JP2014041692A - Semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は半導体記憶装置及びその書き込み制御方法に関し、特に、書き込むべきデータの論理レベルによって書き込み時間に差がある半導体記憶装置及びこのような半導体記憶装置に対する書き込み制御方法に関する。 The present invention relates to a semiconductor memory device and a writing control method thereof, and more particularly to a semiconductor memory device having a writing time difference depending on a logic level of data to be written and a writing control method for such a semiconductor memory device.
パーソナルコンピュータやサーバなどには、階層的に構築された種々の記憶装置が用いられる。下層の記憶装置は安価で且つ大容量であることが求められ、上層の記憶装置には高速アクセスが求められる。最も下層の記憶装置としては、一般的にハードディスクドライブや磁気テープなどの磁気ストレージが用いられる。磁気ストレージは不揮発性であり、しかも、半導体メモリなどに比べて極めて大容量のデータを安価に保存することが可能であるが、アクセススピードが遅く、しかも、多くの場合ランダムアクセス性を有していない。このため、磁気ストレージには、プログラムや長期的に保存すべきデータなどが格納され、必要に応じてより上層の記憶装置に転送される。 Various storage devices constructed hierarchically are used for personal computers and servers. The lower layer storage device is required to be inexpensive and have a large capacity, and the upper layer storage device is required to be accessed at high speed. As the lowermost storage device, a magnetic storage such as a hard disk drive or a magnetic tape is generally used. Magnetic storage is non-volatile, and can store extremely large amounts of data at a low cost compared to semiconductor memory, etc., but has a slow access speed and often has random accessibility. Absent. For this reason, the magnetic storage stores a program, data to be stored in the long term, and the like, and transfers them to a higher-layer storage device as necessary.
メインメモリは、磁気ストレージよりも上層の記憶装置である。一般的に、メインメモリにはDRAM(Dynamic Random Access Memory)が用いられる。DRAMは、磁気ストレージに比べて高速アクセスが可能であり、しかも、ランダムアクセス性を有している。また、SRAM(Static Random Access Memory)などの高速半導体メモリよりも、ビット単価が安いという特徴を有している。 The main memory is a storage device in an upper layer than the magnetic storage. Generally, a DRAM (Dynamic Random Access Memory) is used as the main memory. DRAM can be accessed at a higher speed than magnetic storage and has random accessibility. In addition, the bit unit price is lower than that of a high-speed semiconductor memory such as SRAM (Static Random Access Memory).
最も上層の記憶装置は、MPU(Micro Processing Unit)に内蔵された内蔵キャッシュメモリである。内蔵キャッシュメモリは、MPUのコアと内部バスを介して接続されることから、極めて高速なアクセスが可能である。しかしながら、確保できる記録容量は極めて少ない。尚、内蔵キャッシュとメインメモリとの間の階層を構成する記憶装置として、2次キャッシュや3次キャッシュなどが使用されることもある。 The uppermost storage device is a built-in cache memory built in an MPU (Micro Processing Unit). Since the built-in cache memory is connected to the core of the MPU via an internal bus, it can be accessed at extremely high speed. However, the recording capacity that can be secured is extremely small. Note that a secondary cache, a tertiary cache, or the like may be used as a storage device that forms a hierarchy between the internal cache and the main memory.
DRAMがメインメモリとして選択される理由は、アクセス速度とビット単価のバランスが非常に良いからである。しかも、半導体メモリの中では大容量であり、近年においては1ギガビットを超える容量を持つチップも開発されている。しかしながら、DRAMは揮発性メモリであり、電源を切ると記憶データが失われてしまうため、プログラムや長期的に保存すべきデータの格納には適していない。また、電源投入中も、データを保持するためには定期的にリフレッシュ動作を行う必要があるため、消費電力の低減に限界があるとともに、コントローラによる複雑な制御が必要であるという課題を抱えている。 The reason why the DRAM is selected as the main memory is that the balance between the access speed and the bit unit price is very good. Moreover, a chip having a large capacity among semiconductor memories and having a capacity exceeding 1 gigabit has been developed in recent years. However, the DRAM is a volatile memory, and the stored data is lost when the power is turned off. Therefore, the DRAM is not suitable for storing a program or data to be stored for a long time. In addition, since it is necessary to perform a refresh operation periodically to keep data even when the power is turned on, there is a limit to reducing power consumption, and there is a problem that complicated control by the controller is necessary. Yes.
大容量の不揮発性半導体メモリとしては、フラッシュメモリが知られている。しかしながら、フラッシュメモリは、データの書き込みやデータの消去に大電流が必要であり、しかも、書き込み時間や消去時間が非常に長いというデメリットを有している。したがって、メインメモリとしてのDRAMを代替することは不適切である。その他、MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)やFRAM(Ferroelectric Random Access Memory)等の不揮発性メモリが提案されているが、DRAMと同等の記憶容量を得ることは困難である。 A flash memory is known as a large-capacity nonvolatile semiconductor memory. However, the flash memory has a demerit that a large current is required for data writing and data erasing, and the writing time and erasing time are very long. Therefore, it is inappropriate to replace the DRAM as the main memory. In addition, nonvolatile memories such as MRAM (Magnetoresistive Random Access Memory) and FRAM (Ferroelectric Random Access Memory) have been proposed, but it is difficult to obtain a storage capacity equivalent to that of DRAM.
一方、DRAMに代わる半導体メモリとして、相変化材料を用いて記録を行うPRAM(Phase change Random Access Memory)が提案されている(特許文献1,2参照)。PRAMは、記録層に含まれる相変化材料の相状態によってデータを記憶する。つまり、相変化材料は、結晶相における電気抵抗とアモルファス相における電気抵抗が大きく異なっていることから、これを利用して、データを記録することができる。
On the other hand, PRAM (Phase change Random Access Memory) that performs recording using a phase change material has been proposed as a semiconductor memory that replaces DRAM (see
相状態の変化は、相変化材料に書き込み電流を流し、これにより相変化材料を加熱することによって行われる。データの読み出しは、相変化材料に読み出し電流を流し、その抵抗値を測定することによって行われる。読み出し電流は、相変化を生じさせないよう、書き込み電流よりも十分小さな値に設定される。このように、相変化材料の相状態は、高熱を印加しない限り変化しないことから、電源を切ってもデータが失われることはない。 The change in phase state is performed by passing a write current through the phase change material, thereby heating the phase change material. Data is read by passing a read current through the phase change material and measuring its resistance value. The read current is set to a value sufficiently smaller than the write current so as not to cause a phase change. Thus, since the phase state of the phase change material does not change unless high heat is applied, data is not lost even when the power is turned off.
