JP2008117945A - ウォータージェットレーザダイシング用粘着シート - Google Patents

Abstract

【課題】ウォータージェットレーザダイシングにおいて、液体流に起因する液体の透過性をより良好かつ安定化させることにより、チップまたはＩＣ部品等の剥離時における欠け等の欠陥を生じさせることなく、極めて薄い半導体ウェハまたは材料の加工が可能な接着シートを提供することを目的とする。
【解決手段】基材フィルム上に粘着剤層が積層されてなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シートであって、基材フィルムが、繊維によって形成されたメッシュからなるウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。
【選択図】なし

Description

本発明は、ウォータージェットレーザダイシング用粘着シートに関し、より詳細には、半導体ウェハおよび／または半導体関連材料を、ウォータージェットレーザによりダイシングする際に固定するために使用するウォータージェットレーザダイシング用粘着シートに関する。

従来から、半導体ウェハおよび半導体関連材料等は、回転ブレードを使って切断して、チップおよびＩＣ部品に分離されていた。このダイシング工程では、通常、半導体ウェハ等を固定するために粘着シートに接着され、ウェハ等がチップ状に切断された後、粘着シートからピックアップにより剥離される。

しかし、この方法では、ダイシングブレードによる物理的な応力によって、ダイフライが起こったり、クラッキング、チッピング等の欠陥が生じたりして、それらチップ等の品質が低下し、この切断方法の生産性をも低下させるという問題が生じていた。特に、近年における電子装置の小型化、薄膜化の需要により、より深刻な問題となっている。

そこで、ダイシングブレートを用いた半導体ウェハ等の切断技術に代わるものとして、レーザービームを使ったダイシング方法、特に、液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用して、切断、穿孔、溶接、刻印および剥離等による材料の加工方法が提案されている（例えば、特許文献１）。この方法では、ウェハ等は、上からの水流にさらされるのみであるため、回転ブレードでもたらされるような物理的な応力によるダイフライ等を防止することができる。

また、このレーザー技術を用いた切断方法では、水流を利用することに起因して、チップ等がそれらを固定する粘着シートから剥離し易いという課題があるが、それに対して、ウォータージェットレーザダイシングに好適に使用できる粘着シートが提案されている（例えば、特許文献２）。
ＷＯ９５／３２８３４号 特開２００１−３１６６４８号公報

本発明は、ウォータージェットレーザダイシングにおいて、液体流に起因する液体の透過性をより良好するとともに、基材フィルムと粘着剤層との密着力を向上させることによって、ダイシング後のピックアップにおいて、基材フィルムから粘着剤が剥がれ、被加工物に粘着剤が付着することを防止し、さらに、極めて薄い半導体ウェハまたは材料の加工が可能な接着シートを提供することを目的とする。

本発明のウォータージェットレーザダイシング用粘着シートによれば、５〜３０μｍの平均開口径の孔を有する基材フィルム上に粘着剤層が積層されて構成されることを特徴とする。
このウォータージェットレーザダイシング用粘着シートでは、基材フィルムが、メッシュフィルムであるか、繊維径１０〜２００μｍのモノフィラメント又はマルチフィラメントにより形成されてなることが好ましい。
また、粘着剤層の厚みが１〜３０μｍであることが好ましい。

本発明のウォータージェットレーザダイシング用粘着シートによれば、所定の大きさの平均開口径を有する基材フィルムを用いるため、ウォータージェットレーザダイシングにおいて、液体流に起因する液体の透過性を良好に確保することができるとともに、液体に起因するダイシング中の被加工物の粘着シートからの剥がれを防止することができる。さらに、平均開口径が比較的小さいために、基材フィルム表面のうねりが抑えられ、表面を平坦にすることができる。その結果、被加工物への密着性を向上させることができ、ダイシングにおけるの被加工物の固定を確実に行うことができる。さらに、基材フィルムと粘着材層との密着性を良好にすることができることから、ダイシング後のピックアップにおいて、基材フィルムから粘着剤が剥がれ、被加工物に粘着剤が付着することを防止することができる。

本発明のウォータージェットレーザダイシング用粘着シートは、主として、基材フィルムと、その上に配置される接着剤層とからなる。ここで、ウォータージェットレーザダイシング用粘着シートとは、液体流（通常、水流）によって案内されるレーザビームを使用したダイシングに用いられ、かつダイシング時におけるこの液体流、例えば、所定圧力以上の液体流を、接着剤層側から粘着シートに直接又は間接に付与した場合の液体を、粘着シートの一表面側から他表面側に逃がすことが可能な粘着シートを指す。この際の所定圧力は、通常、数ＭＰａ程度以上とすることができる。

基材フィルムとしては、合成樹脂、例えば、ポリエチレンおよびポリプロピレンなどのポリオレフィン（具体的には、低密度ポリエチレン、直鎖低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、延伸ポリプロピレン、非延伸ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体等）、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタン、ＥＶＡ、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、アセタール樹脂、ポリスチレン、ポリスルホン、ポリカーボネート、ナイロン、フッ素樹脂、スチレン−ブタジエン共重合体等のゴム成分含有ポリマーなどのフィルム；ＰＰ、ＰＶＣ、ＰＥ、ＰＵ、ＰＳ、ＰＯまたはＰＥＴなどのポリマー繊維、レーヨンまたは酢酸セルロースなどの合成繊維、綿、絹または羊毛などの天然繊維およびガラス繊維または炭素繊維などの無機繊維からなる不織布及び織布（つまり、メッシュフィルム）等が挙げられる。なかでも、ポリオレフィンから形成されるか、ポリオレフィンからなる層を含むことが好ましい。これにより、レーザーダイシングに対する適切な強度と、エキスパンド性との双方の特性を確保することができる。これらは単一層又は２層以上の多層構造としてもよい。また、これらの繊維は、モノフィラメント又はマルチフィラメントのいずれであってもよい。後述する基材フィルムの平均開口径を均一にするためには、モノフィラメントであることが好ましい。

基材フィルムは、孔を有している。この孔は、厚み方向に貫通した孔であることが好ましいが、複数の孔が連なることにより結果的に厚み方向に繋がる孔であってもよい。特に、基材フィルムの孔は、基材フィルムがメッシュ構造で構成されている場合の開口であることが好ましい。基材フィルムの空隙率は、３０％程度以下であることが好ましく、その平均開口径は、５〜３０μｍ程度が好ましい。ここで、平均開口径とは、孔が略円形の場合にはその直径、孔が多角形等の場合にはその一辺の長さを意味する。また、別の観点から、孔の大きさは、例えば、１０μｍ²〜３．０ｍｍ²程度、好ましくは、２５μｍ²程度以上、１００μｍ²程度以上、１０００μｍ²程度以上、０．１ｍｍ²程度以上、さらに、３．０ｍｍ²程度以下、２．０ｍｍ²程度以下、１．１ｍｍ²程度以下、９００μｍ²程度以下が適当である。空隙率／メッシュの平均開口径が大きすぎる場合、粘着剤との接触面積が少なくなり、基材フィルムと粘着剤との十分な密着性が確保できず、また、粘着剤が空隙／メッシュ開口に埋り込むため、粘着剤表面の平滑性を確保できない場合がある。これにより、粘着シートと被加工物との界面に空隙などが発生し、レーザー加工時の寸法精度が悪くなったり、被加工物の種類によっては（ガラス、シリコンウェエハ等）、ダイシング時に「欠け」が発生することとなる。一方、空隙率／メッシュの平均開口径が小さすぎる場合、粘着シートの粘着剤層の表面粗さは均一状態を確保できるが、粘着剤が空隙／メッシュ開口にほとんど埋り込まなくなり、アンカー効果（くさび効果）が低減し、やはり密着力が低下する。また、ウォータージェットレーザーダイシング時に使用する水が、基材フィルムを透過しにくくなり、被加工物が飛散するなどの問題が生じることとなる。

基材フィルムをメッシュ構造とするために、例えば、繊維径は、直径が１０〜１５０μｍ程度であることが好ましく、液体の透過性の観点から、２５〜８０μｍ程度がより好ましい。
基材フィルムの厚さは、シートの破損または半導体ウェハ等の加工中の切断を防止するとともに、製造コストを抑えるという観点から、１０〜４００μｍが好ましく、さらに３０〜２５０μｍが好ましい。

なお、メッシュフィルムは、コロナ放電処理、火炎処理、プラズマ処理、スパッタエッチング処理または下塗り（例えば、プライマー）、フッ素処理などの表面処理、薬液による脱脂処理等が施されていてもよい。粘着剤との密着性を高めるためである。なかでも、下塗り処理が施されていることが好ましい。

本発明の基材フィルムは、破断伸度が１００％を超えることが好ましく、より好ましくは、１５０％である。基材フィルムが伸びることにより、ダイシング工程後において、接着シートからチップ等を容易にピックアップすることが可能になるからである。
さらに、基材フィルムは、引張強度が０．１Ｎ／２０ｍｍを超えることが好ましく、さらに０．３Ｎ／２０ｍｍより高いことが好ましい。粘着シート自体の破損および／または切断を回避するためである。

破断伸度及び引張強度は、例えば、長さ５．０ｃｍ、幅２０ｍｍの試料を使用して引張り試験機によって測定することができる。試験を行なう際の引張速度は、室温にて、３００ｍｍ／分である（ＡＳＴＭ Ｄ１０００に準拠）。破断伸度は、以下のように算出することができる。

破断伸度＝（破断時の長さ−元の長さ）／（元の長さ）×１００％
引張強度は、破断時の測定値である。
接着剤層は、基材フィルムの一面に塗布された接着剤層によって構成されている。この接着剤は、感圧型、感熱型、感光型のいずれの型でもよいが、エネルギー線の照射によって硬化するタイプの接着剤であることが適している。これにより、被加工物からの剥離性を容易に行うことができる。エネルギー線としては、例えば、紫外線、可視光線、赤外線等、種々の波長のものを利用することができるが、ダイシングに用いるレーザビームが、４００ｎｍ以下の発振波長、例えば、発振波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー、３０８ｎｍのＸｅＣＩエキシマレーザー、ＹＡＧレーザーの第三高調波（３５５ｎｍ）、第四高調波（２６６ｎｍ）、あるいは４００ｎｍ以上の発振波長、例えば、多光子吸収過程を経由した紫外線領域の光吸収が可能で、かつ多光子吸収アブレーションにより２０μｍ以下の幅の切断加工などが可能である波長７５０〜８００ｎｍ付近のチタンサファイヤレーザー等でパルス幅が１ｅ^-9秒（０．００００００００１秒）以下のレーザーなどであることから、用いるダイシング装置のレーザービームの照射によって硬化しない接着剤を用いることが好ましい。

粘着剤層の形成材料としては、ゴム系ポリマー、（メタ）アクリル系ポリマー等を含む公知の粘着剤を用いることができ、特に、（メタ）アクリル系ポリマーが好ましい。これにより、感光型接着剤とする場合でも、エネルギー線硬化用の特別なモノマー／オリゴマー成分等を加えなくても硬化が可能になる。

ゴム系ポリマーとしては、例えば、天然ゴム（例えば、ポリイソプレン等）、合成ゴム（例えば、スチレン−ブタジエンゴム、ポリブタジエン系、ブタジエン-アクリロニトリル系、クロロプレン系ゴム等）のいずれであってもよい。

（メタ）アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プルピル基、イソプルピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、シクロヘキシル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、及びドデシル基などの炭素数３０以下、好ましくは炭素数４〜１８の直鎖又は分岐のアルキル基を有するアルキルアクリレート又はアルキルメタクリレートが挙げられる。これらアルキル（メタ）アクリレートは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

上記以外のモノマー成分としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸、及びクロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー、無水マレイン酸や無水イタコン酸などの酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル及び（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート及び（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー、（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸Ｎ−ヒドロキシメチルアミド、（メタ）アクリル酸アルキルアミノアルキルエステル（例えば、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート等）、Ｎ−ビニルピロリドン、アクリロイルモルフオリン、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル等が挙げられる。これらモノマー成分は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

また、（メタ）アクリル系ポリマーの架橋を目的に、任意に、多官能モノマーを用いてもよい。多官能モノマーとしては、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、及びウレタン（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これら多官能モノマーは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。多官能モノマーの使用量は、粘着特性等の観点より、全モノマー成分の３０重量％以下であることが好ましく、さらに２０重量％以下が好ましい。

さらに、炭素−炭素二重結合等のエネルギー線硬化性の官能基を有するモノマー及び／又はオリゴマーを使用することが好ましい。
モノマー／オリゴマーとしては、例えば、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及び１，４−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらの配合量は、特に制限されるものではないが、粘着性を考慮すると、粘着剤を構成する(メタ）アクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、５〜５００重量部程度であることが好ましく、さらに７０〜１５０重量部程度であることが好ましい。

また、感光型接着剤を構成する場合には、光重合開始剤を用いることが好ましい。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシーα，α−メチルアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシー２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−１などのアセトフェノン系化合物、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニゾインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合物、２−メチル−２−ヒドロキシプロピルフェノンなどのα−ケトール系化合物、ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物、２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物、１−フェノン−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなどの光活性オキシム系化合物、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３'−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物、チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系化合物、カンファーキノン、ハロゲン化ケトン、アシルホスフィノキシド及びアシルホスフォナートなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するベースポリマー１００重量部に対して、０．１〜１０重量部程度であることが好ましく、さらに好ましくは０．５〜５重量部程度である。

さらに、ベースポリマーの重量平均分子量を高めるため、任意に、架橋剤を加えてもよい。架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、無水化合物、ポリアミン、カルボキシル基含有ポリマーなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。架橋剤を使用する場合、その使用量は引き剥がし粘着力が下がり過ぎないことを考慮し、一般的には、ベースポリマー１００重量部に対して、０．０１〜５重量部程度であることが好ましい。

また、任意に、上記成分のほかに、従来公知の粘着付与剤、老化防止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤等の添加剤を含有させることができる。
アクリル系ポリマーの調製は、例えば、１種又は２種以上のモノマーまたはそれらの混合物に、溶液重合法、乳化重合法、現状重合法、懸濁重合法等の公知の方法を適用して行うことができる。なかでも、溶液重合法が好ましい。ここで用いる溶媒は、例えば、酢酸エチル、トルエン等の極性溶剤が挙げられる。溶液濃度は、通常２０〜８０重量％程度である。

ポリマーの調製においては、重合開始剤を用いてもよい。重合開始剤としては、過酸化水素、過酸化ベンゾイル、ｔ−ブチルパーオキサイドなどの過酸化物系が挙げられる。単独で用いるのが望ましいが、還元剤と組み合わせてレドックス系重合開始剤として使用してもよい。還元剤としては、例えば、亜硫酸塩、亜硫酸水素塩、鉄、銅、コバルト塩などのイオン化の塩、トリエタノールアミン等のアミン類、アルドース、ケトース等の還元糖などが挙げられる。また、２，２'−アゾビス−２−メチルプロピオアミジン酸塩、２，２'−アゾビス−２，４−ジメチルバレロニトリル、２，２'−アゾビス−Ｎ，Ｎ'−ジメチレンイソブチルアミジン酸塩、２，２'−アゾビスイソブチロニトリル、２，２'−アゾビス−２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド等のアゾ化合物を使用してもよい。これらは、単独で用いてもよいし、２種以上併用して使用してもよい。

反応温度は、通常５０〜８５℃程度、反応時間は１〜８時間程度である。
特に、アクリル系ポリマーは、被加工物への汚染防止等の観点から、低分子量物質の含有量が少ないものが好ましく、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、３０万以上、さらに８０〜３００万程度が好ましい。

粘着剤層の厚さは、被加工物から剥離しない範囲において適宜調整することができるが、十分な接着強さを確保することができるとともに、半導体ウェハ等をシートから取り外した後に、そのウェハ等の裏面に望ましくない接着剤残渣が残存することを防止し、また、接着層の切断によって水を容易に通過させることができるという観点から、１〜３０μｍ程度、１〜２０μｍ程度、３〜３０μｍ程度、３〜２０μｍ程度がより好ましい。これにより、ダイシング時においてレーザビームの照射又は液体流に起因する振動による接着剤層の共鳴を最小限にとどめ、振幅幅を抑えることができ、チップのクラッキング、チッピング等を防止することができる。また、ダイシング時の被加工物の固定を確実に行うことができる。

なお、接着剤層は、後述するように、基材フィルムと同様に、穿孔を含んでいることが好ましい。穿孔は、基材フィルムについて後述する方法のいずれによっても形成することができ、基材フィルムの穿孔と同時に形成することにより、基材フィルムと接着剤層との穿孔が略一致していることが好ましい。

本発明の粘着シートは、当技術分野で公知のシートの製造方法によって形成することができる。例えば、まず、基材フィルムを準備する。次いで、接着剤を基材フィルムに積層する。この場合、直接基材フィルムにコーティングしてもよいし、あるいは、接着剤を剥離剤が塗布されたプロセス材料にコーティングし、乾燥した後、その接着剤を基材フィルムに積層するトランスファーコーティング法を利用して積層してもよいし、基材フィルム上に接着剤を圧延積層してもよい。これらのコーティングは、例えば、リバースロールコーティング、グラビアコーティング、カーテンスプレーコーティング、ダイコーティング、押出および他の工業的に応用されるコーティング法など、種々の方法を利用することができる。なお、準備した基材フィルムは、基材フィルムの状態で穿孔を有していてもよいし、基材フィルムに接着剤をコーティングした後に形成してもよい。

本発明の粘着シートは、例えば、算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下であることが好ましく、０．８μｍ以下、０．６μｍ以下がより好ましい。これにより、基材フィルムと接着剤層との密着性、接着剤層と被加工物との密着性を確保することができる。

本発明の粘着シートにおいては、１．５Ｎ／２０ｍｍ以上、より好ましくは３Ｎ／２０ｍｍ以上の接着強さを有することが好ましい。さらに、１０Ｎ／２０ｍｍ未満、８Ｎ／２０ｍｍ未満であることがより好ましい。つまり、ダイシング技術のウォータージェットレーザを用いた技術への変遷に伴って、ダイシング用粘着シートの粘着力に対する臨界的意義が変化しており、その結果、より弱い接着力によっても、ダイシング時におけるウェハ等の良好な接着を確保することができるとともに、粘着シートからチップまたは部品が剥離することを防止することができる。加えて、初期接着力の低減によって、ピックアップ時におけるチップまたはＩＣ部品等の欠け等の欠陥を低下させることができる。特に、感光型接着剤の場合には、エネルギー線照射後の接着剤の接着力を、有効に、かつ迅速、簡便に低減させることができる。なお、エネルギー線照射後の接着強さは、０．２Ｎ／２０ｍｍ未満、さらに０．１８Ｎ／２０ｍｍ未満であることが好ましい。
ここで、接着強さは、測定温度が２３±３℃、剥離角度が１８０°、剥離速度が３００ｍｍ／分（ＡＳＴＭ Ｄ１０００に準拠）の条件下に、Ｓｉミラーウェハ上で測定した場合の値である。

本発明のウォータージェットレーザダイシング用粘着シートの実施例を以下に詳しく説明する。
（粘着剤層の形成）
アクリル酸メチル６０重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル３５重量部、アクリル酸５重量部を酢酸エチル中で常法により共重合させた。これにより、重量平均分子量７０万のアクリル系共重合体を含有する溶液を得た。

次に、アクリル系共重合体を含有する溶液に、ペンタエリスリトールトリアクリレートとジイソシアネートとを反応させて得た紫外線硬化性オリゴマー（２５℃での粘度１０Ｐａ・ｓｅｃ）１００重量部、光重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）３重量部及びポリイソシアネート化合物（商品名「コロネートＬ」、日本ポリウレタン社製）２重量部を加えて、アクリル系の紫外線硬化型粘着剤溶液を得た。

実施例及び比較例
線径２０μｍのポリエチレンテレフタレートからなるメッシュの平均開口径が３μｍ、５μｍ、３０μｍ□（空隙率３０％）、５０μｍ□（空隙率５５％）、１００μｍ□（空隙率８５％）、平均厚さがそれぞれ４５μｍのメッシュフィルムを基材とし、上記で製造した粘着剤を、厚さ５μｍ、１５μｍ、３０μｍ、５０μｍとなるようにそれぞれ塗布し、レーザー加工用粘着シートを作製した。

（算術平均粗さＲａの測定）
実施例及び比較例で作製された粘着シートの算術平均粗さＲａを測定した。
テンコール製の段差・表面粗さ微形状測定装置 Ｐ−１５を用いて、得られたレーザ加工用粘着シートの粘着剤層表面について、図１に示すように、レーザ加工用粘着シート１０の幅方向（例えば、幅Ｅ＝１４００ｍｍ）に３箇所（Ｘ、Ｙ、Ｚ）、長さ方向について、間隔Ｄ（例えば、１０ｍ）で１０箇所、計３０箇所を測定した平均粗さを算術平均粗さＲａとした。各箇所の測定距離は粘着剤層側表面を長さ５０ｍｍに渡って測定した。

（基材フィルムと粘着剤層との密着力）
図２に示すように、ＳＵＳ板をテープ保持用板１１とし、日東電工社製の両面テープ１２（NO.500）を介して、粘着シート１０を固定した。

日東電工社製ＢＴ−３１５テープ１４を粘着シート１０の粘着剤層１３側に貼り合せ、ＪＩＳ Ｂ７７２１で規定されている引張試験機を用いて剥離角度180°、引き剥がし速度３００ｍｍ／分の速度で、日東電工社製ＢＴ−３１５テープ１４を、矢印方向に引き剥がしたときの値を「密着力」とした。
密着力測定の際に、粘着剤層と基材フィルムとの間で、粘着剤層が剥がれなかった場合、これらの密着力は、得られた値以上であるとした。

（評価）
実施例及び比較例で得られた粘着シートを用いてシリコンウエハをダイシングし、加工の際の水の透過性、加工精度（チップ飛散およびチップ欠けの発生）を測定し、総合的な評価を行った。ダイシング条件は以下の通りとした。

レーザー波長：１０６４ｎｍ
ダイシング速度：５０ｍｍ／ｓ
レーザー直径：５０μｍ
水ジェット圧：４０ＭＰａ
チップサイズ：１ｍｍ×１ｍｍ
ウェハサイズ：１３．７ｃｍ（５インチ）
ウェハ厚さ：１５０μｍ
なお、水透過性の測定は、水が透過しない場合を×、一部透過した場合を△、水が透過する場合を○として表わした。

加工精度は、チップ飛散およびチップ欠けがいずれも５０％以上発生した場合を×、５０％未満で発生した場合を△、チップ飛散およびチップ欠けのいずれも発生しない場合を○として表わした。
総合評価は、水透過性及び加工精度等に基づいて行ったが、ピックアップ不良が発生したものには＊を付した。

表１から明らかなように、空隙率／メッシュの平均開口径が大きすぎる場合には、粘着剤との接触面積が少なくなり、基材フィルムと粘着剤との十分な密着性が確保できず、また、粘着剤が空隙／メッシュ開口に埋り込むため、粘着剤表面の平滑性を確保できないことが確認された。また、これに起因して、粘着シートと被加工物との界面に空隙などが発生し、レーザーの加工精度が悪くなったり、ダイシング時に欠けが発生する。

空隙率／メッシュの平均開口径が小さすぎる場合には、粘着シートの粘着剤層の表面粗さは均一状態を確保できるが、粘着剤が空隙／メッシュ開口にほとんど埋り込まないくなり、アンカー効果（くさび効果）が低減し、やはり密着力が低下することがわかった。また、ウォータージェットレーザーダイシング時に使用する水が、基材フィルムを透過しにくくなり、被加工物が飛散するなどの問題が生じた。

一方、基材フィルムが所定範囲内の平均開口径を有する場合には、表面粗さ及び密着性ともに良好であり、チップの飛散及びチップ欠けの発生の双方とも抑えることができた。特に、水流に起因する水が容易に粘着シートを抜けるにもかかわらず、接着剤とチップとの間の密着性を十分確保することができ、チップ飛散が発生しにくいことが確認された、

本発明のウォータージェットレーザダイシング用粘着シートは、液体流によって案内されるレーザービームによってダイシング加工することができる対象、すなわち、半導体関連材料（例えば、半導体ウェハ、ＢＧＡパッケージ、プリント回路、セラミック板、液晶装置用のガラス部品、シート材料、回路基板、ガラス基板、セラミック基板、金属基板、半導体レーザーの発光／受光素子基板、ＭＥＭＳ基板又は半導体パッケージ等）等のみならず、あらゆる種類の材料に対して、広範囲に利用することができる。

本発明のレーザ加工用粘着シートの概略平面図である。 本発明のレーザ加工用粘着シートにおける基材フィルムと粘着剤層との密着力を測定する方法を説明するための図である。

符号の説明

１０ レーザ加工用粘着シート
１１ テープ保持用板
１２ 両面テープ
１３ 粘着剤層
１４ テープ

Claims (4)

1. ５〜３０μｍの平均開口径の孔を有する基材フィルム上に粘着剤層が積層されて構成されることを特徴とするウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。
2. 基材フィルムがメッシュフィルムである請求項１に記載のウォータージェットレーザダイシング用粘着シート。
3. 基材フィルムが、繊維径１０〜２００μｍのモノフィラメント又はマルチフィラメントにより形成されてなる請求項１〜３のいずれか１つに記載のウォータージェットレーザーダイシング用粘着シート。
4. 粘着剤層の厚みが１〜３０μｍである請求項１又は２に記載のウォータージェットレーザーダイシング用粘着シート。

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