JP2867269B2 - 圧電複合振動子 - Google Patents
圧電複合振動子Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は超音波モータ等に用いられる圧電振動子に関
し、特に捩り振動及び縦振動を同一の圧電素子で発生さ
せることが可能な圧電複合振動子に関する。
し、特に捩り振動及び縦振動を同一の圧電素子で発生さ
せることが可能な圧電複合振動子に関する。
［従来の技術］ 第４図（ａ）は従来の圧電捩り振動子の構造例であ
り、円板状の圧電捩り振動子51は、４個の扇型の圧電セ
ラミックス板52が接合されて構成されている。夫々の扇
型の圧電セラミックス板は、第４図（ｂ）に示すよう
に、夫々の扇の弦の方向に分極処理が施されており、扇
型の圧電セラミックス板の上下面に電極を施し、上下電
極間に直流電圧を印加すると、扇型の圧電セラミックス
板には、板面と平行なすべり歪みが発生する。
り、円板状の圧電捩り振動子51は、４個の扇型の圧電セ
ラミックス板52が接合されて構成されている。夫々の扇
型の圧電セラミックス板は、第４図（ｂ）に示すよう
に、夫々の扇の弦の方向に分極処理が施されており、扇
型の圧電セラミックス板の上下面に電極を施し、上下電
極間に直流電圧を印加すると、扇型の圧電セラミックス
板には、板面と平行なすべり歪みが発生する。
４個の扇形の圧電セラミックス板52が、円板状に接合
されている場合、夫々の扇形の圧電セラミックス板に発
生するすべり歪みは合成されて、円板の上下面が捩じれ
るような捩り歪みとなる。
されている場合、夫々の扇形の圧電セラミックス板に発
生するすべり歪みは合成されて、円板の上下面が捩じれ
るような捩り歪みとなる。
第４図（ａ）の従来の圧電捩り振動子においては、先
ず、第４図（ｂ）に示すように、幅方向に分極処理され
た圧電セラミックス板53から超音波加工により扇形の圧
電セラミックス板を打ち抜いて第４図（ｃ）に示す矢印
のように、幅方向に分極処理された圧電セラミックス板
52を作り、これを４個接着して円板状に構成するか、第
５図（ａ）に示すように、厚さ方向に分極された圧電セ
ラミックスのブロック54から、第５図（ｂ）の分極方向
が対角線の方向になるような正四角柱55を切り出し、第
５図（ｃ）に示すように４本の正四角柱55を分極方向が
閉じたループとなるように重ねて接着し、第５図（ｄ）
に示すように、外周を円柱状に研磨した後、第５図
（ｅ）のような円板状に切断する等を行っている。
ず、第４図（ｂ）に示すように、幅方向に分極処理され
た圧電セラミックス板53から超音波加工により扇形の圧
電セラミックス板を打ち抜いて第４図（ｃ）に示す矢印
のように、幅方向に分極処理された圧電セラミックス板
52を作り、これを４個接着して円板状に構成するか、第
５図（ａ）に示すように、厚さ方向に分極された圧電セ
ラミックスのブロック54から、第５図（ｂ）の分極方向
が対角線の方向になるような正四角柱55を切り出し、第
５図（ｃ）に示すように４本の正四角柱55を分極方向が
閉じたループとなるように重ねて接着し、第５図（ｄ）
に示すように、外周を円柱状に研磨した後、第５図
（ｅ）のような円板状に切断する等を行っている。
第６図は従来の圧電縦振動子の構造例であり、（ａ）
は両面に電極が施され、矢印69で示される厚さ方向に分
極された圧電セラミックス円板に電圧を印加し厚さ方向
の伸縮変位を得るものである。低い印加電圧で大きな変
位を得るために、薄い圧電セラミックス円板67を複数個
積層して、第６図（ｂ）の66′の符号で示すように構成
されている場合がある。尚、68および68′は電圧を印加
するための接続線である。
は両面に電極が施され、矢印69で示される厚さ方向に分
極された圧電セラミックス円板に電圧を印加し厚さ方向
の伸縮変位を得るものである。低い印加電圧で大きな変
位を得るために、薄い圧電セラミックス円板67を複数個
積層して、第６図（ｂ）の66′の符号で示すように構成
されている場合がある。尚、68および68′は電圧を印加
するための接続線である。
［発明が解決しようとする課題］ 第４図（ａ）の従来の圧電捩り振動子、第６図（ｂ）
の圧電縦振動子においては、複数個の圧電セラミックス
が接着されて構成されているため、接着による特性のば
らつきが大きい。また、第４図（ａ），（ｂ），
（ｃ）、及び第５図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ）に示すような円板又はリングを得るための加工が
複雑で、コスト的にも非常に費用がかかるものであっ
た。さらに、捩り変位と伸縮変位を同時に得ようとした
場合は、第４図（ａ）の圧電捩り振動子51と、第６図
（ａ）の圧電縦振動子66を接着して構成するために、や
はり接着による特性のばらつきと接着コストがかかると
いう問題があった。
の圧電縦振動子においては、複数個の圧電セラミックス
が接着されて構成されているため、接着による特性のば
らつきが大きい。また、第４図（ａ），（ｂ），
（ｃ）、及び第５図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ）に示すような円板又はリングを得るための加工が
複雑で、コスト的にも非常に費用がかかるものであっ
た。さらに、捩り変位と伸縮変位を同時に得ようとした
場合は、第４図（ａ）の圧電捩り振動子51と、第６図
（ａ）の圧電縦振動子66を接着して構成するために、や
はり接着による特性のばらつきと接着コストがかかると
いう問題があった。
そこで、本発明の技術課題は、以下に示した従来の圧
電捩り振動子及び圧電縦振動子の欠点を除去し、加工が
簡単で、接着工程のないためにばらつきの少なく、同一
の圧電捩り振動子を有する圧電振動子に縦振動子を形成
した圧電複合振動子を提供することにある。
電捩り振動子及び圧電縦振動子の欠点を除去し、加工が
簡単で、接着工程のないためにばらつきの少なく、同一
の圧電捩り振動子を有する圧電振動子に縦振動子を形成
した圧電複合振動子を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、円柱形の外周面を備えた圧電セラミ
ックスの中央部、及び前記中央部の外周面に前記圧電セ
ラミックスの長さ方向に対して交差する方向に延在する
とともに前記圧電セラミックスの円周方向に交互に配置
された複数の第１の斜め電極及び複数の第２の斜め電極
をもち、捩り振動を行う圧電捩り振動子部と、前記圧電
セラミックスの中央部に連続した両端部、及び前記両端
部に夫々円周方向に延在するとともに夫々前記圧電セラ
ミックスの長さ方向に交互に配置された複数の第１及び
第２の周電極及び複数の第３及び第４の周電極の夫々を
もち、夫々縦振動を行う第１及び第２の圧電縦振動子部
とを有することを特徴とする圧電複合振動子が得られ
る。
ックスの中央部、及び前記中央部の外周面に前記圧電セ
ラミックスの長さ方向に対して交差する方向に延在する
とともに前記圧電セラミックスの円周方向に交互に配置
された複数の第１の斜め電極及び複数の第２の斜め電極
をもち、捩り振動を行う圧電捩り振動子部と、前記圧電
セラミックスの中央部に連続した両端部、及び前記両端
部に夫々円周方向に延在するとともに夫々前記圧電セラ
ミックスの長さ方向に交互に配置された複数の第１及び
第２の周電極及び複数の第３及び第４の周電極の夫々を
もち、夫々縦振動を行う第１及び第２の圧電縦振動子部
とを有することを特徴とする圧電複合振動子が得られ
る。
［作 用］ 本発明の圧電複合振動子は、圧電セラミックスの外周
面の中央部の圧電捩り振動子部、及びこの圧電捩り振動
子部の一端及び他端に連続して、第１及び第２の圧電縦
振動子部を有する。
面の中央部の圧電捩り振動子部、及びこの圧電捩り振動
子部の一端及び他端に連続して、第１及び第２の圧電縦
振動子部を有する。
圧電捩り振動子部は、圧電セラミックスの外周面の中
央部に長さ方向に対して交差する方向（好ましくは45
゜）に複数の第１の斜め電極と複数の第２の斜め電極を
施して二端子とし、次に、第１及び第２の電極を用いて
前記圧電セラミックスに、前記第１及び第２の斜め電極
の長さ方向と直角な方向に分極処理を施されている。
央部に長さ方向に対して交差する方向（好ましくは45
゜）に複数の第１の斜め電極と複数の第２の斜め電極を
施して二端子とし、次に、第１及び第２の電極を用いて
前記圧電セラミックスに、前記第１及び第２の斜め電極
の長さ方向と直角な方向に分極処理を施されている。
前記第１及び第２の斜め電極間に電圧を印加すると、
電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合は分極の方
向に伸び歪みが発生し、電圧の極性が分極時の電圧の極
性と逆の場合は分極の方向に縮み歪みが発生する。
電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合は分極の方
向に伸び歪みが発生し、電圧の極性が分極時の電圧の極
性と逆の場合は分極の方向に縮み歪みが発生する。
分極方向に伸び縮みが発生した場合は、分極方向と直
角な方向には夫々これらと反対に縮みあるいは伸び歪み
が発生する。以上の結果として、前記圧電セラミックス
に捩り変位が発生する。
角な方向には夫々これらと反対に縮みあるいは伸び歪み
が発生する。以上の結果として、前記圧電セラミックス
に捩り変位が発生する。
さらに、第１の圧電縦振動子部は、圧電セラミックス
外周面の一端部に円周方向に複数の第１の周電極及び複
数の第２の周電極を施して二端子とし、つぎに、第１及
び第２の周電極を用いて前記圧電セラミックスに、前記
第１及び第２の周電極の長さ方向と直角な方向、即ち、
圧電セラミックスの長さ方向に分極処理を施されてい
る。
外周面の一端部に円周方向に複数の第１の周電極及び複
数の第２の周電極を施して二端子とし、つぎに、第１及
び第２の周電極を用いて前記圧電セラミックスに、前記
第１及び第２の周電極の長さ方向と直角な方向、即ち、
圧電セラミックスの長さ方向に分極処理を施されてい
る。
この状態で前記第１及び第２の周電極に電圧を印加す
ると、電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合は、
分極の方向に伸び歪みが発生し、電圧の極性が分極時の
電圧と極性が逆の場合は分極方向に縮み歪みが発生す
る。
ると、電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合は、
分極の方向に伸び歪みが発生し、電圧の極性が分極時の
電圧と極性が逆の場合は分極方向に縮み歪みが発生す
る。
一方、第２の圧電縦振動子部は、第１の圧電縦振動子
部と同様に、前記圧電セラミックスの外周面の他端部
に、円周方向に複数の第３の周電極及び複数の第４の周
電極を施して二端子とし、つぎに、第１及び第２の周電
極を用いて前記圧電セラミックスに、前記第１及び第２
の周電極の長さ方向と直角な方向、即ち、圧電セラミッ
クスの長さ方向に分極処理を施されている。
部と同様に、前記圧電セラミックスの外周面の他端部
に、円周方向に複数の第３の周電極及び複数の第４の周
電極を施して二端子とし、つぎに、第１及び第２の周電
極を用いて前記圧電セラミックスに、前記第１及び第２
の周電極の長さ方向と直角な方向、即ち、圧電セラミッ
クスの長さ方向に分極処理を施されている。
この状態で前記第１及び第２の周電極に電圧を印加す
ると、電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合は、
分極の方向に伸び歪みが発生し、電圧の極性が分極時の
電圧と極性が逆の場合は分極方向に縮み歪みが発生す
る。
ると、電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合は、
分極の方向に伸び歪みが発生し、電圧の極性が分極時の
電圧と極性が逆の場合は分極方向に縮み歪みが発生す
る。
従って、圧電捩り縦振動子部、第１及び第２の圧電縦
振動子部とにより、捩り変位を生じる捩り振動と、伸縮
変位を生じる縦振動とが合った複合振動を生じる圧電複
合振動子が得られる。
振動子部とにより、捩り変位を生じる捩り振動と、伸縮
変位を生じる縦振動とが合った複合振動を生じる圧電複
合振動子が得られる。
［実施例］ 以下本発明の実施例について図面を参照しながら詳し
く説明する。
く説明する。
第１図は本発明の実施例に係る圧電複合振動子の構造
を示す斜視図である。この図において、圧電複合振動子
１は、パイプ状圧電セラミックス10の外周面の中央部に
設けられた圧電捩り振動子部1aとこの圧電捩り振動子部
1aの一端及び他端に連続した第１の及び第２の圧電縦振
動子部1b,1cを有する。
を示す斜視図である。この図において、圧電複合振動子
１は、パイプ状圧電セラミックス10の外周面の中央部に
設けられた圧電捩り振動子部1aとこの圧電捩り振動子部
1aの一端及び他端に連続した第１の及び第２の圧電縦振
動子部1b,1cを有する。
圧電捩り振動子部1aは、パイプ状圧電セラミックス10
の外周面に長さ方向に対して45゜の角度となるように、
互いに平行な複数の第１の斜め電極11及び複数の第２の
斜め電極12が交互に形成され、夫々の端部が円周に平行
な第１の共通電極11′及びこれに対向する第２の共通電
極12′に夫々接続されている。
の外周面に長さ方向に対して45゜の角度となるように、
互いに平行な複数の第１の斜め電極11及び複数の第２の
斜め電極12が交互に形成され、夫々の端部が円周に平行
な第１の共通電極11′及びこれに対向する第２の共通電
極12′に夫々接続されている。
また、第１の圧電縦振動子部1bは、パイプ状圧電セラ
ミックス10の外周面の円周方向に平行に且つ長さ方向に
交互に複数の第１の周電極13及び複数の第２の周電極14
が形成され、第３の共通電極13′及び第４の共通電極1
4′に夫々接続されている。
ミックス10の外周面の円周方向に平行に且つ長さ方向に
交互に複数の第１の周電極13及び複数の第２の周電極14
が形成され、第３の共通電極13′及び第４の共通電極1
4′に夫々接続されている。
更に、第２の圧電縦振動子部1cは、パイプ状の圧電セ
ラミックス10の外周面の円周方向に平行に且つ長さ方向
に交互に複数の第３の周電極15及び複数の第４の周電極
16が形成され、第５の共通電極15′及び第６の共通電極
16′に夫々接続されている。
ラミックス10の外周面の円周方向に平行に且つ長さ方向
に交互に複数の第３の周電極15及び複数の第４の周電極
16が形成され、第５の共通電極15′及び第６の共通電極
16′に夫々接続されている。
第２図は本発明の実施例に係る圧電複合振動子の動作
原理の説明図であり、第２図（ａ）の斜視図において、
圧電セラミックス板20の一方の面には横方向に交互に短
冊状の第１及び第２の表面電極18及び19が形成され、第
１及第２の接続電極18′及び19′に夫々接続されて、一
対の交差指電極を形成している。
原理の説明図であり、第２図（ａ）の斜視図において、
圧電セラミックス板20の一方の面には横方向に交互に短
冊状の第１及び第２の表面電極18及び19が形成され、第
１及第２の接続電極18′及び19′に夫々接続されて、一
対の交差指電極を形成している。
第２図（ｂ）において、破線の矢印21は一対の交差指
電極を用いて分極処理を施したときの分極の向きを示し
ており、第１の表面電極18から第２電極19に向かって分
極されている。
電極を用いて分極処理を施したときの分極の向きを示し
ており、第１の表面電極18から第２電極19に向かって分
極されている。
第２図（ｃ），（ｄ）は第２図（ｂ）において、分極
処理された圧電セラミックス板20に直流電圧を印加した
場合に発生する歪みの状態をしめしており、第２図
（ｃ），（ｄ）から分かるように電圧の極性が実線22及
び23で示す分極時の電圧の極性と同じ場合は分極の方向
に伸び歪みが、電圧の極性が分極時の電圧の極性と逆の
場合は分極の方向に縮み歪みが発生する。
処理された圧電セラミックス板20に直流電圧を印加した
場合に発生する歪みの状態をしめしており、第２図
（ｃ），（ｄ）から分かるように電圧の極性が実線22及
び23で示す分極時の電圧の極性と同じ場合は分極の方向
に伸び歪みが、電圧の極性が分極時の電圧の極性と逆の
場合は分極の方向に縮み歪みが発生する。
第３図は圧電セラミックス円柱30の両端面が図の矢印
のように、捩じれている場合に、この円柱30の外周面に
発生する歪みの状態を示しており、円柱10の中心軸方向
に対して45゜の角度の方向で、しかも一点鎖線で示され
る捩じれの矢印の向きに伸び歪みが発生し、これと直角
な方向に縮み歪みが発生している。
のように、捩じれている場合に、この円柱30の外周面に
発生する歪みの状態を示しており、円柱10の中心軸方向
に対して45゜の角度の方向で、しかも一点鎖線で示され
る捩じれの矢印の向きに伸び歪みが発生し、これと直角
な方向に縮み歪みが発生している。
第３図のような、圧電セラミックス円柱30の外周面
に、第２図と同様な一対の交差指電極を交差指の方向が
圧電セラミックス円柱の長さ方向に対して45゜となるよ
うに形成し、この一対の交差指電極を用いて分極処理を
行い、同じ交差指電極に直流電圧を印加すると、電圧の
極性が分極時の電極の極性と同じ場合に円柱は一方向に
捩じれ、電圧の極性が分極時の逆の場合は逆方向に捩じ
れる。
に、第２図と同様な一対の交差指電極を交差指の方向が
圧電セラミックス円柱の長さ方向に対して45゜となるよ
うに形成し、この一対の交差指電極を用いて分極処理を
行い、同じ交差指電極に直流電圧を印加すると、電圧の
極性が分極時の電極の極性と同じ場合に円柱は一方向に
捩じれ、電圧の極性が分極時の逆の場合は逆方向に捩じ
れる。
更に、圧電セラミックス円柱の外周面に、第２図に示
したような交差指電極を交差指の方向が圧電セラミック
ス円柱の円周方向と平行に形成し、この交差指電極を用
いて分極処理を行い、同じ交差指電極に直流電圧を印加
すると、電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合
に、円柱は、長さ方向に伸び、電圧の極性が分極時の電
圧の極性と逆の場合は、逆に長さ方向に縮む。
したような交差指電極を交差指の方向が圧電セラミック
ス円柱の円周方向と平行に形成し、この交差指電極を用
いて分極処理を行い、同じ交差指電極に直流電圧を印加
すると、電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合
に、円柱は、長さ方向に伸び、電圧の極性が分極時の電
圧の極性と逆の場合は、逆に長さ方向に縮む。
従って、第１図の本発明の実施例に係る圧電複合振動
子においては、第１及び第２の共通電極21′及び22′間
に高圧直流電圧を印加して分極処理を施した後、電圧を
印加すれば、前述したようにパイプ状圧電セラミックス
10には、両端部が捩じれるような歪みが発生する。
子においては、第１及び第２の共通電極21′及び22′間
に高圧直流電圧を印加して分極処理を施した後、電圧を
印加すれば、前述したようにパイプ状圧電セラミックス
10には、両端部が捩じれるような歪みが発生する。
同様にして、第３及び第４の共通電極13′,14′間及
び第５及び第６の共通電極15′,16′間に直流高電圧を
印加して分極処理を施した後、第３及び第４の共通電極
13′,14′間及び第５及び第６の共通電極15′,16′間夫
々に交流電圧を印加すれば、前述したようにパイプ状圧
電セラミックスは、長さ方向に伸縮する。
び第５及び第６の共通電極15′,16′間に直流高電圧を
印加して分極処理を施した後、第３及び第４の共通電極
13′,14′間及び第５及び第６の共通電極15′,16′間夫
々に交流電圧を印加すれば、前述したようにパイプ状圧
電セラミックスは、長さ方向に伸縮する。
従って、この圧電捩り振動部1aと第１及び第２の圧電
縦振動子部1b,1cとを同時に駆動すると、縦振動と捩り
振動とを複合した複合振動を発生する。
縦振動子部1b,1cとを同時に駆動すると、縦振動と捩り
振動とを複合した複合振動を発生する。
以上の実施例では、印加電圧として、直流電圧を印加
した場合に発生する捩じれ歪み及び伸縮歪みについて述
べたが、交流電圧を印加しても何等差し支えなく、捩り
振動と縦運動を同時に行う圧電複合振動子として超音波
モータなどに使用できる。
した場合に発生する捩じれ歪み及び伸縮歪みについて述
べたが、交流電圧を印加しても何等差し支えなく、捩り
振動と縦運動を同時に行う圧電複合振動子として超音波
モータなどに使用できる。
更に、本実施例以外にもパイプ状圧電セラミックスの
内周面に全面電極を施したり、外周面に施された電極と
対向する電極を施すなど種々の変形が考えられるが、こ
れらは本発明の範囲に属することは明らかである。
内周面に全面電極を施したり、外周面に施された電極と
対向する電極を施すなど種々の変形が考えられるが、こ
れらは本発明の範囲に属することは明らかである。
［発明の効果］ 以上示した様に、本発明によれば、通常一般的に適用
されているプレス成型技術により容易に製造することが
可能な圧電セラミックス円柱あるいは圧電セラミックス
中空円柱を用いて、これらの外周面にこれも一般的な技
術である電極印刷を施すことにより圧電捩り振動子及び
圧電縦振動子等が得られるため、製造が容易で、接着工
程や複雑な加工工程による特性のばらつきの少ない圧電
複合振動子が得られる。
されているプレス成型技術により容易に製造することが
可能な圧電セラミックス円柱あるいは圧電セラミックス
中空円柱を用いて、これらの外周面にこれも一般的な技
術である電極印刷を施すことにより圧電捩り振動子及び
圧電縦振動子等が得られるため、製造が容易で、接着工
程や複雑な加工工程による特性のばらつきの少ない圧電
複合振動子が得られる。
第１図は本発明の実施例に係る圧電複合振動子の構造を
示す斜視図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ），及び
（ｄ）は交差指電極を用いて分極及び電圧印加を行った
場合の歪みの発生状態の説明図、第３図は円柱状弾性体
を捩ったときの歪みの発生状態の説明図、第４図
（ａ），（ｂ），及び（ｃ）は従来例に係る捩り振動子
の構造及び製造工程の説明図、第５図（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ），及び（ｅ）は従来の捩り振動子の製造
肯定を順に示す斜視図、第６図（ａ），（ｂ）は従来の
圧電縦振動子の構造を示す斜視図である。 図中、１は圧電複合振動子、1aは圧電捩り振動子部、1b
は第１の圧電縦振動子部、1cは第２の圧電縦振動子部、
10はパイプ状圧電セラミックス、11は第１の斜め電極、
12は第２の斜め電極、11′は第１の共通電極、12′は第
２の共通電極、13は第１の周電極、13′は第３の共通電
極、14は第２の周電極、14′は第４の共通電極、15は第
３の周電極、15′は第５の共通電極、16は第４の周電
極、16′は第６の共通電極、18は第１の表面電極、18′
は第１の接続電極、19は第２の表面電極、19′は第２の
接続電極、20は圧電セラミックス板、21は分極方向を示
す矢印、22は電圧印加方向を示す矢印、30はパイプ状圧
電セラミックス、51は円板状の圧電捩り振動子、52は扇
型の圧電セラミックス板、53は圧電セラミックス板材、
54は圧電セラミックスのブロック、55は正四角柱、66,6
6′は圧電縦振動子、67は矢印、68,68′は接続線であ
る。
示す斜視図、第２図（ａ），（ｂ），（ｃ），及び
（ｄ）は交差指電極を用いて分極及び電圧印加を行った
場合の歪みの発生状態の説明図、第３図は円柱状弾性体
を捩ったときの歪みの発生状態の説明図、第４図
（ａ），（ｂ），及び（ｃ）は従来例に係る捩り振動子
の構造及び製造工程の説明図、第５図（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ），及び（ｅ）は従来の捩り振動子の製造
肯定を順に示す斜視図、第６図（ａ），（ｂ）は従来の
圧電縦振動子の構造を示す斜視図である。 図中、１は圧電複合振動子、1aは圧電捩り振動子部、1b
は第１の圧電縦振動子部、1cは第２の圧電縦振動子部、
10はパイプ状圧電セラミックス、11は第１の斜め電極、
12は第２の斜め電極、11′は第１の共通電極、12′は第
２の共通電極、13は第１の周電極、13′は第３の共通電
極、14は第２の周電極、14′は第４の共通電極、15は第
３の周電極、15′は第５の共通電極、16は第４の周電
極、16′は第６の共通電極、18は第１の表面電極、18′
は第１の接続電極、19は第２の表面電極、19′は第２の
接続電極、20は圧電セラミックス板、21は分極方向を示
す矢印、22は電圧印加方向を示す矢印、30はパイプ状圧
電セラミックス、51は円板状の圧電捩り振動子、52は扇
型の圧電セラミックス板、53は圧電セラミックス板材、
54は圧電セラミックスのブロック、55は正四角柱、66,6
6′は圧電縦振動子、67は矢印、68,68′は接続線であ
る。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 41/09 H02N 2/00
Claims (1)
- 【請求項１】円柱形の外周面を備えた圧電セラミックス
の中央部、及び前記中央部の外周面に前記圧電セラミッ
クスの長さ方向に対して交差する方向に延在するととも
に前記圧電セラミックスの円周方向に交互に配置された
複数の第１の斜め電極及び複数の第２の斜め電極をも
ち、捩り振動を行う圧電捩り振動子部と、 前記圧電セラミックスの中央部に連続した両端部、及び
前記両端部の外周面に夫々円周方向に延在するとともに
夫々前記圧電セラミックスの長さ方向に交互に配置され
た複数の第１及び第２の周電極及び複数の第３及び第４
の周電極の夫々をもち、夫々縦振動を行う第１及び第２
の圧電縦振動子部とを有することを特徴とする圧電複合
振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1152111A JP2867269B2 (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 圧電複合振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1152111A JP2867269B2 (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 圧電複合振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0319291A JPH0319291A (ja) | 1991-01-28 |
| JP2867269B2 true JP2867269B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=15533301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1152111A Expired - Lifetime JP2867269B2 (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 圧電複合振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2867269B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5971258A (en) * | 1994-02-14 | 1999-10-26 | Kaiser Aluminum & Chemical Corporation | Method of joining aluminum parts by brazing using aluminum-magnesium-lithium-filler alloy |
| US5422191A (en) * | 1994-02-14 | 1995-06-06 | Kaiser Aluminum & Chemical Corporation | Aluminum-lithium filler alloy for brazing |
| US5728479A (en) * | 1995-11-03 | 1998-03-17 | Childree; David L. | Aluminum-lithium-magnesium filler alloy for brazing |
| WO1998045082A1 (en) * | 1997-04-09 | 1998-10-15 | Kaiser Aluminum & Chemical Corporation | Brazing filler alloy containing calcium |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP1152111A patent/JP2867269B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0319291A (ja) | 1991-01-28 |
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