JP2008170867A - 液浸対物レンズを備えた観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ1の観察位置に載置された被観察物12を、被観察物12の下方に配置された液浸対物レンズ2を介して観察する観察装置において、液浸対物レンズ2とは相対的に移動可能に構成され、ステージ1の観察位置から離れた位置において液浸対物レンズ2の上方から液浸対物レンズ2の先端レンズ面2aに注液する注液手段8と、注液手段8の注液位置と液浸対物レンズ2との相対的位置を自動的に位置合わせすると共に注液手段8により注液された液浸対物レンズ2とステージ1における所望の観察位置との相対的位置を自動的に位置合わせする位置制御手段10とを有する。
【選択図】図1
Description
図6の構成では、液浸対物レンズに液体を注入する注液手段としての供給器51が、液浸対物レンズ52に固定されるとともに、供給器51の先端に設けられた供給管51aが、液浸対物レンズ52の側方から液浸対物レンズ52の先端レンズ52aの近傍に延びている。そして、供給管51aを経由して液浸対物レンズ52の先端レンズ52aと試料支持具53に支持されている試料54との間に自動的に注液することができるようになっている。
また、図6の構成では、排出手段としてのトラフ状の吸収手段55が、液浸対物レンズ52の周囲に設けられるとともに、吸収手段55には排出用の管56が接続されている。そして、液浸対物レンズ52の先端レンズ52aから溢れた液体を吸収手段55に溜め、溜まった液体を排出用の管56を介して排出することができるようになっている。
(ステップ1)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置を前記液浸対物レンズの光軸から退避させるステップ。
(ステップ2)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ及び前記注液手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置が前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面近傍に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ3)前記注液手段を介して、前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面に所定量の液体を注液するステップ。
(ステップ4)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ及び前記注液手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置を前記液浸対物レンズの先端レンズ面近傍から退避させるステップ。
(ステップ5)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物が前記液浸対物レンズの光軸上に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ6)前記液浸対物レンズを前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物に対して光軸方向に移動させて、該被観察物に照準するステップ。
(ステップ7)照準された前記被観察物の像を撮像するステップ。
(ステップ1)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置を前記液浸対物レンズの光軸から退避させるステップ。
(ステップ2)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ、前記注液手段及び前記吸引手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置が前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面近傍に位置するように位置合わせするとともに、前記吸引手段の吸引位置が前記液体対物レンズの前記液体受け部に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ3)前記注液手段を介して、前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面に所定量の液体を注液するとともに、前記吸引手段を介して、前記液体対物レンズの前記液体受け部に溜まった液体を吸い上げるステップ。
(ステップ4)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ、前記注液手段及び前記吸引手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置を前記液浸対物レンズの先端レンズ面近傍から退避させるとともに、前記吸引手段の吸引位置を前記液体対物レンズの前記液体受け部から退避させるステップ。
(ステップ5)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物が前記液浸対物レンズの光軸上に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ6)前記液浸対物レンズを前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物に対して光軸方向に移動させて、該被観察物に照準するステップ。
(ステップ7)照準された前記被観察物の像を撮像するステップ。
図1は本発明の第1実施形態にかかる液浸対物レンズを備えた観察装置である倒立型顕微鏡の全体構成を示す概念図、図2は図1の要部構成を示す拡大図である。図7は本発明の比較例にかかる特許文献1に記載の構成を採用した液浸対物レンズを備えた倒立型顕微鏡の全体構成を示す概念図、図8は図7の要部構成を示す拡大図である。図9は図1及び図7で示した倒立型顕微鏡に用いられている試料容器の外観を示す説明図である。
図1に示す第1実施形態及び図7に示す比較例の液浸対物レンズを備えた倒立型顕微鏡は、いずれも、観察位置に被観察物を載置するステージ1と、ステージ1の下方に配置された液浸対物レンズ2と、被観察物に所定波長(例えば、励起波長)の光を照射する照明手段3と、照明された被観察物からの所望の観察光を受光する観察手段4と、観察手段4で受光された観察光を処理する処理手段(データ処理装置)5と、処理手段5で処理された情報に基いて画像を形成する画像形成手段(画像形成装置)6と、画像形成手段6で形成された画像を表示する画像表示手段(表示装置)7と、液浸対物レンズ2に注液する注液手段8と、液浸対物レンズ2に注液された液体を排出する排出手段9と、所定の制御を行う制御手段10を備えている。
照明手段3は、夫々異なる励起波長を出射する照明光源3a,3b及び励起フィルタ3c,3dと、光路合成部材3eと、照明レンズ3fと、ダイクロイックミラー3gと、液浸対物レンズ2を有して構成されている。
観察手段4は、液浸対物レンズ2と、ダイクロイックミラー3gと、バンドパスフィルタ4aと、結像レンズ4bと、共焦点アパーチャ4cと、受光素子4dを有して構成されている。受光素子4dは、例えば、フォトダイオード、フォトマルチプライア、CCDなどを用いることができる。
なお、照明手段3は、被観察物に所定波長(例えば、励起波長)の光を液浸対物レンズ2を経由して照射することができれば、どのような構成でも適用可能である。
また、観察手段4は、照明された被観察物からの所望の観察光を液浸対物レンズ2を経由して受光することができれば、どのような構成でも適用可能である。
さらに、図1に示す第1実施形態及び図7に示す比較例の倒立型顕微鏡は、照明手段3、観察手段4、処理手段5、画像形成手段6、画像表示手段7を有して構成されているが、液浸対物レンズ2を備えた倒立型顕微鏡としての機能を備えていれば、どのような構成でも適用可能である。
注液手段8は、試料12と液浸対物レンズ2との間の媒質として注液対象となる液体を入れた容器8aと、容器8aに入っている液体を注液方向に送り出すポンプ8bと、液体の温度を制御する温度制御装置8cと、注液される液体が通る注液管8dを有している。なお、注液手段8は、温度制御装置8cを有しない構成でも良い。
排出手段9は、液浸対物レンズ2の液体受け部2bに溜められた液体を排出方向に送り出すポンプ9aと、排出された液体を溜める容器9bと、排出される液体が通る排出管9cを有している。
制御手段10は、データ処理装置5と、ポンプ8bと、温度制御装置8cと、ポンプ9aと接続されている。そして、データ処理装置5に対しては受光素子4dで受光した観察情報に対する所定処理を行うための制御信号を、ポンプ8bに対しては容器8aに入っている液体を所定量吸い上げるための所定の制御信号を、温度制御装置8cに対しては液体の温度を所定の温度に調整するための制御信号を、ポンプ9aに対しては液体を所定量排出するための制御信号をそれぞれ送信するように構成されている。
まず、図7に示す比較例の倒立型顕微鏡は、図8に拡大して示すように、注液手段8における注液部としての注液管8dの先端部8d’が、液浸対物レンズ2の液体受け部2bに固定されるとともに、液浸対物レンズ2の側方から液浸対物レンズ2の先端レンズ面2aの近傍に向けて径が小さく延びたノズル状に形成されていて、ノズルの先端より先端レンズ面2aの側方から注液するように構成されている。
また、排出手段9の排出管9cの先端部9c’は、液浸対物レンズ2の液体受け部2bの排出口2b’に固定されていて、液浸対物レンズ2の液体受け部2bに溜まった液体が排出口2b’を経由して排出管9cの先端部9c’を流れて排出されるように構成されている。
清掃部材13は、例えば、不織布など、先端レンズ面2aに摺接したときに先端レンズ面2aを傷つけずに先端レンズ面2aに付着した汚れ等を除去することができる程度の所定の弾性を持った部材を用いて構成されている。
さらに、注液手段8の注液管8dの先端部8d’を、ステージ1とは別体の支持部材(図示省略)に固定し、ステージ1とは相対的に移動するように構成する場合には、注液管8dの先端部8d’を水平方向、又は垂直方向に移動させてもよい。
このようにすれば、液浸対物レンズ2への注液と液浸対物レンズ2からこぼれた液体の排出とを同時に行うことができ、作動効率が良い。
なお、注液管8の先端部8d’の注液位置の位置合わせと排出管9bの先端部9b’の挿入位置の位置合わせを別個に行うように構成してもよい。
また、図1に示した第1実施形態の倒立型顕微鏡において、液浸対物レンズ2は交換可能でも、支持部材(図示省略)に交換不能に固定された構成のいずれでもよい。交換不能な液浸対物レンズを備えた倒立型顕微鏡に第1実施形態の構成を適用しても、上述した注水手段8や排出手段9との干渉を防いで高精度な観察を行うことができるという効果が得られる。
(ステップ1)制御手段10を介して、ステージ1又は液浸対物レンズ2を所定方向に移動させて、ステージ1の観察位置を液浸対物レンズ2の光軸から退避させるステップ。
(ステップ2)制御手段10を介して、ステージ1、液浸対物レンズ2及び注液手段8の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、注液手段8の注液位置が液浸対物レンズ2の先端レンズ面2a近傍に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ3)注液手段8を介して、液浸対物レンズ2の先端レンズ面2aに所定量の液体を注液するステップ。
(ステップ4)制御手段10を介して、ステージ1、液浸対物レンズ2及び注液手段8の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、注液手段8の注液位置を液浸対物レンズ2の先端レンズ面2a近傍から退避させるステップ。
(ステップ5)制御手段10を介して、ステージ1又は液浸対物レンズ2を所定方向に移動させて、ステージ1の観察位置に載置されている所望の被観察物が液浸対物レンズ2の光軸上に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ6)液浸対物レンズ2をステージ1の観察位置に載置されている所望の被観察物に対して光軸方向に移動させて、被観察物に照準するステップ。
(ステップ7)照準された被観察物の像を撮像するステップ。
(ステップ1)制御手段10を介して、ステージ1又は液浸対物レンズ2を所定方向に移動させて、ステージ1の観察位置を液浸対物レンズ2の光軸から退避させるステップ。
(ステップ2’)制御手段10を介して、ステージ1、液浸対物レンズ2、注液手段8及び吸引手段としての排出手段9の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、注液手段8の注液位置が液浸対物レンズ2の先端レンズ面2a近傍に位置するように位置合わせするとともに、吸引手段としての排出手段9の吸引位置が液体対物レンズ2の液体受け部2bに位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ3’)注液手段8を介して、液浸対物レンズ2の先端レンズ面2aに所定量の液体を注液するとともに、吸引手段としての排出手段9を介して、液体対物レンズ2の液体受け部2bに溜まった液体を吸い上げるステップ。
(ステップ4’)制御手段10を介して、ステージ1、液浸対物レンズ2、注液手段8及び吸引手段としての排出手段9の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、注液手段8の注液位置を液浸対物レンズ2の先端レンズ面2a近傍から退避させるとともに、吸引手段としての排出手段9の吸引位置を液体対物レンズ2の液体受け部2bから退避させるステップ。
(ステップ5)制御手段10を介して、ステージ1又は液浸対物レンズ2を所定方向に移動させて、ステージ1の観察位置に載置されている所望の被観察物が液浸対物レンズ2の光軸上に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ6)液浸対物レンズ2をステージ1の観察位置に載置されている所望の被観察物に対して光軸方向に移動させて、被観察物に照準するステップ。
(ステップ7)照準された被観察物の像を撮像するステップ。
このようにすれば、液浸対物レンズの清掃も操作負担なく且つ効率的に行うことができる。
図3は本発明の第2実施形態にかかる液浸対物レンズを備えた観察装置である倒立型顕微鏡の要部を示す説明図である。なお、第2実施形態の倒立型顕微鏡では、図1に示した第1実施形態の倒立型顕微鏡と同じ構成の部材は同じ符号で示してある。
第2実施形態の倒立型顕微鏡は、レボルバ14を有しており、複数の液浸対物レンズ2が、レボルバ14に切り換え可能に備えられている。
また、第2実施形態の倒立型顕微鏡では、管状部材15aが、第1実施形態の倒立型顕微鏡における注液手段8の注液管8dと排出手段9の排出管9cとを兼ねている。
また、管状部材15aは、ポンプ15bと、容器15cとともに注液・排水手段15を構成している。ポンプ15bは、図示省略した制御手段(図1における制御手段10に相当)に接続されていて、制御手段からの制御信号に応じて、容器15cに入っている液体を注液方向に送り出し、或いは、液浸対物レンズ2の液体受け部2bに溜められた液体を排出方向に送り出すように駆動するようになっている。
ステージ1は、観察位置に位置する液浸対物レンズ2の光軸に対して垂直な平面上をX−Y方向に移動可能に構成されている。また、レボルバ14は、顕微鏡本体に固定された支持部に対して垂直方向(即ち、光軸に沿うZ方向)に移動可能に構成されている。
そして、制御手段を介して、ステージ1のX−Y方向への移動量及びレボルバ14のZ方向への移動量を制御することによって、管状部材15aの先端部15a’が、液浸対物レンズ2とは相対的に移動可能するとともに、ステージ1の観察位置から離れた位置において液浸対物レンズ2の上方から液浸対物レンズ2の先端レンズ面2aに注液し、液浸対物レンズ2の液体受け部2aに溜まった液体面に対して垂直に挿入して、液体受け部2aに溜まった液体を吸い上げることが出来るようになっている。
その他の構成は、図1に示した第1実施形態の倒立型顕微鏡とほぼ同じである。
その他の作用効果は、第1実施形態の倒立型顕微鏡とほぼ同じである。
図4は本発明の第3実施形態にかかる液浸対物レンズを備えた観察装置である倒立型顕微鏡の要部を示す説明図である。図5は図4に示す倒立顕微鏡における要部の変形例を示す説明図である。なお、第3実施形態の倒立型顕微鏡では、図1に示した第1実施形態の倒立型顕微鏡と同じ構成の部材は同じ符号で示してある。
第3実施形態の倒立型顕微鏡では、排出管9は、図4に示すように、ステージ1の下端部1aの中を通るようにして設けられている。また、排出管9cは、長手方向に水平に延び且つ先端部9c’を曲げ、排出管9cの長手方向がギア(図示省略)を有し、ギアを有する交差軸16と歯合している。そして、交差軸16を駆動することにより、排出管9cが長手方向を回転軸として回転し、先端部9c’が液体受け部2bに溜まった液体面に対して垂直に挿入される向きと、液体受け部2bに溜まった液体面から外れる向きとに変位するように構成されている。
交差軸16は、図示省略した制御手段(図1における制御手段10に相当)に接続されていて、先端部9c’が液体受け部2bに溜まった液体面に対して垂直に挿入される向きと、液体受け部2bに溜まった液体面から外れる向きとに変位する向きになるように、回転量及び回転方向が制御されるようになっている。
そして、図示省略した制御手段(図1における制御手段10に相当)を介して、ステージ1のX−Y方向への移動量及びレボルバ14のZ方向への移動量を制御することによって、注液管8dの先端部8d’が、液浸対物レンズ2とは相対的に移動可能するとともに、ステージ1の観察位置から離れた位置において液浸対物レンズ2の上方から液浸対物レンズ2の先端レンズ面2aに注液する。また、図示省略した制御手段(図1における制御手段10に相当)を介して、ステージ1のX−Y方向への移動量及びレボルバ14のZ方向への移動量及び交差軸16の回転量及び回転方向を制御することによって、排出管9cの先端部9c’が、液浸対物レンズ2の液体受け部2aに溜まった液体面に対して垂直に挿入して、液体受け部2aに溜まった液体を吸い上げることが出来るようになっている。
その他の構成及び作用効果は、第1実施形態の倒立型顕微鏡とほぼ同じである。
1a 下端部
1a’ 開口
2 液浸対物レンズ
2a 先端レンズ面
2b 液体受け部
2b’ 排出口
3 照明手段
3a,3b 照明光源
3c,3d 励起フィルタ
3e 光路合成部材
3f 照明レンズ
3g ダイクロイックミラー
4 観察手段
4a バンドパスフィルタ
4b 結像レンズ
4c 共焦点アパーチャ
4d 受光素子
5 処理手段(データ処理装置)
6 画像形成手段(画像形成装置)
7 画像表示手段(画像表示装置)
8 注液手段
8a 容器
8b ポンプ
8c 温度制御装置
8d 注液管
8d’ 注液管の先端部
9 排出手段
9a ポンプ
9b 容器
9c 排出管
9c’ 排出管の先端部
10 制御手段
11 プレート
11a ウェル
12 試料
13 清掃部材
14 レボルバ
15 注液・排水手段
15a 管状部材
15b ポンプ
15c 容器
16 交差軸
16’ 軸
Claims (26)
- ステージの観察位置に載置された被観察物を、該被観察物の下方に配置された液浸対物レンズを介して観察する、液浸対物レンズを備えた観察装置において、
前記液浸対物レンズとは相対的に移動可能に構成されていて、前記ステージの観察位置から離れた位置において前記液浸対物レンズの上方から該液浸対物レンズの先端レンズ面に注液する注液手段と、
前記注液手段の注液位置と前記液浸対物レンズとの相対的位置を自動的に位置合わせするとともに、前記注液手段により注液された前記液浸対物レンズと前記ステージにおける所望の観察位置との相対的位置を自動的に位置合わせする、位置制御手段とを有することを特徴とする液浸対物レンズを備えた観察装置。 - 前記注液手段は、注液位置に位置する前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面に対して垂直に注液する注液部を有していることを特徴とする請求項1に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記注液手段は、前記注液部が前記ステージとは相対的に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記注液手段は、前記注液部が前記ステージとともに移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記位置制御手段は、前記液浸対物レンズを水平方向に所定量移動させることができるように構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記位置制御手段は、前記ステージを水平方向に所定量移動させることができるように構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記位置制御手段は、前記注液手段の注液部を水平方向に所定量移動させることができるように構成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- さらに、前記位置制御手段は、前記液浸対物レンズを垂直方向に所定量移動させることができるように構成されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- さらに、前記位置制御手段は、前記ステージを垂直方向に所定量移動させることができるように構成されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- さらに、前記位置制御手段は、前記注液部を垂直方向に所定量移動させることができるように構成されていることを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- さらに、前記液浸対物レンズの外周に前記先端レンズ面からこぼれた液体を溜める液体受け部を有するとともに、
前記液浸対物レンズとは相対的に移動可能に構成されていて、前記ステージの観察位置から離れた位置において前記液浸対物レンズの前記液体受け部に溜まった液体を吸い上げる吸引手段を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。 - 前記吸引手段は、前記液浸対物レンズの前記液体受け部に溜まった液体面に対して垂直に挿入可能に構成された吸引部を有していることを特徴とする請求項11に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記吸引部が、前記液浸対物レンズの前記液体受け部に溜まった液体面に対して垂直に挿入される位置と、該液体受け部に溜まった液体面から外れる位置とに可動であることを特徴とする請求項12に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記吸引部が、長手方向が水平に延び且つ先端を曲げた管状部材で構成されていて、該管状部材の長手方向に回転軸を有し、該回転軸を回転させることにより、該吸引部の先端が前記液体受け部に溜まった液体面に対して垂直に挿入される向きと、該液体受け部に溜まった液体面から外れる向きとに変位することを特徴とする請求項13に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記吸引部が、長手方向が水平に延び且つ先端を曲げた管状部材で構成されていて、該管状部材の長手方向に対して直交する水平方向に回転軸を有し、該回転軸を回転させることにより、該吸引部の先端が前記液体受け部に溜まった液体面に対して垂直に挿入される向きと、該液体受け部に溜まった液体面から外れる向きとに変位することを特徴とする請求項13に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記吸引手段は、前記注液手段と共通の支持部材に支持され、前記注液手段の注液位置に前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面が位置するときに、前記吸引部の先端が前記液体受け部に溜まった液対面に対して垂直に挿入可能な位置に位置することを特徴とする請求項12〜15のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記注液手段の注液部と前記吸引手段の吸引部とが、共通の管状部材で構成され、共通の支持部材に支持されていることを特徴とする請求項11又は12に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- さらに、前記ステージの観察位置から離れた位置に前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面を清掃するための清掃部材を備えるとともに、
前記位置制御手段が、前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面を前記清掃部材にこすりつけることができるように、前記液浸対物レンズと前記清掃部材との相対的位置を変位可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜17のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。 - 前記清掃部材が、前記ステージの下側面に設けられていることを特徴とする請求項18に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記清掃部材が、前記注液手段を支持する支持部材の下側面に設けられていることを特徴とする請求項18又は19に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記清掃部材が、前記吸引手段を支持する支持部材の下側面に設けられていることを特徴とする請求項18〜20のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 前記液浸対物レンズが交換可能に備えられている請求項1〜21のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 複数の前記液浸対物レンズを切り換え可能なレボルバを有する請求項1〜22のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
- 次のステップからなるシーケンス制御を行うように構成された請求項1〜23のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
(ステップ1)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置を前記液浸対物レンズの光軸から退避させるステップ。
(ステップ2)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ及び前記注液手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置が前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面近傍に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ3)前記注液手段を介して、前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面に所定量の液体を注液するステップ。
(ステップ4)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ及び前記注液手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置を前記液浸対物レンズの先端レンズ面近傍から退避させるステップ。
(ステップ5)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物が前記液浸対物レンズの光軸上に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ6)前記液浸対物レンズを前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物に対して光軸方向に移動させて、該被観察物に照準するステップ。
(ステップ7)照準された前記被観察物の像を撮像するステップ。 - 次のステップからなるシーケンス制御を行うように構成された請求項1、11〜17、請求項11に従属する請求項18〜23のいずれかに記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
(ステップ1)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置を前記液浸対物レンズの光軸から退避させるステップ。
(ステップ2)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ、前記注液手段及び前記吸引手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置が前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面近傍に位置するように位置合わせするとともに、前記吸引手段の吸引位置が前記液体対物レンズの前記液体受け部に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ3)前記注液手段を介して、前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面に所定量の液体を注液するとともに、前記吸引手段を介して、前記液体対物レンズの前記液体受け部に溜まった液体を吸い上げるステップ。
(ステップ4)前記位置制御手段を介して、前記ステージ、前記液浸対物レンズ、前記注液手段及び前記吸引手段の少なくともいずれかを所定方向に移動させて、前記注液手段の注液位置を前記液浸対物レンズの先端レンズ面近傍から退避させるとともに、前記吸引手段の吸引位置を前記液体対物レンズの前記液体受け部から退避させるステップ。
(ステップ5)前記位置制御手段を介して、前記ステージ又は前記液浸対物レンズを所定方向に移動させて、前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物が前記液浸対物レンズの光軸上に位置するように位置合わせするステップ。
(ステップ6)前記液浸対物レンズを前記ステージの観察位置に載置されている所望の被観察物に対して光軸方向に移動させて、該被観察物に照準するステップ。
(ステップ7)照準された前記被観察物の像を撮像するステップ。 - 前記ステップ1、2、4、5のいずれかのステップにおいて、前記液浸対物レンズの前記先端レンズ面が前記清掃部材にこすりつけられるようにした請求項24又は25に記載の液浸対物レンズを備えた観察装置。
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