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JP2023049122A - Paek resin substrate for printed wiring board, and metal-clad laminate having the paek resin substrate - Google Patents

Paek resin substrate for printed wiring board, and metal-clad laminate having the paek resin substrate Download PDF

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JP2023049122A
JP2023049122A JP2021158678A JP2021158678A JP2023049122A JP 2023049122 A JP2023049122 A JP 2023049122A JP 2021158678 A JP2021158678 A JP 2021158678A JP 2021158678 A JP2021158678 A JP 2021158678A JP 2023049122 A JP2023049122 A JP 2023049122A
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Japan
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film
metal
coating film
resin
paek
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Application number
JP2021158678A
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Japanese (ja)
Inventor
一義 吉田
Kazuyoshi Yoshida
航 片桐
Wataru Katagiri
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Abstract

【課題】電気信号の伝送損失が低減できる平滑な表面の金属膜を有する金属張積層板であって、金属膜の密着性が良好で、回路パターンのファインピッチ化ができ、高精度で微細な回路が形成でき、さらに多層基板とした際のスルーホールの接続信頼性を確保できる、これら全ての要求を十分満足できる金属張積層板の提供。また、上記金属張積層板を形成するために用いる、基材フィルム上に塗膜が形成されたプリント配線板用の基材の提供。【解決手段】ポリアリーレンエーテルケトン(PAEK)樹脂からなる基材フィルム上に塗膜を形成したプリント配線板用のPAEK樹脂基材であって、前記PAEK樹脂基材の厚み方向の線熱膨張係数(CTE)が170ppm/℃以下であり、前記基材フィルムの厚み方向のCTEが60ppm/℃以下であり、前記塗膜の厚み方向のCTEが300ppm/℃以下である、PAEK樹脂基材である。【選択図】なしKind Code: A1 A metal-clad laminate having a metal film with a smooth surface that can reduce transmission loss of electrical signals, the metal film has good adhesion, a fine-pitch circuit pattern can be formed, and high-precision and minute patterns can be formed. To provide a metal-clad laminate capable of forming a circuit, ensuring connection reliability of through-holes when formed into a multilayer board, and sufficiently satisfying all these requirements. The present invention also provides a substrate for a printed wiring board, which is used for forming the above metal-clad laminate and has a coating film formed on a substrate film. A PAEK resin substrate for a printed wiring board in which a coating film is formed on a substrate film made of a polyarylene ether ketone (PAEK) resin, the coefficient of linear thermal expansion in the thickness direction of the PAEK resin substrate (CTE) is 170 ppm/° C. or less, the CTE in the thickness direction of the base film is 60 ppm/° C. or less, and the CTE in the thickness direction of the coating film is 300 ppm/° C. or less. . [Selection figure] None

Description

本発明は、プリント配線板用のPAEK樹脂基材、及び該PAEK樹脂基材を有する金属張積層板に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a PAEK resin base material for printed wiring boards and a metal-clad laminate having the PAEK resin base material.

近年、スマートフォンに代表される通信機器における通信速度の高速化・大容量化に伴い、これら通信機器に使用される回路基板には、電気信号の低損失化や回路パターンのファインピッチ化、高精度で微細な回路形成が求められている。
回路基板の主材料である金属張積層板、いわゆる絶縁性樹脂からなる基材フィルムの表面に金属膜を載せ積層させた金属張積層板(例えば、銅張積層板(CCL))にも、上記回路基板と同様の性能が求められる。
各種の改良がなされた金属張積層板(例えば、銅張積層板(CCL))が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
In recent years, with the increase in communication speed and capacity in communication devices such as smartphones, the circuit boards used in these communication devices are required to have lower electrical signal loss, finer pitch circuit patterns, and higher precision. Therefore, fine circuit formation is demanded.
Metal-clad laminates (e.g., copper-clad laminates (CCL)) in which a metal film is placed and laminated on the surface of a base film made of a so-called insulating resin, which is the main material of a circuit board, also have the above-mentioned properties. Performance similar to that of circuit boards is required.
Various improved metal-clad laminates (for example, copper-clad laminates (CCL)) have been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特開2011-14801号公報Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2011-14801

電気信号の伝送損失を低減するためには、電気信号の伝送路となる金属膜の表面が平滑であることが有効である。ところが、金属膜の表面が平滑であると、金属膜と他層との密着性(接着性)が問題となる。
そこで、電気信号の伝送損失を低減でき、かつ金属膜と基材フィルムとの密着性に優れた金属張積層板の提供が望まれている。
本発明者らは、基材フィルム上に塗膜を形成し、該塗膜上に金属膜を形成してなる金属張積層板が良好な密着性を担保するうえで有効であることを確認した。
In order to reduce the transmission loss of electrical signals, it is effective that the surface of the metal film, which is the transmission path of the electrical signals, is smooth. However, if the surface of the metal film is smooth, adhesion between the metal film and other layers becomes a problem.
Therefore, it is desired to provide a metal-clad laminate that can reduce the transmission loss of electrical signals and has excellent adhesion between the metal film and the substrate film.
The present inventors have confirmed that a metal-clad laminate formed by forming a coating film on a substrate film and forming a metal film on the coating film is effective in ensuring good adhesion. .

ところで、電子回路基板の高多層化に対応し,スルーホール接続等の基板材料の信頼性に対する要求も高まってきている。 By the way, with the increasing number of layers in electronic circuit boards, there is an increasing demand for the reliability of board materials for through-hole connections and the like.

そこで、本発明は、電気信号の伝送損失が低減できる平滑な表面の金属膜を有する金属張積層板であって、金属膜の密着性が良好で、回路パターンのファインピッチ化ができ、高精度で微細な回路が形成でき、さらに多層基板とした際のスルーホールの接続信頼性を確保できる、これら全ての要求を十分満足できる金属張積層板を提供することを目的とする。
また、本発明は、上記金属張積層板を形成するために用いる、基材フィルム上に塗膜が形成されたプリント配線板用の基材を提供することを目的とする。
Therefore, the present invention provides a metal-clad laminate having a metal film with a smooth surface capable of reducing transmission loss of electrical signals, which has good adhesion to the metal film, enables fine-pitch circuit patterns, and achieves high precision. It is an object of the present invention to provide a metal-clad laminate which satisfies all of these requirements such that a fine circuit can be formed in a multi-layer substrate and the connection reliability of through-holes can be ensured when the substrate is formed into a multi-layer substrate.
Another object of the present invention is to provide a substrate for a printed wiring board, which is used for forming the above metal-clad laminate and has a coating film formed on a substrate film.

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定の線熱膨張係数(CTE)を示すポリアリーレンエーテルケトン(PAEK)樹脂基材を用いて形成した金属張積層板が上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that a metal-clad laminate formed using a polyarylene ether ketone (PAEK) resin substrate exhibiting a specific coefficient of linear thermal expansion (CTE) have found that the above problems can be solved, and have completed the present invention.

