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JP3044994B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents

Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

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Publication number
JP3044994B2
JP3044994B2 JP5319720A JP31972093A JP3044994B2 JP 3044994 B2 JP3044994 B2 JP 3044994B2 JP 5319720 A JP5319720 A JP 5319720A JP 31972093 A JP31972093 A JP 31972093A JP 3044994 B2 JP3044994 B2 JP 3044994B2
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JP
Japan
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ceramic laminate
ceramic
die assembly
laminate
electronic component
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JP5319720A
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Japanese (ja)
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JPH07176449A (en
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正春 了源
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication of JPH07176449A publication Critical patent/JPH07176449A/en
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  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、積層セラミック電子
部品の製造方法に関するもので、特に、複数のセラミッ
クグリーンシートを積層して得られたセラミック積層体
を圧縮成形する工程の改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, and more particularly to an improvement in a process of compression-molding a ceramic laminate obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets. .

【0002】[0002]

【従来の技術】この発明にとって興味ある積層セラミッ
ク電子部品としては、たとえば、積層セラミックコンデ
ンサ、積層セラミック複合部品、積層セラミック多層回
路基板、等がある。このような積層セラミック電子部品
の製造方法には、共通して、複数のセラミックグリーン
シートを積層してセラミック積層体を得る工程と、この
セラミック積層体を積層方向に圧縮する工程とを含んで
いる。セラミック積層体が複数個の部品を得るためのも
のであれば、圧縮成形された後、個々の部品となるよう
に切断され、次いで、焼成工程に付される。セラミック
積層体が1個の部品を得るためのものであれば、圧縮成
形の後、そのまま焼成工程に付される。
2. Description of the Related Art Multilayer ceramic electronic components of interest to the present invention include, for example, multilayer ceramic capacitors, multilayer ceramic composite components, multilayer ceramic multilayer circuit boards, and the like. Such a method of manufacturing a laminated ceramic electronic component includes a step of laminating a plurality of ceramic green sheets to obtain a ceramic laminated body, and a step of compressing the ceramic laminated body in the laminating direction. . If the ceramic laminate is for obtaining a plurality of components, it is compression molded, cut into individual components, and then subjected to a firing step. If the ceramic laminate is for obtaining one component, it is subjected to a firing step as it is after compression molding.

【0003】上述したようなセラミック積層体を圧縮す
る工程において、静水圧プレス法を適用することが、圧
縮成形のための圧力を均一にかけられる点で注目されて
いる。特開平2−161713号公報では、静水圧プレ
ス法を適用して、セラミック積層体を圧縮成形するため
のいくつかの方法が記載されている。この公報に記載さ
れる方法のうち、この発明にとって興味ある圧縮成形工
程が図3に示されている。
In the step of compressing a ceramic laminate as described above, attention has been paid to applying an isostatic pressing method in that the pressure for compression molding can be applied uniformly. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-161713 describes several methods for compression-molding a ceramic laminate by applying an isostatic pressing method. Among the methods described in this publication, a compression molding step that is of interest to the present invention is shown in FIG.

【0004】図3を参照して、複数のセラミックグリー
ンシートを積層して得られたセラミック積層体1が示さ
れている。このようなセラミック積層体1を積層方向に
圧縮するため、ダイアセンブリ2が用意され、ダイアセ
ンブリ2にセラミック積層体1が装填される。
FIG. 3 shows a ceramic laminate 1 obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets. In order to compress such a ceramic laminate 1 in the laminating direction, a die assembly 2 is prepared, and the ceramic laminate 1 is loaded into the die assembly 2.

【0005】ダイアセンブリ2は、パッド部材3、ベー
ス部材4および枠部材5を備える。ベース部材4の上面
には、枠部材5との間での位置決めを達成するため、段
部6が設けられる。また、パッド部材3は、枠部材5の
内周に嵌合しながらセラミック積層体1の主面に向かっ
て移動可能とされるような寸法に選ばれる。
The die assembly 2 includes a pad member 3, a base member 4, and a frame member 5. A step 6 is provided on the upper surface of the base member 4 to achieve positioning with respect to the frame member 5. The pad member 3 is selected to have such a size that it can be moved toward the main surface of the ceramic laminate 1 while being fitted to the inner periphery of the frame member 5.

