JP4170165B2 - 反応性イオンエッチング用のマスク材料、マスク及びドライエッチング方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば磁性材の加工等に用いられる反応性イオンエッチング用のマスク材料、マスク及びドライエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁性材等の微細加工技術として、ＮＨ３（アンモニア）等の含窒素化合物ガスが添加されたＣＯ（一酸化炭素）ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング（例えば、特許文献１参照）が知られている。尚、この反応性イオンエッチングは、Ｐｔ（白金）等の非磁性材の加工にも用いることができる。
【０００３】
この反応性イオンエッチングは、磁性材等を構成する遷移金属とＣＯガスとを反応させて結合エネルギーが小さい遷移金属カーボニル化合物を生成し、生成した遷移金属カーボニル化合物をスパッタリング作用で除去して磁性材等を所望の形状に加工するものである。尚、含窒素化合物ガスはＣＯがＣ（炭素）とＯ（酸素）に分解することを抑制し、遷移金属カーボニル化合物の生成を促進するために添加されている。
【０００４】
この反応性イオンエッチング用のマスク材料としては、Ｔｉ（チタン）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ａｌ（アルミニウム）等を構成成分とするマスク材料が知られている（例えば、特許文献２参照）。又、本出願と同一の出願人は、磁性材に対してエッチングレートが著しく低く、エッチングの選択性に優れたマスク材料として、Ｔａ（タンタル）を構成成分とするマスク材料を提案している（例えば、特許文献３参照）。尚、これらのマスク材料で構成されるマスクを所望のパターンに加工する技術としては、半導体製造の分野で一般的な、ハロゲン系ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング等を用いることができる。
【０００５】
このようなドライエッチングの手法を用いることにより、磁性材等の種々の微細加工が可能であると考えられている。
【０００６】
例えば、ハードディスク等の磁気記録媒体は、磁性薄膜層を構成する磁性粒子の微細化、材料の変更、ヘッド加工の微細化等の改良により面記録密度が著しく向上しているが、これら磁性粒子の微細化等の改良手法は限界にきており、一層の面記録密度の向上を実現しうる磁気記録媒体の候補として、磁性薄膜層を多数の微細な記録要素に分割してなるディスクリートタイプの磁気記録媒体が提案されている（例えば、特許文献４参照）。このようなディスクリートタイプの磁気記録媒体を実現するためには領域幅が１μｍ以下の微細領域の加工が要求されるが、上述のドライエッチングの手法を用いることにより、このような微細加工も可能であると考えられていた。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１２―３２２７１０号公報
【特許文献２】
特開平１１―９２９７１号公報
【特許文献３】
特開２００１―２７４１４４号公報
【特許文献４】
特開平９―９７４１９号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようなドライエッチングの手法を用いることで、磁性材等に微細なパターンを形成することはできても、図１０（Ａ）に示されるような側面１００が垂直な理想的な形状の凹部１０２を形成することは困難で、実際には図１０（Ｂ）に示されるような側面１０４がテーパ形状の凹部１０６が形成され、所望の加工形状と、実際の加工形状と、の間に、一定のずれが生じていた。より詳細に説明すると、ドライエッチングでは、一部のガスが被加工体に対して垂直方向から若干傾斜して接近し、エッチング対象領域の端部はマスク１０８から露出していても一部のガスに対してマスク１０８の陰となるため、他の部分よりもエッチングの進行が遅れ、側面がテーパ形状の凹部が形成されると考えられる。エッチング対象領域の微細化に伴い、このような加工形状のずれが製品の特性等に及ぼす影響が相対的に大きくなる傾向があり、側面のテーパ角を低減する（即ち側面を垂直に近づける）ドライエッチング技術に対するニーズが高まっている。
【０００９】
又、被加工体のドライエッチングのために、被加工体には一又は複数のマスクが形成され、マスクも一般的にドライエッチングで加工されて側面がテーパ形状の溝が形成されるため、最表面のマスクの凹部は順次狭まりつつ被加工体に転写されることになる。凹部が過度に狭くなると被加工体には両側面が連続したＶ字断面の凹部が形成されて、エッチングがそれ以上進行しなくなり、所望の深さまで加工できないことがある。例えば、上述のディスクリートタイプの磁気記録媒体では、磁性薄膜層の厚さよりも浅いＶ溝が形成され、磁性薄膜層を分割できないことがある。
【００１０】
尚、凹部側面のテーパ角を考慮し、最表面のマスクに充分大きな幅の凹部を形成すれば、このような事態を回避しうるが、パターンが微細で凹部同士の間隔が小さい場合、最表面で凹部同士が連続し、各凹部を区別して形成できないことがある。
【００１１】
更に、マスクにおける凹部側面のテーパ角が大きいと、それだけ被加工体へのパターンの転写精度が低下しやすいという問題がある。
【００１２】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングを用いて被加工体を精密に加工することができるドライエッチング方法等を提供することをその課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング用のマスク材料として、ケイ素と、タンタルと、を含む材料を用いることにより、上記課題を解決するに至った。
【００１４】
発明者は、本発明に想到する過程において、ドライエッチングのマスク材料として種々の材料を試行錯誤したところ、ケイ素と、タンタルと、で構成されたマスク材料は、ハロゲン系ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングで加工する際、バイアスパワーの値等の設定条件により、加工形状が変化しやすいことを見出した。
【００１５】
一例を示すと、反応性イオンエッチングにおけるバイアスパワーを低減すると、マスクに形成される凹部側面のテーパ角が低減した。このようにマスクの凹部側面のテーパ角を低減することで、それだけ凹部同士の間隔が狭い微細なパターンを加工することができる。又、マスクの凹部側面のテーパ角を低減することで、被加工体へのパターンの転写精度を高めることができる。
【００１６】
このように反応性イオンエッチングの設定条件により、マスクの加工形状が変化する理由は必ずしも明らかではないが、概ね次のように考えられる。
【００１７】
反応性イオンエッチングでは、イオンの衝突という物理的作用と反応ガスの化学的作用との相乗効果により、エッチングが進行する。従来は、ガス圧の低減、バイアスパワーの増加等により、イオンの直進性を高めて凹部側面のテーパ角を抑制していた。即ち、主として反応性イオンエッチングの物理的作用を制御して、凹部側面のテーパ角を抑制していた。しかしながら、このようなガス圧、バイアスパワーの調整によるイオンの直進性の向上は既に限界にきており、被加工物に対して接近する総てのイオンを完全に垂直方向に指向することはできなかった。
【００１８】
一方、ケイ素は、タンタルよりもハロゲン系の反応ガスと反応しやすいため、ケイ素と、タンタルと、を含むマスク材料は、タンタル単体よりも、ハロゲン系ガスの化学的作用によるエッチングが進行しやすい。言い換えれば、物理的作用を多少抑制しても、エッチングが充分進行することになる。化学的作用によるエッチングは等方的に進行するため、（該マスクの加工のための他の）マスクの陰になる部分のエッチングが促進され、側面のテーパ角が小さくなると考えられる。
【００１９】
即ち、反応性イオンエッチングの物理的作用を高め、イオンの直進性を向上させることで凹部側面のテーパ角を抑制することが常識とされていた従来の技術に対し、本発明は着想、構成が全く異なっており、反応性イオンエッチングの物理的作用を抑制する一方、化学的作用を高めるという従来の反応性イオンエッチングの技術とは逆の手法で凹部側面のテーパ角が低減されていると考えられる。
【００２０】
尚、タンタルを含まないケイ素系材料も、タンタル単体よりも、ハロゲン系の反応ガスと反応しやすくエッチングが進行しやすいが、タンタルを含まないケイ素系材料は一酸化炭素を反応ガスとする反応性イオンエッチングにおいてもエッチングが進行しやすいためマスク材料として不適当である。
【００２１】
これに対し、ケイ素と、タンタルと、を含む材料は、一酸化炭素を反応ガスとする反応性イオンエッチングにおいて充分な耐エッチング性を有し、マスク材料として好適である。
【００２２】
更に、発明者は、ケイ素と、タンタルと、を含む材料は、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対するケイ素の比率を５０％以下に制限することにより、一酸化炭素を反応ガスとする反応性イオンエッチングに対する耐エッチング性がタンタル単体よりも大きくなることを見出した。即ち、それだけマスクの厚さを薄くすることができ、これによりマスクの陰になる部分を低減し、被加工体に形成される凹部側面のテーパ角を低減することができる。
【００２３】
即ち、次のような本発明により、上記課題の解決を図ることができる。
【００２４】
（１）含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング用のマスク材料であって、ケイ素と、タンタルと、を含むことを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２５】
（２）ケイ素とタンタルとの化合物、ケイ素とタンタルとの混合物のいずれかを含むことを特徴とする前記（１）の反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２６】
（３）ケイ素を含む材料を層状に形成してなるケイ素系材料層と、タンタルを含む材料を層状に形成してなるタンタル系材料層と、を積層してなる積層体であることを特徴とする前記（１）又は（２）の反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２７】
（４）ケイ素とタンタルとを含む酸化物、ケイ素とタンタルとを含む窒化物、ケイ素の酸化物、ケイ素の窒化物、タンタルの酸化物、タンタルの窒化物の少なくとも一の材料を含むことを特徴とする前記（１）乃至（３）のいずれかの反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２８】
（５）ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対する前記ケイ素の原子数の比率が０％よりも大きく、且つ、５０％以下であることを特徴とする前記（１）乃至（４）のいずれかの反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２９】
（６）ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対する前記ケイ素の原子数の比率が１０％以上、且つ、３０％以下であることを特徴とする前記（５）の反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００３０】
（７）前記（１）乃至（６）のいずれかに記載の反応性イオンエッチング用のマスク材料で構成されたことを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク。
【００３１】
（８）前記（１）乃至（６）のいずれかに記載の反応性イオンエッチング用のマスク材料で構成されたマスク層を被加工体上に所定のパターンで形成するマスク形成工程と、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより前記被加工体を前記パターンの形状に加工する被加工体加工工程と、を含むことを特徴とするドライエッチング方法。
【００３２】
（９）前記マスク形成工程は、前記マスク層を第１のマスク層として、該第１のマスク層を前記被加工体上に成膜し、該第１のマスク層上に前記パターンで第２のマスク層を形成し、ハロゲン系ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより前記第１のマスク層を前記パターンの形状に加工する工程であることを特徴とする前記（８）のドライエッチング方法。
【００３３】
（１０）前記被加工体として、磁性材を加工することを特徴とする前記（８）又は（９）のドライエッチング方法。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３５】
本実施形態は、図１に示される試料の出発体にドライエッチング等の加工を施すことにより、図２に示されるような所定のラインアンドスペースパターンの形状に磁性薄膜層（磁性材）を加工するものであり、磁性薄膜層を被覆するマスクの材料、マスクの加工工程に特徴を有している。他の構成については従来と同様であるので説明を適宜省略することとする。
【００３６】
試料１０の出発体は、ガラス基板１２に、磁性薄膜層１６、第１のマスク層１８、第２のマスク層２０、レジスト層２２がこの順で形成された構成である。
【００３７】
磁性薄膜層１６は、厚さが５〜３０ｎｍで、材料はＣｏＣｒ（コバルト−クロム）合金である。
【００３８】
第１のマスク層１８は、厚さが５〜５０ｎｍで、材料はケイ素と、タンタルと、を混合したものである。又、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率は（１０％以上、且つ、３０％以下の）約２０％である。
【００３９】
第２のマスク層２０は、厚さが５〜３０ｎｍで、材料はＮｉ（ニッケル）である。
【００４０】
レジスト層２２は、厚さが３０〜３００ｎｍで、材料は電子線レジスト（ＺＥＰ５２０ 日本ゼオン社）である。
【００４１】
試料１０の加工は、図３に示されるような反応性イオンエッチング装置等を用いて行う。
【００４２】
反応性イオンエッチング装置３０はヘリコン波プラズマ方式であり、拡散チャンバー３２と、拡散チャンバー３２内に試料１０を載置するためのＥＳＣ（静電チャック）ステージ電極３４と、プラズマを発生するための石英製ベル・ジャー３６と、を備えている。
【００４３】
ＥＳＣステージ電極３４にはバイアス電圧を印加するためのバイアス電源３８が結線されている。尚、バイアス電源は、周波数が１．６ＭＨｚの交流電源である。
【００４４】
石英製ベル・ジャー３６は下端が拡散チャンバー３２内に開口し、半球面上の上部中央近傍には反応ガスを給気するための給気孔３６Ａが設けられている。又、石英製ベル・ジャー３６の周囲には、電磁コイル４０と、アンテナ４２が配設され、アンテナ４２にはプラズマ発生電源４４が結線されている。尚、プラズマ発生電源４４は、周波数が１３．５６ＭＨｚの交流電源である。
【００４５】
次に、試料１０の加工方法について、図４に示すフローチャートに沿って説明する。
【００４６】
まず、図１に示される試料１０の出発体を用意する（Ｓ１０２）。試料１０の出発体はガラス基板１２に、磁性薄膜層１６、第１のマスク層１８、第２のマスク層２０を、この順でスパッタリング法により形成し、更にレジスト層２２をスピンコート法で塗布することにより得られる。
【００４７】
この試料１０の出発体のレジスト層２２に電子線露光装置（図示省略）を用いて露光し、ＺＥＤ−Ｎ５０（日本ゼオン社）を用いて室温で５分現像して露光部を除去し、図５に示されるように微細な間隔で多数の溝を形成する（Ｓ１０４）。
【００４８】
次に、Ａｒ（アルゴン）ガスを用いたイオンビームエッチング装置（図示省略）を用いて、図６に示されるように溝底面の第２のマスク層２０を除去する（Ｓ１０６）。これにより、第１のマスク層１８側に狭まる溝が形成され、第２のマスク層２０の側面は、垂直方向から若干傾斜したテーパ形状となる。尚、この際、溝以外の領域のレジスト層２２も若干除去される。
【００４９】
次に、反応性イオンエッチング装置３０を用いてＣＦ４ガス又はＳＦ６ガス（ハロゲン系の反応ガス）を用いた反応性イオンエッチングにより、図７に示されるように溝底面の第１のマスク層１８を除去する（Ｓ１０８）。
【００５０】
具体的には、試料１０をＥＳＣステージ電極３４に載置・固定し、バイアス電圧を印加する。更に、電磁コイル４０が磁界を発し、アンテナ４２がヘリコン波を発するとヘリコン波は磁界に沿って伝播し、石英製ベル・ジャー３６の内部に高密度のプラズマが発生する。給気孔３６ＡからＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを供給するとラジカルが拡散チャンバー３２内に拡散して第１のマスク層１８の表面に付着し、反応する。又、イオンがバイアス電圧により誘導されて試料１０に衝突し、第１のマスク層１８の表面を除去する。この際、第１のマスク層１８のエッチングの進行を過度に制限しない範囲で、バイアス電源３８のバイアスパワーを低めに調節しておく。第１のマスク層１８は、材料がハロゲン系反応ガスと反応しやすいケイ素を含んでいるので、バイアスパワーをそれだけ低めに調節することができる。
【００５１】
これにより、磁性薄膜層１６側に狭まる溝が形成され、第１のマスク層１８には、垂直方向から若干傾斜したテーパ形状の側面が形成されるが、バイアスパワーを低めに調節しているので、第１のマスク層１８の側面のテーパ角は小さく制限される。尚、ここで、溝以外の領域のレジスト層２２は完全に除去される。又、溝以外の領域の第２のマスク層２０も一部除去されるが若干量が残存する。
【００５２】
次に、反応性イオンエッチング装置３０又は同様の構造の他の反応性イオンエッチング装置を用いて図８に示されるように溝底面の磁性薄膜層１６を除去する（Ｓ１１０）。
【００５３】
反応性イオンエッチング装置３０を用いる場合を例として具体的に説明すると、上記の第１のマスク層１８の反応性イオンエッチングにおけるＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスに代えて給気孔３６ＡからＣＯガス及びＮＨ３ガスを供給するとラジカルが拡散チャンバー３２内に拡散して磁性薄膜層１６の表面をカーボニル化する。又、イオンがバイアス電圧により誘導されて、カーボニル化された磁性薄膜層１６の表面を除去する。
【００５４】
これにより、基板１２側に狭まる溝が形成され、磁性薄膜層１６には、垂直方向から若干傾斜したテーパ形状の側面が形成される。
【００５５】
ここで、第１のマスク層１８は、材料がケイ素と、タンタルと、を混合したものであり、且つ、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が（１０％以上、且つ、３０％以下の）約２０％であり、後述するようにＣＯガス及びＮＨ３ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングに対するエッチングレートが低い（耐エッチング性が高い）ので、それだけ第１のマスク層１８は薄く形成されている。従って、垂直方向から若干傾斜して接近するガスに対し、第１のマスク層１８の陰となる部分は小さく、磁性薄膜層１６の側面のテーパ角はそれだけ小さく制限される。即ち、パターンが微細であっても、磁性薄膜層１６は精密に加工され、磁性薄膜層１６が多数の記録要素１６Ａに分割される。
【００５６】
尚、この反応性イオンエッチングにより、溝以外の領域の第２のマスク層２０が完全に除去される。又、溝以外の領域の第１のマスク層１８も一部が除去されるが一定量が記録要素の上面に残存する。
【００５７】
次に、ＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを用いた反応性イオンエッチングにより、図８に示されるように記録要素１６Ａの上面に残存する第１のマスク層１８を完全に除去する（Ｓ１１２）。尚、ＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを用いた反応性アッシング装置（図示省略）で記録要素の上面に残存する第１のマスク層１８を除去してもよい。
【００５８】
これにより、試料１０の加工が完了する。
【００５９】
以上のように、磁性薄膜層１６を被覆する第１のマスク層１８の材料として、ＣＯガス及びＮＨ３ガスからなる反応ガスを用いた反応性イオンエッチングに対するエッチングレートが低いケイ素及びタンタルで構成された材料を用いることで、第１のマスク層１８の厚さを薄くすることができ、側面のテーパ角が小さい記録要素１６Ａを形成することができる。
【００６０】
又、ケイ素及びタンタルで構成された材料を用いることで、ハロゲン系の反応ガスを用いた反応性イオンエッチングの設定条件を調節し、第１のマスク層１８自体の側面のテーパ角を低減でき、これによりパターンの転写精度を高めることができる。
【００６１】
更に、記録要素１６Ａの側面のテーパ角、第１のマスク層１８の側面のテーパ角、を低減することができるので、溝のピッチが小さい微細なパターンを磁性薄膜層１６に転写することができる。
【００６２】
尚、本実施形態において、磁性薄膜層１６を加工するための反応性イオンエッチングの反応ガスとしてＮＨ３ガスが添加されたＣＯガスを用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＣＯの分解を抑制する作用を有するアミン類ガス等の他の含窒素化合物ガスが添加されたＣＯガスを反応ガスを用いて磁性薄膜層１６を加工してもよい。
【００６３】
又、本実施形態において、第１のマスク層１８を加工するための反応性イオンエッチングの反応ガスとしてＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、他のハロゲン系の反応ガスを用いて第１のマスク層１８を加工してもよい。
【００６４】
又、本実施形態において、磁性薄膜層１６、第１のマスク層１８を加工するための反応性イオンエッチング装置３０はヘリコン波プラズマ方式であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、平行平板方式、マグネトロン方式、２周波励磁方式、ＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）方式、ＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）方式等、他の方式の反応性イオンエッチング装置を用いてもよい。
【００６５】
又、本実施形態において、レジスト層２２及び第２のマスク層２０を第１のマスク層１８上に形成し、電子線露光装置及びイオンビームエッチングを用いて第２のマスク層２０を所定のパターンに形成しているが、ハロゲン系の反応ガスに対して耐エッチング性を有する第２のマスク層を第１のマスク層１８上に高精度で形成することができれば、第１のマスク層１８上のマスク層、レジスト層の材料、加工方法及びこれらの積層数は特に限定されない。例えば、レジスト層２２に微細な間隔で溝を形成する方法として、電子線露光装置に代えて、ナノ・インプリント法を用いてもよい。
【００６６】
又、本実施形態において、第１のマスク層１８の材料は、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が約２０％であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料であれば、その比率に拘らず、ハロゲン系の反応ガスを用いた反応性イオンエッチングの設定条件を調節することで、加工形状を制御することが可能であり、マスクに形成されるテーパ角を低減することができる。
【００６７】
尚、後述するように、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率を５０％以下とすれば、ＣＯ及びＮＨ３を反応ガスとする反応性イオンエッチングに対するエッチングレートをタンタル単体よりも低く（耐エッチング性を高く）でき、特にケイ素の原子数の比率を１０％以上、且つ、３０％以下とすることで、タンタル単体よりもエッチングレートを大幅に低くすることができ、好ましい。
【００６８】
又、本実施形態において、第１のマスク層１８の材料は、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料であるが、ケイ素に代えて、例えば二酸化ケイ素、窒化ケイ素等の他のケイ素系の材料を用いてもよい。また、タンタルに代えて、例えば酸化タンタル、窒化タンタル等の他のタンタル系材料を用いてもよい。また、ケイ素とタンタルとを含む化合物を用いてもよい。また、ケイ素系材料の層とタンタル系材料の層との積層体でもよい。尚、積層体の場合、ケイ素系材料の層がタンタル系材料を含んでいてもよく、タンタル系材料の層がケイ素系材料を含んでいてもよい。この場合も、ハロゲン系の反応ガスを用いた反応性イオンエッチングの設定条件を調節することで、マスクの加工形状を制御し、マスクに形成されるテーパ角を低減することが可能である。又、ＣＯ及びＮＨ３を反応ガスとする反応性イオンエッチングに対するエッチングレートをタンタル単体よりも低くすることもできる。
【００６９】
又、本実施形態において、試料１０はガラス基板１２に磁性薄膜層１６を直接形成した構成の試験用の試料であるが、ハードディスク等の磁気ディスク、光磁気ディスク、磁気テープ、磁気ヘッド等、磁性材を有して構成される種々の記録媒体、装置の加工に本発明を適用可能であることは言うまでもない。
【００７０】
又、本実施形態において、磁性薄膜層１６の材質はＣｏＣｒ合金であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、鉄属元素（Ｃｏ、Ｆｅ（鉄）、Ｎｉ）を含む他の合金、これらの積層体等の他の材質の磁性材の加工のためのマスク材料としても、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料は好適である。
【００７１】
又、本実施形態において、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料を磁性材の加工のために用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＣＯ及びＮＨ３を反応ガスとする反応性イオンエッチングで加工可能な材料であれば、例えばＰｔ等の非磁性材の加工のためのマスク材料としても、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料は好適である。
【００７２】
（実施例１）
上記実施形態のとおり、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率を約２０％とした。即ち、タンタルの原子数と、ケイ素の原子数と、の組成比率を約４：１とした。
【００７３】
又、磁性薄膜層１６の厚さを約２５ｎｍ、第１のマスク層１８の厚さを約２０ｎｍ、第２のマスク層２０の厚さを約１５ｎｍ、レジスト層２２の厚さを約１３０ｎｍとし、試料１０の出発体を２個作製した。
【００７４】
レジスト層２２に、ピッチが約１２０ｎｍ、ラインとスペースとの比率が約１：１のパターン（即ちライン幅、スペース幅がいずれも約６０ｎｍのパターン）を露光・現像したところ、側面が垂直な溝が形成された。
【００７５】
第２のマスク層２０には、側面がテーパ形状の溝が形成され、溝底面のスペース幅は約５５ｎｍ（ライン幅は約６５ｎｍ）であった。
【００７６】
第１のマスク層１８にも側面がテーパ形状の溝が形成された。第１のマスク層１８の加工において、ソースパワーは１０００Ｗで一定に保持する一方、バイアスパワーは２つの試料について異なる値とし、それぞれ１５０Ｗ、７５Ｗに調節したところ、バイアスパワーが１５０Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約２３ｎｍであった。一方、バイアスパワーが７５Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約３８ｎｍであった。尚、反応性イオンエッチング装置のステージ電極は直径６インチのものを用いた。
【００７７】
磁性薄膜層１６にも側面がテーパ形状の溝が形成された。尚、磁性薄膜層１６の加工においては、いずれの試料についてもソースパワーを１０００Ｗ、バイアスパワーを２５０Ｗで一定に保持した。第１のマスク層１８の底面のスペース幅が２３ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約１５ｎｍであった。一方、第１のマスク層１８の底面のスペース幅が３８ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約２９ｎｍであった。
【００７８】
（実施例２）
上記実施例１に対し、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率を約８０％とした。即ち、タンタルの原子数と、ケイ素の原子数と、の組成比率を約１：４とした。その他の条件は、上記実施例１と同様とし、試料１０の出発体を２個作製した。レジスト層２２、第２のマスク層２０を加工したところ、第２のマスク層２０には、側面がテーパ形状の溝が形成され、実施例１と同様に底面のスペース幅は約５５ｎｍ（ライン幅は約６５ｎｍ）であった。
【００７９】
又、実施例１と同様に、第１のマスク層１８の加工において、ソースパワーは１０００Ｗで一定に保持する一方、バイアスパワーは２つの試料について異なる値とし、それぞれ１５０Ｗ、７５Ｗに調節したところ、バイアスパワーが１５０Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約１５ｎｍであった。一方、バイアスパワーが７５Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約４５ｎｍであった。
【００８０】
又、磁性薄膜層１６にも側面がテーパ形状の溝が形成され、第１のマスク層１８の底面のスペース幅が１５ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約７ｎｍであった。一方、第１のマスク層１８の底面のスペース幅が４５ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約３６ｎｍであった。
【００８１】
（比較例）
上記実施例１に対し、第１のマスク層１８の材料をケイ素を含まない、ほぼ純粋なタンタルとした。その他の条件は、上記実施例１と同様とし、試料１０の出発体を２個作製した。レジスト層２２、第２のマスク層２０を加工したところ、第２のマスク層２０には、側面がテーパ形状の溝が形成され、底面のスペース幅は約５５ｎｍ（ライン幅は約６５ｎｍ）であった。
【００８２】
実施例１と同様に、第１のマスク層１８の加工において、ソースパワーは１０００Ｗで一定に保持する一方、バイアスパワーは２つの試料について異なる値とし、それぞれ１５０Ｗ、７５Ｗに調節したところ、バイアスパワーが１５０Ｗの場合、底面のスペース幅は約２５ｎｍであった。一方、バイアスパワーが７５Ｗの場合も、底面のスペース幅は約２５ｎｍであった。
【００８３】
以上、実施例１、実施例２及び比較例の結果を表１に対比して示す。
【００８４】
【表１】
【００８５】
実施例１、実施例２では、比較例に対して、磁性薄膜層１６の加工形状を、側面のテーパ角が小さいものとすることができた。また、実施例１、実施例２では、バイアスパワーを調節することで、側面のテーパ角が小さくなることが確認された。一方、比較例ではバイアスパワーを調節しても、スペース幅は一定で変化しないことが確認された。
【００８６】
（実施例３）
ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が異なる複数種類のマスク材料で第１のマスク層１８を形成し、ＣＯガス及びＮＨ３ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにおける、第１のマスク層１８の選択比を測定したところ図９に示されるような結果が得られた。ここで、選択比は、磁性薄膜層１６のエッチング速度を第１のマスク層１８のエッチング速度で除した値である。
【００８７】
図９に示されるように、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が０％よりも大きく、且つ、５０％以下であれば、選択比は、純粋なタンタルを材料とするマスクの選択比である３３よりも大きくなり、マスク材料として好ましい比率であることが確認された。
【００８８】
又、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が５％以上、且つ、４０％以下であれば、選択比が４５以上となり更に好ましく、特に、ケイ素の原子数の比率が１０％以上、且つ、３０％以下であれば、５０以上の選択比が得られ、一層好ましい比率であることが確認された。尚、ケイ素の原子数の比率が約２０％で選択比は約６６．７で最大となり、特に好ましい。
【００８９】
尚、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が８０％を超えると、記録要素１６Ａの側面上端近傍が過度に除去される傾向があり、パターン、マスクの膜厚、反応性イオンエッチングの設定条件等を調整しても、記録要素１６Ａが丸みを帯びた形状に加工され、所望の加工が困難となる場合があるため、ケイ素の原子数の比率は８０％以下が好ましい。
【００９０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングを用いて被加工体のエッチング対象領域を精密に加工することが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る試料の出発体の構成を模式的に示す側断面図
【図２】同出発体を加工して得られる試料の完成体の構造を模式的に示す側断面図
【図３】同試料の加工に用いられる反応性イオンエッチング装置の構造を模式的に示す一部ブロック図を含む側面図
【図４】同試料の加工工程を示すフローチャート
【図５】レジスト層がパターンで分割された試料の形状を示す側断面図
【図６】溝底面の第２のマスク層が除去された試料の形状を模式的に示す側断面図
【図７】溝底面の第１のマスク層が除去された試料の形状を模式的に示す側断面図
【図８】磁性薄膜層が分割された試料の形状を模式的に示す側断面図
【図９】第１のマスク層の材料のケイ素の比率とエッチングの選択比との関係を示すグラフ
【図１０】理想的な凹部形状及び従来のドライエッチングによる実際の凹部形状を模式的に示す側断面図
【符号の説明】
１０…試料
１２…ガラス基板
１６…磁性薄膜層
１８…第１のマスク層
２０…第２のマスク層
２２…レジスト層
３０…反応性イオンエッチング装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば磁性材の加工等に用いられる反応性イオンエッチング用のマスク材料、マスク及びドライエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁性材等の微細加工技術として、ＮＨ３（アンモニア）等の含窒素化合物ガスが添加されたＣＯ（一酸化炭素）ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング（例えば、特許文献１参照）が知られている。尚、この反応性イオンエッチングは、Ｐｔ（白金）等の非磁性材の加工にも用いることができる。
【０００３】
この反応性イオンエッチングは、磁性材等を構成する遷移金属とＣＯガスとを反応させて結合エネルギーが小さい遷移金属カーボニル化合物を生成し、生成した遷移金属カーボニル化合物をスパッタリング作用で除去して磁性材等を所望の形状に加工するものである。尚、含窒素化合物ガスはＣＯがＣ（炭素）とＯ（酸素）に分解することを抑制し、遷移金属カーボニル化合物の生成を促進するために添加されている。
【０００４】
この反応性イオンエッチング用のマスク材料としては、Ｔｉ（チタン）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ａｌ（アルミニウム）等を構成成分とするマスク材料が知られている（例えば、特許文献２参照）。又、本出願と同一の出願人は、磁性材に対してエッチングレートが著しく低く、エッチングの選択性に優れたマスク材料として、Ｔａ（タンタル）を構成成分とするマスク材料を提案している（例えば、特許文献３参照）。尚、これらのマスク材料で構成されるマスクを所望のパターンに加工する技術としては、半導体製造の分野で一般的な、ハロゲン系ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング等を用いることができる。
【０００５】
このようなドライエッチングの手法を用いることにより、磁性材等の種々の微細加工が可能であると考えられている。
【０００６】
例えば、ハードディスク等の磁気記録媒体は、磁性薄膜層を構成する磁性粒子の微細化、材料の変更、ヘッド加工の微細化等の改良により面記録密度が著しく向上しているが、これら磁性粒子の微細化等の改良手法は限界にきており、一層の面記録密度の向上を実現しうる磁気記録媒体の候補として、磁性薄膜層を多数の微細な記録要素に分割してなるディスクリートタイプの磁気記録媒体が提案されている（例えば、特許文献４参照）。このようなディスクリートタイプの磁気記録媒体を実現するためには領域幅が１μｍ以下の微細領域の加工が要求されるが、上述のドライエッチングの手法を用いることにより、このような微細加工も可能であると考えられていた。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１２―３２２７１０号公報
【特許文献２】
特開平１１―９２９７１号公報
【特許文献３】
特開２００１―２７４１４４号公報
【特許文献４】
特開平９―９７４１９号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようなドライエッチングの手法を用いることで、磁性材等に微細なパターンを形成することはできても、図１０（Ａ）に示されるような側面１００が垂直な理想的な形状の凹部１０２を形成することは困難で、実際には図１０（Ｂ）に示されるような側面１０４がテーパ形状の凹部１０６が形成され、所望の加工形状と、実際の加工形状と、の間に、一定のずれが生じていた。より詳細に説明すると、ドライエッチングでは、一部のガスが被加工体に対して垂直方向から若干傾斜して接近し、エッチング対象領域の端部はマスク１０８から露出していても一部のガスに対してマスク１０８の陰となるため、他の部分よりもエッチングの進行が遅れ、側面がテーパ形状の凹部が形成されると考えられる。エッチング対象領域の微細化に伴い、このような加工形状のずれが製品の特性等に及ぼす影響が相対的に大きくなる傾向があり、側面のテーパ角を低減する（即ち側面を垂直に近づける）ドライエッチング技術に対するニーズが高まっている。
【０００９】
又、被加工体のドライエッチングのために、被加工体には一又は複数のマスクが形成され、マスクも一般的にドライエッチングで加工されて側面がテーパ形状の溝が形成されるため、最表面のマスクの凹部は順次狭まりつつ被加工体に転写されることになる。凹部が過度に狭くなると被加工体には両側面が連続したＶ字断面の凹部が形成されて、エッチングがそれ以上進行しなくなり、所望の深さまで加工できないことがある。例えば、上述のディスクリートタイプの磁気記録媒体では、磁性薄膜層の厚さよりも浅いＶ溝が形成され、磁性薄膜層を分割できないことがある。
【００１０】
尚、凹部側面のテーパ角を考慮し、最表面のマスクに充分大きな幅の凹部を形成すれば、このような事態を回避しうるが、パターンが微細で凹部同士の間隔が小さい場合、最表面で凹部同士が連続し、各凹部を区別して形成できないことがある。
【００１１】
更に、マスクにおける凹部側面のテーパ角が大きいと、それだけ被加工体へのパターンの転写精度が低下しやすいという問題がある。
【００１２】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングを用いて被加工体を精密に加工することができるドライエッチング方法等を提供することをその課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング用のマスク材料として、ケイ素と、タンタルと、を含む材料を用いることにより、上記課題を解決するに至った。
【００１４】
発明者は、本発明に想到する過程において、ドライエッチングのマスク材料として種々の材料を試行錯誤したところ、ケイ素と、タンタルと、で構成されたマスク材料は、ハロゲン系ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングで加工する際、バイアスパワーの値等の設定条件により、加工形状が変化しやすいことを見出した。
【００１５】
一例を示すと、反応性イオンエッチングにおけるバイアスパワーを低減すると、マスクに形成される凹部側面のテーパ角が低減した。このようにマスクの凹部側面のテーパ角を低減することで、それだけ凹部同士の間隔が狭い微細なパターンを加工することができる。又、マスクの凹部側面のテーパ角を低減することで、被加工体へのパターンの転写精度を高めることができる。
【００１６】
このように反応性イオンエッチングの設定条件により、マスクの加工形状が変化する理由は必ずしも明らかではないが、概ね次のように考えられる。
【００１７】
反応性イオンエッチングでは、イオンの衝突という物理的作用と反応ガスの化学的作用との相乗効果により、エッチングが進行する。従来は、ガス圧の低減、バイアスパワーの増加等により、イオンの直進性を高めて凹部側面のテーパ角を抑制していた。即ち、主として反応性イオンエッチングの物理的作用を制御して、凹部側面のテーパ角を抑制していた。しかしながら、このようなガス圧、バイアスパワーの調整によるイオンの直進性の向上は既に限界にきており、被加工物に対して接近する総てのイオンを完全に垂直方向に指向することはできなかった。
【００１８】
一方、ケイ素は、タンタルよりもハロゲン系の反応ガスと反応しやすいため、ケイ素と、タンタルと、を含むマスク材料は、タンタル単体よりも、ハロゲン系ガスの化学的作用によるエッチングが進行しやすい。言い換えれば、物理的作用を多少抑制しても、エッチングが充分進行することになる。化学的作用によるエッチングは等方的に進行するため、（該マスクの加工のための他の）マスクの陰になる部分のエッチングが促進され、側面のテーパ角が小さくなると考えられる。
【００１９】
即ち、反応性イオンエッチングの物理的作用を高め、イオンの直進性を向上させることで凹部側面のテーパ角を抑制することが常識とされていた従来の技術に対し、本発明は着想、構成が全く異なっており、反応性イオンエッチングの物理的作用を抑制する一方、化学的作用を高めるという従来の反応性イオンエッチングの技術とは逆の手法で凹部側面のテーパ角が低減されていると考えられる。
【００２０】
尚、タンタルを含まないケイ素系材料も、タンタル単体よりも、ハロゲン系の反応ガスと反応しやすくエッチングが進行しやすいが、タンタルを含まないケイ素系材料は一酸化炭素を反応ガスとする反応性イオンエッチングにおいてもエッチングが進行しやすいためマスク材料として不適当である。
【００２１】
これに対し、ケイ素と、タンタルと、を含む材料は、一酸化炭素を反応ガスとする反応性イオンエッチングにおいて充分な耐エッチング性を有し、マスク材料として好適である。
【００２２】
更に、発明者は、ケイ素と、タンタルと、を含む材料は、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対するケイ素の比率を５０％以下に制限することにより、一酸化炭素を反応ガスとする反応性イオンエッチングに対する耐エッチング性がタンタル単体よりも大きくなることを見出した。即ち、それだけマスクの厚さを薄くすることができ、これによりマスクの陰になる部分を低減し、被加工体に形成される凹部側面のテーパ角を低減することができる。
【００２３】
即ち、次のような本発明により、上記課題の解決を図ることができる。
【００２４】
（１）含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング用のマスク材料であって、ケイ素と、タンタルと、を含むことを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２５】
（２）ケイ素とタンタルとの化合物、ケイ素とタンタルとの混合物のいずれかを含むことを特徴とする前記（１）の反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２６】
（３）ケイ素を含む材料を層状に形成してなるケイ素系材料層と、タンタルを含む材料を層状に形成してなるタンタル系材料層と、を積層してなる積層体であることを特徴とする前記（１）又は（２）の反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２７】
（４）ケイ素とタンタルとを含む酸化物、ケイ素とタンタルとを含む窒化物、ケイ素の酸化物、ケイ素の窒化物、タンタルの酸化物、タンタルの窒化物の少なくとも一の材料を含むことを特徴とする前記（１）乃至（３）のいずれかの反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２８】
（５）ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対する前記ケイ素の原子数の比率が０％よりも大きく、且つ、５０％以下であることを特徴とする前記（１）乃至（４）のいずれかの反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００２９】
（６）ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対する前記ケイ素の原子数の比率が１０％以上、且つ、３０％以下であることを特徴とする前記（５）の反応性イオンエッチング用のマスク材料。
【００３０】
（７）前記（１）乃至（６）のいずれかに記載の反応性イオンエッチング用のマスク材料で構成されたことを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク。
【００３１】
（８）前記（１）乃至（６）のいずれかに記載の反応性イオンエッチング用のマスク材料で構成されたマスク層を被加工体上に所定のパターンで形成するマスク形成工程と、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより前記被加工体を前記パターンの形状に加工する被加工体加工工程と、を含むことを特徴とするドライエッチング方法。
【００３２】
（９）前記マスク形成工程は、前記マスク層を第１のマスク層として、該第１のマスク層を前記被加工体上に成膜し、該第１のマスク層上に前記パターンで第２のマスク層を形成し、ハロゲン系ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより前記第１のマスク層を前記パターンの形状に加工する工程であることを特徴とする前記（８）のドライエッチング方法。
【００３３】
（１０）前記被加工体として、磁性材を加工することを特徴とする前記（８）又は（９）のドライエッチング方法。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３５】
本実施形態は、図１に示される試料の出発体にドライエッチング等の加工を施すことにより、図２に示されるような所定のラインアンドスペースパターンの形状に磁性薄膜層（磁性材）を加工するものであり、磁性薄膜層を被覆するマスクの材料、マスクの加工工程に特徴を有している。他の構成については従来と同様であるので説明を適宜省略することとする。
【００３６】
試料１０の出発体は、ガラス基板１２に、磁性薄膜層１６、第１のマスク層１８、第２のマスク層２０、レジスト層２２がこの順で形成された構成である。
【００３７】
磁性薄膜層１６は、厚さが５〜３０ｎｍで、材料はＣｏＣｒ（コバルト−クロム）合金である。
【００３８】
第１のマスク層１８は、厚さが５〜５０ｎｍで、材料はケイ素と、タンタルと、を混合したものである。又、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率は（１０％以上、且つ、３０％以下の）約２０％である。
【００３９】
第２のマスク層２０は、厚さが５〜３０ｎｍで、材料はＮｉ（ニッケル）である。
【００４０】
レジスト層２２は、厚さが３０〜３００ｎｍで、材料は電子線レジスト（ＺＥＰ５２０ 日本ゼオン社）である。
【００４１】
試料１０の加工は、図３に示されるような反応性イオンエッチング装置等を用いて行う。
【００４２】
反応性イオンエッチング装置３０はヘリコン波プラズマ方式であり、拡散チャンバー３２と、拡散チャンバー３２内に試料１０を載置するためのＥＳＣ（静電チャック）ステージ電極３４と、プラズマを発生するための石英製ベル・ジャー３６と、を備えている。
【００４３】
ＥＳＣステージ電極３４にはバイアス電圧を印加するためのバイアス電源３８が結線されている。尚、バイアス電源は、周波数が１．６ＭＨｚの交流電源である。
【００４４】
石英製ベル・ジャー３６は下端が拡散チャンバー３２内に開口し、半球面上の上部中央近傍には反応ガスを給気するための給気孔３６Ａが設けられている。又、石英製ベル・ジャー３６の周囲には、電磁コイル４０と、アンテナ４２が配設され、アンテナ４２にはプラズマ発生電源４４が結線されている。尚、プラズマ発生電源４４は、周波数が１３．５６ＭＨｚの交流電源である。
【００４５】
次に、試料１０の加工方法について、図４に示すフローチャートに沿って説明する。
【００４６】
まず、図１に示される試料１０の出発体を用意する（Ｓ１０２）。試料１０の出発体はガラス基板１２に、磁性薄膜層１６、第１のマスク層１８、第２のマスク層２０を、この順でスパッタリング法により形成し、更にレジスト層２２をスピンコート法で塗布することにより得られる。
【００４７】
この試料１０の出発体のレジスト層２２に電子線露光装置（図示省略）を用いて露光し、ＺＥＤ−Ｎ５０（日本ゼオン社）を用いて室温で５分現像して露光部を除去し、図５に示されるように微細な間隔で多数の溝を形成する（Ｓ１０４）。
【００４８】
次に、Ａｒ（アルゴン）ガスを用いたイオンビームエッチング装置（図示省略）を用いて、図６に示されるように溝底面の第２のマスク層２０を除去する（Ｓ１０６）。これにより、第１のマスク層１８側に狭まる溝が形成され、第２のマスク層２０の側面は、垂直方向から若干傾斜したテーパ形状となる。尚、この際、溝以外の領域のレジスト層２２も若干除去される。
【００４９】
次に、反応性イオンエッチング装置３０を用いてＣＦ４ガス又はＳＦ６ガス（ハロゲン系の反応ガス）を用いた反応性イオンエッチングにより、図７に示されるように溝底面の第１のマスク層１８を除去する（Ｓ１０８）。
【００５０】
具体的には、試料１０をＥＳＣステージ電極３４に載置・固定し、バイアス電圧を印加する。更に、電磁コイル４０が磁界を発し、アンテナ４２がヘリコン波を発するとヘリコン波は磁界に沿って伝播し、石英製ベル・ジャー３６の内部に高密度のプラズマが発生する。給気孔３６ＡからＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを供給するとラジカルが拡散チャンバー３２内に拡散して第１のマスク層１８の表面に付着し、反応する。又、イオンがバイアス電圧により誘導されて試料１０に衝突し、第１のマスク層１８の表面を除去する。この際、第１のマスク層１８のエッチングの進行を過度に制限しない範囲で、バイアス電源３８のバイアスパワーを低めに調節しておく。第１のマスク層１８は、材料がハロゲン系反応ガスと反応しやすいケイ素を含んでいるので、バイアスパワーをそれだけ低めに調節することができる。
【００５１】
これにより、磁性薄膜層１６側に狭まる溝が形成され、第１のマスク層１８には、垂直方向から若干傾斜したテーパ形状の側面が形成されるが、バイアスパワーを低めに調節しているので、第１のマスク層１８の側面のテーパ角は小さく制限される。尚、ここで、溝以外の領域のレジスト層２２は完全に除去される。又、溝以外の領域の第２のマスク層２０も一部除去されるが若干量が残存する。
【００５２】
次に、反応性イオンエッチング装置３０又は同様の構造の他の反応性イオンエッチング装置を用いて図８に示されるように溝底面の磁性薄膜層１６を除去する（Ｓ１１０）。
【００５３】
反応性イオンエッチング装置３０を用いる場合を例として具体的に説明すると、上記の第１のマスク層１８の反応性イオンエッチングにおけるＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスに代えて給気孔３６ＡからＣＯガス及びＮＨ３ガスを供給するとラジカルが拡散チャンバー３２内に拡散して磁性薄膜層１６の表面をカーボニル化する。又、イオンがバイアス電圧により誘導されて、カーボニル化された磁性薄膜層１６の表面を除去する。
【００５４】
これにより、基板１２側に狭まる溝が形成され、磁性薄膜層１６には、垂直方向から若干傾斜したテーパ形状の側面が形成される。
【００５５】
ここで、第１のマスク層１８は、材料がケイ素と、タンタルと、を混合したものであり、且つ、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が（１０％以上、且つ、３０％以下の）約２０％であり、後述するようにＣＯガス及びＮＨ３ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングに対するエッチングレートが低い（耐エッチング性が高い）ので、それだけ第１のマスク層１８は薄く形成されている。従って、垂直方向から若干傾斜して接近するガスに対し、第１のマスク層１８の陰となる部分は小さく、磁性薄膜層１６の側面のテーパ角はそれだけ小さく制限される。即ち、パターンが微細であっても、磁性薄膜層１６は精密に加工され、磁性薄膜層１６が多数の記録要素１６Ａに分割される。
【００５６】
尚、この反応性イオンエッチングにより、溝以外の領域の第２のマスク層２０が完全に除去される。又、溝以外の領域の第１のマスク層１８も一部が除去されるが一定量が記録要素の上面に残存する。
【００５７】
次に、ＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを用いた反応性イオンエッチングにより、図８に示されるように記録要素１６Ａの上面に残存する第１のマスク層１８を完全に除去する（Ｓ１１２）。尚、ＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを用いた反応性アッシング装置（図示省略）で記録要素の上面に残存する第１のマスク層１８を除去してもよい。
【００５８】
これにより、試料１０の加工が完了する。
【００５９】
以上のように、磁性薄膜層１６を被覆する第１のマスク層１８の材料として、ＣＯガス及びＮＨ３ガスからなる反応ガスを用いた反応性イオンエッチングに対するエッチングレートが低いケイ素及びタンタルで構成された材料を用いることで、第１のマスク層１８の厚さを薄くすることができ、側面のテーパ角が小さい記録要素１６Ａを形成することができる。
【００６０】
又、ケイ素及びタンタルで構成された材料を用いることで、ハロゲン系の反応ガスを用いた反応性イオンエッチングの設定条件を調節し、第１のマスク層１８自体の側面のテーパ角を低減でき、これによりパターンの転写精度を高めることができる。
【００６１】
更に、記録要素１６Ａの側面のテーパ角、第１のマスク層１８の側面のテーパ角、を低減することができるので、溝のピッチが小さい微細なパターンを磁性薄膜層１６に転写することができる。
【００６２】
尚、本実施形態において、磁性薄膜層１６を加工するための反応性イオンエッチングの反応ガスとしてＮＨ３ガスが添加されたＣＯガスを用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＣＯの分解を抑制する作用を有するアミン類ガス等の他の含窒素化合物ガスが添加されたＣＯガスを反応ガスを用いて磁性薄膜層１６を加工してもよい。
【００６３】
又、本実施形態において、第１のマスク層１８を加工するための反応性イオンエッチングの反応ガスとしてＣＦ４ガス又はＳＦ６ガスを用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、他のハロゲン系の反応ガスを用いて第１のマスク層１８を加工してもよい。
【００６４】
又、本実施形態において、磁性薄膜層１６、第１のマスク層１８を加工するための反応性イオンエッチング装置３０はヘリコン波プラズマ方式であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、平行平板方式、マグネトロン方式、２周波励磁方式、ＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）方式、ＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）方式等、他の方式の反応性イオンエッチング装置を用いてもよい。
【００６５】
又、本実施形態において、レジスト層２２及び第２のマスク層２０を第１のマスク層１８上に形成し、電子線露光装置及びイオンビームエッチングを用いて第２のマスク層２０を所定のパターンに形成しているが、ハロゲン系の反応ガスに対して耐エッチング性を有する第２のマスク層を第１のマスク層１８上に高精度で形成することができれば、第１のマスク層１８上のマスク層、レジスト層の材料、加工方法及びこれらの積層数は特に限定されない。例えば、レジスト層２２に微細な間隔で溝を形成する方法として、電子線露光装置に代えて、ナノ・インプリント法を用いてもよい。
【００６６】
又、本実施形態において、第１のマスク層１８の材料は、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が約２０％であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料であれば、その比率に拘らず、ハロゲン系の反応ガスを用いた反応性イオンエッチングの設定条件を調節することで、加工形状を制御することが可能であり、マスクに形成されるテーパ角を低減することができる。
【００６７】
尚、後述するように、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率を５０％以下とすれば、ＣＯ及びＮＨ３を反応ガスとする反応性イオンエッチングに対するエッチングレートをタンタル単体よりも低く（耐エッチング性を高く）でき、特にケイ素の原子数の比率を１０％以上、且つ、３０％以下とすることで、タンタル単体よりもエッチングレートを大幅に低くすることができ、好ましい。
【００６８】
又、本実施形態において、第１のマスク層１８の材料は、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料であるが、ケイ素に代えて、例えば二酸化ケイ素、窒化ケイ素等の他のケイ素系の材料を用いてもよい。また、タンタルに代えて、例えば酸化タンタル、窒化タンタル等の他のタンタル系材料を用いてもよい。また、ケイ素とタンタルとを含む化合物を用いてもよい。また、ケイ素系材料の層とタンタル系材料の層との積層体でもよい。尚、積層体の場合、ケイ素系材料の層がタンタル系材料を含んでいてもよく、タンタル系材料の層がケイ素系材料を含んでいてもよい。この場合も、ハロゲン系の反応ガスを用いた反応性イオンエッチングの設定条件を調節することで、マスクの加工形状を制御し、マスクに形成されるテーパ角を低減することが可能である。又、ＣＯ及びＮＨ３を反応ガスとする反応性イオンエッチングに対するエッチングレートをタンタル単体よりも低くすることもできる。
【００６９】
又、本実施形態において、試料１０はガラス基板１２に磁性薄膜層１６を直接形成した構成の試験用の試料であるが、ハードディスク等の磁気ディスク、光磁気ディスク、磁気テープ、磁気ヘッド等、磁性材を有して構成される種々の記録媒体、装置の加工に本発明を適用可能であることは言うまでもない。
【００７０】
又、本実施形態において、磁性薄膜層１６の材質はＣｏＣｒ合金であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、鉄属元素（Ｃｏ、Ｆｅ（鉄）、Ｎｉ）を含む他の合金、これらの積層体等の他の材質の磁性材の加工のためのマスク材料としても、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料は好適である。
【００７１】
又、本実施形態において、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料を磁性材の加工のために用いているが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＣＯ及びＮＨ３を反応ガスとする反応性イオンエッチングで加工可能な材料であれば、例えばＰｔ等の非磁性材の加工のためのマスク材料としても、ケイ素と、タンタルと、を混合してなるマスク材料は好適である。
【００７２】
（実施例１）
上記実施形態のとおり、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率を約２０％とした。即ち、タンタルの原子数と、ケイ素の原子数と、の組成比率を約４：１とした。
【００７３】
又、磁性薄膜層１６の厚さを約２５ｎｍ、第１のマスク層１８の厚さを約２０ｎｍ、第２のマスク層２０の厚さを約１５ｎｍ、レジスト層２２の厚さを約１３０ｎｍとし、試料１０の出発体を２個作製した。
【００７４】
レジスト層２２に、ピッチが約１２０ｎｍ、ラインとスペースとの比率が約１：１のパターン（即ちライン幅、スペース幅がいずれも約６０ｎｍのパターン）を露光・現像したところ、側面が垂直な溝が形成された。
【００７５】
第２のマスク層２０には、側面がテーパ形状の溝が形成され、溝底面のスペース幅は約５５ｎｍ（ライン幅は約６５ｎｍ）であった。
【００７６】
第１のマスク層１８にも側面がテーパ形状の溝が形成された。第１のマスク層１８の加工において、ソースパワーは１０００Ｗで一定に保持する一方、バイアスパワーは２つの試料について異なる値とし、それぞれ１５０Ｗ、７５Ｗに調節したところ、バイアスパワーが１５０Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約２３ｎｍであった。一方、バイアスパワーが７５Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約３８ｎｍであった。尚、反応性イオンエッチング装置のステージ電極は直径６インチのものを用いた。
【００７７】
磁性薄膜層１６にも側面がテーパ形状の溝が形成された。尚、磁性薄膜層１６の加工においては、いずれの試料についてもソースパワーを１０００Ｗ、バイアスパワーを２５０Ｗで一定に保持した。第１のマスク層１８の底面のスペース幅が２３ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約１５ｎｍであった。一方、第１のマスク層１８の底面のスペース幅が３８ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約２９ｎｍであった。
【００７８】
（実施例２）
上記実施例１に対し、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率を約８０％とした。即ち、タンタルの原子数と、ケイ素の原子数と、の組成比率を約１：４とした。その他の条件は、上記実施例１と同様とし、試料１０の出発体を２個作製した。レジスト層２２、第２のマスク層２０を加工したところ、第２のマスク層２０には、側面がテーパ形状の溝が形成され、実施例１と同様に底面のスペース幅は約５５ｎｍ（ライン幅は約６５ｎｍ）であった。
【００７９】
又、実施例１と同様に、第１のマスク層１８の加工において、ソースパワーは１０００Ｗで一定に保持する一方、バイアスパワーは２つの試料について異なる値とし、それぞれ１５０Ｗ、７５Ｗに調節したところ、バイアスパワーが１５０Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約１５ｎｍであった。一方、バイアスパワーが７５Ｗの場合、溝底面のスペース幅は約４５ｎｍであった。
【００８０】
又、磁性薄膜層１６にも側面がテーパ形状の溝が形成され、第１のマスク層１８の底面のスペース幅が１５ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約７ｎｍであった。一方、第１のマスク層１８の底面のスペース幅が４５ｎｍの場合、磁性薄膜層１６の底面のスペース幅は約３６ｎｍであった。
【００８１】
（比較例）
上記実施例１に対し、第１のマスク層１８の材料をケイ素を含まない、ほぼ純粋なタンタルとした。その他の条件は、上記実施例１と同様とし、試料１０の出発体を２個作製した。レジスト層２２、第２のマスク層２０を加工したところ、第２のマスク層２０には、側面がテーパ形状の溝が形成され、底面のスペース幅は約５５ｎｍ（ライン幅は約６５ｎｍ）であった。
【００８２】
実施例１と同様に、第１のマスク層１８の加工において、ソースパワーは１０００Ｗで一定に保持する一方、バイアスパワーは２つの試料について異なる値とし、それぞれ１５０Ｗ、７５Ｗに調節したところ、バイアスパワーが１５０Ｗの場合、底面のスペース幅は約２５ｎｍであった。一方、バイアスパワーが７５Ｗの場合も、底面のスペース幅は約２５ｎｍであった。
【００８３】
以上、実施例１、実施例２及び比較例の結果を表１に対比して示す。
【００８４】
【表１】
実施例１、実施例２では、比較例に対して、磁性薄膜層１６の加工形状を、側面のテーパ角が小さいものとすることができた。また、実施例１、実施例２では、バイアスパワーを調節することで、側面のテーパ角が小さくなることが確認された。一方、比較例ではバイアスパワーを調節しても、スペース幅は一定で変化しないことが確認された。
【００８６】
（実施例３）
ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が異なる複数種類のマスク材料で第１のマスク層１８を形成し、ＣＯガス及びＮＨ３ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにおける、第１のマスク層１８の選択比を測定したところ図９に示されるような結果が得られた。ここで、選択比は、磁性薄膜層１６のエッチング速度を第１のマスク層１８のエッチング速度で除した値である。
【００８７】
図９に示されるように、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が０％よりも大きく、且つ、５０％以下であれば、選択比は、純粋なタンタルを材料とするマスクの選択比である３３よりも大きくなり、マスク材料として好ましい比率であることが確認された。
【００８８】
又、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が５％以上、且つ、４０％以下であれば、選択比が４５以上となり更に好ましく、特に、ケイ素の原子数の比率が１０％以上、且つ、３０％以下であれば、５０以上の選択比が得られ、一層好ましい比率であることが確認された。尚、ケイ素の原子数の比率が約２０％で選択比は約６６．７で最大となり、特に好ましい。
【００８９】
尚、ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計した原子数に対するケイ素の原子数の比率が８０％を超えると、記録要素１６Ａの側面上端近傍が過度に除去される傾向があり、パターン、マスクの膜厚、反応性イオンエッチングの設定条件等を調整しても、記録要素１６Ａが丸みを帯びた形状に加工され、所望の加工が困難となる場合があるため、ケイ素の原子数の比率は８０％以下が好ましい。
【００９０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングを用いて被加工体のエッチング対象領域を精密に加工することが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る試料の出発体の構成を模式的に示す側断面図
【図２】同出発体を加工して得られる試料の完成体の構造を模式的に示す側断面図
【図３】同試料の加工に用いられる反応性イオンエッチング装置の構造を模式的に示す一部ブロック図を含む側面図
【図４】同試料の加工工程を示すフローチャート
【図５】レジスト層がパターンで分割された試料の形状を示す側断面図
【図６】溝底面の第２のマスク層が除去された試料の形状を模式的に示す側断面図
【図７】溝底面の第１のマスク層が除去された試料の形状を模式的に示す側断面図
【図８】磁性薄膜層が分割された試料の形状を模式的に示す側断面図
【図９】第１のマスク層の材料のケイ素の比率とエッチングの選択比との関係を示すグラフ
【図１０】理想的な凹部形状及び従来のドライエッチングによる実際の凹部形状を模式的に示す側断面図
【符号の説明】
１０…試料
１２…ガラス基板
１６…磁性薄膜層
１８…第１のマスク層
２０…第２のマスク層
２２…レジスト層
３０…反応性イオンエッチング装置
Claims (9)
- 含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング用のマスク材料であって、
ケイ素、ケイ素の酸化物、ケイ素の窒化物のいずれかであるケイ素系材料と、タンタル、タンタルの酸化物、タンタルの窒化物のいずれかであるタンタル系材料と、から実質的になることを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク材料。 - 請求項１において、
ケイ素とタンタルとの化合物、ケイ素とタンタルとの混合物のいずれかであることを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク材料。 - 請求項１又は２において、
前記ケイ素系材料を層状に形成してなるケイ素系材料層と、前記タンタル系材料を層状に形成してなるタンタル系材料層と、を積層してなる積層体であることを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク材料。 - 請求項１乃至３のいずれかにおいて、
ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対する前記ケイ素の原子数の比率が０％よりも大きく、且つ、５０％以下であることを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク材料。 - 請求項４において、
ケイ素の原子数と、タンタルの原子数と、を合計してなる原子数に対する前記ケイ素の原子数の比率が１０％以上、且つ、３０％以下であることを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク材料。 - 請求項１乃至５のいずれかに記載の反応性イオンエッチング用のマスク材料で構成されたことを特徴とする反応性イオンエッチング用のマスク。
- 請求項１乃至５のいずれかに記載の反応性イオンエッチング用のマスク材料で構成されたマスク層を被加工体上に所定のパターンで形成するマスク形成工程と、含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより前記被加工体を前記パターンの形状に加工する被加工体加工工程と、を含むことを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項７において、
前記マスク形成工程は、前記マスク層を第１のマスク層として、該第１のマスク層を前記被加工体上に成膜し、該第１のマスク層上に前記パターンで第２のマスク層を形成し、ハロゲン系ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングにより前記第１のマスク層を前記パターンの形状に加工する工程であることを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項７又は８において、
前記被加工体として、磁性材を加工することを特徴とするドライエッチング方法。
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