JP3971391B2 - 光ディスク製造用のアライメント装置 - Google Patents

Description

本発明は、ディスク基板の記録面上に薄膜状のカバーシートを貼り合わせて光ディスクを製造する際に、カバーシートの中心とディスク基板の中心とを一致させる光ディスク製造用のアライメント装置に関する。

レーザ光を用いて情報を記録し、又は再生する光ディスクとしては、例えば、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-recordable)、ＣＤ（Compact Disc)、ＤＶＤ（digital versatile disc）、ＤＶＤ−Ｒ（digital versatile disc-recordable）等が既に普及しているが、近年、光ディスクに対しては、映像情報等の情報を更に大量に格納したいという要望があり、記録情報の高密度化の検討が進んでいる。このような光ディスクに対する情報記録密度は、おおむねディスク上の光ビームのスポットサイズで決まり、このスポットサイズは、レーザ波長をλ、対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／ＮＡに比例する。このため、光ディスクに対する記録密度を高めるためには、レーザ光の短波長化が必要となると共に、対物レンズの高ＮＡ化が効果的である。しかし、光ディスクの傾きにより発生するコマ収差はＮＡの３乗に比例して大きくなるため、高ＮＡ化によってディスクのチルト等による傾きに対するマージンが極めて小さくなり、わずかな傾きでもビームスポットがぼやけ、高密度での記録及び再生が実現できなくなる。従って、高密度化に適した従来の光ディスクでは、レーザ光の透過層であるカバー層を十分薄いもの（例えば、０．１ｍｍ程度のもの）とし、高ＮＡに伴うディスクの傾きによるコマ収差の増加を抑制する必要がある（例えば、特許文献１参照）。

上記のような光ディスクの製造ラインでは、例えば、予め情報記録層が形成されたディスク基板の記録面上に樹脂フィルムを基材とする薄膜状のカバーシートを貼り合せ、このカバーシートによりディスク基板上に透明なカバー層を形成して光ディスクを製造する。ここで、カバーシートは、樹脂フィルム及びこの樹脂フィルムの片側の面に形成された粘着膜から構成されている。このカバーシートをディスク基板に貼り合わせる際には、先ず、カバーシートの粘着膜上にディスク基板を重ね合せてカバーシートとディスク基板との積層体（以下、これを「ディスク積層体」という。）を構成する。この状態では、粘着膜全体がディスク基板の記録面に均一に密着しておらず、カバーシートがディスク基板へ十分な接合力で接合されていない。このため、光ディスクの製造ラインでは、ディスク積層体をその厚さ方向に沿って所定の加圧力で加圧し、カバーシート全体をディスク基板の記録面に均一に密着させる。これにより、ディスク積層体におけるカバーシートがディスク基板へ十分な接合力で貼り合わされて、製品素材として光ディスクが製造される。

上記のようにして製造された光ディスクでは、ディスク基板のセンターとカバーシートのセンターを十分に高い精度で一致させる必要があり、具体的には、ディスク基板のセンターに対するカバーシートの偏芯許容量を１００μｍ程度に設定する必要がある。

上記のような光ディスクを製造する光ディスクの製造装置（以下、「光ディスク製造装置」という。）としては、例えば、特許文献２に示されているものがある。この特許文献２の光ディスク製造装置では、カバーシートを２軸アライメントステージ２に真空吸着してＣＣＤカメラ等が設置された画像処理位置へ移動させ、この画像処理位置では９０度間隔に配置された３台のＣＣＤカメラによりカバーシートの情報記録領域外周部の画像を撮り込む。次いで、この光ディスク製造装置では、カバーシートの情報記録領域外周部より撮り込んだ画像情報とリファレンスデータとを比較して２軸アライメンステージを２軸方向（Ｘ−Ｙ軸方向）で移動させて偏芯アライメントを行った後、２軸アライメントステージ上にディスク基板を供給し、このディスク基板のセンターホール内に３点クランプ装置を挿入し、この３点クランプ装置によりディスク基板をクランプしつつディスク基板のセンタリング（中心合わせ）を行う。この後、光ディスク製造装置では、２軸アライメンステージと共にカバーシート及びディスク基板を真空槽内へ格納し、この真空槽内を所定の真空度まで減圧した後に、真空槽内で弾性を有する加圧部材であるパッドによりディスク基板を支持テーブル上のカバーシート側へ加圧し、カバーシートとディスク基板とを貼り合わせる。
特開平１１−３１３３７号公報（第９−１０頁、図４） 特開２００３−２１７１９２号公報（第８頁、図１及び図２）

しかしながら、上記のような光ディスク製造装置では、カバーシートの中心とディスク基板の中心とを十分な精度で位置合わせするために、複数台のＣＣＤカメラ、これらのＣＣＤカメラから得られた画像情報を処理し、位置合わせ用の制御情報を生成する情報処理部、及び情報処理部からの制御情報に従って２軸方向へ高精度に位置調整可能とされたアライメントステージが必要となる。このため、上記のような光ディスク製造装置では、カバーシートの中心とディスク基板の中心とを十分な精度で位置合わせするための機構（アライメント機構）が複雑なものになると共に、これらを十分な精度で位置合わせするために要する時間も長いものになってしまう。

本発明の目的は、上記事実を考慮して、カバーシートの開口部及びディスク基板のセンターホールに支持テーブルに設けられたセンターピンを挿入するだけで、カバーシートの中心とディスク基板の中心とを十分な精度で位置合わせできる光ディスク製造用のアライメント装置を提供することにある。

本発明に係る光ディスク製造用のアライメント装置は、中心部に円形のセンターホールが穿設された円板状のディスク基板と、中心部にディスク基板のセンターホールよりも大径とされた円形の開口部が穿設され、ディスク基板に貼り合わされて透明のカバー層を形成するカバーシートとから光ディスクを製造する際に、カバーシートの中心とディスク基板の中心とを位置合わせする光ディスク製造用のアライメント装置であって、平面状の載置面が設けられ、該載置面上にカバーシートが載置される支持テーブルと、前記載置面から上方へ突出するように前記支持テーブルに配置され、高さ方向中間部にディスク基板のセンターホール周縁部を支持するディスク支持部が設けられると共に、該ディスク支持部の上端側に前記ディスク支持部上に載置されるディスク基板のセンターホール内に挿入されるディスク挿入部が設けられ、かつ下端側に前記載置面上に載置されるカバーシートの開口部内に挿入されるシート挿入部が設けられたセンターピンと、前記ディスク挿入部の上端部と前記シート挿入部の下端部との間に延在するように前記センターピンに設けられると共に、上端側に設けられたディスク付勢部と下端側に設けられたシート付勢部との中間部位に設けられた支軸部を中心として前記センターピンにより揺動可能に支持されたアライメントレバーと、前記アライメントレバーを、その揺動方向に沿って前記ディスク付勢部が外周側へ押し出され、かつ前記シート付勢部が内周側へ押し込まれるように付勢する付勢部材とを有し、前記アライメントレバーは、ディスク基板がディスク挿入部の先端部から前記ディスク支持部まで下降すると、これに連動し、前記ディスク付勢部がディスク基板の内周面により押圧されて内周側へ押し込まれると共に、前記シート付勢部が外周側へ押し出されて前記載置面上のカバーシートの内周面を押圧することにより、カバーシート及びディスク基板とをそれぞれ同一のアライメント方向へ付勢することを特徴とする。

本発明に係る光ディスク製造用のアライメント装置では、ディスク基板がセンターピンにおけるディスク挿入部の先端部からディスク支持部まで下降すると、これに連動し、センターピンに設けられたアライメントレバーのディスク付勢部がディスク基板の内周面により押圧されて内周側へ押し込まれると共に、シート付勢部が外周側へ押し出されて載置面上のカバーシートの内周面を押圧することにより、カバーシート及びディスク基板とをそれぞれ同一のアライメント方向へ付勢する。

これにより、カバーシートの内周面がシート挿入部におけるアライメント方向とは反対側の端部へ圧接すると共に、ディスク基板の内周面がディスク挿入部におけるアライメント方向とは反対側の端部に圧接し、カバーシートの内周面とシート挿入部の外周面と間のガタ及びディスク基板の内周面とディスク挿入部の外周面との間のガタをそれぞれ消失させることができるので、カバーシート及びディスク基板を、シート挿入部及びディスク挿入部におけるアライメント方向とは反対側の端部をそれぞれ位置決めのための基準として精度良く位置決めできる。

このとき、ディスク基板のセンターホール及びカバーシートの開口部がそれぞれ十分に高い寸法精度で形成されていれば、開口部の内径とセンターホールの内径との差と等しい寸法だけシート挿入部の外径をディスク挿入部の外径よりも拡大することにより、センターホールとディスク挿入部との寸法差（ガタ）及び開口部とシート挿入部との寸法差（ガタ）に影響されることなく、ディスク基板の中心とカバーシートの中心とを十分に高い精度で位置合わせできる。

以上説明したように本発明に係る光ディスク製造用のアライメント装置によれば、カバーシートの開口部及びディスク基板のセンターホールに支持テーブルに設けられたセンターピンを挿入するだけで、カバーシートの中心とディスク基板の中心とを十分な精度で位置合わせできる。

以下、本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置について図面を参照して説明する。

先ず、本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置により製造される光ディスクの構成について説明する。図１には、本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置により製造された光ディスクが示されている。この光ディスク１０は、従来のＤＶＤ−Ｒ等の光ディスクに対して高密度の情報記録が可能とされたものであり、例えば、従来の光ディスクと比較して、記録再生用のレーザ光として短波長の青紫レーザ光を用いると共に、ディスク駆動装置の対物レンズの開口数ＮＡを０．８５程度まで増大することで、１２ｃｍ径の光ディスク１０に対する片面記録容量を２７Ｇバイト程度まで高めることを想定している。

光ディスク１０には、円板状に形成されたディスク基板１２が設けられており、このディスク基板１２の片側の面は情報の記録面１４とされている。ディスク基板１２の記録面１４側には、光反射層１８及び光吸収層２０が順に積層されており、これらの光反射層１８及び光吸収層２０により情報記録層（以下、単に「記録層」という。）１６が構成されている。また光ディスク１０には、記録層１６を覆うようにディスク基板１２上に透明なカバー層２２が設けられている。このカバー層２２は、透明樹脂を素材とするカバーシート２４により構成され、その厚さが１００μｍ程度とされている。

ディスク基板１２は、ＰＣ（ポリカーボネイト）等の樹脂を素材としてモールド成形されている。またカバーシート２４は、ＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の透明な樹脂フィルム２６及び、この樹脂フィルム２６の片側の面に形成された粘着膜２８からなる。粘着膜２８は、公知のアクリル系、ゴム系、シリコン系等の粘着剤により形成されるが、透明性及び耐久性の観点からは、アクリル系粘着剤が望ましい。またカバーシート２４における樹脂フィルム２６及び粘着膜２８のそれぞれの厚さは、カバー層２２の設定値に応じて決められるが、例えば、カバー層２２の厚さの設定値が１００μｍの場合には、樹脂フィルム２６の厚さが８０μｍに設定され、粘着膜２８の厚さが２０μｍに設定される。

ディスク基板１２の中心部には、光ディスク１０の回転中心となる軸心ＳＤに沿って円形のセンターホール２９が穿設されている。またカバー層２２の中心部には、軸心ＳＤを中心としてセンターホール２９よりも大径とされた円形の開口部３０が形成されている。

図２には、本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置が示されている。この光ディスク製造装置４０は光ディスクの製造ラインに配置され、モールド成形等により成形されたディスク基板１２にカバーシート２４を貼り合わせて光ディスク１０を製造するためのものであり、光ディスク製造装置４０には、光ディスクの製造ラインにてそれぞれ独立した工程を経て製造されたディスク基板１２及びカバーシート２４が供給される。

光ディスク製造装置４０には、装置全体を制御するための制御ユニット３８（図４参照）を内蔵した本体ケーシング４２が設けられており、この本体ケーシング４２の上面部には、その中央付近に円板状の第１ターンテーブル４４が設置されている。この第１ターンテーブル４４は、その軸心Ｓ１を中心として本体ケーシング４２により回転可能に支持されている。第１ターンテーブル４４上の外周側には、それぞれ円板状に形成された６個のテーブル台４６が軸心Ｓ１を中心とする周方向に沿って等ピッチ（６０°ピッチ）で配置されている。これらのテーブル台４６上には、それぞれ円板状の支持テーブル４８が同軸的に配置されている。支持テーブル４８の上面は、図３に示されるように、平滑な平面からなる載置面４９とされ、この載置面４９上にはカバーシート２４が載置可能とされている。

