JP2011060815A - Solid-state imaging element - Google Patents
Solid-state imaging element Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011060815A JP2011060815A JP2009205676A JP2009205676A JP2011060815A JP 2011060815 A JP2011060815 A JP 2011060815A JP 2009205676 A JP2009205676 A JP 2009205676A JP 2009205676 A JP2009205676 A JP 2009205676A JP 2011060815 A JP2011060815 A JP 2011060815A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus detection
- pixel
- solid
- state imaging
- imaging device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Focusing (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【課題】 撮像画素および焦点検出画素を備える固体撮像素子において、精度の高いAFを実現する。
【解決手段】 固体撮像素子は、被写体の像を撮像して画像信号を生成する撮像画素と、各画素で光学系の瞳の異なる部分領域を通過する光束をそれぞれ受光し、被写体の像の位相差情報を取得する一対の焦点検出画素とを備える。焦点検出画素は、瞳のうち位相差情報の生成に用いる第1範囲に対応する受光面上の位置に、入射光の光量に応じて信号電荷を生成する光電変換領域を備える。また、焦点検出画素は、瞳のうち第1範囲と重複しない第2範囲に対応する受光面上の位置に、電荷を排出する排出領域を備える。
【選択図】 図1PROBLEM TO BE SOLVED: To realize highly accurate AF in a solid-state imaging device including an imaging pixel and a focus detection pixel.
A solid-state imaging device receives an image pickup pixel that picks up an image of a subject and generates an image signal, and a light beam that passes through different partial areas of the pupil of an optical system at each pixel, and determines the position of the subject image. A pair of focus detection pixels for acquiring phase difference information. The focus detection pixel includes a photoelectric conversion region that generates a signal charge according to the amount of incident light at a position on the light receiving surface corresponding to the first range used for generating phase difference information in the pupil. Further, the focus detection pixel includes a discharge area for discharging charges at a position on the light receiving surface corresponding to the second range of the pupil that does not overlap with the first range.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、固体撮像素子に関する。 The present invention relates to a solid-state imaging device.
従来から、1つの固体撮像素子で撮像とAFとを実現するために、撮像画素と位相差検出方式の焦点検出画素とを設けた固体撮像素子が提案されている。一例として、特許文献1には、各々の開口位置が異なる遮光膜を一対の焦点検出画素の上面に配置することで瞳分割を行う構成が開示されている。 Conventionally, in order to realize imaging and AF with one solid-state imaging device, a solid-state imaging device having an imaging pixel and a phase difference detection type focus detection pixel has been proposed. As an example, Patent Document 1 discloses a configuration in which pupil division is performed by arranging light shielding films having different opening positions on the upper surfaces of a pair of focus detection pixels.
ところで、上記のように遮光膜で瞳分割を行う場合、焦点検出画素のマイクロレンズの集光位置を遮光膜に合わせないとオートフォーカス(AF)の精度が低下してしまう。一方、固体撮像素子において被写体の画像を撮像する画素(撮像画素)では、マイクロレンズの集光位置が基板上の光電変換領域に一致するように設計されている。 By the way, when pupil division is performed with the light shielding film as described above, the accuracy of autofocus (AF) is degraded unless the light collection position of the microlens of the focus detection pixel is aligned with the light shielding film. On the other hand, a pixel (imaging pixel) that captures an image of a subject in a solid-state imaging device is designed so that the condensing position of the microlens matches the photoelectric conversion region on the substrate.
したがって、遮光膜で瞳分割を行う焦点検出画素を備えた固体撮像素子では、精度の高いAFを行うために、撮像画素と焦点検出画素とでマイクロレンズの構成を変化させる等の必要がある点が指摘されている。 Therefore, in a solid-state imaging device including a focus detection pixel that performs pupil division with a light shielding film, it is necessary to change the configuration of the microlens between the imaging pixel and the focus detection pixel in order to perform highly accurate AF. Has been pointed out.
そこで、本発明は、撮像画素と焦点検出画素とを備える撮像素子において精度の高いAFを実現できる固体撮像素子を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a solid-state imaging device that can realize highly accurate AF in an imaging device including an imaging pixel and a focus detection pixel.
一の態様の固体撮像素子は、被写体の像を撮像して画像信号を生成する撮像画素と、光学系の瞳の異なる部分領域を通過する光束をそれぞれ受光し、被写体の像の位相差情報を取得する一対の焦点検出画素とを備える。焦点検出画素は、瞳のうち位相差情報の生成に用いる第1範囲に対応する受光面上の位置に、入射光の光量に応じて信号電荷を生成する光電変換領域を備える。また、焦点検出画素は、瞳のうち第1範囲と重複しない第2範囲に対応する受光面上の位置に、電荷を排出する排出領域を備える。 The solid-state imaging device according to one aspect receives an imaging pixel that captures an image of a subject and generates an image signal, and a light beam that passes through different partial areas of the pupil of the optical system, and obtains phase difference information of the subject image. A pair of focus detection pixels to be acquired. The focus detection pixel includes a photoelectric conversion region that generates a signal charge according to the amount of incident light at a position on the light receiving surface corresponding to the first range used for generating phase difference information in the pupil. Further, the focus detection pixel includes a discharge region for discharging charges at a position on the light receiving surface corresponding to the second range of the pupil that does not overlap with the first range.
上記の一の態様において、排出領域が、焦点検出画素の電源またはリセット制御線に接続されていてもよい。 In the one aspect described above, the discharge region may be connected to a power source or a reset control line of the focus detection pixel.
上記の一の態様の固体撮像素子は、排出領域の電位を調整する電位調整部をさらに含んでいてもよい。 The solid-state imaging device according to the one aspect described above may further include a potential adjusting unit that adjusts the potential of the discharge region.
上記の一の態様において、焦点検出画素は、光電変換領域で生成された信号電荷を蓄積するフローティングディフュージョン領域と、光電変換領域からフローティングディフュージョン領域に信号電荷を転送する転送トランジスタと、をさらに含んでいてもよい。また、焦点検出画素で隣接する2つの光電変換領域の間に、各画素のフローティングディフュージョン領域および転送トランジスタが、交互に対向配置されていてもよい。 In the above aspect, the focus detection pixel further includes a floating diffusion region that accumulates the signal charge generated in the photoelectric conversion region, and a transfer transistor that transfers the signal charge from the photoelectric conversion region to the floating diffusion region. May be. Further, the floating diffusion region and the transfer transistor of each pixel may be alternately arranged opposite to each other between two adjacent photoelectric conversion regions in the focus detection pixel.
上記の一の態様において、焦点検出画素は、光電変換領域で生成された信号電荷を蓄積するフローティングディフュージョン領域と、光電変換領域からフローティングディフュージョン領域に信号電荷を転送する転送トランジスタと、をさらに含んでいてもよい。また、一対の焦点検出画素のうち一方の画素について、フローティングディフュージョン領域および転送トランジスタが、第1範囲と第2範囲との境界側に配置されていてもよい。 In the above aspect, the focus detection pixel further includes a floating diffusion region that accumulates the signal charge generated in the photoelectric conversion region, and a transfer transistor that transfers the signal charge from the photoelectric conversion region to the floating diffusion region. May be. Further, the floating diffusion region and the transfer transistor may be arranged on the boundary side between the first range and the second range for one of the pair of focus detection pixels.
なお、上記の各態様の固体撮像素子を備えた撮像装置も、本発明の具体的態様として有効である。 In addition, the imaging device provided with the solid-state imaging device of each aspect described above is also effective as a specific aspect of the present invention.
一の態様の固体撮像素子によれば、精度の高いAFを実現できる。 According to the solid-state imaging device of one aspect, highly accurate AF can be realized.
<第1実施形態の説明>
図1は、第1実施形態での固体撮像素子の概略構成例を示す図である。なお、第1実施形態の固体撮像素子は、例えば、デジタルスチルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話のカメラモジュールなどの撮像装置に組み込まれる。
<Description of First Embodiment>
FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration example of a solid-state imaging device according to the first embodiment. In addition, the solid-state image sensor of 1st Embodiment is integrated in imaging devices, such as a digital still camera, a video camera, and a camera module of a mobile telephone, for example.
第1実施形態の固体撮像素子は、シリコン基板上にCMOS(相補性金属酸化膜半導体)プロセスを使用し、CMOS型の固体撮像素子として形成されている。また、固体撮像素子は、撮像画素と、焦点検出画素との2種類の画素が配列された画素アレイを有している。 The solid-state imaging device of the first embodiment is formed as a CMOS solid-state imaging device using a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) process on a silicon substrate. The solid-state imaging device has a pixel array in which two types of pixels, an imaging pixel and a focus detection pixel, are arranged.
ここで、上記の撮像画素は、被写体の像を撮像して画像信号を生成する画素である。また、上記の焦点検出画素は、一対の画素で不図示の光学系(撮影レンズなど)の瞳の異なる部分領域を通過する光束をそれぞれ受光し、AF時に被写体の像の位相差情報を取得する。なお、被写体の像の位相差情報を用いて光学系のデフォーカス量を求める位相差AFの原理は公知であるので、詳細な内容の説明は省略する。 Here, the imaging pixel is a pixel that captures an image of a subject and generates an image signal. The focus detection pixels receive light beams that pass through different partial areas of the pupil of an optical system (such as a photographing lens) (not shown) with a pair of pixels, and acquire phase difference information of an object image during AF. . Since the principle of phase difference AF for obtaining the defocus amount of the optical system using the phase difference information of the subject image is well known, detailed description thereof will be omitted.
図2は、第1実施形態の固体撮像素子の画素アレイにおける撮像画素と焦点検出画素との配置例を示す図である。第1実施形態では、固体撮像素子の受光面において、それぞれ横方向(行方向)に延在する焦点検出画素の配列が、3×3の正方格子状に9箇所に配置されている。また、受光面において、焦点検出画素の配列を除く他の部分には撮像画素がそれぞれ配置されている。 FIG. 2 is a diagram illustrating an arrangement example of imaging pixels and focus detection pixels in the pixel array of the solid-state imaging device according to the first embodiment. In the first embodiment, on the light receiving surface of the solid-state imaging device, the array of focus detection pixels extending in the horizontal direction (row direction) is arranged at nine locations in a 3 × 3 square lattice pattern. In addition, on the light receiving surface, imaging pixels are arranged in other portions excluding the focus detection pixel array.
図3は、図2の画素配列の部分拡大図である。撮像画素の電荷蓄積領域(フォトダイオード)はほぼ正方形状に形成されている。また、各々の焦点検出画素の電荷蓄積領域は、撮像画素の電荷蓄積領域よりも小さな縦長の矩形状に形成されている。また、焦点検出画素の画素配列では、一対の焦点検出画素を用いて瞳分割を行うために、射出瞳の右半分の像を取得する焦点検出画素と、射出瞳の左半分の像を取得する焦点検出画素とが横方向に交互に並べられている。そして、各々の焦点検出画素の電荷蓄積領域の位置は、射出瞳の像を光電変換する範囲に応じて、画素中心よりも右側または左側のいずれかに偏心して配置されている。 FIG. 3 is a partially enlarged view of the pixel array of FIG. The charge accumulation region (photodiode) of the imaging pixel is formed in a substantially square shape. In addition, the charge accumulation region of each focus detection pixel is formed in a vertically long rectangular shape smaller than the charge accumulation region of the imaging pixel. Further, in the pixel array of the focus detection pixels, in order to perform pupil division using a pair of focus detection pixels, a focus detection pixel that acquires an image of the right half of the exit pupil and an image of the left half of the exit pupil are acquired. The focus detection pixels are alternately arranged in the horizontal direction. The position of the charge accumulation region of each focus detection pixel is arranged eccentrically on either the right side or the left side of the pixel center depending on the range of photoelectric conversion of the exit pupil image.
図1に戻って、固体撮像素子の回路構成を説明する。なお、以下の説明では、撮像画素および焦点検出画素をまとめて画素PXと総称することがある。 Returning to FIG. 1, the circuit configuration of the solid-state imaging device will be described. In the following description, the imaging pixel and the focus detection pixel may be collectively referred to as a pixel PX.
