[go: up one dir, main page]

JP3015481B2 - 超音波プローブ・システム - Google Patents

超音波プローブ・システム

Info

Publication number
JP3015481B2
JP3015481B2 JP03038635A JP3863591A JP3015481B2 JP 3015481 B2 JP3015481 B2 JP 3015481B2 JP 03038635 A JP03038635 A JP 03038635A JP 3863591 A JP3863591 A JP 3863591A JP 3015481 B2 JP3015481 B2 JP 3015481B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
ultrasonic probe
layer
polarization
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03038635A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04211600A (ja
Inventor
史郎 斉藤
守 泉
修次 鈴木
新一 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Publication of JPH04211600A publication Critical patent/JPH04211600A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3015481B2 publication Critical patent/JP3015481B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0611Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile
    • B06B1/0614Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile for generating several frequencies
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • B06B1/064Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface with multiple active layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超音波検査装置などに利
用される超音波プローブに係り、特に積層圧電体により
構成された超音波プローブ・システムに関する。
【0002】
【従来の技術】超音波プローブは圧電体を主体として構
成されるプローブ・ヘッドを有し、超音波を検査対象物
に向けて照射し、その音響インピーダンスの異なる界面
からの反射波を受信してその検査対象物の内部状態を示
す画像を取得するために用いられる。この様な超音波プ
ローブを用いた超音波画像装置には、人体内部を検査す
る医用診断装置のほかに、金属溶接内部の探傷を目的と
した検査装置などがある。
【0003】医用診断装置においては、人体の断層像
(Bモード像)の表示機能に加えて、心臓,肝臓,頸動
脈などを対象にしてドプラ効果を利用し血流の速度を2
次元でカラー表示する『カラー・フローマッピング(C
FM)法』の開発によりその診断機能は飛躍的に向上さ
れている。この『CFM法』は近年、子宮,腎臓および
膵臓などの人体のあらゆる臓器や器官の診断の為に用い
られるようになり、今後においては冠血流の動きまでも
観察しようと、各病院,療養施設などで研究が進められ
ている。
【0004】上述のBモード像、すなわち人体の断層像
においては、その小さな病変による身体的変化や空隙が
明瞭に深部まで観えるような高分解能の画像を高感度に
得られることが要求されている。一方、CFM像などを
獲得するためのドプラモードにおいては、例えば直径が
数μmという極小な血球からの反射エコーすなわち反射
波を用いるため、前述のBモードに比べて得られる信号
レベルは小さい故に、高感度化が特に要求されている。
そこで多くの場合、このドプラモードにおけるレファレ
ンス周波数は、超音波プローブが有する周波数帯域の中
の中心周波数よりも低い周波数に設定されている。この
理由は、生体の超音波減衰によるS/N低下の影響を抑
えられるように減衰の少ない低周波成分が用いられてい
る故である。そこで、仮に1つの超音波プローブから2
種類の周波数成分をもつ超音波を選択的に送受信できれ
ば、高分解能となる高周波成分によりBモード像信号を
且つ、低周波成分により高感度のドプラ像信号を獲得す
ることが可能となる。上記の仕様を実現する装置とし
て、1つの超音波プローブ内に共振周波数の異なる2種
類の圧電体を設置した『デュプレクス型超音波プロー
ブ』が各メーカーより製造販売されている。しかし、こ
の種の超音波プローブは異なる圧電体を用いている故に
超音波の送受信面の位置が異なり、同一の断層像を観察
することができない。そこで特開昭60−41399号
公報に開示された構成の積層圧電体を用いることによ
り、1つの圧電体で2種類の周波数帯域の超音波を送受
信させる方式の超音波プローブ・システムが提案され
た。この超音波プローブと駆動パルサー及びフィルタと
の組合せにより、2種類の周波数帯域を分離することが
可能となる。その結果、高周波成分によりBモード信号
を、低周波成分によりドップラー信号をそれぞれ獲得す
ることが可能になった。しかし、このような構成の超音
波プローブにおいては、1枚の圧電体のもつ電気機械変
換効率をほぼ等分している故に、高周波側の周波数帯域
が狭くなり、エコー信号の尾引き(波連長)が長くな
る。その結果、高周波成分による高分解能なBモード像
信号を獲得しようとしているにもかかわらず、期待され
る程にはその像の分解能は良くならない。よって従来よ
りこの点に関してさらに改善の余地が残されていた。ま
た、一般に周波数帯域が狭くなると低域成分も減少する
ため、S/Nが低下してペネトレーション不足となる。
この理由は、生体深部から反射されたエコー信号の周波
数成分においては送信された超音波の中心周波数よりも
低い成分が主体となっている故である。良好なBモード
像を得るのに要求される周波数成分の比帯域は、その中
心周波数の40%以上であるが、例えば単層圧電体を用
いた場合においては、−6dBにおける中心周波数に対
する比帯域幅は1層マッチングでは40〜50%、2層
マッチングでは60〜70%である。これに対して、上
記の構成の積層圧電体を用いた場合には、1層マッチン
グでは25%、2層マッチングでは35%となり、積層
圧電体を用いただけでは単層圧電体を用いた場合に比べ
て約1/2の比帯域しか獲得できないという不具合があ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、1つの
超音波プローブで2種類の周波数帯域を獲得しようとす
る場合、共振周波数の異なる圧電体を複数個用いると、
同一部位を観察できないという問題があった。この問題
を解決するために提案された特開昭60−41399号
公報の装置においては単層構成の圧電体にほぼ同厚の同
材を積層した構成の積層圧電体では、高周波成分の比帯
域が狭いという問題があった。
【0006】そこで本発明の目的は、上記の問題を解決
するための、同一面で2種類の超音波を送受信し、且つ
高周波成分の帯域が十分に広い高感度で高分解能を有す
る超音波プローブを用いた超音波プローブ・システムを
提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的達
成するために、次のような第1の手段を講じた。すなわ
ち、本発明に係る超音波プローブ・システムの超音波プ
ローブとしては、所定の分極方向を有し厚さのほぼ等し
い複数の圧電体が積み重ねられた圧電体層とそれぞれの
圧電体に隣接し被着形成された電極から構成された積層
圧電体において、この圧電体層の各層にその電極を介し
その圧電体層の抗電界以上の電圧が印加された時に、こ
の圧電体層を構成する各層の分極の方向が実質的に互い
に反対方向,または同一方向を指向するようにその電圧
の極性を反転制御することのできる超音波プローブ・シ
ステムを構成する。
【0008】すなわち、複数の圧電体層が積層された圧
電体層の積層方向の両端面と各圧電体層との間に電極が
被着形成された積層圧電体を用いて、その隣接する圧電
体の分極方向が全て逆になるか,または全ての分極方向
が同一方向を向くように、その積層された圧電体層の1
層おきの一方の各圧電体層に対して圧電体の抗電界以上
の電圧を印加する直流電源を含みその極性を反転させて