【0006】また、パッド部材3とセラミック積層体1
との間、およびベース部材4とセラミック積層体1との
間には、それぞれ、弾性シート7および8が介在され
る。また、パッド部材3の外側には、弾性シート9が配
置される。さらに、上述のようにセラミック積層体1を
装填したダイアセンブリ2は、弾性シート9とともに、
たとえばラミネート袋のような袋10内に入れられ、真
空パックされる。なお、図3では、袋10とダイアセン
ブリ2との間に間隔が形成されて図示されているが、真
空パックされた後では、袋10はダイアセンブリ2等に
密着する。
The pad member 3 and the ceramic laminate 1
And between the base member 4 and the ceramic laminate 1, elastic sheets 7 and 8 are interposed, respectively. An elastic sheet 9 is arranged outside the pad member 3. Furthermore, the die assembly 2 loaded with the ceramic laminate 1 as described above, together with the elastic sheet 9,
For example, it is put in a bag 10 such as a laminate bag and vacuum-packed. In FIG. 3, although a space is formed between the bag 10 and the die assembly 2, the bag 10 is in close contact with the die assembly 2 and the like after vacuum packing.

【0007】上述した弾性シート9は、袋10の外部か
ら圧力が加わったとき、袋10が破れることを防止す
る。また、ダイアセンブリ2の外表面には、アール部を
形成するなどして、袋10が破れにくいようにされてい
る。
The elastic sheet 9 prevents the bag 10 from being broken when pressure is applied from the outside of the bag 10. The outer surface of the die assembly 2 is formed with a rounded portion so that the bag 10 is hardly broken.

【0008】図3に示した状態で、セラミック積層体1
は、静水圧プレス装置(図示せず)の水槽内に入れら
れ、水槽内の水が加圧される。これによって、セラミッ
ク積層体1は、ダイアセンブリ2を介して圧縮される。
その後、このように圧縮成形を終えたセラミック積層体
1は、水槽から取り出され、袋10が破られた後、ダイ
アセンブリ2から取り出される。
[0008] In the state shown in FIG.
Is placed in a water tank of a hydrostatic press (not shown), and water in the water tank is pressurized. Thereby, the ceramic laminate 1 is compressed via the die assembly 2.
Thereafter, the ceramic laminate 1 having been subjected to the compression molding in this manner is taken out of the water tank, the bag 10 is broken, and then taken out of the die assembly 2.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、ダイ
アセンブリ2を介してセラミック積層体1を圧縮するよ
うに静水圧を付与する工程において、ダイアセンブリ2
の挙動に注目すると、枠部材5に対して、パッド部材3
は変位するが、ベース部材4は変位しないことがわか
る。そのため、セラミック積層体1を圧縮する作用は、
実質的には、単にパッド部材3のみによって及ぼされる
にすぎない。その結果、セラミック積層体1の上方主面
と下方主面とにそれぞれ及ぼされる実効圧力に差が生
じ、圧縮成形されたセラミック積層体1において不均一
な歪みが生じやすい。図4には、圧縮成形されたセラミ
ック積層体1の図解的断面図が示されている。
As described above, in the step of applying the hydrostatic pressure to compress the ceramic laminate 1 via the die assembly 2, the die assembly 2
Paying attention to the behavior of the pad member 3 with respect to the frame member 5
Is displaced, but the base member 4 is not displaced. Therefore, the action of compressing the ceramic laminate 1 is as follows.
Substantially only by the pad member 3. As a result, there is a difference between the effective pressures applied to the upper main surface and the lower main surface of the ceramic laminate 1, and uneven compression is likely to occur in the compression-molded ceramic laminate 1. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the compression-molded ceramic laminate 1.

【0010】図4を参照して、積層セラミック電子部品
となるべきセラミック積層体1の内部には、印刷等によ
って形成された内部導体11が存在している。そのた
め、セラミック積層体1は、内部導体11が位置する部
分において厚みが比較的大きくなり、圧縮成形の結果、
その表面に凸部12が形成される傾向がある。上述した
ように、静水圧を付与したとき、実質的にパッド部材3
が変位するにすぎないとき、凸部12は、セラミック積
層体1の一方主面においてのみ顕著に現れる。
Referring to FIG. 4, an internal conductor 11 formed by printing or the like exists inside a ceramic laminate 1 to be a multilayer ceramic electronic component. Therefore, the thickness of the ceramic laminate 1 is relatively large in the portion where the internal conductor 11 is located, and as a result of compression molding,
Protrusions 12 tend to be formed on the surface. As described above, when the hydrostatic pressure is applied, the pad member 3
Is merely displaced, the protruding portion 12 appears remarkably only on one main surface of the ceramic laminate 1.

【0011】そのため、セラミック積層体1の内部で
は、図4において破線で示すように、セラミック積層体
1の上方主面側と下方主面側とで互いに不均等な歪み1
3および14が生じる。このような不均等な歪み13お
よび14は、セラミック積層体1に含まれる複数のセラ
ミックグリーンシートの密着性を劣化させる。その結
果、セラミック積層体1は、このような圧縮成形時、あ
るいは、切断時または焼成時において、層剥がれの問題
に遭遇しやすくなる。
Therefore, in the ceramic laminated body 1, as shown by the broken line in FIG. 4, uneven distortion 1 on the upper main surface side and the lower main surface side of the ceramic laminated body 1.
3 and 14 occur. Such uneven distortions 13 and 14 degrade the adhesion of a plurality of ceramic green sheets included in the ceramic laminate 1. As a result, the ceramic laminate 1 is more likely to encounter the problem of layer peeling during such compression molding, or during cutting or firing.

【0012】それゆえに、この発明の目的は、上述した
問題を解決し得る積層セラミック電子部品の製造方法を
提供しようとすることである。
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component that can solve the above-mentioned problems.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この発明は、複数のセラ
ミックグリーンシートを積層してセラミック積層体を
得、このセラミック積層体を積層方向に圧縮し得る構造
を有するダイアセンブリを用意し、このダイアセンブリ
にセラミック積層体を装填し、ダイアセンブリを介して
セラミック積層体を圧縮するように静水圧を付与する、
各工程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法に
向けられるものであって、上述した技術的課題を解決す
るため、この発明では、用いられるダイアセンブリに改
良が加えられる。すなわち、ダイアセンブリとして、セ
ラミック積層体を挟んでその両主面に向かってそれぞれ
押圧作用を及ぼすようにされた第1および第2のパッド
部材と、セラミック積層体ならびに第1および第2のパ
ッド部材の周囲に配置されかつ第1および第2のパッド
部材の双方をそれぞれセラミック積層体の各主面に向か
って移動可能なように案内する枠部材とを備えるものが
用いられる。
The present invention provides a die assembly having a structure capable of stacking a plurality of ceramic green sheets to obtain a ceramic laminate, and compressing the ceramic laminate in the laminating direction. Loading the assembly with the ceramic laminate and applying hydrostatic pressure to compress the ceramic laminate through the die assembly;
The present invention is directed to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component including the respective steps, and in order to solve the above-described technical problems, in the present invention, an improvement is made to a die assembly used. That is, as a die assembly, first and second pad members adapted to exert a pressing action toward both main surfaces thereof with a ceramic laminate interposed therebetween, a ceramic laminate, and first and second pad members And a frame member that guides both the first and second pad members so as to be movable toward each main surface of the ceramic laminate.

【0014】[0014]

【作用】この発明において用いられるダイアセンブリ
は、静水圧が付与されたとき、セラミック積層体の両主
面に向かってそれぞれ押圧作用を及ぼす第1および第2
のパッド部材が双方ともセラミック積層体の各主面に向
かって移動する。
The die assembly used in the present invention has a first and a second which exert a pressing action toward both principal surfaces of the ceramic laminate when a hydrostatic pressure is applied.
Are moved toward each main surface of the ceramic laminate.

【0015】[0015]

【発明の効果】したがって、この発明によれば、セラミ
ック積層体の各主面に及ぼされる実効圧力の差を小さく
することができ、セラミック積層体の内部において生じ
る歪みを実質的に均等にすることができる。その結果、
圧縮成形されたセラミック積層体に含まれる複数のセラ
ミックグリーンシートの密着性が向上され、層剥がれの
問題を生じにくくすることができる。
Therefore, according to the present invention, it is possible to reduce the difference between the effective pressures applied to the respective principal surfaces of the ceramic laminate, and to substantially equalize the strain generated inside the ceramic laminate. Can be. as a result,
The adhesion of the plurality of ceramic green sheets included in the compression-molded ceramic laminate is improved, and the problem of delamination can be suppressed.

【0016】[0016]

【実施例】図1および図2は、それぞれ、この発明の一
実施例を説明するための図3および図4に相当の図であ
る。
1 and 2 correspond to FIGS. 3 and 4, respectively, for explaining an embodiment of the present invention.

【0017】図1には、複数のセラミックグリーンシー
トを積層して得られたセラミック積層体21が示されて
いる。このようなセラミック積層体21は、ダイアセン
ブリ22内に装填される。ダイアセンブリ22は、セラ
ミック積層体21を積層方向に圧縮し得る構造を有して
いる。
FIG. 1 shows a ceramic laminate 21 obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets. Such a ceramic laminate 21 is loaded into a die assembly 22. The die assembly 22 has a structure capable of compressing the ceramic laminate 21 in the laminating direction.

【0018】より詳細には、ダイアセンブリ22は、セ
ラミック積層体21を挟んでその両主面に向かってそれ
ぞれ押圧作用を及ぼすようにされた第1および第2のパ
ッド部材23および24と、セラミック積層体21なら
びに第1および第2のパッド部材23および24の周囲
に配置されかつ第1および第2のパッド部材23および
24の双方をそれぞれセラミック積層体21の各主面に
向かって移動可能なように案内する枠部材25とを備え
る。これらパッド部材23および24ならびに枠部材2
5は、それぞれ剛体から構成される。
More specifically, the die assembly 22 includes first and second pad members 23 and 24 each of which has a pressing action toward both main surfaces thereof with the ceramic laminate 21 interposed therebetween; The laminate 21 and the first and second pad members 23 and 24 are disposed around the first and second pad members 23 and 24 and both the first and second pad members 23 and 24 can be moved toward the main surfaces of the ceramic laminate 21 respectively. And a frame member 25 for guiding as described above. These pad members 23 and 24 and frame member 2
5 are each formed of a rigid body.

【0019】また、好ましくは、セラミック積層体21
と第1のパッド部材23との間、およびセラミック積層
体21と第2のパッド部材24との間に、それぞれ、弾
性シート26および27が介在される。
Preferably, the ceramic laminate 21
The elastic sheets 26 and 27 are interposed between the first pad member 23 and the ceramic laminate 21 and the second pad member 24, respectively.

【0020】このようにセラミック積層体21を装填し
たダイアセンブリ22は、たとえばラミネート袋のよう
な袋28に入れられ、真空パックされる。なお、この袋
28の外部から圧力が付与されたとき、袋28が破れる
ことを防止するため、ダイアセンブリ22の上面および
下面上に弾性シート29および30がそれぞれ配置され
るのが好ましい。また、ダイアセンブリ22の外方に向
く面には、好ましくは、適当なアール部が形成され、こ
れによっても、袋28が破れることが防止される。な
お、図1では、袋28は、ダイアセンブリ22との間で
間隔を形成して図示されているが、上述のように真空パ
ックされた後では、袋28は、ダイアセンブリ22なら
びに弾性シート29および30に密着する。
The die assembly 22 loaded with the ceramic laminate 21 is put in a bag 28 such as a laminate bag and vacuum-packed. In order to prevent the bag 28 from being broken when a pressure is applied from the outside of the bag 28, it is preferable that the elastic sheets 29 and 30 are disposed on the upper and lower surfaces of the die assembly 22, respectively. Also, a suitable radius is preferably formed on the outwardly facing surface of the die assembly 22, which also prevents the bag 28 from breaking. In FIG. 1, the bag 28 is illustrated with a space formed between the bag 28 and the die assembly 22. However, after the bag 28 is vacuum-packed as described above, the bag 28 is And 30.

【0021】この実施例では、第2のパッド部材24の
周縁部に係合する係合部31が、枠部材25の端部に設
けられている。この係合部31によれば、枠部材25を
介して、セラミック積層体21ならびに第1および第2
のパッド部材23および24を保持することができ、セ
ラミック積層体21を装填した後のダイアセンブリ22
の取扱いを容易に行なうことができる。しかしながら、
このような利点を望まないならば、枠部材25には係合
部31が設けられなくてもよい。
In this embodiment, an engaging portion 31 that engages with the peripheral portion of the second pad member 24 is provided at the end of the frame member 25. According to the engagement portion 31, the ceramic laminate 21 and the first and second
Of the die assembly 22 after the ceramic laminate 21 is loaded.
Can be easily handled. However,
If such an advantage is not desired, the frame member 25 may not be provided with the engagement portion 31.

【0022】セラミック積層体21を圧縮成形するた
め、セラミック積層体21は、図1に示した状態で、静
水圧プレス装置(図示せず)の水槽内に入れられる。そ
して、水槽内の水が加圧されたとき、セラミック積層体
21を圧縮するように、ダイアセンブリ22を介して静
水圧が付与される。このとき、枠部材25に対して、第
1および第2のパッド部材23および24の双方が、セ
ラミック積層体21の各主面に向かって移動し、第1お
よび第2のパッド部材23および24は、セラミック積
層体21に対して実質的に均等な実効圧力を及ぼす。
In order to compress and form the ceramic laminate 21, the ceramic laminate 21 is placed in a water tank of a hydrostatic press (not shown) in the state shown in FIG. Then, when the water in the water tank is pressurized, a hydrostatic pressure is applied via the die assembly 22 so as to compress the ceramic laminate 21. At this time, both the first and second pad members 23 and 24 move toward the respective main surfaces of the ceramic laminate 21 with respect to the frame member 25, and the first and second pad members 23 and 24 move. Exerts a substantially uniform effective pressure on the ceramic laminate 21.

【0023】上述のようにして、セラミック積層体21
の圧縮成形を終えたとき、セラミック積層体21は、ダ
イアセンブリ22等とともに、静水圧プレス装置から取
り出され、袋28が破られた後、ダイアセンブリ22か
ら取り出される。
As described above, the ceramic laminate 21
Is completed, the ceramic laminate 21 is taken out of the hydrostatic press together with the die assembly 22 and the like, and is taken out of the die assembly 22 after the bag 28 is broken.

【0024】図2には、圧縮成形されたセラミック積層
体21の図解的断面図が示されている。セラミック積層
体21は、内部導体32が位置する部分において厚みが
比較的大きくなるが、上述したように、セラミック積層
体21の各主面に向かって実質的に均等な実効圧力が及
ぼされるため、厚みの増加の結果、セラミック積層体2
1の両主面上にそれぞれ凸部33および34が対称的に
形成される。また、図2において破線で示すように、セ
ラミック積層体21の各主面側において、歪み35およ
び36が互いに実質的に均等に現れる。その結果、セラ
ミック積層体21に含まれる複数のセラミックグリーン
シートの密着性が向上し、層剥がれの問題を低減するこ
とができる。
FIG. 2 is a schematic sectional view of the compression-molded ceramic laminate 21. Although the thickness of the ceramic laminate 21 is relatively large in the portion where the internal conductor 32 is located, as described above, since a substantially uniform effective pressure is applied to each main surface of the ceramic laminate 21, As a result of the increase in thickness, the ceramic laminate 2
Convex portions 33 and 34 are formed symmetrically on the two main surfaces, respectively. Further, as indicated by broken lines in FIG. 2, on each main surface side of the ceramic laminate 21, the distortions 35 and 36 appear substantially evenly with each other. As a result, the adhesion of the plurality of ceramic green sheets included in the ceramic laminate 21 is improved, and the problem of layer peeling can be reduced.

【0025】上述した層剥がれは、一般的に、セラミッ
ク積層体21に含まれるセラミックグリーンシートの積
層数が多くなるほど、より顕著に現れる傾向がある。実
験によれば、セラミック積層体に含まれるセラミックグ
リーンシートの積層数を、60、90、120と増加さ
せたとき、図3に示した従来方法では、積層数90まで
は、層剥がれの発生が認められなかったものの、積層数
120では、試料数500個中13個(2.60%)に
おいて層剥がれが認められた。これに対し、図1に示し
た実施例による方法では、積層数120まで、何らの層
剥がれも生じなかった。
Generally, the above-mentioned layer peeling tends to appear more remarkably as the number of laminated ceramic green sheets included in the ceramic laminate 21 increases. According to the experiment, when the number of laminated ceramic green sheets included in the ceramic laminated body is increased to 60, 90, and 120, in the conventional method shown in FIG. Although not observed, in the case of 120 laminated layers, layer peeling was observed in 13 of the 500 samples (2.60%). On the other hand, in the method according to the embodiment shown in FIG. 1, no layer peeling occurred up to a lamination number of 120.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例による積層セラミック電子
部品の製造方法に含まれる静水圧付与工程を実施する状
態を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a hydrostatic pressure applying step included in a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention is performed.

【図2】図1に示した実施例により圧縮成形されたセラ
ミック積層体21を示す図解的断面図である。
FIG. 2 is an illustrative sectional view showing a ceramic laminate 21 compression-molded according to the embodiment shown in FIG.

【図3】従来の積層セラミック電子部品の製造方法に含
まれる静水圧付与工程を実施する状態を示す断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which a hydrostatic pressure applying step included in a conventional method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component is performed.

【図4】図3に示した方法により圧縮成形されたセラミ
ック積層体1を示す図解的断面図である。
FIG. 4 is an illustrative sectional view showing a ceramic laminate 1 compression-molded by the method shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 セラミック積層体 22 ダイアセンブリ 23 第1のパッド部材 24 第2のパッド部材 25 枠部材 28 袋 Reference Signs List 21 ceramic laminate 22 die assembly 23 first pad member 24 second pad member 25 frame member 28 bag

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数のセラミックグリーンシートを積層
してセラミック積層体を得、前記セラミック積層体を積
層方向に圧縮し得る構造を有するダイアセンブリを用意
し、前記ダイアセンブリに前記セラミック積層体を装填
し、前記ダイアセンブリを介して前記セラミック積層体
を圧縮するように静水圧を付与する、各工程を備える、
積層セラミック電子部品の製造方法において、 前記ダイアセンブリとして、前記セラミック積層体を挟
んでその両主面に向かってそれぞれ押圧作用を及ぼすよ
うにされた第1および第2のパッド部材と、前記セラミ
ック積層体ならびに前記第1および第2のパッド部材の
周囲に配置されかつ前記第1および第2のパッド部材の
双方をそれぞれ前記セラミック積層体の各主面に向かっ
て移動可能なように案内する枠部材とを備えるものを用
いることを特徴とする、積層セラミック電子部品の製造
方法。
1. A ceramic laminate is obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets, a die assembly having a structure capable of compressing the ceramic laminate in a laminating direction is prepared, and the ceramic laminate is loaded into the die assembly. And applying hydrostatic pressure to compress the ceramic laminate through the die assembly, comprising:
In the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, the die assembly includes first and second pad members each of which has a pressing action toward both main surfaces thereof with the ceramic multilayer body interposed therebetween; And a frame member disposed around the first and second pad members and guiding both the first and second pad members so as to be movable toward respective main surfaces of the ceramic laminate, respectively. And a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
JP5319720A 1993-12-20 1993-12-20 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component Expired - Lifetime JP3044994B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5319720A JP3044994B2 (en) 1993-12-20 1993-12-20 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5319720A JP3044994B2 (en) 1993-12-20 1993-12-20 Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07176449A JPH07176449A (en) 1995-07-14
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