plate. A conductive pattern is formed by etching the aluminum plate for circuit formation disposed in the outermost layer of the laminated plate prior to the plating step. Therefore, there is an effect that a complicated processing step of selectively etching the aluminum plate and the copper plating film is not required, and it is not necessary to manage the etching solution by selection at that time.

また、本発明は、回路形成用アルミニウム板のみをエッチングするので、高密度、高精度のアルミニウム導電パターンを容易に形成することができる。また、スルーホール及びアルミ導体上のハンダ付けが必要な部位のみ電着フォトレジスト皮膜を除去して電解銅めっきを行うので、従来のプリント配線基板と比較して、省エネルギーで済み、環境に優しいプリント配線基板を提供することができる。 Moreover, since only the aluminum plate for circuit formation is etched according to this invention, a high-density and highly accurate aluminum conductive pattern can be formed easily. Further, since the removal of the saw electrodeposited photoresist film of soldering is required site on Suruho Le及 beauty aluminum conductor performing electrolytic copper plating, as compared with the conventional printed wiring board, requires energy saving, environmentally friendly A printed wiring board can be provided.

さらに、本発明は、回路形成用アルミニウム板をエッチングし導電パターンを形成した後に、その導電パターンのアルミニウム表面に亜鉛置換被膜、無電解ニッケルめっき皮膜、無電解銅めっき皮膜、電解銅めっき皮膜を順次形成していくため、電解銅めっき工程を1回にすることができる。よって、従来の「アルミニウム板の表面に亜鉛置換被膜、ニッケルめっき皮膜及び電解銅めっき皮膜の積層を形成し、上記電解銅めっき皮膜上に前処理及び無電解銅めっきを経て再び電解銅めっき皮膜を形成」する方法と比較して、電解銅めっき工程を1工程に減らすことができ、全工程の省力化に資する。   Furthermore, in the present invention, after an aluminum plate for circuit formation is etched to form a conductive pattern, a zinc replacement film, an electroless nickel plating film, an electroless copper plating film, and an electrolytic copper plating film are sequentially formed on the aluminum surface of the conductive pattern. Since it forms, an electrolytic copper plating process can be carried out once. Therefore, a conventional “lamination of zinc replacement coating, nickel plating coating and electrolytic copper plating coating on the surface of the aluminum plate, and pre-treatment and electroless copper plating on the electrolytic copper plating coating again. Compared with the “forming” method, the electrolytic copper plating step can be reduced to one step, which contributes to labor saving in all steps.

さらに、本発明は、回路形成用アルミニウム板をエッチングし導電パターンを形成した後に、最終的に電解銅めっきを行う際に、導電パターンを形成する比較的厚い回路形成用アルミニウム板にレジストを形成する必要がある。しかし、通常の露光タイプのドライフィルムを真空ラミネータを使用してラミネート加工した場合、導電パターンのサイドエッジ部及び導電パターンの根元部に十分密着させることができず、空洞又は空間が残存することになる。そこで、電着フォトレジストにより皮膜を形成することによって、こうした欠点を有することなくラミネートすることができる。これにより、比較的厚い回路形成用アルミニウム板で導電パターンを形成することができるので、大電流に対応し、かつ高放熱性を有するプリント配線基板を提供することができる。   Furthermore, the present invention forms a resist on a relatively thick circuit forming aluminum plate on which a conductive pattern is formed when the electrolytic copper plating is finally performed after etching the circuit forming aluminum plate to form a conductive pattern. There is a need. However, when a normal exposure type dry film is laminated using a vacuum laminator, it cannot be sufficiently adhered to the side edge portion of the conductive pattern and the root portion of the conductive pattern, leaving a cavity or space remaining. Become. Therefore, it is possible to laminate without forming such a defect by forming a film with an electrodeposited photoresist. Thereby, since a conductive pattern can be formed with the comparatively thick aluminum plate for circuit formation, the printed wiring board corresponding to a large current and having high heat dissipation can be provided.

さらに、本発明は、スルーホール及びアルミ導体上のハンダ付けの必要な部位のみ電着フォトレジスト皮膜が除去されて電解銅めっきが形成され、1回の電解銅めっきで必要な部位のみ銅めっきができるので、加工工程の簡素化が図れる。また、銅めっき皮膜の形成を最小限とすることができるため、より軽量化を図ることができる。 Furthermore, the present invention is Suruho soldering seen electrodeposition photo required site resist film is removed electrolytic copper plating on Le及 beauty aluminum conductor is formed, only the portion required in a single electrolytic copper plating copper plating Therefore, the machining process can be simplified. In addition, since the formation of the copper plating film can be minimized, the weight can be further reduced.

さらに、本発明は、コア層及び回路形成層にアルミニウム板が用いられたことから、導体として銅が用いられる場合と比較して、軽量化及び高放熱性に優れたプリント配線基板を提供することができる。   Furthermore, the present invention provides a printed wiring board that is excellent in weight reduction and high heat dissipation compared to the case where copper is used as a conductor because aluminum plates are used for the core layer and the circuit forming layer. Can do.

また、本発明のプリント配線基板の製造方法により製造したプリント配線基板として、前記コア用アルミニウム板は、少なくとも一方の表面を分子接着法で表面改質された表面粗さRaが0.05μm以下のアルミニウム板からなり、前記回路形成用アルミニウム板は、積層面を分子接着法で表面改質されたアルミニウム板からなるものでもよい。また、前記分子接着法による表面改質は、トリアジンジチオール誘導体の電解重合膜の形成であってもよい。 Moreover, as the printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention, the aluminum plate for the core has a surface roughness Ra of 0.05 μm or less, wherein at least one surface is surface-modified by a molecular adhesion method An aluminum plate may be used, and the circuit-forming aluminum plate may be an aluminum plate whose surface is modified by a molecular adhesion method. The surface modification by the molecular adhesion method may be formation of an electropolymerized film of a triazine dithiol derivative.

アルミニウム板の接着のための表面処理方法として、バフ研磨法、苛性処理法、化成処理法、アルマイト処理法等がある。その中でも特に、陽極酸化法のアルマイト処理法の未封孔状態は、通常の接着剤での接着には効果がある。しかし、アルミニウム板にアルマイト皮膜及び未アルマイト皮膜が存在する場合、線膨張係数の相違のため、熱衝撃や温度サイクルの温度変化により、層間剥離が起き易く信頼性が低下するため、本プリント配線基板製造に用いるのは不適当である。そこで、積層面を分子接着法で表面改質することによって、前述した欠点を解決することができる。さらに、トリアジンジチオール誘導体の電解重合膜を形成することによって、樹脂基材との接着性に優れるとともに、接着後の耐熱性にも優れるプリント配線基板とすることができる。   As a surface treatment method for bonding an aluminum plate, there are a buffing method, a caustic treatment method, a chemical conversion treatment method, an alumite treatment method, and the like. Among these, the unsealed state of the anodizing anodizing method is particularly effective for bonding with a normal adhesive. However, when alumite film and non-alumite film are present on the aluminum plate, due to the difference in coefficient of linear expansion, delamination is likely to occur due to thermal shock and temperature change of temperature cycle. It is unsuitable for production. Therefore, the above-described drawbacks can be solved by modifying the surface of the laminated surface by a molecular adhesion method. Furthermore, by forming an electropolymerized film of a triazine dithiol derivative, it is possible to obtain a printed wiring board that has excellent adhesion to a resin base material and excellent heat resistance after adhesion.

さらに、本発明のプリント配線基板の製造方法により製造したプリント配線基板として、前記コア用アルミニウム板は、スルーホールが形成される位置に穴明けされ、穴埋め用インクがスクリーン印刷で充填された後、余分なインクが研磨されてなるものであってもよい。 Furthermore, as the printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, the core aluminum plate is drilled at a position where a through hole is formed, and the hole filling ink is filled by screen printing. It may be formed by polishing excess ink.

アルミニウム表面を処理する前にコア用アルミニウム板を穴明けし、この穴に穴埋めインクをスクリーン印刷で充填する。従来、複数枚のプリプレグを用い、積層プレス工程の際にしみ出るプリプレグの樹脂でコア材の穴を充填していたが、こうした樹脂が不要になる。プリプレグからの樹脂が必要ないため、用いるプリプレグは1枚で十分に絶縁及び接着が可能になる。そのため絶縁層の熱抵抗が大幅に低減でき、回路部品が発生する熱を効率よくコア用アルミニウムに伝達することができる。   Before processing the aluminum surface, the core aluminum plate is drilled, and the hole filling ink is filled in by screen printing. Conventionally, a plurality of prepregs are used and the core material holes are filled with a prepreg resin that oozes out during the laminating press process. However, such a resin becomes unnecessary. Since no resin from the prepreg is required, a single prepreg can be sufficiently insulated and bonded. Therefore, the thermal resistance of the insulating layer can be greatly reduced, and the heat generated by the circuit components can be efficiently transmitted to the core aluminum.

さらに、本発明のプリント配線基板の製造方法により製造したプリント配線基板として、前記プリプレグ及び穴埋め用インクは、組成がジアリルフタレート80〜95重量%にエポキシ樹脂20〜5重量%を含有した樹脂の樹脂量に対して、アルミナを30〜70重量%添加した混合物であってもよい。 Furthermore, as the printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention, the prepreg and the hole filling ink are resin resins whose composition is 80 to 95% by weight of diallyl phthalate and 20 to 5% by weight of an epoxy resin. A mixture containing 30 to 70% by weight of alumina based on the amount may be used.

プリプレグと穴埋め用インクの組成を同じ組成としたものである。プリプレグに用いる混合物と、穴埋めに用いる混合物を同一材料とすることにより、積層プレス工程において相互の混合物が溶融し、混ざり合って一体の絶縁混合物とすることができる。また、組成がジアリルフタレート80〜95重量%にエポキシ樹脂20〜5重量%を含有した樹脂の樹脂量に対して、アルミナを30〜70重量%添加した混合物を用いることにより、熱伝導率及び絶縁信頼性の大幅な改善をすることができる。   The composition of the prepreg and the hole filling ink is the same. By using the same material for the mixture used for the prepreg and the mixture used for filling the holes, the mutual mixture is melted and mixed together in the lamination press step, so that an integrated insulating mixture can be obtained. Further, by using a mixture in which alumina is added in an amount of 30 to 70% by weight with respect to the resin amount of a resin containing 20 to 5% by weight of an epoxy resin in 80 to 95% by weight of diallyl phthalate, thermal conductivity and insulation are obtained. The reliability can be greatly improved.

さらに、本発明のプリント配線基板の製造方法として、無電解ニッケルめっき皮膜は、リン含有率が7重量%以上9重量%以下の次亜リン酸浴で行ってもよい。 Furthermore, as a method for producing a printed wiring board of the present invention, the electroless nickel plating film may be performed in a hypophosphorous acid bath having a phosphorus content of 7 wt% or more and 9 wt% or less.

係る構成を採用することによって、無電解ニッケルめっき皮膜上の無電解銅めっき皮膜の密着性が向上する。   By adopting such a configuration, the adhesion of the electroless copper plating film on the electroless nickel plating film is improved.

さらに、本発明のプリント配線基板の製造方法として、無電解ニッケルめっき皮膜が形成された後に、プリプレグ表面、無電解ニッケルめっき皮膜及び導電パターンにアルカリ性のパラジウムイオン触媒による処理がされてもよい。 Furthermore, as a method for producing a printed wiring board of the present invention, after the electroless nickel plating film is formed, the prepreg surface, the electroless nickel plating film, and the conductive pattern may be treated with an alkaline palladium ion catalyst.

アルミニウム表面に亜鉛置換皮膜、無電解ニッケルめっき皮膜を形成し、触媒処理して、無電解銅めっき皮膜、電解銅めっき皮膜を順次形成する工程において、一般的には、スルーホールめっき前の樹脂の活性化のために、塩酸系のパラジウム触媒が用いられる。塩酸系のパラジウム触媒を使用すると、無電解ニッケルめっき皮膜の微細なピンホール等から、触媒液が浸透して、内部のアルミニウムを溶解して、アルミニウム欠損が発生してしまうことになる。そこで、アルカリ性のパラジウムイオン触媒を用いることにより、アルミニウム欠損の発生を防止することができる。   In the process of forming a zinc-substituted film and an electroless nickel plating film on the aluminum surface, performing a catalyst treatment, and sequentially forming the electroless copper plating film and the electrolytic copper plating film, generally the resin before through-hole plating A hydrochloric acid-based palladium catalyst is used for the activation. When a hydrochloric acid-based palladium catalyst is used, the catalyst solution permeates through fine pinholes or the like of the electroless nickel plating film, dissolves aluminum inside, and aluminum deficiency occurs. Therefore, the use of an alkaline palladium ion catalyst can prevent the occurrence of aluminum deficiency.

さらに、本発明のプリント配線基板の製造方法として、電解銅めっきが形成された後に、電着フォトレジスト皮膜が剥離され、酸水溶液で無電解銅めっき皮膜が除去されていてもよい。 Furthermore, as a method for producing a printed wiring board of the present invention, after the electrolytic copper plating is formed, the electrodeposited photoresist film may be peeled off and the electroless copper plating film may be removed with an acid aqueous solution.

電着フォトレジスト皮膜を剥離して露出する無電解銅めっき皮膜は、0.2〜0.3μmと薄いので、酸水溶液で無電解銅めっき皮膜を容易に除去することができる。   Since the electroless copper plating film exposed by peeling the electrodeposited photoresist film is as thin as 0.2 to 0.3 μm, the electroless copper plating film can be easily removed with an acid aqueous solution.

さらに、本発明のプリント配線基板を製造する方法としては、
表面粗さRaが0.05μm以下のコア用アルミニウム板のスルーホール形成領域の少なくとも一部に穴明けした後、穴埋めインクで穴埋めする穴埋工程と、
前記コア用アルミニウム板及び回路形成用アルミニウム板の表面を分子接着法で表面改質する表面改質工程と、
前記コア用アルミニウム板及び回路形成用アルミニウム板の間に絶縁機能を有するプリプリグを積層して熱圧着する熱圧着工程と、
前記回路形成用アルミニウム板をエッチングにより導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、
前記導電パターンの表面の少なくとも一部に、亜鉛置換皮膜を形成した後に無電解ニッケルめっき皮膜を形成する無電解ニッケルめっき皮膜形成工程と、
前記プリプレグ表面、前記無電解ニッケルめっき皮膜及び前記導電パターンの少なくとも一部に無電解銅めっき皮膜を形成する無電解めっき皮膜形成工程と、
前記無電解銅めっき皮膜の表面に電着フォトレジスト皮膜を形成する電着フォトレジスト皮膜形成工程と、
スルーホール及びアルミ導体上のハンダ付けが必要な部位のみ電着フォトレジスト皮膜を除去する電着フォトレジスト皮膜除去工程と、
電着フォトレジスト皮膜が除去された部位に電解銅めっきを形成する電解銅めっき形成工程と、
残りの電着フォトレジスト皮膜を除去する第2電着フォトレジスト皮膜除去工程と、
酸水溶液で、無電解銅めっき皮膜を除去する無電解銅めっき皮膜除去工程と、
を含むことを特徴とする。
Furthermore, as a method of manufacturing the printed wiring board of the present invention,
A hole filling step of filling in at least a part of the through hole forming region of the core aluminum plate having a surface roughness Ra of 0.05 μm or less, and then filling with a hole filling ink;
A surface modification step of modifying the surfaces of the core aluminum plate and the circuit forming aluminum plate by a molecular adhesion method;
A thermocompression bonding step in which a prepreg having an insulating function is laminated and thermocompression bonded between the core aluminum plate and the circuit forming aluminum plate;
A conductive pattern forming step of forming a conductive pattern by etching the aluminum plate for circuit formation;
An electroless nickel plating film forming step of forming an electroless nickel plating film after forming a zinc replacement film on at least a part of the surface of the conductive pattern;
An electroless plating film forming step of forming an electroless copper plating film on at least a part of the prepreg surface, the electroless nickel plating film and the conductive pattern;
An electrodeposition photoresist film forming step of forming an electrodeposition photoresist film on the surface of the electroless copper plating film;
And electrodeposited photoresist film removing step of removing only electrodeposited photoresist film of soldering site necessary on Suruho Le及 beauty aluminum conductors,
An electrolytic copper plating forming step for forming an electrolytic copper plating at a site where the electrodeposited photoresist film is removed;
A second electrodeposition photoresist film removing step for removing the remaining electrodeposition photoresist film;
An electroless copper plating film removing step of removing the electroless copper plating film with an acid aqueous solution;
It is characterized by including.

本発明のプリント配線基板を製造する方法によれば、前述した効果を有するプリント配線基板を作製することができる。   According to the method for producing a printed wiring board of the present invention, a printed wiring board having the above-described effects can be produced.

本発明にかかるプリント配線基板の製造方法によれば、アルミニウム板と銅めっき皮膜を同時かつ選択的にエッチングするという複雑な加工方法を必要とせず、かつエッチング時に高度な液管理技術も必要がないプリント配線基板及びこのプリント配線基板の製造方法を提供することができる。   According to the method for producing a printed wiring board according to the present invention, a complicated processing method of simultaneously and selectively etching an aluminum plate and a copper plating film is not required, and an advanced liquid management technique is not required at the time of etching. A printed wiring board and a method for manufacturing the printed wiring board can be provided.

実施形態にかかるプリント配線基板100の構成の概略を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline of a structure of the printed wiring board 100 concerning embodiment. 図1のAの部分の拡大図である。It is an enlarged view of the part of A of FIG. 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法を示すフローチャートの一部である。It is a part of flowchart which shows the manufacturing method of the printed wiring board 100 concerning embodiment. 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法を示すフローチャートの一部(図2の続き)である。It is a part of flowchart (continuation of FIG. 2) which shows the manufacturing method of the printed wiring board 100 concerning embodiment. 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法の製造工程の一部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of manufacturing process of the manufacturing method of the printed wiring board 100 concerning embodiment. 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法の製造工程の一部(図5の続き)を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of manufacturing process (continuation of FIG. 5) of the manufacturing method of the printed wiring board 100 concerning embodiment. 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法の製造工程の一部(図6の続き)を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of manufacturing process (continuation of FIG. 6) of the manufacturing method of the printed wiring board 100 concerning embodiment. 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法の製造工程の一部(図7の続き)を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a part of the manufacturing process of the printed wiring board 100 according to the embodiment (continuation of FIG. 7). 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法の製造工程の一部(図8の続き)を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a part of the manufacturing process of the printed wiring board 100 according to the embodiment (continuation of FIG. 8). 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法の製造工程の一部(図9の続き)を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a part of the manufacturing process of the printed wiring board 100 according to the embodiment (continuation of FIG. 9). 実施形態にかかるプリント配線基板100の製造方法の製造工程の一部(図10の続き)を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a part of manufacturing process (continuation of FIG. 10) of the manufacturing method of the printed wiring board 100 concerning embodiment. 塩酸系パラジウム触媒を用いた場合に発生する内部のコアアルミニウム板の欠損の状態を示す顕微鏡写真である。It is a microscope picture which shows the state of a defect | deletion of the internal core aluminum plate which generate | occur | produces when using a hydrochloric acid type palladium catalyst.

以下、本発明を実施するための形態について、図面に沿って詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態及び図面は、本発明の実施形態の一部を例示するものであり、これらの構成に限定する目的に使用されるものではない。なお、各図において対応する構成要素には同一又は類似の符号が付されている。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments and drawings described below exemplify a part of the embodiments of the present invention, and are not used for the purpose of limiting to these configurations. In addition, the same or similar code | symbol is attached | subjected to the corresponding component in each figure.

図1は、実施形態にかかるプリント配線基板100の構成の概略を示す断面図である。実施形態にかかるプリント配線基板100は、放熱体であり、かつ導体としての機能を有するコア用アルミニウム板10と、このコア用アルミニウム板10の両側に積層される絶縁機能を有するプリプレグ21、22と、両側のプリプレグ21、22にそれぞれ積層された導電パターン33を形成した回路形成用アルミニウム板31、32と、この回路形成用アルミニウム板31、32の表面に順に積層された亜鉛置換皮膜40及び無電解ニッケルめっき皮膜50とを備えており(図2参照)、さらに、スルーホール11、13及び導体上のハンダ付けの必要な部位(B、Cの範囲)には、無電解銅めっき皮膜60、電解銅めっき皮膜70の順に積層されている。さらに、スルーホール11、13及び導体上のハンダ付けの必要な部位以外の部分(B,C以外の範囲であって、スルーホール以外の部分)は、ソルダーレジスト90が積層されている。スルーホールには、表面及び裏面に積層される回路形成用アルミニウム板31、32間のみを電気的に接続してかつ回路形成用アルミニウム板31、32とコア用アルミニウム板10との間を電気的に絶縁する絶縁穴11、及び表面及び裏面に積層される回路形成用アルミニウム板31、32間とコア用アルミニウム板10との間をすべて電気的に絶縁する電気接続穴13とを有する。また、回路形成用アルミニウム板31、32間、コア用アルミニウム板10のいずれとも電気的に絶縁している完全絶縁穴12も有している。 FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a configuration of a printed wiring board 100 according to the embodiment. The printed wiring board 100 according to the embodiment is a core aluminum plate 10 that is a radiator and has a function as a conductor, and prepregs 21 and 22 that have an insulating function laminated on both sides of the core aluminum plate 10. The circuit forming aluminum plates 31 and 32 formed with the conductive patterns 33 respectively laminated on the prepregs 21 and 22 on both sides, and the zinc replacement film 40 and the non-coated film laminated on the surfaces of the circuit forming aluminum plates 31 and 32 in this order. and a electroless nickel plating film 50 (see FIG. 2), furthermore, the soldering of the required site on Suruho Le 1 1, 13 and the conductor (B, range C), electroless copper plating film 60 The electrolytic copper plating film 70 is laminated in this order. Furthermore, Suruho Le 1 1, 13 and soldering the necessary part of the other portion on the conductor (B, in the range other than C, portions other than the through hole) is a solder resist 90 is laminated. In the through hole, only the circuit forming aluminum plates 31 and 32 laminated on the front and back surfaces are electrically connected, and the circuit forming aluminum plates 31 and 32 and the core aluminum plate 10 are electrically connected. And the electrical connection holes 13 that electrically insulate between the circuit forming aluminum plates 31 and 32 and the core aluminum plate 10 laminated on the front and back surfaces. Further, it also has a complete insulation hole 12 that is electrically insulated from both the circuit forming aluminum plates 31 and 32 and the core aluminum plate 10.

