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JP3875705B2 - 固体電解コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

固体電解コンデンサ及びその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は各種電子機器に利用される固体電解コンデンサに関するもので、特に、導電性高分子を固体電解質とする巻回型の固体電解コンデンサ及び表面実装用固体電解コンデンサに関するものである。
近年、電子機器のデジタル化に伴って、電解コンデンサについても大容量化及び小型化が要求されており、更に高周波領域でのインピーダンスの低下化が要求されている。
固体電解コンデンサは、電解コンデンサの中でも周波数特性が優れていることから注目されている。固体電解コンデンサにおいては、主にアルミニウム、タンタル等の弁金属からなる化成皮膜が陽極として用いられている。アルミニウムを電極箔として用いる固体電解コンデンサの代表的な構造として、誘電体酸化皮膜を形成した陽極アルミニウム用化成箔と対向陰極アルミニウム化成箔とをセパレータ紙を介して巻き回したコンデンサ素子にモノマー及び酸化剤を含浸させ、アルミニウムのケース、合成樹脂製のケース等に収納し密閉する構造があげられる。
上記固体電解コンデンサは、小型で大きな容量を得ることができることから、広く一般に用いられている。また、電解質としてはポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン等が使用されるが、ESR(等価直列抵抗)を低減させる目的で低固有抵抗のポリエチレンジオキシチオフェンが主に使用されている。
上記固体電解コンデンサは、小型で、大容量を有し、ESRが低いことに加えて、チップ化しやすい、表面実装に適している等の特質を備えていることから、電子機器の小型化、高機能化、低コスト化等に欠かせないものとなっている。
しかしながら、上記固体電解コンデンサにおいては、形成された固体電解質と陰極箔との界面接着状態によりtanδ(誘電損失)及びESRが影響を受ける。また、固体電解質の形成状態が緻密でない場合は接着面積が少なくなり、tanδが上昇する。そのうえ、固体電解質との密着度も低減するのでESRも上昇してしまう。
また、陰極箔に弁金属を用いる場合には、上記固体電解コンデンサのコンデンサとしての容量は、弁金属の酸化皮膜の誘電率と、誘電体及び陰極の対向面積と、陽極及び陰極の合成容量とで決まる。つまり、高容量の陰極を用いる場合においても合成容量としては陽極の容量値を超える事はないため、高容量化には限界がある。また、緻密で収量の多い導電性高分子層を形成できない場合も容量達成率の高いコンデンサが得られない。
これらの問題点を解決するため、陰極箔にTiN,ZrN,TaN,NbN等の金属窒化物、Ti,Zr,Ta,Nb等の弁金属等からなる皮膜を形成することによって、容量出現率を向上させた技術(特許文献1,2参照)及びそれらの箔に処理を施してインピーダンス特性を向上させる技術(特許文献3,4参照)が公開されている。また、真空蒸着によって炭素系材料を陰極に被覆した技術(特許文献5参照)も紹介されている。
また、上記固体電解コンデンサを、横型又は縦型の表面実装用チップ部品とし、高温リフロー半田付けを行うと、金属ケースや封口ゴムの膨れが生じ、特性も劣化するという問題点があった。
これらの問題点を解決するため、セパレータそのものが分解しない条件、あるいは、重合反応後に残った酸化剤又はその酸化剤が分解して生成する酸と高温下で反応しないセパレータを耐熱性樹脂で構成する技術(特許文献6参照)が公開されている。
特開2000−114108号公報 特開2000−114109号公報 特開2002−299181号公報 特開2004−128048号公報 特開2001−196270号公報 特開2002−110464号公報
しかしながら、特許技術1,2の技術は、金属窒化物、弁金属等は高価であり陰極箔への前処理、製造工程中での処理等を施す必要があることから、コストメリットが悪くなるという課題を抱えている。
また、特許文献3,4の技術を用いても、陰極金属に炭素系材料を被覆させただけでは炭素と金属の界面抵抗が高くなってしまうため、ESRおよびtanδの低減が図れない。さらに、被覆された炭素系材料が剥れやすいため、長期使用により特性劣化が進むといった問題を抱えている。
また、特許文献5,6の技術は、耐熱性樹脂の密度低減には限界があり導電性高分子が十分に充填されないことから、高容量化に限界があるという問題点を有している。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、周波数特性に優れかつ大容量化が可能な固体電解コンデンサを提供することを目的とする。
本発明に係る固体電解コンデンサは、誘電体酸化皮膜が形成された陽極箔と炭化物粒子を保持するウィスカが表面に形成された陰極箔とがセパレータを介して巻回され、陽極箔と陰極箔との間に導電性高分子からなる固体電解質層が形成されているものである。
本発明に係る固体電解コンデンサにおいては、陰極箔と個体電解質層とが直接接触するのではなく、有機物である炭化物粒子を介して陰極箔と固体電解質層とが接触することになる。それにより、陰極箔と固体電解質層との密着性が向上する。また、通常の酸化皮膜のエッチングピットよりも炭化物粒子同士の空隙の方が広くなるため、固体電解質層が効率よく形成される。その結果、陰極箔と固体電解質層との間の界面抵抗が減少し、tanδ及びESRを低下させることが可能である。さらに、本発明に係る固体電解コンデンサへの通電時には、陰極箔、炭化物粒子及び固体電解質層が導通することになる。したがって、炭化物粒子及び固体電解質層は固体電解コンデンサの陰極としての容量に影響を及ぼさず、陽極側の静電容量が固体電解コンデンサの合成容量となる。その結果、本発明に係る固体電解コンデンサの容量達成率が大幅に向上する。
ウィスカが炭化物粒子を保持する層の厚さは、1〜5μmであることが好ましい。この場合、炭化物粒子の剥離が生じることがなく、陰極箔に端子を接続する場合の接続抵抗を低下させることができる。
導電性高分子は、重合性モノマーを酸化剤により重合させた高分子であってもよい。この場合、陰極箔と固体電解質層との密着性が向上する。それにより、ESRを低減させることができる。
重合性モノマーは、3,4エチレンジオキシチオフェンであることが好ましい。この場合、固体電解質層はポリエチレンジオキシチオフェンから形成されることになる。それにより、固体電解質層の固有抵抗が低減し、ESRが低減する。
酸化剤は、高導電性の高分子形成に適している、例えばp−トルエンスルホン酸第2鉄、p−トルエンスルホン酸第2鉄及びドデシルベンゼンスルホン酸第2鉄の混合物、p−トルエンスルホン酸第2鉄及びメトキシベンゼンスルホン酸第2鉄の混合物等を用いることができる。特に後者2例のような混合酸化剤の場合、高分子中のドーパントが安定化し耐熱性も安定する。
酸化剤の溶媒は、ブタノールまたは、ブタノールと炭素数1以上のアルコールとの混合溶媒であってもよい。この場合、酸化剤分子が分散し、重合性モノマーの重合反応が促進される。その結果、重合時間の短縮化が図れる。
酸化剤の溶質濃度が40wt%〜70wt%であることが好ましい。この場合、酸化剤濃度が高くなることから、重合性モノマーの重合反応においてより緻密で収量が大きい高分子が形成される。それにより、固体電解質層は導電性に優れる性質を持つ。その結果、ESRを低下させることができる。
セパレータは、ポリエチレンテレフタレート繊維を主体とする不織布からなることが好ましい。この場合、リフロー等の高温下においても固体電解質層とセパレータとの反応性がきわめて低くなる。それにより、フクレ、発生ガス等による内圧上昇に起因する特性劣化が生じない。
セパレータの繊維径は1〜10μmであることが好ましい。この場合、固体電解質層の充填性が向上する。それにより、ESR及びtanδが低減される。
本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法は、陰極箔上に炭化物粒子を塗布し乾燥させた後に陰極箔上にウィスカを発生させる工程と、陰極箔と誘電体酸化皮膜が形成された陽極箔とをセパレータを介して巻回する工程と、重合性モノマー及び酸化剤を前記セパレータに含侵させるとともに重合性モノマーを重合させ陰極箔と陽極箔との間に固体電解質層を形成させる工程とを含むものである。
本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法においては、有機物である炭化物粒子を介して陰極箔と固体電解質層とを接触させることができる。それにより、陰極箔と固体電解質層との密着性が向上する。また、通常の酸化皮膜のエッチングピットに比較して炭化物粒子同士の空隙の方が広くなるため、固体電解質層を効率よく形成することができる。その結果、陰極箔と固体電解質層との間の界面抵抗が減少し、tanδ及びESRを低下させることが可能である。
本発明によれば、陰極箔と固体電解質層との間の界面抵抗が減少し、tanδ及びESRが低下し、容量達成率が大幅に向上する固体電解コンデンサ及びその製造方法を提供することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図1は、本発明に係る固体電解コンデンサの一例を示す一部切欠き断面図である。図1に示すように、本実施の形態に係る固体電解コンデンサ100は、有底筒状のアルミニウムケース13にコンデンサ素子1が収納された構造を有する。コンデンサ素子1は、陽極箔2及び陰極箔4がセパレータ6を介して巻回された円筒状のコンデンサ素子である。陽極箔2、陰極箔4及びセパレータ6の詳細は後述する。
陽極側タブ端子3は丸棒部7及びリブ9を介して陽極箔2から導出され、陰極側タブ端子5は丸棒部8及びリブ10を介して陰極箔4から導出されている。陽極側タブ端子3及び陰極側タブ端子5は、アルミニウムケース13の開口部から外部に引き出されている。丸棒部7,8及びリブ9,10近傍に後述する導電性高分子が形成されるのを防止するため、封口材11がアルミニウムケース13の開口部に装着されている。封口材11としては、例えば、IIR(イソブチレン・イソプロピレン共重合体からなるゴム)、EPT(エチレン・プロピレン共重合体からなるゴム)、IIR及びEPTのブレンド品等が用いられる。
図2は、陽極箔2、セパレータ6及び陰極箔4の断面図である。図2に示すように、陽極箔2と陰極箔4との間にセパレータ6が挟まれ、陽極箔2、陰極箔4及びセパレータ6の隙間に固体電解質層として機能する導電性高分子層12が形成されている。
陽極箔2は、表面に誘電体酸化皮膜16が形成された弁金属からなる。陽極箔2としては、アルミニウム等の金属を用いることができる。誘電体酸化皮膜16は、陽極箔2の表面にエッチング処理及び化成酸化処理を施すことによって形成することができる。
また、陽極箔2、セパレータ6及び陰極箔4の巻回後、陽極箔2に化成処理と熱処理とが数回施される。この化成処理はアジピン酸アンモニウム濃度0.5%〜2%を主体とした化成液を用いて誘電体酸化皮膜16の化成電圧値に近似した電圧で行われ、熱処理は200℃〜280℃の温度範囲で行われる。それにより、陽極箔2を所定の長さにカットする際に陽極箔2の端面に露出する弁金属または端子接続による傷等が発生することに伴って露出する弁金属上に酸化皮膜が形成される。
陰極箔4の表面にはウィスカ18が形成されており、このウィスカ18によって炭化物粒子17が物理的に保持されている。陰極箔4上に炭化物粒子17を塗布し乾燥させた後にウィスカ18を形成することにより、上記構造とすることができる。
この場合、陰極箔4を構成する金属と導電性高分子層12とが直接接触するのではなく、有機物である炭化物粒子17を介して陰極箔4と導電性高分子層12とが接触することになる。それにより、陰極箔4と導電性高分子層12との密着性が向上する。また、通常の酸化皮膜のエッチングピットよりも炭化物粒子17同士の空隙の方が広くなるため、導電性高分子層12が効率よく形成される。その結果、陰極箔4と導電性高分子層12との間の界面抵抗が減少し、tanδ及びESRを低下させることが可能である。さらに、固体電解コンデンサ100への通電時には、陰極箔4、炭化物粒子17及び導電性高分子層12は導通することになる。したがって、炭化物粒子17及び導電性高分子層12は固体電解コンデンサ100の陰極としての容量に影響を及ぼさず、陽極側の静電容量が固体電解コンデンサ100の合成容量となる。その結果、固体電解コンデンサ100の容量達成率が大幅に向上する。
陰極箔4に用いる素材は、巻き替えが可能で箔状に加工できる金属であれば特に限定されるものではなく、例えば、Al,Cu,Fe,Ni等を用いることができる。特に、加工が容易かつ安価であり、ウィスカの制御が比較的容易なAlを用いることが好ましい。また、陰極箔4の厚さは、20μm〜200μm程度である。この場合、陰極箔4の巻回が可能であり、陰極側タブ端子5のカシメ及び超音波接続が可能である。
炭化物粒子17は、炭素を含む素材であれば特に限定されず、例えば、カーボン、グラファイト、窒化炭素、炭化化合物等の炭化物粒子を用いることができる。特に、微細加工が容易で安価なカーボンブラックが好ましい。また、炭化物粒子17の剥離が生じることなくかつ陰極箔4と陰極側タブ端子5との導通が保たれるためには、炭化物粒子17が保持される層の厚さは、1〜20μmの範囲が好ましい。さらに、陰極側タブ端子5と陰極箔4との接続抵抗を低下させるためには、炭化物粒子17が保持される層の厚さは、1〜5μmの範囲がより好ましい。
セパレータ6には、マニラ麻を主成分とする電解紙等を用いることができ、PET(ポリエチレンテレフタレート)を主成分とする不織布等を用いることもできる。セパレータ6としてPETを主成分とする不織布を用いた場合、リフロー等の高温下においても導電性高分子層12及び後述する酸化剤とセパレータ6との反応性がきわめて低くなる。それにより、フクレ、発生ガス等による内圧上昇に起因する特性劣化が生じない。なお、PETの繊維径は、後述する導電性高分子の充填性向上による容量確保とESR及びtanδの低減とのために、1〜10μmであることが好ましい。
導電性高分子層12は、陽極箔2、陰極箔4及びセパレータ6の巻回後、セパレータ6に重合性モノマー及び酸化剤を含侵させることにより形成することができる。この場合、導電性高分子層12と陰極箔4との密着性が向上する。それにより、ESRを低減させることができる。
導電性高分子層12は、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等の重合性物質からなる。導電性高分子層12としてポリエチレンジオキシチオフェンを用いた場合には、導電性高分子層12の固有抵抗が低減し、ESRが低減する。このポリエチレンジオキシチオフェンからなる導電性高分子層12は、例えば、3,4エチレンジオキシチオフェン等の重合性モノマー及び酸化剤により重合させることにより形成することができる。
重合性モノマーの代わりに、重合性モノマーと揮発溶液とを1:1〜1:3の体積比で混合したモノマー溶液を用いることもできる。この揮発性溶液としては、ペンタン等の炭化水素類、テトラヒドロフラン等のエーテル類、ギ酸エチル等のエステル類、アセトン等のケトン類、メタノール等のアルコール類、アセトニトリル等の窒素化合物等を用いることができ、メタノール、エタノール、アセトン等を用いることが好ましい。
酸化剤としては、高導電性の高分子形成に適している、例えば溶媒に溶解したp−トルエンスルホン酸第2鉄、p−トルエンスルホン酸第2鉄及びドデシルベンゼンスルホン酸第2鉄の混合物、p−トルエンスルホン酸第2鉄及びメトキシベンゼンスルホン酸第2鉄の混合物等を用いることができる。特に後者2例のような混合酸化剤の場合、高分子中のドーパントが安定化し耐熱性も安定する。
上記溶媒は、ブタノールまたは、ブタノールと炭素数1以上のアルコールであることが好ましい。この場合、酸化剤分子が分散し、上記重合性モノマーの重合反応が促進される。その結果、重合時間の短縮化が図れる。
上記溶媒と酸第二鉄との比率は任意でよいが、40%〜70%溶液を用いることが好ましい。この場合、酸化剤濃度が高くなることから、上記重合性モノマーの重合反応においてより緻密で収量が大きい高分子が形成される。それにより、導電性高分子層12は導電性に優れる性質を持つ。その結果、ESRを低下させることができる。また、重合性モノマーと酸化剤との配合比は、1:3〜1:6の範囲が好ましい。
図3は、本発明に係る固体電解コンデンサ100の他の例であるコンデンサ100aを示す一部切欠き断面図である。コンデンサ100aがコンデンサ100と異なる点は、封口材11の外側に耐熱絶縁性座板15が設けられている点である。コンデンサ100aはコンデンサ100と同様の作用及び効果を有し、表面実装用の固体電解コンデンサとして用いられる。
以下、本発明に係る固体電解コンデンサを作製し、その特性を調べた。
(実施例1)
実施例1においては図1の固体電解コンデンサ100を作製した。陽極箔2には、幅0.7cm、長さ11.5cm、厚さ100μmであり、エッチング処理及び化成処理が施されたアルミニウム箔を用いた。陰極箔4には、幅0.7cm、長さ13.1cm、厚さ50μmのアルミニウム箔の表面にウィスカが形成され、ウィスカによりカーボン粒子が保持され、カーボン粒子が保持されている層の厚さが2μmであるものを用いた。セパレータ6にはマニラ麻主体の電解紙を用いた。コンデンサ1の定格電圧は4WVである。
次に、陽極箔2及び陰極箔4をセパレータ6を介して巻回した後、陽極箔2に対してアジピン酸アンモニウム濃度0.5%〜2%を主体とした化成液を用いて陽極箔2の酸化皮膜の化成電圧値に近似した電圧で化成処理を施し、200℃〜280℃の温度範囲で熱処理を施した。
次いで、セパレータ6に3,4エチレンジオキシチオフェンとp−トルエンスルホン酸第2鉄の1−ブタノール溶液とを含侵させ、40℃〜150℃の温度範囲で16時間大気中に保持し、ポリエチレンジオキシチオフェンからなる導電性高分子層12を形成させた。
次に、コンデンサ素子1をアルミニウムケース13に収納封口し、エージング処理を施し、寸法φ8×11.5Lの固体電解コンデンサ100を完成させた。
(実施例2)
実施例2においては図3の固体電解コンデンサ100aを作製した。陽極箔2には、幅0.7cm、長さ17.5cm、厚さ110μmであり、エッチング処理及び化成処理が施されたアルミニウム箔を用いた。陰極箔4には、幅0.7cm、長さ19.1cm、厚さ50μmのアルミニウム箔の表面にウィスカが形成され、ウィスカによりカーボン粒子が保持され、カーボン粒子が保持されている層の厚さが2μmであるものを用いた。セパレータ6にはポリエチレンテレフタレート製の不織布を用いた。コンデンサ1の定格電圧は4WVである。
次に、陽極箔2及び陰極箔4をセパレータ6を介して巻回した後、陽極箔2に対してアジピン酸アンモニウム濃度0.5%〜2%を主体とした化成液を用いて陽極箔2の酸化皮膜の化成電圧値に近似した電圧で化成処理を施し、200℃〜280℃の温度範囲で熱処理を施した。
次いで、セパレータ6に3,4エチレンジオキシチオフェンとp−トルエンスルホン酸第2鉄の1−ブタノール溶液とを含侵させ、40℃〜150℃の温度範囲で16時間大気中に保持し、ポリエチレンジオキシチオフェンからなる導電性高分子層12を形成させた。
次に、コンデンサ素子1をアルミニウムケース13に収納封口し、エージング処理を施し、封口材11の外側に耐熱絶縁座板15を設け、寸法φ10×12.4Lの固体電解コンデンサ100aを完成させた。
(比較例1)
比較例1においては、陰極箔4として幅0.7cm、長さ11.5cm、厚さ80μmの低化成電圧高倍率エッチドアルミニウム箔を用い、ウィスカ18が形成されておらず、炭化物粒子17が保持されていない他は、実施例1と同様の条件で固体電解コンデンサを作製した。
(比較例2)
比較例2においては、陰極箔4として幅0.7cm、長さ17.5cm、厚さ80μmの低化成電圧高倍率エッチドアルミニウム箔を用い、セパレータ6としてマニラ麻主体の不織布を用いた他は、実施例2と同様の条件で固体電解コンデンサを作製した。
(分析)
実施例1及び比較例1の固体電解コンデンサの周波数120MHzにおける静電容量、tanδ、周波数100kHzにおけるESR及び定格電圧印加後2分での漏れ電流の値を表1に示す。実施例1及び比較例1の固体電解コンデンサはそれぞれ50個ずつ作製されており、表1の各値はそれらの平均値を示している。
Figure 0003875705
表1に示すように、実施例1の固体電解コンデンサにおいては、比較例1の固体電解コンデンサに比較して、静電容量が大幅に増加し、tanδ及びESRが低減している。これは、炭化物粒子及び導電性高分子層の密着性が向上し、炭化物粒子同士の広い空隙における導電性高分子層の形成状態が良好であることから、界面抵抗が減少したためであると考えられる。
さらに、陰極箔、炭化物粒子及び導電性高分子層が導通化していることから、炭化物粒子及び導電性高分子層が存在することが陰極としての容量に影響を及ぼさず、陽極側の静電容量が固体電解コンデンサの合成容量となる。その結果、実施例1の固体電解コンデンサの容量達成率が大幅に向上したためと考えられる。
次に、実施例2及び比較例2の固体電解コンデンサのリフローによる熱処理(200℃以上2分、250℃ピーク×2回)後の外観、周波数120Hzにおける静電容量、tanδ、周波数100KHzにおけるESR及びエージング電圧熱処理後の定格電圧印加後2分での漏れ電流の値を表2に示す。実施例2及び比較例2の固体電解コンデンサはそれぞれ50個ずつ作製されており、表2の各値はそれらの平均値を示している。
Figure 0003875705
表2に示すように、実施例2の固体電解コンデンサにおいては、比較例2の固体電解コンデンサに比較して、静電容量が大幅に増加し、ESRが低減している。また、リフロー後でもフクレが無く電圧処理による漏れ電流の増大が抑えられ耐熱性が向上している。これは、セパレータの主成分であるポリエチレンテレフタレートと、導電性高分子、残存酸化剤および残存溶媒との反応性がきわめて低いため、発生ガスが抑制され内圧上昇が起らなかったからであると考えられる。また、陰極上の炭化物粒子はウィスカで保持され熱による変性及び剥れが起らなかったため、高容量と低ESRが保たれたからであると考えられる。
以上のことから、実施例1の固体電解コンデンサにおいては、静電容量が大幅に増加し、tanδ及びESRが低減していることがわかる。また、実施例2の固体電解コンデンサにおいては、静電容量が大幅に増加しESRが低減するとともに、対熱絶縁性が向上していることがわかる。
本発明に係る固体電解コンデンサの一例を示す一部切欠き断面図である。 陽極箔、セパレータ及び陰極箔の断面図である。 本発明に係る固体電解コンデンサの他の例を示す一部切欠き断面図である。
符号の説明
1 コンデンサ素子
2 陽極箔
4 陰極箔
6 セパレータ
12 導電性高分子層
13 アルミニウムケース
15 耐熱絶縁性座板
16 誘電体酸化皮膜
17 炭化物粒子
18 ウィスカ

Claims (10)

  1. 誘電体酸化皮膜が形成された陽極箔と炭化物粒子を保持するウィスカが表面に形成された陰極箔とがセパレータを介して巻回され、
    前記陽極箔と前記陰極箔との間に導電性高分子からなる固体電解質層が形成されていることを特徴とする固体電解コンデンサ。
  2. 前記ウィスカが前記炭化物粒子を保持する層の厚さは、1〜5μmであることを特徴とする請求項1記載の固体電解コンデンサ。
  3. 前記導電性高分子は、重合性モノマーを酸化剤により重合させた高分子であることを特徴とする請求項1または2記載の固体電解コンデンサ。
  4. 前記重合性モノマーは、3,4エチレンジオキシチオフェンであることを特徴とする請求項3記載の固体電解コンデンサ。
  5. 前記酸化剤は、p−トルエンスルホン酸第2鉄、p−トルエンスルホン酸第2鉄及びドデシルベンゼンスルホン酸第2鉄の混合物、p−トルエンスルホン酸第2鉄及びメトキシベンゼンスルホン酸第2鉄の混合物のいずれかであることを特徴とする請求項3または4記載の固体電解コンデンサ。
  6. 前記酸化剤の溶媒は、ブタノールまたは、ブタノールと炭素数1以上のアルコールとの混合溶媒であることを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の固体電解コンデンサ。
  7. 前記酸化剤の溶質濃度が40wt%〜70wt%であることを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載の固体電解コンデンサ。
  8. 前記セパレータは、ポリエチレンテレフタレート繊維を主体とする不織布からなることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の固体電解コンデンサ。
  9. 前記セパレータの繊維径が1〜10μmであることを特徴とする請求項8記載の固体電解コンデンサ。
  10. 陰極箔上に炭化物粒子を塗布し乾燥させた後に、前記陰極箔上にウィスカを発生させる工程と、
    前記陰極箔と誘電体酸化皮膜が形成された陽極箔とを、セパレータを介して巻回する工程と、
    重合性モノマー及び酸化剤を前記セパレータに含侵させるとともに前記重合性モノマーを重合させ、前記陰極箔と前記陽極箔との間に固体電解質層を形成させる工程とを含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。

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