JP2013106458A - リニアモータ - Google Patents

Abstract

【課題】界磁の永久磁石をヨークに固定する際の永久磁石の破損を防止できるようにする。
【解決手段】磁気的空隙を介して対向配置される界磁１と電機子２を備え、界磁１を固定子、電機子２を可動子とするリニアモータ１００であって、界磁１は、平板状の界磁ヨーク１１と、界磁ヨーク１１に交互に極性が異なるように直線状に並べて固定された複数の主極磁石１４及び補極磁石１５と、補極磁石１５の磁気的空隙側の面１５ａ、及び、２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂに設けられた補強部材１６とを有する。
【選択図】図３

Description

開示の実施形態は、複数の永久磁石を直線状に配置した界磁を備えるリニアモータに関する。

特許文献１には、コイルを有する一次側可動子と、複数の永久磁石を直線に沿って配置した二次側固定子とを備え、コイルに通電することにより可動子を二次側固定子に沿って直線的に移動させるリニア同期モータが記載されている。このリニア同期モータでは、複数の永久磁石を隣接して配置すると共に、隣接する永久磁石の磁化方向を可動子の移動方向及び直角方向に９０°ずつ異ならせている。

特開２００３−７０２２６号公報

複数の永久磁石を直線状に配置した界磁を備えるリニアモータにおいては、複数の永久磁石が接着剤等によりヨークに固定される。この磁石の固定の際に、隣接する磁石間、或いは磁石とヨーク間に吸引力若しくは反発力が生じ、永久磁石に割れ・欠け等の破損が生じる可能性がある。

特に、上記従来技術のように隣接する磁石の磁化方向を９０°異ならせた配列（ハルバッハ配列）の場合、その磁化方向の差異により隣接する磁石間、或いは磁石とヨーク間に大きな吸引力若しくは反発力が生じ易く、永久磁石に破損が生じ易い。

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、界磁の永久磁石をヨークに固定する際の永久磁石の破損を防止することができるリニアモータを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、磁気的空隙を介して対向配置される界磁と電機子を備え、前記界磁と前記電機子のいずれか一方を可動子、他方を固定子とするリニアモータであって、前記界磁は、平板状の界磁ヨークと、前記界磁ヨークに交互に極性が異なるように直線状に並べて固定された複数の永久磁石と、前記永久磁石の前記磁気的空隙側の面、前記界磁ヨーク側の面、及び、隣接する永久磁石側の面のうち、少なくとも前記隣接する永久磁石側の面に設けられた補強部材と、を有することを特徴とするリニアモータが適用される。

本発明のリニアモータによれば、界磁の永久磁石をヨークに固定する際の永久磁石の破損を防止することができる。

一実施形態に係るリニアモータの外観を表す斜視図である。 図１中の矢視Ａから見たリニアモータの側面図である。 一実施形態に係る一方の形状の補強部材を設けたリニアモータの界磁の構成を表す平面図である。 一方の形状の補強部材を設けた補極磁石の平面図及び磁気的空隙側から見た側面図である。 一実施形態に係る他方の形状の補強部材を設けたリニアモータの界磁の構成を表す平面図である。 他方の形状の補強部材を設けた補極磁石の平面図及び磁気的空隙側から見た側面図である。 ２つの形状の補強部材についてのモータ特性に関する解析結果を表す図である。 補強部材を補極磁石の界磁ヨーク側の面及び隣接する磁石側の面に設ける変形例に係るリニアモータの界磁の構成を表す平面図である。 界磁ヨークに補強部材を嵌め込むための溝を設ける変形例に係るリニアモータの界磁の構成を表す平面図である。 界磁ヨークに補強部材を嵌め込むための他の形状の溝を設ける変形例に係るリニアモータの界磁の構成を表す平面図である。 界磁ヨークに補強部材を嵌め込むためのさらに他の形状の溝を設ける変形例に係るリニアモータの界磁の構成を表す平面図である。 補極磁石が分割磁石である変形例における、補強部材を設けた補極磁石の平面図及び磁気的空隙側から見た側面図である。 補強部材の板厚を部分的に異ならせた変形例における、補強部材を設けた補極磁石の平面図である。

以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。

＜リニアモータの全体構成＞
まず、図１，２及び図３，５を用いて、一実施形態に係るリニアモータ１００の全体構成について説明する。図１及び図２に示すように、リニアモータ１００は、この例ではコアレスリニアモータであり、界磁１と電機子２を備えている。本実施形態では、界磁１を固定子、電機子２を可動子とする場合を一例として説明するが、反対に界磁１を可動子、電機子２を固定子としてもよい。以下では適宜、固定子１、可動子２と呼称する。固定子１は、２つの界磁ヨーク１１と、ヨークベース１２と、複数の永久磁石１３とを有している。２つの界磁ヨーク１１は、それぞれ同じ長尺の略矩形形状の平板であり、固定子１の長手方向全体に亘って互いに対向するよう配置されている。ヨークベース１２は、固定子１の長手方向全体に亘って２つの界磁ヨーク１１の間の下方部分を連結すると共に、２つの界磁ヨーク１１を支持している。なお、図１では後述する補強部材の図示を省略している。

複数の永久磁石１３は、界磁ヨーク１１の内側に接着等により直線状に並べて固定されている。図３及び図５に示すように、これら複数の永久磁石１３は、磁極の向きが互いに略９０°異なる主極磁石１４と補極磁石１５が交互に並べられたハルバッハ配列構造を有している。主極磁石１４及び補極磁石１５は、それぞれ固定子１の長手方向に短い略矩形形状の平板で構成されており、その厚みＴ（２つの界磁ヨーク１１の対向方向の厚み）はほぼ同一であるが、可動子２の移動方向（図１中両矢印Ｘで示す）の長さは主極磁石１４の方が補極磁石１５よりも大きくなっている。主極磁石１４及び補極磁石１５は、各々が各界磁ヨーク１１のそれぞれの対向面に２つ一組で対向する配置で設けられている。そのような複数組の永久磁石１４，１５が、固定子１の長手方向に沿って所定の間隔で並設されている。同じ組で対向する２つの主極磁石１４同士では、それらの対向方向、つまり固定子１の幅方向で磁極の向きが逆であり、また固定子１の長手方向で隣接する２つの主極磁石１４同士でも、互いに磁極の向きは逆となる。同様に、同じ組で対向する２つの補極磁石１５同士では、固定子１の幅方向で磁極の向きが逆であり、また固定子１の長手方向で隣接する２つの補極磁石１５同士でも、互いに磁極の向きは逆となる。

なお、図１及び図３，５に示す例では、主極磁石１４と補極磁石１５が隙間無く配置されているが、これに限定するものではなく、所定の間隔を設けて主極磁石１４と補極磁石１５を配置してもよい。

図１及び図２に示すように、ヨークベース１２の上面には長手方向全体に亘って溝部１２ａが形成されており、この溝部１２ａの幅は、上記一組の永久磁石１３の対向間隔とほぼ同じ寸法に設定されている。このため、図２に示すように、固定子１全体を側面で見た形状は略Ｕ字型となっている。

可動子２は、平板状の基板２１と、図示しない負荷を載置するための図示しないテーブルを固定する電機子ベース２２とを有している。基板２１は、固定子１の永久磁石１３と磁気的空隙を介して対向配置されている。この基板２１は、図示しないプリント基板及び電機子コイルが樹脂で覆われた構成となっている。電機子コイルは、空芯型で集中巻きのコアレスコイルである。

＜補強部材＞
次に、図３乃至図６を用いて、補極磁石１５に設けた補強部材について説明する。リニアモータ１００においては、複数の永久磁石１３が接着剤等により界磁ヨーク１１に固定される。この際、まず主極磁石１４が一定の間隔をおいて界磁ヨーク１１に固定され、その後に補極磁石１５が主極磁石１４の間に固定される。このようにして行われる永久磁石１３の固定の際に、隣接する磁石間、或いは磁石と界磁ヨーク１１間に吸引力若しくは反発力が生じ、永久磁石１３に折れや割れ、欠け等の破損が生じるおそれがある。特に、本実施形態では、固定子１の永久磁石１３がハルバッハ配列構造であるため隣接する磁石の磁極の向きが異なり、隣接する磁石間、或いは磁石と界磁ヨーク１１間に大きな吸引力若しくは反発力が生じ易い。加えて、補極磁石１５は主極磁石１４よりも細い（断面積が小さい）ため、補極磁石１５の固定の際に隣接する主極磁石１４との間、或いは界磁ヨーク１１との間に吸引力若しくは反発力が生じ、破損が生じる可能性が高い。そこで、補極磁石１５に補強部材を設けている。本実施形態では、このような補強部材の一例として２つの形状の補強部材１６，１６Ａについて説明する。

図３及び図４に示すように、一方の形状である補強部材１６は、平面視で略コの字形状となるように形成されており、例えば板状部材を２箇所で折り曲げる等によって形成される。この補強部材１６は、補極磁石１５の磁気的空隙側の面１５ａ及び２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂを覆い、且つ、界磁ヨーク側の面１５ｃを露出させるように、補極磁石１５に接着剤等により固定されている。補強部材１６は、補極磁石１５を界磁ヨーク１１に固定する前に補極磁石１５に取り付けられる。なお、補強部材１６は、非磁性材料で構成されている。非磁性材料としては、アルミ等の他の非磁性金属に比べて渦電流を小さくできることから、非磁性ステンレスを用いるのが好適である。

また図５及び図６に示すように、他方の形状である補強部材１６Ａは、２枚の板状部材よりなり、補極磁石１５の２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂをそれぞれ覆うように設けられている。すなわち、補強部材１６Ａは、補極磁石１５をその並列方向（可動子２の移動方向）両側より挟むように配置されている。その結果、上記補強部材１６と異なり、補極磁石１５の磁気的空隙側の面１５ａは露出されている。その他の構成については、補強部材１６と同様である。

＜補強部材のモータ特性に関する解析結果＞
本願発明者等は、上記２つの形状の補強部材１６，１６Ａを設けた場合について、モータ特性の解析を行った。この解析結果を図７に示す。図７に示すように、補強部材を設けない場合のモータの推力定数を１００％とし、上記補強部材１６（「ケース１」とする）及び上記補強部材１６Ａ（「ケース２」とする）の各々を設けた場合について、推力定数の値を解析した。このとき、ケース１，２の各々について、補強部材の厚みｔが１ｍｍ及び２ｍｍである場合、補強部材の材料が鉄（Ｆｅ）及び非磁性ステンレス（ＳＵＳ）である場合についてそれぞれ解析した。

その結果、図７に示すように、ケース１よりもケース２の方が、推力定数の低下が小さいことがわかった。これは、ケース２の場合、ケース１のように補強部材を補極磁石１５の磁気的空隙側の面１５ａに設けないため、図５に示すように主極磁石１４及び補極磁石１５をほぼ同一の厚みＴとなるように構成することが可能であり、ケース１に比べて磁石の投入量を増やすことができるからと考えられる。

また、ケース１及びケース２のいずれにおいても、補強部材に磁性材料である鉄（Ｆｅ）を用いた場合、主極の磁束漏れが生じ、非磁性ステンレス（ＳＵＳ）を用いる場合に比べて推力定数が著しく低下することがわかった。したがって、補強部材に用いる材質は非磁性材料が良いことがわかった。

さらに、ケース１及びケース２のいずれにおいても、補強部材の板厚ｔが２ｍｍの場合よりも１ｍｍの方が推力定数の低下が小さく、補強部材の板厚は薄い方が良いことがわかった。これは、補強部材の板厚が厚いほど磁気ギャップが大きくなり、さらに補極の磁束漏れが大きくなるからと考えられる。なお、ここでは一例として板厚ｔが１ｍｍ及び２ｍｍである場合について解析しているが、これに限定されるものではなく、補強部材の板厚は補極磁石１５の破損を防止できる強度を保持可能な範囲で最も薄くすればよく、適宜変更可能であることは言うまでもない。

以上の結果から、板厚１ｍｍ且つ非磁性ステンレスの補強部材を用いることで、補強部材１６及び補強部材１６Ａのいずれの形状の場合でも、モータ特性の低下を５％程度に抑えることが可能であり、特に、補強部材１６Ａを用いた場合がモータ特性の低下を最も小さくできる（３％程度）ことがわかった。

＜実施形態の効果＞
以上のような構成である本実施形態のリニアモータ１００においては、固定子１の補極磁石１５に補強部材１６，１６Ａを設けるので、補極磁石１５を界磁ヨーク１１に固定する際に隣接する主極磁石１４との間、或いは界磁ヨーク１１との間に吸引力若しくは反発力が発生しても、補強部材１６，１６Ａによって補極磁石１５の折れや割れ、欠け等の破損を防止することができる。特に、補強部材１６，１６Ａはいずれも、補極磁石１５の２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂを少なくとも覆う形状となっているので、次のような効果を奏する。例えば、補強部材を補極磁石１５の磁気的空隙側の面１５ａあるいは界磁ヨーク１１側の面１５ｃにのみ設ける場合、補強部材を設けない場合に比べると磁石の強度を大きくすることは可能である。しかしながら、主極磁石１４と補極磁石１５との磁石間接触は避けられず、その接触時の衝撃などにより、補極磁石１５の割れ、欠け等が生じるおそれがある。これに対し、本実施形態では補強部材１６，１６Ａを隣接する主極磁石１４側の面１５ｂに設けるので、主極磁石１４と補極磁石１５との直接接触は避けられ、補極磁石１５の破損を確実に防止できる。

また、特に補強部材１６Ａを用いた場合には、上述したように補強部材１６を用いる場合よりも磁石の投入量を増やすことができるため、モータ特性の低下をより抑えることが可能である。一方で、補強部材１６を用いた場合には、平面視で略コの字形状に形成するため、補強部材１６Ａのように単に一枚板状とするよりも補強部材自体の剛性を高めることが可能となり、補極磁石１５の破損をより確実に防止できる。

また、本実施形態では特に、補強部材１６，１６Ａを補極磁石１５にのみ設け、主極磁石１４には設けない構成とする。すなわち、ハルバッハ配列においては、磁束の向きが主極磁石１４においては２つの界磁ヨーク１１の対向方向となり、補極磁石１５においては磁石の並列方向（可動子２の移動方向）となるため、補極磁石１５においては磁気的空隙側の面１５ａに補強部材を設けても磁束への影響が少ない。したがって、本実施形態のように補強部材１６，１６Ａを補極磁石１５にのみ設けることで、モータ特性の低下を抑えつつ、比較的強度が弱い補極磁石１５の破損を防止できる。

また、本実施形態では特に、補強部材１６，１６Ａを非磁性材料で構成する。これにより、上述したように磁性材料を用いた場合に比べて磁束漏れを減少させることができる。したがって、モータ特性の低下を抑えることができる。

また、本実施形態では特に、固定子１の複数の永久磁石１３が、磁極の向きが異なる主極磁石１４と補極磁石１５が交互に並べられたハルバッハ配列構造となっている。これにより、発生する磁界の分布を正弦波に近づけることができ、低損失でコギング推力が小さいリニアモータ１００を得ることができる。

＜変形例＞
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を順を追って説明する。

（１）補強部材を界磁ヨーク側の面及び隣接する永久磁石側の面に設ける場合
補強部材の形状は、上記実施形態で述べた補強部材１６，１６Ａに限られず、その他種々の形状とすることが可能である。例えば、補強部材を界磁ヨーク１１側の面及び２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂを覆うように設けてもよい。図８を用いて、本変形例の補強部材について説明する。

図８に示すように、本変形例の補強部材１６Ｂは、前述の補強部材１６と同様に、平面視で略コの字形状となるように形成されている。但し、補強部材１６Ｂは、補極磁石１５の界磁ヨーク１１側の面１５ｃ及び２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂを覆うように設けられており、磁気的空隙側の面１５ａは露出されている。本変形例では、補強部材１６Ｂが接着剤等により界磁ヨーク１１に固定される。その他の構成については、前述の実施形態と同様である。本変形例においても、前述の実施形態と同様の効果を得る。

（２）界磁ヨークに補強部材を嵌め込むための溝を設ける場合
上記実施形態においては設けなかったが、界磁ヨーク１１に補強部材を嵌め込むための溝を設けてもよい。図９乃至図１１を用いて、本変形例について説明する。

図９に示すように、界磁ヨーク１１には、補強部材１６Ｃを嵌め込むための溝１１ａが、各補極磁石１５に対応する位置に形成されている。補強部材１６Ｃは、上記変形例（１）の補強部材１６Ｂと同様、補極磁石１５の界磁ヨーク１１側の面１５ｃ及び２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂを覆うように設けられており、接着剤等により界磁ヨーク１１の溝１１ａに固定される。この例では、溝１１ａは矩形状であり、その深さは補強部材１６Ｃの板厚と略同等となっている。その結果、主極磁石１４及び補極磁石１５は、ほぼ同一の厚みＴとなるように構成されており、上記変形例（１）の構成に比べて補極磁石１５の投入量を増加することができる。

一方、図１０に示す例では、界磁ヨーク１１の溝１１ｂは台形状に形成されており、補強部材１６Ｄもこれに対応した形状となっている。この場合、補強部材１６Ｄは界磁ヨーク１１の溝１１ｂに対してヨークベース１２の反対側から差し込まれて嵌合される。他方、図１１に示す例では、界磁ヨーク１１の溝１１ｃは溝の底部が固定子１の長手方向に凹んだ形状に形成されており、補強部材１６Ｅもこれに対応した形状となっている。この場合も同様に、補強部材１６Ｅは界磁ヨーク１１の溝１１ｃに対してヨークベース１２の反対側から差し込まれて嵌合される。これら図１０及び図１１に示す変形例によれば、補強部材１６Ｄ，１６Ｅと溝１１ｂ，１１ｃとの引っ掛かりによって、補極磁石１５及び補強部材１６Ｄ，１６Ｅが界磁ヨーク１１より外れるのを防止できる。

（３）永久磁石が分割構成の場合
一般に、大推力リニアモータ等に使用される一定サイズ以上の永久磁石には、磁石の製造上又はコストの制限等の都合により、２つ以上の永久磁石を接着により一体化させた分割磁石が使用される場合が多い。このような分割磁石では、隣接する永久磁石との間、或いは界磁ヨーク１１との間に吸引力若しくは反発力が発生すると、磁石同士の接着の剥がれにより、永久磁石の割れ・欠け等の破損を生じ易い。したがって、補強部材を設けることが非常に有効となる。本変形例は、永久磁石１３がこのような分割磁石である場合の変形例である。

図１２に示すように、本変形例では補極磁石１５が磁石１５Ａと磁石１５Ｂとに２分割された構成となっており、これら磁石１５Ａ，１５Ｂが接着面１５ｄで接着されて一体化されている。なお、図示は省略するが、主極磁石１４も同様に２分割された構成となっている。補強部材１６は前述の実施形態と同様であり、補極磁石１５の磁石１５Ａ，１５Ｂ各々の磁気的空隙側の面１５ａ及び２つの隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂを覆い、且つ、界磁ヨーク側の面１５ｃを露出させるように、補極磁石１５に接着剤等により固定されている。

このような分割磁石である補極磁石１５では、隣接する主極磁石１４との間、或いは界磁ヨーク１１との間に吸引力若しくは反発力が発生すると、接着面１５ｄに剥がれが生じ、補極磁石１５が割れを生じ易い。したがって、このような分割磁石である補極磁石１５に補強部材１６を設けることで、接着面１５ｄに生じる応力を低減し、補極磁石１５の破損を防止することができる。

なお、上記では永久磁石の分割数が２である場合を一例として説明したが、３以上であってもよいのは言うまでもない。また、上記では分割磁石に補強部材１６を設ける場合を一例として説明したが、他の形状である補強部材１６Ａ〜１６Ｆを設けてもよい。例えば図１２中のかっこ書きの符号は、補強部材１６Ｂを設けた場合に対応している。

（４）補強部材の板厚を部分的に異ならせる場合
上記実施形態では、補強部材１６の板厚が一定である場合を説明したが、これに限定するものではなく、補強部材１６の板厚を部分的に異ならせてもよい。図１３を用いて、本変形例の補強部材について説明する。

図１３に示すように、本変形例の補強部材１６Ｆは、磁気的空隙側の面１５ａを覆う部分の板厚（この例では２ｔ）が、隣接する主極磁石１４側の面１５ｂ，１５ｂを覆う部分の板厚（この例ではｔ）よりも大きくなる（この例では２倍）ように形成されている。このように、磁気的空隙側の板厚を大きくすることで補強部材１６Ｆ自体の剛性を保持しつつ、隣接する主極磁石１４側の板厚を小さくすることで補極磁石１５における磁束漏れを小さく抑えることが可能となり、モータ特性の低下を抑えつつ永久磁石の破損を防止できるリニアモータを実現できる。

なお、上記では補強部材１６Ｆの形状を前述の補強部材１６に対応した形状としたが、他の補強部材１６Ａ〜１６Ｆに対応した形状としてもよい。例えば図１３中のかっこ書きの符号は、補強部材１６Ｆを補強部材１６Ｂに対応した形状とした場合に対応している。

（５）その他
上記実施形態では、リニアモータ１００がコアレスリニアモータである場合を一例として説明したが、電機子コイルが鉄心を有するコア付きリニアモータであってもよい。また、リニアモータ１００が電機子２の両側に界磁ヨーク１１を有する場合を一例として説明したが、電機子の片側にのみ界磁ヨークを設けたリニアモータに本発明を適用してもよい。

また上記実施形態では、永久磁石１３が主極磁石１４と補極磁石１５を交互に並べたハルバッハ配列である場合を一例として説明したが、これに限定するものではなく、同じ形状の永久磁石１３を交互に極性が異なるように直線状に並べた通常の配列のリニアモータにも適用することができる。

また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。

その他、一々例示はしないが、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。

１ 界磁、固定子
２ 電機子、可動子
１１ 界磁ヨーク
１３ 永久磁石
１４ 主極磁石
１５ 補極磁石
１５ａ 磁気的空隙側の面
１５ｂ 隣接する主極磁石側の面（隣接する永久磁石側の面）
１５ｃ 界磁ヨーク側の面
１６ 補強部材
１６Ａ〜１６ 補強部材
１００ リニアモータ

Claims (6)

1. 磁気的空隙を介して対向配置される界磁と電機子を備え、前記界磁と前記電機子のいずれか一方を可動子、他方を固定子とするリニアモータであって、
   前記界磁は、
   平板状の界磁ヨークと、
   前記界磁ヨークに交互に極性が異なるように直線状に並べて固定された複数の永久磁石と、
   前記永久磁石の前記磁気的空隙側の面、前記界磁ヨーク側の面、及び、隣接する永久磁石側の面のうち、少なくとも前記隣接する永久磁石側の面に設けられた補強部材と、を有する
   ことを特徴とするリニアモータ。
2. 前記補強部材は、
   前記永久磁石の前記磁気的空隙側の面、及び、２つの前記隣接する永久磁石側の面を覆うように設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
3. 前記補強部材は、
   前記永久磁石の前記界磁ヨーク側の面、及び、２つの前記隣接する永久磁石側の面を覆うように設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
4. 前記永久磁石は、
   複数の永久磁石を接着により一体化させた分割磁石である
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のリニアモータ。
5. 前記複数の永久磁石は、
   磁極の向きが異なる主極磁石と補極磁石が交互に並べられたハルバッハ配列構造を有しており、
   前記補強部材は、
   前記補極磁石の前記磁気的空隙側の面、前記界磁ヨーク側の面、及び、隣接する前記主極磁石側の面のうち、少なくとも前記隣接する主極磁石側の面に設けられている
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のリニアモータ。
6. 前記補強部材は、
   非磁性材料で構成されている
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のリニアモータ。

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