コア用アルミニウム板10は、0.2mm〜3.0mmの厚さの板が使用される。好ましくは、軽量化及び放熱性の観点から、0.4mm〜1.0mmの厚さの板を使用するとよい。使用されるアルミニウム材料としては、純アルミニウム系、Al−Cu系、Al−Mn系、Al−Si系、Al−Mg系、Al−Mg−Si系、Al−Zn−Mg系等から選択される。どの種類を選ぶかは製品の必要とする特性と使用する目的に合わせ適宜選択される。熱伝導性、電気伝導性の観点から、より好適には、熱処理された純アルミニウム系が好ましい。   The core aluminum plate 10 is a plate having a thickness of 0.2 mm to 3.0 mm. Preferably, a plate having a thickness of 0.4 mm to 1.0 mm is used from the viewpoint of weight reduction and heat dissipation. The aluminum material to be used is selected from pure aluminum, Al—Cu, Al—Mn, Al—Si, Al—Mg, Al—Mg—Si, Al—Zn—Mg, and the like. . The type to be selected is appropriately selected according to the required characteristics of the product and the purpose of use. From the viewpoint of thermal conductivity and electrical conductivity, a heat-treated pure aluminum system is more preferable.

また、ここで使用されるコア用アルミニウム板10の表面粗さRaは、圧延方向及び幅方向とも0.05μm以下のものが使用される。一般のアルミニウム板の表面粗さRaは、圧延方向が0.5μm〜0.8μmであり、幅方向が0.1〜0.3μmであるので、圧延後に研磨したもの、銘板用の鏡面アルミニウム板を使用するとよい。Ra値が0.05μm以下のアルミニウム板を用いることにより、後述するアルミニウムの表面改質をしたアルミニウム板の表面粗さもRa値0.05μm以下となり、電気信号の高速伝送に最適な特性を有するものとすることができる。より好ましくは、Ra値が0.03μm〜0.05μmのアルミニウム板を用いるとよい。   Further, the surface roughness Ra of the core aluminum plate 10 used here is 0.05 μm or less in both the rolling direction and the width direction. The surface roughness Ra of a general aluminum plate is 0.5 μm to 0.8 μm in the rolling direction and 0.1 to 0.3 μm in the width direction. Should be used. By using an aluminum plate with an Ra value of 0.05 μm or less, the surface roughness of an aluminum plate that has been subjected to surface modification of aluminum, which will be described later, also becomes an Ra value of 0.05 μm or less, and it has optimal characteristics for high-speed transmission of electrical signals It can be. More preferably, an aluminum plate having an Ra value of 0.03 μm to 0.05 μm may be used.

プリプレグ21、22としては、ガラス基材にエポキシ樹脂を含浸したガラスエポキシ樹脂からなるプリプレグ、エポキシ樹脂接着シート、イミド変性エポキシ樹脂接着シート等が用いられるが、これに限定するものではない。ガラス基材は、織布であっても、不織布であってもよい。また、プリプレグ21,22には、シリカまたはアルミナ等の無機系フィラーをエポキシ樹脂に混入して、コア用アルミニウム板10及び回路形成用アルミニウム板30との間の熱伝導率を高め、放熱特性を高めてもよい。より好ましくは、ガラス基材に、組成がジアリルフタレート80〜95重量%にエポキシ樹脂20〜5重量%を含有した樹脂の樹脂量に対して、アルミナを30〜70重量%添加した混合物を含浸したものがよい。   Examples of the prepregs 21 and 22 include, but are not limited to, a prepreg made of a glass epoxy resin in which a glass substrate is impregnated with an epoxy resin, an epoxy resin adhesive sheet, an imide-modified epoxy resin adhesive sheet, and the like. The glass substrate may be a woven fabric or a non-woven fabric. Further, in the prepregs 21 and 22, an inorganic filler such as silica or alumina is mixed in the epoxy resin to increase the thermal conductivity between the core aluminum plate 10 and the circuit forming aluminum plate 30, and to improve the heat dissipation characteristics. May be raised. More preferably, the glass base material is impregnated with a mixture in which alumina is added in an amount of 30 to 70% by weight with respect to the resin amount of a resin containing 80 to 95% by weight of diallyl phthalate and 20 to 5% by weight of an epoxy resin. Things are good.

回路形成用アルミニウム板31、32は、厚さが、0.1mm〜1.0mmのものが使用される。好ましくは、0.1mm〜0.3mmのものを用いるとよい。使用されるアルミニウム材料は、コア用アルミニウム板10と同様のものであり、表面粗さRaも同様に、圧延方向及び幅方向とも0.05μm以下のものが使用される。回路形成用アルミニウム板31、32は、プリプレグ21、22に積層された後に、エッチングされ、導電パターンが形成されることになる。   The circuit forming aluminum plates 31 and 32 have a thickness of 0.1 mm to 1.0 mm. Preferably, the thing of 0.1 mm-0.3 mm is used. The aluminum material used is the same as that of the core aluminum plate 10 and the surface roughness Ra is similarly 0.05 μm or less in both the rolling direction and the width direction. The circuit forming aluminum plates 31 and 32 are laminated on the prepregs 21 and 22 and then etched to form a conductive pattern.

亜鉛置換皮膜40、無電解ニッケルめっき皮膜50は、導電パターンを有する回路形成用アルミニウム板31、32の表面に形成されためっき皮膜である。この亜鉛置換皮膜40、無電解ニッケルめっき皮膜50は、スルーホール11、13内の回路形成用アルミニウム板30の表面にも同様にめっきされる。このめっき皮膜は無電解銅めっき60をアルミニウムにめっきするために積層される。 The zinc substitution film 40 and the electroless nickel plating film 50 are plating films formed on the surfaces of the circuit forming aluminum plates 31 and 32 having a conductive pattern. The zincate coating 40, an electroless nickel plating film 50 is plated similarly onto the surface of the circuit forming the aluminum plate 30 in Suruho Le 1 1, 13. This plating film is laminated in order to plate the electroless copper plating 60 on aluminum.

無電解銅めっき60は、電解銅めっき皮膜70を形成するためになされるめっきであり、電解銅めっき皮膜70がスルーホール11、13及び導体上のハンダ付けの必要な部位に形成された後、低濃度の酸水溶液で除去されることになる。よって、最終製品で存在する無電解銅めっきは、電解銅めっき皮膜70の下層に存在する。 Electroless copper plating 60 is plated to be made in order to form an electrolytic copper plated film 70, after the electrolytic copper plating film 70 is formed to the required site of soldering on Suruho Le 1 1, 13 and conductor It is removed with a low concentration aqueous acid solution. Therefore, the electroless copper plating existing in the final product exists in the lower layer of the electrolytic copper plating film 70.

電解銅めっき皮膜70は、前述したように、スルーホール及びアルミ導体上のハンダ
付けの必要な部位(B、Cの範囲)に形成される。
Electrolytic copper plating film 70, as described above, is formed on the soldering of the required sites on Suruho Le及 beauty aluminum conductor (B, range C).

ソルダーレジスト90は、電解銅めっき部分のうち、電子部品等をハンダにより実装するためのハンダ付け実装部を残して積層板の表面へ積層され、プリント配線基板を保護する。   The solder resist 90 is laminated on the surface of the laminated board, leaving a soldered mounting portion for mounting electronic components and the like by soldering in the electrolytic copper plating portion, and protects the printed wiring board.

次に、以上の構成を有するプリント配線基板100の製造方法を図3及び図4に示したフローチャートに沿って、図を用いて以下に説明する。まず、図5aに示すように、コア用アルミニウム板10の材料として厚さ0.2〜3.0mmの熱処理された純アルミニウム系であって、表面粗さRa0.05μm以下のアルミニウム板を1枚準備する(S1)。そして、あらかじめ、図5bに示すように、絶縁穴11や完全絶縁穴12を形成する箇所に穴明け加工を行う(S2)。その後、図5cに示すように穴埋め用インクとして、穴埋め用絶縁樹脂95を100メッシュのテトロンスクリーンによるスクリーン印刷で、穴埋め用絶縁樹脂95を絶縁穴11内に充填する。穴埋め用絶縁樹脂95は限定するものではないが、組成がジアリルフタレート80〜95重量%にエポキシ樹脂20〜5重量%を含有した樹脂の樹脂量に対して、アルミナを30〜70重量%添加した混合物を用いるとよい。その後、熱風乾燥炉内で90〜110℃の熱風を15分間〜25分間吹きつけて穴埋め用絶縁樹脂95を仮硬化させた後、120℃〜140℃の熱風を30分間から50分間吹き付けて硬化させる。その後、バフ研磨機を使用して、絶縁穴11からはみでた余剰の穴埋め用絶縁樹脂95を除去し、さらに、熱風乾燥炉を用いて、130〜160℃の熱風を50〜60分間吹き付けて穴埋め用絶縁樹脂95を完全に硬化させる(S3)。   Next, a method for manufacturing the printed wiring board 100 having the above configuration will be described below with reference to the flowcharts shown in FIGS. First, as shown in FIG. 5a, one aluminum plate having a surface roughness Ra of 0.05 μm or less, which is a heat-treated pure aluminum-based material having a thickness of 0.2 to 3.0 mm, is used as a material for the core aluminum plate 10. Prepare (S1). Then, as shown in FIG. 5b, a drilling process is performed in advance at a location where the insulating hole 11 or the complete insulating hole 12 is formed (S2). Thereafter, as shown in FIG. 5 c, the hole-filling insulating resin 95 is filled into the insulating holes 11 by screen printing using a 100-mesh Tetron screen as the hole-filling ink. The insulating resin 95 for filling holes is not limited, but 30 to 70% by weight of alumina is added to the resin amount of the resin having 20 to 5% by weight of epoxy resin in 80 to 95% by weight of diallyl phthalate. A mixture may be used. Thereafter, hot air at 90 to 110 ° C. is blown for 15 to 25 minutes in a hot air drying furnace to temporarily cure the insulating resin 95 for filling holes, and then hot air at 120 to 140 ° C. is blown for 30 to 50 minutes for curing. Let After that, using a buffing machine, the excess insulating resin 95 for filling the gaps from the insulating holes 11 is removed, and further, hot air at 130 to 160 ° C. is blown for 50 to 60 minutes using a hot air drying furnace to fill the holes. The insulating resin 95 is completely cured (S3).