各支持テーブル４８には、その載置面４９の中心部から突出するようにセンターピン５０が配置されている。センターピン５０は、図４に示されるように、第１ターンテーブル４４、テーブル台４６及び支持テーブル４８をそれぞれ貫通するスライド穴５２内へ摺動可能に挿入されており、その先端側を支持テーブル４８の載置面４９の中心部から突出させている。センターピン５０は先端側と後端側の外径が異なる略円柱状に形成されており、支持テーブル４８と同軸的に配置されている。

図５に示されるように、センターピン５０には、その先端部に先細りの先端テーパ部１３０が設けられると共に、この先端テーパ部１３０の下側に基端側よりも外径が小さく、かつ外径が一定とされたディスク挿入部１３２が設けられている。このディスク挿入部１３２は、その外径がディスク基板１２のセンターホール２９内径の寸法公差下限値（１５ｍｍ）よりも僅かに（本実施形態では、５０〜１００μｍ）小さくされている。センターピン５０には、ディスク挿入部１３２に対して基端側の部分に外径一定のシート挿入部１３４が設けられており、このシート挿入部１３４の外径は、カバーシート２４の開口部３０内径の寸法公差下限値（２２ｍｍ）よりも僅かに（本実施形態では、５０〜１００μｍ）小さくされている。またセンターピン５０には、ディスク挿入部１３２の下端から外周側へ延出する段差状のディスク支持部１３６が設けられると共に、このディスク支持部１３６の外周端からシート挿入部１３４の上端との間に基端側へ向かって外径が徐々に拡大する中間テーパ部１３８が形成されている。

図６に示されるように、センターピン５０内には、軸心Ｓ２を中心とする径方向に沿った一端部に軸方向へ延在する中空状のレバー収納室１４０が形成されており、このレバー収納室１４０の下端部には外周側へ向かって挿通穴１４２が穿設されている。この挿通穴１４２の外周端は、センターピン５０におけるシート挿入部１３４の外周面に開口している。図５に示されるように、センターピン５０における先端テーパ部１３０及びディスク挿入部１３２は、その内周側が中空状とされると共に、周方向に沿って３個の分割片１４４に３分割され、これら３個の分割片１４４間にそれぞれ径方向へ延在する３本のスリット部１４６が形成されている。ここで、レバー収納室１４０の上端は１本のスリット部１４６に面して開口している。

レバー収納室１４０内には、図６に示されるように、上下方向に沿って細長いアライメントレバー１５０が収納されている。アライメントレバー１５０の下端部には、挿通穴１４２を通して外周側へ突出するＬ字状のシート付勢部１５２が形成されており、このシート付勢部１５２の先端部には、軸心Ｓ２を中心としてシート挿入部１３４の外周面と略同一の曲率半径で湾曲するシート押圧面１５４（図５参照）が形成されている。またアライメントレバー１５０の上端部には、レバー収納室１４０からスリット部１４６内へ突出する楔状のディスク付勢部１５６が形成されている。このディスク付勢部１５６の外周面には、図５に示されるように、下端側に軸心Ｓ２を中心としてディスク挿入部１３２の外周面と略同一の曲率半径で湾曲するディスク押圧面１５８が形成されると共に、上端側に先端テーパ部１３０の外周面と略同一の形状及び傾きを有するディスクガイド面１６０が形成されている。

図６に示されるように、アライメントレバー１５０には、その内周側の端面部に凹状のスプリング収納部１６２が形成されている。このスプリング収納部１６２は、軸方向に沿ってアライメントレバー１５０の中心付近に配置されており、その外周側の底面部からは内周側へ支持突起１６４が突出している。またアライメントレバー１５０には、スプリング収納部１６２とシート付勢部１５２との間にアライメントレバー１５０の幅方向へ貫通する支軸穴１６６が穿設されている。一方、センターピン５０には、レバー収納室１４０内に支軸穴１６６に対応する支軸１６８が設けられており、この支軸１６８は支軸穴１６６内へ相対的に回動可能となるように挿入されている。これにより、アライメントレバー１５０は、支軸１６８を中心としてセンターピン５０により揺動可能に支持される。また支軸穴１６６の内径は支軸１６８の外径よりも所定の寸法差Ｄ（図６（Ａ）参照）だけ拡大されており、支軸穴１６６と支軸１６８との間には、寸法差Ｄに対応する隙間（ガタ）が形成される。

アライメントレバー１５０のスプリング収納部１６２内にはコイルスプリング１７０が収納されている。このコイルスプリング１７０内には、外周側の端面から支持突起１６４が嵌挿されており、これにより、コイルスプリング１７０は、スプリング収納部１６２内で径方向と略平行になるように支持される。ここで、コイルスプリング１７０は、スプリング収納部１６２の底面部分とレバー収納室１４０の内周側の内面部分との間で圧縮状態とされており、支軸１６８を中心とする揺動方向においてアライメントレバー１５０を常に所定の加圧方向（図６（Ａ）の矢印Ｐ方向）へ付勢している。具体的には、アライメントレバー１５０は、コイルスプリング１７０によりディスク付勢部１５６が外周側へ押し出され、かつシート付勢部１５２が内周側へ押し込まれるように付勢される。

またアライメントレバー１５０の支軸穴１６６とセンターピン５０の支軸１６８との間に寸法差Ｄに対応するガタが形成されていることより、アライメントレバー１５０は、寸法差Ｄと等しいストロークで径方向へ移動可能とされると共に、径方向ではコイルスプリング１７０の付勢力で常に外周側へ付勢されている。

図４に示されるように、センターピン５０は、その下端側を本体ケーシング４２内まで突出させており、センターピン５０の下端部にはブロック状のジョイント部材６０が取り付けられている。また本体ケーシング４２内には、センターピン５０の下側に第１リニアアクチュエータ６２が配置されている。第１リニアアクチュエータ６２は、シリンダ６４及びこのシリンダ６４から上方へ突出する駆動ロッド６６を備えており、駆動ロッド６６をシリンダ６４により高さ方向（矢印Ｈ方向）に沿ってスライド可能に支持している。駆動ロッド６６の先端部にはジョイント部材６１が取り付けられており、駆動ロッド６６は、ジョイント部材６０，６１を介してセンターピン５０に着脱可能に連結されている。

ここで、第１リニアアクチュエータ６２のシリンダ６４は、ブラケット（図示省略）を介して本体ケーシング４２における周回位置Ｐ３に対応する位置に固定されており、第１ターンテーブル４４が回転してカバーシート２４及びディスク基板１２が載置された支持テーブル４８が周回位置Ｐ３に移動してくると、その支持テーブル４８に配置されたセンターピン５０のジョイント部材６０が駆動ロッド６６のジョイント部材６１に嵌挿されて連結される。また支持テーブル４８上でのカバーシート２４とディスク基板１２との貼り合せが完了した後、第１ターンテーブル４４が回転して支持テーブル４８が周回位置Ｐ３から離脱すると、その支持テーブル４８のジョイント部材６０もジョイント部材６１から離脱する。

第１リニアアクチュエータ６２は、制御ユニット３８によりサーボ制御可能とされており、制御ユニット３８から入力した制御信号に対応する速度で駆動ロッド６６を所定の移動量だけ上昇又は下降させる。これにより、センターピン５０は、駆動ロッド６６の移動量に応じて支持テーブル４８の載置面４９からの突出長を変化させる。

図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には、第１ターンテーブル４４の外周側に、シート供給ユニット６８、ディスク供給ユニット７０、第１ターンテーブル４４よりも小径の第２ターンテーブル７２及びディスク搬出ユニット７４が設置されている。なお、図２では、シート供給ユニット６８によりカバーシート２４の供給を受ける位置にある支持テーブル４８を起点とし、第１ターンテーブル４４の回転方向（反時計方向）に沿って６個の支持テーブル４８及びテーブル台４６が保持される位置をそれぞれ周回位置Ｐ１〜Ｐ６として以下の説明を行う。

シート供給ユニット６８は、周回位置Ｐ１に保持された支持テーブル４８の外周付近に配置されている。このシート供給ユニット６８は、周回位置Ｐ１にある支持テーブル４８上にカバーシート２４を供給するためのものである。またディスク供給ユニット７０は周回位置Ｐ２の外周付近に配置されており、このディスク供給ユニット７０には、複数枚のディスク基板１２が積載可能とされたディスク台７６及び、このディスク台７６上に積載された複数枚のディスク基板１２から１枚のディスク基板１２を把持し、このディスク基板１２を周回位置Ｐ２にある支持テーブル４８上へ搬送する搬送アーム７８が設けられている。

光ディスク製造装置４０には、周回位置Ｐ３にあるテーブル台４６の上方に真空槽８０が配置されている。真空槽８０は、図４に示されるように、下方に向った開いた容器状に形成されており、その下端面には全周に亘って弾性を有するシール部材（図示省略）が取り付けられている。また光ディスク製造装置４０には、真空槽８０の上方に支持フレーム８４が配置されており、この支持フレーム８４は、真空槽８０を吊り下げた状態でテーブル台４６の上方に支持している。また真空槽８０の頂面部にはサブフレーム８６が固定されている。

図４に示されるように、支持フレーム８４には、真空槽８０を昇降するための第２リニアアクチュエータ８８が搭載されている。この第２リニアアクチュエータ８８は、支持フレーム８４に固定されたシリンダ９０及び、このシリンダ９０から下方へ突出する駆動ロッド９２を備えており、駆動ロッド９２の先端部がサブフレーム８６に連結されている。第２リニアアクチュエータ８８は、制御ユニット３８により制御され、制御ユニット３８からの制御信号に従って真空槽８０をテーブル台４６の上方へ離間した開放位置（図４参照）及び真空槽８０の下端面をテーブル台４６に圧接させる密閉位置（図８参照）の何れかに保持する。ここで、密閉位置に保持された真空槽８０内には外部から密閉された気密室９４が形成される。

真空槽８０内には、略肉厚円板状に形成された加圧部材９６が支持テーブル４８に正対するように支持され、この加圧部材９６の下面部には弾性を有する弾性パッド９８が固着されている。一方、サブフレーム８６には、加圧部材９６を支持及び駆動するための第３リニアアクチュエータ１００が搭載されている。この第３リニアアクチュエータ１００は、サブフレーム８６に固定されたシリンダ１０２及び、このシリンダ１０２から下方へ突出する駆動ロッド１０４を備えており、この駆動ロッド１０４は、真空槽８０の頂板部に取付けられたシールリング１０６内を挿通して真空槽８０内まで突出し、その先端部が加圧部材９６の上面中央部に連結されている。

第３リニアアクチュエータ１００は、真空槽８０が密閉位置に保持された状態で、制御ユニット３８により制御され、制御ユニット３８からの制御信号を受けると、加圧部材９６を支持テーブル４８の上方へ待機した待機位置（図４参照）から支持テーブル４８上に載置されたカバーシート２４及びディスク基板１２に圧接する押圧位置まで下降させ、加圧部材９６によりカバーシート２４及びディスク基板１２を加圧した後、加圧部材９６を待機位置へ復帰させる。

図４に示されるように、真空槽８０には、フレキシブルホース１０８の一端部が内部に連通するように連結されており、このフレキシブルホース１０８を通して真空ポンプ等の真空発生装置（図示省略）が接続されている。この真空発生装置も、制御ユニット３８により制御され、制御ユニット３８は、真空槽８０が密閉位置へ下降して気密室９４が形成されると、真空発生装置により気密室９４内の空気を吸入して気密室９４内を所定の真空度まで減圧する。

第２ターンテーブル７２は、第１ターンテーブル４４上で製造された光ディスク１０を一時保管するためのものであり、図２に示されるように、周回位置Ｐ６に保持された支持テーブル４８の外周付近に配置されている。この第２ターンテーブル７２上には、その軸心Ｓ３を中心とする周方向に沿ってディスク基板１２が載置可能とされた４個のディスク支持台１１０が設けられている。なお、図２では、第１ターンテーブル４４に最も近接する位置にあるディスク支持台１１０を起点とし、第２ターンテーブル７２の回転方向（反時計方向）に沿って４個のディスク支持台１１０が保持される位置をそれぞれ周回位置Ｒ１〜Ｒ４として以下の説明を行う。

図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には、第２ターンテーブル７２に隣接してディスク搬出ユニット７４が設置されており、このディスク搬出ユニット７４には、複数枚のディスク基板１２がそれぞれ積載可能とされたＮＧディスク台１１２及び良品ディスク台１１４が設けられると共に、周回位置Ｐ６に保持された支持テーブル４８、周回位置Ｒ１に保持されたディスク支持台１１０、ＮＧディスク台１１２及び良品ディスク台１１４の間で光ディスク１０を搬送する搬送アーム１１６が設けられている。

また、光ディスク製造装置４０には、第２ターンテーブル７２における周回位置Ｒ２に保持されたディスク支持台１１０の上方に光ディスク１０の表面（光入射面）から保護シート（図３参照）を剥離、回収する剥離ユニット１１８が設置されると共に、周回位置Ｒ３に保持されたディスク支持台１１０の上方に光ディスク１０の光入射面の平面性、軸心ＳＤを基準とする傾き量等を検査するための面状検査ユニット１２０が設置されている。

なお、ディスク基板１２に貼り合わされるカバーシート２４（図３参照）は、図９（Ｂ）に示されるように、長尺帯状の樹脂フィルム２６、この樹脂フィルム２６の片側の面に形成された粘着膜２８、この粘着膜２８に貼り付けられた剥離シート３６及び、樹脂フィルム２６の粘着膜２８とは反対側の面に貼り付けられた保護シート３４からなる４層構造の積層シート材３２を加工素材として製造される。具体的には、環状の打抜刃（図示省略）により積層シート材３２における保護シート３４、樹脂フィルム２６及び粘着膜２８を円板状に打抜くことでカバーシート２４を成形する。このとき、カバーシート２４の粘着膜２８に貼り付けられた剥離シート３６は、打抜刃により打抜かれることなく長尺帯状のまま残される。この長尺帯状の剥離シート３６は、積層シート材３２から打抜かれたカバーシート２４を搬送するためのキャリアベースとして用いられる。このようにしてカバーシート２４が打抜き加工された積層シート材３２は、図９（Ａ）に示されるように、一旦ロール状に巻き取られた後、シート供給ユニット６８に装填される。

次に、上記のように構成された光ディスク製造装置４０を用いた光ディスク１０の製造方法について説明する。

光ディスク製造装置４０では、支持テーブル４８が周回位置Ｐ１に移動してくると、これに連動して、シート供給ユニット６８が積層シート材３２における剥離シート３６から１枚のカバーシート２４を剥離すると共に、このカバーシート２４を粘着膜２８が上方を向くように支持テーブル４８の載置面４９上に載置する。このとき、第１リニアアクチュエータ６２によりセンターピン５０が上限位置に保持されており、この上限位置では、図３に示されるようにセンターピン５０におけるシート挿入部１３４の先端側が載置面４９から上方へ突出している。これにより、図７に示されるように、カバーシート２４の開口部３０内にセンターピン５０のシート挿入部１３４が挿入される。このとき、図６（Ｂ）に示されるように、シート挿入部１３４の外周面とカバーシート２４の内周面との間には僅かな隙間が形成されると共に、加圧方向（矢印Ｐ方向）へ付勢されたセンターピン５０のシート押圧面１５４とカバーシート２４の内周面との間にも僅かな隙間が形成される。

光ディスク製造装置４０では、シート供給ユニット６８により支持テーブル４８上にカバーシート２４が載置されると、第１ターンテーブル４４を反時計方向へ所定の回転量（６０°）回転させ、カバーシート２４が供給された支持テーブル４８が周回位置Ｐ２に移動させる。カバーシート２４と共に支持テーブル４８を周回位置Ｐ２に移動すると、ディスク供給ユニット７０は、ディスク台７６上に積載された複数枚のディスク基板１２から１枚のディスク基板１２を把持し、このディスク基板１２を周回位置Ｐ２にある支持テーブル４８上へ搬送し、図６（Ｂ）〜（Ｃ）に示されるように、センターホール２９をセンターピン５０のディスク挿入部１３２の外周側へ嵌挿しつつ、ディスク基板１２におけるセンターホール２９の周縁部をセンターピン５０のディスク支持部１３６上に載置する。これにより、センターピン５０のディスク挿入部１３２によりディスク基板１２の中心が支持テーブル４８の軸心Ｓ２と一致するように位置決めされると共に、センターピン５０のディスク支持部１３６によりディスク基板１２がカバーシート２４の上方へ離間した状態で支持される。

このとき、ディスク基板１２がディスク挿入部１３２の先端部からディスク支持部１３６上まで下降すると、これに連動し、コイルスプリング１７０により加圧方向へ付勢されたアライメントレバー１５０のディスク付勢部１５６がディスク基板１２の内周面により押圧されて内周側へ押し込まれると共に、シート付勢部１５２が外周側へ押し出されて載置面４９上のカバーシート２４の内周面を押圧する。これにより、カバーシート２４及びディスク基板１２とがそれぞれ同一のアライメント方向（図６（Ｃ）の矢印Ａ方向）へ付勢され、シート挿入部１３４及びディスク挿入部１３２に圧接する位置まで移動する。この結果、図６（Ｃ）に示されるように、シート挿入部１３４の外周面におけるアライメント方向とは反対側の端部とカバーシート２４の内周面との隙間が完全に消失すると共に、ディスク挿入部１３２の外周面におけるアライメント方向とは反対側の端部とディスク基板１２の内周面との隙間が完全に消失する。

またアライメントレバー１５０の支軸穴１６６とセンターピン５０の支軸１６８との間には寸法差Ｄに対応するガタが形成されていることから、シート押圧面１５４にカバーシート２４からコイルスプリング１７０の付勢力以上の反力が作用すると、アライメントレバー１５０は、ディスク付勢部１５６が内周側へ押し込まれても、シート付勢部１５２が外周側への移動を停止しつつ、支軸穴１６６が支軸１６８に対して相対的に内周側へ移動する。これにより、カバーシート２４にはシート付勢部１５２からコイルスプリング１７０の付勢力よりも大きい加圧力が作用することがなくなり、シート付勢部１５２からの過大な加圧力によりカバーシート２４が変形したり、載置面４９上から捲れ上がることが防止される。

光ディスク製造装置４０では、ディスク供給ユニット７０によりディスク基板１２がセンターピン５０のディスク支持部１３６上に載置されると、第１ターンテーブル４４を反時計方向へ６０°回転させ、カバーシート２４及びディスク基板１２が供給された支持テーブル４８を周回位置Ｐ３に移動させる。カバーシート２４及びディスク基板１２と共に支持テーブル４８が周回位置Ｐ３に移動すると、制御ユニット３８は、図８（Ａ）に示されるように、第２リニアアクチュエータ８８により真空槽８０を開放位置から密閉位置へ下降させる。これにより、真空槽８０内には外部から密閉された気密室９４が形成される。次いで、制御ユニット３８は、真空発生装置により気密室９４内から空気を吸引して気密室９４内を所定の真空度まで減圧する。このとき、真空発生装置は、気密室９４内を５〜１００Ｐａの範囲から設定された目標真空度（本実施形態では、３０Ｐａ以下）まで減圧し、カバーシート２４とディスク基板１２との貼り合わせが完了するまで気密室９４内を３０Ｐａ以下に維持する。

制御ユニット３８は、気密室９４内が３０Ｐａ以下まで減圧されると、制御ユニット３８は、第１リニアアクチュエータ６２により上限位置にあるセンターピン５０を所定の下限位置まで下降させる。この下限位置では、センターピン５０は、図８（Ｂ）に示されるように、支持テーブル４８の載置面４９から突出しないように、その先端が載置面４９よりも下方に位置する。センターピン５０が上限位置から下限位置へ下降することにより、センターピン５０のディスク支持部１３６上に載置されていたディスク基板１２は、カバーシート２４上まで移動し、ディスク基板１２の記録面１４がカバーシート２４の粘着膜２８上に載置される。このとき、制御ユニット３８は、センターピン５０が０．０６ｍ／ｓの速度で上限位置から下限位置へ下降するように第１リニアアクチュエータ６２の作動速度を制御する。

制御ユニット３８は、センターピン５０が下限位置へ下降した後、第３リニアアクチュエータ１００により加圧部材９６を待機位置（図８（Ａ）参照）から押圧位置（図８（Ｂ）参照）まで下降させ、加圧部材９６の弾性パッド９８によりディスク基板１２及びカバーシート２４を所定の加圧力で加圧した後、加圧部材９６を待機位置へ復帰させる。ここで、制御ユニット３８は、加圧部材９６の弾性パッド９８からディスク基板１２及びカバーシート２４へ加えられる加圧力が０．２ｋＰａ〜１．０ｋＰａの範囲内から選択された目標値（本実施形態では、０．５ｋＰａ）となるように、第３リニアアクチュエータ１００が発生する押圧力を制御し、この押圧力を０．２秒維持した後、第３リニアアクチュエータ１００により加圧部材９６を押圧位置から待機位置へ復帰させる。これにより、ディスク基板１２の記録面１４全体がカバーシート２４の粘着膜２８に均一に密着し、カバーシート２４がディスク基板１２へ十分な接合力で貼り合わされ、製品素材としての光ディスク１０（図１参照）の製造が完了する。

制御ユニット３８は、加圧部材９６を待機位置に復帰させると、真空発生装置を通して気密室９４内を大気へ開放した後、第２リニアアクチュエータ８８により真空槽８０を密閉位置から開放位置へ復帰させる。

光ディスク製造装置４０では、真空槽８０が開放位置に復帰すると、第１ターンテーブル４４を反時計方向へ回転して光ディスク１０が載置された支持テーブル４８を周回位置Ｐ５まで移動させた後、更に周回位置Ｐ６まで移動させる。これに連動し、光ディスク製造装置４０は、ディスク搬出ユニット７４の搬送アーム７８により周回位置Ｐ６にある支持テーブル４８上に載置された光ディスク１０を把持し、この光ディスク１０の表裏を反転しつつ、光ディスク１０を第２ターンテーブル７２における周回位置Ｒ１にあるディスク支持台１１０上に載置する。

第２ターンテーブル７２は、周回位置Ｒ１にあるディスク支持台１１０上に光ディスク１０が載置されると、反時計方向へ間欠的に回転し、光ディスク１０が載置された支持テーブル４８を周回位置Ｒ２及び周回位置Ｒ３にそれぞれ一旦停止させた後、周回位置Ｒ４まで移動させる。このとき、剥離ユニット１１８は、周回位置Ｒ２に一旦停止しているディスク支持台１１０上に載置された光ディスク１０から保護シートを剥離し、この保護シートを回収する。

また面状検査ユニット１２０は、周回位置Ｒ３に一旦停止しているディスク支持台１１０上に載置された光ディスク１０の上面（光入射面）の平面性、傾き量等の面状を検査する。この面状検査ユニット１２０による検査結果は、光ディスク製造装置４０の制御ユニット（図示省略）へ送信される。制御ユニットは、面状検査ユニット１２０による検査結果に基づいて、第２ターンテーブル７２により周回位置Ｒ３まで搬送されてきた光ディスク１０が予め決められた品質基準を満たしていないＮＧ品か、品質基準を満たしている良品かを判断する。

面状検査ユニット１２０による検査完了後に、第２ターンテーブル７２により光ディスク１０が周回位置Ｐ４まで搬送されてくると、光ディスク製造装置４０の制御ユニットは、周回位置Ｐ４にある光ディスク１０がＮＧ品である場合には、この光ディスク１０を搬送アーム１１６により把持させ、ディスク支持台１１０上からＮＧディスク台１１２上に搬送してＮＧディスク台１１２上に積載し、また周回位置Ｐ４にある光ディスク１０が良品である場合には、この光ディスク１０を搬送アーム１１６により把持させ、ディスク支持台１１０上から良品ディスク台１１４上に搬送して良品ディスク台１１４上に積載する。これらのディスク台１１２，１１４上に積載されたＮＧ品及び良品としての光ディスク１０は、それぞれ所定のロット枚数まで貯まると、ディスク台１１２，１１４上から再検査工程、塗装工程等の他の工程が行われる装置等へ搬出される。

