JP2008165219A - フレキシブルドライバｉｃ - Google Patents

Abstract

【課題】可とう性・柔軟性のあるフレキシブルドライバＩＣを提供する。
【解決手段】シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバＩＣであり、シリコンウェハを研磨し、ドライバＩＣを１００μｍ以下の厚さにし、ディスプレイパネルに接続する際には、ディスプレイパネルに直接または、柔軟性を有するＦＰＣに実装した後にディスプレイパネルに接続する。またこのフレキシブルドライバＩＣを少なくとも一方が透明な対向する２枚のフレキシブル基板間の空間に、少なくとも１種以上の粒子からなり、光学的反射率および帯電性を有する粒子群として構成した表示媒体を少なくとも１種以上封止し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示するフレキシブル表示パネルに接続して使用する。
【選択図】図９

Description

本発明は、フレキシブルドライバＩＣに関するものであり、特に、フレキシブルディスプレイの駆動に使用するフレキシブルドライバＩＣに関するものである。

液晶表示装置（ＬＣＤ）に代わる情報表示装置として、電気泳動方式、エレクトロクロミック方式、サーマル方式、２色粒子回転方式等の技術を用いた情報表示装置が提案されている。

これら従来技術は、ＬＣＤと比較すると、通常の印刷物に近い広い視野角が得られる、消費電力が小さい、メモリー機能を有している等のメリットがあることから、次世代の安価な情報表示装置に使用可能な技術として考えられており、携帯端末用情報表示、電子ペーパー等への展開が期待されている。特に最近では、分散粒子と溶液から成る分散液をマイクロカプセル化し、これを対向する基板間に配置して成る電気泳動方式が提案されている。

中でも、少なくとも一方が透明な対向する２枚の基板間に形成された空間内に、少なくとも１種類以上の粒子から構成される光学的反射率および帯電性を有する少なくとも１種類以上の表示媒体を封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルが知られている。しかし、電子ペーパーと言いながらも実用的にはガラス基板を用いたディスプレイに限られ、紙と同様に表示のメモリー性はあるもののフレキシブル性のない電子ペーパーしかないのが現状であるが、この情報表示用パネルにおいても基板をはじめとするパネル構成部材を、可とう性の部材から構成することで、フレキシブルディスプレイとしても応用が検討されている。

また、ＴＦＴ素子とドライバＩＣとを同時にガラス基板上に作製し、転写技術を用いて樹脂基板上に転写し、ＴＦＴ素子とドライバＩＣとを含むアクティブマトリクス方式の表示基板を構成し、この基板を曲げても、基板上のＴＦＴ素子やドライバＩＣが基板から剥がれたり、ＴＦＴ素子やドライバＩＣが割れたりしない基板および基板の製造方法が知られている（例えば特許文献１）。
本発明者らはこの様な状況を改良するためにガラス基板を樹脂に代えてフレキシブル性を持たせたパネルを提案してきた。しかしながら、パネルのみにフレキシブル性を持たせてもディスプレイ駆動するドライバＩＣがリジッドなものでは真のフレキシブルとは言い難いディスプレイパネルであった。また、電子ペーパーへの応用を中心に述べたが、ディスプレイがフレキシブルであれば本発明のフレキシブルドライバＩＣを何ら差し支えなく使用することが可能であり、フレキシブルＬＣＤ、フレキシブルＰＤＰを得ることができる。
特開２００４−２３５２３８号公報

上述した特許文献１の例は、ＴＦＴ素子とドライバＩＣとの一体の技術であり、フレキシブルドライバＩＣを作製した例はこれまでにはなかった。またこの転写法を用いてガラス板に形成したドライバＩＣを樹脂フィルム上に形成しても、ドライバＩＣが樹脂フィルムから剥がれにくくしただけであり、リジッドなドライバＩＣ部分が曲がるようなフレキシビリティを有しているわけではなく、実装工程も複雑となってしまうため高価なものとなってしまい経済的な価値は少ない。この技術が高価なＴＦＴ素子と一体で形成して初めて成り立つ技術である点も問題となっていた。そこで、本発明の目的は上述した問題点を解消して、フレキシブルディスプレイの駆動に使用する可とう性・柔軟性のあるフレキシブルドライバＩＣを提供して、真にフレキシブルなフレキシブルディスプレイを得られるようにすることにある。

本発明のフレキシブルドライバＩＣは、シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバＩＣであり、シリコンウェハを研磨し、ドライバを１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下、さらに好ましくは４０μｍ以下の厚さにし、ディスプレイパネルに接続する際にはディスプレイパネルに直接または、柔軟性を有するＦＰＣに実装した後にディスプレイパネルに接続することを特徴とするものである。ここでいうディスプレイパネルとは、ディスプレイパネルを構成する上下基板の画素電極および周辺の電極を集約する部分からなり、接続は通常周辺の電極を集約する部分で行われる。また電極の材料は一般的に金属または、透明な画素電極として一般的に用いられるＩＴＯやＩＺＯなどのセラミック系の電極材料で形成されたフレキシブルディスプレイパネルのことである。

また、本発明のフレキシブルドライバＩＣは、液晶型ディスプレイやＰＤＰなどで構成した情報表示用パネルや電子ペーパーなどフレキシブルディスプレイとして構成されたものに実装して、真にフレキシブルなフレキシブルディスプレイとすることができるが、少なくとも一方が透明な対向する２枚の基板間の空間に、少なくとも１種以上の粒子からなり、光学的反射率および帯電性を有する表示媒体を少なくとも１種以上封止し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示するフレキシブルディスプレイに接続実装して使用する場合には特に良好に、真にフレキシブルなフレキシブルディスプレイとすることができる。

本発明によれば、シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバＩＣであり、シリコンウェハを研磨し、ドライバＩＣを１００μｍ以下の厚さにし、ディスプレイパネルに接続する際にはディスプレイパネルに直接または、柔軟性を有するＦＰＣに実装した後にディスプレイパネルに接続することで、特にフレキシブルディスプレイ用の回路基板に使用する可とう性・柔軟性のあるフレキシブルドライバＩＣを提供することができ、真にフレキシブルなフレキシブルディスプレイとすることができる。また、本発明のドライバＩＣのフレキシブル性を上げるために厚さは５０μｍ以下が望ましく、さらには４０μｍ以下が最も好適である。

まず、本発明の対象となる表示パネルや電子ペーパーの基本的な構成について説明する。本発明の対象となる表示パネルや電子ペーパーは、いわゆるディスプレイであれば問題なく使用できるが、液晶型ディスプレイ、ＰＤＰ、電子ペーパーなどの中で、特に、フレキシブルディスプレイパネルに適用することで、真にフレキシブルなフレキシブルディスプレイとすることができる。中でも最も好適なフレキシブルディスプレイパネルの形態は、対向する２枚のフレキシブル基板間の空間に封入した光学的反射率と帯電性とを有する表示媒体に電界が付与され、付与された電界方向にそって、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされるタイプのフレキシブルディスプレイパネルである。このタイプのフレキシブルディスプレイパネルでは、従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示を書き換える時あるいは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、パネルを設計する必要がある。こうして得られた表示パネルは単純マトリックス駆動が可能な構成とすることができ、フレキシブル化に最も適した構成であり、フレキシブルドライバと一体でトータルとしてフレキシブル化を達成することができる。

本発明の対象となる表示パネルの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図６に基づき説明する。

図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも１種以上の粒子から構成される光学的反射率および帯電特性の異なる粒子群として構成した、少なくとも２種以上の表示媒体３（ここでは表示用白色粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと表示用黒色粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（個別電極）と基板２に設けた電極６（個別電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。

図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも１種以上の粒子から構成される光学的反射率および帯電特性の異なる粒子群として構成した、少なくとも２種以上の表示媒体３（ここでは表示用白色粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと表示用黒色粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ライン電極）と基板２に設けた電極６（ライン電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。

