JP3326390B2 - 再生専用多重ホログラムカード - Google Patents
再生専用多重ホログラムカードInfo
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Description
ラムカードに関する。この再生専用多重ホログラムカー
ドは、磁気カードやICカードの様に持ち運び容易なメ
モリーカードとして利用することができる。具体的に
は、この再生専用多重ホログラムカードは偽造や複製が
困難であるため電子商取引用認証カードとしての使用、
また、記憶容量が大きくかつ安価に生産できるため音楽
や映像ソフトあるいはコンピュータのソフトウエアの配
布等の用途が考えられる。
な情報カードとしては、テレフォンカードの様な磁気カ
ードが一般に用いられている。また、近年ではICカー
ドが登場し、電子商取引への適用が考えられている。
あるが、偽造の危険性があり、また、ICカードは偽造
は困難であるが、ビット単価が高価になってしまうとい
う欠点がある。
記録技術として、ホログラフィーを用いた記録技術が考
えられる。ホログラフィーを平面ホログラムと体積ホロ
グラムとに分類すると、体積ホログラムは記憶容量に優
れるものの、情報転写技術が存在せず大量生産には不向
きであり、認証カードやソフト配布用等の再生専用メモ
リーへの適用は困難である。また、平面ホログラムは、
印刷技術を応用した大量生産が可能ではあるが記憶密度
が制限され、情報再生装置のサイズや使い勝手を考慮に
入れれば、ICカードに較べて魅力に欠ける。この欠点
を補うべく記憶容量を大きくするため、この平面ホログ
ラムを多層に重ねたとしても、通常の再生方法では各層
からのホログラムが同時に再生されるためクロストーク
が大きく、情報を取り出すことはできない。
確実に取り出すことができ、しかも、大量生産が可能で
安価な再生専用多重ホログラムカードを提供することを
課題とする。
する手段として、次の構成を採るものである。平面型光
導波路に周期的散乱要因を作り、当該導波路に光を入射
した際に生じる散乱光がホログラムからの再生像を形成
する平面導波路型ホログラム層が多層に配置された再生
専用多重ホログラムカードにおいて、構成要素である上
記平面型光導波路が高分子導波路であり、上記平面型光
導波路の端面を導波面の法線に対して斜めにカットし、
全反射、もしくは、金属反射膜あるいは誘電体反射膜コ
ートによる反射を用いることで、導波面に垂直な方向か
ら光を入射させて導波路内に光を導入することが可能な
機能を持つよう構成したことを特徴とする再生専用多重
ホログラムカード。
に重ねて、かつ、各層からのホログラムを独立に再生す
る事を可能にする再生専用多重ホログラムカードとその
作製方法に関するものである。以下、本発明の実施の形
態を図面に基づき詳細に説明する。
多重ホログラムカードの構造及び光の入出力方法の概観
を示す模式的断面図である。同図に示すように、この再
生専用多重ホログラムカードは、ガラス基板50上に、
/クラッド/コア/クラッド/コア…/クラッド/の様
な周期層構造となっており、何れの/クラッド/コア/
クラッド/単位においても、使用するレーザー光の波長
において、平面型シングルモード光導波路55となって
いる。また、重ね合わせられた平面型光導波路55の端
面の少なくとも一カ所は、導波路平面の法線に対して4
5度の角度を持つ反射面(45度ミラー)54となって
おり、レーザー光が目的の導波路に結合するよう凸レン
ズの位置を調節し、この焦点が当該導波路のコア層52
が45度カットされた部分にくるようにする。
は、反射は全反射によって行われ、反射面に特別に反射
層を設ける必要はないが、耐候性を持たせるために樹脂
などで保護する場合には、反射層として誘電体反射膜や
金属反射膜を形成しておく必要がある。
2D、焦点距離をfとして、下式(1)と定義し、一
方、導波路のNAWGは、コア層の屈折率をna 、クラッ
ド層の屈折率をnc として、下式(2)と定義する。
は、導波光となって導波路平面内の主にコア層52中
を、反射点52aを要として周期的に拡がりながら進行
する。ここで、扇の広がり角度は、2 sin-1(NAL )
となり、凸レンズの選択によって変更が可能である。導
波光は、コア層52もしくはクラッド層51に設けられ
た散乱要因53によって部分的に散乱され、導波路外に
漏れ出すが、散乱要因53が周期構造を持っていると、
各散乱要因53からの散乱光の位相が合致する方向が存
在し、その方向に回折光となって、導波路外にも光が進
行し、それがホログラムからの再生像を形成する。な
お、図1にはコア層52に周期散乱要因53として周期
的凹凸形状を設けた場合を例示している。
コア/クラッド界面の周期的荒れや、周期的屈折率変調
を指すが、導波光を部分的に導波路外に漏れさす要因が
周期的に存在すればよい。
は、本発明では以下の3種類となる。
コア層あるいはクラッド層に周期的凹凸形状を設けて作
製する。 (2)周期的散乱要因を、多層の各平面型光導波路のコ
ア部分あるいはクラッド部分の屈折率を周期的に変化さ
せて作製する。 (3)周期的散乱要因を、平面型光導波路のコア層ある
いはクラッド層を形成する材料とは異なる材料を用いて
作製する。
等)を作製する方法としては、以下の4種類を用いてい
る。
て、クラッド層あるいはコア層を形成した後、レジスト
層を形成し、該レジスト層を電子ビーム描画あるいは光
照射によりパターン化した後、該レジストをマスクにし
てクラッド層あるいはコア層をドライエッチングし、そ
の後レジスト層を剥離し、さらにコア層あるいはクラッ
ド層を形成する方法。 b.周期的凹凸形状を作製する方法として、周期的凹凸
形状を有する金型をクラッド層あるいはコア層の上に押
し付けてクラッド層あるいはコア層に周期的凹凸形状を
転写し、その後コア層あるいはクラッド層を積層する方
法。 c.周期的散乱要因を作製する方法として、電子ビーム
照射あるいは光照射によりコアあるいはクラッドに用い
られている材料の屈折率を周期的に変化させる方法。 d.クラッド層あるいはコア層の上にレジスト層を形成
し、該レジスト層を光照射あるいは電子ビーム照射によ
りパターン化することで周期的凹凸形状を得る作製方
法。
る再生専用多重ホログラムカードは一般的に使われるカ
ードであり、大量生産可能で安価に作製される必要があ
るため、高分子材料をベースとしている。この本発明の
再生専用多重ホログラムカードに用いられる高分子材料
は導波路構造を形成でき、しかも透明性が重要となる。
ードに使用できる高分子材料をあげる。
リアクリレート、ポリカボーネート、ポリエーテル、ポ
リイミド、ポリアミド、エポキシ樹脂等の熱可塑樹脂、
エポキシ樹脂を初めとした熱硬化性樹脂、アクリル、エ
ポキシ樹脂を紫外線硬化性にした樹脂等があげられる。
以下にあげる。
ポリマー、エポキシ化ポリブタジエン、グリシジルメタ
クリレートなどのエポキシ化ポリマ、クロロメチル化ポ
リシロキサンなどの無機系ネガ型レジスト(SNR)、
酸発生剤を含むt−ブトキシカルボニル基保護ポリヒド
ロキシスチレンに代表される化学増感レジスト。 ポジ型: ポリメチルメタクリレート、ポリフルオロメ
タクリレート(PFM)などのポリメタクリレート、ポ
リブテンスルフォン等のポリスルフォン、ポリメチルイ
ソプロピルケトンなどのポリケトン等。
る。 ネガ型: アジド化合物−環化ゴム、アジド化合物−ア
ルカリ可溶ポリマー、アジド化合物−ポリシロキサンな
ど無機系ホトレジスト、酸発生剤を含むエポキシ樹脂に
代表される化学増感レジスト、ネガ型ドライフィルムレ
ジストなど。 ポジ型: ジアゾナフトキノンジアゾナフトキノン−ノ
ボラック樹脂などのAZタイプレジスト、ジアゾナフト
キノン−ポリシロキサンなどの無機系ポジ型ホトレジス
ト、ポジ型ドライフィルムレジストなど。
用多重ホログラムカードとその作製方法によれば、大量
生産可能な平面ホログラムの手法を用いながら、体積ホ
ログラムの様にデータ容量を大きくすることが可能とな
