JP2995667B2 - 銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法 - Google Patents
銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法Info
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- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 52
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 title claims description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 11
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 11
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 title description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 title description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 13
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 claims description 6
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- COLNVLDHVKWLRT-QMMMGPOBSA-N L-phenylalanine Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC1=CC=CC=C1 COLNVLDHVKWLRT-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 2
- OUYCCCASQSFEME-QMMMGPOBSA-N L-tyrosine Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC1=CC=C(O)C=C1 OUYCCCASQSFEME-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- COLNVLDHVKWLRT-UHFFFAOYSA-N phenylalanine Natural products OC(=O)C(N)CC1=CC=CC=C1 COLNVLDHVKWLRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OUYCCCASQSFEME-UHFFFAOYSA-N tyrosine Natural products OC(=O)C(N)CC1=CC=C(O)C=C1 OUYCCCASQSFEME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical class C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000005037 alkyl phenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001041 indolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法に
関する。
関する。
（従来の技術とその課題） 酸性過酸化水素水溶液は、銅および銅合金材料の化学
的な溶解剤として、すぐれた溶解力を有することが知ら
れており、銅及び銅合金のピックリング、エッチング、
ケミカルポリッシング等に広く利用されている。しかし
過酸化水素は分解しやすい化合物であり、特に銅イオン
の存在において触媒的に分解する。このため、酸性過酸
化水素水溶液を銅および銅合金の化学的な溶解処理に使
用する場合、銅が溶解し、液中に銅イオンが蓄積される
と、過酸化水素の分解が促進され、過酸化水素の有効利
用率が著しく低下し、不経済となる欠点がある。
的な溶解剤として、すぐれた溶解力を有することが知ら
れており、銅及び銅合金のピックリング、エッチング、
ケミカルポリッシング等に広く利用されている。しかし
過酸化水素は分解しやすい化合物であり、特に銅イオン
の存在において触媒的に分解する。このため、酸性過酸
化水素水溶液を銅および銅合金の化学的な溶解処理に使
用する場合、銅が溶解し、液中に銅イオンが蓄積される
と、過酸化水素の分解が促進され、過酸化水素の有効利
用率が著しく低下し、不経済となる欠点がある。
かかる欠点を改良するために従来からフェノール、飽
和脂肪族アルコール等種々の化合物の添加が試みられて
いるが、使用目的等によっては、更に効果的な新しい安
定化法の開発が望まれている。
和脂肪族アルコール等種々の化合物の添加が試みられて
いるが、使用目的等によっては、更に効果的な新しい安
定化法の開発が望まれている。
本発明の目的は少量の添加ですぐれた安定化効果を示
す新しい添加剤を用いることによる銅を含む酸性過酸化
水素水溶液の安定化法を提供することにある。
す新しい添加剤を用いることによる銅を含む酸性過酸化
水素水溶液の安定化法を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明は、過酸化水素を触媒的に分解させる銅イオン
を含有する酸性過酸化水素水溶液に式 但しArは芳香族基を示す、で表わされる芳香族核をも
つアミノ酸を添加することを特徴とする銅を含む酸性過
酸化水素水溶液の安定化法にある。
を含有する酸性過酸化水素水溶液に式 但しArは芳香族基を示す、で表わされる芳香族核をも
つアミノ酸を添加することを特徴とする銅を含む酸性過
酸化水素水溶液の安定化法にある。
銅（銅合金を包含する）の化学的な溶解処理に用いる
酸性過酸化水素水溶液は通常過酸化水素を10〜150g/
、酸を10〜200g/程度含む。酸としては硫酸が一般
的だが、硝酸、リン酸等の鉱酸も有用である。
酸性過酸化水素水溶液は通常過酸化水素を10〜150g/
、酸を10〜200g/程度含む。酸としては硫酸が一般
的だが、硝酸、リン酸等の鉱酸も有用である。
本発明はかかる酸性過酸化水素水溶液に銅イオンが蓄
積されることによって過酸化水素が分解されるのを特定
構造のアミノ酸を添加することによって防止するもので
ある。
積されることによって過酸化水素が分解されるのを特定
構造のアミノ酸を添加することによって防止するもので
ある。
添加するアミノ酸は前記した一般式をもつものであ
り、一般式中、Arの芳香族基としては、炭素芳香族基、
異節芳香族基のいずれでもよいが、フェニル基又はオキ
シフェニル基、アルキルフェニル基等の置換フェニル
基、インドール基等が好ましい。
り、一般式中、Arの芳香族基としては、炭素芳香族基、
異節芳香族基のいずれでもよいが、フェニル基又はオキ
シフェニル基、アルキルフェニル基等の置換フェニル
基、インドール基等が好ましい。
本発明の添加剤は通常酸性過酸化水素水溶液に対し0.
01g/以上添加する。上限には特に制限はないが通常50
g/以下で十分であり、一般的には0.1〜10g/程度用
いられる。
01g/以上添加する。上限には特に制限はないが通常50
g/以下で十分であり、一般的には0.1〜10g/程度用
いられる。
かくして銅が溶解して銅イオンが蓄積した場合でも過
酸化水素の分解を効果的に抑制することができ、銅材料
の化学的溶解剤としての酸性過酸化水素水溶液の使用を
一層経済的にすることが可能となる。
酸化水素の分解を効果的に抑制することができ、銅材料
の化学的溶解剤としての酸性過酸化水素水溶液の使用を
一層経済的にすることが可能となる。
次に実施例および比較例により本発明の効果を例証す
る。
る。
実施例１ H2O2100g/、H2SO4150g/、CuSO4−5H2O159g/を
含む50℃の水溶液に芳香族核をもつアミノ酸を添加し
て、過酸化水素の分解量を測定した結果を表１に示す。
含む50℃の水溶液に芳香族核をもつアミノ酸を添加し
て、過酸化水素の分解量を測定した結果を表１に示す。
比較例１ 実施例１と同様の条件下の水溶液に、その他下記に示
す物質を添加した場合の過酸化水素の分解量を測定した
結果を表２に示す。
す物質を添加した場合の過酸化水素の分解量を測定した
結果を表２に示す。
上記から本発明の添加剤が他のアミノ酸又はその類似
物に比し顕著に優れた安定化効果を示すことがわかる。
物に比し顕著に優れた安定化効果を示すことがわかる。
実施例２ H2O270g/、HNO330g/、CuSO4−5H2O159g/、チロ
シン1g/を含む水溶液の30℃における過酸化水素の分
解量は0.22g/・minであった。チロシン無添加で、同
一条件での過酸化水素の分解量は6.7g/・minであっ
た。故に過酸化水素の分解量は無添加の場合の1/30程度
にすぎなかった。
シン1g/を含む水溶液の30℃における過酸化水素の分
解量は0.22g/・minであった。チロシン無添加で、同
一条件での過酸化水素の分解量は6.7g/・minであっ
た。故に過酸化水素の分解量は無添加の場合の1/30程度
にすぎなかった。
実施例３ H2O2100g/、H2PO450g/、CuSO4−5H2O159g/、フ
ェニルアラニン10g/を含む水溶液の60℃における過酸
化水素の分解量は0.25g/・minであった。フェニルア
ラニン無添加で、同一条件での過酸化水素の分解量は5.
8g/・minであった。故に過酸化水素の分解量は無添加
の場合の1/23程度にすぎなかった。
ェニルアラニン10g/を含む水溶液の60℃における過酸
化水素の分解量は0.25g/・minであった。フェニルア
ラニン無添加で、同一条件での過酸化水素の分解量は5.
8g/・minであった。故に過酸化水素の分解量は無添加
の場合の1/23程度にすぎなかった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C01B 15/037
Claims (1)
- 【請求項１】過酸化水素を触媒的に分散させる銅イオン
を含有する酸性過酸化水素水溶液に式 但しArは芳香族基を示す、で表わされる芳香族核をもつ
アミノ酸を添加することを特徴とする銅を含む酸性過酸
化水素水溶液の安定化法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2320787A JP2995667B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法 |
| KR1019910020751A KR920009692A (ko) | 1990-11-27 | 1991-11-20 | 동을 함유하고 있는 산성과 산화수소 수용액의 안정화법 |
| CA002056242A CA2056242A1 (en) | 1990-11-27 | 1991-11-26 | Method for stabilizing acidic aqueous hydrogen peroxide solution containing copper |
| US07/798,591 US5211927A (en) | 1990-11-27 | 1991-11-26 | Method for stabilizing acidic aqueous hydrogen peroxide solution containing copper |
| ES91310915T ES2064923T3 (es) | 1990-11-27 | 1991-11-27 | Metodo para estabilizar una solucion acuosa acida de peroxido de hidrogeno que contiene cobre. |
| EP91310915A EP0488671B1 (en) | 1990-11-27 | 1991-11-27 | Method for stabilizing acidic aqueous hydrogen peroxide solution containing copper |
| DE69105187T DE69105187T2 (de) | 1990-11-27 | 1991-11-27 | Verfahren zum Stabilisieren einer Kupfer enthaltenden saurenwässrigen Wasserstoffperoxidlösung. |
| TW081101125A TW205540B (ja) | 1990-11-27 | 1992-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2320787A JP2995667B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04193704A JPH04193704A (ja) | 1992-07-13 |
| JP2995667B2 true JP2995667B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=18125240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2320787A Expired - Fee Related JP2995667B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 銅を含む酸性過酸化水素水溶液の安定化法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5211927A (ja) |
| EP (1) | EP0488671B1 (ja) |
| JP (1) | JP2995667B2 (ja) |
| KR (1) | KR920009692A (ja) |
| CA (1) | CA2056242A1 (ja) |
| DE (1) | DE69105187T2 (ja) |
| ES (1) | ES2064923T3 (ja) |
| TW (1) | TW205540B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5362412A (en) * | 1991-04-17 | 1994-11-08 | Hampshire Chemical Corp. | Biodegradable bleach stabilizers for detergents |
| IT1251431B (it) * | 1991-10-25 | 1995-05-09 | Costante Fontana | Composto ad elevate caratteristiche stabilizzanti particolarmente per perossidi inorganici utilizzati in applicazioni industriali |
| US5667753A (en) * | 1994-04-28 | 1997-09-16 | Advanced Sterilization Products | Vapor sterilization using inorganic hydrogen peroxide complexes |
| US5674450A (en) * | 1994-04-28 | 1997-10-07 | Johnson & Johnson Medical, Inc. | Vapor sterilization using a non-aqueous source of hydrogen peroxide |
| US6803354B2 (en) | 2002-08-05 | 2004-10-12 | Henkel Kormanditgesellschaft Auf Aktien | Stabilization of hydrogen peroxide in acidic baths for cleaning metals |
| AU2005222069B2 (en) | 2004-03-05 | 2010-09-09 | Gen-Probe Incorporated | Reagents, methods and kits for use in deactivating nucleic acids |
| US7976723B2 (en) * | 2007-05-17 | 2011-07-12 | International Business Machines Corporation | Method for kinetically controlled etching of copper |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2012462A (en) * | 1932-06-22 | 1935-08-27 | Firm Of J R Geigy A G | Stabilization of peroxide solutions |
| US1995063A (en) * | 1932-10-21 | 1935-03-19 | Du Pont | Stabilization of hydrogen peroxide solutions |
| US2091186A (en) * | 1935-01-11 | 1937-08-24 | Du Pont | Stabilization of bleach baths |
| US2426154A (en) * | 1942-04-01 | 1947-08-19 | Du Pont | Stabilization of peroxide solutions |
| JPS5286933A (en) * | 1976-01-14 | 1977-07-20 | Tokai Electro Chemical Co | Method of treating surface of copper and copper alloy |
| US4497725A (en) * | 1980-04-01 | 1985-02-05 | Interox Chemicals Ltd. | Aqueous bleach compositions |
| FR2563824B1 (fr) * | 1984-05-04 | 1986-09-12 | Atochem | Stabilisation de solutions aqueuses acides contenant du peroxyde d'hydrogene et des ions metalliques |
| GB8522046D0 (en) * | 1985-09-05 | 1985-10-09 | Interox Chemicals Ltd | Stabilisation |
| US4929301A (en) * | 1986-06-18 | 1990-05-29 | International Business Machines Corporation | Anisotropic etching method and etchant |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP2320787A patent/JP2995667B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-11-20 KR KR1019910020751A patent/KR920009692A/ko not_active Abandoned
- 1991-11-26 US US07/798,591 patent/US5211927A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-26 CA CA002056242A patent/CA2056242A1/en not_active Abandoned
- 1991-11-27 DE DE69105187T patent/DE69105187T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-27 ES ES91310915T patent/ES2064923T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-27 EP EP91310915A patent/EP0488671B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-02-17 TW TW081101125A patent/TW205540B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2056242A1 (en) | 1992-05-28 |
| ES2064923T3 (es) | 1995-02-01 |
| US5211927A (en) | 1993-05-18 |
| DE69105187D1 (de) | 1994-12-22 |
| JPH04193704A (ja) | 1992-07-13 |
| EP0488671B1 (en) | 1994-11-17 |
| TW205540B (ja) | 1993-05-11 |
| KR920009692A (ko) | 1992-06-25 |
| DE69105187T2 (de) | 1995-03-23 |
| EP0488671A1 (en) | 1992-06-03 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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