JP2013166669A

JP2013166669A - Scribing device

Info

Publication number: JP2013166669A
Application number: JP2012031509A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Sakai; 敏行酒井
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2012-02-16
Filing date: 2012-02-16
Publication date: 2013-08-29

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scribing device that makes a scribe head move along a beam via a slide base, wherein the slide base is prevented from being warped due to the weight of the scribe head.SOLUTION: An eave portion 17 bent downward is provided on a side of a beam 12 to which a slide base 18 is attached, and then the upper side of the slide base 18 is made to abut on the eave portion 17.

Description

本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置に関し、特にスクライブヘッドの保持に関するものである。 The present invention relates to a scribe device for forming a scribe line on a brittle material substrate, and more particularly to holding a scribe head.

従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。このマザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。 Conventionally, in a flat panel display such as a liquid crystal display panel or a liquid crystal projector substrate, a mother glass substrate is bonded together in a manufacturing process and then divided into a single panel having a predetermined size. The cutting of the brittle material substrate such as the mother glass substrate includes a scribe process and a break process, and a scribe device is used in the scribe process.

図１は、従来のスクライブ装置の一例を示す概略斜視図である。このスクライブ装置１００は、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。 FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a conventional scribing apparatus. In the scribing apparatus 100, a moving base 101 is held so as to be movable in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed with the moving table 101. The ball screw 103 is rotated by driving the motor 104, and moves the moving base 101 in the y-axis direction along the guide rails 102a and 102b. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on the table 106 and held by a vacuum suction means (not shown). Two CCD cameras 108 that image the alignment marks of the brittle material substrate 107 are provided on the scriber.

スクライブ装置１００には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って支柱１１１ａ，１１１ｂにより架設されている。ブリッジ１１０は横方向にビーム１１２が設けられ、ビーム１１２の長手方向にリニアモータ１１３が設けられる。リニアモータ１１３はスクライブヘッド１１４をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スクライブヘッド１１４の下端部には、スクライビングホイールを有するチップホルダ１１５が取付けられている。 In the scribe device 100, a bridge 110 is installed by struts 111 a and 111 b along the x-axis direction so as to straddle the moving table 101 and the upper table 106. The bridge 110 is provided with a beam 112 in the lateral direction, and a linear motor 113 is provided in the longitudinal direction of the beam 112. The linear motor 113 is a drive source that moves the scribe head 114 along the x-axis direction. A tip holder 115 having a scribing wheel is attached to the lower end portion of the scribe head 114.

図２は支柱１１１ａ，１１１ｂに張架されたビーム１１２とビーム１１２に取付けられたスクライブヘッド１１４を示す概略図である。本図に示すように、リニアモータ１１３の可動部にはスライドベース１１６が取付けられ、スライドベース１１６に更にスクライブヘッド１１４が取付けられている。スクライブヘッド１１４はチップホルダ１１５を昇降動可能に保持している。チップホルダ１１５は下部に円板状のホイールチップ（以下、単にチップという）１１７を回転可能に保持するものである。ホイールチップ１１７は脆性材料基板に適切な荷重にて圧接しながら転動してスクライブラインを形成する。スクライブヘッド１１４には、その内部にそうした昇降動作を可能とする昇降部、例えば空気圧制御を用いるエアーシリンダーやリニアモータによる電動昇降部などが設けられている。 FIG. 2 is a schematic view showing the beam 112 stretched between the columns 111 a and 111 b and the scribe head 114 attached to the beam 112. As shown in the figure, a slide base 116 is attached to the movable part of the linear motor 113, and a scribe head 114 is further attached to the slide base 116. The scribe head 114 holds the chip holder 115 so as to be movable up and down. The chip holder 115 holds a disk-shaped wheel chip (hereinafter simply referred to as a chip) 117 rotatably at the lower part. The wheel chip 117 rolls while being pressed against the brittle material substrate with an appropriate load to form a scribe line. The scribe head 114 is provided with an elevating unit that enables such an elevating operation, for example, an air cylinder using air pressure control or an electric elevating unit using a linear motor.

又特許文献２にはモータによって送りねじを回転させ、送りねじに沿ってスクライブヘッドを脆性材料基板上で平行に移動させスクライブを行うスクライブ装置が提案されている。 Patent Document 2 proposes a scribing device that performs scribing by rotating a feed screw by a motor and moving a scribe head in parallel on the brittle material substrate along the feed screw.

