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JP3367345B2 - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

ワイヤ放電加工装置

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JP3367345B2
JP3367345B2 JP20603096A JP20603096A JP3367345B2 JP 3367345 B2 JP3367345 B2 JP 3367345B2 JP 20603096 A JP20603096 A JP 20603096A JP 20603096 A JP20603096 A JP 20603096A JP 3367345 B2 JP3367345 B2 JP 3367345B2
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electric discharge
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靖士 遠藤
久 山田
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Mitsubishi Electric Corp
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はワイヤ放電加工装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図9はワイヤ放電加工装置の全体の構成
を示した図である。図において、1はワイヤ電極、2は
被加工物、3は上部および下部でワイヤ電極1をガイド
するワイヤガイド、4は被加工物2を載置するテーブ
ル、5a、5bはワイヤ電極1と被加工物2とを相対移
動するX軸およびY軸駆動モータ、6はX軸およびY軸
駆動モータ5a、5bを制御する軸駆動制御装置、7は
ワイヤ電極1と被加工物2との加工間隙に放電電流パル
スを供給する加工用電源、8は放電加工用電源装置7の
出力をワイヤ電極1に給電する給電子、9は放電加工用
電源装置7のスイッチング動作を制御する加工用電源制
御装置、10は極間における加工電圧を検出する極間電
圧検出装置、11は軸駆動制御装置6および加工用電源
制御装置9に軸移動指令および加工条件パラメータを送
出するNC制御装置、12はNCプログラムである。
【0003】図10は加工用電源装置および極間電圧検
出装置の一例を示す図であり、700は図9の7に対応
した放電加工用電源回路であり、加工電流を極間に供給
するための直流電源701、加工用電源制御装置9によ
りオン、オフ制御されるスイッチング素子702、極間
に流れる電流値を制限する制限抵抗器703で構成され
ている。また、1000は図9の10に対応した極間電
圧検出装置であり、電圧整流用ダイオード1001、電
圧分圧用抵抗器1002および1003、電圧平滑用コ
ンデンサ1004、極間電圧検出回路1005で構成さ
れている。また、13は給電経路に存在するインピーダ
ンスを示している。
【0004】次に動作について説明する。NC装置11
にはNCプログラム12または操作盤(図示せず)から
加工経路情報および加工電気条件パラメータが入力され
る。このうち入力された加工電気条件パラメータは加工
用電源制御装置9に出力され、加工用電源制御装置9は
これらのパラメータに基づき、所定の電流ピーク、パル
ス幅、休止時間を持った駆動信号を発生し加工用電源装
置7を制御する。加工用電源装置7はこの駆動信号によ
って駆動され、所定の電流パルスが被加工物2の上部お
よび下部でワイヤガイド3により保持されたワイヤ電極
1と被加工物2との加工間隙に供給されるとともに、加
工間隙には一般に水または水系の加工液が供給されるこ
とによって放電加工が行われる。
【0005】図11は極間波形を示す図であり、図11
(a)は加工電圧、(b)は加工電流を示している。図
10におけるスイッチング素子702がオンした後、放
電が開始されるまで加工間隙電圧は(a)のように直流
電源701の電圧E1まで上昇し、放電開始とともに加
工間隙電圧はアーク電位E2まで低下する。このとき図
9の電圧検出回路10では加工間隙電圧がアーク電位へ
低下したことを検出し、放電開始と判断し加工用電源制
御装置9に出力し、(b)に示したように所定時間(T
ONの間)スイッチング素子702がオンの状態を継続
し、加工間隙に直流電源701の電圧E1、制限抵抗器
703の定数で決定される加工電流が供給される。その
後にスイッチング素子702がオフし、所定時間(TO
FFの間)だけオフ時間が継続され、再びスイッチング
素子702がオンされるといった以上の動作を繰り返
し、ワイヤ電極と被加工物間に放電を発生させる。
【0006】さらにこれと同時に、NC装置11は加工
経路情報に基づき駆動制御装置6に位置決め指令を出力