次に、前記コア用アルミニウム板10の両面の表面改質を行う(S4)。改質処理としては、例えば、苛性処理、アルマイト処理、分子接着法による処理等がある。好ましくは、分子接着法によって表面改質を行うとよい。本実施形態においては、表面改質としてトリアジンジチオール誘導体被膜処理を施している。このとき、種々のトリアジンジチオール誘導体を使用することができるが、好ましくは、分子接着剤として、分子中にジチオールトリアジニル基とトリエトキシシリル基を有する6−(3−トリエトキシシリルプロピルアミノ)−1,3,5−トリアジン−2,4−ジチオールモノソジウム塩(TES)を用いるとよい。表面改質を行うには、まず、表面の脱脂処理が不可欠である。脱脂処理としては有機溶剤やアルカリ性脱脂液中で浸漬処理及びこれらの溶液を噴霧処理するか、又はこれらの溶液中超音波照射下で行うことにより目的が達成される。有機溶剤としてはメタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、セルソルブ、カルビトールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素、ヘキサン、オクタン、デカン、ドデカン、オクタデカンなどの脂肪族炭化水素、酢酸エチル、プロピオン酸メチル、フタル酸メチルなどのエステル類、テトラヒドロフラン、エチルブチルエーテル、アニソールなどのエーテル類とこれらの混合溶剤が有効である。アルカリ性脱脂液はアルカリ石鹸類及びノニオン系界面活性剤とアルカリ土類金属からなる。好ましくは、アサヒクリーナーNo.50(上村工業株式会社製)を用いるとよい。また、脱脂は超音波処理と併用して行なうことができる。更に、大気圧コロナ放電処理、大気圧プラズマ処理及びUV照射処理なども有効である。さらに脱脂の工程として、還元処理を併用してもよい。還元処理は、脱脂処理されたアルミニウム金属板をヒドラジン水溶液に浸漬して行なうとよい。ヒドラジン濃度としては1〜10重量%が好ましく、浸漬時間は0.1〜5.0分、浸漬温度は20〜60℃が好ましい。この前処理条件により次工程であるアルミニウム金属板表面への電解重合が容易となる。そして、純水、メタノールで十分洗浄し、乾燥する。 Next, surface modification of both surfaces of the core aluminum plate 10 is performed (S4). The modification treatment, if example embodiment, caustic treatment, alumite treatment, a treatment by molecular adhesion method. Preferably, surface modification is performed by a molecular adhesion method. In this embodiment, a triazine dithiol derivative coating treatment is performed as a surface modification. At this time, various triazine dithiol derivatives can be used, but preferably 6- (3-triethoxysilylpropylamino) having a dithioltriazinyl group and a triethoxysilyl group in the molecule as a molecular adhesive. -1,3,5-triazine-2,4-dithiol monosodium salt (TES) may be used. In order to perform surface modification, first, degreasing of the surface is indispensable. As the degreasing treatment, the object is achieved by immersing in an organic solvent or an alkaline degreasing solution and spraying these solutions, or by performing ultrasonic treatment in these solutions. Organic solvents include alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, ethylene glycol, propylene glycol, cellosolve and carbitol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, hexane and octane. Aliphatic hydrocarbons such as decane, dodecane and octadecane, esters such as ethyl acetate, methyl propionate and methyl phthalate, ethers such as tetrahydrofuran, ethylbutyl ether and anisole and mixed solvents thereof are effective. The alkaline degreasing solution is composed of alkaline soaps, nonionic surfactants and alkaline earth metals. Preferably, Asahi Cleaner No. 50 (made by Uemura Kogyo Co., Ltd.) may be used. Degreasing can be performed in combination with ultrasonic treatment. Further, atmospheric pressure corona discharge treatment, atmospheric pressure plasma treatment, UV irradiation treatment, and the like are also effective. Further, a reduction treatment may be used in combination as a degreasing step. The reduction treatment may be performed by immersing the degreased aluminum metal plate in a hydrazine aqueous solution. The hydrazine concentration is preferably 1 to 10% by weight, the immersion time is preferably 0.1 to 5.0 minutes, and the immersion temperature is preferably 20 to 60 ° C. This pretreatment condition facilitates electrolytic polymerization on the surface of the aluminum metal plate, which is the next step. Then, it is thoroughly washed with pure water and methanol and dried.

次に重合工程として、上記前処理されたアルミニウム金属板表面にトリアジンジチオール誘導体の電解重合膜を形成する。電解液はトリアジンジチオール誘導体および支持電解質を純水に溶解して得られる。水溶液中の混合トリアジンジチオール誘導体濃度は、0.001〜5重量%、好ましくは0.01〜1重量%である。支持電解質としては、例えば、NaNO2、NaOH、LiOH、KOH、Na2CO3、Na2SO4、K2SO3、Na2SO3、K2CO3、KNO2、KNO3、NaClO4、CH3COONa、Na227、NaBO3、NaH2PO2、(NaPO、NaMnO、NaSiO等が挙げられる。本発明においては、水酸化ナトリウム(NaOH)、亜硝酸ナトリウム(NaNO)及び炭酸ナトリウム(NaCO)の少なくとも一つの化合物を含む支持電解質を用いることが好ましい。特に、亜硝酸ナトリウム(NaNO)を必須成分とする支持電解質が好ましい。すなわち、亜硝酸ナトリウムと水酸化ナトリウムとの混合電解質、または亜硝酸ナトリウムと炭酸ナトリウムとの混合電解質が好ましい。 Next, as a polymerization step, an electropolymerized film of a triazine dithiol derivative is formed on the surface of the pretreated aluminum metal plate. The electrolytic solution is obtained by dissolving the triazine dithiol derivative and the supporting electrolyte in pure water. The concentration of the mixed triazine dithiol derivative in the aqueous solution is 0.001 to 5% by weight, preferably 0.01 to 1% by weight. Examples of the supporting electrolyte include NaNO 2 , NaOH, LiOH, KOH, Na 2 CO 3 , Na 2 SO 4 , K 2 SO 3 , Na 2 SO 3 , K 2 CO 3 , KNO 2 , KNO 3 , NaClO 4 , CH 3 COONa, Na 2 B 2 O 7, NaBO 3, NaH 2 PO 2, (NaPO 3) 6, Na 2 MnO 4, Na 3 SiO 3 and the like. In the present invention, it is preferable to use a supporting electrolyte containing at least one compound of sodium hydroxide (NaOH), sodium nitrite (NaNO 2 ), and sodium carbonate (Na 2 CO 3 ). In particular, a supporting electrolyte containing sodium nitrite (NaNO 2 ) as an essential component is preferable. That is, a mixed electrolyte of sodium nitrite and sodium hydroxide or a mixed electrolyte of sodium nitrite and sodium carbonate is preferable.

次に熱処理工程として、上記重合工程で得られた重合膜に熱処理を施す。熱処理は、トリアジンジチオール誘導体被膜の重合度を上げることにより、被膜強度を上げる処理である。熱処理条件としては、空気雰囲気中で温度が60〜350℃、好ましくは、80〜200℃、処理時間が5〜600分、好ましくは、5〜120分の条件である。熱処理と同時に紫外線処理などの放射線処理を併用できる。なお、重合膜に電着むらなどがある場合には、電解重合後で熱処理前に水洗、アルコール溶液に浸漬処理を行なうことが好ましい。アルコール溶液はアルコール単独、あるいはアクリル酸誘導体、マレイン酸誘導体を溶解したアルコール溶液を使用できる。アルコール溶液の具体例としては、例えばアクリル酸−n−ヘキシルを10重量%溶解したエタノール溶液、マレイン酸−n−ブチルを10重量%溶解したエタノール溶液などが挙げられる。   Next, as the heat treatment step, the polymer film obtained in the polymerization step is subjected to heat treatment. The heat treatment is a process for increasing the film strength by increasing the degree of polymerization of the triazine dithiol derivative film. As the heat treatment conditions, the temperature is 60 to 350 ° C., preferably 80 to 200 ° C. in the air atmosphere, and the treatment time is 5 to 600 minutes, preferably 5 to 120 minutes. Simultaneously with the heat treatment, radiation treatment such as ultraviolet treatment can be used together. If the polymerized film has uneven electrodeposition, it is preferable to carry out water washing and immersion treatment in an alcohol solution after electrolytic polymerization and before heat treatment. As the alcohol solution, alcohol alone or an alcohol solution in which an acrylic acid derivative or a maleic acid derivative is dissolved can be used. Specific examples of the alcohol solution include an ethanol solution in which 10% by weight of acrylic acid-n-hexyl is dissolved, and an ethanol solution in which 10% by weight of maleic acid-n-butyl is dissolved.

こうして、コア用アルミニウム板10は、表面粗さRaが0.05μm以下の表面に100〜300nm厚さのトリアジンジチオール誘導体被膜が形成される。アルミニウム板の表面接触角は40度〜75度の値を示し、2.1KN/m以上のピール強度を示す。   Thus, the core aluminum plate 10 is formed with a triazine dithiol derivative film having a thickness of 100 to 300 nm on the surface having a surface roughness Ra of 0.05 μm or less. The surface contact angle of the aluminum plate shows a value of 40 degrees to 75 degrees, and shows a peel strength of 2.1 KN / m or more.

一方、回路形成用アルミニウム板31、32の材料となる厚さ0.1〜1.0mmの純アルミニウム系熱処理合金であって、表面粗さRaが0.05μm以下のアルミニウム板を2枚準備する(S5)。回路形成用アルミニウム板31、32もコア用アルミニウム板10と同様に、分子接着法等によって表面改質を行う(S6)。   On the other hand, two aluminum plates having a surface roughness Ra of 0.05 μm or less, which are pure aluminum heat-treated alloys having a thickness of 0.1 to 1.0 mm, which are materials for the circuit forming aluminum plates 31 and 32, are prepared. (S5). Similarly to the core aluminum plate 10, the circuit forming aluminum plates 31 and 32 are subjected to surface modification by a molecular adhesion method or the like (S6).

他方、プリプレグ21,22を準備する。プリプレグ21、22としては、ガラス繊維からなるガラス基材に、穴埋め用絶縁樹脂95と同様の組成を有するジアリルフタレート80〜95重量%にエポキシ樹脂20〜5重量%を含有した樹脂の樹脂量に対して、アルミナを30〜70重量%添加した混合物を含浸した0.1〜0.2mmのガラス繊維布基材エポキシ樹脂が好ましい。さらに、TESが樹脂と反応できるようにコロナ放電処理を行う。   On the other hand, prepregs 21 and 22 are prepared. As the prepregs 21 and 22, the resin amount of the resin containing 80 to 95% by weight of diallyl phthalate having a composition similar to that of the insulating resin 95 for filling a hole in a glass substrate made of glass fiber and 20 to 5% by weight of an epoxy resin. On the other hand, a 0.1 to 0.2 mm glass fiber cloth base epoxy resin impregnated with a mixture added with 30 to 70% by weight of alumina is preferable. Further, a corona discharge treatment is performed so that TES can react with the resin.

そして、図6aに示すように、下層から回路形成用アルミニウム板31、プリプレグ21、コア用アルミニウム板10、プリプレグ22、回路形成用アルミニウム板32の順に積層し、熱プレスにより積層接着を行ってアルミニウム導体の積層板15を作製する(S7)。   Then, as shown in FIG. 6a, the aluminum plate 31 for circuit formation, the prepreg 21, the aluminum plate 10 for core, the prepreg 22, and the aluminum plate 32 for circuit formation are laminated in this order from the lower layer, and laminated and bonded by hot pressing to form aluminum. A conductor laminate 15 is produced (S7).

次に、図6bに示すように、スルーホールが必要な部位にNC又はレーザー加工等によって穴明け加工を行う(S8)。この穴明けによって、電気接続穴13と絶縁穴11、完全絶縁穴12の両方があけられる。   Next, as shown in FIG. 6b, drilling is performed by NC or laser processing or the like at a site where a through hole is required (S8). By this drilling, both the electrical connection hole 13, the insulation hole 11, and the complete insulation hole 12 are opened.

次に、図7aに示すように、回路形成用アルミニウム板31及び32の表面に、エッチングレジストを形成するために、プリント配線板用感光性フィルム(ドライフィルムレジスト)41、42をラミネートする(S9)。プリント配線板用感光性フィルム41、42としては、ドライフィルムSA150、厚さ50μm(デュポン株式会社製)を用いるとよい。そして、このプリント配線板用感光性フィルム41、42を、ネガフィルム(図示しない)を介して、3KWの紫外線硬化炉において紫外線量90mJ/cmで露光し、30℃、1.0%の炭酸ソーダで現像し、ベーキングを150℃で30分間行なって、図7bに示すように、導体エッチング用のレジストパターンをプリント配線板用感光性フィルム41、42に形成する。 Next, as shown in FIG. 7a, printed circuit board photosensitive films (dry film resists) 41 and 42 are laminated to form an etching resist on the surfaces of the circuit forming aluminum plates 31 and 32 (S9). ). As the printed wiring board photosensitive films 41 and 42, a dry film SA150 and a thickness of 50 μm (manufactured by DuPont) may be used. Then, the photosensitive films 41 and 42 for printed wiring boards are exposed through a negative film (not shown) at a UV amount of 90 mJ / cm 2 in a 3 KW UV curing furnace, and 30 ° C. and 1.0% carbonic acid. Development with soda and baking are performed at 150 ° C. for 30 minutes to form a conductive etching resist pattern on the printed wiring board photosensitive films 41 and 42 as shown in FIG. 7b.

そして、図8aに示すように、レジストパターンが形成された積層板15をエッチングして、アルミニウム導電パターン33を形成する(S10)。回路形成用アルミニウム板31、32をエッチングするためのエッチング液としては、50重量%の40Be塩化第2鉄を用いるとよい。本実施形態では、40Be塩化第2鉄を用い、液量20リットル、初期の液温度39℃で、スプレイ型の実験装置を用い、寸法25cm×33cmで、回路形成用アルミニウム板31及び32の板厚をエッチングしてアルミニウムが導電パターンを形成した積層板15を得る。   Then, as shown in FIG. 8a, the laminated plate 15 on which the resist pattern is formed is etched to form an aluminum conductive pattern 33 (S10). As an etchant for etching the circuit-forming aluminum plates 31 and 32, 50% by weight of 40Be ferric chloride may be used. In this embodiment, 40Be ferric chloride is used, a liquid volume of 20 liters, an initial liquid temperature of 39 ° C., and a spray type experimental apparatus is used, and the dimensions are 25 cm × 33 cm. Thickness is etched to obtain a laminate 15 in which aluminum forms a conductive pattern.

エッチングの後、図8bに示すように、プリント配線板用感光性フィルム41、42を剥離する(S11)。ドライフィルムの剥離は、例えば、4%の水酸化ナトリウム(液温40℃〜)を2〜3分間スプレーすることで剥離することができる。   After the etching, as shown in FIG. 8b, the printed wiring board photosensitive films 41 and 42 are peeled off (S11). The dry film can be peeled off by spraying, for example, 4% sodium hydroxide (liquid temperature: 40 ° C.) for 2 to 3 minutes.

その後、図9aに示すように、コア用アルミニウム板10のスルーホール11、13の内壁及び回路形成用アルミニウム板31、21の導電パターンの表面(スルーホール11、13内も含む。)に亜鉛とアルミニウムとの置換反応を利用したジンケート処理と呼ばれる前処理を行い、厚さ0.1〜0.2μmの亜鉛置換皮膜40を形成し(S12)、次亜リン酸浴により、厚さ1.5〜3.0μmの均一で薄い無電解ニッケルめっき皮膜50を形成する(S13)。   Thereafter, as shown in FIG. 9a, zinc is formed on the inner walls of the through holes 11 and 13 of the core aluminum plate 10 and the surface of the conductive pattern of the circuit forming aluminum plates 31 and 21 (including the inside of the through holes 11 and 13). A pretreatment called a zincate treatment using a substitution reaction with aluminum is performed to form a zinc-substituted film 40 having a thickness of 0.1 to 0.2 μm (S12). A uniform and thin electroless nickel plating film 50 of ˜3.0 μm is formed (S13).

次に、この無電解ニッケルめっき皮膜50を、アルカリ系のパラジウムイオン触媒で表面処理を行う(S14)。アルカリ系のパラジウムイオン触媒としては、OPC−50インデューサーA(奥野製薬工業株式会社製)を用いるとよい。一般的には、スルーホールめっき前の樹脂の活性化のため塩酸系のパラジウム触媒が用いられているが、塩酸系のパラジウム触媒を用いた場合、無電解ニッケルめっき皮膜50の微細なピンホール等から触媒液が浸透して、内部のアルミニウムを溶解し、溶融したアルミニウムがピンホール等から溶け出してニッケルめっき皮膜50内にアルミニウム欠損した空間が発生する(図12参照)。アルカリ系のパラジウムイオン触媒で表面処理を行うことによって、こうした課題を解決することができる。   Next, the electroless nickel plating film 50 is surface-treated with an alkaline palladium ion catalyst (S14). As the alkaline palladium ion catalyst, OPC-50 inducer A (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.) may be used. In general, a hydrochloric acid-based palladium catalyst is used to activate the resin before through-hole plating. However, when a hydrochloric acid-based palladium catalyst is used, a fine pinhole or the like of the electroless nickel plating film 50 is used. Then, the catalyst solution penetrates to dissolve the aluminum inside, and the molten aluminum is melted out from the pinholes and the like, and a space in which the aluminum is deficient is generated in the nickel plating film 50 (see FIG. 12). Such a problem can be solved by performing the surface treatment with an alkaline palladium ion catalyst.

次に、図9bに示すように、無電解銅めっき処理により、積層板15全体に無電解銅めっき皮膜60を形成する(S15)。無電解銅めっき処理は通常使用される薬剤・工程で良く、ロッシェル塩浴やEDTAベースのキレート浴等を用いることができる。プリントガントP−DK(アトテック株式会社製)やサーキュボジット4500(ロームアンドハース株式会社製)が例示されるが、特に限定されない。無電解銅めっきは0.1〜0.5μm程度付着させる。好ましくは、後の無電解銅めっきの除去工程を考慮すると、0.2μm〜0.3μmがよい。   Next, as shown in FIG. 9b, an electroless copper plating film 60 is formed on the entire laminate 15 by electroless copper plating (S15). The electroless copper plating treatment may be a commonly used chemical or process, and a Rochelle salt bath, an EDTA-based chelate bath, or the like can be used. Print Gantt P-DK (manufactured by Atotech Co., Ltd.) and Circvogit 4500 (manufactured by Rohm and Haas Co., Ltd.) are exemplified, but not particularly limited. The electroless copper plating is deposited on the order of 0.1 to 0.5 μm. Preferably, considering the subsequent electroless copper plating removal step, 0.2 μm to 0.3 μm is preferable.

次に、電着フォトレジストによって、図10aに示すように、無電解銅めっき60層に電着フォトレジスト膜45を形成する(S16)。ここで、電着フォトレジストを用いるのは、導電性のある面ならばレジスト膜を均一に形成させることができ、端面や角部を含め、立体形状全体にフォトエッチング加工が可能だからである。導電パターン33を形成する回路形成用アルミニウム板31、32は、厚さ0.1〜1.0mmであり、通常の露光タイプのドライフィルムをラミネートした場合、真空ラミネータを使用してラミネート加工しても、導電パターン33のサイドエッジ部及び導電パターン33の根元部に十分密着させることができず、空洞又は空間が残存することになる。しかし、電着フォトレジストにより皮膜を形成することによって、こうした欠点を有することなくラミネートすることができる。その後、図10bに示すように、露光、現像を行って、ハンダ付けが必要なスルーホール部11、13及び電子部品の実装領域のみ(B、Cの範囲)剥離する。なお、ここで使用される電着フォトレジストは、アニオン系処理であっても、カチオン系処理であっても構わない。前者は、電着浴中で樹脂がアニオンに解離し、陽極である被塗物の基板に樹脂アニオンが電気泳動して基板表面に析出する方法であり、後者は、樹脂がカチオンに解離し、陰極である被塗物の基板に樹脂カチオンが電気泳動して基板表面に析出する方法である。   Next, as shown in FIG. 10a, an electrodeposition photoresist film 45 is formed on the electroless copper plating 60 layer by using an electrodeposition photoresist (S16). Here, the electrodeposition photoresist is used because the resist film can be uniformly formed as long as it is a conductive surface, and the entire three-dimensional shape including the end surfaces and corners can be photoetched. The circuit forming aluminum plates 31 and 32 for forming the conductive pattern 33 have a thickness of 0.1 to 1.0 mm. When a normal exposure type dry film is laminated, a laminate is performed using a vacuum laminator. However, the side edge portion of the conductive pattern 33 and the root portion of the conductive pattern 33 cannot be sufficiently adhered, and a cavity or space remains. However, by forming a film with an electrodeposited photoresist, it is possible to laminate without such drawbacks. Thereafter, as shown in FIG. 10b, exposure and development are performed, and only the through-hole portions 11 and 13 and the mounting region of the electronic component that require soldering are peeled off (ranges B and C). The electrodeposition photoresist used here may be an anionic treatment or a cationic treatment. The former is a method in which the resin is dissociated into anions in the electrodeposition bath, and the resin anions are electrophoresed on the substrate of the substrate to be coated and deposited on the surface of the substrate, and the latter is dissociated into cations. In this method, resin cations are electrophoresed on a substrate of an object to be coated, which is a cathode, and deposit on the substrate surface.

そして、図11aに示すように、ハンダ付けが必要なスルーホール部11、13、及び電子部品の実装領域に厚さ25〜30μmの電解銅めっき皮膜70を形成する(S17)。電解銅めっき皮膜70を形成するには、析出物の結晶が緻密で伸びが大きく、内部応力が小さく、均一な電着性のある硫酸銅浴が好ましい。   Then, as shown in FIG. 11a, an electrolytic copper plating film 70 having a thickness of 25 to 30 μm is formed in the through hole portions 11 and 13 that need to be soldered and the mounting region of the electronic component (S17). In order to form the electrolytic copper plating film 70, a copper sulfate bath having a dense deposit, large elongation, low internal stress, and uniform electrodeposition is preferable.

次に、図11bに示すように、電着フォトレジスト膜45を剥離(S18)し、露出した無電解銅めっき皮膜60をクイックエッチングにより除去する(S19)。電着フォトレジストを剥離するには、アニオン系の場合は水溶化又は水分散化させるために中和剤として、例えば、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、アンモニア、水酸化ナトリウム等の塩基が使用される。カチオン系の場合には、水溶化又は水分散化させるために中和剤として、例えば、酢酸、乳酸、リン酸、硫酸等の酸が使用される。無電解銅めっき皮膜60を除去するには、無電解銅めっき皮膜60は0.2〜0.3μmと薄いので、低濃度の酸性液を使用すれば、簡単に除去することができる。   Next, as shown in FIG. 11b, the electrodeposited photoresist film 45 is peeled off (S18), and the exposed electroless copper plating film 60 is removed by quick etching (S19). For stripping the electrodeposited photoresist, a base such as triethylamine, monoethanolamine, morpholine, ammonia, sodium hydroxide, etc. is used as a neutralizing agent for water-solubilization or water-dispersion in the case of anionic systems. The In the case of a cationic system, for example, an acid such as acetic acid, lactic acid, phosphoric acid, sulfuric acid or the like is used as a neutralizing agent for water-solubilization or water-dispersion. In order to remove the electroless copper plating film 60, since the electroless copper plating film 60 is as thin as 0.2 to 0.3 μm, it can be easily removed by using a low concentration acidic solution.

最後に、図1に示すように、ソルダーレジスト絶縁皮膜90を形成する(S20)。ソルダーレジスト絶縁皮膜90の形成は、例えば太陽インキ製造株式会社製の現像型一液性ソルダーレジストPSR−4000CC02緑色、粘度65dpa・s(at25℃)を、目標45μmの膜厚で2回コーティングし、その後に80℃で30分間予備乾燥する。この予備乾燥したソルダーレジストを紫外線量400mJ/cmで露光し、30℃、1.0%の炭酸ソーダ液で現像し、その後、150℃で60分間乾燥させ、ソルダーレジスト絶縁皮膜90を形成する。 Finally, as shown in FIG. 1, a solder resist insulating film 90 is formed (S20). The formation of the solder resist insulation film 90 is, for example, a development type one-component solder resist PSR-4000CC02 made by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd., coated with a viscosity of 65 dpa · s (at 25 ° C.) twice with a target film thickness of 45 μm, Thereafter, it is pre-dried at 80 ° C. for 30 minutes. This pre-dried solder resist is exposed with an ultraviolet light amount of 400 mJ / cm 2 , developed with a sodium carbonate solution at 30 ° C. and 1.0%, and then dried at 150 ° C. for 60 minutes to form a solder resist insulating film 90. .

上記実施形態にかかるプリント配線基板100によれば、以下の効果を有する。導電パターン33として、回路形成用アルミニウム板31及び32が用いられたことから、導体として銅が用いられる場合に比べ、プリント配線基板100の軽量化及び高放熱性を実現できる。例えば、導体としての回路形成用アルミニウム板31、32に、電流の通電による温度上昇が銅箔または銅板と同等な許容電流を通電するには、回路形成用アルミニウム板31及び32の断面積を銅箔または銅板に比べ1.6倍にする必要がある。このように導体の断面積を1.6倍にしても、導体の重量は、銅箔または銅板を導体とした場合の0.48倍と半分以下となり、軽量化を図ることができる。   The printed wiring board 100 according to the embodiment has the following effects. Since the circuit forming aluminum plates 31 and 32 are used as the conductive pattern 33, the printed circuit board 100 can be reduced in weight and heat dissipation compared with the case where copper is used as the conductor. For example, in order to pass an allowable current equivalent to that of a copper foil or a copper plate to the circuit forming aluminum plates 31 and 32 as conductors, the cross-sectional area of the circuit forming aluminum plates 31 and 32 is made of copper. It is necessary to make it 1.6 times that of foil or copper plate. Thus, even if the cross-sectional area of the conductor is 1.6 times, the weight of the conductor is 0.48 times that of a copper foil or a copper plate as a conductor, which is half or less, and the weight can be reduced.

プリント配線基板100は、回路形成用アルミニウム板31、2をめっき工程より先にエッチングして導電パターン33を形成する。従って、アルミニウム板と銅めっき皮膜とを選択的にエッチングするという複雑な加工工程を必要とせず、かつその際の選択によるエッチング液の管理をする必要もない。   The printed wiring board 100 forms the conductive pattern 33 by etching the circuit forming aluminum plates 31 and 2 prior to the plating step. Therefore, a complicated processing step of selectively etching the aluminum plate and the copper plating film is not required, and it is not necessary to manage the etching solution by selection at that time.

また、回路形成用アルミニウム板31、32のみをエッチングするので、高密度、高精度のアルミニウム導電パターンを容易に形成することができる。また、スルーホール部11,13及び導体上のハンダ付けが必要な部位のみ電着フォトレジスト皮膜を除去して電解銅めっきを行うので、全体に銅めっきを行うのに比較して、省エネルギーで済み、環境に優しいプリント配線基板を提供することができる。   Moreover, since only the circuit forming aluminum plates 31 and 32 are etched, a high-density, high-precision aluminum conductive pattern can be easily formed. In addition, since the electrodeposited photoresist film is removed and the electrolytic copper plating is performed only on the through-hole portions 11 and 13 and the portions that need to be soldered, it is possible to save energy compared to the entire copper plating. Can provide environment-friendly printed wiring board.

さらに、アルミニウム板をエッチングし導電パターンを形成した後に、そのアルミニウム表面に亜鉛置換被膜、無電解ニッケルめっき皮膜、無電解銅めっき皮膜、電解銅めっき皮膜を順次形成していくため、電解銅めっき工程を1回にすることができる。こうすることにより、全工程の省力化に資する。   Furthermore, after forming the conductive pattern by etching the aluminum plate, the electrolytic copper plating process is used to sequentially form a zinc replacement coating, electroless nickel plating coating, electroless copper plating coating, and electrolytic copper plating coating on the aluminum surface. Can be done once. This contributes to labor saving in all processes.

さらに、スルーホール部及び導体上のハンダ付けの必要な部位のみ電着フォトレジスト皮膜が除去されて電解銅めっきが形成されるので、加工工程の簡素化が図れる。また、銅皮膜の形成を最小限とすることができるため、より軽量化を図ることができる。   Furthermore, since the electrodeposited photoresist film is removed only at the through-hole portion and the portion that needs to be soldered on the conductor to form the electrolytic copper plating, the processing process can be simplified. Moreover, since the formation of the copper film can be minimized, the weight can be further reduced.

以下、本発明のプリント配線基板製造方法で製造したプリント配線基板について、その好ましい実施例を挙げるとともに、実施例1〜実施例5について特性として、熱放散性、無電解ニッケル上の無電解銅の密着性、フォトレジストの導体への密着性、スルーホール内のアルミニウム欠損の発生の有無、積層の接着強度について、その性能を評価した。各実施例の材料、加工法及びその特性について表1に示す。 Hereinafter, about the printed wiring board manufactured with the printed wiring board manufacturing method of this invention, while giving the preferable Example, as a characteristic about Example 1- Example 5, heat dissipation, the electroless copper on electroless nickel The performance was evaluated for adhesion, adhesion of the photoresist to the conductor, presence or absence of aluminum deficiency in the through hole, and adhesive strength of the laminate. Table 1 shows the materials, processing methods, and characteristics of each example.

コア用アルミニウム板として、住友金属株式会社製のA1050、厚さ0.6mmを1枚使用し、プリプレグとして、パナソニック電工株式会社製のガラス基材エポキシ樹脂多層プリント配線板R1661、厚さ0.2mm(ガラス転移点130℃、熱伝導率0.3W/mK)を2枚使用し、回路形成用アルミニウム板として、A1050、厚さ0.15mm(住友軽金属株式会社製)を2枚使用した。   As the aluminum plate for the core, one sheet of A1050 manufactured by Sumitomo Metals Co., Ltd., having a thickness of 0.6 mm is used, and as the prepreg, a glass substrate epoxy resin multilayer printed wiring board R1661 manufactured by Panasonic Electric Works Co., Ltd., thickness 0.2 mm Two sheets (glass transition point 130 ° C., thermal conductivity 0.3 W / mK) were used, and two sheets of A1050 and a thickness of 0.15 mm (manufactured by Sumitomo Light Metal Co., Ltd.) were used as an aluminum plate for circuit formation.

コア用アルミニウム板及び回路形成用アルミニウム板の表面改質には、水酸化ナトリウムを使用した苛性処理を行った。これらを積層接着プレスにより、コア用アルミニウム板の両側にプリプレグ及び回路形成用アルミニウム板を有する5層の積層板を作製した。積層接着プレス条件として、温度170℃、圧力20kgf/cm、プレス時間90分でおこなった。 Caustic treatment using sodium hydroxide was performed for surface modification of the core aluminum plate and the circuit forming aluminum plate. These were laminated and pressed to produce a 5-layer laminate having a prepreg and a circuit forming aluminum plate on both sides of the core aluminum plate. As the lamination adhesive press conditions, the temperature was 170 ° C., the pressure was 20 kgf / cm 2 , and the press time was 90 minutes.

この積層板の回路形成用アルミニウム板に導電パターンを形成した後、導電パターンにソフトエッチングした。このソフトエッチングにより導電パターン表面の樹脂残渣が完全に除去される。ソフトエッチングには、水酸化ナトリウムベースの混合液が用いられる。次に、導電パターン表面にソフトエッチングにより形成されたスマットを酸洗浄により除去し、奥野製薬工業株式会社製のジンケート処理剤サブスターZN−111を使用して、ジンケート処理を行った後、同株式会社製のニコロンLPG−LFM(リン含有率2重量%)を使用して無電解ニッケルめっき皮膜を形成した。   A conductive pattern was formed on the aluminum plate for circuit formation of the laminated plate, and then soft etching was performed on the conductive pattern. Resin residue on the surface of the conductive pattern is completely removed by this soft etching. For soft etching, a mixed solution based on sodium hydroxide is used. Next, the smut formed on the surface of the conductive pattern by soft etching is removed by acid cleaning, and after zincate treatment is performed using a zincate treatment agent Substar ZN-111 manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. An electroless nickel plating film was formed using Nicol LPG-LFM (phosphorus content 2% by weight) manufactured by company.

その後、塩酸系パラジウム触媒によって表面処理を行った後、EDTAベースの無電解銅めっき液によって、無電解銅めっきを形成し、デュポン株式会社製のドライフィルムSA150でフォトレジスト膜形成、現像を行い、ハンダ付けが必要なスルーホール部、及び電子部品の実装領域のみ剥離した。そして、硫酸銅浴により厚さ25μmの電解銅めっき皮膜を形成した。   Then, after performing a surface treatment with a hydrochloric acid-based palladium catalyst, an electroless copper plating solution is formed with an electroless copper plating solution based on EDTA, and a photoresist film is formed and developed with a dry film SA150 manufactured by DuPont, Only the through-hole portion that requires soldering and the mounting area of the electronic component were peeled off. And the electrolytic copper plating film | membrane with a thickness of 25 micrometers was formed with the copper sulfate bath.

さらに、フォトレジスト膜を剥離し、露出した無電解銅めっき皮膜をクイックエッチングにより除去し、ソルダーレジスト絶縁皮膜を形成し、実施例1のプリント配線基板を得た。   Further, the photoresist film was peeled off, and the exposed electroless copper plating film was removed by quick etching to form a solder resist insulating film, whereby a printed wiring board of Example 1 was obtained.

実施例1のプリント配線基板に対し、プリプレグとして、パナソニック電工株式会社製のガラス基材エポキシ樹脂多層プリント配線板R1661、厚さ0.2mmを2枚使用したのに代えて、厚さ0.1mmのものを1枚使用した。また、アルミニウム表面改質として、苛性処理に代えて、アルマイト処理を行い、実施例2のプリント配線基板を得た。それ以外は、実施例1と同様である。   For the printed wiring board of Example 1, instead of using two glass substrate epoxy resin multilayer printed wiring boards R1661 made by Panasonic Electric Works Co., Ltd., having a thickness of 0.2 mm as a prepreg, a thickness of 0.1 mm One was used. In addition, as a modification of the aluminum surface, alumite treatment was performed instead of caustic treatment, and a printed wiring board of Example 2 was obtained. The rest is the same as in the first embodiment.

実施例1のプリント配線基板に対し、プリプレグとして、パナソニック電工株式会社製のガラス基材エポキシ樹脂多層プリント配線板R1661、厚さ0.2mmを2枚使用したのに代えて、DAP/EP(ジアリルフタレート/エポキシ樹脂)(ガラス転移点188℃、熱伝導率2.1W/mK)、厚さ0.1mmのものを1枚使用した。   Instead of using two glass substrate epoxy resin multilayer printed wiring boards R1661 made by Panasonic Electric Works Co., Ltd. and a thickness of 0.2 mm as prepregs for the printed wiring board of Example 1, DAP / EP (diallyl (Phthalate / epoxy resin) (glass transition point 188 ° C., thermal conductivity 2.1 W / mK), 0.1 mm thick one was used.

また、アルミニウム表面改質として、苛性処理に代えて、アルマイト処理を行った。さらに、ニコロンLPG−LFM(リン含有率2重量%)を使用して無電解ニッケルめっき皮膜を形成したのに代えて、奥野製薬工業株式会社製ニコロンTOM−LFM(リン含有率8重量%)を用いて無電解ニッケルめっき皮膜を形成した。こうして、実施例3のプリント配線基板を得た。それ以外は、実施例1と同様である。   In addition, as an aluminum surface modification, alumite treatment was performed instead of caustic treatment. Furthermore, instead of forming an electroless nickel plating film using Nicolon LPG-LFM (phosphorus content 2% by weight), Nicolon TOM-LFM (phosphorus content 8% by weight) manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. Used to form an electroless nickel plating film. Thus, a printed wiring board of Example 3 was obtained. The rest is the same as in the first embodiment.

実施例1のプリント配線板に対し、プリプレグとして、パナソニック電工株式会社製のガラス基材エポキシ樹脂多層プリント配線板R1661、厚さ0.2mmを2枚使用したのに代えて、DAP/EP(ジアリルフタレート/エポキシ樹脂)(ガラス転移点188℃、熱伝導率2.1W/mK)、厚さ0.1mmのものを1枚使用した。   Instead of using two sheets of glass substrate epoxy resin multilayer printed wiring board R1661, manufactured by Panasonic Electric Works Co., Ltd., having a thickness of 0.2 mm as a prepreg, the DAP / EP (diallyl) was used. (Phthalate / epoxy resin) (glass transition point 188 ° C., thermal conductivity 2.1 W / mK), 0.1 mm thick one was used.

また、アルミ表面改質として、苛性処理に代えて、分子接着処理としてトリアジンジチオール誘導体被膜処理を施した。さらに、ニコロンLPG−LFM(リン含有率2重量%)を使用して無電解ニッケルめっき皮膜を形成したのに代えて、奥野製薬工業株式会社製ニコロンTOM−LFM(リン含有率8重量%)を用いて無電解ニッケルめっき皮膜を形成した。さらに、無電解銅めっきを形成した後にドライフィルムでフォトレジスト膜形成したのに代えて、株式会社シミズ社製エレコートEU−XCによるネガ型フォトレジスト電着膜を形成し、実施例4のプリント配線基板を得た。それ以外は、実施例1と同様である。   Further, as a modification of the aluminum surface, a triazine dithiol derivative coating treatment was applied as a molecular adhesion treatment instead of the caustic treatment. Furthermore, instead of forming an electroless nickel plating film using Nicolon LPG-LFM (phosphorus content 2% by weight), Nicolon TOM-LFM (phosphorus content 8% by weight) manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. Used to form an electroless nickel plating film. Furthermore, instead of forming a photoresist film with a dry film after forming an electroless copper plating, a negative-type photoresist electrodeposition film by Elecoat EU-XC manufactured by Shimizu Corporation was formed, and the printed wiring of Example 4 A substrate was obtained. The rest is the same as in the first embodiment.

実施例1のプリント配線板に対し、プリプレグとして、パナソニック電工株式会社製のガラス基材エポキシ樹脂多層プリント配線板R1661、厚さ0.2mmを2枚使用したのに代えて、DAP/EP(ジアリルフタレート/エポキシ樹脂)(ガラス転移点188℃、熱伝導率2.1W/mK)、厚さ0.1mmのものを1枚使用した。それ以外は、実施例1と同様である。   Instead of using two sheets of glass substrate epoxy resin multilayer printed wiring board R1661, manufactured by Panasonic Electric Works Co., Ltd., having a thickness of 0.2 mm as a prepreg, the DAP / EP (diallyl) was used. (Phthalate / epoxy resin) (glass transition point 188 ° C., thermal conductivity 2.1 W / mK), 0.1 mm thick one was used. The rest is the same as in the first embodiment.

また、アルミ表面改質として、苛性処理に代えて、分子接着処理としてトリアジンジチオール誘導体被膜処理を施した。さらに、ニコロンLPG−LFM(リン含有率2重量%)を使用して無電解ニッケルめっき皮膜を形成したのに代えて、奥野製薬工業株式会社製ニコロンTOM−LFM(リン含有率8重量%)を用いて無電解ニッケルめっき皮膜を形成した。さらに、無電解ニッケルめっき皮膜を形成した後の塩酸系パラジウム触媒による表面処理に代えて、アルカリ系パラジウム触媒による表面処理を行った。さらに、無電解銅めっきを形成した後にドライフィルムでフォトレジスト膜形成したのに代えて、株式会社シミズ社製エレコートEU−XCによるネガ型フォトレジスト電着膜を形成し、実施例5のプリント配線基板を得た。   Further, as a modification of the aluminum surface, a triazine dithiol derivative coating treatment was applied as a molecular adhesion treatment instead of the caustic treatment. Furthermore, instead of forming an electroless nickel plating film using Nicolon LPG-LFM (phosphorus content 2% by weight), Nicolon TOM-LFM (phosphorus content 8% by weight) manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. Used to form an electroless nickel plating film. Furthermore, instead of the surface treatment with the hydrochloric acid-based palladium catalyst after forming the electroless nickel plating film, the surface treatment with an alkaline palladium catalyst was performed. Furthermore, instead of forming a photoresist film with a dry film after forming an electroless copper plating, a negative-type photoresist electrodeposition film by Elecoat EU-XC manufactured by Shimizu Corporation was formed, and the printed wiring of Example 5 A substrate was obtained.

前記の各実施例の性能を評価した表1を参照すると、実施例1及び実施例2では、熱放散性0.2W/mKなのに対し、実施例3、実施例4及び実施例5では。2.0W/mKと向上している。これにより、プリプレグの材料として、DAP/EPが効果的であることがわかる。   Referring to Table 1 in which the performance of each of the above examples was evaluated, in Example 1 and Example 2, heat dissipation was 0.2 W / mK, whereas in Example 3, Example 4 and Example 5. It is improved to 2.0 W / mK. This shows that DAP / EP is effective as a prepreg material.

実施例1及び実施例2の無電解ニッケル上の無電解銅の密着性が0.2kN/mなのに対し、実施例3、実施例4及び実施例5が2.6kN/mと向上している。これにより、無電解ニッケルめっき溶液のリン含有量を2%のものに対し、リン含有量8%のものが密着性向上に効果的であることがわかる。   While the adhesion of electroless copper on electroless nickel in Example 1 and Example 2 is 0.2 kN / m, Example 3, Example 4 and Example 5 are improved to 2.6 kN / m. . Thereby, it can be seen that an electroless nickel plating solution having a phosphorus content of 2% is effective in improving the adhesion, with a phosphorus content of 8%.

実施例1、実施例2及び実施例3のフォトレジストの導体への密着性に対し、実施例4及び実施例5の密着性が向上している。これにより、電着フォトレジストが密着性向上に効果的であることがわかる。   The adhesion of Example 4 and Example 5 is improved with respect to the adhesion of the photoresists of Examples 1, 2 and 3 to the conductor. This shows that the electrodeposition photoresist is effective in improving the adhesion.

実施例1、実施例2、実施例3及び実施例4においては、スルーホール内のアルミニウム欠損が発生しているのに対し、実施例5においては発生していない。これにより、アルミニウム欠損防止に、アルカリ系パラジウム触媒が効果的であることがわかる。   In Example 1, Example 2, Example 3, and Example 4, an aluminum deficiency in the through hole is generated, whereas in Example 5, it is not generated. Thereby, it turns out that an alkaline palladium catalyst is effective in preventing aluminum deficiency.

