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JP3849031B2 - Vibration device and device provided with the same - Google Patents

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JP3849031B2
JP3849031B2 JP34526396A JP34526396A JP3849031B2 JP 3849031 B2 JP3849031 B2 JP 3849031B2 JP 34526396 A JP34526396 A JP 34526396A JP 34526396 A JP34526396 A JP 34526396A JP 3849031 B2 JP3849031 B2 JP 3849031B2
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JP
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frequency
vibration
vibrating body
speed
control
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義文 西本
清史 金岩
栄一 柳
誠 塩見
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Canon Precision Inc
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Canon Inc
Canon Precision Inc
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動型モータ、超音波モータ等と称される振動型駆動手段を有した振動装置に関し、さらに詳しくは、上記振動型駆動手段の制御に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
上記振動型駆動手段は、電気−機械エネルギー変換素子が取り付けられた振動体とこの振動体に圧接される振動体とから構成され、電気−機械エネルギー変換素子に周波信号を印加して振動体に振動を励起し、振動体と接触体との摩擦により両者を相対移動させるものである。このような振動型駆動手段は、特に低速での動作安定性が優れていること等から、複写機の感光ドラム等の駆動に用いられている。
【0003】
そして、特開平7−143775号公報や同7−143777号公報等には、振動体の振動状態を検出して周波信号の周波数を制御し、振動型駆動手段の動作速度を制御する装置が提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図5および図6のグラフに示すように、振動型駆動手段は、周波信号の周波数が高い領域、言い換えれば振動体の振動振幅が小さく、駆動速度が低速となる領域においては周波数の変化量に対する振動振幅および駆動速度の変化量が小さいが、周波数が低い領域(但し、グラフのピークである機械的共振点より高い領域)、言い換えれば振動体の振動振幅が大きく、駆動速度が高速となる領域においては周波数の変化量に対する振動振幅等の変化量が大きいという特性を有する。
【0005】
このため、上記公報提案の装置のように、周波信号の周波数や振動体の振動振幅等にかかわらず、周波数の変更量(1回の制御に伴う制御量)を一定に設定していると、例えば高周波数印加時(小振幅時又は低速駆動時)に良好な応答性が得られるように周波数の変更量を設定することにより、低周波数印加時(大振幅時又は高速駆動時)に図4に破線で示すように駆動速度の変動が大きく制御安定性を欠くことになったり、低周波数印加時に安定するように制御することにより、同図に鎖線で示すように高周波数印加時に駆動速度の上昇が遅く応答性が悪くなったりするというように、広い動作領域にて速答性と制御安定性とを両立させることが難しいという問題がある。
【0006】
そこで、本願発明では、広い動作領域にて制御速応性と制御安定性とを両立させることができるようにした振動型駆動装置の制御装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、電気−機械エネルギー変換素子への周波信号の印加により振動が励起される振動体とこの振動体に接触する接触体とを相対移動させる振動型駆動手段と、振動体の振動状態又は駆動装置の動作速度を検出して周波信号の周波数を制御する周波数制御手段とを有した振動装置において、周波数制御手段に、検出した振動状態又は動作速度と、周波数を増加させるか減少させるかに応じて上記周波数の変更量の設定を変えさせるようにしている。
【0008】
具体的には、検出した振動体の振動振幅が大きい領域や駆動装置の動作速度が高い領域では周波数の変更量を小さく設定することにより、1回の制御によって動作速度が大きく変動しないようにして制御安定性を確保する一方、振動体の振動振幅が小さい領域や駆動装置の動作速度が低い領域では周波数の変更量を大きく設定することにより、1回の制御によって動作速度を大きく変化させ良好な応答性が得られるようにして、広い動作領域にて制御速応性と制御安定性とを両立させることができるようにしている。しかも、周波数を増加させる場合(動作速度を減速させる場合)と、周波数を減少させる場合(動作速度を加速させる場合)とで、上記周波数の変更量を変更している。これにより、精密な速度制御を行うことができる。
【0009】
そして、本願発明では、このような制御装置を備えることにより、感光ドラム等の回転をスムーズに立ち上げて、安定した回転を迅速に得られる複写機等の装置を実現することができるようにしている。
【0010】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1には、本願発明の第1実施形態である振動装置の構成を示している。なお、本実施形態では、振動装置が複写機の感光ドラム駆動用として用いられる場合について説明する。
【0011】
図1において、1は振動型モータ(振動型駆動手段)である。この振動型モータ1は、2相の電気−機械エネルギー変換素子2a,2bが取り付けられたリング状の振動体と、この振動体に圧接する不図示の移動体(接触体)とを有して構成されている。振動体における2相の変換素子2a,2bの間には、接地相2dと振幅検出用機械−電気エネルギー変換素子(以下、検出素子という)2cとが取り付けられている。
【0012】
11は制御部であり、この制御部11はマイクロプロセッサユニット(MPU)9とこれに接続されたメモリ10とから構成されている。
【0013】
6は振幅演算器であり、この振幅演算器6は、検出素子2cから振動体の振動に応じて出力された検出信号に基づいて振動体の振動振幅を演算し、演算結果に応じた信号をマイクロプロセッサユニット9に入力する。なお、制御部11および振幅演算器6が、請求の範囲にいう周波数制御手段に相当する。
【0014】
8はD/A変換器であり、このD/A変換器8は、マイクロプロセッサユニット9の出力データに応じたアナログ電圧信号を出力する。7は電圧制御発振器であり、この電圧制御発振器7は、D/A変換器8から出力されたアナログ信号に比例した周波数を有する矩形波信号を出力する。
【0015】
5は波形成形器であり、この波形成形器5は、電圧制御発振器7から出力された矩形波信号から2つの同位相の正弦波信号を作って出力する。そして、波形成形器5にて作られた2つの正弦波信号のうち一方は直接増幅器3aに入力され、他方は90°移相器4に入力されて上記一方の正弦は信号に対して90°位相がずらされた上で増幅器3bに入力される。増幅器3a,3bにより所要のレベルに増幅された2つの正弦波信号はそれぞれ変換素子2a,2bに印加される。
【0016】
こうして、正弦波信号が変換素子2a,2bに印加されると、変換素子2a,2bが伸縮運動して振動体に振動を励起し、振動体と移動体との間の摩擦によって移動体が振動体に対して回転駆動される。なお、移動体の回転力は、感光ドラム15に伝達され、これを回転駆動する。
【0017】
そして、マイクロプロセッサユニット9は、振幅演算器6により演算された振動体の振動振幅に応じて、D/A変換器8への出力データを変える。これにより、各変換素子2a,2bに印加される正弦波信号の周波数が変更設定され、起動時の立ち上がり応答性がよく、高速時の安定性がよい制御が行われる。
【0018】
ここで、マイクロプロセッサユニット9における正弦波信号の周波数の変更設定制御について、図2に示すフローチャートを用いて説明する。まずステップ(図では、Sと略す)1おいて、正弦波信号の周波数を初期周波数foにセットして、振動型モータ1を起動する。次にステップ2で振動振幅をモニタし、ステップ3で、モニタした振動振幅に応じた周波数変更量Δfをセットする。この周波数変更量Δfは、図3に示すように、振幅が小さいほど大きな値にセットされるよう予め決められている。
【0019】
そして、ステップ4で、増速指令が入力されているか否かを判別し、増速指令が入力されているときはステップ6に進んで、駆動周波数をステップ3でセットされたΔf分減少させる。一方、増速指令が入力されていないときは、ステップ5に進んで、減速指令が入力されているか否かを判別する。減速指令が入力されているときは、ステップ7に進んで、駆動周波数をステップ3でセットされたΔf分増加させる。
【0020】
このように、振動振幅の大きさに応じた駆動周波数の設定が行われるのであるが、振動振幅が大きいほど周波数変更量が小さく設定されることにより、振動振幅の大きさにかかわらず1回の制御(フロー)によって得られる振動振幅の変化量(ゲイン)をほぼ一定とすることができる。したがって、振動振幅が大きい領域では1回の制御による振動型モータの動作速度の変動が大きくなりすぎず、制御安定性を確保することができる。また、振動振幅が小さい領域では1回の制御による振動型モータの動作速度の変動が小さくなりすぎず、良好な応答性を得ることができる。すなわち、広い振幅領域にて制御速応性と制御安定性とを両立させることができる。
【0021】
このため、例えば、図4に実線で示すように、振動型モータの所定速度までの立ち上がりが速く、かつ所定速度を超えた後は少ない速度変動で所定速度に収束させることが可能となる。そして、振動型モータにより感光ドラム15を駆動する場合は、感光ドラムの回転を迅速に所定速度に安定させることができ、複写機の電源投入後、早期に複写機の使用を可能にすることができる。
【0022】
なお、図3に示すように、ステップ2にて読み込んだ振動振幅が同じであっても、周波数を増加させる場合よりも減少させる場合に周波数変更量Δfを大きく設定するようにしてもよい。これは、図5から分かるように、機械的共振点から上の周波数領域において、周波数が高くなるほど周波数の変化量に対する振動振幅の変化量が小さくなり、同じ振動振幅から所定量振幅を増加させる場合よりも減少させる場合の方が変化させるべき周波数が大きくなるためである。そして、このように周波数を増加させる場合と減少させる場合とで周波数変更量Δfを変えることにより、精密な振幅制御つまりは速度制御を行うことができ、制御速応性や制御安定性をより向上させることができる。
【0023】
また、上記実施形態では、マイクロプロセッサを用いて周波数変更量を精密に演算するようにしたが、例えば、図3に示すようなデータを有したマップをメモリ10に記憶させておき、ここから振動振幅に応じた変更量データを読み出すようにしてもよい。
【0024】
また、上記実施形態では、振動体の振動振幅に応じて正弦波信号の周波数変更量を変える場合について説明したが、エンコーダ等を用いて移動体の回転速度を検出し、この回転速度に応じて正弦波信号の周波数変更量を変えるようにしてもよい。
【0025】
さらに、上記実施形態では、振動装置を複写機に用いた場合について説明したが、本発明の振動装置は複写機以外の装置にも用いることができる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本願発明によれば、検出した振動体の振動振幅が大きい領域や駆動装置の動作速度が高い領域では周波信号の周波数変更量を小さく設定することにより1回の制御による動作速度の変動が大きくなり過ぎないようにして制御安定性を確保し、かつ振動振幅が小さい領域や動作速度が低い領域では周波数変更量を大きく設定することにより1回の制御により動作速度を十分変化させ良好な応答性が得られるようにしているので、振動型駆動手段の広い動作領域にて制御速応性と制御安定性とを両立させることができる。
【0027】
そして、本願発明では、このような制御装置を備えることにより、感光ドラム等の回転をスムーズに立ち上げて、安定した回転を迅速に得られる複写機等の装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態である制御装置の構成図である。
【図2】上記振動装置における周波数変更量の設定用フローチャートである。
【図3】上記周波数変更量と振動振幅との関係を示すグラフ図である。
【図4】上記制御装置および従来の制御装置による振動型モータの速度制御を概念的に示したグラフ図である。
【図5】従来の振動型モータの動作特性を示すグラフ図である。
【図6】従来の振動型モータの動作特性を示すグラフ図である。
【符号の説明】
1 振動型モータ
2a,2b 電気−機械エネルギー変換素子
2c 検出素子
2d 接地相
3a,3b 増幅器
4 90°移相器
5 波形成形器
6 振幅演算器
7 電圧制御発振器
8 D/A変換器
9 マイクロプロセッサユニット
10 メモリ
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a vibration device having vibration type driving means called a vibration type motor, an ultrasonic motor or the like, and more particularly to control of the vibration type driving means.
[0002]
[Prior art]
The vibration type driving means includes a vibrating body to which an electro-mechanical energy conversion element is attached and a vibrating body that is pressed against the vibrating body, and applies a frequency signal to the electro-mechanical energy conversion element to the vibrating body. The vibration is excited and both are moved relative to each other by friction between the vibrating body and the contact body. Such a vibration type driving means is used for driving a photosensitive drum of a copying machine because of its excellent operation stability at a low speed.
[0003]
Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 7-143775 and 7-143777 propose a device that detects the vibration state of the vibrating body, controls the frequency of the frequency signal, and controls the operating speed of the vibration type driving means. Has been.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, as shown in the graphs of FIGS. 5 and 6, the vibration-type driving means changes the frequency in a region where the frequency of the frequency signal is high, in other words, in a region where the vibration amplitude of the vibrating body is small and the driving speed is low. The amount of change in vibration amplitude and drive speed with respect to the amount is small, but the frequency is low (however, higher than the mechanical resonance point that is the peak of the graph), in other words, the vibration amplitude of the vibrator is large and the drive speed is high. In such a region, there is a characteristic that the amount of change such as vibration amplitude with respect to the amount of change in frequency is large.
[0005]
For this reason, as in the device proposed in the above publication, regardless of the frequency of the frequency signal or the vibration amplitude of the vibrating body, the frequency change amount (control amount associated with one control) is set to be constant. For example, when a high frequency is applied (when small amplitude or low speed driving), the frequency change amount is set so as to obtain a good response, so that when low frequency is applied (when large amplitude or high speed driving), FIG. As shown by the broken line in FIG. 4, the driving speed varies greatly and control stability is lost. There is a problem that it is difficult to achieve both quick response and control stability in a wide operation region, such as slow rise and poor response.
[0006]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a control device for a vibration type drive device that can achieve both control speed response and control stability in a wide operating range.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a vibration type driving means for relatively moving a vibrating body excited by vibration by application of a frequency signal to the electromechanical energy conversion element and a contact body in contact with the vibrating body; In a vibration device having a frequency control means for controlling the frequency of a frequency signal by detecting the vibration state of the body or the operation speed of the driving device, the frequency control means increases the detected vibration state or the operation speed and the frequency. The frequency change amount setting is changed according to whether the frequency is decreased .
[0008]
Specifically, in a region where the vibration amplitude of the detected vibrating body is large or a region where the operating speed of the driving device is high, the operating speed does not fluctuate greatly by a single control by setting a small amount of change in frequency. While ensuring control stability, in a region where the vibration amplitude of the vibrating body is small or a region where the operating speed of the driving device is low, by setting a large amount of change in frequency, the operating speed can be greatly changed by one control. Responsiveness is obtained so that both control speed and control stability can be achieved in a wide operating range. Moreover, the amount of change in the frequency is changed between when the frequency is increased (when the operating speed is reduced) and when the frequency is decreased (when the operating speed is accelerated). Thereby, precise speed control can be performed.
[0009]
In the present invention, by providing such a control device, it is possible to realize a device such as a copying machine that can smoothly start up rotation of the photosensitive drum and the like and can quickly obtain stable rotation. Yes.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(First embodiment)
In FIG. 1, the structure of the vibration apparatus which is 1st Embodiment of this invention is shown. In the present embodiment, a case where the vibration device is used for driving a photosensitive drum of a copying machine will be described.
[0011]
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a vibration type motor (vibration type driving means). The vibration type motor 1 includes a ring-shaped vibrating body to which two-phase electro-mechanical energy conversion elements 2a and 2b are attached, and a moving body (contact body) (not shown) that is in pressure contact with the vibrating body. It is configured. Between the two-phase conversion elements 2a and 2b in the vibrating body, a ground phase 2d and an amplitude detection mechanical-electrical energy conversion element (hereinafter referred to as a detection element) 2c are attached.
[0012]
Reference numeral 11 denotes a control unit, and the control unit 11 includes a microprocessor unit (MPU) 9 and a memory 10 connected thereto.
[0013]
Reference numeral 6 denotes an amplitude calculator. The amplitude calculator 6 calculates the vibration amplitude of the vibrating body based on the detection signal output from the detection element 2c according to the vibration of the vibrating body, and outputs a signal corresponding to the calculation result. Input to the microprocessor unit 9. The control unit 11 and the amplitude calculator 6 correspond to frequency control means in the claims.
[0014]
Reference numeral 8 denotes a D / A converter. The D / A converter 8 outputs an analog voltage signal corresponding to output data of the microprocessor unit 9. Reference numeral 7 denotes a voltage controlled oscillator. The voltage controlled oscillator 7 outputs a rectangular wave signal having a frequency proportional to the analog signal output from the D / A converter 8.
[0015]
Reference numeral 5 denotes a waveform shaper. The waveform shaper 5 generates and outputs two sine wave signals having the same phase from the rectangular wave signal output from the voltage controlled oscillator 7. One of the two sine wave signals generated by the waveform shaper 5 is directly input to the amplifier 3a, the other is input to the 90 ° phase shifter 4, and the one sine is 90 ° to the signal. The phase is shifted and input to the amplifier 3b. Two sine wave signals amplified to a required level by the amplifiers 3a and 3b are applied to the conversion elements 2a and 2b, respectively.
[0016]
Thus, when the sine wave signal is applied to the conversion elements 2a and 2b, the conversion elements 2a and 2b expand and contract to excite vibrations in the vibrating body, and the moving body vibrates due to friction between the vibrating body and the moving body. It is rotationally driven with respect to the body. The rotational force of the moving body is transmitted to the photosensitive drum 15 and rotationally driven.
[0017]
The microprocessor unit 9 changes the output data to the D / A converter 8 according to the vibration amplitude of the vibrating body calculated by the amplitude calculator 6. As a result, the frequency of the sine wave signal applied to each of the conversion elements 2a and 2b is changed and set, and control is performed with good rise response at start-up and good stability at high speed.
[0018]
Here, the change setting control of the frequency of the sine wave signal in the microprocessor unit 9 will be described with reference to the flowchart shown in FIG. First, in step (abbreviated as S in the figure) 1, the frequency of the sine wave signal is set to the initial frequency fo, and the vibration type motor 1 is started. Next, in step 2, the vibration amplitude is monitored, and in step 3, the frequency change amount Δf corresponding to the monitored vibration amplitude is set. As shown in FIG. 3, the frequency change amount Δf is determined in advance to be set to a larger value as the amplitude is smaller.
[0019]
In step 4, it is determined whether or not a speed increase command is input. If the speed increase command is input, the process proceeds to step 6 to decrease the drive frequency by Δf set in step 3. On the other hand, when the speed increase command is not input, the process proceeds to step 5 to determine whether or not the speed reduction command is input. When the deceleration command is input, the process proceeds to step 7 and the drive frequency is increased by Δf set in step 3.
[0020]
In this way, the drive frequency is set according to the magnitude of the vibration amplitude, but the larger the vibration amplitude, the smaller the frequency change amount is set. The change amount (gain) of the vibration amplitude obtained by the control (flow) can be made almost constant. Therefore, in the region where the vibration amplitude is large, the fluctuation of the operation speed of the vibration type motor by one control does not become too large, and the control stability can be ensured. Further, in the region where the vibration amplitude is small, the fluctuation of the operation speed of the vibration type motor by one control does not become too small, and good responsiveness can be obtained. That is, it is possible to achieve both control speed response and control stability in a wide amplitude range.
[0021]
For this reason, for example, as shown by a solid line in FIG. 4, the vibration type motor quickly rises up to a predetermined speed, and after exceeding the predetermined speed, it can be converged to the predetermined speed with a small speed fluctuation. When the photosensitive drum 15 is driven by the vibration type motor, the rotation of the photosensitive drum can be quickly stabilized at a predetermined speed, and the copying machine can be used early after the copying machine is turned on. it can.
[0022]
As shown in FIG. 3, even if the vibration amplitude read in step 2 is the same, the frequency change amount Δf may be set larger when the frequency is decreased than when the frequency is increased. As can be seen from FIG. 5, in the frequency region above the mechanical resonance point, the higher the frequency, the smaller the amount of change in vibration amplitude with respect to the amount of change in frequency, and the case where the predetermined amount amplitude is increased from the same vibration amplitude. This is because the frequency to be changed becomes larger when decreasing. In addition, by changing the frequency change amount Δf depending on whether the frequency is increased or decreased, precise amplitude control, that is, speed control can be performed, and control speed response and control stability are further improved. be able to.
[0023]
In the above embodiment, the frequency change amount is precisely calculated using the microprocessor. For example, a map having data as shown in FIG. The change amount data corresponding to the amplitude may be read out.
[0024]
In the above-described embodiment, the case where the frequency change amount of the sine wave signal is changed according to the vibration amplitude of the vibrating body has been described. However, the rotational speed of the moving body is detected using an encoder or the like, and the rotational speed is The frequency change amount of the sine wave signal may be changed.
[0025]
Furthermore, in the above-described embodiment, the case where the vibration device is used in a copying machine has been described. However, the vibration device of the present invention can also be used in devices other than copying machines.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, in a region where the vibration amplitude of the detected vibrating body is large or a region where the operating speed of the driving device is high, the frequency change amount of the frequency signal is set small so that the operation by one control is performed. Control stability is ensured by preventing speed fluctuations from becoming too large, and the operating speed can be changed sufficiently by a single control by setting a large amount of frequency change in areas where vibration amplitude is low or operating speed is low. Therefore, good response can be obtained, so that both control speed response and control stability can be achieved in a wide operation region of the vibration type driving means.
[0027]
In the present invention, by providing such a control device, it is possible to realize a device such as a copying machine which can smoothly start up the rotation of the photosensitive drum or the like and quickly obtain a stable rotation.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a control apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart for setting a frequency change amount in the vibration device;
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the frequency change amount and the vibration amplitude.
FIG. 4 is a graph conceptually showing speed control of the vibration type motor by the control device and the conventional control device.
FIG. 5 is a graph showing the operating characteristics of a conventional vibration type motor.
FIG. 6 is a graph showing operating characteristics of a conventional vibration type motor.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vibration type motor 2a, 2b Electro-mechanical energy conversion element 2c Detection element 2d Ground phase 3a, 3b Amplifier 4 90 degree phase shifter 5 Waveform shaper 6 Amplitude calculator 7 Voltage control oscillator 8 D / A converter 9 Microprocessor Unit 10 memory

Claims (6)

電気−機械エネルギー変換素子への周波信号の印加により振動が励起される振動体とこの振動体に接触する接触体とを相対移動させる振動型駆動手段と、前記振動体の振動状態を検出して前記周波信号の周波数を制御する周波数制御手段とを有した振動装置において、
前記周波数制御手段は、検出した振動状態、及び、前記周波数を増加させるか減少させるかに応じて前記周波数の変更量の設定を変えることを特徴とする振動装置。
Vibration type driving means for relatively moving a vibrating body whose vibration is excited by application of a frequency signal to the electro-mechanical energy conversion element and a contact body in contact with the vibrating body; and detecting a vibration state of the vibrating body. In the vibration device having a frequency control means for controlling the frequency of the frequency signal,
The frequency control means changes the setting of the change amount of the frequency according to the detected vibration state and whether the frequency is increased or decreased .
前記振動状態が振幅であり、
前記周波数制御手段は、検出した振幅が大きいほど前記周波数の変更量の設定を小さくすることを特徴とする請求項1に記載の振動装置。
The vibration state is amplitude;
2. The vibration device according to claim 1, wherein the frequency control unit decreases the setting of the change amount of the frequency as the detected amplitude increases.
電気−機械エネルギー変換素子への周波信号の印加により振動が励起される振動体とこの振動体に接触する接触体とを相対移動させる振動型駆動手段と、前記振動体と前記接触体との相対移動速度を検出して前記周波信号の周波数を制御する周波数制御手段とを有した振動装置において、
前記周波数制御手段は、検出した相対移動速度、及び、前記周波数を増加させるか減少させるかに応じて前記周波数の変更量の設定を変えることを特徴とする振動装置。
Vibration-type driving means for relatively moving a vibrating body whose vibration is excited by application of a frequency signal to the electromechanical energy conversion element and a contact body in contact with the vibrating body; and a relative relationship between the vibrating body and the contact body. In a vibration device having a frequency control means for detecting the moving speed and controlling the frequency of the frequency signal,
The frequency control means changes the setting of the amount of change of the frequency according to the detected relative movement speed and whether the frequency is increased or decreased .
前記周波数制御手段は、検出した相対移動速度が大きいほど前記周波数の変更量の設定を小さくことを特徴とする請求項3に記載の振動装置。  4. The vibration device according to claim 3, wherein the frequency control unit decreases the setting of the change amount of the frequency as the detected relative movement speed increases. 前記周波数制御手段は、前記周波数を増加させる場合よりも減少させる場合に前記周波数の変更量を大きく設定することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の振動装置。5. The vibration device according to claim 1, wherein the frequency control unit sets the change amount of the frequency to be larger when the frequency is decreased than when the frequency is increased. 6. 請求項1からのいずれかに記載の振動装置を備えたことを特徴とする装置。Apparatus characterized by comprising a vibration device according to any one of claims 1 to 5.
JP34526396A 1996-12-25 1996-12-25 Vibration device and device provided with the same Expired - Lifetime JP3849031B2 (en)

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