JP2018125461A5

JP2018125461A5 - 被加工物の処理装置、及び載置台

Info

Publication number: JP2018125461A5
Application number: JP2017017829A
Authority: JP
Filing date: 2017-02-02
Publication date: 2019-10-24

Claims

被加工物の処理装置であって、
チャンバ本体と、
前記チャンバ本体の内部に設けられ前記被加工物を載置する載置台と、
冷媒を出力するチラーユニットと、
前記チラーユニットに接続され前記冷媒を流す配管系と、
を備え、
前記載置台は、
前記配管系に接続され該配管系を介して供給される前記冷媒を流す冷却台と、
前記冷却台の上に設けられた静電チャックと、
を備え、
前記冷却台は、第１の領域、第２の領域、および、第３の領域と、前記配管系に接続され前記冷媒を流す流路群とを備え、
前記第１の領域、前記第２の領域、および、前記第３の領域は、前記静電チャックの表面に沿って配置され、
前記第１の領域は、前記静電チャックの上から見て、前記冷却台の中央に配置されており、
前記第２の領域は、前記静電チャックの上から見て、前記第１の領域を囲むように配置されており、
前記第３の領域は、前記静電チャックの上から見て、前記第１の領域および前記第２の領域を囲むように配置されており、
前記流路群は、第１の流路、第２の流路、および、第３の流路を備え、
前記第１の流路は、前記第１の領域に配置され、
前記第２の流路は、前記第２の領域に配置され、
前記第３の流路は、前記第３の領域に配置され、
前記配管系は、第１のバルブ群と第２のバルブ群とを備え、
前記流路群において、前記第１の流路と前記第２の流路との間、および、該第２の流路と前記第３の流路との間の何れの間も前記第１のバルブ群を介して接続され、
前記チラーユニットと前記流路群とは、前記第２のバルブ群を介して接続されている、
処理装置。
前記第１のバルブ群は、第１のバルブと第２のバルブとを備え、
前記第１の流路と前記第２の流路とは、前記第１のバルブを介して接続され、
前記第２の流路と前記第３の流路とは、前記第２のバルブを介して接続されている、
請求項１に記載の処理装置。
前記第１のバルブの開度、および、前記第２のバルブの開度は、可変である、
請求項２に記載の処理装置。
前記第２のバルブ群の開閉状態の切り替えに応じて、前記チラーユニットと前記流路群との間における冷媒の流路が切り替えられる、
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の処理装置。
前記第２のバルブ群は、第３のバルブ、第４のバルブ、第５のバルブ、および、第６のバルブを備え、
前記チラーユニットと前記第３の流路とは、前記第３のバルブを介して接続され、
前記チラーユニットと前記第１の流路とは、前記第４のバルブを介して接続され、
前記第３のバルブと前記第３の流路との間と、前記第４のバルブと前記チラーユニットとの間とは、前記第５のバルブを介して接続され、
前記チラーユニットと前記第３のバルブとの間と、前記第４のバルブと前記第１の流路との間とは、前記第６のバルブを介して接続される、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の処理装置。
圧力調節装置と伝熱空間とを更に備え、
前記伝熱空間は、前記静電チャックと前記冷却台との間に設けられ、前記静電チャックに沿って延在し、
前記圧力調節装置は、前記伝熱空間に接続され、該伝熱空間内の圧力を調節する、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の処理装置。
前記伝熱空間は、複数の領域に気密に分離され、
前記圧力調節装置は、前記複数の領域のそれぞれに接続され、該複数の領域のそれぞれの内部の圧力を調節する、
請求項６に記載の処理装置。
被加工物を載置する載置台であって、
冷媒を出力するチラーユニットに接続され該冷媒を流す配管系に接続されており、該配管系を介して供給される該冷媒を流す冷却台と、
前記冷却台の上に設けられた静電チャックと、
を備え、
前記冷却台は、第１の領域、第２の領域、および、第３の領域と、前記配管系に接続され前記冷媒を流す流路群とを備え、
前記第１の領域、前記第２の領域、および、前記第３の領域は、前記静電チャックの表面に沿って配置され、
前記第１の領域は、前記静電チャックの上から見て、前記冷却台の中央に配置されており、
前記第２の領域は、前記静電チャックの上から見て、前記第１の領域を囲むように配置されており、
前記第３の領域は、前記静電チャックの上から見て、前記第１の領域および前記第２の領域を囲むように配置されており、
前記流路群は、第１の流路、第２の流路、および、第３の流路を備え、
前記第１の流路は、前記第１の領域に配置され、
前記第２の流路は、前記第２の領域に配置され、
前記第３の流路は、前記第３の領域に配置され、
前記配管系は、第１のバルブ群と第２のバルブ群とを備え、
前記流路群において、前記第１の流路と前記第２の流路との間、および、該第２の流路と前記第３の流路との間の何れの間も前記第１のバルブ群を介して接続され、
前記チラーユニットと前記流路群とは、前記第２のバルブ群を介して接続されている、
載置台。