[go: up one dir, main page]

JP2009093895A - プラズマディスプレイパネル - Google Patents

プラズマディスプレイパネル Download PDF

Info

Publication number
JP2009093895A
JP2009093895A JP2007262555A JP2007262555A JP2009093895A JP 2009093895 A JP2009093895 A JP 2009093895A JP 2007262555 A JP2007262555 A JP 2007262555A JP 2007262555 A JP2007262555 A JP 2007262555A JP 2009093895 A JP2009093895 A JP 2009093895A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
display panel
plasma display
dielectric layer
bus electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007262555A
Other languages
English (en)
Inventor
Motonari Kibune
素成 木舩
Akira Shimoyoshi
旭 下吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2007262555A priority Critical patent/JP2009093895A/ja
Publication of JP2009093895A publication Critical patent/JP2009093895A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

【課題】プラズマディスプレイパネルの誘電体層における変色の発生を抑制し、表示品位の低下を防止する。
【解決手段】前面ガラス基板1に形成される表示電極のバス電極3において、Cu層3bにおける背面基板側の面の表面積よりも、その上に形成されるCr層3cにおける背面基板側の面の表面積を小さくすることで、誘電体層4に対するCu層3bの露出面積を増し、誘電体層形成中に熱拡散されるCuOを増大させて、CuOが還元されることを抑制しCuコロイドの析出を抑止するようにして、誘電体層4の変色を抑え、輝度低下や色度悪化を防止する。
【選択図】図1

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルに関する。
ガス放電発光を利用したプラズマディスプレイパネル(PDP:Plasma Display Panel)は、文字や画像表示用のカラーテレビジョン受像機やディスプレイ等に使用されている。以下、プラズマディスプレイパネルの構成について説明する。
図4は、三電極面放電型プラズマディスプレイパネルの構成例を示す分解斜視図である。
前面ガラス基板1上に、透明電極2とバス電極(金属電極)3からなる表示電極(サステイン電極ともいう。)が形成されている。透明電極2は、前面ガラス基板1上に、スパッタ装置などを用いてITOをスパッタリングし透明な金属膜を成膜した後、それを透明電極形状にエッチングすることにより形成される。また、バス電極3は、透明電極2を形成した後、それを覆うようにスパッタ装置などを用いてCr(クロム)、Cu(銅)、Cr(クロム)の順に各金属層を積層して3層の金属膜を成膜した後、それをバス電極形状にエッチングすることにより形成される。
表示電極(2、3)の上には放電に必要な壁電荷が帯電する誘電体層4が被着され、さらにその上には、MgO(酸化マグネシウム)等の保護膜が被着されている。誘電体層4の形成材料としては、一般的には低軟化点ガラス材料が用いられる。誘電体層4の形成方法は、ガラスペーストを基板上に直接塗布して焼成することにより形成する方法(ペースト法)や、材料をシート化したものを基板上に貼り焼成することにより形成する方法(シート法)が良く知られている。
また、前面ガラス基板1と対向して配置された背面ガラス基板5上に、アドレス電極6が、表示電極(2,3)と直交する方向に(交差するように)形成される。アドレス電極6上には誘電体層7が被着される。さらにその上には、紫外線により励起されて赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の可視光を発光する蛍光体9R、9G、9Bが被着されている。アドレス電極6の両側に列方向のセルを区分するための隔壁(リブ)8が配置され、その内面(側壁)には蛍光体9R、9G、9Bが各色毎に配列、塗布されている。対をなす表示電極(2,3)間の面放電によって蛍光体9R、9G、9Bを励起して各色が発光する。
前面ガラス基板1と背面ガラス基板5とを放電空間を介して封着剤10で封着し、その内部(前面ガラス基板1と背面ガラス基板5との間の放電空間(対向間隙))にNe−Xe等の放電ガスを封入して、プラズマディスプレイパネルが構成される。
特開平7−105855号公報
上述のように構成されるプラズマディスプレイパネルにおいて、前面ガラス基板1に形成された誘電体層4の一部が赤く変色することがある。詳細には、図4(a)、(b)に示すように、前面ガラス基板1に形成された誘電体層4と透明電極2との界面の領域31、すなわち透明電極2上で誘電体の変色が発生することがある。このような変色が起こると、プラズマディスプレイパネルの輝度が低下したり、色度が悪化したりする。
図4(a)は背面側から見た前面側の基板を模式的に示した図であり、図4(b)は図4(a)におけるI−I間の断面を模式的に示した図である。なお、図4(a)、(b)において、3はバス電極である。
本発明は、プラズマディスプレイパネルの誘電体層における変色の発生を抑制し、表示品位の低下を防止することを目的とする。
本発明のプラズマディスプレイパネルは、ガラス基板上に誘電体層で被覆された複数の表示電極を備える前面基板と、前記前面基板に対向して配置された背面基板とが放電空間を介して封着されたプラズマディスプレイパネルであって、前記表示電極は、透明電極とバス電極からなり、当該バス電極は、銅で構成された第1金属層と、銅とは異なる材料で構成され当該第1金属層上に形成された第2金属層を有し、前記第2金属層における前記背面基板側の面の表面積が、前記第1金属層における前記背面基板側の面の表面積より小さいことを特徴とする。
本発明によれば、バス電極において銅で構成される第1金属層の誘電体層に対する露出面積を増やすことで、熱拡散される酸化銅が増大する。これにより、拡散した酸化銅が還元されることを抑制し、コロイド状に銅が析出することを抑止することができる。したがって、誘電体層の変色を抑えて、輝度・色度不良の発生を防ぐことができ、プラズマディスプレイパネルの表示品位の低下を防止し、製品の良品率を向上することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
プラズマディスプレイパネルにおいて、前面ガラス基板1に形成された誘電体層4の一部(透明電極2上の誘電体)が赤く変色する原因として、下記のような原因が考えられる。
誘電体層4は、ガラスペースト(もしくはシート)中に分散したガラスフリットを焼成し、それらを溶融流動させることによって形成される。この誘電体層4の形成工程中の焼成時に、Cr/Cu/Crの3層の金属膜からなるバス電極3中のCuが酸化されCuO(酸化銅)が誘電体層4を形成するガラス中に熱拡散する。ガラス中に拡散したCuO(詳細には、イオンとして拡散しているCu2+イオン)は、透明電極のITOに含まれるSn(錫)によって還元されて、Cuコロイドとして析出する。その結果、透明電極2上の誘電体を赤く変色させると考えられる。
そこで、以下に説明する実施形態では、誘電体層4を形成するガラス中に拡散したCuOの還元を抑制し、コロイド状にCuが析出するのを抑止する。これにより、誘電体層4の変色を抑え、プラズマディスプレイパネルの輝度低下や色度悪化の防止を図る。
本発明の一実施形態におけるプラズマディスプレイパネルは、ガラス基板上に表示電極等が形成された前面側基板と、ガラス基板上にアドレス電極等が形成された背面側基板とを対向して配置し、放電空間を介して封着し構成される。本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの全体的な構成は、図3に示した構成と同様であるので説明は省略する。
図1は、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの構成例を模式的に示す断面図である。図1においては、表示電極(透明電極2及びバス電極3)が延びる方向に対して垂直な方向から見たプラズマディスプレイパネルにおける前面ガラス基板1側の断面のみを示している。
図1に示すように、前面ガラス基板1上にITOからなる透明電極2が形成されている。透明電極2上には、Cr(クロム)、Cu(銅)、Cr(クロム)の順に金属層3a、3b、3cを積層した3層の金属膜からなるバス電極3が形成されている。透明電極2及びバス電極3を覆うように、低軟化点ガラス等からなる誘電体層4が電極2、3上に被着され、さらにその上には、図示しない保護膜が被着されている。
ここで、バス電極3における下層のCr層3aは、バス電極3と透明電極2とを密着させるためのものである。また、バス電極3における上層のCr層3cは、Cu層3bの酸化を防止するためのものであり、Crに限らず、例えばNi(ニッケル)等を用いて構成しても良い。
Cu層3bにおける背面基板側(放電空間側)の面の表面積よりも、Cu層3b上に形成されたCr層3cにおける背面基板側の面の表面積は小さい。すなわち、Cu層3bは、背面基板側の面においてCu層3bの一部を誘電体層4に対して露出するように形成されている。例えば、図1に示す例では、Cu層3bを背面基板側の面において露出させる露出部が、Cr層3cの両側に設けられている。
このように、誘電体層4に対し露出させる領域をCu層3bに設けるには、例えばCu層3b上に形成されるCr層3cの幅(金属層が延びる方向に垂直な方向の大きさ)を、Cu層3bの幅よりも小さくすれば良い。図1に示す例において、Cu層3bの厚さAを1〜5μmとすると、一方の露出量Bは5μm以上(言い換えれば、Cu層3bが、その上に形成されるCr層3cからはみ出している部分の総計で10μm以上)であることが望ましい。
上述のように、バス電極3において、Cu層3bにおける背面基板側の面の一部を、誘電体層4に対して露出することで、誘電体層4の形成工程中の焼成時に、従来と比較して多量のCuOがバス電極3より誘電体層4を形成するガラス中に熱拡散する。ガラス中に拡散したCuOは、それ自体が酸化剤として作用するため、透明電極2のITOに含まれるSnによる還元作用を打ち消すことになり、拡散したCuOが還元されることを抑制して、コロイド状にCuが析出することを抑止することができる。その結果、誘電体層4が赤く変色することを抑え、プラズマディスプレイパネルの輝度低下や色度悪化を防ぎ、表示品位が低下することを防止することができる。また、製品の良品率を向上させることができる。
なお、図1に示した例では、Cr層3cの両側でCu層3bを背面基板側の面において露出させるようにしているが、いずれか一方側のみで露出させるようにしても良い。また、Cr層3cの両側でCu層3bを背面基板側の面において露出させる場合に、その露出量がCr層3cの両側で同じである必要はなく、異なっていても良い。
図2は、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す断面図である。図2においては、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板1側の製造工程を図示している。なお、背面ガラス基板側は、従来と同様の製造方法で製造すれば良い。
まず、前面ガラス基板1上に、ITOをスパッタリングして透明電極材料膜を形成(成膜)する。さらに、透明電極材料膜上にレジスト膜を形成し、マスクを介して露光し現像することで透明電極を形成するためのレジストパターンを形成する。次に、そのレジストパターンをマスクとして、透明電極に対応する部位を除く透明電極材料膜をエッチングにより除去した後、レジスト膜を除去する。これにより、図2(a)に示すように、前面ガラス基板1上に透明電極2が形成される。
次に、透明電極2を覆うように、Cr、Cu、Crの順に金属層3a、3b、3cを積層し3層の金属膜からなるバス電極材料膜をスパッタリング法により透明電極2上に形成する。さらに、バス電極材料膜上にレジスト膜を形成し、マスクを介して露光し現像することで、図2(b)に示すようにバス電極を形成するためのレジストパターン20を形成する。
続いて、レジストパターン20をマスクとして、バス電極に対応する部位を除くバス電極材料膜をエッチングにより除去した後、レジスト膜を除去する。これにより、図2(c)に示すように、Cr層3a、Cu層3b、及びCr層3cからなるバス電極3が形成される。ここで、Cu層3bにおいて背面基板側に露出させる領域の大きさは、エッチング時間(エッチング量)で制御することができる。上層のCr層3cをレジストパターン20よりもオーバーエッチング(アンダーカット)するようにし、その後、通常と同様にエッチングを行うことで図2(c)に示すようにバス電極3を形成することができる。
次に、透明電極2及びバス電極3を覆うように、低軟化点ガラスを含むガラスペーストを前面ガラス基板1上に塗布し、又は低軟化点ガラスをシート化したものを前面ガラス基板1上に貼り、焼成することにより誘電体層を形成する。
この誘電体層形成工程での焼成中に、低軟化点ガラスの軟化点より低い温度において脱媒され、図2(d)に示すように、塗布したガラスペースト(もしくは貼り付けたシート)中に分散した低軟化点ガラス4Aがフリット状態になる。このとき、バス電極3中のCu層3bは酸化される。
その後、低軟化点ガラスの軟化点より高い温度となると、図2(e)に示すように、フリット状の低軟化点ガラスが溶融して流動し、誘電体層4が形成される。これにより、バス電極3が外気と遮断されるとともに、バス電極3よりCuOが誘電体層4を形成するガラス中に熱拡散する。この拡散したCuO自体が酸化剤として作用し、透明電極2のITOに含まれるSnによる還元作用を抑制してCuコロイドが析出することを抑止する。
また、前記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
本発明の実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの構成例を模式的に示す断面図である。 本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法を示す断面図である。 三電極面放電型プラズマディスプレイパネルの構成を示す分解斜視図である。 プラズマディスプレイパネルの誘電体層の変色を説明するための図である。
符号の説明
1 前面ガラス基板
2 透明電極
3 バス電極
3a バス電極(Cr層)
3b バス電極(Cu層)
3c バス電極(Cr層)
4 誘電体層
5 背面ガラス基板
6 アドレス電極
7 誘電体層
8 隔壁
9R、9G、9B 蛍光体
10 封着剤

Claims (3)

  1. ガラス基板上に誘電体層で被覆された複数の表示電極を備える前面基板と、前記前面基板に対向して配置された背面基板とが放電空間を介して封着されたプラズマディスプレイパネルであって、
    前記表示電極は、透明電極とバス電極からなり、当該バス電極は、銅で構成された第1金属層と、銅とは異なる材料で構成され当該第1金属層上に形成された第2金属層を有し、
    前記第2金属層における前記背面基板側の面の表面積が、前記第1金属層における前記背面基板側の面の表面積より小さいことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
  2. 前記第2金属層の幅が、前記第1金属層の幅よりも小さいことを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル。
  3. ガラス基板上に誘電体層で被覆された複数の表示電極を備える前面基板と、前記前面基板に対向して配置された背面基板とが放電空間を介して封着されたプラズマディスプレイパネルであって、
    前記表示電極は、透明電極とバス電極からなり、当該バス電極は、銅で構成された第1金属層と、銅とは異なる材料で構成され当該第1金属層上に形成された第2金属層を有し、
    前記第1金属層は、前記背面基板側に露出させた露出部を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
JP2007262555A 2007-10-05 2007-10-05 プラズマディスプレイパネル Pending JP2009093895A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007262555A JP2009093895A (ja) 2007-10-05 2007-10-05 プラズマディスプレイパネル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007262555A JP2009093895A (ja) 2007-10-05 2007-10-05 プラズマディスプレイパネル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009093895A true JP2009093895A (ja) 2009-04-30

Family

ID=40665685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007262555A Pending JP2009093895A (ja) 2007-10-05 2007-10-05 プラズマディスプレイパネル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009093895A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20030235649A1 (en) Plasma display unit and production method thereof
WO2002097847A1 (en) Plasma display panel and its manufacturing method
JP2005322507A (ja) プラズマディスプレイパネル
JP3870818B2 (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
JP2009093895A (ja) プラズマディスプレイパネル
JP3547461B2 (ja) プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
JP4375113B2 (ja) プラズマディスプレイパネル
US7471042B2 (en) Plasma display panel with an improved electrode
JP2002075219A (ja) プラズマディスプレイパネル
KR100726643B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법
JPH11204042A (ja) 表示パネルの電極構造とその形成方法
JP4197190B2 (ja) プラズマディスプレイパネル
JP4162692B2 (ja) プラズマディスプレイパネル
JP2005149937A (ja) プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法
JP2005116349A (ja) プラズマディスプレイ装置
JP2005135831A (ja) プラズマディスプレイパネル
WO2009087773A1 (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネル用基板構体の製造方法
US20080096362A1 (en) Plasma display panel and manufacturing method of the same
JP2008016239A (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
US20070069359A1 (en) Plasma display panel and the method of manufacturing the same
JP2009277517A (ja) プラズマディスプレイパネル
JP2009277518A (ja) プラズマディスプレイパネル
JP2005135832A (ja) プラズマディスプレイパネル
JP2006114520A (ja) プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
JP2009266810A (ja) プラズマディスプレイパネル