JP5286451B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体基板やガラス基板等を搬送する搬送装置に関する。

現在、半導体基板やガラス基板等を各種加工処理を行う処理室に搬送する場合に、伸縮する腕部を有する搬送装置が用いられている。基板搬送のスループットを向上させるために、複数台の腕部を有する搬送装置が開発されている。

図１０は二台の腕部を有する従来の搬送装置１１０の平面図を示している。
搬送装置１１０は同一の鉛直な主能動回転軸線Ａを中心にそれぞれ独立に回転可能に配置された左駆動軸１１２Ｌ、右駆動軸１１２Ｒと、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒとを有している。
左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒはそれぞれ左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒと、左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒとを有している。

左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒの一端は左駆動軸１１２Ｌ、右駆動軸１１２Ｒにそれぞれ固定され、左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒの先端には左規制部材１２５Ｌ、右規制部材１２５Ｒがそれぞれ配置されている。左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒは左規制部材１２５Ｌ、右規制部材１２５Ｒに鉛直に設けられた左副能動回転軸線Ｂ_L、右副能動回転軸線Ｂ_Rを中心に回転可能に構成されている。

左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒはそれぞれ左副能動回転軸線Ｂ_L、右副能動回転軸線Ｂ_Rを中心に回転可能に配置されている。
左駆動軸１１２Ｌ、右駆動軸１１２Ｒの主能動回転軸線Ａの周りの回転により左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒがそれぞれ回転すると、左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒはそれぞれ左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒの回転と逆方向に回転し、すなわち左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒがそれぞれ伸縮するように構成されている。

左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒの先端には、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒがそれぞれ左ハンド能動回転軸線Ｃ_L、右ハンド能動回転軸線Ｃ_Rを中心に回転可能に配置され、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒには左載置部１２７Ｌ、右載置部１２７Ｒがそれぞれ固定されている。

主能動回転軸線Ａと左副能動回転軸線Ｂ_Lとを結ぶ線分の長さと、左副能動回転軸線Ｂ_Lと左ハンド能動回転軸線Ｃ_Lとを結ぶ線分の長さは同じにされ、主能動回転軸線Ａと右副能動回転軸線Ｂ_Rとを結ぶ線分の長さと、右副能動回転軸線Ｂ_Rと右ハンド能動回転軸線Ｃ_Rとを結ぶ線分の長さは同じにされている。

従って、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒをそれぞれ伸縮させると、左載置部１２７Ｌ、右載置部１２７Ｒに載置された基板はそれぞれ水平面内で直線移動する。
左腕部１２０Ｌと右腕部１２０Ｒにより同時に搬送する搬送先のパスラインが互いに同じ高さに位置する場合には、左載置部１２７Ｌと右載置部１２７Ｒとを同じ高さに配置する必要がある。
そこで、左載置部１２７Ｌと右載置部１２７Ｒとを互いに衝突させないためには、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒの形状をそれぞれクランク形状に形成する必要があった。

しかしこの場合には、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒの形状が複雑であるため、製作コストが高いという問題があった。
また、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒの形状が複雑であり、重さが増すと、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒのたわみ量が増加してしまう。左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒがたわむと、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒ先端での変異量が大きいため、左載置部１２７Ｌ、右載置部１２７Ｒを処理室に出し入れする際に、各載置部１２７Ｌ、１２７Ｒに載置された基板が処理室のチャンバーの開口に接してしまうリスクが高くなり、ティーチング作業の難易度が高いという問題があった。

国際公開第２００９／０３４７９５号

本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、単純な形状のハンドを備えた二台の腕部を有し、二枚の基板を同じ高さに同時に搬送できる搬送装置を提供することにある。

上記課題を解決するために本発明は、二台の腕部で基板を搬送する搬送装置であって、一台の腕部は、水平な中心軸線を通る位置に離間して鉛直に配置された主能動回転軸線と、主従動回転軸線と、一端の所定位置に前記主能動回転軸線が通り、前記主能動回転軸線を中心に回転する主能動腕と、一端の所定位置に前記主従動回転軸線が通り、前記主従動回転軸線を中心に回転する主従動腕と、鉛直に配置され、前記主能動腕の他端の所定位置と、前記主従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、副能動回転軸線と副従動回転軸線と、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とを中心として回動可能に構成された規制部材と、一端の所定位置に前記副能動回転軸線が通り、前記副能動回転軸線を中心に回転する副能動腕と、一端の所定位置に前記副従動回転軸線が通り、前記副従動回転軸線を中心に回転する副従動腕と、鉛直に配置され、前記副能動腕の他端の所定位置と、前記副従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、ハンド能動回転軸線とハンド従動回転軸線と、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とを中心として回動可能に構成され、基板を載置する載置部が設けられたハンドと、を有し、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線は、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とよりも前記中心軸線に近い位置に配置され、前記主能動回転軸線と前記副能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記主従動回転軸線と前記副従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第一の長さにされ、前記副能動回転軸線と前記ハンド能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記副従動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第二の長さにされ、前記主能動腕の回転に対して、前記副能動腕が逆方向に同角度回転するように構成され、二台の前記腕部の前記載置部は互いに同じ高さに配置され、二台の前記腕部の主能動回転軸線は同一であり、二台の前記腕部の前記載置部は、それぞれ前記載置部が設けられた前記腕部の前記中心軸線から離間して配置された前記搬送装置であって、前記第二の長さは、前記第一の長さよりも短くされた搬送装置である。
本発明は搬送装置であって、二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、互いに異なる位置に配置された搬送装置である。
本発明は搬送装置であって、二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、前記主能動回転軸線を中心に回転できるように構成された搬送装置である。

