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JP2880335B2 - 厚膜回路基板の製造方法 - Google Patents

厚膜回路基板の製造方法

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Publication number
JP2880335B2
JP2880335B2 JP25702391A JP25702391A JP2880335B2 JP 2880335 B2 JP2880335 B2 JP 2880335B2 JP 25702391 A JP25702391 A JP 25702391A JP 25702391 A JP25702391 A JP 25702391A JP 2880335 B2 JP2880335 B2 JP 2880335B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
glass paste
circuit board
film circuit
paste
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP25702391A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0567868A (ja
Inventor
昇 大木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP25702391A priority Critical patent/JP2880335B2/ja
Publication of JPH0567868A publication Critical patent/JPH0567868A/ja
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Publication of JP2880335B2 publication Critical patent/JP2880335B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
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  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板に厚膜印刷ペ
ーストを印刷し、焼付けて回路パターンを形成する厚膜
回路基板の製造方法に関し、特にスルーホール導体を覆
うようにスルーホールに絶縁材を充填し、スルーホール
を通過するよう回路パターンを形成するための工程を有
する厚膜回路基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】厚膜回路基板は、セラミック等で形成さ
れる絶縁基板上に、導電ペースト等の厚膜印刷ペースト
を印刷し、これを焼き付けて導体膜等からなる回路パタ
ーンを形成するもので、混成集積回路用基板等として用
いられている。この厚膜回路基板では、表面側と裏面側
との回路パターンを接続するため、絶縁基板にスルーホ
ールを形成し、その周壁に導体膜、いわゆるスルーホー
ル導体を形成することが行なわれている。さらに、この
厚膜回路基板では、回路の集積密度を高めるため、前記
スルーホールをガラス等の絶縁材で塞ぎ、その上を絶縁
層で覆い、その上に新たな導体パターンを通すというこ
とが行なわれている。
【0003】図3に、このような厚膜回路基板のスルー
ホール38の部分を示す。同図に示すように、絶縁基板
31に設けたスルーホール38の内壁にスルーホール導
体32が形成され、絶縁基板31の両面のスルーホール
38の開口部周囲にスルーホールランド33が形成され
ている。さらに、このスルーホールランド33に他の回
路パターンとなる導体膜34が接続するよう形成されて
いる。また、スルーホール38の中に絶縁ガラス材から
なる充填材35が充填されている。
【0004】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、前
記スルーホール38の充填材となるガラスペーストは、
それをスルーホール38の中に充填した後の乾燥、焼成
時に相当収縮するため、ガラスペーストを充分スルーホ
ール38に充填して乾燥、焼成しても、例えば図3に示
すように、充填材35がスルーホール38の中に陥没し
てまうことが多い。実験によれば、ガラスペーストを乾
燥すると、当初の容積に対して約50%に収縮し、焼成
すると、さらに約25%に収縮することが報告されてい
る。
【0005】このように収縮陥没した充填材35の上に
導電ペーストを印刷し、回路パターンを形成しようとす
ると、回路パターンの形成が困難であったり、回路が途
中で断線する等の問題がある。しかも、この充填材35
の陥没は、常に一様に表れるとは限らず、また多くの場
合は、充填材35によってスルーホール38が閉じてし
まうため、その上にさらにガラスペーストを印刷し、一
様に陥没を埋めることは、通常の印刷手法では不可能で
ある。本発明は、このような従来の課題に鑑み、スルー
ホールに絶縁材を完全に満たすことができる厚膜回路基
板の製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明では、前
