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JP3701367B2 - ポペット弁 - Google Patents

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JP3701367B2
JP3701367B2 JP03529596A JP3529596A JP3701367B2 JP 3701367 B2 JP3701367 B2 JP 3701367B2 JP 03529596 A JP03529596 A JP 03529596A JP 3529596 A JP3529596 A JP 3529596A JP 3701367 B2 JP3701367 B2 JP 3701367B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイヤフラム弁の開閉作用下に一次側ポートと二次側ポートとを連通または遮断するポペット弁に関する。
【0002】
【従来の技術】
本出願人が案出した従来技術に係るポペット弁を図4に示す。
【0003】
このポペット弁1は、一次側ポート2および二次側ポート3が形成された弁本体4と、前記弁本体4の上部に連結されるボンネット5とを有する。前記弁本体4の内部には、一次側ポート2と二次側ポート3とを連通させる連通路6が形成されるとともに、前記連通路6を開閉するダイヤフラム弁7が設けられる。前記ボンネット5には、図示しない圧力流体供給源に接続され、切換弁の切換作用下に圧力流体を供給する第1圧力流体出入ポート8および第2圧力流体出入ポート9が形成される。
【0004】
前記ダイヤフラム弁7にはピストン10が嵌合され、前記ピストン10およびダイヤフラム弁7は、第1圧力流体出入ポート8または第2圧力流体出入ポート9から供給される圧力流体の作用下に上下方向に沿って一体的に変位する。
【0005】
従って、ピストン10の変位作用下に、ダイヤフラム弁7が着座部11から所定間隔だけ離間することにより連通路6が開成されて一次側ポート2と二次側ポート3とが連通し、あるいは、前記ダイヤフラム弁7が着座部11に着座することにより連通路6が閉成されて一次側ポート2と二次側ポート3とが非連通状態となる。なお、参照符号12は、ピストン10を下方側に押圧するばね部材を示す。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の従来技術に係るポペット弁1では、二次側ポート3に供給された圧力流体の背圧(back pressure )によってダイヤフラム弁7の薄肉部13に過度の負荷がかかって撓曲し(二点鎖線参照)、長期間の使用によって前記ダイヤフラム弁7の耐久性が劣化するという不都合がある。
【0007】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、ポペット弁を構成するダイヤフラム弁の耐久性を向上させることが可能なポペット弁を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、圧力流体が入出する一次側ポートおよび二次側ポートが形成された弁ボデイと、
前記弁ボデイの内部に変位自在に設けられ、着座部から離間しまたは着座部に着座することにより前記一次側ポートと二次側ポートとの連通路を開閉するダイヤフラム弁と、
前記ダイヤフラム弁によって形成されるダイヤフラム室に設けられ、弾性変形することにより該ダイヤフラム弁の薄肉部に付与される負荷を緩衝する弾性部材と、
を備え
前記弾性部材には環状のスリットが形成され、前記ダイヤフラム弁の薄肉部に付与される負荷によって前記スリットが閉じられることを特徴とする。
【0009】
本発明によれば、二次側ポートに供給された圧力流体の背圧によってダイヤフラム弁の薄肉部に過度の負荷が付与された場合、環状のスリットが閉じられて弾性部材が弾性変形することにより前記負荷が緩衝される。従って、前記ダイヤフラム弁の耐久性が向上する。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明に係るポペット弁について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0011】
図1並びに図2において、参照数字20は、本発明の実施の形態に係るポペット弁が適用された二方弁を示し、この二方弁20は、基本的には、同一軸線状に相互に対向する一次側ポート22および二次側ポート24が形成された弁本体26と、前記弁本体26の上部に気密に連結されるボンネット28と、前記ボンネット28の内部に形成されたシリンダ室30に沿って摺動変位するピストン32を有するシリンダ機構34と、シール部材36を介して前記ボンネット28の上部に連結され、前記シリンダ室30を閉塞するカバー部材38とから構成される。なお、弁本体26およびボンネット28は、弁ボデイとして機能するものである。
【0012】
下方側に向かって突出する前記カバー部材38の環状突部40には、円周状に所定角度離間する複数のスリット42が形成される。なお、前記二方弁20は、一組のボルト44a、44bによる緊締作用下にベース部材46に固定される。
【0013】
前記弁本体26の内部には、一次側ポート22と二次側ポート24とを連通させる連通路48が形成されるとともに、該弁本体26の略中央部には後述するダイヤフラム弁50が着座する着座部52が突出形成される。なお、一次側ポート22に近接する部位から直線状に形成された連通路48の直径dと、前記連通路48から略直交する方向に立ち上がって着座部52に至る連通路48の直径Dとを、直径d<直径Dという関係に形成することにより、前記連通路48を一次側ポート22から二次側ポート24へと流通する圧力流体の圧力損失を減少させることができる。
【0014】
弁本体26とボンネット28との間には環状の溝部54が形成され、前記溝部54には、前記着座部52から所定間隔離間し、または着座することにより前記連通路48を開閉するダイヤフラム弁50が装着される。前記ダイヤフラム弁50は、着座部52に接触する厚肉部56と、圧力流体の作用下に撓曲自在に形成された薄肉部58と、前記溝部54に挟持される周縁部60とから構成される。なお、弁本体26には、前記周縁部60を押圧して液漏れを防止するための環状突起部62が形成される。前記厚肉部56と、薄肉部58と、周縁部60とは一体的に形成され、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等の合成樹脂、または、天然ゴムあるいは合成ゴムを含む弾性体で形成される。
【0015】
ダイヤフラム弁50を構成する厚肉部56にはシリンダ機構34を構成するピストン32が嵌合され、前記ピストン32は、シリンダ室30に沿って矢印X1 またはX2 方向に変位自在に設けられる。前記ピストン32は、前記厚肉部56に形成された環状の凹部に嵌着する爪片64を有する連結部66と、環状溝を介して外周面にシール部材68が嵌着されたピストン本体70とから構成される。このように、弾性的に折曲自在な爪片64を介してピストン32とダイヤフラム弁50とを一体的に連結することにより、組み付けを簡便に行うことができるとともに、ねじ込み方式によるゆるみを防止することが可能となる。
【0016】
前記連結部66の外周部には、環状溝を介してリング状のウェアリング72およびシール部材74が装着される。なお、ボンネット28には、前記ピストン32の連結部66を案内する環状のガイド部76が軸線方向に沿って形成され、前記ガイド部76の上面部には、前記ピストン32の変位量を規制するとともに、ピストン本体70が当接した際の衝撃を緩和するダンパ部材78が設けられる。
【0017】
前記ダイヤフラム弁50とボンネット28との間にはダイヤフラム室80が形成され、前記ダイヤフラム室80には、ピストン32の厚肉部56を囲繞するとともに、底面部が薄肉部58に面接触するリング状の弾性部材82が設けられる。前記弾性部材82の内周部には、ピストン32を組み付ける際に折曲する爪片64の逃げとして機能するテーパ面84が形成されるとともに、略水平面に沿って内周部から外周側に所定長だけ切り欠かれた環状のスリット86が形成される。
【0018】
前記弾性部材82は、連結部66の段部に装着される断面略L字状の保持部材88とダイヤフラム弁50の薄肉部58との間に挟み込まれて保持され、ピストン32およびダイヤフラム弁50と一体的に変位自在に設けられる。また、前記弾性部材82は、例えば、NBR(acrylonitrile-butadiene rubber)、ウレタンゴム等の合成ゴムまたは天然ゴム等によって形成される。さらに、前記弾性部材82は、図1並びに図2に示されるように一体的に形成され、または同一の硬度あるいは異なる硬度を有する二つの部材(図示せず)を固着して形成してもよい。
【0019】
なお、ボンネット28には、通路90を介して前記ダイヤフラム室80に連通するポート92が形成され、前記ダイヤフラム室80は、ポート92を通じて大気開放状態となっているとともに、前記シール部材74を介してシリンダ室30と非連通状態となっている。
【0020】
シリンダ室30は、上部側シリンダ室30aおよび下部側シリンダ室30bからなり、前記上部側シリンダ室30aは、スリット42および孔部94を介してボンネット28に形成された第1圧力流体出入ポート96と連通するように形成され、一方、前記下部側シリンダ室30bは、孔部98を介して第2圧力流体出入ポート100と連通するように形成される。従って、図示しない切換弁の切換作用下に第1圧力流体出入ポート96または第2圧力流体出入ポート100のいずれか一方から供給される圧力流体によって前記ピストン32およびダイヤフラム弁50を矢印X1 またはX2 方向に一体的に変位させることができる。この場合、圧力流体が供給されない他方のポートは大気開放状態とする。
【0021】
この結果、ピストン32の変位作用下に、ダイヤフラム弁50が着座部52から所定間隔だけ離間して連通路48を開成することにより一次側ポート22と二次側ポート24とが連通し、あるいは、前記ダイヤフラム弁50が着座部52に着座して連通路48が遮断されることにより一次側ポート22と二次側ポート24とが非連通状態となる。
【0022】
上部側シリンダ室30aを形成するピストン32とカバー部材38との間には、ばね部材102a、102bが介装される。前記ばね部材102a、102bの弾発力を介してピストン32を矢印X1 方向に常時押圧することにより、初期位置においてダイヤフラム弁50が着座部52に着座したノーマルクローズタイプの二方弁20として用いることができる。
【0023】
なお、上部側シリンダ室30aに配設されたばね部材102a、102bを取り除き、下部側シリンダ室30bに他のばね部材104を周回するように配設してこのばね部材104の弾発力を介してピストンを常時矢印X2 方向に押圧することにより、初期位置においてダイヤフラム弁50が着座部52から離間したノーマルオープンタイプの二方弁20として用いることが可能となる。
【0024】
また、前記上部側シリンダ室30aおよび下部側シリンダ室30bのいずれにもばね部材を配設することなく、図示しない切換弁の切換作用下に第1圧力流体出入ポート96または第2圧力流体出入ポート100から供給される圧力流体の押圧力によってピストン32を矢印X1 またはX2 方向に変位させることも可能である。
【0025】
本実施の形態に係るポペット弁が適用された二方弁20は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【0026】
一次側ポート22を図示しない第1圧力流体供給源に接続するとともに、二次側ポート24を図示しない流体圧機器に接続し、第2圧力流体出入ポート100を図示しない第2圧力流体供給源に接続しておく。なお、第1圧力流体出入ポート96は、大気開放状態とする。
【0027】
初期位置では、図1に示されるように、ばね部材102a、102bの弾発力によってピストン32が矢印X1 方向に押圧され、ダイヤフラム弁50が着座部52に着座したノーマルクローズの状態にあり、一次側ポート22と二次側ポート24は非連通状態にある。
【0028】
このような状態において、図示しない第2圧力流体供給源の駆動作用下に第2圧力流体出入ポート100を介して下部側シリンダ室30bに圧力流体を供給する。ピストン32は、下部側シリンダ室30bに供給された圧力流体の作用下に前記ばね部材102a、102bの弾発力に打ち勝って矢印X2 方向に変位する。
【0029】
この場合、ダイヤフラム弁50の厚肉部56と前記厚肉部56を囲繞する弾性部材82とが一体的に矢印X2 方向に変位することにより、前記ダイヤフラム弁50が所定間隔だけ着座部52から離間し、図2に示されるように、一次側ポート22と二次側ポート24とが連通する弁開状態となる。従って、第1圧力流体供給源の駆動作用下に一次側ポート22から供給された圧力流体は、連通路48および二次側ポート24を介して流体圧機器に導入される。なお、ダイヤフラム弁50が矢印X2 方向に変位することにより薄肉部58と弾性部材82とが一体的に変位し、前記弾性部材82は弾性変形してスリット86が閉じた状態となる。この結果、連通路48を流通する圧力流体によってダイヤフラム弁50の薄肉部58に付与される負荷は弾性部材82を介して吸収されるため、前記薄肉部58が保護される。
【0030】
次に、図示しない切換弁を介して第2圧力流体出入ポート100を大気開放状態とすることにより、ばね部材102a、102bの弾発力を介してピストン32、ダイヤフラム弁50および弾性部材82が矢印X1 方向に変位し、ダイヤフラム弁50が着座部52に着座する初期位置の状態に復帰する(図1参照)。従って、ピストン32の変位作用下にダイヤフラム弁50を開閉することにより、一次側ポート22と二次側ポート24とを連通させ、あるいは非連通状態とすることが可能となる。
【0031】
ところで、ダイヤフラム弁50の開閉作用下に二次側ポート24に供給された圧力流体の作用によって背圧が発生し、図3に示されるように、前記背圧によって過度の負荷がダイヤフラム弁50に付与されることにより薄肉部58が撓曲する。この場合、前記薄肉部58の撓曲作用下にスリット86が閉じて弾性部材82が弾性変形することにより、ダイヤフラム弁50の薄肉部58に対する負荷が緩衝される。すなわち、弾性部材82によって、それ以上の負荷によるダイヤフラム弁50の薄肉部58の撓曲が阻止される。従って、二方弁20を長期間使用してもダイヤフラム弁50の薄肉部58が劣化することがなく、前記ダイヤフラム弁50の耐久性を向上させることが可能となる。
【0032】
なお、本実施の形態では、本発明に係るポペット弁を二方弁20に適用しているがこれに限定されるものではなく、例えば、三方弁等の各種の弁にも適用することができることは勿論である。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【0034】
すなわち、二次側ポートに供給された圧力流体の背圧がダイヤフラム弁の薄肉部に作用した場合、弾性部材が弾性変形することにより前記ダイヤフラム弁の薄肉部に付与される過度の負荷が緩衝される。この結果、前記ダイヤフラム弁の薄肉部が劣化することがなく、該ダイヤフラム弁の耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るポペット弁が適用された二方弁の縦断面図である。
【図2】図1に示す二方弁を構成するダイヤフラム弁が開成した状態の縦断面図である。
【図3】図1に示す二方弁を構成するダイヤフラム弁に背圧が付与された状態の要部拡大断面図である。
【図4】本出願人が案出した従来技術に係るポペット弁を示す縦断面図である。
【符号の説明】
20…二方弁 22、24、92…ポート
26…弁本体 28…ボンネット
30、30a、30b…シリンダ室 32…ピストン
34…シリンダ機構 38…カバー部材
48…連通路 50…ダイヤフラム弁
52…着座部 54…溝部
56…厚肉部 58…薄肉部
60…周縁部 62…環状突起部
64…爪片 66…連結部
70…ピストン本体 76…ガイド部
78…ダンパ部材 80…ダイヤフラム室
86…スリット 96、100…圧力流体出入ポート
102a、102b…ばね部材

Claims (6)

  1. 圧力流体が入出する一次側ポートおよび二次側ポートが形成された弁ボデイと、
    前記弁ボデイの内部に変位自在に設けられ、着座部から離間しまたは着座部に着座することにより前記一次側ポートと二次側ポートとの連通路を開閉するダイヤフラム弁と、
    前記ダイヤフラム弁によって形成されるダイヤフラム室に設けられ、弾性変形することにより該ダイヤフラム弁の薄肉部に付与される負荷を緩衝する弾性部材と、
    を備え
    前記弾性部材には環状のスリットが形成され、前記ダイヤフラム弁の薄肉部に付与される負荷によって前記スリットが閉じられることを特徴とするポペット弁。
  2. 請求項1記載のポペット弁において、ダイヤフラム弁にはピストンが連結され、弾性部材は、前記ピストンの外周部に嵌合する保持部材とダイヤフラム弁の薄肉部との間に挟持されることを特徴とするポペット弁。
  3. 請求項1記載のポペット弁において、弾性部材は、ブタジエンアクリロニトリルゴム、またはウレタンゴムを含む合成ゴムあるいは天然ゴムの材料によって形成され、ダイヤフラム弁は、ポリテトラフルオロエチレンを含む合成樹脂の材料、または合成ゴムあるいは天然ゴムを含む弾性体によって形成されることを特徴とするポペット弁。
  4. 請求項記載のポペット弁において、ピストンとダイヤフラム弁とが一体的に変位自在に連結され、弁ボデイの内部には、前記ピストンに当接して緩衝機能を発揮するダンパ部材が設けられることを特徴とするポペット弁。
  5. 請求項記載のポペット弁において、弾性部材とダイヤフラム弁の薄肉部とは面接触した状態で当接することを特徴とするポペット弁。
  6. 請求項1記載のポペット弁において、弾性部材は一体的に形成され、または、同一の硬度あるいは異なる硬度を有する二つの部材が固着されて形成されることを特徴とするポペット弁。
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EP97102711A EP0795707B1 (en) 1996-02-22 1997-02-19 Poppet Valve
DE69705447T DE69705447T2 (de) 1996-02-22 1997-02-19 Hubventil
CN97109911A CN1095053C (zh) 1996-02-22 1997-02-21 提升阀
US08/804,733 US5779224A (en) 1996-02-22 1997-02-21 Poppet valve
KR1019970005397A KR100221563B1 (ko) 1996-02-22 1997-02-22 포핏밸브

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3614025A1 (en) 2018-08-23 2020-02-26 SMC Corporation Two-way valve
EP3712473A1 (en) 2019-03-22 2020-09-23 SMC Corporation Fluid control valve

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11125344A (ja) * 1997-10-20 1999-05-11 Ebara Corp 弁装置
DE10014133A1 (de) 1999-03-23 2000-11-09 Fluoroware Inc Dreiwegeventil
US6086039A (en) * 1999-04-07 2000-07-11 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation High-efficiency poppet and seat assembly
JP4632162B2 (ja) * 2000-03-03 2011-02-16 Smc株式会社 流体機器の流体通路取り出し口の構造
JP4533500B2 (ja) * 2000-03-31 2010-09-01 トーステ株式会社 ダイアフラム弁
US6637723B1 (en) 2001-09-06 2003-10-28 Entegris, Inc. Fluid valve
JP4310532B2 (ja) * 2002-11-27 2009-08-12 Smc株式会社 流量調整弁
JP2004301181A (ja) * 2003-03-28 2004-10-28 Tonii Seiki Seisakusho:Kk ガス圧調整器におけるガス洩れ防止機構
JP4340119B2 (ja) * 2003-10-02 2009-10-07 シーケーディ株式会社 薬液弁
JP2005188672A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Neriki:Kk バルブ装置
JP4587098B2 (ja) * 2004-07-21 2010-11-24 Smc株式会社 ポンプ装置
JP4651358B2 (ja) * 2004-10-28 2011-03-16 旭有機材工業株式会社 ダイヤフラム弁
TWI430844B (zh) * 2007-06-14 2014-03-21 Graco Minnesota Inc 縱向膨脹密封件
JP2011033074A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Asahi Sunac Corp ダイヤフラムバルブ
JP5184481B2 (ja) * 2009-09-30 2013-04-17 Ckd株式会社 薬液弁
JP5364051B2 (ja) * 2010-07-09 2013-12-11 Ckd株式会社 流体制御弁
JP5249310B2 (ja) * 2010-12-17 2013-07-31 Ckd株式会社 流体制御弁
JP5248660B2 (ja) * 2011-07-13 2013-07-31 Ckd株式会社 ダイアフラム弁
DE102012005093A1 (de) * 2012-03-14 2013-09-19 Festo Ag & Co. Kg Membranventil
US9316323B2 (en) * 2012-06-14 2016-04-19 Fisher Controls International Llc Hydraulic mechanism for valves
JP5435439B2 (ja) * 2012-06-22 2014-03-05 Smc株式会社 二方弁
JP5565641B2 (ja) * 2012-11-12 2014-08-06 Smc株式会社 バルブ
DE102012222062B3 (de) 2012-12-03 2014-04-10 GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG Membranventil
JP6228450B2 (ja) * 2013-12-24 2017-11-08 住友ゴム工業株式会社 弁装置
JP6335685B2 (ja) * 2014-06-30 2018-05-30 株式会社フジキン ダイヤフラム弁、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法
EP3289256B1 (en) 2015-03-27 2022-03-09 Other Lab, LLC Poppet valve system
KR101852833B1 (ko) 2015-12-02 2018-06-20 한국항공우주연구원 다단 포핏 밸브
FR3054609A1 (fr) * 2016-07-29 2018-02-02 Plastic Omnium Advanced Innovation & Res Regulateur de debit de ventilation pour un reservoir pressurise de vehicule.
US10927920B2 (en) * 2017-10-04 2021-02-23 Illinois Tool Works, Inc Passive damping system for mass flow controller
CN107763245A (zh) * 2017-11-28 2018-03-06 常熟市喆宏机械科技有限公司 灌装用隔膜阀
US11542964B2 (en) * 2019-10-11 2023-01-03 Swagelok Company Arrangements and methods for controlled flow rate of pneumatic actuated valves
CN114508593A (zh) * 2020-11-16 2022-05-17 行益科技(宁波)有限公司 氟树脂阀及其使用方法
JP7712663B2 (ja) * 2021-09-06 2025-07-24 アドバンス電気工業株式会社 ダイアフラム弁
JP7741694B2 (ja) * 2021-10-29 2025-09-18 株式会社キッツエスシーティー 半導体製造装置用バルブ
JP7655884B2 (ja) * 2022-05-24 2025-04-02 Ckd株式会社 流体制御弁およびその製造方法
DE102023112963A1 (de) * 2023-05-17 2024-11-21 Khs Gmbh Ventileinsatz für eine Behälterbeschichtungsanlage, Ventilanordnung und Behälterbeschichtungsanlage
US20240384800A1 (en) * 2023-05-17 2024-11-21 Fisher Controls International Llc Elbow Globe Valve

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1065238B (ja) * 1959-09-10
GB430399A (en) * 1933-11-22 1935-06-18 Moteurs Salmson Improvements in or relating to cylinder heads of internal combustion engines
GB460399A (en) * 1935-04-27 1937-01-27 Philips Nv Improvements in valves for vessels containing gas under pressure
FR1125618A (fr) * 1955-05-18 1956-11-05 Robinet à soupape, sans presse-étoupe, à levée de clapet réduite
US3128632A (en) * 1961-02-24 1964-04-14 Calmec Mfg Co Force-balanced multiple position seals for valves and the like
LU86438A1 (fr) * 1986-05-23 1987-12-16 Ceodeux Sa Robinet a membrane
US5002086A (en) * 1990-05-11 1991-03-26 Fluoroware, Inc. Plastic control valve
DE4020951A1 (de) * 1990-06-30 1992-01-02 Bosch Gmbh Robert Magnetventil
US5131627A (en) * 1990-10-17 1992-07-21 Nupro Company Diaphragm valve
DE4332117B4 (de) * 1993-09-22 2005-05-04 Robert Bosch Gmbh Elektromagnetventil

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3614025A1 (en) 2018-08-23 2020-02-26 SMC Corporation Two-way valve
US10989317B2 (en) 2018-08-23 2021-04-27 Smc Corporation Two-way valve
EP3712473A1 (en) 2019-03-22 2020-09-23 SMC Corporation Fluid control valve
US11408537B2 (en) 2019-03-22 2022-08-09 Smc Corporation Fluid control valve

Also Published As

Publication number Publication date
CN1171511A (zh) 1998-01-28
JPH09229213A (ja) 1997-09-05
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