本発明は、以下の態様を包含するものである。
[1]ポリアリーレンエーテルケトン(PAEK)樹脂からなる基材フィルム上に塗膜を形成したプリント配線板用のPAEK樹脂基材であって、
前記PAEK樹脂基材の厚み方向の線熱膨張係数(CTE)が170ppm/℃以下であり、
前記基材フィルムの厚み方向のCTEが60ppm/℃以下であり、
前記塗膜の厚み方向のCTEが300ppm/℃以下である、PAEK樹脂基材。
[2]前記基材フィルムの厚みと前記塗膜の厚みの比(前記基材フィルムの厚み/前記塗膜の厚み)が1.2以下である、[1]に記載のPAEK樹脂基材。
[3]前記基材フィルムの比誘電率が3.5以下で、誘電正接が0.004以下である、[1]又は[2]に記載のPAEK樹脂基材。
[4]前記塗膜が、熱硬化樹脂からなる、[1]~[3]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[5]前記塗膜が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、又はビスマレイミド樹脂の少なくともいずれかを含む、[4]に記載のPAEK樹脂基材。
[6]前記塗膜の比誘電率が3.5以下で、誘電正接が0.004以下である、[1]~[5]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[7]前記基材フィルムがフィラーを含有する、[1]~[6]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[8]前記フィラーが、マイカ、タルク、窒化ホウ素(BN)、酸化マグネシウム、及びシリカの少なくともいずれかを含む、[7]に記載のPAEK樹脂基材。
[9]前記フィラーが、板状の形状を有する、[7]又は[8]に記載のPAEK樹脂基材。
[10]前記フィラーのアスペクト比が5以上500以下である、[7]~[9]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[11]前記フィラーの平均粒径が20μm以下である、[7]~[10]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[12]前記塗膜がフィラーを含有する、[1]~[11]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[13]前記基材フィルムの表面粗さ(RzP)が1μm以上10μm以下である、[1]~[12]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[14]前記塗膜の表面粗さ(Rz)が0.01μm以上1μm以下である、[1]~[13]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[15]前記塗膜の膜厚が、前記基材フィルムの表面粗さ(RzP)×0.7以上である、[1]~[14]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[16]前記基材フィルム及び/又は前記塗膜の表面が、コロナ処理、プラズマ処理、又は紫外線処理されている、[1]~[15]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材。
[17][1]~[16]のいずれかに記載のPAEK樹脂基材に金属膜が積層されてなる金属張積層板であって、
前記基材フィルム上に前記塗膜、前記金属膜がこの順で積層されており、
前記金属膜がメッキ、スパッタ、及び蒸着の少なくともいずれかの形成法で形成された金属膜である、金属張積層板。
[18]前記塗膜及び前記金属膜が前記基材フィルムの両側に積層されてなり、金属膜、塗膜、基材フィルム、塗膜、金属膜の順で積層されてなる、[17]に記載の金属張積層板。
[19]前記金属膜の表面粗さ(Rz)が0.5μm以下である、[17]又は[18]に記載の金属張積層板。
[20]前記金属膜の膜厚が0.05μm以上10μm以下である、[17]~[19]のいずれかに記載の金属張積層板。
[21]前記金属膜が銅の金属膜である、[17]~[20]のいずれかに記載の金属張積層板。
The present invention includes the following aspects.
[1] A PAEK resin substrate for a printed wiring board in which a coating film is formed on a substrate film made of polyarylene ether ketone (PAEK) resin,
The coefficient of linear thermal expansion (CTE) in the thickness direction of the PAEK resin base material is 170 ppm/° C. or less,
The CTE in the thickness direction of the base film is 60 ppm/° C. or less,
A PAEK resin base material, wherein the CTE in the thickness direction of the coating film is 300 ppm/°C or less.
[2] The PAEK resin substrate according to [1], wherein the ratio of the thickness of the substrate film to the thickness of the coating film (thickness of substrate film/thickness of coating film) is 1.2 or less.
[3] The PAEK resin substrate according to [1] or [2], wherein the substrate film has a dielectric constant of 3.5 or less and a dielectric loss tangent of 0.004 or less.
[4] The PAEK resin substrate according to any one of [1] to [3], wherein the coating film is made of a thermosetting resin.
[5] The PAEK resin substrate according to [4], wherein the coating film contains at least one of an epoxy resin, a polyimide resin, and a bismaleimide resin.
[6] The PAEK resin substrate according to any one of [1] to [5], wherein the coating film has a dielectric constant of 3.5 or less and a dielectric loss tangent of 0.004 or less.
[7] The PAEK resin substrate according to any one of [1] to [6], wherein the substrate film contains a filler.
[8] The PAEK resin base material according to [7], wherein the filler contains at least one of mica, talc, boron nitride (BN), magnesium oxide, and silica.
[9] The PAEK resin substrate according to [7] or [8], wherein the filler has a plate-like shape.
[10] The PAEK resin substrate according to any one of [7] to [9], wherein the filler has an aspect ratio of 5 or more and 500 or less.
[11] The PAEK resin base material according to any one of [7] to [10], wherein the filler has an average particle size of 20 μm or less.
[12] The PAEK resin substrate according to any one of [1] to [11], wherein the coating film contains a filler.
[13] The PAEK resin substrate according to any one of [1] to [12], wherein the substrate film has a surface roughness (RzP) of 1 μm or more and 10 μm or less.
[14] The PAEK resin substrate according to any one of [1] to [13], wherein the coating film has a surface roughness (Rz) of 0.01 μm or more and 1 μm or less.
[15] The PAEK resin base material according to any one of [1] to [14], wherein the film thickness of the coating film is the surface roughness (RzP) of the base film×0.7 or more.
[16] The PAEK resin base material according to any one of [1] to [15], wherein the surface of the base film and/or the coating film is corona-treated, plasma-treated, or ultraviolet-treated.
[17] A metal-clad laminate obtained by laminating a metal film on the PAEK resin base material according to any one of [1] to [16],
The coating film and the metal film are laminated in this order on the base film,
A metal-clad laminate, wherein the metal film is a metal film formed by at least one of plating, sputtering, and vapor deposition.
[18] The coating film and the metal film are laminated on both sides of the base film, and the metal film, the coating film, the base film, the coating film, and the metal film are laminated in this order, [17] A metal-clad laminate as described.
[19] The metal-clad laminate according to [17] or [18], wherein the metal film has a surface roughness (Rz) of 0.5 μm or less.
[20] The metal-clad laminate according to any one of [17] to [19], wherein the thickness of the metal film is 0.05 μm or more and 10 μm or less.
[21] The metal-clad laminate according to any one of [17] to [20], wherein the metal film is a copper metal film.

本発明によれば、電気信号の伝送損失が低減できる平滑な表面の金属膜を有する金属張積層板であって、金属膜の密着性が良好で、回路パターンのファインピッチ化ができ、高精度で微細な回路が形成でき、さらに多層基板とした際のスルーホールの接続信頼性を確保できる金属張積層板を提供することができる。
また、本発明によれば、上記金属張積層板を形成するために用いる、基材フィルム上に塗膜が形成されたプリント配線板用の基材を提供することができる。
According to the present invention, there is provided a metal-clad laminate having a metal film with a smooth surface that can reduce the transmission loss of electrical signals, the adhesion of the metal film is good, the circuit pattern can be fine-pitched, and the precision is high. It is possible to provide a metal-clad laminate capable of forming a fine circuit and ensuring connection reliability of through-holes in a multi-layer substrate.
Further, according to the present invention, it is possible to provide a base material for printed wiring boards, which is used for forming the above metal-clad laminate and has a coating film formed on a base film.

本発明の金属張積層板の構成の一例を示す断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows an example of a structure of the metal-clad laminated board of this invention. 本発明の金属張積層板の構成の他の例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another example of the configuration of the metal-clad laminate of the present invention;

以下、本発明のプリント配線板用のPAEK樹脂基材、及び該PAEK樹脂基材を用いて形成された本発明の金属張積層板について詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の一実施態様としての一例であり、これらの内容に特定されるものではない。
以下の用語の定義は、本明細書及び特許請求の範囲にわたって適用される。
基材フィルム、塗膜、金属膜等の膜厚は、顕微鏡を用いて測定対象の断面を観察し、5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
Hereinafter, the PAEK resin base material for printed wiring boards of the present invention and the metal-clad laminate of the present invention formed using the PAEK resin base material will be described in detail. , is an example as one embodiment of the present invention, and is not limited to these contents.
The following term definitions apply throughout the specification and claims.
The film thickness of the substrate film, coating film, metal film, etc. is the average value obtained by observing the cross section of the measurement target using a microscope, measuring the thickness at five locations, and averaging the thickness.

(プリント配線板用のPAEK樹脂基材)
ポリアリーレンエーテルケトン(PAEK)樹脂基材は、プリント配線板として用いられ、PAEK樹脂からなる基材フィルム上に塗膜が形成されてなる。
PAEK樹脂基材の厚み方向の線熱膨張係数(CTE)(25℃~140℃のCTE)は、170ppm/℃以下である。
PAEK樹脂基材を構成する基材フィルムと塗膜の厚み方向のCTEは、それぞれ以下のとおりである。
基材フィルムの厚み方向のCTE(25℃~140℃のCTE)は60ppm/℃以下であり、塗膜の厚み方向のCTE(25℃~140℃のCTE)は300ppm/℃以下である。
本明細書において、線熱膨張係数(CTE)は、熱膨張係数、線熱膨張率、又は熱膨張率ともいう。
(PAEK resin base material for printed wiring board)
A polyarylene ether ketone (PAEK) resin base material is used as a printed wiring board, and is formed by forming a coating film on a base film made of a PAEK resin.
The coefficient of linear thermal expansion (CTE) in the thickness direction of the PAEK resin substrate (CTE at 25° C. to 140° C.) is 170 ppm/° C. or less.
The CTE in the thickness direction of the base film and the coating film constituting the PAEK resin base are as follows.
The CTE in the thickness direction of the base film (CTE from 25° C. to 140° C.) is 60 ppm/° C. or less, and the CTE in the thickness direction of the coating film (CTE from 25° C. to 140° C.) is 300 ppm/° C. or less.
As used herein, the coefficient of linear thermal expansion (CTE) is also referred to as coefficient of thermal expansion, linear thermal expansion coefficient, or coefficient of thermal expansion.

厚み方向の線熱膨張係数(CTE)は、次のようにして求めることができる。JIS R 3251に準拠して、レーザ熱膨張計〔アドバンス理工社製 製品名:LIX-2L型〕を用い、測定試料を25℃から300℃まで昇温速度が5℃/minの割合となるよう昇温し、寸法の温度変化を測定することにより、25℃から140℃における傾きを求め、線膨張係数を算出する。 The coefficient of linear thermal expansion (CTE) in the thickness direction can be obtained as follows. In accordance with JIS R 3251, a laser thermal dilatometer [product name: LIX-2L manufactured by Advance Riko Co., Ltd.] was used to raise the temperature of the measurement sample from 25°C to 300°C at a rate of 5°C/min. By increasing the temperature and measuring the temperature change in the dimensions, the slope from 25° C. to 140° C. is obtained, and the coefficient of linear expansion is calculated.

<基材フィルム>
基材フィルムは、PAEK樹脂フィルムである。
PAEK樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂フィルム、ポリエーテルケトン(PEK)樹脂フィルム、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂フィルム、ポリエーテルケトンエーテルケトンケトン(PEKEKK)樹脂フィルム等が挙げられる。
これらの中でも、接着性及び電気特性の観点から、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)フィルムが好ましい。
基材フィルムには、フィラーを含有させることができる。以下、フィラーについて、詳しく説明する。
<Base film>
The base film is a PAEK resin film.
Examples of PAEK resin films include polyetheretherketone (PEEK) resin films, polyetherketone (PEK) resin films, polyetherketoneketone (PEKK) resin films, polyetherketoneetherketoneketone (PEKEKK) resin films, and the like. mentioned.
Among these, a polyetheretherketone (PEEK) film is preferable from the viewpoint of adhesiveness and electrical properties.
The base film can contain a filler. The filler will be described in detail below.

<<フィラー>>
基材フィルムは、基材の強度、絶縁性、耐熱性、線熱膨張率(CTE)の調整等各種の機能を付与するため、フィラーを含むことができる。フィラーとしては、例えば、無機フィラー及び有機フィラーが挙げられ、これらを単独で又は組み合わせて使用することができる。
<<Filler>>
The base film can contain a filler in order to impart various functions such as strength, insulation, heat resistance, and adjustment of coefficient of linear thermal expansion (CTE) to the base. Examples of fillers include inorganic fillers and organic fillers, which can be used alone or in combination.

