JP3005783B2 - ワイヤクランパ - Google Patents
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the groups H01L21/18 - H01L21/326 or H10D48/04 - H10D48/07 e.g. sealing of a cap to a base of a container
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンデイング装
置におけるワイヤクランパに関する。
置におけるワイヤクランパに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤクランパとして、例えば特
公昭６１ー２２９４号公報に示すものが知られている。
この構造は、可動アームを固定アーム側にばねで付勢
し、可動アームをソレノイドで開閉させている。即ち、
ソレノイドに通電することにより該ソレノイドの突き棒
で前記ばねの付勢力に抗して可動アームを押して該可動
アームを開く。またソレノイドの通電をオフにすると、
可動アームはばねの付勢力で閉じてワイヤをクランプす
る。
公昭６１ー２２９４号公報に示すものが知られている。
この構造は、可動アームを固定アーム側にばねで付勢
し、可動アームをソレノイドで開閉させている。即ち、
ソレノイドに通電することにより該ソレノイドの突き棒
で前記ばねの付勢力に抗して可動アームを押して該可動
アームを開く。またソレノイドの通電をオフにすると、
可動アームはばねの付勢力で閉じてワイヤをクランプす
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、アー
ム部の開閉をソレノイドで行うので、重量が重く、また
応答性が遅いという問題点があった。またワイヤを押さ
える荷重（クランプ荷重）は約４０〜５０ｇｒのばねの
付勢力によるので、ボンデイングヘッドを高速移動させ
ると、可動アームがふらつき、クランプ荷重が安定しな
いという問題点があった。またクランプ荷重は、ばねの
付勢力によるので、クランプ荷重の変更はばねを交換し
なければならなく、また所望とするクランプ荷重を容易
に得ることは困難であり、その調整に多大の時間を要し
ていた。
ム部の開閉をソレノイドで行うので、重量が重く、また
応答性が遅いという問題点があった。またワイヤを押さ
える荷重（クランプ荷重）は約４０〜５０ｇｒのばねの
付勢力によるので、ボンデイングヘッドを高速移動させ
ると、可動アームがふらつき、クランプ荷重が安定しな
いという問題点があった。またクランプ荷重は、ばねの
付勢力によるので、クランプ荷重の変更はばねを交換し
なければならなく、また所望とするクランプ荷重を容易
に得ることは困難であり、その調整に多大の時間を要し
ていた。
【０００４】本願出願人は、上記従来技術の問題点を解
決したものを特願平４−８７４５４号として出願した。
この構成は、開閉してワイヤをクランプする一対のクラ
ンパ片がそれぞれ固定された一対のアーム部を有するワ
イヤボンデイング装置のワイヤクランパにおいて、少な
くとも一方のアーム部の開閉を圧電素子の電歪又は磁歪
効果により開閉させるように構成している。即ち、圧電
素子でアーム部の開閉を行うので、軽量化が図れ、また
応答性が著しく向上する。また圧電素子の駆動力でアー
ム部を開閉させてクランプ荷重を得るので、ボンデイン
グヘッドが高速移動する際にもクランプ部がふらつくこ
とがなく、クランプ荷重が安定する。更に圧電素子に加
える電圧値によってクランプ荷重が得られるので、所望
とするクランプ荷重値を任意に容易に設定できる。
決したものを特願平４−８７４５４号として出願した。
この構成は、開閉してワイヤをクランプする一対のクラ
ンパ片がそれぞれ固定された一対のアーム部を有するワ
イヤボンデイング装置のワイヤクランパにおいて、少な
くとも一方のアーム部の開閉を圧電素子の電歪又は磁歪
効果により開閉させるように構成している。即ち、圧電
素子でアーム部の開閉を行うので、軽量化が図れ、また
応答性が著しく向上する。また圧電素子の駆動力でアー
ム部を開閉させてクランプ荷重を得るので、ボンデイン
グヘッドが高速移動する際にもクランプ部がふらつくこ
とがなく、クランプ荷重が安定する。更に圧電素子に加
える電圧値によってクランプ荷重が得られるので、所望
とするクランプ荷重値を任意に容易に設定できる。
【０００５】ところで、上記出願中のワイヤクランパに
ついて本願発明者は種々試作実験を重ねた結果、次のよ
うな問題点があることが判明した。圧電素子に電圧を印
加しない状態における初期クランプ荷重（クランパ片に
よってワイヤをクランプするクランプ荷重）は、クラン
パ片が固定されたアーム部のばね性のみに依存するの
で、ワイヤクランパ毎にクランプ荷重が変動する。そこ
で、クランプ荷重を一定にするには、圧電素子に印加す
る印加電圧を調整しなければならない。またクランプ荷
重のばらつきの大きいものは、印加電圧の調整だけでは
対処できない場合もある。
ついて本願発明者は種々試作実験を重ねた結果、次のよ
うな問題点があることが判明した。圧電素子に電圧を印
加しない状態における初期クランプ荷重（クランパ片に
よってワイヤをクランプするクランプ荷重）は、クラン
パ片が固定されたアーム部のばね性のみに依存するの
で、ワイヤクランパ毎にクランプ荷重が変動する。そこ
で、クランプ荷重を一定にするには、圧電素子に印加す
る印加電圧を調整しなければならない。またクランプ荷
重のばらつきの大きいものは、印加電圧の調整だけでは
対処できない場合もある。
【０００６】本発明の目的は、一定品質のクランプ荷重
が得られるワイヤクランパを提供することにある。