図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも１種以上の粒子から構成される少なくとも光学的反射率と帯電性を有する粒子群として構成した、表示媒体３（ここでは表示用白色粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５と電極６との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と平行方向に移動させる。そして、図３（ａ）に示すように、白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色ドット表示を行うか、あるいは、図３（ｂ）に示すように、黒色板７の色を観察者に視認させて黒色ドット表示を行っている。なお、図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、手前にある隔壁は省略している。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。白色表示媒体を黒色表示媒体に代え、黒色板を白色板に代えても同様の表示を行うことができる。

図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、三個のセルで表示単位を構成するカラー表示の例を示している。図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、表示媒体としてはすべてのセル２１−１〜２１−３に白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填し、第１のセル２１−１の観察者側に赤色カラーフィルター２２Ｒを設け、第２のセル２１−２の観察者側に緑色カラーフィルター２２Ｇを設け、第３のセル２１−３の観察者側に青色カラーフィルター２２ＢＬを設け、第１のセル２１−１、第２のセル２１−２および第３のセル２１−３の三個のセルで表示単位を構成している。本例では、図４（ａ）に示すように、観察者側に、すべての第１セル２１−１〜第３のセル２１−３において白色表示媒体３Ｗを移動することで、観察者に対し白色ドット表示を行い、図４（ｂ）に示すように、観察者側に、すべての第１セル２１−１〜第３のセル２１−３において黒色表示媒体３Ｂを移動することで、観察者に対し黒色ドット表示を行っている。各セルの表示媒体の移動のさせ方で多色カラー表示を行うことができる。なお、図４（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。

図５および図６に示す例では、図２（ａ）、（ｂ）に示す例と同様に、ライン電極５、６を用いて白黒ドット表示を行う他の例を説明している。図５に示す例では、図２（ａ）、（ｂ）で示す白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填した隔壁４で形成されたセルの代わりに、白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを絶縁液体８とともに内部に充填したマイクロカプセル９を用いている。また、図６に示す例では、図２（ａ）、（ｂ）で示す白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填した隔壁４で形成されたセルの代わりに、白色と黒色とを半々に塗り分け、極性も互いに反対に構成した回転ボール１０を表示媒体として絶縁液体８とともに内部に充填したマイクロカプセル９を用いている。図５および図６に示すいずれの例も、図２（ｂ）に示す例と同様に、白黒ドット表示を行うことができる。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。

シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバＩＣのシリコンウェハ部を研磨し、ドライバＩＣを１００μｍ以下にすることで、通常使用しているドライバＩＣが可とう性、柔軟性を有するようになる。ここで、シリコンウェハを研磨する技術として、例えばＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈ）研磨を利用する。ただし、単純に研磨して薄くするだけでは微細なクラックなどの欠陥が生じシリコンウェハが折れやすくなるので、一般的に用いられているストレスフリー処理を実施した方が良い。またさらに折れやすさを解消するためには、表示パネルに接続する際に、粘着テープや異方性導電接着剤などのはみ出部等の柔軟性に富む部材を利用して補強する。このように、粘着テープや接着剤で埋め込むなど一部に応力が偏らないような補強をすることで、専らに実用性の高いフレキシブルドライバＩＣを提供することが可能となる。
ドライバＩＣの厚さは薄くするほど可とう性（フレキシブル性）、柔軟性が増すが、薄くしすぎるとドライバＩＣとして機能しなくなる不都合や、衝撃が加えられたときや、薄く加工していく際に割れやすくなる不都合があるため、ある程度の厚さを確保することが好適である。一方、１００μｍを超える厚さでは、真にフレキシブルなフレキシブルディスプレイとすることができないという不都合がある。
ＣＭＰ研磨においては、５μｍ厚までの加工が可能でドライバＩＣ機能も発揮できることを確かめているが、加工後の取り回しで破損してしまうことが多発し、生産性の面からは加工後の取り回しが容易で、生産コストアップとならない厚さとして３０μｍ厚以上が実用上の好ましい範囲といえる。

図７（ａ）、（ｂ）に本発明のフレキシブルドライバＩＣを用いたフレキシブルディスプレイの構成図を示す。図７（ａ）は、フレキシブルディスプレイパネルを構成する上下基板の周辺部に形成された回路上に実装されたフレキシブルドライバＩＣを示す。図７（ｂ）は、一般的にＣＯＦ（チップオンフィルム）やＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）と言われるフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）上に実装した上でフレキシブルディスプレイパネルに接続されたものである。
なおこのフレキシブルドライバＩＣの実装には一般的に異方性導電膜法（ＡＣＦ Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）、超音波接合法、ハンダリフロー法などが用いられる。上記した接着剤による補強とはＡＣＦを用いる場合であり、超音波接合法、ハンダリフロー法の場合はアンダーフィル材などで補強した上で粘着テープ等を用いてラミネートすることでさらにフレキシブル性と強度とを向上することができる。

以下、本発明の対象となる表示パネルについて説明する。
基本的に１００μｍ以下に研磨したディスプレイパネル駆動用ドライバであるので、ドライバとしてどんなディスプレイにも使用可能である。すなわち、アクティブ駆動液晶ディスプレイ、パッシブ駆動液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、無機ＥＬディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパー技術に分類されるコレステリック液晶ディスプレイ、電気泳動ディスプレイ、ＭＥＭＳディスプレイ、バイステーブルＴＮ液晶ディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、また詳細に言えば、電気泳動ディスプレイにはさらにマイクロカプセル型、マイクロカップ型、ツイストボール型などの多くのディスプレイがあり全てに応用可能である。本発明の技術中に含まれる効果としてはフレキシブル性だけでなく、トータル厚みの減少にも繋がる。最近では携帯電話、デジタルカメラなど多機能化が進んでおり、機能を追加してもその厚さは変えずに、という要求が多い。こうした点においても薄膜化した駆動用ドライバは有用である。
また、これら例示したディスプレイパネルの中でもフレキシブル化したディスプレイパネルであればさらに好適に用いることができる。ディスプレイパネルのどの部分に用いてもトータルとしてフレキシブル性が発現でき、初期の目的を達成できる。
ただし、どのようなディスプレイパネルであってもフレキシブル化が容易というわけではない。単に技術的に可能というだけの場合もある。その点、電子ペーパー技術を利用したディスプレイパネルはフレキシブル化が１つの目的であり、この電子ペーパーディスプレイに本発明のフレキシブルドライバＩＣを用いて初めて紙の代替として総合的な意味での価値が生まれてくる。

さらに本発明の対象となる最も有効な表示パネルについて説明する。

基板については、少なくとも視認側の基板は表示パネル外側から表示媒体の色が確認できる透明なフレキシブル基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。背面側の基板は透明でも不透明でもかまわないがフレキシブルな材料を用いたフレキシブル基板である。基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリイミド、アクリルなどのポリマーシートや、金属シートのように可とう性のあるものが挙げられる。基板の厚みは、２〜２０００μｍが好ましく、さらに５〜１０００μｍが好適であり、薄すぎると、強度、基板間の間隔均一性を保ちにくくなり、２０００μｍより厚いと、可とう性において不都合がある。

表示パネルに設ける電極材料としては、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等の金属類や酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、導電性酸化錫、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子類が例示され適宜選択して用いられる。電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状に形成する方法や金属箔をラミネートする方法（例えば、圧延銅箔）や、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布したりする方法が用いられる。視認側であり透明である必要のある表示面側基板２に設ける電極は透明である必要があるが、背面側基板１に設ける電極は透明である必要はない。いずれの場合もパターン形成可能で導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１〜１０μｍ、好ましくは０．０５〜５μｍである。背面側基板１に設ける電極の材質や厚みなどは上述した表示面側基板に設ける電極と同様であるが、透明である必要はない。なお、この場合の外部電圧入力は、直流あるいは交流を重畳しても良い。