り、安価で大容量の再生専用メモリを提供することが可
能となった。さらに、光ディスクの様な回転機構が不要
な事から、音楽や映像再生の為の再生装置が省電力とな
る利点もある。また、認証カードとして用いる場合に
は、偽造が困難であることに加え、様々な付加情報を記
憶しておく事も可能となり、利便性が高まる。
らに詳細に説明する。
樹脂/PMMA/紫外線硬化樹脂/PMMA/紫外線硬
化樹脂/……/PMMA/紫外線硬化樹脂/の様な層構
造を、3インチの光学研磨されたガラス基板50上に作
製した。クラッド層高分子51としては紫外線硬化樹脂
を、コア層高分子52としてはポリメチルメタクリレー
ト(PMMA)を用いた。紫外線硬化樹脂は屈折率1.
475で厚さ8μm、PMMAは屈折率1.485で厚
さ2.4μmである。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。この上に無機系のネガ
型電子線レジストをスピンコートした。これに周期的に
電子線露光し、現像することによりライン幅0.1μm
の周期的散乱要因パタンを作製した。この周期散乱要因
パタンを作製したレジストをマスクにして酸素の反応性
イオンエッチングにより下層のエポキシ樹脂を0.1μ
mエッチングし、クラッド層51に周期的散乱要因53
を得た。その後レジスト層を剥離し、次に、このクラッ
ド層51上にコアのPMMAを約2.4μm厚スピンコ
ートした。コア層52をベーク乾燥後、コア層52上に
UV感光性エポキシオリゴマを約8μm厚にスピンコー
トした。次に全面に紫外線照射し、ベーク乾燥処理後硬
化した。このような下層クラッド塗布から上層クラッド
塗布までのプロセスを10サイクル繰り返し導波路多層
膜を得た。引き続き、90度の切削角度を持つブレード
で多層膜端面を切削する事により45度ミラー54を作
製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると上下
方向に回折光が現れた。
カードに用いたコアのPMMAの代りに紫外線硬化性エ
ポキシ樹脂を用いた。クラッド層51は屈折率1.47
5で厚さ8μm、コア層52は屈折率1.485で厚さ
2.4μmである。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。この上に無機系のネガ
型電子線レジストをスピンコートした。これに周期的に
電子線露光し、現像することによりライン幅0.1μm
の周期的散乱要因パタンを作製した。この周期散乱要因
パタンを作製したレジストをマスクにして酸素の反応性
イオンエッチングにより下層のエポキシ樹脂を0.1μ
mエッチングし、クラッド層51に周期的散乱要因53
を得た。その後レジスト層を剥離し、次に、このクラッ
ド層51上にコアのUV感光性エポキシオリゴマを約
2.4μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照
射し、ベーク乾燥処理後硬化した。コア層をベーク乾燥
後、コア層上にUV感光性エポキシオリゴマを約8μm
厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射し、ベー
ク乾燥処理後硬化した。このような下層クラッド塗布か
ら上層クラッド塗布までのプロセスを10サイクル繰り
返し導波路多層膜を得た。引き続き、90度の切削角度
を持つブレードで多層膜端面を切削する事により45度
ミラー54を作製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると上下
方向に回折光が現れた。
樹脂/PMMA/紫外線硬化樹脂/PMMA/紫外線硬
化樹脂/……/PMMA/紫外線硬化樹脂/の様な層構
造を、3インチの光学研磨されたガラス基板50上に作
製した。クラッド層高分子51としては紫外線硬化樹脂
を、コア層高分子52としてはポリメチルメタクリレー
ト(PMMA)を用いた。紫外線硬化樹脂は屈折率1.
