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JP2018136913A - Image processing apparatus - Google Patents

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JP2018136913A
JP2018136913A JP2017160011A JP2017160011A JP2018136913A JP 2018136913 A JP2018136913 A JP 2018136913A JP 2017160011 A JP2017160011 A JP 2017160011A JP 2017160011 A JP2017160011 A JP 2017160011A JP 2018136913 A JP2018136913 A JP 2018136913A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image processing
tool
loop
image
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017160011A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
悠祐 大谷
Yusuke Otani
悠祐 大谷
石川 真己
Masaki Ishikawa
真己 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Pending legal-status Critical Current

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  • Image Analysis (AREA)

Abstract

【課題】複数のワークに対して画像処理による検査を行う場合においても、画像処理フローの作成作業や編集作業を容易にすることが可能な画像処理装置を提供する。【解決手段】複数のワークが含まれたワーク画像に対して、複数の画像処理ツールが組み合わされた画像処理フローに基づいて画像処理を実行する画像処理装置であって、前記画像処理フローは、前記ワーク画像に含まれる複数のワークのそれぞれに対して、画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することを特徴とする。【選択図】図2PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image processing apparatus capable of facilitating an image processing flow creation work and an editing work even when an inspection by image processing is performed on a plurality of works. An image processing apparatus that executes image processing on a work image including a plurality of works based on an image processing flow in which a plurality of image processing tools are combined, and the image processing flow is the same. It is characterized by having a loop tool that performs loop processing in which a combination of image processing tools is sequentially applied to each of a plurality of works included in the work image. [Selection diagram] Fig. 2

Description

本発明は、ワークを撮像して得られたワーク画像に対して画像処理を実行する画像処理装置に関するものである。   The present invention relates to an image processing apparatus that performs image processing on a workpiece image obtained by imaging a workpiece.

検査対象物(以下、ワーク)の検査において当該ワークを撮像部により撮影し、撮影されたワーク画像に対して画像処理を行うことで、製品の良否判定等の検査を行う画像処理装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1に開示されている画像処理装置では、ワーク画像に対して、ユーザーにより選択された複数の画像処理ツールにより構成された画像処理フローに基づいて画像処理が行われる。   There has been proposed an image processing apparatus that inspects an object to be inspected (hereinafter referred to as a workpiece) by imaging the workpiece with an imaging unit and performing image processing on the photographed workpiece image to determine whether the product is good or bad. (For example, refer to Patent Document 1). In the image processing apparatus disclosed in Patent Document 1, image processing is performed on a work image based on an image processing flow configured by a plurality of image processing tools selected by a user.

特開2013−171026号公報JP2013-171026A

しかしながら、従来では、撮像部の撮影視野内にある複数のワーク、つまり、ワーク画像に含まれる複数のワークについて検査を行う場合、ワーク毎に複数の画像処理ツールを組み合わせて個別に画像処理フローを作成する必要があった。このため、当該画像処理フローの作成作業にその分の手間を要するという課題があった。また、例えば画像処理フロー内の一部の画像処理ツールについて設定等を変更する等のように、一度作成した画像処理フローを編集する場合、各ワークに対応する画像処理フローのそれぞれについて編集作業を行わなければならない。さらには、組み合わせる画像処理ツールの数が多くなると、その分、画像処理アプリケーションに係るユーザーインターフェースにおいて各画像処理ツールに対応するアイコン(以下、画像処理アイコン)が数多く表示されることになり、ユーザーにとっては画像処理フロー全体を見渡すことが難しくなるおそれがあった。また、複数の画像処理ツールを1つのアイコンで簡易的に表示させることも考えられるが、この場合、このアイコンによりどのような画像処理が行われるのかがユーザーにとって分かりにくくなるおそれがあった。このため、ユーザーの作業負担が大きく、メンテナンス性が悪いという課題があった。   However, conventionally, when inspecting a plurality of workpieces within the imaging field of view of the imaging unit, that is, a plurality of workpieces included in the workpiece image, a plurality of image processing tools are combined for each workpiece to individually perform an image processing flow. There was a need to create. For this reason, there has been a problem that it takes time and effort to create the image processing flow. Also, when editing an image processing flow that has been created once, such as changing settings for some image processing tools in the image processing flow, for example, the editing operation is performed for each image processing flow corresponding to each work. It must be made. Furthermore, as the number of image processing tools to be combined increases, more icons (hereinafter referred to as image processing icons) corresponding to each image processing tool are displayed on the user interface related to the image processing application. May have difficulty in overlooking the entire image processing flow. In addition, it is conceivable that a plurality of image processing tools are simply displayed with a single icon. In this case, however, it may be difficult for the user to understand what kind of image processing is performed by this icon. For this reason, there is a problem that the work burden on the user is large and the maintainability is poor.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のワークに対して画像処理による検査を行う場合においても、画像処理フローの作成作業や編集作業を容易にすることが可能な画像処理装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to facilitate creation and editing of an image processing flow even when a plurality of workpieces are inspected by image processing. An object of the present invention is to provide an image processing apparatus that can perform the above-described processing.

本発明の画像処理装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数のワークが含まれたワーク画像に対して、複数の画像処理ツールが組み合わされた画像処理フローに基づいて画像処理を実行する画像処理装置であって、
前記画像処理フローは、前記ワーク画像に含まれる複数のワークのそれぞれに対して、画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することを特徴とする。
The image processing apparatus of the present invention has been proposed to achieve the above object, and is based on an image processing flow in which a plurality of image processing tools are combined with a workpiece image including a plurality of workpieces. An image processing apparatus that executes image processing,
The image processing flow includes a loop tool that performs a loop process in which a combination of image processing tools is sequentially applied to each of a plurality of works included in the work image.

本発明によれば、画像処理フローが、複数のワークのそれぞれに対して画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することにより、各ワークについてそれぞれ画像処理フローを個別に作成する必要がなく、画像処理フローの作成作業がより容易となる。また、例えば画像処理フロー内の一部の画像処理ツールについて設定等を変更する等のように、一度作成した画像処理フローを編集する場合においても、1つの画像処理フローについて編集を行えば、当該編集後の画像処理フローが各ワークについて同様に適用されることになる。その結果、ユーザーにとって作業の負担が軽減され、メンテナンス性が向上する。   According to the present invention, the image processing flow includes a loop tool that performs a loop process that sequentially applies a combination of image processing tools to each of a plurality of workpieces, thereby individually creating an image processing flow for each workpiece. This makes it easier to create an image processing flow. In addition, even when editing an image processing flow that has been created once, such as changing settings for some image processing tools in the image processing flow, The image processing flow after editing is similarly applied to each workpiece. As a result, the burden on the work for the user is reduced and the maintainability is improved.

また、上記構成において、前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールは、前記サーチツールによるワークの検出数に対応する回数だけ前記ループ処理を行う構成を採用することができる。
In the above configuration, the image processing flow includes, as an image processing tool, a search tool that detects a predetermined workpiece included in the workpiece image.
The loop tool may employ a configuration in which the loop process is performed a number of times corresponding to the number of workpieces detected by the search tool.

この構成によれば、サーチツールによるワークの検出数に対応する回数だけループ処理が自動的に実行されるので、ユーザーによる設定作業が不要となる。   According to this configuration, loop processing is automatically executed as many times as the number of workpieces detected by the search tool, so that setting work by the user is not necessary.

また、上記構成において、前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数は、ユーザーにより設定される構成を採用することもできる。   In the above configuration, a configuration in which the number of execution times of the loop processing by the loop tool is set by a user can be adopted.

この構成によれば、ループ処理の実行回数についてユーザーが所望とする回数に設定することができる。   According to this configuration, the number of execution times of the loop process can be set to a number desired by the user.

さらに、上記構成において、前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数について、前記サーチツールで検出されたワークの検出数に基づく自動設定、または、ユーザーによる設定の何れかを選択可能である構成を採用することもできる。
Further, in the above configuration, the image processing flow includes a search tool for detecting a predetermined work included in the work image as an image processing tool,
It is also possible to adopt a configuration in which either the automatic setting based on the number of workpieces detected by the search tool or the setting by the user can be selected as the number of times the loop process is executed by the loop tool.

この構成によれば、ループ処理の実行回数について検査用途等に応じてより適した設定を選択することができる。   According to this configuration, it is possible to select a more suitable setting for the number of executions of the loop process according to the inspection application or the like.

また、上記構成において、前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一部のワークに対して選択的に前記ループ処理を行うモードを有する構成を採用することが望ましい。
In the above configuration, the image processing flow includes, as an image processing tool, a search tool that detects a predetermined workpiece included in the workpiece image.
The loop tool preferably employs a configuration having a mode in which the loop process is selectively performed on a part of the workpieces detected by the search tool.

この構成によれば、サーチツールにより検出されるワークの数がより多い場合においても、所謂抜き取り検査のように、検出されたワークのうちの一部のワークのみにループ処理が選択的に適用されるので、その分、処理時間を削減することが可能となる。   According to this configuration, even when the number of workpieces detected by the search tool is larger, the loop process is selectively applied to only some of the detected workpieces as in the so-called sampling inspection. Therefore, the processing time can be reduced accordingly.

この構成において、前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行う構成を採用することができる。   In this configuration, the loop tool may employ a configuration in which workpieces to be inspected are selected from the workpieces detected by the search tool at a fixed number of intervals.

この構成によれば、検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行うので、より簡単な設定で抜き取り検査を行うことが可能となる。   According to this configuration, since the workpieces to be inspected are selected from the detected workpieces at a constant number interval, the sampling inspection can be performed with simpler settings.

また、上記構成において、前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から検査対象とするワークを選択するための選択エリアを前記ワーク画像に分散させて設定し、当該選択エリア内に含まれるワークを検査対象のワークとして選択する構成を採用することもできる。   Further, in the above configuration, the loop tool sets a selection area for selecting a workpiece to be inspected from the workpieces detected by the search tool in a distributed manner in the workpiece image, and within the selection area It is also possible to adopt a configuration in which an included workpiece is selected as a workpiece to be inspected.

この構成によれば、検出されたワークの中から選択エリア内に含まれるワークを検査対象のワークとして選択することにより、ワークの位置に基づく形状や寸法等のばらつきを考慮してより偏りなくワークの検査を行うことが可能となる。   According to this configuration, by selecting the workpieces included in the selected area from the detected workpieces as the workpieces to be inspected, the workpieces are more evenly taken into account by taking into account variations in shapes, dimensions, etc. based on the workpiece positions. It becomes possible to perform the inspection.

さらに、上記構成において、前記画像処理フローは、第1のループツールと第2のループツールを有し、
前記第1のループツールにより実行される第1のループ処理は、前記第2のループツールにより実行される第2のループ処理を包含する構成を採用することができる。
Furthermore, in the above configuration, the image processing flow includes a first loop tool and a second loop tool,
The first loop process executed by the first loop tool can employ a configuration including a second loop process executed by the second loop tool.

この構成によれば、例えば、検出されたワークが検査対象となる部位を複数有している場合に、各部位の検査を第2のループツールにより実行される第2のループ処理で行うようにすることができる。これにより、画像処理フロー内に第2のループツールを追加するという簡単な作業でワークが有する複数の部位の検査を行うことが可能となる。   According to this configuration, for example, when the detected workpiece has a plurality of parts to be inspected, the inspection of each part is performed by the second loop process executed by the second loop tool. can do. As a result, it is possible to inspect a plurality of parts of the work by a simple operation of adding the second loop tool in the image processing flow.

上記構成において、画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを表示装置に表示させるアイコン表示手段を有し、
前記アイコン表示手段は、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループに対応するグループアイコンを前記表示装置に表示させることが可能に構成されたことが望ましい。
In the above-described configuration, the image processing tool has icon display means for displaying an image processing icon corresponding to the image processing tool on the display device,
The icon display means is preferably configured to display on the display device a group icon corresponding to an image processing group composed of a combination of a plurality of image processing tools.

この構成によれば、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループが一つのグループアイコンで表示されるので、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコンが個別に表示される場合と比較して、複数の画像処理ツールの組み合わせからなる画像処理グループであることをユーザーが認識しやすくすることができる。また、表示装置における限られた表示領域を有効に使用することが可能となる。   According to this configuration, an image processing group configured by a combination of a plurality of image processing tools is displayed as a single group icon, so that the image processing icons of the image processing tools constituting the image processing group are individually displayed. As compared with the case where the image processing is performed, the user can easily recognize that the image processing group is a combination of a plurality of image processing tools. In addition, a limited display area in the display device can be used effectively.

また、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記ループツール及び当該ループツールにより前記ループ処理が行われる複数の画像処理ツールを含む前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させることが可能に構成されたことが望ましい。   Further, in the above configuration, the icon display means can display the group icon corresponding to the image processing group including the loop tool and a plurality of image processing tools on which the loop processing is performed by the loop tool. Desirably configured.

この構成によれば、ループツールによりループ処理が行われる画像処理グループであることをユーザーがより認識しやすくすることができる。   According to this configuration, the user can more easily recognize that the image processing group is subjected to loop processing by the loop tool.

また、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させるまとめ表示状態と、当該画像処理グループに含まれる各画像処理ツールに対応する各画像処理アイコンを並べて表示させる展開表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことが望ましい。   In the above configuration, the icon display means arranges a group display state for displaying the group icon corresponding to the image processing group and image processing icons corresponding to the image processing tools included in the image processing group. It is desirable to be able to switch to the expanded display state to be displayed.

この構成によれば、まとめ表示状態と展開表示状態とに切り替えることができるので、表示領域を有効に使用したり、又は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールを確認したり、等、ユーザーの必要に応じた表示を行うことができる。   According to this configuration, since it is possible to switch between the summary display state and the expanded display state, the user can use the display area effectively or check each image processing tool constituting the image processing group. The display can be performed as needed.

さらに、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記まとめ表示状態において、当該グループアイコンの静止画を表示させる静止画表示状態と、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを前記静止画に替えて順次表示する動画表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことが望ましい。   Further, in the above configuration, the icon display means includes a still image display state for displaying a still image of the group icon in the summary display state, and an image processing icon corresponding to an image processing tool included in the image processing group. It is desirable to be able to switch to a moving image display state where images are sequentially displayed instead of the still image.

この構成によれば、まとめ表示状態において静止画表示状態と動画表示状態とに切り替えることができるので、静止画表示状態とすることにより画像処理装置の負荷を抑制したり、又は、動画表示状態とすることにより限られた表示領域を有効に使用しつつ画像処理グループを構成する各画像処理ツールをユーザーが容易に確認したりすることができる。   According to this configuration, since it is possible to switch between the still image display state and the moving image display state in the summary display state, it is possible to suppress the load on the image processing apparatus by setting the still image display state, or By doing so, the user can easily check each image processing tool constituting the image processing group while effectively using the limited display area.

さらに、上記構成において、前記アイコン表示手段は、前記動画表示状態において、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールのうちの一部に対応する画像処理アイコンを選択して表示させることが可能に構成されたことが望ましい。   Further, in the above configuration, the icon display means can select and display an image processing icon corresponding to a part of the image processing tools included in the image processing group in the moving image display state. It is desirable that

この構成によれば、動画表示状態において、画像処理グループに含まれる画像処理ツールのうちの一部に対応する画像処理アイコンを選択して表示させることにより、動画表示状態における画像処理装置の負荷をより低減することが可能となる。   According to this configuration, in the moving image display state, by selecting and displaying an image processing icon corresponding to a part of the image processing tools included in the image processing group, the load on the image processing apparatus in the moving image display state is reduced. This can be further reduced.

また、上記構成において、前記画像処理グループを編集する編集モードを有し、
前記編集モードは、前記画像処理アイコンを追加または削除することにより、前記画像処理グループを編集することが可能に構成されたことが望ましい。
In the above configuration, the image processing group has an edit mode for editing,
The editing mode is preferably configured to be able to edit the image processing group by adding or deleting the image processing icon.

この構成によれば、画像処理アイコンを追加または削除することにより、前記画像処理グループを編集することが可能であるため、より簡単かつより直感的に画像処理グループの編集作業を行うことが可能となる。   According to this configuration, since the image processing group can be edited by adding or deleting an image processing icon, the editing operation of the image processing group can be performed more easily and intuitively. Become.

そして、上記構成において、前記編集モードは、編集された前記画像処理グループを前記画像処理ツールの一つとして登録することが可能に構成されたことが望ましい。   In the configuration described above, it is desirable that the editing mode is configured to be able to register the edited image processing group as one of the image processing tools.

この構成によれば、編集された前記画像処理グループを前記画像処理ツールの一つとして登録することにより、一度編集された画像処理グループを繰り返し利用することができるため、ユーザーの利便性が向上する。   According to this configuration, by registering the edited image processing group as one of the image processing tools, the image processing group that has been edited once can be used repeatedly, which improves user convenience. .

画像処理装置の一形態について説明する図である。It is a figure explaining one form of an image processing device. 画像処理に係るユーザーインターフェースの表示例(展開表示状態)である。It is a display example (expanded display state) of a user interface related to image processing. 画像処理に係るユーザーインターフェースの表示例(まとめ表示状態)である。It is a display example (summary display state) of a user interface related to image processing. 編集モードにおける作業画面の表示例である。It is an example of a display of the work screen in edit mode. 編集モードにおける作業画面の表示例である。It is an example of a display of the work screen in edit mode. 編集モードにおける作業画面の表示例である。It is an example of a display of the work screen in edit mode. グループアイコンの動画表示状態について説明する遷移図である。It is a transition diagram explaining the animation display state of a group icon. 編集モードにおける作業画面の表示例である。It is an example of a display of the work screen in edit mode. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. グループアイコンの他の表示例について説明する図である。It is a figure explaining the other example of a display of a group icon. パターンサーチツールについて説明する図である。It is a figure explaining a pattern search tool. 位置ずれ補正について説明する図である。It is a figure explaining position shift correction. 画像処理フローについて説明する図である。It is a figure explaining an image processing flow. 画像処理フローについて説明する図である。It is a figure explaining an image processing flow. 画像処理フローについて説明する図である。It is a figure explaining an image processing flow. 画像処理フローについて説明する図である。It is a figure explaining an image processing flow. 第2の実施形態について説明する図である。It is a figure explaining 2nd Embodiment. 第3の実施形態について説明する図である。It is a figure explaining 3rd Embodiment. 第4の実施形態について説明する図である。It is a figure explaining 4th Embodiment.

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments.

図1は、本発明に係る画像処理装置の一形態を示すブロック図である。本実施形態における画像処理装置10は、XYステージ2、撮影装置3、コンピューター6、表示装置7、および入力装置8等を備えている。ワーク1(図2等参照)は、例えば、ネジや歯車等の金属加工品、もしくは、フレキシブル基板、液晶パネル(TFTパネル)、半導体ウェハ等の種々の検査対象物(オブジェクト)である。ワーク1は、本実施形態においては、XYステージ2上に載置され、第1の方向(X方向)と当該第1の方向に直交する第2の方向(Y方向)に移動可能に構成されている。なお、XYステージ2に限られず、例えば、ベルトコンベアーのように撮影装置3の下方にワーク1を順次搬送可能な構成を採用することもできる。   FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an image processing apparatus according to the present invention. An image processing apparatus 10 according to the present embodiment includes an XY stage 2, an imaging device 3, a computer 6, a display device 7, an input device 8, and the like. The workpiece 1 (see FIG. 2 and the like) is, for example, a metal processed product such as a screw or a gear, or various inspection objects (objects) such as a flexible substrate, a liquid crystal panel (TFT panel), and a semiconductor wafer. In the present embodiment, the workpiece 1 is placed on the XY stage 2 and configured to be movable in a first direction (X direction) and a second direction (Y direction) orthogonal to the first direction. ing. Note that the configuration is not limited to the XY stage 2, and for example, a configuration that can sequentially convey the workpiece 1 below the photographing apparatus 3 like a belt conveyor can be adopted.

撮影装置3は、ワーク1を光学的に拡大して欠陥を検出するのに十分な倍率を備えたレンズあるいは顕微鏡からなる光学系や、当該光学系により拡大されたワーク1の像を受光して電気信号に変換するCCD等を備えている。この撮影装置3は、XYステージ2上のワーク1を撮影し、撮影した像を画像データに変換してコンピューター6に出力する。コンピューター6は、撮影装置3を制御し、当該撮影装置3から得られた撮影画像に基づき、ワーク1について画像処理により形状・寸法等の測定や欠陥の検出等の検査を行う。表示装置7は、コンピューター6に接続された液晶ディスプレイなどの表示装置である。入力装置8は、例えば、キーボードやマウス等からなり、ユーザーの操作を受けて当該操作に基づく操作信号をコンピューター6に出力する。   The photographing device 3 receives an optical system composed of a lens or a microscope having a magnification sufficient to optically enlarge the workpiece 1 and detect a defect, and an image of the workpiece 1 enlarged by the optical system. A CCD or the like for converting to an electrical signal is provided. The photographing apparatus 3 photographs the work 1 on the XY stage 2, converts the photographed image into image data, and outputs the image data to the computer 6. The computer 6 controls the photographing apparatus 3 and performs inspection such as measurement of shape / dimension and detection of defects by image processing on the workpiece 1 based on the photographed image obtained from the photographing apparatus 3. The display device 7 is a display device such as a liquid crystal display connected to the computer 6. The input device 8 includes, for example, a keyboard and a mouse, and outputs an operation signal based on the operation to the computer 6 in response to a user operation.

本実施形態におけるコンピューター6は、演算部11および記憶部12を備えている。記憶部12は、例えばハードディスクドライブから構成され、この記憶部12には、オペレーションシステム、画像処理アプリケーションを含む各種アプリケーションプログラム、画像処理用データ等が記憶されている。そして、演算部11は、図示しないCPU、ROM、RAM等を有しており、記憶部12に記憶されたオペレーションシステムに従い、画像処理などの各種の処理を行う。また、演算部11は、画像入力手段13および画像処理手段14を備えている。画像入力手段13には、撮影装置3で撮像されたワーク1の撮影画像データが入力される。当該撮影画像データは、ワーク画像として記憶部12に記憶される。   The computer 6 in this embodiment includes a calculation unit 11 and a storage unit 12. The storage unit 12 is composed of, for example, a hard disk drive, and the storage unit 12 stores an operation system, various application programs including an image processing application, image processing data, and the like. The calculation unit 11 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like (not shown), and performs various processes such as image processing according to an operation system stored in the storage unit 12. The calculation unit 11 includes an image input unit 13 and an image processing unit 14. Captured image data of the workpiece 1 captured by the imaging device 3 is input to the image input unit 13. The captured image data is stored in the storage unit 12 as a work image.

画像処理手段14は、ワーク画像(撮影画像)に対して後述する画像処理フロー(画像処理レシピ)を構成する画像処理ツールを順次実行することにより、ワーク画像から所定のワーク1を検出したり、検出したワーク1の寸法等を測定したり、ワーク1の欠陥を検出したりする。画像処理フローは、ユーザーにより各種の画像処理ツールが組み合わされて生成されるものである。また、本実施形態における画像処理手段14は、本発明におけるアイコン表示手段として機能し、後述するように、各種画像処理ツールに対応する画像処理アイコン23やグループアイコン25等を表示装置7に表示させたりする。   The image processing means 14 detects a predetermined work 1 from the work image by sequentially executing image processing tools constituting an image processing flow (image processing recipe) described later on the work image (captured image), The dimension of the detected workpiece 1 is measured, or a defect of the workpiece 1 is detected. The image processing flow is generated by a user combining various image processing tools. In addition, the image processing unit 14 in the present embodiment functions as an icon display unit in the present invention, and causes the display device 7 to display an image processing icon 23 and a group icon 25 corresponding to various image processing tools, as will be described later. Or

図2及び図3は、演算部11により実行される画像処理アプリケーションに係るユーザーインターフェース17の表示例を説明する図であり、図2は画像処理ツールのグループ(画像処理グループ)に対応する各画像処理ツールの各画像処理アイコン23が個別に並べて表示された状態(展開表示状態)、図3は画像処理グループが1つのグループアイコン25で表示された状態(まとめ表示状態)をそれぞれ示している。本実施形態におけるユーザーインターフェース17には、作業領域18、設定領域19、及び画像処理フロー表示領域21等の表示領域、及び、スクロールバー22等が設けられている。作業領域18は、撮影装置3から入力されたワーク画像が表示され、画像処理ツールによって画像処理が行われる様子が表示される領域である。設定領域19は、画像処理全般の設定等を行ったり、各種画像処理ツールについて個別に設定や調整を行ったり、その他、設定値や計測数値等が表示されたりする領域である。   FIGS. 2 and 3 are diagrams for explaining a display example of the user interface 17 related to the image processing application executed by the calculation unit 11, and FIG. 2 illustrates each image corresponding to a group of image processing tools (image processing group). FIG. 3 shows a state (image display state) in which the image processing icons 23 are individually arranged and displayed (development display state), and FIG. The user interface 17 in the present embodiment is provided with a display area such as a work area 18, a setting area 19, and an image processing flow display area 21, a scroll bar 22, and the like. The work area 18 is an area in which a work image input from the photographing apparatus 3 is displayed and a state in which image processing is performed by an image processing tool is displayed. The setting area 19 is an area in which settings for overall image processing and the like are made, various image processing tools are individually set and adjusted, and other settings and measurement values are displayed.

画像処理フロー表示領域21には、各種画像処理ツールに対応するサムネイル画像からなる画像処理アイコン23が所定の順序で表示される。この画像処理フロー表示領域21に表示される画像処理アイコン23は、ユーザーによって選択される。すなわち、ユーザーが必要な画像処理ツールを順次登録する際に、各画像処理ツールに対応する画像処理アイコン23が生成されて画像処理フロー表示領域21に表示される。画像処理アイコン23は、サムネイル画像には限られず、例えば、対応する画像処理ツールを特徴化した画像等を採用することもできる。   In the image processing flow display area 21, image processing icons 23 composed of thumbnail images corresponding to various image processing tools are displayed in a predetermined order. The image processing icon 23 displayed in the image processing flow display area 21 is selected by the user. That is, when a user sequentially registers necessary image processing tools, an image processing icon 23 corresponding to each image processing tool is generated and displayed in the image processing flow display area 21. The image processing icon 23 is not limited to a thumbnail image, and for example, an image that characterizes a corresponding image processing tool can be employed.

本実施形態において、画像処理アイコン23は、画面の横方向に並べて表示される。また、画像処理フロー表示領域21の下方には、当該画像処理フロー表示領域21に沿って画面横方向にスライド可能なスクロールバー22が表示されている。スクロールバー22は、例えば、入力装置8の一種である図示しないマウスを介してユーザーがスライド操作することにより、画像処理フロー表示領域21の表示を横方向にスクロールさせることが可能に構成されている。図2に示される表示例では、画像処理フロー表示領域21に合計6つの画像処理アイコン23a〜23fが表示されているが、画像処理フローを構成する画像処理ツールの数が7つ以上ある場合には、スクロールバー22を横方向(例えば、図2における右方向)にスライドさせることにより、図2の状態で表示されていない他の画像処理アイコン23を画像処理フロー表示領域21に表示させることができる。本実施形態においては、画像処理アイコン23a〜23fの他に、3つの画像処理アイコン23g〜23h(図3参照)が1つの画像処理フローに含まれている。そして、これらの画像処理ツールの組み合わせが、一連の画像処理フローを構成する。なお、画像処理フロー表示領域21の位置や、画像処理アイコン23の並設方向、表示される画像処理アイコン23の数等は例示したものには限られず、例えば、ユーザーインターフェース17の左右のいずれ一側に画像処理フロー表示領域21が設けられ、画像処理アイコン23が縦方向に並べられる構成を採用することもできる。この場合、スクロールバー22も画面縦方向にスライドさせるような構成となる。   In the present embodiment, the image processing icons 23 are displayed side by side in the horizontal direction of the screen. Further, below the image processing flow display area 21, a scroll bar 22 that can slide in the horizontal direction of the screen along the image processing flow display area 21 is displayed. The scroll bar 22 is configured such that, for example, the display of the image processing flow display area 21 can be scrolled in the horizontal direction by a user sliding operation via a mouse (not shown) which is a kind of the input device 8. . In the display example shown in FIG. 2, a total of six image processing icons 23 a to 23 f are displayed in the image processing flow display area 21, but there are seven or more image processing tools constituting the image processing flow. Can display other image processing icons 23 not displayed in the state of FIG. 2 in the image processing flow display area 21 by sliding the scroll bar 22 in the horizontal direction (for example, the right direction in FIG. 2). it can. In the present embodiment, in addition to the image processing icons 23a to 23f, three image processing icons 23g to 23h (see FIG. 3) are included in one image processing flow. A combination of these image processing tools constitutes a series of image processing flows. Note that the position of the image processing flow display area 21, the direction in which the image processing icons 23 are arranged, the number of image processing icons 23 to be displayed, and the like are not limited to those illustrated, for example, any one of the left and right sides of the user interface 17. It is also possible to adopt a configuration in which the image processing flow display area 21 is provided on the side, and the image processing icons 23 are arranged in the vertical direction. In this case, the scroll bar 22 is also configured to slide in the vertical direction of the screen.

本実施形態において、図2の画像処理フロー表示領域21に表示されている画像処理アイコン23のうち、左から2番目の画像処理アイコン23bから6番目(右端)の画像処理アイコン23fまでの各画像処理ツールは一つのグループ(画像処理グループ)を構成している。この画像処理グループは、複数の画像処理ツールの組み合わせからなり、画像処理プログラムに予め用意されているものや、後述する編集モードにおいてユーザーにより任意に選択された画像処理ツールより構成されるものなどがある。本実施形態においては、図2に示されるように、画像処理グループの先頭の画像処理アイコン23bと最後尾の画像処理アイコン23fとを結ぶ破線よりなるグループ標示24により、これらの画像処理ツールが1つの画像処理グループであることが示されている。なおグループ標示24は、例示した態様には限られず、例えば、画像処理グループを構成する各画像処理アイコン23を1つの枠で囲ったり、該当する画像処理アイコン23の背景色を他の画像処理アイコン23の背景色とは異ならせたり、等のように、画像処理ツールが1つの画像処理グループであることをユーザーが判別可能な標示であれば種々の態様のグループ標示24を採用することができる。   In the present embodiment, among the image processing icons 23 displayed in the image processing flow display area 21 of FIG. 2, each image from the second image processing icon 23b from the left to the sixth (right end) image processing icon 23f. The processing tools constitute one group (image processing group). This image processing group is composed of a combination of a plurality of image processing tools, and those prepared in advance in the image processing program, those composed of image processing tools arbitrarily selected by the user in the editing mode described later, etc. is there. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, these image processing tools are set to 1 by a group mark 24 composed of a broken line connecting the first image processing icon 23 b and the last image processing icon 23 f of the image processing group. One image processing group is shown. Note that the group mark 24 is not limited to the exemplified mode. For example, each image processing icon 23 constituting the image processing group is surrounded by one frame, or the background color of the corresponding image processing icon 23 is set to another image processing icon. As long as it is a sign that allows the user to determine that the image processing tool is one image processing group, such as a different background color from 23, the group sign 24 in various modes can be adopted. .

図2に示されるように、画像処理グループに対応する各画像処理アイコン23が個別に並べて表示された状態は、本発明における展開表示状態である。また、本実施形態においては、図3に示されるように、上記画像処理グループに対応する各画像処理アイコン23が1つのグループアイコン25で代表して表示された、本発明におけるまとめ表示状態に切り替えることができるように構成されている。すなわち、例えば、展開表示状態における画像処理グループの各画像処理アイコン23の何れかにポインターを配置してマウスのダブルクリック操作をすることにより、まとめ表示状態に切り替えられ、図3に示されるように、画像処理グループの各画像処理アイコン23の替わりに1つのグループアイコン25が表示される。同様に、まとめ表示状態におけるグループアイコン25をダブルクリック操作することにより、図2に示されるような展開表示状態に切り替えることができる。まとめ表示状態では、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループが一つのグループアイコン25で表示されるので、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコンが個別に表示される展開表示状態と比較して、複数の画像処理ツールの組み合わせからなる画像処理グループであることをユーザーが認識しやすい。また、限られた表示領域を有効に使用することが可能となる。一方、展開表示状態では、画像処理グループがどの画像処理ツールから構成されているのかについてユーザーがより正確に把握することができる。そして、このようなまとめ表示状態と展開表示状態とを切り替えることができるので、表示領域を有効に使用したり、又は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールを確認したり、等のように、ユーザーの必要に応じた表示を行うことができる。さらに、まとめ表示状態では、グループアイコン25をシングルクリック操作することにより、動画表示が可能に構成されている。この点の詳細については後述する。   As shown in FIG. 2, the state in which the image processing icons 23 corresponding to the image processing groups are individually arranged and displayed is an expanded display state in the present invention. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the image processing icons 23 corresponding to the image processing groups are switched to the collective display state in the present invention, which is representatively displayed by one group icon 25. It is configured to be able to. That is, for example, when the pointer is placed on any of the image processing icons 23 in the image processing group in the expanded display state and the mouse is double-clicked, it is switched to the collective display state, as shown in FIG. Instead of each image processing icon 23 of the image processing group, one group icon 25 is displayed. Similarly, by double-clicking the group icon 25 in the summary display state, it is possible to switch to the expanded display state as shown in FIG. In the summary display state, an image processing group composed of a combination of a plurality of image processing tools is displayed with one group icon 25, so that the image processing icons of the image processing tools constituting the image processing group are individually displayed. Compared to the expanded display state, the user can easily recognize that the image processing group is a combination of a plurality of image processing tools. In addition, a limited display area can be used effectively. On the other hand, in the expanded display state, the user can more accurately grasp which image processing tool the image processing group is configured from. Since such a summary display state and an unfolded display state can be switched, the display area can be used effectively, or each image processing tool constituting the image processing group can be confirmed, etc. , Display according to the user's needs. Furthermore, in the collective display state, a moving image can be displayed by performing a single click operation on the group icon 25. Details of this point will be described later.

図4から図6は、編集モード(ユーザー作成/編集モード)の作業画面の表示例を示す図である。この編集モードは、画像処理フローや、これに含まれる画像処理グループを編集(作成)する際に画像処理プログラムにより実行されるモードである。この編集モードの作業画面は、上記ユーザーインターフェース17の設定領域19に表示されてもよいし、ユーザーインターフェース17とは別の画面として表示されてもよい。作業画面の上段は、画像処理プログラムに登録されている各種画像処理ツールの画像処理アイコン23が表示される領域(ツールリスト領域)である。また、作業画面の下段は、ユーザーが画像処理フローを構成する画像処理ツールを順次登録して作成したり、グループアイコンを作成又は編集したりする領域(ユーザー作成/編集領域)である。すなわち、ユーザーは、ツールリスト領域に表示されている画像処理アイコン23を選択してユーザー作成/編集領域に順次追加することにより画像処理フローを作成することができる。また、作成した画像処理フローについて画像処理ツールを新たに追加したり、既に登録されている画像処理ツールを削除したりすることも可能である。同様にして、ユーザー作成/編集領域において画像処理ツールを追加したり削除したりすることで画像処理グループを編集することができる。このように、画像処理アイコン23を追加または削除することにより、画像処理グループを作成/編集することが可能であるため、より簡単かつより直感的に画像処理グループの作成/編集作業を行うことが可能となる。なお、ツールリストの表示領域、及び、ユーザー作成/編集の表示領域には、それぞれスクロールバー26a,26bがそれぞれ設けられている。各表示領域に画像処理アイコン23を表示しきれない場合には、スクロールバー26a,26bを縦方向(図における上下方向)にスライドさせて、表示領域における表示を上下方向にスクロールさせることにより、それまで表示領域に表示されていなかった他の画像処理アイコン23を当該表示領域に表示させることができる。勿論、スクロールバー26a,26bは、縦方向にスライドさせるものには限られず、上記スクロールバー22のように、横方向にスライドさせて、表示領域の表示を横方向にスクロールさせる構成を採用することもできる。   4 to 6 are diagrams showing display examples of the work screen in the edit mode (user creation / edit mode). This editing mode is a mode executed by the image processing program when editing (creating) an image processing flow or an image processing group included in the image processing flow. The editing mode work screen may be displayed in the setting area 19 of the user interface 17 or may be displayed as a screen different from the user interface 17. The upper part of the work screen is an area (tool list area) in which image processing icons 23 of various image processing tools registered in the image processing program are displayed. The lower part of the work screen is an area (user creation / editing area) in which a user sequentially registers and creates image processing tools constituting the image processing flow, and creates or edits group icons. That is, the user can create an image processing flow by selecting the image processing icon 23 displayed in the tool list area and sequentially adding it to the user creation / editing area. It is also possible to add a new image processing tool to the created image processing flow or delete an already registered image processing tool. Similarly, an image processing group can be edited by adding or deleting an image processing tool in the user creation / editing area. As described above, since the image processing group can be created / edited by adding or deleting the image processing icon 23, the image processing group can be created / edited more easily and intuitively. It becomes possible. Scroll bars 26a and 26b are respectively provided in the tool list display area and the user creation / edit display area. When the image processing icon 23 cannot be displayed in each display area, the scroll bars 26a and 26b are slid in the vertical direction (vertical direction in the figure) to scroll the display in the display area in the vertical direction. Other image processing icons 23 that have not been displayed in the display area can be displayed in the display area. Of course, the scroll bars 26a and 26b are not limited to those that are slid in the vertical direction, and adopt a configuration in which the display area is scrolled in the horizontal direction by sliding in the horizontal direction like the scroll bar 22. You can also.

画像処理グループを作成する場合、例えば、ツールリスト領域に表示されている10種類の画像処理ツールA〜Jの中から、実行する順番に画像処理ツールを選択して、それぞれの画像処理アイコン23をユーザー作成/編集領域に表示させる。例えば、ツールリスト領域に表示されている画像処理ツールをシングルクリック操作したり、或は、ドラッグアンドドロップ操作したりすることで、ツールリスト領域に表示されている画像処理ツールの画像処理アイコン23をユーザー作成/編集領域に表示させることができる。図4の例では、画像処理ツールB、画像処理ツールC、画像処理ツールG、画像処理ツールH、及び画像処理ツールJの順に選択されて、ユーザー作成/編集領域に各画像処理ツールに対応する画像処理アイコン23が表示されている。この画像処理グループを作成する場合においても、上記のように、ダブルクリック操作により展開表示状態(図4)とまとめ表示状態(図5)とに切り替えることが可能である。また、まとめ表示状態におけるグループアイコン25は、後述する動画表示も可能である。そして、図6に示されるように、作成又は編集された画像処理グループは、ツールリスト領域に画像処理ツールの一つとして登録することができる。これにより、他の画像処理ツールと同様に、画像処理フローを作成する際に、いつでも画像処理グループのグループアイコン25を選択して利用することが可能となる。このように、一度編集された画像処理グループを繰り返し利用することができるため、ユーザーの利便性が向上する。   When creating an image processing group, for example, an image processing tool is selected from the ten types of image processing tools A to J displayed in the tool list area in the order of execution, and each image processing icon 23 is displayed. Display in user creation / edit area. For example, the image processing icon 23 of the image processing tool displayed in the tool list area can be displayed by single-clicking or dragging and dropping the image processing tool displayed in the tool list area. It can be displayed in the user creation / edit area. In the example of FIG. 4, the image processing tool B, the image processing tool C, the image processing tool G, the image processing tool H, and the image processing tool J are selected in this order and correspond to each image processing tool in the user creation / editing area. An image processing icon 23 is displayed. Even in the case of creating this image processing group, it is possible to switch between the expanded display state (FIG. 4) and the collective display state (FIG. 5) by double-clicking as described above. The group icon 25 in the summary display state can also display a moving image described later. As shown in FIG. 6, the created or edited image processing group can be registered in the tool list area as one of the image processing tools. As a result, as with other image processing tools, when creating an image processing flow, the group icon 25 of the image processing group can be selected and used at any time. In this way, once edited image processing groups can be used repeatedly, user convenience is improved.

図7は、グループアイコン25の動画表示状態について説明する遷移図である。上述したように、本実施形態におけるグループアイコン25は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン23を、先頭の画像処理ツールの画像処理アイコン23が最も手前に配置されるように重ね合わせて斜視図のように表示した構成となっている。この状態では先頭の画像処理ツールに対応する画像処理アイコン23しかユーザーが視認できないため、画像処理グループがどのような画像処理ツールから構成されているのかを把握しにくい。また、展開表示状態では、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコンが個別に表示されるため、表示領域が見にくくなる場合がある。このため、本実施形態においては、まとめ表示状態において、グループアイコン25の静止画が表示された状態(静止画表示状態)で当該グループアイコン25を例えばシングルクリック操作することにより、当該静止画に替えて、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン23を順次表示する所謂コマ送りのような動画表示を行うことが可能となっている。この動画表示状態では、上記のグループアイコン25の場合、一定の間隔(例えば、1秒ごと)に、画像処理ツールB→画像処理ツールC→画像処理ツールG→画像処理ツールH→画像処理ツールJの順に、最も手前の画像処理アイコン23の表示が変化する。これにより、展開表示状態にしなくても、画像処理グループがどのような画像処理ツールから構成されているのかをユーザーが容易に把握することが可能となる。また、この動画表示状態の状態でグループアイコン25を再度シングルクリック操作することにより、先頭の画像処理ツールの画像処理アイコン23が最も手前に配置された静止画表示状態に切り替えることができる。   FIG. 7 is a transition diagram for explaining the moving image display state of the group icon 25. As described above, the group icon 25 in the present embodiment is arranged such that the image processing icon 23 of each image processing tool constituting the image processing group is arranged in front of the image processing icon 23 of the first image processing tool. It is configured to be displayed as shown in a perspective view in a superimposed manner. In this state, since the user can only visually recognize the image processing icon 23 corresponding to the first image processing tool, it is difficult to grasp what image processing tool the image processing group is configured from. In the expanded display state, the image processing icons of the respective image processing tools constituting the image processing group are individually displayed, so that the display area may be difficult to see. For this reason, in the present embodiment, the group icon 25 is replaced with the still image by, for example, a single click operation in a state where the still image of the group icon 25 is displayed (still image display state) in the summary display state. Thus, it is possible to perform a moving image display such as so-called frame advance for sequentially displaying the image processing icons 23 of the image processing tools constituting the image processing group. In this moving image display state, in the case of the group icon 25 described above, the image processing tool B → the image processing tool C → the image processing tool G → the image processing tool H → the image processing tool J at regular intervals (for example, every second). In this order, the display of the foremost image processing icon 23 changes. Accordingly, the user can easily grasp what kind of image processing tool the image processing group is configured without being in the expanded display state. In addition, by single-clicking the group icon 25 again in this moving image display state, it is possible to switch to the still image display state in which the image processing icon 23 of the first image processing tool is arranged in the foreground.

このように、まとめ表示状態において静止画表示状態と動画表示状態とに切り替えることができるので、静止画表示状態とすることによりコンピューター6の負荷を抑制したり、又は、動画表示状態とすることにより限られた表示領域を有効に使用しつつ画像処理グループを構成する各画像処理ツールをユーザーが容易に確認したりすることができる。なお、動画表示状態は、必ずしも画像処理グループを構成する全ての画像処理ツールの画像処理アイコン23を表示させる必要はなく、例えば、画像処理グループを構成する画像処理ツールの中から特徴的な画像処理ツールの画像処理アイコン23を選択的に表示させたり、又は、画像処理アイコン23を1つ置き又は複数置きで表示させたりしてもよい。この場合も動画表示状態におけるコンピューター6への負荷をより低減することが可能となる。また、動画表示状態において各画像処理アイコン23を順次表示する間隔(表示スピード)を任意に変更する構成を採用することもできる。   As described above, since the still image display state and the moving image display state can be switched in the summary display state, the load on the computer 6 is suppressed by setting the still image display state, or the moving image display state is set. The user can easily check each image processing tool constituting the image processing group while effectively using the limited display area. In the moving image display state, it is not always necessary to display the image processing icons 23 of all the image processing tools constituting the image processing group. For example, characteristic image processing from among the image processing tools constituting the image processing group is possible. The image processing icon 23 of the tool may be selectively displayed, or one or more image processing icons 23 may be displayed. In this case as well, the load on the computer 6 in the moving image display state can be further reduced. Further, it is possible to adopt a configuration in which the interval (display speed) for sequentially displaying the image processing icons 23 in the moving image display state is arbitrarily changed.

図8は、編集モードにおいてグループアイコン25の編集を行う際の作業画面の表示例を示す図である。画像処理グループには、さらに同一又は異なる画像処理グループを含ませることができる。図8の例では、グループアイコン25(1)に対応する画像処理グループがユーザー作成/編集領域において展開表示されており、ユーザーはこの展開表示状態で画像処理グループを構成する画像処理ツールの追加・削除ができる。そして、当該画像処理グループには、グループアイコン25(2)に対応する画像処理グループが2つ含まれている。このように、画像処理グループに同一又は異なる画像処理グループを含ませることにより、当該画像処理グループを階層構造にすることも可能である。   FIG. 8 is a diagram illustrating a display example of a work screen when the group icon 25 is edited in the edit mode. The image processing group can further include the same or different image processing groups. In the example of FIG. 8, the image processing group corresponding to the group icon 25 (1) is expanded and displayed in the user creation / editing area, and the user can add and process image processing tools constituting the image processing group in this expanded display state. Can be deleted. The image processing group includes two image processing groups corresponding to the group icon 25 (2). In this way, by including the same or different image processing groups in the image processing group, the image processing groups can have a hierarchical structure.

図9から図16は、グループアイコン25の他の表示例について説明する図である。以上においては、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの画像処理アイコン23を重ね合わせて斜視図のように表示した構成のグループアイコン25を例示したが、これには限られず、他の画像処理アイコン23と区別できるものであれば種々の態様を採用することができる。例えば、図9に示されるように、グループアイコン25であることを強調する枠(以下、強調枠)で当該グループアイコン25を囲った表示とすることもできる。この場合、より分かりやすいように強調枠に色を付けるようにしてもよい。   9 to 16 are diagrams for describing other display examples of the group icon 25. FIG. In the above, the group icon 25 having the configuration in which the image processing icons 23 of the respective image processing tools constituting the image processing group are superimposed and displayed as shown in the perspective view is illustrated, but the present invention is not limited thereto, and other image processing is performed. As long as it can be distinguished from the icon 23, various modes can be adopted. For example, as shown in FIG. 9, the group icon 25 can be displayed surrounded by a frame that emphasizes that it is the group icon 25 (hereinafter, emphasized frame). In this case, the highlight frame may be colored so that it is easier to understand.

また、例えば、図10及び図11に示されるように、画像処理グループを構成する画像処理ツールの数を示す数字をグループアイコン25に併記することにより、画像処理グループに係るグループアイコン25であることを示すと共に、当該画像処理グループを構成する画像処理ツールの数を示すようにすることもできる。図10の例では、グループアイコン25の本体よりも小さい小枠が当該グループアイコン25の右下の角部に重ねて表示され、当該小枠内に画像処理ツールの数を示す数字「5」が表記(併記)されている。図11の例では、グループアイコン25の本体の左上に外れた位置に小枠が設けられており、当該小枠内に画像処理ツールの数を示す数字「5」が表記されている。このように、グループアイコン25に画像処理ツールの数を示す数字を併記する構成では、画像処理ツールの各画像処理アイコン23を単に重ね合わせて表示する構成と比較して、画像処理グループを構成する画像処理ツールの数が多い場合においてもグループアイコン25の表示サイズが大きくなることが抑制される。   Further, for example, as shown in FIGS. 10 and 11, the group icon 25 is related to the image processing group by adding a number indicating the number of image processing tools constituting the image processing group together with the group icon 25. And the number of image processing tools constituting the image processing group can be indicated. In the example of FIG. 10, a small frame smaller than the main body of the group icon 25 is displayed so as to overlap the lower right corner of the group icon 25, and the number “5” indicating the number of image processing tools is displayed in the small frame. It is written (also written). In the example of FIG. 11, a small frame is provided at a position off the upper left of the main body of the group icon 25, and a number “5” indicating the number of image processing tools is written in the small frame. As described above, in the configuration in which the number indicating the number of image processing tools is written together with the group icon 25, the image processing group is configured as compared with the configuration in which the image processing icons 23 of the image processing tool are simply superimposed and displayed. Even when the number of image processing tools is large, the display size of the group icon 25 is prevented from increasing.

また、図12に示されるように、強調枠及び小枠の両方を組み合わせる構成を採用することも可能である。図12の例では、グループアイコン25の本体が白抜きの強調枠で囲まれると共に、当該グループアイコン25の本体の右下に外れた位置に小枠が設けられており、当該小枠内に画像処理ツールの数を示す数字「5」が表記されている。これにより、画像処理グループに対応するグループアイコン25であることをユーザーがより認識しやすくなる。なお、小枠の位置については、図10から図12で例示したものには限られず、隣り合う他の画像処理アイコン23等と干渉しない位置であれば任意の位置に表示することができる。また、画像処理ツールの数が認識できるものであればよいので、画像処理ツールの数を示す数字のみが表記されていればよく、必ずしも小枠は表示されなくてもよい。さらに、小枠の形状は四角形に限られず、円形等のように、数字を表記可能な種々の形状を採用することができる。   Further, as shown in FIG. 12, it is possible to adopt a configuration in which both the emphasis frame and the small frame are combined. In the example of FIG. 12, the main body of the group icon 25 is surrounded by a white highlight frame, and a small frame is provided at a position off the lower right of the main body of the group icon 25, and an image is included in the small frame. A number “5” indicating the number of processing tools is written. This makes it easier for the user to recognize that the group icon 25 corresponds to the image processing group. Note that the position of the small frame is not limited to that illustrated in FIGS. 10 to 12, and can be displayed at any position as long as it does not interfere with other adjacent image processing icons 23 and the like. In addition, since it is sufficient that the number of image processing tools can be recognized, only the number indicating the number of image processing tools needs to be written, and the small frame does not necessarily have to be displayed. Furthermore, the shape of the small frame is not limited to a quadrangle, and various shapes that can represent numbers, such as a circle, can be employed.

図13及び図14に示される例は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン23を重ね合わせて表示した構成である。すなわち、図13に示されるグループアイコン25は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン23を重ね合わせたものを斜め右から見たような構成となっている。また、図14に示されるグループアイコン25は、画像処理グループを構成する各画像処理ツールの各画像処理アイコン23を重ね合わせたものを斜め上方から見たような構成となっている。このように、画像処理ツールの各画像処理アイコン23を重ね合わせて表示した構成では、画像処理グループに係るグループアイコン25であることをユーザーがより直感的に認識することができる。   The example shown in FIG. 13 and FIG. 14 is a configuration in which the image processing icons 23 of the image processing tools constituting the image processing group are displayed in an overlapping manner. That is, the group icon 25 shown in FIG. 13 is configured such that the image processing icons 23 of the image processing tools constituting the image processing group are viewed from the diagonal right. Further, the group icon 25 shown in FIG. 14 is configured such that a combination of the image processing icons 23 of the image processing tools constituting the image processing group is viewed obliquely from above. As described above, in the configuration in which the image processing icons 23 of the image processing tool are displayed in a superimposed manner, the user can more intuitively recognize that the group icon 25 is related to the image processing group.

また、図15に示されるように、グループアイコン25を立体形状とすることもできる。この場合、画像処理グループを構成する画像処理ツールの数が分かりやすいように、立体形状とされたグループアイコン25の本体に画像処理ツールの数を示す数字を併記する構成を採用することが望ましい。また、例えば、図16に示されるように、通常の画像処理アイコン23とは全く異なる形状を採用することも可能である。図16に示されるグループアイコン25は、オペレーションシステム等で採用されているような所謂フォルダーアイコンに似た形状を有し、当該グループアイコン25本体に画像処理ツールの数を示す数字が併記された構成となっている。すなわち、図16に示されるグループアイコン25は、フォルダー内に画像処理グループを構成する画像処理ツールが含まれていることを示した形状となっている。このように、通常の画像処理アイコン23とは全く異なる形状とすることにより、画像処理グループに係るグループアイコン25であることをユーザーがより直感的に認識することができる。   Further, as shown in FIG. 15, the group icon 25 may be a three-dimensional shape. In this case, it is desirable to adopt a configuration in which a number indicating the number of image processing tools is written on the body of the group icon 25 having a three-dimensional shape so that the number of image processing tools constituting the image processing group can be easily understood. Further, for example, as shown in FIG. 16, it is possible to adopt a shape completely different from that of the normal image processing icon 23. A group icon 25 shown in FIG. 16 has a shape similar to a so-called folder icon used in an operation system or the like, and a number indicating the number of image processing tools is also written on the main body of the group icon 25. It has become. That is, the group icon 25 shown in FIG. 16 has a shape indicating that an image processing tool constituting an image processing group is included in the folder. In this way, by making the shape completely different from the normal image processing icon 23, the user can more intuitively recognize that it is the group icon 25 related to the image processing group.

次に、各種画像処理ツールの具体例について説明する。
図2に示される実施形態において、上記画像処理フローを構成する画像処理ツールのうち、先頭(画像処理フロー表示領域21における左端)の画像処理アイコン23aに対応する画像処理ツールは、例えば、画像入力手段13により入力されたワーク画像を二値化する二値化処理ツールである。二値化処理されたワーク画像は、記憶部12に記憶され、画像処理手段14によって適宜読みだされる。また、本実施形態においては、この二値化処理ツールの後に続いて、画像処理アイコン23a〜23fに対応する各画像処理ツールで構成される画像処理グループが実行される。以下においては、当該画像処理グループを構成する画像処理ツールについて説明する。
Next, specific examples of various image processing tools will be described.
In the embodiment shown in FIG. 2, the image processing tool corresponding to the image processing icon 23a at the head (left end in the image processing flow display area 21) among the image processing tools constituting the image processing flow is, for example, an image input This is a binarization processing tool for binarizing the work image input by the means 13. The binarized work image is stored in the storage unit 12 and appropriately read out by the image processing means 14. In the present embodiment, an image processing group including image processing tools corresponding to the image processing icons 23a to 23f is executed after the binarization processing tool. Below, the image processing tool which comprises the said image processing group is demonstrated.

図17は、画像処理ツールの一種であるパターンサーチツールの処理について説明する図(作業領域18における表示例)である。
本実施形態において、画像処理グループを構成する複数の画像処理ツールのうちの先頭(画像処理フロー表示領域21における左から2番目)の画像処理アイコン23bに対応する画像処理ツールは、ワーク画像に含まれる所定形状のワーク1を検出するパターンサーチツール(本発明におけるサーチツールに相当)である。図17の例では、ワーク1a〜1dの合計4種類のワーク1がワーク画像に含まれている。また、これらのワーク1のうちの一種であるワーク1aは、合計5個含まれている。そして、パターンサーチツールは、検査対象となるワーク1の基準画像に基づき、ワーク画像に含まれる複数のワーク1の中から当該基準画像のワークと形状が一致すると認められるワーク1を検出する。基準画像は、ワーク1の種類ごとに予め登録されている良否判定のための画像であり、記憶部12等に記憶されている。パターンサーチツールにおいて、ワーク画像から所定形状のワーク1が検出されると、図17に示されるように、検出されたワーク1に重ねて枠状の検出標示28が表示される。なお、検出標示28に関し、枠状に限られず、種々の標示を採用することができる。
FIG. 17 is a diagram for explaining processing of a pattern search tool which is a kind of image processing tool (display example in the work area 18).
In the present embodiment, the image processing tool corresponding to the first image processing icon 23b (second from the left in the image processing flow display area 21) among the plurality of image processing tools constituting the image processing group is included in the work image. A pattern search tool (corresponding to a search tool in the present invention) for detecting a workpiece 1 having a predetermined shape. In the example of FIG. 17, a total of four types of workpieces 1 including workpieces 1 a to 1 d are included in the workpiece image. In addition, a total of five workpieces 1a which are a kind of these workpieces 1 are included. Then, the pattern search tool detects, based on the reference image of the workpiece 1 to be inspected, the workpiece 1 that is recognized as having the same shape as the workpiece of the reference image from the plurality of workpieces 1 included in the workpiece image. The reference image is an image for quality determination that is registered in advance for each type of workpiece 1 and is stored in the storage unit 12 or the like. When the pattern search tool detects a workpiece 1 having a predetermined shape from the workpiece image, a frame-shaped detection indicator 28 is displayed so as to overlap the detected workpiece 1 as shown in FIG. The detection sign 28 is not limited to the frame shape, and various signs can be adopted.

このように、基準画像に基づき複数のワーク1が検出された場合、パターンサーチツールは、検出された各ワーク1に対し、例えば通し番号等からなるインデックスをそれぞれ割り振ることで、同一種類(同一形状)の複数のワーク1がそれぞれ識別されるようになっている。すなわち、例えば、ワーク画像に含まれる5個のワーク1aに対し、それぞれ1番〜5番の通し番号がインデックスとして付与される。なお、図17において、符号に添えられている()内に示される数字がインデックスである(以下、同様)。勿論、インデックスとしては、通し番号に限られず、複数のワーク1をそれぞれ識別することが可能なものであれば、例えばアルファベットや記号等の種々のインデックスを採用することができる。   As described above, when a plurality of workpieces 1 are detected based on the reference image, the pattern search tool assigns an index composed of, for example, a serial number to each detected workpiece 1 to thereby identify the same type (same shape). A plurality of workpieces 1 are identified. That is, for example, serial numbers 1 to 5 are assigned as indexes to the five workpieces 1a included in the workpiece image. In FIG. 17, the numbers in parentheses attached to the reference numerals are indexes (the same applies hereinafter). Of course, the index is not limited to the serial number, and various indexes such as alphabets and symbols can be adopted as long as the plurality of workpieces 1 can be identified.

また、パターンサーチツールでは、検出されたワーク1について、座標情報(絶対値または基準画像に対する相対値)、および基準画像と比較したときの角度情報が取得される。そして、パターンサーチツールでは、当該パターンサーチツールの後に続く画像処理ツールが行われる対象となる対象ワーク(代表オブジェクト)が、上記インデックスにより指定される。この対象ワークを指定するインデックス(以下、対象指定インデックス)は、初期値として例えば1に設定される。この対象指定インデックスは、後述するループツールにより値が変更されるようになっている。また、対象指定インデックスの初期値については、任意の値に変更することができる。   Further, the pattern search tool acquires coordinate information (absolute value or relative value with respect to the reference image) and angle information when compared with the reference image for the detected workpiece 1. In the pattern search tool, a target work (representative object) on which an image processing tool subsequent to the pattern search tool is performed is designated by the index. An index for designating the target workpiece (hereinafter, target designation index) is set to 1 as an initial value, for example. The value of the target designation index is changed by a loop tool described later. Also, the initial value of the target designation index can be changed to an arbitrary value.

図18は、パターンサーチツールにおいて行われる位置ずれ補正について説明する図である。
基準画像では、基準となるワーク(以下、基準ワーク)に対して各画像処理ツールで検査を行うための領域(以下、検査領域)が予め設定されている。図18の例では、基準画像のワークと、これに対する検査領域を示す標示の一例として枠状の領域標示27′とが、それぞれ破線で示されている。ここで、パターンサーチツールによって検出されたワーク1は、基準ワークに対して座標や角度が異なる場合があるため、これに応じて検査領域も基準の検査領域からずれることになる(図18では、パターンサーチツールによって検出されたワーク1の例としてワーク1aが図示されている)。このため、パターンサーチツールでは、検出されたワーク1の個々の座標情報および角度情報に基づき、検査領域の位置ずれが補正される。図18においては、位置ずれが補正された領域標示27が、ワーク1aに重ねて表示されている。なお、ワーク1に設定される検査領域の位置や形状や個数等については画像処理ツールによってそれぞれ異なる。
FIG. 18 is a diagram for explaining misalignment correction performed in the pattern search tool.
In the reference image, an area (hereinafter referred to as an inspection area) for inspecting a work that becomes a reference (hereinafter referred to as a reference work) with each image processing tool is set in advance. In the example of FIG. 18, the workpiece of the reference image and a frame-shaped area label 27 ′ as an example of a label indicating the inspection area corresponding thereto are indicated by broken lines. Here, since the workpiece 1 detected by the pattern search tool may have different coordinates and angles with respect to the reference workpiece, the inspection area is also shifted from the reference inspection area accordingly (in FIG. 18, A work 1a is shown as an example of the work 1 detected by the pattern search tool). For this reason, the pattern search tool corrects the displacement of the inspection area based on the detected individual coordinate information and angle information of the workpiece 1. In FIG. 18, the region marking 27 in which the positional deviation is corrected is displayed so as to be superimposed on the workpiece 1 a. Note that the position, shape, number, and the like of the inspection area set for the workpiece 1 are different depending on the image processing tool.

本実施形態において、画像処理グループを構成する画像処理ツールのうち、上記パターンサーチの後に続く、画像処理アイコン23c〜23eに対応する各画像処理ツールは、周知の種々の検査・測定用の画像処理ツールが組み合わされたものである。具体的には、画像処理アイコン23c〜23eに対応する各画像処理ツールは、パターンサーチにより検出されたワーク1のうちの対象指定インデックスで指定される対象ワークについて、例えば、検査領域で指定された2点間の距離を計測する画像処理ツールや、傷、バリ、あるいは欠け等の欠陥を検出する画像処理ツール等である。これらの画像処理ツールは、並べられた順に(図2の例では、画像処理アイコン23の並設方向の左側から右側に向けて)順次実行されていく。組み合わせる画像処理ツールの種類や数は、画像処理フローを構成する画像処理ツールを順次登録する際にユーザーにより選択される。   In the present embodiment, among the image processing tools constituting the image processing group, each of the image processing tools corresponding to the image processing icons 23c to 23e following the pattern search is a variety of known image processing for inspection / measurement. It is a combination of tools. Specifically, each of the image processing tools corresponding to the image processing icons 23c to 23e is specified in the inspection area, for example, for the target work specified by the target specifying index among the works 1 detected by the pattern search. An image processing tool for measuring the distance between two points, an image processing tool for detecting defects such as scratches, burrs, and chips. These image processing tools are sequentially executed in the order in which they are arranged (in the example of FIG. 2, from the left side to the right side in the direction in which the image processing icons 23 are arranged side by side). The type and number of image processing tools to be combined are selected by the user when the image processing tools constituting the image processing flow are sequentially registered.

ここで、従来ではこれらの画像処理ツールの組み合わせからなる画像処理フローやその中に含まれる画像処理グループに関し、検査対象となるワークが複数ある場合には、各ワークについてそれぞれ個別に画像処理フローや画像処理グループが作成されていた。このため、検査対象のワークの数が多いほど、画像処理フローや画像処理グループの作成作業の手間が増加するという問題があった。また、例えば画像処理フローや画像処理グループ内の一部の画像処理ツールについて設定を変更する等のように、一度作成した画像処理フローを編集する場合、各ワークの画像処理フローや画像処理グループのそれぞれについて編集作業を行わなければならないという問題があった。本発明に係る画像処理装置10では、複数の検査対象のワークについて、画像処理フローや画像処理グループを構成する画像処理ツールを同様に順次適用するループツールを備えることにより上記問題を解決している。   Here, conventionally, when there are a plurality of workpieces to be inspected with respect to an image processing flow composed of a combination of these image processing tools and an image processing group included therein, an individual image processing flow or An image processing group was created. For this reason, there is a problem that the more the number of workpieces to be inspected, the more time is required for creating an image processing flow and an image processing group. In addition, when editing an image processing flow that has been created once, such as changing the settings for some image processing tools in the image processing flow or image processing group, the image processing flow or image processing group of each workpiece is edited. There was a problem that each of them had to be edited. The image processing apparatus 10 according to the present invention solves the above problem by providing a loop tool that sequentially applies image processing tools constituting an image processing flow and an image processing group to a plurality of workpieces to be inspected. .

本実施形態において、画像処理グループを構成する画像処理ツールのうち、最後尾の画像処理アイコン23fに対応する画像処理ツールがループツールである。このループツールは、画像処理フロー又は画像処理グループを構成する各画像処理ツールの組み合わせを、複数の検査対象のワーク1について順次繰り返し実行させるループ処理を行う画像処理ツールである。ループツールでは、繰り返しの先頭となる画像処理ツールをループ先として指定することができる。本実施形態においては、画像処理グループの先頭のパターンサーチツールがループ先として指定されている。これにより、指定された画像処理ツールから、ループツールの1つ前の画像処理ツールまでの各画像処理ツールの組み合わせが繰り返し実行される(すなわち、ループ処理が行われる)。つまり、本実施形態における画像処理グループは、各ワークに対してループ処理をそれぞれ実行する画像処理ツールから構成されている。そして、この画像処理グループがグループアイコン25で表示されることにより、ループツールによりループ処理が行われる画像処理グループであることをユーザーがより認識しやすくすることができる。   In the present embodiment, among the image processing tools constituting the image processing group, the image processing tool corresponding to the last image processing icon 23f is a loop tool. This loop tool is an image processing tool that performs a loop process in which a combination of image processing tools constituting an image processing flow or an image processing group is sequentially executed for a plurality of workpieces 1 to be inspected. In the loop tool, the image processing tool that is the head of the repetition can be designated as the loop destination. In this embodiment, the head pattern search tool of the image processing group is designated as the loop destination. As a result, the combination of the image processing tools from the designated image processing tool to the image processing tool immediately before the loop tool is repeatedly executed (that is, loop processing is performed). That is, the image processing group in the present embodiment is composed of image processing tools that respectively execute loop processing for each workpiece. Then, by displaying this image processing group with the group icon 25, the user can more easily recognize that the image processing group is subjected to loop processing by the loop tool.

上述したように、パターンサーチツールによって検出されたワーク1には、インデックスがそれぞれ割り振られるので、ループツールは、ループ処理が繰り返される毎に対象指定インデックスの値を変えるように構成されている。すなわち、ループツールは、対象指定インデックスの値を、例えば初期値から1ずつ加算していく。これにより、ループツールによりループ処理が繰り返される毎に対象ワークが順次変わり、複数のワーク1に対してそれぞれ画像処理グループの各画像処理ツールが順次同様に適用されることになる。そして、パターンサーチツールにより検出されたワーク1の検出数に対応する回数だけループ処理が繰り返される。このように、ワーク1の検出数に対応する回数だけループ処理が自動的に実行されるので、ループ処理の実行回数(以下、ループ回数)についてユーザーによる設定作業が不要となる。なお、ループ回数については、後述するように設定を変更することが可能である。また、ループツールは、ループ処理における各画像処理ツールの結果をワーク1毎に対応付けて記憶部12等に保存する機能を有する。これにより、ループツールによりループ処理が繰り返される際に、各ワーク1の検査・測定の結果が上書きされることなく取得・保存される。   As described above, since an index is allocated to each work 1 detected by the pattern search tool, the loop tool is configured to change the value of the target designation index every time the loop process is repeated. That is, the loop tool adds the value of the target designation index, for example, one by one from the initial value. Thus, each time the loop process is repeated by the loop tool, the target work sequentially changes, and the image processing tools of the image processing group are sequentially applied to the plurality of works 1 in the same manner. Then, the loop processing is repeated as many times as the number of workpieces 1 detected by the pattern search tool. As described above, the loop processing is automatically executed as many times as the number of workpieces 1 detected, so that the user does not need to set the number of execution times of the loop processing (hereinafter referred to as the number of loops). Note that the setting of the number of loops can be changed as will be described later. Further, the loop tool has a function of associating the result of each image processing tool in the loop processing with each work 1 and storing it in the storage unit 12 or the like. Thereby, when the loop processing is repeated by the loop tool, the inspection / measurement results of each workpiece 1 are acquired and stored without being overwritten.

上記のループツールによるループ回数に関し、自動設定またはユーザーによる設定の何れかを選択することも可能となっている。これにより、ループ回数について、検査用途等に応じてより適した設定を選択することができる。ループ回数は、上記の対象指定インデックスの最大値によって規定される。ループ回数について自動設定が選択された場合、対象指定インデックスの値が最大となるまでループ処理が自動的に繰り返される。なお、この自動設定に関し、ユーザーは、パターンサーチツールによるワーク1の検出数の最大値(最大検出数)を設定することができる。この最大検出数が設定された場合において、パターンサーチツールの検出数が最大検出数を超えたときには、当該超えた分のワーク1については検出されなかったものとして扱われる。また、最大検出数が設定された場合において、パターンサーチツールの検出数が最大検出数に満たないときには、当該検出数が最大検出数として扱われる(最大検出数が変更される)。そして、ループ回数について自動設定が選択された場合、対象指定インデックスの最大値は、上記の最大検出数に自動的に設定される。例えば、ワーク画像に同種のワーク1が100個含まれる場合において、パターンサーチツールによる最大検出数を50個に設定することもできる。これにより、対象指定インデックスの最大値が50に設定され、検出されたワーク1に対して対象指定インデックスが最大値である50となるまでループ処理が繰り返される。また、最大検出数を特定しないようにすることもできる。これにより、上記のようにパターンサーチツールよって検出されたワーク1の検出数が100個の場合には、対象指定インデックスの最大値が検出数に対応する100に設定され、検出されたワーク1に対して対象指定インデックスが最大値である100となるまでループ処理が繰り返される。   Regarding the number of loops by the above loop tool, either automatic setting or setting by the user can be selected. Thereby, a more suitable setting can be selected for the number of loops according to the inspection application or the like. The number of loops is defined by the maximum value of the target designation index. When the automatic setting is selected for the number of loops, the loop process is automatically repeated until the value of the target designation index becomes maximum. Regarding this automatic setting, the user can set the maximum value (maximum number of detections) of the number of workpieces 1 detected by the pattern search tool. In the case where the maximum number of detections is set, when the number of detections of the pattern search tool exceeds the maximum number of detections, it is treated that the excess work 1 is not detected. When the maximum number of detections is set and the number of detections by the pattern search tool is less than the maximum number of detections, the number of detections is handled as the maximum number of detections (the maximum number of detections is changed). When automatic setting is selected for the number of loops, the maximum value of the target designation index is automatically set to the maximum detection number. For example, when 100 workpieces 1 of the same type are included in the workpiece image, the maximum number of detections by the pattern search tool can be set to 50. As a result, the maximum value of the target designation index is set to 50, and the loop processing is repeated until the target designation index reaches 50 which is the maximum value for the detected work 1. It is also possible not to specify the maximum number of detections. As a result, when the number of workpieces 1 detected by the pattern search tool is 100 as described above, the maximum value of the target designation index is set to 100 corresponding to the number of detections. On the other hand, the loop processing is repeated until the target designation index reaches 100 which is the maximum value.

また、ユーザーによる設定の場合、ユーザーは、ループ回数を所望とする回数に設定することができる。ユーザーによりループ回数が設定されると、対象指定インデックスの最大値が、当該設定されたループ回数に対応する値に設定される。なお、ユーザーにより設定されたループ回数がパターンサーチツールによる検出数を上回った場合には、対象指定インデックスの最大値は、上記の検出数に自動的に調整される。この場合、ユーザーに対してその旨を報知して確認させる表示が行われるようにしてもよい。   In the case of setting by the user, the user can set the number of loops to a desired number. When the loop count is set by the user, the maximum value of the target designation index is set to a value corresponding to the set loop count. When the number of loops set by the user exceeds the number detected by the pattern search tool, the maximum value of the target designation index is automatically adjusted to the above detection number. In this case, a display that informs the user and confirms the fact may be performed.

以下、図19〜図22を参照しつつ、ループ処理について説明する。なお、以下においては、上記の最大検出数およびループ回数の設定は無いものとして説明する。
画像処理フローが開始されると、まず、パターンサーチツールにより、ワーク画像から基準画像に基づく形状のワーク1が検出され、検出標示28が各ワークに重ねて表示される。図19に示される例では、合計4つのワーク1a(1)〜1a(4)が検出され、それぞれに枠状の検出標示28a〜28dが表示されている。上述したように、パターンサーチツールにより検出されたワーク1には、それぞれ個別のインデックスが付与される。すなわち、図19の例では、検出されたワーク1a(1)〜1a(4)には、通し番号1〜4からなるインデックスが付与されている。ここで、本実施形態において、対象指定インデックスは初期値として1が設定されている。図19に示されるように、この対象指定インデックスに対応する(1)が割り振られたワーク1a(1)の検出標示28aのみが太枠で示されている。また、パターンサーチツールでは、上述したように、検出されたワーク1の個々の座標情報および角度情報に基づき、検査領域の位置ずれがそれぞれ補正される。
Hereinafter, the loop processing will be described with reference to FIGS. In the following description, it is assumed that the maximum number of detections and the number of loops are not set.
When the image processing flow is started, first, the pattern search tool detects the workpiece 1 having a shape based on the reference image from the workpiece image, and the detection indication 28 is superimposed on each workpiece and displayed. In the example shown in FIG. 19, a total of four workpieces 1 a (1) to 1 a (4) are detected, and frame-shaped detection signs 28 a to 28 d are displayed respectively. As described above, each work 1 detected by the pattern search tool is assigned an individual index. In other words, in the example of FIG. 19, the detected workpieces 1 a (1) to 1 a (4) are assigned indexes having serial numbers 1 to 4. Here, in the present embodiment, 1 is set as the initial value of the target designation index. As shown in FIG. 19, only the detection sign 28a of the work 1a (1) to which (1) corresponding to the target designation index is allocated is shown by a thick frame. Further, as described above, the pattern search tool corrects the displacement of the inspection area based on the detected individual coordinate information and angle information of the workpiece 1.

続いて、対象指定インデックスに対応するワーク1(ワーク1a(1))について、画像処理フローにおけるパターンサーチツールの後に続く画像処理ツールの組み合わせが順次実行される。例えば、図20に示されるように、領域標示27で指定された2点間の距離を計測する画像処理ツール等の各種画像処理が順次実行される。図20の例では、一対の領域標示27xで特定される2点間の距離、および、一対の領域標示27yで特定される2点間の距離がそれぞれ測定され、各々の測定結果が取得される。上述したように、各画像処理ツールで取得された測定・検査結果の情報は、例えばワーク1のインデックスに対応付けられて記憶部12等に保存される。   Subsequently, for the work 1 (work 1a (1)) corresponding to the target designation index, combinations of image processing tools subsequent to the pattern search tool in the image processing flow are sequentially executed. For example, as shown in FIG. 20, various types of image processing such as an image processing tool for measuring a distance between two points designated by the region marking 27 are sequentially executed. In the example of FIG. 20, the distance between two points specified by the pair of area markings 27x and the distance between two points specified by the pair of area markings 27y are measured, and the respective measurement results are acquired. . As described above, the measurement / inspection result information acquired by each image processing tool is stored in the storage unit 12 or the like in association with the index of the workpiece 1, for example.

ループツールの1つ前まで画像処理ツールが実行された後、続いてループツールが実行されることにより、繰り返しの先頭となる画像処理ツールとして指定されているパターンサーチツールに戻り、以降の処理が繰り返される。この際、ループツールにより対象指定インデックスの値が変更される。すなわち、現状設定されている対象指定インデックスの値(1)に1が加算されて、当該対象指定インデックスの値が(2)に更新される。そして、画像処理フローの先頭に戻り、パターンサーチツールにより、ワーク画像から基準画像に基づく形状のワーク1が検出される。そして、ループツールにより対象指定インデックスが変更されているので、図21に示されるように、変更された対象指定インデックスに対応する(2)が割り振られたワーク1a(2)の検出標示28bのみが太枠で示される。また、検出されたワーク1の個々の座標情報および角度情報に基づき、検査領域の位置ずれがそれぞれ補正される。そして、対象指定インデックスが(1)で指定されるワーク1a(1)の場合と同様に、新たに対象指定インデックス(2)により指定されるワーク1a(2)について、図22に示されるように、パターンサーチツールの後に続く各種の画像処理ツールの組み合わせが順次実行される。そして、ループツールが実行される毎に、対象指定インデックスが変更され、残りのワーク1a(3),1a(4)についても同様にして、画像処理フローを構成している画像処理ツールの組み合わせが順次実行される(すなわち、ループ処理が実行される)。   After the image processing tool is executed up to the previous one of the loop tool, the loop tool is subsequently executed to return to the pattern search tool designated as the image processing tool that becomes the head of the repetition, and the subsequent processing is performed. Repeated. At this time, the value of the target designation index is changed by the loop tool. That is, 1 is added to the value (1) of the target designation index that is currently set, and the value of the target designation index is updated to (2). Then, returning to the top of the image processing flow, the pattern search tool detects the workpiece 1 having a shape based on the reference image from the workpiece image. Since the target designation index is changed by the loop tool, as shown in FIG. 21, only the detection sign 28b of the work 1a (2) to which (2) corresponding to the changed target designation index is allocated. Shown in bold. Further, based on the detected individual coordinate information and angle information of the workpiece 1, the positional deviation of the inspection area is corrected. Then, as in the case of the work 1a (1) designated by the target designation index (1), the work 1a (2) newly designated by the target designation index (2) is shown in FIG. A combination of various image processing tools following the pattern search tool is sequentially executed. Each time the loop tool is executed, the target designation index is changed, and the combination of image processing tools constituting the image processing flow is similarly applied to the remaining works 1a (3) and 1a (4). Sequentially executed (that is, loop processing is executed).

以上のように、本発明に係る画像処理装置10では、複数の検査対象のワーク1について、画像処理フローやこれに含まれる画像処理グループを構成する画像処理ツールを同様に順次適用するループツールを備えることにより、各ワーク1についてそれぞれ画像処理フローや画像処理グループを個別に作成する必要がなく、画像処理フロー等の作成作業がより容易となる。また、例えば画像処理フローや画像処理グループ内の一部の画像処理ツールについて設定等を変更する等のように、一度作成した画像処理フロー等を編集する場合においても、1つの画像処理フローや画像処理グループについて編集を行えば、当該編集後の画像処理フローや画像処理グループによるループ処理が各ワーク1について同様に適用されることになる。その結果、ユーザーにとって作業の負担が軽減され、メンテナンス性が向上する。   As described above, in the image processing apparatus 10 according to the present invention, the loop tool that sequentially applies the image processing flow and the image processing tools included in the image processing group included in the plurality of workpieces 1 to be inspected in the same manner. By providing, it is not necessary to individually create an image processing flow and an image processing group for each workpiece 1, and the creation work of the image processing flow and the like becomes easier. In addition, even when editing an image processing flow that has been created once, such as changing the setting of an image processing flow or some image processing tools in an image processing group, one image processing flow or image If editing is performed for the processing group, the edited image processing flow and loop processing by the image processing group are similarly applied to each workpiece 1. As a result, the burden on the work for the user is reduced and the maintainability is improved.

次に、本発明の他の実施形態について説明する。
図23は、本発明の第2の実施形態について説明する図である。
本実施形態においては、ワーク画像に対してパターンサーチツールにより検出されるワーク1の数がより多くなっている。この場合、パターンサーチツールにより検出されたワーク1の全てについてループ処理が同様に適用されると、その分、多くの時間を要することになる。このため、ループツールでは、パターンサーチツールにより検出された複数のワーク1のうちの一部のワーク1に対して選択的にループ処理を適用するモードに設定することができる。より具体的には、上記の対象指定インデックスの値の更新時の加算値を1よりも大きい値に設定することにより、検出されたワーク1の中から一定の個数間隔で検査対象のワーク1が選択されてループ処理が適用されるようになっている。例えば、図23に示される例のように、パターンサーチツールにより合計17個のワーク1a(1)〜1a(17)が検出された場合(基準画像と一致しないワーク1bについては非検出)において、対象指定インデックスの初期値が「1」、尚且つ、ループツールによる対象指定インデックスの値の更新時の加算値が「2」に設定されているときには、インデックス(1)が付与されたワーク1から順に1つ置きに(1個間隔で)奇数番号のインデックスが付与されたワーク1aに対してループ処理が順次適用される。同様に、対象指定インデックスの初期値が「2」、尚且つ、ループツールによる対象指定インデックスの値の更新時の加算値が「2」に設定されているときには、インデックス(2)が付与されたワーク1から順に1つ置きに(1個間隔で)偶数番号のインデックスが付与されたワーク1aに対してループ処理が順次適用される。さらに、パターンサーチツールによるワーク1の検出数がより多い場合には、ループツールによる対象指定インデックスの値の更新時の加算値を例えば「4」等のように任意に設定することができる。この場合、3つ間隔でワーク1aに対してループ処理が順次適用される。これにより、パターンサーチツールにより検出されるワーク1の数がより多い場合においても、所謂抜き取り検査のように検出されたワーク1のうちの一部のワーク1のみにループ処理を適用することができるので、その分、処理時間を削減することが可能となる。また、本実施形態においては、検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行うので、より簡単な設定で抜き取り検査を行うことが可能となる。なお、その他の構成については、上記第1の実施形態と同様である。
Next, another embodiment of the present invention will be described.
FIG. 23 is a diagram for explaining a second embodiment of the present invention.
In the present embodiment, the number of workpieces 1 detected by the pattern search tool with respect to the workpiece image is larger. In this case, if the loop processing is similarly applied to all the workpieces 1 detected by the pattern search tool, much time is required accordingly. For this reason, in the loop tool, it is possible to set a mode in which loop processing is selectively applied to a part of the works 1 among the plurality of works 1 detected by the pattern search tool. More specifically, by setting the addition value at the time of updating the value of the target designation index to a value larger than 1, the workpieces 1 to be inspected are detected at regular intervals from the detected workpieces 1. It is selected and loop processing is applied. For example, when a total of 17 workpieces 1a (1) to 1a (17) are detected by the pattern search tool as in the example shown in FIG. 23 (the workpiece 1b that does not match the reference image is not detected) When the initial value of the target designation index is “1” and the addition value when updating the value of the target designation index by the loop tool is set to “2”, the workpiece 1 from which the index (1) is assigned Loop processing is sequentially applied to the workpieces 1a to which odd-numbered indexes are assigned every other order (at intervals). Similarly, when the initial value of the target designation index is “2” and the addition value when the target designation index value is updated by the loop tool is set to “2”, the index (2) is assigned. The loop processing is sequentially applied to the workpieces 1a to which even-numbered indexes are assigned every other (in intervals of one) from the workpiece 1. Furthermore, when the number of workpieces 1 detected by the pattern search tool is larger, the addition value at the time of updating the value of the target designation index by the loop tool can be arbitrarily set to, for example, “4”. In this case, the loop processing is sequentially applied to the workpiece 1a at three intervals. Thereby, even when the number of workpieces 1 detected by the pattern search tool is larger, the loop process can be applied only to a part of the workpieces 1 detected as in the so-called sampling inspection. Therefore, the processing time can be reduced accordingly. In the present embodiment, since the workpieces to be inspected are selected from the detected workpieces at a constant number interval, the sampling inspection can be performed with simpler settings. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

図24は、本発明に係る第3の実施形態について説明する図である。
本実施形態においては、ワーク画像についてパターンサーチツールにより検出されるワーク1の数が多数である場合において、検出されたワーク1のうちの一部のワーク1のみに画像処理フローを適用する点で上記第2の実施形態と共通している。一方で、検出された位置(座標)に基づくワーク1の形状・寸法等のばらつきの特性を考慮して、ワーク画像について検査対象とするワーク1を特定するための選択エリアが分散して複数設定され、当該選択エリアに含まれるワーク1が検査対象とされる点で第2の実施形態と異なっている。図24の例では、シリコンウェハー(シリコン単結晶基板)30から複数の部品が個々に切り出される構成において、当該シリコンウェハー30に部品となる領域(以下、部品領域)が、同図において破線で示される縦横の切断予定線によって複数区画されている。本実施形態における画像処理装置10では、シリコンウェハー30に区画された部品領域がそれぞれワーク1として検査対象とされる。シリコンウェハー30の外周の一部には、当該シリコンウェハー30の所定の面方位を示すオリエンテーションフラット(以下、オリフラ)OFが形成されている。また、切断予定線は、部品領域(ワーク1)の外縁に沿って形成された複数の凹部、貫通孔、あるいは溝等のような、シリコンウェハー30の切断・分割のきっかけとなる脆弱部である。
FIG. 24 is a diagram for explaining a third embodiment according to the present invention.
In the present embodiment, when the number of workpieces 1 detected by the pattern search tool for a workpiece image is large, the image processing flow is applied only to some of the workpieces 1 detected. This is common with the second embodiment. On the other hand, in consideration of variation characteristics such as the shape and dimensions of the workpiece 1 based on the detected position (coordinates), a plurality of selection areas for specifying the workpiece 1 to be inspected for the workpiece image are dispersed and set. The second embodiment is different from the second embodiment in that the workpiece 1 included in the selected area is an inspection target. In the example of FIG. 24, in a configuration in which a plurality of components are individually cut out from a silicon wafer (silicon single crystal substrate) 30, regions (hereinafter referred to as component regions) that become components on the silicon wafer 30 are indicated by broken lines in the figure. It is divided into multiple sections by vertical and horizontal cutting lines. In the image processing apparatus 10 according to the present embodiment, each of the component areas partitioned on the silicon wafer 30 is an inspection target as the work 1. An orientation flat (hereinafter referred to as orientation flat) OF showing a predetermined plane orientation of the silicon wafer 30 is formed on a part of the outer periphery of the silicon wafer 30. The planned cutting line is a fragile portion that triggers the cutting / dividing of the silicon wafer 30 such as a plurality of recesses, through holes, or grooves formed along the outer edge of the component region (work 1). .

このように、シリコンウェハー30に複数のワーク1としての部品領域が設定される構成では、当該シリコンウェハー30における位置によって特性が変わる場合がある。例えば、シリコンウェハー30のより端部(より外周側)に位置するワーク1と、シリコンウェハー30のより中央部に位置するワーク1とでは、形状や寸法等が微妙に異なる場合がある。このため、本実施形態におけるループツールでは、検出された位置に基づくワーク1の形状や特性等のばらつきを考慮した検査モードを選択することが可能となっている。この検査モードでは、図24に示されるように、パターンサーチツールにより検出された複数のワーク1の位置(座標)に基づき複数の選択エリア31が分散して設定される。この選択エリア31が設定される位置や数は、パターンサーチツールにより検出されるワーク1の数や分布に応じて、できるだけ偏りないように設定される。そして、選択エリア31の範囲に全体が含まれるワーク1(図24中、ハッチングで示されるワーク1)が、画像処理フローを適用する検査対象として選択される。この場合、ループツールによりループ処理が繰り返される毎に、選択エリア31により選択された各ワーク1のインデックスを順次指定するように対象指定インデックスが更新される。本実施形態の構成によれば、ワーク1の位置に基づく形状や寸法等のばらつきを考慮してより偏りなくワーク1の抜き取り検査を行うことが可能となる。なお、その他の構成については、上記第1の実施形態と同様である。   As described above, in the configuration in which the part regions as the plurality of workpieces 1 are set on the silicon wafer 30, the characteristics may change depending on the position on the silicon wafer 30. For example, the shape, size, and the like may be slightly different between the workpiece 1 located at the more end portion (more outer peripheral side) of the silicon wafer 30 and the workpiece 1 located at the more central portion of the silicon wafer 30. For this reason, in the loop tool in the present embodiment, it is possible to select an inspection mode in consideration of variations in the shape and characteristics of the workpiece 1 based on the detected position. In this inspection mode, as shown in FIG. 24, a plurality of selection areas 31 are set in a distributed manner based on the positions (coordinates) of the plurality of workpieces 1 detected by the pattern search tool. The position and number of the selection area 31 are set so as not to be biased as much as possible according to the number and distribution of the workpieces 1 detected by the pattern search tool. Then, the workpiece 1 (the workpiece 1 indicated by hatching in FIG. 24) that is entirely included in the range of the selection area 31 is selected as an inspection target to which the image processing flow is applied. In this case, each time the loop process is repeated by the loop tool, the target designation index is updated so that the indices of the workpieces 1 selected by the selection area 31 are designated sequentially. According to the configuration of the present embodiment, it is possible to perform a sampling inspection of the workpiece 1 with no bias in consideration of variations in shape, dimensions, and the like based on the position of the workpiece 1. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

図25は、本発明に係る第4の実施形態について説明する図である。なお、同図において、上段が作業領域18における画像であり、下段がアイコン表示領域に表示された画像処理アイコン23である。
本実施形態は、画像処理フローや画像処理グループに複数のループツールが設けられている点で上記各実施形態と異なっている。本実施形態においては、図25に例示されているように、パターンサーチツールにより検出されたワーク1が、検査対象となる部位を複数有している。すなわち、図25の例では、歯車からなるワーク1が、検査対象部位として複数(例えば11本)の歯33を有しており、これらの歯33についてそれぞれ画像処理ツールによる欠陥検出等を順次同様に行うことが考えられる。本実施形態において、画像処理フローやや画像処理グループを構成する画像処理ツールのうち、先頭の画像処理アイコン23aに対応する画像処理ツールは、上述したようにワーク画像に含まれる所定形状のワーク1を検出するパターンサーチツールであり、その次の画像処理アイコン23bに対応する画像処理ツールは、パターンサーチツールにより検出されたワーク1について、検査対象部位を検出するパーツサーチツールである。その後に続く画像処理アイコン23cおよび23dに対応する画像処理ツールは、例えば欠陥検出等を行う画像処理ツールである。
FIG. 25 is a diagram for explaining a fourth embodiment according to the present invention. In the figure, the upper row is an image in the work area 18, and the lower row is an image processing icon 23 displayed in the icon display area.
This embodiment is different from the above embodiments in that a plurality of loop tools are provided in the image processing flow and the image processing group. In the present embodiment, as illustrated in FIG. 25, the workpiece 1 detected by the pattern search tool has a plurality of parts to be inspected. That is, in the example of FIG. 25, the work 1 made of a gear has a plurality of (for example, 11) teeth 33 as the inspection target part, and the detection of defects by the image processing tool is sequentially performed on these teeth 33 sequentially. Can be considered. In the present embodiment, the image processing tool corresponding to the first image processing icon 23a among the image processing tools constituting the image processing flow and the image processing group, as described above, the workpiece 1 having a predetermined shape included in the workpiece image. The pattern search tool to be detected, and the image processing tool corresponding to the next image processing icon 23b is a parts search tool for detecting a part to be inspected with respect to the work 1 detected by the pattern search tool. The image processing tools corresponding to the subsequent image processing icons 23c and 23d are image processing tools for performing defect detection, for example.

本実施形態において、画像処理アイコン23eおよび23fに対応する画像処理ツールは、いずれもループツールである。このうち、画像処理アイコン23fに対応するループツールは、第1のループツールとして機能し、本実施形態においては、先頭のパターンサーチツールがループ先として指定されている。これにより、パターンサーチツールから、第1のループツールの1つ前の画像処理ツール(本実施形態では、以下の第2のループツール)までの各画像処理ツールが繰り返し実行される。以下、このループをメインループ(本発明における第1のループ処理に相当)と称する。また、画像処理アイコン23eに対応するループツールは、第2のループツールとして機能し、本実施形態においては、パーツサーチツールがループ先として指定されている。これにより、パーツサーチツールから、第2のループツールの1つ前の画像処理ツールまでの各画像処理ツールが繰り返し実行される。以下、このループをサブループ(本発明における第2のループ処理に相当)と称する。   In the present embodiment, the image processing tools corresponding to the image processing icons 23e and 23f are both loop tools. Among these, the loop tool corresponding to the image processing icon 23f functions as a first loop tool, and in the present embodiment, the leading pattern search tool is designated as the loop destination. As a result, each image processing tool from the pattern search tool to the image processing tool immediately before the first loop tool (in the present embodiment, the following second loop tool) is repeatedly executed. Hereinafter, this loop is referred to as a main loop (corresponding to the first loop processing in the present invention). The loop tool corresponding to the image processing icon 23e functions as a second loop tool, and in this embodiment, the parts search tool is designated as the loop destination. Thereby, each image processing tool from the part search tool to the image processing tool immediately before the second loop tool is repeatedly executed. Hereinafter, this loop is referred to as a sub-loop (corresponding to the second loop processing in the present invention).

パーツサーチツールは、対象指定インデックスで指定されているワーク1について、基準画像の検査対象部位と形状が一致すると判定した検査対象部位を検出し、検出された検査対象部位にそれぞれ個別のインデックスを付与する。図25の例では、対象指定インデックスで指定されているワーク1b(1)についての検査対象部位として検出された複数の歯33にそれぞれ1番〜11番の通し番号がインデックスとして付与されている。そして、第2のループツールは、サブループが繰り返される毎に検査対象部位を指定する部位指定インデックスの値を変えるように構成されている。すなわち、第2のループツールは、部位指定インデックスの値を例えば初期値から1ずつ加算していく。これにより、第2のループツールによりサブループが繰り返される毎に部位指定インデックスで指定される検査対象部位が順次変わり、複数の検査対象部位に対してそれぞれサブループ内の画像処理ツールの組み合わせが順次同様に適用されることになる。そして、部位指定インデックスの値がパーツサーチツールによる検出数に対応する値となるまでサブループが繰り返される。勿論、本実施形態においても、パーツサーチツールにより検出された複数の検査対象部位のうちの一部にサブループを適用するモードを選択できるようにしてもよい。そして、対象指定インデックスで指定されているワーク1について各検査対象部位に対する検査が行われてサブループから抜けた後、第1のループツールによりメインループが実行されることにより、パターンサーチツールにより検出された他のワーク1についても同様にして画像処理ツールが順次実行される。すなわち、第1のループツールにより実行されるメインループ(第1のループ処理)は、第2のループツールにより実行されるサブループ(第2のループ処理)を包含する。本実施形態の構成によれば、画像処理フローや画像処理グループ内に第2のループツールを追加するという簡単な作業でワーク1が有する複数の部位の検査が可能となる。なお、本実施形態においては、画像処理フロー等に第1のループツールと第2のループツールの2つのループツールが設けられた例を示したが、これには限られず、ワーク1が複数種類の検査対象部位を有する場合には、それに応じて3つ以上のループツールを設けてもよい。すなわち、メインループが複数のサブループを包含してもよい。この場合、各サブループがそれぞれ独立したループ処理を行ってもよいし、サブループ内に他のサブループが包含されてもよい。その他の構成については上記第1の実施形態と同様である。   The parts search tool detects an inspection target portion determined to match the inspection target portion of the reference image with respect to the workpiece 1 specified by the target specification index, and assigns an individual index to each detected inspection target portion. To do. In the example of FIG. 25, serial numbers 1 to 11 are assigned as indexes to the plurality of teeth 33 detected as the inspection target parts for the workpiece 1b (1) designated by the target designation index. And the 2nd loop tool is comprised so that the value of the site | part designation | designated index which designates a test object site | part may be changed whenever a subloop is repeated. That is, the second loop tool adds the value of the part designation index, for example, one by one from the initial value. As a result, each time the sub-loop is repeated by the second loop tool, the inspection target parts designated by the part designation index are sequentially changed, and the combination of the image processing tools in the sub-loop is sequentially changed in the same manner for the plurality of examination target parts. Will be applied. Then, the sub-loop is repeated until the value of the part designation index becomes a value corresponding to the number detected by the parts search tool. Of course, also in this embodiment, a mode in which a sub-loop is applied to a part of a plurality of inspection target parts detected by the parts search tool may be selected. Then, after inspection of each inspection target part is performed on the workpiece 1 specified by the target specification index and the sub-loop is exited, the main loop is executed by the first loop tool, and is detected by the pattern search tool. Similarly, the image processing tools are sequentially executed for the other workpieces 1. That is, the main loop (first loop process) executed by the first loop tool includes a sub-loop (second loop process) executed by the second loop tool. According to the configuration of the present embodiment, it is possible to inspect a plurality of parts of the work 1 with a simple operation of adding the second loop tool in the image processing flow or the image processing group. In the present embodiment, an example is shown in which two loop tools, a first loop tool and a second loop tool, are provided in the image processing flow or the like. If the inspection target part is included, three or more loop tools may be provided accordingly. That is, the main loop may include a plurality of sub-loops. In this case, each sub-loop may perform independent loop processing, and other sub-loops may be included in the sub-loop. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。要するに、ワークを撮影して得られた撮影画像(ワーク画像)に対して種々の画像処理ツールにより画像処理を行う構成であって、複数のワークに対して画像処理フローを構成する画像処理ツールをそれぞれ実行するものであれば、種々の画像処理装置に適用することが可能である。   In addition, this invention is not limited to above-described embodiment, A various deformation | transformation is possible based on description of a claim. In short, an image processing tool configured to perform image processing on a captured image (work image) obtained by photographing a workpiece by various image processing tools, and constituting an image processing flow for a plurality of workpieces. As long as each is executed, the present invention can be applied to various image processing apparatuses.

1…ワーク,2…XYステージ,3…撮影装置,6…コンピューター,7…表示装置,8…入力装置,10…画像処理装置,11…演算部,12…記憶部,13…画像入力手段,14…画像処理手段,17…ユーザーインターフェース,18…作業領域,19…設定領域,20…強調処理領域,21…アイコン表示領域,22…スクロールバー,23…画像処理アイコン,24…グループ標示,25…グループアイコン,26…スクロールバー,27…領域標示,28…検出標示,30…シリコンウェハー,31…選択エリア,33…歯   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Work, 2 ... XY stage, 3 ... Image pick-up device, 6 ... Computer, 7 ... Display device, 8 ... Input device, 10 ... Image processing device, 11 ... Calculation part, 12 ... Memory | storage part, 13 ... Image input means, DESCRIPTION OF SYMBOLS 14 ... Image processing means, 17 ... User interface, 18 ... Work area, 19 ... Setting area, 20 ... Emphasis processing area, 21 ... Icon display area, 22 ... Scroll bar, 23 ... Image processing icon, 24 ... Group indication, 25 ... Group icon, 26 ... Scroll bar, 27 ... Area marking, 28 ... Detection marking, 30 ... Silicon wafer, 31 ... Selection area, 33 ... Teeth

Claims (15)

複数のワークが含まれたワーク画像に対して、複数の画像処理ツールが組み合わされた画像処理フローに基づいて画像処理を実行する画像処理装置であって、
前記画像処理フローは、前記ワーク画像に含まれる複数のワークのそれぞれに対して、画像処理ツールの組み合わせを順次適用するループ処理を行うループツールを有することを特徴とする画像処理装置。
An image processing apparatus that performs image processing on a work image including a plurality of workpieces based on an image processing flow in which a plurality of image processing tools are combined,
The image processing apparatus includes: a loop tool that performs a loop process that sequentially applies a combination of image processing tools to each of a plurality of works included in the work image.
前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールは、前記サーチツールによるワークの検出数に対応する回数だけ前記ループ処理を行うことを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
The image processing flow includes, as an image processing tool, a search tool that detects a predetermined work included in a work image,
The image processing apparatus according to claim 1, wherein the loop tool performs the loop processing a number of times corresponding to the number of workpieces detected by the search tool.
前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数は、ユーザーにより設定されることを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。   The image processing apparatus according to claim 1, wherein the number of execution times of the loop processing by the loop tool is set by a user. 前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールによる前記ループ処理の実行回数について、前記サーチツールで検出されたワークの検出数に基づく自動設定、または、ユーザーによる設定の何れかを選択可能であることを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
The image processing flow includes, as an image processing tool, a search tool that detects a predetermined work included in a work image,
The number of executions of the loop processing by the loop tool can be selected from either automatic setting based on the number of workpieces detected by the search tool or setting by a user. The image processing apparatus described.
前記画像処理フローは、ワーク画像に含まれる所定のワークを検出するサーチツールを画像処理ツールとして含み、
前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一部のワークに対して選択的に前記ループ処理を行うモードを有することを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
The image processing flow includes, as an image processing tool, a search tool that detects a predetermined work included in a work image,
The image processing apparatus according to claim 1, wherein the loop tool has a mode in which the loop processing is selectively performed on a part of the workpieces detected by the search tool.
前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から一定の個数間隔で検査対象のワークの選択を行うことを特徴とする請求項5に記載の画像処理装置。   The image processing apparatus according to claim 5, wherein the loop tool selects workpieces to be inspected at regular intervals from workpieces detected by the search tool. 前記ループツールは、前記サーチツールにより検出されたワークの中から検査対象とするワークを選択するための選択エリアを前記ワーク画像に分散させて設定し、当該選択エリア内に含まれるワークを検査対象のワークとして選択することを特徴とする請求項5に記載の画像処理装置。   The loop tool sets a selection area for selecting a workpiece to be inspected from the workpieces detected by the search tool, distributed over the workpiece image, and sets the workpiece included in the selected area to be inspected. The image processing apparatus according to claim 5, wherein the image processing apparatus is selected as a workpiece. 前記画像処理フローは、第1のループツールと第2のループツールを有し、
前記第1のループツールにより実行される第1のループ処理は、前記第2のループツールにより実行される第2のループ処理を包含することを特徴とする請求項1から請求項7の何れか一項に記載の画像処理装置。
The image processing flow includes a first loop tool and a second loop tool,
The first loop process executed by the first loop tool includes a second loop process executed by the second loop tool. The image processing apparatus according to one item.
画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを表示装置に表示させるアイコン表示手段を有し、
前記アイコン表示手段は、複数の画像処理ツールの組み合わせから構成される画像処理グループに対応するグループアイコンを前記表示装置に表示させることが可能に構成されたことを特徴とする請求項1から請求項8の何れか一項に記載の画像処理装置。
Having icon display means for displaying on the display device an image processing icon corresponding to the image processing tool;
The said icon display means is comprised so that the group icon corresponding to the image processing group comprised from the combination of a several image processing tool can be displayed on the said display apparatus. The image processing apparatus according to claim 8.
前記アイコン表示手段は、前記ループツール及び当該ループツールにより前記ループ処理が行われる複数の画像処理ツールを含む前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させることが可能に構成されたことを特徴とする請求項9に記載の画像処理装置。   The icon display means is configured to display the group icon corresponding to the image processing group including the loop tool and a plurality of image processing tools on which the loop processing is performed by the loop tool. The image processing apparatus according to claim 9. 前記アイコン表示手段は、前記画像処理グループに対応する前記グループアイコンを表示させるまとめ表示状態と、当該画像処理グループに含まれる各画像処理ツールに対応する各画像処理アイコンを並べて表示させる展開表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の画像処理装置。   The icon display means displays a group display state that displays the group icon corresponding to the image processing group, and an expanded display state that displays the image processing icons corresponding to the image processing tools included in the image processing group side by side. The image processing apparatus according to claim 9, wherein the image processing apparatus is configured to be able to be switched between. 前記アイコン表示手段は、前記まとめ表示状態において、当該グループアイコンの静止画を表示させる静止画表示状態と、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールに対応する画像処理アイコンを前記静止画に替えて順次表示する動画表示状態と、に切り替えることが可能に構成されたことを特徴とする請求項11に記載の画像処理装置。   In the summary display state, the icon display means changes a still image display state in which a still image of the group icon is displayed and an image processing icon corresponding to an image processing tool included in the image processing group to the still image. The image processing apparatus according to claim 11, wherein the image processing apparatus is configured to be capable of switching to a moving image display state in which images are sequentially displayed. 前記アイコン表示手段は、前記動画表示状態において、前記画像処理グループに含まれる画像処理ツールのうちの一部に対応する画像処理アイコンを選択して表示させることが可能に構成されたことを特徴とする請求項12に記載の画像処理装置。   The icon display means is configured to be able to select and display an image processing icon corresponding to a part of the image processing tools included in the image processing group in the moving image display state. The image processing apparatus according to claim 12. 前記画像処理グループを編集する編集モードを有し、
前記編集モードは、前記画像処理アイコンを追加または削除することにより、前記画像処理グループを編集することが可能に構成されたことを特徴とする請求項9から請求項13の何れか一項に記載の画像処理装置。
An editing mode for editing the image processing group;
14. The editing mode according to claim 9, wherein the image processing group is configured to be edited by adding or deleting the image processing icon. 15. Image processing apparatus.
前記編集モードは、編集された前記画像処理グループを前記画像処理ツールの一つとして登録することが可能に構成されたことを特徴とする請求項14に記載の画像処理装置。   The image processing apparatus according to claim 14, wherein the editing mode is configured to register the edited image processing group as one of the image processing tools.
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