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JP2011118264A - Microscope device - Google Patents

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JP2011118264A
JP2011118264A JP2009277353A JP2009277353A JP2011118264A JP 2011118264 A JP2011118264 A JP 2011118264A JP 2009277353 A JP2009277353 A JP 2009277353A JP 2009277353 A JP2009277353 A JP 2009277353A JP 2011118264 A JP2011118264 A JP 2011118264A
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JP
Japan
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lens
microscope
illumination
optical system
light source
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Application number
JP2009277353A
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Japanese (ja)
Inventor
Sadahiro Tomioka
貞祐 冨岡
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】装置の小型化を図った、共焦点顕微鏡と全反射顕微鏡とを切り換えて使用可能な顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源(不図示)と、レーザ光源から射出したレーザ光束を対物レンズ16を介して標本12に照射する共焦点走査観察系(照明光学系)31と、標本12からの蛍光を検出する撮像素子23を備えた顕微鏡装置1において、レーザ光源と対物レンズ16との間の光路上に挿脱可能に液体レンズ62を設け、液体レンズ62を前記光路上に挿入したときに、レーザ光源から射出したレーザ光束の主光線を共焦点走査観察系31の光軸に対して略平行にするとともに、前記レーザ光束を対物レンズ16の瞳位置Pの所定領域内に集光し、標本12の全反射照明を可能にする。
【選択図】 図3
Disclosed is a microscope apparatus that can be used by switching between a confocal microscope and a total reflection microscope in order to reduce the size of the apparatus.
A laser light source (not shown), a confocal scanning observation system (illumination optical system) 31 that irradiates a specimen 12 with a laser beam emitted from the laser light source via an objective lens 16, and fluorescence from the specimen 12 are emitted. In the microscope apparatus 1 provided with the image sensor 23 to detect, a liquid lens 62 is detachably provided on the optical path between the laser light source and the objective lens 16, and the laser is inserted when the liquid lens 62 is inserted on the optical path. The principal ray of the laser beam emitted from the light source is made substantially parallel to the optical axis of the confocal scanning observation system 31, and the laser beam is condensed in a predetermined region at the pupil position P of the objective lens 16. Allows total reflection lighting.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、共焦点顕微鏡と全反射顕微鏡とを切り換えて使用可能な顕微鏡装置に関する。   The present invention relates to a microscope apparatus that can be used by switching between a confocal microscope and a total reflection microscope.

共焦点顕微鏡や全反射蛍光顕微鏡は、生体細胞等の観察に広く利用されている。両者は共にレーザ光源を使用する点で一致しており、共焦点顕微鏡と全反射蛍光顕微鏡とを切り換えて使用することができる顕微鏡装置が提案されている。   Confocal microscopes and total reflection fluorescence microscopes are widely used for observing living cells and the like. Both of them match in that a laser light source is used, and a microscope apparatus that can be used by switching between a confocal microscope and a total reflection fluorescence microscope has been proposed.

特開2005−121796号公報JP 2005-121796 A

従来の顕微鏡では、共焦点顕微鏡から全反射顕微鏡に切り換える際に、対物レンズの瞳位置の全反射領域にレーザ光を集光させるための光学部材を照明光学系内に挿入しなければならず、この切り換えのために大掛かりな切り換え機構が必要となり、顕微鏡装置の大型化に繋がるという問題があった。   In the conventional microscope, when switching from the confocal microscope to the total reflection microscope, an optical member for condensing the laser light on the total reflection area at the pupil position of the objective lens must be inserted into the illumination optical system. For this switching, a large switching mechanism is required, which leads to an increase in the size of the microscope apparatus.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、装置の小型化を図った、共焦点顕微鏡と全反射顕微鏡とを切り換えて使用可能な顕微鏡装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a microscope apparatus that can be used by switching between a confocal microscope and a total reflection microscope, which is miniaturized.

このような目的を達成するため、本発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源から射出したレーザ光束を対物レンズを介して標本に照射する照明光学系と、前記標本からの蛍光を検出する蛍光検出光学系とを備えた顕微鏡装置において、前記レーザ光源と前記対物レンズとの間の光路上に液体レンズを挿脱可能に設け、前記液体レンズを前記光路上に挿入することにより、前記レーザ光源から射出した前記レーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行にするとともに、前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置の所定領域内に集光し、前記標本の全反射照明を可能にする。   In order to achieve such an object, the present invention provides a laser light source, an illumination optical system that irradiates a specimen with a laser beam emitted from the laser light source via an objective lens, and fluorescence detection that detects fluorescence from the specimen. In a microscope apparatus including an optical system, a liquid lens is detachably provided on an optical path between the laser light source and the objective lens, and the liquid lens is inserted into the optical path to thereby remove the laser light source. The chief ray of the emitted laser beam is made substantially parallel to the optical axis of the illumination optical system, and the laser beam is condensed in a predetermined region at the pupil position of the objective lens, thereby totally reflecting illumination of the sample Enable.

なお、前記標本の全反射照明時において、エバネッセント場の深さをzとし、全反射照明光波長をλとし、前記液体レンズにより前記対物レンズの瞳位置に集光させた前記レーザ光束の前記照明光学系の光軸からの偏心量をdとし、前記対物レンズの焦点距離をfとし、前記標本の内部の屈折率をnとしたとき、次式 z=λ/[4π×{(d2/f2)−n21/2] の条件を満足することが好ましい。 In the total reflection illumination of the sample, the depth of the evanescent field is z, the total reflection illumination light wavelength is λ, and the illumination of the laser beam condensed by the liquid lens at the pupil position of the objective lens When the amount of decentration from the optical axis of the optical system is d, the focal length of the objective lens is f, and the refractive index inside the sample is n, the following expression z = λ / [4π × {(d 2 / f 2 ) −n 2 } 1/2 ] is preferably satisfied.

また、前記液体レンズは、焦点距離及び前記照明光学系の光軸からの偏心量の少なくとも一方が変更可能であり、前記レーザ光源から射出した前記レーザ光束を集光させる位置を調整するために、前記液体レンズの焦点距離及び前記照明光学系の光軸からの偏心量の少なくとも一方を制御する制御手段を有することが好ましい。   Further, the liquid lens is capable of changing at least one of a focal length and an eccentric amount from the optical axis of the illumination optical system, and in order to adjust a position for condensing the laser beam emitted from the laser light source, It is preferable to have a control means for controlling at least one of the focal length of the liquid lens and the amount of eccentricity from the optical axis of the illumination optical system.

また、前記レーザ光源と前記照明光学系との間の光路上に、前記レーザ光源から射出した前記レーザ光束を偏向する偏向手段を有し、前記液体レンズを前記光路上から外したときに、前記レーザ光束が標本面に集光し、前記偏向手段により前記標本面上を走査するように構成することが好ましい。   And a deflecting unit that deflects the laser light beam emitted from the laser light source on an optical path between the laser light source and the illumination optical system, and when the liquid lens is removed from the optical path, It is preferable that the laser beam is condensed on the sample surface and scanned on the sample surface by the deflecting unit.

また、前記照明光学系として、落射照明光学系を有することが好ましい。   Moreover, it is preferable to have an epi-illumination optical system as the illumination optical system.

本発明によれば、装置の小型化を図った、共焦点顕微鏡と全反射顕微鏡とを切り換えて使用可能な顕微鏡装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a microscope apparatus that can be used by switching between a confocal microscope and a total reflection microscope, in which the apparatus is miniaturized.

第1の実施形態に係る顕微鏡装置の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the microscope apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係る顕微鏡装置の光学系を示した図である。It is the figure which showed the optical system of the microscope apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係る顕微鏡装置において、全反射顕微鏡に切り換えた際の顕微鏡装置の光学系を示した図である。In the microscope apparatus which concerns on 1st Embodiment, it is the figure which showed the optical system of the microscope apparatus at the time of switching to a total reflection microscope. 本実施形態に係る顕微鏡装置を構成する液体レンズの作用を説明する図である。It is a figure explaining the effect | action of the liquid lens which comprises the microscope apparatus which concerns on this embodiment. 第2の実施形態に係る顕微鏡装置の光学系を示した図である。It is the figure which showed the optical system of the microscope apparatus which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態に係る顕微鏡装置において、全反射顕微鏡に切り換えた際の顕微鏡装置の光学系を示した図である。In the microscope apparatus which concerns on 2nd Embodiment, it is the figure which showed the optical system of the microscope apparatus at the time of switching to a total reflection microscope.

以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、第1の実施形態に係る顕微鏡装置の概略断面図である。図2は、第1の実施形態に係る顕微鏡装置の光学系を示した図である。図3は、第1の実施形態に係る顕微鏡装置において、全反射顕微鏡に切り換えた際の顕微鏡装置の光学系を示した図である。図4は、本実施形態に係る顕微鏡装置を構成する液体レンズの作用を説明する図である。なお、図2、図3では、後述する透過照明光学系の記載を省略している。   Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the microscope apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a diagram illustrating an optical system of the microscope apparatus according to the first embodiment. FIG. 3 is a diagram illustrating an optical system of the microscope apparatus when the microscope apparatus according to the first embodiment is switched to the total reflection microscope. FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of the liquid lens constituting the microscope apparatus according to the present embodiment. In FIG. 2 and FIG. 3, description of a transmission illumination optical system to be described later is omitted.

図1から図4において、顕微鏡装置1は、倒立型蛍光顕微鏡本体2と、顕微鏡本体2に搭載されている各種装置を制御するパーソナルコンピュータ等を有する制御装置(以下、PCと記す)3とから構成される。   1 to 4, the microscope apparatus 1 includes an inverted fluorescent microscope main body 2 and a control device (hereinafter referred to as a PC) 3 having a personal computer or the like that controls various devices mounted on the microscope main body 2. Composed.

まず、顕微鏡装置1を透過型顕微鏡として使用する場合について、図1及び図2を用いて説明する。   First, the case where the microscope apparatus 1 is used as a transmission microscope will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

顕微鏡本体2は、ステージ11と、ステージ11に載置された標本12に透過照明光源13からの光を照射する透過照明光学系14と、標本12を透過した光を集光する対物レンズ16と、対物レンズ16を複数搭載したリボルバ15と、結像光学系17と、レンズ19aを備えた接眼鏡筒19と、不図示の接眼レンズとを有する。結像光学系17は、対物レンズ16側から順に、結像レンズ18と、ミラーM1と、リレーレンズ17bと、ミラーM2と、リレーレンズ17cと、ミラーM3とを備える。   The microscope main body 2 includes a stage 11, a transmission illumination optical system 14 that irradiates the specimen 12 placed on the stage 11 with light from the transmission illumination light source 13, and an objective lens 16 that condenses the light transmitted through the specimen 12. And a revolver 15 equipped with a plurality of objective lenses 16, an imaging optical system 17, an eyepiece tube 19 provided with a lens 19a, and an eyepiece (not shown). The imaging optical system 17 includes an imaging lens 18, a mirror M1, a relay lens 17b, a mirror M2, a relay lens 17c, and a mirror M3 in order from the objective lens 16 side.

なお、顕微鏡本体2は、対物レンズ16と結像光学系17との間に、後述の照明光学系51を構成する蛍光キューブボックス20を備えている。蛍光キューブボックス20は、内部に複数の蛍光キューブを装着可能であり、必要に応じて光路上から該当する蛍光キューブを光路上から挿脱可能に構成されている。なお、今回のように透過型顕微鏡として使用する場合、蛍光キューブボックス20内の蛍光キューブは、いずれも光路上から外されている。   The microscope body 2 includes a fluorescent cube box 20 that constitutes an illumination optical system 51 described later between the objective lens 16 and the imaging optical system 17. The fluorescent cube box 20 can be equipped with a plurality of fluorescent cubes, and is configured so that the corresponding fluorescent cube can be inserted and removed from the optical path as needed. In addition, when using as a transmission microscope like this time, all the fluorescent cubes in the fluorescent cube box 20 are removed from the optical path.

また、顕微鏡本体2は、結像光学系17を構成する結像レンズ18とミラーM1との間に、プリズム22を備えている。プリズム22は、光路上から挿脱可能に構成されており、標本12の透過像を観察する場合には光路上から外す。   The microscope body 2 includes a prism 22 between the imaging lens 18 constituting the imaging optical system 17 and the mirror M1. The prism 22 is configured to be detachable from the optical path, and is removed from the optical path when a transmission image of the specimen 12 is observed.

透過型顕微鏡として使用する場合、透過照明光源11から射出した光は透過照明光学系14を介してステージ11上の標本12に照射され、標本12を透過した光は対物レンズ16により集光される。そして、対物レンズ16により集光された光は、結像光学系17に入り、結像レンズ18と、ミラーM1とを介して、一次像面17aに結像される。一次像面17aに結像された標本12の像は、リレーレンズ17bと、ミラーM2と、リレーレンズ17cと、接眼鏡筒19のレンズ19a及びミラーM3を介して二次像面18bに結像され、不図示の接眼レンズを介して観察者に観察される。このように、顕微鏡装置1を、透過型顕微鏡として使用することができる。   When used as a transmission microscope, the light emitted from the transmission illumination light source 11 is applied to the specimen 12 on the stage 11 via the transmission illumination optical system 14, and the light transmitted through the specimen 12 is collected by the objective lens 16. . The light condensed by the objective lens 16 enters the imaging optical system 17, and forms an image on the primary image surface 17a via the imaging lens 18 and the mirror M1. The image of the specimen 12 formed on the primary image surface 17a forms an image on the secondary image surface 18b via the relay lens 17b, the mirror M2, the relay lens 17c, the lens 19a of the eyepiece tube 19, and the mirror M3. And observed by an observer through an eyepiece (not shown). Thus, the microscope apparatus 1 can be used as a transmission microscope.

第1の実施形態においては、顕微鏡本体2に、共焦点走査観察系31と、落射照明系41とが、共通の照明光学系51(結像レンズ52、蛍光キューブ21、対物レンズ16)を介して配置されている。   In the first embodiment, the microscope body 2 includes a confocal scanning observation system 31 and an epi-illumination system 41 via a common illumination optical system 51 (imaging lens 52, fluorescent cube 21, objective lens 16). Are arranged.

次に、顕微鏡装置1を走査型顕微鏡(走査型蛍光顕微鏡、共焦点走査型顕微鏡)として使用する場合について、図2を参照しつつ説明する。   Next, the case where the microscope apparatus 1 is used as a scanning microscope (scanning fluorescence microscope, confocal scanning microscope) will be described with reference to FIG.

共焦点走査観察系31は、不図示のレーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光を導く光ファイバ32と、光ファイバ32の端面から射出されたレーザ光を略平行光に変換するコレクタレンズ33と、コレクタレンズ33によって変換された略平行光を標本12上で二次元に走査させる二次元スキャナ34と、二次元スキャナ34を通った略平行光を集光して像面IP1に結像させる瞳リレーレンズ35と、コレクタレンズ33と二次元スキャナ34との間に設けられたダイクロイックミラー36と、ダイクロイックミラー36により反射された光をピンホール38を介してPMT等の受光素子39に結像させる結像レンズ37とを備える。   The confocal scanning observation system 31 includes a laser light source (not shown), an optical fiber 32 that guides the laser light from the laser light source, and a collector lens 33 that converts the laser light emitted from the end face of the optical fiber 32 into substantially parallel light. And the two-dimensional scanner 34 that scans the specimen 12 in two dimensions with the substantially parallel light converted by the collector lens 33, and the substantially parallel light that has passed through the two-dimensional scanner 34 is condensed to form an image on the image plane IP1. The pupil relay lens 35, a dichroic mirror 36 provided between the collector lens 33 and the two-dimensional scanner 34, and the light reflected by the dichroic mirror 36 are imaged on a light receiving element 39 such as a PMT through a pinhole 38. The imaging lens 37 is provided.

照明光学系51は、像面IP1で瞳リレーレンズ35により結像された像を光軸に略平行なレーザ光に変換する結像レンズ52と、上述の蛍光キューブ21と、対物レンズ16とを備える。   The illumination optical system 51 includes an imaging lens 52 that converts an image formed by the pupil relay lens 35 on the image plane IP1 into a laser beam substantially parallel to the optical axis, the fluorescent cube 21, and the objective lens 16. Prepare.

走査型顕微鏡として使用する場合、光路上に配置する蛍光キューブ21として、波長選択フィルタ21a、ダイクロイックミラー21b、及び、エミッションフィルタ21cを内蔵したものを、蛍光キューブボックス20内から選択し、光路上に配置する。   When used as a scanning microscope, the fluorescent cube 21 arranged on the optical path is selected from the fluorescent cube box 20 having the wavelength selection filter 21a, the dichroic mirror 21b, and the emission filter 21c, and is placed on the optical path. Deploy.

なお、顕微鏡本体2は、共焦点走査観察系31(具体的には瞳リレーレンズ35)と照明光学系51(具体的には結像レンズ52)との間に、後述する落射照明系41を構成するダイクロイックミラー44を備えているが、共焦点走査観察系31を使用する場合には照明光学系51の光軸上から外す。   The microscope body 2 includes an epi-illumination system 41 (to be described later) between the confocal scanning observation system 31 (specifically, the pupil relay lens 35) and the illumination optical system 51 (specifically, the imaging lens 52). The dichroic mirror 44 is provided, but is removed from the optical axis of the illumination optical system 51 when the confocal scanning observation system 31 is used.

また、顕微鏡本体2は、結像光学系17を構成する結像レンズ18とミラーM1との間に、光路上から挿脱可能に設けたプリズム22を備えており、共焦点走査観察系31を使用する場合は光路上に配置する。   The microscope main body 2 includes a prism 22 provided between the imaging lens 18 constituting the imaging optical system 17 and the mirror M1 so as to be detachable from the optical path, and a confocal scanning observation system 31 is provided. If used, it should be placed on the optical path.

走査型蛍光顕微鏡として使用する場合、共焦点走査観察系31において、不図示のレーザ光源から射出されたレーザ光は、光ファイバ32によりコレクタレンズ33に導かれ、このコレクタレンズ33により略平行光に変換された後、二次元スキャナ34を経て、瞳リレーレンズ35に入射し、この瞳リレーレンズ32により像面IP1にて結像される。続いて、像面IP1から射出したレーザ光は、照明光学系51において、結像レンズ52により略平行光にされた後、蛍光キューブ21に入射する。蛍光キューブ21に入射したレーザ光は、波長選択フィルタ21aにより所定の励起波長のレーザ光が選択された後、ダイクロイックミラー21bにより対物レンズ16の方向に反射され、対物レンズ16に入射して標本12に集光される。   When used as a scanning fluorescence microscope, in the confocal scanning observation system 31, laser light emitted from a laser light source (not shown) is guided to a collector lens 33 by an optical fiber 32, and is converted into substantially parallel light by the collector lens 33. After the conversion, the light enters the pupil relay lens 35 through the two-dimensional scanner 34, and is imaged on the image plane IP1 by the pupil relay lens 32. Subsequently, the laser light emitted from the image plane IP 1 is made substantially parallel light by the imaging lens 52 in the illumination optical system 51 and then enters the fluorescent cube 21. The laser light incident on the fluorescent cube 21 is reflected in the direction of the objective lens 16 by the dichroic mirror 21b after the laser light having a predetermined excitation wavelength is selected by the wavelength selection filter 21a, enters the objective lens 16 and enters the sample 12 It is condensed to.

レーザ光で励起され標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光されて蛍光キューブ21に入射し、蛍光キューブ21を構成するダイクロイックミラー21bを透過し、エミッションフィルタ21cにより所定の蛍光が選択された後、結像レンズ18によりプリズム22を介して撮像素子23に結像され、撮像素子23により蛍光像が撮像される。そして、撮像素子23により撮像された蛍光像は、図1に示すPC3により画像処理され、モニター3aに表示される。このように、顕微鏡装置1は、走査型蛍光顕微鏡として使用することができる。   The fluorescence excited by the laser light and expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, enters the fluorescent cube 21, passes through the dichroic mirror 21b constituting the fluorescent cube 21, and a predetermined fluorescence is selected by the emission filter 21c. After that, the imaging lens 18 forms an image on the image sensor 23 via the prism 22, and a fluorescence image is captured by the image sensor 23. And the fluorescence image imaged with the image pick-up element 23 is image-processed by PC3 shown in FIG. 1, and is displayed on the monitor 3a. Thus, the microscope apparatus 1 can be used as a scanning fluorescence microscope.

一方、共焦点走査型顕微鏡として使用する場合、標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光され、蛍光キューブ21内の不図示のミラーにより反射され、照明光学系51の結像レンズ52と共焦点走査観察光学系31の瞳リレーレンズ35とを逆行し、二次元スキャナ34に入射してデスキャンされ、ダイクロイックミラー36により反射され、結像レンズ37とピンホール38とを介して、PMT等の受光素子39に入射し、該素子39上の各点での光の強度に基づきPC3により二次元像が生成され、モニター3aに表示される。このように、顕微鏡装置1は、共焦点走査型顕微鏡として使用することができる。   On the other hand, when used as a confocal scanning microscope, the fluorescence expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, reflected by a mirror (not shown) in the fluorescent cube 21, and the imaging lens 52 of the illumination optical system 51. And the pupil relay lens 35 of the confocal scanning observation optical system 31, enter the two-dimensional scanner 34, are descanned, are reflected by the dichroic mirror 36, and pass through the imaging lens 37 and the pinhole 38 to form the PMT. A two-dimensional image is generated by the PC 3 based on the light intensity at each point on the element 39 and displayed on the monitor 3a. Thus, the microscope apparatus 1 can be used as a confocal scanning microscope.

なお、顕微鏡装置1では、撮像素子23により撮像された蛍光画像と、受光素子39により受光された共焦点画像とを、モニター3aに重ねて表示させるなどして観察することが可能である。   In the microscope apparatus 1, it is possible to observe the fluorescent image captured by the image sensor 23 and the confocal image received by the light receiving element 39 by displaying them on the monitor 3a.

次に、顕微鏡装置1を落射蛍光顕微鏡として使用する場合について、図2を参照しつつ説明する。   Next, the case where the microscope apparatus 1 is used as an epifluorescence microscope will be described with reference to FIG.

顕微鏡本体2は、落射照明系41として、不図示の光源と、この光源からの光を導く光ファイバ42と、光ファイバ42の端面から射出された光を略平行光に変換するコレクタレンズ43と、視野絞り45と、照明光学系51の光軸上から挿脱可能に構成されたダイクロイックミラー44とを備える。なお、不図示の光源には、レーザ光源、高圧水銀ランプ、あるいはキセノンランプ等が使用可能である。   The microscope main body 2 includes, as an epi-illumination system 41, a light source (not shown), an optical fiber 42 that guides light from the light source, and a collector lens 43 that converts light emitted from the end face of the optical fiber 42 into substantially parallel light. The field stop 45 and the dichroic mirror 44 configured to be detachable from the optical axis of the illumination optical system 51 are provided. As a light source (not shown), a laser light source, a high-pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like can be used.

落射蛍光顕微鏡として使用する場合、照明光学系51内に配置する蛍光キューブ21として、波長選択フィルタ21a、ダイクロイックミラー21b、及び、エミッションフィルタ21cを内蔵したものを、蛍光キューブボックス20内から選択し、光路上に配置する。   When used as an epi-illumination fluorescence microscope, a fluorescent cube 21 arranged in the illumination optical system 51 is selected from the fluorescent cube box 20 with a wavelength selection filter 21a, a dichroic mirror 21b, and an emission filter 21c built-in. Place on the optical path.

落射蛍光顕微鏡として使用する場合、落射照明系41において、不図示の光源から射出した光は、光ファイバ42によりコレクタレンズ43に導かれ、このコレクタレンズ43により略平行に変換された後、視野絞り45を介し、照明光学系51の光軸上に配置されたダイクロイックミラー44により反射され、照明光学系51の結像レンズ52により集光され、照明光学系51の光軸に対して略平行な光として光路上に配置された蛍光キューブ21に入射する。蛍光キューブ21に入射した光は、波長選択フィルタ21aにより所定の励起波長のレーザ光が選択され、ダイクロイックミラー21bにより対物レンズ16の方向に反射され、対物レンズ16に入射して標本12に集光される。   When used as an epi-illumination fluorescent microscope, in the epi-illumination system 41, light emitted from a light source (not shown) is guided to a collector lens 43 by an optical fiber 42, converted into substantially parallel by the collector lens 43, and then a field stop. 45, reflected by a dichroic mirror 44 disposed on the optical axis of the illumination optical system 51, condensed by an imaging lens 52 of the illumination optical system 51, and substantially parallel to the optical axis of the illumination optical system 51. The light enters the fluorescent cube 21 disposed on the optical path. The light incident on the fluorescent cube 21 is selected as laser light having a predetermined excitation wavelength by the wavelength selection filter 21 a, reflected by the dichroic mirror 21 b in the direction of the objective lens 16, incident on the objective lens 16, and condensed on the specimen 12. Is done.

この光で励起され標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光され、蛍光キューブ21を構成するダイクロイックミラー21bを透過し、エミッションフィルタ21cにより所定の蛍光が選択された後、結像レンズ18により結像光学系17内に配置されたプリズム22を介して撮像素子23に結像され、撮像素子23により蛍光像が撮像される。そして、撮像素子23により撮像された蛍光像は、図1に示すPC3により画像処理され、モニター3aに表示される。このように、顕微鏡装置1は、落射蛍光顕微鏡として使用することができる。   The fluorescence excited by this light and expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, passes through the dichroic mirror 21b constituting the fluorescent cube 21, and after the predetermined fluorescence is selected by the emission filter 21c, the imaging lens 18 forms an image on the image sensor 23 via the prism 22 disposed in the imaging optical system 17, and a fluorescence image is captured by the image sensor 23. And the fluorescence image imaged with the image pick-up element 23 is image-processed by PC3 shown in FIG. 1, and is displayed on the monitor 3a. Thus, the microscope apparatus 1 can be used as an epifluorescence microscope.

続いて、顕微鏡装置1を全反射顕微鏡として使用する場合について、図3及び図4を参照しつつ説明する。   Next, a case where the microscope apparatus 1 is used as a total reflection microscope will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

全反射顕微鏡として使用する場合、照明として、上述の共焦点走査観察系31を使用する。また、蛍光キューブボックス20内から、ダイクロイックミラー21b、エミッションフィルタ21c、及び、液体レンズ62を内蔵した蛍光キューブ61を選択し、光路上に配置する。   When used as a total reflection microscope, the above-described confocal scanning observation system 31 is used as illumination. In addition, the fluorescent cube 61 including the dichroic mirror 21b, the emission filter 21c, and the liquid lens 62 is selected from the fluorescent cube box 20 and placed on the optical path.

液体レンズ62は、境界面で混合することなく隣接する少なくとも2種類の液体を有し、印加電圧に応じてこれら液体の境界面の形状を変化させることにより、レンズの焦点距離が調節できるように構成されている。なお、液体レンズ62は、図1に示すPC3のレンズ制御部により制御される。   The liquid lens 62 has at least two kinds of liquids adjacent to each other without mixing at the boundary surface, and the focal length of the lens can be adjusted by changing the shape of the boundary surface of these liquids according to the applied voltage. It is configured. The liquid lens 62 is controlled by the lens control unit of the PC 3 shown in FIG.

本実施形態では、図4に示すように、蛍光キューブ61に入射した照明レーザ光の主光線が照明光学系51の光軸(図4では軸xが該当)に対して略平行で、且つ、照明レーザ光が対物レンズ16の瞳位置Pにおいて照明光学系51の光軸(瞳中心)に対して距離「d」だけ偏心した位置に集光するように、PC3のレンズ制御部(図1参照)により液体レンズ62への印加電圧が制御されている。この距離「d」は、対物レンズ16の全反射条件に対応したものである。   In this embodiment, as shown in FIG. 4, the chief ray of the illumination laser light incident on the fluorescent cube 61 is substantially parallel to the optical axis of the illumination optical system 51 (the axis x corresponds to FIG. 4), and The lens control unit (see FIG. 1) of the PC 3 so that the illumination laser light is condensed at a position decentered by a distance “d” with respect to the optical axis (pupil center) of the illumination optical system 51 at the pupil position P of the objective lens 16. ) Controls the voltage applied to the liquid lens 62. This distance “d” corresponds to the total reflection condition of the objective lens 16.

全反射顕微鏡として使用する場合、共焦点走査観察系31の不図示のレーザ光源から射出されたレーザ光は、光ファイバ32によりコレクタレンズ33に導かれ、このコレクタレンズ33により略平行な光に変換され、二次元スキャナ34に入射する。二次元スキャナ34を構成するXYミラーの傾斜角度は、対物レンズ16の瞳位置Pの全反射条件領域にレーザ光を集光するため、PC3の制御部(図1参照)により所定の角度に制御されている。二次元スキャナ34から射出した照明レーザ光は、瞳リレーレンズ35により像面IP1で結像された後、結像レンズ52を介して光軸に対して略平行光に変換され、光路上に配置された蛍光キューブ61に入射する。   When used as a total reflection microscope, laser light emitted from a laser light source (not shown) of the confocal scanning observation system 31 is guided to a collector lens 33 by an optical fiber 32 and converted into substantially parallel light by the collector lens 33. And enters the two-dimensional scanner 34. The tilt angle of the XY mirror constituting the two-dimensional scanner 34 is controlled to a predetermined angle by the control unit (see FIG. 1) of the PC 3 in order to focus the laser beam on the total reflection condition region at the pupil position P of the objective lens 16. Has been. The illumination laser light emitted from the two-dimensional scanner 34 is imaged on the image plane IP1 by the pupil relay lens 35, and then converted into substantially parallel light with respect to the optical axis via the imaging lens 52, and arranged on the optical path. The incident light enters the fluorescent cube 61.

蛍光キューブ61に入射したレーザ光は、液体レンズ62を通ってダイクロイックミラー21bにより対物レンズ16の方向に反射され、その光軸が照明光学系51(共焦点走査観察系31)の光軸(瞳中心)から距離「d」だけ偏心した、対物レンズ16の瞳位置Pの輪帯状の全反射条件領域に集光される。この全反射条件領域に集光されたレーザ光は、標本12とこれを支持する不図示のガラス基板との境界面にて全反射を起こす入射角で、対物レンズ16から標本12に入射する。全反射角で標本12に入射したレーザ光は、境界面にエバネッセント波を発生し、標本12の境界面近傍では、このエバネッセント波により励起された蛍光が発生する。   The laser light incident on the fluorescent cube 61 is reflected in the direction of the objective lens 16 by the dichroic mirror 21b through the liquid lens 62, and its optical axis is the optical axis (pupil) of the illumination optical system 51 (confocal scanning observation system 31). The light is condensed on the annular total reflection condition region at the pupil position P of the objective lens 16 that is decentered by a distance “d” from the center). The laser beam condensed in the total reflection condition region is incident on the sample 12 from the objective lens 16 at an incident angle causing total reflection at the boundary surface between the sample 12 and a glass substrate (not shown) that supports the sample 12. The laser light incident on the sample 12 at the total reflection angle generates an evanescent wave at the boundary surface, and fluorescence excited by the evanescent wave is generated near the boundary surface of the sample 12.

ここで、標本12の全反射照明が最適化された状態にある場合、図4に示すように、エバネッセント場の深さをzとし、全反射照明光波長をλとし、液体レンズ62により対物レンズ16の瞳位置Pに集光させたレーザ光束の照明光学系51(共焦点走査観察系31)の光軸からの偏心量をdとし、対物レンズ16の焦点距離をfとし、標本12内部の屈折率をnとしたとき、以下の条件式(1)を満足する。   Here, when the total reflection illumination of the specimen 12 is optimized, as shown in FIG. 4, the depth of the evanescent field is z, the total reflection illumination light wavelength is λ, and the objective lens is formed by the liquid lens 62. The decentering amount of the laser beam condensed at the pupil position P of 16 from the optical axis of the illumination optical system 51 (confocal scanning observation system 31) is d, the focal length of the objective lens 16 is f, and the inside of the sample 12 When the refractive index is n, the following conditional expression (1) is satisfied.

z=λ/[4π×{(d2/f2)−n21/2] …(1) z = λ / [4π × {(d 2 / f 2 ) −n 2 } 1/2 ] (1)

例えば、対物レンズ16が、全反射蛍光観察を可能にするために十分な開口数を有する場合、蛍光キューブ61内の液体レンズ62により、対物レンズ16の瞳位置P上に照明レーザ光の集光位置を保ち、その偏心量dを制御することにより、エバネッセント光の沁み出し量を任意に選択することが可能である。   For example, when the objective lens 16 has a sufficient numerical aperture to enable total reflection fluorescence observation, the illumination laser light is condensed on the pupil position P of the objective lens 16 by the liquid lens 62 in the fluorescent cube 61. By maintaining the position and controlling the amount of eccentricity d, it is possible to arbitrarily select the amount of evanescent light that oozes out.

エバネッセント波で励起され標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光されて蛍光キューブ61に入射し、蛍光キューブ21を構成するダイクロイックミラー21bを透過し、エミッションフィルタ21cにより所定の蛍光が選択された後、結像レンズ18によりプリズム22を介して撮像素子23に結像され、撮像素子23により蛍光像が撮像される。そして、撮像素子23により撮像された蛍光像は、図1に示すPC3により画像処理され、モニター3aに表示される。   The fluorescence excited by the evanescent wave and expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, enters the fluorescent cube 61, passes through the dichroic mirror 21b constituting the fluorescent cube 21, and a predetermined fluorescence is selected by the emission filter 21c. After that, the imaging lens 18 forms an image on the image sensor 23 via the prism 22, and a fluorescence image is captured by the image sensor 23. And the fluorescence image imaged with the image pick-up element 23 is image-processed by PC3 shown in FIG. 1, and is displayed on the monitor 3a.

このように、顕微鏡装置1は、前述の蛍光キューブ21を蛍光キューブ61に交換し、二次元スキャナ34と液体レンズ62を用いて、照明レーザ光を、照明光学系51の光軸から距離「d」だけ偏心した、対物レンズ16の瞳位置Pの輪帯状の全反射条件領域に集光させることにより、全反射蛍光顕微鏡として使用することができる。   As described above, the microscope apparatus 1 replaces the above-described fluorescent cube 21 with the fluorescent cube 61, and uses the two-dimensional scanner 34 and the liquid lens 62 to change the illumination laser light from the optical axis of the illumination optical system 51 to a distance “d”. ”Is decentered by focusing on the annular total reflection condition region at the pupil position P of the objective lens 16, and can be used as a total reflection fluorescent microscope.

以上述べたように、本実施形態に係る顕微鏡装置1によれば、共焦点走査観察系31の二次元スキャナ34のXYミラーの傾斜角度を所定の傾きに制御し、蛍光キューブボックス20内から液体レンズ62を備えた蛍光キューブ61を選択し、光路上に配置することにより、全反射蛍光観察を可能にすることができる。また、透過観察、走査型蛍光観察、共焦点走査型観察、落射蛍光観察等の顕微鏡としても使用可能な顕微鏡装置1を提供することができる。   As described above, according to the microscope apparatus 1 according to this embodiment, the tilt angle of the XY mirror of the two-dimensional scanner 34 of the confocal scanning observation system 31 is controlled to a predetermined tilt, and the liquid is supplied from the fluorescent cube box 20. By selecting the fluorescent cube 61 provided with the lens 62 and placing it on the optical path, total reflection fluorescence observation can be made possible. Further, it is possible to provide a microscope apparatus 1 that can be used as a microscope for transmission observation, scanning fluorescence observation, confocal scanning observation, epifluorescence observation, and the like.

次に、第2の実施形態に係る顕微鏡装置101について、図面を参照しつつ説明する。なお、顕微鏡装置101の概略構成は、第1の実施形態とほぼ同様であり、図面並びに説明を省略する。   Next, a microscope apparatus 101 according to the second embodiment will be described with reference to the drawings. The schematic configuration of the microscope apparatus 101 is substantially the same as that of the first embodiment, and the drawings and description are omitted.

図5は、第2の実施形態に係る顕微鏡装置の光学系を示した図である。図6は、第2の実施形態に係る顕微鏡装置において、全反射顕微鏡に切り換えた際の顕微鏡装置の光学系を示した図である。なお、図5、図6では、第1の実施形態と同様の構成には、同じ符号を付して説明している。また、図5、図6では、第1の実施形態の場合と同様に、透過照明光学系14の記載を省略している。   FIG. 5 is a diagram illustrating an optical system of a microscope apparatus according to the second embodiment. FIG. 6 is a diagram illustrating an optical system of the microscope apparatus when the microscope apparatus according to the second embodiment is switched to the total reflection microscope. In FIGS. 5 and 6, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment. In FIGS. 5 and 6, similarly to the case of the first embodiment, the description of the transmission illumination optical system 14 is omitted.

まず、顕微鏡装置101を透過型顕微鏡として使用する場合について、図5を用いて説明する。   First, the case where the microscope apparatus 101 is used as a transmission microscope will be described with reference to FIG.

顕微鏡本体2は、ステージ11と、ステージ11に載置された標本12に透過照明光源13からの光を照射する透過照明光学系14と、標本12を透過した光を集光する対物レンズ16と、対物レンズ16を複数搭載したリボルバ15と、結像光学系17と、レンズ19aを備えた接眼鏡筒19と、不図示の接眼レンズとを有する。結像光学系17は、対物レンズ16側から順に、結像レンズ18と、ミラーM1と、リレーレンズ17bと、ミラーM2と、リレーレンズ17cと、ミラーM3とを備える。   The microscope main body 2 includes a stage 11, a transmission illumination optical system 14 that irradiates the specimen 12 placed on the stage 11 with light from the transmission illumination light source 13, and an objective lens 16 that condenses the light transmitted through the specimen 12. And a revolver 15 equipped with a plurality of objective lenses 16, an imaging optical system 17, an eyepiece tube 19 provided with a lens 19a, and an eyepiece (not shown). The imaging optical system 17 includes an imaging lens 18, a mirror M1, a relay lens 17b, a mirror M2, a relay lens 17c, and a mirror M3 in order from the objective lens 16 side.

なお、顕微鏡本体2は、対物レンズ16と結像光学系17との間に、後述の照明光学系51を構成する蛍光キューブボックス20を備えている。蛍光キューブボックス20は、内部に複数の蛍光キューブを装着可能であり、必要に応じて光路上から該当する蛍光キューブを光路上から挿脱可能に構成されている。なお、今回のように透過型顕微鏡として使用する場合、蛍光キューブボックス20内の蛍光キューブは、いずれも光路上から外されている。   The microscope body 2 includes a fluorescent cube box 20 that constitutes an illumination optical system 51 described later between the objective lens 16 and the imaging optical system 17. The fluorescent cube box 20 can be equipped with a plurality of fluorescent cubes, and is configured so that the corresponding fluorescent cube can be inserted and removed from the optical path as needed. In addition, when using as a transmission microscope like this time, all the fluorescent cubes in the fluorescent cube box 20 are removed from the optical path.

また、顕微鏡本体2は、第1の実施形態とは異なり、結像光学系17を構成する結像レンズ18とミラーM1との間にダイクロイックミラー71と、対物レンズ16と蛍光キューブボックス20との間にダイクロイックミラー72とを備えている。これらダイクロイックミラー71,72は、光路上から挿脱可能に構成されており、標本12の透過像を観察する場合にはいずれも光路上から外す。   Unlike the first embodiment, the microscope body 2 includes a dichroic mirror 71, an objective lens 16, and a fluorescent cube box 20 between the imaging lens 18 and the mirror M1 constituting the imaging optical system 17. A dichroic mirror 72 is provided between them. These dichroic mirrors 71 and 72 are configured to be detachable from the optical path, and are removed from the optical path when a transmission image of the specimen 12 is observed.

透過型顕微鏡として使用する場合、透過照明光源11から射出した光は透過照明光学系14を介してステージ11上の標本12に照射され、標本12を透過した光は対物レンズ16により集光される。そして、対物レンズ16により集光された光は、結像光学系17に入り、結像レンズ18と、ミラーM1とを介して、一次像面17aに結像される。一次像面17aに結像された標本12の像は、リレーレンズ17bと、ミラーM2と、リレーレンズ17cと、接眼鏡筒19のレンズ19a及びミラーM3を介して二次像面18bに結像され、不図示の接眼レンズを介して観察者に観察される。このように、顕微鏡装置1を、透過型顕微鏡として使用することができる。   When used as a transmission microscope, the light emitted from the transmission illumination light source 11 is applied to the specimen 12 on the stage 11 via the transmission illumination optical system 14, and the light transmitted through the specimen 12 is collected by the objective lens 16. . The light condensed by the objective lens 16 enters the imaging optical system 17, and forms an image on the primary image surface 17a via the imaging lens 18 and the mirror M1. The image of the specimen 12 formed on the primary image surface 17a forms an image on the secondary image surface 18b via the relay lens 17b, the mirror M2, the relay lens 17c, the lens 19a of the eyepiece tube 19, and the mirror M3. And observed by an observer through an eyepiece (not shown). Thus, the microscope apparatus 1 can be used as a transmission microscope.

第2の実施形態においては、顕微鏡本体2に、共焦点走査観察系31と落射照明系41は、一部を除いて互いに独立して配置されている。   In the second embodiment, the confocal scanning observation system 31 and the epi-illumination system 41 are arranged independently of each other in the microscope body 2 except for a part thereof.

次に、顕微鏡装置101を走査型顕微鏡(走査型蛍光顕微鏡、共焦点走査型顕微鏡)として使用する場合について、図5を参照しつつ説明する。   Next, the case where the microscope apparatus 101 is used as a scanning microscope (scanning fluorescence microscope, confocal scanning microscope) will be described with reference to FIG.

なお、走査型顕微鏡として使用する場合、顕微鏡本体2は、上述の蛍光キューブ21は光路上から外し、ダイクロイックミラー71,72は光路上に設置する。   When used as a scanning microscope, the microscope main body 2 is configured such that the fluorescent cube 21 is removed from the optical path, and the dichroic mirrors 71 and 72 are installed on the optical path.

顕微鏡本体2は、共焦点走査観察系31として、不図示のレーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光を導く光ファイバ32と、光ファイバ32の端面から射出されたレーザ光を略平行光に変換するコレクタレンズ33と、コレクタレンズ33によって変換された略平行光を標本12上で二次元に走査させる二次元スキャナ34と、二次元スキャナ34を通った略平行光を集光して像面IP1に結像させる瞳リレーレンズ35と、コレクタレンズ33と二次元スキャナ34との間に設けられたダイクロイックミラー36と、ダイクロイックミラー36により反射された光をピンホール38を介してPMT等の受光素子39に結像させる結像レンズ37とを備える。   As the confocal scanning observation system 31, the microscope body 2 converts a laser light source (not shown), an optical fiber 32 that guides laser light from the laser light source, and laser light emitted from the end face of the optical fiber 32 into substantially parallel light. A collector lens 33 for conversion, a two-dimensional scanner 34 for scanning the substantially parallel light converted by the collector lens 33 two-dimensionally on the specimen 12, and a substantially parallel light passing through the two-dimensional scanner 34 is condensed to form an image plane. The pupil relay lens 35 that forms an image on IP1, the dichroic mirror 36 provided between the collector lens 33 and the two-dimensional scanner 34, and the light reflected by the dichroic mirror 36 is received by the PMT or the like through the pinhole 38. An imaging lens 37 that forms an image on the element 39 is provided.

また、顕微鏡本体2は、上述したダイクロイックミラー72により反射された光のうち所定の蛍光を選択透過するエミッションフィルタ73と、エミッションフィルタ73を透過した光を撮像素子23に結像させる結像レンズ73とを備える。   The microscope main body 2 also includes an emission filter 73 that selectively transmits predetermined fluorescence out of the light reflected by the dichroic mirror 72 described above, and an imaging lens 73 that forms an image on the image sensor 23 through the light transmitted through the emission filter 73. With.

走査型蛍光顕微鏡として使用する場合、共焦点走査観察系31において、不図示のレーザ光源から射出されたレーザ光は、光ファイバ32によりコレクタレンズ33に導かれ、このコレクタレンズ33により略平行光に変換された後、二次元スキャナ34を経て、瞳リレーレンズ35に入射し、この瞳リレーレンズ32により像面IP1にて結像される。続いて、像面IP1から射出したレーザ光は、ダイクロイックミラー71で反射され、結像レンズ18により略平行光にされた後、対物レンズ16に入射し、標本12に集光される。   When used as a scanning fluorescence microscope, in the confocal scanning observation system 31, laser light emitted from a laser light source (not shown) is guided to a collector lens 33 by an optical fiber 32, and is converted into substantially parallel light by the collector lens 33. After the conversion, the light enters the pupil relay lens 35 through the two-dimensional scanner 34, and is imaged on the image plane IP1 by the pupil relay lens 32. Subsequently, the laser light emitted from the image plane IP 1 is reflected by the dichroic mirror 71, is made into substantially parallel light by the imaging lens 18, enters the objective lens 16, and is condensed on the sample 12.

レーザ光で励起され標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光され、ダイクロイックミラー72により反射され、エミッションフィルタ73により所定の蛍光が選択された後、結像レンズ74により撮像素子23に結像され、撮像素子23により蛍光像が撮像される。そして、撮像素子23により撮像された蛍光像は、図1に示すPC3により画像処理され、モニター3aに表示される。このように、顕微鏡装置1は、走査型蛍光顕微鏡として使用することができる。   Fluorescence excited by the laser light and expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, reflected by the dichroic mirror 72, and predetermined fluorescence is selected by the emission filter 73, and then is applied to the image sensor 23 by the imaging lens 74. An image is formed and a fluorescent image is captured by the image sensor 23. And the fluorescence image imaged with the image pick-up element 23 is image-processed by PC3 shown in FIG. 1, and is displayed on the monitor 3a. Thus, the microscope apparatus 1 can be used as a scanning fluorescence microscope.

一方、共焦点走査型顕微鏡として使用する場合、標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光され、光路を逆行して、ダイクロイックミラー72を透過し、ダイクロイックミラー71により反射された後、瞳リレーレンズ35を介して、二次元スキャナ34に入射してデスキャンされ、ダイクロイックミラー36により反射され、結像レンズ37とピンホール38とを介して、PMT等の受光素子39に入射し、該素子39上の各点での光の強度に基づきPC3により二次元像が生成され、モニター3aに表示される。このように、顕微鏡装置1は、共焦点走査型顕微鏡として使用することができる。   On the other hand, when used as a confocal scanning microscope, the fluorescence expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, travels back in the optical path, passes through the dichroic mirror 72, and is reflected by the dichroic mirror 71. The light is incident on the two-dimensional scanner 34 through the pupil relay lens 35, is descanned, is reflected by the dichroic mirror 36, and enters the light receiving element 39 such as PMT through the imaging lens 37 and the pinhole 38. A two-dimensional image is generated by the PC 3 based on the light intensity at each point on the element 39 and displayed on the monitor 3a. Thus, the microscope apparatus 1 can be used as a confocal scanning microscope.

なお、顕微鏡装置1では、撮像素子23により撮像された蛍光画像と、受光素子39により受光された共焦点画像とを、モニター3aに重ねて表示させるなどして観察することが可能である。   In the microscope apparatus 1, it is possible to observe the fluorescent image captured by the image sensor 23 and the confocal image received by the light receiving element 39 by displaying them on the monitor 3a.

次に、顕微鏡装置101を落射蛍光顕微鏡として使用する場合について、図5を参照しつつ説明する。   Next, the case where the microscope apparatus 101 is used as an epifluorescence microscope will be described with reference to FIG.

なお、落射蛍光顕微鏡として使用する場合、顕微鏡本体2は、上述のダイクロイックミラー72を光路上に配置する。   In addition, when using as an epifluorescence microscope, the microscope main body 2 arrange | positions the above-mentioned dichroic mirror 72 on an optical path.

顕微鏡本体2は、落射照明系41として、不図示の光源と、この光源からの光を導く光ファイバ42と、光ファイバ42の端面から射出された光を略平行光に変換するコレクタレンズ43と、視野絞り45とを備える。なお、不図示の光源には、レーザ光源、高圧水銀ランプ、あるいはキセノンランプ等が使用可能である。   The microscope main body 2 includes, as an epi-illumination system 41, a light source (not shown), an optical fiber 42 that guides light from the light source, and a collector lens 43 that converts light emitted from the end face of the optical fiber 42 into substantially parallel light. And a field stop 45. As a light source (not shown), a laser light source, a high-pressure mercury lamp, a xenon lamp, or the like can be used.

落射照明系41は、さらに、結像レンズ52と、蛍光キューブボックス20内から選択し、光路上に配置した、波長選択フィルタ21a、ダイクロイックミラー21b、及び、エミッションフィルタ21cを内蔵した蛍光キューブ21とを備える。   The epi-illumination system 41 further includes an imaging lens 52, a fluorescent cube 21 that is selected from the fluorescent cube box 20 and arranged on the optical path, and that includes a wavelength selection filter 21a, a dichroic mirror 21b, and an emission filter 21c. Is provided.

なお、本実施形態では、走査顕微鏡として使用する場合にも流用可能な、上述の蛍光キューブ21を用いたが、これに限定されるものではない。例えば、エミッションフィルタ21cを持たない、波長選択フィルタ21aとダイクロイックミラー21bとから構成された、別の蛍光キューブを用いることも可能である。   In the present embodiment, the above-described fluorescent cube 21 that can be used even when used as a scanning microscope is used, but the present invention is not limited to this. For example, it is also possible to use another fluorescent cube that includes the wavelength selection filter 21a and the dichroic mirror 21b without the emission filter 21c.

落射蛍光顕微鏡として使用する場合、落射照明系41において、不図示の光源から射出された光は、落射照明系41を構成する光ファイバ42によりコレクタレンズ43に導かれ、このコレクタレンズ43により略平行に変換された後、視野絞り45を介し、結像レンズ52により集光され、光軸に対して略平行な光として光路上に配置された蛍光キューブ21に入射する。蛍光キューブ21に入射した光は、波長選択フィルタ21aにより所定の励起波長のレーザ光が選択され、ダイクロイックミラー21bにより対物レンズ16の方向に反射され、対物レンズ16に入射して標本12に集光される。   When used as an epi-illumination fluorescent microscope, light emitted from a light source (not shown) in the epi-illumination illumination system 41 is guided to a collector lens 43 by an optical fiber 42 constituting the epi-illumination illumination system 41, and is substantially parallel by the collector lens 43. Then, the light is condensed by the imaging lens 52 through the field stop 45, and enters the fluorescent cube 21 arranged on the optical path as light substantially parallel to the optical axis. The light incident on the fluorescent cube 21 is selected as laser light having a predetermined excitation wavelength by the wavelength selection filter 21 a, reflected by the dichroic mirror 21 b in the direction of the objective lens 16, incident on the objective lens 16, and condensed on the specimen 12. Is done.

この光で励起され標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光され、ダイクロイックミラー72により反射され、エミッションフィルタ73により所定の蛍光が選択された後、結像レンズ74により撮像素子23に結像され、撮像素子23により蛍光像が撮像される。そして、撮像素子23により撮像された蛍光像は、図1に示すPC3により画像処理され、モニター3aに表示される。このように、顕微鏡装置1は、落射蛍光顕微鏡として使用することができる。   The fluorescence excited by this light and expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, reflected by the dichroic mirror 72, and predetermined fluorescence is selected by the emission filter 73, and then is applied to the image sensor 23 by the imaging lens 74. An image is formed and a fluorescent image is captured by the image sensor 23. And the fluorescence image imaged with the image pick-up element 23 is image-processed by PC3 shown in FIG. 1, and is displayed on the monitor 3a. Thus, the microscope apparatus 1 can be used as an epifluorescence microscope.

続いて、顕微鏡装置1を全反射顕微鏡として使用する場合について、図6を参照しつつ説明する。   Next, a case where the microscope apparatus 1 is used as a total reflection microscope will be described with reference to FIG.

なお、全反射顕微鏡として使用する場合、照明として、上述の共焦点走査観察系31(以下、照明光学系とも言う)を使用する。また、ダイクロイックミラー71,72を共に光路上に配置する。また、蛍光キューブとして、液体レンズ82を内蔵した蛍光キューブ81を蛍光キューブボックス20内から選択し、光路上に配置する。   In addition, when using as a total reflection microscope, the above-mentioned confocal scanning observation system 31 (henceforth an illumination optical system) is used as illumination. Further, both dichroic mirrors 71 and 72 are arranged on the optical path. In addition, as a fluorescent cube, a fluorescent cube 81 containing a liquid lens 82 is selected from the fluorescent cube box 20 and arranged on the optical path.

液体レンズ82は、境界面で混合することなく隣接する少なくとも2種類の液体を有し、印加電圧に応じて液体の境界面の形状を変化させることにより、レンズの焦点距離が調節できるように構成されている。なお、液体レンズ82は、PC3のレンズ制御部(図1参照)により制御される。   The liquid lens 82 has at least two kinds of liquids adjacent to each other without mixing at the boundary surface, and is configured so that the focal length of the lens can be adjusted by changing the shape of the boundary surface of the liquid according to the applied voltage. Has been. The liquid lens 82 is controlled by a lens control unit (see FIG. 1) of the PC 3.

本実施形態では、図4に示すように、蛍光キューブ81に入射した照明レーザ光の主光線が照明光学系の光軸(図4では軸xが該当)に対して略平行で、且つ、照明レーザ光が対物レンズ16の瞳位置Pにおいて共焦点走査観察系(照明光学系)31の光軸(瞳中心)に対して距離「d」だけ偏心した位置に集光するように、PC3のレンズ制御部(図1参照)により液体レンズ82への印加電圧が制御されている。この距離「d」は、対物レンズ16の全反射条件に対応したものである。   In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the chief ray of the illumination laser light incident on the fluorescent cube 81 is substantially parallel to the optical axis of the illumination optical system (the axis x corresponds to FIG. 4), and illumination. The lens of the PC 3 so that the laser beam is condensed at a position decentered by a distance “d” with respect to the optical axis (pupil center) of the confocal scanning observation system (illumination optical system) 31 at the pupil position P of the objective lens 16. The voltage applied to the liquid lens 82 is controlled by the control unit (see FIG. 1). This distance “d” corresponds to the total reflection condition of the objective lens 16.

全反射顕微鏡として使用する場合、共焦点走査観察系31の不図示のレーザ光源から射出されたレーザ光は、光ファイバ32によりコレクタレンズ33に導かれ、このコレクタレンズ33により略平行な光に変換され、二次元スキャナ34に入射する。二次元スキャナ34を構成するXYミラーの傾斜角度は、入射した照明レーザ光の光軸を共焦点走査観察系31の光軸に一致させるため、PC3の制御部(図1参照)により所定の角度に制御されている。二次元スキャナ34から射出した照明レーザ光は、瞳リレーレンズ35により像面IP1で結像された後、ダイクロイックミラー71により反射され、結像レンズ18により光軸に対して略平行なレーザ光に変換され、光路上に配置された蛍光キューブ81に入射する。   When used as a total reflection microscope, laser light emitted from a laser light source (not shown) of the confocal scanning observation system 31 is guided to a collector lens 33 by an optical fiber 32 and converted into substantially parallel light by the collector lens 33. And enters the two-dimensional scanner 34. The tilt angle of the XY mirror constituting the two-dimensional scanner 34 is set to a predetermined angle by the control unit (see FIG. 1) of the PC 3 in order to make the optical axis of the incident illumination laser light coincide with the optical axis of the confocal scanning observation system 31. Is controlled. The illumination laser light emitted from the two-dimensional scanner 34 is imaged on the image plane IP1 by the pupil relay lens 35, then reflected by the dichroic mirror 71, and converted into laser light substantially parallel to the optical axis by the imaging lens 18. It is converted and incident on the fluorescent cube 81 arranged on the optical path.

蛍光キューブ81に入射したレーザ光は、液体レンズ82により、その光軸が共焦点走査観察系(照明光学系)31の光軸(瞳中心)から距離「d」だけ偏心した、対物レンズ16の瞳位置Pの輪帯状の全反射条件領域に集光される。この全反射条件領域に集光されたレーザ光は、標本12とこれを支持する不図示のガラス基板との境界面にて全反射を起こす入射角で、対物レンズ16から標本12に入射する。全反射角で標本12に入射したレーザ光は、境界面にエバネッセント波を発生し、標本12の境界面近傍では、このエバネッセント波により励起された蛍光が発生する。   The laser light incident on the fluorescent cube 81 is deflected by a distance “d” from the optical axis (pupil center) of the confocal scanning observation system (illumination optical system) 31 by the liquid lens 82. The light is focused on the annular total reflection condition region at the pupil position P. The laser beam condensed in the total reflection condition region is incident on the sample 12 from the objective lens 16 at an incident angle causing total reflection at the boundary surface between the sample 12 and a glass substrate (not shown) that supports the sample 12. The laser light incident on the sample 12 at the total reflection angle generates an evanescent wave at the boundary surface, and fluorescence excited by the evanescent wave is generated near the boundary surface of the sample 12.

ここで、標本12の全反射照明が最適化された状態にある場合、エバネッセント場の深さをzとし、全反射照明光波長をλとし、液体レンズ62により対物レンズ16の瞳位置Pに集光させたレーザ光束の共焦点走査観察系(照明光学系)31の光軸からの偏心量をdとし、対物レンズ16の焦点距離をfとし、標本12内部の屈折率をnとしたとき、第1の実施形態と同様に、以下の条件式(1)を満足する。   Here, when the total reflection illumination of the sample 12 is in an optimized state, the depth of the evanescent field is z, the total reflection illumination light wavelength is λ, and the liquid lens 62 collects the light at the pupil position P of the objective lens 16. When the amount of eccentricity of the laser beam emitted from the optical axis of the confocal scanning observation system (illumination optical system) 31 is d, the focal length of the objective lens 16 is f, and the refractive index inside the sample 12 is n, As in the first embodiment, the following conditional expression (1) is satisfied.

z=λ/[4π×{(d2/f2)−n21/2] …(1) z = λ / [4π × {(d 2 / f 2 ) −n 2 } 1/2 ] (1)

例えば、対物レンズ16が、全反射蛍光観察を可能にするために十分な開口数を有する場合、蛍光キューブ81内の液体レンズ82により、対物レンズ16の瞳位置P上に照明レーザ光の集光位置を保ち、その偏心量dを制御することにより、エバネッセント光の沁み出し量を任意に選択することが可能である。   For example, when the objective lens 16 has a sufficient numerical aperture to enable total reflection fluorescence observation, the illumination laser light is condensed on the pupil position P of the objective lens 16 by the liquid lens 82 in the fluorescence cube 81. By maintaining the position and controlling the amount of eccentricity d, it is possible to arbitrarily select the amount of evanescent light that oozes out.

エバネッセント波で励起され標本12で発現した蛍光は、対物レンズ16により集光され、ダイクロイックミラー72により反射され、エミッションフィルタ73により所定の蛍光が選択された後、結像レンズ74により撮像素子23に結像され、撮像素子23により蛍光像が撮像される。そして、撮像素子23により撮像された蛍光像は、図1に示すPC3により画像処理され、モニター3aに表示される。   The fluorescence excited by the evanescent wave and expressed in the specimen 12 is collected by the objective lens 16, reflected by the dichroic mirror 72, and a predetermined fluorescence is selected by the emission filter 73, and then is applied to the image sensor 23 by the imaging lens 74. An image is formed and a fluorescent image is captured by the image sensor 23. And the fluorescence image imaged with the image pick-up element 23 is image-processed by PC3 shown in FIG. 1, and is displayed on the monitor 3a.

このように、顕微鏡装置101は、二次元スキャナ34のXYミラーの傾斜角度を所定の傾きに制御し、照明レーザ光の主光線を共焦点走査観察系(照明光学系)31の光軸に一致させ、蛍光キューブボックス20内から液体レンズ82を備えた蛍光キューブ81を選択・配置し、前記スキャナ34を射出したレーザ光を光軸から距離「d」だけ偏心した、対物レンズ16の瞳位置Pの輪帯状の全反射条件領域に集光させることにより、全反射蛍光顕微鏡として使用することができる。   As described above, the microscope apparatus 101 controls the tilt angle of the XY mirror of the two-dimensional scanner 34 to a predetermined tilt, and matches the chief ray of the illumination laser light with the optical axis of the confocal scanning observation system (illumination optical system) 31. Then, the fluorescent cube 81 having the liquid lens 82 is selected and arranged from within the fluorescent cube box 20, and the pupil position P of the objective lens 16 in which the laser beam emitted from the scanner 34 is decentered by the distance "d" from the optical axis. It can be used as a total reflection fluorescence microscope by condensing in the ring-shaped total reflection condition region.

以上述べたように、本実施形態に係る顕微鏡装置101によれば、共焦点走査観察系31の二次元スキャナ34のXYミラーの傾斜角度を所定の傾きに制御し、蛍光キューブボックス20内から液体レンズ82を備えた蛍光キューブ81を選択し、光路上に配置することにより、全反射蛍光観察を可能にすることができる。また、透過観察、走査型蛍光観察、共焦点走査型観察、落射蛍光観察等の顕微鏡としても使用可能な顕微鏡装置101を提供することができる。   As described above, according to the microscope apparatus 101 according to the present embodiment, the tilt angle of the XY mirror of the two-dimensional scanner 34 of the confocal scanning observation system 31 is controlled to a predetermined tilt, and the liquid is supplied from the fluorescent cube box 20. By selecting the fluorescent cube 81 provided with the lens 82 and arranging it on the optical path, total reflection fluorescence observation can be made possible. In addition, it is possible to provide a microscope apparatus 101 that can be used as a microscope for transmission observation, scanning fluorescence observation, confocal scanning observation, epifluorescence observation, and the like.

以上、本発明を分かりやすくするために、実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。   As mentioned above, in order to make this invention intelligible, it demonstrated with the component requirement of embodiment, However, It cannot be overemphasized that this invention is not limited to this.

例えば、全反射照明時において、対物レンズ16の瞳位置Pの輪帯状の全反射条件領域をレーザ光がスキャンするように、二次元スキャナ34を構成するXYミラーの傾斜角度を制御することも可能である。輪帯状の全反射条件領域をレーザ光がスキャンすることにより、良好な全反射照明を行うことが可能である。   For example, at the time of total reflection illumination, the tilt angle of the XY mirror constituting the two-dimensional scanner 34 can be controlled so that the laser beam scans the annular total reflection condition region at the pupil position P of the objective lens 16. It is. It is possible to perform satisfactory total reflection illumination by scanning the annular total reflection condition region with laser light.

また、対物レンズ16の開口数NAに応じて液体レンズを制御する蛍光キューブを、蛍光キューブボックス20内に装着させておくことにより、対物レンズ16を交換した場合でも容易に全反射照明を達成することが可能である。また、対物レンズ16の瞳位置に応じて液体レンズ62,82を制御することで、対物レンズ16を交換した場合でも容易にムラのない全反射照明を達成することが可能である。   Further, by mounting a fluorescent cube for controlling the liquid lens in accordance with the numerical aperture NA of the objective lens 16 in the fluorescent cube box 20, total reflection illumination can be easily achieved even when the objective lens 16 is replaced. It is possible. Further, by controlling the liquid lenses 62 and 82 according to the pupil position of the objective lens 16, even when the objective lens 16 is replaced, it is possible to easily achieve total reflection illumination without unevenness.

また、上記実施形態において、瞳位置Pでの照明光の偏心量「d」は、対物レンズ16の瞳位置Pに対して近傍にある、蛍光キューブ61,81内の液体レンズ62,82の制御により調整されている。なお、この偏心量「d」の調整は、対物レンズ16の瞳位置Pに対して遠方に設置された二次元スキャナ34を用いて行うことも可能であるが、本実施形態のように二次元スキャナ34よりも瞳位置Pに近い液体レンズ62,82を用いて行うことも可能である。これにより、精度の高い偏心量調整が実施可能である。また、液体レンズ62,82と、二次元スキャナ34と同時に制御することにより、最適な全反射照明を達成することが可能である。   In the above embodiment, the amount of eccentricity “d” of the illumination light at the pupil position P is controlled by the liquid lenses 62 and 82 in the fluorescent cubes 61 and 81 in the vicinity of the pupil position P of the objective lens 16. It is adjusted by. The eccentricity “d” can be adjusted by using the two-dimensional scanner 34 disposed far from the pupil position P of the objective lens 16. However, as in this embodiment, the two-dimensional adjustment is performed. It is also possible to use the liquid lenses 62 and 82 closer to the pupil position P than the scanner 34. Thereby, highly accurate eccentricity adjustment can be performed. Further, by controlling the liquid lenses 62 and 82 and the two-dimensional scanner 34 at the same time, it is possible to achieve optimum total reflection illumination.

また、上記実施形態に係る液体レンズを有する蛍光キューブの構成は、上記に限定されるものではなく、他の液体レンズ、単レンズ、光学部材など、適宜組み合わせることが可能である。また、液体レンズは、必ずしも蛍光キューブ(蛍光キューブボックス20)内に装着しておく必要はなく、所定の焦点位置に設置して対応することも可能である。これにより更なる小型化も期待できる。   The configuration of the fluorescent cube having the liquid lens according to the above embodiment is not limited to the above, and other liquid lenses, single lenses, optical members, and the like can be appropriately combined. Further, the liquid lens does not necessarily have to be mounted in the fluorescent cube (fluorescent cube box 20), and can be installed at a predetermined focal position. As a result, further miniaturization can be expected.

1,101 顕微鏡装置
2 倒立型蛍光顕微鏡(顕微鏡本体)
3 制御装置(PC,制御部、レンズ制御部)
11 ステージ
12 標本
13 透過照明光源
14 透過照明光学系
15 リボルバ
16 対物レンズ
17 結像光学系
18 結像レンズ
19 接眼鏡筒
20 蛍光キューブボックス
21 蛍光キューブ
22 プリズム
23 撮像素子
31 共焦点走査観察系
32 光ファイバ
33 コレクタレンズ
34 二次元スキャナ
35 瞳リレーレンズ
41 落射照明系
42 光ファイバ
43 コレクタレンズ
44 ダイクロイックミラー
51 照明光学系
52 結像レンズ
61,81 蛍光キューブ
62,82 液体レンズ
1,101 Microscope device 2 Inverted fluorescence microscope (microscope body)
3 Control device (PC, control unit, lens control unit)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Stage 12 Specimen 13 Transmission illumination light source 14 Transmission illumination optical system 15 Revolver 16 Objective lens 17 Imaging optical system 18 Imaging lens 19 Eyepiece tube 20 Fluorescence cube box 21 Fluorescence cube 22 Prism 23 Imaging device 31 Confocal scanning observation system 32 Optical fiber 33 Collector lens 34 Two-dimensional scanner 35 Pupil relay lens 41 Epi-illumination system 42 Optical fiber 43 Collector lens 44 Dichroic mirror 51 Illumination optical system 52 Imaging lens 61, 81 Fluorescent cube 62, 82 Liquid lens

Claims (5)

レーザ光源と、前記レーザ光源から射出したレーザ光束を対物レンズを介して標本に照射する照明光学系と、前記標本からの蛍光を検出する蛍光検出光学系とを備えた顕微鏡装置において、
前記レーザ光源と前記対物レンズとの間の光路上に液体レンズを挿脱可能に設け、
前記液体レンズを前記光路上に挿入することにより、前記レーザ光源から射出した前記レーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行にするとともに、前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置の所定領域内に集光し、前記標本の全反射照明を可能にすることを特徴とする顕微鏡装置。
In a microscope apparatus comprising a laser light source, an illumination optical system that irradiates a specimen with a laser beam emitted from the laser light source via an objective lens, and a fluorescence detection optical system that detects fluorescence from the specimen,
A liquid lens is detachably provided on the optical path between the laser light source and the objective lens,
By inserting the liquid lens into the optical path, the principal ray of the laser beam emitted from the laser light source is made substantially parallel to the optical axis of the illumination optical system, and the laser beam is made to pass through the objective lens. A microscope apparatus that collects light within a predetermined region of a pupil position and enables total reflection illumination of the specimen.
前記標本の全反射照明時において、エバネッセント場の深さをzとし、全反射照明光波長をλとし、前記液体レンズにより前記対物レンズの瞳位置に集光させた前記レーザ光束の前記照明光学系の光軸からの偏心量をdとし、前記対物レンズの焦点距離をfとし、前記標本の内部の屈折率をnとしたとき、次式
z=λ/[4π×{(d/f)−n1/2
の条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。
At the time of total reflection illumination of the specimen, the illumination optical system of the laser beam condensed by the liquid lens at the pupil position of the objective lens, where the depth of the evanescent field is z and the wavelength of the total reflection illumination light is λ Where d is the amount of decentration from the optical axis, f is the focal length of the objective lens, and n is the refractive index inside the sample, z = λ / [4π × {(d 2 / f 2 ) −n 2 } 1/2 ]
The microscope apparatus according to claim 1, wherein the following condition is satisfied.
前記液体レンズは、焦点距離及び前記照明光学系の光軸からの偏心量の少なくとも一方が変更可能であり、
前記レーザ光源から射出した前記レーザ光束を集光させる位置を調整するために、前記液体レンズの焦点距離及び前記照明光学系の光軸からの偏心量の少なくとも一方を制御する制御手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡装置。
The liquid lens can change at least one of a focal length and an eccentric amount from the optical axis of the illumination optical system,
Control means for controlling at least one of the focal length of the liquid lens and the amount of eccentricity from the optical axis of the illumination optical system in order to adjust the position at which the laser beam emitted from the laser light source is collected; The microscope apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that:
前記レーザ光源と前記照明光学系との間の光路上に、前記レーザ光源から射出した前記レーザ光束を偏向する偏向手段を有し、
前記液体レンズを前記光路上から外したときに、前記レーザ光束が標本面に集光し、前記偏向手段により前記標本面上を走査するように構成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の顕微鏡装置。
A deflecting means for deflecting the laser beam emitted from the laser light source on an optical path between the laser light source and the illumination optical system;
4. The structure according to claim 1, wherein when the liquid lens is removed from the optical path, the laser beam is condensed on the sample surface and scanned on the sample surface by the deflecting means. The microscope apparatus according to any one of the above.
前記照明光学系として、落射照明光学系を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の顕微鏡装置。   The microscope apparatus according to claim 1, wherein the illumination optical system includes an epi-illumination optical system.
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