国際公開ＷＯ２００９／１５７４４０号International Publication WO2009 / 157440 特開２００４−１０４５２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-10452

しかるに特許文献１及び２のスクライブ装置では、いずれもスクライブヘッドはリニアモータや送りねじの側方に張り出して取付けられている。そのためスクライブヘッドの重みによって図２の時計方向に回転モーメントが生じる。従ってスライドベースが歪みを受けやすく、スクライビング時にスクライブ位置の位置ずれが生じ易くなり、スクライブ位置の精度が低下するという問題点があった。 However, in the scribing devices of Patent Documents 1 and 2, the scribing head is attached to the side of the linear motor or the feed screw. Therefore, a rotational moment is generated in the clockwise direction in FIG. 2 due to the weight of the scribe head. Therefore, there is a problem that the slide base is easily distorted, the scribe position is liable to be displaced during scribing, and the accuracy of the scribe position is lowered.

本発明はこのような従来のスクライブ装置の問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑え、スクライブ位置の精度を向上させるようにすることを技術的課題とする。 The present invention has been made in view of the problems of the conventional scribing apparatus, and it is a technical problem to suppress the distortion of the slide base due to the weight of the scribing head and improve the accuracy of the scribing position. And

この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板が設置されるテーブルと、前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行な面を含むビームを有するブリッジと、前記ビームに沿って移動自在のスライドベースと、前記スライドベースを前記ビームに沿って直線移動させるリニアモータと、前記スライドベースに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備し、前記ビームの少なくとも一部には、前記スライドベースの上部に外側より対向する庇部を有するものである。 In order to solve this problem, a scribing apparatus of the present invention includes a table on which a brittle material substrate is installed, a bridge having a beam including a plane parallel to the surface of the brittle material substrate installed on the table, and the beam. A slide base that is movable along the beam, a linear motor that linearly moves the slide base along the beam, and a scribe head that is attached to the slide base and holds a scribing wheel that scribes the brittle material substrate. And at least a part of the beam has a flange on the upper portion of the slide base that is opposed to the outside.

ここで前記スライドベースは、前記ビームの庇部に対向する面に配置され、前記庇部に向けて空気を噴出する少なくとも１つのエアパッドと、前記エアパッドに空気を供給する空気供給部と、を有するようにしてもよい。 Here, the slide base includes at least one air pad that is disposed on a surface facing the collar part of the beam, and ejects air toward the collar part, and an air supply part that supplies air to the air pad. You may do it.

このような特徴を有する本発明によれば、ビームにスライドベースの上部が当接する庇部を設けているため、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑えることができる。従ってスクライビングの位置精度を向上させることができるという効果が得られる。 According to the present invention having such a feature, since the collar portion on which the upper portion of the slide base comes into contact with the beam is provided, the distortion of the slide base due to the weight of the scribe head can be suppressed. Therefore, the effect that the scribing position accuracy can be improved is obtained.

図１は従来のスクライブ装置の概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a conventional scribing apparatus. 図２は従来のスクライブ装置のビームとスクライブヘッドを示す図である。FIG. 2 is a view showing a beam and a scribe head of a conventional scribe device. 図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置の概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view of the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図４は本発明の実施の形態によるスクライブ装置に用いられるビームとスライドベースを示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a beam and a slide base used in the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図５は本発明の実施の形態によるスクライブ装置に用いられるビームとスライドベースとスクライブヘッドを示す図である。FIG. 5 is a view showing a beam, a slide base, and a scribe head used in the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図６はスライドベースの正面図及び側面図である。FIG. 6 is a front view and a side view of the slide base. 図７は本発明の実施の形態によるスクライブ装置のブロック図である。FIG. 7 is a block diagram of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図８は本発明の実施の形態によるスクライブ装置の庇部の他の例によるビームとスライドベースを示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a beam and a slide base according to another example of the collar portion of the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図９は本発明の実施の形態による複数のビームに複数のスライドベースを取付けた状態を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a state in which a plurality of slide bases are attached to a plurality of beams according to an embodiment of the present invention.

図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付している。本実施の形態によるスクライブ装置１も、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。 FIG. 3 is a perspective view showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. In this scribing apparatus, the same parts as those in the conventional example described above are denoted by the same reference numerals. Also in the scribing apparatus 1 according to the present embodiment, the movable table 101 is held so as to be movable in the y-axis direction along the pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed with the moving table 101. The ball screw 103 is rotated by driving the motor 104, and moves the moving base 101 in the y-axis direction along the guide rails 102a and 102b. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on the table 106 and held by a vacuum suction means (not shown). Two CCD cameras 108 that image the alignment marks of the brittle material substrate 107 are provided on the top of the scribe device 1.