475で厚さ8μm、PMMAは屈折率1.485で厚
さ2.4μmである。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。次にこのクラッド層5
1上にコアのPMMAを約2.4μm厚にスピンコート
した。コア層52をベーク乾燥後、この上に無機系のネ
ガ型電子線レジストをスピンコートした。これに周期的
に電子線露光し、現像することによりライン幅0.1μ
mの周期的散乱要因パタンを作製した。この周期散乱要
因パタンを作製したレジストをマスクにして酸素の反応
性イオンエッチングにより下層のPMMAを0.1μm
エッチングし、コア層52に周期的散乱要因53を得
た。その後レジスト層を剥離し、次に、コア層52上に
UV感光性エポキシオリゴマを約8μm厚にスピンコー
トした。次に全面に紫外線照射し、ベーク乾燥処理後硬
化した。このような下層クラッド塗布から上層クラッド
塗布までのプロセスを10サイクル繰り返し導波路多層
膜を得た。引き続き、90度の切削角度を持つブレード
で多層膜端面を切削する事により45度ミラー54を作
製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると上下
方向に回折光が現れた。
構造を3インチの光学研磨されたガラス基板50上に作
製した。クラッド層高分子51、コア層高分子52とし
て紫外線硬化樹脂を用いた。クラッド層51は屈折率
1.475で厚さ8μm、コア層52は屈折率1.48
5で厚さ2.4μmである。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。次にこのクラッド層5
1上にコアのUV感光性エポキシオリゴマを約2.4μ
m厚スピンコートした。次に全面に紫外線照射し、ベー
ク乾燥処理後硬化した。この上に無機系のネガ型電子線
レジストをスピンコートした。これに周期的に電子線露
光し、現像することによりライン幅0.1μmの周期的
散乱要因パタンを作製した。この周期散乱要因パタンを
作製したレジストをマスクにして酸素の反応性イオンエ
ッチングによりコア層52のエポキシ樹脂を0.1μm
エッチングし、周期的散乱要因53を得た。その後レジ
スト層を剥離し、コア層52をベーク乾燥後、コア層5
2上にUV感光性エポキシオリゴマを約8μm厚にスピ
ンコートした。次に全面に紫外線照射し、ベーク乾燥処
理後硬化した。このような下層クラッド塗布から上層ク
ラッド塗布までのプロセスを10サイクル繰り返し導波
路多層膜を得た。引き続き、90度の切削角度を持つブ
レードで多層膜端面を切削する事により45度ミラーを
作製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると上下
方向に回折光が現れた。
樹脂/PMMA/紫外線硬化樹脂/PMMA/紫外線硬
化樹脂/……/PMMA/紫外線硬化樹脂/の様な層構
造を3インチの光学研磨されたガラス基板50上に作製
した。クラッド層高分子51としては紫外線硬化樹脂
を、コア層高分子52としてはポリメチルメタクリレー
ト(PMMA)を用いた。紫外線硬化樹脂は屈折率1.
475で厚さ8μm、PMMA52は屈折率1.485
で厚さ2.4μmである。
ガラス基板50上に紫外線硬化樹脂原料を8μm厚みで
スピンコートし、紫外線露光して膜化した。次いでPM
MAを2.4μmスピンコートし積層膜を作製し、11
0℃で基板を加熱して、PMMA膜の上に周期凹凸模様
のついた金型を押し当てて転写し、スタンプ法にてコア
層52に周期的散乱要因53を作製した。さらに紫外線
硬化樹脂コート/紫外線露光/PMMAコート/転写の
順に作業を10サイクル繰り返し、最後に紫外線硬化樹
脂をスピンコートし、紫外線露光を行って本発明のホロ
グラムカードを作製した。引き続き、多層膜端面を45
度に研磨し、45度ミラー54を作製した。
い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形
した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。
この焦点を各PMMA層の45度カット位置に合わせる
と、上下方向に回折光が現れた。また、45度ミラー5
4を、ダイシングソーによりカットして作製する方法を
用いて作製しても、同様の効果を確認することができ
た。
カードに用いたコアのPMMAの代りに熱硬化性エポキ
シ樹脂を用いた。紫外線硬化樹脂は屈折率1.475で
厚さ8μm、熱硬化性エポキシ樹脂は屈折率1.485
で厚さ2.4μmである。
例5と同様で、熱硬化性エポキシ樹脂をスピンコート
し、110℃で基板を加熱しながら周期凹凸模様のつい
た金型を押し当てて転写し、スタンプ法にてコア層52
に周期的散乱要因53を作製した。さらに紫外線硬化樹
脂コート/紫外線露光/熱硬化性エポキシ樹脂コート/
転写の順に作業を10サイクル繰り返し、最後に紫外線
硬化樹脂をスピンコート、紫外線露光を行った。引き続
き、多層膜端面を45度に研磨し、45度ミラー54を
作製した。
用い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成
形した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光し
た。この焦点を45度カット位置に合わせると、上下方
向に回折光が現れた。
カードに用いたコアのPMMAの代りに紫外線硬化性エ
ポキシ樹脂を用いた。クラッドに用いた紫外線硬化樹脂
は屈折率1.475で厚さ8μm、コアに用いた紫外線
硬化性エポキシ樹脂は屈折率1.485で厚さ2.4μ
mである。
例6と同様で、コア用の紫外線硬化性エポキシ樹脂をス
ピンコートし、紫外線照射してゲル状態とする。その後
周期凹凸模様のついた金型を押し当てて110℃で基板
を加熱しながら完全に硬化させた。この操作により金型
の凹凸模様がコア層表面上に転写され、周期的散乱要因
53が作製された。さらにクラッド用紫外線硬化樹脂コ
ート/紫外線照射によりクラッド層硬化/コア用紫外線
硬化性エポキシ樹脂コート/紫外線照射によりコア層ゲ
ル化/金型による転写および熱により硬化の順に作業を
10サイクル繰り返し、最後に紫外線硬化樹脂をスピン
コート、紫外線露光を行った。引き続き、多層膜端面を
45度にダイシングソーでカットし、45度ミラー54
を作製した。
用い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成
形した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光し
た。この焦点を45度カット位置に合わせると、上下方
向に回折光が現れた。
樹脂/PMMA/紫外線硬化樹脂/PMMA/紫外線硬
化樹脂/……/PMMA/紫外線硬化樹脂/の様な層構
造を3インチの光学研磨されたガラス基板50上に作製
した。クラッド層高分子51としては紫外線硬化樹脂
を、コア層高分子52としてはポリメチルメタクリレー
ト(PMMA)を用いた。紫外線硬化樹脂は屈折率1.
475で厚さ8μm、PMMAは屈折率1.485で厚
さ2.4μmである。
ガラス基板50上に紫外線硬化樹脂原料を8μmの厚み
でスピンコートし、紫外線露光して膜化した。次いでP
MMAを2.4μmスピンコートし、電子線ビームを部
分的に照射して屈折率を照射した部分のみ微小に変化さ
せて周期的散乱要因を作製した。さらに紫外線硬化樹脂
コート/紫外線露光/PMMAコート/電子線ビーム照
射の順に作業を10サイクル繰り返し、最後に紫外線硬
化樹脂をスピンコート、紫外線露光を行って本発明のホ
ログラムカードを作製した。引き続き、多層膜端面をダ
イシングソーによりカットして45度ミラー54を作製
した。
用い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成
形した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光し
た。この焦点を各PMMA層の45度カット位置に合わ
せると、上下方向に回折光が現れた。
化紫外線硬化性樹脂を用いて実施例8と同様に電子線ビ
ームを照射して屈折率変化を誘起する方法により本発明
のホログラムカードを作製した。この場合、電子線ビー
ムを照射した部分ではフッ素化紫外線硬化性樹脂のフッ
素原子の結合が切断され、屈折率が低くなり、電子線ビ
ームを照射した部分のみ微小に屈折率が変化し、周期的
散乱要因を作製することが可能であった。クラッド用フ
ッ素化紫外線硬化樹脂は屈折率1.475で厚さ8μ
m、コア用フッ素化紫外線硬化樹脂は屈折率1.485
で厚さ2.4μmである。さらにクラッド用紫外線硬化
樹脂コート/紫外線露光/フッ素化紫外線硬化性樹脂コ
ート/電子線ビームの照射の順に作業を10サイクル繰
り返し、最後に紫外線硬化樹脂をスピンコート、紫外線
露光を行って本発明のホログラムカードを作製した。引
き続き、多層膜端面をダイシングソーによりカットして
45度ミラー54を作製した。
用い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成
形した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光し
た。この焦点を各PMMA層の45度カット位置に合わ
せると、上下方向に回折光が現れた。
ッ素化紫外線硬化性樹脂の代わりにコア材料としてフッ
素系ポリイミド(屈折率1.485)を用い、クラッド
材料として同種の屈折率の低いフッ素系ポリイミド(屈
折率1.475)を用いて、実施例9−1と同様に本発
明のホログラムカードを作製したところ、実施例9−1
と同様に上下方向に回折光が現れた。
線硬化樹脂/PMMA/紫外線硬化樹脂/PMMA/紫
外線硬化樹脂/……/PMMA/紫外線硬化樹脂/の様
な層構造を3インチの光学研磨されたガラス基板50上
に作製した。クラッド層高分子51として紫外線硬化樹
脂を用い、コア層高分子52としてポリメチルメタクリ
レート(PMMA)52を用いた。紫外線硬化樹脂は屈
折率1.475で厚さ8μm、PMMAは屈折率1.4
85で厚さ2.4μmである。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。このクラッド層51上
にコアのPMMAを約2.4μm厚にスピンコートし
た。コア層52をベーク乾燥後、コア層52上にネガ型
フォトレジストを厚さ0.1μm厚にスピンコートし
た。これに周期的にレーザービーム露光し、現像するこ
とによりライン幅0.1μmの周期的散乱要因を作製し
た。コア層52をベーク乾燥後、コア層52上にUV感
光性エポキシオリゴマを約8μm厚にスピンコートし
た。次に全面に紫外線照射し、ベーク乾燥処理後硬化し
た。このような下層クラッド塗布から上層クラッド塗布
までのプロセスを10サイクル繰り返し導波路多層膜を
得た。引き続き、90度の切削角度を持つブレードで多
層膜端面を切削する事により45度ミラー54を作製し
た。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると、上
下方向に回折光が現れた。
子多層構造を3インチの光学研磨されたガラス基板50
上に作製した。クラッド層高分子51、コア層高分子5
2として紫外線硬化樹脂を用いた。クラッド層51は屈
折率1.475で厚さ8μm、コア層52は屈折率1.
485で厚さ2.4μmである。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。次にこのクラッド層5
1上にコアのUV感光性エポキシオリゴマを約2.4μ
m厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射し、ベ
ーク乾燥処理後硬化した。この上に無機系のネガ型フォ
トレジストをスピンコートした。これに周期的にレーザ
ービーム露光し、現像することによりライン幅0.1μ
mの周期的散乱要因パタンを作製した。この周期散乱要
因パタンを作製したレジストをマスクにして酸素の反応
性イオンエッチングによりコア層52のエポキシ樹脂を
0.1μmエッチングし、周期的散乱要因53を得た。
その後レジスト層を剥離し、コア層52をベーク乾燥
後、コア層52上にUV感光性エポキシオリゴマを約8
μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射し、
ベーク乾燥処理後硬化した。このような下層クラッド塗
布から上層クラッド塗布までのプロセスを10サイクル
繰り返し導波路多層膜を得た。引き続き、90度の切削
角度を持つブレードで多層膜端面を切削する事により4
5度ミラー54を作製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると上下
方向に回折光が現れた。
化樹脂/PMMA/紫外線硬化樹脂/PMMA/紫外線
硬化樹脂/……/PMMA/紫外線硬化樹脂/の様な層
構造を3インチの光学研磨されたガラス基板50上に作
製した。クラッド層高分子51としてはUV感光性エポ
キシオリゴマを、コア層高分子52としてはポリメチル
メタクリレート(PMMA)を用いた。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。このクラッド層51上
にコアのPMMAを約2.4μm厚にスピンコートし
た。コア層52をベーク乾燥後、これに周期的に電子線
露光し、現像することにより深さ0.1μm、ライン幅
0.1μmの周期的散乱要因53を作製した。コア層5
2をベーク乾燥後、コア層52上にUV感光性エポキシ
オリゴマを約8μm厚にスピンコートした。次に全面に
紫外線照射し、ベーク乾燥処理後硬化した。このような
下層クラッド塗布から上層クラッド塗布までのプロセス
を10サイクル繰り返し導波路多層膜を得た。引き続
き、90度の切削角度を持つブレードで多層膜端面を切
削する事により45度ミラー54を作製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると上下
方向に回折光が現れた。
化樹脂/PMMA/紫外線硬化樹脂/PMMA/紫外線
硬化樹脂/……/PMMA/紫外線硬化樹脂/の様な層
構造を3インチの光学研磨されたガラス基板50上に作
製した。クラッド層高分子51としては紫外線硬化樹脂
を用い、コア層高分子52としてはポリメチルメタクリ
レート(PMMA)52を用いた。紫外線硬化樹脂は屈
折率1.475で厚さ8μm、PMMAは屈折率1.4
85で厚さ2.4μmである。
ガラス基板50上に、UV感光性エポキシオリゴマを約
8μm厚にスピンコートした。次に全面に紫外線照射
し、ベーク乾燥処理後硬化した。このクラッド層51上
にコアのPMMAを2.4μm厚にスピンコートした。
コア層52をベーク乾燥後、コア層52上に無機系のネ
ガ型電子線レジストを0.1μm厚にスピンコートし
た。これに周期的に電子線露光し、現像することにより
ライン幅0.1μmの周期的散乱要因を作製した。コア
層52をベーク乾燥後、コア層52上にUV感光性エポ
キシオリゴマを約8μm厚にスピンコートした。次に全
面に紫外線照射し、ベーク乾燥処理後硬化した。このよ
うな下層クラッド塗布から上層クラッド塗布までのプロ
セスを10サイクル繰り返し導波路多層膜を得た。引き
続き、90度の切削角度を持つブレードで多層膜端面を
切削する事により45度ミラー54を作製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると、上
下方向に回折光が現れた。
高分子導波路を構成するコアあるいはクラッドの材料
を、[表1]に示すように、ポリカーボネート、ポリア
ミド、ポリエーテル、ポリシロキサンにすることにより
導波路多層膜を基板上に作製した(図1参照)。
の切削角度を持つブレードで切削する事により45度ミ
ラーを作製した。
いコリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成形し
た後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光した。こ
