JP2017013037A

JP2017013037A - Liquid discharge device and liquid discharge method

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Publication number: JP2017013037A
Application number: JP2015135762A
Authority: JP
Inventors: 智志末益; satoshi Suemasu; 明徳山口; Akinori Yamaguchi
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2015-07-07
Filing date: 2015-07-07
Publication date: 2017-01-19

Abstract

【課題】センサを用いた制御を用いずに、ヘッド部における液体の液圧を一定に保つ液体循環装置の構成を提供すること。【解決手段】液滴を塗布するノズルと、ノズル上流に接続された上流側タンクと、ノズル下流に接続された下流側タンクと、上流側タンクと下流側タンクと接続された中間タンクとを備え、液体循環時は、上流側タンク内と下流側タンク内と中間タンク内の各気体部は密封されており、上流側タンクと中間タンクとを接続する経路を経路Ａ、下流側タンクと中間タンクを接続する経路を経路Ｂとすると、上流側タンク内液体は、経路Ａを経由して中間タンクへ自然と流れるように配置され、下流側タンク内液体は、経路Ｂを経由して前記中間タンクへ自然と流れるように配置され、経路Ａおよび経路Ｂは、一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁を備えた液体循環装置を用いる。【選択図】図２To provide a configuration of a liquid circulation device that keeps the liquid pressure of a liquid in a head portion constant without using a control using a sensor. A nozzle for applying droplets, an upstream tank connected upstream of the nozzle, a downstream tank connected downstream of the nozzle, and an intermediate tank connected to the upstream tank and the downstream tank are provided. During the liquid circulation, the gas portions in the upstream tank, the downstream tank, and the intermediate tank are sealed, and the path connecting the upstream tank and the intermediate tank is route A, and the downstream tank and the intermediate tank , The upstream tank liquid is arranged to flow naturally to the intermediate tank via the path A, and the downstream tank liquid passes through the path B to the intermediate tank. The path A and the path B use a liquid circulation device including a chuck valve that opens when a certain pressure is applied. [Selection] Figure 2

Description

本発明は、液体吐出装置と液体吐出方法に関する。特に、液体吐出装置と液体吐出方法において、液体循環に関するものである。 The present invention relates to a liquid ejection apparatus and a liquid ejection method. In particular, the present invention relates to liquid circulation in a liquid discharge apparatus and a liquid discharge method.

液滴吐出装置は、複数のノズルを有するヘッドを有し、ノズルと印刷対象物の位置関係を制御しながら、ノズルから液滴を吐出することで、印刷対象物に液滴を塗布するものである。この種の液滴吐出装置の１つとして、液体の滞留による固形化等を防ぐために、液体を循環させながら、圧電アクチュエータの動作によって液滴をノズルから吐出する方式を備えているものがある。 The droplet discharge device has a head having a plurality of nozzles, and applies droplets to a print object by discharging the droplets from the nozzle while controlling the positional relationship between the nozzles and the print object. is there. One type of liquid droplet ejection apparatus includes a system that ejects liquid droplets from a nozzle by the operation of a piezoelectric actuator while circulating the liquid in order to prevent solidification due to liquid retention.

これらの液滴吐出装置において、ヘッド部における液体の液圧が変動すると、ノズルから吐出される液滴の吐出量がばらつくなどの問題が生じる。このため、ヘッド部の液圧を一定に保つ必要がある。ヘッド部の液圧は、ヘッドの上流側タンクおよび下流側タンクの液面高さによって決定される液頭圧と、ヘッドの上流側タンクおよび下流側タンクの液体に接する気体部の圧力と、ヘッドの上流側タンクおよび下流側タンクとヘッド間を結ぶ配管内で損失される圧力とによって決定される。これらの要因のうち、配管内で損失される圧力は、流速が一定であれば変わらないので、液頭圧と液体に接する気体部の圧力とを一定に保つ構成とすれば良い。 In these droplet discharge devices, when the liquid pressure of the liquid in the head portion fluctuates, problems such as variations in the discharge amount of the droplets discharged from the nozzles arise. For this reason, it is necessary to keep the hydraulic pressure of the head part constant. The liquid pressure of the head is determined by the liquid head pressure determined by the liquid level height of the upstream tank and the downstream tank of the head, the pressure of the gas part in contact with the liquid of the upstream tank and the downstream tank of the head, And the pressure lost in the pipe connecting the upstream tank and the downstream tank to the head. Among these factors, the pressure lost in the pipe does not change as long as the flow velocity is constant. Therefore, the liquid head pressure and the pressure of the gas part in contact with the liquid may be kept constant.

液頭圧を一定に保つために、液面検出手段を用いて測定した液面高さを入力値として、液面が一定となるように、液体の補充量または循環量をフィードバック制御する方法が一般的に用いられる。しかしながら、フィードバック制御のパラメータ調整が必要であり、液体の粘度等の状態が変化した際などにパラメータの再調整が必要となるといった問題がある。 In order to keep the liquid head pressure constant, there is a method in which the liquid replenishment amount or the circulation amount is feedback controlled so that the liquid level is constant with the liquid level height measured using the liquid level detection means as an input value. Generally used. However, there is a problem that parameter adjustment for feedback control is necessary, and parameter readjustment is required when the state of the liquid viscosity changes.

また、複雑な構成が必要となることや、センサの誤検出や、センサの光エネルギーによる液体の劣化等も課題である。 In addition, a complicated configuration is required, sensor misdetection, liquid deterioration due to light energy of the sensor, and the like are also problems.

これらの課題に対し、液頭圧を一定に保つ方法として、ヘッドと接続されたタンク部の液体を開口部からオーバーフローさせて一定の液面を維持する方式が開示されている（例えば、特許文献１参照）。 As a method for keeping the liquid head pressure constant with respect to these problems, a system is disclosed in which the liquid in the tank connected to the head is overflowed from the opening to maintain a constant liquid level (for example, Patent Documents). 1).

図５は、特許文献１に記載された従来の液体循環系を示している。図中の矢印で示すように、上流側タンク３２からヘッド部９に液体が供給され、ヘッド部９から液滴を吐出する構成である。また、液体供給タンク４１を有し、ポンプや圧縮空気を用いて上流側タンク３２へ液体を供給する。上流側タンク３２は開口部２２を有し、上流側タンク３２内の液体は開口部２２からオーバーフローして中間タンク３４に流入するため、上流側タンク３２内の液面高さは一定に保たれる。なお、中間タンク３４内部に、上流側タンク３２が位置し、その内部は気体が存在する気体部２１である。 FIG. 5 shows a conventional liquid circulation system described in Patent Document 1. As shown by the arrows in the figure, the liquid is supplied from the upstream tank 32 to the head unit 9 and the liquid droplets are ejected from the head unit 9. Moreover, it has the liquid supply tank 41 and supplies a liquid to the upstream tank 32 using a pump or compressed air. The upstream tank 32 has an opening 22, and the liquid in the upstream tank 32 overflows from the opening 22 and flows into the intermediate tank 34. Therefore, the liquid level in the upstream tank 32 is kept constant. It is. In addition, the upstream tank 32 is located inside the intermediate tank 34, and the inside thereof is the gas portion 21 where gas exists.

特開２００４−９７８８２号公報JP 2004-97882 A

しかしながら、前記特許文献１の構成では、液面は一定に保たれるものの、開口部２２からオーバーフローした液体が流入する被オーバーフロー側（中間タンク３４）の液体の増減により、中間タンク３４内の気体部２１の容積が変動するため、気体方程式に基づき、中間タンク３４の内の気体部２１の圧力が変動する。そのため、気体部２１の圧力を一定に保つための制御が必要となる。 However, in the configuration of Patent Document 1, although the liquid level is kept constant, the gas in the intermediate tank 34 is increased or decreased by the increase or decrease of the liquid on the overflow side (intermediate tank 34) into which the liquid overflowed from the opening 22 flows. Since the volume of the portion 21 varies, the pressure of the gas portion 21 in the intermediate tank 34 varies based on the gas equation. Therefore, control for keeping the pressure of the gas part 21 constant is required.

気体部２１の圧力を一定に保つためには、中間タンク３４を大気開放する方法が一般的に用いられる。しかしながら、液体が酸素に触れることによる液体の劣化や、液体の蒸発による増粘等の問題が生じる。 In order to keep the pressure of the gas part 21 constant, a method of opening the intermediate tank 34 to the atmosphere is generally used. However, problems such as deterioration of the liquid due to contact of the liquid with oxygen and thickening due to evaporation of the liquid occur.

また、気体部２１の圧力を一定に保つ手段として、圧力検出手段を用いて測定した気体部２１の圧力を入力値として、中間タンク３４内の気体量をフィードバック制御しながら気体部２１の圧力が一定となるようにする方法が一般的に用いられる。 Further, as a means for keeping the pressure of the gas part 21 constant, the pressure of the gas part 21 is controlled while feedback controlling the amount of gas in the intermediate tank 34 using the pressure of the gas part 21 measured using the pressure detection means as an input value. A method of making it constant is generally used.

しかしながら、複雑な構成が必要となることや、センサの誤検出や応答性の悪さ等も課題となる。さらに、中間タンク３４の内の気体の出し入れが発生するため、液体の蒸発による増粘が増長されるといった課題もある。 However, a complicated configuration is required, sensor misdetection, poor response, and the like are also problems. Furthermore, since the gas in and out of the intermediate tank 34 is generated, there is a problem that the thickening due to the evaporation of the liquid is increased.

すなわち、液頭圧を一定に保つだけでなく、中間タンク３４の内の気体部２１の圧力も一定に保つ機構が求められる。 That is, a mechanism is required that not only keeps the liquid head pressure constant but also keeps the pressure of the gas portion 21 in the intermediate tank 34 constant.

本発明は、液体を吐出するヘッド部における液体の液圧を、センサを用いた制御を用いずに、一定に保つ液体吐出装置と液体吐出方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a liquid ejecting apparatus and a liquid ejecting method for keeping the liquid pressure of a liquid in a head section that ejects liquid constant without using control using a sensor.

上記目的を達成するために、液滴を塗布するノズルと、上記ノズルの上流に接続された上流側タンクと、上記ノズルの下流に接続された下流側タンクと、上記上流側タンクと上記下流側タンクとに接続された中間タンクと、上記上流側タンクと上記中間タンクを接続する経路Ａと、上記下流側タンクと上記中間タンクを接続する経路Ｂと、上記経路Ａおよび上記経路Ｂに配置され、一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁と、を備え、
上記上流側タンクの内の液体は、上記経路Ａを経由して上記中間タンクへ流れるように配置され、上記下流側タンクの内の液体は、上記経路Ｂを経由して上記中間タンクへ流れるように配置され、液体循環時は、上記上流側タンク内および上記下流側タンク内および上記中間タンク内の各気体部は密封され、上記チャック弁は、上記上流側タンクまたは上記下流側タンク内液面高さが所望の値以上になると経路が開放されるように配置された液体吐出装置を用いる。 To achieve the above object, a nozzle for applying droplets, an upstream tank connected upstream of the nozzle, a downstream tank connected downstream of the nozzle, the upstream tank and the downstream side An intermediate tank connected to the tank, a path A connecting the upstream tank and the intermediate tank, a path B connecting the downstream tank and the intermediate tank, and the path A and the path B. A chuck valve that opens when a constant pressure is applied, and
The liquid in the upstream tank is arranged to flow to the intermediate tank via the path A, and the liquid in the downstream tank flows to the intermediate tank via the path B. When the liquid is circulated, the gas parts in the upstream tank, the downstream tank, and the intermediate tank are sealed, and the chuck valve is configured as a liquid level in the upstream tank or the downstream tank. A liquid ejection device is used so that the path is opened when the height exceeds a desired value.

液滴を塗布するノズルと、上記ノズルの上流に接続された上流側タンクと、上記上流側タンクと接続された中間タンクと、上記上流側タンクと上記中間タンクを接続する経路Ｃと、上記経路Ｃに配置され一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁と、を備え、上記上流側タンク内液体は、上記経路Ｃを経由して上記中間タンクへ流れるように配置され、上記チャック弁は、上記上流側タンク内液面高さが所望の値以上になると経路が開放されるように配置された液体吐出装置を用いる。 A nozzle for applying droplets, an upstream tank connected upstream of the nozzle, an intermediate tank connected to the upstream tank, a path C connecting the upstream tank and the intermediate tank, and the path And a chuck valve that opens when a constant pressure is applied, and the upstream tank liquid is arranged to flow to the intermediate tank via the path C, and the chuck valve Uses a liquid ejection device arranged so that the path is opened when the liquid level in the upstream tank reaches or exceeds a desired value.

液滴を塗布するノズルと、上記ノズルの上流に接続された上流側タンクと、上記ノズルの下流に接続された下流側タンクと、上記上流側タンクと上記下流側タンクとに接続された中間タンクと、上記上流側タンクと上記中間タンクを接続する経路Ａと、上記下流側タンクと上記中間タンクを接続する経路Ｂと、を含む液体吐出装置において、上記液体を、上記上流側タンクから上記ノズルへ流す工程と、上記液体を上記ノズルから塗布する工程と、上記上流側タンク内の上記液体の液面が一定高さ以上となると、上記液体の圧力により、第１弁を開け、上記液体を、上記上流側タンクから上記中間タンクへと上記経路Ａを介して流す工程と、上記下流側タンク内の上記液体の液面が一定高さ以上となると、上記液体の圧力により、第２弁を開け、上記液体を、上記下流側タンクから上記中間タンクへと上記経路Ｂを介して流す工程と、を含む液体吐出方法を用いる。 A nozzle for applying droplets, an upstream tank connected upstream of the nozzle, a downstream tank connected downstream of the nozzle, and an intermediate tank connected to the upstream tank and the downstream tank And a path A connecting the upstream tank and the intermediate tank, and a path B connecting the downstream tank and the intermediate tank, the liquid is discharged from the upstream tank to the nozzle And when the liquid level of the liquid in the upstream tank reaches a certain height or more, the first valve is opened by the pressure of the liquid, and the liquid is discharged. The step of flowing from the upstream tank to the intermediate tank via the path A, and when the liquid level of the liquid in the downstream tank exceeds a certain level, the pressure of the liquid causes the second valve to Open , The liquid, using the liquid discharge method comprising a step of flowing from the downstream side tank into the intermediate tank via the path B.

また、液滴を塗布するノズルと、上記ノズルの上流に接続された上流側タンクと、上記上流側タンクと上記下流側タンクとに接続された中間タンクと、上記上流側タンクと上記中間タンクを接続する経路Ａと、を含む液体吐出装置において、上記液体を、上記上流側タンクから上記ノズルへ流す工程と、上記液体を上記ノズルから塗布する工程と、上記上流側タンク内の上記液体の液面が一定高さ以上となると、上記液体の圧力により、第３の弁を開け、上記液体を、上記上流側タンクから上記中間タンクへと上記経路Ａを介して流す工程と、を含む液体吐出方法を用いる。 A nozzle for applying droplets; an upstream tank connected upstream of the nozzle; an intermediate tank connected to the upstream tank and the downstream tank; and the upstream tank and the intermediate tank. In the liquid ejection device including the path A to be connected, the step of flowing the liquid from the upstream tank to the nozzle, the step of applying the liquid from the nozzle, and the liquid of the liquid in the upstream tank A step of opening a third valve by the pressure of the liquid when the surface is equal to or higher than a certain height, and causing the liquid to flow from the upstream tank to the intermediate tank via the path A. Use the method.

本構成液体吐出装置と液体吐出方法によれば、上流側タンクおよび下流側タンクに流入した液体は、上流側タンクおよび下流側タンク内の液面高さが所望の値以上となると、液圧によって中間タンクへ流入するため、上流側タンクおよび下流側タンクの液面高さが一定に保たれる。 According to the liquid discharge device and the liquid discharge method of the present configuration, the liquid flowing into the upstream side tank and the downstream side tank is caused by the liquid pressure when the liquid level in the upstream side tank and the downstream side tank exceeds a desired value. Since the liquid flows into the intermediate tank, the liquid level heights of the upstream tank and the downstream tank are kept constant.

また、それぞれのタンクの気体部は密封されているため、上流側タンクおよび下流側タンク内の気体部容積も一定に保たれる。そのため、上流側タンクおよび下流側タンク内気体部の圧力も一定に保たれる。
結果、ヘッド部から吐出される液滴の吐出量を均一に保つことができ、安定した液滴吐出が可能となる。 Moreover, since the gas part of each tank is sealed, the gas part volume in an upstream tank and a downstream tank is also kept constant. Therefore, the pressures in the upstream side tank and the downstream side gas part are also kept constant.
As a result, the discharge amount of the droplets discharged from the head portion can be kept uniform, and stable droplet discharge can be performed.

実施の形態１の液滴吐出装置の斜視図1 is a perspective view of a droplet discharge device according to a first embodiment. 実施の形態１における液体循環系を示す図The figure which shows the liquid circulation system in Embodiment 1. 実施の形態１における、下流側タンクを用いない構成を示す図The figure which shows the structure which does not use a downstream tank in Embodiment 1. 実施の形態２における液体循環系の変形例を示す図The figure which shows the modification of the liquid circulation system in Embodiment 2. 特許文献１に記載された従来の液体循環系を示す図The figure which shows the conventional liquid circulation system described in patent document 1

以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明はこれらの実施の形態により限定されない。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The present invention is not limited to these embodiments.

（実施の形態１）
＜液滴吐出装置＞
図１に、実施の形態の液滴吐出装置として、インクジェット式記録装置１２を示す。図１に示すように、印刷対象物１は、ヘッドユニット２の鉛直下方向の位置にあるテーブル３上に設置されている。テーブル３は、駆動系を有するステージ１１に取付けられ、Ｘ方向へ搬送される。ステージ１１上に脚部４と脚部４の上方に取り付けられた支持部５とが鳥居状にガントリー６として形成されている。ガントリー６の鉛直方向に延在するように昇降方向Ｚの昇降軸を有する支持台７が構成されている。支持台７にヘッドユニット２が配設されており、ヘッドユニット２は分配タンク８やヘッド部９を具備している。昇降方向Ｚによって印刷対象物１とヘッド部９間のギャップを調整している。ヘッド部９は液体を吐出させる複数の圧電アクチュエータ（図示省略）を含む各々の液滴吐出ヘッド１０を備えている。各々の液滴吐出ヘッド１０は、液体供給系の簡素化のために、分配タンク８に接続されていることが望ましい。 (Embodiment 1)
<Droplet ejection device>
FIG. 1 shows an ink jet recording apparatus 12 as a droplet discharge apparatus according to an embodiment. As shown in FIG. 1, the print object 1 is installed on a table 3 at a position vertically below the head unit 2. The table 3 is attached to a stage 11 having a drive system and is conveyed in the X direction. A leg 4 and a support 5 attached above the leg 4 are formed as a gantry 6 in a torii form on the stage 11. A support base 7 having an elevating axis in the elevating direction Z is configured to extend in the vertical direction of the gantry 6. The head unit 2 is disposed on the support base 7, and the head unit 2 includes a distribution tank 8 and a head unit 9. The gap between the printing object 1 and the head unit 9 is adjusted by the ascending / descending direction Z. The head unit 9 includes each droplet discharge head 10 including a plurality of piezoelectric actuators (not shown) that discharge liquid. Each droplet discharge head 10 is preferably connected to the distribution tank 8 in order to simplify the liquid supply system.

尚、ヘッドユニット２は、理解容易のために実際の分配タンク８と液滴吐出ヘッド１０よりも数を減じて図示している。 Note that the head unit 2 is illustrated with a smaller number than the actual distribution tank 8 and the droplet discharge head 10 for easy understanding.

このように、ヘッド部９は印刷対象物１の全幅にわたって配列された液滴吐出ヘッド１０を備えている。このため、その記録動作時には、上記印刷対象物１をＸ方向に搬送しながら、所定のタイミングでヘッド部９から液滴を吐出することで、印刷対象物１の全幅にわたって所望の画像を形成することが可能である。 As described above, the head unit 9 includes the droplet discharge heads 10 arranged over the entire width of the printing object 1. For this reason, during the recording operation, a desired image is formed over the entire width of the printing object 1 by discharging droplets from the head unit 9 at a predetermined timing while conveying the printing object 1 in the X direction. It is possible.

上記インクジェット式記録装置１２は制御手段としての電源・制御ボックス（図示省略）を備えている。電源・制御ボックスは、各々の液滴吐出ヘッド１０に電力と制御信号とを供給していると共に、上記電源・制御ボックスは上記Ｘ、Ｙ、Ｚの駆動軸にも制御信号を供給している。 The ink jet recording apparatus 12 includes a power source / control box (not shown) as control means. The power / control box supplies power and control signals to each droplet discharge head 10, and the power / control box also supplies control signals to the X, Y, and Z drive shafts. .

本発明の液滴吐出装置は、図示していないが液体循環装置を具備する。液体循環装置は、液体に駆動圧力を供給することで液体を循環させる。液体に駆動圧力を供給するには、ポンプを用いるが、圧縮空気を利用して圧力を供給するレギュレータを用いてもよい。レギュレータを用いることで駆動圧力が一定になり、液体の循環速度が安定するからである。なお、液体は装置作動中に絶えず循環させることが好ましい。 The droplet discharge device of the present invention includes a liquid circulation device (not shown). The liquid circulation device circulates the liquid by supplying a driving pressure to the liquid. A pump is used to supply the driving pressure to the liquid, but a regulator that supplies pressure using compressed air may be used. This is because the use of a regulator makes the driving pressure constant and stabilizes the circulation speed of the liquid. The liquid is preferably circulated constantly during operation of the apparatus.

図２は、本発明の実施の形態１における液体循環装置の構成を模式的に示している。図２の構成要素について説明する。 FIG. 2 schematically shows the configuration of the liquid circulation device according to the first embodiment of the present invention. The components in FIG. 2 will be described.

＜液体循環装置４０＞
実施の形態の液体循環装置４０の構造は、液滴を塗布する各々の液滴吐出ヘッド１０を備えたヘッド部９と、ヘッド部９の上流に接続された上流側タンク３２およびヘッド部９の下流に接続された下流側タンク３３と、上流側タンク３２および下流側タンク３３と接続された中間タンク３４とを備えている。 <Liquid circulation device 40>
The structure of the liquid circulation device 40 according to the embodiment includes a head unit 9 including each droplet discharge head 10 that applies droplets, and an upstream tank 32 and a head unit 9 connected upstream of the head unit 9. A downstream tank 33 connected downstream and an upstream tank 32 and an intermediate tank 34 connected to the downstream tank 33 are provided.

なお、ヘッド部９と、上流側タンク３２および下流側タンク３３は、チューブ等で構成される経路３５を介して接続されている。上流側タンク３２および下流側タンク３３および中間タンク３４は、初期圧力調整のために、それぞれ圧力調整手段４２を備えている。 The head unit 9 is connected to the upstream tank 32 and the downstream tank 33 via a path 35 formed of a tube or the like. The upstream tank 32, the downstream tank 33, and the intermediate tank 34 are each provided with a pressure adjusting means 42 for initial pressure adjustment.

なお、上流側タンク３２および下流側タンク３３および中間タンク３４は、初期圧力の調整を行った後は、それぞれの気体部２１ａ、２１ｃを密封する。本構成により、それぞれのタンクへの気体の流入および流出を最小限に抑えることができ、液体の増粘を最小限に抑制することができる。 In addition, after adjusting the initial pressure, the upstream tank 32, the downstream tank 33, and the intermediate tank 34 seal the gas portions 21a and 21c, respectively. With this configuration, the inflow and outflow of gas to each tank can be minimized, and the thickening of the liquid can be minimized.

上流側タンク３２と中間タンク３４は、パイプなどで構成される経路３７により接続されている。なお、経路３７は、貫通した空間部を有していれば良く、例えばチューブ等を用いても良い。同様に、下流側タンク３３と中間タンク３４は、例えばパイプなどで構成される経路３７により接続されている。なお経路３７は、貫通した空間部を有していれば良く、例えばチューブ等を用いても良い。 The upstream side tank 32 and the intermediate tank 34 are connected by a path 37 constituted by a pipe or the like. In addition, the path | route 37 should just have the space part penetrated, For example, a tube etc. may be used. Similarly, the downstream tank 33 and the intermediate tank 34 are connected by a path 37 formed of, for example, a pipe. In addition, the path | route 37 should just have the penetrated space part, for example, a tube etc. may be used.

経路３６および経路３７は、一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁４３およびチャック弁４４を備えている。 The path 36 and the path 37 include a chuck valve 43 and a chuck valve 44 that are opened when a certain pressure is applied.

また、上流側タンク３２と中間タンク３４は、ポンプ等で構成される液体輸送手段３９を有する経路３８によっても接続されている。液体輸送手段３９は、中間タンク３４から上流側タンク３２へと液体を輸送するために用いられる。 Further, the upstream tank 32 and the intermediate tank 34 are also connected by a path 38 having a liquid transport means 39 constituted by a pump or the like. The liquid transport means 39 is used for transporting liquid from the intermediate tank 34 to the upstream tank 32.

また、液体供給タンク４１を有し、ポンプや圧縮空気を用いて適宜液体を補充できる構成とする。なお、図２では簡略化のために中間タンク３４のみに液体を補充する図としたが、上流側タンク３２または下流側タンク３３に補充しても良い。 Further, the liquid supply tank 41 is provided so that the liquid can be appropriately replenished using a pump or compressed air. In FIG. 2, for simplification, the liquid is replenished only to the intermediate tank 34, but the upstream tank 32 or the downstream tank 33 may be replenished.

＜チャック弁４３およびチャック弁４４＞
図３は、チャック弁４３およびチャック弁４４の構造例を模式断面図で示している。経路を開閉する弁５１と、弁を保持する弾性体５２から成り、液体の圧力により弾性体５２が縮むことで弁５１が移動すると、液体が流れる経路が開く構造となっている。また、液体は一方向のみに流れる構造となっている。 <Chuck valve 43 and chuck valve 44>
FIG. 3 shows a structural example of the chuck valve 43 and the chuck valve 44 in a schematic cross-sectional view. It consists of a valve 51 for opening and closing the path and an elastic body 52 for holding the valve. When the valve 51 is moved by the elastic body 52 being contracted by the pressure of the liquid, the path through which the liquid flows is opened. Further, the liquid flows in only one direction.

本構成では、図２に示すように、チャック弁４３は、上流側タンク３２から中間タンク３４の方向（矢印の方向）のみに液体が流れるように配置する。 In this configuration, as shown in FIG. 2, the chuck valve 43 is arranged so that the liquid flows only in the direction from the upstream tank 32 to the intermediate tank 34 (the direction of the arrow).

また、チャック弁４３は、上流側タンク３２よりも低い位置に配置され、チャック弁４３部における液圧が所望の値を超えると初めて経路が開放されるように配置する。チャック弁４３部における液圧は上流側タンク３２の液面が高くなるにつれて上昇するため、前述のようにチャック弁４３を配置することで、上流側タンク３２内の液面高さが所望の値を超えるまでは、経路が開放されない。 Further, the chuck valve 43 is disposed at a position lower than the upstream tank 32, and is disposed so that the path is opened only when the hydraulic pressure in the chuck valve 43 portion exceeds a desired value. Since the hydraulic pressure in the chuck valve 43 increases as the liquid level in the upstream tank 32 increases, the liquid level in the upstream tank 32 is set to a desired value by arranging the chuck valve 43 as described above. The route will not be released until

なお、チャック弁４３は、上下方向に移動できる構成とすることで、経路が開放される際の上流側タンク３２の液面高さを任意に変動できるようにしておくことが望ましい。 It is desirable that the chuck valve 43 be configured to be movable in the vertical direction so that the liquid level height of the upstream tank 32 when the path is opened can be arbitrarily changed.

なお、チャック弁４３の位置は、上下方向（鉛直方向）に移動できる構成とすることで、経路が開放される際の上流側タンク３２の液面高さを任意に設定できる。すなわち、チャック弁４４の位置が高いと、液圧がかからず、高い圧でないと、チャック弁４４は、開放されない。 The position of the chuck valve 43 can be moved in the vertical direction (vertical direction), so that the liquid level of the upstream tank 32 when the path is opened can be arbitrarily set. That is, when the position of the chuck valve 44 is high, no hydraulic pressure is applied, and the chuck valve 44 is not opened unless the pressure is high.

同様に、チャック弁４４は、下流側タンク３３から中間タンク３４の方向のみに液体が流れるように配置する。また、チャック弁４４は、下流側タンク３３よりも低い位置に配置され、チャック弁４４部における液圧が所望の値を超えると初めて経路が開放されるように配置する。チャック弁４４部における液圧は下流側タンク３３の液面が高くなるにつれて上昇するため、前述のようにチャック弁４４を配置することで、下流側タンク３３内の液面高さが所望の値を超えるまでは経路が開放されない。 Similarly, the chuck valve 44 is disposed so that the liquid flows only in the direction from the downstream tank 33 to the intermediate tank 34. The chuck valve 44 is disposed at a position lower than the downstream tank 33, and is disposed so that the path is opened only when the hydraulic pressure in the chuck valve 44 portion exceeds a desired value. Since the hydraulic pressure in the chuck valve 44 increases as the liquid level in the downstream tank 33 increases, the liquid level in the downstream tank 33 is set to a desired value by arranging the chuck valve 44 as described above. The route will not be released until

チャック弁４４の位置は、上下方向（鉛直方向）に移動できる構成とすることが、上記チャック弁４３と同様に好ましい。 It is preferable that the position of the chuck valve 44 be configured to be movable in the vertical direction (vertical direction) as in the case of the chuck valve 43.

＜動作＞
以下に、液体循環装置４０を液体が循環しているときの、液体の流れと、そのための構成について、図２を用いて説明する。 <Operation>
Hereinafter, the flow of the liquid when the liquid circulates through the liquid circulation device 40 and the configuration therefor will be described with reference to FIG.

液体循環装置４０において液体は常に一定方向に対流している（図２の矢印方向）。ここで、ヘッド部９に液体を流入する側を上流側、ヘッド部９から液体が排出される側を下流側と呼ぶ。 In the liquid circulation device 40, the liquid always convects in a certain direction (the arrow direction in FIG. 2). Here, the side into which the liquid flows into the head portion 9 is referred to as the upstream side, and the side from which the liquid is discharged from the head portion 9 is referred to as the downstream side.

上流側タンク３２の液体は、経路３５を介して、液滴吐出ヘッド１０を具備したヘッド部９へ供給される。 The liquid in the upstream tank 32 is supplied to the head unit 9 including the droplet discharge head 10 via the path 35.

上流側タンク３２の液体がヘッド部９へ供給されるためには、上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力を、下流側タンク３３の気体部２１ａの圧力よりも高い値とすることが望ましい。上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力を下流側タンク３３の気体部２１ａの圧力は、ヘッド部９へ供給する液体の流量に応じて決めればよいが、本実施の形態では、上流側タンク３２の気体部の圧力を−５［ｋＰａ］、下流側タンク３３の気体部圧力を−１０［ｋＰａ］とした。 In order for the liquid in the upstream tank 32 to be supplied to the head unit 9, it is desirable that the pressure of the gas part 21 c of the upstream tank 32 be higher than the pressure of the gas part 21 a of the downstream tank 33. The pressure of the gas part 21c of the upstream side tank 32 may be determined according to the flow rate of the liquid supplied to the head part 9 in the present embodiment, but in the present embodiment, the pressure of the gas part 21a of the downstream side tank 33 is determined. The gas part pressure was set to -5 [kPa], and the gas part pressure of the downstream tank 33 was set to -10 [kPa].

なお、負圧としているのは、液滴吐出ヘッド１０から液体が垂れるのを防止するためである。 Note that the negative pressure is used to prevent liquid from dripping from the droplet discharge head 10.

なお、後述のように、上流側タンク３２および下流側タンク３３および中間タンク３４の気体部２１ａ、２１ｂ、２１ｃは密封されており、かつ初期設定圧力から変動しづらいため、液体循環中に圧力制御を行う必要はない。 As will be described later, the gas portions 21a, 21b, and 21c of the upstream tank 32, the downstream tank 33, and the intermediate tank 34 are sealed and hardly change from the initial set pressure. There is no need to do.

なお、上流側タンク３２の液体がヘッド部９へ供給されるために、上流側タンク３２内液体の液面高さを、下流側タンク３３内液体の液面高さよりも高くする構成としても良い。 In addition, since the liquid in the upstream tank 32 is supplied to the head unit 9, the liquid level of the liquid in the upstream tank 32 may be higher than the liquid level in the downstream tank 33. .

ヘッド部９を通過する液体の流量は、特に限定されないが、本実施の形態では約２００ｍｌ／ｍｉｎとした。 The flow rate of the liquid passing through the head unit 9 is not particularly limited, but is about 200 ml / min in the present embodiment.

ヘッド部９に供給された液体は、一部が液滴吐出ヘッド１０（図１）より吐出されるが、ほとんどの液体は、ヘッド部９で留まることなく、下流側タンク３３へ送液される。 A part of the liquid supplied to the head unit 9 is ejected from the droplet ejection head 10 (FIG. 1), but most of the liquid is sent to the downstream tank 33 without remaining in the head unit 9. .

下流側タンク３３の液体は、経路３７を介して、中間タンク３４へ送液される。 The liquid in the downstream tank 33 is sent to the intermediate tank 34 via the path 37.

下流側タンク３３の液体が中間タンク３４へ送液されるためには、下流側タンク３３の気体部２１ａの初期設定圧力を、中間タンク３４の気体部２１ｂの圧力よりも高い値とすることが望ましい。 In order for the liquid in the downstream tank 33 to be sent to the intermediate tank 34, the initial set pressure of the gas part 21 a of the downstream tank 33 should be higher than the pressure of the gas part 21 b of the intermediate tank 34. desirable.

本実施の形態では、中間タンク３４の気体部２１ｂの圧力を−１５［ｋＰａ］とした。 In the present embodiment, the pressure of the gas part 21b of the intermediate tank 34 is set to −15 [kPa].

なお、前述のように上流側タンク３２の液体がヘッド部９へ供給されるために、上流側タンク３２内液体の液面高さを、下流側タンク３３内液体の液面高さよりも高くする構成としても良い。 Since the liquid in the upstream tank 32 is supplied to the head unit 9 as described above, the liquid level of the liquid in the upstream tank 32 is made higher than the liquid level in the downstream tank 33. It is good also as a structure.

経路３７は、一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁４４を備えており、チャック弁４４における液圧が所望の値を超えると初めて経路３７が開放されるように配置されている。このため、下流側タンク３３内の液体の高さは、一定に保たれる。また、前述のように下流側タンク３３の気体部２１ａは密閉されているので、下流側タンク３３の気体部２１ａの圧力も一定に保たれる。 The path 37 includes a chuck valve 44 that opens when a certain pressure is applied. The path 37 is arranged so that the path 37 is opened only when the hydraulic pressure in the chuck valve 44 exceeds a desired value. For this reason, the height of the liquid in the downstream side tank 33 is kept constant. Moreover, since the gas part 21a of the downstream tank 33 is sealed as described above, the pressure of the gas part 21a of the downstream tank 33 is also kept constant.

なお、下流側タンク３３から中間タンク３４へ送液する液体の流量は、ヘッド部９を通過する液体の流量と同等となり、本実施の形態では約２００ｍｌ／ｍｉｎとなる。 Note that the flow rate of the liquid fed from the downstream tank 33 to the intermediate tank 34 is equivalent to the flow rate of the liquid passing through the head unit 9, and is about 200 ml / min in the present embodiment.

経路３７を介して中間タンク３４へ送液された液体は、液体輸送手段３９によって上流側タンク３２へ送液される。液体輸送手段３９によって上流側タンク３２へ送液される液体の流量は、ヘッド部９を通過する液体の流量よりも多ければよく、特に限定されないが、本実施の形態では約３００ｍｌ／ｍｉｎとした。 The liquid sent to the intermediate tank 34 via the path 37 is sent to the upstream tank 32 by the liquid transport means 39. The flow rate of the liquid sent to the upstream side tank 32 by the liquid transport means 39 is not particularly limited as long as it is larger than the flow rate of the liquid passing through the head unit 9, but in this embodiment, it is about 300 ml / min. .

液体輸送手段３９によって上流側タンク３２へ送液された液体は、前述のように経路３５を介して、液滴吐出ヘッド１０を具備したヘッド部９へ供給される。ただし、ヘッド部９へ供給される液体の流量よりも、液体輸送手段３９によって上流側タンク３２へ送液される液体の流量の方が多いため、液体輸送手段３９によって上流側タンク３２へ送液される液体全てがヘッド部９へ供給されることはない。 The liquid sent to the upstream tank 32 by the liquid transport means 39 is supplied to the head unit 9 including the droplet discharge head 10 via the path 35 as described above. However, since the flow rate of the liquid sent to the upstream tank 32 by the liquid transport means 39 is larger than the flow rate of the liquid supplied to the head portion 9, the liquid feed means 39 sends the liquid to the upstream tank 32. All the liquid to be applied is not supplied to the head unit 9.

ヘッド部９へ供給されなかった残りの液体は、経路３６を介して、中間タンク３４へ送液される。本実施の形態では、約１００ｍｌ／ｍｉｎが中間タンク３４へ送液される。 The remaining liquid that has not been supplied to the head unit 9 is sent to the intermediate tank 34 via the path 36. In the present embodiment, about 100 ml / min is sent to the intermediate tank 34.

上流側タンク３２の液体が中間タンク３４へ送液されるためには、上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力を、中間タンク３４の気体部２１ｂの圧力よりも高い値とすることが望ましい。本構成では、前述のように上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力を−５［ｋＰａ］、下流側タンク３３の気体部２１ａの圧力を−１５［ｋＰａ］とした。 In order for the liquid in the upstream tank 32 to be sent to the intermediate tank 34, it is desirable that the pressure of the gas part 21 c of the upstream tank 32 is higher than the pressure of the gas part 21 b of the intermediate tank 34. In this configuration, as described above, the pressure of the gas part 21c of the upstream tank 32 is set to -5 [kPa], and the pressure of the gas part 21a of the downstream tank 33 is set to -15 [kPa].

なお、上流側タンク３２内液体の液面高さを、中間タンク３４内液体の液面高さよりも高くする構成としても良い。 The liquid level height of the liquid in the upstream tank 32 may be higher than the liquid level height of the liquid in the intermediate tank 34.

経路３６は、一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁４３を備えており、チャック弁４３部における液圧が所望の値を超えると初めて経路３６が開放されるように配置されている。このため、上流側タンク３２内の液体の高さは一定に保たれる。また、前述のように上流側タンク３２の気体部２１ｃは、密閉されているので、上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力も一定に保たれる。 The path 36 includes a chuck valve 43 that opens when a certain pressure is applied, and is arranged such that the path 36 is opened only when the hydraulic pressure in the chuck valve 43 part exceeds a desired value. . For this reason, the height of the liquid in the upstream tank 32 is kept constant. Moreover, since the gas part 21c of the upstream side tank 32 is sealed as mentioned above, the pressure of the gas part 21c of the upstream side tank 32 is also kept constant.

＜効果＞
これらの構成によれば、上流側タンク３２および下流側タンク３３の液面は、液面制御を用いなくても一定に保たれる。また、前述のように上流側タンク３２および下流側タンク３３の気体部２１ａは密閉されているので、上流側タンク３２および下流側タンク３３の気体部２１ａ、２１ｃの容積も一定に保たれる。すなわち、上流側タンク３２および下流側タンク３３の気体部２１ａ、２１ｃの圧力も一定に保たれる。 <Effect>
According to these configurations, the liquid levels of the upstream tank 32 and the downstream tank 33 are kept constant without using liquid level control. Moreover, since the gas part 21a of the upstream tank 32 and the downstream tank 33 is sealed as described above, the volumes of the gas parts 21a and 21c of the upstream tank 32 and the downstream tank 33 are also kept constant. That is, the pressures of the gas portions 21a and 21c of the upstream tank 32 and the downstream tank 33 are also kept constant.

すなわち、上流側タンク３２および下流側タンク３３の液面および気体部２１ａ、２１ｃの圧力が一定に保たれるため、ヘッド部９における液圧も一定に保つことができ、ヘッド部９から吐出される液滴量を一定に保つことができる。 That is, since the liquid level of the upstream tank 32 and the downstream tank 33 and the pressure of the gas parts 21a and 21c are kept constant, the liquid pressure in the head part 9 can also be kept constant and discharged from the head part 9. The amount of liquid droplets can be kept constant.

＜開始時の動作＞
なお、液体を循環させる前準備として、液体供給タンク４１から液体を充填する一例を以下に示す。 <Operation at the start>
An example of filling the liquid from the liquid supply tank 41 is shown below as a preparation for circulating the liquid.

まず、液体供給タンク４１から、中間タンク３４所望の液面高さとなるまで液体を充填し、中間タンク３４と経路３６および経路３７の一部に液体が充填され、それぞれのタンクの気体部２１ａ、２１ｂ、２１ｃが隔離された状態とする。 First, the liquid is supplied from the liquid supply tank 41 until the intermediate tank 34 reaches a desired liquid level, and the intermediate tank 34, the path 36, and a part of the path 37 are filled with the liquid, and the gas portions 21a, Assume that 21b and 21c are isolated.

次に、圧力調整手段４２を用いて、上流側タンク３２および下流側タンク３３および中間タンク３４の気体部２１ａ、２１ｂ、２１ｃの圧力を所望の値とした後に、それぞれのタンクを密封する。 Next, after the pressures of the gas portions 21a, 21b, and 21c of the upstream tank 32, the downstream tank 33, and the intermediate tank 34 are set to desired values using the pressure adjusting means 42, the respective tanks are sealed.

なお、圧力調整手段４２は、例えば絞り付き弁等を用い、弁の開度を調整してそれぞれのタンク内の気体分子量を変化させることで、タンク内の気体部２１ａ、２１ｂ、２１ｃの圧力を調整するのが良い。 The pressure adjusting means 42 uses, for example, a throttle valve and adjusts the opening of the valve to change the gas molecular weight in each tank, thereby changing the pressure of the gas portions 21a, 21b, 21c in the tank. It is good to adjust.

次に、上流側タンク３２および下流側タンク３３に液体を充填し、さらに液体輸送手段３９も駆動することで、経路３５〜３８を液体で満たす。なお、経路３５〜３８内にそれぞれ液体の流れを遮断できる弁を配置して、必要に応じて弁を開閉しながら液体を充填するのが望ましい。 Next, the upstream tank 32 and the downstream tank 33 are filled with liquid, and the liquid transport means 39 is also driven, so that the paths 35 to 38 are filled with liquid. In addition, it is desirable to arrange | position the valve which can interrupt | block the flow of a liquid in each path | route 35-38, and to fill with a liquid, opening and closing a valve as needed.

＜なお書き＞
なお、中間タンク３４内の液体量は、ヘッド部９から吐出された液体量だけ減少するため、その分，中間タンク３４内の気体部２１ｂの容積が増加し、軽微だが中間タンク３４内の気体部圧力が減少する。 <Notes>
Note that the amount of liquid in the intermediate tank 34 is reduced by the amount of liquid discharged from the head unit 9, so that the volume of the gas portion 21 b in the intermediate tank 34 is increased correspondingly, and the gas in the intermediate tank 34 is slight. The part pressure decreases.

しかしながら、中間タンク３４内の気体部２１ｂの圧力は、ヘッド部９の液圧に直接影響しないため、中間タンク３４内でも圧力制御は行わなくても良い。 However, since the pressure of the gas part 21b in the intermediate tank 34 does not directly affect the liquid pressure of the head part 9, pressure control may not be performed in the intermediate tank 34.

なお、適宜液体を充填するため、例えば、ヘッド部９から吐出された液体量に相応する液体量を、液体供給タンク４１より補充するのが望ましい。 In order to appropriately fill the liquid, for example, it is preferable to replenish the liquid supply tank 41 with a liquid amount corresponding to the liquid amount discharged from the head unit 9.

なお、経路３６および経路３７内に絞り機構を設けて、それぞれの経路における流量調整を行っても良い。本構成によれば、液体循環量を変化させた際などにも対応が可能となる。 Note that a throttle mechanism may be provided in the path 36 and the path 37 to adjust the flow rate in each path. According to this configuration, it is possible to cope with changes in the amount of liquid circulation.

なお、液体の種類は特に限定されず、製造物の種類によって適宜選択される。例えば、製造物が有機ＥＬパネルや液晶パネルである場合、発光材料などの有機発光物質を含む溶液や、液晶材料などの高粘度のインクが含まれる。
（実施の形態２）
なお、実施の形態１では、液体が循環させる液体循環装置４０を示した。この例では、液体が循環しない液体循環装置４０を示す。 In addition, the kind of liquid is not specifically limited, It selects suitably according to the kind of product. For example, when the product is an organic EL panel or a liquid crystal panel, a solution containing an organic light-emitting substance such as a light-emitting material or a highly viscous ink such as a liquid crystal material is included.
(Embodiment 2)
In the first embodiment, the liquid circulation device 40 that circulates the liquid is shown. In this example, a liquid circulation device 40 that does not circulate liquid is shown.

図４は、下流側タンク３３を用いない構成を模式的に示している。 FIG. 4 schematically shows a configuration in which the downstream tank 33 is not used.

＜構造＞
図４に示す液体循環装置の構造は、液滴を塗布する液滴吐出ヘッド１０を備えたヘッド部９と、塗布ノズル上流に接続された上流側タンク３２と、上流側タンク３２に接続された中間タンク３４とを備えている。上流側タンク３２または中間タンク３４は、初期圧力調整のために、それぞれ圧力調整手段４２を備えている。 <Structure>
The structure of the liquid circulation device shown in FIG. 4 is connected to the head unit 9 including the droplet discharge head 10 for applying droplets, the upstream tank 32 connected upstream of the application nozzle, and the upstream tank 32. And an intermediate tank 34. The upstream tank 32 or the intermediate tank 34 includes a pressure adjusting means 42 for adjusting the initial pressure.

なお、上流側タンク３２および中間タンク３４は、初期圧力の調整を行った後は、それぞれの気体部２１ｂ、２１ｃを密封する。本構成により、それぞれのタンクへの気体の流入および流出を最小限に抑えることができ、液体の増粘を最小限に抑制することができる。 In addition, after adjusting the initial pressure, the upstream tank 32 and the intermediate tank 34 seal the gas portions 21b and 21c, respectively. With this configuration, the inflow and outflow of gas to each tank can be minimized, and the thickening of the liquid can be minimized.

上流側タンク３２と中間タンク３４は、パイプなどで構成される経路３６により接続されている。なお、経路３６は、貫通した空間部を有していれば良く、例えばチューブ等を用いても良い。 The upstream tank 32 and the intermediate tank 34 are connected by a path 36 constituted by a pipe or the like. In addition, the path | route 36 should just have the penetrated space part, for example, a tube etc. may be used.

経路３６は、一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁４３を備えている。本構成では、チャック弁４３は、上流側タンク３２から中間タンク３４の方向のみに液体が流れるように配置する。また、チャック弁４３は、上流側タンク３２よりも低い位置に配置され、チャック弁４３部における液圧が所望の値を超えると初めて経路３６が開放されるように配置する。チャック弁４３部における液圧は上流側タンク３２の液面が高くなるにつれて上昇するため、前述のようにチャック弁４３を配置することで、上流側タンク３２内の液面高さと、中間タンク３４の内の液面高さとの差が所望の値を超えるまでは経路が開放されない。 The path 36 includes a chuck valve 43 that opens when a constant pressure is applied. In this configuration, the chuck valve 43 is disposed so that the liquid flows only in the direction from the upstream tank 32 to the intermediate tank 34. The chuck valve 43 is arranged at a position lower than the upstream tank 32, and is arranged so that the path 36 is opened only when the hydraulic pressure in the chuck valve 43 part exceeds a desired value. Since the hydraulic pressure in the chuck valve 43 increases as the liquid level of the upstream tank 32 becomes higher, the liquid level in the upstream tank 32 and the intermediate tank 34 are arranged by arranging the chuck valve 43 as described above. The path is not opened until the difference between the liquid level and the liquid level exceeds a desired value.

また、上流側タンク３２と中間タンク３４は、例えば、ポンプ等の液体輸送手段３９を有する経路３８によっても接続されている。液体輸送手段３９は、中間タンク３４から上流側タンク３２へと液体を輸送するために用いられる。 The upstream tank 32 and the intermediate tank 34 are also connected by a path 38 having a liquid transporting means 39 such as a pump. The liquid transport means 39 is used for transporting liquid from the intermediate tank 34 to the upstream tank 32.

また、液体供給タンク４１を有し、ポンプや圧縮空気を用いて適宜液体を補充できる構成とするのが良い。なお、図４では簡略化のために中間タンク３４のみに補充する図としたが、上流側タンク３２に補充しても良い。 Moreover, it is good to have the structure which has the liquid supply tank 41 and can replenish a liquid suitably using a pump or compressed air. In FIG. 4, for the sake of simplification, only the intermediate tank 34 is replenished, but the upstream tank 32 may be replenished.

＜動作＞
以下に、図４を用いて、液体供給経路５０における液体の流れと、そのための構成について説明する。 <Operation>
Hereinafter, the flow of the liquid in the liquid supply path 50 and the configuration therefor will be described with reference to FIG.

上流側タンク３２は、ヘッド部９よりも高い位置に配置され、上流側タンク３２の液体は、経路３５を介して、液滴吐出ヘッド１０を具備したヘッド部９へ供給される。なお、前述のように上流側タンク３２の液体は、経路３５を介して、液滴吐出ヘッド１０を具備したヘッド部９へ供給されるために、上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力を大気圧よりも高い値としても良い。 The upstream tank 32 is arranged at a position higher than the head unit 9, and the liquid in the upstream tank 32 is supplied to the head unit 9 including the droplet discharge head 10 via the path 35. As described above, since the liquid in the upstream tank 32 is supplied to the head unit 9 including the droplet discharge head 10 via the path 35, the pressure in the gas part 21c of the upstream tank 32 is increased. It is good also as a value higher than atmospheric pressure.

また、液体輸送手段３９によって中間タンク３４から上流側タンク３２へ送液された液体は、前述のように経路３５を介して、液滴吐出ヘッド１０を具備したヘッド部９へ供給される。 Further, the liquid sent from the intermediate tank 34 to the upstream tank 32 by the liquid transport means 39 is supplied to the head unit 9 including the droplet discharge head 10 via the path 35 as described above.

しかし、ヘッド部９へ供給される液体の流量よりも、液体輸送手段３９によって上流側タンク３２へ送液される液体の流量の方が多いため、液体輸送手段３９によって中間タンク３４から上流側タンク３２へ送液された液体全てがヘッド部９へ供給されることはない。 However, since the flow rate of the liquid sent to the upstream tank 32 by the liquid transport means 39 is larger than the flow rate of the liquid supplied to the head portion 9, the upstream tank All of the liquid sent to 32 is not supplied to the head unit 9.

ヘッド部９へ供給されなかった残りの液体は、経路３６を介して、中間タンク３４へ送液される。前述のように上流側タンク３２の液体が中間タンク３４へ送液されるためには，上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力を、中間タンク３４の気体部２１ｂの圧力よりも高い値とすることが望ましい。 The remaining liquid that has not been supplied to the head unit 9 is sent to the intermediate tank 34 via the path 36. As described above, in order for the liquid in the upstream tank 32 to be sent to the intermediate tank 34, the pressure of the gas part 21 c of the upstream tank 32 is set to a value higher than the pressure of the gas part 21 b of the intermediate tank 34. It is desirable.

経路３６は、一定の圧力が与えられると弁が開放するチャック弁４３を備えており、チャック弁４３部における液圧が所望の値を超えると初めて経路が開放されるように配置されている。このため、上流側タンク３２内液体の液面高さと中間タンク３４との液面差は一定に保たれる。 The path 36 includes a chuck valve 43 that opens when a certain pressure is applied, and is arranged such that the path is opened only when the hydraulic pressure in the chuck valve 43 part exceeds a desired value. For this reason, the liquid level height of the liquid in the upstream tank 32 and the liquid level difference between the intermediate tank 34 are kept constant.

また、前述のように上流側タンク３２の気体部２１ｃは、密閉されているので、上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力も一定に保たれる。また、前述のように上流側タンク３２の気体部２１ｃは、密閉されているので、上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力も一定に保たれる。 Moreover, since the gas part 21c of the upstream side tank 32 is sealed as mentioned above, the pressure of the gas part 21c of the upstream side tank 32 is also kept constant. Moreover, since the gas part 21c of the upstream side tank 32 is sealed as mentioned above, the pressure of the gas part 21c of the upstream side tank 32 is also kept constant.

＜効果＞
本構成によれば、上流側タンク３２の液面は、液面制御を用いなくても一定に保たれる。また、上流側タンク３２の気体部２１ｃの容積も一定に保たれるため、上流側タンク３２の気体部２１ｃの圧力も一定に保たれる。ヘッド部９における液圧も一定に保つことができる。 <Effect>
According to this configuration, the liquid level of the upstream tank 32 is kept constant without using liquid level control. Moreover, since the volume of the gas part 21c of the upstream side tank 32 is also kept constant, the pressure of the gas part 21c of the upstream side tank 32 is also kept constant. The hydraulic pressure in the head part 9 can also be kept constant.

なお、中間タンク３４内の液体量は、ヘッド部９から吐出された液体量だけ減少するため、その分、中間タンク３４内の気体部２１ｂの容積が増加し、中間タンク３４内の気体部２１ｂの圧力が減少する。しかしながら、中間タンク３４内の気体部２１ｂの圧力は、ヘッド部９の液圧に影響しないため、中間タンク３４内でも圧力制御等を行う必要はない。 Since the amount of liquid in the intermediate tank 34 decreases by the amount of liquid discharged from the head unit 9, the volume of the gas part 21b in the intermediate tank 34 increases accordingly, and the gas part 21b in the intermediate tank 34 increases. The pressure of decreases. However, since the pressure of the gas part 21 b in the intermediate tank 34 does not affect the liquid pressure of the head part 9, it is not necessary to perform pressure control or the like in the intermediate tank 34.

ただし、適宜液体を充填するため、例えばヘッド部９から吐出された液体量に相応する液体量を、液体供給タンク４１より補充するのが望ましい。 However, in order to appropriately fill the liquid, for example, it is desirable to replenish the liquid amount corresponding to the amount of liquid discharged from the head unit 9 from the liquid supply tank 41.

実施の形態の液滴吐出設備における液体循環装置４０は、ヘッド部９と接続される上流側タンク３２および下流側タンク３３の気体部２１ａ、２１ｃの液面が一定に保たれるとともに、上流側タンク３２と下流側タンク３３の気体部２１ａ、２１ｃの圧力が一定に保たれるため、ヘッド部９での液圧が一定に保たれ、安定した液滴吐出が可能となるため、印刷対象物１の色ムラ等が低減し、高品質な印刷物を生産することが可能となる。 In the liquid circulation device 40 in the droplet discharge facility according to the embodiment, the liquid surfaces of the gas portions 21a and 21c of the upstream tank 32 and the downstream tank 33 connected to the head unit 9 are kept constant, and the upstream side Since the pressures of the gas portions 21a and 21c of the tank 32 and the downstream tank 33 are kept constant, the fluid pressure at the head portion 9 is kept constant and stable droplet discharge is possible, so that the printing object As a result, it is possible to reduce the unevenness of color 1 and produce high-quality printed matter.

また、センサを用いた制御が不要なため、液体の状態変化による誤作動や、パラメータの設定等が不要となり、簡易な構成とすることができるため、設備の省スペース化やコスト低廉化が図られる。また、気体の出し入れを行わずに密閉空間内で液体循環が可能なため、液体の増粘などの問題も解消できる。そのため、材料利用効率の向上により生成物のコスト低廉化も図られる。 In addition, since control using a sensor is not required, malfunctions due to changes in the state of the liquid, parameter settings, etc. are not required, and a simple configuration can be achieved, thereby saving space and reducing costs of equipment. It is done. Further, since the liquid can be circulated in the sealed space without taking in and out the gas, problems such as liquid thickening can be solved. Therefore, the cost of the product can be reduced by improving the material utilization efficiency.

工業用、家庭用、インク塗布装置に用いることができる。特に、有機ＥＬディスプレイパネルの製造における有機発光材料を塗布形成するための液滴吐出式記録装置の利用できる。 It can be used for industrial, household, and ink application devices. In particular, a droplet discharge recording apparatus for coating and forming an organic light emitting material in the manufacture of an organic EL display panel can be used.

１印刷対象物
２ヘッドユニット
３テーブル
４脚部
５支持部
６ガントリー
７支持台
８分配タンク
９ヘッド部
Ａ経路
Ｂ経路
Ｃ経路
Ｚ昇降方向
１０液滴吐出ヘッド
１１ステージ
１２インクジェット式記録装置
２１、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ気体部
２２開口部
３２上流側タンク
３３下流側タンク
３４中間タンク
３５経路
３６経路
３７経路
３８経路
３９液体輸送手段
４０液体循環装置
４１液体供給タンク
４２圧力調整手段
４３チャック弁
４４チャック弁
５０液体供給経路
５１弁
５２弾性体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Print target 2 Head unit 3 Table 4 Leg part 5 Support part 6 Gantry 7 Support stand 8 Distribution tank 9 Head part A Path B Path C Path Z Elevating direction 10 Droplet discharge head 11 Stage 12 Inkjet recording devices 21 and 21a 21b, 21c Gas part 22 Opening part 32 Upstream tank 33 Downstream tank 34 Intermediate tank 35 Path 36 Path 37 Path 38 Path 39 Liquid transport means 40 Liquid circulation device 41 Liquid supply tank 42 Pressure adjustment means 43 Chuck valve 44 Chuck valve 50 Liquid supply path 51 Valve 52 Elastic body

Claims

A nozzle for applying droplets;
An upstream tank connected upstream of the nozzle;
A downstream tank connected downstream of the nozzle;
An intermediate tank connected to the upstream tank and the downstream tank;
A path A connecting the upstream tank and the intermediate tank;
A path B connecting the downstream tank and the intermediate tank;
A chuck valve A arranged in the path A and opened when a constant pressure is applied;
A chuck valve B arranged in the path B and opened when a constant pressure is applied,
The liquid in the upstream tank flows to the intermediate tank via the path A,
The liquid in the downstream tank flows to the intermediate tank via the path B,
The chuck valve A opens the path A when the liquid level in the upstream tank reaches a desired value or more,
The chuck valve B is a liquid ejection device in which the path B is opened when the liquid level in the downstream tank reaches a desired value or more.

When the path A and the path B are filled with the liquid, the gas part in the upstream tank, the gas part in the downstream tank, and the gas part of the intermediate tank are isolated by the liquid. The liquid ejection device according to claim 1.

3. The liquid ejection device according to claim 1, wherein the pressure in the intermediate tank gas portion is lower than the pressure in the upstream tank or the downstream tank gas portion.

4. The liquid according to claim 1, wherein the liquid level height of the liquid in the intermediate tank is arranged at a position lower than the liquid level height of the liquid in the upstream side tank or the downstream side tank. 5. Discharge device.

A nozzle for applying droplets;
An upstream tank connected upstream of the nozzle;
An intermediate tank connected to the upstream tank;
A path C connecting the upstream tank and the intermediate tank;
A chuck valve that is disposed in the path C and opens when a constant pressure is applied,
The upstream tank liquid is arranged to flow to the intermediate tank via the path C,
The chuck valve is a liquid ejection device arranged so that a path is opened when a liquid level in the upstream tank reaches a desired value or more.

During the circulation of the liquid, the gas part of the upstream tank and the intermediate tank is sealed,
6. The droplet discharge device according to claim 5, wherein when the path C is filled with the liquid, the gas part in the upstream tank and the gas part of the intermediate tank are isolated by the liquid.

Liquid circulation means for feeding liquid from the intermediate tank to the upstream tank is provided, and the amount of liquid fed from the intermediate tank to the upstream tank is fed from the upstream tank to the nozzle. The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the liquid ejecting apparatus is larger than an amount of liquid to be produced.

Feeding the liquid from the upstream tank to the nozzle and applying the liquid from the nozzle;
When the liquid level of the liquid in the upstream tank reaches a certain height or higher, the first valve provided between the upstream tank and the intermediate tank is opened by the pressure of the liquid, and the liquid is removed from the upstream tank. Flowing from the side tank to the intermediate tank;
When the liquid level of the liquid in the downstream tank reaches a certain height or more, the pressure of the liquid opens a second valve provided between the downstream tank and the intermediate tank, and the liquid is Flowing from the downstream tank to the intermediate tank.

Feeding the liquid from the upstream tank to the nozzle and applying the liquid from the nozzle;
When the liquid level of the liquid in the upstream tank is equal to or higher than a certain height, a third valve provided between the upstream tank and the intermediate tank is opened by the pressure of the liquid, and the liquid is Flowing from the upstream tank to the intermediate tank.