ハンドの形状を単純化できるので、製作コストを低減できる。
またハンドの形状を単純化できることから、ハンドの重量が軽くなり、腕部のたわみ量が軽減される。
腕部のたわみ量が軽減されることにより、ティーチング作業を簡易化できる。

本発明の第一例の搬送装置の平面図 本発明の第一例の搬送装置の側面図 （ａ）（ｂ）本発明の第一例の搬送装置を用いた真空処理装置の模式的な平面図 第一例の第一の左規制部材の内部構成図 第二例の第一の左規制部材の内部構成図 第二例の第一の左規制部材のＡ−Ａ線切断断面図 本発明の第二例の搬送装置の平面図 本発明の第二例の搬送装置の側面図 （ａ）（ｂ）本発明の第二例の搬送装置を用いた真空処理装置の模式的な平面図 従来の搬送装置の平面図

図１は、本発明の第一例の搬送装置１０の平面図であり、図２は同側面図である。なお、図２では、後述する第一の左主従動腕２２Ｌ₁、第一の右主従動腕２２Ｒ₁と第一の左副従動腕２４Ｌ₁、第一の右副従動腕２４Ｒ₁の図示を省略している。
この搬送装置１０は、二台の腕部、すなわち第一の左腕部２０Ｌ₁と第一の右腕部２０Ｒ₁とを有している。
図２を参照し、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁は第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第一の右駆動軸１２Ｒ₁をそれぞれ有している。

第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第一の右駆動軸１２Ｒ₁は、鉛直かつ同心状に配置されており、各駆動軸１２Ｌ₁、１２Ｒ₁の中心軸線である同一の主能動回転軸線Ｏを中心にそれぞれ独立に回転できるように構成されている。
また、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁は、左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒをそれぞれ有している。左回転部材１６Ｌと右回転部材１６Ｒはそれぞれ主能動回転軸線Ｏを中心に独立に回転できるように構成されている。

図１を参照し、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁は、第一の左主リンク３１Ｌ₁、第一の右主リンク３１Ｒ₁と、第一の左副リンク３２Ｌ₁、第一の右副リンク３２Ｒ₁とをそれぞれ有している。
第一の左主リンク３１Ｌ₁、第一の右主リンク３１Ｒ₁は、第一の左主能動腕２１Ｌ₁、第一の右主能動腕２１Ｒ₁と、第一の左主従動腕２２Ｌ₁、第一の右主従動腕２２Ｒ₁とをそれぞれ有している。

第一の左主能動腕２１Ｌ₁、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の一端は第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第一の右駆動軸１２Ｒ₁にそれぞれ固定されている。
ここでは図２を参照し、第一の右駆動軸１２Ｒ₁は第一の左駆動軸１２Ｌ₁より高い位置に配置され、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の一端は第一の左主能動腕２１Ｌ₁の一端より高い位置に固定されており、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状に下方に曲げられて、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ₁の他端とは同一の高さに配置されている。
なお、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ₁の他端とが同一の高さに配置されているならば、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の一端と他端との間の部分が曲線状に下方に曲げられていてもよいし、第一の左主能動腕２１Ｌ₁の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に上方に曲げられていてもよい。
また、第一の左駆動軸１２Ｌ₁が第一の右駆動軸１２Ｒ₁より高い位置に配置され、第一の左主能動腕２１Ｌ₁の一端が第一の右主能動腕２１Ｒ₁の一端より高い位置に固定されており、第一の左主能動腕２１Ｌ₁の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に下方に曲げられ、または第一の右主能動腕２１Ｒ₁の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に上方に曲げられて、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ₁の他端とが同一の高さに配置された構成も本発明に含まれる。
図１を参照し、第一の左駆動軸１２Ｌ₁が回転すると、第一の左主能動腕２１Ｌ₁は第一の左駆動軸１２Ｌ₁と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。また第一の右駆動軸１２Ｒ₁が回転すると、第一の右主能動腕２１Ｒ₁は第一の右駆動軸１２Ｒ₁と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。

左回転部材１６Ｌの主回転軸線Ｏから離間した位置には、左主従動回転軸線Ｒ_Lが鉛直に設けられ、右回転部材１６Ｒの主回転軸線Ｏから離間した位置には、右主従動回転軸線Ｒ_Rが鉛直に設けられている。すなわち、左主従動回転軸線Ｒ_Lと右主従動回転軸線Ｒ_Rは、互いに異なる位置に配置されている。

ここでは第一の左主従動腕２２Ｌ₁の一端に設けられた凹部が、左回転部材１６Ｌの左主従動回転軸線Ｒ_Lを中心に鉛直に立設された凸部に嵌合されて、第一の左主従動腕２２Ｌ₁は左主従動回転軸線Ｒ_Lを中心に水平面内で回転可能に配置されている。また第一の右主従動腕２２Ｒ₁の一端に設けられた凹部が、右回転部材１６Ｒの右主従動回転軸線Ｒ_Rを中心に鉛直に立設された凸部に嵌合されて、第一の右主従動腕２２Ｒ₁は右主従動回転軸線Ｒ_Rを中心に水平面内で回転可能に配置されている。

本発明は、第一の左主従動腕２２Ｌ₁、第一の右主従動腕２２Ｒ₁がそれぞれ左主従動回転軸線Ｒ_L、右主従動回転軸線Ｒ_Rを中心に水平面内で回転可能に配置されているならば、第一の左主従動腕２２Ｌ₁と左回転部材１６Ｌとの連結構造及び第一の右主従動腕２２Ｒ₁と右回転部材１６Ｒとの連結構造は上記構成に限定されず、第一の左主従動腕２２Ｌ₁の一端に鉛直に立設された凸部が、左回転部材１６Ｌの左主従動回転軸線Ｒ_Lを中心に設けられた凹部に嵌合され、第一の右主従動腕２２Ｒ₁の一端に鉛直に立設された凸部が、右回転部材１６Ｒの右主従動回転軸線Ｒ_Rを中心に設けられた凹部に嵌合されていてもよい。

第一の左主能動腕２１Ｌ₁の先端と第一の左主従動腕２２Ｌ₁の先端には第一の左規制部材２５Ｌ₁が配置され、第一の右主能動腕２１Ｒ₁の先端と第一の右主従動腕２２Ｒ₁の先端には第一の右規制部材２５Ｒ₁が配置されている。

第一の左主能動腕２１Ｌ₁と第一の左主従動腕２２Ｌ₁は、第一の左規制部材２５Ｌ₁に設けられた鉛直な左副能動回転軸線Ｓ_Lと左副従動回転軸線Ｔ_Lを中心にそれぞれ回動可能に構成され、第一の右主能動腕２１Ｒ₁と第一の右主従動腕２２Ｒ₁は、第一の右規制部材２５Ｒ₁に設けられた鉛直な右副能動回転軸線Ｓ_Rと右従動回転軸線Ｔ_Rを中心にそれぞれ回動可能に構成されている。

第一の左副リンク３２Ｌ₁、第一の右副リンク３２Ｒ₁は、第一の左副能動腕２３Ｌ₁、第一の右副能動腕２３Ｒ₁と、第一の左副従動腕２４Ｌ₁、第一の右副従動腕２４Ｒ₁とをそれぞれ有している。

第一の左副能動腕２３Ｌ₁は左副能動回転軸線Ｓ_Lを中心に回動可能に配置され、第一の左副従動腕２４Ｌ₁は左副従動回転軸線Ｔ_Lを中心に回動可能に配置されている。また第一の右副能動腕２３Ｒ₁は右副能動回転軸線Ｓ_Rを中心に回動可能に配置され、第一の右副従動腕２４Ｒ₁は右副従動回転軸線Ｔ_Rを中心に回動可能に配置されている。
第一の左規制部材２５Ｌ₁と第一の右規制部材２５Ｒ₁の構造は同じであり、第一の左規制部材２５Ｌ₁で代表して説明する。

図４は第一例の第一の左規制部材２５Ｌ₁の内部構成図を示している。第一の左規制部材２５Ｌ₁は、ここでは同一歯数で互いに噛合する第一の歯車４１、第二の歯車４２を有している。第一の歯車４１、第二の歯車４２は、それぞれ鉛直な左副能動回転軸線Ｓ_L、左副従動回転軸線Ｔ_Lを中心に回転可能に配置されており、第一の歯車４１は第一の左主能動腕２１Ｌ₁の先端に固定され、第二の歯車４２は第一の左副従動腕２４Ｌ₁の先端に固定されている。

第一の左駆動軸１２Ｌ₁と左回転部材１６Ｌとがどちらも静止した状態では、第一の左主能動腕２１Ｌ₁と第一の左副従動腕２４Ｌ₁はどちらも静止している。
左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁が回転して第一の左主能動腕２１Ｌ₁が回動されると、第一の歯車４１が第一の左主能動腕２１Ｌ₁と一体に同一角度同方向に回転し、これに噛合している第二の歯車４２は同一角度逆方向に回転する。従ってこの第二の歯車４２に固定された第一の左副従動腕２４Ｌ₁は左副従動回転軸線Ｔ_Lを中心に第一の左主能動腕２１Ｌ₁と同一角度逆方向に回動する。

ここでは第一の歯車４１の鉛直な回転軸が第一の左規制部材２５Ｌ₁の上方を向いた面から凸設され、第一の左副能動腕２３Ｌ₁の先端に設けられた凹部に嵌合されて、第一の左副能動腕２３Ｌ₁は左副能動回転軸線Ｓ_Lを中心に回動可能に構成されている。また、第二の歯車４２の鉛直な回転軸が第一の左規制部材２５Ｌ₁の下方を向いた面から凸設され、第一の左主従動腕２２Ｌ₁の先端に設けられた凹部に嵌合されて、第一の左主従動腕２２Ｌ₁は左副従動回転軸線Ｔ_Lを中心に回動可能に構成されている。
上記実施例では第一の左主リンク３１Ｌ₁と第一の左副リンク３２Ｌ₁の連結に第一の歯車４１、第二の歯車４２を用いた例を示したが、本発明はこれに限定されず、二本のベルトを歯車に代えて用いてもよい。

図５は第二例の第一の左規制部材２５Ｌ₁の内部構成図、図６は同Ａ−Ａ線切断断面図を示している。
第一の左規制部材２５Ｌ₁には、直径が同じ大きさの第一プーリ４５と第二プーリ４６がそれぞれ鉛直な左副能動回転軸線Ｓ_Lと左副従動回転軸線Ｔ_Lを中心に回転可能に配置されており、第一プーリ４５は第一の左主能動腕２１Ｌ₁の先端に固定され、第二プーリ４６は第一の左副従動腕２４Ｌ₁の先端に固定されている。

両プーリ４５、４６には二本のベルト４７、４８がたすき掛けにされ、それぞれの端部が各プーリ４５、４６に固定されている。なお二本のベルト４７、４８の代わりに一本のベルトが「８」の字状に巻き掛けられて構成されていてもよい。

左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁が回転して第一の左主能動腕２１Ｌ₁が回動されると、第一プーリ４５が第一の左主能動腕２１Ｌ₁と一体に同一角度同方向に回転し、これに二本のベルト４７、４８を介して連結された第二プーリ４６は同一角度逆方向に回転する。従ってこの第二プーリ４６に固定された第一の左副従動腕２４Ｌ₁は左副従動回転軸線Ｔ_Lを中心に第一の左主能動腕２１Ｌ₁と同一角度逆方向に回動する。

図１を参照し、第一の左副能動腕２３Ｌ₁の先端と第一の左副従動腕２４Ｌ₁の先端には、第一の左ハンド２６Ｌ₁が配置されている。また第一の右副能動腕２３Ｒ₁の先端と第一の右副従動腕２４Ｒ₁の先端には、第一の右ハンド２６Ｒ₁が配置されている。

ここでは第一の左副能動腕２３Ｌ₁、第一の左副従動腕２４Ｌ₁の一端にそれぞれ設けられた凹部が、第一の左ハンド２６Ｌ₁の左ハンド能動回転軸線Ｐ_L、左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lを中心に鉛直に立設された凸部にそれぞれ嵌合され、第一の左副能動腕２３Ｌ₁と第一の左副従動腕２４Ｌ₁は、第一の左ハンド２６Ｌ₁の鉛直な左ハンド能動回転軸線Ｐ_Lと左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lを中心にそれぞれ水平面内で回動可能に構成されている。

また、ここでは第一の右副能動腕２３Ｒ₁、第一の右副従動腕２４Ｒ₁の一端にそれぞれ設けられた凹部が、第一の右ハンド２６Ｒ₁の右ハンド能動回転軸線Ｐ_R、右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rを中心に鉛直に立設された凸部にそれぞれ嵌合され、第一の右副能動腕２３Ｒ₁と第一の右副従動腕２４Ｒ₁は、第一の右ハンド２６Ｒ₁の鉛直な右ハンド能動回転軸線Ｐ_Rと右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rを中心にそれぞれ水平面内で回動可能に構成されている。

本発明は、第一の左副能動腕２３Ｌ₁、第一の左副従動腕２４Ｌ₁が左ハンド能動回転軸線Ｐ_L、左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lを中心に回転可能に構成されているならば、第一の左副能動腕２３Ｌ₁、第一の左副従動腕２４Ｌ₁の一端にそれぞれ鉛直に立設された凸部が、第一の左ハンド２６Ｌ₁の左ハンド能動回転軸線Ｐ_L、左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lを中心に設けられた凹部にそれぞれ嵌合されていてもよい。また、第一の右副能動腕２３Ｒ₁、第一の右副従動腕２４Ｒ₁が右ハンド能動回転軸線Ｐ_R、右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rを中心に回転可能に構成されているならば、第一の右副能動腕２３Ｒ₁、第一の右副従動腕２４Ｒ₁の一端にそれぞれ鉛直に立設された凸部が、第一の右ハンド２６Ｒ₁の右ハンド能動回転軸線Ｐ_R、右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rを中心に設けられた凹部にそれぞれ嵌合されていてもよい。

以下では、主能動回転軸線Ｏと左主従動回転軸線Ｒ_Lとを通る水平な直線を左中心軸線と呼び、主能動回転軸線Ｏと右主従動回転軸線Ｒ_Rとを通る水平な直線を右中心軸線と呼ぶ。
左ハンド能動回転軸線Ｐ_L、左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lは、左副能動回転軸線Ｓ_L、左副従動回転軸線Ｔ_Lよりも、左中心軸線に近い位置に配置され、右ハンド能動回転軸線Ｐ_R、右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rは、右副能動回転軸線Ｓ_R、右副従動回転軸線Ｔ_Rよりも、右中心軸線に近い位置に配置されている。

また主能動回転軸線Ｏと左副能動回転軸線Ｓ_Lとの間を水平に結ぶ線分ＯＳ_Lと、左主従動回転軸線Ｒ_Lと左副従動回転軸線Ｔ_Lとの間を水平に結ぶ線分Ｒ_LＴ_Lは平行で同じ左の第一の長さＭ_Lにされている。
さらに左副能動回転軸線Ｓ_Lと左ハンド能動回転軸線Ｐ_Lとの間を水平に結ぶ線分Ｓ_LＰ_Lと、左副従動回転軸線Ｔ_Lと左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lとの間を水平に結ぶ線分Ｔ_LＱ_Lは平行で同じ左の第二の長さＮ_Lにされている。

すなわち、第一の左腕部２０Ｌ₁に関し、主能動回転軸線Ｏと、左主従動回転軸線Ｒ_Lと、左副能動回転軸線Ｓ_Lと、左副従動回転軸線Ｔ_Lとを水平に結んで形成される四角形ＯＲ_LＴ_LＳ_Lは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。

また、左副能動回転軸線Ｓ_L、左副従動回転軸線Ｔ_L、左ハンド能動回転軸線Ｐ_L、左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lの回転軸線を水平に結んで形成される四角形Ｓ_LＴ_LＱ_LＰ_Lは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。
左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁が回転すると、各四角形ＯＲ_LＴ_LＳ_L、Ｓ_LＴ_LＱ_LＰ_Lはそれぞれ平行四辺形であることを維持しながら変形する。

以下では、主能動回転軸線Ｏと左主従動回転軸線Ｒ_Lとを水平に結ぶ線分ＯＲ_Lと、主能動回転軸線Ｏと左副能動回転軸線Ｓ_Lとを水平に結ぶ線分ＯＳ_Lとがなす角度をα_L、左副能動回転軸線Ｓ_Lと左副能動回転軸線Ｔ_Lとを水平に結ぶ線分Ｓ_LＴ_Lと、左副能動回転軸線Ｓ_Lと左ハンド能動回転軸線Ｐ_Lとを水平に結ぶ線分Ｓ_LＰ_Lとがなす角度をβ_Lと呼ぶ。

左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁が回転して、第一の左主能動腕２１Ｌ₁が角度α_Lを小さくする方向に回転すると、第一の左副能動腕２３Ｌ₁は角度β_Lを小さくする方向に回転し、ここでは第一の左腕部２０Ｌ₁は伸びるようになっている。

また、左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁が回転して、第一の左主能動腕２１Ｌ₁が角度α_Lを大きくする方向に回転すると、第一の左副能動腕２３Ｌ₁は角度β_Lを大きくする方向に回転し、ここでは第一の左腕部２０Ｌ₁は縮むようになっている。

一方、主能動回転軸線Ｏと右副能動回転軸線Ｓ_Rとの間を水平に結ぶ線分ＯＳ_Rと、右主従動回転軸線Ｒ_Rと右副従動回転軸線Ｔ_Rとの間を水平に結ぶ線分Ｒ_RＴ_Rは平行で同じ右の第一の長さＭ_Rにされている。

さらに右副能動回転軸線Ｓ_Rと右ハンド能動回転軸線Ｐ_Rとの間を水平に結ぶ線分Ｓ_RＰ_Rと、右副従動回転軸線Ｔ_Rと右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rとの間を水平に結ぶ線分Ｔ_RＱ_Rは平行で同じ右の第二の長さＮ_Rにされている。

すなわち、第一の右腕部２０Ｒ₁に関し、主能動回転軸線Ｏと、右主従動回転軸線Ｒ_Rと、右副能動回転軸線Ｓ_Rと、右副従動回転軸線Ｔ_Rとを水平に結んで形成される四角形ＯＲ_RＴ_RＳ_Rは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。

また、右副能動回転軸線Ｓ_R、右副従動回転軸線Ｔ_R、右ハンド能動回転軸線Ｐ_R、右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rを水平に結んで形成される四角形Ｓ_RＴ_RＱ_RＰ_Rは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。
右回転部材１６Ｒが静止した状態で第一の右駆動軸１２Ｒ₁が回転すると、各四角形ＯＲ_RＴ_RＳ_R、Ｓ_RＴ_RＱ_RＰ_Rはそれぞれ平行四辺形であることを維持しながら変形する。

以下では、主能動回転軸線Ｏと右主従動回転軸線Ｒ_Rとを水平に結ぶ線分ＯＲ_Rと、主能動回転軸線Ｏと右副能動回転軸線Ｓ_Rとを水平に結ぶ線分ＯＳ_Rとがなす角度をα_R、右副能動回転軸線Ｓ_Rと右副能動回転軸線Ｔ_Rとを水平に結ぶ線分Ｓ_RＴ_Rと、右副能動回転軸線Ｓ_Rと右ハンド能動回転軸線Ｐ_Rとを水平に結ぶ線分Ｓ_RＰ_Rとがなす角度をβ_Rと呼ぶ。

右回転部材１６Ｒが静止した状態で第一の右駆動軸１２Ｒ₁が回転して、第一の右主能動腕２１Ｒ₁が角度α_Rを小さくする方向に回転すると、第一の右副能動腕２３Ｒ₁は角度β_Rを小さくする方向に回転し、ここでは第一の右腕部２０Ｒ₁は縮むようになっている。

また、右回転部材１６Ｒが静止した状態で第一の右駆動軸１２Ｒ₁が回転して、第一の右主能動腕２１Ｒ₁が角度α_Rを大きくする方向に回転すると、第一の右副能動腕２３Ｒ₁は角度β_Rを大きくする方向に回転し、ここでは第一の右腕部２０Ｒ₁は伸びるようになっている。

第一の左ハンド２６Ｌ₁、第一の右ハンド２６Ｒ₁には、基板を載置可能に構成された第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁がそれぞれ固定されている。符号３０Ｌ₁、３０Ｒ₁は第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁に載置された基板をそれぞれ示している。

左回転部材１６Ｌを静止させた状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁を回転させて、第一の左腕部２０Ｌ₁を水平面内で伸縮させると、第一の左載置部２７Ｌ₁は、角度α_Lが９０°に近づくに従って左中心軸線から離れ、角度α_Lが９０°から離れるに従って左中心軸線に近づく水平な円弧曲線に沿って移動する。

また右回転部材１６Ｒを静止させた状態で第一の右駆動軸１２Ｒ₁を回転させて、第一の右腕部２０Ｒ₁を水平面内で伸縮させると、第一の右載置部２７Ｒ₁は、角度α_Rが９０°に近づくに従って右中心軸線から離れ、角度α_Rが９０°から離れるに従って右中心軸線に近づく水平な円弧曲線に沿って移動する。

第一の左駆動軸１２Ｌ₁と左回転部材１６Ｌとを一緒に主能動回転軸線Ｏを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の左腕部２０Ｌ₁は角度α_L、β_Lの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Ｏの周りを回転移動し、第一の右駆動軸１２Ｒ ₁と右回転部材１６Ｒとを一緒に主能動回転軸線Ｏを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の右腕部２０Ｒ₁は角度α_R、β_Rの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Ｏの周りを回転移動する。

図２を参照し、本発明の搬送装置１０では、第一の左載置部２７Ｌ₁と第一の右載置部２７Ｒ₁は互いに同じ高さに配置されている。
さらに、図１を参照し、上述の左の第二の長さＮ_Lは、左の第一の長さＭ_Lよりも短くされ、右の第二の長さＮ_Rは、右の第一の長さＭ_Rよりも短くされている。

従って、角度α_Lが０°より大きく１８０°より小さい場合には、左ハンド能動回転軸線Ｐ_Lと左ハンド従動回転軸線Ｑ_Lとを水平に結ぶ線分Ｐ_LＱ_Lは上述の左中心軸線から離間して配置され、角度α_Rが０°より大きく１８０°より小さい場合には、右ハンド能動回転軸線Ｐ_Rと右ハンド従動回転軸線Ｑ_Rとを水平に結ぶ線分Ｐ_RＱ_Rは右中心軸線から離間して配置されている。
第一の左ハンド２６Ｌ₁の左中心軸線に近い側の縁と線分Ｐ_LＱ_Lとの間の距離Ｗ_Lと、左の第二の長さＮ_Lとの和（Ｗ_L＋Ｎ_L）は、左の第一の長さＭ_Lより短くされている。また、第一の右ハンド２６Ｒ₁の右中心軸線に近い側の縁と線分Ｐ_RＱ_Rとの間の距離Ｗ_Rと、右の第二の長さＮ_Rとの和（Ｗ_R＋Ｎ_R）は、右の第一の長さＭ_Rより短くされている。そのため、角度α_L、α_Rが９０°のときでも、第一の左ハンド２６Ｌ₁と第一の右ハンド２６Ｒ₁は互いに衝突しないようになっている。

第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁にそれぞれ載置された基板３０Ｌ₁、３０Ｒ₁が互いに衝突するときの角度α_R、α_Lは、各基板３０Ｌ₁、３０Ｒ₁の直径と、左の第一の長さＭ_L、第二の長さＮ_Lと、右の第一の長さＭ_R、第二の長さＮ_Rと、第一の左載置部２７Ｌ₁に載置された基板３０Ｌ₁の中心と線分Ｐ_LＱ_Lの延長線との間の間隔と、第一の右載置部２７Ｒ₁に載置された基板３０Ｒ₁の中心と線分Ｐ_RＱ_Rの延長線との間の間隔とから予め計算で求めることができる。

左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒが静止した状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第一の右駆動軸１２Ｒ₁が予め求められた角度の範囲内で回転して、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁がそれぞれ伸縮すると、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁はそれぞれ左中心軸線、右中心軸線から離間して配置され、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁に載置された基板３０Ｌ₁、３０Ｒ₁は互いに衝突しないように移動することができる。

そのため、第一の左ハンド２６Ｌ₁、第一の右ハンド２６Ｒ₁を従来より単純な形状に形成することができ、従来より各ハンド２６Ｌ₁、２６Ｒ₁の製作コストを低減できる。
さらに、第一の左ハンド２６Ｌ₁、第一の右ハンド２６Ｒ₁が従来よりも単純な形状に形成できるので、各ハンド２６Ｌ₁、２６Ｒ₁は従来よりも軽量になり、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁のたわみ量が従来よりも軽減される。

ここでは左の第一の長さＭ_Lと右の第一の長さＭ_Rは互いに同じ長さにされ、左の第二の長さＮ_Lと右の第二の長さＮ_Rも互いに同じ長さにされている。
従って、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁を伸縮させたときの第一の載置部２７Ｌ₁、第二の載置部２７Ｒ₁のそれぞれの位置を簡単に計算できるようになっている。

図３（ａ）、（ｂ）の符号５０は本発明の搬送装置１０を用いた真空処理装置の模式的な平面図である。
この真空処理装置５０は、搬送室５１と、搬送室５１にそれぞれ接続された１又は複数の処理室５２〜５９とを有している。

搬送装置１０は、搬送室５１の内部に配置されている。
図３（ａ）を参照し、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁をそれぞれ縮めた状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第一の右駆動軸１２Ｒ₁と左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁は主能動回転軸線Ｏを中心に一緒に回転し、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁を各処理室５２〜５９に向けることができる。

第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁をここでは符号５６、５７の処理室にそれぞれ向けた後、左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを静止させた状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第一の右駆動軸１２Ｒ₁を回転させて第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁をそれぞれ伸ばすと、図３（ｂ）を参照し、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁にそれぞれ載置された基板３０Ｌ₁、３０Ｒ₁を互いに衝突させずに、各処理室５６、５７内の同じ高さの位置に同時に搬入することができる。

また第一の左ハンド２６Ｌ₁、第一の右ハンド２６Ｒ₁は従来よりも軽く、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁のたわみ量は従来より小さいので、各処理室５６、５７に基板３０Ｌ₁、３０Ｒ₁を搬入する際に、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁に保持された基板３０Ｌ₁、３０Ｒ₁が各処理室５６、５７の開口に衝突する可能性が従来より低減されている。

第一の右駆動軸１２Ｒ₁と右回転部材１６Ｒを静止させた状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ₁と左回転部材１６Ｌを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の左載置部２７Ｌ₁は第一の右載置部２７Ｒ₁と独立に回転移動され、第一の左載置部２７Ｌ₁に載置された基板３０Ｌ₁を処理室５６内で位置合わせができるようになっている。また、第一の左駆動軸１２Ｌ₁と左回転部材１６Ｌを静止させた状態で、第一の右駆動軸１２Ｒ₁と右回転部材１６Ｒを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の右載置部２７Ｒ₁は第一の左載置部２７Ｌ₁と独立に回転移動され、第一の右載置部２７Ｒ₁に載置された基板３０Ｒ₁を処理室５７内で位置合わせができるようになっている。

左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを静止させた状態で第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第一の右駆動軸１２Ｒ₁をそれぞれ回転させて第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁を縮めると、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁を互いに衝突させずに、各処理室５６、５７内から搬送室５１に引き出すことができる（図３（ａ）参照）。

以上の各工程を組み合わせることにより、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁にそれぞれ載置された基板３０Ｌ₁、３０Ｒ₁を搬送室５１から各処理室５２〜５９へ搬入し、逆に各処理室５２〜５９から搬送室５１に搬出できる。

図７は本発明の第二例の搬送装置の平面図を示し、図８は同側面図を示している。
第二例の搬送装置１０’は上記実施例の搬送装置１０に加えて、第二の左腕部２０Ｌ₂、第二の右腕部２０Ｒ₂を有している。

第二の左腕部２０Ｌ₂、第二の右腕部２０Ｒ₂の構造は第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁の構造と同じであり、第二の左腕部２０Ｌ₂、第二の右腕部２０Ｒ₂は第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁の上方にそれぞれ配置されている。

ただし、ここでは第二の左腕部２０Ｌ₂は第一の右腕部２０Ｒ₁と右回転部材１６Ｒを共有し、第二の右腕部２０Ｒ₂は第一の左腕部２０Ｌ₁と左回転部材１６Ｌを共有している。すなわち、第二の左腕部２０Ｌ₂の第二の左主従動腕２２Ｌ₂は右主従動回転軸線Ｒ_Rを中心に回転可能に配置され、第二の右腕部２０Ｒ₂の第二の右主従動腕２２Ｒ₂は左主従動回転軸線Ｒ_Lを中心に回転可能に配置されている。

従って、第一の左駆動軸１２Ｌ₁と第二の右駆動軸１２Ｒ₂と左回転部材１６Ｌとが一緒に主回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の左腕部２０Ｌ₁と第二の右腕部２０Ｒ₂はそれぞれの形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転するように構成されている。また、第一の右駆動軸１２Ｒ₁と第二の左駆動軸１２Ｌ₂と右回転部材１６Ｒとが一緒に主回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の右腕部２０Ｒ₁と第二の左腕部２０Ｌ₂はそれぞれの形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転するように構成されている。

本発明は、第二の左腕部２０Ｌ₂は第一の左腕部２０Ｌ₁と左回転部材１６Ｌを共有し、第二の右腕部２０Ｒ₂は第一の右腕部２０Ｒ₁と右回転部材１６Ｒを共有する構造も含まれる。この場合、第二の左主従動腕２２Ｌ₂は右主従動回転軸線Ｒ_Rを中心に回転可能に配置され、第二の右主従動腕２２Ｒ₂は左主従動回転軸線Ｒ_Lを中心に回転可能に配置されていたが、第二の左主従動腕２２Ｌ₂は左主従動回転軸線Ｒ_Lを中心に回転可能に配置され、第二の右主従動腕２２Ｒ₂は右主従動回転軸線Ｒ_Rを中心に回転可能に配置される。

従って、第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第二の左駆動軸１２Ｌ₂と左回転部材１６Ｌとが一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の左腕部２０Ｌ₁と第二の左腕部２０Ｌ₂はそれぞれ形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転し、第一の右駆動軸１２Ｒ₁、第二の右駆動軸１２Ｒ₂と右回転部材１６Ｒが一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の右腕部２０Ｒ₁と第二の右腕部２０Ｒ ₂はそれぞれ形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転するように構成されている。

ここでは、図８を参照し、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁の第一の左副リンク３２Ｌ₁、第一の右副リンク３２Ｒ₁は、第一の左主リンク３１Ｌ₁、第一の右主リンク３１Ｒ₁の上方にそれぞれ配置され、第二の左腕部２０Ｌ₂、第二の右腕部２０Ｒ₂の第二の左副リンク３２Ｌ₂、第二の右副リンク３２Ｒ₂は、第二の左主リンク３１Ｌ₂、第二の右主リンク３１Ｒ₂の下方にそれぞれ配置されている。

そのため、第二の左載置部２７Ｌ₂、第二の右載置部２７Ｒ₂の高さと、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁の高さの差は、第一の左副リンク３２Ｌ₁、第一の右副リンク３２Ｒ₁が、第一の左主リンク３１Ｌ₁、第一の右主リンク３１Ｒ₁の下方にそれぞれ配置された場合や、第二の左腕部２０Ｌ₂、第二の右腕部２０Ｒ₂の第二の左副リンク３２Ｌ₂、第二の右副リンク３２Ｒ₂が、第二の左主リンク３１Ｌ₂、第二の右主リンク３１Ｒ₂の上方にそれぞれ配置された場合よりも小さく、第二の左載置部２７Ｌ₂、第二の右載置部２７Ｒ₂に載置された基板は、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁に載置された基板とほぼ同じ高さで搬送されるようになっている。

図９（ａ）、（ｂ）の符号５０’は本発明の第二例の搬送装置１０’を用いた真空処理装置の模式的な平面図である。
この真空処理装置５０’は、符号５０の真空処理装置と同様に、搬送室５１’と、搬送室５１’にそれぞれ接続された１又は複数の処理室５２’〜５９’とを有している。
搬送装置１０’は、搬送室５１’の内部に配置されている。

図９（ａ）を参照し、ここでは符号５６’、５７’の処理室内でそれぞれ基板が真空処理されているとする。各腕部２０Ｌ₁、２０Ｌ₂、２０Ｒ₁、２０Ｒ₂を縮めた状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ₁、第二の左駆動軸１２Ｌ₂と、第一の右駆動軸１２Ｒ₁、第二の右駆動軸１２Ｒ₂と、左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを一緒に同一角度同方向に回転させ、各腕部２０Ｌ₁、２０Ｌ₂、２０Ｒ₁、２０Ｒ₂を回転させて、第一の左載置部２７Ｌ₁、第二の左載置部２７Ｌ₂を一方の処理室５６’に向け、第一の右載置部２７Ｒ₁、第二の右載置部２７Ｒ₂を他方の処理室５７’に向ける。

図９（ｂ）を参照し、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁には一枚ずつ未処理の基板が載置され、第二の左載置部２７Ｌ₂、第二の右載置部２７Ｒ₂には基板は載置されていない場合には、第二の左腕部２０Ｌ₂、第二の右腕部２０Ｒ₂を処理室５６’、５７’内にそれぞれ伸ばして、処理済みの基板を第二の左載置部２７Ｌ₂、第二の右載置部２７Ｒ₂に載せ、第二の左腕部２０Ｌ₂、第二の右腕部２０_Rを縮めて、基板を搬送室５１’に搬出する。

次いで第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁をそれぞれ伸ばして、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁に載置された未処理の基板を同処理室５６’、５７’内に搬入し、第一の左腕部２０Ｌ₁、第一の右腕部２０Ｒ₁を縮めて、第一の左載置部２７Ｌ₁、第一の右載置部２７Ｒ₁を搬送室５１’に引き出す。次いで、同処理室５６’、５７’内に搬入された基板を真空処理させる。

第二例の搬送装置１０’では、処理済みの基板を処理室５６’、５７’から搬出した後すぐに、未処理の別の基板を同処理室５６’、５７’内に搬入できるので、第一例の搬送装置１０よりも基板処理のスループットを向上できる。

１０、１０’……搬送装置
２０Ｌ₁、２０Ｒ₁、２０Ｌ₂、２０Ｒ₂……腕部
２１Ｌ₁、２１Ｒ₁……主能動腕
２２Ｌ₁、２２Ｒ₁、２２Ｌ₂、２２Ｒ₂……主従動腕
２３Ｌ₁、２３Ｒ₁……副能動腕
２４Ｌ₁、２４Ｒ₁……副従動腕
２５Ｌ₁、２５Ｒ₁……規制部材
２６Ｌ₁、２６Ｒ₁……ハンド
２７Ｌ₁、２７Ｒ₁……載置部
Ｏ……主能動回転軸線
Ｍ_L、Ｍ_R……第一の長さ
Ｎ_L、Ｎ_R……第二の長さ
Ｒ_L、Ｒ_R……主従動回転軸線
Ｓ_L、Ｓ_R……副能動回転軸線
Ｔ_L、Ｔ_R……副従動回転軸線
Ｐ_L、Ｐ_R……ハンド能動回転軸線
Ｑ_L、Ｑ_R……ハンド従動回転軸線

Claims (3)

1. 二台の腕部で基板を搬送する搬送装置であって、
   一台の腕部は、
   水平な中心軸線を通る位置に離間して鉛直に配置された主能動回転軸線と、主従動回転軸線と、
   一端の所定位置に前記主能動回転軸線が通り、前記主能動回転軸線を中心に回転する主能動腕と、
   一端の所定位置に前記主従動回転軸線が通り、前記主従動回転軸線を中心に回転する主従動腕と、
   鉛直に配置され、前記主能動腕の他端の所定位置と、前記主従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、副能動回転軸線と副従動回転軸線と、
   前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とを中心として回動可能に構成された規制部材と、
   一端の所定位置に前記副能動回転軸線が通り、前記副能動回転軸線を中心に回転する副能動腕と、
   一端の所定位置に前記副従動回転軸線が通り、前記副従動回転軸線を中心に回転する副従動腕と、
   鉛直に配置され、前記副能動腕の他端の所定位置と、前記副従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、ハンド能動回転軸線とハンド従動回転軸線と、
   前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とを中心として回動可能に構成され、基板を載置する載置部が設けられたハンドと、
   を有し、
   前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線は、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とよりも前記中心軸線に近い位置に配置され、
   前記主能動回転軸線と前記副能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記主従動回転軸線と前記副従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第一の長さにされ、
   前記副能動回転軸線と前記ハンド能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記副従動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第二の長さにされ、
   前記主能動腕の回転に対して、前記副能動腕が逆方向に同角度回転するように構成され、
   二台の前記腕部の前記載置部は互いに同じ高さに配置され、
   二台の前記腕部の主能動回転軸線は同一であり、二台の前記腕部の前記載置部は、それぞれ前記載置部が設けられた前記腕部の前記中心軸線から離間して配置された前記搬送装置であって、
   前記第二の長さは、前記第一の長さよりも短くされた搬送装置。
2. 二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、互いに異なる位置に配置された請求項１記載の搬送装置。
3. 二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、前記主能動回転軸線を中心に回転できるように構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の搬送装置。

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