圧電体の分極の向きを制御できる分極反転回路を接続付
加する。
【0009】
【作用】本発明の超音波プローブは、1層おきの一方の
各圧電体層に対し抗電界以上の電圧を印加する直流電源
をその極性を反転できる分極反転回路を介して接続する
ことにより、この直流電源が接続されていない側の各圧
電体層の分極方向と同一方向の場合と逆方向になる場合
とで、そのプローブ固有の最低(基本)の共振周波数が
異なる。ここで例えば、1層当たりの圧電体層の厚さを
t、積層数をn、音速をvと定義すると、分極方向が全
て同一方向を指向する場合の基本共振周波数f0 はv/
2nt=f0 と表わされる。また隣接する圧電体層の分
極方向が逆方向を指向する場合には、nf0 (=v/2
t)という関係が成り立つ。
【0010】この理由は、まずその分極方向が同じ場合
には、積層圧電体は厚さntの単層圧電体と等価であ
り、両端面が振動の「腹」となり、厚さ方向の中点が振
動の「節」となるような1/2波長の共振が起こる。こ
れに対し、隣接する圧電体層の分極方向を逆方向にした
場合は、任意の圧電体層が伸びるとそれに隣接する圧電
体層は縮むので、各々の圧電体層の厚さ方向の両端が振
動の「腹」になり、中点が振動の「節」となるので、n
/2波長の共振が発生する。したがって、共振周波数は
分極方向が同じ場合に比べて、そのn倍になる。
【0011】ここで各々の圧電体層の厚さについて、ほ
ぼ等しいと言及した理由は、実際のプローブヘッドにお
いては圧電体のバッキング層が形成されるため、振動が
発生しその振動の「腹」や「節」の位置が動くので、そ
の圧電体層の界面に「腹」や「節」がちょうど位置する
ように設定するには、圧電体の厚さを多少変えるほうが
良好な結果が得られる故である。具体的にはマッチング
層側の圧電体層を薄く設定すれば良く、例えば2層構成
の積層圧電体層ではバッキング材側の圧電体層に比べ
て、マッチング層側の厚さを20〜25%薄く設定する
ことが好ましい。この厚さの設定によると、分極方向と
電界方向が逆の関係のn倍の基本共振周波数が得られる
場合に、周波数特性は良好な単峰特性をしめす。ただし
上記の設定の積層圧電体層は、厚さが同じ場合でも低周
波部のレベルが低い2周波特性をしめすが、これは実用
上ほとんど問題にはならない。
【0012】また本発明においては、上記の共振周波数
の切換えを当該システム稼働時のブランキングタイム中
に行なうことを特徴とする。この「ブランキングタイ
ム」とはデータ転送などが行なわれるシステムの稼働時
間の内の空き時間である。この時間は超音波プローブの
種類や診断装置により異なるが、通常20〜40μsで
ある。またこのブランキングタイムの終わりから10μ
s程度以内に送信パルスが超音波プローブに印加される
ので、この空き時間と見なせる時間はシステムが送信も
受信もしない10〜30μsである。一方、圧電体の分
極を反転させるためには抗電界以上の電圧(分極反転パ
ルス)を数μs以上印加すれば良く、送信も受信もされ
ない時間10〜30μsを利用することもできる。その
結果、従来の診断装置と同じタイミングで送信超音波の
周波数を切り換えることができるので、高分解能な高周
波のBモード信号と、高感度な低周波のドプラ信号を従
来の診断装置と同じタイミングで獲得することができ
る。従って,リアルタイムで高周波のBモード像と低周
波のドプラ像から成るCFM像が実現される。
【0013】
【実施例】図1は、本発明の一実施例に係る超音波プロ
ーブの概略構成を示す斜視図である。積層圧電体1の超
音波放射面側には、音響マッチング層2,3,4および
音響レンズ5が形成され、背面側にはプローブ・ヘッド
の基盤としてのバッキング材6が形成されている。積層
圧電体1は、2つの圧電体層が積層されこれらの層の境
界面には内部電極が、その積層方向の両端面には上下そ
れぞれ1層づつの外部電極が被着形成されている。上部
の音響マッチング層2,3,4および音響レンズ5と、
下部のバッキング材6とで挟まれる如くに図示のような
一体構造のプローブ・ヘッドが構成されていることがわ
かる。
【0014】前記のこれら3層のマッチング層2,3,
4は、高周波側でマッチングがとれるようにそれぞれの
層の厚さが設定されている。この訳は、高周波側でBモ
ード用信号を獲得しようとする為で、感度の広帯域化を
狙っている理由による。
【0015】さらに、この超音波プローブにおいては、
最上部の音響レンズ5とバッキング材6を除く積層が短
冊状に加工され配列されていることがわかる。一方の外
部電極に対してはアース用共通電極線を、他方の外部電
極に対しては信号用フレキシブルプリント板9の信号線
があらかじめハンダ付けされて接続されている。具体的
には、このフレキシブルプリント板9の信号線のピッチ
は0.15mmに設定され、この値は前述の短冊状に加
工する際に使用する30μm厚のブレードを用いたダイ
シングマシンによる切断作業にともなって算出された適
合値である。
【0016】また、このヘッドの電極に電力を供給する
ために、積層圧電体層の1つの外部電極と内部電極との
間の極性反転用共通電極線7,8を介して接続された直
流電源を含む、極性を反転する分極反転回路18が付加
されている。この積層圧電体に接続された分極反転回路
18は、例えば、隣接する複数の圧電体層の分極方向が
逆または同一な方向を向く場合にも、その直流電源の極
性を手動または自動で反転することによって隣接する積
層の分極方向を実質的に互いに逆向きにすることができ
る。従って、この直流電源を含む分極反転回路18に接
続された圧電体層の初期の分極方向は特に問われない。
【0017】図2(a)および図2(b)は、図1に示
す積層圧電体1のA−A´線に沿う拡大縦断面を示して
いる。図2(a)に示す如く、この積層圧電体は例え
ば、2つの圧電体層11,12をその分極方向13およ
び14が初期状態においては互いに逆となるように積層
され、その積層方向の両端面、すなわち圧電体層11の
上面側および圧電体層12の下面側には外部電極15,
16が、圧電体層11と12の間には内部電極17が被
着形成されている。また、図2(b)本実施例では隣接
する圧電体層の分極方向が逆になる場合について述べる
が、上記のような極性を反転可能とする直流電源を含む
分極反転回路が接続される圧電体層に関する限り、その
初期状態は図2(b)に示すような分極方向13’のよ
うに分極方向14と同一な方向を指向する積層圧電体で
あっても良い。
【0018】上記の圧電体層11,12は、比誘電率2
000のPZT系セラミックと呼ばれる圧電セラミック
により形成され、各層の厚さはそれぞれ180μm,2
20μmであり僅かに上部が薄く設定されている。ま
た、このプローブ・ヘッドを構成する積層圧電体1の断
面は、図示のような短冊状に配列される。そのために、
ブレードを用いたダイシングマシンにより、積層上部に
あらかじめ被着形成されている図示しないマッチング層
も含めて積層方向(縦方向)に切断され、その後、所定
の間隔(ピッチ)で水平に配置される。この例の場合の
ピッチは0.15mmに設定されている。
【0019】図3は本発明に係わる超音波プローブを駆
動する電圧パルスのタイミングチャートの一例である。
システムの設定時間であるブランキングタイムは30μ
sであり、印加される送信パルスはこのブランキングタ
イムのおわりから約10μsである。従って、分極反転
には約20μsの余裕が有ることになり、この実施例で
は分極反転パルスとして15μsの間だけ印加される。
この圧電体の抗電界は1kV/mmであるので、±20
0Vの電圧が印加される。なお、分極反転回路はFET
スイッチを用いて構成されている。
【0020】図4は、各圧電体層の分極方向が逆の場合
に、『パルスエコー法』により測定された水中設置の反
射板からのエコー波形の周波数スペクトラムを示すグラ
フである。このグラフによれば、中心周波数が7.54
MHzであり−6dB比帯域が中心周波数の52.9%
である。この値は、超音波プローブを用いた超音波画像
装置として良好なBモード像を得るのに十分な周波数帯
域が獲得されることがわかる。
【0021】図5は、各圧電体層の分極方向が同じ場合
の、『パルスエコー法』によるエコー波形の周波数スペ
クトラムを示すグラフである。このグラフに示す如く、
中心周波数が3.71MHzであり−6dB比帯域が中
心周波数の51.9%となる。
【0022】図6(a)および図6(b)は、本発明の
超音波プローブの概要接続回路図である。圧電体として
同程度の厚さを有する圧電セラミックの2枚を、厚さ方
向に互いに接合してなる積層(圧電体層)は圧電振動子
1を構成する。この2層構成の圧電振動子1の各層の境
界に形成された電極21,22,23の各々に印加する
駆動パルスの極性を制御することによって同一の振動子
1から2種類の異なる周波数帯を励起する。図6(a)
および図6(b)の接続例においては、各圧電セラミッ
ク層の分極方向は同じ方向を指向するように初期設定さ
れ、各電極21,22,23から独立にリード31,3
2,33を引き出す3端子構成の接続回路を構成する。
一方、駆動パルス源と振動子の受信信号を処理するパル
サ/レシーバ回路はGND端子62と信号端子61の2
つの端子構成で、振動子側の3つの端子とパルサ/レシ
ーバ側の2つの端子を2連のスイッチを介して図のよう
に接続する。この2連のスイッチを切り換えることによ
り振動子の共振周波数が変化する故に、2種類の周波数
の励起が可能になる。その原理を次の図7(a)〜図7
(e)を参照して説明する。
【0023】図7(a)は本実施例の振動子を表わし、
図7(b)は図7(a)の振動子と等価な振動子を表わ
している。図中の2層振動子1は分極方向を同一方向に
積層しこの圧電素子の両表面に形成された電極21と電
極23との間にパルスを印加する構成で、内部電極22
は電気的に浮かせた状態で形成されている。この場合、
振動子1の共振周波数は2層振動子の全体の厚さtで決
定され、セラミック層の厚さに比較して電極の厚さはほ
ぼ無視できるため、図7(b)の厚さがtの振動子と等
価である。この時の共振周波数をf0、電気的インピー
ダンスをZ0と仮定する。
【0024】図7(c)は接続を異にする変形例であ
り、2層の振動子の分極方向を逆にして積層された圧電
素子である。両表面の電極21および電極23は共通に
接続されて内部電極22との間にパルスを印加する構成
である。この場合においても、各セラミック層の分極方
向に対してパルスの電界は同一方向を指向する。よっ
て、全体の厚さがtであるならば共振周波数はf0とな
る。しかし、2端子間からみた電気的インピーダンス
は、前述の図7(a)および図7(b)と比較して1/
4に低下する。これは積層構成による低インピーダンス
効果である。
【0025】次の図7(d)の接続変形例の場合におい
ても、分極方向を対向させて積層した構造を成すが、前
述の図7(a)と同様な両表面電極21および電極22
の間にパルスを印加する構成である。このように構成す
ることは分極方向と電界方向が同じ層と逆な層との組合
せとなり、出願番号13891075で提案されたよう
に、その共振周波数は厚さが同じであれば図7(a)の
場合と比較して2倍の周波数2f0が得られる。また、
電気インピーダンスは同じ値のZ0で変化しない。
【0026】図7(e)は、分極方向と電界方向との方
向が同一方向を指向する層とその逆方向を指向する層と
の組み合せにより構成されている。よってこの場合も前
述の図7(d)と同様にその共振周波数は2f0とな
る。また電気的インピーダンスは前述の図7(c)の場
合と同様にZ0/4に低減する。すなわち、多層構成の
各層の分極方向に対する電界方向の組合せにより、共振
周波数を積層倍にしたり、電気的インピーダンスを積層
数の2乗分の1に低減することが可能である。
【0027】以上により、図6(a),図6(b)のス
イッチ4の切換え動作によって図7(a)および図7
(e)の2つの状態を選択的に実現することが可能であ
る。すなわち、図7(a)の場合は、共振周波数f0,
電気インピーダンスZ0の超音波プローブが実現でき
る。図7(b)の場合は、共振周波数2f0,電気イン
ピーダンスZ0/4の超音波プローブが実現できる。
【0028】また、図8は本発明の他の実施例を示し、
前述の図7(c)と図7(d)の状態に切り換え可能に
構成すると、f0,Z0/4、および,2f0,Z0の
組合せの2種類の周波数を選択的に切替え可能な超音波
プローブ・システムを提供することができる。上記のよ
うに、同一の2層振動子を3端子構造に形成し、駆動パ
ルスの印加条件を選択的に切替えることによってその周
波数の比が2倍をなす2種類の周波数帯域で駆動するこ
とが可能となる。この切換えスイッチはプローブ側に設
置されることが望ましいが、診断装置本体側に設置され
ても良い。
【0029】図9は3層構造の振動子が用いられた超音
波プローブを表わし、スイッチの切り換えによって周波
数比が3倍(3f0)の周波数を含む2種類の周波数帯
域で駆動することが可能である。
【0030】以上からわかるように、この積層圧電素子
を構成する各層とその極性との組合せを所定の組合せに
従って切り換えることにより、1つの超音波プローブの
積層圧電体の同一面によって異なる複数種類(本実施例
においては2種類)の周波数の超音波を発生することが
できる。よって、診断の際にこれらの周波数の範囲内の
所望の周波数をその用途に従って任意に選択し使用する
ことが可能となる。
【0031】なお、本発明は上述の実施例に限定される
ものではなく、この他に本要旨を逸脱しない範囲で種々
の変形実施も可能である。例えば、本実施例おいては2
層構成の積層圧電体について例示されたが、3層以上の
積層圧電体を用いた構成でも良い。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、複数層の圧電体層を隣
接する層の分極方向が全て逆もしくは全て同一になるよ
うに積層し、積層方向の両端面と各圧電体層との間に電
極が被着形成された積層圧電体の一層おきの一方の側の
圧電体層に対して、圧電体の抗電界以上の電圧を印加す
ることができる直流電源を稼働システムのブランキング
タイム内に印加電圧の極性を反転することが可能な分極
反転回路を介して接続可能にした構成を採用することに
より、積層圧電体のそれぞれの圧電体層の分極方向を実
質的に所望の方向に設定できる。よって、初期の圧電体
層が有する本来の分極方向に限定されることなくプロー
ブ・ヘッドを使用でき、また超音波プローブのプローブ
・ヘッドの同一面より異なる複数種類の周波数を有する
超音波を選択的に送受信することが可能となると共に、
高周波部において広帯域なBモード信号を、低周波部に
おいて高感度ドップラー信号を同時にしかもその高周波
成分の帯域が十分に広い高感度で高分解能の超音波を獲
得することが可能な超音波プローブヘッドを有する超音
波プローブ・システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る超音波プローブの概略
構成を示す斜視図。
【図2】図1に示された積層圧電体層のA−A´線に沿
って表わされた拡大断面図。
【図3】本発明に係る分極反転回路が発する駆動パルス
のタイミングチャート。
【図4】隣接する圧電体層の分極方向が逆の場合におけ
る『パルスエコー法』により測定されたエコー波形の周
波数スペクトラム・グラフ。
【図5】分極方向が同一の場合における『パルスエコー
法』により測定された周波数スペクトラム・グラフ。
【図6】本発明の超音波プローブと付加される分極反転
回路の概要接続回路図。
【図7】2層構成の積層圧電素子の構成と1層構成の単
層圧電体素子を表わす断面図および、各層の分極方向と
各層の接続関係を示す配線図。
【図8】本発明の他の実施例を表わす超音波プローブ・
システムの概要配線図。
【図9】3層構成の積層圧電素子を用いた本発明のその
他の実施例を表わす超音波プローブ・システムの概要配
線図。
【符号の説明】
1…積層圧電体、2,3,4…音響マッチング層、5…
音響レンズ、6…バッキング材、7,8…共通電極線、
9…フレキシブルプリント板、11,12…圧電体層、
13,13’,14…分極方向、15,16,21,2
3…外部電極、17,22…内部電極、18…分極反転
回路(直流電源を含む)、40…スイッチ、50…駆動
パルサ/レシーバ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G01N 29/24 502 G01N 29/24 502 (72)発明者 橋本 新一 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1番地 株式会社東芝総合研究所内 (56)参考文献 特開 昭57−28500(JP,A) 特開 平1−186009(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04R 17/00 332 H04R 17/00 330 A61B 8/00 A61B 8/06 A61B 8/14 G01N 29/24 502

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 積み重ねられたほぼ等しい厚さの複数の
    圧電体と、 前記複数の圧電体の各々に接続された複数の電極と、 前記複数の圧電体の各々に前記複数の電極を介して接続
    され、前記圧電体の抗電界以上の電圧を前記圧電体の各
    々に印加するための直流電源を含み、前記複数の圧電体
    の各々の分極方向を選択的に反転させることが可能な分
    極反転回路手段と、 を具備する ことを特徴とする超音波プローブ・システ
    ム。
  2. 【請求項2】 隣接する層のそれぞれの分極方向が全て
    反対方向,または同一方向を指向するようにほぼ等しい
    厚さの複数の圧電体層が積層され、前記圧電体層の積層
    方向の両端面と前記の各圧電体層間に電極が被着形成さ
    れて成る積層圧電素子を有する超音波プローブ・システ
    ムであって、前記複数の圧電体層の1層おきの一方の前
    記圧電体層に、前記圧電体の抗電界以上の電圧を印加す
    る直流電源を含み、該システムの内の送受信稼働時間以
    外のブランキングタイム中にプローブの共振周波数の切
    り換えを行ない,複数種類の周波数の超音波を選択的に
    発生するように制御を行なう分極反転回路手段を有する
    ことを特徴とする超音波プローブ・システム。
  3. 【請求項3】 積み重ねられたほぼ等しい厚さの複数の
    圧電体と、 前記複数の圧電体のそれぞれに接続された複数の電極
    と、 前記複数の圧電体の各々に前記電極を介して印加する抗
    電界以上の駆動パルスの極性を、前記複数の圧電体の分
    極方向が全て同一方向を指向する極性と、隣接する前記
    圧電体ごとに異なる方向を指向する極性とに切り換える
    切換え手段を具備する ことを特徴とする超音波プローブ
    ・システム。
JP03038635A 1990-03-28 1991-03-05 超音波プローブ・システム Expired - Fee Related JP3015481B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2-76617 1990-03-28
JP7661790 1990-03-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04211600A JPH04211600A (ja) 1992-08-03
JP3015481B2 true JP3015481B2 (ja) 2000-03-06

Family

ID=13610313

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03038635A Expired - Fee Related JP3015481B2 (ja) 1990-03-28 1991-03-05 超音波プローブ・システム

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5163436A (ja)
EP (1) EP0451984B1 (ja)
JP (1) JP3015481B2 (ja)
DE (1) DE69109923T2 (ja)

Families Citing this family (135)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4139024C1 (ja) * 1991-11-27 1993-04-15 Siemens Ag, 8000 Muenchen, De
US6023632A (en) * 1997-07-16 2000-02-08 Wilk; Peter J. Ultrasonic medical system and associated method
US5871446A (en) * 1992-01-10 1999-02-16 Wilk; Peter J. Ultrasonic medical system and associated method
US7497828B1 (en) 1992-01-10 2009-03-03 Wilk Ultrasound Of Canada, Inc. Ultrasonic medical device and associated method
US5666953A (en) * 1993-01-10 1997-09-16 Wilk; Peter J. System and associated method for providing information for use in forming medical diagnosis
US5744898A (en) * 1992-05-14 1998-04-28 Duke University Ultrasound transducer array with transmitter/receiver integrated circuitry
US5410205A (en) * 1993-02-11 1995-04-25 Hewlett-Packard Company Ultrasonic transducer having two or more resonance frequencies
US5381385A (en) * 1993-08-04 1995-01-10 Hewlett-Packard Company Electrical interconnect for multilayer transducer elements of a two-dimensional transducer array
US5792058A (en) * 1993-09-07 1998-08-11 Acuson Corporation Broadband phased array transducer with wide bandwidth, high sensitivity and reduced cross-talk and method for manufacture thereof
CA2139151A1 (en) * 1994-01-14 1995-07-15 Amin M. Hanafy Two-dimensional acoustic array and method for the manufacture thereof
FR2722358B1 (fr) * 1994-07-08 1996-08-14 Thomson Csf Transducteur acoustique multifrequences a larges bandes
US5724976A (en) * 1994-12-28 1998-03-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasound imaging preferable to ultrasound contrast echography
JP3405840B2 (ja) * 1995-01-09 2003-05-12 株式会社東芝 超音波プローブ及びこれを用いた超音波診断装置
US5834687A (en) * 1995-06-07 1998-11-10 Acuson Corporation Coupling of acoustic window and lens for medical ultrasound transducers
US5655538A (en) * 1995-06-19 1997-08-12 General Electric Company Ultrasonic phased array transducer with an ultralow impedance backfill and a method for making
US5638822A (en) * 1995-06-30 1997-06-17 Hewlett-Packard Company Hybrid piezoelectric for ultrasonic probes
US5657295A (en) * 1995-11-29 1997-08-12 Acuson Corporation Ultrasonic transducer with adjustable elevational aperture and methods for using same
DE19609443C1 (de) * 1996-03-11 1997-05-22 Siemens Ag Ultraschallwandleranordnung mit bipolaren Wandlerelementen
US5757727A (en) * 1996-04-24 1998-05-26 Acuson Corporation Two-dimensional acoustic array and method for the manufacture thereof
US5957851A (en) * 1996-06-10 1999-09-28 Acuson Corporation Extended bandwidth ultrasonic transducer
DE19635593C1 (de) * 1996-09-02 1998-04-23 Siemens Ag Ultraschallwandler für den diagnostischen und therapeutischen Einsatz
DE19733233C1 (de) * 1997-08-01 1998-09-17 Wolf Gmbh Richard Elektroakustischer Wandler
US6319201B1 (en) 1997-10-15 2001-11-20 Peter J. Wilk Imaging device and associated method
US6582392B1 (en) 1998-05-01 2003-06-24 Ekos Corporation Ultrasound assembly for use with a catheter
US6723063B1 (en) 1998-06-29 2004-04-20 Ekos Corporation Sheath for use with an ultrasound element
US5920972A (en) * 1997-06-27 1999-07-13 Siemens Medical Systems, Inc. Interconnection method for a multilayer transducer array
US6049159A (en) * 1997-10-06 2000-04-11 Albatros Technologies, Inc. Wideband acoustic transducer
US6050943A (en) 1997-10-14 2000-04-18 Guided Therapy Systems, Inc. Imaging, therapy, and temperature monitoring ultrasonic system
US6541896B1 (en) * 1997-12-29 2003-04-01 General Electric Company Method for manufacturing combined acoustic backing and interconnect module for ultrasonic array
US6121718A (en) * 1998-03-31 2000-09-19 Acuson Corporation Multilayer transducer assembly and the method for the manufacture thereof
US6106463A (en) * 1998-04-20 2000-08-22 Wilk; Peter J. Medical imaging device and associated method including flexible display
US6416478B1 (en) 1998-05-05 2002-07-09 Acuson Corporation Extended bandwidth ultrasonic transducer and method
US6057632A (en) * 1998-06-09 2000-05-02 Acuson Corporation Frequency and bandwidth controlled ultrasound transducer
US6320300B1 (en) * 1998-09-03 2001-11-20 Lucent Technologies Inc. Piezoelectric array devices
US6007490A (en) * 1998-11-25 1999-12-28 Atl Ultrasound, Inc. Ultrasonic probe with disconnectable transducer
US6552471B1 (en) * 1999-01-28 2003-04-22 Parallel Design, Inc. Multi-piezoelectric layer ultrasonic transducer for medical imaging
US6139499A (en) * 1999-02-22 2000-10-31 Wilk; Peter J. Ultrasonic medical system and associated method
DE19928765A1 (de) * 1999-06-23 2001-01-11 Siemens Ag Ultraschallwandleranordnung und Verfahren zur Ultraschallprüfung
US7288069B2 (en) * 2000-02-07 2007-10-30 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic probe and method of manufacturing the same
US6409667B1 (en) * 2000-02-23 2002-06-25 Acuson Corporation Medical diagnostic ultrasound transducer system and method for harmonic imaging
US6517484B1 (en) 2000-02-28 2003-02-11 Wilk Patent Development Corporation Ultrasonic imaging system and associated method
CA2332158C (en) * 2000-03-07 2004-09-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ultrasonic probe
US6822374B1 (en) * 2000-11-15 2004-11-23 General Electric Company Multilayer piezoelectric structure with uniform electric field
US6596239B2 (en) * 2000-12-12 2003-07-22 Edc Biosystems, Inc. Acoustically mediated fluid transfer methods and uses thereof
US7914453B2 (en) 2000-12-28 2011-03-29 Ardent Sound, Inc. Visual imaging system for ultrasonic probe
WO2002054827A2 (en) * 2001-01-05 2002-07-11 Angelsen Bjoern A J Wideband transducer
WO2002056666A2 (en) * 2001-01-19 2002-07-25 Angelsen Bjoern A J A method of detecting ultrasound contrast agent in soft tissue, and quantitating blood perfusion through regions of tissue
US6429574B1 (en) 2001-02-28 2002-08-06 Acuson Corporation Transducer array using multi-layered elements having an even number of elements and a method of manufacture thereof
US6664717B1 (en) 2001-02-28 2003-12-16 Acuson Corporation Multi-dimensional transducer array and method with air separation
US6437487B1 (en) 2001-02-28 2002-08-20 Acuson Corporation Transducer array using multi-layered elements and a method of manufacture thereof
US6761688B1 (en) 2001-02-28 2004-07-13 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Multi-layered transducer array and method having identical layers
US7344501B1 (en) * 2001-02-28 2008-03-18 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Multi-layered transducer array and method for bonding and isolating
KR100854242B1 (ko) * 2001-04-25 2008-08-25 엔엑스피 비 브이 2개의 압전층을 가진 장치 및 필터 장치
JP3914002B2 (ja) * 2001-04-26 2007-05-16 日本電波工業株式会社 超音波探触子
WO2003017720A1 (fr) * 2001-08-16 2003-02-27 Tayca Corporation Oscillateur piezo-electrique a couches multiples
US6540683B1 (en) 2001-09-14 2003-04-01 Gregory Sharat Lin Dual-frequency ultrasonic array transducer and method of harmonic imaging
US6976639B2 (en) 2001-10-29 2005-12-20 Edc Biosystems, Inc. Apparatus and method for droplet steering
US6925856B1 (en) 2001-11-07 2005-08-09 Edc Biosystems, Inc. Non-contact techniques for measuring viscosity and surface tension information of a liquid
US7220239B2 (en) 2001-12-03 2007-05-22 Ekos Corporation Catheter with multiple ultrasound radiating members
US7285094B2 (en) 2002-01-30 2007-10-23 Nohara Timothy J 3D ultrasonic imaging apparatus and method
US8226629B1 (en) 2002-04-01 2012-07-24 Ekos Corporation Ultrasonic catheter power control
US7396332B2 (en) * 2002-06-10 2008-07-08 Scimed Life Systems, Inc. Transducer with multiple resonant frequencies for an imaging catheter
US7429359B2 (en) 2002-12-19 2008-09-30 Edc Biosystems, Inc. Source and target management system for high throughput transfer of liquids
US7275807B2 (en) 2002-11-27 2007-10-02 Edc Biosystems, Inc. Wave guide with isolated coupling interface
WO2005072409A2 (en) 2004-01-29 2005-08-11 Ekos Corporation Method and apparatus for detecting vascular conditions with a catheter
CN100473353C (zh) * 2004-05-17 2009-04-01 人体扫描有限公司 超声探头及其制造方法
US7914454B2 (en) * 2004-06-25 2011-03-29 Wilk Ultrasound Of Canada, Inc. Real-time 3D ultrasonic imaging apparatus and method
US9011336B2 (en) 2004-09-16 2015-04-21 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for combined energy therapy profile
US7393325B2 (en) 2004-09-16 2008-07-01 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for ultrasound treatment with a multi-directional transducer
US7824348B2 (en) 2004-09-16 2010-11-02 Guided Therapy Systems, L.L.C. System and method for variable depth ultrasound treatment
US10864385B2 (en) 2004-09-24 2020-12-15 Guided Therapy Systems, Llc Rejuvenating skin by heating tissue for cosmetic treatment of the face and body
US7530958B2 (en) * 2004-09-24 2009-05-12 Guided Therapy Systems, Inc. Method and system for combined ultrasound treatment
US20120165848A1 (en) 2010-08-02 2012-06-28 Guided Therapy Systems, Llc System and method for treating cartilage
US8535228B2 (en) 2004-10-06 2013-09-17 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for noninvasive face lifts and deep tissue tightening
US8444562B2 (en) 2004-10-06 2013-05-21 Guided Therapy Systems, Llc System and method for treating muscle, tendon, ligament and cartilage tissue
EP1879502A2 (en) 2004-10-06 2008-01-23 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for cosmetic enhancement
US8690778B2 (en) 2004-10-06 2014-04-08 Guided Therapy Systems, Llc Energy-based tissue tightening
US11235179B2 (en) 2004-10-06 2022-02-01 Guided Therapy Systems, Llc Energy based skin gland treatment
EP2409728B1 (en) 2004-10-06 2017-09-27 Guided Therapy Systems, L.L.C. System for ultrasound tissue treatment
US8133180B2 (en) 2004-10-06 2012-03-13 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for treating cellulite
US9694212B2 (en) 2004-10-06 2017-07-04 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for ultrasound treatment of skin
US11883688B2 (en) 2004-10-06 2024-01-30 Guided Therapy Systems, Llc Energy based fat reduction
US7758524B2 (en) 2004-10-06 2010-07-20 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for ultra-high frequency ultrasound treatment
US9827449B2 (en) 2004-10-06 2017-11-28 Guided Therapy Systems, L.L.C. Systems for treating skin laxity
US20060111744A1 (en) 2004-10-13 2006-05-25 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for treatment of sweat glands
US11207548B2 (en) 2004-10-07 2021-12-28 Guided Therapy Systems, L.L.C. Ultrasound probe for treating skin laxity
US11724133B2 (en) 2004-10-07 2023-08-15 Guided Therapy Systems, Llc Ultrasound probe for treatment of skin
KR100722370B1 (ko) * 2005-02-22 2007-05-29 주식회사 휴먼스캔 적층형 초음파 탐촉자 및 이의 제조방법
WO2006116480A2 (en) 2005-04-25 2006-11-02 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for enhancing computer peripheral saftey
