JP3291205B2

JP3291205B2 - 磁気研磨方法

Info

Publication number: JP3291205B2
Application number: JP22569996A
Authority: JP
Inventors: 伸宏吉岡; 茂樹番野
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1996-08-27
Filing date: 1996-08-27
Publication date: 2002-06-10
Anticipated expiration: 2016-08-27
Also published as: JPH1071555A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主として電気カミ
ソリ刃、リレー部品、マイクロスイッチ部品、コネクタ
部品等、フープ状の金属薄板状のようなプレス加工部品
のバリ取り、表面研磨に使用する磁気研磨方法に関し、
詳しくは、磁気研磨をおこなう箇所における磁性粉の量
の一定化を図り、加工効率及び加工品質を高めようとす
る技術に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気研磨における磁性粉供給方法
は、図１０に示す特開平３−２０２２６７号に示すよう
に、磁化した棒状体Ｂにより、磁性粉３を吸着し、加工
部に間欠的に供給するものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような方
法においては、プレス加工を行った後の金属フープ材料
のプレスバリ取りやカミソリ刃の表面研磨バリ取り等の
磁気研磨加工が有効に利用できると考えられているが、
このような金属フープ材料を磁気研磨加工するには以下
のような問題点があった。

【０００４】１）長尺物であるため連続的に加工するこ
とが必要であるが、従来例に示すように、磁性砥石や鉄
粉などの磁性粉を連続的に供給できる手段がなく、間欠
的に加工を止めて供給しており、加工効率が低い。

【０００５】２）連続的に磁性粉を供給するだけでは、
磁性粉が工作物に付着することによる持ち出し、あるい
は研磨液、ラッピングオイルなどの加工液による磁性粉
の流出が発生し、加工部に存在する磁性粉の量が変化し
て、加工能率や加工品質がばらつき安定しないという問
題がある。

【０００６】本発明はこのような問題を解消しようとす
るものであり、その目的とするところは、磁性粉を連続
的に供給し、加工箇所における磁性粉の量を一定化し、
加工効率、加工品質を安定化させることができる磁気研
磨方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明において
は、駆動可能な鉄芯１と、鉄芯１に磁力を与えるコイル
２からなり、鉄芯１に磁性粉３を磁気的に吸着し、別
途、液状の研磨材を供給して加工する磁気研磨方法にお
いて、磁気研磨中の加工部に存在する磁性粉３の量を検
知し、その検知情報に基づいて磁性粉３の供給量を制御
して、加工部の磁性粉３の量を一定化するようにし、加
工部の磁性粉の量を検知する検知手段は、鉄芯１に磁力
を与える磁気回路を構成する磁気回路中のヨーク７部分
を分断してギャップＧを設け、このギャップＧにおける
磁束密度を検知し、この検知結果に基づいて鉄芯１，１
間の間隙部８に存在する磁性粉３の量を測定することを
特徴とするものである。

【０００８】請求項２の発明においては、加工部の磁性
粉の量を検知する検知手段を磁気研磨をおこなう加工部
の加工ヘッド９に対して加工部において磁気研磨される
工作物Ｗの送り方向下流側に設け、工作物Ｗに付着して
持ち出される磁性粉３の量を測定することを特徴とする
ものである。

【０００９】請求項３の発明においては、駆動可能な鉄
芯１と、鉄芯１に磁力を与えるコイルからなり、鉄芯１
に磁性粉３を磁気的に吸着し、別途、液状の研磨材を供
給して加工する磁気研磨方法において、磁気研磨中の加
工部に存在する磁性粉３の量を検知し、その検知情報に
基づいて磁性粉３の供給量を制御して、加工部の磁性粉
３の量を一定化するようにし、加工部の磁性粉の量を検
知する検知手段は、工作物Ｗをガイドするガイドロール
１０，１０の軸端にロードセル１１のような力センサー
１２を設け、力センサー１２にて工作物Ｗに掛かる力を
検知して加工部分に存在する磁性粉３の量を測定するこ
とを特徴とするものである。

【００１０】請求項４の発明においては、モーノ型ポン
プ１３に供給する磁性粉３を、液状の界面活性剤３９と
混合して供給することを特徴とするものである。

【００１１】請求項５の発明においては、界面活性剤３
９にプロピレングリコール系の分散剤またはポリカルボ
ン酸塩、リン酸エステルから選ばれるものを用いること
を特徴とするものである。

