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JP3328565B2 - NOx gas concentration detector - Google Patents

NOx gas concentration detector

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Publication number
JP3328565B2
JP3328565B2 JP34723297A JP34723297A JP3328565B2 JP 3328565 B2 JP3328565 B2 JP 3328565B2 JP 34723297 A JP34723297 A JP 34723297A JP 34723297 A JP34723297 A JP 34723297A JP 3328565 B2 JP3328565 B2 JP 3328565B2
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JP
Japan
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measurement chamber
oxygen
electrode
ion pump
oxygen ion
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聡 菅谷
紀彦 灘浪
昇 石田
崇文 大島
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Niterra Co Ltd
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NGK Spark Plug Co Ltd
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Publication date
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  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はNOxガス濃度検出
器に関し、特に燃焼器や内燃機関の排ガスの成分である
NOxガス濃度を検出するために使用されるNOxガス
濃度検出器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a NOx gas concentration detector, and more particularly to a NOx gas concentration detector used for detecting the concentration of NOx gas which is a component of exhaust gas from a combustor or an internal combustion engine.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、車両の排ガス規制の強化に伴い、
内燃機関等の排ガスに含まれるNOxの濃度を直接的に
測定し、内燃機関や触媒の制御を行う研究が進められて
いる。特に、ジルコニア等の固体電解質(酸素イオン伝
導体)を用いて、第1酸素イオンポンプセルによってN
Oxが実質的に分解しない程度に十分に酸素を汲み出
し、第2酸素イオンポンプセルによってNOxを含む残
存ガスからさらに酸素を汲み出すことにより、NOxを
分解し解離した酸素イオンによって生じる電流Ip2を測
定してNOx濃度を検出するタイプのNOxガス濃度検
出器は、排ガス中に含まれるHC、CO等の妨害ガスの
影響を受けずにNOxガス濃度を測定できると考えら
れ、広く研究が行われている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the tightening of exhaust gas regulations for vehicles,
Research for directly measuring the concentration of NOx contained in exhaust gas from an internal combustion engine or the like and controlling the internal combustion engine or a catalyst has been conducted. In particular, using a solid electrolyte (oxygen ion conductor) such as zirconia and the like,
By sufficiently pumping out oxygen to such a degree that Ox does not substantially decompose, and further pumping out oxygen from the residual gas containing NOx by the second oxygen ion pump cell, a current Ip2 generated by oxygen ions decomposed and dissociated by NOx is measured. A NOx gas concentration detector of the type that detects NOx concentration is considered to be capable of measuring the NOx gas concentration without being affected by interfering gases such as HC and CO contained in exhaust gas. I have.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このようなNOxガス
濃度検出器において、前記電流Ip2には温度依存性、酸
素濃度依存性があり、正確なNOxガス濃度測定の妨げ
となっている。
In such a NOx gas concentration detector, the current Ip2 has a temperature dependency and an oxygen concentration dependency, which hinders accurate measurement of the NOx gas concentration.

【0004】このような事情に鑑みて、本発明は温度依
存性、酸素濃度依存性が小さく精密なNOxガス濃度測
定を可能とするNOxガス濃度検出器を提供することを
課題とする。
[0004] In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a NOx gas concentration detector which has small temperature dependence and oxygen concentration dependence and enables accurate NOx gas concentration measurement.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者は、被測定ガス
が導入される第1測定室と、第1測定室内の酸素濃度を
一定に制御するために第1測定室から酸素を汲み出す第
1酸素イオンポンプセルと、を備えたNOxガス濃度検
出器において、第1酸素イオンポンプセルの電極の長さ
が第1測定室の長さに対して略同じ長さである場合、第
1測定室に大きな酸素濃度勾配が生じ、これによって、
測定室先端付近の酸素イオンポンプセルの電極に起電力
が発生し、この起電力がNOxガス濃度測定に影響を及
ぼしていることを見出し、これを改善するために鋭意研
究を進めた結果、本発明に至ったものである。
The inventor of the present invention has a first measuring chamber into which a gas to be measured is introduced, and pumps oxygen from the first measuring chamber to control the oxygen concentration in the first measuring chamber to be constant. A first oxygen ion pump cell, wherein the first oxygen ion pump cell has an electrode having a length substantially equal to a length of the first measurement chamber. A large oxygen concentration gradient occurs in the measurement chamber,
An electromotive force was generated at the electrode of the oxygen ion pump cell near the tip of the measurement chamber, and it was found that this electromotive force had an effect on the NOx gas concentration measurement. This has led to the invention.

【0006】本発明の第1の視点は下記の要素を有す
る。拡散抵抗を介して被測定ガスが導入される。導入さ
れたガス中の酸素が選択的に外部に汲み出される測定室
内の被測定ガスの流れ方向に沿って、測定室の全長に対
し、酸素イオンポンプセルの電極の内少なくとも測定室
の壁面に設けられた方の電極の長さの比が、(電極/全
長)=1/4〜3/4である。
A first aspect of the present invention has the following elements. The gas to be measured is introduced via the diffusion resistance. Along the flow direction of the gas to be measured in the measurement chamber in which oxygen in the introduced gas is selectively pumped to the outside, at least on the wall of the measurement chamber among the electrodes of the oxygen ion pump cell with respect to the entire length of the measurement chamber. The ratio of the length of the provided electrode is (electrode / total length) = 1/4 to 3/4.

【0007】前記第1の視点の特徴は、第1拡散抵抗を
介して被測定ガスが導入される第1測定室と、前記第1
測定室内の被測定ガス中の酸素分圧を測定するための酸
素分圧検知電極と、酸素分圧検知電極の電位に基づき、
前記第1測定室から該測定室外へ、前記被測定ガス中の
酸素をNOxが分解しない程度に十分に汲み出す第1酸
素イオンポンプセルと、前記第1測定室から第2拡散抵
抗を介してガスが導入される第2測定室と、電圧が印加
されて前記第2測定室中のNOxを分解し、解離した酸
素によりNOxガス濃度に応じた電流が流れる第2の酸
素イオンポンプセルと、を備えたNOxガス濃度検出器
に好適に適用される。
A feature of the first aspect is that a first measurement chamber into which a gas to be measured is introduced via a first diffusion resistor,
Based on the oxygen partial pressure detection electrode for measuring the oxygen partial pressure in the gas to be measured in the measurement chamber, and the potential of the oxygen partial pressure detection electrode,
A first oxygen ion pump cell that pumps oxygen in the gas to be measured from the first measurement chamber to the outside of the measurement chamber sufficiently so that NOx is not decomposed, and a second diffusion resistor from the first measurement chamber A second measurement chamber into which gas is introduced, a second oxygen ion pump cell to which a voltage is applied to decompose NOx in the second measurement chamber, and a current corresponding to the NOx gas concentration flows by dissociated oxygen; It is suitably applied to a NOx gas concentration detector provided with

【0008】第1の視点に基づき、好ましいNOxガス
濃度検出器は、測定室の一方に第1拡散抵抗、他方には
第2拡散抵抗が互いに離間して配置される。測定室の互
いに対向する面の一面側には、酸素イオンポンプセルの
測定室側の電極、他面側には第2拡散抵抗の入口側開口
が形成される。酸素イオンポンプセルの少なくとも測定
室側の電極は、拡散抵抗近傍から、長くとも第2拡散抵
抗の入口側開口直上よりも第1拡散抵抗側に延在して形
成される。また、好ましくは第2拡散抵抗の入口側開口
直上、又は近傍には酸素イオンポンプセルの少なくとも
測定室側の電極を形成しないことを特徴とする。
Based on the first point of view, a preferred NOx gas concentration detector has a first diffusion resistor in one of the measuring chambers and a second diffusion resistor in the other, spaced apart from each other. An electrode on the measurement chamber side of the oxygen ion pump cell is formed on one surface side of the opposing surfaces of the measurement chamber, and an entrance opening of the second diffusion resistor is formed on the other surface side. At least the electrode on the measurement chamber side of the oxygen ion pump cell is formed so as to extend from the vicinity of the diffusion resistance to at least the first diffusion resistance side immediately above the opening on the inlet side of the second diffusion resistance. Preferably, no electrode is formed at least on the measurement chamber side of the oxygen ion pump cell immediately above or near the opening on the inlet side of the second diffusion resistor.

【0009】また、他の好ましいNOxガス濃度検出器
は、酸素イオンポンプセルが備える一対の電極の内、測
定室外に設けられた電極は封止ないし被覆され、該電極
に電気的に接続しガス拡散抵抗を有するリードを介して
大気に連通する。
In another preferred NOx gas concentration detector, an electrode provided outside the measurement chamber among a pair of electrodes provided in the oxygen ion pump cell is sealed or covered, and the gas is electrically connected to the electrode. It communicates with the atmosphere via a lead having diffusion resistance.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の一実
施の形態を説明する。先ず、2組の拡散抵抗、酸素イオ
ンポンプセル、及び測定室を備えたNOxガス濃度検出
器における測定原理は下記の通りである。(1)排気ガス
が拡散抵抗を有する第1拡散孔を通って第1測定室に流
入する。(2)第1酸素イオンポンプセルにより、第1測
定室の酸素をNOxの分解(2NO→N2+O2)が実質
的に起こらない程度に汲み出す(酸素分圧(濃度)検知
電極から出力される信号により第1測定室の酸素分圧を
制御する)。(3)拡散抵抗を有する第2拡散孔を通って
第1測定室のガス(濃度制御されたO2ガス+NOxガ
ス)が第2測定室に流入する。(4)第2測定室のNOx
ガスは、第2酸素イオンポンプセルが第2測定室のガス
より更に酸素を汲み出すことにより、N2とO2とに分解
される。(5)このとき、第2酸素イオンポンプセルに流
れる電流Ip2がNOxガス濃度と直線関係を有するか
ら、Ip2を検出することによりNOxガス濃度が測定可
能である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, the principle of measurement in a NOx gas concentration detector equipped with two sets of diffusion resistors, an oxygen ion pump cell, and a measurement chamber is as follows. (1) Exhaust gas flows into the first measurement chamber through the first diffusion hole having diffusion resistance. (2) The first oxygen ion pump cell pumps out oxygen in the first measurement chamber to the extent that NOx decomposition (2NO → N 2 + O 2 ) does not substantially occur (output from the oxygen partial pressure (concentration) detection electrode) The partial pressure of oxygen in the first measurement chamber is controlled by the signal to be supplied). (3) The gas in the first measurement chamber (concentration-controlled O 2 gas + NOx gas) flows into the second measurement chamber through the second diffusion hole having diffusion resistance. (4) NOx in the second measurement room
The gas is decomposed into N 2 and O 2 by the second oxygen ion pump cell pumping out more oxygen than the gas in the second measurement chamber. (5) At this time, since the current Ip2 flowing through the second oxygen ion pump cell has a linear relationship with the NOx gas concentration, the NOx gas concentration can be measured by detecting Ip2.

【0011】次に、本発明の一実施形態に係るNOxガ
ス濃度検出器の特徴を、本発明の一実施例に係る検出器
を説明する図1及び、比較例に係る検出器を説明する図
10を対比して説明する。なお、本発明は図1に示した
検出器に限定されるものではない。図1と図10に示し
た検出器の異なる点は、図1の検出器において、第1酸
素イオンポンプセル6の電極6a,6bの第2拡散孔3
側の先端が除去されたことである(A>B)。従って、
電極6a,6bの長さに関して、図1の検出器の方が短
くされている(電極面積も小さい)。このように、第1
酸素イオンポンプセル6の電極が短くされたことによっ
て、第1測定室2内の特に被測定ガス流れ方向(第1拡
散孔1から第2拡散孔3に向かう方向)の酸素濃度勾配
が低くされ(電極6b一端から他端までの酸素濃度差が
低減される、電極6b存在部分での酸素濃度差が低減さ
れる)、電極6a,6bの先端部分に発生していた起電
力が抑制される(図1(C)参照)。さらに、電極6
a、6bに発生していた起電力の抑制に伴い、第1酸素
イオンポンプセル電圧Vp1が低減されることにより、N
Oxガス濃度測定の温度依存性、酸素濃度依存性が減少
する。
Next, the features of the NOx gas concentration detector according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1 illustrating a detector according to an embodiment of the present invention and FIG. 1 illustrating a detector according to a comparative example. 10 will be described in comparison. Note that the present invention is not limited to the detector shown in FIG. The difference between the detectors shown in FIGS. 1 and 10 is that the second diffusion holes 3 of the electrodes 6a and 6b of the first oxygen ion pump cell 6 in the detector of FIG.
Side has been removed (A> B). Therefore,
The length of the electrodes 6a and 6b is shorter in the detector of FIG. 1 (the electrode area is also smaller). Thus, the first
Since the electrodes of the oxygen ion pump cell 6 are shortened, the oxygen concentration gradient in the first measurement chamber 2 particularly in the flow direction of the gas to be measured (the direction from the first diffusion hole 1 to the second diffusion hole 3) is reduced. (The oxygen concentration difference from one end to the other end of the electrode 6b is reduced, and the oxygen concentration difference in the portion where the electrode 6b is present is reduced.) The electromotive force generated at the tip portions of the electrodes 6a and 6b is suppressed. (See FIG. 1C). Further, the electrode 6
The first oxygen ion pump cell voltage Vp1 is reduced along with the suppression of the electromotive force generated in
The temperature dependency and the oxygen concentration dependency of the Ox gas concentration measurement are reduced.

【0012】この効果は、余剰酸素を汲み出すのに必要
な第1酸素イオンポンプセル電圧Vp1が低減することに
より第1測定室内で酸素の汲み出し以外にNOガスの解
離分解がなくなることによる。すなわち第2測定室内に
流入するNOガスの低下がなくなり△Ip2(ゲイン)の
低下が抑制できる。
This effect is due to the fact that the first oxygen ion pump cell voltage Vp1 necessary for pumping out excess oxygen is reduced, so that dissociation and decomposition of NO gas in the first measurement chamber other than pumping out of oxygen are eliminated. That is, the NO gas flowing into the second measurement chamber does not decrease, and the decrease of ΔIp2 (gain) can be suppressed.

【0013】さらに第1測定室2内で生じる酸素濃度勾
配が減少するため第2拡散孔3近傍は一定の酸素濃度と
なり、NOx濃度を測定するための第2測定室4へ導入
される酸素濃度が、一定となる。すなわち、第2測定室
4内で汲み出す酸素濃度が一定(Ip2の安定化)とな
り、Ip2値はNOの解離分解量のみに依存する。
Further, since the oxygen concentration gradient generated in the first measurement chamber 2 is reduced, the oxygen concentration in the vicinity of the second diffusion hole 3 becomes constant, and the oxygen concentration introduced into the second measurement chamber 4 for measuring the NOx concentration. Becomes constant. That is, the concentration of oxygen pumped in the second measurement chamber 4 becomes constant (stabilization of Ip2), and the value of Ip2 depends only on the amount of dissociated and decomposed NO.

【0014】また、図10に示した比較例の検出器で
は、電極6a,6bが第1測定室2の全長に亘って延在
するため、第1測定室2の先端(電極6a,6b先端
間)において、第1測定室2内外の酸素濃度差によって
は、第1酸素イオンポンプセル電圧Vp1とは逆方向の起
電力が発生し、第1測定室2の入口側(第1拡散孔1
側)では酸素が汲み出されるが、出口側(第2拡散孔3
側)では逆に酸素が汲み入れられるような現象が起こっ
ていると考えられる。これに対し、図1に示した検出器
では、電極6aの先端が削除されているため、第1測定
室2の先端側(第2拡散孔3側、第1測定室出口側)に
おける起電力の発生が防止される(図1(C)参照)。
In the detector of the comparative example shown in FIG. 10, since the electrodes 6a and 6b extend over the entire length of the first measurement chamber 2, the tip of the first measurement chamber 2 (the tip of the electrodes 6a and 6b). In the meantime, an electromotive force in a direction opposite to the first oxygen ion pump cell voltage Vp1 is generated depending on the oxygen concentration difference between the inside and outside of the first measurement chamber 2, and the inlet side of the first measurement chamber 2 (the first diffusion hole 1).
Oxygen is pumped out at the outlet side (second diffusion hole 3).
On the side), it is considered that a phenomenon occurs in which oxygen is pumped up. On the other hand, in the detector shown in FIG. 1, since the tip of the electrode 6a is omitted, the electromotive force on the tip side of the first measurement chamber 2 (the second diffusion hole 3 side, the first measurement chamber exit side). Is prevented (see FIG. 1C).

【0015】第1酸素イオンポンプセルの電極の内少な
くとも該第1測定室の壁面に設けられた方の電極が長す
ぎると、第1酸素イオンポンプセル電圧Vp1が上昇し第
1測定室内でNOxの解離が起こり、反対に短すぎると
第1測定室から酸素の汲み出しが不十分となり第2酸素
イオンポンプセル電流のゲインが低下するため、前記第
1測定室内の被測定ガスの流れ方向に沿って、前記第1
測定室の全長に対し、第1酸素イオンポンプセルの電極
の内少なくとも該第1測定室の壁面に設けられた方の電
極の長さの比は、(電極/全長)=1/4〜3/4、好
ましくは、2/7〜4/7,5/7とする。なお、本発
明において、数値範囲の記載はその上下限の数値だけで
なく、任意の中間値を含むものである。
If at least one of the electrodes of the first oxygen ion pump cell provided on the wall surface of the first measurement chamber is too long, the voltage Vp1 of the first oxygen ion pump cell rises and NOx in the first measurement chamber. On the contrary, if it is too short, the pumping of oxygen from the first measurement chamber becomes insufficient and the gain of the second oxygen ion pump cell current decreases, so that the flow rate of the gas to be measured in the first measurement chamber is reduced. And the first
The ratio of the length of at least one of the electrodes of the first oxygen ion pump cell provided on the wall surface of the first measurement chamber to the total length of the measurement chamber is (electrode / total length) = 1/4 to 3 / 4, preferably 2/7 to 4/7, 5/7. In the present invention, the description of the numerical range includes not only the upper and lower limits but also any intermediate value.

【0016】本発明の好ましいNOxガス濃度検出器
は、図1に示したように、第1酸素イオンポンプセル
6、酸素濃度測定セル7、第2酸素イオンポンプセル8
がいずれも互いに異なる固体電解質層に設けられている
ことを特徴とする。これによって、各セルの電極間に流
れるリーク電流が減少され、第1測定室2内の酸素濃度
が精度よく制御できる。さらに好ましくは、各セル間に
アルミナ等の絶縁膜、又は絶縁層を設ける。
As shown in FIG. 1, the preferred NOx gas concentration detector of the present invention comprises a first oxygen ion pump cell 6, an oxygen concentration measurement cell 7, and a second oxygen ion pump cell 8.
Are provided in solid electrolyte layers different from each other. Thereby, the leak current flowing between the electrodes of each cell is reduced, and the oxygen concentration in the first measurement chamber 2 can be controlled with high accuracy. More preferably, an insulating film such as alumina or an insulating layer is provided between the cells.

【0017】また、好ましくは、検出器を加熱する加熱
ヒータ層を積層された固体電解質層間に積層する。加熱
ヒータ層を設けることにより、酸素分圧検知電極を適温
に維持することができる。
Preferably, a heater layer for heating the detector is laminated between the laminated solid electrolyte layers. By providing the heater layer, the oxygen partial pressure detection electrode can be maintained at an appropriate temperature.

【0018】各セルの固体電解質としては、ジルコニア
とイットリアの固溶体、ジルコニアとカルシアの固溶体
などを用いる。薄板状にされた固体電解質層の両面にス
クリーン印刷及び焼結などの方法によって形成される多
孔質の電極としては、触媒作用を有する白金やロジウ
ム、或いはこれらの合金などを使用することが好まし
い。第1、第2拡散孔としては、多孔質のセラミックス
を用いることが好ましく、例えば多孔質アルミナセラミ
ックスなどである。加熱ヒータの発熱部をセラミックス
と白金又は白金合金の複合材料から形成し、リード部を
白金又は白金合金とすることが好ましい。
As a solid electrolyte of each cell, a solid solution of zirconia and yttria, a solid solution of zirconia and calcia, and the like are used. As a porous electrode formed by a method such as screen printing and sintering on both surfaces of a thin solid electrolyte layer, it is preferable to use platinum, rhodium, or an alloy thereof having a catalytic action. As the first and second diffusion holes, it is preferable to use porous ceramics, such as porous alumina ceramics. It is preferable that the heat generating portion of the heater be formed of a composite material of ceramics and platinum or a platinum alloy, and the lead portion be formed of platinum or a platinum alloy.

【0019】なお、COガスセンサ、HCガスセンサに
も本発明の測定方法を応用可能であり、NOxガス濃度
検出器の場合と同様に、H2Oの影響が低減され対象ガ
ス濃度が精密に測定できることとなる。
The measuring method of the present invention can be applied to a CO gas sensor and an HC gas sensor. As in the case of a NOx gas concentration detector, the effect of H 2 O is reduced and the target gas concentration can be accurately measured. Becomes

【0020】その他の好ましい特徴は、本出願人による
特願平8−160812号に記載されている通りであ
る。必要に応じこの出願を参照し本願に繰込むことがで
きるものとする。
Other preferable features are as described in Japanese Patent Application No. 8-160812 filed by the present applicant. This application may be referred to and incorporated herein as necessary.

【0021】また、本発明は、下記のNOxガス濃度検
出器に好適に適用される。すなわち、酸素イオン伝導量
を電気的に制御可能なセラミック体と、前記セラミック
体が面するように設けられたNOxを含有する被測定ガ
スが流入する流路と、を有し、該流路はこれを通じて被
測定ガスが移動する過程で被測定ガス中のNOx濃度を
変化させるものであり、さらに、被測定ガスから酸素ガ
スを、前記セラミック体を介して前記流路の外へ導出す
ることによって、前記流路に導入する前とはNOx濃度
の異なる残留ガスを前記流路内に形成する手段と、前記
残留ガス中のH2Oが実質的に解離しない範囲内で電圧
が印加されることによって、前記残留ガス中のNOxを
窒素と酸素に解離するように、該セラミック体表面に形
成された複数の電極と、を有し、前記電極間において、
前記セラミック体に流れる電流を測定する手段と;但し
該電流はNOxから解離した酸素の電気化学的作用によ
って生じるものである、前記測定された電流に基づい
て、被測定ガス中のNOx濃度を決定する手段と、が付
設された検出器である。
Further, the present invention is suitably applied to the following NOx gas concentration detector. That is, it has a ceramic body capable of electrically controlling the oxygen ion conduction amount, and a flow path into which a gas to be measured containing NOx is provided so as to face the ceramic body, and the flow path is Through this, the NOx concentration in the gas to be measured is changed in the course of the movement of the gas to be measured, and further, oxygen gas is led out of the gas to be measured through the ceramic body to the outside of the flow path. Means for forming a residual gas having a different NOx concentration in the flow path before introduction into the flow path; and applying a voltage within a range in which H 2 O in the residual gas is not substantially dissociated. A plurality of electrodes formed on the surface of the ceramic body so as to dissociate NOx in the residual gas into nitrogen and oxygen, between the electrodes,
Means for measuring a current flowing through the ceramic body, wherein the current is generated by an electrochemical action of oxygen dissociated from NOx, and a NOx concentration in the gas to be measured is determined based on the measured current. And a detector provided with the detector.

【0022】[0022]

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。図1(A)〜(C)は、本発明の一実施例に係るN
Xガス濃度検出器を説明するための図であり、図1
(A)は長手方向に切断した断面図、図1(B)は第1
測定室部分の平面図、及び図1(C)は第1測定室の要
部拡大断面図である。図1の検出器は、固体電解質層と
該層を挟んで設けられた電極6a(正極),6b(負
極)を備えた第1酸素イオンポンプセル6の層、固体電
解質層と該層を挟んで設けられた酸素分圧検知電極を備
えた酸素濃度測定セル7の層、固体電解質の層、及び固
体電解質層と該層を挟んで設けられた酸素イオンポンプ
電極を備えた第2酸素イオンポンプセル8の層の順に積
層されてなる。第1酸素イオンポンプセル6の層と酸素
濃度測定セル7の層の間には、図中左右側の絶縁層及び
上下側の固体電解質層によって第1測定室2が画成さ
れ、同様に第2酸素イオンポンプセル8の層の上部には
第2測定室4が画成されている。さらに、第1測定室2
には拡散抵抗を介して被測定ガスを導入するための第1
拡散孔1と第2拡散孔3の開口が離間して設けられてい
る。第2拡散孔3は、酸素濃度測定セル7の層及び固体
電解質の層を貫通して第1、第2測定室2,4を連通
し、少なくともNOxとO2とを含むガスを第1測定室
2から拡散抵抗を介して第2測定室4へ送る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIGS. 1A to 1C show N according to an embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a diagram for explaining an OX gas concentration detector, and FIG.
1A is a cross-sectional view cut in the longitudinal direction, and FIG.
FIG. 1C is a plan view of a measurement chamber portion, and FIG. 1C is an enlarged sectional view of a main part of the first measurement chamber. The detector of FIG. 1 includes a layer of a first oxygen ion pump cell 6 including a solid electrolyte layer and electrodes 6a (positive electrode) and 6b (negative electrode) provided between the layers, and a solid electrolyte layer and the layers. The second oxygen ion pump including the layer of the oxygen concentration measurement cell 7 provided with the oxygen partial pressure detection electrode provided in the above, the solid electrolyte layer, and the oxygen ion pump electrode provided with the solid electrolyte layer and the layer interposed therebetween The layers are stacked in the order of the cells 8. Between the layer of the first oxygen ion pump cell 6 and the layer of the oxygen concentration measurement cell 7, a first measurement chamber 2 is defined by left and right insulating layers and upper and lower solid electrolyte layers in the figure. The second measurement chamber 4 is defined above the layer of the two-oxygen ion pump cell 8. Further, the first measurement chamber 2
To introduce the gas to be measured through the diffusion resistance
The openings of the diffusion hole 1 and the second diffusion hole 3 are provided separately. The second diffusion hole 3 communicates with the first and second measurement chambers 2 and 4 through the layer of the oxygen concentration measurement cell 7 and the layer of the solid electrolyte, and performs the first measurement of a gas containing at least NOx and O 2. It is sent from the chamber 2 to the second measurement chamber 4 via a diffusion resistor.

【0023】なお、各固体電解質の層間には、それぞれ
アルミナからなる絶縁層が設けられ、不図示であるが、
検出器を加熱する加熱ヒータ層は、検出器全体を積層方
向に挟むように、セメント層を介して接着されている。
各電極は層間に形成されたリード線を介して、電源等の
検出器外部に接続する。
Note that an insulating layer made of alumina is provided between the layers of the solid electrolytes, respectively.
The heater layer for heating the detector is bonded via a cement layer so as to sandwich the entire detector in the stacking direction.
Each electrode is connected to the outside of a detector such as a power supply via a lead wire formed between layers.

【0024】また、この検出器の特徴の一つは、第1測
定室2と第2測定室4が上下方向に互いに概ね重なり合
って配置されていることである。また、第1拡散孔1
は、検出器の先端側でなく検出器の両側にあり、第2拡
散孔3には多孔質材料が充填され、全ての固体電解質層
間に絶縁膜(層)がそれぞれ配置されており、各セルの
電極は互いに絶縁されている点である。なお、第2測定
室4は空間を形成するが多孔質材料を充填してもよい。
One of the features of this detector is that the first measurement chamber 2 and the second measurement chamber 4 are arranged so as to be substantially overlapped with each other in the vertical direction. Also, the first diffusion hole 1
Are located on both sides of the detector, not on the tip side of the detector. The second diffusion holes 3 are filled with a porous material, and an insulating film (layer) is disposed between all the solid electrolyte layers. Are insulated from each other. The second measurement chamber 4 forms a space, but may be filled with a porous material.

【0025】ここで、比較例である図10の検出器と比
較して、図1の検出器の特徴は、第1酸素イオンポンプ
セル6に設けられた電極6a(正極)及び6b(負極)
の、第1拡散孔から第2拡散孔へ流れる被測定ガスの流
れ方向(長手方向)に沿った長さが、第1測定室2の長
さに比べて短く(A>B)、かつ第2拡散孔3の開口直
上までは電極6a,6bが形成されていないことであ
る。
Here, as compared with the detector of FIG. 10 which is a comparative example, the feature of the detector of FIG. 1 is that the electrodes 6 a (positive electrode) and 6 b (negative electrode) provided in the first oxygen ion pump cell 6.
The length along the flow direction (longitudinal direction) of the gas to be measured flowing from the first diffusion hole to the second diffusion hole is shorter than the length of the first measurement chamber 2 (A> B). That is, the electrodes 6a and 6b are not formed immediately above the opening of the two diffusion holes 3.

【0026】このように形成された電極6a,6bの作
用については、発明の実施の形態の欄で先に述べた通り
であるので説明を省略する。
The operation of the electrodes 6a and 6b formed as described above is as described above in the section of the embodiment of the present invention, and the description is omitted.

【0027】図1に示した実施例、図10に示した比較
例の検出器を用いてNOxガス濃度測定を行った。使用
した実施例の検出器において、検出器外形は、長手方向
の長さが50mm、幅(短手方向)が4mm、厚さ(積
層方向)が1.3mmである。第1酸素イオンポンプセ
ルの厚さは0.3mm、電極6a,6bの長手方向の長
さBは4mm、短手方向の長さは2mm、第1測定室の
長手方向の長さAは7mm、短手方向の長さは2mm、
高さ50μm、第1拡散孔の長手方向の長さは2mm、
短手方向の長さ1mm、厚さ50μm、第2拡散孔の大
きさはφ1、図中第1拡散孔端部(右端)からの距離は
5.5mmである。比較例の検出器(図10参照)は、
電極6a,6bの長手方向の長さBが7mm(A=B)
とされた以外は、実施例の検出器と同一寸法である。
The NOx gas concentration was measured using the detectors of the embodiment shown in FIG. 1 and the comparative example shown in FIG. In the detector of the embodiment used, the outer dimensions of the detector are 50 mm in length in the longitudinal direction, 4 mm in width (transverse direction), and 1.3 mm in thickness (stacking direction). The thickness of the first oxygen ion pump cell is 0.3 mm, the length B of the electrodes 6a and 6b in the longitudinal direction is 4 mm, the length in the short direction is 2 mm, and the length A of the first measurement chamber in the longitudinal direction is 7 mm. , The length in the short direction is 2 mm,
Height 50 μm, the length of the first diffusion hole in the longitudinal direction is 2 mm,
The length in the short direction is 1 mm, the thickness is 50 μm, the size of the second diffusion hole is φ1, and the distance from the end (right end) of the first diffusion hole in the figure is 5.5 mm. The detector of the comparative example (see FIG. 10)
The length B in the longitudinal direction of the electrodes 6a and 6b is 7 mm (A = B)
The dimensions are the same as those of the detector of the embodiment except for the above.

【0028】次に、測定に使用した検出器の製造方法及
びレイアウトを説明する。図2は、測定に使用した検出
器の製造方法及びレイアウトを説明するための図であ
る。実施例と比較例のレイアウトは、図1及び図10に
示したように第1酸素イオン本ポンプセルの電極の長さ
が異なる以外は同一である。
Next, the manufacturing method and layout of the detector used for the measurement will be described. FIG. 2 is a diagram for explaining a manufacturing method and a layout of the detector used for the measurement. The layouts of the example and the comparative example are the same as shown in FIGS. 1 and 10 except that the electrodes of the first oxygen ion main pump cell are different in length.

【0029】図2を参照して、図中左上から左下、そし
て右上から右下の順にZrO2シート及び電極用ペース
トなどが積層されて、一体の検出器が作成される。な
お、測定に使用した検出器では、図1、図10では不図
示ではあるが保護コートペースト(3)は設けられてい
る。絶縁コート、電極などペースト材料は、所定のZr
2シートにスクリーン印刷されることにより、積層形
成される。次に、図2に示したZrO2シートなど各構
成部品の製造例を説明する。
Referring to FIG. 2, a ZrO 2 sheet, an electrode paste, and the like are laminated in order from the upper left to the lower left and the upper right to the lower right in the figure to form an integrated detector. In the detector used for the measurement, although not shown in FIGS. 1 and 10, a protective coat paste (3) is provided. Paste materials such as insulating coats and electrodes are specified Zr
By being screen-printed on an O 2 sheet, a laminate is formed. Next, an example of manufacturing each component such as the ZrO 2 sheet shown in FIG. 2 will be described.

【0030】[ZrO2シート成形]ZrO2粉末を600
℃×2時間、大気炉にて仮焼した。仮焼したZrO2
末30kg、分散材150g、有機溶剤10kg、玉石60kgをトロン
メルにて調合し、約50時間混合し、分散させ、これにバ
インダー4kgを有機溶剤10kgに溶解させたものを添加
し、20時間混合して10Pa・s(パスカル・セカンド)程度
の粘度を有するスラリーを得た。このスラリーからドク
ターブレード法により、厚さ0.4mm程度のZrO2グリ
ーンシートを作成し、100℃×1時間乾燥した。
[0030] [ZrO 2 sheet forming] a ZrO 2 powder 600
Calcination was performed in an air furnace at a temperature of 2 ° C. for 2 hours. 30 kg of calcined ZrO 2 powder, 150 g of dispersing material, 10 kg of organic solvent, and 60 kg of cobblestone were prepared by trommel, mixed and dispersed for about 50 hours, and a solution obtained by dissolving 4 kg of binder in 10 kg of organic solvent was added. For 20 hours to obtain a slurry having a viscosity of about 10 Pa · s (pascal second). A ZrO 2 green sheet having a thickness of about 0.4 mm was prepared from this slurry by a doctor blade method, and dried at 100 ° C. for 1 hour.

【0031】[印刷用ペースト] (1)第1酸素イオンポンプ電極a、酸素分圧基準電極
(酸素基準電極a)、第2酸素イオンポンプ電極a、b
用: 白金粉末20g、ZrO2粉末2.8g、適量の有機溶剤
を、らいかい機(或いはポットミル)にて調合し、4時
間混合し、分散させ、これにバインダー2gを有機溶剤2
0gに溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤5gを
添加し、4時間混合して粘度150Pa・s程度のペーストを
作成した。
[Printing Paste] (1) First oxygen ion pump electrode a, oxygen partial pressure reference electrode (oxygen reference electrode a), second oxygen ion pump electrodes a and b
For use: 20 g of platinum powder, 2.8 g of ZrO 2 powder, and an appropriate amount of an organic solvent are mixed with a grinder (or pot mill), mixed for 4 hours and dispersed, and 2 g of a binder is added to the organic solvent 2.
A solution dissolved in 0 g was added, and 5 g of a viscosity modifier was further added, followed by mixing for 4 hours to prepare a paste having a viscosity of about 150 Pa · s.

【0032】(2)第1酸素イオンポンプ電極b、酸素分
圧検出電極(酸素基準電極b)用:白金粉末19.8g、Z
rO2粉末2.8kg、金粉末0.2g、適量の有機溶剤を、ら
いかい機(或いはポットミル)にて調合し、4時間混合
し、分散させ、これにバインダー2gを有機溶剤20gに溶
解させたものを添加し、さらに粘度調整剤5gを添加
し、4時間混合して粘度150Pa・s程度のペーストを作成
した。
(2) First oxygen ion pump electrode b, oxygen partial pressure detection electrode (oxygen reference electrode b): 19.8 g of platinum powder, Z
A mixture of 2.8 kg of rO 2 powder, 0.2 g of gold powder and an appropriate amount of an organic solvent mixed with a grinder (or pot mill), mixed for 4 hours, dispersed, and dissolved 2 g of a binder in 20 g of an organic solvent. Was added, and 5 g of a viscosity modifier was further added, followed by mixing for 4 hours to prepare a paste having a viscosity of about 150 Pa · s.

【0033】(3)絶縁コート、保護コート用: アルミ
ナ粉末50gと適量の有機溶剤を、らいかい機(或いはポ
ットミル)にて調合し、12時間混合し、溶解させ、さ
らに粘度調整剤20gを添加し、3時間混合して粘度100Pa
・s程度のペーストを作成した。
(3) For insulating coat and protective coat: 50 g of alumina powder and an appropriate amount of an organic solvent are mixed with a grinder (or pot mill), mixed for 12 hours, dissolved, and further added with 20 g of a viscosity modifier. And mix for 3 hours, viscosity 100Pa
・ Created about s paste.

【0034】(4)Pt入り多孔質用(リード線用): ア
ルミナ粉末10g、白金粉末1.5g、バインダ2.5g、有機溶
剤20gを、らいかい機(或いはポットミル)にて調合
し、4時間混合し、さらに粘度調整剤10gを添加し、4
時間混合して粘度100Pa・s程度のペーストを作成した。
(4) For Pt-containing porous material (for lead wire): Alumina powder 10 g, platinum powder 1.5 g, binder 2.5 g, and organic solvent 20 g are mixed with a grinder (or pot mill) and mixed for 4 hours. And further add 10 g of a viscosity modifier,
After mixing for a time, a paste having a viscosity of about 100 Pa · s was prepared.

【0035】(5)第1拡散孔用: 平均粒径2μm程度
のアルミナ粉末10g、バインダ2g、有機溶剤20gを、らい
かい機(或いはポットミル)にて調合し、混合し、分散
させ、さらに粘度調整剤10gを添加し、4時間混合して
粘度400Pa・s程度のペーストを作成した。
(5) For the first diffusion hole: 10 g of alumina powder having an average particle size of about 2 μm, 2 g of a binder, and 20 g of an organic solvent are prepared by a grinder (or a pot mill), mixed, dispersed, and further dispersed in viscosity. 10 g of the adjusting agent was added and mixed for 4 hours to prepare a paste having a viscosity of about 400 Pa · s.

【0036】(6)カーボンコート用: カーボン粉末4
g、バインダ2g、有機溶剤40gを、らいかい機(或いはポ
ットミル)にて調合し、混合し、分散させ、さらに粘度
調整剤5gを添加し、4時間混合してペーストを作成し
た。なお、カーボンコートを印刷形成することにより、
一例を挙げれば、第1酸素ポンプ電極bと酸素基準電極
bとの接触が防止される。また、カーボンコートは第1
測定室及び第2測定室を形成するために用いられる。カ
ーボンは焼成途中で焼失するので、カーボンコート層は
焼成体には存在しない。
(6) For carbon coating: carbon powder 4
g, 2 g of a binder, and 40 g of an organic solvent were mixed by a grinder (or a pot mill), mixed and dispersed, 5 g of a viscosity modifier was further added, and mixed for 4 hours to prepare a paste. In addition, by printing and forming a carbon coat,
For example, contact between the first oxygen pump electrode b and the oxygen reference electrode b is prevented. In addition, the carbon coat is the first
It is used to form a measurement chamber and a second measurement chamber. Since carbon is burned off during firing, the carbon coat layer does not exist in the fired body.

【0037】[ペレット体]第2拡散孔用: 平均粒径
2μm程度のアルミナ粉末20g、バインダ8g、有機溶剤
20gを、らいかい機(或いはポットミル)にて調合し、
1時間混合し、造粒し、金型プレスにて約2t/cm2圧を
加えφ1.3×0.8tの円柱状のプレス成形体(グリーン状
態)を作成した。このグリーン状態のプレス成形体を、
2、3層目のジルコニアグリーンシートの所定箇所に挿
入され、圧着して一体化した後、焼成することにより、
検出器中に第2拡散孔を形成する。
[Pellet] For second diffusion hole: 20 g of alumina powder having an average particle size of about 2 μm, 8 g of binder, organic solvent
Mix 20g with a grinder (or pot mill)
The mixture was granulated for 1 hour, granulated, and a pressure of about 2 t / cm 2 was applied by a mold press to prepare a cylindrical pressed molded body (green state) of φ1.3 × 0.8 t. This green pressed body is
After being inserted into a predetermined portion of the zirconia green sheet of the second and third layers, pressed and integrated, and then fired,
A second diffusion hole is formed in the detector.

【0038】[ZrO2積層方法]2、3層目圧着後、
第2拡散孔が貫通する部分(φ1.3)を打ち抜く。打ち
抜き後、第2拡散孔となるグリーン円柱状成形体を埋め
込み、1〜4層のZrO2グリーンシートを加圧力:5k
g/cm2、加圧時間:1分で圧着する。
[ZrO 2 laminating method]
A portion (φ1.3) through which the second diffusion hole penetrates is punched. After the punching, a green columnar molded body serving as the second diffusion hole is embedded, and 1 to 4 ZrO 2 green sheets are pressed with a pressing force of 5 k.
g / cm 2 , pressurization time: 1 minute.

【0039】[脱脂及び焼成]圧着した生成形体を、40
0℃×2時間脱脂し、1500℃×1時間焼成する。
[Defatting and firing]
Degreasing at 0 ° C. × 2 hours and baking at 1500 ° C. × 1 hour.

【0040】このように作製した前記NOxガス濃度検
出器を用いて被測定ガス中のNOガス濃度測定試験を行
った。測定結果を表1及び表2に示し、図3〜9に測定
結果を整理して示す。なお、後述の試験例において共通
の測定条件は下記の通りである。被測定ガス成分:NO
(0〜1500ppm)、O2(1〜16%)、CO2
0%、残部N2、排ガス(被測定ガス)温度:300
℃、ヒータ電力18〜25W(20Wで検出器温度80
0℃相当)。
A test for measuring the concentration of NO gas in the gas to be measured was performed using the NOx gas concentration detector thus manufactured. The measurement results are shown in Tables 1 and 2, and the measurement results are shown in FIGS. The common measurement conditions in the test examples described below are as follows. Gas component to be measured: NO
(0-1500 ppm), O 2 (1-16%), CO 2 1
0%, balance N 2 , exhaust gas (gas to be measured) temperature: 300
° C, heater power 18-25W (detector temperature 80 at 20W)
0 ° C).

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】[0042]

【表2】 [Table 2]

【0043】[試験例1]NO:0%とし、酸素濃度を
変化させて第2酸素イオンポンプ電流のオフセット値の
変動を測定した。なお、オフセットとは、NOを被測定
ガス中に投入していない場合のIp2の値であり、その値
はより小さい方が好ましく、またいろいろな外的要因、
例えば被測定ガス雰囲気中の酸素濃度及び温度等の変動
に対し、より鈍感で変動し難いことが望ましい。第1測
定室2(図1参照)で汲み残した残留酸素濃度に相当す
るものである。図3に試験例1の結果を示す。図3は第
2酸素イオンポンプ電流Ip2オフセットの酸素濃度依存
性を示すグラフであり、三角が実施例、菱形が比較例の
検出器による測定データである。図3を参照して、実施
例の検出器によれば、酸素濃度1〜16%の変化量に対
して、Ip2オフセットの変化量が1μA程度とされ、比
較例のそれに比べて酸素濃度依存性が小さくされたこと
が分かる。
[Test Example 1] With NO set to 0%, the variation of the offset value of the second oxygen ion pump current was measured by changing the oxygen concentration. Note that the offset is a value of Ip2 when NO is not injected into the gas to be measured, and it is preferable that the value be smaller.
For example, it is desirable that it is more insensitive and hard to fluctuate with respect to the fluctuation of the oxygen concentration and the temperature in the atmosphere of the measured gas. This corresponds to the concentration of residual oxygen pumped in the first measurement chamber 2 (see FIG. 1). FIG. 3 shows the results of Test Example 1. FIG. 3 is a graph showing the oxygen concentration dependency of the second oxygen ion pump current Ip2 offset. Triangles represent measurement data obtained by the detectors of the example and diamonds represent measurement data obtained by the detector of the comparative example. Referring to FIG. 3, according to the detector of the embodiment, the change amount of the Ip2 offset is about 1 μA with respect to the change amount of the oxygen concentration of 1 to 16%. It can be seen that has been reduced.

【0044】[試験例2]NO:1500ppmを被測
定ガスに投入し、酸素濃度1〜16%において、第2酸
素イオンポンプ電流のゲインを測定した。なお、ゲイン
とは、一定濃度のNOを投入した際のIp2の変化量であ
る。図4に試験例2の結果を示す。図4は、第2酸素イ
オンポンプ電流のゲインΔIp2の酸素濃度依存性を示す
グラフであり、三角が実施例、菱形が比較例の検出器に
よる測定データである。図4を参照して、実施例の検出
器によれば、酸素濃度1〜16%の変化量に対して、I
p2ゲインの変化がほとんどなく、比較例のそれと比べて
ゲインの酸素濃度依存性が小さくされたことが分かる。
Test Example 2 NO: 1500 ppm was introduced into the gas to be measured, and the gain of the second oxygen ion pump current was measured at an oxygen concentration of 1 to 16%. The gain is the amount of change in Ip2 when a constant concentration of NO is injected. FIG. 4 shows the results of Test Example 2. FIG. 4 is a graph showing the dependence of the gain ΔIp2 of the second oxygen ion pump current on the oxygen concentration, in which the triangle represents the measurement data obtained by the detector of the example and the diamond represents the data measured by the detector of the comparative example. Referring to FIG. 4, according to the detector of the embodiment, for a change amount of oxygen concentration of 1 to 16%, I
It can be seen that there was almost no change in the p2 gain, and the oxygen concentration dependency of the gain was reduced as compared with that of the comparative example.

【0045】[試験例3]NO:0%とし、酸素濃度変
化に対する第1酸素イオンポンプ電極間の第1酸素イオ
ンポンプセル電圧Vp1を測定した。酸素イオンポンプセ
ル電圧Vp1とは、第1測定室内の余剰酸素を外部へ汲み
出すのに必要な電圧のことである。図5に試験例3の結
果を示す。図5は第1酸素イオンポンプ電極電圧Vp1の
酸素濃度依存性を示すグラフであり、いずれも三角が実
施例、菱形が比較例の検出器による測定データである。
図5を参照して、実施例の検出器によれば、酸素濃度1
〜16%の変化に対して比較例に比べて酸素イオンポン
プセル電圧Vp1が減少されている。
[Test Example 3] NO was set to 0%, and the first oxygen ion pump cell voltage Vp1 between the first oxygen ion pump electrodes with respect to the change in oxygen concentration was measured. The oxygen ion pump cell voltage Vp1 is a voltage necessary for pumping out excess oxygen in the first measurement chamber to the outside. FIG. 5 shows the results of Test Example 3. FIG. 5 is a graph showing the oxygen concentration dependency of the first oxygen ion pump electrode voltage Vp1. In each of the graphs, a triangle represents measurement data by the detector of the example and a diamond represents measurement data by the detector of the comparative example.
Referring to FIG. 5, according to the detector of the embodiment, oxygen concentration 1
The oxygen ion pump cell voltage Vp1 is reduced as compared with the comparative example for a change of 1616%.

【0046】[試験例4]NO:0%とし、O27%を
被測定ガスに投入し、ヒータ電力を変化させて第2酸素
イオンポンプ電流Ip2のオフセット値の変動を測定し
た。図6に試験例4の結果を示す。図6は第2酸素イオ
ンポンプ電流Ip2オフセットの温度(ヒータ電力)依存
性を示すグラフであり、三角が実施例、菱形が比較例の
検出器による測定データである。図6を参照して、実施
例の検出器によれば、ヒータ電力18〜25Wの変化量
に対して、Ip2オフセットの変化がほとんどなく、すな
わち温度依存性が改善されたことが分かる。
Test Example 4 NO: 0%, O 2 7% was introduced into the gas to be measured, and the heater power was changed to measure the variation of the offset value of the second oxygen ion pump current Ip2. FIG. 6 shows the results of Test Example 4. FIG. 6 is a graph showing the temperature (heater power) dependence of the offset of the second oxygen ion pump current Ip2, in which the triangle represents measurement data obtained by the detector of the example and the diamond represents data measured by the detector of the comparative example. Referring to FIG. 6, according to the detector of the embodiment, it can be seen that there is almost no change in the Ip2 offset with respect to the change amount of the heater power of 18 to 25 W, that is, the temperature dependency is improved.

【0047】[試験例5]NO:1500ppm、
2:7%を被測定ガスに投入し、ヒータ電力を変化さ
せて第2酸素イオンポンプ電流のゲインを測定した。図
7に試験例5の結果を示す。図7は、第2酸素イオンポ
ンプ電流ΔIp2の温度(ヒータ電力)依存性を示すグラ
フであり、三角が実施例、菱形が比較例の検出器による
測定データである。図7を参照して、実施例の検出器に
よれば、ヒータ電力18〜25Wの変化量に対して、I
p2ゲインの変化がほぼ一定になり、比較例のそれと比べ
て温度依存性が改善されたことが分かる。
[Test Example 5] NO: 1500 ppm,
O 2 : 7% was introduced into the gas to be measured, and the gain of the second oxygen ion pump current was measured by changing the heater power. FIG. 7 shows the results of Test Example 5. FIG. 7 is a graph showing the temperature (heater power) dependency of the second oxygen ion pump current ΔIp2, in which the triangles represent measurement data obtained by the detector of the example and the diamonds represent measurement data obtained by the detector of the comparative example. Referring to FIG. 7, according to the detector of the embodiment, I
It can be seen that the change in the p2 gain became almost constant, and the temperature dependency was improved as compared with that of the comparative example.

【0048】[試験例6]NO:0%とし、O2:7%
を被測定ガスに投入し、ヒータ電力に対する第1酸素イ
オンポンプ電極での第1酸素イオンポンプセル電圧Vp1
の変化を測定した。図8に試験例6の結果を示す。図8
は第1酸素イオンポンプ電極電圧Vp1の温度(ヒータ電
力)依存性を示すグラフであり、いずれも三角が実施
例、菱形が比較例の検出器による測定データである。実
施例の検出器によれば、ヒータ電力18〜25Wの変化
に対して、比較例に比べてVp1が大幅に減少されてい
る。
[Test Example 6] NO: 0%, O 2 : 7%
Into the gas to be measured, and the first oxygen ion pump cell voltage Vp1 at the first oxygen ion pump electrode with respect to the heater power.
Was measured. FIG. 8 shows the results of Test Example 6. FIG.
Is a graph showing the temperature (heater power) dependence of the first oxygen ion pump electrode voltage Vp1, where the triangles are the data measured by the detector of the example and the diamonds are the data measured by the detector of the comparative example. According to the detector of the embodiment, Vp1 is greatly reduced as compared with the comparative example for a change in the heater power of 18 to 25 W.

【0049】以上の試験例1〜6(図3〜図8)の結果
より、第1酸素イオンポンプセルの電極(少なくとも第
1測定室側の電極)が第1測定室の長さに比べて長い場
合には、第1酸素イオンポンプセルの先端(前記電極先
端側、第1拡散孔と反対側)に発生する起電力の影響に
より(有効電圧が低下する)、第1酸素イオンポンプセ
ル電圧Vp1が上昇する傾向にあること(有効電圧の低下
を補償するため、逆に汲み入れられた第1測定室の酸素
を汲み出し、第1測定室内の酸素濃度を所定濃度に維持
するため)、短い場合にはポンプ能力不足のために(酸
素が多く第2測定室に拡散し、微量のNOxガス濃度検
出が不正確になる)、第2酸素イオンポンプ電極電流I
p2のゲインが低下する傾向があることが分かった。図9
に、第1酸素イオンポンプ電極の長さと、第1酸素イオ
ンポンプ電極電圧Vp1電圧との関係、及び第2酸素イオ
ンポンプ電流ΔIp2(ゲイン)との関係を示す。図9よ
り、第1測定室の長さ7mmに対し、第1酸素イオンポ
ンプ電極の長さ4mm、すなわち“電極長さ”/“第1
測定室”=4/7とすることが特に好ましいことが分か
る。また、第1酸素イオンポンプ電極の長さ2〜5.4
mm程度が好ましく、さらに好ましくは3.5〜5mm
程度である。表1及び表2にはこの電極の長さが4mm
の場合のデータを示したが、表3には長さ2mmの場合
のデータを示す。
From the results of the above Test Examples 1 to 6 (FIGS. 3 to 8), the electrode of the first oxygen ion pump cell (at least the electrode on the side of the first measurement chamber) was longer than the length of the first measurement chamber. When the length is long, the voltage of the first oxygen ion pump cell is reduced due to the effect of the electromotive force generated at the tip of the first oxygen ion pump cell (the end of the electrode, opposite to the first diffusion hole) (effective voltage is reduced). Vp1 tends to increase (in order to compensate for a decrease in the effective voltage, to pump out the oxygen in the first measurement chamber, and to maintain the oxygen concentration in the first measurement chamber at a predetermined concentration). In such a case, the pump current is insufficient (a large amount of oxygen diffuses into the second measurement chamber, and the detection of a small amount of NOx gas becomes inaccurate).
It was found that the gain of p2 tended to decrease. FIG.
7 shows the relationship between the length of the first oxygen ion pump electrode, the first oxygen ion pump electrode voltage Vp1 and the second oxygen ion pump current ΔIp2 (gain). 9, the length of the first measurement chamber is 7 mm, while the length of the first oxygen ion pump electrode is 4 mm, that is, “electrode length” / “first electrode”.
It is understood that it is particularly preferable to set the measurement chamber to “4/7. In addition, the length of the first oxygen ion pump electrode is 2 to 5.4.
mm, more preferably 3.5 to 5 mm
It is about. Table 1 and Table 2 show that the length of this electrode is 4 mm.
Table 3 shows data in the case of a length of 2 mm.

【0050】[0050]

【表3】 [Table 3]

【0051】また、図9より、第1酸素イオンポンプセ
ルの電極が長くされ、第2拡散孔に被った状態では、起
電力の影響により第1酸素イオンポンプ電極電圧Vp1が
上昇する傾向にあること、ΔIp2が小さくなることが分
かる。そして、第1酸素イオンポンプセルの電極が短か
すぎれば、ポンプ能力不足のためIp2出力が低下するこ
とが分かる。
As shown in FIG. 9, when the electrode of the first oxygen ion pump cell is lengthened and covered with the second diffusion hole, the first oxygen ion pump electrode voltage Vp1 tends to increase due to the effect of electromotive force. That is, it can be seen that ΔIp2 becomes small. If the electrode of the first oxygen ion pump cell is too short, it can be seen that the output of Ip2 decreases due to insufficient pumping ability.

【0052】[Vp2用電極内蔵型]図11(A)〜
(D)は、本発明の他の実施例に係るNOxガス濃度検
出器を説明するための図であり、図11(A)は長手方
向に切断した断面図、図11(B)は第1測定室部分の
平面図、図11(C)は第1測定室の要部拡大断面図で
ある。図11(D)は第2測定室の平面投影図である。
図11(A)〜(D)の検出器は、固体電解質層と該層
を挟んで設けられた電極66a,66bを備えた第1酸
素イオンポンプセル66の層、固体電解質層と該層を挟
んで設けられた酸素分圧(濃度)検知電極67a,酸素
分圧(濃度)基準電極67bを備えた酸素濃度測定セル
67の層、固体電解質の層、及び固体電解質層と該層の
一面において、第2測定室64内に設けられた酸素イオ
ンポンプ電極68aと、第2測定室64外に絶縁層71
−3に覆われて設けられた酸素イオンポンプ電極68b
を備えた第2酸素イオンポンプセル68の層の順に積層
されてなる。なお、図1に示した前記実施例において
は、酸素イオンポンプ電極68a,68bは固体電解質
層の両面に一つずつ形成されていたが、本実施例におい
ては、固体電解質層の一面に両酸素イオンポンプ電極6
8a,68bが共に形成され、電極68aは第2測定室
64内に位置し,電極68bは絶縁層71−3に覆われ
て第2測定室64外に位置している(さらに、電極68
bは電極リード、リードを介して拡散抵抗をもって大気
に連通している(図11及び図16参照))。第1酸素
イオンポンプセル66の層と酸素濃度測定セル67の層
の間には、図中左右側の絶縁層及び上下側の固体電解質
層によって第1測定室(第1流路)62が画成され、同
様に第2酸素イオンポンプセル68の層の上部には第2
測定室(第2流路)64が画成されている。さらに、第
1測定室62には拡散抵抗を介して被測定ガスを導入す
るための第1拡散孔61と第2拡散孔63の開口が離間
して設けられている。第2拡散孔63は、酸素濃度測定
セル67の層及び固体電解質の層を貫通して第1、第2
測定室62,64を連通し、少なくともNOxとO2
を含むガスを第1測定室62から拡散抵抗を介して第2
測定室64へ送る。
[Built-in electrode for Vp2] FIG.
FIG. 11D is a view for explaining a NOx gas concentration detector according to another embodiment of the present invention. FIG. 11A is a cross-sectional view cut in a longitudinal direction, and FIG. FIG. 11C is a plan view of a measurement chamber portion, and is an enlarged sectional view of a main part of the first measurement chamber. FIG. 11D is a plan projection view of the second measurement chamber.
The detectors of FIGS. 11A to 11D include a layer of a first oxygen ion pump cell 66 including a solid electrolyte layer and electrodes 66a and 66b provided with the layer interposed therebetween, the solid electrolyte layer and the layer. A layer of an oxygen concentration measuring cell 67 having an oxygen partial pressure (concentration) detecting electrode 67a and an oxygen partial pressure (concentration) reference electrode 67b, a solid electrolyte layer, and a solid electrolyte layer and one surface of the layer An oxygen ion pump electrode 68 a provided in the second measurement chamber 64, and an insulating layer 71 outside the second measurement chamber 64.
-3 oxygen oxygen pump electrode 68b
Are stacked in the order of the layers of the second oxygen ion pump cell 68 provided with. In the embodiment shown in FIG. 1, the oxygen ion pump electrodes 68a and 68b are formed one on each side of the solid electrolyte layer. However, in this embodiment, both oxygen ion pump electrodes 68a and 68b are formed on both sides of the solid electrolyte layer. Ion pump electrode 6
8a and 68b are formed together, the electrode 68a is located in the second measurement chamber 64, and the electrode 68b is located outside the second measurement chamber 64 by being covered with the insulating layer 71-3 (furthermore, the electrode 68b).
“b” communicates with the atmosphere through the electrode leads and the leads with diffusion resistance (see FIGS. 11 and 16). Between the layer of the first oxygen ion pump cell 66 and the layer of the oxygen concentration measurement cell 67, a first measurement chamber (first flow path) 62 is defined by left and right insulating layers and upper and lower solid electrolyte layers in the figure. And a second oxygen ion pump cell 68
A measurement chamber (second flow path) 64 is defined. Further, the first measurement chamber 62 is provided with openings of a first diffusion hole 61 and a second diffusion hole 63 for introducing a gas to be measured via a diffusion resistor, separated from each other. The second diffusion hole 63 penetrates the layer of the oxygen concentration measurement cell 67 and the layer of the solid electrolyte, and
A gas containing at least NOx and O 2 is communicated from the first measurement chamber 62 to the second measurement chamber 62 via a diffusion resistor.
Send to the measurement chamber 64.

【0053】なお、各固体電解質の層間には、それぞれ
アルミナからなる絶縁層が設けられ、不図示であるが、
検出器を加熱する加熱ヒータ層は、検出器全体を積層方
向に挟むように、セメント層を介して接着されている。
各電極は層間に形成されたリード線を介して、電源等の
検出器外部に接続する。例えば、図11(D)を参照し
て、第2酸素イオンポンプセル68の電極68a,68
bは、リード68c,68dに電気的接続している。
Incidentally, an insulating layer made of alumina is provided between the layers of the solid electrolytes.
The heater layer for heating the detector is bonded via a cement layer so as to sandwich the entire detector in the stacking direction.
Each electrode is connected to the outside of a detector such as a power supply via a lead wire formed between layers. For example, referring to FIG. 11 (D), electrodes 68a, 68 of second oxygen ion pump cell 68
b is electrically connected to the leads 68c and 68d.

【0054】また、この検出器の特徴の一つは、第1測
定室62と第2測定室64が上下方向に互いに概ね重な
り合って配置されていることである。また、第1拡散孔
61は、検出器の先端側でなく検出器の両側にあり、第
2拡散孔63には多孔質材料が充填され、全ての固体電
解質層間に絶縁層(膜)がそれぞれ配置されており、各
セルの電極は互いに絶縁されている点である。なお、第
2測定室64は空間を形成するが多孔質材料を充填して
もよい。また、別の特徴は、固体電解質層の一面に両酸
素イオンポンプ電極が共に形成され、一方の電極68a
は測定室64内に位置し,他方の電極68bは絶縁層7
1−3に覆われて(封止ないし内蔵されて)測定室64
外に位置していることである。この内蔵された電極68
bは、絶縁層71−3が該電極68bの保護手段とな
り、且つリード部68dが拡散抵抗手段となって、拡散
抵抗を介して大気に連通しているため、被測定ガス(排
ガス)の雰囲気から電極68bが遮断されて直接外気に
接触することがなくされ、且つ電極68b周辺において
汲み出された酸素がプールされることとなり、電極68
b周囲(近傍)の酸素濃度が安定化され。その結果、第
2酸素イオンポンプセル68の一対の電極68a,68
b間に発生する起電力が安定化する。更に、発生する起
電力が安定化することにより、第2酸素イオンポンプセ
ル68に印加されるポンプ電圧Vp2の有効ポンプ電圧
(Vp2一起電力)が安定化され、NOxガス濃度測定の
酸素濃度依存性が減少する。なお、このような検出器の
製造工程においては、第2酸素イオンポンプセル68の
両電極68a,68bを一度に印刷することができると
いう利点も有する。また、酸素濃度基準電極を、実質的
にセラミック体内に封止し(好ましくは自己生成電極と
する)、大気と多孔質導電性リードを介し所定の拡散抵
抗をもってつながるように構成することで、酸素濃度基
準電極の基準電位が安定する。酸素を導出するために流
路外に配置された電極についても同様である。
One of the features of this detector is that the first measurement chamber 62 and the second measurement chamber 64 are arranged so as to substantially overlap each other in the vertical direction. The first diffusion holes 61 are not on the tip of the detector but on both sides of the detector. The second diffusion holes 63 are filled with a porous material, and an insulating layer (film) is provided between all the solid electrolyte layers. The arrangement is such that the electrodes of each cell are insulated from each other. The second measurement chamber 64 forms a space, but may be filled with a porous material. Another feature is that both oxygen ion pump electrodes are formed on one surface of the solid electrolyte layer, and one electrode 68a
Is located in the measurement chamber 64, and the other electrode 68b is the insulating layer 7
Measuring chamber 64 covered (sealed or built-in) by 1-3
It is located outside. This built-in electrode 68
b indicates the atmosphere of the gas to be measured (exhaust gas) because the insulating layer 71-3 serves as protection means for the electrode 68b and the lead 68d serves as diffusion resistance means and communicates with the atmosphere via diffusion resistance. The electrode 68b is shut off from the electrode 68b to prevent direct contact with the outside air, and oxygen pumped around the electrode 68b is pooled.
b The oxygen concentration around (near) is stabilized. As a result, the pair of electrodes 68a, 68 of the second oxygen ion pump cell 68
The electromotive force generated between b is stabilized. Further, since the generated electromotive force is stabilized, the effective pump voltage (Vp2-one electromotive force) of the pump voltage Vp2 applied to the second oxygen ion pump cell 68 is stabilized, and the oxygen concentration dependence of the NOx gas concentration measurement is measured. Decrease. In the manufacturing process of such a detector, there is an advantage that both electrodes 68a and 68b of the second oxygen ion pump cell 68 can be printed at one time. In addition, the oxygen concentration reference electrode is substantially sealed in a ceramic body (preferably a self-generated electrode), and is connected to the atmosphere with a predetermined diffusion resistance via a porous conductive lead. The reference potential of the concentration reference electrode is stabilized. The same applies to an electrode arranged outside the flow path for deriving oxygen.

【0055】ここで、図11(A)〜(D)の検出器に
対しての比較例である図12の検出器と比較して、図1
1(A)〜(D)の検出器の特徴は、第1酸素イオンポ
ンプセル66に設けられた電極66a(正極)及び66
b(負極)の、第1拡散孔61から第2拡散孔63へ流
れる被測定ガスの流れ方向(長手方向)に沿った長さ
が、第1測定室62の長さに比べて短く(A>B)、か
つ第2拡散孔63の開口直上の位置までは電極66bが
形成されていないことである。なお、比較例において、
参照符号41が第1拡散孔、42が第1測定室、43が
第2拡散孔、44が第2測定室、46が第1酸素イオン
ポンプセル、46a,46bが第1酸素イオンポンプ電
極、47が酸素濃度測定セル、47aが酸素濃度検知電
極、47bが酸素濃度基準電極、48が第2酸素イオン
ポンプセル、48a,48bが第2酸素イオンポンプ電
極、50cが絶縁層である。
Here, as compared with the detector of FIG. 12 which is a comparative example for the detectors of FIGS. 11A to 11D, FIG.
The features of the detectors 1 (A) to 1 (D) are that electrodes 66a (positive electrodes) and 66 provided in the first oxygen ion pump cell 66 are provided.
The length of the negative electrode b along the flow direction (longitudinal direction) of the gas to be measured flowing from the first diffusion hole 61 to the second diffusion hole 63 is shorter than the length of the first measurement chamber 62 (A > B) and the electrode 66b is not formed up to the position immediately above the opening of the second diffusion hole 63. In the comparative example,
Reference numeral 41 is a first diffusion hole, 42 is a first measurement chamber, 43 is a second diffusion hole, 44 is a second measurement chamber, 46 is a first oxygen ion pump cell, 46a and 46b are first oxygen ion pump electrodes, 47 is an oxygen concentration measurement cell, 47a is an oxygen concentration detection electrode, 47b is an oxygen concentration reference electrode, 48 is a second oxygen ion pump cell, 48a and 48b are second oxygen ion pump electrodes, and 50c is an insulating layer.

【0056】図11(A)〜(D)に示した実施例、図
12に示した比較例の検出器を用いてNOxガス濃度測
定を行った。使用した実施例の検出器において、検出器
外形は、長手方向の長さが50mm、幅(短手方向)が
4mm、厚さ(積層方向)が1.3mmである。第1酸
素イオンポンプセル66の厚さは0.3mm、電極66
a,66bの長手方向の長さAは7mm及び長さBは4
mm、短手方向の長さは2mm、第1測定室62の長手
方向の長さAは7mm、短手方向の長さは2mm、高さ
50μm、第1拡散孔61の長手方向の長さは2mm、
短手方向の長さ1mm、厚さ50μm、第2拡散孔63
の大きさはφ1、図中第1拡散孔61端部(右端)から
の距離は5.5mmである。比較例の検出器(図12参
照)は、電極46a,46bの長手方向の長さBが7m
m(A=B)とされた以外は、実施例の検出器と同一寸
法である。
The NOx gas concentration was measured using the detectors of the embodiment shown in FIGS. 11A to 11D and the comparative example shown in FIG. In the detector of the embodiment used, the outer dimensions of the detector are 50 mm in length in the longitudinal direction, 4 mm in width (transverse direction), and 1.3 mm in thickness (stacking direction). The thickness of the first oxygen ion pump cell 66 is 0.3 mm,
a, 66b are 7 mm in the longitudinal direction and 4 mm in the length B.
mm, the length in the short direction is 2 mm, the length A in the long direction of the first measurement chamber 62 is 7 mm, the length in the short direction is 2 mm, the height is 50 μm, and the length in the long direction of the first diffusion hole 61. Is 2 mm,
1 mm in width direction, 50 μm thickness, second diffusion hole 63
Is φ1, and the distance from the end (right end) of the first diffusion hole 61 in the figure is 5.5 mm. In the detector of the comparative example (see FIG. 12), the length B in the longitudinal direction of the electrodes 46a and 46b is 7 m.
The dimensions are the same as those of the detector of the embodiment except that m (A = B).

【0057】図13に示すNOxガス濃度測定システム
を参照して、本実施例に係る検出器とその比較例に係る
検出器を用いた測定例を説明する。すなわち、エアーフ
ローセンサにダミー信号を入れ、インジェクタパルス幅
を変えて、下記設定となるように空燃比を制御し(排気
ガス中の酸素濃度が変化する)、本実施例に係る検出器
の出力とその比較例に係る検出器の出力との比較を行っ
た。なお、この制御はオープンループ制御であるためλ
補正はUEGO(ユニバーサル全領域空燃比センサ)で
実施した。その他の条件を下記に示す。また、NOxガ
ス濃度検出器の装填形態を図16を参照して後述する。
Referring to the NOx gas concentration measuring system shown in FIG. 13, a description will be given of a measurement example using the detector according to the present embodiment and the detector according to the comparative example. That is, a dummy signal is input to the air flow sensor, the injector pulse width is changed, and the air-fuel ratio is controlled so that the following settings are obtained (the oxygen concentration in the exhaust gas changes). Was compared with the output of the detector according to the comparative example. Since this control is an open loop control, λ
The correction was performed by UEGO (universal full range air-fuel ratio sensor). Other conditions are shown below. The loading mode of the NOx gas concentration detector will be described later with reference to FIG.

【0058】 エンジン:2.0L直列6気筒ターボチャージャー エンジン回転数:3000rpm 吸気管負圧:−350mmHg 周波数:0.5Hz 振幅(狙い):λ±3% 取付位置:図13参照Engine: 2.0 L inline 6-cylinder turbocharger Engine rotation speed: 3000 rpm Intake pipe negative pressure: -350 mmHg Frequency: 0.5 Hz Amplitude (target): λ ± 3% Mounting position: See FIG.

【0059】図14に図11(A)〜(D)に示した実
施例の検出器による結果、及び図15に図12に示した
比較例の検出器による結果を示す。これらの図より、比
較例の結果においては、酸素濃度曲線が立ち上がる際に
(ストイキ点通過時)、検出器出力に大きなスパイクノ
イズが発生していることが分かる。一方、実施例の結果
においては、スパイクノイズが見られない。従って、図
11(A)〜(D)に示した構造を有する実施例の検出
器によれば、ストイキ点通過時のNOxガス濃度検出出
力におけるスパイクノイズの発生が抑制され、酸素濃度
変動に影響されにくい、正確なNOxガス濃度測定を行
うことができることが分かる。
FIG. 14 shows the results obtained by the detector of the embodiment shown in FIGS. 11A to 11D, and FIG. 15 shows the results obtained by the detector of the comparative example shown in FIG. From these figures, it can be seen that in the results of the comparative example, when the oxygen concentration curve rises (when the stoichiometric point is passed), a large spike noise is generated in the detector output. On the other hand, no spike noise is observed in the results of the example. Therefore, according to the detector of the embodiment having the structure shown in FIGS. 11A to 11D, the generation of spike noise in the NOx gas concentration detection output at the time of passing the stoichiometric point is suppressed, and the variation in the oxygen concentration is affected. It can be seen that accurate measurement of the NOx gas concentration, which is difficult to perform, can be performed.

【0060】[NOxガス濃度検出器の装填例]図16
に、本発明に基づくNOxガス濃度検出器を取付金具に
装填した例を示す。検出器素子は、被測定ガス取入口が
形成されている下側部分が、穴が開けられたプロテクタ
内に位置するように固定されている。検出器素子はその
長手方向にそってヒータが付設されている。検出器素子
とヒータの図中上側部分は、シール材に覆われ、下側の
シール材は気体の通過を許容するポーラスな材質からな
り、上側のシール材は気密質の材料からなる。また、シ
ール材外周側にはホルダが設けられ、ホルダと主体金具
の間にはステンレス材及びタルク材(タルク材の下端は
ホルダのフランジ部に当接している)が封入されてい
る。斯くして、ステンレス材及びタルク材を介して、主
体金具の径方向に作用するカシメ力及び軸方向に作用す
るカシメ力により、ホルダが主体金具に対して固定さ
れ、検出器素子も安定して保持される。また、取付金具
の上部においては、第1外筒と第2外筒が同軸に組
み合わされかつ互いに係止されている。第1外筒は主
体金具内まで延在して、主体金具に対して係止されてい
る。第2外筒の上部内には防水ゴムが封入されてい
る。また、検出器素子に形成されている電極(不図示)
はガス拡散抵抗を有する電極リードを介してガス拡散抵
抗有するリード線の一端に電気的に接続しており、この
リード線の他端は大気に接続している。
[Example of loading NOx gas concentration detector] FIG.
Next, an example in which the NOx gas concentration detector according to the present invention is mounted on a mounting bracket is shown. The detector element is fixed such that the lower part, in which the gas inlet to be measured is formed, is located in a perforated protector. The detector element is provided with a heater along its longitudinal direction. The upper part in the figure of the detector element and the heater is covered with a sealing material, the lower sealing material is made of a porous material that allows gas to pass through, and the upper sealing material is made of an airtight material. Further, a holder is provided on the outer peripheral side of the sealing material, and a stainless steel material and a talc material (a lower end of the talc material is in contact with a flange portion of the holder) are sealed between the holder and the metal shell. Thus, via the stainless steel and talc, the holder is fixed to the metal shell by the caulking force acting in the radial direction and the axial caulking force of the metal shell, and the detector element is also stably formed. Will be retained. In the upper part of the mounting bracket, the first outer cylinder and the second outer cylinder are coaxially combined and locked with each other. The first outer cylinder extends into the metal shell and is locked to the metal shell. Waterproof rubber is sealed in the upper part of the second outer cylinder. Also, an electrode (not shown) formed on the detector element
Is electrically connected to one end of a lead wire having gas diffusion resistance via an electrode lead having gas diffusion resistance, and the other end of this lead wire is connected to the atmosphere.

【0061】また、本発明に基づく被測定ガス中のNO
xガス濃度の測定方法においては、次のような事実を利
用することができる。すなわち、室温において、NO2
が微小な量、例えば0.1%(1000ppm)のNO
2が他のガスと存在する雰囲気は、例えば800℃−1
気圧の高温雰囲気下になると、NO2のほとんどが、N
Oと(1/2)O2に解離して0.1%のNOが存在すると考
えても良い。従って、例えばnNOx(n:NOx分子
数)が微量存在する気体を、(1)高温(700℃以上)
下で、nNOxをnNOxと(n/2)O1-xに分解させると
共に、発生した(n/2)O1-xを除去する工程を通し、(2)
ついで、(1)の工程で生成したnNOを(n/2)N2と(n/
2)O2に解離させ、その(n/2)O2をイオンとして酸素イ
オン伝導体を通過させて電流を測定すると、n/2を電
流に比例した値として決定できることとなる。つまり、
nが決定できれば、nNOxの量を決定できることとな
る。
Further, according to the present invention, the NO
In the method for measuring the x gas concentration, the following facts can be used. That is, at room temperature, NO 2
Is a minute amount, for example, 0.1% (1000 ppm) of NO
The atmosphere where 2 exists with another gas is, for example, 800 ° C.-1
In a high pressure atmosphere, most of the NO 2 becomes N 2
It may be considered that 0.1% of NO dissociates into O and (1/2) O 2 . Therefore, for example, a gas containing a small amount of nNOx (n: the number of NOx molecules) is converted into (1) high temperature (700 ° C. or more)
Under, the degrade nNOx to nNOx and (n / 2) O 1- x, through the step of removing the generated (n / 2) O 1- x, (2)
Next, the nNO generated in the step (1) is converted into (n / 2) N 2 and (n /
2) dissociated into O 2, when measuring the (n / 2) O 2 is passed through the oxygen ion conductor as ions current and can be determined as a value proportional to n / 2 on current. That is,
If n can be determined, the amount of nNOx can be determined.

【0062】なお、NOxガス濃度検出器の試験用NO
xガスとしては、NO2ガス及びNOガスのいずれも同
様に用いることができるが、NOの方がNO2よりも分
子量が小さく、拡散制限を受け難いので、上述の試験例
ではNOを試験用ガスとして用いている。
The NOx gas concentration detector test NO
As the x gas, both NO 2 gas and NO gas can be used in the same manner. However, NO has a smaller molecular weight than NO 2 and is less subject to diffusion restriction. Used as gas.

【0063】本発明に基づく理想的なNOxガス濃度検
出器は、上記工程(1)において、生成したNOを該工程
(1)において分解せずに 、工程(2)へ投入されるもの
である。しかしながら、好ましい検出器(例えば、図2
1(A)〜(D)参照)の場合においても、上記工程
(1)において、NOの解離は始まっている。このNOの
解離と酸素の解離率は、上記工程(1)における印加電圧
の影響や、電極材料、形状などの設計要因によって決ま
る。従って、正確なNOx量の決定には、このような工
程(1)でのNOの解離を補償することも考慮されるべき
である。具体的には、工程(1)におけるNOのNとOへ
の解離の程度を示す解離度合(60〜95%)の逆数に
て補償させることとなる。
The ideal NOx gas concentration detector according to the present invention uses the NO generated in the above step (1) in this step.
It is introduced into step (2) without being decomposed in (1). However, preferred detectors (eg, FIG. 2)
1 (A) to (D)), the above steps
In (1), the dissociation of NO has begun. The NO dissociation and oxygen dissociation rates are determined by the influence of the applied voltage in the above step (1) and design factors such as the electrode material and shape. Therefore, compensation of NO dissociation in the step (1) should be taken into consideration in determining an accurate NOx amount. Specifically, compensation is performed by the reciprocal of the degree of dissociation (60 to 95%) indicating the degree of dissociation of NO into N and O in step (1).

【0064】また、第1流路(第1測定室)における残
留ガスの生成は、実質的にNOの解離が許容されるが補
償されるような条件下で行う。この条件下では、雰囲気
から流入するNOxにより解離したNO量が補償され、
残留ガスは平衡状態となる。温度によって概略決定され
る平衡状態において(但し、この温度は、温度が高くな
るに連れてNO2の存在比率が減少するような温度)、
NOxは実質的にNOとNO2の合計と捉えられる。例
えば、室温において5割のNO2がある場合、700℃
又はそれ以上の温度では5%又はそれ以下となる。
The generation of the residual gas in the first flow path (first measurement chamber) is performed under such a condition that the dissociation of NO is substantially allowed but compensated. Under this condition, the dissociated NO amount is compensated by the NOx flowing from the atmosphere,
The residual gas is in an equilibrium state. In an equilibrium state roughly determined by the temperature, where the temperature is such that the NO 2 abundance decreases with increasing temperature.
NOx is regarded as the sum of the substantially NO and NO 2. For example, if there is 50% NO 2 at room temperature, 700 ° C.
At higher temperatures, it is 5% or less.

【0065】本発明に基づくNOxガス濃度検出器は、
約700℃又はそれ以上(900℃以下)で使用するこ
とが好ましく、より好ましくは750〜850℃であ
る。NOx中のNOの役割は比較的小さい。すなわち、
上述したような注意深く設定された条件下においては、
すなわち、NO2をNOと見なしてもよい。
The NOx gas concentration detector according to the present invention
It is preferably used at about 700 ° C. or higher (900 ° C. or lower), more preferably 750-850 ° C. The role of NO in NOx is relatively small. That is,
Under carefully set conditions as described above,
That is, NO 2 may be regarded as NO.

【0066】また、残留ガス中のNOxを窒素と酸素に
解離する工程において、セラミック体表面に形成された
複数の電極間に印加する電圧は、残留ガス中のH2Oな
いしCO2のような妨害ガス成分が、実質的に解離しな
い範囲内で印加することが好ましい。これによって、妨
害ガスの影響が低減され正確なNOxガス濃度測定を行
うことができる。
In the step of dissociating NOx in the residual gas into nitrogen and oxygen, the voltage applied between the plurality of electrodes formed on the surface of the ceramic body is such as H 2 O or CO 2 in the residual gas. It is preferable to apply the gas within a range where the interfering gas component does not substantially dissociate. As a result, the influence of the interfering gas is reduced and accurate measurement of the NOx gas concentration can be performed.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のNOxガ
ス濃度検出器によれば、第1測定室に発生していた起電
力が抑制され、第1酸素イオンポンプセル電圧Vp1が低
減し第1測定室内におけるNOガスの解離分解が抑制さ
れる。これによってNOxガス濃度検出の酸素依存性及
び温度依存性が改善され、より正確なNOxガス濃度検
出ができる。
As described above, according to the NOx gas concentration detector of the present invention, the electromotive force generated in the first measurement chamber is suppressed, and the first oxygen ion pump cell voltage Vp1 is reduced. (1) Dissociation and decomposition of NO gas in the measurement chamber is suppressed. Thereby, the oxygen dependency and the temperature dependency of the NOx gas concentration detection are improved, and more accurate NOx gas concentration detection can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(A)〜(C)は、本発明の一実施例に係る、
NOxガス濃度検出器を説明するための図であり、
(A)は長手方向に切断した断面図、(B)は第1測定
室部分の平面図、及び(C)は第1測定室の要部拡大断
面図である。
1 (A) to 1 (C) relate to one embodiment of the present invention.
It is a diagram for explaining a NOx gas concentration detector,
(A) is a cross-sectional view cut in the longitudinal direction, (B) is a plan view of a first measurement chamber portion, and (C) is an enlarged cross-sectional view of a main part of the first measurement chamber.

【図2】測定に使用したNOxガス濃度検出器の製造方
法及びレイアウトを説明するための図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining a manufacturing method and a layout of a NOx gas concentration detector used for measurement.

【図3】本発明の一実施例及び比較例に係る、第2酸素
イオンポンプ電流Ip2(オフセット)の酸素濃度依存性
を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing the oxygen concentration dependency of a second oxygen ion pump current Ip2 (offset) according to one example and a comparative example of the present invention.

【図4】本発明の一実施例及び比較例に係る、第2酸素
イオンポンプ電流ΔIp2(ゲイン)の酸素濃度依存性を
示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the oxygen concentration dependency of a second oxygen ion pump current ΔIp2 (gain) according to one example and a comparative example of the present invention.

【図5】本発明の一実施例及び比較例に係る、第1酸素
イオンポンプセル電圧Vp1の酸素濃度依存性を示すグラ
フである。
FIG. 5 is a graph showing an oxygen concentration dependency of a first oxygen ion pump cell voltage Vp1 according to one example and a comparative example of the present invention.

【図6】本発明の一実施例及び比較例に係る、第2酸素
イオンポンプ電流Ip2(オフセット)の温度(ヒータ電
力)依存性を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing the temperature (heater power) dependence of a second oxygen ion pump current Ip2 (offset) according to one example and a comparative example of the present invention.

【図7】本発明の一実施例及び比較例に係る、第2酸素
イオンポンプ電流ΔIp2(ゲイン)の温度(ヒータ電
力)依存性を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing temperature (heater power) dependence of a second oxygen ion pump current ΔIp2 (gain) according to one example and a comparative example of the present invention.

【図8】本発明の一実施例及び比較例に係る、第1酸素
イオンポンプセル電圧Vp1の温度(ヒータ電力)依存性
を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing a temperature (heater power) dependency of a first oxygen ion pump cell voltage Vp1 according to one example and a comparative example of the present invention.

【図9】本発明の一実施例及び比較例に係る、第1酸素
イオンポンプ電極の長さと、第1酸素イオンポンプ電極
電圧Vp1電圧との関係、及び第2酸素イオンポンプ電流
ΔIp2(ゲイン)との関係を示すグラフである。
FIG. 9 shows the relationship between the length of the first oxygen ion pump electrode, the voltage of the first oxygen ion pump electrode voltage Vp1, and the second oxygen ion pump current ΔIp2 (gain) according to one embodiment and a comparative example of the present invention. 6 is a graph showing a relationship with the graph.

【図10】比較例に係る、NOXガス濃度検出器の概略
構成を示す断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a NO X gas concentration detector according to a comparative example.

【図11】(A)〜(D)は、本発明の一実施例に係る
NOxガス濃度検出器を説明するための図であり、
(A)は長手方向に切断した断面図、(B)は第1測定
室部分の平面図、(C)は第1測定室の要部拡大断面
図、(D)は第2測定室の平面投影図である。
FIGS. 11A to 11D are diagrams for explaining a NOx gas concentration detector according to one embodiment of the present invention;
(A) is a cross-sectional view cut in the longitudinal direction, (B) is a plan view of the first measurement chamber portion, (C) is an enlarged cross-sectional view of a main part of the first measurement chamber, and (D) is a plane view of the second measurement chamber. It is a projection view.

【図12】図11に示した検出器に対して比較例となる
検出器を説明するため図である。
FIG. 12 is a diagram for explaining a detector that is a comparative example with respect to the detector shown in FIG. 11;

【図13】排気ガス中のNOxガス濃度を測定するため
のシステムの一例を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing an example of a system for measuring the concentration of NOx gas in exhaust gas.

【図14】図13に示したシステムに図11(A)〜
(D)に示した実施例の検出器を適用した場合の測定結
果を示す図である。
FIG. 14 shows the system shown in FIG.
It is a figure which shows the measurement result at the time of applying the detector of the Example shown to (D).

【図15】図13に示したシステムに図12に示した比
較例の検出器を適用した場合の測定結果を示す図であ
る。
15 is a diagram showing a measurement result when the detector of the comparative example shown in FIG. 12 is applied to the system shown in FIG. 13;

【図16】本発明の一実施例に係るNOxガス濃度検出
器を取付金具に装填した様子を示す図である。
FIG. 16 is a view showing a state in which a NOx gas concentration detector according to one embodiment of the present invention is mounted on a mounting bracket.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,61:第1拡散孔 2,62:第1測定室 3,63:第2拡散孔 4,64:第2測定室 6,66:第1酸素イオンポンプセル 6a,6b,66a,66b:第1酸素イオンポンプ電
極 7,67:酸素濃度測定セル 8,68:第2酸素イオンポンプセル 8a,8b,68a,68b:第2酸素イオンポンプ電
極 71−3 絶縁層 A:第1測定室の長さ(比較例の第1酸素イオンポンプ
セルの電極長さ) B:第1酸素イオンポンプセルの電極長さ
1, 61: first diffusion hole 2, 62: first measurement chamber 3, 63: second diffusion hole 4, 64: second measurement chamber 6, 66: first oxygen ion pump cell 6a, 6b, 66a, 66b: First oxygen ion pump electrode 7, 67: Oxygen concentration measurement cell 8, 68: Second oxygen ion pump cell 8a, 8b, 68a, 68b: Second oxygen ion pump electrode 71-3 Insulating layer A: In first measurement chamber Length (electrode length of first oxygen ion pump cell of comparative example) B: Electrode length of first oxygen ion pump cell

フロントページの続き (72)発明者 大島 崇文 名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特 殊陶業株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−160703(JP,A) 特開 平8−271476(JP,A) 特開 平9−288085(JP,A) 特開 平10−221298(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/416 G01N 27/419 G01N 27/41 G01N 27/406 G01N 27/409 Continuation of the front page (72) Inventor Takafumi Oshima 14-18 Takatsuji-cho, Mizuho-ku, Nagoya Japan Special Ceramics Co., Ltd. (56) References JP-A-10-160703 (JP, A) JP-A-8-271476 (JP, A) JP-A-9-288085 (JP, A) JP-A-10-221298 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 27/416 G01N 27 / 419 G01N 27/41 G01N 27/406 G01N 27/409

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】第1拡散抵抗を介して被測定ガスが導入さ
れる第1測定室と、 前記第1測定室内の被測定ガス中の酸素分圧を測定する
ための酸素分圧検知電極と、 前記酸素分圧検知電極の電位に基づき、前記第1測定室
から該測定室外へ、前記被測定ガス中の酸素をNOxが
実質的に分解しない程度に十分に汲み出す第1酸素イオ
ンポンプセルと、 前記第1測定室から第2拡散抵抗を介してガスが導入さ
れる第2測定室と、 電圧が印加されて前記第2測定室中のNOxを分解し、
解離した酸素によりNOxガス濃度に応じた電流が流れ
る第2酸素イオンポンプセルと、を備えたNOxガス濃
度検出器であって、 前記第1測定室内の被測定ガスの流れ方向に沿って、前
記第1測定室の全長に対し、第1酸素イオンポンプセル
の電極の内少なくとも該第1測定室の壁面に設けられた
方の電極の長さの比が、 (電極/全長)=1/4〜3/4、 とされたことを特徴とするNOxガス濃度検出器。
A first measuring chamber into which a gas to be measured is introduced via a first diffusion resistor; an oxygen partial pressure detecting electrode for measuring a partial pressure of oxygen in the gas to be measured in the first measuring chamber; A first oxygen ion pump cell for sufficiently pumping oxygen in the gas to be measured from the first measurement chamber to the outside of the measurement chamber based on the potential of the oxygen partial pressure detection electrode so that NOx is not substantially decomposed; A second measurement chamber into which gas is introduced from the first measurement chamber via a second diffusion resistor; and a voltage applied to decompose NOx in the second measurement chamber,
A second oxygen ion pump cell through which a current corresponding to the NOx gas concentration flows due to the dissociated oxygen, wherein the NOx gas concentration detector comprises: The ratio of the length of at least one of the electrodes of the first oxygen ion pump cell provided on the wall surface of the first measurement chamber to the total length of the first measurement chamber is (electrode / total length) = 1/4 A NOx gas concentration detector characterized in that:
【請求項2】前記第1測定室側に前記第1拡散抵抗、前
記第2拡散抵抗が互いに離間して配置され、 前記第1測定室の互いに対向する面の一面側には、前記
第1酸素イオンポンプセルの前記第1測定室側の電極、
他面側には前記第2拡散抵抗の入口側開口が形成され、 前記第1酸素イオンポンプセルの少なくとも前記第1測
定室側の電極は、前記第1拡散抵抗近傍から、長くとも
前記第2拡散抵抗の入口側開口直上よりも該第1拡散抵
抗側に延在して形成されたことを特徴とする請求項1記
載のNOxガス濃度検出器。
2. The first diffused resistor and the second diffused resistor are spaced apart from each other on the first measurement chamber side, and the first diffused resistor and the first diffused resistor are disposed on one surface of the first measurement chamber facing each other. An electrode on the first measurement chamber side of the oxygen ion pump cell;
An inlet opening of the second diffusion resistor is formed on the other surface, and at least the electrode of the first oxygen ion pump cell on the first measurement chamber side is at least the second electrode from the vicinity of the first diffusion resistor. 2. The NOx gas concentration detector according to claim 1, wherein the NOx gas concentration detector is formed so as to extend on the first diffusion resistance side from immediately above the opening on the inlet side of the diffusion resistance.
【請求項3】前記第2酸素イオンポンプセルが備える一
対の電極の内、一方の電極は前記第2測定室内に設けら
れ、前記第2測定室外に設けられた他方の電極は封止な
いし被覆され、該電極に電気的に接続しガス拡散抵抗を
有するリードを介して大気に連通することを特徴とする
請求項1又は2記載のNOxガス濃度検出器。
3. A pair of electrodes provided in the second oxygen ion pump cell, one of which is provided in the second measurement chamber, and the other of which is provided outside the second measurement chamber is sealed or covered. 3. The NOx gas concentration detector according to claim 1, wherein the NOx gas concentration detector is electrically connected to the electrode and communicates with the atmosphere via a lead having gas diffusion resistance.
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