実施例4及び実施例5の積層接着強度は、実施例2及び実施例3より高い。また、実施例2及び実施例3は、実施例1より高い。これにより、アルミニウム表面改質は、アルマイト処理の方が苛性処理より効果が高く、アルマイト処理より分子接着処理の方がアルマイト処理より効果が高いことがわかる。

Figure 0005566921
The lamination adhesive strength of Example 4 and Example 5 is higher than that of Example 2 and Example 3. Moreover, Example 2 and Example 3 are higher than Example 1. Thus, it can be seen that the aluminum surface modification is more effective in the alumite treatment than the caustic treatment, and the molecular adhesion treatment is more effective than the alumite treatment.
Figure 0005566921

本アルミニウム導体プリント配線板は、軽量で大電流に対応でき、高熱伝導による放熱性を有する。また、同一の消費電力において、温度上昇が一般プリント配線板の1/10以下の特性を有する。そのため、車載用のDC−DCコンバータやACインバータなどパワー制御を一体型としたパワーエレクトロニクス用基板、EPS(電動式パワーステアリング)用制御基板、ECU、ワイパー、パワーウインドウ、電動式ミラー、パワーシート用制御基板、車内の配線用のハーネス基板、パワーモジュール用基板などに適用できる。更に、産業機器用として、フォークリフト用制御基板、電動工具や電動自転車のモータ駆動用基板などにも本プリント配線板を適用できる。   This aluminum conductor printed wiring board is lightweight, can handle a large current, and has a heat dissipation property due to high thermal conductivity. In addition, at the same power consumption, the temperature rise has a characteristic of 1/10 or less of a general printed wiring board. For this reason, power electronics boards with integrated power control, such as in-vehicle DC-DC converters and AC inverters, EPS (electric power steering) control boards, ECUs, wipers, power windows, electric mirrors, and power seats It can be applied to a control board, a wiring board for wiring in a vehicle, a power module board, and the like. Furthermore, this printed wiring board can be applied to a control board for a forklift, a power tool, a motor driving board for an electric bicycle, and the like for industrial equipment.

100…プリント配線基板、10…コア用アルミニウム板、11…スルーホール(絶縁穴)、12…完全絶縁穴、13…スルーホール部(電気接続穴)、15…積層板、21,22…プリプレグ、33…導電パターン、31,32…回路形成用アルミニウム板、40…亜鉛置換皮膜、41,42…プリント配線板用感光性フィルム、45…電着フォトレジスト膜、50…無電解ニッケルめっき皮膜、60…無電解銅めっき皮膜、70…電解銅めっき皮膜、90…ソルダーレジスト DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Printed wiring board, 10 ... Core aluminum plate, 11 ... Through hole (insulation hole), 12 ... Complete insulation hole, 13 ... Through-hole part (electrical connection hole), 15 ... Laminated board, 21, 22 ... Prepreg, 33 ... conductive pattern, 31, 32 ... aluminum plate for circuit formation, 40 ... zinc replacement coating, 41, 42 ... photosensitive film for printed wiring board, 45 ... electrodeposition photoresist film, 50 ... electroless nickel plating coating, 60 ... Electroless copper plating film, 70 ... Electrolytic copper plating film, 90 ... Solder resist

Claims (9)

コア用アルミニウム板と、前記コア用アルミニウム板の少なくとも一方の表面に積層されるプリプレグと、前記プリプレグの表面に積層される回路形成用アルミニウム板と、を有するプリント配線基板の製造方法において、
前記回路形成用アルミニウム板は、エッチングにより導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、
前記導電パターンの表面の少なくとも一部に、亜鉛置換皮膜を形成した後に、無電解ニッケルめっき被膜を形成する無電解ニッケルめっき被膜形成工程と、
前記プリプレグ表面、前記無電解ニッケルめっき皮膜及び前記導電パターンの少なくとも一部に無電解銅めっき皮膜を形成する無電解めっき被膜形成工程と、
前記無電解銅めっき皮膜の表面に電着フォトレジスト皮膜を形成する電着フォトレジスト被膜形成工程と、
スルーホール及び導体上のハンダ付けの必要な部位のみ前記電着フォトレジスト皮膜を除去する電着フォトレジスト被膜除去工程と、
を含むことを特徴とするプリント配線基板の製造方法。
In a method for manufacturing a printed wiring board, comprising: a core aluminum plate; a prepreg laminated on at least one surface of the core aluminum plate; and a circuit forming aluminum plate laminated on the surface of the prepreg.
The circuit forming aluminum plate includes a conductive pattern forming step of forming a conductive pattern by etching ;
An electroless nickel plating film forming step of forming an electroless nickel plating film after forming a zinc replacement film on at least a part of the surface of the conductive pattern ;
An electroless plating film forming step of forming an electroless copper plating film on at least a part of the prepreg surface, the electroless nickel plating film and the conductive pattern ;
An electrodeposition photoresist film forming step of forming an electrodeposition photoresist film on the surface of the electroless copper plating film ;
An electrodeposition photoresist film removing step of removing the electrodeposition photoresist film only through the through hole and the part necessary for soldering on the conductor;
A method of manufacturing a printed wiring board, comprising:
前記コア用アルミニウム板は、少なくとも一方の表面を分子接着法で表面改質された表面粗さRaが0.05μm以下のアルミニウム板からなり、
前記回路形成用アルミニウム板は、積層面を分子接着法で表面改質されたアルミニウム板からなることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線基板の製造方法
The core aluminum plate is made of an aluminum plate having a surface roughness Ra of 0.05 μm or less, the surface of which is at least one surface modified by a molecular adhesion method.
2. The printed wiring board manufacturing method according to claim 1, wherein the circuit forming aluminum plate is made of an aluminum plate whose surface is modified by a molecular adhesion method .
前記分子接着法による表面改質は、トリアジンジチオール誘導体の電解重合膜の形成であることを特徴とする請求項2に記載のプリント配線基板の製造方法The method for producing a printed wiring board according to claim 2, wherein the surface modification by the molecular adhesion method is formation of an electrolytic polymerization film of a triazine dithiol derivative. 前記コア用アルミニウム板は、前記スルーホールが形成される位置に穴明けされた後、さらに穴埋め用インクをスクリーン印刷で充填された後、余分な穴埋めインクが研磨されてなることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法The core aluminum plate is formed by drilling a hole at a position where the through hole is formed, and further filling the hole filling ink by screen printing, and then polishing the excess hole filling ink. Item 4. The method for manufacturing a printed wiring board according to any one of Items 1 to 3. 前記プリプレグ及び前記穴埋め用インクは、組成がジアリルフタレート80〜95重量%にエポキシ樹脂20〜5重量%を含有した樹脂の樹脂量に対して、アルミナを30〜70重量%添加した混合物であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法The prepreg and the ink for filling holes are a mixture in which alumina is added in an amount of 30 to 70% by weight with respect to a resin amount of a resin containing 20 to 5% by weight of an epoxy resin in 80 to 95% by weight of diallyl phthalate. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein: 前記無電解ニッケルめっき皮膜は、リン含有率が7重量%以上9重量%以下の次亜リン酸浴で行われることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法6. The printed wiring board according to claim 1, wherein the electroless nickel plating film is performed in a hypophosphorous acid bath having a phosphorus content of 7 wt% or more and 9 wt% or less. Manufacturing method . 前記無電解ニッケルめっき皮膜が形成された後に、前記プリプレグ表面、前記無電解ニッケルめっき皮膜及び導電パターンにアルカリ性のパラジウムイオン触媒による処理がされることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法7. The surface of the prepreg, the electroless nickel plating film and the conductive pattern are treated with an alkaline palladium ion catalyst after the electroless nickel plating film is formed. The manufacturing method of the printed wiring board as described in a term. 前記電解銅めっきが形成された後に、前記電着フォトレジスト皮膜が剥離され、酸水溶液で前記無電解銅めっき皮膜が除去されることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法The electroless copper plating film is peeled off after the electrolytic copper plating is formed, and the electroless copper plating film is removed with an acid aqueous solution. Manufacturing method of printed wiring board. 表面粗さRaが0.05μm以下のコア用アルミニウム板のスルーホール形成領域の少なくとも一部に穴明けした後、穴埋めインクで穴埋めする穴埋工程と、
前記コア用アルミニウム板及び回路形成用アルミニウム板の表面を分子接着法で表面改質する表面改質工程と、
前記コア用アルミニウム板及び回路形成用アルミニウム板の間に絶縁機能を有するプリプリグを積層して熱圧着する熱圧着工程と、
前記回路形成用アルミニウム板にエッチングにより導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、
前記導電パターンの表面の少なくとも一部に、亜鉛置換皮膜を形成した後に無電解ニッケルめっき皮膜を形成する無電解ニッケルめっき皮膜形成工程と、
前記プリプレグ表面、前記無電解ニッケルめっき皮膜及び前記導電パターンの少なくとも一部に無電解銅めっき皮膜を形成する無電解めっき皮膜形成工程と、
前記無電解銅めっき皮膜の表面に電着フォトレジスト皮膜を形成する電着フォトレジスト皮膜形成工程と、
スルーホール及び導体上のハンダ付けが必要な部位のみ電着フォトレジスト皮膜を除去する電着フォトレジスト皮膜除去工程と、
電着フォトレジスト皮膜が除去された部位に電解銅めっきを形成する電解銅めっき形成工程と、
残りの電着フォトレジスト皮膜を除去する第2電着フォトレジスト皮膜除去工程と、
酸水溶液で、無電解銅めっき皮膜を除去する無電解銅めっき皮膜除去工程と、
を含むことを特徴とするプリント配線基板の製造方法。
A hole filling step of filling in at least a part of the through hole forming region of the core aluminum plate having a surface roughness Ra of 0.05 μm or less, and then filling with a hole filling ink;
A surface modification step of modifying the surfaces of the core aluminum plate and the circuit forming aluminum plate by a molecular adhesion method;
A thermocompression bonding step in which a prepreg having an insulating function is laminated and thermocompression bonded between the core aluminum plate and the circuit forming aluminum plate;
A conductive pattern forming step of forming a conductive pattern by etching on the circuit forming aluminum plate;
An electroless nickel plating film forming step of forming an electroless nickel plating film after forming a zinc replacement film on at least a part of the surface of the conductive pattern;
An electroless plating film forming step of forming an electroless copper plating film on at least a part of the prepreg surface, the electroless nickel plating film and the conductive pattern;
An electrodeposition photoresist film forming step of forming an electrodeposition photoresist film on the surface of the electroless copper plating film;
And electrodeposited photoresist film removing step of removing only electrodeposited photoresist film of soldering site necessary on Suruho Le及 beauty conductors,
An electrolytic copper plating forming step for forming an electrolytic copper plating at a site where the electrodeposited photoresist film is removed;
A second electrodeposition photoresist film removing step for removing the remaining electrodeposition photoresist film;
An electroless copper plating film removing step of removing the electroless copper plating film with an acid aqueous solution;
A method of manufacturing a printed wiring board, comprising:
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