相変化材料をアモルファス化(リセット)するためには、書き込み電流の印加によって相変化材料を融点以上の温度に加熱し、その後急速に冷却する必要がある。一方、相変化材料を結晶化(セット)するためには、書き込み電流の印加によって相変化材料を結晶化温度以上、融点未満の温度に加熱し、その後徐々に冷却する必要がある。このため、PRAMは、リセット動作に比べてセット動作に必要な時間が長いという特徴を有している。 In order to make the phase change material amorphous (reset), it is necessary to heat the phase change material to a temperature equal to or higher than the melting point by applying a write current and then rapidly cool the phase change material. On the other hand, in order to crystallize (set) the phase change material, it is necessary to heat the phase change material to a temperature higher than the crystallization temperature and lower than the melting point by applying a write current, and then gradually cool it. For this reason, the PRAM has a feature that the time required for the set operation is longer than the reset operation.
このように、PRAMでは、セット動作に必要な時間とリセット動作に必要な時間が大きく異なるため、データ書き込み時における制御が複雑となり、DRAMなど他の汎用メモリとの互換性を確保することは困難であった。このような問題は、PRAMのみならず、書き込むべき論理値によって書き込み時の所要時間が異なるタイプの半導体記憶装置において共通に生じる問題である。 As described above, in the PRAM, the time required for the set operation and the time required for the reset operation are greatly different, so that the control at the time of data writing becomes complicated, and it is difficult to ensure compatibility with other general-purpose memories such as DRAM. Met. Such a problem is a problem that occurs not only in the PRAM but also in a semiconductor memory device of a type in which the time required for writing differs depending on the logical value to be written.
本発明はこのような問題を解決すべくなされたものであって、本発明による半導体記憶装置は、書き込むべき論理値によって書き込み時の所要時間が異なるタイプの半導体記憶装置の制御を簡素化することを目的とする。 The present invention has been made to solve such problems, and the semiconductor memory device according to the present invention simplifies the control of a semiconductor memory device of a type in which the time required for writing differs depending on the logic value to be written. With the goal.
本発明による半導体記憶装置は、ワード線と、前記ワード線と交差するビット線と、前記ワード線と前記ビット線の交点に配置され、論理値によってライト時の所要時間が異なる記憶素子と、前記ビット線に書き込み電流を供給するライトドライバと、前記ライトドライバの動作を制御する書き込み制御回路と、前記書き込み制御回路にタイミング信号を供給するタイミング信号生成回路とを備え、前記タイミング信号は、第1の論理レベルを書き込む場合における前記書き込み電流の供給開始時を示すパルスと、前記第1の論理レベルを書き込む場合における前記書き込み電流の供給終了時を示すパルスと、第2の論理レベルを書き込む場合における前記書き込み電流の供給開始時及び供給終了時の少なくとも一方を示すパルスとを含んだ波形を有していることを特徴とする。 A semiconductor memory device according to the present invention includes a word line, a bit line intersecting with the word line, a memory element arranged at an intersection of the word line and the bit line, and a different time required for writing depending on a logical value, A write driver that supplies a write current to the bit line; a write control circuit that controls an operation of the write driver; and a timing signal generation circuit that supplies a timing signal to the write control circuit. In the case of writing a pulse indicating the start of supply of the write current in the case of writing the logic level, a pulse indicating the end of supply of the write current in the case of writing the first logic level, and in writing the second logic level Including a pulse indicating at least one of supply start and supply end of the write current It characterized in that it has the form.
また、本発明による半導体記憶装置の書き込み制御方法は、ワード線と、前記ワード線と交差するビット線と、前記ワード線と前記ビット線の交点に配置され、論理値によってライト時の所要時間が異なる記憶素子と、前記ビット線に書き込み電流を供給する第1及び第2の書き込みトランジスタとを備える半導体記憶装置の書き込み制御方法であって、第1乃至第3のパルスを有するタイミング信号を生成するステップと、第1の論理レベルを書き込む場合には前記第1のパルスから前記第3のパルスまでの期間に亘って前記第1の書き込みトランジスタを導通させ、第2の論理レベルを書き込む場合には前記第1のパルスから前記第2のパルスまでの期間に亘って前記第2の書き込みトランジスタを導通させるステップとを備えることを特徴とする。 According to another aspect of the present invention, there is provided a write control method for a semiconductor memory device, wherein a word line, a bit line intersecting the word line, and an intersection of the word line and the bit line are arranged. A write control method for a semiconductor memory device comprising different memory elements and first and second write transistors for supplying a write current to the bit line, wherein a timing signal having first to third pulses is generated. When writing the first logic level, and when writing the second logic level, the first writing transistor is turned on during the period from the first pulse to the third pulse. Conducting the second write transistor over a period from the first pulse to the second pulse. And butterflies.
このように本発明によれば、第1及び第2の論理レベルの書き込み開始時及び書き込み終了時を示すタイミング信号を用い、これに同期してビット線に書き込み電流を流していることから、書き込むべき論理値によって書き込み時の所要時間が異なるタイプの半導体記憶装置の制御を簡素化することが可能となる。これにより、書き込むべき論理値を意識することなくデータの書き込みを行うことができることから、シンクロナス型のDRAMとの互換性を持たせることが容易となる。 As described above, according to the present invention, since the timing signal indicating the writing start time and the writing end time of the first and second logic levels is used and the write current is supplied to the bit line in synchronization therewith, writing is performed. It is possible to simplify the control of a semiconductor memory device of a type in which the time required for writing differs depending on the power value. As a result, data can be written without being aware of the logical value to be written, so that it is easy to provide compatibility with a synchronous DRAM.
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の好ましい実施形態による半導体記憶装置の回路図である。 FIG. 1 is a circuit diagram of a semiconductor memory device according to a preferred embodiment of the present invention.
図1に示す半導体記憶装置は、ワード線WL1〜WLmと、ワード線WL1〜WLmと交差するビット線BL1〜BLnと、ワード線とビット線の交点に配列されたメモリセルMC(1,1)〜MC(m,n)とを備えたマトリクス状のメモリである。 The semiconductor memory device shown in FIG. 1 includes word lines WL1 to WLm, bit lines BL1 to BLn intersecting the word lines WL1 to WLm, and memory cells MC (1, 1) arranged at the intersections of the word lines and the bit lines. A memory in the form of a matrix having .about.MC (m, n).
ワード線WL1〜WLmの選択はロウセレクタ11によって行われ、ワード線WL1〜WLmのいずれか一つが活性状態とされる。また、ビット線BL1〜BLnには、それぞれ書き込み電流を供給するライトドライバWD1〜WDnが接続されている。ライトドライバWD1〜WDnの動作は、それぞれ書き込み制御回路WC1〜WCnによって制御される。書き込み制御回路WC1〜WCnには、図1に示すように、ライトデータDataが共通に供給される。
Selection of the word lines WL1 to WLm is performed by the
カラムセレクタ12は、書き込み制御回路WC1〜WCnにそれぞれ対応するカラム選択信号CS1〜CSnを生成する回路であり、これによって、書き込み制御回路WC1〜WCnの選択が行われる。カラムセレクタ12には、クロック信号CLKが供給されており、これによりカラムセレクタ12はクロック信号CLKに同期した動作を行う。
The
図1に示すように、ライトドライバWD1〜WDnは、それぞれセット用トランジスタ21及びリセット用トランジスタ22によって構成されている。いずれのトランジスタもPチャンネル型のMOSトランジスタである。セット用トランジスタ21のソースはセット電位配線Vsetに接続され、リセット用トランジスタ22のソースはリセット電位配線Vresetに接続されている。これらトランジスタ21,22のドレインは、YスイッチY1〜Ynを介して、対応するビット線BL1〜BLnに共通接続されている。YスイッチY1〜Ynには、選択信号Yselが共通に供給される。
As shown in FIG. 1, each of the write drivers WD1 to WDn includes a
これにより、選択信号Yselが活性化した状態でセット用トランジスタ21がオンすると、対応するビット線BL1〜BLnにセット電流が供給される。一方、選択信号Yselが活性化した状態でリセット用トランジスタ22がオンすると、対応するビット線BL1〜BLnにリセット電流が供給されることになる。
As a result, when the setting
セット用トランジスタ21のゲートに供給されるセットパルス31と、リセット用トランジスタ22のゲートに供給されるリセットパルス32は、対応する書き込み制御回路WC1〜WCnによって生成される。
The
図1に示すように、書き込み制御回路WC1〜WCnには、ライトデータData及びカラム選択信号CS1〜CSnの他、タイミング信号生成回路13によって生成されるタイミング信号TS及びタイミング選択信号SELが供給される。これら信号のうち、ライトデータData、タイミング信号TS及びタイミング選択信号SELについては、書き込み制御回路WC1〜WCnに対して共通に供給される。これに対し、カラム選択信号CS1〜CSnについては、書き込み制御回路WC1〜WCnに対してそれぞれ個別に供給される。
As shown in FIG. 1, the write control circuits WC1 to WCn are supplied with the timing signal TS and the timing selection signal SEL generated by the timing
タイミング信号TSは5本のタイミング信号TS1〜TS5からなり、タイミング選択信号SELは5本のタイミング選択信号SEL1〜SEL5からなる。 The timing signal TS is composed of five timing signals TS1 to TS5, and the timing selection signal SEL is composed of five timing selection signals SEL1 to SEL5.
図2は、本発明による半導体記憶装置がPRAMである場合におけるメモリセルMCの回路図である。 FIG. 2 is a circuit diagram of the memory cell MC when the semiconductor memory device according to the present invention is a PRAM.
図2に示すように、本発明による半導体記憶装置がPRAMである場合、メモリセルMCは相変化材料からなる不揮発性記憶素子PCと選択トランジスタTrによって構成され、これらがビット線BLとソース電位VSSとの間に直列接続されることになる。 As shown in FIG. 2, when the semiconductor memory device according to the present invention is a PRAM, the memory cell MC is composed of a nonvolatile memory element PC made of a phase change material and a selection transistor Tr, which are a bit line BL and a source potential VSS. Will be connected in series.
不揮発性記憶素子PCを構成する相変化材料としては、2以上の相状態を取り、且つ、相状態によって電気抵抗が異なる材料であれば特に制限されないが、いわゆるカルコゲナイド材料を選択することが好ましい。カルコゲナイド材料とは、ゲルマニウム(Ge)、アンチモン(Sb)、テルル(Te)、インジウム(In)、セレン(Se)等の元素を少なくとも一つ以上含む合金を指す。一例として、GaSb、InSb、InSe、Sb2Te3、GeTe等の2元系元素、Ge2Sb2Te5、InSbTe、GaSeTe、SnSb2Te4、InSbGe等の3元系元素、AgInSbTe、(GeSn)SbTe、GeSb(SeTe)、Te81Ge15Sb2S2等の4元系元素が挙げられる。 The phase change material constituting the nonvolatile memory element PC is not particularly limited as long as it is a material that takes two or more phase states and has different electric resistance depending on the phase state, but it is preferable to select a so-called chalcogenide material. The chalcogenide material refers to an alloy containing at least one element such as germanium (Ge), antimony (Sb), tellurium (Te), indium (In), and selenium (Se). As an example, binary elements such as GaSb, InSb, InSe, Sb 2 Te 3 and GeTe, ternary elements such as Ge 2 Sb 2 Te 5 , InSbTe, GaSeTe, SnSb 2 Te 4 and InSbGe, AgInSbTe, (GeSn ) Quaternary elements such as SbTe, GeSb (SeTe), Te 81 Ge 15 Sb 2 S 2 and the like.
カルコゲナイド材料を含む相変化材料は、アモルファス相(非晶質相)及び結晶相のいずれかの相状態をとることができ、アモルファス相では相対的に高抵抗状態、結晶相では相対的に低抵抗状態となる。 Phase change materials including chalcogenide materials can take either an amorphous phase (amorphous phase) or a crystalline phase. The amorphous phase has a relatively high resistance state and the crystalline phase has a relatively low resistance. It becomes a state.
選択トランジスタTrは、NチャンネルMOSトランジスタによって構成され、そのゲート電極は対応するワード線WLに接続されている。これにより、ワード線WLが活性化すると、ビット線BLとソース電位VSSとの間に不揮発性記憶素子PCが接続された状態となる。 The selection transistor Tr is composed of an N-channel MOS transistor, and its gate electrode is connected to the corresponding word line WL. Accordingly, when the word line WL is activated, the nonvolatile memory element PC is connected between the bit line BL and the source potential VSS.
既に説明したとおり、相変化材料をアモルファス化(リセット)するためには、書き込み電流の印加によって相変化材料を融点以上の温度に加熱し、その後急速に冷却する必要がある。一方、相変化材料を結晶化(セット)するためには、書き込み電流の印加によって相変化材料を結晶化温度以上、融点未満の温度に加熱し、その後徐々に冷却する必要がある。図3は、これを説明するためのグラフである。曲線aは、不揮発性記憶素子PCを構成する相変化材料をアモルファス化(リセット)する場合の加熱方法を示しており、曲線bは、不揮発性記憶素子PCを構成する相変化材料を結晶化(セット)する場合の加熱方法を示している。 As described above, in order to make the phase change material amorphous (reset), it is necessary to heat the phase change material to a temperature equal to or higher than the melting point by applying a write current and then rapidly cool the phase change material. On the other hand, in order to crystallize (set) the phase change material, it is necessary to heat the phase change material to a temperature higher than the crystallization temperature and lower than the melting point by applying a write current, and then gradually cool it. FIG. 3 is a graph for explaining this. A curve a shows a heating method when the phase change material constituting the nonvolatile memory element PC is amorphized (reset), and a curve b crystallizes the phase change material constituting the nonvolatile memory element PC ( This shows the heating method when setting.
図3に示すように、PRAMでは、リセット動作に比べてセット動作に必要な時間が長くなる。 As shown in FIG. 3, in the PRAM, the time required for the set operation is longer than the reset operation.
図4は、タイミング信号TS1〜TS5及びタイミング選択信号SEL1〜SEL5の波形図である。 FIG. 4 is a waveform diagram of the timing signals TS1 to TS5 and the timing selection signals SEL1 to SEL5.
図4に示すように、タイミング信号TS1〜TS5はいずれもクロック信号CLKに同期した信号であり、互いにjクロックずつ位相の異なる信号である。本実施形態においてはj=1であり、したがって、タイミング信号TS1〜TS5の位相は互いに1クロックずつずれている。 As shown in FIG. 4, the timing signals TS1 to TS5 are all signals synchronized with the clock signal CLK, and are signals having phases different from each other by j clocks. In this embodiment, j = 1, and therefore the phases of the timing signals TS1 to TS5 are shifted from each other by one clock.
タイミング信号TS1〜TS5は、3つのパルスが繰り返し現れる波形を有している。タイミング信号TS1を例として具体的に説明すると、クロック信号CLKのアクティブエッジ#1、#2及び#5に同期したパルスP1〜P3からなるパルス群Pが繰り返される。このため、1つのパルス群Pは5クロックの期間を使用する。したがって、タイミング信号TS1〜TS5の位相を互いに1クロックずつずらすことにより、クロック信号CLKの全てのアクティブエッジは、いずれかのパルス群Pの開始タイミングとなる。図4に示す例で言えば、クロック信号CLKのアクティブエッジ#1〜#5は、それぞれタイミング信号TS1〜TS5のパルス群Pの開始タイミングとなる。また、クロック信号CLKのアクティブエッジ#6〜#10も、それぞれタイミング信号TS1〜TS5のパルス群Pの開始タイミングとなる。
The timing signals TS1 to TS5 have a waveform in which three pulses repeatedly appear. The timing signal TS1 will be specifically described as an example. The pulse group P composed of pulses P1 to P3 synchronized with the
パルスP1からパルスP3までの期間は、相変化材料を結晶化(セット)するための期間に相当し、本実施形態では4クロックである。また、パルスP1からパルスP2までの期間は、相変化材料をアモルファス化(リセット)するための期間に相当し、本実施形態では1クロックである。 A period from the pulse P1 to the pulse P3 corresponds to a period for crystallizing (setting) the phase change material, and is 4 clocks in this embodiment. The period from the pulse P1 to the pulse P2 corresponds to a period for making the phase change material amorphous (reset), and is one clock in this embodiment.
図4に示すように、タイミング選択信号SEL1〜SEL5は、それぞれタイミング信号TS1〜TS5のパルス群Pの開始に先立つワンショットパルス波形を有している。したがって、これらタイミング選択信号SEL1〜SEL5の位相も互いに1クロックずつずれており、5クロックごとに活性化されることになる。 As shown in FIG. 4, the timing selection signals SEL1 to SEL5 each have a one-shot pulse waveform prior to the start of the pulse group P of the timing signals TS1 to TS5. Accordingly, the phases of the timing selection signals SEL1 to SEL5 are also shifted from each other by one clock, and are activated every five clocks.
次に、書き込み制御回路WC(WC1〜WCn)の回路構成について説明する。 Next, the circuit configuration of the write control circuit WC (WC1 to WCn) will be described.
図5は、書き込み制御回路WC(WC1〜WCn)の構成を示すブロック図である。 FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of the write control circuit WC (WC1 to WCn).
図5に示すように、書き込み制御回路WCは、ライトデータラッチ回路41、セレクター42、シフトレジスタ43及びライトパルス発生部44によって構成されている。書き込み制御回路WCに供給される信号のうち、ライトデータDataはライトデータラッチ回路41に供給され、タイミング信号TS及びタイミング選択信号SELはセレクター42に供給される。カラム選択信号CS(CS1〜CSn)については、全てのブロック41〜44に供給される。
As shown in FIG. 5, the write control circuit WC includes a write
図6は、ライトデータラッチ回路41の回路図である。
FIG. 6 is a circuit diagram of the write
図6に示すように、ライトデータラッチ回路41は、いわゆるトランスペアレントラッチ回路(又はスルーラッチ回路)と呼ばれる回路によって構成されている。トランスペアレントラッチ回路は2つの入力端D,Gを有しており、入力端Gに供給される信号がローレベルからハイレベルに変化したタイミングにて、入力端Dに供給される信号をラッチする。入力端Gに供給される信号がハイレベルである期間は、ラッチした論理レベルを出力端Qから出力するが、入力端Gに供給される信号がローレベルになると、入力端Dに供給される信号をそのまま出力端Qから出力する。つまり、入力端Gに供給される信号がローレベルである場合には、入力信号をスルーする回路である。
As shown in FIG. 6, the write
そして、図6に示すように、入力端DにはライトデータDataが供給され、入力端Gには対応するカラム選択信号CS(CS1〜CSn)が供給される。出力端Qは、内部信号51としてライトパルス発生部44に供給される。
As shown in FIG. 6, the write data Data is supplied to the input terminal D, and the corresponding column selection signals CS (CS1 to CSn) are supplied to the input terminal G. The output terminal Q is supplied as an
図7は、セレクター42の回路図である。
FIG. 7 is a circuit diagram of the
図7に示すように、セレクター42は、5つのトランスペアレントラッチ回路61〜65と、これらに対応する5つのトランスファーゲート71〜75によって構成されている。トランスペアレントラッチ回路61〜65の機能は、既に説明したとおりである。
As shown in FIG. 7, the
トランスペアレントラッチ回路61〜65の入力端Dには、タイミング選択信号SEL1〜SEL5がそれぞれ供給されている。また、トランスペアレントラッチ回路61〜65の入力端Gには、対応するカラム選択信号CS(CS1〜CSn)が共通に供給されている。
Timing selection signals SEL1 to SEL5 are supplied to input terminals D of the
また、トランスファーゲート71〜75の入力端には、タイミング信号TS1〜TS5がそれぞれ供給されている。トランスファーゲート71〜75の動作はそれぞれトランスペアレントラッチ回路61〜65の出力信号によって制御され、対応するトランスペアレントラッチ回路61〜65の出力端Qがハイレベルとなり、反転出力端/Qがローレベルとなると、対応するタイミング信号TS1〜TS5を通過させる。トランスファーゲート71〜75の出力は共通接続され、内部信号52としてシフトレジスタ43に供給される。
Timing signals TS1 to TS5 are supplied to input terminals of the
このような回路構成により、対応するカラム選択信号CS(CS1〜CSn)がローレベルからハイレベルに変化すると、トランスペアレントラッチ回路61〜65にタイミング選択信号SEL1〜SEL5がそれぞれラッチされる。したがって、いずれか一つのトランスペアレントラッチ回路61〜65にハイレベルがラッチされ、対応するトランスファーゲート71〜75をオンさせる。これにより、出力される内部信号52は、タイミング信号TS1〜TS5のいずれかと同じ波形となる。
With such a circuit configuration, when the corresponding column selection signal CS (CS1 to CSn) changes from the low level to the high level, the timing selection signals SEL1 to SEL5 are latched in the
図8は、シフトレジスタ43の回路図である。
FIG. 8 is a circuit diagram of the
図8に示すように、シフトレジスタ43は、3つのリセット機能付きラッチ回路81〜83によって構成されている。これらリセット機能付きラッチ回路81〜83は、クロック端Cに供給される信号がローレベルからハイレベルに変化したタイミングで入力端Dに供給される信号を取り込み、これを出力端Qから出力する回路である。また、リセット端Rに供給される信号がハイレベルになると、ラッチしたデータをゼロにリセットする。
As shown in FIG. 8, the
これら3つのリセット機能付きラッチ回路81〜83は、図8に示すようにカスケード接続され、初段のラッチ回路81の入力端Dには、対応するカラム選択信号CS(CS1〜CSn)が供給される。また、クロック端Cには内部信号52が共通に供給され、リセット端Rには後述する内部信号56が共通に供給される。
These three
そして、これらリセット機能付きラッチ回路81〜83の出力端Qから出力される信号は、それぞれ内部信号53〜55としてライトパルス発生部44に供給される。
The signals output from the output terminals Q of the latch circuits with
内部信号53〜55の波形は、図9に示されている。
The waveforms of the
上述の通り、クロック端Cに供給される内部信号52は、タイミング信号TS1〜TS5のいずれかと同じ波形である。このため、図9に示すように、内部信号52は3つのパルスP1〜P3を有している。したがって、カラム選択信号CS(CS1〜CSn)のレベルは、パルスP1〜P3に同期してリセット機能付きラッチ回路81〜83に順次と取り込まれる。これにより、内部信号53〜55は、パルスP1〜P3に同期して順次ハイレベルとなる。
As described above, the
図10は、ライトパルス発生部44の回路図である。
FIG. 10 is a circuit diagram of the
図10に示すように、ライトパルス発生部44は、内部信号53〜55を受けてそれぞれワンショットパルス103〜105を生成するワンショットパルス生成部93〜95と、ワンショットパルス103,105を受けるSRラッチ111と、ワンショットパルス103,104を受けるSRラッチ112とを含んでいる。
As shown in FIG. 10, the
ワンショットパルス生成部93〜95は、対応する内部信号53〜55を遅延させるディレイ素子と、ディレイ素子の出力を反転させるインバータと、対応する内部信号53〜55とインバータの出力を受けるNAND回路によって構成されている。かかる構成により、ワンショットパルス生成部93〜95は、図9に示すように、対応する内部信号53〜55がローレベルからハイレベルに変化したタイミングにて、ディレイ分だけローレベルとなるワンショットパルス103〜105を生成する。
The one-
また、ライトパルス発生部44には、ワンショットパルス105から内部信号56を生成するリセット回路部96がさらに設けられている。リセット回路部96は、ワンショットパルス105を遅延させるディレイ素子と、ディレイ素子の出力を反転させるインバータによって構成されている。これにより生成される内部信号56の波形は図9に示す通りとなり、ディレイ分だけ遅れたワンショットパルス波形となる。図8に示した通り、内部信号56はリセット機能付きラッチ回路81〜83のリセット端Rに供給され、ラッチされたデータをゼロにリセットする。
The write
SRラッチ111は、ワンショットパルス103が活性化するとセットされ、ワンショットパルス105が活性化するとリセットされる回路である。また、SRラッチ112は、ワンショットパルス103が活性化するとセットされ、ワンショットパルス104が活性化するとリセットされる回路である。したがって、SRラッチ111,112の出力である内部信号121,122の波形は、図9に示すとおりとなる。つまり、SRラッチ111の出力である内部信号121は、パルスP1からパルスP3までの期間、つまり、k1クロックに亘ってハイレベルとなり、SRラッチ112の出力である内部信号122は、パルスP1からパルスP2までの期間、つまり、k2クロックに亘ってハイレベルとなる。
The
図10に示すように、内部信号121,122は、それぞれNAND回路131,132に供給される。NAND回路131には、内部信号121のほか、対応するカラム選択信号CS(CS1〜CSn)と、内部信号51の反転信号が供給される。また、NAND回路132には、内部信号122のほか、対応するカラム選択信号CS(CS1〜CSn)と、内部信号51が供給される。内部信号51は、図6を用いて説明したように、ライトデータDataを対応するカラム選択信号CS(CS1〜CSn)によってラッチした信号である。
As shown in FIG. 10, the
このような回路構成により、ライトデータDataがローレベルであれば、NAND回路131は、内部信号121に同期してセットパルス31を発生する。一方、ライトデータDataがハイレベルであれば、NAND回路132は、内部信号122に同期してリセットパルス32を発生する。
With such a circuit configuration, if the write data Data is at a low level, the
以上が、本実施形態による半導体記憶装置の主要部の回路構成である。次に、本実施形態による半導体記憶装置を用いた書き込み制御動作について説明する。 The circuit configuration of the main part of the semiconductor memory device according to the present embodiment has been described above. Next, the write control operation using the semiconductor memory device according to the present embodiment will be explained.
図11は、本実施形態による書き込み制御動作を説明するためのタイミング図である。尚、図11では、図面の見やすさを考慮して、タイミング信号TS1〜TS5及びタイミング選択信号SEL1〜SEL5については、実際に書き込み動作に用いられる部分のみを表示し、その前後のパルスについては省略してある。 FIG. 11 is a timing chart for explaining the write control operation according to the present embodiment. In FIG. 11, in consideration of the legibility of the drawing, for the timing signals TS1 to TS5 and the timing selection signals SEL1 to SEL5, only the part actually used for the write operation is displayed, and the pulses before and after that are omitted. It is.
図11に示すように、外部からACTコマンドに応答してロウアドレスが供給され、WRITコマンドに応答してカラムアドレスが供給されると、これに応答して所定のワード線WLが活性化されるとともに、選択信号Yselが活性化される。そして、クロック信号CLKに同期して外部からライトデータが連続的に供給される。 As shown in FIG. 11, when a row address is supplied from the outside in response to an ACT command and a column address is supplied in response to a WRIT command, a predetermined word line WL is activated in response to this. At the same time, the selection signal Ysel is activated. Then, write data is continuously supplied from the outside in synchronization with the clock signal CLK.
そして、ライトデータD1,D2,D3・・・・に対応するカラム選択信号CS1,CS2,CS3・・・が順次活性化し、これにより、書き込み制御回路WC1,WC2,WC3・・・内では、それぞれタイミング信号TS1,TS2,TS3・・・が選択される。このような選択は、上述の通り、書き込み制御回路WC内のセレクター42にて行われる。
Then, column selection signals CS1, CS2, CS3,... Corresponding to the write data D1, D2, D3,... Are sequentially activated, whereby each of the write control circuits WC1, WC2, WC3,. Timing signals TS1, TS2, TS3... Are selected. Such selection is performed by the
図11に示す例では、ライトデータDataのうち、1番目及び3番目のデータD1,D3が「0」であり、2番目のデータD2が「1」である。このため、書き込み制御回路WC1,WC3は、タイミング信号TS1,TS3に同期して、パルスP1からパルスP3までの期間、つまり、4クロック(=k1)に亘ってセットパルス31を活性化する。一方、書き込み制御回路WC2は、タイミング信号TS2に同期して、パルスP1からパルスP2までの期間、つまり、1クロック(=k2)に亘ってリセットパルス32を活性化する。図11において、セットパルス31又はリセットパルス32が活性化している期間にはハッチングが施されている。
In the example shown in FIG. 11, the first and third data D1, D3 of the write data Data are “0”, and the second data D2 is “1”. For this reason, the write control circuits WC1 and WC3 activate the
これにより、ビット線BL1,BL3は、4クロックに亘ってセット電位配線Vsetに接続されることになる。その結果、メモリセルMCに含まれる不揮発性記憶素子PCには、図3の曲線bに示す温度履歴が与えられ、その結果、相変化材料が結晶化する。一方、ビット線BL2は、1クロックに亘ってリセット電位配線Vresetに接続されることになる。これにより、メモリセルMCに含まれる不揮発性記憶素子PCには、図3の曲線aに示す温度履歴が与えられ、その結果、相変化材料がアモルファス化する。 As a result, the bit lines BL1 and BL3 are connected to the set potential wiring Vset over 4 clocks. As a result, the nonvolatile memory element PC included in the memory cell MC is given the temperature history shown by the curve b in FIG. 3, and as a result, the phase change material is crystallized. On the other hand, the bit line BL2 is connected to the reset potential wiring Vreset for one clock. Thereby, the temperature history shown by the curve a in FIG. 3 is given to the nonvolatile memory element PC included in the memory cell MC, and as a result, the phase change material becomes amorphous.
このように、所定のワード線WLが活性化された状態で、カラムセレクタ12を用いて1クロックごとに所定の書き込み制御回路を順次選択し、結晶化すべきメモリセルに対しては4クロックに亘ってセット電流を与え、アモルファス化すべきメモリセルに対しては1クロックに亘ってリセット電流を与えている。これにより、外部からは、ライトデータDataの論理レベルにかかわらず、1クロックで1つのライト動作が完了するように見える。したがって、シンクロナスDRAMのように、クロック信号CLKに同期した書き込み動作を行うメモリとの互換性を確保することが可能となる。
As described above, in a state in which the predetermined word line WL is activated, the
また、本実施形態による半導体記憶装置では、タイミング信号TS1〜TS5を用いていることから、クロック信号CLKの周波数が高められた場合であっても、セットパルスのパルス幅を確保することが可能となる。例えば、クロック信号CLKの周波数が2倍に高められた場合には、パルスP1からパルスP3までのクロック数を2倍とすれば、セットパルスの実際のパルス幅を確保することができる。このため、クロック信号CLKの周波数にかかわらず、セット動作/リセット動作を正しく実行することが可能となる。 Further, since the semiconductor memory device according to the present embodiment uses the timing signals TS1 to TS5, it is possible to ensure the pulse width of the set pulse even when the frequency of the clock signal CLK is increased. Become. For example, when the frequency of the clock signal CLK is doubled, the actual pulse width of the set pulse can be ensured by doubling the number of clocks from the pulse P1 to the pulse P3. Therefore, it is possible to correctly execute the set operation / reset operation regardless of the frequency of the clock signal CLK.
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。 The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Needless to say, it is included in the range.
例えば、上記実施形態では、k1クロックを規定するパルスP1からパルスP3までの期間にてセット動作を行い、k2クロックを規定するパルスP1からパルスP2までの期間にてリセット動作を行っているが、セット動作/リセット動作を行う期間を規定する方法としては、これに限定されるものではない。 For example, in the above embodiment performs the setting operation in the period from the pulse P1 which defines the k 1 clock until the pulse P3, and performing a reset operation in the period from the pulse P1 which defines the k 2 clock to the pulse P2 However, the method for defining the period during which the set operation / reset operation is performed is not limited to this.
したがって、図12に示すように、クロック信号CLKのアクティブエッジ#1、#4及び#5に同期したパルスP1〜P3からなるパルス群を用い、k1クロックを規定するパルスP1からパルスP3までの期間にてセット動作を行い、k2クロックを規定するパルスP2からパルスP3までの期間にてリセット動作を行っても構わない。
Accordingly, as shown in FIG. 12, the
さらには、図13に示すように、クロック信号CLKのアクティブエッジ#1、#2、#3及び#5に同期したパルスP1〜P4からなるパルス群を用い、k1クロックを規定するパルスP1からパルスP4までの期間にてセット動作を行い、k2クロックを規定するパルスP2からパルスP3までの期間にてリセット動作を行っても構わない。
Furthermore, as shown in FIG. 13, the
また、上記実施形態では、カラムセレクタ12自体が並列に活性化するカラム選択信号CS1〜CSnを生成しているが、カラムセレクタ12自体はカラム選択信号CS1〜CSnの活性化始点となるタイミング信号のみを生成し、これを伸張することによって所定幅のカラム選択信号CS1〜CSnを生成しても構わない。図14はこのような動作に必要な回路を示すブロック図であり、図15はその動作をn=5まで示すタイミング図である。
In the above-described embodiment, the
図14に示す回路は、カラムセレクタ12aとパルス幅調整回路PW1〜PWnによって構成される。カラムセレクタ12aは原信号CS1a〜CSnaを生成する回路であり、原信号CS1a〜CSnaはそれぞれパルス幅調整回路PW1〜PWnによってパルス幅が伸張され、これによってカラム選択信号CS1〜CSnが生成される。
The circuit shown in FIG. 14 includes a
図15に示すように、カラムセレクタ12aによって生成される原信号CS1a〜CSna(図ではCS1a〜CS5aを表示)はjクロックごとに活性化し、そのパルス幅もjクロックである。つまり、原信号CS1a〜CSnaは排他的に活性化し、2以上の原信号が並列に活性化することはない。そして、これら原信号CS1a〜CSnaを受けるパルス幅調整回路PW1〜PWnは、対応する原信号の活性化に応答してカラム選択信号CS1〜CSnの活性化を開始し、k1クロックに亘って活性化状態を維持する。
As shown in FIG. 15, the original signals CS1a to CSna (CS1a to CS5a shown in the figure) generated by the
カラム選択信号CS1〜CSnをこのような方法によって生成すれば、カラムデコーダ12aなどの動作を高速化することが可能となる。また回路設計も容易となる。
If the column selection signals CS1 to CSn are generated by such a method, the operation of the
また、上記実施形態ではj=1とし、1クロックごとに書き込み制御回路を順次選択しているが、DDR型のシンクロナスDRAMのように、クロック信号CLKの両エッジに同期してライトデータが供給される場合にはj=0.5とし、0.5クロックごとに書き込み制御回路を順次選択すればよい。つまり、jは整数でなくても構わない。 In the above embodiment, j = 1 and the write control circuit is sequentially selected for each clock. However, write data is supplied in synchronization with both edges of the clock signal CLK as in a DDR synchronous DRAM. In this case, j = 0.5, and the write control circuit may be sequentially selected every 0.5 clock. That is, j may not be an integer.
図16は、j=0.5とした場合の動作の一例を示すタイミング図であり、ライトレイテンシを2クロックに設定した例を示している。図16に示す例では、タイミング信号TS1のパルスP1がクロック信号CLKの半サイクル#1に同期し、パルスP2が半サイクル#3に同期し、パルスP3が半サイクル#9に同期している。このようなタイミング信号TS1,TS2・・・を半サイクルずつずらして生成すれば、外部から見てDDR型のシンクロナスDRAMと同様の動作を実現することが可能となる。
FIG. 16 is a timing chart showing an example of the operation when j = 0.5, and shows an example in which the write latency is set to 2 clocks. In the example shown in FIG. 16, the pulse P1 of the timing signal TS1 is synchronized with the
さらに、上記実施形態では、jクロックごとに書き込み制御回路WC1〜WC5を順次選択することにより、複数のビット線に対するライト動作を並列に実行しているが、本発明においてこのような並列動作を行うことは必須ではない。 Furthermore, in the above embodiment, the write control circuits WC1 to WC5 are sequentially selected every j clocks to execute the write operation for a plurality of bit lines in parallel. In the present invention, such a parallel operation is performed. That is not essential.
11 ロウセレクタ
12,12a カラムセレクタ
13 タイミング信号生成回路
21 セット用トランジスタ
22 リセット用トランジスタ
31 セットパルス
32 リセットパルス
41 ライトデータラッチ回路
42 セレクター
43 シフトレジスタ
44 ライトパルス発生部
51〜56,121,122 内部信号
61〜65 トランスペアレントラッチ回路
71〜75 トランスファーゲート
81〜83 リセット機能付きラッチ回路
93〜95 ワンショットパルス生成部
96 リセット回路部
103〜105 ワンショットパルス
111,112 SRラッチ
131,132 NAND回路
BL ビット線
CS カラム選択信号
Data ライトデータ
MC メモリセル
PC 不揮発性記憶素子
SEL タイミング選択信号
Tr 選択トランジスタ
TS タイミング信号
Vreset リセット電位配線
Vset セット電位配線
WC 制御回路
WD ライトドライバ
WL ワード線
Y1〜Yn Yスイッチ
Ysel Y選択信号
PW パルス幅調整回路
11
Claims (7)
第1バイアスノードと、
前記第1ビット線と前記第1バイアスノードとの間に接続され、前記第1記憶素子のライト動作の際に前記第1ビット線と前記第1バイアスノードとの間を導通する第1スイッチ回路と、
前記第1バイアスノードに接続され、活性化時に前記第1バイアスノードに第1ライト電流を印加する第1電流供給回路と、
前記第1バイアスノードに接続され、活性化時に前記第1バイアスノードに第2ライト電流を印加する第2電流供給回路と、
第1及び第2論理値のいずれか一方の論理値を示すライトデータを一時的にラッチする第1ラッチ回路と、
第1ライト制御回路と、を備え、
前記第1ライト制御回路は、前記第1ラッチ回路がラッチするライトデータの前記第1論理値に応じて、前記第1電流供給回路を活性化し、前記第2電流供給回路を非活性化し、さらに、前記第1ラッチ回路がラッチするライトデータの前記第2論理値に応じて、前記第1電流供給回路を非活性化し、前記第2電流供給回路を活性化し、
前記第1ライト制御回路は、第1乃至第3のパルスを周期的に有する第1制御信号を受けることに応じて、前記第1ライト電流の印加時間及び前記第2ライト電流の印加時間のそれぞれを制御する、ことを特徴とする半導体装置。 The first memory is arranged at the intersection of the first word line, the first bit line intersecting with the first word line, and the first word line and the first bit line, and the time required for writing varies depending on the logical value. Elements,
A first bias node;
A first switch circuit connected between the first bit line and the first bias node and conducting between the first bit line and the first bias node during a write operation of the first memory element. When,
A first current supply circuit connected to the first bias node and applying a first write current to the first bias node when activated;
A second current supply circuit connected to the first bias node and applying a second write current to the first bias node when activated;
A first latch circuit that temporarily latches write data indicating one of the first and second logic values;
A first light control circuit,
The first write control circuit activates the first current supply circuit, deactivates the second current supply circuit according to the first logic value of the write data latched by the first latch circuit, and And deactivating the first current supply circuit and activating the second current supply circuit in accordance with the second logic value of the write data latched by the first latch circuit,
The first write control circuit receives each of the first write current application time and the second write current application time in response to receiving a first control signal periodically having first to third pulses. A semiconductor device, wherein
第2バイアスノードと、
前記第2ビット線と前記第2バイアスノードとの間に接続され、前記第2記憶素子のライト動作の際に前記第2ビット線と前記第2バイアスノードとの間を導通する第2スイッチ回路と、
前記第2バイアスノードに接続され、活性化時に前記第2バイアスノードに第3ライト電流を印加する第3電流供給回路と、
前記第2バイアスノードに接続され、活性化時に前記第2バイアスノードに第4ライト電流を印加する第4電流供給回路と、
前記第1及び第2論理値のいずれか一方の論理値を示すライトデータを一時的にラッチする第2ラッチ回路と、
第2ライト制御回路と、を備え、
前記第2ライト制御回路は、前記第2ラッチ回路がラッチするライトデータの前記第1論理値に応じて、前記第3電流供給回路を活性化し、前記第4電流供給回路を非活性化し、さらに、前記第2ラッチ回路がラッチするライトデータの前記第2論理値に応じて、前記第3電流供給回路を非活性化し、前記第4電流供給回路を活性化し、
前記第2ライト制御回路は、第4乃至第6のパルスを周期的に有する第2制御信号を受けることに応じて、前記第3ライト電流の印加時間及び前記第4ライト電流の印加時間のそれぞれを制御する請求項1記載の半導体装置。 The second memory is arranged at the intersection of the second word line, the second bit line intersecting with the second word line, and the second word line and the second bit line, and the time required for writing differs according to the logical value. Elements,
A second bias node;
A second switch circuit connected between the second bit line and the second bias node and conducting between the second bit line and the second bias node during a write operation of the second memory element; When,
A third current supply circuit which is connected to the second bias node and applies a third write current to the second bias node when activated;
A fourth current supply circuit which is connected to the second bias node and applies a fourth write current to the second bias node when activated;
A second latch circuit for temporarily latching write data indicating one of the first and second logic values;
A second light control circuit,
The second write control circuit activates the third current supply circuit, deactivates the fourth current supply circuit according to the first logic value of the write data latched by the second latch circuit, and In response to the second logical value of the write data latched by the second latch circuit, the third current supply circuit is deactivated, the fourth current supply circuit is activated,
The second write control circuit receives the second control signal having the fourth to sixth pulses periodically, respectively, and applies each of the third write current application time and the fourth write current application time. The semiconductor device according to claim 1, wherein:
前記シフトレジスタの出力と、前記第1ラッチ回路の出力とを受け、前記フィードバック信号を出力すると共に、前記第1ライト電流の印加時間を示す第1信号及び前記第2ライト電流の印加時間を示す第2信号を生成するライトパルス発生部と、を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置。 The first write control circuit includes a first control signal that periodically includes the first to third pulses, a shift register that receives a feedback signal,
The output of the shift register and the output of the first latch circuit are received, the feedback signal is output, and the first signal indicating the application time of the first write current and the application time of the second write current are indicated. The semiconductor device according to claim 1, further comprising: a write pulse generator that generates a second signal.
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