WO2007127176A2 (en) 2006-04-24 2007-11-08 Ekos Corporation Ultrasound therapy system
US9566454B2 (en) 2006-09-18 2017-02-14 Guided Therapy Systems, Llc Method and sysem for non-ablative acne treatment and prevention
EP2526880A3 (en) 2007-01-08 2013-02-20 Ekos Corporation Power parameters for ultrasonic catheter
US10182833B2 (en) 2007-01-08 2019-01-22 Ekos Corporation Power parameters for ultrasonic catheter
US20150174388A1 (en) 2007-05-07 2015-06-25 Guided Therapy Systems, Llc Methods and Systems for Ultrasound Assisted Delivery of a Medicant to Tissue
US9216276B2 (en) 2007-05-07 2015-12-22 Guided Therapy Systems, Llc Methods and systems for modulating medicants using acoustic energy
EP2494932B1 (en) 2007-06-22 2020-05-20 Ekos Corporation Apparatus for treatment of intracranial hemorrhages
HRP20160499T1 (hr) 2008-06-06 2016-07-15 Ulthera, Inc. Sustav za kozmetički tretman i snimanje
US12102473B2 (en) 2008-06-06 2024-10-01 Ulthera, Inc. Systems for ultrasound treatment
KR20110101204A (ko) 2008-12-24 2011-09-15 가이디드 테라피 시스템스, 엘.엘.씨. 지방 감소 및/또는 셀룰라이트 치료 방법 및 시스템
WO2011003031A1 (en) 2009-07-03 2011-01-06 Ekos Corporation Power parameters for ultrasonic catheter
KR101107154B1 (ko) * 2009-09-03 2012-01-31 한국표준과학연구원 초음파 탐상장치의 멀티 탐촉자 유닛
US8715186B2 (en) 2009-11-24 2014-05-06 Guided Therapy Systems, Llc Methods and systems for generating thermal bubbles for improved ultrasound imaging and therapy
US8740835B2 (en) 2010-02-17 2014-06-03 Ekos Corporation Treatment of vascular occlusions using ultrasonic energy and microbubbles
US9375754B2 (en) 2010-03-31 2016-06-28 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. Laminated piezoelectric body, laminated piezoelectric body manufacturing method, and ultrasound transducer and ultrasound diagnostic device using laminated piezoelectric body
JP5560855B2 (ja) * 2010-03-31 2014-07-30 コニカミノルタ株式会社 超音波トランスデューサおよび超音波診断装置
US9504446B2 (en) 2010-08-02 2016-11-29 Guided Therapy Systems, Llc Systems and methods for coupling an ultrasound source to tissue
EP2608730B1 (en) 2010-08-27 2019-07-24 Ekos Corporation Apparatus for treatment of intracranial hemorrhages
US8857438B2 (en) 2010-11-08 2014-10-14 Ulthera, Inc. Devices and methods for acoustic shielding
GB2486680A (en) * 2010-12-22 2012-06-27 Morgan Electro Ceramics Ltd Ultrasonic or acoustic transducer that supports two or more frequencies
JP6010306B2 (ja) * 2011-03-10 2016-10-19 富士フイルム株式会社 光音響計測装置
JP5708167B2 (ja) 2011-04-06 2015-04-30 コニカミノルタ株式会社 超音波探触子及び超音波診断装置
US11458290B2 (en) 2011-05-11 2022-10-04 Ekos Corporation Ultrasound system
WO2013009785A2 (en) 2011-07-10 2013-01-17 Guided Therapy Systems, Llc. Systems and methods for improving an outside appearance of skin using ultrasound as an energy source
EP2731675B1 (en) 2011-07-11 2023-05-03 Guided Therapy Systems, L.L.C. Systems and methods for coupling an ultrasound source to tissue
JP5644729B2 (ja) * 2011-09-30 2014-12-24 コニカミノルタ株式会社 超音波振動子、超音波探触子及び超音波画像診断装置
US9263663B2 (en) 2012-04-13 2016-02-16 Ardent Sound, Inc. Method of making thick film transducer arrays
US9510802B2 (en) 2012-09-21 2016-12-06 Guided Therapy Systems, Llc Reflective ultrasound technology for dermatological treatments
CN204017181U (zh) 2013-03-08 2014-12-17 奥赛拉公司 美学成像与处理系统、多焦点处理系统和执行美容过程的系统
SG11201506154RA (en) 2013-03-14 2015-09-29 Ekos Corp Method and apparatus for drug delivery to a target site
WO2014146022A2 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Guided Therapy Systems Llc Ultrasound treatment device and methods of use
ES2972602T3 (es) 2014-04-18 2024-06-13 Ulthera Inc Terapia de ultrasonido con transductor de banda
US10092742B2 (en) 2014-09-22 2018-10-09 Ekos Corporation Catheter system
US10656025B2 (en) 2015-06-10 2020-05-19 Ekos Corporation Ultrasound catheter
JP6967001B2 (ja) 2016-01-18 2021-11-17 ウルセラ インコーポレイテッド フレキシブルなプリント回路基板の周囲に電気的接続している環状超音波アレイを有するコンパクトな超音波デバイス、および、その組立方法
DK3981466T3 (da) 2016-08-16 2023-10-09 Ulthera Inc Systemer og fremgangsmåder til kosmetisk ultralydsbehandling af hud
US20180092621A1 (en) 2016-09-30 2018-04-05 Robert Bosch Gmbh Single piezoelectric transmitter and receiver to detect blood velocities
EP3544515B1 (en) * 2016-11-22 2021-01-06 Koninklijke Philips N.V. Ultrasound device and acoustic component for use in such a device
CN106903037A (zh) * 2017-01-23 2017-06-30 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 超声换能器、超声阵列探头和超声成像系统
SG11201906431UA (en) 2017-01-24 2019-08-27 Ekos Corp Method for the treatment of thromboembolism
JP6933082B2 (ja) * 2017-10-19 2021-09-08 コニカミノルタ株式会社 超音波トランスデューサーおよび超音波診断装置
TW202529848A (zh) 2018-01-26 2025-08-01 美商奧賽拉公司 用於多個維度中的同時多聚焦超音治療的系統和方法
US11944849B2 (en) 2018-02-20 2024-04-02 Ulthera, Inc. Systems and methods for combined cosmetic treatment of cellulite with ultrasound
US12377293B2 (en) 2019-07-15 2025-08-05 Ulthera, Inc. Systems and methods for measuring elasticity with imaging of ultrasound multi-focus shearwaves in multiple dimensions
WO2024149639A1 (en) * 2023-01-11 2024-07-18 Koninklijke Philips N.V. Adjustable transducer elements
CN120459513A (zh) * 2025-05-08 2025-08-12 深圳杉源医疗科技有限公司 一种超声波电导治疗仪

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5353393A (en) * 1976-10-25 1978-05-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic probe
US4145931A (en) * 1978-01-03 1979-03-27 Raytheon Company Fresnel focussed imaging system
US4211948A (en) * 1978-11-08 1980-07-08 General Electric Company Front surface matched piezoelectric ultrasonic transducer array with wide field of view
US4240003A (en) * 1979-03-12 1980-12-16 Hewlett-Packard Company Apparatus and method for suppressing mass/spring mode in acoustic imaging transducers
US4277711A (en) * 1979-10-11 1981-07-07 Hewlett-Packard Company Acoustic electric transducer with shield of controlled thickness
US4385255A (en) * 1979-11-02 1983-05-24 Yokogawa Electric Works, Ltd. Linear array ultrasonic transducer
JPS5728500A (en) * 1980-07-29 1982-02-16 Kureha Chem Ind Co Ltd Ultrasonic wave transducer
JPS5863300A (ja) * 1981-10-12 1983-04-15 Keisuke Honda マルチ周波数振動子
JPS6098799A (ja) * 1983-11-02 1985-06-01 Olympus Optical Co Ltd 積層型超音波トランスデユ−サ
JPS60100950A (ja) * 1983-11-09 1985-06-04 松下電器産業株式会社 超音波探触子
EP0190948B1 (en) * 1985-02-08 1992-01-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ultrasonic probe
US4803763A (en) * 1986-08-28 1989-02-14 Nippon Soken, Inc. Method of making a laminated piezoelectric transducer

Also Published As

Publication number Publication date
DE69109923T2 (de) 1995-11-16
EP0451984A3 (en) 1992-07-22
EP0451984B1 (en) 1995-05-24
US5163436A (en) 1992-11-17
EP0451984A2 (en) 1991-10-16
JPH04211600A (ja) 1992-08-03
DE69109923D1 (de) 1995-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3015481B2 (ja) 超音波プローブ・システム
JP2758199B2 (ja) 超音波探触子
US5957851A (en) Extended bandwidth ultrasonic transducer
JP3950755B2 (ja) イメージング・システムの分解能を高める超音波トランスデューサ
Oralkan et al. Capacitive micromachined ultrasonic transducers: Next-generation arrays for acoustic imaging?
Zhou et al. Fabrication and performance of endoscopic ultrasound radial arrays based on PMN-PT single crystal/epoxy 1-3 composite
JPH02217000A (ja) 超音波探触子
JPS63255044A (ja) 複数の周波数で動作する特に医用イメージング用音響変換器
JPH0889505A (ja) 超音波プローブの製造方法
JPH11155863A (ja) 超音波探触子
JPH05244691A (ja) 超音波探触子
Mitra et al. Low-cost scalable PCB-based 2-D transducer arrays for volumetric photoacoustic imaging
US6416478B1 (en) Extended bandwidth ultrasonic transducer and method
US4958327A (en) Ultrasonic imaging apparatus
WO2022210887A1 (ja) 超音波プローブヘッド、超音波プローブ、及び超音波診断装置
JP3280677B2 (ja) 超音波プローブおよびその製造方法
JPH0630933A (ja) 超音波探触子
JPS6323060Y2 (ja)
JPH04273699A (ja) 超音波検査装置
JPH06121390A (ja) 超音波探触子
JP2506748Y2 (ja) 超音波深触子
JPS63175761A (ja) 超音波探触子
JPH025082B2 (ja)
Shung et al. High-frequency ultrasonic transducers and arrays
JPS63173954A (ja) 超音波診断装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees