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JP4218241B2 - 光モジュール、および光送信もしくは光受信装置 - Google Patents

光モジュール、および光送信もしくは光受信装置 Download PDF

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JP4218241B2 JP2001396517A JP2001396517A JP4218241B2 JP 4218241 B2 JP4218241 B2 JP 4218241B2 JP 2001396517 A JP2001396517 A JP 2001396517A JP 2001396517 A JP2001396517 A JP 2001396517A JP 4218241 B2 JP4218241 B2 JP 4218241B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光素子と、熱電半導体とが設けられた光モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、光ファイバーを介在させて光信号を伝送する光通信の分野では、インターネットの急速な普及に代表される通信トラヒックの増大に応じて、大容量のデータ伝送を行うために、光信号の伝送速度の向上が望まれている。光信号の伝送速度を増大させるためには、光源として用いられるレーザダイオード(以下LD)の出力光を高速で強度変調させる必要がある。これに伴い、LDを収容し、その出射光を光ファイバーに送出する光モジュールに関して、一層の性能向上が求められている。
例えば、これまでに2.5Gb/sの高速なビットレートで光信号を伝送する光モジュールが実用化されており、最近では10Gb/s以上のビットレートで光信号を伝送する光モジュールの開発が進められている。
【0003】
一方、大容量の光通信を実現するためには、光信号を高速のビットレートで伝送できる光モジュールを使って、光ファイバーのネットワーク網を高密度に敷設する必要がある。また、この構築を押し進めるためには、低価格な光モジュールの安定した供給が望まれている。
【0004】
ここで、図9に、特開平11−121862号公報等に代表される、従来の光モジュールの構成図を示す。図9(a)は従来の光モジュールの上面図であって、これは上蓋を外した状態を示す。また、図9(b)は、この光モジュールのAA線断面の側面図である。
【0005】
図において、1は電気信号を光信号に変換するLD、2はLD1を載置したマウント、3はマウント2を上面に載置したキャリア、4はキャリア3を収納し、LD1を封止するためのパッケージ、5はキャリア3の上面に設けられたサーミスタ、6はLD1の特性を安定させるため、LD1自身からの発熱やパッケージ4の外部からの入熱により、LD1の温度が変化しないように加熱、冷却を行うサーモモジュール、7はキャリア3とパッケージ4の外部との間で、信号伝送を行う端子であり、1から7によって光モジュール8が構成される。
また、9はパッケージ4の外部に設けられた温度制御回路(以下、ATC回路;Automatic Tempreture Contorol Unit)を示す。
【0006】
従来の光モジュールはこのように構成され、LD1にバイアス電流Ibを与えるとともに、変調電流Imを供給して光信号を強度変調させる。この場合、温度が上昇するとLD1の光出力は減少、もしくは発振が停止し、温度が下降すると光出力は増大する。また、LD1は自己発熱によっても温度が上昇する。
【0007】
このため、LD1から安定な光出力を得るために、光モジュール8の外部に設けられたATC回路9は、端子7を介して光モジュール8との間で制御信号を入出力して、LD1の温度をサーミスタ5で検出し、サーモモジュール6の駆動電流Isを調整することよって、LD1の温度を一定に保つように制御している。
【0008】
このようなサーモモジュール6は、通常、N型半導体10aとP型半導体10bで対を成す熱電半導体を12〜40対程度平行に並べて構成され、熱電半導体の伝熱方向の両端は、配線パターンの設けられた誘電体基板11a、11bに接合されて、電気的に直列に接続される。この熱電半導体は、ペルチェ効果を利用して加熱、冷却を行うものであり、電流の方向を変えることで加熱と冷却とを切り換えることができるため、LD1の温度を一定に制御することに適している。
【0009】
しかしながら、従来の光モジュールでは、熱電半導体の伝熱方向が高さ方向となるように、パッケージ4内部の底面にサーモモジュール6を載せ、サーモモジュール6の上にキャリア3を載せていた。そして、この状態でパッケージ4の封止が行われるため、必然的に光モジュールの高さが高くなるという問題があった。また、これによって、パッケージが大きくなり、低価格化の妨げにもなっていた。
【0010】
また、熱電半導体の対数が多いことから、サーモモジュール6の発熱量が増大し、光モジュール全体の消費電力が大きくなる他、さらに、組立が煩雑となり手間を要するため、光モジュールの低価格化を妨げていた。
【0011】
加えて、光モジュールの外部に設けられるATC回路9は、サーモモジュール6の温度が安定するように、サーミスタ5の温度に基いてフィードバック制御を行う必要があり、その構成回路の価格が高価であった。
【0012】
これに対し、光モジュールの低コスト化を目的として、ミニ・デュアル・インライン(mini Dual In−Line:mini−DIL)型パッケージを用いた光モジュールが開発され、市販されている。この光モジュールでは、サーモモジュールを設けることなくLDを非冷却動作させることによって、光モジュールの高さを低くし、その低価格化を実現している。
【0013】
しかし、10Gb/s以上のより高速な伝送速度で安定した光信号を出力するためには、LDの動作温度をより低く抑える必要があり、例えばLDの動作温度を70℃程度以下としなければならない。しかし、この種の光モジュールでは、一般的に、光モジュールの環境温度が70℃程度でも動作できることが要求されている。この場合、環境温度が70℃となったときに、自己発熱によってLDの温度がそれ以上に上昇し、LDの動作温度を超えてしまう。このため、所望の環境温度の範囲内でLDを安定に動作させることができなくなる。
【0014】
したがって、例えば70℃程度の高温で動作させる場合に、LDの特性がでない、あるいは環境温度を例えば65℃以下にするなど、光モジュールの周囲の環境温度を低くしなければならないといった課題があった。
現在、LDの動作温度範囲を広げるために、各種技術開発が行われているが、その実現化は容易なことではなく、既存のLDを用いて、高温で高速動作する光モジュールを、低価格で供給することが望まれている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
従来の光モジュールは、12対以上の熱電半導体を平行に並べてサーモモジュールを構成し、サーモモジュールの上にキャリアを積み重ね、キャリア上にLDを載置することによって構成されていた。このため、必然的に光モジュールの高さが高くなってしまうという問題があった。
また、これによって、パッケージが高さ方向に大きくなるとともに、熱電半導体の対数が多いため、低価格化の妨げともなっていた。
【0016】
さらに、サーモモジュールを設けずに、所定の動作温度の範囲内で非冷却動作するLDを用いた場合、光モジュールの使用環境温度を、LDの動作温度と同程度に近づけて設定したときに、自己発熱によってLDの温度が動作温度よりも高くなり、LDを安定に動作させることができなくなる。
すなわち、光モジュールの使用環境温度を、LDの動作温度以下に設定しなければならないという問題があった。
【0017】
この発明は、係る課題を解決するために成されたものであり、光モジュールの高さを低くし、また、高温で高速動作することのできる光モジュールを、低価格に実現することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
この発明による光モジュールは、光素子と、P型半導体とN型半導体が並置されて成る一対の熱電半導体と、表面に上記光素子を載置した基板とを備え、上記熱電半導体の少なくとも吸熱側の端部が上記基板の表面に載置され、上記熱電半導体の吸熱側から放熱側へ向かう方向が上記基板と平行となるように配置されたものである。
【0019】
また、上記熱電半導体の吸熱側の端部が上記光素子により近く、上記熱電半導体の放熱側の端部が当該光素子からより遠くなるように配置されたものである。
【0020】
この発明による光モジュールは、光素子と、一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、表面に上記光素子が載置され、当該表面側に上記P型半導体における吸熱側の端部、および上記N型半導体における吸熱側の端部がそれぞれ接合された第1の基板と、上記第1の基板から離間して配置され、表面に上記P型半導体の放熱側の端部、および上記N型半導体の放熱側の端部がそれぞれ接合された第2の基板と、上記第1、第2の基板を載置したキャリアとを備えたものである。
【0021】
また、上記キャリアを収納するケースを備えたものである。
【0022】
この発明による光モジュールは、光素子と、一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、表面に上記光素子が載置され、当該表面側に上記P型半導体における吸熱側の端部、および上記N型半導体における吸熱側の端部がそれぞれ接合された第1の基板と、上記第1の基板から離間して配置され、表面に上記P型半導体の放熱側の端部、および上記N型半導体の放熱側の端部がそれぞれ接合された第2の基板と、上記第1、第2の基板を載置したケースとを備えたものである。
【0023】
また、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部にともに接合された第1の導体と、上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の導体と、上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の導体とを備えたものである。
【0024】
また、上記P型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部に、それぞれ接合された第1、第2の導体と、上記N型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部に、それぞれ接合された第3、第4の導体と、上記第1、第3の導体を接続する第5の導体を備えたものである。
【0025】
上記第1の基板の表面側に設けられ、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が、それぞれ接合された第1の電極と、上記第2の基板の表面側に設けられ、上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の電極と、上記第2の基板の表面側に設けられ、上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の電極とを備えたものである。
【0026】
この発明による光モジュールは、光素子と、一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、表面に光素子が載置され、当該表面側に上記P型半導体における 吸熱側の端部、および上記N型半導体における吸熱側の端部がそれぞれ接合された基板と、上記基板から載置面が離間して配置され、表面に上記P型半導体の放熱側の端部、および上記N型半導体の放熱側の端部がそれぞれ接合されたフィードスルーを有して、上記基板を収納するケースとを備えたものである。
【0027】
また、上記基板の載置されたキャリアと、上記キャリアを収納するケースとを備えたものである。
【0028】
また、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部にともに接合された第1の導体と、上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の導体と、上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の導体とを備えたものである。
【0029】
また、上記基板の表面側に設けられ、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が、それぞれ接合された第1の電極と、上記フィードスルーの載置面に設けられ、上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の電極と、上記フィードスルーの載置面に設けられ、上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の電極とを備えたものである。
【0030】
この発明による光モジュールは、光素子と、一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と上記光素子のより近くに配置された第1の電極、および当該光素子からより遠くに配置された第2、第3の電極のいずれもが設けられた基板とを備え、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が、上記第1の電極にそれぞれ接合され、上記P型半導体における放熱側の端部が上記第2の電極に接合され、上記N型半導体における放熱側の端部が上記第3の電極に接合されたものである。
【0031】
この発明による光モジュールは、光素子と、一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、表面に上記光素子が載置された基板と、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部にともに接合され、かつ上記基板の表面側に接合された第1の導体と、上記P型半導体における放熱側の端部に接合され、かつ上記基板の表面側に接合された第2の導体と、上記N型半導体における放熱側の端部に接合され、かつ上記基板の表面側に接合された第3の導体とを備え、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が上記光素子により近く、上記P型半導体およびN型半導体の放熱側の端部が当該光素子からより遠くなるように配置されたものである。
【0032】
また、上記第2、第3の電極にそれぞれ接続された第4、第5の電極の設けられたフィードスルーを有し、上記基板を収納するケースを備えたものである。
【0033】
また、上記第2、第3の電極と、上記第4、第5の電極は、それぞれ導体ワイヤで接続されたものである。
【0034】
また、上記第2、第3の電極と、上記第4、第5の電極は、それぞれ導体板で接続されたものである。
【0035】
また、上記導体板は、Cuを材質に含むものである。
【0036】
また、上記導体は、上記P型半導体およびN型半導体の端面と上記基板に直接的もしくは間接的に接合された、半田もしくは導電性接着剤としたものである。
【0037】
また、記第1乃至第3の導体は、上記P型半導体およびN型半導体よりも熱抵抗の小さい金属導体から成るものである。
【0038】
この発明による光モジュールは、光素子と、一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、上記P型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部がそれぞれ接合され、かつ上記N型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部がそれぞれ接合されるとともに、上記P型半導体の吸熱側の端部放熱側の端部との間で上記P型半導体との非接合部を有し、かつ上記N型半導体の吸熱側の端部放熱側の端部との間で上記N型半導体との非接合部を有した誘電体基板と、上記光素子と上記誘電体基板を載置する基板とを備え、上記熱電半導体の吸熱側の端部が上記光素子により近く、上記熱電半導体の放熱側の端部が当該光素子からより遠くなるように配置されたものである。
【0039】
また、上記熱電半導体の放熱面である一端と吸熱面である他端との間の長さを、当該一端と他端におけるそれぞれの端面の一辺の長さの5倍以上としたものである。
【0040】
また、上記熱電半導体が、複数対設けられたものである。
【0041】
また、上記熱電半導体は、概略一定の電流が供給されたものである。
【0042】
また、上記キャリア上もしくは上記基板上に、光検出器が設けられたものである。
【0043】
また、上記ケースの有する側壁から上記基板に高周波信号を伝送する伝送基板が設けられたものである。
【0044】
また、上記光素子をレーザダイオードとしたものである。
【0045】
また、上記熱電半導体の載置面に、上記光素子のドライバ回路を備えたものである。
【0046】
さらにまた、この発明による光送信もしくは光受信装置は、上記記載の光モジュールと、上記熱電半導体を、定電流で駆動する電源回路とを備えたものである。
【0047】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1による光モジュールを、図に基いて説明する。図1(a)はこの実施の形態による光モジュールのキャリア上部を示す上面図、図1(b)は図1(a)の右から見た側面図、図1(c)は図1(a)の下から見た側面図、図1(d)は図1(a)のキャリア上部に載置された、第1の基板上面の導体パターンの例を示す図、図1(e)はキャリア上部に載置された、第2の基板上面の導体パターンの例を示す図、図1(f)は熱電半導体と第1、第2の基板に設けられたパターン電極との接合面を示す上面図であって、熱電半導体の下面を実線で示し、パターン電極を一点鎖線で示している。
【0048】
図において、11は前面から光信号P1を出射するとともに、背面から光信号P2を出射する光素子であって、例えばレーザ発振によりレーザ光を出射するLDが用いられる。12は光素子11を載置し、熱伝導率の大きい窒化アルミ(ALN)や炭化ケイ素(SiC)等の誘電体を素材とした第1の基板、13は第1の基板12の上面に設けられた導体線路、14は第1の基板12の上面に設けられ、光素子11の下面(アノード側)が接合された地導体、15は第1の基板12の上面に設けられたパターン電極、16は第1の基板12の下面に設けられた地導体であって、地導体14と地導体16は第1の基板12に設けられたスルーホール12bによって接続されている。これによって、導体線路13と地導体16はマイクロストリップ線路等を構成している。
また、導体線路13とパターン電極15の間に地導体14が配置され、導体線路13、地導体14、パターン電極15が離間して配置されることによって、それぞれの間が絶縁されている。なお、光素子11への給電形態によっては、地導体14とパターン電極15の間に導体線路13が配置されても良い。
【0049】
17は上面に第1の基板12を載置するキャリアであって、鉄−ニッケル−コバルト合金(商品名 KOVAR)や銅タングステン(CuW)等の金属の導電体、或いはアルミナ(Al)セラミック基板等の誘電体基板から成る。
ここで、地導体16がキャリア17の表面と電気的に接続されることにより、キャリア17が導電体である場合には、キャリア17全体が地導体になり、キャリア17が誘電体である場合には、キャリア表面に設けた導体パターンが地導体になっている。
【0050】
18はキャリア17上面に載置され、熱伝導率の大きい窒化アルミ(ALN)や炭化ケイ素(SiC)等の誘電体を素材とした第2の基板、19は第2の基板18の上面に設けられたパターン電極、20は第2の基板18の上面に設けられたパターン電極である。
また、図1(f)に示すように、21は一端部における側面S1がパターン電極15に接合され、他端部における側面S2がパターン電極19に接合されたP型半導体であって、伝熱方向に長い角柱形状を成している。22は一端部における側面S3がパターン電極15に接合され、他端部における側面S4がパターン電極20に接合されたN型半導体であって、伝熱方向に長い角柱形状を成している。23は一対のP型半導体21とN型半導体22から成る熱電半導体である。P型半導体21とN型半導体22が対向する方向に、パターン電極19とパターン電極20が離間して配置されることにより、それぞれが絶縁されている。
なお、熱電半導体の長さを、例えば断面の5倍以上の長さとすることによって、放熱面から吸熱面への熱の回り込みを少なくすることができ、また、熱電半導体自体の熱抵抗も大きくできる。
【0051】
24はP型半導体21の一端面とN型半導体22の一端面にともに接合され、かつパターン電極15に接合されて、柱軸方向がP型半導体21とN型半導体22の対向方向となるように三角柱様に形成された半田であって、鉛錫(Pb−Sn)半田や導電性接着剤等が用いられる。25はP型半導体21の他端面とパターン電極19にそれぞれ接合されて、柱軸方向がP型半導体21とN型半導体22の対向方向となるように三角柱様に形成された半田であって、鉛錫(Pb−Sn)半田や導電性接着剤等が用いられる。26はN型半導体22の他端面とパターン電極20にそれぞれ接合されて、柱軸方向がP型半導体21とN型半導体22の対向方向となるように三角柱様に形成された半田であって、鉛錫(Pb−Sn)半田等や導電性接着剤が用いられる。
【0052】
27はキャリア17上面に設けられたバイアス回路、28は光信号P2を受光し、受光量に応じてモニタ電流Idを出力するフォトダイオード(以下PD)、29は、側面に設けられた第1のパターン電極にPD28のカソード(裏面)が接合され、同側面から上面にかけて設けられた第2のパターン電極に、PD28のアノード(受光面)が導体ワイヤを介して接続されたPDキャリアであって、底面がキャリア17上に接合されている。PD28はPDキャリア29とともに光検出器を構成する。
【0053】
次に、図2はキャリア17が収納された光モジュールの構成を示す図であり、図2(a)は光モジュールのカバーを外した状態の上面図、図2(b)は光モジュールのレンズホルダの接合面から光素子11方向を見た側断面図を、紙面に向い右周りに90°回転させた図、図2(c)は光モジュールのBB線断面の側面図である。
【0054】
30は内側の底面に、第1、第2の基板12、18と、PDキャリア29が載置されたキャリア17を半田等で接合し、それらを収納したケースであって、このケースは、鉄−ニッケル−コバルト合金(商品名 KOVAR)に代表されるYAG溶接が可能で熱伝導性の高い金属や、アルミナ(Al)セラミックに代表される種々の誘電体セラミック等からから成る。ケースが誘電体セラミックから成るときは、ケース上面には、カバーとの溶接のために金属製のシールリングが接合され、ケースの表面には部分的に金がメタライズされている。
【0055】
31は光素子11の出力光を集光し、光ファイバに出力するレンズ、32はレンズ31を保持するレンズホルダであって、キャリア17の前側面(光素子11側の側面)にYAG溶接で接合される。レンズホルダ32は、キャリア17とのYAG溶接に適切な金属から成る。33は光素子11から出力された光信号を外部に伝送する光ファイバ、34は光ファイバ33を保持する光ファイバホルダであって、レンズ31の通過光を集光する図示しない第2のレンズが保持されている。
【0056】
35aは光素子11から光ファイバ33に向かってケース30の右側で、ケース30の側壁に設けられた凹溝に嵌合し、接合されて成る凸状のフィードスルーであって、アルミナ(Al)に代表される種々の誘電体セラミックから成る。35bは光素子11から光ファイバ33に向かってケース30の左側で、ケース30の側壁に設けられた凹溝に嵌合し、接合されて成る凸状のフィードスルー、36aはフィードスルー35aにおけるケース30から突出した上面に、複数の線路が離間して配設され、それぞれの線路がケースの外側から内側に向かって走向するように形成された導体線路、36bはフィードスルー35aにおけるケース30から突出した上面に、複数の線路が離間して配設され、それぞれの線路がケースの外側から内側に向かって走向するように形成された導体線路、37aはフィードスルー35aの下面に設けられた地導体、38はケース30のフィードスルー35a側で側壁から内側に突出して設けられ、平坦な上面を有した突出部であって、ケース30がセラミック製の場合は上面に接地導体が設けられている。
【0057】
39はキャリア17のフィードスルー35a側の側縁部で、キャリア17の上面に、一端部の下面が接合された接続基板であって、上面にマイクロストリップ線路等を構成する導体線路39aが設けられ、下面に地導体39bが設けられている。また、接続基板39は他端部の下面が突出部38の上面に接合されて接地が成される。
【0058】
40aは接続基板39の他端部で導体線路39aと、フィードスルー35a上の導体線路36aとを接続する接続導体であって、例えば金ワイヤや金リボン等が用いられる。40bは接続基板39の一端部で導体線路39aと、第1の基板12上の導体線路13とを接続する接続導体であって、例えば金ワイヤや金リボン等が用いられる。41は第2の基板18上に設けられた導体線路19、および導体線路20と、フィードスルー35b上の導体線路36bとを接続する接続導体であって、例えば金ワイヤや金リボン等が用いられる。42aはフィードスルー35aを介して導体線路36aに接続されたリード端子、42bはフィードスルー35bやワイヤ17を介してPDキャリア29と接続されるリード端子、42cはフィードスルー35bを介して電源回路51に接続されたリード端子である。
【0059】
43はケース30の上面にシーム溶接等で接合され、これによって、ケース30の開口を塞いで封止するためのカバーであり、ケース30とカバー43とで光モジュールのパッケージ44が構成される。
ケース30内部の底面に、第1、第2の基板12、18や熱電半導体23等の載置されたキャリア17が収納されて、カバー43を接合することによって、光モジュール45が構成される。パッケージ44の内部には、乾燥窒素46が封入されている。
【0060】
50はパッケージ44の外部に設けられたAPC回路(Automatic Power Control Unit)であり、APC回路50はリード端子42bと電気的に接続される。また、51はパッケージ44の外部に設けられた電源回路であり、電源回路51は、熱電半導体23に接続されたリード端子42cと電気的に接続される。
光モジュール45、APC回路50、および電源回路51が回路基板に実装され、図示しない筐体内に収納されて、光送信器が構成される。
【0061】
この実施の形態の光モジュールは以上のように構成され、以下に動作について説明する。まず、光素子の動作から説明する。
外部の図示しないドライバから変調電流Im(パルス信号)が出力され、リード端子42aに給電される。リード端子42aから導体線路36aに供給された変調電流Imは、接続導体40a、導体線路39a、接続導体40bを介して第1の基板12上の導体線路13に伝送され、さらに接続導体100を介して光素子11の信号端子(カソード)に伝送される。ここで伝送される変調電流Imは、例えば2.5GHzや10GHz等の高速のRf信号を含んだものである。また、外部のAPC回路50から、リード端子42bおよび導体線路36bを介してバイアス電流Ibが供給され、バイアス電流Ibはバイアス回路27を介して光素子11に給電される。
【0062】
光素子11は、バイアス電流Ibおよび変調電流Imが供給されてレーザ発振し、変調電流Imに基いて強度変調された光信号を前面および背面に出射する。光素子11の前方から出射された光信号P1はレンズ32によって集光され、光ファイバ33の一端面からそのコアに入射し、光ファイバ13内を光信号P1が伝播する。
【0063】
一方、光素子11の後方から出射された光信号P2はPD28で受光され、受光量に応じたモニタ電流Idが、PDキャリア29の信号用パターン電極を介して導体線路35bに出力され、リード端子42bからAPC回路50に出力される。このモニタ電流Idに基いて、APC回路50が、光素子11の光出力を一定の強度とするように、光素子11に印加するバイアス電流Ibを調整する。
【0064】
次に、この実施の形態の熱電半導体23を用いた光素子11の放熱動作について、図3を用いて説明する。
図3(a)はLD素子11から発生した熱の放熱経路を示した図であり、図において、外部の電源回路51がリード端子42cに接続され、リード端子42cの正電極(+)側が、図2の導体線路35bおよび接続導体41を介してパターン電極20に接続され、リード端子42cの負電極(−)側が、図2の導体線路35bおよび接続導体41を介してパターン電極19に接続されている。
【0065】
ここで、リード端子42cに電源電圧Epが印加されると、正電極(+)から一定の駆動電流Ipが入力されてパターン電極20に供給される。この駆動電流Ipは、パターン電極20からN型半導体22に供給され、さらに、パターン電極15を介して直列接続されたP型半導体21に供給されて、パターン電極19からリード端子42cの負電極(−)に流れる。これによって、P型半導体21とN型半導体22が対となった熱電半導体23は、パターン電極15側から吸熱した熱をペルチェ効果によって移送し、パターン電極18、19側に放熱するヒートポンプとして動作する。
【0066】
LD素子11から発熱された発熱量は、第1の基板12下面から熱電半導体に伝わるQ1と、キャリア17に放熱される熱Q0に分かれ、その内の熱Q1は、LD素子11の下面が接合した地導体14から第1の基板12に伝導され、第1の基板12の表面方向に熱が伝わって、パターン電極15に接合された半田24に伝導する。半田24に伝導した熱は半田24内を伝わり、P型半導体21およびN型半導体22との接合面から熱電半導体23に入熱する。
【0067】
熱電半導体23は、半田24の接合面から入熱した熱Q2を、そのヒートポンプ作用によって半田25および半田26との接合面に移送し、半田25および半田26に放熱する。そして、半田25および半田26内を伝わった熱は、パターン電極19、20を介して第2の基板18に放熱され、第2の基板18内を伝導されて、キャリア17に放熱される。キャリア17は、この第2の基板18から放熱された熱の一部の熱Q3を、第2の基板18から第1の基板12に戻すように伝導する。
また、第2の基板18から放熱された熱の他部分の熱は、キャリア17の他の部分へ伝導されて、ケース30の底面、あるいはパッケージの内部空気46に放熱される。
【0068】
これによって、第1の基板12上面の温度T1は第2の基板18の上面の温度T2よりも低くなる。
【0069】
この具体的な計算例として、熱電半導体23に幅wp=0.6mm、厚さdp=0.6mm、長さlp=1.0mmの大きさの四角柱形のものを用い、キャリア17に幅wc=1.0mm、長さlc=3.0mm、厚さtc=0.4mmの大きさのKOVAR(熱伝導率λ=21.5W/m・K)を用い、熱素子11に10Gb/sの高データレートで消光が可能な発熱量Q1=0.05WのLDを用いた場合の放熱効果を示す概算値を求めた。
【0070】
その結果、熱電半導体23に対して、電流Ip=1.1A、電圧Ep=0.06Vの電力を供給したときに、第2基板の温度T2と第1基板の温度T1との温度差をΔT=5℃にできることが判明した。
すなわち、熱電半導体を用いて第1の基板12から第2の基板18に放熱することより、一対の熱電半導体を用いて光素子11の自己発熱分の発熱量を放熱することが可能となる。また、これによって、光モジュールの使用環境温度が70℃のときに、光素子の動作温度として、光素子の接合面の温度を65℃程度に抑えることできる。
【0071】
ただし、ここの計算では、第2の基板から第1の基板に戻る熱Q3を、
Q3=ΔT×λ×tc×wc/lp
=5(℃)×21.5(W/m・K)/1000
×0.4(mm)×1.0(mm)/1.0(mm)
=0.04(W)
として求めた。さらに、光モジュール内の他の電子部品からの発熱が無視し得るものと仮定した。
【0072】
以上により、光素子11の載置された基板上面に熱電半導体を載置し、光素子11からの熱を、光素子11から遠ざけるように放熱することによって、光モジュールの使用できる動作温度範囲を、光素子の動作温度に近い温度に設定することができる。また、熱電半導体の数を増やせば、キャリア17の温度と光素子11の温度との温度差をさらに下げることもができる。
【0073】
なお、熱電半導体を一定の駆動電流Ipで駆動することによって、冷却能力のばらつきも小さくでき、ATC回路による熱電半導体の電流制御を行わなくても、安定した冷却能力を得ることができる。
【0074】
また、従来のように、複数対から成る熱電半導体の上にキャリアを載せて、光素子の温度を一定に保つように温度制御する場合と異なり、少なくとも一対の熱電半導体を、その伝熱方向が光素子を載せる第1の基板に平行となるように配置することによって、光モジュールの高さを低くできるともに、パッケージが小さくなるので部品コストを下げることができる。
【0075】
また、熱電半導体の対数が少なく、かつ熱電半導体の長手方向を横置きとして実装できるので、熱電半導体の実装が容易である。さらに、実装による製造コストや部品コストを下げることができる。
【0076】
また、光素子の温度を一定に保つことなく、光モジュールの環境温度よりも光素子の温度が低くなるように、光素子から発生する熱を放熱することにより、光モジュールをATC回路に接続する必要がないため、さらにコストの低減を図れる。
【0077】
なお、以上の説明では、第1の基板12をキャリア17の上面に直接配置した例について説明したが、他の態様として、第1の基板12とキャリア17の間に石英(SiO)のような熱伝導率の低い基板を挟んだ配置にしても良い。こうすることによって、第1の基板12とキャリア17との間の熱抵抗を大きくでき、第2の基板18へ放熱した熱が第1の基板12へ再び戻ることを防ぐことができる。このため、光素子11の放熱効果をより高めることができる。
【0078】
また、ドライバを外部に配置せずに、ケース30内部の底面に第2のキャリアを載せて、第2のキャリア上にドライバを載置しても良い。この場合は、キャリア11上に変調電流Imの伝送線路を設けて、内部のドライバから送出された変調電流Imを、第1の基板12に伝送する。また、内部のドライバへは、ケース外部からフィードスルー35aを介して、データ信号とクロック信号から成るRF信号を入力すれば良い。この場合、ドライバの発熱がLD素子の温度を上昇させないように、第2のキャリアを第1のキャリアと離間した基板とし、また、ドライバの発熱によって光モジュール内の内部空気の温度が高くなる場合には、熱電半導体を2対設けるなど、冷却能力を高めてもよい。勿論、ドライバを第1の基板12上に載置し、光素子11と一緒に冷却しても良いことは言うまでもない。
【0079】
さらに、半田24、25、26の代わりに導電性接着剤を用いて、導電性接着剤が熱電半導体とパターン電極の両方に接合するように、三角柱様にフィレットを形成しても良い。
【0080】
実施の形態2.
この発明の実施の形態2による光モジュールの、熱電半導体の配置例を図4に示す。図4(a)は実施の形態2による熱電半導体の周辺の上面図であり、図4(b)はレンズホルダの接合面から光素子11を見た側面図である。
図において、図1、2と同一符号のものは同一相当のものを示す。また、60は光素子11から光ファイバ33を見てケース32の左側の側壁に設けられ、外部の電源回路51に電気的に接続されたフィードスルー、61はフィードスルー上面に設けられた導体線路、62はフィードスルー上面に設けられた鉤型の導体線路である。
【0081】
フィードスルー60はケースの側壁から水平方向内側に突出した平坦な面に、導体線路61、62が設けられている。この導体線路61、62はケースの側壁から水平方向外側にも平坦な面が突出し、外部の電源回路51との接続端子になっている。この導体線路61は、半田25を介してP型半導体21に接合され、導体線路62は半田26を介してN型半導体22に接合される。これによって、電源回路51から供給された熱電半導体23の駆動電流Ipは、導体線路62を介してパッケージ内に入力され、半田26を介してN型半導体22に流れるとともに、N型半導体22に直列に接合されたP型半導体21に流れて、半田25を介して導体線路61に至る。また、熱電半導体23のP型半導体21およびN型半導体22は、第1の基板12から吸熱した熱をフィードスルー60へ放熱し、この熱がフィードスルー60からケース32の側壁へ放熱される。なお、導体線路62はパッケージの内側で線路が狭い間隔で配置され、パッケージの外側では間隔が広がって配置されている。
【0082】
このように構成することによって、第2の基板を設けることなく、パッケージの側壁に突出して設けられたフィードスルーの上面の導体線路60、61を通じて、熱電半導体22の移送した熱を、パッケージの側壁に設けられたフィードスルーの上面に直接放熱することができる。
また、半田25および半田26から第1の基板12までの熱抵抗を大きくできるため、第1の基板12に戻る熱を小さくできる。
また、熱電半導体が、外部の電源回路と接続されるフィードスルー上面の電極と直接接続されることにより、熱電半導体のパターン電極との接続において導体ワイヤ等との接続が不要となる。
【0083】
実施の形態3.
この発明の実施の形態3による光モジュールの、熱電半導体の配置例を図5に示す。図5(a)は実施の形態2による熱電半導体の周辺の上面図であり、図5(b)はレンズホルダの接合面から光素子11を見た側面図である。
【0084】
図において、図1、2と同一符号のものは同一相当のものを示す。70は光素子11を載置し、熱伝導率の大きい窒化アルミ(ALN)や炭化ケイ素(SiC)等の誘電体を素材とした第1の基板であり、上面に導体線路13、地導体14およびパターン電極15が設けられている。パターン電極15には、熱電半導体23を成すP型半導体21およびN型半導体22の一側端が接合されており、図1と同様に、導体線路13とパターン電極15の間に地導体14が配置され、導体線路13、パターン電極15、地導体14が離間して配置されることによって、それぞれの間が絶縁されている。また、71および72は、第1の基板70の上面に設けられ、P型半導体21とN型半導体22の他の側端がそれぞれ接合されたパターン電極である。パターン電極15とパターン電極71および72は互いに絶縁されて離間しており、パターン電極15とパターン電極71および72との間は、P型半導体21およびN型半導体22と第1の基板70とが接触していない非接合部となっている。また、パターン電極15は、パターン電極71および72よりも、半導体素子11に近い位置で第1の基板70と接合されている。
【0085】
三角柱状に盛られた半田24が、P型半導体21およびN型半導体22の一端に接合されるとともに、パターン電極15に接合されている。また、三角柱状に盛られた半田25および26が、それぞれP型半導体21およびN型半導体22の他端に接合されるとともに、それぞれパターン電極72および71に接合されている。
73はフィードスルー35bの上面に設けられた導体線路36bと、パターン電極71および72とを接続する導体ワイヤである。
【0086】
以上の構成により、電源回路51から供給された熱電半導体23の駆動電流Ipは、導体線路36bを介してパッケージ内に入力され、導体ワイヤ73および半田26を介してパターン電極71に入力され、N型半導体22に流れる。また、この駆動電流Ipは、N型半導体22に直列に接合されたP型半導体21に流れて、半田25を介してパターン電極72に至り、導体ワイヤ73および導体線路36bを介して電源回路51に戻る。これによって、熱電半導体23のP型半導体21およびN型半導体22は、第1の基板12のパターン電極15側から吸熱した熱を、パターン電極71および72側へ放熱する。
【0087】
この実施の形態では、以上のような構成によって、第2の基板を設けることなく、熱電半導体22が第1の基板上の光素子の周辺から吸熱した熱を、同じ第1の基板上の光素子から離れた位置へ放熱することができる。すなわち、第1の基板上の光素子の周辺の温度を、同基板上の他の場所の温度よりも下げることができる。
【0088】
なお、第1の基板70上の、パターン電極15とパターン電極71および72との間の、第1の基板70の上面側に凹状の溝を設ける、すなわち、第1の基板70上の、熱電半導体実装面またはその反対面に、熱電半導体の伝熱方向と直交する溝を設けることによって、第1の基板70内を伝導してパターン電極71および72の下部からパターン電極15の下部へ戻る熱の量を、減らすことができる。
【0089】
実施の形態4.
この発明の実施の形態4による光モジュールの、熱電半導体の配置例を図6に示す。図6(a)は実施の形態2による熱電半導体の周辺の上面図であり、図4(b)はレンズホルダの接合面から光素子11を見た側面図である。
【0090】
図において、図1、2、5と同一符号のものは同一相当のものを示す。また、74はフィードスルー35bの上面に設けられた導体線路36bと、パターン電極71および72とを接続する熱抵抗の低い、例えば銅等の導体板から成るリードであり、75、76はフィードスルー35bの上面に設けられた導体線路である。
【0091】
この実施の形態では、熱抵抗の低いリードの一端を熱電半導体23の放熱側の電極に接続するとともに、このリードの他端をパッケージ側壁のフィードスルーに接続することによって、熱電半導体の放熱効率を向上させることができる。
【0092】
実施の形態5.
この発明の実施の形態5は、熱電半導体とパターン電極との他の接合形態を示すものであり、図7(a)はこの実施の形態の熱電半導体とパターン電極との接合例を示す側面図、図7(b)は熱電半導体の両端部側面をメタライズした例を示す側面図である。
【0093】
図7(a)において、80および81は、熱電半導体23を成すP型半導体21もしくはN型半導体22の各両端に対し、それぞれ半田で接合された熱良導性のブロックであり、例えば実施の形態1のP型半導体21に適用する場合は、ブロック80はパターン電極15に半田によって接合され、ブロック81はパターン電極19に半田によって接合される。なお、他の実施の形態に適用されるときも、同様にして対応するパターン電極にそれぞれ半田で接合される。
【0094】
このブロック80および81は、熱伝導率が高くかつ伝熱方向の断面形状が熱電半導体の断面形状と略同一の形状のものを用いることにより、放熱効果を高めたものである。熱電半導体は、ヒートポンプ作用による放熱能力を高めるために熱伝導率を低くすることが一般的であり、伝熱方向に直交する方向に熱が伝わりにくくなっている。このため、熱電半導体23の端面にブロック80および81を接合することにより、熱電半導体23の伝熱方向に伝導される熱を、熱電半導体23の側面方向(第1の基板12、第2の基板18の厚み方向)に広げることができる。
したがって、熱電半導体23の伝熱方向に対して垂直な側面に接合されたパターン電極と熱電半導体23との間で、効率的に熱の授受を行うことができる。
【0095】
なお、このブロックはパターン電極との接合のし易さから、銅等の金属導体で構成することが、製造コストを下げる上で望ましい。しかし、熱電半導体の両端部の周囲をメタライズすることによって、パターン電極との電気的な接続を可能とすれば、誘電体の素材のものを用いても良い。
例えば、図7(b)に示すように、熱電半導体23の両端部の側面周囲にメタライズ82および83を施し、熱良導性の誘電体80b、81bを、それぞれ熱電半導体23の両端面に接合しても良い。この場合、誘電体80b、81bの下面および側面の下側(パターン導体との接合面側)を図中の82b、83bのようにメタライズし、下面をパターン導体15や19等と、半田や熱良導性の接着剤で接合することができる。この場合、誘電体80b、81bの側面における下部から熱電半導体23側に掛けて、逆L字形状にメタライズしても良い。
【0096】
以上より、ブロック80、81を用いて熱電半導体23をパターン電極に接合することにより、半田を三角柱状に盛って熱電半導体23をパターン電極に接合する場合よりも、より熱電半導体23の放熱効果を高めることができる。
【0097】
また、熱電半導体23にメタライズ82および83を施すことによって、熱電半導体23をパターン電極12および18に半田付けする際に、半田による表面実装が容易になり、また表面実装後の半田接合部の信頼性が高くなる。
【0098】
実施形態6.
図8はこの発明の実施の形態6による光モジュールの、熱電半導体の配置例を示す図であり、図8(a)は実施の形態6による熱電半導体の周辺の上面図であり、図8(b)はCC断面線の側面図である。
【0099】
図において、図1、2と同一符号のものは同一相当のものを示す。90は光素子11を載置し、熱伝導率の大きい窒化アルミ(ALN)や炭化ケイ素(SiC)等の誘電体を素材とした第1の基板であり、上面に導体線路13、地導体14が設けられている。91は、光素子11の近辺で第1の基板90の上面に載置された第2の基板であり、熱伝導率の大きい窒化アルミ(ALN)や炭化ケイ素(SiC)等の誘電体を素材としている。92a、92bは第2の基板上面に設けられたパターン電極、93a、93b、93cは第2の基板の上面に設けられたパターン電極であり、パターン電極92とパターン電極93は離間して配置されており、パターン電極92が光素子11に近く、パターン電極93が光素子から遠くなるように配置される。また、パターン電極93aとパターン電極93cの間にパターン電極93bが挟まれて配置され、かつそれぞれが離間して絶縁されている。
【0100】
94はP型半導体とN型半導体とが対になった熱電半導体を、複数(図の例では4つ)配置して成る熱電半導体であり、P型半導体とN型半導体が交互に配置され、直列に接続されるように、それぞれパターン電極92、93と接合されている。すなわち、N型半導体94aの一端の側面がパターン電極92aに接合され、他端の側面がパターン電極93aに接合され、P型半導体94bの一端の側面がパターン電極92aに接合され、他端の側面がパターン電極93bに接合され、N型半導体94cの一端の側面がパターン電極92bに接合され、他端の側面がパターン電極93bに接合され、P型半導体94dの一端の側面がパターン電極92bに接合され、他端の側面がパターン電極93cに接合される。
【0101】
また、三角柱状に盛られた半田95aが、N型半導体94aおよびP型半導体94bの一端にともに接合されるとともに、パターン電極92aに接合されている。また、三角柱状に盛られた半田96a、96b、96c、96dが、それぞれN型半導体94a、P型半導体94b、N型半導体94c、P型半導体94dに接合されるとともに、それぞれパターン電極93a、93b、93bおよび93cに接合されている。97はフィードスルー35bの上面に設けられた導体線路36bと、パターン電極93aおよび93cとを接続する導体ワイヤである。
【0102】
以上の構成により、電源回路51から供給された熱電半導体94の駆動電流Ipは、導体線路36bを介してパッケージ内に入力され、導体ワイヤ97および半田96aを介してパターン電極93aに入力され、N型半導体94aに流れる。また、この駆動電流Ipは、N型半導体94aに直列に接合されたP型半導体94bに流れ、半田96b、パターン電極93b、半田96cを介してN型半導体94cに流れる。さらに、パターン電極92bまたは半田95b、P型半導体94d、半田96dを介してパターン電極93cに至り、導体ワイヤ97および導体線路36bを介して電源回路51に戻る。これによって、熱電半導体94のP型半導体94aおよびN型半導体94bは、第2の基板91のパターン電極92側から吸熱した熱を、パターン電極93側へ放熱する。
【0103】
この実施の形態では、以上のような構成によって、熱電半導体が第1の基板上の光素子の熱を第2の基板を介して吸熱し、第2の基板上の光素子から離れた位置へ放熱することができる。すなわち、第1の基板上の光素子の周辺の温度を、同基板上の他の場所の温度よりも下げることができる。
【0104】
また、複数の熱電半導体を1つの基板上に配置することによって、一体化された熱電半導体の搭載ユニットを形成できるので、熱電半導体の対数が複数(2つ以上)となり多くなったときにも、熱電半導体を単体で検査することができ、また、光モジュールのキャリアへの搭載も容易になる。
【0105】
なお、第2の基板91上の熱電半導体実装面またはその反対面に、熱電半導体の伝熱方向と直交する溝を設けることによって、第2の基板92内を伝導してパターン電極93の下部からパターン電極94の下部へ戻る熱の量を、減らすことができる。
【0106】
【発明の効果】
この発明によれば、熱電半導体を光モジュールの底面に水平な方向に配置することにより、光モジュールの高さを低くすることができる。また、熱電半導体の対数を少なくすることにより、低価格な光モジュールを実現できる。
【0107】
また、光モジュールを高温側で使用する際の環境温度を、LDの高温側の動作温度と同等の温度に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による光モジュールのキャリアの構成を示す図である。
【図2】 この発明の実施の形態1による光モジュールの構成を示す図である。
【図3】 この発明の実施の形態1による熱電半導体の放熱経路を示す図である。
【図4】 この発明の実施の形態2による光モジュールの構成を示す図である。
【図5】 この発明の実施の形態3による光モジュールの構成を示す図である。
【図6】 この発明の実施の形態4による光モジュールの構成を示す図である。
【図7】 この発明の実施の形態5による光モジュールの構成を示す図である。
【図8】 この発明の実施の形態6による光モジュールの構成を示す図である。
【図9】 従来の光モジュールの構成を示す図である。
【符号の説明】
11 光素子、 12 第1の基板、 15 パターン電極、 19 パターン電極、 20 パターン電極、 17 キャリア、 18 第2の基板、 21 P型半導体、 22 N型半導体、 23熱電半導体、 30 ケース、35 フィードスルー、 39 接続基板、 50 APC回路、 51 電源回路、 61 パターン電極、 62 パターン電極、 80 ブロック、 81 ブロック、 75 パターン電極、 76 パターン電極、 92 パターン電極、 93 パターン電極。

Claims (29)

  1. 光素子と、
    P型半導体とN型半導体が並置されて成る一対の熱電半導体と、
    表面に上記光素子を載置した基板とを備え、
    上記熱電半導体の少なくとも吸熱側の端部が上記基板の表面に載置され、上記熱電半導体の吸熱側から放熱側へ向かう方向が上記基板と平行となるように配置されたことを特徴とする光モジュール。
  2. 上記熱電半導体の吸熱側の端部が上記光素子により近く、上記熱電半導体の放熱側の端部が当該光素子からより遠くなるように配置されたことを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  3. 光素子と、
    一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、
    表面に上記光素子が載置され、当該表面側に上記P型半導体における吸熱側の端部、および上記N型半導体における吸熱側の端部がそれぞれ接合された第1の基板と、
    上記第1の基板から離間して配置され、表面に上記P型半導体の放熱側の端部、および上記N型半導体の放熱側の端部がそれぞれ接合された第2の基板と、
    上記第1、第2の基板を載置したキャリアとを備えた光モジュール。
  4. 上記キャリアを収納するケースを備えたことを特徴とする請求項3記載の光モジュール。
  5. 光素子と、
    一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、
    表面に上記光素子が載置され、当該表面側に上記P型半導体における吸熱側の端部、および上記N型半導体における吸熱側の端部がそれぞれ接合された第1の基板と、
    上記第1の基板から離間して配置され、表面に上記P型半導体の放熱側の端部、および上記N型半導体の放熱側の端部がそれぞれ接合された第2の基板と、
    上記第1、第2の基板を載置したケースとを備えた光モジュール。
  6. 上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部にともに接合された第1の導体と、
    上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の導体と、
    上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の導体とを備えたことを特徴とする請求項3から請求項5のいずれかに記載の光モジュール。
  7. 上記P型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部に、それぞれ接合された第1、第2の導体と、
    上記N型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部に、それぞれ接合された第3、第4の導体と、
    上記第1、第3の導体を接続する第5の導体を備えたことを特徴とする請求項3から請求項5のいずれかに記載の光モジュール。
  8. 上記第1の基板の表面側に設けられ、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が、それぞれ接合された第1の電極と、
    上記第2の基板の表面側に設けられ、上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の電極と、
    上記第2の基板の表面側に設けられ、上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の電極とを備えたことを特徴とする請求項3から請求項5のいずれかに記載の光モジュール。
  9. 光素子と、
    一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、
    表面に光素子が載置され、当該表面側に上記P型半導体における吸熱側の端部、および上記N型半導体における吸熱側の端部がそれぞれ接合された基板と、
    上記基板から載置面が離間して配置され、表面に上記P型半導体の放熱側の端部、および上記N型半導体の放熱側の端部がそれぞれ接合されたフィードスルーを有して、上記基板を収納するケースとを備えたことを特徴とする光モジュール。
  10. 上記基板の載置されたキャリアと、
    上記キャリアを収納するケースとを備えたことを特徴とする請求項9記載の光モジュール。
  11. 上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部にともに接合された第1の導体と、
    上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の導体と、
    上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の導体とを備えたことを特徴とする請求項9記載の光モジュール。
  12. 上記基板の表面側に設けられ、上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が、それぞれ接合された第1の電極と、
    上記フィードスルーの載置面に設けられ、上記P型半導体の放熱側の端部に接合された第2の電極と、
    上記フィードスルーの載置面に設けられ、上記N型半導体の放熱側の端部に接合された第3の電極とを備えたことを特徴とする請求項9記載の光モジュール。
  13. 光素子と、
    一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、
    上記光素子のより近くに配置された第1の電極、および当該光素子からより遠くに配置された第2、第3の電極のいずれもが設けられた基板とを備え、
    上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が、上記第1の電極にそれぞれ接合され、上記P型半導体における放熱側の端部が上記第2の電極に接合され、上記N型半導体における放熱側の端部が上記第3の電極に接合されたことを特徴とする光モジュール。
  14. 光素子と、
    一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、
    表面に上記光素子が載置された基板と、
    上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部にともに接合され、かつ上記基板の表面側に接合された第1の導体と、
    上記P型半導体における放熱側の端部に接合され、かつ上記基板の表面側に接合された第2の導体と、
    上記N型半導体における放熱側の端部に接合され、かつ上記基板の表面側に接合された第3の導体とを備え、
    上記P型半導体およびN型半導体の吸熱側の端部が上記光素子により近く、上記P型半導体およびN型半導体の放熱側の端部が当該光素子からより遠くなるように配置されたことを特徴とする光モジュール。
  15. 上記第2、第3の電極にそれぞれ接続された第4、第5の電極の設けられたフィードスルーを有し、上記基板を収納するケースを備えたことを特徴とする請求項13記載の光モジュール。
  16. 上記第2、第3の電極と、上記第4、第5の電極は、それぞれ導体ワイヤで接続されたことを特徴とする請求項13記載の光モジュール。
  17. 上記第2、第3の電極と、上記第4、第5の電極は、それぞれ導体板で接続されたことを特徴とする請求項13記載の光モジュール。
  18. 上記導体板は、Cuを材質に含むことを特徴とする請求項17記載の光モジュール。
  19. 上記第1乃至第3の導体は、上記P型半導体およびN型半導体の端面と上記基板に直接的もしくは間接的に接合された、半田もしくは導電性接着剤であることを特徴とする請求項6、11、14のいずれかに記載の光モジュール。
  20. 上記第1乃至第3の導体は、上記P型半導体およびN型半導体よりも熱抵抗の小さい金属導体から成ることを特徴とする請求項6、11、14のいずれかに記載の光モジュール。
  21. 光素子と、
    一対のP型半導体とN型半導体が並置されて成る熱電半導体と、
    上記P型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部がそれぞれ接合され、かつ上記N型半導体の吸熱側の端部および放熱側の端部がそれぞれ接合されるとともに、上記P型半導体の吸熱側の端部放熱側の端部との間で上記P型半導体との非接合部を有し、かつ上記N型半導体の吸熱側の端部放熱側の端部との間で上記N型半導体との非接合部を有した誘電体基板と、
    上記光素子と上記誘電体基板を載置する基板とを備え
    上記熱電半導体の吸熱側の端部が上記光素子により近く、上記熱電半導体の放熱側の端部が当該光素子からより遠くなるように配置されたことを特徴とする光モジュール。
  22. 上記熱電半導体の放熱面である一端と吸熱面である他端との間の長さを、当該一端と他端におけるそれぞれの端面の一辺の長さの5倍以上としたことを特徴とする請求項1から21のいずれかに記載の光モジュール。
  23. 上記熱電半導体が、複数対設けられたことを特徴とする請求項1から請求項21のいずれかに記載の光モジュール。
  24. 上記熱電半導体は、概略一定の電流が供給されることを特徴とする請求項1から21のいずれかに記載の光モジュール。
  25. 上記キャリア上もしくは上記基板上に、光検出器が設けられたことを特徴とする請求項3、4、10のいずれかに記載の光モジュール。
  26. 上記ケースの有する側壁から上記基板に高周波信号を伝送する伝送基板が設けられたことを特徴とする請求項4、5、9、10、15のいずれかに記載の光モジュール。
  27. 上記光素子がレーザダイオードであることを特徴とする請求項1から26のいずれかに記載の光モジュール。
  28. 上記熱電半導体の載置面に、上記光素子のドライバ回路を備えたことを特徴する請求項27記載の光モジュール。
  29. 上記請求項1から28のいずれかに記載の光モジュールと、上記熱電半導体を、定電流で駆動する電源回路とを備えたことを特徴する光送信もしくは光受信装置。
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7462983B2 (en) * 2003-06-27 2008-12-09 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. White light emitting device
US6953291B2 (en) * 2003-06-30 2005-10-11 Finisar Corporation Compact package design for vertical cavity surface emitting laser array to optical fiber cable connection
US6984076B2 (en) * 2003-10-08 2006-01-10 Honeywell International Inc. Compact package design for vertical cavity surface emitting laser array to optical fiber cable connection
JP4718135B2 (ja) * 2004-07-06 2011-07-06 株式会社日立製作所 光モジュール
JP2006319011A (ja) * 2005-05-11 2006-11-24 Sony Corp ペルチェモジュールおよび半導体レーザ発光装置
KR100780734B1 (ko) * 2007-06-07 2007-11-30 정세진 열전반도체소자 유니트 제조방법
US8626355B2 (en) * 2008-04-01 2014-01-07 Hewlett-Packard Development Company, L. P. Cooling provisioning management in a three dimensional package
JP2009302332A (ja) * 2008-06-13 2009-12-24 Aruze Corp 熱電変換素子及び熱電変換素子用導電性部材
JP2012189571A (ja) * 2011-02-24 2012-10-04 Renesas Electronics Corp 半導体装置及びその製造方法
CN103035833B (zh) * 2011-09-30 2015-12-02 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种平面型半导体热电芯片及制备方法
JP6245071B2 (ja) * 2014-05-23 2017-12-13 日立金属株式会社 光伝送モジュール
JP2015222402A (ja) * 2014-05-23 2015-12-10 日立金属株式会社 光伝送モジュール
US10267545B2 (en) 2016-03-30 2019-04-23 Qualcomm Incorporated In-plane active cooling device for mobile electronics
CN108008501B (zh) * 2016-11-01 2021-10-29 住友电工光电子器件创新株式会社 光发送器设备
JP6834108B2 (ja) * 2016-11-25 2021-02-24 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 電子装置組立体
JP7622397B2 (ja) * 2020-11-09 2025-01-28 住友電気工業株式会社 光半導体モジュール
CN113013724A (zh) * 2021-04-12 2021-06-22 东莞市中镓半导体科技有限公司 一种激光器封装结构

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2855980B2 (ja) 1992-07-29 1999-02-10 日本電気株式会社 熱電冷却モジュールおよび冷却型半導体レーザモジュール
JP2546146B2 (ja) 1993-06-24 1996-10-23 日本電気株式会社 半導体レーザ装置
JPH11121862A (ja) 1997-10-21 1999-04-30 Mitsubishi Electric Corp 発光素子モジュール
JPH11135846A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Fujitsu Ltd 半導体を用いた熱電装置

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