JP2018173374A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査時間が最短となるように検査を行う。【解決手段】Ｘ線検査装置（１）は、複数の検査内容を記憶するデータ記憶部（４１０）と、検査時間が最短となるように、データ記憶部（４１０）に記憶された複数の検査内容に基づきＸ線検査装置（１）で検査する検査内容の順序を最適化する最適化部（４２０）とを備える。【選択図】図１

Description

本発明はＸ線検査装置に関する。

特許文献１には、コンベアで搬送されてきた被検査物をＸ線により検査するＸ線検査装置が開示されている。特許文献１のＸ線検査装置は、被検査物にＸ線を照射する照射部と、Ｘ線が照射された被検査物のＸ線透過画像を撮像する撮像部とを備えている。

特開２０１６−００２６３２号公報（２０１６年１月１２日公開）

上記のような従来のＸ線検査装置では、複数の検査を行う場合、ユーザは検査順序の変更などを行い、検査時間が最短となるように試行錯誤して検査順序を決定する。ユーザは決定した検査順序を、Ｘ線検査装置に手動で設定して検査を行う。よって、上記Ｘ線検査装置では、検査順序を変更するとき、ユーザが検査順序を再度設定する必要がある。また、一部の検査の削除または新たな検査の追加を行うとき、ユーザが検査順序を再度設定する必要がある。このように、上記Ｘ線検査装置では、検査を行うとき、ユーザが検査順序を設定する必要があり、作業が煩雑になるという問題がある。

本発明の一態様は、検査時間が最短となるように検査を行うことを目的とする。

照射部から被検査物にＸ線を照射して得られるＸ線透過画像を用いて前記被検査物を検査するＸ線検査装置であって、複数の検査内容を記憶するデータ記憶部と、検査時間が最短となるように、前記データ記憶部に記憶された複数の検査内容に基づき前記Ｘ線検査装置で検査する検査内容の順序を最適化する最適化部とを備える。

上記構成によれば、最適化部は、検査時間が最短となるように、データ記憶部に記憶された複数の検査内容に基づきＸ線検査装置で検査する検査内容の順序を最適化する。これにより、Ｘ線検査装置に複数の検査内容の順序を予め記憶することなく、検査時間が最短となるように複数の検査を行うことができる。また、一部の検査の削除または新たな検査の追加を行っても、最適化部が検査内容の順序を最適化するので、ユーザが検査内容の順序を再度設定することなく、複数の検査を行うことができる。

前記複数の検査内容の各々は、各検査における、前記照射部の位置、前記Ｘ線透過画像を撮像する撮像部の位置、前記被検査物の位置、前記照射部のＸ線出力値、前記Ｘ線透過画像の撮像時間及び前記Ｘ線透過画像の画像処理時間を含んでもよい。

前記最適化部は、前記照射部のＸ線出力値が昇順または降順となるように、前記順序を最適化してもよい。

上記構成によれば、最適化部は、照射部のＸ線出力値が昇順または降順となるように、検査内容の順序を最適化するので、照射部のＸ線出力値の増減が少なくなる。このため、照射部への負担を軽減することができる。また、照射部のＸ線出力値が調整され易くなる。

前記複数の検査内容の各々は、各検査における検査基準を含み、前記最適化部は、最も厳しい検査基準の検査内容を最先としてもよい。

上記構成によれば、最適化部は、最も厳しい検査基準の検査内容を最先とする。この場合、最も厳しい検査基準の検査内容の検査において被検査物が検査基準に満たなかったとき、当該検査より後に行われる検査を中止するものとする。このとき、最も厳しい検査基準の検査内容を最先とすることで、当該検査において被検査物が検査基準に満たなかったとき、検査時間を短縮することができる。

本発明の一態様によれば、検査時間が最短となるように検査を行うことができるという効果を奏する。

本発明の実施形態１に係るＸ線検査装置を示すブロック図である。 図１に示すＸ線検査装置の構造を示す斜視図である。 図１に示すＸ線検査装置において内部構造を示す、一部を切り欠いた斜視図である。 図１に示すＸ線検査装置における検査内容の順序を示す模式図である。 コンベアに図１に示すＸ線検査装置が取り付けられている状態を示す図である。（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、前面図である。 本発明の実施形態３に係るＸ線検査装置を示すブロック図である。

〔実施形態１〕
以下、本発明の実施形態について、図１から図５に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態１に係るＸ線検査装置１を示すブロック図である。図２は、Ｘ線検査装置１の構造を示す斜視図である。図３は、本体部１０において内部構造を示す、一部を切り欠いた斜視図である。Ｘ線検査装置１は、図２に示すように、本体部１０及び着脱部２０を備えている。着脱部２０は、本体部１０に着脱する。

（本体部１０の構成）
本体部１０の構成について、図２に基づいて説明する。本体部１０は、図２に示すように、警報器１１０、タッチパネル１２０（表示部）、右側凸部１３０、左側凸部１４０、検査室１５０、本体部キャスター１６０、及び本体部支持脚１７０を備えている。なお、本体部１０の説明では、検査室１５０から着脱部２０に向かう方向を前方と称し、着脱部２０から検査室１５０に向かう方向を後方と称する。

警報器１１０は、音によって警報等を通知するスピーカ等の音出力装置であってもよい。また、警報器１１０は、光によって警報等を通知するパトライト（登録商標）やＬＥＤ等の発光装置であってもよい。このように、警報器１１０は、警報等をユーザに通知することができるものであればよく、公知の構成を適用することができる。

タッチパネル１２０は、本体部１０の上部前面に設けられている。タッチパネル１２０は、フルドット表示の液晶ディスプレイで構成され、そこに表示される設定画面を操作することにより、本体部１０の起動、停止、必要な運転条件の設定、及び検査条件の設定等ができるようになっている。運転開始前の初期画面では、例えば、照射部３１０（後述する）のＸ線の強度を設定することができる。運転開始後の画面では、例えば、Ｘ線透過画像を処理するときの検出感度を設定することができるようになっている。タッチパネル１２０は、必要に応じて、欠品検査、異物検査、及び割れ欠け検査等の検査項目とその検査条件とを設定することができる。また、タッチパネル１２０には、被検査物Ａ１にＸ線を照射したときのＸ線透過画像が表示されるようになっている。

右側凸部１３０は、本体部１０の右側側面から突出して設けられており、本体部１０の右側側面の中央に設けられている。なお、右側凸部１３０は、本体部１０の右側側面であれば、どこに設けられていてもよい。右側凸部１３０の先端面１３１には、切り欠き部１３２が形成されている。また、右側凸部１３０の形状は、右側凸部１３０の前面側の中央部分は空間になっている。着脱部２０の右側板部２２０は右側凸部１３０に取り付けられている。右側板部２２０が右側凸部１３０から取り外されると、右側凸部１３０の前面側の中央部分は、空間になる。

左側凸部１４０、先端面１４１、及び切り欠き部１４２の形状及び位置はそれぞれ、右側凸部１３０、先端面１３１、及び切り欠き部１３２の形状及び位置と左右対称になっている。左右対称とは、本体部１０の前面側から見て、左右対称という意味である。

本体部１０に右側凸部１３０及び左側凸部１４０が設けられていることにより、照射部３１０（後述する）から照射されるＸ線が検査室１５０の外部に漏洩し難くすることができる。具体的には、照射部３１０と切り欠き部１３２との間、及び照射部３１０と切り欠き部１４２との間の距離が大きくなるため、Ｘ線が検査室１５０の外部に漏洩し難くなる。本体部１０の前面側から見て、右側凸部１３０は右側に、左側凸部１４０は左側に、さらに長いものであってもよい。これにより、照射部３１０と切り欠き部１３２との間、及び照射部３１０と切り欠き部１４２との間の距離がさらに大きくなるため、Ｘ線が検査室１５０の外部に、より漏洩し難くすることができる。

また、切り欠き部１３２の上部及び切り欠き部１４２の上部に含鉛カーテン（図示せず）を取り付けることにより、Ｘ線が検査室１５０の外部に漏洩することを防ぐことができる。なお、検査室１５０の外部にＸ線が漏洩することを防ぐことができれば、含鉛カーテンの設置場所は、特に限定されない。

検査室１５０は、入口と出口とを有する。本体部１０に被検査物Ａ１が右側から入り、左側から出ていくものとすると、検査室１５０の入口は右側板部２２０と切り欠き部１３２との間に形成され、検査室１５０の出口は左側板部２３０と切り欠き部１４２との間に形成される。切り欠き部１３２と切り欠き部１４２とは互いに対向しており、それらの開口面は互いに平行である。また、検査室１５０は、本体部１０の、凹んだ形状の部分に該当する。検査室１５０の下側には、Ｘ線を照射する照射部３１０が設置されている。検査室１５０の上側には、照射部３１０から照射されたＸ線を受光する撮像部３２０が設置されている。撮像部３２０の例として、フラットパネルディテクタ、Ｘ線イメージインテンシファイア、Ｘ線ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）カメラ、アモルファスシリコンカメラ、アモルファスセレンカメラ、ＣｄＴｅｘ線カメラ、Ｘ線蛍光カメラ、Ｘ線フィルム、イメージングプレート、Ｘ線ラインセンサ、及びＸ線ＴＤＩ（Time Delay Integration）カメラなどが挙げられる。また、撮像部３２０には、これら以外のものを用いてもよい。

また、Ｘ線が撮像部３２０に照射されることで、Ｘ線は撮像部３２０により画像信号に変換される。撮像部３２０により変換された画像信号は、本体部１０に内蔵のコンピュータ（図示せず）に入力されてＸ線透過画像に成形され、そのＸ線透過画像に基づいて種々の検査が行われる。なお、撮像部３２０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸といった駆動軸に沿って駆動される。照射部３１０は、Ｙ軸、Ｚ軸、及びθ軸といった駆動軸に沿って駆動される。Ｘ軸は、地面に対して平行であり、かつ、本体部１０の正面から見て左右方向の軸である。Ｙ軸は、地面に対して平行であり、かつ、本体部１０の正面から見て前後方向の軸である。Ｚ軸は、地面に対して垂直であり、かつ、本体部１０の上下方向の軸である。θ軸は、Ｚ軸からＹ軸に向かう方向に４５度回転する回転軸である。照射部３１０及び撮像部３２０において、それらの配置や駆動軸の構成は、本体部１０が被検査物Ａ１を検査することが可能であれば、特に限定されない。上記のように、照射部３１０及び撮像部３２０を駆動させることにより、照射部３１０は、被検査物Ａ１に対して、ずれることなく正確にＸ線を照射することができる。

本体部キャスター１６０は、本体部１０の底面に取り付けられている。本体部キャスター１６０は、本体部１０が移動することができるように、車輪を備えている。また、本体部１０の底面には、本体部１０を支持する本体部支持脚１７０が取り付けられている。本体部支持脚１７０は、本体部支持脚１７０の高さの調整が可能な構造になっており、その高さを大きくすることで、本体部キャスター１６０を地面から浮かせる。これにより、本体部１０は地面に対して移動することがなくなる。

（着脱部２０の構成）
着脱部２０の構成について、図２に基づいて説明する。着脱部２０は、図２に示すように、開閉扉２１０、窓部２１１、第１取っ手部２１２、第２取っ手部２２１・２２２、第３取っ手部２３１・２３２、上側板部２４０、下側板部２５０、第１支持部２６０、着脱部キャスター２７０、及び第２支持部２８０（図示せず）を備えている。また、着脱部２０は、本体部１０の前面下部に取り付けられている。

開閉扉２１０は、図２に示すように、第１取っ手部２１２を有し、左側を中心として回転することにより開閉することが可能である。開閉扉２１０は検査室１５０側とは反対側に開く。着脱部２０が本体部１０に取り付けられている、かつ、開閉扉２１０が閉まっている場合、開閉扉２１０は、本体部１０の検査室１５０に対向する。また、開閉扉２１０は、前面の中央に窓部２１１を有する。

第１取っ手部２１２は、開閉扉２１０の前面の右側中央に取り付けられており、ユーザが開閉扉２１０の開閉を行う場合、ユーザは第１取っ手部２１２を掴みながら開閉扉２１０の開閉を行う。

右側板部２２０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の右側に取り付けられている。右側板部２２０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。また、右側板部２２０の背面と、右側凸部１３０とが合わさるように、右側板部２２０は、右側凸部１３０に取り付けられる。右側板部２２０は、第２取っ手部２２１・２２２を備えている。第２取っ手部２２１・２２２は、右側板部２２０の前面に取り付けられている。ユーザが右側板部２２０を取り外す場合、ユーザは第２取っ手部２２１・２２２のどちらかを掴みながら、右側板部２２０を取り外す。図２では、第２取っ手部２２１・２２２が取り付けられているが、第２取っ手部の個数については特に限定されない。

左側板部２３０及び第３取っ手部２３１・２３２は、右側板部２２０及び第２取っ手部２２１・２２２と左右対称になっている。左右対称とは、本体部１０の前面側から見て、左右対称という意味である。

上側板部２４０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の上側に取り付けられている。上側板部２４０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。下側板部２５０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の下側に取り付けられている。下側板部２５０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。

第１支持部２６０は、着脱部２０が単独で直立することができるようにするための部材である。第１支持部２６０は、長方形の枠の形状を有する。第１支持部２６０は、地面に対して平行である。

着脱部キャスター２７０は、第１支持部２６０の底面に取り付けられている。着脱部キャスター２７０は、着脱部２０が移動することができるように、車輪を備えている。また、着脱部２０の底面には、着脱部支持脚２９０（図示せず）が取り付けられている。着脱部支持脚２９０は、着脱部支持脚２９０の高さの調整が可能な構造になっており、その高さを大きくすることで、着脱部支持脚２９０は地面に接する。これにより、着脱部２０は地面に対して移動することがなくなる。

（本体部１０の内部の構成）
次に、本体部１０の内部の構成について、図１に基づいて説明する。本体部１０は、図１に示すように、照射部３１０、撮像部３２０、ステージ３３０、第１移動部３４０、第２移動部３５０、第３移動部３６０、電源回路３７０、及び制御装置３００を備えている。本体部１０は、照射部３１０から被検査物Ａ１にＸ線を照射して得られるＸ線透過画像を用いて被検査物Ａ１を検査する。

照射部３１０は、被検査物Ａ１に対してＸ線を照射する。照射部３１０には、Ｘ線を発生させるＸ線源（例えば、Ｘ線管）を用いる。照射部３１０は、図３に示すように、検査室１５０の下側に設けられている。

撮像部３２０は、照射部３１０から照射して得られる、被検査物Ａ１のＸ線透過画像を撮像する。撮像部３２０は、撮像したＸ線透過画像をデータ記憶部４１０に供給する。また、撮像部３２０は、図３に示すように、検査室１５０の上側に設けられている。

電源回路３７０は、照射部３１０を駆動させる電源回路であり、照射部３１０と接続されている。

制御装置３００は、画像処理部３８０、変更制御部３９０、位置制御部４００、データ記憶部４１０、最適化部４２０、及び検査実行部４３０を備えている。制御装置３００は、検査を行うように、照射部３１０及び撮像部３２０を制御する。

変更制御部３９０は、照射部３１０が照射するＸ線の出力値を変更するように電源回路３７０に指示する。電源回路３７０は、変更制御部３９０からの指示に従い、照射部３１０が照射するＸ線の出力値を変更する。また、変更制御部３９０は、画像処理の内容を変更するように画像処理部３８０に指示する。変更制御部３９０は、変更したＸ線の出力値、及び画像処理の内容をデータ記憶部４１０に格納する。

位置制御部４００は、第１移動部３４０を用いて、検査室１５０内において、照射部３１０の位置を変更する。具体的には、位置制御部４００は、照射部３１０の位置を変更するように第１移動部３４０に指示する。第１移動部３４０は、位置制御部４００からの指示に従い、照射部３１０の位置を移動させる。また、位置制御部４００は、照射部３１０の位置を移動させるのと同様に、第２移動部３５０を用いて、検査室１５０内において、撮像部３２０の位置を変更する。さらに、位置制御部４００は、照射部３１０の位置を移動させるのと同様に、第３移動部３６０を用いて、検査室１５０内において、ステージ３３０の位置を変更する。ステージ３３０は、被検査物Ａ１を乗せるための台である。位置制御部４００は、ステージ３３０の位置を変更することで、被検査物Ａ１の位置を変更する。

これにより、照射部３１０は、検査室１５０内の様々な位置でＸ線を照射することができる。また、撮像部３２０は、検査室１５０内の様々な位置でＸ線透過画像を撮像することができる。さらに、被検査物Ａ１を様々な位置に配置することができる。

位置制御部４００は、変更された、照射部３１０、撮像部３２０、及びステージ３３０の位置の情報をデータ記憶部４１０に格納する。第１移動部３４０、第２移動部３５０、及び第３移動部３６０の構造はそれぞれ、照射部３１０、撮像部３２０、及びステージ３３０の位置を変更することができれば、特に限定されない。例えば、第１移動部３４０、第２移動部３５０、及び第３移動部３６０はそれぞれ、照射部３１０、撮像部３２０、及びステージ３３０の位置を変更する機構である。

データ記憶部４１０は、Ｘ線検査装置１によって行われる複数の検査内容を記憶する。具体的には、ユーザは、Ｘ線検査装置１にＰＣ（Personal Computer）を接続し、ＰＣに複数の検査内容を入力する。ＰＣは、入力された複数の検査内容を制御装置３００に供給する。制御装置３００は、供給された複数の検査内容をデータ記憶部４１０に格納する。複数の検査内容は、ＰＣにより入力されるため、複数の検査内容の入力は、キーボード及びマウスにより行われてもよく、ＰＣが備えるタッチパネルにより行われてもよい。また、Ｘ線検査装置１にＰＣを接続せずに、ユーザがタッチパネル１２０に複数の検査内容を入力することで、制御装置３００に複数の検査内容が入力される。制御装置３００は、入力された複数の検査内容をデータ記憶部４１０に格納してもよい。データ記憶部４１０は、複数の検査内容において、照射部３１０、撮像部３２０、及びステージ３３０の位置を記憶する。また、データ記憶部４１０は、複数の検査内容において、照射部３１０のＸ線出力値、撮像部３２０が撮像するＸ線透過画像の画像処理時間を記憶する。つまり、複数の検査内容の各々は、各検査における、照射部３１０の位置、撮像部３２０の位置、被検査物Ａ１の位置、照射部３１０のＸ線出力値、及びＸ線透過画像の画像処理時間を含む。さらに、データ記憶部４１０は、撮像部３２０によって撮像されたＸ線透過画像を記憶する。例えば、データ記憶部４１０には、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３という３つの検査の検査内容が記憶されているものとする。

最適化部４２０は、ユーザによりタッチパネル１２０に表示された最適化ボタンがタッチされると、検査時間が最短となるように、データ記憶部４１０に記憶された複数の検査内容に基づきＸ線検査装置１で検査する検査内容の順序を最適化する。なお、最適化ボタンは、本体部１０に設けられていてもよい。最適化部４２０は、最適化した、検査内容の順序をデータ記憶部４１０に格納する。最適化部４２０が、検査時間が最短となるように、検査内容の順序を最適化する場合について考える。例えば、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３の順に検査が行われたときの検査時間を算出する場合について、図４に基づいて以下に説明する。図４は、本体部１０における検査内容の順序を示す模式図である。図４において、右方向は時間が進む方向である。

図４に示すように、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３の順に検査が行われたときの検査順序は以下の（１）〜（１２）の順である。検査Ｃ３の後は、再度検査Ｃ１から行われることとする。

（１）撮像部３２０による撮像（検査Ｃ１）、（２）撮像部３２０による画像処理（検査Ｃ１）、（３）照射部３１０、撮像部３２０、及び被検査物Ａ１の移動（検査Ｃ１→検査Ｃ２）、（４）照射部３１０のＸ線出力値の変更（検査Ｃ１→検査Ｃ２）、（５）撮像部３２０による撮像（検査Ｃ２）、（６）撮像部３２０による画像処理（検査Ｃ２）、（７）照射部３１０、撮像部３２０、及び被検査物Ａ１の移動（検査Ｃ２→検査Ｃ３）、（８）照射部３１０のＸ線出力値の変更（検査Ｃ２→検査Ｃ３）、（９）撮像部３２０による撮像（検査Ｃ３）、（１０）撮像部３２０による画像処理（検査Ｃ３）、（１１）照射部３１０、撮像部３２０、及び被検査物Ａ１の移動（検査Ｃ３→検査Ｃ１）、（１２）照射部３１０のＸ線出力値の変更（検査Ｃ３→検査Ｃ１）である。なお、図４においては、（１）〜（１２）の処理時間を示している。

（２）の処理は（３）及び（４）の処理と並行して行われ、（６）の処理は（７）及び（８）の処理と並行して行われ、（１０）の処理は（１１）及び（１２）の処理と並行して行われる。つまり、画像処理は、検査間の移動、及びＸ線の出力の変更と並行して行われる。

最適化部４２０は、データ記憶部４１０から、検査Ｃ１を行うときの照射部３１０の位置、撮像部３２０の位置、及びステージ３３０の位置を参照する。また、最適化部４２０は、データ記憶部４１０から、検査Ｃ２を行うときの照射部３１０の位置、撮像部３２０の位置、及びステージ３３０の位置を参照する。さらに、最適化部４２０は、データ記憶部４１０から、検査Ｃ３を行うときの照射部３１０の位置、撮像部３２０の位置、及びステージ３３０の位置を参照する。最適化部４２０は、これらの位置から、各検査間の移動時間を算出する。

例えば、最適化部４２０は、検査Ｃ１を行うときの照射部３１０の位置から、検査Ｃ２を行うときの照射部３１０の位置への照射部３１０の移動に要する時間を算出する。また、最適化部４２０は、検査Ｃ１を行うときの撮像部３２０の位置から、検査Ｃ２を行うときの撮像部３２０の位置への撮像部３２０の移動に要する時間を算出する。さらに、最適化部４２０は、検査Ｃ１を行うときのステージ３３０の位置から、検査Ｃ２を行うときのステージ３３０の位置へのステージ３３０の移動に要する時間を算出する。最適化部４２０は、これらの時間のうち、最も長い時間を第１移動時間に設定する。

また、最適化部４２０は、データ記憶部４１０から、検査Ｃ１を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力値、検査Ｃ２を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力値、及び検査Ｃ３を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力値を参照する。最適化部４２０は、これらの出力値から、各検査間におけるＸ線の出力の変更に要する時間を算出する。

例えば、最適化部４２０は、検査Ｃ１を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力が、検査Ｃ２を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力に変更されることに要する時間を算出する。最適化部４２０は、この時間を第１出力変更時間に設定する。

また、最適化部４２０は、データ記憶部４１０から、検査Ｃ１を行うときの撮像部３２０による撮像時間、検査Ｃ２を行うときの撮像部３２０による撮像時間、及び検査Ｃ３を行うときの撮像部３２０による撮像時間を参照する。

最適化部４２０は、各検査間の移動時間と、各検査間におけるＸ線の出力の変更に要する時間と、各検査の撮像時間とから、検査時間が最短となるように、検査内容の順序を最適化する。具体的に以下に説明する。

最適化部４２０は、第１移動時間及び第１出力変更時間のうち、時間が長い方（以下、第１時間と称する）を設定する。最適化部４２０は、第２移動時間及び第２出力変更時間のうち、時間が長い方（以下、第２時間と称する）を設定する。最適化部４２０は、第３移動時間及び第３出力変更時間のうち、時間が長い方（以下、第３時間と称する）を設定する。第２移動時間、第２出力変更時間、第３移動時間、及び第３出力変更時間については以下に説明する。

第２移動時間について説明する。最適化部４２０は、検査Ｃ２を行うときの照射部３１０の位置から、検査Ｃ３を行うときの照射部３１０の位置への照射部３１０の移動に要する時間を算出する。また、最適化部４２０は、検査Ｃ２を行うときの撮像部３２０の位置から、検査Ｃ３を行うときの撮像部３２０の位置への撮像部３２０の移動に要する時間を算出する。さらに、最適化部４２０は、検査Ｃ２を行うときのステージ３３０の位置から、検査Ｃ３を行うときのステージ３３０の位置へのステージ３３０の移動に要する時間を算出する。最適化部４２０は、これらの時間のうち、最も長い時間を第２移動時間に設定する。

第２出力変更時間について説明する。最適化部４２０は、検査Ｃ２を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力が、検査Ｃ３を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力に変更されることに要する時間を算出する。最適化部４２０は、この時間を第２出力変更時間に設定する。

第３移動時間について説明する。第２移動時間を算出する場合と同様に、最適化部４２０は、検査Ｃ３を行うときの照射部３１０の位置から、検査Ｃ１を行うときの照射部３１０の位置への照射部３１０の移動に要する時間を算出する。また、最適化部４２０は、検査Ｃ３を行うときの撮像部３２０の位置から、検査Ｃ１を行うときの撮像部３２０の位置への撮像部３２０の移動に要する時間を算出する。さらに、最適化部４２０は、検査Ｃ３を行うときのステージ３３０の位置から、検査Ｃ１を行うときのステージ３３０の位置へのステージ３３０の移動に要する時間を算出する。最適化部４２０は、これらの時間のうち、最も長い時間を第３移動時間に設定する。

第３出力変更時間について説明する。第２出力変更時間を算出する場合と同様に、最適化部４２０は、検査Ｃ３を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力が、検査Ｃ１を行うときの照射部３１０によるＸ線の出力に変更されることに要する時間を算出する。最適化部４２０は、この時間を第３出力変更時間に設定する。

最適化部４２０は、（１）検査Ｃ１において撮像部３２０による撮像に要する時間、第１時間、（５）検査Ｃ２において撮像部３２０による撮像に要する時間、第２時間、（９）検査Ｃ３において撮像部３２０による撮像に要する時間、及び第３時間の合計を算出する。最適化部４２０は、この合計を、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３の順に検査が行われたときの検査時間とする。最適化部４２０は同様に他の順においても検査時間を算出し、検査時間が最短となる検査内容の順序を選択することで、検査内容の順序を最適化する。他の順とは、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３において、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３の順以外に考えられる順であり、例えば、検査Ｃ１、検査Ｃ３、及び検査Ｃ２の順などである。

これにより、１つのＸ線検査装置において、検査時間を少しでも短縮することができれば、複数のＸ線検査装置が設けられた生産ラインでは、検査時間を大幅に短縮することができる。このため、コストを削減することができるとともに、Ｘ線検査装置の寿命を長くすることができる。

なお、隣り合う２つの検査において、順序が逆になっても、検査間の移動時間と、検査間におけるＸ線の出力の変更に要する時間は変わらない。例えば、検査Ｃ１の後に検査Ｃ２が行われる場合と、検査Ｃ２の後に検査Ｃ１が行われる場合とを比較すると、検査Ｃ１と検査Ｃ２との間の移動時間はどちらの場合でも同一になる。また、検査Ｃ１と検査Ｃ２との間におけるＸ線の出力の変更に要する時間もどちらの場合でも同一になる。検査Ｃ１と検査Ｃ２との間の移動時間は、前述した第１移動時間と同様の方法で算出される。検査Ｃ１と検査Ｃ２との間におけるＸ線の出力の変更に要する時間は、前述した第１出力変更時間と同様に算出される。

図４に示すように、（６）検査Ｃ２において撮像部３２０による画像処理の時間が、第２時間より長い場合、（６）の処理は、（９）検査Ｃ３において撮像部３２０による撮像と並行して行われる。また、（９）の処理が終わっても、（６）の処理が終わっていなかった場合、（６）の処理は、（１０）〜（１２）の処理と並行して行われる。

検査実行部４３０は、最適化部４２０によって最適化された検査順序に基づいて、検査を実行する。具体的には、検査実行部４３０は、その検査順序において次の検査に移るとき、変更制御部３９０に、照射部３１０が照射するＸ線の出力値、及び撮像部３２０が行う画像処理の内容の変更を指示する。また、検査実行部４３０は、位置制御部４００に、照射部３１０の位置、撮像部３２０の位置、及びステージ３３０の位置の変更を指示する。さらに、検査実行部４３０は、照射部３１０に、Ｘ線を照射するように指示し、撮像部３２０に、被検査物Ａ１のＸ線透過画像の撮像を開始するように指示する。このようにして、検査実行部４３０は、検査を実行する。

（本体部１０にコンベア５０を取り付けた状態の構造）
次に、本体部１０にコンベア５０（搬送部）を取り付けた状態の構造について、図５に基づいて説明する。図５は、コンベア５０に図２に示す本体部１０が取り付けられている状態を示す図である。図５の（ａ）は斜視図であり、図５の（ｂ）は前面図である。

コンベア５０は、図５の（ａ）及び（ｂ）に示すように、右側凸部１３０の切り欠き部１３２と、左側凸部１４０の切り欠き部１４２との間に亘って設置されている。コンベア５０は、検査室１５０の底面に設置されている。また、コンベア５０は、照射部３１０の上方を通過するように、検査室１５０の底面に配置されている。この場合、コンベア５０は撮像部３２０の下方を通過する。これにより、コンベア５０により搬送される被検査物Ａ１が撮像部３２０の下方及び照射部３１０の上方を通過するため、照射部３１０が被検査物Ａ１にＸ線を照射し、撮像部３２０が被検査物Ａ１を透過したＸ線を検出することができる。コンベア５０には、コンベアではなく、被検査物Ａ１を搬送することができるようなものであれば他の物であってもよい。なお、コンベア５０は、本体部１０の内部を通過する。

なお、本体部１０は、必ずしもコンベア５０が設けられる構成には限定されない。例えば、本体部１０は、コンベア５０が設けられず、検査室１５０内に被検査物Ａ１が配置されることで、被検査物Ａ１を検査する構成であってもよい。

以上により、Ｘ線検査装置１では、最適化部４２０は、検査時間が最短となるように、データ記憶部４１０に記憶された複数の検査内容に基づきＸ線検査装置１で検査する検査内容の順序を最適化する。これにより、Ｘ線検査装置１に複数の検査内容の順序を予め記憶することなく、検査時間が最短となるように複数の検査を行うことができる。また、一部の検査の削除または新たな検査の追加を行っても、最適化部４２０が検査内容の順序を最適化するので、ユーザが検査内容の順序を再度設定することなく、複数の検査を行うことができる。

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

最適化部４２０が、複数の検査において、照射部３１０が照射するＸ線の出力値が昇順または降順となるように、検査内容の順序を最適化する場合について説明する。具体的に以下に説明する。最適化部４２０は、複数の検査において、照射部３１０が照射するＸ線の出力値が昇順または降順となるように、検査内容の順序を最適化する。例えば、最適化部４２０は、データ記憶部４１０から、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３それぞれにおいて、各検査のＸ線の出力値を参照する。検査Ｃ１のＸ線の出力値が４０ｋＶ、検査Ｃ２のＸ線の出力値が６０ｋＶ、検査Ｃ３のＸ線の出力値が８０ｋＶであるとする。Ｘ線の出力値を昇順にすると、４０ｋＶ、６０ｋＶ、８０ｋＶとなる。よって、最適化部４２０が、照射部３１０が照射するＸ線の出力値が昇順となるように、検査順序を最適化すると、検査Ｃ１、検査Ｃ２、及び検査Ｃ３の順となる。一方、最適化部４２０が、照射部３１０が照射するＸ線の出力値が降順となるように、検査順序を最適化すると、検査Ｃ３、検査Ｃ２、及び検査Ｃ１の順となる。

以上により、最適化部４２０は、照射部３１０のＸ線出力値が昇順または降順となるように、検査内容の順序を最適化するので、照射部３１０のＸ線出力値の増減が少なくなる。このため、照射部３１０への負担を軽減することができる。また、照射部３１０のＸ線出力値が調整され易くなる。

〔実施形態３〕
本発明の他の実施形態について、図６に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

（本体部１０ａの構成）
Ｘ線検査装置２は、図６に示すように、Ｘ線検査装置１と比べて、本体部１０が本体部１０ａに変更されている点が異なり、本体部１０ａは、本体部１０と比べて、制御装置３００が制御装置３００ａに変更されている点が異なる。また、制御装置３００ａは、制御装置３００と比べて、判定部５１０及び中止部５２０を備えている点が異なる。なお、Ｘ線検査装置２が行う複数の検査内容の各々は、各検査における検査基準を含んでいる。

判定部５１０は、検査実行部４３０から検査が終了したことを通知されると、データ記憶部４１０から、撮像部３２０によって撮像されたＸ線透過画像を参照し、その検査において被検査物Ａ１が検査基準を満たしているか否かを判定する。判定部５１０は、その検査において被検査物Ａ１が検査基準を満たしていると判定すると、検査実行部４３０に、次の検査を実行するように指示する。一方、判定部５１０は、被検査物Ａ１が検査基準を満たしていないと判定すると、判定結果を中止部５２０に供給する。

中止部５２０は、判定部５１０から、検査において被検査物Ａ１が検査基準を満たしていないとの判定結果を受け、検査実行部４３０に、当該検査より後に行われる検査を中止するように指示する。検査実行部４３０は、中止部５２０からの指示に従い、後に行われる検査を中止する。

最適化部４２０は、複数の検査において、最も厳しい検査基準の検査内容を最先とする。具体的には、検査Ｃ１〜検査Ｃ３の中で最も厳しい検査基準の検査内容を含む検査が、検査Ｃ３であるとする。このとき、最適化部４２０は、複数の検査において、最も厳しい検査基準の検査内容を含む検査Ｃ３を最先とする。

なお、Ｘ線検査装置２に複数の検査を予め実行させ、各検査の不具合率を算出しておいてもよい。この場合、各検査の不具合率をデータ記憶部４１０に予め記憶しておく。最適化部４２０は、データ記憶部４１０から、予め記憶された、各検査の不具合率を参照し、複数の検査において、不具合率が最も高い検査を最先としてもよい。

以上により、最適化部４２０は、最も厳しい検査基準の検査内容を最先とする。この場合、最も厳しい検査基準の検査内容の検査において被検査物Ａ１が検査基準に満たなかったとき、当該検査より後に行われる検査を中止するものとする。このとき、最も厳しい検査基準の検査内容を最先とすることで、当該検査において被検査物Ａ１が検査基準に満たなかったとき、検査時間を短縮することができる。

〔実施形態４〕
本発明の他の実施形態について説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

ユーザがタッチパネル１２０により、複数のモードのうち、１つのモードを選択することができる。上記複数のモードには、（１）自動モード、（２）移動時間優先モード、（３）Ｘ線出力値優先モード、及び（４）検査判定優先モードがある。

（１）自動モードでは、最適化部４２０は、最初に実施形態３の処理を行い、検査基準を満たした被検査物が多いことが判明すると、実施形態１の処理に切り替える。例えば、制御装置３００ａが備える割合算出部（図示せず）が、検査基準を満たした被検査物の割合が９５％以上であると算出すると、最適化部４２０は、実施形態３の処理から実施形態１の処理に切り替える。

最適化部４２０は、（２）移動時間優先モードでは、実施形態１の処理を行い、（３）Ｘ線出力値優先モードでは、実施形態２の処理を行い、（４）検査判定優先モードでは、実施形態３の処理を行う。

〔ソフトウェアによる実現例〕
制御装置３００・３００ａの制御ブロック（特に画像処理部３８０、変更制御部３９０、位置制御部４００、最適化部４２０、及び検査実行部４３０、判定部５１０、及び中止部５２０）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。

後者の場合、制御装置３００・３００ａは、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

１・２ Ｘ線検査装置、１０・１０ａ 本体部、２０ 着脱部、５０ コンベア、１１０ 警報器、１２０ タッチパネル、１３０ 右側凸部、１３１ 先端面、１４０ 左側凸部、１５０ 検査室、１６０ 本体部キャスター、１７０ 本体部支持脚、２１０ 開閉扉、２１１ 窓部、２１２ 第１取っ手部、２２１・２２２ 第２取っ手部、２３１・２３２ 第３取っ手部、２２０ 右側板部、２３０ 左側板部、２４０ 上側板部、２５０ 下側板部、２６０ 第１支持部、２７０ 着脱部キャスター、２８０ 第２支持部、２９０ 着脱部支持脚、３００・３００ａ 制御装置、３１０ 照射部、３２０ 撮像部、３３０ ステージ、３４０ 第１移動部、３５０ 第２移動部、３６０ 第３移動部、３７０ 電源回路、３８０ 画像処理部、３９０ 変更制御部、４００ 位置制御部、４１０ データ記憶部、４２０ 最適化部、４３０ 検査実行部、５１０ 判定部、５２０ 中止部、Ａ１ 被検査物、Ｃ１・Ｃ２・Ｃ３ 検査

Claims (4)

1. 照射部から被検査物にＸ線を照射して得られるＸ線透過画像を用いて前記被検査物を検査するＸ線検査装置であって、
   複数の検査内容を記憶するデータ記憶部と、
   検査時間が最短となるように、前記データ記憶部に記憶された複数の検査内容に基づき前記Ｘ線検査装置で検査する検査内容の順序を最適化する最適化部と
   を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
2. 前記複数の検査内容の各々は、各検査における、前記照射部の位置、前記Ｘ線透過画像を撮像する撮像部の位置、前記被検査物の位置、前記照射部のＸ線出力値、前記Ｘ線透過画像の撮像時間及び前記Ｘ線透過画像の画像処理時間を含むことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記最適化部は、前記照射部のＸ線出力値が昇順または降順となるように、前記順序を最適化することを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記複数の検査内容の各々は、各検査における検査基準を含み、
   前記最適化部は、最も厳しい検査基準の検査内容を最先とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

Images