固体撮像素子は、マトリックス状に配置された複数の画素PXと、垂直走査部11と、信号蓄積部12と、水平走査部13と、画素PXの列ごとにそれぞれ設けられた垂直出力線14と、各垂直出力線14にそれぞれ接続された定電流源15と、各垂直出力線14を信号蓄積部12に接続するための一対の転送ゲート16a,16bとを有している。図1では、簡単のため画素PXを3×2個のみ示すが、図2、図3からも分かるように、実際の固体撮像素子の受光面にはさらに多数の画素が配列されることはいうまでもない。
The solid-state imaging device includes a plurality of pixels PX arranged in a matrix, a
垂直走査部11は、図1の横方向に並ぶ画素群に選択パルスφSEL、リセットパルスφRESおよび転送パルスφTXをそれぞれ出力する。パルスφSEL,φRES,φTXは、高論理レベルが電源電圧VDDであり、低論理レベルが接地電圧VSSである。信号蓄積部12は、図1の横方向に並ぶ画素群の各画素PXから出力されるノイズ信号およびフォトダイオードで生じた信号電荷に相当する信号成分にノイズ信号が重畳された画素信号を順次蓄積する。水平走査部13は、制御パルスφHにより信号蓄積部12の動作を制御し、信号蓄積部12に蓄積された信号を不図示の相関二重サンプリング回路(CDS回路)等に順次出力する。
The
定電流源15は、画像信号を読み出すために垂直出力線14に電流を流す。転送ゲート16a,16bは、nMOSトランジスタで形成されている。転送ゲート16aは、ノイズ信号が重畳された画素信号を信号蓄積部12に転送するために、信号転送パルスφTSに同期してオンする。転送ゲート16bは、ノイズ信号を信号蓄積部12に転送するために、ノイズ転送パルスφTNに同期してオンする。
The constant
図4は、第1実施形態での撮像画素および焦点検出画素の平面構造の例を示す図である。また、図5は、撮像画素および焦点検出画素の回路構成例を示す図である。ここで、図4において網掛けで示す領域はトランジスタのゲートを示している。なお、図4において、パルスφSEL,φRES,φTXをそれぞれ供給するための制御配線の図示は省略している。 FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a planar structure of the imaging pixel and the focus detection pixel in the first embodiment. FIG. 5 is a diagram illustrating a circuit configuration example of the imaging pixels and the focus detection pixels. Here, the shaded area in FIG. 4 indicates the gate of the transistor. In FIG. 4, illustration of control wirings for supplying the pulses φSEL, φRES, and φTX, respectively, is omitted.
撮像画素および焦点検出画素の各画素は、フォトダイオードPDと、転送トランジスタTXと、リセットトランジスタRESと、増幅トランジスタAMPと、選択トランジスタSELと、フローティングディフュージョン領域FDとをそれぞれ有している。なお、各画素に形成されるトランジスタは、全てnMOSトランジスタである。 Each pixel of the imaging pixel and the focus detection pixel includes a photodiode PD, a transfer transistor TX, a reset transistor RES, an amplification transistor AMP, a selection transistor SEL, and a floating diffusion region FD. Note that the transistors formed in each pixel are all nMOS transistors.
上記のフォトダイオードPDは、入射光の光量に応じて光電変換により信号電荷を生成する。転送トランジスタTXは、転送パルスφTXの高レベル期間にオンし、フォトダイオードPDに蓄積された信号電荷をフローティングディフュージョン領域FDに転送する。 The photodiode PD generates a signal charge by photoelectric conversion according to the amount of incident light. The transfer transistor TX is turned on during the high level period of the transfer pulse φTX, and transfers the signal charge accumulated in the photodiode PD to the floating diffusion region FD.
転送トランジスタTXのソースはフォトダイオードPDであり、転送トランジスタTXのドレインはフローティングディフュージョン領域FDである。フローティングディフュージョン領域FDは、半導体基板に不純物を導入することで形成されたN拡散領域である。なお、各画素でのフローティングディフュージョン容量は、拡散層容量および配線容量の和で求められる。 The source of the transfer transistor TX is the photodiode PD, and the drain of the transfer transistor TX is the floating diffusion region FD. The floating diffusion region FD is an N diffusion region formed by introducing impurities into the semiconductor substrate. Note that the floating diffusion capacitance in each pixel is obtained as the sum of the diffusion layer capacitance and the wiring capacitance.
なお、フローティングディフュージョン領域FDは、接続配線(銅配線またはアルミニウム配線)によって、増幅トランジスタAMPのゲートと、リセットトランジスタRESのソースとにそれぞれ接続されている。 The floating diffusion region FD is connected to the gate of the amplification transistor AMP and the source of the reset transistor RES by connection wiring (copper wiring or aluminum wiring).
図4の各画素において、選択トランジスタSEL、増幅トランジスタAMP、リセットトランジスタRESは、フォトダイオードPD、転送トランジスタTXおよびフローティングディフュージョン領域FDが並ぶ列に沿って一列に配置されている。選択トランジスタSEL、増幅トランジスタAMP、リセットトランジスタRESは、図4の横方向に延在する1つの能動領域上に所定間隔をおいてゲートを配置することで形成されている。増幅トランジスタAMPおよびリセットトランジスタRESは、電源線VDDに接続された共通のドレインを有している。第1実施形態では、かかる配置により、選択トランジスタSEL、増幅トランジスタAMP、リセットトランジスタRESのソース/ドレインを共通化し、各画素のレイアウトサイズを最小限にすることができる。 In each pixel of FIG. 4, the selection transistor SEL, the amplification transistor AMP, and the reset transistor RES are arranged in a line along the line in which the photodiode PD, the transfer transistor TX, and the floating diffusion region FD are arranged. The selection transistor SEL, the amplification transistor AMP, and the reset transistor RES are formed by disposing gates at predetermined intervals on one active region extending in the horizontal direction in FIG. The amplification transistor AMP and the reset transistor RES have a common drain connected to the power supply line VDD. In the first embodiment, with this arrangement, the source / drain of the selection transistor SEL, the amplification transistor AMP, and the reset transistor RES can be shared, and the layout size of each pixel can be minimized.
上記のリセットトランジスタRESは、リセットパルスφRESの高レベル期間にオンし、フローティングディフュージョン領域FDを電源電圧VDDにリセットする。また、増幅トランジスタAMPは、ドレインが電源電圧VDDに接続され、ゲートがフローティングディフュージョン領域FDにそれぞれ接続され、ソースが選択トランジスタSELのドレインに接続され、定電流源15を負荷とするソースフォロア回路を構成している。増幅トランジスタAMPは、フローティングディフュージョン領域FDの電圧値に応じて、選択トランジスタSELを介して出力端子OUTに読み出し電流を出力する。選択トランジスタSELは、選択パルスφSELの高レベル期間にオンし、増幅トランジスタAMPのソースを出力端子OUTに接続する。
The reset transistor RES is turned on during the high level period of the reset pulse φRES, and resets the floating diffusion region FD to the power supply voltage VDD. The amplification transistor AMP includes a source follower circuit having a drain connected to the power supply voltage VDD, a gate connected to the floating diffusion region FD, a source connected to the drain of the selection transistor SEL, and the constant
また、図4に示すように、焦点検出画素の受光面には、不要電荷を排出する矩形状の排出領域17がフォトダイオードPDに隣接して配置されている。第1実施形態の焦点検出画素の配列では、フォトダイオードPDが右側に偏心して配置されている焦点検出画素の左側の領域と、フォトダイオードPDが左側に偏心して配置されている焦点検出画素の右側の領域とに跨って、共通の排出領域17が1つ配置されている。それゆえ、第1実施形態における排出領域17は、隣接する画素間で共有されている。なお、第1実施形態において、各排出領域17はいずれも電源線VDDと接続されている。
Further, as shown in FIG. 4, a
また、1つの焦点検出画素の受光面において、フォトダイオードPDは、光学系の瞳のうち位相差情報の生成に用いる第1範囲(例えば瞳の右半分)が結像する位置に配置されている。また、排出領域17は、光学系の瞳のうち第1範囲と重複しない残りの第2範囲(例えば瞳の左半分)が結像する位置に配置されている。また、横方向に隣接する焦点検出画素間では、第1範囲および第2範囲が左右逆になる。なお、本明細書の図面では、受光面において瞳像の結像する範囲を一点鎖線で示すとともに、焦点検出画素における第1範囲をハッチングで示す。
Further, on the light receiving surface of one focus detection pixel, the photodiode PD is arranged at a position where a first range (for example, the right half of the pupil) used for generating phase difference information in the pupil of the optical system forms an image. . The
ここで、焦点検出画素のフォトダイオードPDには、瞳の第1範囲に対応する光束を受光することで信号電荷が蓄積される。一方、瞳の第2範囲に対応する光束の大部分は排出領域17に結像する。そして、瞳の第2範囲に対応する光束を受光して焦点検出画素の排出領域17内で発生する電荷は、排出領域17からそのまま排出される。また、排出領域17の電位は電源の電位と等しく、フォトダイオードPDよりも電位が低い。したがって、フォトダイオードPDと排出領域17との間の分離領域で発生した電荷の多くは、排出領域17に吸収されて排出される。これにより、第1実施形態では、焦点検出画素のフォトダイオードPDにおいて、瞳像の第1範囲に対応する電荷をよく分離することができる。
Here, signal charges are accumulated in the photodiode PD of the focus detection pixel by receiving a light beam corresponding to the first range of the pupil. On the other hand, most of the luminous flux corresponding to the second range of the pupil forms an image in the
なお、撮像画素のフォトダイオードPDの配置は、光学系の瞳像がすべて結像するように設定されている。これにより、撮像画素のフォトダイオードPDには、瞳像の全範囲に対応する光束を受光して得られた電荷が蓄積される。なお、本明細書の図面では、撮像画素において瞳像の結像する範囲もハッチングで示している。 Note that the arrangement of the photodiodes PD of the imaging pixels is set so that all pupil images of the optical system are formed. Thereby, the charge obtained by receiving the light beam corresponding to the entire range of the pupil image is accumulated in the photodiode PD of the imaging pixel. In the drawings of the present specification, the range in which the pupil image is formed in the imaging pixels is also indicated by hatching.
また、第1実施形態において、焦点検出画素のフォトダイオードPDは、排出領域17の反対側に信号電荷を転送する構成となっている。そして、焦点検出画素の配列において隣接する2つのフォトダイオードPDの間には、フローティングディフュージョン領域FDおよび転送トランジスタTXが、干渉を避けるために上下に位置をずらして交互に対向配置されている。焦点検出画素のフローティングディフュージョン領域FDおよび転送トランジスタTXを上記のように配置することで、撮像画素と焦点検出画素との構造的な乖離を比較的少なくでき、各画素のレイアウトや固体撮像素子の製造がより容易となる。
In the first embodiment, the photodiode PD of the focus detection pixel is configured to transfer the signal charge to the opposite side of the
図6は、第1実施形態における焦点検出画素の断面を示す模式図である。第1実施形態の固体撮像素子は、N型シリコン基板21上にP型ウエル22を設け、このP型ウエル22上にフォトダイオードPD、転送トランジスタTX、フローティングディフュージョン領域FD、排出領域17などの素子を形成している。P型ウエル22の上面側にはシリコン酸化膜23が形成されている。
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a cross-section of the focus detection pixel in the first embodiment. In the solid-state imaging device of the first embodiment, a P-type well 22 is provided on an N-
また、図6に示すフォトダイオードPDは、P型ウエル22中に設けられたN型の電荷蓄積層とその表面側に配置されたP型の空乏化防止層とからなる埋め込み型フォトダイオードである。また、排出領域17はN型の拡散層で構成されている。なお、フォトダイオードPDと排出領域17との素子間分離は、例えば、LOCOS(local oxidation of silicon)法、STI(shallow trench isolation)法、拡散分離などの公知の手法で行えばよい。
A photodiode PD shown in FIG. 6 is an embedded photodiode including an N-type charge storage layer provided in the P-type well 22 and a P-type depletion prevention layer disposed on the surface side thereof. . The
また、各々の焦点検出画素の上面には、マイクロレンズ24がそれぞれ配置されている。そして、焦点検出画素の配線部分は、マイクロレンズ24と受光面との間に配置された遮光アルミ膜25により入射光が遮光されている。図6に示す焦点検出画素では、光学系の瞳のうち位相差情報の生成に用いる第1範囲の光束が結像する領域(フォトダイオードPD)と、光学系の瞳のうち第1範囲と重複しない残りの第2範囲の光束が結像する領域(排出領域17のうち画素境界を除く)とは、遮光膜25で覆われておらず、それ以外の領域が遮光膜25で覆われる。なお、隣接する画素間で共有される排出領域17の上部に、遮光アルミ層25が、隣接する焦点検出画素間に跨って配置されているが、この遮光アルミ層25は必ずしも設ける必要は無い。また、上述したように、第2範囲の光束が結像する領域の上部には遮光膜25が設けられていないが、遮光層25を設けてもよい。
In addition, microlenses 24 are arranged on the upper surfaces of the respective focus detection pixels. In the wiring portion of the focus detection pixel, incident light is shielded by the light shielding
以下、第1実施形態における固体撮像素子の作用を述べる。第1実施形態の焦点検出画素では、フォトダイオードPDによって瞳の第1範囲に対応する光束を受光して信号電荷を蓄積し、瞳の第2範囲に対応する光束を受光して生じた電荷を排出領域17から排出する。これにより、第1実施形態の焦点検出画素では、所望の瞳領域以外の光束によって生成される電荷がフォトダイオードPDに流入することを阻止できるので、基板表面の位置で瞳分割を比較的精度よく行うことが可能となる。そして、比較的簡易な構成で位相差情報を用いた精度の高いAFを実現できる。
Hereinafter, the operation of the solid-state imaging device in the first embodiment will be described. In the focus detection pixel according to the first embodiment, the photodiode PD receives a light beam corresponding to the first range of the pupil and accumulates signal charges, and receives a light beam corresponding to the second range of the pupil to generate charges generated. It discharges from the
また、第1実施形態の固体撮像素子では、基板表面の位置で瞳分割を行うため、撮像画素および焦点検出画素でマイクロレンズの集光位置を一致させることができる。そのため、撮像画素と焦点検出画素とで同じマイクロレンズを使用できるので、遮光膜で瞳分割を行う固体撮像素子の場合と比べて、マイクロレンズの形成工程を簡略化できる。 Further, in the solid-state imaging device of the first embodiment, pupil division is performed at the position on the substrate surface, so that the condensing position of the microlens can be matched between the imaging pixel and the focus detection pixel. Therefore, since the same microlens can be used for the imaging pixel and the focus detection pixel, the process of forming the microlens can be simplified as compared with the case of a solid-state imaging device that performs pupil division with a light shielding film.
<第2実施形態の説明>
図7は、第2実施形態での撮像画素および焦点検出画素の平面構造の例を示す図である。なお、以下の実施形態の説明では、第1実施形態と共通する構成には同一符号を付して重複説明を省略する。
<Description of Second Embodiment>
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a planar structure of an imaging pixel and a focus detection pixel in the second embodiment. In the following description of the embodiment, the same reference numerals are given to the same components as those in the first embodiment, and the duplicate description will be omitted.
第2実施形態の固体撮像素子は、排出領域17の電位を調整する電位調整部18を備えている。この電位調整部18は、各々の排出領域17と制御用の配線でそれぞれ接続されている。
The solid-state imaging device according to the second embodiment includes a
第2実施形態において、排出領域17の電位を低く調整した場合、フォトダイオードPDと排出領域17との間の分離領域で発生した電荷は、排出領域17に流れ込む確率がより高くなる。一方、排出領域17の電位を高く調整した場合、上記の分離領域で発生した電荷のうち、フォトダイオードPDの近傍で発生した電荷はフォトダイオードPDに流れ込みやすくなる。したがって、第2実施形態の構成によれば、排出領域17の電位を調整することで、焦点検出画素において瞳像を分割する境界の位置を微調整することが可能となる。
In the second embodiment, when the potential of the
また、第2実施形態において、図示しないが、固体撮像素子は通常、図6に示すマイクロレンズ24と受光面との間にカラーフィルタが各画素に対応して設けられている。撮像画素と焦点検出画素とを有する固体撮像素子では、特に制限されないが、撮像画素の受光面側には互いに異なる色のカラーフィルタ(例えば、赤色、青色および緑色のカラーフィルタ)のそれぞれが各画素に対応して配置される。また、焦点検出画素の受光面側には、例えば、可視光域の光を透過するホワイトフィルタが配置される。その場合、撮影条件によっては、焦点検出画素で生成される信号電荷レベルと、撮像画素で生成される信号電荷レベルとのバランスが問題となる場合がある。その場合、焦点検出画素のフォトダイオードPDの面積を瞳分割に影響しないように変更すればよい。例えば、フォトダイオードPDの面積を瞳分割に影響しない領域にまで拡大させることが可能である。
In the second embodiment, although not shown, the solid-state imaging device is usually provided with a color filter corresponding to each pixel between the
<実施形態の補足事項>
(1)上記の第1実施形態の例では、焦点検出画素の排出領域17が電源線VDDと接続されている例を説明した。しかし、図4に示す電源線VDDに代えて、リセットパルスφRESを伝達するリセット制御線に焦点検出画素の排出領域17が接続されていてもよい。ここで、焦点検出画素のフォトダイオードPDで電荷を蓄積する期間は、リセットパルスφRESが高レベルとなってフローティングディフュージョン領域FDのリセットが行われる。そのため、排出領域17をリセット制御線に接続することで、不要な電荷を吸収することが可能となる。
<Supplementary items of the embodiment>
(1) In the example of the first embodiment, the example in which the
(2)上記の実施形態の焦点検出画素の構成はあくまで一例にすぎない。例えば、図8に示すように、2つの撮像画素および2つの焦点検出画素を含む2×2画素の範囲において、増幅トランジスタAMPおよびリセットトランジスタRESのドレインと、排出領域17とを接続して一体化してもよい。なお、図8の例では、排出領域17等と接続される電源線VDDの図示は省略している。
(2) The configuration of the focus detection pixel of the above embodiment is merely an example. For example, as shown in FIG. 8, in the range of 2 × 2 pixels including two imaging pixels and two focus detection pixels, the drains of the amplification transistor AMP and the reset transistor RES and the
ここで、図8の場合、一対の焦点検出画素(図8の下の行の画素)のうちで図中左側(左列)の画素については、フローティングディフュージョン領域FDおよび転送トランジスタTXが第1範囲と第2範囲との境界側に配置されている。焦点検出画素のフォトダイオードPDに蓄積された信号電荷の転送方向は、上記した第1実施形態では一対の焦点検出画素では互いに反対方向であったが、図8の場合、同一方向である。かかる配置によっても、撮像画素と焦点検出画素との構造的な乖離を比較的少なくでき、各画素のレイアウトや固体撮像素子の製造がより容易となる。 Here, in the case of FIG. 8, the floating diffusion region FD and the transfer transistor TX are in the first range for the pixel on the left side (left column) in the drawing among the pair of focus detection pixels (pixels in the lower row in FIG. 8). And the second range. The transfer directions of the signal charges accumulated in the photodiode PD of the focus detection pixel are opposite to each other in the pair of focus detection pixels in the first embodiment, but in the case of FIG. Even with such an arrangement, the structural divergence between the image pickup pixel and the focus detection pixel can be relatively reduced, and the layout of each pixel and the manufacture of the solid-state image sensor can be facilitated.
なお、図4に示した撮像画素および焦点検出画素の平面構造の例においても、2つの撮像画素および2つの焦点検出画素を含む2×2画素の範囲において、増幅トランジスタAMPおよびリセットトランジスタRESのドレインと、排出領域17とを接続して一体化してもよい。
In the example of the planar structure of the imaging pixel and the focus detection pixel shown in FIG. 4, the drains of the amplification transistor AMP and the reset transistor RES are within a range of 2 × 2 pixels including the two imaging pixels and the two focus detection pixels. And the
また、図9は、画素アレイの行方向に瞳分割を行う場合の焦点検出画素の他の配置例である。図9の例では、一対の焦点検出画素(図9の下の行の画素)のうちで図中左側(左列)の画素については、フォトダイオードPDに蓄積された信号電荷の転送方向が右側(右列)の焦点検出画素における電荷転送の方向と直交方向となるように、フローティングディフュージョン領域FDおよび転送トランジスタTXが下向きに配置されるとともに、選択トランジスタSEL、増幅トランジスタAMP、リセットトランジスタRESが上下方向に沿って配列されている。そして、図9に示す排出領域17は、左側の焦点検出画素の増幅トランジスタAMPおよびリセットトランジスタRESのドレインと一体化されている。なお、図9の例では、排出領域17等と接続される電源線VDDの図示は省略している。
FIG. 9 is another arrangement example of focus detection pixels when pupil division is performed in the row direction of the pixel array. In the example of FIG. 9, among the pair of focus detection pixels (pixels in the lower row of FIG. 9), the transfer direction of the signal charge accumulated in the photodiode PD is the right side for the pixels on the left side (left column) in the figure. The floating diffusion region FD and the transfer transistor TX are arranged downward so as to be orthogonal to the direction of charge transfer in the focus detection pixels in the (right column), and the selection transistor SEL, the amplification transistor AMP, and the reset transistor RES are vertically Arranged along the direction. The
さらに、図10は、画素アレイの列方向に瞳分割を行う場合の焦点検出画素の配置例である。図10の例では、図中右列の画素が一対の焦点検出画素となる。そして、上側(上行)の焦点検出画素のフォトダイオードPDが上側に偏心して配置され、下側(下行)の焦点検出画素のフォトダイオードPDが下側に偏心して配置されている。また、上記の2つのフォトダイオードPDの間には排出領域17が配置されている。図10に示す排出領域17は、上側の焦点検出画素の増幅トランジスタAMPおよびリセットトランジスタRESのドレインと一体化されている。なお、図10の例では、排出領域17等と接続される電源線VDDの図示は省略している。
Further, FIG. 10 is an arrangement example of focus detection pixels when pupil division is performed in the column direction of the pixel array. In the example of FIG. 10, the pixels in the right column in the figure are a pair of focus detection pixels. The photodiodes PD of the upper (upper row) focus detection pixels are arranged eccentrically on the upper side, and the photodiodes PD of the lower (lower row) focus detection pixels are arranged eccentrically on the lower side. A
なお、図10の例では、一対の焦点検出画素において排出領域17は、上側の焦点検出画素の増幅トランジスタAMPおよびリセットトランジスタRESのドレインと一体化された構造を示しているが、これに限定されない。一対の焦点検出画素において、排出領域17を個別に設けてよい。その場合、上記した実施形態と同様に、排出領域17は電源線VDDと接続されるか、もしくは、リセット制御線と接続さればよい。
In the example of FIG. 10, the
(3)上記の各実施形態において、焦点検出画素の排出領域17の上面側に遮光膜を配置するようにしてもよい。遮光膜による遮光と排出領域17による不要電荷の排出とを組み合わせることで、焦点検出画素でより精度の高い瞳分割を行うことが可能となる。
(3) In each of the above embodiments, a light shielding film may be disposed on the upper surface side of the
(4)なお、焦点検出画素のフォトダイオードPDは、例えば、特開2009−105358号公報に示す構成を適用して偏心配置させてもよい。 (4) Note that the photodiode PD of the focus detection pixel may be arranged eccentrically by applying, for example, the configuration disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-105358.
(5)また、本発明の構成は、画素アレイ上で斜め方向に延在する焦点検出画素の配列についても応用できる。また、上記実施形態では、1画素につき4つのトランジスタを有するCMOSセンサの例を説明したが、本発明の固体撮像素子はかかる構成に限定されるものではなく、他の固体撮像素子(CCDなど)の構成に応用してもよい。 (5) The configuration of the present invention can also be applied to an array of focus detection pixels extending obliquely on the pixel array. In the above embodiment, an example of a CMOS sensor having four transistors per pixel has been described. However, the solid-state image sensor of the present invention is not limited to such a configuration, and other solid-state image sensors (CCD, etc.) You may apply to the structure of.
以上の詳細な説明により、実施形態の特徴点および利点は明らかになるであろう。これは、特許請求の範囲が、その精神および権利範囲を逸脱しない範囲で前述のような実施形態の特徴点および利点にまで及ぶことを意図するものである。また、当該技術分野において通常の知識を有する者であれば、あらゆる改良および変更に容易に想到できるはずであり、発明性を有する実施形態の範囲を前述したものに限定する意図はなく、実施形態に開示された範囲に含まれる適当な改良物および均等物によることも可能である。 From the above detailed description, features and advantages of the embodiments will become apparent. It is intended that the scope of the claims extend to the features and advantages of the embodiments as described above without departing from the spirit and scope of the right. Further, any person having ordinary knowledge in the technical field should be able to easily come up with any improvements and modifications, and there is no intention to limit the scope of the embodiments having the inventive features to those described above. It is also possible to use appropriate improvements and equivalents within the scope disclosed in.
11…垂直走査部、12…信号蓄積部、13…水平走査部、14…垂直出力線、15…定電流源、16a,16b…転送ゲート、17…排出領域、18…電位調整部、21…N型シリコン基板、22…P型ウエル、23…シリコン酸化膜、24…マイクロレンズ、25…遮光アルミ膜、PX…画素、PD…フォトダイオード、TX…転送トランジスタ、RES…リセットトランジスタ、AMP…増幅トランジスタ、SEL…選択トランジスタ、FD…フローティングディフュージョン領域
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記焦点検出画素は、
前記瞳のうち前記位相差情報の生成に用いる第1範囲に対応する受光面上の位置に、入射光の光量に応じて信号電荷を生成する光電変換領域と、
前記瞳のうち前記第1範囲と重複しない第2範囲に対応する受光面上の位置に、電荷を排出する排出領域とを備えることを特徴とする固体撮像素子。 An imaging pixel that captures an image of a subject and generates an image signal, and a pair of focus detection pixels that receive light beams passing through different partial areas of the pupil of the optical system and obtain phase difference information of the image of the subject, In a solid-state imaging device comprising:
The focus detection pixel is
A photoelectric conversion region that generates a signal charge according to the amount of incident light at a position on the light receiving surface corresponding to the first range used for generating the phase difference information in the pupil;
A solid-state imaging device, comprising: a discharge region for discharging charges at a position on a light receiving surface corresponding to a second range of the pupil that does not overlap with the first range.
前記排出領域が、前記焦点検出画素の電源またはリセット制御線に接続されることを特徴とする固体撮像素子。 The solid-state imaging device according to claim 1,
The solid-state imaging device, wherein the discharge region is connected to a power source or a reset control line of the focus detection pixel.
前記排出領域の電位を調整する電位調整部をさらに含むことを特徴とする固体撮像素子。 The solid-state imaging device according to claim 1,
The solid-state imaging device further comprising a potential adjusting unit that adjusts the potential of the discharge region.
前記焦点検出画素は、
前記光電変換領域で生成された前記信号電荷を蓄積するフローティングディフュージョン領域と、
前記光電変換領域から前記フローティングディフュージョン領域に前記信号電荷を転送する転送トランジスタと、をさらに含み、
前記焦点検出画素で隣接する2つの前記光電変換領域の間に、各画素の前記フローティングディフュージョン領域および前記転送トランジスタが、交互に対向配置されていることを特徴とする固体撮像素子。 The solid-state imaging device according to claim 2 or 3,
The focus detection pixel is
A floating diffusion region for accumulating the signal charge generated in the photoelectric conversion region;
A transfer transistor that transfers the signal charge from the photoelectric conversion region to the floating diffusion region, and
The solid-state imaging device, wherein the floating diffusion region and the transfer transistor of each pixel are alternately arranged opposite to each other between two adjacent photoelectric conversion regions in the focus detection pixel.
前記焦点検出画素は、
前記光電変換領域で生成された前記信号電荷を蓄積するフローティングディフュージョン領域と、
前記光電変換領域から前記フローティングディフュージョン領域に前記信号電荷を転送する転送トランジスタと、をさらに含み、
前記一対の焦点検出画素のうち一方の画素について、前記フローティングディフュージョン領域および前記転送トランジスタが、前記第1範囲と前記第2範囲との境界側に配置されていることを特徴とする固体撮像素子。 The solid-state imaging device according to claim 2 or 3,
The focus detection pixel is
A floating diffusion region for accumulating the signal charge generated in the photoelectric conversion region;
A transfer transistor that transfers the signal charge from the photoelectric conversion region to the floating diffusion region, and
The solid-state imaging device, wherein the floating diffusion region and the transfer transistor are arranged on a boundary side between the first range and the second range for one of the pair of focus detection pixels.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009205676A JP5629995B2 (en) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | Imaging device and imaging apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009205676A JP5629995B2 (en) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | Imaging device and imaging apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011060815A true JP2011060815A (en) | 2011-03-24 |
| JP5629995B2 JP5629995B2 (en) | 2014-11-26 |
Family
ID=43948158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009205676A Expired - Fee Related JP5629995B2 (en) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | Imaging device and imaging apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5629995B2 (en) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014003116A (en) * | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Nikon Corp | Image pickup device |
| JP2014107596A (en) * | 2012-11-22 | 2014-06-09 | Nikon Corp | Imaging element and imaging unit |
| KR20150070376A (en) * | 2012-10-19 | 2015-06-24 | 가부시키가이샤 니콘 | Solid-state image pickup element |
| JP2015204381A (en) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | キヤノン株式会社 | Solid-state imaging device and camera |
| JP2015204382A (en) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | キヤノン株式会社 | Solid state image sensor and camera |
| US9191566B2 (en) | 2012-03-30 | 2015-11-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image pickup apparatus, method for image pickup and computer-readable recording medium |
| WO2016103478A1 (en) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | キヤノン株式会社 | Imaging device drive method, imaging device, and imaging system |
| US9544493B2 (en) | 2014-01-29 | 2017-01-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging apparatus and imaging system using the same |
| US9881950B2 (en) | 2013-04-15 | 2018-01-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor and camera with light-shielding portions and amplification transistors |
| WO2018181591A1 (en) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 株式会社ニコン | Imaging element and imaging device |
| CN110957338A (en) * | 2013-03-15 | 2020-04-03 | 索尼公司 | Solid-state imaging device |
| CN113259609A (en) * | 2016-08-30 | 2021-08-13 | 三星电子株式会社 | Image sensor and driving method thereof |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000156492A (en) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | Fabrication of semiconductor device |
| JP2002176163A (en) * | 2000-09-20 | 2002-06-21 | Eastman Kodak Co | CMOS active pixel image sensor |
| JP2007127746A (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Nikon Corp | Solid-state imaging device having function of generating focus detection signal |
| JP2009065095A (en) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Nikon Corp | Solid-state image sensor |
-
2009
- 2009-09-07 JP JP2009205676A patent/JP5629995B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000156492A (en) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | Fabrication of semiconductor device |
| JP2002176163A (en) * | 2000-09-20 | 2002-06-21 | Eastman Kodak Co | CMOS active pixel image sensor |
| JP2007127746A (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Nikon Corp | Solid-state imaging device having function of generating focus detection signal |
| JP2009065095A (en) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Nikon Corp | Solid-state image sensor |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9191566B2 (en) | 2012-03-30 | 2015-11-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image pickup apparatus, method for image pickup and computer-readable recording medium |
| JP2014003116A (en) * | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Nikon Corp | Image pickup device |
| JP2017135422A (en) * | 2012-10-19 | 2017-08-03 | 株式会社ニコン | Imaging device and imaging apparatus |
| KR20150070376A (en) * | 2012-10-19 | 2015-06-24 | 가부시키가이샤 니콘 | Solid-state image pickup element |
| KR102125673B1 (en) | 2012-10-19 | 2020-06-23 | 가부시키가이샤 니콘 | Solid-state image pickup element |
| JP2018207121A (en) * | 2012-10-19 | 2018-12-27 | 株式会社ニコン | Imaging device and imaging apparatus |
| US10580810B2 (en) | 2012-10-19 | 2020-03-03 | Nikon Corporation | Solid-state image sensor |
| JP2014107596A (en) * | 2012-11-22 | 2014-06-09 | Nikon Corp | Imaging element and imaging unit |
| CN110957338A (en) * | 2013-03-15 | 2020-04-03 | 索尼公司 | Solid-state imaging device |
| US9881950B2 (en) | 2013-04-15 | 2018-01-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor and camera with light-shielding portions and amplification transistors |
| US9544493B2 (en) | 2014-01-29 | 2017-01-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state imaging apparatus and imaging system using the same |
| JP2015204381A (en) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | キヤノン株式会社 | Solid-state imaging device and camera |
| JP2015204382A (en) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | キヤノン株式会社 | Solid state image sensor and camera |
| US9621831B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-04-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for driving image capture device, image capture device, and image capture system |
| JPWO2016103478A1 (en) * | 2014-12-26 | 2017-10-05 | キヤノン株式会社 | Imaging device driving method, imaging device, and imaging system |
| WO2016103478A1 (en) * | 2014-12-26 | 2016-06-30 | キヤノン株式会社 | Imaging device drive method, imaging device, and imaging system |
| CN113259609A (en) * | 2016-08-30 | 2021-08-13 | 三星电子株式会社 | Image sensor and driving method thereof |
| CN110476417A (en) * | 2017-03-28 | 2019-11-19 | 株式会社尼康 | Photographing element and photographic device |
| WO2018181591A1 (en) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 株式会社ニコン | Imaging element and imaging device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5629995B2 (en) | 2014-11-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5629995B2 (en) | Imaging device and imaging apparatus | |
| KR101863505B1 (en) | Solid-state imaging device and electronic apparatus | |
| US9515105B2 (en) | Dual photodiode image pixels with preferential blooming path | |
| KR102492853B1 (en) | Imaging device and electronic apparatus | |
| JP5987326B2 (en) | Solid-state imaging device, signal processing method, and electronic device | |
| JP5045012B2 (en) | Solid-state imaging device and imaging apparatus using the same | |
| WO2015170628A1 (en) | Solid-state imaging device and electronic equipment | |
| WO2016035566A1 (en) | Solid-state imaging element, signal processing method therefor, and electronic device | |
| JP2013080797A (en) | Solid-state image pickup device and camera | |
| JP2011155596A (en) | Solid-state imaging device and electronic apparatus | |
| US9843745B2 (en) | Image sensor pixels having separated charge storage regions | |
| KR20150002593A (en) | Solid-state imaging device and electronic device | |
| WO2017043343A1 (en) | Solid-state imaging device and electronic device | |
| KR20150067005A (en) | Solid-state imaging device | |
| KR100837454B1 (en) | Solid-state image sensing device | |
| JP2010021450A (en) | Solid-state image sensor | |
| US12446343B2 (en) | Solid-state imaging device and electronic equipment | |
| US20240089619A1 (en) | Light detection device and electronic apparatus | |
| JP2010040997A (en) | Solid-state imaging element | |
| JP2017139498A (en) | Solid-state image pickup device and electronic apparatus | |
| JP5515372B2 (en) | Solid-state image sensor | |
| JP2023005460A (en) | Solid-state imaging device, manufacturing method for solid-state imaging device, and electronic device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120905 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131108 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131119 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140120 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140624 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140825 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140909 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140922 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5629995 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |