JP2019065079A - 仮固定シート - Google Patents

Abstract

【課題】優れた帯電防止性能を有し、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供する。【解決手段】本発明の一つの実施形態における仮固定シートは、シリコーン発泡層を有する仮固定シートであって、該シリコーン発泡層が、（Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、（Ｂ）一分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン、（Ｃ）水と無機系増粘剤からなる混合物、（Ｄ−１）ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．２質量部〜１．２質量部、（Ｄ−２）ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．０１質量部〜０．１４質量部、（Ｅ）ヒドロシリル化反応触媒、（Ｆ）硬化遅延剤、（Ｇ）導電性物質、を含むシリコーン樹脂組成物から形成される。【選択図】なし

Description

本発明は、仮固定シートに関する。

近年、発泡材料として、シリコーン発泡体が注目されている（例えば、特許文献１、２）。

シリコーン発泡体は、耐熱性、耐候性、耐薬品性などに優れているため、例えば、導電性をさらに付与することにより、帯電防止が求められる被着体への仮固定部材として有用なものとなる。

しかし、シリコーン発泡体に導電性物質を含有させて十分な帯電防止性能を付与させようと設計を試みると、シート状にした場合に外観不良が生じることがわかった。

特許第５７０２８９９号公報 特開２０１４−１６７０６７号公報

本発明の課題は、優れた帯電防止性能を有し、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することにある。

本発明の一つの実施形態における仮固定シートは、
シリコーン発泡層を有する仮固定シートであって、
該シリコーン発泡層が、
（Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）一分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン：（Ａ）成分中のアルケニル基１モルに対して（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子が０．４モル〜２０モルとなる量、
（Ｃ）水と無機系増粘剤からなる混合物：１００質量部〜１０００質量部、
（Ｄ−１）ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．２質量部〜１．２質量部、
（Ｄ−２）ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．０１質量部〜０．１４質量部、
（Ｅ）ヒドロシリル化反応触媒、
（Ｆ）硬化遅延剤：０.００１質量部〜５質量部、
（Ｇ）導電性物質：（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計を１００質量部としたときに０．１質量部〜１００質量部、
を含むシリコーン樹脂組成物から形成される。

一つの実施形態においては、上記（Ｄ−１）成分の量が、上記（Ｇ）成分１質量部に対して０．５質量部〜１．１質量部である。

一つの実施形態においては、上記（Ｄ−１）成分の量が、上記（Ｇ）成分１質量部に対して０．７質量部〜１．０質量部である。

一つの実施形態においては、上記（Ｄ−２）成分の量が、上記（Ｇ）成分１質量部に対して０．０２質量部〜０．１０質量部である。

一つの実施形態においては、上記（Ｄ−２）成分の量が、上記（Ｇ）成分１質量部に対して０．０４質量部〜０．０７質量部である。

一つの実施形態においては、上記（Ｇ）成分がカーボンブラックである。

一つの実施形態においては、上記カーボンブラックがケッチェンブラックである。

一つの実施形態においては、上記シリコーン発泡層の見かけ密度が０．１５ｇ／ｃｍ^３〜０．９０ｇ／ｃｍ^３である。

一つの実施形態においては、上記仮固定シートは、電子部材の仮固定に用いられる。

本発明によれば、優れた帯電防止性能を有し、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することができる。

仮固定シートは、シリコーン発泡層を有する仮固定シートである。

仮固定シートの形態としては、例えば、シリコーン発泡層を仮固定シートの全体に有する形態、シリコーン発泡層を仮固定シートの一部に有する形態であって該仮固定シートの最外層の少なくとも一方が該シリコーン発泡層である形態などが挙げられる。

仮固定シートにおいて、シリコーン発泡層の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、支持体として機能させるものではない場合、好ましくは、仮固定したい部材を仮固定シートに載置する前に、シリコーン発泡層の表面から剥離する。

仮固定シートは、表面抵抗率が、１．０×１０^４Ω／□〜１．０×１０^１０Ω／□であり、好ましくは１．０×１０^５Ω／□〜１．０×１０^９Ω／□であり、より好ましくは５．０×１０^５Ω／□〜５．０×１０^８Ω／□であり、さらに好ましくは１．０×１０^６Ω／□〜１．０×１０^８Ω／□であり、特に好ましくは５．０×１０^６Ω／□〜５．０×１０^７Ω／□である。仮固定シートの表面抵抗率が上記範囲内にあることにより、仮固定シートは、優れた帯電防止性能を有する。

仮固定シートの厚みは、好ましくは１０μｍ〜３５００μｍであり、より好ましくは２０μｍ〜２５００μｍであり、さらに好ましくは３０μｍ〜１５００μｍであり、特に好ましくは４０μｍ〜９５０μｍであり、最も好ましくは５０μｍ〜８００μｍである。仮固定シートは、厚みがこのように薄くても、外観が良好なものとなり得る。

シリコーン発泡層は、シリコーン樹脂組成物から形成される。シリコーン発泡層は、好ましくは、シリコーン樹脂組成物の熱硬化によって形成される。

シリコーン樹脂組成物は、下記の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ−１）、（Ｄ−２）、（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）を含む。

シリコーン樹脂組成物中の、下記の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ−１）、（Ｄ−２）、（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）の合計の割合は、質量基準で、好ましくは５０質量％〜１００質量％であり、より好ましくは７０質量％〜１００質量％であり、さらに好ましくは９０質量％〜１００質量％であり、さらに好ましくは９５質量％〜１００質量％であり、特に好ましくは９８質量％〜１００質量％であり、最も好ましくは実質的に１００質量％である。シリコーン樹脂組成物中の、下記の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ−１）、（Ｄ−２）、（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）の合計の割合が上記範囲内にあれば、本発明の効果をより発現させ得る。

シリコーン樹脂組成物は、
（Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）一分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン：（Ａ）成分中のアルケニル基１モルに対して（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子が０．４モル〜２０モルとなる量、
（Ｃ）水と無機系増粘剤からなる混合物：１００質量部〜１０００質量部、
（Ｄ−１）ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．２質量部〜１．２質量部、
（Ｄ−２）ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．０１質量部〜０．１４質量部、
（Ｅ）ヒドロシリル化反応触媒、
（Ｆ）硬化遅延剤：０.００１質量部〜５質量部、
（Ｇ）導電性物質：（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計を１００質量部としたときに０．１質量部〜１００質量部、
を含む。

（Ａ）成分は、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンであり、本組成物の主剤である。（Ａ）成分中のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基が例示され、好ましくは、ビニル基である。また、（Ａ）成分中のアルケニル基以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基；フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基；ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；３，３，３−トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基等が例示され、好ましくは、メチル基である。（Ａ）成分は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

（Ａ）成分は、具体的には、ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシロキサン、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体が例示され、好ましくは、主鎖が実質的に直鎖状であるジオルガノポリシロキサンである。

（Ｂ）成分は、一分子中にケイ素原子結合水素原子を少なくとも２個有するオルガノポリシロキサンであり、本組成物の架橋剤である。（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子の結合位置は限定されず、分子鎖末端および／または分子鎖側鎖が例示される。（Ｂ）成分中の水素原子以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基；フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基；ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；３，３，３−トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基等が例示され、好ましくは、メチル基である。（Ｂ）成分は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

このような（Ｂ）成分としては、ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、（ＣＨ_３）_３ＳｉＯ_１／２で示されるシロキサン単位とＨ（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_１／２で示されるシロキサン単位とＳｉＯ_４／２で示されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンが例示され、好ましくは、直鎖状のオルガノポリシロキサンである。

（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分中のアルケニル基１モルに対して、（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子が０．４モル〜２０モルの範囲内となる量であり、好ましくは１．５モル〜２０モルの範囲内となる量であり、より好ましくは１．５モル〜１０モルの範囲内となる量である。これは、（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素のモル数が上記範囲内であると、得られるシリコーン発泡層の圧縮永久歪が改善されるからである。

（Ｃ）成分は水と無機系増粘剤からなる混合物であり、本組成物を架橋して得られるシリコーンゴムから（Ｃ）成分中の水を除去することにより、シリコーン発泡層とするための成分である。（Ａ）成分中に（Ｃ）成分が安定して分散することから、（Ｃ）成分中の水はイオン交換水であることが好ましい。

（Ｃ）成分中の無機系増粘剤は、水の粘度を高め、（Ａ）成分中に（Ｃ）成分が容易に分散し、（Ｃ）成分の分散状態を安定させるために配合される。この無機増粘剤としては、天然または合成のものがあり、ベントナイト、モンモリロナイト、ヘクトライト、サポナイト、ソーコナイト、バイデライトおよびノントロナイト等の天然または合成のスメクタイトクレー；ケイ酸アルミニウムマグネシウム；および、これらとカルボキシビニルポリマーなどの水溶性有機ポリマーとの複合品が例示され、好ましくは、ベントナイトやモンモリロナイトなどのスメクタイトクレーである。このような、スメクタイトクレーとしては、例えば、水熱合成品であるスメクトンＳＡ（クニミネ工業（株）製）、天然精製品であるベンゲル（（株）ホージュン製）が入手可能である。これらのスメクタイトクレーのｐＨはシリコーンゴムスポンジの耐熱性を維持する点からｐＨ５．０〜９．０の範囲内であることが好ましい。また、（Ｃ）成分中の無機系増粘剤の含有量は、水１００質量部に対して、好ましくは０．１質量部〜１０質量部の範囲内であり、より好ましくは０．５質量部〜５質量部の範囲内である。（Ｃ）成分中の無機系増粘剤は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

（Ｃ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して１００質量部〜１０００質量部の範囲内であり、好ましくは１００質量部〜８００質量部の範囲内であり、より好ましくは１００質量部〜５００質量部の範囲であり、さらに好ましくは２００質量部〜５００質量部の範囲内であり、特に好ましくは２００質量部〜３５０質量部の範囲内である。これは、（Ｃ）成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、低密度のシリコーン発泡層を形成できるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、均一で微細な連続気泡構造を有するシリコーン発泡層を形成できるからである。

（Ｄ−１）成分および（Ｄ−２）成分のノニオン系界面活性剤としては、例えば、グリセリン脂肪酸エステル、ポリグリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、スクロース脂肪酸エステル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコール脂肪酸エステル、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロック共重合体、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸アミドなどが挙げられる。（Ｄ−１）成分は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。（Ｄ−２）成分は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

（Ｄ−２）成分に対する（Ｄ−１）成分の質量比は、好ましくは１以上であり、より好ましくは５以上であり、さらに好ましくは８以上であり、特に好ましくは１０以上であり、最も好ましくは１５以上である。また、（Ｄ−２）成分に対する（Ｄ−１）成分の質量比は、好ましくは１００以下であり、より好ましくは８０以下であり、さらに好ましくは７０以下であり、特に好ましくは６０以下であり、最も好ましくは５０以下である。（Ｄ−２）成分に対する（Ｄ−１）成分の質量比が上記下限値より大きくなれば、均一で微細な連続気泡構造を有する低密度のシリコーン発泡層を形成し得る。一方、（Ｄ−２）成分に対する（Ｄ−１）成分の質量比が上記上限値より小さくなれば、（Ａ）成分と（Ｂ）成分中に（Ｃ）成分を安定性良く分散することができ、結果として、均一で微細な連続気泡構造を有するシリコーン発泡層を形成し得る。

（Ｄ−１）成分の含有量は、（Ｇ）成分１質量部に対して０．２質量部〜１．２質量部であり、好ましくは０．４質量部〜１．１質量部であり、より好ましくは０．５質量部〜１．１質量部であり、さらに好ましくは０．６質量部〜１．０質量部であり、特に好ましくは０．７質量部〜１．０質量部である。（Ｄ−１）成分の含有量が上記範囲内にあれば、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することができる。

（Ｄ−２）成分の含有量は、（Ｇ）成分１質量部に対して０．０１質量部〜０．１４質量部であり、好ましくは０．０２質量部〜０．１０質量部であり、より好ましくは０．０３質量部〜０．０９質量部であり、さらに好ましくは０．０４質量部〜０．０８質量部であり、特に好ましくは０．０４質量部〜０．０７質量部である。（Ｄ−２）成分の含有量が上記範囲内にあれば、外観が良好な、シリコーン発泡層を有する仮固定シートを提供することができる。

（Ｅ）成分は、シリコーン樹脂組成物のヒドロシリル化反応を促進するためのヒドロシリル化反応触媒であり、例えば、白金系触媒、パラジウム系触媒、ロジウム系触媒が例示され、好ましくは白金系触媒である。このような（Ｅ）成分としては、例えば、塩化白金酸、アルコール変性塩化白金酸、塩化白金酸とオレフィン類、ビニルシロキサン又はアセチレン化合物との配位化合物、白金のオレフィン類、ビニルシロキサン又はアセチレン化合物との配位化合物、テトラキス（トリフェニルホスフィン）パラジウム、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロジウムなどが挙げられる。（Ｅ）成分は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

（Ｅ）成分の含有量はシリコーン樹脂組成物を架橋させるに十分な量であり、具体的には、（Ａ）成分および（Ｂ）成分の合計量に対して、（Ｅ）成分中の触媒金属が質量換算で、好ましくは０．０１ｐｐｍ〜５００ｐｐｍの範囲内となる量であり、より好ましくは０．１ｐｐｍ〜１００ｐｐｍの範囲内となる量である。

シリコーン樹脂組成物の硬化速度や作業可使時間を調整するため、（Ｆ）硬化遅延剤を含有してもよい。このような（Ｆ）成分としては、例えば、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール、３−フェニル−１−ブチン−３−オール、１−エチニル−１−シクロヘキサノール等のアルキンアルコールなどが挙げられる。（Ｆ）成分は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

（Ｆ）成分の含有量は、シリコーン樹脂組成物の使用方法や成形方法に応じて適宜選択されるが、一般的には、（Ａ）成分１００質量部に対して０．００１質量部〜５質量部の範囲内である。

（Ｇ）成分は、導電性物質であり、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な導電性物質を採用し得る。このような導電性物質としては、例えば、カーボンブラック、炭素繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、グラファイト、グラフェンなどのカーボン系導電剤；金、銀、ニッケルなどの金属粉；導電性酸化亜鉛、導電性酸化チタン、導電性酸化アルミニウム；各種フィラー表面に金属メッキ処理するなどのフィラー表面に導電被覆処理した導電性充填剤；などが挙げられる。（Ｇ）成分は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

（Ｇ）成分の含有量は、本発明の効果をより発現させ得る点で、（Ａ）成分および（Ｂ）成分の合計量を１００質量部としたときに、好ましくは０．１質量部〜１００質量部であり、より好ましくは０．２質量部〜５０質量部であり、さらに好ましくは０．３質量部〜２０質量部であり、特に好ましくは０．３質量部〜１５質量部である。

導電性物質としては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは、カーボンブラックである。

カーボンブラックとしては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なカーボンブラックを採用し得る。このようなカーボンブラックとしては、例えば、ケッチェンブラック、アセチレンブラック、コンダクティブファーネスブラック（ＣＦ）、スーパーコンダクティブファーネスブラック（ＳＣＦ）、エクストラコンダクティブファーネスブラック（ＸＣＦ）、コンダクティブチャンネルブラック（ＣＣ）、１５００℃程度の高温で熱処理されたファーネスブラック、１５００℃程度の高温で熱処理されたチャンネルブラックなどが挙げられる。

ケッチェンブラックの具体例としては、例えば、ケッチェンブラックＥＣ（ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製）、ケッチェンブラックＥＣ−６００ＪＤ（ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製）などが挙げられる。

アセチレンブラックの具体例としては、例えば、デンカブラック（電気化学株式会社製）、シャウニガンアセチレンブラック（シャウニガンケミカル株式会社製）などが挙げられる。

コンダクティブファーネスブラックの具体例としては、例えば、コンチネックスＣＦ（コンチネンタルカーボン株式会社製）、バルカンＣ（キャボット株式会社製）などが挙げられる。

スーパーコンダクティブファーネスブラックの具体例としては、例えば、コンチネックスＳＣＦ（コンチネンタルカーボン株式会社製）、バルカンＳＣ（キャボット株式会社製）などが挙げられる。

エクストラコンダクティブファーネスブラックの具体例としては、例えば、旭ＨＳ−５００（旭カーボン株式会社製）、バルカンＸＣ−７２（キャボット株式会社製）などが挙げられる。

コンダクティブチャンネルブラックとしては、例えば、コウラックスＬ（デグッサ株式会社製）などが挙げられる。

カーボンブラックとしては、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは、ケッチェンブラックが挙げられる。

シリコーン樹脂組成物には、得られるシリコーン発泡シートの強度を向上させるという点から、さらに（Ｈ）補強性シリカ微粉末を含有してもよい。このような（Ｈ）成分としては、ＢＥＴ比表面積が、好ましくは５０ｍ^２／ｇ〜３５０ｍ^２／ｇであり、より好ましくは８０ｍ^２／ｇ〜２５０ｍ^２／ｇであるシリカ微粉末が好ましく、ヒュームドシリカ、沈降シリカが例示される。また、これらのシリカ微粉末は、オルガノシラン等で表面処理されていてもよい。

（Ｈ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、好ましくは２０質量部以下であり、より好ましくは１５質量部以下であり、さらに好ましくは１０質量部以下である。（Ｈ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、好ましくは０．１質量部以上である。

シリコーン樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、ベンガラ等の顔料（ただし、カーボンブラックを除く）を含有してもよい。

シリコーン樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な方法によって製造し得る。本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン樹脂組成物は、好ましくは、「（Ａ）成分の全使用量の５０．１質量％以上」と「（Ｇ）成分の全使用量の６０質量％以上」とを含む第１シリコーン液を調製する工程（Ｉ）と、「（Ｂ）成分の全使用量の６０質量％以上」と「（Ｄ−１）成分および（Ｄ−２）成分の全使用量の６０質量％以上」とを含む第２シリコーン液を調製する工程（ＩＩ）と、該第１シリコーン液と該第２シリコーン液とを混合して混合液を調製する工程（ＩＩＩ）と、該混合液に「（Ｃ）成分の全使用量の６０質量％以上」を混合する工程（ＩＶ）と、を含む製造方法によって製造され得る。シリコーン樹脂組成物をこのような方法によって製造することにより、本発明の効果がより発現され得る。特に、シリコーン樹脂組成物をこのような方法によって製造することにより、最終的に得られる吸着仮固定シートが、非常に優れた帯電防止性能を発現し得る。

シリコーン樹脂組成物の製造の際の混合操作においては、好ましくは、撹拌を行う。このような撹拌としては、例えば、ホモミキサー、パドルミキサー、ホモディスパー、コロイドミル、真空混合攪拌ミキサー、自転公転ミキサーなどの、任意の適切なミキサー等を使用し得る。

工程（Ｉ）においては、好ましくは、「（Ａ）成分の全使用量の５０．１質量％以上」と「（Ｇ）成分の全使用量の６０質量％以上」とを混合して撹拌する。

工程（Ｉ）における（Ａ）成分の使用量は、好ましくは全使用量の７０質量％以上であり、より好ましくは全使用量の８０質量％以上であり、さらに好ましくは全使用量の９０質量％以上であり、特に好ましくは全使用量の９５質量％以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の１００質量％（全量）である。

工程（Ｉ）における（Ｇ）成分の使用量は、好ましくは全使用量の７０質量％以上であり、より好ましくは全使用量の８０質量％以上であり、さらに好ましくは全使用量の９０質量％以上であり、特に好ましくは全使用量の９５質量％以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の１００質量％（全量）である。

工程（ＩＩ）においては、好ましくは、「（Ｂ）成分の全使用量の６０質量％以上」と「（Ｄ−１）成分および（Ｄ−２）成分の全使用量の６０質量％以上」とを混合して撹拌する。

工程（ＩＩ）における（Ｂ）成分の使用量は、好ましくは全使用量の７０質量％以上であり、より好ましくは全使用量の８０質量％以上であり、さらに好ましくは全使用量の９０質量％以上であり、特に好ましくは全使用量の９５質量％以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の１００質量％（全量）である。

工程（ＩＩ）における（Ｄ−１）成分および（Ｄ−２）成分の使用量は、好ましくは全使用量の７０質量％以上であり、より好ましくは全使用量の８０質量％以上であり、さらに好ましくは全使用量の９０質量％以上であり、特に好ましくは全使用量の９５質量％以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の１００質量％（全量）である。

工程（Ｉ）で調製される第１シリコーン液には、好ましくは、（Ｂ）成分は含まれない。

工程（Ｉ）で調製される第１シリコーン液には、好ましくは、（Ｄ−１）成分および（Ｄ−２）成分は含まれない。

工程（ＩＩ）で調製される第２シリコーン液には、好ましくは、（Ａ）成分は含まれない。

工程（ＩＩ）で調製される第２シリコーン液には、好ましくは、（Ｇ）成分は含まれない。

工程（ＩＶ）においては、好ましくは、混合液に「（Ｃ）成分の全使用量の６０質量％以上」を混合して撹拌する。

工程（ＩＶ）における（Ｃ）成分の使用量は、好ましくは全使用量の７０質量％以上であり、より好ましくは全使用量の８０質量％以上であり、さらに好ましくは全使用量の９０質量％以上であり、特に好ましくは全使用量の９５質量％以上であり、最も好ましくは実質的に全使用量の１００質量％（全量）である。

シリコーン樹脂組成物の製造の際の温度は、本発明の効果をより発現させ得る点で、全工程を通じて、好ましくは０℃〜５０℃であり、より好ましくは５℃〜４５℃であり、さらに好ましくは１０℃〜４０℃であり、特に好ましくは１５℃〜３５℃である。

シリコーン樹脂組成物の製造は、好ましくは、常圧もしくは真空で行う。

シリコーン樹脂組成物の製造において、（Ｅ）成分は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な工程やタイミングで添加すればよい。本発明の効果をより発現させ得る点で、（Ｅ）成分は、好ましくは、できるだけ後の工程で且つ（Ｂ）成分と接触するタイミングで添加する。

シリコーン樹脂組成物の製造において、（Ｆ）成分は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な工程やタイミングで添加すればよい。本発明の効果をより発現させ得る点で、（Ｆ）成分は、好ましくは、予め（Ｅ）成分と併用して添加する。

シリコーン樹脂組成物の製造方法は、特に好ましくは、「（Ａ）成分の全使用量の実質的に１００質量％（全量）」と「（Ｇ）成分の全使用量の実質的に１００質量％（全量）」とを含む第１シリコーン液を調製する工程（Ｉ）と、「（Ｂ）成分の全使用量の実質的に１００質量％（全量）」と「（Ｄ−１）成分および（Ｄ−２）成分の全使用量の実質的に１００質量％（全量）」とを含む第２シリコーン液を調製する工程（ＩＩ）と、該第１シリコーン液と該第２シリコーン液とを混合して混合液を調製する工程（ＩＩＩ）と、該混合液に「（Ｃ）成分の全使用量の実質的に１００質量％（全量）」を混合する工程（ＩＶ）と、を含む製造方法である。

シリコーン発泡層は、シリコーン樹脂組成物から形成される。

シリコーン発泡層の形成方法の一つの実施形態は、シリコーン樹脂組成物をセパレーターＡ上に塗工し（以下、この工程を工程（１）とする）、該塗工したシリコーン樹脂組成物の該セパレーターＡと反対側の表面上にセパレーターＢを載置し（以下、この工程を工程（２）とする）、該シリコーン樹脂組成物を熱硬化させ（以下、この工程を工程（３）とする）、該セパレーターＡおよび該セパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離したものを加熱乾燥させて（以下、この工程を工程（４）とする）、シリコーン発泡層を形成させる。この場合、剥離したセパレーターの中の少なくとも１種が、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ〜５μｍの表面を有するセパレーターであることが好ましい。

シリコーン発泡層の形成方法の別の一つの実施形態は、シリコーン樹脂組成物をセパレーターＡ上に塗工し（以下、この工程を工程（１）とする）、該塗工したシリコーン樹脂組成物の該セパレーターＡと反対側の表面上にセパレーターＢを載置し（以下、この工程を工程（２）とする）、該シリコーン樹脂組成物を熱硬化させ（以下、この工程を工程（３）とする）、該セパレーターＡおよび該セパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離したものを加熱乾燥させ（以下、この工程を工程（４）とする）、支持体と貼り合わせて（以下、この工程を工程（５）とする）、シリコーン発泡層を形成する。この場合、剥離したセパレーターの中の少なくとも１種が、特定の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターであることが好ましい。そして、熱硬化および加熱乾燥させたシリコーン樹脂組成物の、上記セパレーターを剥離した表面側と反対の表面側に、上記支持体が配置される。

セパレーターＡやセパレーターＢの厚みは、好ましくは１μｍ〜５００μｍであり、より好ましくは３μｍ〜４５０μｍであり、さらに好ましくは５μｍ〜４００μｍであり、特に好ましくは１０μｍ〜３００μｍである。

特定の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターにおける算術平均表面粗さＲａは、好ましくは０．１μｍ〜５μｍであり、より好ましくは０．１５μｍ〜４．５μｍであり、さらに好ましくは０．２μｍ〜４μｍであり、特に好ましくは０．２２μｍ〜３．５μｍである。このような範囲の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターを採用することにより、形成されるシリコーン発泡層は、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。

上記のような特定の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターを採用すると、それを剥離した後に得られるシリコーン発砲層の表面の算術平均表面粗さＲａが、好ましくは０．１μｍ〜１０μｍとなり、より好ましくは０．２μｍ〜９μｍとなり、さらに好ましくは０．３μｍ〜８．５μｍとなり、特に好ましくは０．４μｍ〜８μｍとなる。上記のように剥離した後に得られるシリコーン発砲層の表面が、このような範囲の算術平均表面粗さＲａを有することにより、仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。

上記のような特定の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターとしては、例えば、紙、プラスチックフィルム、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理されたプラスチックフィルムなどが挙げられる。プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルムなどが挙げられ、特に、本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないプラスチックフィルムが好ましい。このようなセパレーターとしては、特に好ましくは、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムである。

セパレーターＡやセパレーターＢがそのまま支持体として用いられる場合には、シリコーン発泡層との投錨性を上げるために、支持体となるセパレーターＡやセパレーターＢの表面にシランカップリング剤等の下塗り剤を塗布したり、コロナ処理やプラズマ処理などの表面処理を行ったりすることが好ましい。

セパレーターＡやセパレーターＢとして、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ〜５μｍの表面を有するセパレーター以外のセパレーターが用いられる場合、このようなセパレーターとしては、例えば、通気性を有さないプラスチックや金属やガラスのシートやフィルムが好ましい。このようなシートやフィルムの材料としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα−オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；酢酸ビニル系樹脂；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリイミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）；銅；アルミ；任意のガラス；などが挙げられる。また、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムや、紙やプラスチックフィルムの基材（ライナー基材）の表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理された剥離ライナーなどが挙げられる。ライナー基材としてのプラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルム、などが挙げられる。

工程（４）における加熱乾燥の際に除去しないセパレーターがある場合は、該セパレーターとして用い得る剥離ライナーは、好ましくは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、紙やプラスチックフィルムの基材（ライナー基材）の表面がフッ化シリコーン処理された剥離ライナーである。工程（４）における加熱乾燥の際に除去しないセパレーターがある場合の該セパレーターとして、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、紙やプラスチックフィルムの基材（ライナー基材）の表面がフッ化シリコーン処理された剥離ライナーを用いることによって、加熱乾燥後の剥離を容易に行うことができる。また、セパレーターＡやセパレーターＢには、粘着剤層が設けられていてもよい。

工程（１）において使用するセパレーターＡと工程（２）において使用するセパレーターＢは、同一のものであってもよいし、異種のものであってもよい。また、工程（１）において使用するセパレーターＡと工程（２）において使用するセパレーターＢは、それぞれ、１層のみのものであってもよいし、２層以上からなるものであってもよい。

工程（１）において使用するセパレーターＡおよび工程（２）において使用するセパレーターＢの、シリコーン樹脂組成物に接する方の表面の親水性・疎水性の程度によって、該表面に接する該シリコーン樹脂組成物の表面形状が変化する。例えば、セパレーターＡやセパレーターＢとしてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのような親水性の高いセパレーターを用いる場合は、該セパレーターに接するシリコーン樹脂組成物の表面において微細な径の表面開口部を多く存在させることができる。また、例えば、セパレーターＡやセパレーターＢとしてフッ化シリコーン処理を施したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）剥離ライナーのような疎水性の高いセパレーターを用いる場合は、該セパレーターに接するシリコーン樹脂組成物の表面において微細な径の表面開口部を少なく存在させることができる。したがって、シリコーン発泡層に対して高い通気性や高い吸着性を発現させたい場合には、親水性の高いセパレーターを用いることが好ましく、シリコーン発泡層に対して高い止水性や高い防塵性を発現させたい場合には、疎水性の高いセパレーターを用いることが好ましい。また、シリコーン発泡層とセパレーターとの再剥離性が必要な場合は、疎水性の高いセパレーターを用いることが好ましい。なお、親水性・疎水性の程度は、例えば、水との接触角によって定義することができる。例えば、水との接触角が９０度未満の場合を親水性、水との接触角が９０度以上の場合を疎水性と定義し得る。

工程（３）においては、シリコーン樹脂組成物を熱硬化させる。この熱硬化の温度は、効率的にシリコーン樹脂組成物を熱硬化させ得る点で、好ましくは５０℃以上１００℃未満である。熱硬化の温度が５０℃未満では、熱硬化に時間がかかりすぎるおそれがある。熱硬化の温度が１００℃以上では、セパレーターＡおよびセパレーターＢに挟まれて略密閉状態となったシリコーン樹脂組成物中の水分が揮発することにより、形成するセルの粗大化や高密度化が起こるおそれがある。なお、工程（３）によってシリコーン樹脂組成物から形成するものをシリコーン発泡層前駆体と称することとする。

工程（３）のように、シリコーン樹脂組成物をセパレーターＡおよびセパレーターＢで挟んだ略密閉状態において熱硬化するという特殊な熱硬化方法を行うことにより、シリコーン樹脂組成物中の水分が除去されない状態において熱硬化され、続く工程（４）との連携により、連続気泡構造を有しセル径が微細なシリコーン発泡層を効果的に得ることが可能となる。

工程（４）においては、セパレーターＡおよびセパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離したものを加熱乾燥させる。セパレーターＡおよびセパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離させることにより、工程（３）における上記略密閉状態が解放され、この解放状態において加熱乾燥させることにより、工程（３）で形成されたシリコーン発泡シート前駆体から水分が効率的に揮発して除去され、シリコーン発泡層が得られる。シリコーン発泡層を効果的に形成させ得る点で、工程（４）における加熱乾燥温度は、１２０℃〜２５０℃が好ましい。工程（４）における加熱乾燥温度が１２０℃未満では、乾燥および硬化に時間がかかりすぎるおそれがあり、また、連続気泡構造を有しセル径が微細なシリコーン発泡シートが得られないおそれがある。工程（４）における加熱乾燥温度が２５０℃を超えると、基材の収縮や膨張によりシート形成が困難となるおそれがある。

工程（５）においては、工程（４）の後、支持体と貼り合わせることにより、シリコーン発泡層が形成される。

シリコーン発泡層は、好ましくは、連続気泡構造を備える。すなわち、シリコーン発泡層は、好ましくは、隣接するセル間に貫通孔を有する連続気泡構造を備える。シリコーン発泡層が連続気泡構造を備えることにより、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、優れた気泡抜け性を発現でき、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現を維持できる。

シリコーン発泡層は、好ましくは、セル（球状気泡）を有する。なお、セル（球状気泡）は、厳密な真球状の気泡でなくてもよく、例えば、部分的にひずみのある略球状の気泡や、大きなひずみを有する空間からなる気泡であってもよい。

連続気泡構造が存在するかどうかの観察は、低真空走査電子顕微鏡（「Ｓ−３４００Ｎ型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクフィールディング社製）により、シリコーン発泡層の断面の拡大画像を取り込み、セル壁の貫通孔の有無を確認することによって行うことができる。

シリコーン発泡層は、連続気泡率が、好ましくは９０％以上であり、より好ましくは９０％〜１００％であり、さらに好ましくは９２％〜１００％であり、さらに好ましくは９５％〜１００％であり、特に好ましくは９９％〜１００％であり、最も好ましくは実質的に１００％である。シリコーン発泡層の連続気泡率が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。

なお、連続気泡率は、例えば、下記のようにして測定することができる。すなわち、シリコーン発泡層を水中に沈め、−７５０ｍｍＨｇの減圧下で３分間放置することで、気泡中の空気を水に置換し、吸収された水の質量を図り、水の密度を１．０ｇ／ｃｍ^３として吸収された水の体積を算出し、下記の式により算出する。
連続気泡率（％）＝｛（吸水した水の体積）／（気泡部分体積）｝×１００

なお、気泡部分体積は、例えば、下記の式により算出する。ここで、樹脂密度は、シリコーン発泡層を形成する樹脂中の乳化剤を除いて作製した樹脂成形体の密度を測定することで得られる値である。
気泡部分体積（ｃｍ^３）＝｛（シリコーン発泡層の質量）／（シリコーン発泡層の見かけ密度）｝−｛（シリコーン発砲層の質量）／（樹脂密度）｝

シリコーン発泡層は、平均セル径が、好ましくは１μｍ〜２００μｍであり、より好ましくは１．５μｍ〜１８０μｍであり、さらに好ましくは２μｍ〜１７０μｍであり、特に好ましくは２．５μｍ〜１６０μｍであり、最も好ましくは３μｍ〜１５０μｍである。シリコーン発泡層において、平均セル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。

シリコーン発泡層は、好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が３００μｍ以下であり、より好ましくは、全セルの９２％以上のセル径が３００μｍ以下であり、さらに好ましくは、全セルの９５％以上のセル径が３００μｍ以下であり、特に好ましくは、全セルの９７％以上のセル径が３００μｍ以下であり、最も好ましくは、全セルの実質的に１００％のセル径が３００μｍ以下である。また、シリコーン発泡層は、より好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が２５０μｍ以下であり、さらに好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が２００μｍ以下であり、特に好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が１８０μｍ以下であり、最も好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が１５０μｍ以下である。シリコーン発泡層において、３００μｍ以下のセル径の割合や全セルの９０％以上のセル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。

シリコーン発泡層は、全セル中の最大セル径が、好ましくは３００μｍ以下であり、より好ましくは２５０μｍ以下であり、さらに好ましくは２００μｍ以下であり、特に好ましくは１８０μｍ以下であり、最も好ましくは１５０μｍ以下である。シリコーン発泡層において、全セル中の最大セル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。

シリコーン発泡層は、全セル中の最小セル径が、好ましくは１００μｍ以下であり、より好ましくは８０μｍ以下であり、さらに好ましくは７０μｍ以下であり、特に好ましくは６０μｍ以下であり、最も好ましくは５０μｍ以下である。シリコーン発泡層において、全セル中の最小セル径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。

このように、シリコーン発泡層が、好ましくは、連続気泡構造を備え、また、好ましくは、セル径が上記のように微細であることにより、優れた気泡抜け性を発現でき、気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなく剥がすことができ、仮固定シートに好適なものとなる。

平均セル径は、例えば、低真空走査電子顕微鏡（「Ｓ−３４００Ｎ型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクサイエンスシステムズ社製）により、シリコーン発泡層の断面の拡大画像を取り込み、画像解析することにより求めることができる。なお、解析するセル数としては、例えば２０個である。同様の方法で、最小セル径（μｍ）および最大セル径（μｍ）を求めることができる。

シリコーン発泡層は、好ましくは、表面開口部を有する。ここにいう表面開口部とは、シリコーン発泡層の表面に存在する、ある大きさの平均孔径を有する開口部を意味する。シリコーン発泡層が表面開口部を有することにより、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。これは、表面開口部が、適切な吸盤として働くためと推察され、これにより、シリコーン発泡層を有する仮固定シートは、より優れた仮固定性を発現できる。

表面開口部の開口率は、好ましくは１％〜９９％であり、より好ましくは２％〜９５％であり、さらに好ましくは３％〜９０％であり、特に好ましくは４％〜８５％であり、最も好ましくは５％〜８０％である。表面開口部の開口率が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層は、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。

表面開口部の平均孔径は、好ましくは１５０μｍ以下であり、より好ましくは０．５μｍ〜１４５μｍであり、さらに好ましくは１．０μｍ〜１４０μｍであり、特に好ましくは１．５μｍ〜１３５μｍであり、最も好ましくは２．０μｍ〜１３０μｍである。表面開口部の平均孔径が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層は、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。

表面開口部の平均孔径は、例えば、低真空走査電子顕微鏡（「Ｓ−３４００Ｎ型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクフィールディング社製）により、シリコーン発泡層表面の拡大画像を取り込み、画像解析することにより求めることができる。解析する孔数は、例えば２０個である。

シリコーン発泡層の見かけ密度は、好ましくは０．１５ｇ／ｃｍ^３〜０．９０ｇ／ｃｍ^３であり、より好ましくは０．２０ｇ／ｃｍ^３〜０．８５ｇ／ｃｍ^３であり、さらに好ましくは０．２５ｇ／ｃｍ^３〜０．８０ｇ／ｃｍ^３であり、特に好ましくは０．３０ｇ／ｃｍ^３〜０．７５ｇ／ｃｍ^３である。シリコーン発泡層の見かけ密度が上記範囲にあれば、シリコーン発泡層の他の特徴と相まって、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより容易に剥がすことができる。また、シリコーン発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現を維持できる。

シリコーン発泡層は、その表面の算術平均表面粗さＲａが、好ましくは０．１μｍ〜１０μｍであり、より好ましくは０．２μｍ〜９μｍであり、さらに好ましくは０．３μｍ〜８．５μｍであり、特に好ましくは０．４μｍ〜８μｍである。シリコーン発泡層の表面が、このような範囲の算術平均表面粗さＲａを有することにより、仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。

シリコーン発泡層の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、支持体として機能させるものではない場合、好ましくは、仮固定したい部材を仮固定シートに載置する前に、シリコーン発泡層表面から剥離する。

セパレーターの厚みは、好ましくは１μｍ〜５００μｍであり、より好ましくは３μｍ〜４５０μｍであり、さらに好ましくは５μｍ〜４００μｍであり、特に好ましくは１０μｍ〜３００μｍである。

セパレーターとしては、例えば、紙、プラスチックフィルム、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理されたプラスチックフィルムなどが挙げられる。

プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルムなどが挙げられる。

特に、本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないプラスチックフィルムが、セパレーターとして、シリコーン発泡層の少なくとも一方の表面に貼着されていることが好ましい。このようなセパレーターとしては、特に好ましくは、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムである。

上記のようなセパレーターとしては、その表面の算術平均表面粗さＲａが、好ましくは０．１μｍ〜５μｍであり、より好ましくは０．１５μｍ〜４．５μｍであり、さらに好ましくは０．２μｍ〜４μｍであり、特に好ましくは０．２２μｍ〜３．５μｍである。このような範囲の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターを採用することにより、このようなセパレーターを、仮固定したい部材を仮固定シートに載置する前にシリコーン発泡層表面から剥離することにより、仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有し得る。

仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層を仮固定シートの全体に有する。すなわち、仮固定シートの一つの実施形態においては、仮固定シートはシリコーン発泡層からなる。

仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層を仮固定シートの一部に有し、該仮固定シートの最外層の少なくとも一方が該シリコーン発泡層である。

仮固定シートの一つの好ましい実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に支持体を有する。この実施形態においては、シリコーン発泡層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、好ましくは、前述したような、特定の表面の算術平均表面粗さＲａのセパレーターである。

仮固定シートの一つの好ましい実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に粘着剤層を有する。この実施形態において、シリコーン発泡層のもう一方の表面、および、粘着剤層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターの中でも、シリコーン発泡層のもう一方の表面に貼着されるセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さＲａが好ましくは０．１μｍ〜５μｍであるセパレーターである。

仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に支持体を有し、さらに、該支持体の該シリコーン発泡層と反対側の表面に粘着剤層を有する。すなわち、シリコーン発泡層／支持体／粘着剤層の形態である。この実施形態において、シリコーン発泡層のもう一方の表面、および、粘着剤層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターの中でも、シリコーン発泡層のもう一方の表面に貼着されるセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さＲａが好ましくは０．１μｍ〜５μｍであるセパレーターである。

仮固定シートの一つの実施形態においては、シリコーン発泡層の一方の表面側に支持体を有し、さらに、該支持体の該シリコーン発泡層と反対側の表面にシリコーン発泡層を有する。すなわち、シリコーン発泡層／支持体／シリコーン発泡層の形態である。この実施形態において、シリコーン発泡層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さＲａが好ましくは０．１μｍ〜５μｍであるセパレーターである。

支持体としては、シリコーン発泡層を支持できるものであれば、任意の適切な支持体を採用し得る。このような支持体としては、プラスチックフィルムやシートやテープ、紙、不織布、金属箔や金属メッシュ、ガラスやガラスクロスなどである。支持体は、１層であってもよいし、２層以上であってもよい。また、支持体とシリコーン発泡層の投錨性を上げるために、支持体表面にシランカップリング剤等の下塗り剤を塗布したり、コロナ処理やプラズマ処理などの表面処理を行ったりすることが好ましい。

プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルムなどが挙げられる。

粘着剤層としては、任意の適切な粘着剤からなる層を採用し得る。このような粘着剤としては、例えば、ゴム系粘着剤（合成ゴム系粘着剤、天然ゴム系粘着剤など）、ウレタン系粘着剤、アクリルウレタン系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、エポキシ系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、フッ素系粘着剤などが挙げられる。このような粘着剤は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。粘着剤層は、１層であってもよいし、２層以上であってもよい。

粘着剤としては、粘着形態で分類すると、例えば、エマルジョン型粘着剤、溶剤型粘着剤、紫外線架橋型（ＵＶ架橋型）粘着剤、電子線架橋型（ＥＢ架橋型）粘着剤、熱溶融型粘着剤（ホットメルト型粘着剤）などが挙げられる。このような粘着剤は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

仮固定シートの一つの実施形態においては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な他の発泡層を採用し得る。このような他の発泡層としては、例えば、アクリル系発泡層などが挙げられる。

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例になんら限定されるものではない。なお、実施例等における、試験および評価方法は以下のとおりである。なお、「部」と記載されている場合は、特記事項がない限り「質量部」を意味し、「％」と記載されている場合は、特記事項がない限り「質量％」を意味する。

＜厚みの測定＞
３Ｄ測定レーザー顕微鏡（ＬＥＸＴ ＯＬＳ４０００、オリンパス（株）社製）にて、高精度・対物レンズ１０倍の設定でガラス板（マイクロスライドガラスＳ、松浪硝子工業株式会社製）に測定対象物（例えば、吸着仮固定シート）を乗せ、ガラス板表面から測定対象物の最上部までの３Ｄ画像を測定し、その高さを厚みとした。

＜見掛け密度の測定＞
５０ｍｍ×５０ｍｍの打ち抜き刃型にて測定対象物（例えば、吸着仮固定シート）を打ち抜き、厚みは前述した＜厚みの測定＞の値を用い、これらの値から測定対象物の体積を算出した。
次に、測定対象物の質量を最小目盛り０．０１ｇ以上の上皿天秤にて測定した。これらの値より、測定対象物の見掛け密度（ｇ／ｃｍ^３）を算出した。

＜厚み２００μｍのシートの外観評価＞
１００ｍｍ×１００ｍｍの打ち抜き刃型にて測定対象物（例えば、仮固定シート）を打ち抜き、夾雑物測定図表を用いてピンホールのサイズと個数を評価した。
◎：０．３ｍｍ^２以上かつ０．７ｍｍ^２より小さいピンホールが１０個未満
○：０．３ｍｍ^２以上かつ０．７ｍｍ^２より小さいピンホールが１０個以上５０個未満
×：０．３ｍｍ^２以上かつ０．７ｍｍ^２より小さいピンホールが１０個以上５０個未満、もしくは、０．７ｍｍ^２以上のピンホールが１個以上

＜表面抵抗率＞
１００ｃｍ×１００ｃｍのサイズに測定対象物（例えば、吸着仮固定シート）を切り抜き、Ｈｉｒｅｓｔａ ＨＴ−２１０（三菱油化株式会社製）を用いて、表面抵抗率（Ω／□）を求めた。

〔製造例１〕：マスターバッチ（ＡＧ−１）の製造
粘度８０００ｍＰａ・ｓの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体（ビニル基含有量０．３０質量％）：８０質量部と、アセチレンブラック（デンカブラック、電気化学工業株式会社製）：２０質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、３本ロールミルにかけて５パスして、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン（（Ａ）成分）と導電性物質（（Ｇ）成分）との、流動性のあるマスターバッチ（ＡＧ−１）を製造した。

〔製造例２〕：マスターバッチ（ＡＧ−２）の製造
粘度４００００ｍＰａ・ｓの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体（ビニル基含有量０．１３質量％）：６５質量部と、アセチレンブラック（デンカブラック、電気化学工業株式会社製）：３５質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、３本ロールミルにかけて５パスして、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン（（Ａ）成分）と導電性物質（（Ｇ）成分）との、流動性のあるカーボンブラックマスターバッチ（ＡＧ−２）を調製した。

〔製造例３〕：マスターバッチ（ＡＧ−３）の製造
粘度８０００ｍＰａ・ｓの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体（ビニル基含有量０．３０質量％）：８０質量部と、ケッチェンブラック（ＥＣ−６００ＪＤ、ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製）：２０質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、３本ロールミルにかけて５パスして、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン（（Ａ）成分）と導電性物質（（Ｇ）成分）との、流動性のあるマスターバッチ（ＡＧ−３）を製造した。

〔製造例４〕：マスターバッチ（ＡＧ−４）の製造
粘度４００００ｍＰａ・ｓの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体（ビニル基含有量０．１３質量％）：６５質量部と、ケッチェンブラック（ＥＣ−６００ＪＤ、ケッチェンブラックインターナショナル株式会社製）：３５質量部を、ロスミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合した後、３本ロールミルにかけて５パスして、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン（（Ａ）成分）と導電性物質（（Ｇ）成分）との、流動性のあるカーボンブラックマスターバッチ（ＡＧ−２）を調製した。

〔製造例５〕：一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン（Ａ−１）の準備
粘度４００００ｍＰａ・ｓの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体（ビニル基含有量０．１３質量％）を、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン（（Ａ）成分）（Ａ−１）とした。

〔製造例６〕：一分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン（Ｂ−１）の準備
動粘度４３．５ｍｍ^２／ｓの分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体（ケイ素原子結合水素原子含有量０．６９質量％）を、一分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン（（Ｂ）成分）（Ｂ−１）とした。

〔製造例７〕：水と無機系増粘剤からなる混合物（Ｃ−１）の製造
スメクタイトクレー（有機ポリマー複合親水性精製ベントナイト（ｐＨ６．５）、（株）ホージュン製）：１質量部とイオン交換水：９９質量部をホモミキサーに投入し、室温で均一になるまで混合して、水と無機系増粘剤からなる混合物（（Ｃ）成分）（Ｃ−１）を製造した。

〔製造例８〕：ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤（Ｄ−１−１）の準備
ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ−Ｏ１０Ｖ、花王社製、ＨＬＢ４．３）を、ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤（（Ｄ−１）成分）（Ｄ−１−１）とした。

〔製造例９〕：ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤（Ｄ−２−１）の準備
ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ−Ｏ３０Ｖ、花王社製、ＨＬＢ１．８）を、ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤（（Ｄ−２）成分）（Ｄ−２−１）とした。

〔製造例１０〕：ヒドロシリル化反応触媒（Ｅ−１）の準備
白金の１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体の１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサン溶液（白金金属含有量４０００ｐｐｍ）を、ヒドロシリル化反応触媒（（Ｅ）成分）（Ｅ−１）とした。

〔製造例１１〕：硬化遅延剤（Ｆ−１）の製造
エチニルシクロヘキサノール：２質量部と粘度１００００ｍＰａ・ｓの分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン：９８質量部とを混合して、硬化遅延剤（（Ｆ）成分）（Ｆ−１）を製造した。

〔実施例１〜８、比較例１〜６〕
（Ａ）成分と（Ｇ）成分とのマスターバッチ、（Ａ）成分、（Ｃ）成分、（Ｄ−１）成分、（Ｄ−２）成分を表１の配合比でホモミキサー（特殊機化（株）製）に投入し、２５℃で均一になるまで混合した。ついで、得られた混合物に、（Ｂ）成分、（Ｅ）成分、（Ｆ）成分を配合し、ホモミキサー（特殊機化（株）製）に投入し、２５℃で均一になるまで混合し脱気して、シリコーン樹脂組成物を調製した。
得られたシリコーン樹脂組成物を、フロロシリコーン処理ＰＥＴフィルム（ニッパシートＰＥＴ３８ｘ１−ＳＳ４Ａ、ニッパ社製）上にアプリケータを用いて塗布し、その上からＰＥＴフィルム（ルミラーＳ１０、東レ社製）を被せて、熱風オーブンによって８５℃で１０分間加熱し、樹脂組成物を硬化させた。硬化後、ＰＥＴフィルムを剥離し、さらに、２００℃で３分間加熱乾燥を行い、厚み２００μｍのシート状の仮固定シート（１）〜（８）、（Ｃ１）〜（Ｃ６）を得た。結果を表１に示した。

本発明の仮固定シートは、各種分野における仮固定材として利用可能である。特に、本発明の仮固定シートは、電子部材の仮固定に好適に用いられる。

Claims (9)

1. シリコーン発泡層を有する仮固定シートであって、
   該シリコーン発泡層が、
   （Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン：１００質量部、
   （Ｂ）一分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン：（Ａ）成分中のアルケニル基１モルに対して（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子が０．４モル〜２０モルとなる量、
   （Ｃ）水と無機系増粘剤からなる混合物：１００質量部〜１０００質量部、
   （Ｄ−１）ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．２質量部〜１．２質量部、
   （Ｄ−２）ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤：（Ｇ）成分１質量部に対して０．０１質量部〜０．１４質量部、
   （Ｅ）ヒドロシリル化反応触媒、
   （Ｆ）硬化遅延剤：０.００１質量部〜５質量部、
   （Ｇ）導電性物質：（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計を１００質量部としたときに０．１質量部〜１００質量部、
   を含むシリコーン樹脂組成物から形成される、
   仮固定シート。
2. 前記（Ｄ−１）成分の量が、前記（Ｇ）成分１質量部に対して０．５質量部〜１．１質量部である、請求項１に記載の仮固定シート。
3. 前記（Ｄ−１）成分の量が、前記（Ｇ）成分１質量部に対して０．７質量部〜１．０質量部である、請求項２に記載の仮固定シート。
4. 前記（Ｄ−２）成分の量が、前記（Ｇ）成分１質量部に対して０．０２質量部〜０．１０質量部である、請求項１に記載の仮固定シート。
5. 前記（Ｄ−２）成分の量が、前記（Ｇ）成分１質量部に対して０．０４質量部〜０．０７質量部である、請求項４に記載の仮固定シート。
6. 前記（Ｇ）成分がカーボンブラックである、請求項１から５までのいずれかに記載の仮固定シート。
7. 前記カーボンブラックがケッチェンブラックである、請求項６に記載の仮固定シート。
8. 前記シリコーン発泡層の見かけ密度が０．１５ｇ／ｃｍ^３〜０．９０ｇ／ｃｍ^３である、請求項１から７までのいずれかに記載の仮固定シート。
9. 電子部材の仮固定に用いられる、請求項１から８までのいずれかに記載の仮固定シート。