記目的を達成するため、絶縁基板11に開設されたスル
ーホール18の周壁及び開口部周りに導体膜によるスル
ーホール導体12及びスルーホールランド13を形成す
る工程と、該スルーホール18にガラスペーストを充填
し、これを焼付けてスルーホール18を塞ぐ工程とを有
する厚膜回路基板の製造方法において、前記スルーホー
ル18に充填されるガラスペーストが発泡性ガラスペー
ストからなり、これを焼付ける際、スルーホール18の
中で発泡させることを特徴とする厚膜回路基板の製造方
法を提供する。
【0007】
【作用】本発明では、スルーホール18に発泡性のガラ
スペーストを充填し、焼成時にこれを発泡させるため、
その発泡分だけガラス成分の見かけの容積が増量する。
従って、焼成時にガラスペーストが収縮する分だけ発泡
によって見かけの容積を増量させると、結果的にガラス
ペーストの焼成によって形成される充填材は収縮しない
ことと同じことになり、スルーホール18は充填材15
で完全に満たされる。このため、スルーホール18を通
して回路基板上に回路パターンを形成することが可能に
なる。
【0008】
【実施例】次に、本発明の実施例について具体的に説明
する。図1及び図2に本発明により製造された厚膜回路
基板の例のスルーホール18の部分が示されている。図
1に示すように、絶縁基板11のスルーホール18の周
壁にスルーホール導体12が形成され、絶縁基板11の
スルーホール18の開口部周りにスルーホールランド1
3が形成されている。さらに、このスルーホールランド
13に他の回路パターンとなる導体膜14が接続するよ
う形成されている。絶縁基板11としては、例えばアル
ミナ基板が、またスルーホール導体12、スルーホール
ランド13及び回路パターンとなる導体膜14は、前記
アルミナ基板にAg−Pdペーストを印刷し、乾燥し、
焼付けて形成される。
【0009】既に述べた通り、本発明では、このような
スルーホール18に発泡性のガラスペースト(FX−1
0−026:NFE社製)を充填し、これを乾燥し、焼
付けて、スルーホール18を埋める。ガラスペースト
は、乾燥時に一旦収縮するが、焼付け時に発泡し、膨張
する。例えば、焼付けによって当初のガラスペーストの
容積に対して約25%となるガラスペーストをベースと
するガラスペーストの場合、焼付けにより発生する気泡
の容積率を75%程度となるよう、発泡成分を調整する
のが望ましい。これにより、スルーホール18の中にガ
ラスペーストで形成される充填材15の容積は、ほぼ当
初に充填したガラスペーストと同容積となる。このよう
な発泡性ガラスペーストとしては、一般のガラスペース
ト成分の他に、焼成時の発泡のための揮発成分、つまり
発泡剤を含有するものが挙げられる。例えば、本実施例
で使用したFX−10−026等のガラスペーストがこ
れに当たる。
【0010】図2で示すように、前記のようにしてスル
ーホール18を埋めた上に非発泡性のガラスペーストを
印刷し、乾燥し、焼付けて絶縁層16を形成する。さら
にその上にAg−Pdペーストを印刷し、乾燥し、焼成
して、回路パターンを形成する導体層17を形成する。
【0011】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、絶
縁基板11のスルーホール18を充填する充填材15が
結果的に収縮せずに、スルーホール18が完全に埋めら
れるため、絶縁基板11のスルーホール18の開口部が
ほぼ平坦となり、そこに新たに別の導体膜を形成するこ
とができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す半完成状態の厚膜回路基
板の要部断面図である。
【図2】本発明の実施例を示す完成状態の厚膜回路基板
の要部断面図である。
【図3】従来例を示す半完成状態の厚膜回路基板の要部
断面図である。
【符号の説明】
11 絶縁基板 12 スルーホール導体 15 充填材 18 スルーホール

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁基板(11)に開設されたスルーホ
    ール(18)の周壁及び開口部周りに導体膜によるスル
    ーホール導体(12)及びスルーホールランド(13)
    を形成する工程と、該スルーホール(18)にガラスペ
    ーストを充填し、これを焼付けてスルーホール(18)
    を塞ぐ工程とを有する厚膜回路基板の製造方法におい
    て、前記スルーホール(18)に充填されるガラスペー
    ストが発泡性ガラスペーストからなり、これを焼付ける
    際、スルーホール(18)の中で発泡させることを特徴
    とする厚膜回路基板の製造方法。
JP25702391A 1991-09-09 1991-09-09 厚膜回路基板の製造方法 Expired - Lifetime JP2880335B2 (ja)

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JPWO2019188295A1 (ja) * 2018-03-30 2021-04-15 ソニー株式会社 ガラス配線基板及び部品実装ガラス配線基板
CN111081674B (zh) * 2020-01-02 2022-02-18 上海航天电子通讯设备研究所 一种高硅铝合金转接板及其制备方法

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