【００１２】請求項６の発明においては、モーノ型ポン
プ１３に供給する磁性粉３を、高粘度のゲル状物質４０
と混合して供給することを特徴とするものである。

【００１３】請求項７の発明においては、ゲル状物質４
０は水溶性であることを特徴とするものである。

【００１４】請求項１の構成においては、加工部におけ
る磁性粉３の量を常時モニタリング及び制御して一定化
することができ、加工能率や加工品質を安定化させるこ
とができる。更に、磁気回路中にギャップＧを設けてこ
の箇所の磁束密度を検知することで、磁性粉３の量を容
易に検知することができる。

【００１５】請求項２の構成においては、加工部の間隙
部８が広く、鉄芯１，１の径が大きくても、これらに影
響されることなく、工作物Ｗに付着して持ち出される磁
性粉３の量を検知することで、加工部における磁性粉３
の量の検知が容易におこなえる。

【００１６】請求項３の構成においては、磁気損失（加
工効率を落とすこと）なく磁性粉３の量を検知すること
ができる。

【００１７】請求項４の構成においては、供給媒体中に
磁性粉３が均一に分散させることができ、安定した供給
が可能となる。

【００１８】この場合、請求項５の構成のように、界面
活性剤３９にプロピレングリコール系の分散剤またはポ
リカルボン酸塩、リン酸エステルから選ばれるものを用
いることが好ましい。

【００１９】請求項６の構成においては、供給媒体中に
磁性粉３を均一に分散させることができ、沈降を防止で
き、安定した供給が可能になる。

【００２０】この場合、請求項７の構成のように、ゲル
状物質は水溶性であることが好ましい。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の磁気研磨方法に
使用する磁気研磨装置の実施の一形態を示し、工作物Ｗ
は紙面と直交する方向に送られる。工作物Ｗの両側には
略一定の間隙部８を介して対向する鉄芯１，１が配設さ
れ、その鉄芯１，１の外周にはそれぞれ銅線を巻き付け
てコイル２，２を備え、両コイル２，２には直流電流を
供給して鉄芯１，１の対向面は互いに異極になるように
している。鉄芯１の工作物Ｗとの対向面と反対側には略
コ字状のヨーク７を設け、磁気的に閉回路としている。
鉄芯１は回転自在に支持され、モータ１４によって回転
駆動できるようになっている。駆動方式は揺動運動や超
音波振動でもよい。

【００２２】磁性粉３はアトマイズ鉄粉で粒子径が５０
〜２００μｍ程度のものを使用する。加工液は♯１００
０〜♯１００００程度のＷＡ砥粒と界面活性剤、消泡
剤、水を含んだ水溶性研磨液を使用する。これ以外にも
磁性粉３として鉄粉と研磨砥粒を混合して焼結した磁性
研磨材や加工液として水溶性研削液やラッピングオイル
などを好適に使用することができる。本実施例では、磁
性粉３をポリアクリル酸系の増粘剤、プロピレングリコ
ール系の分散剤と水を含んだ高粘度のゲル状物質に重量
比３０〜８０％程度で混合して使用している。

【００２３】磁性粉３の供給源として、一軸偏心ネジ型
で断面が円形のロータと断面が長方形のステータを持
ち、両者の空間に充填した物質を吸い込み側から吐出側
に移送する周知のモーノ型ポンプ１３使用し、モーノ型
ポンプ１３の駆動源として、回転数を任意にかつ高精度
に制御可能なステッピングモータ３５を使用している。
また、ステッピングモータ３５の回転軸とモーノ型ポン
プ１３の回転軸はカップリング継手１８で締結してい
る。

【００２４】ゲル状物質４０と混合した磁性粉３をモー
ノ型ポンプ１３の吸い込み口に設けたホッパ１９に充填
し、充填された磁性粉３はステッピングモータ３５の回
転により、モーノ型ポンプ１３を介して吐出口２０から
回転数に比例した量が排出される。

【００２５】吐出口２０には継手を介してチューブ２１
が接続されており、チューブ２１は加工部の鉄芯１と工
作物Ｗとの間隙部８の側方または上方まで延長してあ
る。

【００２６】研磨液は同じく加工部の鉄芯１と工作物Ｗ
との間隙部８の側方または上方にノズル２２を設け、研
磨液ポンプ（図示せず）から送られた液を加工部に吐出
する。なお供給液量は加工状態に応じて任意に調節でき
る。

