JP3282365B2 - 粒度分布測定装置 - Google Patents
粒度分布測定装置Info
- Publication number
- JP3282365B2 JP3282365B2 JP08942194A JP8942194A JP3282365B2 JP 3282365 B2 JP3282365 B2 JP 3282365B2 JP 08942194 A JP08942194 A JP 08942194A JP 8942194 A JP8942194 A JP 8942194A JP 3282365 B2 JP3282365 B2 JP 3282365B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle size
- size distribution
- powder
- scattered light
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ回折法による粉
体の粒度分布測定装置に関する。
体の粒度分布測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、粉体の乾式粒度分布測定装置で
は、粉体サンプルを含む高速気流を吹出ノズルから吹出
し、この粒子にレーザ光を照射し、その回折及び散乱光
を検出して粒度分布測定を行っている。一方、この光学
系を通過した粉体サンプルは、吸引ノズルから集塵器に
よって吸引される。
は、粉体サンプルを含む高速気流を吹出ノズルから吹出
し、この粒子にレーザ光を照射し、その回折及び散乱光
を検出して粒度分布測定を行っている。一方、この光学
系を通過した粉体サンプルは、吸引ノズルから集塵器に
よって吸引される。
【０００３】ところで、この粒度分布測定で使用するレ
ーザ光の取扱いについては、安全性を確保するために、
ＪＩＳ規格（レーザの安全基準 ＪＩＳ Ｃ６８０２）
で定められた波長、強度、放射持続時間等に従う必要が
あり、測定には制限が加えられた。したがって、その問
題点を解消するために、粉体サンプルへのレーザ光照射
及び回折／散乱光の検出は、密閉された領域内で行われ
ている。
ーザ光の取扱いについては、安全性を確保するために、
ＪＩＳ規格（レーザの安全基準 ＪＩＳ Ｃ６８０２）
で定められた波長、強度、放射持続時間等に従う必要が
あり、測定には制限が加えられた。したがって、その問
題点を解消するために、粉体サンプルへのレーザ光照射
及び回折／散乱光の検出は、密閉された領域内で行われ
ている。
【０００４】一方、この粒度分布測定装置では、粉体サ
ンプルの飛散による汚染から光学系部品等を守るために
測定室を設け、この測定室において粉体サンプルを飛翔
させて測定を行っているが、吸引ノズルの目詰まり及び
集塵器のトラブルなどにより、またオペレータの確認ミ
スなどにより、吸引機能が十分に作動していないにもか
かわらず、吹出装置を作動させてしまうことで、粉体サ
ンプルが密閉室へも吹き出され、密閉室壁面や光学系部
品等を汚してしまうことがあり、そのメンテナンスが大
変であった。
ンプルの飛散による汚染から光学系部品等を守るために
測定室を設け、この測定室において粉体サンプルを飛翔
させて測定を行っているが、吸引ノズルの目詰まり及び
集塵器のトラブルなどにより、またオペレータの確認ミ
スなどにより、吸引機能が十分に作動していないにもか
かわらず、吹出装置を作動させてしまうことで、粉体サ
ンプルが密閉室へも吹き出され、密閉室壁面や光学系部
品等を汚してしまうことがあり、そのメンテナンスが大
変であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、粒度分布測
定装置において、上記した問題点を解決するために創案
されたものであり、その目的は、吸引ノズルや集塵器等
の吸引装置の機能が充分に作動しているときに限り、粉
体サンプルの吹き出しを行う粒度分布測定装置を提供す
ることである。
定装置において、上記した問題点を解決するために創案
されたものであり、その目的は、吸引ノズルや集塵器等
の吸引装置の機能が充分に作動しているときに限り、粉
体サンプルの吹き出しを行う粒度分布測定装置を提供す
ることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、粉体にレーザ
光を照射し、その回折・散乱光を検出して粉体の粒度分
布を測定する粒度分布測定装置において、測定部にレー
ザ光通過用孔と回折・散乱光通過用孔を穿設するととも
に、この測定部の外側を密閉筐体で包囲し、この密閉筐
体の内側に圧力センサを設け、この圧力センサの出力信
号によって、前記レーザ光の照射領域への粉体供給を制
御することを特徴とする。
光を照射し、その回折・散乱光を検出して粉体の粒度分
布を測定する粒度分布測定装置において、測定部にレー
ザ光通過用孔と回折・散乱光通過用孔を穿設するととも
に、この測定部の外側を密閉筐体で包囲し、この密閉筐
体の内側に圧力センサを設け、この圧力センサの出力信
号によって、前記レーザ光の照射領域への粉体供給を制
御することを特徴とする。
【０００７】
【作用】密閉筐体内の圧力が所定の減圧状態にあるとき
のみ（吸引ノズルや集塵器などが正常に動作していると
き）、粉体の供給が行われ（測定可能状態）るので、測
定部の汚染やこれによる測定誤差が完全に防止できる。
のみ（吸引ノズルや集塵器などが正常に動作していると
き）、粉体の供給が行われ（測定可能状態）るので、測
定部の汚染やこれによる測定誤差が完全に防止できる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の実施例である粒度分布測定装
置の概略構成を示すブロック図、図２は密閉室の概略構
成を示す図であり、１は密閉室、２は吹出ノズル、３は
吸引ノズル、４は測定室、４ａはレーザ光通過用孔、４
ｂ回折・散乱光通過用孔、５はコントローラ、６は電動
バルブ、７はエア源、８は集塵器、９はレーザ光源、９
ａはレーザ光の透過窓、１０は検出器、１０ａは回折・
散乱光の集光レンズ、１１は圧力センサ、１２はエジェ
クタ、１２ａはエジェクタの試料吸入孔である。 この
粒度分布測定装置の密閉室１には、粒子の吹出ノズル２
と吸引ノズル３を所定間隔あけて対向配置した測定室４
が配置される。この吹出ノズル２は、試料吸入孔１２ａ
を有するエジェクタ１２とコントローラ５によって開閉
制御される電動バルブ６とを介して、圧縮空気を発生す
るエア源７に連接され、一方、吸引ノズル３は集塵器８
へ接続されている。また、吹出ノズル２及び吸引ノズル
３が配置された壁とは別に対向した壁において、一方に
はレーザ光通過用孔４ａが、他方には回折・散乱光通過
用孔４ｂが穿設される。また、密閉室１には内部への防
塵機能を兼ねる窓９ａを有したレーザ光源９と、同じく
内部への防塵機能を兼ねる集光レンズ１０ａを有した検
出器１０が配置されとともに、圧力センサ１１が設けら
れ、その内部圧力はコントローラ５に入力される。
置の概略構成を示すブロック図、図２は密閉室の概略構
成を示す図であり、１は密閉室、２は吹出ノズル、３は
吸引ノズル、４は測定室、４ａはレーザ光通過用孔、４
ｂ回折・散乱光通過用孔、５はコントローラ、６は電動
バルブ、７はエア源、８は集塵器、９はレーザ光源、９
ａはレーザ光の透過窓、１０は検出器、１０ａは回折・
散乱光の集光レンズ、１１は圧力センサ、１２はエジェ
クタ、１２ａはエジェクタの試料吸入孔である。 この
粒度分布測定装置の密閉室１には、粒子の吹出ノズル２
と吸引ノズル３を所定間隔あけて対向配置した測定室４
が配置される。この吹出ノズル２は、試料吸入孔１２ａ
を有するエジェクタ１２とコントローラ５によって開閉
制御される電動バルブ６とを介して、圧縮空気を発生す
るエア源７に連接され、一方、吸引ノズル３は集塵器８
へ接続されている。また、吹出ノズル２及び吸引ノズル
３が配置された壁とは別に対向した壁において、一方に
はレーザ光通過用孔４ａが、他方には回折・散乱光通過
用孔４ｂが穿設される。また、密閉室１には内部への防
塵機能を兼ねる窓９ａを有したレーザ光源９と、同じく
内部への防塵機能を兼ねる集光レンズ１０ａを有した検
出器１０が配置されとともに、圧力センサ１１が設けら
れ、その内部圧力はコントローラ５に入力される。
【０００９】次に、図１の粒度分布測定装置の動作を説
明する。集塵器８が作動することにより、吸引ノズル３
を介して測定室４の空気が吸い出され、密閉室１は次第
に減圧される。そして、密閉室１が所定の減圧状態とな
ったことが圧力センサ１１によって検知されると、コン
トローラ５の制御によって電動バルブ６の弁が開かれ
る。この電動バルブ６には圧縮空気を送り込むエア源７
が接続されており、電動バルブ６の弁が開かれることに
よって圧縮空気がエジェクタ１２へ送り込まれる。一
方、エジェクタ４の試料吸入孔１２ａから送り込まれた
粉体サンプルＳは、圧縮空気によって吹出ノズル２を介
して測定室４へ吹き出される。
明する。集塵器８が作動することにより、吸引ノズル３
を介して測定室４の空気が吸い出され、密閉室１は次第
に減圧される。そして、密閉室１が所定の減圧状態とな
ったことが圧力センサ１１によって検知されると、コン
トローラ５の制御によって電動バルブ６の弁が開かれ
る。この電動バルブ６には圧縮空気を送り込むエア源７
が接続されており、電動バルブ６の弁が開かれることに
よって圧縮空気がエジェクタ１２へ送り込まれる。一
方、エジェクタ４の試料吸入孔１２ａから送り込まれた
粉体サンプルＳは、圧縮空気によって吹出ノズル２を介
して測定室４へ吹き出される。
【００１０】この粉体サンプルＳにレーザ光が照射さ
れ、その回折及び散乱光を検出して粒度分布測定が行わ
れる。そして、レーザ光照射部分を通過した粉体サンプ
ルＳは、吸引ノズル３を介して、作動中の集塵器８に吸
引される。
れ、その回折及び散乱光を検出して粒度分布測定が行わ
れる。そして、レーザ光照射部分を通過した粉体サンプ
ルＳは、吸引ノズル３を介して、作動中の集塵器８に吸
引される。
【００１１】本発明の実施態様として、以下のような実
施例も含まれる。
施例も含まれる。
【００１２】（１）圧力センサを吸引ノズル近傍の密閉
室壁に取りつけたが、密閉室内で且つ粉体サンプルの流
れやレーザ光照射及び回折・散乱光検出に支障のない部
分であればどこに取りつけても良い。
室壁に取りつけたが、密閉室内で且つ粉体サンプルの流
れやレーザ光照射及び回折・散乱光検出に支障のない部
分であればどこに取りつけても良い。
【００１３】（２）コントローラの制御により電動バル
ブを開閉制御し圧縮空気をエジェクタに送り込んだが、
電動バルブ使用せず、エア源のＯＮ／ＯＦＦを制御し圧
縮空気をエジェクタに送り込んでもよい。
ブを開閉制御し圧縮空気をエジェクタに送り込んだが、
電動バルブ使用せず、エア源のＯＮ／ＯＦＦを制御し圧
縮空気をエジェクタに送り込んでもよい。
【００１４】
【発明の効果】本発明の粒度分布測定装置は、吸引ノズ
ルや集塵器等の吸引装置の機能が充分に作動していると
きに限り、粉体サンプルの吹き出しを行うので、粉体サ
ンプルが密閉室へ吹き出すことがなくなり、密閉室壁面
や光学系部品等の汚染を防止することができる。また、
光学系部品の汚れに基づく測定誤差も生じないので、精
度の高い安定した測定ができる。
ルや集塵器等の吸引装置の機能が充分に作動していると
きに限り、粉体サンプルの吹き出しを行うので、粉体サ
ンプルが密閉室へ吹き出すことがなくなり、密閉室壁面
や光学系部品等の汚染を防止することができる。また、
光学系部品の汚れに基づく測定誤差も生じないので、精
度の高い安定した測定ができる。
【図１】本発明の一実施例である粒度分布測定装置を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】図１の密閉室の概略構成を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 粉体にレーザ光を照射し、その回折・散
乱光を検出して粉体の粒度分布を測定する粒度分布測定
装置において、測定部に レーザ光通過用孔と回折・散乱光通過用孔を穿
設するとともに、この測定部の外側を密閉筐体で包囲
し、この密閉筐体の内側に圧力センサを設け、この圧力
センサの出力信号によって、前記レーザ光の照射領域へ
の粉体供給を制御することを特徴とする粒度分布測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08942194A JP3282365B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 粒度分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08942194A JP3282365B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 粒度分布測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294411A JPH07294411A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3282365B2 true JP3282365B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=13970202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08942194A Expired - Fee Related JP3282365B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 粒度分布測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3282365B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7499809B2 (en) | 2004-08-30 | 2009-03-03 | Horiba, Ltd. | Particle size distribution analyzer |
| JP5188758B2 (ja) * | 2007-07-17 | 2013-04-24 | 株式会社堀場製作所 | 粒径分布測定装置 |
| WO2014087746A1 (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士電機株式会社 | 粒子線成形装置 |
-
1994
- 1994-04-27 JP JP08942194A patent/JP3282365B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07294411A (ja) | 1995-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3382371B1 (en) | Aerosol real time monitor | |
| US7142298B2 (en) | Particulate monitor | |
| CN1898551B (zh) | 测定散射光信号的方法和实现该方法的散射光检测器 | |
| JP2529661B2 (ja) | 粒子検出装置 | |
| JP4107833B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
| KR101317982B1 (ko) | 원격먼지측정시스템 | |
| JP3258882B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
| JP2003038163A (ja) | 微生物検出装置 | |
| CN111781116A (zh) | 基于激光散射法的大气颗粒物浓度测量装置及其测量方法 | |
| CN114354578A (zh) | 一种基于libs技术的水下元素在线检测装置及方法 | |
| CN213148673U (zh) | 基于激光散射法的大气颗粒物浓度测量装置 | |
| JP3282365B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
| JP4839069B2 (ja) | 浮遊粒子状物質測定装置 | |
| US5459569A (en) | Nonintrusive modular particle detecting device | |
| KR102073483B1 (ko) | 미세입자 측정장치 및 측정방법 | |
| US20040094525A1 (en) | Laser processing machine | |
| JP3164190B2 (ja) | 乾式粒度分布測定装置 | |
| JP3966253B2 (ja) | エアロゾル用粒度分布測定装置 | |
| US12228453B2 (en) | Hazardous ingredient measuring apparatus and hazardous ingredient analyzing system using same | |
| US5953119A (en) | Optical shutter assembly for trace element detector | |
| US12330240B2 (en) | Housing and handling method for processing device | |
| JPH1151854A (ja) | 分光分析装置 | |
| JP2003161698A (ja) | 浮遊粉塵検知器感度調整装置およびそれを用いた感度調整方法 | |
| JP3258881B2 (ja) | 乾式粒度分布測定装置 | |
| JP2960474B2 (ja) | ニコチンセンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080301 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090301 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100301 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100301 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110301 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110301 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120301 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120301 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130301 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140301 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |