[go: up one dir, main page]

JP2018179840A - Air leak tester and air leak test method - Google Patents

Air leak tester and air leak test method Download PDF

Info

Publication number
JP2018179840A
JP2018179840A JP2017081788A JP2017081788A JP2018179840A JP 2018179840 A JP2018179840 A JP 2018179840A JP 2017081788 A JP2017081788 A JP 2017081788A JP 2017081788 A JP2017081788 A JP 2017081788A JP 2018179840 A JP2018179840 A JP 2018179840A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
control valve
air flow
flow path
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017081788A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
古瀬 昭男
Akio Furuse
昭男 古瀬
敏充 古瀬
Toshimitsu Furuse
敏充 古瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cosmo Instruments Co Ltd
Original Assignee
Cosmo Instruments Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cosmo Instruments Co Ltd filed Critical Cosmo Instruments Co Ltd
Priority to JP2017081788A priority Critical patent/JP2018179840A/en
Publication of JP2018179840A publication Critical patent/JP2018179840A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an outer pressure type air leak tester capable of executing an air leak test of a sealing article without requiring an excessive manufacturing cost and preparing a master.SOLUTION: An air leak tester 1 includes: a constant flow air supply source 290 including a first control valve 221a; a second control valve 223; a work storage chamber 30; a first air channel 23 which communicates the first control valve 221a and the second control valve 223; a second air channel 25 which connects the second control valve 223 and the work storage chamber 30; a pressure sensor 253 connected with the second control valve 223; and a differential pressure sensor 251 connected to the air channel 23 at one end, and connected to the second air channel 25 at the other end. The first control valve 221a connects or intercepts the constant flow air supply source 290 and the first air channel 23, and the second control valve 223 connects or intercepts the first air channel 23 and the second air channel 25.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、エアリークテスタとエアリークテスト方法に関する。   The present invention relates to an air leak tester and an air leak test method.

<外圧式エアリークテスタ>
検査対象物であるワークの外側を加圧する外圧式エアリークテスタとして、例えば特許文献1は定流量型エアリークテスタを公開している。図1は、特許文献1の図3に開示されている定流量型エアリークテスタを示している。
<External pressure type air leak tester>
For example, Patent Document 1 discloses a constant flow rate air leak tester as an external pressure air leak tester that applies pressure to the outside of a workpiece that is an inspection object. FIG. 1 shows a constant flow type air leak tester disclosed in FIG. 3 of Patent Document 1. As shown in FIG.

特許文献1の図3に開示されている定流量型エアリークテスタは、正圧源16と、マニホールドユニット200と、判定制御装置300と、ワークカプセル6Wと、マスターカプセル6Mとを含んでいる。   The constant flow type air leak tester disclosed in FIG. 3 of Patent Document 1 includes a positive pressure source 16, a manifold unit 200, a determination control device 300, a work capsule 6W, and a master capsule 6M.

金属又は樹脂により形成されているマニホールドユニット200は、制御弁50,60と、臨界ノズル9W,9Mと、差圧検出器13と、テスト圧センサ70とを含んでいる。
制御弁50と差圧検出器13と制御弁60は、長方形の表面を有する板状直方体のマニホールドブロック210の上面に、マニホールドブロック210の長さ方向に一列に並んで配置されている。また、マニホールドブロック210の1つの長側面に、テスト圧センサ70が取り付けられている。
A manifold unit 200 formed of metal or resin includes control valves 50 and 60, critical nozzles 9W and 9M, a differential pressure detector 13, and a test pressure sensor 70.
The control valve 50, the differential pressure detector 13, and the control valve 60 are arranged in line in the longitudinal direction of the manifold block 210 on the upper surface of a plate-like rectangular parallelepiped manifold block 210 having a rectangular surface. A test pressure sensor 70 is attached to one long side of the manifold block 210.

正圧源16からの配管11は、マニホールドユニット200内のワーク側配管21Wとマスター側配管21Mに接続されている。ワーク側配管21Wには、ワークカプセル6Wに向かって順に、2方制御弁5’Wと臨界ノズル9Wが直列に挿入されている。マスター側配管21Mにも、マスターカプセル6Mに向かって順に、2方制御弁5’Mと臨界ノズル9Mが直列に挿入されている。臨界ノズル9Wからワークカプセル6Wに向かうワーク側配管21Wと、臨界ノズル9Mからマスターカプセル6Mに向かうマスター側配管21Mと、の間に差圧検出器13が接続されている。更に、配管21W,21Mのそれぞれに2方制御弁19’W,19’Mのそれぞれの一方のポートが接続されており、2方制御弁19’W,19’Mのそれぞれの他方のポートは共通の開放穴26に接続されている。臨界ノズル9Mとマスターカプセル6Mの間において、マスター側配管21Mにテスト圧センサ70が接続されている。なお、テスト圧センサ70は、マスター側配管21Mではなくワーク側配管21Wに接続されていてもよい。ワーク側配管21Wの端部は、ジョイント21JWによって配管41Wを通してワークカプセル6Wに接続されている。マスター側配管21Mの端部は、ジョイント21JMによって配管41Mを通してマスターカプセル6Mに接続されている。   The pipe 11 from the positive pressure source 16 is connected to the work side pipe 21 W and the master side pipe 21 M in the manifold unit 200. A two-way control valve 5'W and a critical nozzle 9W are inserted in series in order toward the work capsule 6W in the work side pipe 21W. Also in the master side pipe 21M, a two-way control valve 5'M and a critical nozzle 9M are sequentially inserted in series toward the master capsule 6M. A differential pressure detector 13 is connected between the work side pipe 21W going from the critical nozzle 9W to the work capsule 6W and the master side pipe 21M going from the critical nozzle 9M to the master capsule 6M. Furthermore, one port of each of the two-way control valves 19'W and 19'M is connected to each of the pipes 21W and 21M, and the other port of each of the two-way control valves 19'W and 19'M is It is connected to a common open hole 26. A test pressure sensor 70 is connected to the master-side pipe 21M between the critical nozzle 9M and the master capsule 6M. The test pressure sensor 70 may be connected to the work side pipe 21W instead of the master side pipe 21M. The end of the work-side pipe 21W is connected to the work capsule 6W through the pipe 41W by a joint 21JW. The end of the master-side pipe 21M is connected to the master capsule 6M through the pipe 41M by a joint 21JM.

判定制御装置300は、制御プログラムに従って、テスト圧センサ70によって検出される実際のテスト圧を観測して2方制御弁5’W,5’M,19’W,19’Mの動作を制御し、かつ、所定のタイミングでの差圧検出器13による検出差圧に基づいてワーク8Wに対する評価を判定し、表示する。   The determination control device 300 observes the actual test pressure detected by the test pressure sensor 70 in accordance with the control program, and controls the operation of the two-way control valves 5 And, based on the differential pressure detected by the differential pressure detector 13 at a predetermined timing, the evaluation on the workpiece 8W is determined and displayed.

特許文献1の図3に開示されている定流量型エアリークテスタの動作原理は、次のとおりである。
まず、ノーマリークローズドの2方制御弁5’W,5’Mを閉状態とし、ノーマリーオープンの2方制御弁19’W,19’Mをそのまま開放状態としてワーク側空気系とマスター側空気系を同じ初期状態(この例では大気圧)とする。
この状態において、ワークカプセル6W内にワーク8Wを収容し、マスターカプセル6M内にワーク8Wと同じ容積を持ち漏れのないマスター8Mを収容する。
The operating principle of the constant flow rate air leak tester disclosed in FIG. 3 of Patent Document 1 is as follows.
First, the normally closed two-way control valves 5'W and 5'M are closed, and the normally open two-way control valves 19'W and 19'M are left open as they are. Let the system be in the same initial state (in this example atmospheric pressure).
In this state, the workpiece 8W is accommodated in the workpiece capsule 6W, and the master 8M having the same volume as the workpiece 8W and having no leak is accommodated in the master capsule 6M.

次に、正圧源16の空気の圧力を臨界圧以上の所望の圧力に設定し、2方制御弁19’W,19’Mを閉状態にした後で、2方制御弁5’W、5’Mを予め決められた時間だけ開放状態にして正圧源16の加圧空気を臨界ノズル9W,9Mを通してワークカプセル6Wとマスターカプセル6Mに供給する。これによって、ワーク側空気系とマスター側空気系にそれぞれ同じ一定流量の空気が注入される。   Next, after setting the air pressure of the positive pressure source 16 to a desired pressure above the critical pressure and closing the two-way control valves 19'W and 19'M, the two-way control valve 5'W, The pressurized air of the positive pressure source 16 is supplied to the work capsule 6W and the master capsule 6M through the critical nozzles 9W and 9M while keeping the 5'M open for a predetermined time. As a result, air having the same constant flow rate is injected into the work-side air system and the master-side air system.

判定制御装置300は差圧検出器13による検出差圧を観測する。ワーク8Wに穴が開いていれば、ワーク8W内に空気が漏れて流入し、ワーク側空隙の総内容積とマスター側空隙の総内容積に差が生じる、つまり、ワーク側空気系の圧力がマスター側空気系の圧力より低くなる。したがって、2方制御弁5’W,5’Mを閉じてから所定期間後に、差圧検出器13によって予め決められた第1の基準値より大きな差圧が検出された場合は、判定制御装置300は「ワーク8Wは大リークを有する」と判定し、テストを終了する。前記所定期間後に第1の基準値より大きな差圧が検出されなかった場合には、判定制御装置300は、その時点で差圧検出器13の検出出力を0にリセットし、検出レンジを感度の高いレンジに切り替えて差圧検出を続行する。判定制御装置300は、所定期間経過後に、検出差圧が第2の基準値以下であれば「ワーク8Wには漏れが無い」と判定し、第2の基準値より大であれば「ワーク8Wは小リークを有する」と判定し、テストを終了する。   The determination control device 300 observes the differential pressure detected by the differential pressure detector 13. If a hole is opened in the workpiece 8W, air leaks into the workpiece 8W, causing a difference between the total internal volume of the work-side gap and the total internal volume of the master-side gap, that is, the pressure of the workpiece-side air system is It becomes lower than the pressure on the master side air system. Therefore, when a differential pressure larger than the first reference value determined in advance by the differential pressure detector 13 is detected after a predetermined period after closing the two-way control valves 5'W and 5'M, the determination control device The test 300 is determined to be "Work 8W has a large leak", and the test is ended. If a differential pressure larger than the first reference value is not detected after the predetermined period, the determination control device 300 resets the detection output of the differential pressure detector 13 to 0 at that time, and the detection range is a sensitivity range. Switch to the high range and continue differential pressure detection. The determination control device 300 determines that “the workpiece 8W has no leak” if the detected differential pressure is equal to or less than the second reference value after the predetermined period has elapsed, and “the workpiece 8W if the detected differential pressure is larger than the second reference value”. Is judged to have a small leak, and the test is ended.

<内圧式エアリークテスタ>
ワークの内側を加圧する内圧式エアリークテスタとして、本願の出願人は、図2に示す機能構成を持つエアリークテスタを製造し販売している。
<Internal pressure type air leak tester>
The applicant of the present invention manufactures and sells an air leak tester having the functional configuration shown in FIG.

図2に示す内圧式エアリークテスタは、エア供給部201と、減圧弁210と、一次側圧力センサ213と、第1の制御弁221と、第2の制御弁223と、第3の制御弁225と、第1のエア流路23と、第2のエア流路25と、第3のエア流路21と、第4のエア流路27と、第5のエア流路29と、差圧検出器251と、圧力センサ253と、判定制御装置300と、マスター接続部41と、ワーク接続部43と、サイレンサー40とを含んでいる。   The internal pressure air leak tester shown in FIG. 2 includes an air supply unit 201, a pressure reducing valve 210, a primary pressure sensor 213, a first control valve 221, a second control valve 223, and a third control valve 225. , First air flow passage 23, second air flow passage 25, third air flow passage 21, fourth air flow passage 27, fifth air flow passage 29, differential pressure detection A pressure sensor 253, a determination control device 300, a master connection portion 41, a work connection portion 43, and a silencer 40 are included.

第1の制御弁221は、一つの吸気ポートと二つの排気ポートを持つノーマリークローズドの空気作動弁である。第3のエア流路21の一端は、第1の制御弁221の吸気ポートに接続している。図示しないエアタンクが接続されるエア供給部201は、第3のエア流路21の他端に取り付けられている。第3のエア流路21には、エア供給部201と第1の制御弁221との間で、一次側圧力の安定を保つ減圧弁210と一次側圧力を計測する一次側圧力センサ213が直列に接続されている。このように、第3のエア流路21は、エア供給部201と第1の制御弁221とを連絡している。第3のエア流路21は例えば金属管である。   The first control valve 221 is a normally closed air operated valve having one intake port and two exhaust ports. One end of the third air flow passage 21 is connected to the intake port of the first control valve 221. An air supply unit 201 to which an air tank (not shown) is connected is attached to the other end of the third air flow passage 21. In the third air flow passage 21, a pressure reducing valve 210 for maintaining the stability of the primary side pressure and a primary side pressure sensor 213 for measuring the primary side pressure are connected in series between the air supply unit 201 and the first control valve 221. It is connected to the. Thus, the third air flow passage 21 communicates the air supply unit 201 with the first control valve 221. The third air channel 21 is, for example, a metal pipe.

第2の制御弁223は、二つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリーオープンの空気作動弁である。第1のエア流路23の一端は第1の制御弁221の一方の排気ポートに接続しており、第1のエア流路23の他端は第2の制御弁223の一方の吸気ポートに接続している。第1のエア流路23は、第1の制御弁221と第2の制御弁223とを連絡する管路の他に二つの管路を持つ。一方の管路の端部には、マスター31が接続するマスター接続部41が取り付けられている。他方の管路の端部は、差圧検出器251の一端に接続している。このように、第1のエア流路23は、第1の制御弁221と第2の制御弁223と差圧検出器251とマスター接続部41とを連絡している。第1のエア流路23は例えば金属管である。   The second control valve 223 is a normally open air operated valve having two intake ports and one exhaust port. One end of the first air passage 23 is connected to one exhaust port of the first control valve 221, and the other end of the first air passage 23 is connected to one intake port of the second control valve 223. Connected The first air flow passage 23 has two pipelines in addition to the pipeline connecting the first control valve 221 and the second control valve 223. A master connection portion 41 to which the master 31 is connected is attached to an end of one of the conduits. The end of the other conduit is connected to one end of the differential pressure detector 251. Thus, the first air flow passage 23 communicates the first control valve 221, the second control valve 223, the differential pressure detector 251, and the master connection portion 41. The first air flow path 23 is, for example, a metal pipe.

第2のエア流路25の一端は第2の制御弁223の他方の吸気ポートに接続している。第2のエア流路25の他端には、ワーク33が接続するワーク接続部43が取り付けられている。第2のエア流路25は、第2の制御弁223とワーク接続部43とを連絡する管路の他に一つの管路を持つ。この管路の端部は、第1の制御弁221の他方の排気ポートに接続している。この管路から、この管路が第2の制御弁223とワーク接続部43とを連絡する管路から分岐する分岐点と第1の制御弁221との間で、一つの管路が分岐している。この管路の他端は、差圧検出器251の他端に接続している。このように、第2のエア流路25は、第1の制御弁221と第2の制御弁223と差圧検出器251とワーク接続部43とを連絡している。第2のエア流路25は例えば金属管である。   One end of the second air flow passage 25 is connected to the other intake port of the second control valve 223. At the other end of the second air flow path 25, a work connection portion 43 to which the work 33 is connected is attached. The second air flow path 25 has one pipe line in addition to the pipe line connecting the second control valve 223 and the work connection portion 43. The end of this conduit is connected to the other exhaust port of the first control valve 221. From this pipe line, one pipe line branches between a branch point at which this pipe line branches from the pipe line connecting the second control valve 223 and the work connection portion 43 and the first control valve 221 ing. The other end of the conduit is connected to the other end of the differential pressure detector 251. Thus, the second air flow path 25 communicates the first control valve 221, the second control valve 223, the differential pressure detector 251, and the work connection portion 43. The second air flow path 25 is, for example, a metal pipe.

第3の制御弁225は、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリーオープンの空気作動弁である。第4のエア流路27の一端は第2の制御弁223の排気ポートに接続しており、第4のエア流路27の他端は第3の制御弁225の吸気ポートに接続している。第4のエア流路27は、第2の制御弁223と第3の制御弁225とを連絡する管路の他に一つの管路を持つ。この管路の端部は、圧力センサ253に接続している。このように、第4のエア流路27は、第2の制御弁223と第3の制御弁225と圧力センサ253とを連絡している。第4のエア流路27は例えば金属管である。   The third control valve 225 is a normally open air operated valve having one intake port and one exhaust port. One end of the fourth air passage 27 is connected to the exhaust port of the second control valve 223, and the other end of the fourth air passage 27 is connected to the intake port of the third control valve 225. . The fourth air flow passage 27 has one conduit in addition to the conduit connecting the second control valve 223 and the third control valve 225. The end of this conduit is connected to a pressure sensor 253. Thus, the fourth air flow path 27 communicates the second control valve 223, the third control valve 225, and the pressure sensor 253. The fourth air passage 27 is, for example, a metal pipe.

第5のエア流路29の一端は第3の制御弁225の排気ポートに接続しており、第5のエア流路29の他端には、エアリークテスタからの排気音を小さくするサイレンサー40が取り付けられている。   One end of the fifth air flow passage 29 is connected to the exhaust port of the third control valve 225, and the other end of the fifth air flow passage 29 has a silencer 40 for reducing the exhaust noise from the air leak tester. It is attached.

上述の構成によると、第1の制御弁221が開放状態の場合、第1の制御弁221はエア供給部201と第1のエア流路23と第2のエア流路25とを連絡する。第1の制御弁221が閉状態の場合、第1の制御弁221は、エア供給部201と第1のエア流路23との連絡を遮断し、同様に、エア供給部201と第2のエア流路25との連絡を遮断する。
第2の制御弁223が開放状態の場合、第2の制御弁223は第1のエア流路23と第2のエア流路25と第4のエア流路27とを連絡する。第2の制御弁223が閉状態の場合、第2の制御弁223は、第1のエア流路23と第4のエア流路27との連絡を遮断し、同様に、第2のエア流路25と第4のエア流路27との連絡を遮断し、さらに、第1のエア流路23と第2のエア流路25との連絡も遮断する。
According to the above-described configuration, when the first control valve 221 is in the open state, the first control valve 221 connects the air supply unit 201, the first air flow path 23, and the second air flow path 25. When the first control valve 221 is in the closed state, the first control valve 221 blocks the communication between the air supply unit 201 and the first air flow passage 23, and similarly, the air supply unit 201 and the second Communication with the air flow path 25 is shut off.
When the second control valve 223 is in the open state, the second control valve 223 connects the first air flow path 23, the second air flow path 25, and the fourth air flow path 27. When the second control valve 223 is in the closed state, the second control valve 223 blocks the communication between the first air flow passage 23 and the fourth air flow passage 27, and similarly, the second air flow The communication between the passage 25 and the fourth air flow passage 27 is cut off, and the communication between the first air flow passage 23 and the second air flow passage 25 is also cut off.

判定制御装置300は、制御プログラムに従って、一次側圧力センサ213によって検出される供給圧と圧力センサ253によって検出されるテスト圧を観測して第1、第2及び第3の制御弁221,223,225の動作を制御し、かつ、所定のタイミングでの差圧検出器251による検出差圧に基づいてワーク33に対する評価を判定し、表示する。   The determination control device 300 observes the supply pressure detected by the primary side pressure sensor 213 and the test pressure detected by the pressure sensor 253 in accordance with the control program to determine the first, second and third control valves 221, 223, The operation of 225 is controlled, and the evaluation on the work 33 is determined and displayed based on the differential pressure detected by the differential pressure detector 251 at a predetermined timing.

図2に示す内圧式エアリークテスタの動作手順は、次のとおりである。
まず、第1の制御弁221を閉状態にし、第2の制御弁223と第3の制御弁225を開放状態にして、第1のエア流路23と、第2のエア流路25と、第4のエア流路27と、第5のエア流路29とを同じ初期状態(この例では大気圧)とする。第3のエア流路21は、減圧弁210によって臨界圧以上の所定圧力に設定されている。
この状態において、マスター接続部41にマスター31が接続され、ワーク接続部43にワーク33が接続される。
The operation procedure of the internal pressure air leak tester shown in FIG. 2 is as follows.
First, the first control valve 221 is closed, and the second control valve 223 and the third control valve 225 are opened, so that the first air flow path 23 and the second air flow path 25; The fourth air flow path 27 and the fifth air flow path 29 are in the same initial state (in this example, atmospheric pressure). The third air flow passage 21 is set to a predetermined pressure equal to or higher than the critical pressure by the pressure reducing valve 210.
In this state, the master 31 is connected to the master connection portion 41, and the work 33 is connected to the work connection portion 43.

次に、第3の制御弁225を閉状態にし第2の制御弁223を開放状態にした後で、第1の制御弁221を予め決められた時間だけ開放状態にして、エア供給部201に接続されているエアタンクの加圧空気を第1のエア流路23と、第2のエア流路25と、第3のエア流路21を通してマスター31とワーク33に供給する。   Next, after the third control valve 225 is closed and the second control valve 223 is opened, the first control valve 221 is opened only for a predetermined time, and the air supply unit 201 is opened. The pressurized air of the connected air tank is supplied to the master 31 and the work 33 through the first air flow path 23, the second air flow path 25, and the third air flow path 21.

次に、第3の制御弁225を閉状態にした状態において、第2の制御弁223を開放状態にしたまま、第1の制御弁221を閉状態にし、予め決められた時間だけ圧力変動の減少を待つ。この間に圧力センサ253が圧力降下を検出した場合、判定制御装置300は「ワーク33は大リークを有する」と判定する。   Next, in a state where the third control valve 225 is closed, the first control valve 221 is closed while the second control valve 223 is in the open state, and the pressure fluctuation is reduced for a predetermined time. Wait for the decline. If the pressure sensor 253 detects a pressure drop during this time, the determination control device 300 determines that “the work 33 has a large leak”.

この工程に続いて、第1の制御弁221と第3の制御弁225を閉状態にしたまま、第2の制御弁223を閉状態にする。判定制御装置300は差圧検出器251による検出差圧を観測する。ワーク33に穴が開いていれば、ワーク33から空気が漏れて、第1のエア流路23とマスター31の圧力と、第2のエア流路25とワーク33の圧力と、に差が生じる、つまり、第2のエア流路25の圧力が第1のエア流路23の圧力より低くなる。したがって、第2の制御弁223を閉じてから所定時間経過後に、差圧検出器251によって予め決められた第1の基準値より大きな差圧が検出された場合は、判定制御装置300は「ワーク33は大リークを有する」と判定し、テストを終了する。上記所定時間経過後に第1の基準値より大きな差圧が検出されなかった場合には、判定制御装置300は、その時点で差圧検出器251の検出出力を0にリセットし、検出レンジを感度の高いレンジに切り替えて差圧検出を続行する。判定制御装置300は、所定時間経過後に、検出差圧が第2の基準値以下であれば「ワーク33には漏れが無い」と判定し、第2の基準値より大であれば「ワーク33は小リークを有する」と判定し、テストを終了する。   Following this step, the second control valve 223 is closed while the first control valve 221 and the third control valve 225 are closed. The determination control device 300 observes the differential pressure detected by the differential pressure detector 251. If a hole is formed in the work 33, air leaks from the work 33, causing a difference between the pressure of the first air flow path 23 and the master 31, and the pressure of the second air flow path 25 and the work 33 That is, the pressure of the second air flow passage 25 becomes lower than the pressure of the first air flow passage 23. Therefore, when a differential pressure greater than the first reference value determined in advance by the differential pressure detector 251 is detected after a predetermined time has elapsed since the second control valve 223 was closed, the determination control device 300 It is determined that "33 has a large leak", and the test ends. If a differential pressure larger than the first reference value is not detected after the predetermined time has elapsed, the determination control device 300 resets the detection output of the differential pressure detector 251 to 0 at that time, and the sensitivity is detected in the detection range. Switch to the high range of and continue differential pressure detection. After a predetermined time has elapsed, the determination control device 300 determines that “the work 33 has no leak” if the detected differential pressure is less than or equal to the second reference value, and “work 33 if it is larger than the second reference value. Is judged to have a small leak, and the test is ended.

特許第5758546号公報Patent No. 5758546 gazette

図1に示す外圧式エアリークテスタは、密封品のエアリークテストに好適であるが、マスターを用意しなければならない。また、図2に示す内圧式エアリークテスタは、ワーク側とマスター側の空隙容積差を計測するものではないので、密封品のエアリークテストを実施できない。
マスターを用意せずに密封品のエアリークテストを実施可能な外圧式エアリークテスタを設計すること自体は不可能ではないが、通常、新規設計のため製造コストが大きく、このコストは販売価格に転嫁されてしまう。
The external pressure air leak tester shown in FIG. 1 is suitable for the air leak test of a sealed product, but a master must be prepared. Further, since the internal pressure air leak tester shown in FIG. 2 does not measure the difference in void volume between the work side and the master side, the air leak test of the sealed product can not be performed.
Although it is not impossible to design an external pressure air leak tester that can perform air leak tests on sealed products without preparing a master, it is usually expensive to manufacture because of the new design, and this cost is transferred to the selling price. It will

このような問題に鑑みて、本発明は、過大な製造コストをかけることなく、マスターを用意せずに密封品のエアリークテストを実施可能な外圧式エアリークテスタと、この外圧式エアリークテスタを用いたエアリークテスト方法を提供することを目的とする。   In view of such problems, the present invention uses an external pressure type air leak tester capable of performing an air leak test of a sealed product without preparing a master and without using an excessive manufacturing cost, and the external pressure type air leak tester. The purpose is to provide an air leak test method.

本発明のエアリークテスタは、第1の制御弁を含む定流量エア供給源と、第2の制御弁と、ワーク収容室と、第1の制御弁と第2の制御弁とを連絡する第1のエア流路と、第2の制御弁とワーク収容室とを連絡する第2のエア流路と、第1のエア流路または第2のエア流路または第2の制御弁に接続されている圧力センサと、一端が第1のエア流路に接続されており他端が第2のエア流路に接続されている差圧センサとを含む。第1の制御弁は、定流量エア供給源と第1のエア流路とを連絡または遮断し、第2の制御弁が、第1のエア流路と第2のエア流路とを連絡または遮断する。   The air leak tester according to the present invention communicates the constant flow rate air supply source including the first control valve, the second control valve, the work storage chamber, and the first control valve and the second control valve. Connected to the first air flow path or the second air flow path or the second control valve, and the second air flow path connecting the second control valve and the work storage chamber And a differential pressure sensor having one end connected to the first air flow path and the other end connected to the second air flow path. The first control valve connects or disconnects the constant flow air supply source and the first air flow path, and the second control valve connects the first air flow path and the second air flow path or Cut off.

また、本発明のエアリークテスト方法は、上記エアリークテスタを用いたエアリークテスト方法であって、a)定流量エア供給源から第1のエア流路と第2のエア流路とワーク収容室にエアを所定時間供給し、ワーク収容室に収容されているワークのリークを圧力センサによって検出する第1リーク検出ステップと、b)第1リーク検出ステップに続いて、第1のエア流路と第2のエア流路とが遮断された状態で、ワーク収容室に収容されているワークのリークを差圧センサによって検出する第2リーク検出ステップとを有する。   The air leak test method according to the present invention is an air leak test method using the air leak tester, wherein a) a constant flow rate air supply source to the first air flow path, the second air flow path, and the air in the work storage chamber. Is supplied for a predetermined time, and a first leak detection step of detecting leaks of the work stored in the work storage chamber by the pressure sensor; b) a first air flow path and a second following the first leak detection step And a second leak detection step of detecting leaks of the work stored in the work storage chamber by the differential pressure sensor in a state where the air flow path is shut off.

本発明に拠れば、過大な製造コストをかけることなく、マスターを用意せずに密封品のエアリークテストを実施できる。   According to the present invention, it is possible to carry out an air leak test of a sealed product without preparing a master without increasing the manufacturing cost.

従来の外圧式エアリークテスタの機能構成例。The functional configuration example of the conventional external pressure type air leak tester. 従来の内圧式エアリークテスタの機能構成例。The functional configuration example of the conventional internal pressure type air leak tester. 本発明の実施形態の機能構成例。The functional configuration example of the embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態の機能構成例。The functional structural example of other embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるエアリークテストの処理フロー。The processing flow of the air leak test in the embodiment of the present invention.

<本発明の要点>
本発明の要点は、既存の内圧式エアリークテスタの構成をわずかに変更して、マスターを用意せずに密封品のエアリークテストを実施可能な外圧式エアリークテスタを実現したことにある。既存の内圧式エアリークテスタが持っている圧力センサは制御弁を制御するタイミングを見計らうために用いられているが、本発明ではこの圧力センサはリーク検出に利用される。
<Point of the present invention>
The main point of the present invention is to realize an external pressure type air leak tester capable of performing an air leak test of a sealed product without preparing a master by slightly changing the configuration of the existing internal pressure type air leak tester. The pressure sensor of the existing internal pressure type air leak tester is used to predict the timing of controlling the control valve, but in the present invention, this pressure sensor is used for leak detection.

<実施形態>
図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図3は、本発明の外圧式エアリークテスタの一実施形態の機能構成を示している。図3に示す外圧式エアリークテスタ1と図2に示す従来の内圧式エアリークテスタとの主要な相違点は、外圧式エアリークテスタ1が第1の制御弁221に替えて第1の制御弁221aを含む点である。このため、図3に示す外圧式エアリークテスタ1と図2に示す従来の内圧式エアリークテスタとにおいて共通の構成要素には、同じ参照符号を割り当てている。図3に示す外圧式エアリークテスタ1は、図2に示す従来の内圧式エアリークテスタの構造をわずかに変更することによって実施可能である。
Embodiment
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 shows a functional configuration of an embodiment of the external pressure air leak tester of the present invention. The main difference between the external pressure air leak tester 1 shown in FIG. 3 and the conventional internal pressure air leak tester shown in FIG. 2 is that the external pressure air leak tester 1 is replaced with the first control valve 221 and the first control valve 221a is replaced. It is a point that contains. For this reason, the same reference numerals are assigned to components common to the external pressure air leak tester 1 shown in FIG. 3 and the conventional internal pressure air leak tester shown in FIG. The external pressure air leak tester 1 shown in FIG. 3 can be implemented by slightly changing the structure of the conventional internal pressure air leak tester shown in FIG.

実施形態の説明では、防塵用フィルタ、オートリークキャリブレーター(差圧変化を漏れ流量変化に変換するための装置)など、実際には使用されるが本発明の実施形態の説明と理解において非本質的な構成要素を省略している。したがって、実施形態の説明で使用している「接続」との用語は、当該「接続」との用語に係る構成要素が直接的に(換言すれば、他の構成要素を介さずに)接続されていることに限定する意味ではなく、実際の必要に応じて、当該「接続」との用語に係る構成要素が間接的に(換言すれば、他の構成要素を介して)接続されている場合も許容することを含意する。   In the description of the embodiment, a dustproof filter, an auto leak calibrator (a device for converting a differential pressure change to a leak flow rate change), etc. are actually used, but are not essential in the description and understanding of the embodiment of the present invention. Components are omitted. Therefore, the term "connected" used in the description of the embodiment means that the components related to the term "connected" are directly connected (in other words, not via other components) When the component related to the term “connection” is connected indirectly (in other words, via another component) according to the actual need. It also implies to allow.

図3に示す外圧式エアリークテスタ1は、エアを定流量で供給する定流量エア供給源290と、第2の制御弁223と、第3の制御弁225と、第1のエア流路23と、第2のエア流路25と、第4のエア流路27と、第5のエア流路29と、差圧検出器251と、圧力センサ253と、判定制御装置300と、ワーク収容室30と、バルブキャップ43と、サイレンサー40とを含んでいる。定流量エア供給源290は、エア供給部201と、減圧弁210と、一次側圧力センサ213と、第3のエア流路21と、第1の制御弁221aとを含んでいる。   The external pressure type air leak tester 1 shown in FIG. 3 includes a constant flow rate air supply source 290 that supplies air at a constant flow rate, a second control valve 223, a third control valve 225, and a first air flow path 23. , Second air flow path 25, fourth air flow path 27, fifth air flow path 29, differential pressure detector 251, pressure sensor 253, determination control device 300, work storage chamber 30 And a valve cap 43 and a silencer 40. The constant flow rate air supply source 290 includes an air supply unit 201, a pressure reducing valve 210, a primary side pressure sensor 213, a third air flow passage 21, and a first control valve 221a.

第1の制御弁221aは、一つの吸気ポートと二つの排気ポートを持つノーマリークローズドの空気作動弁である。図2に示す従来の内圧式エアリークテスタで使用される第1の制御弁221の弁構造は通常のオリフィスプレートを含むが、第1の制御弁221aの弁構造はオリフィスプレートに替えてソニックノズル27a,27b(臨界ノズル、音速ノズルなどとも呼称される)を含む。ソニックノズル27a,27bの一例として、特許文献1に開示される臨界ノズル(ネジ式パイプ)を挙げることができる。φ0.2あるいはφ0.3のネジ式パイプの臨界圧比(一次側圧力に対する二次側圧力の割合)は約0.37であり、この条件下で第1の制御弁221aの排気ポートは定流量のエアを吐出する。図3に示す例では、第1の制御弁221aの一方の排気ポートにソニックノズル27aが取り付けられており、他方の排気ポートにソニックノズル27bが取り付けられている。このため、定流量エア供給源290は、ソニックノズル27a,27bを用いてエアを定流量で供給することが可能である。   The first control valve 221a is a normally closed air operated valve having one intake port and two exhaust ports. The valve structure of the first control valve 221 used in the conventional internal pressure air leak tester shown in FIG. 2 includes a normal orifice plate, but the valve structure of the first control valve 221a is replaced with the orifice plate and the sonic nozzle 27a , 27b (also referred to as critical nozzles, sonic nozzles, etc.). The critical nozzle (screw type pipe) disclosed by patent document 1 can be mentioned as an example of sonic nozzle 27a, 27b. The critical pressure ratio (the ratio of the secondary pressure to the primary pressure) of a threaded pipe of φ0.2 or φ0.3 is about 0.37, and under this condition, the exhaust port of the first control valve 221a is a constant flow air Discharge. In the example shown in FIG. 3, the sonic nozzle 27a is attached to one exhaust port of the first control valve 221a, and the sonic nozzle 27b is attached to the other exhaust port. Therefore, the constant flow rate air supply source 290 can supply air at a constant flow rate using the sonic nozzles 27a and 27b.

第3のエア流路21の一端は、第1の制御弁221aの吸気ポートに接続している。図示しないエアタンクが接続されるエア供給部201は、第3のエア流路21の他端に取り付けられている。第3のエア流路21には、エア供給部201と第1の制御弁221aとの間で、一次側圧力の安定を保つ減圧弁210と一次側圧力を計測する一次側圧力センサ213が直列に接続されている。このように、第3のエア流路21は、エア供給部201と第1の制御弁221aとを連絡している。第3のエア流路21は例えば金属管である。   One end of the third air flow passage 21 is connected to the intake port of the first control valve 221a. An air supply unit 201 to which an air tank (not shown) is connected is attached to the other end of the third air flow passage 21. In the third air flow passage 21, a pressure reducing valve 210 for maintaining the stability of the primary side pressure and a primary side pressure sensor 213 for measuring the primary side pressure are connected in series between the air supply unit 201 and the first control valve 221a. It is connected to the. Thus, the third air flow passage 21 communicates the air supply unit 201 with the first control valve 221a. The third air channel 21 is, for example, a metal pipe.

第2の制御弁223は、二つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリーオープンの空気作動弁である。第1のエア流路23の一端は第1の制御弁221aの一方の排気ポートに接続しており、第1のエア流路23の他端は第2の制御弁223の一方の吸気ポートに接続している。第1のエア流路23は、第1の制御弁221aと第2の制御弁223とを連絡する管路の他に二つの管路を持つ。一方の管路の端部には、バルブキャップ43が取り付けられており、このため、当該一方の管路の端部は封止されている。図3に示す外圧式エアリークテスタ1は、図2に示す従来の内圧式エアリークテスタの構造のわずかな変更(つまり、オリフィスプレートに替えてソニックノズル27a,27bを第1の制御弁221aの弁構造に取り付けること)によって実施されるところ、外圧式エアリークテスタ1ではマスター31が不要であり、当該一方の管路の端部はバルブキャップ43によって封止される必要がある。したがって、当該一方の管路は必須ではないので、図4に示す変形例のように、外圧式エアリークテスタ1は当該一方の管路を含まなくてもよい。他方の管路の端部は、差圧検出器251の一端に接続している。このように、第1のエア流路23は、第1の制御弁221aと第2の制御弁223と差圧検出器251とを連絡している。第1のエア流路23は例えば金属管である。   The second control valve 223 is a normally open air operated valve having two intake ports and one exhaust port. One end of the first air flow path 23 is connected to one exhaust port of the first control valve 221 a, and the other end of the first air flow path 23 is connected to one intake port of the second control valve 223. Connected The first air flow passage 23 has two pipelines in addition to the pipeline connecting the first control valve 221 a and the second control valve 223. A valve cap 43 is attached to an end of one of the conduits, so that the end of the one of the conduits is sealed. The external pressure air leak tester 1 shown in FIG. 3 is a slight modification of the structure of the conventional internal pressure air leak tester shown in FIG. 2 (that is, the sonic nozzle 27a, 27b has a valve structure of the first control valve 221a instead of the orifice plate). In the external pressure type air leak tester 1, the master 31 is not necessary, and the end of the one conduit needs to be sealed by the valve cap 43. Therefore, since the one conduit is not essential, the external pressure air leak tester 1 may not include the one conduit as in the modification shown in FIG. 4. The end of the other conduit is connected to one end of the differential pressure detector 251. Thus, the first air flow path 23 communicates the first control valve 221 a, the second control valve 223, and the differential pressure detector 251. The first air flow path 23 is, for example, a metal pipe.

第2のエア流路25の一端は第2の制御弁223の他方の吸気ポートに接続している。第2のエア流路25の他端には、ワーク33を収容するためのワーク収容室30が取り付けられている。第2のエア流路25は、第2の制御弁223とワーク収容室30とを連絡する管路の他に一つの管路を持つ。この管路の端部は、差圧検出器251の他端に接続している。この管路から、この管路が第2の制御弁223とワーク収容室30とを連絡する管路から分岐する分岐点と差圧検出器251との間で、一つの管路が分岐している。この管路の端部は、第1の制御弁221aの他方の排気ポートに接続している。このように、第2のエア流路25は、第1の制御弁221aと第2の制御弁223と差圧検出器251とワーク収容室30とを連絡している。第2のエア流路25は例えば金属管である。   One end of the second air flow passage 25 is connected to the other intake port of the second control valve 223. At the other end of the second air flow path 25, a work storage chamber 30 for storing a work 33 is attached. The second air flow passage 25 has one conduit in addition to the conduit connecting the second control valve 223 and the work storage chamber 30. The end of this conduit is connected to the other end of the differential pressure detector 251. From this pipe line, a pipe line branches between a branch point at which this pipe line branches from the pipe line connecting the second control valve 223 and the work storage chamber 30, and the differential pressure detector 251. There is. The end of this conduit is connected to the other exhaust port of the first control valve 221a. Thus, the second air flow path 25 communicates the first control valve 221 a, the second control valve 223, the differential pressure detector 251, and the work storage chamber 30. The second air flow path 25 is, for example, a metal pipe.

第3の制御弁225は、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリーオープンの空気作動弁である。第4のエア流路27の一端は第2の制御弁223の排気ポートに接続しており、第4のエア流路27の他端は第3の制御弁225の吸気ポートに接続している。第4のエア流路27は、第2の制御弁223と第3の制御弁225とを連絡する管路の他に一つの管路を持つ。この管路の端部は、圧力センサ253に接続している。このように、第4のエア流路27は、第2の制御弁223と第3の制御弁225と圧力センサ253とを連絡している。第4のエア流路27は例えば金属管である。圧力センサ253を第4のエア流路27を介して第2の制御弁223に接続する構成に限定されず、圧力センサ253は第1のエア流路23または第2のエア流路25に接続される構成も許容される。   The third control valve 225 is a normally open air operated valve having one intake port and one exhaust port. One end of the fourth air passage 27 is connected to the exhaust port of the second control valve 223, and the other end of the fourth air passage 27 is connected to the intake port of the third control valve 225. . The fourth air flow passage 27 has one conduit in addition to the conduit connecting the second control valve 223 and the third control valve 225. The end of this conduit is connected to a pressure sensor 253. Thus, the fourth air flow path 27 communicates the second control valve 223, the third control valve 225, and the pressure sensor 253. The fourth air passage 27 is, for example, a metal pipe. The pressure sensor 253 is not limited to the configuration in which the pressure sensor 253 is connected to the second control valve 223 via the fourth air channel 27, and the pressure sensor 253 is connected to the first air channel 23 or the second air channel 25. Configurations are also acceptable.

第5のエア流路29の一端は第3の制御弁225の排気ポートに接続しており、第5のエア流路29の他端には、外圧式エアリークテスタ1からの排気音を小さくするサイレンサー40が取り付けられている。   One end of the fifth air flow passage 29 is connected to the exhaust port of the third control valve 225, and the other end of the fifth air flow passage 29 reduces the exhaust noise from the external pressure air leak tester 1 A silencer 40 is attached.

上述の構成によると、第1の制御弁221aが開放状態の場合、第1の制御弁221aはエア供給部201と第1のエア流路23と第2のエア流路25とを連絡する。第1の制御弁221aが閉状態の場合、第1の制御弁221aは、エア供給部201と第1のエア流路23との連絡を遮断し、同様に、エア供給部201と第2のエア流路25との連絡を遮断する。
第2の制御弁223が開放状態の場合、第2の制御弁223は第1のエア流路23と第2のエア流路25と第4のエア流路27とを連絡する。第2の制御弁223が閉状態の場合、第2の制御弁223は、第1のエア流路23と第4のエア流路27との連絡を遮断し、同様に、第2のエア流路25と第4のエア流路27との連絡を遮断し、さらに、第1のエア流路23と第2のエア流路25との連絡も遮断する。
第3の制御弁225が開放状態の場合、第3の制御弁225は第4のエア流路27と第5のエア流路29を連絡する。第3の制御弁225が閉状態の場合、第3の制御弁225は、第4のエア流路27と第5のエア流路29との連絡を遮断する。
According to the above-described configuration, when the first control valve 221a is in the open state, the first control valve 221a brings the air supply unit 201, the first air flow passage 23, and the second air flow passage 25 into communication. When the first control valve 221a is in the closed state, the first control valve 221a blocks the communication between the air supply unit 201 and the first air flow passage 23, and similarly, the air supply unit 201 and the second Communication with the air flow path 25 is shut off.
When the second control valve 223 is in the open state, the second control valve 223 connects the first air flow path 23, the second air flow path 25, and the fourth air flow path 27. When the second control valve 223 is in the closed state, the second control valve 223 blocks the communication between the first air flow passage 23 and the fourth air flow passage 27, and similarly, the second air flow The communication between the passage 25 and the fourth air flow passage 27 is cut off, and the communication between the first air flow passage 23 and the second air flow passage 25 is also cut off.
When the third control valve 225 is in the open state, the third control valve 225 establishes communication between the fourth air passage 27 and the fifth air passage 29. When the third control valve 225 is in the closed state, the third control valve 225 blocks communication between the fourth air passage 27 and the fifth air passage 29.

判定制御装置300は、制御プログラムに従って、一次側圧力センサ213によって検出される供給圧と圧力センサ253によって検出されるテスト圧を観測して第1、第2及び第3の制御弁221a,223,225の動作を制御し、かつ、所定のタイミングでの差圧検出器13による検出差圧に基づいてワーク33に対する評価を判定し、この判定結果を表示する。   The determination control device 300 observes the supply pressure detected by the primary side pressure sensor 213 and the test pressure detected by the pressure sensor 253 in accordance with the control program, and determines the first, second and third control valves 221a, 223, The operation of 225 is controlled, and the evaluation on the work 33 is determined based on the differential pressure detected by the differential pressure detector 13 at a predetermined timing, and the determination result is displayed.

図3に示す外圧式エアリークテスタ1によるリークテストの手順は、次のとおりである。
まず、第1の制御弁221aを閉状態にし、第2の制御弁223と第3の制御弁225を開放状態にして、第1のエア流路23と、第2のエア流路25と、第4のエア流路27と、第5のエア流路29とを同じ初期状態(この例では大気圧)とする(ステップS1)。第3のエア流路21は、減圧弁210によって臨界圧以上の所定圧力に設定されている。
この状態において、ワーク収容室30に密封品のワーク33が気密に収容される。
The procedure of the leak test by the external pressure air leak tester 1 shown in FIG. 3 is as follows.
First, the first control valve 221a is closed, and the second control valve 223 and the third control valve 225 are opened, so that the first air flow path 23 and the second air flow path 25; The fourth air flow path 27 and the fifth air flow path 29 are set to the same initial state (in this example, the atmospheric pressure) (step S1). The third air flow passage 21 is set to a predetermined pressure equal to or higher than the critical pressure by the pressure reducing valve 210.
In this state, the work 33 of the sealed product is airtightly stored in the work storage chamber 30.

次に、第2の制御弁223を開放状態にしたまま第3の制御弁225を閉状態にした後で、第1の制御弁221aを予め決められた時間ΔTだけ開放状態にして、エア供給部201に接続されているエアタンクの加圧空気を第1のエア流路23と、第2のエア流路25と、第4のエア流路27と、ワーク収容室30に供給し、ワーク収容室30に収容されているワーク33のリークを圧力センサ253によって検出する(ステップS2)。   Next, after the third control valve 225 is closed with the second control valve 223 kept open, the first control valve 221a is kept open for a predetermined time ΔT to supply air. The pressurized air of the air tank connected to the unit 201 is supplied to the first air passage 23, the second air passage 25, the fourth air passage 27, and the work storage chamber 30, and the work is accommodated. The leak of the work 33 contained in the chamber 30 is detected by the pressure sensor 253 (step S2).

このステップS2では、所定時間ΔTにおける圧力上昇の検出によってリークの有無が判定される。第1の制御弁221aの排気ポートからエアが定流量で供給されるので、圧力センサ253によって計測される二次側圧力の時間に応じた変化は線形性を有する。ワーク33が気密に製造されていない場合、エア供給開始から予め決められた時間ΔTだけ経過した時点の圧力センサ253による圧力測定値は、ワーク33が気密に製造されている場合の圧力測定値と比較して、低い値になる。ただし、ワーク33が気密に製造されている場合の、エア供給開始から予め決められた時間ΔTだけ経過した時点の圧力センサ253による圧力測定値は、外圧式エアリークテスタ1によって予め取得されているものとする。ワーク33が気密に製造されている場合の圧力測定値に基づく第1の基準値を予め定めておくことによって、判定制御装置300は、エア供給開始から所定時間ΔTだけ経過した時点の圧力センサ253による圧力測定値が第1の基準値以下または第1の基準値より低ければ「ワーク33には大きな漏れがある」と判定する。なお、第1の基準値は、ワーク33が気密に製造されている場合の圧力測定値から誤差や圧力変動を見込んだ所定の値を減じた値として定められる。
本実施形態によると、一次側圧力がゲージ圧で300kPaの場合は50kPaまで線形変化する二次側圧力を発生可能であり、一次側圧力がゲージ圧で500kPaの場合は100kPaまで線形変化する二次側圧力を発生可能であり、エア供給時間ΔTは1秒以上5秒以下であるのが好ましい。
In this step S2, the presence or absence of a leak is determined by the detection of a pressure rise in a predetermined time ΔT. Since air is supplied at a constant flow rate from the exhaust port of the first control valve 221a, the change according to time of the secondary side pressure measured by the pressure sensor 253 has linearity. When the work 33 is not airtightly manufactured, the pressure measurement value by the pressure sensor 253 at the time when a predetermined time ΔT has elapsed from the start of air supply is the pressure measurement value when the work 33 is airtightly manufactured. In comparison, it becomes a low value. However, when the workpiece 33 is manufactured airtight, the pressure measurement value by the pressure sensor 253 at the time when a predetermined time ΔT has elapsed from the start of the air supply is obtained in advance by the external pressure air leak tester 1 I assume. By previously setting the first reference value based on the pressure measurement value when the work 33 is airtightly manufactured, the determination control device 300 detects the pressure sensor 253 when a predetermined time ΔT has elapsed from the start of air supply. If the measured pressure value is lower than the first reference value or lower than the first reference value, it is determined that "the work 33 has a large leak". The first reference value is set as a value obtained by subtracting a predetermined value in which an error or a pressure fluctuation is expected from a pressure measurement value when the work 33 is manufactured airtight.
According to this embodiment, when the primary pressure is a gauge pressure of 300 kPa, it is possible to generate a secondary pressure which changes linearly up to 50 kPa, and when the primary pressure is a gauge pressure of 500 kPa, it linearly changes up to 100 kPa. It is preferable that the side pressure can be generated, and the air supply time ΔT is 1 second or more and 5 seconds or less.

また、このような構成によると、第1の制御弁221aの排気ポートからエアが定流量で供給されることで二次側圧力は線形的に変化するから、ワーク33に微小な開口部があったとしても、この開口部を瞬間的なエア供給圧力で封止することなくワーク33の漏れの有無を検出することが可能である。   In addition, according to such a configuration, the secondary side pressure changes linearly by supplying air at a constant flow rate from the exhaust port of the first control valve 221a, so there is a minute opening in the work 33. Even if this is the case, it is possible to detect the presence or absence of the leak of the work 33 without sealing the opening with the instantaneous air supply pressure.

次に、第3の制御弁225を閉状態にしたまま第2の制御弁223を開放状態において、第1の制御弁221aを閉状態にし、予め決められた時間だけ圧力変動の減少を待つ(ステップS3)。この待機時間中でも、判定制御装置300は、圧力センサ253による圧力測定値の変動を観測し、圧力測定値の低下が観測されれば「ワーク33には漏れがある」と判定することが可能である。つまり、このステップS3では、圧力降下の検出によってリークの有無が判定される。   Next, with the third control valve 225 closed, with the second control valve 223 open, the first control valve 221 a is closed, and the pressure fluctuation is waited for a predetermined time period (see FIG. Step S3). Even during this standby time, the judgment control device 300 can observe the fluctuation of the pressure measurement value by the pressure sensor 253, and can judge that “the work 33 has a leak” if a drop in the pressure measurement value is observed. is there. That is, in this step S3, the presence or absence of a leak is determined by the detection of the pressure drop.

ステップS3に続いて、第1の制御弁221aと第3の制御弁225を閉状態にしたまま、第2の制御弁223を閉状態にする。判定制御装置300は、第1のエア流路23と第2のエア流路25とが遮断された状態で、ワーク収容室30に収容されているワーク33のリークを差圧検出器251によって検出する(ステップS4)。このステップS4では、差圧変化の検出によってリークの有無が判定される。
ワーク33に穴が開いていれば、ワーク33に空気が流入し、第2のエア流路25の圧力が第1のエア流路23の圧力より低くなる。したがって、第2の制御弁223を閉じてから所定時間経過後に、差圧検出器251によって予め決められた第2の基準値より大きな差圧が検出された場合は、判定制御装置300は「ワーク33はリークを有する」と判定し、テストを終了する。所定時間経過後に予め定められた第2の基準値より大きな差圧が検出されなかった場合には、判定制御装置300は、その時点で差圧検出器251の検出出力を0にリセットし、検出レンジを感度の高いレンジに切り替えて差圧検出を続行する。判定制御装置300は、所定時間経過後に、検出差圧が予め定められた第3の基準値以下であれば「ワーク33には漏れが無い」と判定し、第3の基準値より大であれば「ワーク33はリークを有する」と判定し、テストを終了する。
Following step S3, the second control valve 223 is closed while the first control valve 221a and the third control valve 225 are closed. In the state where the first air flow passage 23 and the second air flow passage 25 are shut off, the determination control device 300 detects a leak of the work 33 stored in the work storage chamber 30 by the differential pressure detector 251. (Step S4). In step S4, the presence or absence of a leak is determined by detecting a change in differential pressure.
If a hole is formed in the work 33, air flows into the work 33, and the pressure in the second air flow path 25 becomes lower than the pressure in the first air flow path 23. Therefore, if a differential pressure greater than a second reference value predetermined by the differential pressure detector 251 is detected after a predetermined time has elapsed since the second control valve 223 was closed, the determination control device 300 It is determined that “33 has a leak,” and the test is ended. If a differential pressure larger than a predetermined second reference value is not detected after a predetermined time has elapsed, the determination control device 300 resets the detection output of the differential pressure detector 251 to 0 at that time, and performs detection. Switch the range to a range with high sensitivity and continue differential pressure detection. If the detected differential pressure is equal to or less than a predetermined third reference value after a predetermined time has elapsed, the determination control device 300 determines that "the workpiece 33 has no leak", and if it is larger than the third reference value For example, it is determined that "the work 33 has a leak", and the test is ended.

<変形例>
本発明の外圧式エアリークテスタの他の実施形態の機能構成を図4に示す。図4に示す実施形態の外圧式エアリークテスタは、図3に示す実施形態と異なり、第1の制御弁221aに替えて第1の制御弁221bを含んでいる。第1の制御弁221bは、一つの吸気ポートと一つの排気ポートを持つノーマリークローズドの空気作動弁である。第1の制御弁221bの弁構造は従来のオリフィスプレートに替えてソニックノズル27aを含む。図4に示す例では、第1の制御弁221bの排気ポートにソニックノズル27aが取り付けられている。このため、定流量エア供給源290は、ソニックノズル27aを用いて定流量でエアを供給することが可能である。
<Modification>
The functional configuration of another embodiment of the external pressure air leak tester of the present invention is shown in FIG. Unlike the embodiment shown in FIG. 3, the external pressure air leak tester of the embodiment shown in FIG. 4 includes a first control valve 221b instead of the first control valve 221a. The first control valve 221 b is a normally closed air operated valve having one intake port and one exhaust port. The valve structure of the first control valve 221b includes a sonic nozzle 27a instead of the conventional orifice plate. In the example shown in FIG. 4, the sonic nozzle 27a is attached to the exhaust port of the first control valve 221b. Therefore, the constant flow rate air supply source 290 can supply air at a constant flow rate using the sonic nozzle 27a.

図4に示す構成では、第1のエア流路23の一端は第1の制御弁221bの排気ポートに接続している。また、図4に示す構成では、図3に示す構成と異なり、第2の制御弁223とワーク収容室30とを連絡する管路から分岐する管路は、第1の制御弁221bに向かう分岐管路を持たない。   In the configuration shown in FIG. 4, one end of the first air flow path 23 is connected to the exhaust port of the first control valve 221 b. Further, in the configuration shown in FIG. 4, unlike the configuration shown in FIG. 3, the pipe branch from the pipe connecting the second control valve 223 and the work storage chamber 30 is a branch directed to the first control valve 221 b There is no pipeline.

<補遺>
明細書と特許請求の範囲では、用語「含む」とその語形変化は非排他的表現として使用されている。例えば、「XはAとBを含む」という文は、XがAとB以外のものを含むことを否定しない。ただし、当該用語またはその語形変化が否定辞と結合した場合はその限りではない。例えば、「XはAとBを含まない」という文は、XがAとB以外のものを含む可能性を認めている。
Addendum
In the description and the claims, the term "comprise" and its variations are used as non-exclusive representations. For example, the sentence "X contains A and B" does not deny that X contains anything other than A and B. However, this is not the case when the term or its inflection is combined with a negative word. For example, the sentence "X does not contain A and B" admits that X may contain more than A and B.

上述の説明における「第○」との用語は、実施形態の構成を明確に説明するために使用した用語である。当該用語それ自体によって、つまり、構成要素の序列それ自体によって、本発明は限定されるものではない。また、当該用語の使用は、そのような限定を意図するものでもない。   The term ".smallcircle." In the above description is a term used to clearly describe the configuration of the embodiment. The present invention is not limited by the term itself, that is, by the order of components itself. Nor is the use of the term intended for such limitation.

以上、本発明の実施形態について説明したが、当業者にとって、本発明が本明細書中で説明された実施形態に限定されないことは明らかである。本発明は、特許請求の範囲の記載によって定まる本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく修正及び変更態様として実施され得る。本明細書の記載は、例示説明を目的とするものであり、特段の断りが無い限り、本発明に対して何ら制限的な意味を有しない。   While the embodiments of the present invention have been described above, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention is not limited to the embodiments described herein. The present invention can be embodied as modifications and alterations without departing from the spirit and scope of the present invention defined by the description of the claims. The description of the present specification is for the purpose of illustration and does not have any limiting meaning with respect to the present invention unless otherwise specified.

Claims (4)

第1の制御弁を含む定流量エア供給源と、
第2の制御弁と、
ワーク収容室と、
上記第1の制御弁と上記第2の制御弁とを連絡する第1のエア流路と、
上記第2の制御弁と上記ワーク収容室とを連絡する第2のエア流路と、
上記第1のエア流路または上記第2のエア流路または上記第2の制御弁に接続されている圧力センサと、
一端が上記第1のエア流路に接続されており他端が上記第2のエア流路に接続されている差圧センサと
を含み、
上記第1の制御弁が、上記定流量エア供給源と上記第1のエア流路とを連絡または遮断し、
上記第2の制御弁が、上記第1のエア流路と上記第2のエア流路とを連絡または遮断する
エアリークテスタ。
A constant flow air source including a first control valve;
A second control valve,
A work storage room,
A first air passage communicating between the first control valve and the second control valve;
A second air flow passage communicating the second control valve with the work storage chamber;
A pressure sensor connected to the first air flow path or the second air flow path or the second control valve;
A differential pressure sensor connected at one end to the first air flow path and at the other end to the second air flow path;
The first control valve communicates or shuts off the constant flow air supply source and the first air flow path,
An air leak tester, wherein the second control valve connects or shuts off the first air flow path and the second air flow path.
請求項1に記載のエアリークテスタにおいて、
上記定流量エア供給源は、ソニックノズルを用いて定流量でエアを供給する
ことを特徴とするエアリークテスタ。
In the air leak tester according to claim 1,
An air leak tester characterized in that the constant flow rate air supply source supplies air at a constant flow rate using a sonic nozzle.
請求項2に記載のエアリークテスタにおいて、
上記ソニックノズルは、上記第1の制御弁の弁構造に組み込まれている
ことを特徴とするエアリークテスタ。
In the air leak tester according to claim 2,
An air leak tester characterized in that the sonic nozzle is incorporated in the valve structure of the first control valve.
第1の制御弁を含む定流量エア供給源と、
第2の制御弁と、
ワーク収容室と、
上記第1の制御弁と上記第2の制御弁とを連絡する第1のエア流路と、
上記第2の制御弁と上記ワーク収容室とを連絡する第2のエア流路と、
上記第1のエア流路または上記第2のエア流路または上記第2の制御弁に接続されている圧力センサと、
一端が上記第1のエア流路に接続されており他端が上記第2のエア流路に接続されている差圧センサと
を含み、
上記第1の制御弁が、上記定流量エア供給源と上記第1のエア流路とを連絡または遮断し、
上記第2の制御弁が、上記第1のエア流路と上記第2のエア流路とを連絡または遮断する
エアリークテスタを用いたエアリークテスト方法であって、
a)上記定流量エア供給源から上記第1のエア流路と上記第2のエア流路と上記ワーク収容室にエアを所定時間供給し、上記ワーク収容室に収容されているワークのリークを上記圧力センサによって検出する第1リーク検出ステップと、
b)第1リーク検出ステップに続いて、上記第1のエア流路と上記第2のエア流路とが遮断された状態で、上記ワーク収容室に収容されているワークのリークを上記差圧センサによって検出する第2リーク検出ステップと、
を有するエアリークテスト方法。
A constant flow air source including a first control valve;
A second control valve,
A work storage room,
A first air passage communicating between the first control valve and the second control valve;
A second air flow passage communicating the second control valve with the work storage chamber;
A pressure sensor connected to the first air flow path or the second air flow path or the second control valve;
A differential pressure sensor connected at one end to the first air flow path and at the other end to the second air flow path;
The first control valve communicates or shuts off the constant flow air supply source and the first air flow path,
An air leak test method using an air leak tester, wherein the second control valve connects or shuts off the first air flow path and the second air flow path.
a) Air is supplied from the constant flow air supply source to the first air flow path, the second air flow path, and the work storage chamber for a predetermined time, and the leak of the work stored in the work storage chamber is A first leak detection step detected by the pressure sensor;
b) Following the first leak detection step, with the first air flow path and the second air flow path blocked, the leak of the work stored in the work storage chamber is reduced to the pressure difference. A second leak detection step detected by a sensor;
Have an air leak test method.
JP2017081788A 2017-04-18 2017-04-18 Air leak tester and air leak test method Pending JP2018179840A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017081788A JP2018179840A (en) 2017-04-18 2017-04-18 Air leak tester and air leak test method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017081788A JP2018179840A (en) 2017-04-18 2017-04-18 Air leak tester and air leak test method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2018179840A true JP2018179840A (en) 2018-11-15

Family

ID=64276476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017081788A Pending JP2018179840A (en) 2017-04-18 2017-04-18 Air leak tester and air leak test method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2018179840A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110057507A (en) * 2019-06-04 2019-07-26 国电联合动力技术有限公司 The sealing property testing system and method for marine tidal-current energy generator group
CN111379005A (en) * 2018-12-28 2020-07-07 株式会社荏原制作所 Leak inspection method, leak inspection apparatus, plating method, and plating apparatus
CN111579155A (en) * 2020-06-18 2020-08-25 北京迈世高科电子技术有限公司 Airtight appearance inspection frock
CN114184333A (en) * 2020-09-14 2022-03-15 株式会社科思莫计器 Gas leak detection device, detection setting method, detection method, and program
TWI833424B (en) * 2022-11-07 2024-02-21 和碩聯合科技股份有限公司 Detection apparatus for pressure leakage

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111379005A (en) * 2018-12-28 2020-07-07 株式会社荏原制作所 Leak inspection method, leak inspection apparatus, plating method, and plating apparatus
JP2020105616A (en) * 2018-12-28 2020-07-09 株式会社荏原製作所 Leak inspection method, leak inspection device, plating method, and plating device
JP7175187B2 (en) 2018-12-28 2022-11-18 株式会社荏原製作所 Plating method
US11686647B2 (en) 2018-12-28 2023-06-27 Ebara Corporation Leak check method, leak check apparatus, plating method, and plating apparatus
TWI819166B (en) * 2018-12-28 2023-10-21 日商荏原製作所股份有限公司 Plating method
CN111379005B (en) * 2018-12-28 2024-06-07 株式会社荏原制作所 Leakage inspection method, leakage inspection device, electroplating method, and electroplating device
CN110057507A (en) * 2019-06-04 2019-07-26 国电联合动力技术有限公司 The sealing property testing system and method for marine tidal-current energy generator group
CN111579155A (en) * 2020-06-18 2020-08-25 北京迈世高科电子技术有限公司 Airtight appearance inspection frock
CN114184333A (en) * 2020-09-14 2022-03-15 株式会社科思莫计器 Gas leak detection device, detection setting method, detection method, and program
JP2022047607A (en) * 2020-09-14 2022-03-25 株式会社コスモ計器 Gas leakage detection device, setting method of gas leakage detection, gas leakage detection method, and program
CN114184333B (en) * 2020-09-14 2024-04-05 株式会社科思莫计器 Gas leakage detection device, gas leakage detection setting method, gas leakage detection method, and storage medium
TWI833424B (en) * 2022-11-07 2024-02-21 和碩聯合科技股份有限公司 Detection apparatus for pressure leakage

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018179840A (en) Air leak tester and air leak test method
JP6636044B2 (en) Leak inspection apparatus and method
CN103502902B (en) With the method for disposal when pressure flow-rate controller of flow monitor, the method for detecting abnormality using the fluid feed system of this device and monitoring Traffic Anomaly
JP4866682B2 (en) Abnormality detection method for fluid supply system using flow control device with pressure sensor
SG191758A1 (en) Flow rate measurement device and flow rate measurement method of flow rate controller for gas feeder
TW201314402A (en) Gas flow rate verification system and gas flow rate verification unit
JP6934099B1 (en) Gas leak detector, gas leak detection setting method, gas leak detection method, program
KR102162046B1 (en) Flow measurement method and flow measurement device
JP5620184B2 (en) Leak inspection apparatus and leak inspection method
KR102271832B1 (en) Gas leak test system with multi-test function
JP6650166B2 (en) Gas supply device capable of measuring flow rate, flow meter, and flow rate measuring method
KR20110056880A (en) Air tightness inspection device and method using pressure balance
KR20220081032A (en) Performance test system and test method for valve
TWI592642B (en) Gas tightness detecting method and gas tightness detecting device
JP2021110594A (en) Inspection method for gas leakage detector, gas leakage inspection method, and gas leakage detector
JP6650734B2 (en) Volume measurement method and airtightness / leakage test method using it
KR101439919B1 (en) Airtight inspection apparatus
JP4364218B2 (en) Leak inspection method and leak inspection apparatus
JP6826451B2 (en) Gas piping system
US20170075361A1 (en) Method of inspecting gas supply system
KR101818159B1 (en) Safety Manifold Valve
JP2006275906A (en) Leakage inspection method and apparatus
JP2017067714A (en) Leakage inspection device and method
CN100416252C (en) A method for detecting the leakage rate of the gas circuit cabinet of the etching machine
JP6770388B2 (en) Leakage element evaluation device and evaluation method