JP2013202493A - オゾン含有液生成装置およびこれを備えた洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型に製作することが可能で、気液分離器からオゾン発生器に対してオゾン水が流入してしまうことが防止できるオゾン含有液生成装置を提供する。
【解決手段】オゾン含有液生成装置１は、オゾンを発生させるオゾン発生器１０と、発生させたオゾンを水に含有させてオゾン水１００を生成する気液混合器２０と、オゾン発生器１０に原料ガスを導入する気体導入路Ｌ４と、気液混合器２０に水を導入する液体導入路Ｌ１と、生成したオゾン水１００を気液分離する気液分離器３０と、オゾン水１００から分離されたオゾンを含む気体を気体導入路Ｌ４に還流する気体還流路Ｌ６と、気液分離された後のオゾン水１００を外部に導出するオゾン含有液導出路Ｌ３と、液体導入路Ｌ１上に設けられ、気液混合器２０に導入される水の流量の上限を規制する定流量弁７とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、オゾン含有液を生成するオゾン含有液生成装置および当該オゾン含有液生成装置を備えた洗浄装置に関する。

オゾン含有液生成装置は、オゾン発生器と気液混合器とを備え、オゾン発生器で発生させたオゾンガスを気液混合器にて水等の液体に混合させることでオゾン含有液を生成するものである。生成されたオゾン含有液は、たとえば殺菌や有害物質の不活化といった洗浄用途に広く利用される。

通常、オゾン含有液生成装置には、生成したオゾン含有液を気液分離する気液分離器が付設される。当該気液分離器は、気液混合器において液体に溶解させることができなかったオゾンガスを含む残留ガスをオゾン含有液から分離して除去するためのものである。当該気液分離器を備えたオゾン含有液生成装置は、非循環型と呼ばれるものと、循環型と呼ばれるものとに大別される。

非循環型のオゾン含有液生成装置は、気液分離器においてオゾン含有液から分離された残留ガスを貯留槽等の内部において一時的に貯留し、当該残留ガスに含まれたオゾンガスを分解処理して少なくとも人体に影響がない程度にまでそのオゾン濃度が下げられた後にこれを外部に向けて排気するように構成されたものである。

一方、循環型のオゾン含有液生成装置は、気液分離器とオゾン発生器とを気体還流路を介して接続することにより、気液分離器においてオゾン含有液から分離された残留ガスを回収し、これを再度オゾン発生器に原料ガスとして供給するように構成されたものである。なお、当該循環型のオゾン含有液生成装置が開示された文献としては、たとえば特開平２−２０７８９２号公報（特許文献１）等がある。

この循環型のオゾン含有液生成装置は、上述した非循環型のオゾン含有液生成装置に比べ、オゾンガスの分解処理を行なうための機構が不要になるといったメリットが得られるばかりでなく、オゾンガスを再利用することでオゾンガスの利用効率を高めたり、生成されるオゾン含有液におけるオゾン濃度を高めたりすることができるため、オゾン含有液の生成効率が向上するといったメリットも得られる。

特開平２−２０７８９２号公報

しかしながら、上述した循環型のオゾン含有液生成装置にあっては、気液混合器を介して気液分離器に供給される液体の供給量が気液分離器の処理量を超える状態となってしまった場合に、気液分離器から溢れ出したオゾン含有液が気体還流路を介してオゾン発生器に流入してしまい、オゾン発生器の性能の劣化や故障を招来してしまう懸念があるばかりでなく、場合によっては高濃度のオゾンガスやオゾン含有液が外部に漏れ出してしまう懸念もあった。

たとえば、ビルに設置された通常の水道設備に付設されることでオゾン含有液としてのオゾン水を生成することが可能に構成されたオゾン含有液生成装置の場合、水道設備からオゾン含有液生成装置に対して供給される水道水の圧力は、ビルの屋上に設置された水源としてのタンクと各階に設置された水道水の供給口（たとえば蛇口等）との間の高低差や、給水用のポンプの性能によって決まる。そのため、オゾン含有液生成装置を設置する階層の違いやポンプの性能ばらつきに起因して、オゾン含有液生成装置に供給される水道水の圧力が高くなり、気液混合器を介して気液分離器に供給されるオゾン水の流量が気液分離器の処理量を超えてしまうケースも想定されることになり、設置場所の如何によっては、上述した如くの問題が生じてしまうことがあり得た。

このような問題が生じないようにするためには、気液分離器に具備される容器の容量を予め大きく設定し、気液分離器の処理量を相当程度に高めておくことも考えられるが、そのように構成した場合には、オゾン含有液生成装置自体が大幅に大型化してしまう問題が生じる。

したがって、本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであり、小型に製作することが可能で、気液分離器からオゾン発生器に対してオゾン含有液が流入してしまうことが防止できるオゾン含有液生成装置およびこれを備えた洗浄装置を提供することを目的とする。

本発明に基づくオゾン含有液生成装置は、酸素を含む気体を用いてオゾンを発生させるオゾン発生手段と、上記オゾン発生手段にて発生させたオゾンを液体に含有させることでオゾン含有液を生成するオゾン含有液生成手段と、上記オゾン発生手段に酸素を含む気体を導入する気体導入路と、上記オゾン含有液生成手段に液体を導入する液体導入路と、上記オゾン含有液生成手段にて生成したオゾン含有液を一時的に貯留してこれを気液分離する気液分離手段と、上記気液分離手段にてオゾン含有液から分離されたオゾンを含む気体を上記気体導入路に還流する気体還流路と、上記気液分離手段にて気液分離された後のオゾン含有液を外部に導出するオゾン含有液導出路と、上記液体導入路上に設けられ、上記オゾン含有液生成手段に導入される液体の流量の上限を規制する流量規制手段とを備えている。

ここで、オゾン含有液は、オゾンが溶媒に溶解した状態にある溶存オゾン液や、オゾンが気体状態で液中に含有されたオゾンガス含有液、溶存オゾンおよび気体状態のオゾンの両方を含有するオゾン液を含む。また、上述したオゾンが溶解される溶媒や、オゾンが気体状態で含まれた液としては、代表的には水が挙げられるが、これに限定されるものではない。

上記本発明に基づくオゾン含有液生成装置にあっては、上記流量規制手段が、定流量弁であることが好ましい。

上記本発明に基づくオゾン含有液生成装置にあっては、上記オゾン含有液生成手段が、ベンチュリー効果を利用してオゾンを液体に含有させる気液混合手段にて構成されていることが好ましい。

本発明に基づく洗浄装置は、上述した本発明に基づくオゾン含有液生成装置を備えている。

本発明によれば、小型に製作することが可能で、気液分離器からオゾン発生器に対してオゾン含有液が流入してしまうことが防止できるオゾン含有液生成装置およびこれを備えた洗浄装置とすることができる。

本発明の実施の形態におけるオゾン含有液生成装置の概略図である。 図１に示す気液混合器の模式断面図である。

以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、ユニット化されることで通常の水道設備に洗浄ユニットとして付設可能とされ、これによりオゾン含有液としてのオゾン水の生成が可能とされたオゾン含有液生成装置に本発明を適用した場合を例示して説明を行なう。

図１は、本発明の実施の形態におけるオゾン含有液生成装置の概略図であり、図２は、図１に示す気液混合器の模式断面図である。まず、これら図１および図２を参照して、本実施の形態におけるオゾン含有液生成装置１の構成について説明する。

図１に示すように、本実施の形態におけるオゾン含有液生成装置１は、オゾン発生手段としてのオゾン発生器１０と、オゾン含有液生成手段としての気液混合器２０と、気液分離手段としての気液分離器３０と、液体導入路Ｌ１と、オゾン含有液搬送路Ｌ２と、オゾン含有液導出路Ｌ３と、気体導入路Ｌ４と、オゾン搬送路Ｌ５と、気体還流路Ｌ６とを主として備えている。

液体導入路Ｌ１は、その一端に給液口２を有しており、その他端が気液混合器２０に接続されている。液体導入路Ｌ１の一端に設けられた給液口２は、外部の液体供給源である水道設備に接続され、これにより液体導入路Ｌ１は、水道設備から液体としての水道水の供給を受ける。給液口２を介して水道水の供給を受けた液体導入路Ｌ１は、供給された水道水を上記他端から気液混合器２０に導入する。

気体導入路Ｌ４は、その一端に吸気口４を有しており、その他端がオゾン発生器１０に接続されている。気体導入路Ｌ４の一端に設けられた吸気口４からは、オゾンガスを発生させるための原料ガスとなる酸素を含む気体である空気が吸気され、これにより気体導入路Ｌ４は、外部から空気の供給を受ける。吸気口４を介して空気の供給を受けた気体導入路Ｌ４は、供給された空気を上記他端からオゾン発生器１０に導入する。

オゾン搬送路Ｌ５は、その一端がオゾン発生器１０に接続されており、その他端が気液混合器２０に接続されている。オゾン搬送路Ｌ５の上記一端からは、オゾン発生器１０において発生させられたオゾンガスを含む気体が導入され、これによりオゾン搬送路Ｌ５は、オゾン発生器１０から当該気体の供給を受ける。上記一端を介してオゾンガスを含む気体の供給を受けたオゾン搬送路Ｌ５は、供給された当該気体を上記他端から気液混合器２０に導入する。

オゾン含有液搬送路Ｌ２は、その一端が気液混合器２０に接続されており、その他端が気液分離器３０に接続されている。オゾン含有液搬送路Ｌ２の上記一端からは、気液混合器２０にて生成されたオゾン含有液としてのオゾン水が導入され、これによりオゾン含有液搬送路Ｌ２は、気液混合器２０からオゾン水の供給を受ける。上記一端を介してオゾン水の供給を受けたオゾン含有液搬送路Ｌ２は、供給されたオゾン水を上記他端から気液分離器３０に導入する。

オゾン含有液導出路Ｌ３は、その一端が気液分離器３０に接続されており、その他端に吐出口３を有している。オゾン含有液導出路Ｌ３の上記一端からは、気液分離器３０において気液分離が行われた後のオゾン水が導入され、これによりオゾン含有液導出路Ｌ３は、気液分離器３０から当該気液分離後のオゾン水の供給を受ける。上記一端を介して気液分離後のオゾン水の供給を受けたオゾン含有液導出路Ｌ３は、供給された気液分離後のオゾン水を上記他端に設けられた吐出口３から外部に向けて吐出する。

気体還流路Ｌ６は、その一端が気液分離器３０に接続されており、その他端が気体導入路Ｌ４に合流部６において接続されている。気体還流路Ｌ６の上記一端からは、気液分離器３０において気液分離が行われることでオゾン水から分離されたオゾンガスを含む気体である残留ガスが導入され、これにより気体還流路Ｌ６は、気液分離器３０から残留ガスの供給を受ける。上記一端を介して残留ガスの供給を受けた気体還流路Ｌ６は、供給された残留ガスを上記他端に設けられた合流部６を介して気体導入路Ｌ４に原料ガスとして還流する。

なお、図１中においては、気液分離器３０において気液分離が行なわれているオゾン水および吐出口３から吐出された気液分離後のオゾン水を区別することなく、これらをともに符号１００を用いて示している。

オゾン発生器１０は、気体導入路Ｌ４を介して導入された原料ガスからオゾンガスを発生させるものである。オゾン発生器１０としては、光化学反応法、放射線照射法または放電法のいずれかを利用してオゾンガスを発生させるものが使用できるが、特に好適には、放電法を利用するものが選択されて使用される。放電法には、主として無声放電方式によるものとコロナ放電方式によるものとが存在するが、いずれの使用も可能である。

本実施の形態においては、オゾン発生器１０として、無声放電方式のものを採用している。無声放電方式のオゾン発生器１０は、絶縁物を挟んだ電極間に交流電圧を印加して無声放電を発生させ、電極間に大気圧以上の酸素を含む気体を通過させることにより、オゾンを発生させるものである。

気液混合器２０は、液体導入路Ｌ１を介して導入された液体としての水道水と、オゾン搬送路Ｌ５を介して導入されたオゾンガスを含む気体とから、オゾン含有液としてのオゾン水１００を生成するものである。ここで、本実施の形態においては、気液混合器２０として、ベンチュリー効果を利用することにより、オゾンガスを含む気体を水道水に含有させることができるベンチュリー型の気液混合手段を採用している。

図２に示すように、気液混合器２０は、液体が導入される大径流路部２１と、当該大径流路部２１の下流側に位置し、大径流路部２１を通流した液体が導入される小径流路部２２と、小径流路部２２の下流側に位置し、小径流路部２２を通流した液体が導入される円錐台形状の流路を含む円錐状流路部２３とを有している。また、気液混合器２０は、気体が導入される気体導入通路部２４を有しており、当該気体導入通路部２４は、上述した小径流路部２２に連通している。

大径流路部２１には、上述した液体導入路Ｌ１の上記他端が接続され、気体導入通路部２４には、上述したオゾン搬送路Ｌ５の上記他端が接続されている。また、円錐状流路部２３には、上述したオゾン含有液搬送路Ｌ２の上記一端が接続されている。

液体導入路Ｌ１から大径流路部２１に液体としての水道水が導入されると、大径流路部２１を通流した水道水は、当該大径流路部２１よりも内径の小さい小径流路部２２に導入される。そのため、ベルヌーイの定理によって知られるように、小径流路部２２においては、水道水の流速が増加し、静圧が減少することになる。

その結果、小径流路部２２を通流する水道水の静圧は負圧となり、気体導入通路部２４を介してオゾン搬送路Ｌ５からオゾンガスを含む気体が小径流路部２２内に向けて吸引される。そのため、小径流路部２２において、吸引されたオゾンガスを含む気体が水道水に対して混入されることになり、混入されたオゾンガスが水道水に溶解することになる。これにより、小径流路部２２において、オゾン水１００が生成される。

なお、気液混合器２０においては、混入されたオゾンガスが完全に水道水に溶解させられることが好ましいが、キャビテーション現象が生じること等により、液中においてオゾンガスを含む気体が一部気泡状態で存在することになる。

生成されたオゾン水１００は、円錐状流路部２３に導入され、その後、当該円錐状流路部２３から排出されてオゾン含有液搬送路Ｌ２に導入される。

このように、ベンチュリー型の気液混合手段である気液混合器２０を利用することにより、気液混合器２０の作用によってオゾンガスを含む気体が自吸されて水道水に混入されることになるため、当該気体を水道水に混入させるための動力が不要となり、ランニングコストを低減することができるばかりでなく、構成の簡素化に伴って製造コストを削減することも可能になる。

図１に示すように、気液分離器３０は、オゾン水１００を一時的に貯留してこれを気液分離するものであり、オゾン水１００および残留ガスを貯留できる容器を含んでいる。当該気液分離器３０においては、気液混合器２０において水道水に溶解されなかったオゾンガスを含む残留ガスがオゾン水１００から分離される。

気液分離器３０においては、残留ガスがその比重差に基づいて液面に浮上し、オゾン水１００から分離されて気液分離器３０の上方に貯留されることになる。そのため、気液分離器３０の下方には、残留ガスを含まないオゾン水１００のみが貯留されることになり、気液分離器３０からは、オゾン含有液導出路Ｌ３を介して吐出口３に向けて残留ガスを含まないオゾン水１００のみが排出されることになる。