が得られるワイヤクランパを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の構成は、開閉してワイヤをクランプす
る一対のクランパ片がそれぞれ固定された一対のアーム
部を有し、少なくとも一方のアーム部の開閉を圧電素子
の電歪又は磁歪効果により開閉させるように構成したワ
イヤボンデイング装置のワイヤクランパにおいて、前記
クランパ片の初期のクランプ荷重を設定するクランプ荷
重調整手段を設け、前記クランプ荷重調整手段は、前記
一対のアーム部を有するクランパ本体の前記圧電素子取
付け部に形成されたダイヤフラム部と、このダイヤフラ
ム部を通して前記圧電素子に予圧を掛けることによって
前記アーム部を開閉させるクランプ荷重調整ねじとから
なることを特徴とする。
の本発明の第１の構成は、開閉してワイヤをクランプす
る一対のクランパ片がそれぞれ固定された一対のアーム
部を有し、少なくとも一方のアーム部の開閉を圧電素子
の電歪又は磁歪効果により開閉させるように構成したワ
イヤボンデイング装置のワイヤクランパにおいて、前記
クランパ片の初期のクランプ荷重を設定するクランプ荷
重調整手段を設け、前記クランプ荷重調整手段は、前記
一対のアーム部を有するクランパ本体の前記圧電素子取
付け部に形成されたダイヤフラム部と、このダイヤフラ
ム部を通して前記圧電素子に予圧を掛けることによって
前記アーム部を開閉させるクランプ荷重調整ねじとから
なることを特徴とする。
【０００８】また上記目的を達成するための本発明の第
２の構成は、開閉してワイヤをクランプする一対のクラ
ンパ片がそれぞれ固定された一対のアーム部を有し、少
なくとも一方のアーム部の開閉を圧電素子の電歪又は磁
歪効果により開閉させるように構成したワイヤボンデイ
ング装置のワイヤクランパにおいて、前記クランパ片の
初期のクランプ荷重を設定するクランプ荷重調整手段
と、前記一方のクランパ片を接着剤を介して一方のアー
ム部に固定する際に、前記一方のクランパ片を他方のア
ーム部に固定された他方のクランパ片に押圧させるクラ
ンパ片調整手段とを設け、前記クランプ荷重調整手段
は、前記一対のアーム部を有するクランパ本体の前記圧
電素子取付け部に形成されたダイヤフラム部と、このダ
イヤフラム部を通して前記圧電素子に予圧を掛けること
によって前記アーム部を開閉させるクランプ荷重調整ね
じとからなることを特徴とする。
２の構成は、開閉してワイヤをクランプする一対のクラ
ンパ片がそれぞれ固定された一対のアーム部を有し、少
なくとも一方のアーム部の開閉を圧電素子の電歪又は磁
歪効果により開閉させるように構成したワイヤボンデイ
ング装置のワイヤクランパにおいて、前記クランパ片の
初期のクランプ荷重を設定するクランプ荷重調整手段
と、前記一方のクランパ片を接着剤を介して一方のアー
ム部に固定する際に、前記一方のクランパ片を他方のア
ーム部に固定された他方のクランパ片に押圧させるクラ
ンパ片調整手段とを設け、前記クランプ荷重調整手段
は、前記一対のアーム部を有するクランパ本体の前記圧
電素子取付け部に形成されたダイヤフラム部と、このダ
イヤフラム部を通して前記圧電素子に予圧を掛けること
によって前記アーム部を開閉させるクランプ荷重調整ね
じとからなることを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記第１の構成によれば、クランプ荷重調整ね
じをねじ込んでダイヤフラム部を押すことにより、一対
のクランパ片の間隔を自由に調整することができ、例え
ば一対のクランパ片が軽く密着した状態に調整すること
により、圧電素子に電圧を加えない場合の初期のクラン
プ荷重を一定に調整することができる。即ち、ワイヤク
ランパ毎の初期クランプ荷重のばらつきが小さくなるの
で、圧電素子に印加する同じ印加電圧でクランパ片の同
じ開き量が得られる。
じをねじ込んでダイヤフラム部を押すことにより、一対
のクランパ片の間隔を自由に調整することができ、例え
ば一対のクランパ片が軽く密着した状態に調整すること
により、圧電素子に電圧を加えない場合の初期のクラン
プ荷重を一定に調整することができる。即ち、ワイヤク
ランパ毎の初期クランプ荷重のばらつきが小さくなるの
で、圧電素子に印加する同じ印加電圧でクランパ片の同
じ開き量が得られる。
【００１０】上記第２の構成によれば、上記第１の作用
の他に、一方のクランパ片は接着剤が硬化前にクランプ
荷重調整手段によって前記一方のクランパ片を他方のク
ランパ片に近接させることができ、この状態でクランパ
片調整ねじによって一方のクランパ片を他方のクランパ
片に密着させることができるので、一対のクランパ片の
平行度の精度が向上する。
の他に、一方のクランパ片は接着剤が硬化前にクランプ
荷重調整手段によって前記一方のクランパ片を他方のク
ランパ片に近接させることができ、この状態でクランパ
片調整ねじによって一方のクランパ片を他方のクランパ
片に密着させることができるので、一対のクランパ片の
平行度の精度が向上する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３によ
り説明する。図１に示すように、装置に固定されたクラ
ンパ支持体１には、クランパ本体２が固定されている。
クランパ本体２は、クランパ支持体１にねじ３で固定さ
れる固定部２１と、一対のクランパ片４Ａ、４Ｂがそれ
ぞれ固定された一対のアーム部２２Ａ、２２Ｂとを有
し、固定部２１とアーム部２２Ａ、２２Ｂの結合部に
は、弾性変形可能なくびれ部２３Ａ、２３Ｂが形成され
ている。またアーム部２２Ａ、２２Ｂの前記くびれ部２
３Ａ、２３Ｂの内側部にも弾性変形可能なくびれ部２４
Ａ、２４Ｂが形成され、くびれ部２４Ａ、２４Ｂは連結
されて作用部２５となっている。ここで、くびれ部２３