し、X軸駆動モータ5aおよびY軸駆動モータ5bを駆
動制御してテーブル4の位置決め制御をおこなうことに
より被加工物を所望の形状に加工する。また、極間電圧
は、電圧整流用ダイオード1001で半波整流され、電
圧分圧用抵抗器1002および1003により分圧さ
れ、電圧平滑用コンデンサ1004で平滑、平均化され
極間電圧検出回路1005にて検出される。このように
極間電圧検出装置1000は極間の電圧の値によってオ
ープン、放電、短絡などの極間の状態を判別しており、
より安定した放電加工を行わせるために所定の電圧にな
るようワイヤ電極1と被加工物2とを相対移動させてい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のワイヤ放電加工
装置は上記のように構成されており、放電加工は1発1
発の放電の累積によって行われる。従って、加工速度の
向上を考えた場合、放電パルスの周波数を上げることが
必要となってくる。しかしながら、放電周波数を上げて
いけば給電経路のインピーダンス13が増大するが、例
えばインピーダンス13の値をZ、制限抵抗器703の
抵抗値をR、直流電源701の電圧をE1、極間電圧値
をEgとした場合、図10のa−a’間の電圧は、(2
Z/(R+2Z))*E1+(1−2Z/(R+2
Z))*Egと表わされるため、インピーダンスZの増
大は、加工状態によって極間電圧検出が異なるといった
結果をもたらし、極間電圧検出に重大なる影響を与える
こととなる。
【0008】例えば、低周波の放電加工であれば、給電
経路のインピーダンス13は無視でき極間がどのような
状態であってもa−a’間の電圧はEg(極間電圧)と
なる。しかし、高周波の放電加工では給電経路のインピ
ーダンス13が無視できなくなり、極間がオープンであ
ればa−a’間の電圧はE1となるが、短絡したような
場合でも(2Z/(R+2Z))*E1と電圧が存在す
ることとなり、短絡の検出が困難となる。また、放電中
の極間電圧検出値は、実際の極間電圧の相対値ではなく
なってしまい、適切なワイヤ電極1と被加工物2の相対
移動ができなくなるといった問題があった。
【0009】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ワイヤ放電加工装置において、
放電加工用電源装置の周波数に関係なく、極間の状態を
的確に検出し安定した放電加工ができることを目的とす
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】第1の発明におけるワイ
ヤ放電加工装置は、ワイヤ電極と被加工物にて形成され
る間隙に加工用電源装置から電圧を印加して放電を発生
させると共に、前記ワイヤ電極と前記被加工物を相対移
動させて前記被加工物の加工を行なうワイヤカット放電
加工装置において、前記加工用電源装置とは独立して、
極間に接触を検出するための電圧を供給するための電源
を内蔵すると共に前記ワイヤ電極と前記被加工物との接
触を検出する接触検出装置と、この接触検出装置の出力
信号を用いて前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触状
態情報を出力する接触状態検出装置とを有するようにし
たものである。
【0011】第2の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、ワイヤ電極と被加工物にて形成される間隙に加工用
電源装置から電圧を印加して放電を発生させると共に、
前記ワイヤ電極と前記被加工物を相対移動させて前記被
加工物の加工を行なうワイヤカット放電加工装置におい
て、前記加工用電源装置とは独立して、極間に接触を検
出するための電圧を供給するための電源を内蔵すると共
に前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触を検出する接
触検出装置と、この接触検出装置の出力信号を用いて前
記ワイヤ電極と前記被加工物との接触状態情報を出力す
る接触状態検出装置と、前記接触状態情報を用いて前記
ワイヤ電極と前記被加工物との距離を求める極間距離演
算手段とを有するようにしたものである。
【0012】第3の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、ワイヤ電極と被加工物にて形成される間隙に加工用
電源装置から電圧を印加して放電を発生させると共に、
前記ワイヤ電極と前記被加工物を相対移動させて前記被
加工物の加工を行なうワイヤカット放電加工装置におい
て、前記加工用電源装置とは独立して、極間に接触を検
出するための電圧を供給するための電源を内蔵すると共
に前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触を検出する接
触検出装置と、この接触検出装置の出力信号を用いて前
記ワイヤ電極と前記被加工物との接触状態情報を出力す
る接触状態検出装置と、この接触状態検出装置の出力信
号に基づき前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触状態
が所定の状態になるよう加工送り速度を制御する制御装
置とを有するようにしたものである。
【0013】第4の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、第1ないし第3の発明のいずれかのワイヤ放電加工
装置において、接触状態検出装置が出力するワイヤ電極
と被加工物との接触状態情報が所定時間に対する接触状
態が占める時間の割合であるようにしたものである。
【0014】第5の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、第2の発明のワイヤ放電加工装置において、極間距
離演算手段が被加工物の板厚またはワイヤ電極の張力の
少なくともいずれかをパラメータとして演算するように
したものである。
【0015】
【発明の実施の形態】実施の形態1. この発明の実施の形態1を図を用いて説明する。図1は
この発明の実施の形態1のワイヤ放電加工機の制御回路
の詳細を示す図である。図9および図10に示された従
来例と同様である部分については説明を省略する。
【0016】図において、100は極間の接触を検出す
る接触検出回路であり、101は接触検出回路100の
極間接触検出するため電圧を供給する直流電源、102
は検出回路をオン、オフするスイッチング素子、103
は検出回路の回路電流を抑制する抵抗器、104は入力
フォトダイオード104aおよび出力フォトトランジス
タ104bで構成されるフォトカプラ、105はフォト
カプラ104の保護するためのダイオード、106はフ
ォトカプラ104に流れる電流を決定している抵抗器、
107は極間加工電流が接触検出回路へ逆流するのを防
止するためのダイオード、108はフォトカプラ104
の出力をプルアップする抵抗器、109はフォトカプラ
104の出力を接触と判断してレシーブするAND回
路、110はスイッチング素子102を制御する接触検
出サンプリングパルス発生回路、111はスイッチング
素子102をドライブするドライブ回路、112はNO
T回路112a/112b、AND回路112dおよび
コンデンサ112cで構成される検出カウントパルスを
出力するパルス遅延回路、113は接触検出カウントパ
ルスを出力するAND回路である。
【0017】また、200はワイヤ電極と被加工物との
接触状態を検出する接触状態検出装置であり、201は
検出カウントパルスをカウントする10進カウンタ、2
02は接触検出カウントパルスをカウントする10進カ
ウンタ、203は10進カウンタ202のカウンタ出力
をラッチするラッチ回路、204はラッチ回路の出力か
ら接触状態を判別する接触率検出装置、205はNOT
回路205a/205bおよびコンデンサ205cで構
成される10進カウンタ201および202のカウント
値をリセットするパルス遅延回路である。
【0018】次に、実施の形態1の動作について、図を
用いて説明する。図2および図3は図1の各部の出力信
号の一例を示す図であり、図2中には極間の接触/非接
触状態が併記されている。図2および図3において、信
号Aは接触検出サンプリングパルス発生回路110の接
触検出サンプリングパルス、信号CはAND回路109
の接触検出出力、信号Dはパルス遅延回路112から出
力される検出カウントパルス、信号EはAND回路11
3の接触検出パルス、信号F〜Iは10進カウンタ20
2のカウンタ出力Q0〜Q3、信号Jは10進カウンタ
201のキャリ出力、信号Kはパルス遅延回路205か
ら出力され10進カウンタ201および202のカウン
ト値をリセットするカウンタリセットパルスである。
【0019】ここで、信号Aは給電経路のインピーダン
ス13が無視できる位の周波数(例えば、数百Hz〜数
十kHz)で接触検出サンプリングを行うパルスとなっ
ており、スイッチング素子102はドライブ回路111
により、信号Aのタイミングでオンオフされ、スイッチ
ング素子102がオンしているとき、直流電源101の
電圧は抵抗器103/ダイオード107/給電子8を介
しワイヤ電極1と被加工物2に供給される。
【0020】ここで、ワイヤ電極1と被加工物2の極間
が接触状態であれば、接触抵抗より抵抗器106の抵抗
値が十分に大きいため、フォトカプラ104の入力側で
あるフォトダイオード104aにはほとんど電流が流れ
ず、フォトカプラ104の出力側であるフォトトランジ
スタ104bはハイインピーダンス状態となって、接触
検出出力信号Bはプルアップ抵抗器108にてHレベル
となる。
【0021】また、ワイヤ電極1と被加工物2の極間が
非接触状態の時は直流電源の電流は抵抗器103/10
6を介しフォトカプラ104の入力側であるフォトダイ
オード104aに電流が流れ、フォトカプラ104の出
力側であるフォトトランジスタ104bがオン状態とな
って、接触検出出力信号BはLレベルとなる。
【0022】また、スイッチング素子102がオフであ
れば、ワイヤ電極1と被加工物2の極間が接触状態と同
様に、フォトカプラ104の入力であるフォトダイオー
ドには電流が流れず、接触検出出力信号Bはプルアップ
抵抗器108にてHレベルとなる。
【0023】次に図3に示すように、パルス遅延回路1
12ではNOT回路112a/112bおよびコンデン
サ112cで構成される遅延回路にて、NOT回路11
2a/112bの内部抵抗とコンデンサ112cの静電
容量にて決められた遅延時間で信号Aを信号Lのような
遅延信号としており、この信号Lを信号AとともにAN
D回路112dに入力し、図3の信号Dにあるようなパ
ルス遅延信号を出力している。また、接触検出出力信号
Cは信号LがHレベル時にはHレベルかLレベルになっ
ており、AND回路113の出力信号Eは極間が接触時
のみ図3のようにHレベルを出力する。
【0024】つまり、接触検出回路100の出力信号D
および出力信号Eは接触検出サンプリングパルス信号A
が出力時に、接触検出サンプリングカウントパルスとし
て出力信号Dが出力され、極間が接触しておれば接触検
出パルス信号Eが出力するようになっている。
【0025】次に10進カウンタ201キャリ出力の信
号Jはカウンタ値が10であるときに出力されHレベル
となり、ラッチ回路203をラッチするとともにパルス
遅延回路205を介し、信号Kを出力して10進カウン
タ201および202をリセットする。このようにし
て、10進カウンタ202のカウンタ出力Q0〜Q3は
継続して極間の接触状態をカウントすることができる。
【0026】ここで、極間の接触状態を図4と図5に示
すが、加工用電極に剛性のないワイヤを使用しているた
め、図4上の網掛け部のように放電加工中にワイヤ電極
が放電加工の反発力により複雑に振動する。図4の
(A)はワイヤ電極の振動よりワイヤ電極と被加工物の
極間距離が離れている状態を示しており、放電加工中で
もワイヤ電極と被加工物間に接触は発生しない。(B)
では極間距離が狭くなり、ワイヤ電極と被加工物間に接
触状態が発生し始め、接触/非接触を繰り返しており、
極間距離が狭いほど接触する回数が多くなる。さらに極
間距離が狭くなると(C)に示すようにワイヤ電極と被
加工物は常に接触状態、すなわち短絡状態となる。
【0027】ワイヤ電極と被加工物は、図5(A)およ
び(B)にも示すように極間距離によって接触率が異な
り、極間距離が十μm前後から接触し始め、接触率が小
さければ極間距離が離れており、接触率が大きくなれば
なるほど極間距離が狭い状態であるため、放電加工中の
接触率を知ることによって極間距離を判別することがで
きる。
【0028】さらに、図5(A)に示すように被加工物
の板厚によっても同一の接触率に対する極間距離は異な
り、同じ接触率でも被加工物の板厚が厚いほど極間距離
が狭く、薄ければ広くなっていることがわかる。また、
図5(B)のようにワイヤ電極の張力によっても同一の
接触率に対する極間距離は異なり、同じ接触率でもワイ
ヤ電極の張力が強ければ極間距離は狭く、弱ければ広く
なっているのがわかる。すなわち、被加工物の板厚やワ
イヤ電極の張力がわかっておれば正確に接触率から極間
距離が判別することができる。
【0029】本実施の形態では、10進カウンタ202
のカウンタ出力Q0〜Q3のラッチされた値が接触率を
示し、接触状態検出装置204で極間の接触状態が検出
できるとともに、この接触状態を基に極間距離を知るこ
とができ、検出した極間の接触状態と距離をNC制御装
置11に取り込みワイヤ電極1と被加工物2の加工送り
速度を制御することが出来る。
【0030】たとえば、NC制御装置11での加工送り
速度は、図6に示すようなフィードバック方式により制
御を行うことができる。図において、301は接触率目
標値と実接触率との偏差に基づいて加工送り速度を演算
する伝達関数G1、302は加工送り速度に基づき極間
距離を演算する伝達関数G2、303は極間距離に基づ
き接触率を演算する伝達関数G3であり、本実施の形態
の接触状態検出装置に当たる。
【0031】ここで、制御系の極間距離は加工状態によ
って変化し、それが外乱として加わり、加工送り速度よ
り加工が進めば極間距離が広くなり、接触率が低下し接
触率目標値と検出した接触率の偏差が大きくなるため、
加工送り速度が早くなる。また、加工よりも加工送り速
度が早ければ極間距離が狭くなり、接触率が高くなり接
触率の目標値と検出した接触率の偏差が小さくなるので
加工送り速度が遅くなる。このようにして、接触率の目
標値を設定すれば加工の状態が変化しても容易に加工送
り速度を制御することも可能となる。
【0032】図6中の伝達関数G3は図5(A)、
(B)から明らかなように被加工物の板厚とワイヤ張力
をパラメータとして変化する。図7はこれを表にしたも
ので、被加工物の板厚四種類と、ワイヤ張力の四つの値
に対してどの伝達関数を用いたら良いかを示したもので
ある。実際の場合、これらは予め制御装置内、あるいは
接触状態検出装置内のメモリに記憶され、板厚とワイヤ
張力が与えられたときに自動的に選択される。
【0033】実施の形態2. 実施の形態1では、図1に示したように10進カウンタ
を1段だけ使ったが、図8のように複数個カスケード接
続することにより、10進カウンタの最終段のカウンタ
出力Q0〜Q3が平均化された値にもできる。たとえ
ば、10進カウンタを3段使用した場合、201cのカ
ウントが1000カウントの時202cの接触カウント
がラッチされるため、実施の形態1の場合の母数が10
に対し、母数を1000とすることが出来る。
【0034】さらに、接触状態を表わすパラメータとし
て実施の形態1および2では接触率を用いたものを示し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、接触状
態を表わす他のもの、例えば一定時間内の接触パルス数
を用いても良いことは明らかである。
【0035】
【発明の効果】第1の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、ワイヤ電極と被加工物にて形成される間隙に加工用
電源装置から電圧を印加して放電を発生させると共に、
ワイヤ電極と被加工物を相対移動させて被加工物の加工
を行なうワイヤカット放電加工装置において、加工用電
源装置とは独立して、極間に接触を検出するための電圧
を供給するための電源を内蔵すると共にワイヤ電極と被
加工物との接触を検出する接触検出装置と、この接触検
出装置の出力信号を用いてワイヤ電極と被加工物との接
触状態情報を出力する接触状態検出装置とを有するよう
にしたので、放電加工用電源の周波数に影響されずワイ
ヤ電極と被加工物との接触状態を検出することを可能に
する。
【0036】第2の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、ワイヤ電極と被加工物にて形成される間隙に加工用
電源装置から電圧を印加して放電を発生させると共に、
ワイヤ電極と被加工物を相対移動させて被加工物の加工
を行なうワイヤカット放電加工装置において、加工用電
源装置とは独立して、極間に接触を検出するための電圧
を供給するための電源を内蔵すると共にワイヤ電極と被
加工物との接触を検出する接触検出装置と、この接触検
出装置の出力信号を用いてワイヤ電極と被加工物との接
触状態情報を出力する接触状態検出装置と、接触状態情
報を用いてワイヤ電極と被加工物との距離を求める極間
距離演算手段とを有するようにしたので、放電加工用電
源の周波数に影響されずワイヤ電極と被加工物との接触
状態を検出し、ワイヤ電極と被加工物との極間距離を知
ることを可能にする。
【0037】第3の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、ワイヤ電極と被加工物にて形成される間隙に加工用
電源装置から電圧を印加して放電を発生させると共に、
ワイヤ電極と被加工物を相対移動させて被加工物の加工
を行なうワイヤカット放電加工装置において、加工用電
源装置とは独立して、極間に接触を検出するための電圧
を供給するための電源を内蔵すると共にワイヤ電極と被
加工物との接触を検出する接触検出装置と、この接触検
出装置の出力信号を用いてワイヤ電極と被加工物との接
触状態情報を出力する接触状態検出装置と、この接触状
態検出装置の出力信号に基づきワイヤ電極と被加工物と
の接触状態が所定の状態になるよう加工送り速度を制御
する制御装置とを有するようにしたので、放電加工用電
源の周波数に関係なく極間状態に適した加工送り速度を
実現することを可能にする。
【0038】第4の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、第1ないし第3の発明のいずれかのワイヤ放電加工
装置において、接触状態検出装置が出力するワイヤ電極
と被加工物との接触状態情報を所定時間に対する接触状
態が占める時間の割合としたので、単一のデータで接触
状態を表わすことを可能にし、制御を容易にする。
【0039】第5の発明におけるワイヤ放電加工装置
は、第2の発明のワイヤ放電加工装置において、極間距
離演算手段が被加工物の板厚またはワイヤ電極の張力の
少なくともいずれかをパラメータとして演算するように
したので、被加工物の板厚およびワイヤ電極の張力に関
係なくワイヤ電極と被加工物との極間距離が一定にする
ことができ、安定した高精度のワイヤ放電加工を可能に
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1のワイヤ放電加工装置の制御回
路図である。
【図2】 実施の形態1のワイヤ放電加工装置の制御回
路出力信号の動作を示すタイミングチャートである。
【図3】 実施の形態1のワイヤ放電加工装置の制御回
路出力信号の動作を示すタイミングチャートである。
【図4】 実施の形態1のワイヤ放電加工装置のワイヤ
電極と極間の接触状態を説明する図である。
【図5】 実施の形態1のワイヤ放電加工装置の接触率
と極間距離の関係を示す図である。
【図6】 実施の形態1のワイヤ放電加工装置の制御系
のブロック線図である。
【図7】 板厚と張力をパラメータとして変化する伝達
関数を示した図である。
【図8】 実施の形態2の制御回路接続図である。
【図9】 ワイヤ放電加工機全体の構成図である。
【図10】 従来の極間電圧検出装置の回路図である。
【図11】 極間波形を示す図である。
【符号の説明】
1・・・ワイヤ電極、2・・・被加工物、3・・・ワイ
ヤガイド、7・・・加工用電源、8・・・給電子、9・
・・加工用電源制御装置、11・・・NC制御装置、1
3・・・インダクタンス、100・・・接触検出回路、
200・・・接触状態検出装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−82618(JP,A) 特開 平2−199512(JP,A) 特開 昭50−148995(JP,A) 特開 平3−60925(JP,A) 特開 平8−300225(JP,A) 特公 昭46−13707(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23H 7/04

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワイヤ電極と被加工物にて形成される間
    隙に加工用電源装置から電圧を印加して放電を発生させ
    ると共に、前記ワイヤ電極と前記被加工物を相対移動さ
    せて前記被加工物の加工を行なうワイヤカット放電加工
    装置において、前記加工用電源装置とは独立して、極間
    に接触を検出するための電圧を供給するための電源を内
    蔵すると共に前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触を
    検出する接触検出装置と、この接触検出装置の出力信号
    を用いて前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触状態情
    報を出力する接触状態検出装置とを有することを特徴と
    するワイヤ放電加工装置。
  2. 【請求項2】 ワイヤ電極と被加工物にて形成される間
    隙に加工用電源装置から電圧を印加して放電を発生させ
    ると共に、前記ワイヤ電極と前記被加工物を相対移動さ
    せて前記被加工物の加工を行なうワイヤカット放電加工
    装置において、前記加工用電源装置とは独立して、極間
    に接触を検出するための電圧を供給するための電源を内
    蔵すると共に前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触を
    検出する接触検出装置と、この接触検出装置の出力信号
    を用いて前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触状態情
    報を出力する接触状態検出装置と、前記接触状態情報を
    用いて前記ワイヤ電極と前記被加工物との距離を求める
    極間距離演算手段とを有することを特徴とするワイヤ放
    電加工装置。
  3. 【請求項3】 ワイヤ電極と被加工物にて形成される間
    隙に加工用電源装置から電圧を印加して放電を発生させ
    ると共に、前記ワイヤ電極と前記被加工物を相対移動さ
    せて前記被加工物の加工を行なうワイヤカット放電加工
    装置において、前記加工用電源装置とは独立して、極間
    に接触を検出するための電圧を供給するための電源を内
    蔵すると共に前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触を
    検出する接触検出装置と、この接触検出装置の出力信号
    を用いて前記ワイヤ電極と前記被加工物との接触状態情
    報を出力する接触状態検出装置と、この接触状態検出装
    置の出力信号に基づき前記ワイヤ電極と前記被加工物と
    の接触状態が所定の状態になるよう加工送り速度を制御
    する制御装置とを有することを特徴とするワイヤ放電加
    工装置。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載のワ
    イヤ放電加工装置において、接触状態検出装置が出力す
    るワイヤ電極と被加工物との接触状態情報が所定時間に
    対する接触状態が占める時間の割合であることを特徴と
    するワイヤ放電加工装置。
  5. 【請求項5】 請求項2に記載のワイヤ放電加工装置に
    おいて、極間距離演算手段が被加工物の板厚またはワイ
    ヤ電極の張力の少なくともいずれかをパラメータとして
    演算することを特徴とするワイヤ放電加工装置。
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