また、気液分離器３０の上方には、上述した気体還流路Ｌ６の一端が接続されている。気体還流路Ｌ６に接続された気液分離器３０の容器に設けられた排気口は、オゾン含有液導出路Ｌ３に接続された気液分離器３０の排液口よりも鉛直方向において上方（すなわち高所）に配置されている。これにより、気液分離器３０に貯留されたオゾンガスを含む残留ガスは、気体還流路Ｌ６に対して上記排気口を介して排出されることになる。

なお、気液分離器３０においては、気液混合器２０において水道水に溶解されなかったオゾンガスを含む残留ガスが完全にオゾン水１００から分離されることが好ましいが、微細気泡としてオゾン水１００中に含有されたオゾンガスを含む気体については、必ずしもこれがすべてオゾン水１００から分離される必要はなく、十分に微細化されずに比較的大きな気泡としてオゾン水１００中に含有されたオゾンガスを含む残留ガスについてのみこれがオゾン水１００から分離されるようにしてもよい。

気体導入路Ｌ４の気体還流路Ｌ６が接続された合流部６よりも吸気口４側の位置には、逆止弁５が設けられている。逆止弁５は、流体の流動方向を一方向に制限する流通制限手段であり、気体導入路Ｌ４の吸気口４側の圧力が合流部６側（すなわちオゾン発生器１０側）の圧力よりも高い場合に開弁し、低い場合に閉弁する。

当該逆止弁５を設けることにより、気体導入路Ｌ４は、吸気口４側から合流部６側に向かう方向にのみ原料ガスとしての空気を流通させることになる。したがって、万が一にも気体導入路Ｌ４の合流部６側の圧力が吸気口４側の圧力よりも上昇した場合であっても、オゾンガスが逆流して吸気口４から外部に排出されてしまうことが防止でき、安全性の向上を図ることができる。

なお、上述した逆止弁５に代えて、原料ガスとしての空気の流量が制御可能な流量制御弁を流通制限手段として気体導入路Ｌ４に設けることとしてもよい。流量制御弁は、たとえば上記気体導入路Ｌ４を閉塞可能な弁体を含み、当該弁体の開弁量を調整することで吸気口４側から合流部６側に向けての原料ガスとしての空気の流量を調整可能にするものであり、より具体的には、動力を要しない機械式のものや、動力を用いる電子式の電磁バルブ等が流通制限手段として使用できる。

液体導入路Ｌ１には、流量規制手段としての定流量弁７が設けられている。定流量弁７は、流体の流量の上限を規制するものであり、具体的には、外部の液体供給源である水道設備から液体導入路Ｌ１を介して気液混合器２０に導入される水道水の圧力が所定の大きさ以上にある場合にも、気液混合器２０に導入される水道水の流量が所定の大きさを超えないように制限するものである。

定流量弁７としては、公知のものを利用することが可能であり、たとえばゴムやオリフィスの組合せによって流量面積を調整する方式のものや、スプリングとニードルとを用いる方式のもの、ダイヤフラムを用いる方式のもの等が使用できる。これら方式の定流量弁７を使用すれば、動力を必要とせずに水道水の流量の調節が可能となり、ランニングコストを低減することができるばかりでなく、構成の簡素化に伴って製造コストを削減することも可能になる。なお、水道水の圧力が上述した所定の大きさ以下である場合には、定流量弁７は、水道水の流量をこれに応じた大きさの流量として気液混合器２０に導入する。

当該定流量弁７を設けることにより、気液混合器２０に導入される水道水の流量の上限が規制されることになるため、当該上限を気液分離器３０の処理量の上限に応じて設定しておくことにより、気液混合器２０を介して気液分離器３０に導入されるオゾン水１００の流量を気液分離器３０の処理量の上限以下とすることができる。

なお、上述した定流量弁７に代えて、水道水の流量が制御可能な流量制御弁を流量規制手段として液体導入路Ｌ１に設けることとしてもよい。流量制御弁は、たとえば上記液体導入路Ｌ１を閉塞可能な弁体を含み、当該弁体の開弁量を調整することで給液口２側から気液混合器１０側に向けての水道水の流量を調整可能にするものであり、より具体的には、動力を要しない機械式のものや、動力を用いる電子式の電磁バルブ等が流量規制手段として使用できる。

次に、図１を参照して、本実施の形態におけるオゾン含有液生成装置１においてオゾン含有液としてのオゾン水１００を生成する動作について説明する。

外部の液体供給源である水道設備から給液口２を介して液体導入路Ｌ１に導入された水道水は、定流量弁７を経由してその流量の上限が規制されて気液混合器２０に導入される。水道水が気液混合器２０を通流することにより、上述した気液混合器２０の自吸作用に伴い、第１吸気口５を介して原料ガスとしての空気が、また気体還流路Ｌ６および合流部８を介して気液分離器３０に貯留された残留ガスが原料ガスとして気体導入路Ｌ４に導入され、これがオゾン発生器１０に導入されることでオゾンガスを含む気体が発生させられ、発生させられたオゾンガスを含む気体がオゾン搬送路Ｌ５を介して気液混合器２０に供給される。

供給されたオゾンガスを含む気体は、気液混合器２０において水道水に混入され、これにより気液混合器２０においてオゾン水１００が生成される。生成されたオゾン水１００は、オゾン含有液搬送路Ｌ２を介して気液分離器３０に導入され、当該気液分離器３０においてその気液分離が行なわれてオゾン水１００に含まれる残留ガスが分離された後にオゾン含有液導出路Ｌ３に導入されて吐出口３を介して外部に向けて吐出される。なお、気液分離器３０にてオゾン水１００から分離された残留ガスは、気体還流路Ｌ６を介して回収され、気体導入路Ｌ４を介して再びオゾン発生器１０へと送られる。

以上において説明した本実施の形態におけるオゾン含有液生成装置１にあっては、上述したように、液体導入路Ｌ１上に流量規制手段としての定流量弁７が設けられているため、気液混合器２０を介して気液分離器３０に導入されるオゾン水１００の流量を気液分離器３０の処理量の上限以下とすることができる。そのため、外部の液体供給源である水道設備から供給される水道水の圧力が何らかの理由で高くなり、気液混合器２０を介して気液分離器３０に供給されるオゾン水１００の流量が気液分離器３０の処理量を超えるものとなってしまうような条件下においても、気液分離器３０からオゾン水１００が溢れ出して気体還流路Ｌ６にこれが流入してしまうことが未然に防止できる。

したがって、上記構成を採用することにより、気液分離器３０に具備される容器の容量を大きくすることが必要なくなり、装置の小型化が可能になるとともに、気液分離器３０からオゾン発生器１０に対してオゾン水１００が流入してしまうことが防止できるオゾン含有液生成装置とすることができる。その結果、オゾン含有液生成装置１の設置箇所の制約がなくなるばかりでなく、オゾン水１００がオゾン発生器１０に流入してしまうことがなくなることに伴い、オゾン発生器１０の性能の劣化や故障を招来してしまう懸念がなくなるとともに、高濃度のオゾンガスやオゾン水１００が外部に漏れ出してしまう懸念もなくなることになる。

以上において説明した本実施の形態においては、オゾン含有液生成手段としてベンチュリー型の気液混合器２０を利用することとし、これにより気液混合器２０の自吸作用によって気液混合器２０に原料ガスが供給されるように構成した場合を例示したが、オゾン含有液生成手段として自吸作用を有しない気液混合手段を用いることも可能である。その場合には、気体導入路Ｌ４、オゾン搬送路Ｌ５および気体還流路Ｌ６に必要に応じてポンプ等の気体を強制的に圧送する手段を設けることとすればよい。

また、上述した本実施の形態においては、気液分離手段として容器を備えた気液分離器３０を設けた場合を例示したが、気液分離が可能なものであればどのようなものでも気液分離手段として利用することが可能であり、たとえばオゾン含有液搬送路Ｌ２およびオゾン含有液導出路Ｌ３を繋ぐ部分の配管の一部を広げて気液分離手段とすることも可能である。

また、上述した本実施の形態においては、外部の空気を原料ガスとして吸気するように構成した場合を例示したが、酸素ボンベ等に気体導入路Ｌ４の吸気口４が接続されて使用されることとしてもよい。

また、上述した本実施の形態においては、ユニット化されることで通常の水道設備に洗浄ユニットとして付設可能とされたオゾン含有液生成装置１に本発明を適用した場合を例示したが、通常の水道設備と予め一体化されるように構成された洗浄装置に本発明を適用してもよい。さらには、通常の水道設備以外の他の給液設備に洗浄ユニットして付設可能とされたオゾン含有液生成装置に本発明を適用してもよいし、通常の水道設備以外の他の給液設備に一体化されるように構成された洗浄装置に本発明を適用することとしてもよい。

ここで、上述した洗浄装置としては、キッチン、浴室、トイレ、洗面所等に設けられる水回り設備や、住戸や工場等に付設される配管あるいは工場等に設置された機械設備の洗浄に使用される洗浄装置、工場等に設置された生産設備としての部品の洗浄装置や食料品を含む各種商品や製品の洗浄装置、医療施設等において使用される各種の洗浄装置、手洗い器や洗顔器をはじめとする各種美容健康器具、建物の床面や壁面等を対称とする殺菌や消臭、漂白等を目的とした各種の清掃装置などが挙げられる。

このように、本発明は、その趣旨に照らして逸脱しない範囲で各種の洗浄ユニットや洗浄装置に適用が可能である。

以上において開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

１ オゾン含有液生成装置、２ 給液口、３ 吐出口、４ 吸気口、５ 逆止弁、６ 合流部、７ 定流量弁、１０ オゾン発生器、２０ 気液混合器、２１ 大径流路部、２２ 小径流路部、２３ 円錐状流路部、２４ 気体導入通路部、３０ 気液分離器、１００ オゾン水、Ｌ１ 液体導入路、Ｌ２ オゾン含有液搬送路、Ｌ３ オゾン含有液導出路、Ｌ４ 気体導入路、Ｌ５ オゾン搬送路、Ｌ６ 気体還流路。

Claims (4)

1. 酸素を含む気体を用いてオゾンを発生させるオゾン発生手段と、
   前記オゾン発生手段にて発生させたオゾンを液体に含有させることでオゾン含有液を生成するオゾン含有液生成手段と、
   前記オゾン発生手段に酸素を含む気体を導入する気体導入路と、
   前記オゾン含有液生成手段に液体を導入する液体導入路と、
   前記オゾン含有液生成手段にて生成したオゾン含有液を一時的に貯留してこれを気液分離する気液分離手段と、
   前記気液分離手段にてオゾン含有液から分離されたオゾンを含む気体を前記気体導入路に還流する気体還流路と、
   前記気液分離手段にて気液分離された後のオゾン含有液を外部に導出するオゾン含有液導出路と、
   前記液体導入路上に設けられ、前記オゾン含有液生成手段に導入される液体の流量の上限を規制する流量規制手段とを備えた、オゾン含有液生成装置。
2. 前記流量規制手段が、定流量弁である、請求項１に記載のオゾン含有液生成装置。
3. 前記オゾン含有液生成手段が、ベンチュリー効果を利用してオゾンを液体に含有させる気液混合手段にて構成されている、請求項１または２に記載のオゾン含有液生成装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のオゾン含有液生成装置を備えた、洗浄装置。

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