Ａ、２３Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂは、クランパ片４Ａ、４
Ｂが閉じる方向にばね性を有するように形成されてい
る。
り説明する。図１に示すように、装置に固定されたクラ
ンパ支持体１には、クランパ本体２が固定されている。
クランパ本体２は、クランパ支持体１にねじ３で固定さ
れる固定部２１と、一対のクランパ片４Ａ、４Ｂがそれ
ぞれ固定された一対のアーム部２２Ａ、２２Ｂとを有
し、固定部２１とアーム部２２Ａ、２２Ｂの結合部に
は、弾性変形可能なくびれ部２３Ａ、２３Ｂが形成され
ている。またアーム部２２Ａ、２２Ｂの前記くびれ部２
３Ａ、２３Ｂの内側部にも弾性変形可能なくびれ部２４
Ａ、２４Ｂが形成され、くびれ部２４Ａ、２４Ｂは連結
されて作用部２５となっている。ここで、くびれ部２３
Ａ、２３Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂは、クランパ片４Ａ、４
Ｂが閉じる方向にばね性を有するように形成されてい
る。
【００１２】作用部２５に対応した固定部２１には、変
形可能なダイヤフラム部２６を有するようにスリット溝
２７が形成されている。そして、作用部２５とダイヤフ
ラム部２６間には、積層圧電アクチュエータ（以下、圧
電素子という）５の両端部が固定されている。圧電素子
５は、圧電素子制御電源６によって駆動される。ここ
で、圧電素子５は、その歪方向がクランパ片４Ａ、４Ｂ
のクランプ面方向になるように配設されている。また固
定部２１にはダイヤフラム部２６を押圧するクランプ荷
重調整ねじ７が螺合されている。図２に示すように、前
記クランパ片４Ａは、接着剤８を介してアーム部２２Ａ
に固定され、またクランパ片４Ａに対応したアーム部２
２Ａの部分には、先端が円錐又は丸く形成されたクラン
パ片調整ねじ９が螺合されている。前記クランパ片４Ｂ
はアーム部２２Ｂに圧入固定されている。なお、クラン
プ荷重調整ねじ７及びクランパ片調整ねじ９の作用は後
述する。
形可能なダイヤフラム部２６を有するようにスリット溝
２７が形成されている。そして、作用部２５とダイヤフ
ラム部２６間には、積層圧電アクチュエータ（以下、圧
電素子という）５の両端部が固定されている。圧電素子
５は、圧電素子制御電源６によって駆動される。ここ
で、圧電素子５は、その歪方向がクランパ片４Ａ、４Ｂ
のクランプ面方向になるように配設されている。また固
定部２１にはダイヤフラム部２６を押圧するクランプ荷
重調整ねじ７が螺合されている。図２に示すように、前
記クランパ片４Ａは、接着剤８を介してアーム部２２Ａ
に固定され、またクランパ片４Ａに対応したアーム部２
２Ａの部分には、先端が円錐又は丸く形成されたクラン
パ片調整ねじ９が螺合されている。前記クランパ片４Ｂ
はアーム部２２Ｂに圧入固定されている。なお、クラン
プ荷重調整ねじ７及びクランパ片調整ねじ９の作用は後
述する。
【００１３】まず、図１のように組立られたワイヤクラ
ンパの作用について説明する。圧電素子５に電圧を加え
ない時は、クランパ片４Ａ、４Ｂはある一定のクランプ
荷重で図示しないワイヤをクランプする。そこで、圧電
素子５に電圧を加えると、電歪又は磁歪効果により圧電
素子５はクランパ片４Ａ、４Ｂ方向に伸び、作用部２５
が同方向（左方向）に移動させられる。これにより、く
びれ部２３Ａ、２３Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂが外側方向に
たわみ、クランパ片４Ａ、４Ｂは開状態となる。このク
ランパ片４Ａ、４Ｂの移動量は、作用部２５からくびれ
部２３Ａ、２３Ｂの長さとくびれ部２３Ａ、２３Ｂから
クランパ片４Ａ、４Ｂのワイヤをクランプする面までの
長さの比で圧電素子５の伸び量が拡大される。
ンパの作用について説明する。圧電素子５に電圧を加え
ない時は、クランパ片４Ａ、４Ｂはある一定のクランプ
荷重で図示しないワイヤをクランプする。そこで、圧電
素子５に電圧を加えると、電歪又は磁歪効果により圧電
素子５はクランパ片４Ａ、４Ｂ方向に伸び、作用部２５
が同方向（左方向）に移動させられる。これにより、く
びれ部２３Ａ、２３Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂが外側方向に
たわみ、クランパ片４Ａ、４Ｂは開状態となる。このク
ランパ片４Ａ、４Ｂの移動量は、作用部２５からくびれ
部２３Ａ、２３Ｂの長さとくびれ部２３Ａ、２３Ｂから
クランパ片４Ａ、４Ｂのワイヤをクランプする面までの
長さの比で圧電素子５の伸び量が拡大される。
【００１４】前記した現象を更に詳記すると、図３に示
すように、圧電素子５へ加える電圧が０（ゼロ）で、ク
ランプ荷重がＷ２の状態より圧電素子５に電圧を加える
と、クランプ荷重はその電圧に比例して小さくなる。そ
して、電圧がＥ２になると、クランパ片４Ａ、４Ｂはワ
イヤに接した状態になり、クランプ荷重は０となる。更
に電圧を上げると、クランパ片４Ａ、４Ｂはワイヤより
離れて開状態となる。従って、実際のワイヤボンデイン
グにおいて、ワイヤをクランプさせる場合における所望
とするクランプ荷重Ｗ１は、電圧Ｅ１によって得られ
る。そこで、予め電圧とクランプ荷重の関係を測定して
おき、クランパ片４Ａ、４Ｂがワイヤに接するところ、
即ちクランプ荷重が０になる電圧値より電圧を一定量下
げることにより所望とするクランプ荷重を設定できる。
すように、圧電素子５へ加える電圧が０（ゼロ）で、ク
ランプ荷重がＷ２の状態より圧電素子５に電圧を加える
と、クランプ荷重はその電圧に比例して小さくなる。そ
して、電圧がＥ２になると、クランパ片４Ａ、４Ｂはワ
イヤに接した状態になり、クランプ荷重は０となる。更
に電圧を上げると、クランパ片４Ａ、４Ｂはワイヤより
離れて開状態となる。従って、実際のワイヤボンデイン
グにおいて、ワイヤをクランプさせる場合における所望
とするクランプ荷重Ｗ１は、電圧Ｅ１によって得られ
る。そこで、予め電圧とクランプ荷重の関係を測定して
おき、クランパ片４Ａ、４Ｂがワイヤに接するところ、
即ちクランプ荷重が０になる電圧値より電圧を一定量下
げることにより所望とするクランプ荷重を設定できる。
【００１５】そこで、実際の使用状態においては、ワイ
ヤクランプ時において電圧をＥ１とし、ワイヤ開状態に
おいて電圧をＥ３として使用する。具体的な１例を示す
と、電圧が０の時、クランプ荷重Ｗ２が約８０〜１００
ｇｒになるように、また電圧Ｅ３が１００Ｖの時にクラ
ンパ片４Ａ、４Ｂがワイヤより約５０〜７０μｍ離れる
ようにワイヤクランパを製作し、電圧Ｅ１が約５０〜６
０Ｖの時、クランプ荷重Ｗ１が約４０〜５０ｇｒになる
ように設定する。
ヤクランプ時において電圧をＥ１とし、ワイヤ開状態に
おいて電圧をＥ３として使用する。具体的な１例を示す
と、電圧が０の時、クランプ荷重Ｗ２が約８０〜１００
ｇｒになるように、また電圧Ｅ３が１００Ｖの時にクラ
ンパ片４Ａ、４Ｂがワイヤより約５０〜７０μｍ離れる
ようにワイヤクランパを製作し、電圧Ｅ１が約５０〜６
０Ｖの時、クランプ荷重Ｗ１が約４０〜５０ｇｒになる
ように設定する。
【００１６】このように、圧電素子５でアーム部２２
Ａ、２２Ｂの開閉を行うので、次のような効果が得られ
る。従来におけるソレノイドの自重は約２０〜３０ｇｒ
であるが、本実施例における圧電素子５の自重は約０．
５〜５ｇｒであり、軽量化が図れる。またソレノイドは
応答時間が１．５〜２．０ｍｓであるが、圧電素子５は
０．０５〜０．３ｍｓであり、応答時間が著しく向上す
る。更に、従来はばねの付勢力でクランプ荷重を得てい
たので、ボンデイングヘッドが高速移動する際にクラン
パ片がふらついたが、本実施例における圧電素子５は駆
動力が大きいため、アーム部２２Ａ、２２Ｂのくびれ部
２３Ａ、２３Ｂ、２４Ａ、２４Ｂの剛性を高くでき、ボ
ンデイングヘッドが高速移動する際にもクランパ片４
Ａ、４Ｂがふらつくことがなく、クランプ荷重が安定す
る。また本実施例においては、圧電素子５に加える電圧
値によってクランプ荷重が得られるので、所望とするク
ランプ荷重値を任意に容易に設定できる。
Ａ、２２Ｂの開閉を行うので、次のような効果が得られ
る。従来におけるソレノイドの自重は約２０〜３０ｇｒ
であるが、本実施例における圧電素子５の自重は約０．
５〜５ｇｒであり、軽量化が図れる。またソレノイドは
応答時間が１．５〜２．０ｍｓであるが、圧電素子５は
０．０５〜０．３ｍｓであり、応答時間が著しく向上す
る。更に、従来はばねの付勢力でクランプ荷重を得てい
たので、ボンデイングヘッドが高速移動する際にクラン
パ片がふらついたが、本実施例における圧電素子５は駆
動力が大きいため、アーム部２２Ａ、２２Ｂのくびれ部
２３Ａ、２３Ｂ、２４Ａ、２４Ｂの剛性を高くでき、ボ
ンデイングヘッドが高速移動する際にもクランパ片４
Ａ、４Ｂがふらつくことがなく、クランプ荷重が安定す
る。また本実施例においては、圧電素子５に加える電圧
値によってクランプ荷重が得られるので、所望とするク
ランプ荷重値を任意に容易に設定できる。
【００１７】次にクランプ荷重を正確に容易に測定及び
設定する方法の一実施例について説明する。アーム部２
２Ｂのクランパ片４Ｂ近傍に弾性変形可能なくびれ部２
８を形成し、このくびれ部２８にひずみゲージ１０を固
定する。このように構成すると、クランプ荷重によって
くびれ部２８のたわみ量が変化するので、ひずみゲージ
１０の出力値によりクランプ荷重との関係が判る。そこ
で、予めひずみゲージ１０の出力値とクランプ荷重との
関係を求めておくことにより、ひずみゲージ１０の出力
値によって圧電素子５に加える電圧を調整することがで
き、クランプ荷重を制御できる。
設定する方法の一実施例について説明する。アーム部２
２Ｂのクランパ片４Ｂ近傍に弾性変形可能なくびれ部２
８を形成し、このくびれ部２８にひずみゲージ１０を固
定する。このように構成すると、クランプ荷重によって
くびれ部２８のたわみ量が変化するので、ひずみゲージ
１０の出力値によりクランプ荷重との関係が判る。そこ
で、予めひずみゲージ１０の出力値とクランプ荷重との
関係を求めておくことにより、ひずみゲージ１０の出力
値によって圧電素子５に加える電圧を調整することがで
き、クランプ荷重を制御できる。
【００１８】図４は本発明の他の実施例を示す。前記実
施例は、両方のアーム部２２Ａ、２２Ｂを開閉させた
が、本実施例は一方のアーム部２２Ｂのみを開閉させる
ように構成して成る。即ち、前記実施例におけるくびれ
部２３Ａはなくしてこの部分を剛体とし、またアーム部
２２Ａと作用部２５を切り離して成る。従って、本実施
例においては、アーム部２２Ｂのみが開閉することにな
る。このように構成しても前記実施例と同様の効果が得
られる。しかし、本実施例は、一方のアーム部２２Ｂの
みが開閉するので、圧電素子５の容量によつては所望と
する開き量が得られないことがあり、前記実施例のよう
に両方のアーム部２２Ａ、２２Ｂを開閉させた方が大き
な開き量が得られて好ましい。
施例は、両方のアーム部２２Ａ、２２Ｂを開閉させた
が、本実施例は一方のアーム部２２Ｂのみを開閉させる
ように構成して成る。即ち、前記実施例におけるくびれ
部２３Ａはなくしてこの部分を剛体とし、またアーム部
２２Ａと作用部２５を切り離して成る。従って、本実施
例においては、アーム部２２Ｂのみが開閉することにな
る。このように構成しても前記実施例と同様の効果が得
られる。しかし、本実施例は、一方のアーム部２２Ｂの
みが開閉するので、圧電素子５の容量によつては所望と
する開き量が得られないことがあり、前記実施例のよう
に両方のアーム部２２Ａ、２２Ｂを開閉させた方が大き
な開き量が得られて好ましい。
【００１９】次に図１及び図４に示すワイヤクランパの
組立について説明する。クランプ荷重調整ねじ７を緩め
た状態で作用部２５とダイヤフラム部２６間に圧電素子
５を挿入し接着剤で固定する。またクランパ片４Ｂはア
ーム部２２Ｂに圧入固定しておく。クランプ荷重調整ね
じ７をねじ込んでダイヤフラム部２６を押すと、圧電素
子５に予圧が掛かる。この予圧によってくびれ部２３
Ａ、２３Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂが外側方向にたわみ、ア
ーム部２２Ａとクランパ片４Ｂは開く。この開き量が後
記するようにアーム部２２Ａにクランパ片４Ａを取付け
た場合、クランパ片４Ａ、４Ｂの開き量が僅かな値、例
えば２０〜１００μｍになる所までクランプ荷重調整ね
じ７を回す。次にクランパ片４Ａを接着剤８を介してア
ーム部２２Ａに取付ける。ここで、接着剤８は、硬化時
間が比較的遅いものを使用する。そこで、接着剤８が硬
化する前に、クランパ片調整ねじ９をねじ込んでクラン
パ片４Ａをクランパ片４Ｂに完全に密着させる。そし
て、接着剤８が硬化するまで放置しておく。
組立について説明する。クランプ荷重調整ねじ７を緩め
た状態で作用部２５とダイヤフラム部２６間に圧電素子
５を挿入し接着剤で固定する。またクランパ片４Ｂはア
ーム部２２Ｂに圧入固定しておく。クランプ荷重調整ね
じ７をねじ込んでダイヤフラム部２６を押すと、圧電素
子５に予圧が掛かる。この予圧によってくびれ部２３
Ａ、２３Ｂ及び２４Ａ、２４Ｂが外側方向にたわみ、ア
ーム部２２Ａとクランパ片４Ｂは開く。この開き量が後
記するようにアーム部２２Ａにクランパ片４Ａを取付け
た場合、クランパ片４Ａ、４Ｂの開き量が僅かな値、例
えば２０〜１００μｍになる所までクランプ荷重調整ね
じ７を回す。次にクランパ片４Ａを接着剤８を介してア
ーム部２２Ａに取付ける。ここで、接着剤８は、硬化時
間が比較的遅いものを使用する。そこで、接着剤８が硬
化する前に、クランパ片調整ねじ９をねじ込んでクラン
パ片４Ａをクランパ片４Ｂに完全に密着させる。そし
て、接着剤８が硬化するまで放置しておく。
【００２０】前記した作業は、次のようにして行っても
よい。クランパ片４Ｂは前記の場合と同様にアーム部２
２Ｂに固定しておく。そして、クランプ荷重調整ねじ７
を緩めた状態で作用部２５とダイヤフラム部２６間に圧
電素子５を挿入し接着剤で固定する。次にクランプ荷重
調整ねじ７をねじ込んでダイヤフラム部２６を押す。こ
れにより、アーム部２２Ａ、２２Ｂが開く。この場合、
アーム部２２Ａのクランパ片４Ａ取付け面とクランパ片
４Ｂとの間隔がクランパ片４Ａの厚みより充分広くなる
ように開かせる。次にクランパ片調整ねじ９を緩めた状
態で接着剤８を介してクランパ片４Ａをアーム部２２Ａ
に取付ける。次にクランプ荷重調整ねじ７を緩め、クラ
ンパ片４Ａとクランパ片４Ｂとの間隔が僅かな値、例え
ば２０〜１００μｍになるまでに調整する。次にクラン
パ片調整ねじ９をねじ込んでクランパ片４Ａをクランパ
片４Ｂに完全に密着させる。そして、接着剤８が硬化す
るまで放置しておく。
よい。クランパ片４Ｂは前記の場合と同様にアーム部２
２Ｂに固定しておく。そして、クランプ荷重調整ねじ７
を緩めた状態で作用部２５とダイヤフラム部２６間に圧
電素子５を挿入し接着剤で固定する。次にクランプ荷重
調整ねじ７をねじ込んでダイヤフラム部２６を押す。こ
れにより、アーム部２２Ａ、２２Ｂが開く。この場合、
アーム部２２Ａのクランパ片４Ａ取付け面とクランパ片
４Ｂとの間隔がクランパ片４Ａの厚みより充分広くなる
ように開かせる。次にクランパ片調整ねじ９を緩めた状
態で接着剤８を介してクランパ片４Ａをアーム部２２Ａ
に取付ける。次にクランプ荷重調整ねじ７を緩め、クラ
ンパ片４Ａとクランパ片４Ｂとの間隔が僅かな値、例え
ば２０〜１００μｍになるまでに調整する。次にクラン
パ片調整ねじ９をねじ込んでクランパ片４Ａをクランパ
片４Ｂに完全に密着させる。そして、接着剤８が硬化す
るまで放置しておく。
【００２１】前記した作業によって接着剤８が硬化した
後は、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとの密着具合を
確認する。そして、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂと
が完全に密着しているか否かによって次の操作を行う。
クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとが完全に密着してい
る時は、クランプ荷重調整ねじ７をねじ込んでダイヤフ
ラム部２６を押し、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂが
若干離れるのを確認後、今度はクランプ荷重調整ねじ７
を逆に緩める方向に回し、クランパ片４Ａとクランパ片
４Ｂとを軽く密着させる。そして、クランプ荷重調整ね
じ７を接着剤等で固定する。クランパ片４Ａとクランパ
片４Ｂとが完全に密着していない場合には、クランプ荷
重調整ねじ７を緩める方向に回し、クランパ片４Ａとク
ランパ片４Ｂとを軽く密着させる。そして、クランプ荷
重調整ねじ７を接着剤等で固定する。
後は、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとの密着具合を
確認する。そして、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂと
が完全に密着しているか否かによって次の操作を行う。
クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとが完全に密着してい
る時は、クランプ荷重調整ねじ７をねじ込んでダイヤフ
ラム部２６を押し、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂが
若干離れるのを確認後、今度はクランプ荷重調整ねじ７
を逆に緩める方向に回し、クランパ片４Ａとクランパ片
４Ｂとを軽く密着させる。そして、クランプ荷重調整ね
じ７を接着剤等で固定する。クランパ片４Ａとクランパ
片４Ｂとが完全に密着していない場合には、クランプ荷
重調整ねじ７を緩める方向に回し、クランパ片４Ａとク
ランパ片４Ｂとを軽く密着させる。そして、クランプ荷
重調整ねじ７を接着剤等で固定する。
【００２２】このように、クランプ荷重調整ねじ７でク
ランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとの間隔を自由に調整す
ることができ、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとが軽
く密着した状態に調整することにより、圧電素子５に電
圧を加えない場合の初期のクランプ荷重（クランパ片４
Ａとクランパ片４Ｂとでワイヤをクランプする荷重）を
一定に調整することができる。即ち、ワイヤクランパ毎
の初期クランプ荷重のばらつきが小さくなるので、圧電
素子５に印加する同じ印加電圧でクランパ片４Ａとクラ
ンパ片４Ｂの同じ開き量が得られる。
ランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとの間隔を自由に調整す
ることができ、クランパ片４Ａとクランパ片４Ｂとが軽
く密着した状態に調整することにより、圧電素子５に電
圧を加えない場合の初期のクランプ荷重（クランパ片４
Ａとクランパ片４Ｂとでワイヤをクランプする荷重）を
一定に調整することができる。即ち、ワイヤクランパ毎
の初期クランプ荷重のばらつきが小さくなるので、圧電
素子５に印加する同じ印加電圧でクランパ片４Ａとクラ
ンパ片４Ｂの同じ開き量が得られる。
【００２３】またクランパ片４Ａは接着剤８が硬化前に
クランプ荷重調整ねじ７とクランパ片調整ねじ９とを利
用して前記したようにクランパ片４Ａをクランパ片４Ｂ
に密着させることができるので、クランパ片４Ａとクラ
ンパ片４Ｂとの平行度の精度が向上する。
クランプ荷重調整ねじ７とクランパ片調整ねじ９とを利
用して前記したようにクランパ片４Ａをクランパ片４Ｂ
に密着させることができるので、クランパ片４Ａとクラ
ンパ片４Ｂとの平行度の精度が向上する。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、開閉してワイヤをクラ
ンプする一対のクランパ片がそれぞれ固定された一対の
アーム部を有し、少なくとも一方のアーム部の開閉を圧
電素子の電歪又は磁歪効果により開閉させるように構成
したワイヤボンデイング装置のワイヤクランパにおい
て、前記クランパ片の初期のクランプ荷重を設定するク
ランプ荷重調整手段を設け、前記クランプ荷重調整手段
は、前記一対のアーム部を有するクランパ本体の前記圧
電素子取付け部に形成されたダイヤフラム部と、このダ
イヤフラム部を通して前記圧電素子に予圧を掛けること
によって前記アーム部を開閉させるクランプ荷重調整ね
じとからなるので、ワイヤクランパ毎の印加電圧の調整
の必要が無くなる。
ンプする一対のクランパ片がそれぞれ固定された一対の
アーム部を有し、少なくとも一方のアーム部の開閉を圧
電素子の電歪又は磁歪効果により開閉させるように構成
したワイヤボンデイング装置のワイヤクランパにおい
て、前記クランパ片の初期のクランプ荷重を設定するク
ランプ荷重調整手段を設け、前記クランプ荷重調整手段
は、前記一対のアーム部を有するクランパ本体の前記圧
電素子取付け部に形成されたダイヤフラム部と、このダ
イヤフラム部を通して前記圧電素子に予圧を掛けること
によって前記アーム部を開閉させるクランプ荷重調整ね
じとからなるので、ワイヤクランパ毎の印加電圧の調整
の必要が無くなる。
【図１】本発明になるワイヤクランパの一実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図２】クランパ片部分の拡大断面図である。
【図３】圧電素子に加える電圧とクランプ荷重との関係
図である。
図である。
【図４】本発明になるワイヤクランパの他の実施例を示
す平面図である。
す平面図である。
２ クランパ本体 ４Ａ、４Ｂ クランパ片 ５ 圧電素子 ７ クランプ荷重調整ねじ ８ 接着剤 ９ クランパ片調整ねじ ２２Ａ、２２Ｂ アーム部 ２６ ダイヤフラム部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60 301
Claims (2)
- 【請求項１】 開閉してワイヤをクランプする一対のク
ランパ片がそれぞれ固定された一対のアーム部を有し、
少なくとも一方のアーム部の開閉を圧電素子の電歪又は
磁歪効果により開閉させるように構成したワイヤボンデ
イング装置のワイヤクランパにおいて、前記クランパ片
の初期のクランプ荷重を設定するクランプ荷重調整手段
を設け、前記クランプ荷重調整手段は、前記一対のアー
ム部を有するクランパ本体の前記圧電素子取付け部に形
成されたダイヤフラム部と、このダイヤフラム部を通し
て前記圧電素子に予圧を掛けることによって前記アーム
部を開閉させるクランプ荷重調整ねじとからなることを
特徴とするワイヤクランパ。 - 【請求項２】 開閉してワイヤをクランプする一対のク
ランパ片がそれぞれ固定された一対のアーム部を有し、
少なくとも一方のアーム部の開閉を圧電素子の電歪又は
磁歪効果により開閉させるように構成したワイヤボンデ
イング装置のワイヤクランパにおいて、前記クランパ片
の初期のクランプ荷重を設定するクランプ荷重調整手段
と、前記一方のクランパ片を接着剤を介して一方のアー
ム部に固定する際に、前記一方のクランパ片を他方のア
ーム部に固定された他方のクランパ片に押圧させるクラ
ンパ片調整手段とを設け、前記クランプ荷重調整手段
は、前記一対のアーム部を有するクランパ本体の前記圧
電素子取付け部に形成されたダイヤフラム部と、このダ
イヤフラム部を通して前記圧電素子に予圧を掛けること
によって前記アーム部を開閉させるクランプ荷重調整ね
じとからなることを特徴とするワイヤクランパ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5072854A JP3005783B2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ワイヤクランパ |
| US08/190,307 US5435477A (en) | 1993-03-09 | 1994-02-02 | Wire clampers |
| KR1019940003142A KR0145149B1 (ko) | 1993-03-09 | 1994-02-22 | 와이어 클램퍼 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5072854A JP3005783B2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ワイヤクランパ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06260523A JPH06260523A (ja) | 1994-09-16 |
| JP3005783B2 true JP3005783B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=13501374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5072854A Expired - Fee Related JP3005783B2 (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ワイヤクランパ |
Country Status (3)
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|---|---|
| US (1) | US5435477A (ja) |
| JP (1) | JP3005783B2 (ja) |
| KR (1) | KR0145149B1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP3079503B2 (ja) * | 1995-09-13 | 2000-08-21 | 株式会社新川 | クランプ装置 |
| JPH1089357A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-07 | Nippon Thompson Co Ltd | 直動案内装置用の制動装置 |
| US5907269A (en) * | 1997-06-06 | 1999-05-25 | Etrema Products, Inc. | Magnetostrictive clamping device |
| US5901896A (en) * | 1997-06-26 | 1999-05-11 | Kulicke And Soffa Investments, Inc | Balanced low mass miniature wire clamp |
| US6836056B2 (en) | 2000-02-04 | 2004-12-28 | Viking Technologies, L.C. | Linear motor having piezo actuators |
| US6437226B2 (en) | 2000-03-07 | 2002-08-20 | Viking Technologies, Inc. | Method and system for automatically tuning a stringed instrument |
| US6548938B2 (en) | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
| US6717332B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-04-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a support structure and actuator |
| US6759790B1 (en) | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| US6879087B2 (en) | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
| KR100403131B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2003-10-30 | 동부전자 주식회사 | 도체위치변경 와이어클램프 |
| US6758098B1 (en) | 2002-02-20 | 2004-07-06 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Force-measuring clamp |
| AU2003243697A1 (en) * | 2002-06-21 | 2004-01-06 | Viking Technologies, L.C. | Uni-body piezoelectric motor |
| JP4791957B2 (ja) * | 2003-04-04 | 2011-10-12 | バイキング テクノロジィーズ エル．シー． | 機能材料アクチュエータ製品からの仕事を最適化する機器および方法 |
| US20070176514A1 (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | Taiwan Advanced Materials Technologies Corp. | Electromechanical actuator structure |
| CH698828B1 (de) * | 2007-06-11 | 2009-11-13 | Esec Ag | Drahtklammer für einen Wire Bonder. |
| KR101409460B1 (ko) * | 2008-02-12 | 2014-06-19 | 삼성전자주식회사 | 와이어 클램프 및 이를 구비한 와이어 본딩 장치 |
| US9446524B2 (en) * | 2013-11-14 | 2016-09-20 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Wire clamp with piezoelectric actuator and method and apparatus for applying a preload force to the piezoelectric actuator |
| TWI643276B (zh) * | 2016-08-23 | 2018-12-01 | Shinkawa Ltd. | 夾線裝置的校準方法以及打線裝置 |
| CN112775532B (zh) * | 2020-12-28 | 2022-02-18 | 云南经济管理学院 | 一种钢板冲压焊接设备 |
| US11798911B1 (en) * | 2022-04-25 | 2023-10-24 | Asmpt Singapore Pte. Ltd. | Force sensor in an ultrasonic wire bonding device |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57211240A (en) * | 1981-06-22 | 1982-12-25 | Hitachi Ltd | Wire bonder |
| JPS612294A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | 松下電器産業株式会社 | 高周波加熱装置の操作パネル装置 |
| JPS6179238A (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-22 | Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd | ボンデイングツ−ル及びそのボンデイングツ−ルを備えたワイヤボンデイング装置及びそのボンデイングツ−ルを用いたワイヤボンデイング方法ならびにそのボンデイングツ−ルを用いて得られた半導体装置 |
| JPS61101042A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-19 | Hitachi Ltd | ボンデイング装置 |
| JPH0616519B2 (ja) * | 1988-02-03 | 1994-03-02 | 日本電気株式会社 | ワイヤクランプ装置 |
| JP2743394B2 (ja) * | 1988-09-02 | 1998-04-22 | 松下電器産業株式会社 | ワイヤクランプ方法及び装置 |
| JPH02130844A (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-18 | Toshiba Seiki Kk | ワイヤボンディング装置のクランパ |
| US5314175A (en) * | 1990-02-27 | 1994-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Wire clamping device and wire clamping method |
| JP2981948B2 (ja) * | 1992-03-12 | 1999-11-22 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
-
1993
- 1993-03-09 JP JP5072854A patent/JP3005783B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-02-02 US US08/190,307 patent/US5435477A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-02-22 KR KR1019940003142A patent/KR0145149B1/ko not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0145149B1 (ko) | 1998-08-17 |
| KR940022763A (ko) | 1994-10-21 |
| US5435477A (en) | 1995-07-25 |
| JPH06260523A (ja) | 1994-09-16 |
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