無機フィラーとしては、例えば、マイカ、タルク、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、シリカ、珪藻土、酸化チタン、酸化亜鉛等が挙げられる。中でも、マイカ、タルク、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、シリカの無機フィラーが好ましい。 Examples of inorganic fillers include mica, talc, boron nitride, magnesium oxide, silica, diatomaceous earth, titanium oxide, and zinc oxide. Among them, inorganic fillers such as mica, talc, boron nitride, magnesium oxide and silica are preferred.

有機フィラーとしては特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリメチルメタクリレート、液晶ポリマー、ポリテトラフルオロエチレン等の有機粒子が挙げられる。 Examples of organic fillers include, but are not limited to, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polystyrene, polyamide, polycarbonate, polyimide, polyetherketone, polyetheretherketone, polymethylmethacrylate, liquid crystal polymer, and polytetrafluoroethylene. organic particles such as

無機フィラー及び有機フィラーは、上記のなかから1種を選択して単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。2種以上を組合せる場合は無機フィラーと有機フィラーの組合せであってもよい。 One of the inorganic fillers and organic fillers may be selected from the above and used alone, or two or more thereof may be used in combination. When two or more types are combined, a combination of an inorganic filler and an organic filler may be used.

フィラーの形状としては、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、無機フィラーは、球状無機フィラーでも非球状無機フィラーでもよいが、熱膨張率(CTE)、フィルム強度の観点からは、非球状無機フィラーが好ましい。非球状無機フィラーの形状は、球状(略真円球状)以外の三次元形状であればよく、例えば、板状、鱗片状、柱状、鎖状、繊維状等が挙げられる。中でも、熱膨張率(CTE)、フィルム強度の観点から、板状、鱗片状の無機フィラーが好ましく、板状の無機フィラーがより好ましい。
板状、鱗片状の無機フィラーの場合、平面方向の平均粒径は0.05μm以上20μm以下、好ましくは0.1μm以上15μm以下、望ましくは0.1μm以上10μm以下、より望ましくは0.1μm以上7μm以下であることが好ましく、また、平面方向と厚みを意味するアスペクト比(平均長軸長さ/平均短軸長さ)は、熱膨張率(CTE)、フィルム強度の観点から5以上500以下、好ましくは20以上500以下、望ましくは40以上500以下であることが好ましい。
フィラーの平均粒径が20μm以下であれば、基材フィルムの表面粗さを小さくすることができ、平滑な塗膜を形成しやすくなる。
アスペクト比が5以上であればCTEを十分に小さくしやすい。
アスペクト比が大きいほどCTEを調整しやすいが、粒子径を小さくしながらアスペクト比を大きくすることは困難で、フィラーのコストが高くなる傾向があるので500以下とすることが望ましい。
The shape of the filler is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose. For example, the inorganic filler may be a spherical inorganic filler or a non-spherical inorganic filler, but a non-spherical inorganic filler is preferable from the viewpoint of coefficient of thermal expansion (CTE) and film strength. The shape of the non-spherical inorganic filler may be any three-dimensional shape other than a spherical shape (substantially spherical shape), and examples thereof include plate-like, scale-like, columnar, chain-like, and fibrous shapes. Among them, from the viewpoint of coefficient of thermal expansion (CTE) and film strength, plate-like and scale-like inorganic fillers are preferable, and plate-like inorganic fillers are more preferable.
In the case of a plate-like or scale-like inorganic filler, the average particle size in the plane direction is 0.05 μm or more and 20 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 15 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less, more preferably 0.1 μm or more. It is preferably 7 μm or less, and the aspect ratio (average major axis length/average minor axis length), which means the plane direction and thickness, is 5 or more and 500 or less from the viewpoint of coefficient of thermal expansion (CTE) and film strength. , preferably 20 or more and 500 or less, desirably 40 or more and 500 or less.
If the average particle size of the filler is 20 µm or less, the surface roughness of the substrate film can be reduced, and a smooth coating film can be easily formed.
If the aspect ratio is 5 or more, it is easy to make the CTE sufficiently small.
The larger the aspect ratio, the easier it is to adjust the CTE.

[平均粒径、アスペクト比の測定]
無機フィラーの平均粒径及びアスペクト比は、例えば、走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察し、3箇所以上の測定値の平均から求めることができる。なお、フィルム(層)中に存在する無機フィラーの平均粒径及びアスペクト比については、例えばフィルムをエポキシ樹脂で包埋した後、イオンミリング装置を用いてフィルム断面のイオンミリングを行って断面観察用試料を作製し、得られた試料の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察し、3箇所以上の測定値の平均から求めることができる。
また、有機フィラーの平均粒径は、基材フィルムの切断面を電子顕微鏡で観察し、粒子の少なくとも10個の最大径を測定したときの平均値を、溶融混練と分散により基材フィルムの樹脂中に分散したときの平均分散粒径として求めることができる。
[Measurement of average particle size and aspect ratio]
The average particle size and aspect ratio of the inorganic filler can be obtained by observing, for example, using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM) and averaging measured values at three or more locations. Regarding the average particle size and aspect ratio of the inorganic filler present in the film (layer), for example, after embedding the film in epoxy resin, ion milling of the cross section of the film is performed using an ion milling device for cross-sectional observation. A sample is prepared, a cross section of the obtained sample is observed using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM), and the average of measured values at three or more points can be obtained.
In addition, the average particle size of the organic filler is obtained by observing the cut surface of the base film with an electron microscope and measuring the maximum diameter of at least 10 particles. It can be obtained as the average dispersed particle diameter when dispersed in the inside.

基材フィルム中のフィラーの含有量は、1体積%以上30体積%以下が好ましく、3体積%以上25体積%以下がより好ましい。 The filler content in the base film is preferably 1% by volume or more and 30% by volume or less, more preferably 3% by volume or more and 25% by volume or less.

<<その他の成分>>
本発明において、基材フィルムには、必要に応じて公知の添加剤を任意に含有することができる。添加剤としては、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶核剤、可塑剤、フィラーの分散剤等が挙げられる。
<<Other Ingredients>>
In the present invention, the base film may optionally contain known additives as necessary. Examples of additives include antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, crystal nucleating agents, plasticizers, filler dispersants, and the like.

<<基材フィルムの特性>>
基材フィルムの膜厚は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、10μm~250μmであることが好ましい。
<<Characteristics of base film>>
The film thickness of the substrate film is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose, but is preferably 10 μm to 250 μm.

基材フィルムの表面粗さ(RzP)は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、基材フィルムに各種機能を付与するために含有させるフィラーの種類や含有量等の諸条件を考慮すると、基材フィルムの表面粗さ(RzP)は、1μm以上である。一方、基材フィルム上に形成される塗膜の表面粗さ(Rz)を所望の範囲とするには、基材フィルムの表面粗さ(RzP)は、10μm以下であることが好ましい。つまり、基材フィルムの表面粗さ(RzP)としては、1μm以上10μm以下であることが好ましい。
本明細書において、表面粗さ(Rz)(基材フィルムの表面粗さ(RzP)や、後述する塗膜の表面粗さ(Rz)及び金属膜の表面粗さ(Rz)を含む)とは、膜表面の十点平均粗さをいう。十点平均粗さRzは、JIS B 0601:2013(ISO 4287:1997 Amd.1:2009)に基づいて求めることができる。
The surface roughness (RzP) of the base film is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. Considering various conditions, the surface roughness (RzP) of the base film is 1 μm or more. On the other hand, in order to keep the surface roughness (Rz) of the coating film formed on the base film within the desired range, the surface roughness (RzP) of the base film is preferably 10 μm or less. That is, the surface roughness (RzP) of the base film is preferably 1 μm or more and 10 μm or less.
In the present specification, the surface roughness (Rz) (including the surface roughness (RzP) of the base film, the surface roughness (Rz) of the coating film and the surface roughness (Rz) of the metal film described later) , refers to the ten-point average roughness of the film surface. The ten-point average roughness Rz can be obtained based on JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997 Amd.1:2009).

[十点平均粗さRzの測定]
シートの表面の十点平均粗さRz(μm)は、試験片についてレーザー顕微鏡を用いて粗さ曲線を測定し、この粗さ曲線から、JIS B 0601:2013(ISO 4287:1997 Amd.1:2009)に基づいて、それぞれ10サンプルずつ測定し、それらの平均値を求めることにより得る。
[Measurement of ten-point average roughness Rz]
The ten-point average roughness Rz (μm) of the surface of the sheet is obtained by measuring the roughness curve of the test piece using a laser microscope, and from this roughness curve, JIS B 0601: 2013 (ISO 4287: 1997 Amd.1: 2009), 10 samples are measured and the average value is obtained.

基材フィルムの比誘電率、及び誘電正接は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、電気信号の伝送損失の低減の理由から比誘電率は、3.5以下で、誘電正接は0.004以下であることが好ましい。 The relative dielectric constant and dielectric loss tangent of the base film are not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. , the dielectric loss tangent is preferably 0.004 or less.

[比誘電率及び誘電正接]
基材フィルムの比誘電率及び誘電正接は、ネットワークアナライザーMS46122B(Anritsu社製)と開放型共振器ファブリペローDPS-03(KEYCOM社製)とを使用し、開放型共振器法で、温度23℃、周波数28GHzの条件で測定することができる。
[Relative permittivity and dielectric loss tangent]
The relative dielectric constant and dielectric loss tangent of the base film were determined by the open resonator method using a network analyzer MS46122B (manufactured by Anritsu) and an open resonator Fabry-Perot DPS-03 (manufactured by KEYCOM) at a temperature of 23°C. , and a frequency of 28 GHz.

基材フィルムの表面は、塗膜との密着性向上の理由により、コロナ処理、プラズマ処理、又は紫外線処理により表面処理されていてもよい。 The surface of the substrate film may be surface-treated by corona treatment, plasma treatment, or ultraviolet treatment for the reason of improving adhesion to the coating film.

<塗膜> <Coating film>

塗膜は、樹脂組成物を成膜し硬化することにより形成される。
塗膜を形成する樹脂組成物としては、熱硬化樹脂からなることが好ましい。
熱硬化性樹脂としては、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ビスマレイミド樹脂等が挙げられるが、中でも、耐熱性、密着性、誘電特性の観点から、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、又はビスマレイミド樹脂の少なくともいずれかを含む塗膜であることが好ましい。
A coating film is formed by film-forming and hardening a resin composition.
The resin composition forming the coating film is preferably made of a thermosetting resin.
Examples of thermosetting resins include phenol resins, epoxy resins, urea resins, melamine resins, unsaturated polyester resins, polyurethane resins, polyimide resins, silicone resins, and bismaleimide resins. From the viewpoint of properties and dielectric properties, the coating film preferably contains at least one of epoxy resin, polyimide resin, and bismaleimide resin.

<<エポキシ樹脂>>
エポキシ樹脂の例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、又はそれらに水素添加したもの;フタル酸ジグリシジルエステル、イソフタル酸ジグリシジルエステル、テレフタル酸ジグリシジルエステル、p-ヒドロキシ安息香酸グリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、コハク酸ジグリシジルエステル、アジピン酸ジグリシジルエステル、セバシン酸ジグリシジルエステル、トリメリット酸トリグリシジルエステル等のグリシジルエステル系エポキシ樹脂;エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラフェニルグリシジルエーテルエタン、トリフェニルグリシジルエーテルエタン、ソルビトールのポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールのポリグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル系エポキシ樹脂;トリグリシジルイソシアヌレート、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン等のグリシジルアミン系エポキシ樹脂;エポキシ化ポリブタジエン、エポキシ化大豆油等の線状脂肪族エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限定するものではない。また、キシレン構造含有ノボラックエポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、o-クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂も用いることができる。
<<epoxy resin>>
Examples of epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, or hydrogenated versions thereof; diglycidyl phthalate, diglycidyl isophthalate, diglycidyl terephthalate, p-hydroxybenzoic acid Glycidyl ester epoxy resins such as glycidyl ester, diglycidyl tetrahydrophthalate, diglycidyl succinate, diglycidyl adipate, diglycidyl sebacate, and triglycidyl trimellitate; ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol Diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, tetraphenylglycidyl ether ethane, triphenylglycidyl ether ethane, sorbitol glycidyl ether-based epoxy resins such as polyglycidyl ether of polyglycerol and polyglycidyl ether of polyglycerol; glycidylamine-based epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate and tetraglycidyldiaminodiphenylmethane; linear aliphatics such as epoxidized polybutadiene and epoxidized soybean oil Examples include, but are not limited to, epoxy resins and the like. Novolac epoxy resins such as xylene structure-containing novolac epoxy resins, naphthol novolac epoxy resins, phenol novolak epoxy resins, o-cresol novolak epoxy resins, and bisphenol A novolak epoxy resins can also be used.

更に、エポキシ樹脂の例として臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、フッ素含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格含有エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ターシャリーブチルカテコール型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂等を用いることができる。これらのエポキシ樹脂は1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Furthermore, examples of epoxy resins include brominated bisphenol A type epoxy resins, phosphorus-containing epoxy resins, fluorine-containing epoxy resins, dicyclopentadiene skeleton-containing epoxy resins, naphthalene skeleton-containing epoxy resins, anthracene-type epoxy resins, and tertiary-butylcatechol-type epoxy resins. Resin, triphenylmethane type epoxy resin, tetraphenylethane type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, etc. can be used. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

<<ビスマレイミド樹脂>>
ビスマレイミド樹脂としては、例えば、1-メチル-2,4-ビスマレイミドベンゼン、N,N’-m-フェニレンビスマレイミド、N,N’-p-フェニレンビスマレイミド、N,N’-m-トルイレンビスマレイミド、N,N’-4,4-ビフェニレンビスマレイミド、N,N’-4,4-(3,3’-ジメチル-ビフェニレン)ビスマレイミド、N,N’-4,4-(3,3’-ジメチルジフェニルメタン)ビスマレイミド、N,N’-4,4-(3,3’-ジエチルジフェニルメタン)ビスマレイミド、N,N’-4,4-ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’-4,4-ジフェニルプロパンビスマレイミド、N,N’-4,4-ジフェニルエーテルビスマレイミド、N,N’-3,3-ジフェニルスルホンビスマレイミド等が挙げられる。
さらに、上記ビスマレイミド樹脂を1級アミンを有する化合物で変性した変性ビスマレイミドや、ダイマー酸やトリマー酸等のアミン変性物とマレイン酸無水物やピロメリット酸等で鎖延長した重合物等が挙げられる。
ビスマレイミド樹脂は、市販の化合物を用いることもでき、具体的には例えば、DESIGNER MOLECURES Inc.製のBMI-3000、BMI-1500、BMI-2550、BMI-1400、BMI-2310、BMI-3005、BMI-689、BMI-2500、BMI-6000、BMI-6100等を好適に用いることができる。
<<Bismaleimide resin>>
Examples of bismaleimide resins include 1-methyl-2,4-bismaleimidebenzene, N,N'-m-phenylenebismaleimide, N,N'-p-phenylenebismaleimide, N,N'-m-toluene. Irenebismaleimide, N,N'-4,4-biphenylenebismaleimide, N,N'-4,4-(3,3'-dimethyl-biphenylene)bismaleimide, N,N'-4,4-(3 ,3′-dimethyldiphenylmethane)bismaleimide, N,N′-4,4-(3,3′-diethyldiphenylmethane)bismaleimide, N,N′-4,4-diphenylmethanebismaleimide, N,N′-4 ,4-diphenylpropanebismaleimide, N,N'-4,4-diphenyletherbismaleimide, N,N'-3,3-diphenylsulfonebismaleimide and the like.
Furthermore, modified bismaleimide obtained by modifying the above bismaleimide resin with a compound having a primary amine, and a polymer obtained by chain extension with an amine-modified product such as dimer acid or trimer acid and maleic anhydride or pyromellitic acid. be done.
As the bismaleimide resin, a commercially available compound can also be used. Specifically, for example, DESIGNER MOLECURES Inc. can be preferably used.

また、塗膜には、フィラーや各種添加剤等のその他の成分を含有させることもできる。 The coating film may also contain other components such as fillers and various additives.

<<フィラー>>
塗膜は、耐熱性向上、流動性制御等のため、フィラーを含むことができる。フィラーの種類としては、特に制限されず、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、上記基材フィルムに含有されるフィラーとして記載した、上記<<フィラー>>の欄に記載のフィラーを用いることができる。
塗膜に含有されるフィラーの平均粒径としては、0.01μm~20μm、好ましくは0.01μm~10μm、望ましくは0.01~5μmであることが好ましい。
<<Filler>>
The coating film may contain a filler for improving heat resistance, controlling fluidity, and the like. The type of filler is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose. can be used.
The average particle diameter of the filler contained in the coating film is preferably 0.01 μm to 20 μm, preferably 0.01 μm to 10 μm, more preferably 0.01 to 5 μm.

塗膜中のフィラーの含有量は、0.1体積%以上25体積%以下が好ましく、1体積%以上20体積%以下がより好ましい。
塗膜には基材フィルムよりも一層の表面平滑性が求められるため、用いられるフィラーの平均粒径は基材フィルムより小さいこと、含有量が少ないことが好ましい。
The content of the filler in the coating film is preferably 0.1% by volume or more and 25% by volume or less, more preferably 1% by volume or more and 20% by volume or less.
Since the coating film is required to have a higher surface smoothness than the base film, it is preferable that the average particle diameter of the filler used is smaller than that of the base film and the content thereof is small.

<<その他の成分>>
樹脂組成物には、上述した熱硬化性樹脂やフィラーの他に、粘着付与剤、難燃剤、硬化剤、硬化促進剤、カップリング剤、熱老化防止剤、レベリング剤、消泡剤、顔料、及び溶媒等を、樹脂組成物の機能に影響を与えない程度に含有することができる。
<<Other Ingredients>>
In addition to the above-described thermosetting resins and fillers, the resin composition contains tackifiers, flame retardants, curing agents, curing accelerators, coupling agents, heat antioxidants, leveling agents, antifoaming agents, pigments, and a solvent, etc., can be contained to such an extent that the functions of the resin composition are not affected.

塗膜の表面粗さ(Rz)は、0.01μm以上1μm以下であることが好ましい。表面粗さ(Rz)の測定法は、上記<<基材フィルムの特性>>の欄で記載したとおりである。
塗膜の表面粗さ(Rz)が上記範囲内であると、表面が平滑な金属膜を形成することができ、このような伝送損失が低減できる金属張積層板において、さらに金属膜の密着性にも優れた金属張積層板とすることができる。
塗膜の膜厚は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、1~100μmであることが好ましく、3~70μmであることがより好ましく、5~50μmであることが更に好ましく、5~20μmであることがより望ましい。塗膜の膜厚が1μm以上であれば基材フィルムの表面を平滑にするに十分な均一性を保つことができ、100μm以下であれば、基材フィルムと塗膜と金属膜との剥離強度を強固なものとすることができる。
また、塗膜の膜厚は、塗膜により基材フィルム表面を平滑にし、ひいては金属膜表面も平滑にし、所望の電気信号の低損失化を得るという観点から、基材フィルムの表面粗さ(RzP)μmの値の0.7倍以上であることが好ましく、基材フィルムの表面粗さ(RzP)μmの値の1倍以上であることがより好ましく、基材フィルムの表面粗さ(RzP)μmの値の1.2倍以上であることがさらに好ましい。
The surface roughness (Rz) of the coating film is preferably 0.01 μm or more and 1 μm or less. The method for measuring the surface roughness (Rz) is as described in the section <<characteristics of base film>> above.
When the surface roughness (Rz) of the coating film is within the above range, a metal film having a smooth surface can be formed, and in such a metal-clad laminate capable of reducing transmission loss, the adhesion of the metal film is improved. It is possible to obtain a metal-clad laminate that is also excellent in
The film thickness of the coating film is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. is more preferable, and 5 to 20 μm is more preferable. If the thickness of the coating film is 1 μm or more, sufficient uniformity can be maintained to smooth the surface of the base film, and if it is 100 μm or less, the peel strength between the base film, the coating film and the metal film can be strengthened.
In addition, the film thickness of the coating film should be adjusted according to the surface roughness of the substrate film ( It is preferably 0.7 times or more the value of RzP) μm, more preferably 1 time or more the value of surface roughness (RzP) μm of the substrate film, and the surface roughness of the substrate film (RzP ) is more preferably 1.2 times or more the value of μm.

塗膜の膜厚と基材フィルムの膜厚との比(塗膜の膜厚/基材フィルムの膜厚)は、塗膜が厚くなりすぎると厚み方向のCTEが大きくなりやすく、スルーホールの接続信頼性が確保しづらくなるため、1.2以下であることが好ましい。
なお、金属張積層板の両側に塗膜が形成されている場合には、上記「塗膜の膜厚/基材フィルムの膜厚」の計算の際における「塗膜の膜厚」は、両側に形成された塗膜の膜厚をそれぞれ足し合わせた値とする。
The ratio of the thickness of the coating film to the thickness of the base film (thickness of the coating film/thickness of the base film) is such that if the coating film is too thick, the CTE in the thickness direction tends to increase, and the through-hole Since it becomes difficult to ensure connection reliability, it is preferably 1.2 or less.
In addition, when the coating film is formed on both sides of the metal-clad laminate, the "film thickness of the coating film" in the calculation of the above "film thickness of the coating film/thickness of the base film" The value obtained by adding the film thicknesses of the coating films formed in

塗膜の比誘電率、及び誘電正接は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、電気信号の伝送損失の低減の理由から、比誘電率は、3.5以下で、誘電正接は0.004以下であることが好ましい。
比誘電率及び誘電正接の測定方法としては、上記基材フィルムの<<基材フィルムの特性>>の欄で記載したとおりである。
The dielectric constant and dielectric loss tangent of the coating film are not particularly limited, and can be appropriately selected according to the purpose. , the dielectric loss tangent is preferably 0.004 or less.
The method for measuring the dielectric constant and the dielectric loss tangent is as described in the section <<characteristics of the base film>> of the base film.

塗膜の表面は、金属膜との密着性向上の理由により、コロナ処理、プラズマ処理、又は紫外線処理により表面処理されていてもよい。 The surface of the coating film may be surface-treated by corona treatment, plasma treatment, or ultraviolet treatment for the reason of improving adhesion to the metal film.

<<塗膜の製造方法>>
樹脂組成物を成膜することで塗膜を製造することができる。
樹脂組成物は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、又はビスマレイミド樹脂等と、その他の成分とを混合することにより製造することができる。混合方法は特に限定されず、樹脂組成物が均一になればよい。樹脂組成物は、溶液又は分散液の状態で好ましく用いられることから、通常は、溶媒も使用される。
溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、n-プロピルアルコール、イソブチルアルコール、n-ブチルアルコール、ベンジルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジアセトンアルコール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン、メシチレン等の芳香族炭化水素類;酢酸メチル、酢酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテ-ト、3-メトキシブチルアセテート等のエステル類;ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で用いてよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
樹脂組成物が溶媒を含む溶液又は分散液(樹脂ワニス)であると、基材フィルムへの塗工及び塗膜の形成を円滑に行うことができ、所望の厚さ及び表面粗さの塗膜を容易に得ることができる。
樹脂組成物が溶媒を含む場合、塗膜の形成を含む作業性等の観点から、固形分濃度は、好ましくは3~80質量%、より好ましくは10~50質量%の範囲である。固形分濃度が80質量%以下であると、溶液の粘度が適度であり、均一に塗工し易い。
塗膜の製造方法のより具体的な実施態様としては、上記樹脂組成物及び溶媒を含有する樹脂ワニスを、基材フィルムの表面に塗布して樹脂ワニス層を形成した後、該樹脂ワニス層から溶媒を除去することにより、Bステージ状の塗膜を形成することができる。ここで、塗膜がBステージ状であるとは、樹脂組成物が未硬化状態あるいは一部が硬化し始めた半硬化状態をいい、加熱等により、樹脂組成物の硬化が更に進行する状態をいう。
ここで、基材フィルム上に樹脂ワニスを塗布する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、スプレー法、スピンコート法、ディップ法、ロールコート法、ブレードコート法、ドクターロール法、ドクターブレード法、カーテンコート法、スリットコート法、スクリーン印刷法、インクジェット法、ディスペンス法等が挙げられる。
上記Bステージ状の塗膜は、さらに加熱等を施し、硬化した塗膜を形成することができる。
<<Method for producing coating film>>
A coating film can be produced by forming a film from the resin composition.
The resin composition can be produced by mixing epoxy resin, polyimide resin, bismaleimide resin, or the like with other components. The mixing method is not particularly limited as long as the resin composition is uniform. Since the resin composition is preferably used in the form of a solution or dispersion, a solvent is also usually used.
Examples of solvents include alcohols such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, n-propyl alcohol, isobutyl alcohol, n-butyl alcohol, benzyl alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, and diacetone alcohol. ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl amyl ketone, cyclohexanone, and isophorone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, ethylbenzene, and mesitylene; methyl acetate, ethyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, esters such as 3-methoxybutyl acetate; aliphatic hydrocarbons such as hexane, heptane, cyclohexane and methylcyclohexane; These solvents may be used alone or in combination of two or more.
When the resin composition is a solvent-containing solution or dispersion (resin varnish), the coating on the base film and the formation of the coating film can be performed smoothly, and the desired thickness and surface roughness of the coating film can be obtained. can be easily obtained.
When the resin composition contains a solvent, the solid content concentration is preferably in the range of 3 to 80% by mass, more preferably 10 to 50% by mass, from the viewpoint of workability including formation of a coating film. When the solid content concentration is 80% by mass or less, the viscosity of the solution is moderate, and it is easy to apply uniformly.
As a more specific embodiment of the method for producing a coating film, a resin varnish containing the above resin composition and a solvent is applied to the surface of a base film to form a resin varnish layer, and then, from the resin varnish layer By removing the solvent, a B-stage coating film can be formed. Here, the coating film is in a B-stage state means that the resin composition is in an uncured state or a semi-cured state in which a part of the resin composition has begun to be cured, and a state in which the resin composition is further cured by heating or the like. say.
Here, the method for applying the resin varnish on the substrate film is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. A blade coating method, a doctor roll method, a doctor blade method, a curtain coating method, a slit coating method, a screen printing method, an inkjet method, a dispensing method, and the like can be mentioned.
The B-stage coating film can be further subjected to heating or the like to form a cured coating film.

(金属張積層板)
本発明の金属張積層板は、上記本発明のPAEK樹脂基材に金属膜が積層されてなる。
金属張積層板において、基材フィルム上に塗膜、金属膜はこの順で積層されている。
金属膜はメッキ、スパッタ、及び蒸着の少なくともいずれかの形成法で形成された金属膜であることが好ましい。
また、本発明の金属張積層板は、塗膜及び金属膜が基材フィルムの両側に積層されていてもよい。
この場合の金属張積層板は、金属膜、塗膜、基材フィルム、塗膜、金属膜の順で積層されている。
(Metal clad laminate)
The metal-clad laminate of the present invention is obtained by laminating a metal film on the PAEK resin substrate of the present invention.
In a metal-clad laminate, a coating film and a metal film are laminated in this order on a substrate film.
The metal film is preferably a metal film formed by at least one of plating, sputtering, and vapor deposition.
Also, in the metal-clad laminate of the present invention, the coating film and the metal film may be laminated on both sides of the substrate film.
In this case, the metal-clad laminate is laminated in the order of metal film, coating film, base film, coating film, and metal film.

図1は、本発明の金属張積層板の構成の一例を示す断面図である。
金属張積層板1は、基材フィルム2と、塗膜3と、金属膜4とを有し、これらの順で積層されてなる。
図2に本発明の金属張積層板の構成の他の例を示す。
図2で示す本発明の金属張積層板1は、金属膜4a、塗膜3a、基材フィルム2、塗膜3b、金属膜4bの順で積層されてなる。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of the metal-clad laminate of the present invention.
A metal-clad laminate 1 has a base film 2, a coating film 3, and a metal film 4, which are laminated in this order.
FIG. 2 shows another example of the structure of the metal-clad laminate of the present invention.
The metal-clad laminate 1 of the present invention shown in FIG. 2 is formed by laminating a metal film 4a, a coating film 3a, a substrate film 2, a coating film 3b, and a metal film 4b in this order.

<金属膜>
金属膜は、メッキ、スパッタ、及び蒸着の少なくともいずれかの形成法で形成されている。
表面粗さ(Rz)が1μm以下の塗膜上に、メッキ、スパッタ、及び蒸着の少なくともいずれかの形成法で金属膜を形成されていると、表面が平滑な金属膜を形成することができる。
また、これらの形成法で形成された金属膜は、回路パターンのファインピッチ化、及び高精度で微細な回路形成が可能となる。
メッキ形成法とスパッタ形成法は、それぞれ別個に用いられてもよいし、併用してもよい。例えば、併用する場合、薄い銅膜をスパッタ法で敷いた後に電解銅メッキ法により、銅膜を形成することができる。
<Metal film>
The metal film is formed by at least one of plating, sputtering, and vapor deposition.
When a metal film is formed on a coating film having a surface roughness (Rz) of 1 μm or less by at least one of plating, sputtering, and vapor deposition, a metal film with a smooth surface can be formed. .
In addition, the metal films formed by these forming methods enable formation of fine pitch circuit patterns and high-precision fine circuit formation.
The plating method and the sputtering method may be used separately or in combination. For example, when used together, a copper film can be formed by electrolytic copper plating after spreading a thin copper film by sputtering.

金属膜を構成する金属としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えばニッケル、銅、銀、錫、金、パラジウム、アルミニウム、クロム、チタンおよび亜鉛からなる群から選択される1種またはこれらのいずれか1種以上を含む合金等が挙げられる。中でも、シールド性と経済性の観点から、銅、および銅を含む合金が好ましい。 The metal constituting the metal film is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the intended purpose. An alloy or the like containing one or more selected types may be mentioned. Among them, copper and alloys containing copper are preferable from the viewpoint of shielding properties and economy.

金属膜を形成する方法としては、上述したように、メッキ、スパッタ、及び蒸着の少なくともいずれかの方法が挙げられる。より具体的には、例えば物理蒸着(真空蒸着、スパッタリング、イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着等)又は化学蒸着によって形成された蒸着膜、メッキによって形成されたメッキ膜等が挙げられる。中でも、真空成膜法(真空蒸着法やスパッタリング法等)で形成される真空蒸着膜又はスパッタリング膜、あるいは電解メッキ法で形成されるメッキ膜が、面方向の導電性に優れる点から好ましい。 Methods for forming a metal film include at least one of plating, sputtering, and vapor deposition, as described above. More specifically, for example, vapor deposition films formed by physical vapor deposition (vacuum vapor deposition, sputtering, ion beam vapor deposition, electron beam vapor deposition, etc.) or chemical vapor deposition, plated films formed by plating, and the like can be mentioned. Among them, a vacuum deposition film or a sputtering film formed by a vacuum deposition method (vacuum deposition method, sputtering method, etc.) or a plated film formed by an electrolytic plating method is preferable from the viewpoint of excellent electrical conductivity in the plane direction.

金属膜の膜厚は、十分な電気信号の伝送特性を確保し、かつ回路パターンの良好なファインピッチを可能とするという観点から、0.05μm~10μmであることが好ましく、0.1~10μmであることが望ましく、0.5~10μmであることが望ましい。
塗膜に接しない面の金属膜の表面粗さ(Rz)は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、電気信号の伝送損失の低減の理由から0.5μm以下であることが好ましい。
The film thickness of the metal film is preferably 0.05 μm to 10 μm, more preferably 0.1 to 10 μm, from the viewpoint of ensuring sufficient electrical signal transmission characteristics and enabling a fine pitch of the circuit pattern. and preferably 0.5 to 10 μm.
The surface roughness (Rz) of the metal film on the surface not in contact with the coating film is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. The following are preferable.

<金属張積層板の効果>
基材フィルムにはフィラーが含有されていたり、基材フィルムの製造上の理由から、基材フィルムの表面を平滑にすることは困難であるが、塗膜を基材フィルム上に形成させることで、平滑な金属膜を積層させることができ、伝送損失が低減を図ることができる。また、塗膜が設けられているので、平滑な金属膜を用いても、基材フィルムと金属膜との密着性に優れた金属張積層板となる。
また、本発明では、金属張積層板を構成するPAEK樹脂基材の厚み方向の線熱膨張係数(CTE)を特定の値に規定することにより、金属張積層板を多層基板とした際のスルーホールの接続信頼性を確保することができる。つまり、PAEK樹脂基材のCTE、並びにPAEK樹脂基材を構成するPAEK樹脂の基材フィルム及び塗膜のCTEをそれぞれ特定の値に規定することにより、多層基板とした際にスルーホールの接続信頼性に優れた金属張積層板とすることができる。
さらにまた、PAEK樹脂基材上に形成される金属膜を、メッキ、スパッタ、及び蒸着の少なくともいずれかの形成法で形成させることで、回路パターンのファインピッチ化や高精度で微細な回路形成ができる金属張積層板とすることができる。
<Effect of metal-clad laminate>
It is difficult to make the surface of the base film smooth because the base film contains a filler or for manufacturing reasons of the base film. , a smooth metal film can be laminated, and transmission loss can be reduced. Moreover, since the coating film is provided, even if a smooth metal film is used, the metal-clad laminate exhibits excellent adhesion between the base film and the metal film.
Further, in the present invention, by specifying the coefficient of linear thermal expansion (CTE) in the thickness direction of the PAEK resin base material constituting the metal-clad laminate to a specific value, the through-thru when the metal-clad laminate is used as a multilayer substrate. Hall connection reliability can be ensured. In other words, by specifying the CTE of the PAEK resin base material and the CTE of the base film and coating film of the PAEK resin constituting the PAEK resin base material to specific values, the connection reliability of the through-holes when making a multi-layer board is improved. A metal-clad laminate having excellent properties can be obtained.
Furthermore, by forming the metal film formed on the PAEK resin base material by at least one of plating, sputtering, and vapor deposition, it is possible to form a fine pitch circuit pattern and to form a highly accurate and fine circuit. It can be a metal-clad laminate that can be used.

<金属張積層板の膜厚>
金属張積層板の膜厚は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、例えば、10μm以上300μm以下が好ましい。金属張積層板の膜厚が上記範囲の下限値以上であれば、ハンドリング性に優れ、強度を確保できる。また、上記範囲の上限値以下であれば、軽薄短小化、フレキシブル性を付与できる。
<Film thickness of metal-clad laminate>
The film thickness of the metal-clad laminate is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the intended purpose. When the film thickness of the metal-clad laminate is at least the lower limit value of the above range, the handleability is excellent and the strength can be ensured. Moreover, when the thickness is equal to or less than the upper limit of the above range, lightness, thinness, shortness and flexibility can be imparted.

<金属張積層板の製造方法>
基材フィルム上に、塗膜を形成する。
塗膜の基材フィルムとは反対側の面に、金属膜を形成する。
塗膜を形成するより具体的な方法としては、上記<<塗膜の製造方法>>の欄で記載したとおりであり、樹脂組成物及び溶媒を含有する樹脂ワニスを、基材フィルムの表面に塗布して樹脂ワニス層を形成した後、該樹脂ワニス層から溶媒を除去することにより、塗膜を形成することができる。塗膜は、さらに加熱等を施し、硬化した塗膜を形成することができる。
樹脂ワニスを塗布する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、スプレー法、スピンコート法、ディップ法、ロールコート法、ブレードコート法、ドクターロール法、ドクターブレード法、カーテンコート法、スリットコート法、スクリーン印刷法、インクジェット法、ディスペンス法等が挙げられる。
金属膜の形成方法としては、真空成膜法(真空蒸着、スパッタリング)による方法、電界メッキ法による方法等が挙げられる。
所望の膜厚、表面形状を有する金属膜を形成できる点から、真空蒸着によって蒸着膜を形成する方法、又は電解メッキによってメッキ膜を形成する方法、又はスパッタリングによってスパッタ膜を形成する方法、又はスパッタリング後に電解メッキを行いスパッタとメッキを併用した金属膜を形成することができる。
<Method for producing metal-clad laminate>
A coating film is formed on the base film.
A metal film is formed on the surface of the coating film opposite to the base film.
A more specific method for forming a coating film is as described in the section <<Method for producing coating film>>, in which a resin varnish containing a resin composition and a solvent is applied to the surface of the base film. After coating to form a resin varnish layer, a coating film can be formed by removing the solvent from the resin varnish layer. The coating film can be further subjected to heating or the like to form a cured coating film.
The method for applying the resin varnish is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the intended purpose. A doctor blade method, a curtain coating method, a slit coating method, a screen printing method, an inkjet method, a dispensing method, and the like can be mentioned.
Examples of the method for forming the metal film include a method using a vacuum film forming method (vacuum deposition, sputtering), a method using an electroplating method, and the like.
From the point that a metal film having a desired film thickness and surface shape can be formed, a method of forming a deposited film by vacuum deposition, a method of forming a plated film by electrolytic plating, a method of forming a sputtered film by sputtering, or sputtering Electroplating can be performed later to form a metal film using both sputtering and plating.

本発明の金属張積層板が、図2で示すような基材フィルムの両面に塗膜と金属膜がそれぞれ設けられている金属張積層板である場合には、基材フィルムの一方の面に対して、上述した方法により、塗膜、金属膜を形成し、その後、基材フィルムの他方の面に対して、同様方法で、塗膜、金属膜を形成することができる。あるいは、基材フィルムに対して両側の塗膜を一緒に形成し、次に塗膜の上に配される金属膜も両側一緒に形成する方法を用いてもよい。 When the metal-clad laminate of the present invention is a metal-clad laminate in which a coating film and a metal film are respectively provided on both sides of a base film as shown in FIG. On the other hand, a coating film and a metal film can be formed by the method described above, and then a coating film and a metal film can be formed on the other surface of the substrate film by the same method. Alternatively, a method of forming the coating film on both sides of the base film together and then forming the metal film on both sides together on the coating film may also be used.

基材フィルム及び/又は塗膜が、コロナ処理、プラズマ処理、又は紫外線処理等で表面処理された基材フィルム又は塗膜を用いる場合には、例えば、基材フィルムを用意した後、用意した基材フィルムの表面を表面処理し、その表面処理した基材フィルムに対して、上述した方法により、塗膜を形成すればよい。また、塗膜を形成した後、その塗膜表面を表面処理し、その後、上述した方法により、金属膜を形成すればよい。 When the substrate film and/or coating film uses a substrate film or coating surface-treated by corona treatment, plasma treatment, or ultraviolet treatment, for example, after preparing the substrate film, the prepared substrate The surface of the material film may be surface-treated, and a coating film may be formed on the surface-treated base film by the method described above. Moreover, after forming a coating film, the surface of the coating film may be surface-treated, and then a metal film may be formed by the method described above.

以下に実施例を挙げて本発明を更に詳述するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、下記において、部及び%は、特に断らない限り、質量基準である。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to Examples, but the scope of the present invention is not limited to these Examples. In the following, parts and % are based on mass unless otherwise specified.

(CTE測定方法)
<厚み方向のCTE測定方法>
JIS R 3251に準拠して、レーザ熱膨張計〔アドバンス理工社製 製品名:LIX-2L型〕を用い、測定試料を25℃から300℃まで昇温速度が5℃/minの割合となるよう昇温し、寸法の温度変化を測定することにより、25℃から140℃における傾きを求め、線膨張係数を算出した。
(CTE measurement method)
<CTE measurement method in the thickness direction>
In accordance with JIS R 3251, a laser thermal dilatometer [product name: LIX-2L manufactured by Advance Riko Co., Ltd.] was used to raise the temperature of the measurement sample from 25°C to 300°C at a rate of 5°C/min. By increasing the temperature and measuring the temperature change of the dimensions, the slope from 25° C. to 140° C. was determined, and the coefficient of linear expansion was calculated.

<平面方向のCTE測定方法>
JIS K 7197:1991に準拠して、熱機械分析(TMA)により求めた。
<CTE measurement method in planar direction>
It was determined by thermal mechanical analysis (TMA) in accordance with JIS K 7197:1991.

(製造例1)
ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂(VictrexGranules 450G:ビクトレックス社製)と合成マイカ(ミクロマイカMK100:片倉アグリコープ社製)を合成マイカが25体積%となるように混合し、該混合物を二軸押出機で押出し、ペレットを作製した。使用した合成マイカの平均粒径は4.9μmで、アスペクト比は35であった。
得られたペレットを幅900mmのTダイス付きの単軸押出機に投入して溶融混練し、Tダイスから連続的に押し出して、厚さ100μmのPEEK基材フィルム(フィルムのRz:6.4μm)を得た。
このPEEK基材フィルムの横方向(TD)/縦方向(MD)のCTEを測定したところ、40ppm/30ppm/℃であった。
このPEEK基材フィルムの厚み方向のCTEを測定したところ、48ppm/℃であった。
(Production example 1)
Polyether ether ketone (PEEK) resin (Victrex Granules 450G: manufactured by Victrex) and synthetic mica (Micromica MK100: manufactured by Katakura Agricorp) are mixed so that the synthetic mica is 25% by volume, and the mixture is biaxially It was extruded with an extruder to produce pellets. The synthetic mica used had an average particle size of 4.9 μm and an aspect ratio of 35.
The obtained pellets are put into a single-screw extruder with a T-die having a width of 900 mm, melt-kneaded, and continuously extruded from the T-die to form a PEEK base film having a thickness of 100 μm (film Rz: 6.4 μm). got
The transverse direction (TD)/machine direction (MD) CTE of this PEEK base film was measured to be 40 ppm/30 ppm/°C.
When the CTE in the thickness direction of this PEEK base film was measured, it was 48 ppm/°C.

(配合例1)
ビスマレイミド樹脂(SLK-3000-T50:信越化学工業)、シリカフィラー(SO-C2:アドマテックス)、過酸化物(パークミルD:日油社製)を下記表1の配合のとおりに混合し、塗布溶液を得た。
この塗布溶液を離型ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に乾燥厚み25μmとなるように塗布、乾燥、硬化し、離型PETフィルムから剥離した。
この塗膜の平面方向のCTEを測定したところ、260ppm/℃であった。
この塗膜の厚み方向のCTEを測定したところ、270ppm/℃であった。
(Composition example 1)
Bismaleimide resin (SLK-3000-T50: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), silica filler (SO-C2: Admatechs), and peroxide (Percumyl D: manufactured by NOF Corporation) are mixed according to the formulation in Table 1 below, A coating solution was obtained.
This coating solution was applied on a release polyethylene terephthalate (PET) film to a dry thickness of 25 μm, dried and cured, and then peeled off from the release PET film.
When the CTE in the planar direction of this coating film was measured, it was 260 ppm/°C.
When the CTE in the thickness direction of this coating film was measured, it was 270 ppm/°C.

(配合例2)
ビスマレイミド樹脂(SLK-3000-T50:信越化学工業)、過酸化物(パークミルD:日油社製)を下記表1の配合のとおりに混合し、塗布溶液を得た。
この塗布溶液を離型ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に乾燥厚み25μmとなるように塗布、乾燥、硬化し、離型PETフィルムから剥離した。
この塗膜の平面方向のCTEを測定したところ、980ppm/℃であった。
この塗膜の厚み方向のCTEを測定したところ、1015ppm/℃であった。
(Formulation example 2)
A bismaleimide resin (SLK-3000-T50: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and a peroxide (Percumyl D: manufactured by NOF Corporation) were mixed according to the formulation shown in Table 1 below to obtain a coating solution.
This coating solution was applied on a release polyethylene terephthalate (PET) film to a dry thickness of 25 μm, dried and cured, and then peeled off from the release PET film.
When the CTE in the planar direction of this coating film was measured, it was 980 ppm/°C.
When the CTE in the thickness direction of this coating film was measured, it was 1015 ppm/°C.

Figure 2023049122000001
Figure 2023049122000001

(実施例1)
製造例1のPEEK基材フィルムの両表面をコロナ処理し、該表面処理されたPEEK基材フィルム上に、さらに乾燥した際の膜厚が8μmになるように配合例1の溶液を両面に塗布、乾燥した。
200℃のオーブンに1時間入れて塗膜を硬化して、PEEK基材フィルムの両表面に平滑な塗膜が形成されたPEEK樹脂基材を得た。
塗膜表面のRzは0.35μm/0.36μm(PEEK基材フィルムの一方の側に設けた塗膜の表面粗さRz/もう一方の側に設けた塗膜の表面粗さRz)であった。
このPEEK樹脂基材の厚み方向のCTEを測定したところ、80ppm/℃であった。
(Example 1)
Both surfaces of the PEEK base film of Production Example 1 are corona-treated, and the solution of Formulation Example 1 is applied to both surfaces of the surface-treated PEEK base film so that the film thickness when dried is 8 μm. , dried.
The coating film was cured by placing it in an oven at 200° C. for 1 hour to obtain a PEEK resin substrate having smooth coating films formed on both surfaces of the PEEK substrate film.
The Rz of the coating film surface was 0.35 μm/0.36 μm (surface roughness Rz of the coating film provided on one side of the PEEK base film/surface roughness Rz of the coating film provided on the other side). rice field.
When the CTE in the thickness direction of this PEEK resin base material was measured, it was 80 ppm/°C.

(信頼性試験)
PEEK樹脂基材上にスパッタリングにより銅の膜(膜厚5μm)を形成した。
銅膜からなる金属層のRzは(0.15)μmであった。
このようにして得られた実施例1の金属張積層板(銅張積層板)に対して、スルーホール抵抗を下記のようにして算出し、試験前後の変化率に対して以下の基準でスルーホールの接続信頼性を評価した。結果を下記表2に示す。
(Reliability test)
A copper film (thickness: 5 μm) was formed on the PEEK resin substrate by sputtering.
Rz of the metal layer made of copper film was (0.15) μm.
For the metal-clad laminate (copper-clad laminate) of Example 1 thus obtained, the through-hole resistance was calculated as follows, and the change rate before and after the test was measured according to the following criteria. Hall connection reliability was evaluated. The results are shown in Table 2 below.

[スルーホール抵抗の算出]
JIS C 5016の9.2項に準拠し、
-65℃、30分→125℃、30分を1サイクルとし、100サイクル行った後のスルーホール抵抗を算出した。
[Calculation of through-hole resistance]
In accordance with 9.2 of JIS C 5016,
The through-hole resistance was calculated after 100 cycles of −65° C. for 30 minutes→125° C. for 30 minutes.

[スルーホールの接続信頼性]
◎ 試験前後の変化率が0.2%未満
〇 試験前後の変化率が0.2%以上0.5%未満
△ 試験前後の変化率が0.5%以上1%未満
× 試験前後の変化率が1%以上
[Through-hole connection reliability]
◎ The rate of change before and after the test is less than 0.2% 〇 The rate of change before and after the test is 0.2% or more and less than 0.5% △ The rate of change before and after the test is 0.5% or more and less than 1% × The rate of change before and after the test is 1% or more

実施例1で使用したPEEK基材フィルム及び塗膜の測定結果、並びに銅張積層板の信頼性試験の評価結果を表2に示す。 Table 2 shows the measurement results of the PEEK base film and the coating film used in Example 1, and the evaluation results of the reliability test of the copper-clad laminate.

(実施例2~実施例9)
実施例1において、使用するPEEK基材フィルム及び塗膜の条件を表2に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして、実施例2~実施例9の銅張積層板を作製した。
(Examples 2 to 9)
Copper-clad laminates of Examples 2 to 9 were produced in the same manner as in Example 1, except that the conditions of the PEEK base film and coating film used in Example 1 were changed as shown in Table 2. bottom.

実施例2~実施例9で作製した銅張積層板に対して、実施例1と同様の評価を行った。
実施例2~実施例9で使用したPEEK基材フィルム及び塗膜の測定結果、並びに銅張積層板の信頼性試験の評価結果を表2に示す。
The copper clad laminates produced in Examples 2 to 9 were evaluated in the same manner as in Example 1.
Table 2 shows the measurement results of the PEEK base films and coating films used in Examples 2 to 9, and the evaluation results of the reliability test of the copper-clad laminate.

(比較例1)
製造例1のPEEK基材フィルムの両表面をコロナ処理し、該表面処理されたPEEK基材フィルム上に、さらに乾燥した際の膜厚が8μmになるように配合例2の溶液を両面に塗布、乾燥した。
200℃のオーブンに1時間入れて塗膜を硬化して、PEEK基材フィルムの両表面に平滑な塗膜が形成されたPEEK樹脂基材を得た。
塗膜表面のRzは0.30μm/0.32μmであった。
このPEEK樹脂基材の厚み方向のCTEを測定したところ、180ppm/℃であった。
(Comparative example 1)
Both surfaces of the PEEK base film of Production Example 1 were corona-treated, and the solution of Formulation Example 2 was applied to both surfaces of the surface-treated PEEK base film so that the film thickness when dried was 8 μm. , dried.
The coating film was cured by placing it in an oven at 200° C. for 1 hour to obtain a PEEK resin substrate having smooth coating films formed on both surfaces of the PEEK substrate film.
Rz of the coating film surface was 0.30 μm/0.32 μm.
When the CTE in the thickness direction of this PEEK resin base material was measured, it was 180 ppm/°C.

比較例1で使用したPEEK基材フィルム及び塗膜の測定結果、並びに銅張積層板の信頼性試験の評価結果を表2に示す。 Table 2 shows the measurement results of the PEEK base film and the coating film used in Comparative Example 1, and the evaluation results of the reliability test of the copper-clad laminate.

(比較例2~比較例4)
実施例1において、使用するPEEK基材フィルム及び塗膜の条件を表2に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして、比較例2~比較例4の銅張積層板を作製した。
(Comparative Examples 2 to 4)
Copper-clad laminates of Comparative Examples 2 to 4 were produced in the same manner as in Example 1, except that the conditions of the PEEK base film and coating film used in Example 1 were changed as shown in Table 2. bottom.

比較例2~比較例4で作製した銅張積層板に対して、実施例1と同様の評価を行った。
比較例2~比較例4で使用したPEEK基材フィルム及び塗膜の測定結果、並びに銅張積層板の信頼性試験の評価結果を表2に示す。
The copper clad laminates produced in Comparative Examples 2 to 4 were evaluated in the same manner as in Example 1.
Table 2 shows the measurement results of the PEEK base films and coating films used in Comparative Examples 2 to 4, and the evaluation results of the reliability test of the copper-clad laminate.

Figure 2023049122000002
Figure 2023049122000002

尚、表2において、「塗膜厚/基材厚」は、塗膜が形成されたPEEK樹脂基材全体における、PEEK基材フィルムと膜厚の比を求めている。したがって、塗膜がPEEK基材フィルムの両側に設けられている場合、PEEK基材フィルムの両側に設けられた両塗膜の厚みを総計した値(8×2=16)をPEEK基材フィルムの厚み(100)で割った値を記載している。
表2において、「塗膜厚/RzP」は、PEEK基材フィルムの表面粗さに対する塗膜厚みの関係を求めているため、塗膜がPEEK基材フィルムの両側に設けられている場合であっても、片方の塗膜厚みを計算対象とし、片側の塗膜膜厚をPEEK基材フィルムの表面粗さ(RzP)で割った値(8/6.4)を記載している。
In Table 2, "coating film thickness/substrate thickness" is the ratio of the PEEK substrate film to the film thickness in the entire PEEK resin substrate on which the coating film is formed. Therefore, when the coating film is provided on both sides of the PEEK base film, the total thickness of both coating films provided on both sides of the PEEK base film (8 × 2 = 16) is the thickness of the PEEK base film. The value obtained by dividing by the thickness (100) is shown.
In Table 2, "coating thickness/RzP" is the relationship between the coating thickness and the surface roughness of the PEEK base film. However, the value (8/6.4) obtained by dividing the coating film thickness on one side by the surface roughness (RzP) of the PEEK base film is described.

実施例で作製された本発明の金属張積層板は、金属膜表面が平滑になっているため、伝送損失を低減することができる金属張積層板となっている。塗膜が設けられているので、平滑な金属膜を用いても、基材フィルムと金属膜との密着性は優れている。
本発明の金属張積層板は、金属張積層板を構成するPAEK樹脂基材の厚み方向の線熱膨張係数(CTE)を特定の値に規定したため、金属張積層板を多層基板とした際のスルーホールの接続信頼性に優れたものとなった。
The metal-clad laminates of the present invention produced in Examples have a smooth metal film surface, so that they are metal-clad laminates capable of reducing transmission loss. Since the coating film is provided, the adhesiveness between the base film and the metal film is excellent even if a smooth metal film is used.
In the metal-clad laminate of the present invention, the coefficient of linear thermal expansion (CTE) in the thickness direction of the PAEK resin base material constituting the metal-clad laminate is specified to a specific value, so when the metal-clad laminate is used as a multilayer substrate, The through-hole connection reliability was excellent.

本発明の金属張積層板は、スマートフォン、携帯電話、光モジュール、デジタルカメラ、ゲーム機、ノートパソコン、医療器具等の電子機器用のFPC関連製品の製造に好適に用いられ得る。 The metal-clad laminate of the present invention can be suitably used for manufacturing FPC-related products for electronic devices such as smart phones, mobile phones, optical modules, digital cameras, game machines, laptop computers, and medical instruments.

1 金属張積層板
2 基材フィルム
3、3a、3b 塗膜
4、4a、4b 金属膜

1 Metal-clad laminate 2 Base film 3, 3a, 3b Coating film 4, 4a, 4b Metal film

Claims (10)

ポリアリーレンエーテルケトン(PAEK)樹脂からなる基材フィルム上に塗膜を形成したプリント配線板用のPAEK樹脂基材であって、
前記PAEK樹脂基材の厚み方向の線熱膨張係数(CTE)が170ppm/℃以下であり、
前記基材フィルムの厚み方向のCTEが60ppm/℃以下であり、
前記塗膜の厚み方向のCTEが300ppm/℃以下である、PAEK樹脂基材。
A PAEK resin substrate for a printed wiring board in which a coating film is formed on a substrate film made of polyarylene ether ketone (PAEK) resin,
The coefficient of linear thermal expansion (CTE) in the thickness direction of the PAEK resin base material is 170 ppm/° C. or less,
The CTE in the thickness direction of the base film is 60 ppm/° C. or less,
A PAEK resin base material, wherein the CTE in the thickness direction of the coating film is 300 ppm/°C or less.
前記基材フィルムの厚みと前記塗膜の厚みの比(前記基材フィルムの厚み/前記塗膜の厚み)が1.2以下である、請求項1に記載のPAEK樹脂基材。 The PAEK resin substrate according to claim 1, wherein the ratio of the thickness of the substrate film to the thickness of the coating film (thickness of substrate film/thickness of coating film) is 1.2 or less. 前記基材フィルムの比誘電率が3.5以下で、誘電正接が0.004以下である、請求項1又は2に記載のPAEK樹脂基材。 The PAEK resin substrate according to claim 1 or 2, wherein the substrate film has a dielectric constant of 3.5 or less and a dielectric loss tangent of 0.004 or less. 前記塗膜が、熱硬化樹脂からなる、請求項1~3のいずれか一項に記載のPAEK樹脂基材。 The PAEK resin substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein the coating film is made of a thermosetting resin. 前記塗膜が、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、又はビスマレイミド樹脂の少なくともいずれかを含む、請求項4に記載のPAEK樹脂基材。 5. The PAEK resin substrate according to claim 4, wherein the coating film contains at least one of epoxy resin, polyimide resin, and bismaleimide resin. 前記基材フィルムがフィラーを含有する、請求項1~5のいずれか一項に記載のPAEK樹脂基材。 The PAEK resin substrate according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate film contains a filler. 前記基材フィルムの表面粗さ(RzP)が1μm以上10μm以下である、請求項1~6のいずれか一項に記載のPAEK樹脂基材。 The PAEK resin substrate according to any one of claims 1 to 6, wherein the substrate film has a surface roughness (RzP) of 1 µm or more and 10 µm or less. 前記塗膜の表面粗さ(Rz)が0.01μm以上1μm以下である、請求項1~7のいずれか一項に記載のPAEK樹脂基材。 The PAEK resin substrate according to any one of claims 1 to 7, wherein the coating film has a surface roughness (Rz) of 0.01 µm or more and 1 µm or less. 請求項1~8のいずれか一項に記載のPAEK樹脂基材に金属膜が積層されてなる金属張積層板であって、
前記基材フィルム上に前記塗膜、前記金属膜がこの順で積層されており、
前記金属膜がメッキ、スパッタ、及び蒸着の少なくともいずれかの形成法で形成された金属膜である、金属張積層板。
A metal-clad laminate obtained by laminating a metal film on the PAEK resin base material according to any one of claims 1 to 8,
The coating film and the metal film are laminated in this order on the base film,
A metal-clad laminate, wherein the metal film is a metal film formed by at least one of plating, sputtering, and vapor deposition.
前記塗膜及び前記金属膜が前記基材フィルムの両側に積層されてなり、金属膜、塗膜、基材フィルム、塗膜、金属膜の順で積層されてなる、請求項9に記載の金属張積層板。

The metal according to claim 9, wherein the coating film and the metal film are laminated on both sides of the base film, and the metal film, the coating film, the base film, the coating film, and the metal film are laminated in this order. tension laminate.

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