【００２７】ヨーク７中には微小なギャップＧを設け、
そのギャップＧに薄型の磁気センサー２３を挿入し、ギ
ャップＧ部分の磁束密度を測定するのである。

【００２８】測定した磁束密度の値はガウスメータ２４
の出力端子より、アナログ電圧値として出力され、デー
タ処理装置２５の入力端子に入る。

【００２９】データ処理装置２５では、所望のサンプリ
ング周波数でアナログ電圧値のデータをＡ／Ｄ変換し、
時間の経過と共に磁束密度の値を記録する。

【００３０】コイル２への励磁電流が一定の場合、加工
部の磁性粉３の量が増えてきた場合には、工作物Ｗと鉄
芯１の端面の間隙部８中の見かけの透磁率が増大するこ
とに相当するので、対向した鉄芯１，１間の磁束密度が
増大し、それと共にヨーク７を流れる磁束密度も増大す
る。

【００３１】逆に加工部の磁性粉３の量が減ってきた場
合には、ヨーク７を流れる磁束密度が減少する。従っ
て、加工部の磁性粉３の量の変化を磁束密度の値の変化
として検知することが可能であり、予め磁性粉３の量と
磁束密度の関係を把握しておけば、その時の磁束密度の
値が何グラムの磁性粉３の量に相当するかがすぐわかる
（図２参照）。

【００３２】もし、検知した値が予め定めた磁性粉３の
量の範囲を越えていれば、ステッピングモータ３５を制
御するコントローラ３６にステッピングモータ３５の回
転数変更の指令を出し、磁性粉３の量が多ければ回転数
減少、少なければ回転数増大というように、所定の磁性
粉３の量との誤差分、供給する量を変化させるようモー
タドライバ３７の周波数信号を増減する（図３参照）。
データ処理装置３５とコントローラ３６にはパーソナル
コンピュータ等が好適に利用できる。

【００３３】このように、請求項１の発明においては、
磁性粉３の量を常時モニタリングして一定化するように
制御しているため、安定した加工能率や加工品質を得る
ことができるのである。

【００３４】更に、請求項１の発明においては、磁気回
路中のヨーク７部分を分断してギャップＧを設け、この
ギャップＧにおける磁束密度を検知し、この検知結果に
基づいて鉄芯１，１間の間隙部８に存在する磁性粉３の
量を測定するのであり、磁気回路中にギャップＧを設け
てこの箇所の磁束密度を検知することで、磁性粉３の量
を容易に検知することができるのである。

【００３５】具体的には、図４に示すように、ヨーク部
材７ａ，７ｂ間に真鍮板７ｃが介装されて真鍮ボルト３
８にて連結されて、ギャップＧが構成され、ギャップＧ
に磁気センサー２３のヘッドが挿入されて、この箇所の
磁束密度を検知するこができるようにしたものである。

【００３６】請求項２の発明の実施の一形態を図５に示
している。加工ヘッド９の磁極（鉄芯１）間の間隙が広
く、ヘッド径が大きい場合には、磁極間の空間体積が大
きいため、磁性粉３がわずかに変化してもそれが磁極間
の透磁率の変化として出てこないので、磁気センサー２
３のヘッド挿入部の磁束密度の変化は検知できないレベ
ルとなる。本請求項の発明は、上記のような場合の磁性
粉３の量の検知のために用いられるもので、検知用磁極
部分の間隙部８が小さいため、わずかな磁性粉３の量の
変化であっても検知可能としたものである。

【００３７】即ち、図１と同様なコイル２ｄとヨーク７
ｄを加工ヘッド９とは別に、工作物Ｗの送り方向の下流
側に設け、略コ字状のヨーク７ｄの中央部に１ｍｍ程度
のギャップＧｄを設け、その中心に工作物Ｗを流す。

【００３８】略コ字状のヨーク７ｄのコーナー部分に図
１と同様なギャップＧｅを設け、磁気センサー２３のヘ
ッドを挿入する。

【００３９】工作物Ｗが鉄等の磁性材料である場合、磁
性粉３は工作物Ｗに付着して持ち出され、加工ヘッド９
の下流の検知部分の磁極に磁気的に吸引されて磁極端面
に付着する、こうして工作物Ｗの加工時間の経過と共に
磁極に付着する磁性粉３の量は増加して行き、それに伴
って検知部分の磁束密度も増加する。しかして、或る一
定時間経過後の磁束密度を毎回計測するようにセットし
ておき、その磁束密度の値が所定の値かどうかを判定
し、加工ヘッド９部分に存在する磁性粉３の量を推測す
る。

【００４０】所定の磁束密度の値よりも小さい場合に
は、工作物Ｗに付着した磁性粉３の量が少なく、加工ヘ
ッド９部分に存在する磁性粉３の量も少ないため、磁性
粉供給装置のモータコントローラ３６に回転数を上げる
よう指令を出す。逆に大きい場合は回転数を下げる指令
を出す。磁束密度測定後、一旦コイル２ｄの励磁電流を
切り、磁極間に存在する磁性粉３を落下除去する。この
とき場合によっては、圧縮エアーで吹き飛ばしたり、流
水で流したりしてもよい。その後、再びコイル２ｄの励
磁電流をオンし、磁束密度の測定を開始する。

【００４１】請求項３の発明の実施の一形態を図６に示
している。

【００４２】工作物Ｗは図面の右から左に送られる。工
作物Ｗは円形の一対のガイドロール１０，１０ａに巻き
付いてガイドされた状態で送られる。鉄芯１は工作物Ｗ
の上方にあって、工作物Ｗとの対向面と反対側には略コ
字状のヨーク７を設け、ヨーク７のもう一つの端面は鉄
芯１の端面と或る間隙を持って対向し、磁気的に閉回路
となっている。

【００４３】鉄芯１は回転自在に支持され、モータ（図
示せず）によって回転駆動するようになっている。加工
ヘッド９の両側で近傍のガイドロール１０ａ，１０ａの
軸端はベアリング２６に嵌合し、ベアリング２６はベア
リングケース２７に嵌合支持されている。ベアリングケ
ース２７は力センサー１２の一例である箱形のロードセ
ル１１に固定されており、ロードセル１１は鉛直方向の
圧縮力を検知できるようになっている。ロードセル１１
が検知した力はアンプで増幅され、アンプの出力端子か
ら図１と同じデータ処理装置２５に取り込まれる。磁性
粉３は図１と同様に供給した上で磁気研磨を開始し、同
時にロードセル１１による力の検知も開始する。磁性粉
３の量が安定している場合には、工作物Ｗに一定の研磨
圧力がかかるため、ロードセル１１にも一定の力が検出
されるが、磁性粉３の量が増加した場合、工作物Ｗに対
する研磨圧力が増え、ロードセル１１にかかる力も増加
するため、予め磁性粉３の量とロードセル１１による検
出荷重の関係を把握しておけば、ロードセル１１による
検出荷重のモニタリングにより、磁性粉３の量の検知が
可能となるのである。

【００４４】しかして、請求項３の発明においては、ヨ
ーク７の途中にギャップＧを設ける方式に比べ、磁気損
失がないため加工効率を落とすことなく、磁性粉３の量
の検知が可能である。また、工作物Ｗの破断も検知でき
るのである。

【００４５】請求項４の発明の実施の一形態の要部を図
７に示している。

【００４６】一般に、モーノ型ポンプ１３はらせん形状
のロータとステータが嵌合しているため、磁性粉３をそ
のままの状態で供給すると、ロータとステータが早く磨
耗してしまうという欠点がある。また、これを防止する
ために磁性粉３を水に混ぜて供給する方式が考えられる
が、水だけでは、磁性粉３（鉄粉）がすぐに沈降して固
まってしまう欠点がある。

【００４７】この対策として、請求項４の発明は、界面
活性剤３９が研磨材を均一に分散させ、潤滑能力を高め
る役割を持っていることを利用して、例えばポリカルボ
ン酸塩、リン酸エステル等の粘凋質の界面活性剤３９と
磁性粉３を混合してモーノ型ポンプ１３に供給すること
により、モーノ型ポンプ１３のロータおよびステータの
磨耗を防止し、磁性粉３の沈降防止と分散による供給の
安定化を実現している。

【００４８】請求項６の発明の実施の一形態の要部を図
８に示している。

【００４９】請求項６の発明は、請求項４の実施の形態
と同様に界面活性剤３９の代わりに、高粘度のゲル状物
質４０を使用してモーノ型ポンプ１３のロータおよびス
テータの磨耗防止を図っている。ゲル状物質４０の成分
は請求項１の説明において詳述したので省略する。

【００５０】ところで、供給する磁性粉３は、駆動源と
してサーボモータやステッピングモータ等の回転速度を
制御できるモータを用いたロータリー式、振動式、オー
ガ式等の粉体定量供給装置の吐出口１６を圧縮エアーが
流れるパイプに接続して、磁性粉３をエアー圧により圧
送して供給するようにしてもよく、その実施の一形態
は、図１と同様なコイル２と同様なヨーク７を設けた加
工ヘッド９の構成で、磁性粉供給装置に例えばロータリ
式（サークル式）、振動式、オーガ式等の粉体定量供給
機を用い、駆動源として回転速度を任意に高精度に制御
可能なサーボモータやステッピングモータを使用してい
る。

【００５１】図９は粉体供給装置にロータリ式フィーダ
を使用した例である。

【００５２】ロータリフィーダ３０はホッパ３１内に充
填した粉体を羽根車の回転により、ホッパ３１と回転テ
ーブルの間隙からホッパ３１外へ切り出し、外周部に切
り出された磁性粉３を吐出口３２から排出する。ロータ
リフィーダ３０の吐出口３２には略逆円錐形のホッパ３
１が固定され、ホッパ３１の下端は圧縮エアーが流れる
パイプ３３が継手３４を介して接続されており、圧縮エ
アーが流れるパイプ３３は加工ヘッド９の間隙部８の側
方または上方に端面が配設されている。

【００５３】磁性粉３は吐出口３２から出た後、ホッパ
３１に落下し、ホッパ３１下部に滞留したのち、圧縮エ
アーの背圧により、パイプ３３内に吸い込まれ、加工ヘ
ッド９の間隙部８の近傍まで送られ、排出される。排出
される磁性粉３は磁気的に吸引され、最も磁束密度が高
い間隙部８内部に入り込む。このとき、間隙部８中の磁
性粉３や研磨液が飛散してしまわないよう、供給エアー
の圧力及び流量を適宜調整する。

【００５４】しかして、微少供給量であっても高精度に
供給制御が可能、脈動がないため、安定定量供給が可
能、バインダが不要となる。

【００５５】

【発明の効果】請求項１の発明においては、駆動可能な
鉄芯と、鉄芯に磁力を与えるコイルからなり、鉄芯に磁
性粉を磁気的に吸着し、別途、液状の研磨材を供給して
加工する磁気研磨方法において、磁気研磨中の加工部に
存在する磁性粉の量を検知し、その検知情報に基づいて
磁性粉の供給量を制御して、加工部の磁性粉の量を一定
化するようにしているから、加工部における磁性粉の量
を常時モニタリング及び制御して一定化することがで
き、加工能率や加工品質を安定化させることができると
いう利点がある。更に、加工部の磁性粉の量を検知する
検知手段は、鉄芯に磁力を与える磁気回路を構成する磁
気回路中のヨーク部分を分断してギャップを設け、この
ギャップにおける磁束密度を検知し、この検知結果に基
づいて鉄芯間の間隙部に存在する磁性粉の量を測定する
から、磁気回路中にギャップを設けてこの箇所の磁束密
度を検知することで、磁性粉の量を容易に検知すること
ができるという利点がある。

【００５６】請求項２の発明においては、加工部の磁性
粉の量を検知する検知手段を磁気研磨をおこなう加工部
の加工ヘッドに対して加工部において磁気研磨される工
作物の送り方向下流側に設け、工作物に付着して持ち出
される磁性粉の量を測定するから、加工部の間隙部が広
く、鉄芯の径が大きくても、これらに影響されることな
く、工作物に付着して持ち出される磁性粉の量を検知す
ることで、加工部における磁性粉の量の検知が容易にお
こなえるという利点がある。

【００５７】請求項３の発明においては、駆動可能な鉄
芯と、鉄芯に磁力を与えるコイルからなり、鉄芯に磁性
粉を磁気的に吸着し、別途、液状の研磨材を供給して加
工する磁気研磨方法において、磁気研磨中の加工部に存
在する磁性粉の量を検知し、その検知情報に基づいて磁
性粉の供給量を制御して、加工部の磁性粉の量を一定化
するようにし、加工部の磁性粉の量を検知する検知手段
は、工作物をガイドするガイドロールの軸端にロードセ
ルのような力センサーを設け、力センサーにて工作物に
掛かる力を検知して加工部分に存在する磁性粉の量を測
定するから、磁気損失（加工効率を落とすこと）なく磁
性粉の量を検知することができるという利点がある。

【００５８】請求項４の発明においては、モーノ型ポン
プに供給する磁性粉を、液状の界面活性剤と混合して供
給するから、供給媒体中に磁性粉が均一に分散させるこ
とができ、安定した供給が可能となるという利点があ
る。

【００５９】請求項６の発明においては、モーノ型ポン
プに供給する磁性粉を、高粘度のゲル状物質と混合して
供給するから、供給媒体中に磁性粉を均一に分散させる
ことができ、沈降を防止でき、安定した供給が可能にな
るという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態を示す説明図である。

【図２】磁性粉の量とギャップ部の磁束密度との関係を
示すグラフである。

【図３】磁性粉の供給処理を説明するフローチャートで
ある。

【図４】ギャップを示し、（ａ）は水平断面図、（ｂ）
は側断面図である。

【図５】請求項２の発明を説明する図である。

【図６】請求項３の発明を説明する図である。

【図７】請求項４の発明における界面活性剤と磁性粉を
混合した場合の模式図である。

【図８】請求項６の発明における高粘度ゲル状物質と磁
性粉を混合した場合の模式図である。

【図９】他の実施の形態を説明する図である。

【図１０】従来例の断面図である。

【符号の説明】

１鉄芯２コイル３磁性粉５研磨部材７ヨーク８隙間部９加工ヘッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平５−42476（ＪＰ，Ａ) 特開平５−8169（ＪＰ，Ａ) 特開平６−226633（ＪＰ，Ａ) 特公昭50−13518（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 31/112 B24B 37/00 B24B 57/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動可能な鉄芯と、鉄芯に磁力を与える
コイルからなり、鉄芯に磁性粉を磁気的に吸着し、別
途、液状の研磨材を供給して加工する磁気研磨方法にお
いて、磁気研磨中の加工部に存在する磁性粉の量を検知
し、その検知情報に基づいて磁性粉の供給量を制御し
て、加工部の磁性粉の量を一定化するようにし、加工部
の磁性粉の量を検知する検知手段は、鉄芯に磁力を与え
る磁気回路を構成する磁気回路中のヨーク部分を分断し
てギャップを設け、このギャップにおける磁束密度を検
知し、この検知結果に基づいて鉄芯間の間隙部に存在す
る磁性粉の量を測定することを特徴とする磁気研磨方
法。
【請求項２】加工部の磁性粉の量を検知する検知手段
を磁気研磨をおこなう加工部の加工ヘッドに対して加工
部において磁気研磨される工作物の送り方向下流側に設
け、工作物に付着して持ち出される磁性粉の量を測定す
ることを特徴とする請求項１記載の磁気研磨方法。
【請求項３】駆動可能な鉄芯と、鉄芯に磁力を与える
コイルからなり、鉄芯に磁性粉を磁気的に吸着し、別
途、液状の研磨材を供給して加工する磁気研磨方法にお
いて、磁気研磨中の加工部に存在する磁性粉の量を検知
し、その検知情報に基づいて磁性粉の供給量を制御し
て、加工部の磁性粉の量を一定化するようにし、加工部
の磁性粉の量を検知する検知手段は、工作物をガイドす
るガイドロールの軸端にロードセルのような力センサー
を設け、力センサーにて工作物に掛かる力を検知して加
工部分に存在する磁性粉の量を測定することを特徴とす
る磁気研磨方法。
【請求項４】モーノ型ポンプに供給する磁性粉を、液
状の界面活性剤と混合して供給することを特徴とする請
求項１又は請求項３記載の磁気研磨方法。
【請求項５】界面活性剤にプロピレングリコール系の
分散剤またはポリカルボン酸塩、リン酸エステルから選
ばれるものを用いることを特徴とする請求項４記載の磁
気研磨方法。
【請求項６】モーノ型ポンプに供給する磁性粉を、高
粘度のゲル状物質と混合して供給することを特徴とする
請求項１又は請求項３記載の磁気研磨方法。
【請求項７】ゲル状物質は水溶性であることを特徴と
する請求項６記載の磁気研磨方法。