スクライブ装置１には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１０がｘ軸方向に沿って架設されている。ブリッジ１０は左右の一対の支柱１１ａ，１１ｂとその間のビーム１２から成り、ビーム１２はテーブル１０６から所定間隔を隔ててテーブル１０６の面に平行に設けられている。ビーム１２の両側の側面には夫々長手方向に沿って溝１３Ａ，１３Ｂが形成されている。このビーム１２の長手方向にリニアモータ１４が設けられる。リニアモータ１４はスクライブヘッド１５をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スクライブヘッド１５の下端部には、スクライビングホイールを有するチップホルダ１６が取付けられている。スクライブヘッド１５やチップホルダ１６は従来のものと同様である。 In the scribe device 1, a bridge 10 is installed along the x-axis direction so as to straddle the movable table 101 and the table 106 on the upper side thereof. The bridge 10 includes a pair of left and right support columns 11 a and 11 b and a beam 12 therebetween. The beam 12 is provided in parallel to the surface of the table 106 at a predetermined interval from the table 106. Grooves 13A and 13B are formed on the side surfaces on both sides of the beam 12 along the longitudinal direction. A linear motor 14 is provided in the longitudinal direction of the beam 12. The linear motor 14 is a drive source that moves the scribe head 15 along the x-axis direction. A tip holder 16 having a scribing wheel is attached to the lower end portion of the scribe head 15. The scribe head 15 and the chip holder 16 are the same as those in the prior art.

図４はスクライブ装置１のスライドベースが取付けられるビームと支柱の異なった方向からの斜視図、図５はその側面図である。本実施の形態のビーム１２には一方の側面に突出して下方に折り曲げられた庇部１７を有している。庇部１７はスライドベース１８が取付けられる側で且つチップホルダ１６の取付位置とは逆の位置、即ち図４ではビーム１２の上部にビーム１２の全長に渡って設けられる。庇部１７はスライドベース１８の上部に外側から後述するエアパッドを介して対向している。又スライドベース１８は平板状の部材であって、スクライブヘッド１５が取付けられるが、図４では省略して示している。 4 is a perspective view from different directions of a beam and a column to which the slide base of the scribing apparatus 1 is attached, and FIG. 5 is a side view thereof. The beam 12 of the present embodiment has a flange portion 17 that protrudes from one side surface and is bent downward. The flange portion 17 is provided on the side where the slide base 18 is attached and at a position opposite to the attachment position of the tip holder 16, that is, at the upper portion of the beam 12 in FIG. 4 over the entire length of the beam 12. The flange portion 17 is opposed to the upper portion of the slide base 18 from the outside via an air pad described later. The slide base 18 is a flat plate member to which the scribe head 15 is attached, but is omitted from FIG.

スライドベース１８の上面の庇部１７に対向する部分にはエアパッドが設けられる。エアパッドは中央に１つでもよいが、図６に示すように左右に一対のエアパッド２１Ａ，２１Ｂを設けておくことが好ましい。エアパッド２１Ａ，２１Ｂはアルミニウム製の平板状部材であり、表面がアルマイト処理されている。また側方には空気取込み孔を有し、ビーム１２の庇部１７と対向する面には空気取り込み孔に連通する多数の小孔が設けられている。エアパッド２１Ａ，２１Ｂは夫々側方にプラグが突出しており、プラグは柔軟なパイプによって後述するエアポンプに連結されている。エアパッド２１Ａ，２１Ｂの中心には外向きに移動可能な軸が設けられ、夫々軸方向にわずかに移動自在となり、図示しないばねによって庇部１７の方向に付勢されている。 An air pad is provided on a portion of the upper surface of the slide base 18 facing the flange portion 17. Although one air pad may be provided at the center, it is preferable to provide a pair of air pads 21A and 21B on the left and right as shown in FIG. The air pads 21A and 21B are flat plate members made of aluminum, and the surfaces thereof are anodized. In addition, the side has an air intake hole, and a plurality of small holes communicating with the air intake hole are provided on the surface of the beam 12 facing the flange portion 17. Each of the air pads 21A and 21B has a plug protruding laterally, and the plug is connected to an air pump described later by a flexible pipe. At the center of the air pads 21A and 21B, a shaft that is movable outward is provided, and each of the shafts is slightly movable in the axial direction, and is urged toward the flange 17 by a spring (not shown).

次に本実施の形態によるスクライブ装置１の構成について、ブロック図を用いて説明する。図７はスクライブ装置１の制御系を示すブロック図である。本図において２台のＣＣＤカメラ１０８からの出力は画像処理部４１を介して制御部４２に与えられる。制御部４２はスクライブラインを形成するためにＸモータ駆動部４４、Ｙモータ駆動部４５を制御するものである。これらのモータ駆動部４３，４４は夫々リニアモータ１４，モータ１０４を直接駆動するものである。又回転用モータ駆動部４５はモータ１０５を駆動し、テーブル１０６上に配置された脆性材料基板１０７を回転させると共に、角度ずれがあるときにその角度ずれを打ち消すものである。更に制御部４２にはエアポンプ駆動部４６、チップホルダ昇降駆動部４７やモニタ４８が接続される。エアポンプ駆動部４６はリニアモータ１４によってスクライブヘッドを直線的に移動させる際に、エアポンプ４９を同時に駆動するものである。又チップホルダ昇降駆動部４７は、スクライブ時にホイールチップが脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接するように駆動するものである。ここでエアポンプ駆動部４６とエアポンプ４９とは、スクライブヘッドの移動時にエアパッド２１Ａ，２１Ｂに空気を供給する空気供給部を構成している。 Next, the configuration of the scribing apparatus 1 according to the present embodiment will be described using a block diagram. FIG. 7 is a block diagram showing a control system of the scribing apparatus 1. In this figure, outputs from two CCD cameras 108 are given to the control unit 42 via the image processing unit 41. The control unit 42 controls the X motor driving unit 44 and the Y motor driving unit 45 in order to form a scribe line. These motor drive units 43 and 44 directly drive the linear motor 14 and the motor 104, respectively. The rotation motor driving unit 45 drives the motor 105 to rotate the brittle material substrate 107 disposed on the table 106 and cancels the angular deviation when there is an angular deviation. Further, an air pump drive unit 46, a chip holder lifting drive unit 47 and a monitor 48 are connected to the control unit 42. The air pump drive unit 46 drives the air pump 49 simultaneously when the linear motor 14 moves the scribe head linearly. The tip holder lifting / lowering drive unit 47 drives the wheel tip so as to press the surface of the brittle material substrate with an appropriate load during scribing. Here, the air pump drive unit 46 and the air pump 49 constitute an air supply unit that supplies air to the air pads 21A and 21B when the scribe head moves.

次に本実施の形態によるスクライブ装置の動作について説明する。スライドベース１８がビーム１２のいずれかの位置で停止している状態では、エアパッド２１Ａ，２１Ｂには外部より空気が供給されず、図示しないばねにより庇部１７に向けて付勢され、庇部１７の内側の面に接触している。そしてスクライブ時にはリニアモータ１４によりスライドベース１８を移動させる。このときエアポンプ駆動部４６よりエアポンプ４９が起動し、チューブおよびプラグを介してエアパッド２１Ａ，２１Ｂに圧縮空気が供給される。これによってエアパッド２１Ａ，２１Ｂよりビーム１２の庇部１７に向けて空気が噴出する。すると、ばねの付勢力に抗してエアパッド２１Ａ，２１Ｂと庇部１７の側面の間にクリアランスが生じ、スライドベース１８の移動に伴う摺動抵抗が軽減されることとなり、ビーム１２に沿って容易に直線移動させることができる。そしてこの移動中にはスクライブヘッド１５が下降し、脆性材料基板に対してスクライビングホイールを転動させてスクライブが行われる。 Next, the operation of the scribing apparatus according to this embodiment will be described. When the slide base 18 is stopped at any position of the beam 12, no air is supplied to the air pads 21A and 21B from the outside, and the air pads 21A and 21B are urged toward the flange 17 by a spring (not shown). It is in contact with the inner surface. At the time of scribing, the slide base 18 is moved by the linear motor 14. At this time, the air pump 49 is activated by the air pump drive unit 46, and compressed air is supplied to the air pads 21A and 21B through the tubes and plugs. As a result, air is ejected from the air pads 21 </ b> A and 21 </ b> B toward the flange portion 17 of the beam 12. Then, a clearance is generated between the air pads 21 </ b> A and 21 </ b> B and the side surface of the flange portion 17 against the urging force of the spring, and the sliding resistance accompanying the movement of the slide base 18 is reduced. Can be moved linearly. During this movement, the scribing head 15 is lowered, and the scribing wheel is rolled with respect to the brittle material substrate to perform scribing.

又スクライブが終了すると、リニアモータ１４の駆動が停止すると共にエアポンプ４９も停止する。従って空気の供給が停止され、エアパッド２１Ａ，２１Ｂが庇部１７に当接して停止する。 When the scribing is finished, the driving of the linear motor 14 is stopped and the air pump 49 is also stopped. Accordingly, the supply of air is stopped, and the air pads 21A and 21B come into contact with the flange portion 17 and stop.

尚この実施の形態ではスライドベース１８にエアパッド２１Ａ，２１Ｂを設けているが、スライドベース１８の上部を庇部１７の内側の面に直接接触させて位置を安定化させるようにしてもよい。この場合には庇部１７の張り出し幅をより少なくすることができる。 In this embodiment, the air pads 21A and 21B are provided on the slide base 18. However, the position of the slide base 18 may be stabilized by bringing the upper portion of the slide base 18 into direct contact with the inner surface of the flange portion 17. In this case, the overhang width of the flange portion 17 can be further reduced.

又この実施の形態ではビーム１２の全長に渡って庇部１７を設けているが、図８に示すようにスライドベースがビームの端部の退避位置にあるときにのみスライドベースの上部が庇部１７に直接接触するように、庇部１７を端部にのみ設けてもよい。この場合には庇部の張り出し幅を少なくしてスライドベースの上部が直接庇部に当接するようにし、スクライブ時には庇部のない位置でスクライブを実行する。これはスクライブヘッドが退避位置にある時間の方がスクライブしている時間よりも圧倒的に長時間であり、この間はスライドベースの上部が庇部に当接しているため、歪みが顕著になることがなく、十分な効果を得ることができる。 Further, in this embodiment, the flange portion 17 is provided over the entire length of the beam 12, but the upper portion of the slide base is the flange portion only when the slide base is at the retracted position of the end portion of the beam as shown in FIG. You may provide the collar part 17 only in an edge part so that it may contact 17 directly. In this case, the overhang width of the collar portion is reduced so that the upper part of the slide base directly contacts the collar portion, and the scribing is performed at a position where there is no collar portion when scribing. This is because the time when the scribe head is in the retracted position is overwhelmingly longer than the time when it is scribed, and during this time, the upper part of the slide base is in contact with the buttocks, so that distortion becomes significant There is not, and sufficient effect can be acquired.

尚この実施の形態ではビーム１２に沿って１つのスクライブヘッドを直線的に移動自在としているが、１つのビームに複数のスライドベースを設け、同一のビームに複数のスライドベースを移動させるようにしてもよい。又２枚の脆性材料基板を貼り合わせた貼り合わせ基板を分断するために、上下よりスクライブを行う場合には、図９に示すように、上下に平行な一対のビーム１２Ａ，１２Ｂを設け、ビーム１２Ａ，１２Ｂに夫々庇部１７Ａ，１７Ｂを設け、各ビームに少なくとも１つのスライドベース、ここではスライドベース１８Ａ〜１８Ｄを移動自在に配置するようにしてもよい。 In this embodiment, one scribe head is linearly movable along the beam 12, but a plurality of slide bases are provided for one beam, and a plurality of slide bases are moved to the same beam. Also good. In addition, when scribing from above and below to divide a bonded substrate obtained by bonding two brittle material substrates, a pair of beams 12A and 12B parallel to the top and bottom are provided as shown in FIG. 12A and 12B may be provided with flanges 17A and 17B, respectively, and at least one slide base, here slide bases 18A to 18D, may be movably disposed on each beam.

本発明はビームに沿ってスライドベースを介して直線状にスクライブヘッドを移動させる際に、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑えることができるので、脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に好適である。 The present invention can suppress the distortion of the slide base due to the weight of the scribe head when moving the scribe head linearly through the slide base along the beam, and is therefore suitable for a scribe device for scribing a brittle material substrate. is there.

１０ブリッジ
１１ａ，１１ｂ支柱
１２，１２Ａ，１２Ｂビーム
１３Ａ，１３Ｂ溝
１４リニアモータ
１５スクライブヘッド
１６チップホルダ
１７，１７Ａ，１７Ｂ庇部
１８，１８Ａ〜１８Ｄスライドベース
２１Ａ，２１Ｂエアパッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Bridge 11a, 11b Support | pillar 12,12A, 12B Beam 13A, 13B Groove 14 Linear motor 15 Scribe head 16 Tip holder 17, 17A, 17B Hook 18, 18A-18D Slide base 21A, 21B Air pad

Claims

A table on which a brittle material substrate is installed;
A bridge having a beam including a plane parallel to the plane of the brittle material substrate placed on the table;
A slide base movable along the beam;
A linear motor that linearly moves the slide base along the beam;
A scribing head attached to the slide base and holding a scribing wheel for scribing the brittle material substrate,
The scribing apparatus, wherein at least a part of the beam has a flange portion that is opposed to the upper part of the slide base from outside.

The slide base is
At least one air pad that is disposed on a surface of the beam facing the buttock, and blows out air toward the buttock;
The scribing apparatus according to claim 1, further comprising: an air supply unit that supplies air to the air pad.