JP2008169059A

JP2008169059A - Coating liquid composition and method for producing metal oxide film using the same

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Publication number: JP2008169059A
Application number: JP2007001649A
Authority: JP
Inventors: Katsuhide Mizuo; 克英水尾; Hiroyuki Kameda; 博之亀田; Atsuya Yoshinaka; 篤也芳仲
Original assignee: Adeka Corp
Current assignee: Adeka Corp
Priority date: 2007-01-09
Filing date: 2007-01-09
Publication date: 2008-07-24
Anticipated expiration: 2027-01-09
Also published as: JP5080816B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stable coating liquid composition suitable for use in the production of a metal oxide film by a wet coating method, and a method for producing a metal oxide film. <P>SOLUTION: The coating liquid composition comprises: a precursor component comprising at least one 6-12C aliphatic organic acid-metal compound; an acid anhydride of a 6-12C aliphatic organic acid; and an organic solvent. The method for producing the metal oxide film includes: a coating step of coating the composition; a drying step by heating to 50-200°C; and a firing step by heating to 400-900°C. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、特定の有機酸金属化合物と、特定の有機酸無水物と、有機溶剤とを含有してなる塗布液組成物および該組成物を基体に塗布し、焼成することによる金属酸化物膜の製造方法に関する。 The present invention relates to a coating liquid composition comprising a specific organic acid metal compound, a specific organic acid anhydride, and an organic solvent, and a metal oxide film formed by applying the composition to a substrate and baking it. It relates to the manufacturing method.

金属酸化物膜は、様々な用途への応用が検討されている。例えば、リチウム、ナトリウム、カリウムなどの１族金属、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウムなどの２族金属、チタニウム、ジルコニウム、ハフニウムの４族金属、バナジウム、ニオブ、タンタルの５族金属を含有する金属酸化物膜は、誘電特性の特徴を応用した高誘電体キャパシタ、強誘電体キャパシタ、ゲート絶縁膜、バリア膜、コンデンサ、圧電特性を応用したアクチュエータ、圧電素子などの電子部品の部材として用いられている。 Application of the metal oxide film to various uses is being studied. For example, Group 1 metals such as lithium, sodium, and potassium; Group 2 metals such as beryllium, magnesium, calcium, strontium, and barium; Group 4 metals such as titanium, zirconium, and hafnium; and Group 5 metals such as vanadium, niobium, and tantalum. Metal oxide films are used as members of electronic components such as high-dielectric capacitors, ferroelectric capacitors, gate insulating films, barrier films, capacitors, actuators using piezoelectric characteristics, and piezoelectric elements that apply dielectric characteristics. ing.

上記の金属酸化物膜の製造方法としては、ＭＯＤ法、ゾル−ゲル法、セラミックス粒子の分散液を塗布後焼成する方法、ＣＶＤ法、ＡＬＤ法などが挙げられる。比較的加工精度の低い膜については、製造コストが小さく、膜形成が容易なゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、セラミックス粒子の分散液を塗布後焼成する方法などの湿式コーティング法が好適な方法であり、これらに用いられる膜の原料には、金属アルコキシド化合物、有機酸金属化合物またはセラミックス微粒子が使用されている。中でも有機酸金属化合物は、他の原料に比べて安定な塗布液を与える利点がある。 Examples of the method for producing the metal oxide film include a MOD method, a sol-gel method, a method in which a dispersion of ceramic particles is applied and then fired, a CVD method, and an ALD method. For films with relatively low processing accuracy, wet coating methods such as the sol-gel method, the MOD method, and the method of firing after applying a dispersion of ceramic particles are suitable, since the production cost is low and the film formation is easy. As raw materials for the films used in these, metal alkoxide compounds, organic acid metal compounds, or ceramic fine particles are used. Among these, organic acid metal compounds have the advantage of providing a stable coating solution compared to other raw materials.

例えば、特許文献１には、ＡＢＯ₃（ＡはＢａ、Ｓｒ、Ｃａ、Ｐｂ、Ｌｉ、Ｋ、Ｎａ、ＢはＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｆｅ）で表されるペロブスカイト構造を有し、平均一次粒子径が１００ｎｍ以下である板状若しくは針状結晶である強誘電体酸化物粒子が分散され、かつ加熱により強誘電体酸化物を形成する可溶性金属化合物が溶解されている液状組成物が開示されており、ここでは可溶性金属化合物として硝酸塩などの無機塩、エチルヘキサン酸塩などの有機酸塩、アセチルアセトン錯体などの有機金属錯体および金属アルコキシドが開示されている。 For example, Patent Document 1 has a perovskite structure represented by ABO ₃ (A is Ba, Sr, Ca, Pb, Li, K, Na, B is Ti, Zr, Nb, Ta, Fe), and an average. Disclosed is a liquid composition in which ferroelectric oxide particles that are plate-like or needle-like crystals having a primary particle diameter of 100 nm or less are dispersed and a soluble metal compound that forms a ferroelectric oxide by heating is dissolved. Here, inorganic salts such as nitrates, organic acid salts such as ethylhexanoate, organometallic complexes such as acetylacetone complexes, and metal alkoxides are disclosed as soluble metal compounds.

特許文献２および３には、Ｂｉ₂（Ｔａ_mＮｂ_1-m）₂Ｏ₅系誘電体薄膜をＭＯＤ法により形成する技術が報告されており、ここではニオブプレカーサとして、有機酸塩の例示があり、有機酸塩としてオクチル酸塩が例示されている。 Patent Documents 2 and 3 report a technique for forming a Bi ₂ (Ta _m Nb _1-m ) ₂ O ₅ dielectric thin film by a MOD method. Here, an organic acid salt is exemplified as a niobium precursor. Yes, octylate is exemplified as the organic acid salt.

特許文献４には、一般式（Ｉ）で示される有機酸チタン化合物が、酸化チタン、Ｐ（Ｌ）ＺＴ強誘電体などの塗布熱分解法の安定な材料であることが開示されており、これを与える有機酸として、カプロン酸、カプリン酸、カプリル酸、２−エチルヘキサン酸、ネオデカン酸、ラウリン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレイン酸が開示されている。 Patent Document 4 discloses that the organic acid titanium compound represented by the general formula (I) is a stable material of a coating pyrolysis method such as titanium oxide and P (L) ZT ferroelectric, Caproic acid, capric acid, caprylic acid, 2-ethylhexanoic acid, neodecanoic acid, lauric acid, palmitic acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid, and linolenic acid are disclosed as organic acids that provide this.

また、特許文献５には、チタンの有機酸塩を混合したチタン酸ジルコン酸鉛の製造方法が開示されており、ここではプレカーサとして、ステアリン酸チタン、ラウリン酸チタン、カプリル酸チタン、２−エチルヘキサン酸チタン、ネオデカン酸チタン、ナフテン酸チタン、ステアリン酸ジルコニウム、ラウリン酸ジルコニウム、カプリル酸ジルコニウム、２−エチルヘキサン酸ジルコニウム、ネオデカン酸ジルコニウム、ナフテン酸ジルコニウム或いはステアリン酸ジルコニル、カプリル酸ジルコニル、２−エチルヘキサン酸ジルコニル、ネオデカン酸ジルコニル、ナフテン酸ジルコニルが開示されている。 Patent Document 5 discloses a method for producing lead zirconate titanate mixed with an organic acid salt of titanium. Here, as a precursor, titanium stearate, titanium laurate, titanium caprylate, 2-ethyl Titanium hexanoate, titanium neodecanoate, titanium naphthenate, zirconium stearate, zirconium laurate, zirconium caprylate, zirconium 2-ethylhexanoate, zirconium neodecanoate, zirconium naphthenate or zirconyl stearate, zirconyl caprylate, 2-ethyl Zirconyl hexanoate, zirconyl neodecanoate, zirconyl naphthenate are disclosed.

特許文献６には、カルボン酸マグネシウムを含有する液状前駆体溶液について、マグネシウムカルボン酸金属塩を可溶化または保持するためにカルボン酸を使用することが記載されている。 Patent Document 6 describes using a carboxylic acid to solubilize or retain a magnesium carboxylic acid metal salt in a liquid precursor solution containing magnesium carboxylate.

有機酸金属化合物を有機溶剤に溶解させた塗布液組成物の安定化には、上記有機酸金属化合物の溶解性の向上と化学的な安定性の向上が必要である。有機酸と４族、５族の金属との化合物は、加水分解性を有するのでこれを用いた塗布液組成物の安定性に改善の余地があり、有機酸と１族、２族の金属との化合物は溶解性が不充分であり、溶解性に改善の余地がある。 In order to stabilize a coating solution composition in which an organic acid metal compound is dissolved in an organic solvent, it is necessary to improve the solubility and chemical stability of the organic acid metal compound. Since the compound of an organic acid and a group 4 or group 5 metal is hydrolyzable, there is room for improvement in the stability of the coating solution composition using the compound. This compound has insufficient solubility, and there is room for improvement in solubility.

特許文献６における可溶化剤であるカルボン酸は、アルコールなどのヒドロキシ基を有する溶剤と反応して水を発生させるので、使用に制限がある。例えば、加水分解性を有する４族、５族の有機酸金属化合物とアルコールを含有する塗布液組成物には用いることができない。 Since the carboxylic acid which is a solubilizing agent in Patent Document 6 reacts with a solvent having a hydroxy group such as alcohol to generate water, its use is limited. For example, it cannot be used for a coating liquid composition containing a hydrolyzable group 4 or group 5 organic acid metal compound and an alcohol.

国際公開第２００４／０９７８５４号（特に、請求項１、第５頁第３０〜３７行）International Publication No. 2004/097854 (in particular, claim 1, page 5, lines 30-37) 特開平９−２５１２４号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-25124 特開平９−１４２８４５号公報JP-A-9-142845 特開平５−２３００７９号公報（特に、請求項１、［０００７］［００１４］）JP-A-5-230079 (in particular, claim 1, [0007] [0014]) 特開平５−５８６３６号公報（特に、請求項１、［００１２］、［００１３］）JP-A-5-58636 (in particular, claim 1, [0012], [0013]) 特開２００１−４８５８８公報（特に、［０１２８］）JP 2001-48588 A (particularly [0128])

したがって、本発明の課題は、湿式コーティング法による金属酸化物膜の製造、特に１族、２族、４族、５族の金属を含有する金属酸化物薄膜の製造において、好適に使用できる安定な塗布液組成物および金属酸化物膜の製造方法を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to produce a metal oxide film by a wet coating method, in particular, a metal oxide thin film containing a metal of Group 1, Group 2, Group 4, Group 5, which can be suitably used. It is in providing the coating liquid composition and the manufacturing method of a metal oxide film.

本発明者らは、検討を重ねた結果、有機酸金属化合物と有機酸の無水物とを塗布液組成物に含有させることにより、上記課題が解決されることを知見し、本発明に到達した。 As a result of repeated studies, the present inventors have found that the above problems can be solved by including an organic acid metal compound and an organic acid anhydride in the coating solution composition, and have reached the present invention. .

本発明は、炭素数６〜１２の脂肪族有機酸金属化合物の少なくとも１種類を含有してなるプレカーサ成分（以下単に「Ａ成分」と云う場合がある）と、炭素数６〜１２の脂肪族有機酸の酸無水物（以下単に「Ｂ成分」と云う場合がある）と、有機溶剤（以下単に「Ｃ成分」と云う場合がある）とを含有してなることを特徴とする塗布液組成物、および該組成物を基体上に塗布する塗布工程と、５０〜２００℃に加熱する乾燥工程と、４００〜９００℃に加熱する焼成工程とを経ることを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供する。 The present invention relates to a precursor component containing at least one kind of an aliphatic organic acid metal compound having 6 to 12 carbon atoms (hereinafter sometimes simply referred to as “component A”), and an aliphatic having 6 to 12 carbon atoms. A coating liquid composition comprising an acid anhydride of an organic acid (hereinafter sometimes simply referred to as “B component”) and an organic solvent (hereinafter sometimes simply referred to as “C component”). And a metal oxide film comprising: a coating process for applying the composition on a substrate; a drying process for heating to 50 to 200 ° C .; and a firing process for heating to 400 to 900 ° C. Provide a method.

本発明によれば、湿式コーティング法による金属酸化物膜の製造において、好適に使用できる安定な塗布液組成物および金属酸化物膜の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the stable coating liquid composition which can be used conveniently in manufacture of the metal oxide film by a wet coating method, and the manufacturing method of a metal oxide film can be provided.

本発明の塗布液組成物を構成するＡ成分について説明する。本発明におけるＡ成分は、本発明の塗布液組成物により形成される金属酸化物膜に金属元素を供給する金属化合物を含有する成分であり、当該金属化合物として、少なくとも１種類の炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と金属との化合物を、所望の組成の金属酸化物を与える濃度に含有する。該Ａ成分は、炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と金属との化合物のみからなるものでもよく、これ以外の金属化合物をＡ成分の一部として含有してもよい。 The component A constituting the coating liquid composition of the present invention will be described. The component A in the present invention is a component containing a metal compound that supplies a metal element to the metal oxide film formed by the coating liquid composition of the present invention. As the metal compound, at least one kind of carbon number 6 to 6 is used. A compound of 12 aliphatic organic acids and a metal is contained at a concentration that provides a metal oxide of the desired composition. This A component may consist only of a compound of a C6-C12 aliphatic organic acid and a metal, and may contain other metal compounds as a part of A component.

上記Ａ成分に必須成分として含有される炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と金属との化合物は、金属原子に有機酸残基が１つ以上結合している化合物であり、金属原子と結合する有機酸残基以外の基を有してもよい。有機酸残基以外の基としては、アルコキシ基、β−ジケトン残基、炭化水素基、β−ケトエステル残基などの有機性基、水酸基、酸素基、ハロゲン基などの無機性基を有していてもよい。 The compound of an aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms and a metal contained as an essential component in the component A is a compound in which one or more organic acid residues are bonded to a metal atom, and is bonded to the metal atom. It may have a group other than the organic acid residue. Groups other than organic acid residues include organic groups such as alkoxy groups, β-diketone residues, hydrocarbon groups, and β-ketoester residues, and inorganic groups such as hydroxyl groups, oxygen groups, and halogen groups. May be.

上記Ａ成分の金属種としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウムなどの１族元素、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウムなどの２族元素、スカンジウム、イットリウム、ランタノイド元素（ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、プロメチウム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテチウム）、アクチノイド元素などの３族元素、チタニウム、ジルコニウム、ハフニウムの４族元素、バナジウム、ニオブ、タンタルの５族元素、クロム、モリブデン、タングステンの６族元素、マンガン、テクネチウム、レニウムの７族元素、鉄、ルテニウム、オスミウムの８族元素、コバルト、ロジウム、イリジウムの９族元素、ニッケル、パラジウム、白金の１０族元素、銅、銀、金の１１族元素、亜鉛、カドミウム、水銀の１２族元素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウムの１３族元素、ゲルマニウム、錫、鉛の１４族元素、砒素、アンチモン、ビスマスの１５族元素、ポロニウムの１６族元素が挙げられる。なお、上記において「族」とは周期律表の「族」を意味する。 Examples of the metal species of the component A include group 1 elements such as lithium, sodium, potassium, rubidium and cesium, group 2 elements such as beryllium, magnesium, calcium, strontium and barium, scandium, yttrium and lanthanoid elements (lanthanum, cerium, Praseodymium, neodymium, promethium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, lutetium), group 3 elements such as actinoid elements, group 4 elements of titanium, zirconium, hafnium, vanadium, niobium, tantalum Group 5 elements, chromium, molybdenum, tungsten group 6 elements, manganese, technetium, rhenium group 7 elements, iron, ruthenium, osmium group 8 elements, cobalt, Group 9 element of nickel, iridium, Group 10 element of nickel, palladium, platinum, Group 11 element of copper, silver, gold, Group 12 element of zinc, cadmium, mercury, Group 13 element of aluminum, gallium, indium, thallium, Germanium, tin, lead group 14 elements, arsenic, antimony, bismuth group 15 elements, and polonium group 16 elements. In the above, “group” means “group” in the periodic table.

また、炭素数６〜１２の脂肪族有機酸は、飽和脂肪族有機酸でもよく、不飽和脂肪族有機酸でもよく、水酸基、エーテル基などで置換されてもよいが飽和脂肪族有機酸が好ましい。好ましいものとしては、カプロン酸、カプリル酸、２−エチルヘキサン酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ネオデカン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、シクロヘキサンカルボン酸が挙げられる。 The aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms may be a saturated aliphatic organic acid or an unsaturated aliphatic organic acid, and may be substituted with a hydroxyl group, an ether group, or the like, but a saturated aliphatic organic acid is preferable. . Preferable examples include caproic acid, caprylic acid, 2-ethylhexanoic acid, pelargonic acid, capric acid, neodecanoic acid, undecanoic acid, lauric acid, and cyclohexanecarboxylic acid.

炭素数が５以下の脂肪族有機酸から得られる有機酸金属化合物は、融点の高い固体であるものが多く、ＭＯＤ法用の原料として充分に安定な塗布液組成物を与えにくい。また、このような炭素数の少ない脂肪族有機酸から得られる有機酸金属化合物は、有機溶剤に対する溶解性が低いので、溶解性のマージンが得られない場合がある。一方で炭素数が１２より大きい脂肪族有機酸から得られる有機酸金属化合物は、金属含有量が小さいのでモル換算の濃度における充分な溶解性のマージンが得られない。また、このような炭素数の多い脂肪族有機酸から得られる有機酸金属化合物をＡ成分に用いて得られる薄膜中の不純物カーボン残渣が大きくなる場合がある。また、有機酸としては、安定した品質のものが安価に入手できることが必要である。２−エチルヘキサン酸は溶解性に優れた有機酸金属化合物を与えること、また、合成有機酸であるのでより好ましい。 Many organic acid metal compounds obtained from aliphatic organic acids having 5 or less carbon atoms are solids having a high melting point, and it is difficult to provide a coating solution composition that is sufficiently stable as a raw material for the MOD method. In addition, an organic acid metal compound obtained from an aliphatic organic acid having a small number of carbon atoms has a low solubility in an organic solvent, and thus a solubility margin may not be obtained. On the other hand, an organic acid metal compound obtained from an aliphatic organic acid having a carbon number greater than 12 has a small metal content, so that a sufficient solubility margin at a molar equivalent concentration cannot be obtained. Moreover, the impurity carbon residue in the thin film obtained by using the organic acid metal compound obtained from an aliphatic organic acid with many carbon atoms for A component may become large. Moreover, as an organic acid, the thing of the stable quality needs to be available cheaply. 2-Ethylhexanoic acid is more preferable because it provides an organic acid metal compound having excellent solubility and is a synthetic organic acid.

ＭＯＤ法を用いる金属酸化物膜の製造方法が特に有効なのは、電子部材に使用される誘電体、強誘電体、圧電体、超電導体の製造であり、膜中に主に含有される金属は、４族、５族、１族および２族の金属である。 The manufacturing method of the metal oxide film using the MOD method is particularly effective in the manufacture of dielectrics, ferroelectrics, piezoelectrics, and superconductors used in electronic members, and the metal mainly contained in the film is Group 4, Group 1, Group 1 and Group 2 metals.

４族または５族金属を含有する酸化物としては、例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウムストロンチウム、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブ添加チタン酸鉛、ニオブ添加チタン酸ジルコン酸鉛、ランタン添加チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸ビスマス、ランタン添加チタン酸ビスマス、ネオジム添加チタン酸ビスマス、ニオブ添加チタン酸ビスマス、珪素−ハフニウム酸化物、アルミニウム−ハフニウム酸化物、ニオブ−タンタル酸化物、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸カリウムリチウム、ニオブ酸カリウムナトリウム、ニオブ酸ビスマス、タンタル酸ビスマス、ニオブ酸ビスマスストロンチウム、ニオブ酸ビスマスバリウム、タンタル酸ビスマスストロンチウム、タンタル酸ビスマスバリウム、ニオブタンタル酸ビスマス、ニオブタンタル酸ビスマスストロンチウム、ニオブタンタル酸ビスマスバリウム、ニオブタンタル酸ビスマスストロンチウムバリウム、チタン添加酸化タンタルなどの酸化物、複合酸化物が挙げられる。 Examples of oxides containing Group 4 or Group 5 metals include titanium oxide, zirconium oxide, hafnium oxide, vanadium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, barium titanate, strontium titanate, barium strontium titanate, and lead titanate. , Lead zirconate, lead zirconate titanate, niobium added lead titanate, niobium added lead zirconate titanate, lanthanum added lead zirconate titanate, bismuth titanate, lanthanum added bismuth titanate, neodymium added bismuth titanate, niobium Addition bismuth titanate, silicon-hafnium oxide, aluminum-hafnium oxide, niobium-tantalum oxide, lithium niobate, potassium niobate, potassium lithium niobate, potassium sodium niobate, bismuth niobate, bismuth tantalate, ni Bismuth strontium butanoate, bismuth barium niobate, bismuth strontium tantalate, bismuth tantalate, bismuth niobium tantalate, bismuth strontium niobium tantalate, bismuth tantalate niobium tantalate, bismuth strontium niobium tantalate, tantalum oxide with titanium, etc. Examples thereof include oxides and composite oxides.

また、１族または２族金属を含有する酸化物としては、上記と重複するもの以外では、イットリウム−バリウム−銅酸化物、イットリウム−バリウム−銅酸化物のイットリウムサイトの一部または全部をランタノイド元素で置換した（イットリウム）−ランタノイド−バリウム−銅酸化物、ビスマス−ストロンチウム−カルシウム−銅酸化物が挙げられる。 In addition, as oxides containing Group 1 or Group 2 metals, except for those overlapping with the above, some or all of yttrium sites of yttrium-barium-copper oxide and yttrium-barium-copper oxide are lanthanoid elements. (Yttrium) -lanthanoid-barium-copper oxide and bismuth-strontium-calcium-copper oxide substituted with

４族、５族金属の有機酸金属化合物は、４族、５族金属と結合する他の有機基として、エトキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基などのアルコキシ基を有してもよいが、有機基としては有機酸残基のみを有するものが安定な塗布液組成物を与えるので好ましい。 The organic acid metal compound of Group 4 or Group 5 metal may have an alkoxy group such as ethoxy group, isopropoxy group or butoxy group as other organic group bonded to Group 4 or Group 5 metal, but organic As the group, those having only an organic acid residue are preferable because they give a stable coating solution composition.

有機基として有機酸残基のみを有する４族金属の有機酸金属化合物は、Ｌ−Ｍ結合（Ｌは炭素数６〜１２の脂肪族有機酸残基、Ｍは４族金属）のみで形成される化合物、Ｌ−Ｍ結合とＭ−Ｏ−Ｍ結合から形成される化合物、Ｌ−Ｍ結合とＭ＝Ｏ結合から形成される化合物、Ｌ−Ｍ結合とＭ−Ｏ−Ｍ結合とＭ＝Ｏ結合から形成される化合物が挙げられる。 An organic acid metal compound of a Group 4 metal having only an organic acid residue as an organic group is formed only by an LM bond (L is an aliphatic organic acid residue having 6 to 12 carbon atoms, and M is a Group 4 metal). Compounds formed from LM bonds and MOM bonds, compounds formed from LM bonds and M = O bonds, LM bonds, MOM bonds and M = O Examples include compounds formed from bonds.

Ｍ−Ｏ−Ｍ結合により形成される骨格は直鎖でもよく、分枝していてもよく、環を形成してもよい。例えば、四塩化金属などのテトラハライド、テトラキスイソプロポキシドなどのテトラキスアルコキシドなどのモノメリックな金属化合物を原料として得られるものは、通常、１分子当たりの金属原子の数は１〜６となる。このようなものは、製造が容易で有機溶剤に対する溶解性が良好であり、本発明の塗布液組成物の有機酸金属化合物として好ましいものである。下記に代表的な構造を化学式で示す。 The skeleton formed by the M-O-M bond may be a straight chain, may be branched, or may form a ring. For example, the number of metal atoms per molecule is usually 1 to 6 when a raw material is a monomeric metal compound such as tetrahalide such as metal tetrachloride or tetrakis alkoxide such as tetrakisisopropoxide. Such materials are easy to produce and have good solubility in organic solvents, and are preferable as the organic acid metal compound of the coating liquid composition of the present invention. A typical structure is shown below by a chemical formula.

（上記化学式において、Ｍは、チタニウム、ジルコニウムまたはハフニウムを表し、Ｌは炭素数６〜１２の脂肪族有機酸残基を表し、ａは０〜４の数を表し、ｂは１または２を表す。） (In the above chemical formula, M represents titanium, zirconium or hafnium, L represents an aliphatic organic acid residue having 6 to 12 carbon atoms, a represents a number of 0 to 4, and b represents 1 or 2. .)

有機基として有機酸残基のみを有する５族金属の有機酸金属化合物は、Ｌ−Ｘ結合（Ｌは炭素数６〜１２の脂肪族有機酸残基、Ｘは５族金属）のみで形成される化合物、Ｌ−Ｘ結合とＸ−Ｏ−Ｘ結合から形成される化合物、Ｌ−Ｘ結合とＸ＝Ｏ結合から形成される化合物、Ｌ−Ｘ結合とＸ−Ｏ−Ｘ結合とＸ＝Ｏ結合から形成される化合物が挙げられる。 An organic acid metal compound of a Group 5 metal having only an organic acid residue as an organic group is formed only by an L—X bond (L is an aliphatic organic acid residue having 6 to 12 carbon atoms, and X is a Group 5 metal). Compounds formed from L—X bonds and X—O—X bonds, compounds formed from L—X bonds and X═O bonds, L—X bonds, X—O—X bonds and X═O Examples include compounds formed from bonds.

Ｘ−Ｏ−Ｘ結合により形成される骨格は直鎖でもよく、分枝していてもよく、環を形成してもよい。例えば、五塩化金属などのペンタハライド、ペンタキスエトキシド、ペンタキスブトキシドなどのペンタキスアルコキシドなどのモノメリックな金属化合物を原料として得られるものは、通常、１分子当たりの金属原子の数は１〜４となる。このようなものは、製造が容易で有機溶剤に対する溶解性が良好であり、本発明の塗布液組成物の有機酸金属化合物として好ましいものである。下記に代表的な構造を化学式で示す。 The skeleton formed by the X—O—X bond may be a straight chain, may be branched, or may form a ring. For example, the number of metal atoms per molecule is usually one obtained from a monomeric metal compound such as pentahalide such as metal pentachloride, pentakis alkoxide such as pentakis ethoxide and pentakis butoxide. ~ 4. Such materials are easy to produce and have good solubility in organic solvents, and are preferable as the organic acid metal compound of the coating liquid composition of the present invention. A typical structure is shown below by a chemical formula.

（上記化学式において、Ｘは、バナジウム、ニオブ、タンタルを表し、Ｌは炭素数６〜１２の脂肪族有機酸残基を表し、ｃは０〜２の数を表す。） (In the above chemical formula, X represents vanadium, niobium, or tantalum, L represents an aliphatic organic acid residue having 6 to 12 carbon atoms, and c represents a number of 0 to 2.)

（上記化学式において、Ｘは、バナジウム、ニオブ、タンタルを表し、Ｌは炭素数６〜１２の脂肪族有機酸残基を表す。） (In the above chemical formula, X represents vanadium, niobium, and tantalum, and L represents an aliphatic organic acid residue having 6 to 12 carbon atoms.)

本発明の組成物に好適に使用される上記の４族、５族金属の有機酸金属化合物は、その製造方法により区別されることなく、周知一般の製造方法を応用して得られたものを使用することができる。製造方法としては、例えば、塩化金属などのハロゲン化金属を原料に用いる方法、金属アルコキシドを原料に用いる方法が挙げられる。 The organic acid metal compounds of Group 4 and Group 5 metals preferably used in the composition of the present invention are those obtained by applying well-known general production methods without being distinguished by the production methods. Can be used. Examples of the production method include a method using a metal halide such as metal chloride as a raw material, and a method using a metal alkoxide as a raw material.

ハロゲン化金属を原料に用いる方法としては、ナトリウム、ナトリウムアミド、ナトリウムハイドライド、ジエチルアミン、トリエチルアミンなどのアルカリ反応剤の存在下で、ハロゲン化金属と脂肪族有機酸とを反応させる方法、ハロゲン化金属と脂肪族有機酸ナトリウム、脂肪族有機酸リチウム、脂肪族有機酸アンモニウムなどの脂肪族有機酸塩とを反応させる方法が挙げられる。 As a method of using a metal halide as a raw material, a method of reacting a metal halide with an aliphatic organic acid in the presence of an alkali reagent such as sodium, sodium amide, sodium hydride, diethylamine, triethylamine, Examples thereof include a method of reacting an aliphatic organic acid salt such as an aliphatic organic acid sodium, an aliphatic organic acid lithium, and an aliphatic organic acid ammonium.

また、金属アルコキシドを原料に用いる方法としては、金属アルコキシドに脂肪族有機酸を加え加熱する方法が挙げられる。例えば、本発明の塗布液組成物に好ましく使用される２−エチルヘキサン酸チタニウムの場合、テトラキス（イソプロポキシ）チタンを出発原料に、テトラキス（イソプロポキシ）チタン１モルに対して、２−エチルヘキサン酸２〜６モルを反応させることで製造することができる。 Moreover, as a method of using a metal alkoxide as a raw material, a method in which an aliphatic organic acid is added to a metal alkoxide and heated is exemplified. For example, in the case of titanium 2-ethylhexanoate preferably used in the coating liquid composition of the present invention, tetraethyl (isopropoxy) titanium is used as a starting material, and 2-ethylhexane is used with respect to 1 mol of tetrakis (isopropoxy) titanium. It can manufacture by making 2-6 mol of acids react.

本発明の塗布液組成物に好ましく使用される２−エチルヘキサン酸ニオブの場合、ペンタキス（エトキシ）ニオブを出発原料に、ペンタキス（エトキシ）ニオブ１モルに対して、２−エチルヘキサン酸２〜６モルを反応させることで製造することができる。また、金属アルコキシドと脂肪族有機酸との反応時に副生する水を取り除き、分子あたりの金属含有量をコントロールする場合には、酸無水物などの脱水剤を上記の反応系に加えてもよい。 In the case of niobium 2-ethylhexanoate that is preferably used in the coating liquid composition of the present invention, 2-6 ethyl 2-ethylhexanoate is used per 1 mole of pentakis (ethoxy) niobium, starting from pentakis (ethoxy) niobium. It can be produced by reacting moles. In addition, when water generated as a by-product during the reaction between the metal alkoxide and the aliphatic organic acid is removed and the metal content per molecule is controlled, a dehydrating agent such as an acid anhydride may be added to the above reaction system. .

１族、２族金属の有機酸金属化合物として好ましいものは、（ＲＣＯＯ）_nＭ’の化学式で表されるものである。Ｒは炭素数５〜１１の脂肪族炭化水素基を表し、Ｍ’は、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウムを表し、ｎはＭ’が１族金属原子の場合は１であり、Ｍ’が２族金属原子の場合は２である。このような１族、２族の有機酸金属化合物は、結晶水を含有する場合もある。本発明の塗布液組成物に用いる場合は、水和物でも無水物でもよいが、水和水が塗布液組成物の安定性に悪影響を及ぼす場合が多いので無水物が好ましい。 What is preferable as an organic acid metal compound of Group 1 or Group 2 metal is a compound represented by a chemical formula of (RCOO) _n M ′. R represents an aliphatic hydrocarbon group having 5 to 11 carbon atoms, M ′ represents lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, beryllium, magnesium, calcium, strontium, barium, and n represents M ′ group 1 metal. In the case of an atom, it is 1. In the case where M ′ is a group 2 metal atom, it is 2. Such group 1 and group 2 organic acid metal compounds may contain water of crystallization. When used in the coating liquid composition of the present invention, it may be a hydrate or an anhydride, but an anhydride is preferred because the hydration water often adversely affects the stability of the coating liquid composition.

上記Ａ成分に含有されてもよい炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と金属との化合物以外のＡ成分となる金属化合物としては、有機性のものとしては、炭素数２〜５および炭素数１３以上の脂肪族有機酸または芳香族有機酸と金属との化合物、金属アルコキシド化合物、β−ジケトン金属錯体、β−ケトエステル金属錯体などが挙げられる。また、無機性の金属化合物としては、水酸化物、酸化物、硝酸塩、硫酸塩、セラミックス粒子が挙げられる。セラミックス粒子は、所望の金属酸化物膜と同組成のものでもよく、所望の金属酸化物膜を構成する一部の組成を有するものでもよい。 As a metal compound which becomes A component other than the compound of a C6-C12 aliphatic organic acid and metal which may be contained in said A component, as an organic thing, it is C2-C5 and carbon number. Examples thereof include compounds of 13 or more aliphatic organic acids or aromatic organic acids and metals, metal alkoxide compounds, β-diketone metal complexes, β-ketoester metal complexes, and the like. Examples of inorganic metal compounds include hydroxides, oxides, nitrates, sulfates, and ceramic particles. The ceramic particles may have the same composition as the desired metal oxide film, or may have a partial composition constituting the desired metal oxide film.

上記Ａ成分が塗布液組成物中に占める割合が３．５質量％より小さいと、得られる膜が薄くなるので、金属酸化物膜の生産性が悪化する場合があり、一方、４０質量％を超えると得られる膜にクラックが発生する場合ある。したがってＡ成分の塗布液組成物中に占める割合は３．５〜４０質量％が好ましく、１５〜３０質量％がより好ましい。また、Ａ成分において、必須成分である少なくとも１種類の炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と金属との化合物がＡ成分中に占める割合は、１０〜１００質量％が好ましく、２５〜１００質量％がより好ましい。 When the proportion of the component A in the coating liquid composition is less than 3.5% by mass, the resulting film becomes thin, so that the productivity of the metal oxide film may be deteriorated. If it exceeds, cracks may occur in the resulting film. Accordingly, the proportion of the component A in the coating liquid composition is preferably 3.5 to 40% by mass, and more preferably 15 to 30% by mass. In the component A, the proportion of at least one compound of an aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms and a metal that is an essential component in the component A is preferably 10 to 100% by mass, and preferably 25 to 100% by mass. % Is more preferable.

本発明において、形成すべき所望の金属酸化物膜が４族および／または５族金属の酸化物である場合には、前記Ａ成分は、４族および／または５族金属と炭素数６〜１２の脂肪族有機酸との化合物単独でもよい。しかし、形成すべき所望の金属酸化物膜が４族および／または５族金属と、１族および／または２族との複合金属酸化物である場合には、前記Ａ成分は、炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と４族および／または５族の金属との化合物（Ａ’成分）と、炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と１族および／または２族の金属との化合物（Ａ”成分）とを含むことになる。上記Ａ’成分とＡ”成分の割合は、所望の複合金属酸化物中の金属元素のモル比と同様にすることが好ましい。例えば、複合金属酸化物が、ニオブ酸リチウムの場合には、Ａ’成分とＡ”成分とを含むＡ成分中のニオブとリチウムとのモル比は、約１：１とし、複合金属酸化物が、チタン酸バリウムストロンチウムの場合には、Ａ’成分とＡ”成分とを含むＡ成分中のチタンとバリウムとストロンチウムとのモル比は、約２：１：１とすることが好ましい。他の複合金属酸化物の場合も同様である。 In the present invention, when the desired metal oxide film to be formed is a Group 4 and / or Group 5 metal oxide, the component A includes a Group 4 and / or Group 5 metal and a carbon number of 6 to 12. A compound with an aliphatic organic acid alone may be used. However, when the desired metal oxide film to be formed is a complex metal oxide of Group 4 and / or Group 5 metal and Group 1 and / or Group 2, the component A contains 6 to 6 carbon atoms. Compound (A ′ component) of 12 aliphatic organic acid and Group 4 and / or Group 5 metal, Compound of aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms and Group 1 and / or Group 2 metal ( The ratio of the A ′ component to the A ″ component is preferably the same as the molar ratio of the metal elements in the desired composite metal oxide. For example, when the composite metal oxide is lithium niobate, the molar ratio of niobium and lithium in the A component including the A ′ component and the A ″ component is about 1: 1, and the composite metal oxide is In the case of barium strontium titanate, the molar ratio of titanium, barium and strontium in the A component containing the A ′ component and the A ″ component is preferably about 2: 1: 1. The same applies to other composite metal oxides.

次に本発明の塗布液組成物を構成するＢ成分について説明する。Ｂ成分は、２分子の脂肪族有機酸を脱水縮合したものであり、炭素数６〜１２の脂肪族有機酸としては、例えば、カプロン酸、カプリル酸、２−エチルヘキサン酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ネオデカン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、シクロヘキサンカルボン酸が挙げられる。 Next, B component which comprises the coating liquid composition of this invention is demonstrated. The B component is obtained by dehydrating and condensing two molecules of an aliphatic organic acid. Examples of the aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms include caproic acid, caprylic acid, 2-ethylhexanoic acid, pelargonic acid, and caprin. Examples include acid, neodecanoic acid, undecanoic acid, lauric acid, and cyclohexanecarboxylic acid.

上記Ｂ成分は、本発明の塗布液組成物の安定性向上剤および可溶化剤として機能する。４族または５族の有機酸金属化合物は、安定性が不充分であり、水分などと反応して固相を発生する問題を有しているが、上記Ｂ成分は、４族または５族の有機酸金属化合物を安定化させ、固相発生を防止する。１族または２族金属の有機酸金属化合物は、有機溶剤に対する溶解性が充分ではなく、充分な金属含有量を有する安定な塗布液組成物を得ることが難しい問題を有しているが、Ｂ成分は、１族または２族の有機酸金属化合物に対し、可溶化剤として機能するので、充分な濃度を有し、安定な塗布液組成物を与える。 The component B functions as a stability improver and solubilizer for the coating liquid composition of the present invention. The group 4 or group 5 organic acid metal compound has insufficient stability and has a problem of reacting with moisture and the like to generate a solid phase. Stabilizes organic acid metal compounds and prevents solid phase generation. Group 1 or Group 2 organic acid metal compounds are not sufficiently soluble in organic solvents, and it is difficult to obtain a stable coating solution composition having a sufficient metal content. Since the component functions as a solubilizer for the group 1 or group 2 organic acid metal compound, it has a sufficient concentration and gives a stable coating solution composition.

上記Ｂ成分は、１種類でもよく、２種類以上混合して用いてもよいが、前記で説明したＡ成分の必須成分である炭素数６〜１２の脂肪族有機酸と同一の脂肪族有機酸の無水物が、上記の効果を安定に発現するので好ましい。Ｂ成分中の、Ａ成分を与える脂肪族有機酸と同一の脂肪族有機酸の無水物の含有量は５０質量％以上が好ましく、８０質量％以上がより好ましく、１００質量％が最も好ましい。Ｂ成分が、Ａ成分中の有機酸とは異なる有機酸の無水物であると、塗布液組成物中或いは塗布後の加熱工程で有機酸残基の交換がおこり、固相の発生、膜中の凝集物の生成などの好ましくない事態が発生するおそれがある。例えば、本発明において、好ましい形態である２−エチルヘキサン酸金属化合物がＡ成分の必須成分である場合は、Ｂ成分としては２−エチルヘキサン酸無水物が好ましい。 The B component may be one kind or a mixture of two or more kinds, but the same aliphatic organic acid as the aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms, which is an essential component of the A component described above. Is preferable because the above-mentioned effects are stably exhibited. In the component B, the content of the anhydride of the same aliphatic organic acid as the aliphatic organic acid that provides the component A is preferably 50% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, and most preferably 100% by mass. If the B component is an anhydride of an organic acid different from the organic acid in the A component, organic acid residues are exchanged in the coating solution composition or in the heating step after coating, generating a solid phase, in the film There is a possibility that an unfavorable situation such as formation of aggregates may occur. For example, in the present invention, when the 2-ethylhexanoic acid metal compound which is a preferred form is an essential component of the A component, the B component is preferably 2-ethylhexanoic acid anhydride.

本発明の塗布液組成物における上記Ｂ成分の含有量は、Ａ成分に含まれる有機酸金属化合物（必須成分で炭素数６〜１２の脂肪族有機酸金属化合物と、任意成分であるそれ以外の有機酸金属化合物の両方）の質量の３〜２０質量％が好ましい。３質量％より小さいと、充分な使用効果を得ることができない場合があり、一方、２０質量％を超えて使用しても使用効果の向上が得られない。より好ましい範囲は５〜１０質量％である。 Content of the said B component in the coating liquid composition of this invention is the organic acid metal compound contained in A component (A C6-C12 aliphatic organic acid metal compound with an essential component, and other than that which is an arbitrary component) 3-20 mass% of the mass of both of the organic acid metal compounds) is preferred. If it is less than 3% by mass, a sufficient use effect may not be obtained. On the other hand, if it exceeds 20% by mass, the use effect cannot be improved. A more preferable range is 5 to 10% by mass.

次に本発明の塗布液組成物を構成するにＣ成分について説明する。本発明の塗布液組成物に使用されるＣ成分としては、アルコール系溶剤、ジオール系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤、脂肪族または脂環族炭化水素系溶剤、芳香族炭化水素系溶剤、シアノ基を有する炭化水素溶剤、その他の溶剤などが挙げられ、これらは１種類または２種類以上混合して用いることができる。 Next, the component C for constituting the coating liquid composition of the present invention will be described. The component C used in the coating liquid composition of the present invention includes alcohol solvents, diol solvents, ketone solvents, ester solvents, ether solvents, aliphatic or alicyclic hydrocarbon solvents, aromatic carbonization. Examples thereof include a hydrogen solvent, a hydrocarbon solvent having a cyano group, and other solvents. These may be used alone or in combination of two or more.

アルコール系溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、１−ブタノール、イソブタノール、２−ブタノール、第３ブタノール、ペンタノール、イソペンタノール、２−ペンタノール、ネオペンタノール、第３ペンタノール、ヘキサノール、２−ヘキサノール、ヘプタノール、２−ヘプタノール、オクタノール、２−エチルヘキサノール、２−オクタノール、シクロペンタノール、シクロヘキサノール、シクロヘプタノール、メチルシクロペンタノール、メチルシクロヘキサノール、メチルシクロヘプタノール、ベンジルアルコール、２−メトキシエチルアルコール、２−ブトキシエチルアルコール、２−（２−メトキシエトキシ）エタノール、２−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）エタノール、３−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）プロパノールなどが挙げられる。 Examples of alcohol solvents include methanol, ethanol, propanol, isopropanol, 1-butanol, isobutanol, 2-butanol, tertiary butanol, pentanol, isopentanol, 2-pentanol, neopentanol, tertiary pentanol, Hexanol, 2-hexanol, heptanol, 2-heptanol, octanol, 2-ethylhexanol, 2-octanol, cyclopentanol, cyclohexanol, cycloheptanol, methylcyclopentanol, methylcyclohexanol, methylcycloheptanol, benzyl alcohol 2-methoxyethyl alcohol, 2-butoxyethyl alcohol, 2- (2-methoxyethoxy) ethanol, 2- (N, N-dimethylamino) ethanol, 3- (N, N- Etc. methylamino) propanol.

ジオール系溶剤としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，２−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、イソプレングリコール（３−メチル−１，３−ブタンジオール）、１，２−ヘキサンジオール、１，６−ヘキサンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、１，２−オクタンジオール、オクタンジオール（２−エチル−１，３−ヘキサンジオール）、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、２，５−ジメチル−２，５−ヘキサンジオール、１，２−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノールなどが挙げられる。 Examples of the diol solvent include ethylene glycol, propylene glycol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, neopentyl glycol, isoprene glycol (3-methyl -1,3-butanediol), 1,2-hexanediol, 1,6-hexanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 1,2-octanediol, octanediol (2-ethyl-1, 3-hexanediol), 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol, 2,5-dimethyl-2,5-hexanediol, 1,2-cyclohexanediol, 1,4-cyclohexanediol, 1, Examples include 4-cyclohexanedimethanol.

ケトン系溶剤としては、アセトン、エチルメチルケトン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、エチルブチルケトン、ジプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノンなどが挙げられる。 Examples of the ketone solvent include acetone, ethyl methyl ketone, methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl butyl ketone, dipropyl ketone, diisobutyl ketone, methyl amyl ketone, cyclohexanone, and methylcyclohexanone.

エステル系溶剤としては、ギ酸メチル、ギ酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸第２ブチル、酢酸第３ブチル、酢酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸第３アミル、酢酸フェニル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸イソプロピル、プロピオン酸ブチル、プロピオン酸イソブチル、プロピオン酸第２ブチル、プロピオン酸第３ブチル、プロピオン酸アミル、プロピオン酸イソアミル、プロピオン酸第３アミル、プロピオン酸フェニル、２−エチルヘキサン酸メチル、２−エチルヘキサン酸エチル、２−エチルヘキサン酸プロピル、２−エチルヘキサン酸イソプロピル、２−エチルヘキサン酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸メチル、メトキシプロピオン酸エチル、エトキシプロピオン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ第２ブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ第３ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノイソプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ第２ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノイソブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ第３ブチルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノイソプロピルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノ第２ブチルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノイソブチルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノ第３ブチルエーテルアセテート、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、オキソブタン酸メチル、オキソブタン酸エチル、γ−ラクトン、δ−ラクトンなどが挙げられる。 Examples of ester solvents include methyl formate, ethyl formate, methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, 2 butyl acetate, 3 butyl acetate, amyl acetate, isoamyl acetate, 3 amyl acetate, phenyl acetate , Methyl propionate, ethyl propionate, isopropyl propionate, butyl propionate, isobutyl propionate, 2 butyl propionate, 3 butyl propionate, amyl propionate, isoamyl propionate, 3 amyl propionate, phenyl propionate , Methyl 2-ethylhexanoate, ethyl 2-ethylhexanoate, propyl 2-ethylhexanoate, isopropyl 2-ethylhexanoate, butyl 2-ethylhexanoate, methyl lactate, ethyl lactate, methyl methoxypropionate, ethoxypropyl Methyl pionate, ethyl methoxypropionate, ethyl ethoxypropionate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether Acetate, ethylene glycol mono sec-butyl ether acetate, ethylene glycol monoisobutyl ether acetate, ethylene glycol mono tertiary butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether Acetate, propylene glycol monoisopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol mono second butyl ether acetate, propylene glycol mono isobutyl ether acetate, propylene glycol mono tertiary butyl ether acetate, butylene glycol monomethyl ether acetate, butylene glycol monoethyl ether acetate , Butylene glycol monopropyl ether acetate, butylene glycol monoisopropyl ether acetate, butylene glycol monobutyl ether acetate, butylene glycol mono sec-butyl ether acetate, butylene glycol monoisobutyl ether acetate, butylene glycol mono-tert-butyl ether Examples include ether acetate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl oxobutanoate, ethyl oxobutanoate, γ-lactone, and δ-lactone.

エーテル系溶剤としては、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、モルホリン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチルエーテル、ジオキサンなどが挙げられる。 Examples of the ether solvent include tetrahydrofuran, tetrahydropyran, morpholine, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, dibutyl ether, diethyl ether, dioxane and the like.

脂肪族または脂環族炭化水素系溶剤としては、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカリン、ソルベントナフサなどが挙げられる。 Examples of the aliphatic or alicyclic hydrocarbon solvent include pentane, hexane, cyclohexane, methylcyclohexane, dimethylcyclohexane, ethylcyclohexane, heptane, octane, decalin, and solvent naphtha.

芳香族炭化水素系溶剤としては、ベンゼン、トルエン、エチルベンゼン、キシレン、メシチレン、ジエチルベンゼン、クメン、イソブチルベンゼン、シメン、テトラリンが挙げられる。 Examples of the aromatic hydrocarbon solvent include benzene, toluene, ethylbenzene, xylene, mesitylene, diethylbenzene, cumene, isobutylbenzene, cymene, and tetralin.

シアノ基を有する炭化水素溶剤としては、１−シアノプロパン、１−シアノブタン、１−シアノヘキサン、シアノシクロヘキサン、シアノベンゼン、１，３−ジシアノプロパン、１，４−ジシアノブタン、１，６−ジシアノヘキサン、１，４−ジシアノシクロヘキサン、１，４−ジシアノベンゼンなどが挙げられる。 Examples of the hydrocarbon solvent having a cyano group include 1-cyanopropane, 1-cyanobutane, 1-cyanohexane, cyanocyclohexane, cyanobenzene, 1,3-dicyanopropane, 1,4-dicyanobutane, 1,6-dicyanohexane. 1,4-dicyanocyclohexane, 1,4-dicyanobenzene and the like.

その他の有機溶剤としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミドが挙げられる。 Examples of other organic solvents include N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl sulfoxide, and dimethylformamide.

上記Ｃ成分は、Ａ成分に対する充分な溶解性を示し塗布溶剤として使用し易いものを選択すればよい。上記Ｃ成分の中でも、アルコール系溶剤およびジオール系溶剤はシリコン基体、金属基体、セラミックス基体、ガラス基体、樹脂基体などの様々な基体に対する塗布溶媒として良好な塗布性を示すので好ましく、１−ブタノールがより好ましい。また、Ｃ成分として混合溶剤を用いる場合もアルコール系溶剤、またはジオール系溶剤を主成分としたものが好ましく、これらを５０質量％以上使用するものがより好ましい。 The C component may be selected from those which exhibit sufficient solubility in the A component and are easy to use as a coating solvent. Among the above C components, alcohol solvents and diol solvents are preferable because they exhibit good coating properties as coating solvents for various substrates such as silicon substrates, metal substrates, ceramic substrates, glass substrates, and resin substrates, and 1-butanol is preferable. More preferred. Moreover, when using a mixed solvent as C component, the thing which has an alcohol solvent or a diol solvent as a main component is preferable, and what uses these 50 mass% or more is more preferable.

本発明の塗布液組成物における上記Ｃ成分の含有量が５０質量％より小さいと、得られる膜にクラックが発生する場合あり、一方、９５質量％を超えると、得られる膜が薄くなるので金属酸化物膜の生産性が悪化する場合があるので、５０〜９５質量％が好ましく、６０〜８５質量％がより好ましい。 If the content of the C component in the coating liquid composition of the present invention is less than 50% by mass, cracks may occur in the resulting film. On the other hand, if it exceeds 95% by mass, the resulting film becomes thin, so that the metal Since productivity of an oxide film may deteriorate, 50-95 mass% is preferable and 60-85 mass% is more preferable.

本発明の塗布液組成物は、上記Ａ成分とＢ成分とＣ成分とを含有してなるものであり、溶液の状態でもよく、安定した分散液の状態でもよい。Ａ成分中に無機性の金属化合物を使用しない限りは溶液の状態が好ましい。 The coating liquid composition of the present invention comprises the A component, the B component, and the C component, and may be in a solution state or a stable dispersion state. A solution state is preferable unless an inorganic metal compound is used in the component A.

また、本発明の塗布液組成物には、Ａ成分とＢ成分とＣ成分以外に、任意の成分を本発明の効果を阻害しない範囲で含有してもよい。任意成分としては、増粘剤、揺変剤、レベリング剤、消泡剤、ゲル化防止剤、分散安定剤などが挙げられ、使用する場合の含有量は、それぞれ５質量％以下が好ましく、１質量％以下がより好ましい。 Moreover, you may contain arbitrary components in the coating liquid composition of this invention in the range which does not inhibit the effect of this invention other than A component, B component, and C component. Examples of the optional component include a thickener, a thixotropic agent, a leveling agent, an antifoaming agent, an antigelling agent, and a dispersion stabilizer. The mass% or less is more preferable.

次に本発明の金属酸化物膜の製造方法について説明する。本発明の膜の製造方法は、上記本発明の塗布液組成物を基体上に塗布する塗布工程と、５０〜２００℃に加熱する乾燥工程と、４００〜９００℃に加熱する焼成工程とを経るものである。 Next, the manufacturing method of the metal oxide film of this invention is demonstrated. The film production method of the present invention includes a coating step of coating the coating liquid composition of the present invention on a substrate, a drying step of heating to 50 to 200 ° C, and a baking step of heating to 400 to 900 ° C. Is.

上記の塗布工程における塗布方法としては、スピンコート法、ディップ法、スプレーコート法、ミストコート法、フローコート法、カーテンコート法、ロールコート法、ナイフコート法、バーコート法、スクリーン印刷法、インクジェット法、刷毛塗りなどが挙げられる。 As the coating method in the above coating process, spin coating method, dip method, spray coating method, mist coating method, flow coating method, curtain coating method, roll coating method, knife coating method, bar coating method, screen printing method, inkjet method Method, brushing, etc.

塗布された塗布液組成物中の溶剤を乾燥させる乾燥工程の後で、焼成工程よりも低い温度で加熱する仮焼工程を組み入れることもでき、焼成工程の後にアニール工程を組み入れてもよい。また、必要な膜厚を得るためには、上記の塗布工程から任意の工程までを複数繰り返せばよい。例えば、塗布工程から焼成工程の全ての工程を複数回繰り返してもよく、塗布工程と乾燥工程および／または仮焼工程を複数回繰り返してもよい。乾燥工程における温度は、１００℃〜２００℃が好ましい。焼成工程における温度は、４５０℃〜７００℃が好ましい。仮焼工程における温度は１５０℃〜６００℃が好ましく、２００℃〜４００℃がより好ましい。アニール工程における温度は４５０℃〜１，２００℃が好ましく、６００℃〜１，０００℃がより好ましい。 After the drying step of drying the solvent in the applied coating liquid composition, a calcining step of heating at a temperature lower than that of the firing step can be incorporated, and an annealing step may be incorporated after the firing step. Moreover, in order to obtain a required film thickness, what is necessary is just to repeat from said application | coating process to arbitrary processes multiple times. For example, all the steps from the coating step to the firing step may be repeated a plurality of times, and the coating step, the drying step and / or the calcination step may be repeated a plurality of times. As for the temperature in a drying process, 100 to 200 degreeC is preferable. As for the temperature in a baking process, 450 to 700 degreeC is preferable. The temperature in the calcination step is preferably 150 ° C to 600 ° C, more preferably 200 ° C to 400 ° C. The temperature in the annealing step is preferably 450 ° C. to 1,200 ° C., more preferably 600 ° C. to 1,000 ° C.

上記の仮焼工程、焼成工程、アニール工程には、膜形成を促進する目的や膜の表面状態や電気特性を改善する目的で種々のガスを導入してもよい。該ガスとしては、酸素、オゾン、水、二酸化炭素、過酸化水素、窒素、ヘリウム、水素、アルゴンなどが挙げられる。また、プラズマや各種放射線などの熱以外のエネルギーを印加または照射してもよい。 Various gases may be introduced into the calcination step, the firing step, and the annealing step for the purpose of promoting film formation and improving the surface state and electrical characteristics of the film. Examples of the gas include oxygen, ozone, water, carbon dioxide, hydrogen peroxide, nitrogen, helium, hydrogen, and argon. Further, energy other than heat, such as plasma or various radiations, may be applied or irradiated.

次に製造例および実施例をもって本発明をさらに詳細に説明する。しかしながら、本発明は以下の実施例などによって何ら制限を受けるものではない。
［製造例１］２−エチルヘキサン酸チタン化合物の製造
乾燥アルゴンガス雰囲気下で、反応フラスコにテトラキス（イソプロポキシ）チタン０．５モルおよび乾燥トルエン２５０ｍｌを仕込み、これに２−エチルヘキサン酸２モルを加え、４時間還流させた。バス温度１３５℃でトルエンおよび低沸点物を反応系から留去した後、さらに系内を３〜１ｔｏｒｒに減圧し、１４５℃で濃縮を行い黄色粘性液体を２５７ｇ得た。得られた黄色液体について、元素分析を行った。チタン含有量は、灰化法により二酸化チタンとして定量し、炭素および水素含有量は、ＣＨＮ元素分析で定量した結果、Ｔｉは１３．１質量％、Ｃは５４．９質量％、Ｈは８．５質量％であった。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to production examples and examples. However, the present invention is not limited by the following examples.
[Production Example 1] Production of 2-ethylhexanoic acid titanium compound Under a dry argon gas atmosphere, a reaction flask was charged with 0.5 mol of tetrakis (isopropoxy) titanium and 250 ml of dry toluene, and 2 mol of 2-ethylhexanoic acid was added thereto. Was added and refluxed for 4 hours. After toluene and low-boiling substances were distilled off from the reaction system at a bath temperature of 135 ° C., the system was further depressurized to 3 to 1 torr and concentrated at 145 ° C. to obtain 257 g of a yellow viscous liquid. Elemental analysis was performed on the obtained yellow liquid. The titanium content was quantified as titanium dioxide by the ashing method, and the carbon and hydrogen contents were quantified by CHN elemental analysis. As a result, Ti was 13.1% by mass, C was 54.9% by mass, and H was 8. It was 5 mass%.

［製造例２］２−エチルヘキサン酸ニオブ化合物の製造
乾燥アルゴンガス雰囲気下で、反応フラスコにペンタキス（エトキシ）ニオブ０．５モルおよび乾燥キシレン２００ｍｌを仕込み、これに無水酢酸２．６モル、２−エチルヘキサン酸２．６モルを加え、バス温度１４５℃で４時間還流させた。バス温度１３５℃でキシレンおよび低沸点物を反応系から留去した後、さらに系内を３〜１ｔｏｒｒに減圧して濃縮を行い黄色粘性液体を３０４ｇ得た。得られた黄色液体について、元素分析を行った。ニオブ含有量は、６３質量％硝酸中、１００℃で酸化分解しＮｂ₂Ｏ₅として定量し、炭素および水素含有量は、ＣＨＮ元素分析で定量した結果、Ｎｂは１５．７質量％、Ｃは５５．１質量％、Ｈは８．３質量％であった。 [Production Example 2] Production of niobium 2-ethylhexanoate compound Under a dry argon gas atmosphere, 0.5 mol of pentakis (ethoxy) niobium and 200 ml of dry xylene were charged into a reaction flask, and 2.6 mol of acetic anhydride, 2 -2.6 mol of ethylhexanoic acid was added, and it was made to recirculate | reflux at the bath temperature of 145 degreeC for 4 hours. After distilling off xylene and low-boiling substances from the reaction system at a bath temperature of 135 ° C., the system was further reduced under reduced pressure to 3 to 1 torr to obtain 304 g of a yellow viscous liquid. Elemental analysis was performed on the obtained yellow liquid. Niobium content was oxidatively decomposed at 63 ° C. in nitric acid at 100 ° C. and quantified as Nb ₂ O _5. Carbon and hydrogen contents were quantified by CHN elemental analysis. As a result, Nb was 15.7% by mass, and C was 55.1% by mass and H was 8.3% by mass.

［実施例１］
上記の製造例１で得た２−エチルヘキサン酸チタン化合物１４．６ｇと１−ブタノール８０ｇとを混合して溶液を調製した。これに２−エチルヘキサン酸無水物が２−エチルヘキサン酸チタン化合物の１０質量％となる量を添加したもの（塗布液組成物Ａ）と、添加しないもの（塗布液組成物Ｂ）を、それぞれ２０ｍｌのサンプル瓶に１５ｍｌ入れ、開放状態で湿度６０％、２５℃で５日間放置し、放置後の組成物の状態を目視で比べた。塗布液組成物Ａは、沈殿および濁りは発生しなかったが、塗布液組成物Ｂは、濁りを生じた。この結果から、２−エチルヘキサン酸無水物は、２−エチルヘキサン酸チタンの１−ブタノール溶液に対して安定剤として機能することが確認できた。 [Example 1]
A solution was prepared by mixing 14.6 g of the titanium 2-ethylhexanoate compound obtained in Production Example 1 above and 80 g of 1-butanol. What added the quantity which 2-ethylhexanoic anhydride becomes 10 mass% of 2-ethylhexanoic acid titanium compound to this (coating liquid composition A), and what does not add (coating liquid composition B), respectively. 15 ml was put into a 20 ml sample bottle, left in an open state at 60% humidity and 25 ° C. for 5 days, and the state of the composition after standing was compared visually. In the coating liquid composition A, no precipitation and turbidity occurred, but in the coating liquid composition B, turbidity occurred. From this result, it was confirmed that 2-ethylhexanoic anhydride functions as a stabilizer for the 1-butanol solution of titanium 2-ethylhexanoate.

［実施例２］
２−エチルヘキサン酸ストロンチウム７．６４ｇ、２−エチルヘキサン酸バリウム８．６３ｇ、１−ブタノール８０ｇを混合したところ溶解しなかった。これに２−エチルヘキサン酸無水物を１．２５ｇ加えたところ、透明な溶液（塗布液組成物Ｃ）を得た。この結果から、２−エチルヘキサン酸無水物は、２−エチルヘキサン酸ストロンチウム、２−エチルヘキサン酸バリウムに関しては、可溶化剤として機能することが確認できた。 [Example 2]
When 7.64 g of strontium 2-ethylhexanoate, 8.63 g of barium 2-ethylhexanoate, and 80 g of 1-butanol were mixed, they did not dissolve. When 1.25 g of 2-ethylhexanoic anhydride was added thereto, a transparent solution (coating liquid composition C) was obtained. From this result, it was confirmed that 2-ethylhexanoic anhydride functions as a solubilizer for strontium 2-ethylhexanoate and barium 2-ethylhexanoate.

［実施例３］
上記の実施例１で得た塗布液組成物Ａと実施例３で得た塗布液組成物Ｃを質量比１：１で混合し、塗布液組成物Ｄを得た。当該塗布液組成物のチタン：ストロンチウム：バリウムのモル比は２：１：１である。また、上記製造例で得た２−エチルヘキサン酸ニオブ、２−エチルヘキサン酸リチウム、１−ブタノールをニオブ、リチウムのモル比が１：１となり、ニオブ濃度が０．２モル／リットルとなるように混合し、これに２−エチルヘキサン酸無水物を２−エチルヘキサン酸リチウムの１０質量％加えて溶液化させて、塗布液組成物Ｅを得た。塗布液組成物Ｄと塗布液組成物Ｅを２０ｍｌのサンプル瓶に１５ｍｌ入れ、開放状態で湿度６０％、２５℃で５日間放置し、放置後の組成物の状態を目視で比べた結果、濁りおよび沈殿は発生していなかった。この結果から、２−エチルヘキサン酸無水物が有する安定化効果と可溶化効果を確認することができた。 [Example 3]
The coating liquid composition A obtained in Example 1 and the coating liquid composition C obtained in Example 3 were mixed at a mass ratio of 1: 1 to obtain a coating liquid composition D. The coating liquid composition has a molar ratio of titanium: strontium: barium of 2: 1: 1. In addition, niobium 2-ethylhexanoate, lithium 2-ethylhexanoate, and 1-butanol obtained in the above production example were niobium, the molar ratio of lithium was 1: 1, and the niobium concentration was 0.2 mol / liter. Then, 10% by mass of 2-ethylhexanoic acid anhydride was added to form a solution to obtain a coating liquid composition E. 15 ml of the coating liquid composition D and the coating liquid composition E are put in a 20 ml sample bottle, left in an open state at 60% humidity and 25 ° C. for 5 days. And no precipitation occurred. From this result, the stabilization effect and solubilization effect which 2-ethylhexanoic anhydride has could be confirmed.

［実施例４、５］
上記で得た塗布液組成物ＤおよびＥをそれぞれ、Ｓｉ／ＳｉＯ₂／Ｔｉ／Ｐｔの積層基板にキャストし、５００ｒｐｍで５秒、２，０００ｒｐｍで１５秒スピンコート法で塗布した後、１２０℃１０分間の乾燥工程、４００℃で１５分の仮焼工程、７００℃で３０分の焼成工程による形成工程を３回行い、基板のＰｔ層上にセラミックス膜を形成した。得られた膜について、目視と光学顕微鏡による表面クラック、断面ＳＥＭ像による膜厚測定およびＸ線回折による組成分析を行った。結果を表１に示す。 [Examples 4 and 5]
Each of the coating liquid compositions D and E obtained above was cast on a laminated substrate of Si / SiO ₂ / Ti / Pt and applied by spin coating at 500 rpm for 5 seconds and 2,000 rpm for 15 seconds, and then 120 ° C. A ceramic film was formed on the Pt layer of the substrate by performing a forming process by a drying process for 10 minutes, a calcination process for 15 minutes at 400 ° C., and a baking process for 30 minutes at 700 ° C. three times. About the obtained film | membrane, the surface crack by visual observation and an optical microscope, the film thickness measurement by a cross-sectional SEM image, and the composition analysis by X-ray diffraction were performed. The results are shown in Table 1.

上記結果より、本発明の塗布液組成物である塗布液組成物Ｄ、Ｅを使用したスピンコート法により、クラックのない、複合金属酸化物膜を得ることが確認できた。 From the above results, it was confirmed that a composite metal oxide film having no cracks was obtained by the spin coating method using the coating liquid compositions D and E which are the coating liquid compositions of the present invention.

Claims

Precursor component (A) containing at least one kind of aliphatic organic acid metal compound having 6 to 12 carbon atoms, acid anhydride (B) of aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms, organic solvent ( C) and a coating liquid composition characterized by comprising.

The coating liquid composition according to claim 1, wherein the precursor component (A) contains a compound of an aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms and a group 4 or group 5 metal.

The coating liquid composition according to claim 1, wherein the precursor component (A) contains a compound of an aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms and a group 1 or group 2 metal.

The precursor component (A) is a compound of an aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms and a group 4 or 5 metal, an aliphatic organic acid having 6 to 12 carbon atoms and a group 1 or 2 metal. The coating liquid composition of Claim 1 containing a compound.

The coating liquid composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the acid anhydride (B) is an acid anhydride of the same organic acid as the aliphatic organic acid that gives the precursor component (A).

The precursor component (A) contains at least one kind of a metal compound of 2-ethylhexanoic acid, and the acid anhydride (B) is 2-ethylhexanoic acid anhydride. The coating liquid composition as described in 2.

The coating liquid composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the organic solvent (C) contains 50% by mass or more of an alcohol solvent or a diol solvent having 1 to 6 carbon atoms.

It passes through the application | coating process which apply | coats the coating liquid composition of any one of Claims 1-7 on a base | substrate, the drying process heated to 50-200 degreeC, and the baking process heated to 400-900 degreeC. A method for producing a metal oxide film.