以上説明したように、本実施形態に係る光ディスク製造装置４０では、ディスク基板１２がセンターピン５０におけるディスク挿入部１３２の先端部からディスク支持部１３６まで下降すると、これに連動し、センターピン５０に配置されたアライメントレバー１５０のディスク付勢部１５６がディスク基板１２の内周面により押圧されて内周側へ押し込まれると共に、シート付勢部１５２が外周側へ押し出されて載置面４９上のカバーシート２４の内周面を押圧することにより、カバーシート２４及びディスク基板１２とをそれぞれ同一のアライメント方向へ付勢する。これにより、カバーシート２４の内周面がシート挿入部１３４の外周面におけるアライメント方向とは反対側の端部へ圧接すると共に、ディスク基板１２の内周面がディスク挿入部１３２の外周面におけるアライメント方向とは反対側の端部に圧接し、カバーシート２４の内周面とシート挿入部１３４の外周面と間のガタ及びディスク基板１２の内周面とディスク挿入部１３２の外周面との間のガタをそれぞれ消失させることができるので、カバーシート２４及びディスク基板１２を、シート挿入部１３４及びディスク挿入部１３２におけるアライメント方向とは反対側の端部をそれぞれ位置決めのための基準として精度良く位置決めできる。

このとき、偏心許容量（例えば、１００μｍ）に対してディスク基板１２のセンターホール２９及びカバーシート２４の開口部３０がそれぞれ十分に高い寸法精度で形成されていれば、開口部３０の内径とセンターホール２９の内径との寸法差と等しい寸法だけシート挿入部１３４の外径をディスク挿入部１３２の外径よりも拡大することにより、センターホール２９とディスク挿入部１３２との寸法差（ガタ）及び開口部３０とシート挿入部１３４との寸法差（ガタ）に影響されることなく、ディスク基板１２の中心とカバーシート２４の中心とを十分に高い精度で、すなわち偏心許容量よりも小さい偏心量で位置合わせできる。

なお、センターピン５０には、カバーシート２４の材質、強度等に応じて、図1０に示されるように２個のアライメントレバー１５０を設けるようにしても良い。図1０に示されるように、このセンターピン５０では、２個のアライメントレバー１５０が軸心Ｓ２を中心とする周方向に沿って１２０°の間隔を空けて配置されている。これらのアライメントレバー１５０は、ディスク基板１２のディスク挿入部１３２への嵌挿時に、それぞれが図６に従って説明した場合と同様に動作する。この結果、カバーシート２４及びディスク基板１２は、２個のアライメントレバー１５０によるそれぞれの付勢方向（アライメント方向）の合成方向へ付勢されることになり、これによっても、カバーシート２４の中心及びディスク基板１２の中心とを十分に高い精度で位置合わせできる。このとき、カバーシート２４に対して位置合わせするための付勢力を、２個のアライメントレバー１５０により分散して作用させることができるので、１個のアライメントレバー１５０により付勢力を作用させる場合と比較し、カバーシート２４の変形を防止してカバーシート２４に対する位置合わせ精度を向上できる。

次に、図１１を参照して本実施形態に係る光ディスク製造装置に適用可能なアライメントレバーの第１の変形例について説明する。図１１に示されるアライメントレバー１８０では、その下端部に設けられたシート付勢部１８２がレバー本体部１８４とは別体に形成されている。シート付勢部１８２には、その内周側の端部に上下方向に細長い支軸穴１８６が形成されており、この支軸穴１８６内には、レバー本体部１８４の下端部に設けられた丸棒状の支軸１８８が相対的に上下方向へ移動可能となると共に回動可能に挿入されている。これにより、シート付勢部１８２は、支軸１８８を中心としてレバー本体部１８４に揺動可能にレバー本体部１８４に連結されると共に、上下方向へ移動可能とされている。

一方、載置面４９には、径方向に沿って内周側の端部から外周側へ延出するように１本のガイド溝１９０が形成されており、このガイド溝１９０内にはシート付勢部１８２の下端部が径方向に沿ってスライド可能に挿入されている。ここで、シート付勢部１８２は、その下端面をガイド溝１９０の底面部に常に接しつつガイド溝１９０内を径方向に沿って移動する。これにより、シート付勢部１８２は、アライメントレバー１８０が揺動して径方向に沿って移動しても、その外周側の端面であるシート押圧面１８３を常に載置面４９に対して直交した状態に維持する。

第１の変形例に係るアライメントレバー１８０を用いた光ディスク製造装置４０では、ディスク基板１２がディスク挿入部１３２の先端部からディスク支持部１３６上まで下降することに連動し、シート付勢部１８２が外周側へ移動して載置面４９上のカバーシート２４の内周面を押圧する際に、シート押圧面１８３が載置面４９に対して常に直交した状態に維持されるので、カバーシート２４に対して上方への分力を作用させることなく、径方向と平行な加圧力のみを作用させることができる。この結果、図１１（Ｂ）の２点鎖線で示されるように、シート付勢部１８２により加圧されたカバーシート２４が上方への分力により捲れ上がって位置合わせ精度が低下することを効果的に防止できる。

次に、図１２を参照して本実施形態に係る光ディスク製造装置に適用可能なアライメントレバーの第２の変形例について説明する。図１２に示されるアライメントレバー１９８でもシート付勢部２００がレバー本体部１８４とは別体に形成されている。シート付勢部２００には、その下端側に載置面４９よりも下方まで延出する連結部２０４が設けられ、この連結部２０４には、レバー本体１８４の支軸穴１６６と平行に延在する支軸穴２０６が穿設されている。一方、レバー本体１８４には揺動軸２０８が設けられており、この揺動軸２０８は支軸穴２０６内に回動可能に挿入されている。これにより、シート付勢部２００は揺動軸２０８を中心として揺動可能にレバー本体１８４に連結される。またシート付勢部２００には、そのシート押圧面２０２に対して上部側にセンターピン５０の先端側へ向かって径方向に沿った幅が徐々に狭くなる略楔状のガイド部２１０が形成されている。ガイド部２１０の外周側の面はカバーシート２４のガイド面とされており、このガイド面は、ディスク挿入部１３２にディスク基板１２が嵌挿される前には中間テーパ部１３８の外周面と略一致するように支持される。

支持テーブル４８の載置面４９には、径方向に沿って内周側の端部から外周側へ延出するように溝状の凹部１９２が形成されており、この凹部１９２内には、アライメントレバー１９８が加圧方向へ揺動する際に、シート付勢部２００におけるシート押圧面２０２の下端側が挿入される。このとき、シート付勢部２００と凹部１９２との間には隙間が形成される。これにより、シート付勢部２００は、アライメントレバー１９８が加圧方向へ揺動した状態で、揺動軸２０８を中心として上端側が外周側へ倒れ込む方向（図１２（Ｃ）参照）へ揺動可能になる。

第２の変形例に係るアライメントレバー１９８を用いた光ディスク製造装置４０では、ディスク基板１２がディスク挿入部１３２の先端部からディスク支持部１３６上まで下降することに連動し、シート付勢部２００が外周側へ移動して載置面４９上のカバーシート２４の内周面をシート押圧面２０２により押圧する際に、カバーシート２４からの反力によりシート付勢部２００が揺動軸２０８を中心として上端側が外周側へ倒れ込む方向へ揺動するので、カバーシート２４に対してシート押圧面２０２により載置面４９側（下側）への分力を作用させることができる。この結果、図１２（Ｂ）及び（Ｃ）の２点鎖線で示されるように、カバーシート２４の内周端付近が載置面４９上から浮き上がるように変形している場合でも、シート押圧面２０２によりカバーシート２４を載置面４９側へ向かう分力を作用させ、シート付勢部２００によりカバーシート２４をアライメント方向へ押圧しつつ、載置面４９上に押し付けることができるので、カバーシート２４の内周端付近が載置面４９から浮き上って位置合わせ精度が低下することを効果的に防止できる。

なお、第１の変形例に係るアライメントレバー１８０及び第２の変形例に係るアライメントレバー１９８も、図１０に示されるアライメントレバー１５０と同様に、センターピン５０に２個ずつ配置するようにしても良い。

本発明の実施形態に係る光ディスクの構成を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置の構成を示す平面図である。 図２に示される光ディスク製造装置における支持テーブル及びセンターピンの構成を示す斜視図である。 図２に示される光ディスク製造装置における真空槽及び真空槽を支持及び駆動するための機構の構成を示す側面断面図である。 図２に示される光ディスク製造装置におけるセンターピンの構成を示す斜視図である。 図５に示されるセンターピンに配置されたアライメントレバーの構成及び動作を示す側面断面図である。 図３に示される支持テーブル上にカバーシートが載置された状態を示す斜視図である。 （Ａ）は真空槽が密閉位置に下降して真空槽内に密閉室が形成された状態を示す側面断面図、（Ｂ）は密閉室内で加圧部材が加圧位置まで下降してディスク基板及びカバーシートを加圧した状態を示す側面断面図である。 本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法に用いられるカバーシートの素材である積層シート材の構成を示す斜視図及び側面断面図である。 本発明の実施形態に係るセンターピンに２個のアライメントレバーを設けた場合の構成を示す斜視図である。 本実施形態に係る光ディスク製造装置に適用可能なアライメントレバーの第１の変形例の構成及び動作を示す側面断面図である。 本実施形態に係る光ディスク製造装置に適用可能なアライメントレバーの第２の変形例の構成及び動作を示す側面断面図である。

符号の説明

１０ 光ディスク
１２ ディスク基板
２４ カバーシート
２９ センターホール
３０ 開口部
４０ 光ディスク製造装置（光ディスク製造用のアライメント装置）
４２ 本体ケーシング
４８ 支持テーブル
４９ 載置面
５０ センターピン
６２ 第１リニアアクチュエータ（昇降手段）
１３２ ディスク挿入部
１３４ シート挿入部
１３６ ディスク支持部
１５０ アライメントレバー
１５２ シート付勢部
１５６ ディスク付勢部
１６６ 支軸穴
１６８ 支軸
１７０ コイルスプリング（付勢部材）
１８０ アライメントレバー
１８２ シート付勢部
１８４ レバー本体部
１９０ ガイド溝（ガイド部）

Claims (4)

1. 中心部に円形のセンターホールが穿設された円板状のディスク基板と、中心部にディスク基板のセンターホールよりも大径とされた円形の開口部が穿設され、ディスク基板に貼り合わされて透明のカバー層を形成するカバーシートとから光ディスクを製造する際に、カバーシートの中心とディスク基板の中心とを位置合わせする光ディスク製造用のアライメント装置であって、
   平面状の載置面が設けられ、該載置面上にカバーシートが載置される支持テーブルと、
   前記載置面から上方へ突出するように前記支持テーブルに配置され、高さ方向中間部にディスク基板のセンターホール周縁部を支持するディスク支持部が設けられると共に、該ディスク支持部の上端側に前記ディスク支持部上に載置されるディスク基板のセンターホール内に挿入されるディスク挿入部が設けられ、かつ下端側に前記載置面上に載置されるカバーシートの開口部内に挿入されるシート挿入部が設けられたセンターピンと、
   前記ディスク挿入部の上端部と前記シート挿入部の下端部との間に延在するように前記センターピンに設けられると共に、上端側に設けられたディスク付勢部と下端側に設けられたシート付勢部との中間部位に設けられた支軸部を中心として前記センターピンにより揺動可能に支持されたアライメントレバーと、
   前記アライメントレバーを、その揺動方向に沿って前記ディスク付勢部が外周側へ押し出され、かつ前記シート付勢部が内周側へ押し込まれるように付勢する付勢部材とを有し、
   前記アライメントレバーは、ディスク基板がディスク挿入部の先端部から前記ディスク支持部まで下降すると、これに連動し、前記ディスク付勢部がディスク基板の内周面により押圧されて内周側へ押し込まれると共に、前記シート付勢部が外周側へ押し出されて前記載置面上のカバーシートの内周面を押圧することにより、カバーシート及びディスク基板とをそれぞれ同一のアライメント方向へ付勢することを特徴とする光ディスク製造用のアライメント装置。
2. 前記センターピンと前記アライメントレバーとの間に、前記シート付勢部によりカバーシートを押圧した前記アライメントレバーの径方向への移動を許容するガタを形成すると共に、前記付勢部材により前記アライメントレバーを常に前記径方向に沿って外周側へ付勢することを特徴とする請求項１記載の光ディスク製造用のアライメント装置。
3. 前記シート付勢部を、該シート付勢部に対して前記アライメントレバーにおける前記ディスク付勢部側に設けられたレバー本体部に揺動可能に連結すると共に、前記載置面に前記シート付勢部に係合して該シート付勢部を前記載置面と平行に移動させるガイド部を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の光ディスク製造用のアライメント装置。
4. 前記載置面上にカバーシートが載置され、かつ前記ディスク支持部によりディスク基板が支持されると、前記センターピンを下降させてディスク基板をカバーシートに重ね合わせる昇降手段を有することを特徴とする請求項１、２又は３記載の光ディスク製造用のアライメント装置。

Images