の焦点を各コア層の45度カット位置にあわせると上下
方向に回折光が現れた。
は、高分子導波路を構成するコア層あるいはクラッド層
として圧延法から得られる薄膜を用いることを特徴とす
る再生専用多重ホログラムカードの作製方法の実施例で
ある。
Aフィルムを110℃で加熱しながら周期凹凸模様のつ
いた金型ローラーを押当てて転写し、スタンプ法にて周
期的散乱要因を作製した。次に上下に1.475の屈折
率を持つエポキシ樹脂フィルムで挟み込み圧延を行う。
上記作業をフィルム形状のまま、流れ作業で10サイク
ル繰り返し、エポキシ樹脂/PMMA/エポキシ樹脂/
PMMA/エポキシ樹脂/……/PMMA/エポキシ樹
脂/の様な層構造を作製した(図1参照)。このフィル
ムをカードの大きさに切断し、最後に多層膜端面を45
度に研磨した。
用い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成
形した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光し
た。この焦点を45度カット位置に合わせると、上下方
向に回折光が現れた。
1.475で厚さ8μmのエポキシ樹脂フィルム上に、
屈折率1.485で厚さ2.4μmである紫外線硬化性
エポキシ樹脂をキャスト法で塗布する。コア部分は紫外
線照射してゲル状態とする。その後周期凹凸模様のつい
た金型を押当て110℃で基板を加熱しながら完全に硬
化させた。この操作により金型の凹凸模様がコア表面上
に転写され、周期的散乱要因が作製された。次に上に
1.475の屈折率を持つエポキシ樹脂フィルムで挟み
込み圧延を行うことにより導波路構造を得た(図1参
照)。上記作業をフィルム形状のまま、流れ作業でクラ
ッド層/コア用紫外線硬化性エポキシ樹脂コート/紫外
線照射によりコア層ゲル化/金型による転写および熱に
より硬化/エポキシ樹脂フィルムで挟み込み圧延の順に
作業を10サイクル繰り返しカードの大きさに切断し
た。引き続き、多層膜端面を45度にダイシングソーで
カットし、45度ミラー部を作製した。
用い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成
形した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光し
た。この焦点を45度カット位置に合わせると、上下方
向に回折光が現れた。
がら屈折率1.485のPMMAフィルム表面上にドラ
イフィルムレジストを熱ラミネートしマスクを通してあ
るいはレーザー光を直接描画し、現像することにより周
期的散乱要因を作製した。次に上下に1.475の屈折
率を持つエポキシ樹脂フィルムで挟み込み圧延を行う。
上記作業をフィルム形状のまま、流れ作業で10サイク
ル繰り返し、エポキシ樹脂/PMMA/エポキシ樹脂/
PMMA/エポキシ樹脂/……/PMMA/エポキシ樹
脂/の様の層構造を作製し、カードの大きさに切断した
(図1参照)。最後に多層膜端面を45度に研磨した。
用い、コリメートレンズで直径5mmの平行ビームに成
形した後、焦点距離14mmの平凸レンズにて集光し
た。この焦点を45度カット位置に合わせると、上下方
向に回折光が現れた。
重ホログラムカードによって、大量生産可能な平面ホロ
グラムの手法を用いながら、体積ホログラムの様にデー
タ容量を大きくすることが可能となり、安価で大容量の
再生専用メモリを提供することが可能となった。さら
に、光ディスクの様な回転機構が不要な事から、音楽や
映像再生の為の再生装置が省電力となる利点もある。ま
た、認証カードとして用いる場合には、偽造が困難であ
ることに加え、様々な付加情報を記憶しておく事も可能
となり、利便性が高まる。
ラムカードの構造及び光の入出力方法の概観を示す模式
的断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 平面型光導波路に周期的散乱要因を作
り、当該導波路に光を入射した際に生じる散乱光がホロ
グラムからの再生像を形成する平面導波路型ホログラム
層が多層に配置された再生専用多重ホログラムカードに
おいて、構成要素である上記平面型光導波路が高分子導
波路であり、上記平面型光導波路の端面を導波面の法線
に対して斜めにカットし、全反射、もしくは、金属反射
膜あるいは誘電体反射膜コートによる反射を用いること
で、導波面に垂直な方向から光を入射させて導波路内に
光を導入することが可能な機能を持つよう構成したこと
を特徴とする再生専用多重ホログラムカード。
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|---|---|---|---|
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