表示パネルの基板間の空間にセルを形成する場合に設ける隔壁において、隔壁の高さや幅は表示にかかわる表示媒体の種類により適宜最適設定され、一概には限定されないが、隔壁の幅は２〜１００μｍ、好ましくは３〜５０μｍに、隔壁の高さは１０〜５００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍに調整される。特に、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする方式の表示パネルにおいては、隔壁の高さを、１０〜１００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍに調整する。このように基板間ギャップを小さくすることでフレキシブル基板との構成と合わせて、フレキシブルな表示パネルが得られるだけでなく、低電圧の印加でも高電界が得られるようになり、表示媒体（帯電性粒子を含んだ粒子群）の駆動性が向上するので好ましい。表示側基板と背面側基板とを重ね合わせて得られる表示パネルにおけるセルは図８に示すごとく、基板平面方向からみて四角状、三角状、ライン状、円形状、六角状が例示され、配置としては格子状やハニカム状や網目状が例示される。隔壁形状によって様々な形状のものが用いられる。表示面側から見える隔壁断面部分に相当する部分（隔壁の幅によって形成されるセルの枠部の面積）はできるだけ小さくした方が良く、表示状態の鮮明さが増す。
ここで、隔壁の形成方法を例示すると、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法が挙げられる。いずれの方法もこの発明の表示パネルに好適に用いることができるが、これらのうち、フレキシブルなレジストフィルムを用いてフレキシブルな隔壁が得られるフォトリソ法やフレキシブルな転写材料を用いてフレキシブルな隔壁が得られる金型転写法が好適に用いられる。

次に、本発明の対象になる表示パネルにおいて表示媒体とする粒子群を構成する表示用粒子（以下、粒子ともいう）について説明する。表示用粒子は、そのまま該表示用粒子だけで粒子群を構成して表示媒体としたり、その他の粒子と合わせて粒子群を構成して表示媒体としたりして用いられる。
粒子には、その主成分となる樹脂に、必要に応じて、従来と同様に、荷電制御剤、着色剤、無機添加剤等を含ますことができる。

帯電性粒子を含んだ粒子群として構成される表示媒体を気体中空間で駆動する表示パネルでは、表示媒体を取り巻く空隙部分の気体の管理が重要であり、表示安定性向上に寄与する。具体的には、空隙部分の気体の湿度について、２５℃における相対湿度を６０％RH以下、好ましくは５０％RH以下とすることが重要である。
この空隙部分とは、図１（ａ）、（ｂ）〜図７において、対向する基板１、基板２に挟まれる部分から、電極５、６（電極を基板内側に設けた場合）、表示媒体３の占有部分、隔壁４の占有部分（隔壁を設けた場合）、表示パネルのシール部分を除いた、いわゆる表示媒体が接する気体部分を指すものとする。
空隙部分の気体は、先に述べた湿度領域であれば、その種類は問わないが、乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴン、乾燥ヘリウム、乾燥二酸化炭素、乾燥メタンなどが好適である。この気体は、その湿度が保持されるように表示パネルに封入することが必要であり、例えば、表示媒体の充填、表示パネルの組み立てなどを所定湿度環境下にて行い、さらに、外からの湿度侵入を防ぐシール材、シール方法を施すことが肝要である。

本発明の対象になる帯電性粒子を含んだ粒子群として構成される表示媒体を気体中空間で駆動する表示パネルとする場合、対向する基板間の気体中空間における表示媒体の体積占有率は５〜７０％が好ましく、さらに好ましくは５〜６０％である。７０％を超える場合には表示媒体としての移動に支障をきたし、５％未満の場合にはコントラストが不明確となり易い。

（１）第１実施例
３値出力の駆動用ドライバＩＣ（耐圧９０Ｖ）をウェハの状態で３０μｍの高さのバンプ形成した後、回路側に補強用のフィルムを貼り、厚さ５０μｍに研磨し、ストレスフリー処理など通常の工程を経てドライバＩＣを作製した。その後シリコン側にダイシングテープを貼り、補強用のフィルムを剥離した後にダイシングした。
図９（ａ）、（ｂ）は本発明の第１実施例の実施例Ａに用いるドライバＩＣの構成を示す。図９（ａ）に示すように、ＴＣＰ基板（ＦＰＣ）３６上にフィルム状の異方導電性接着剤３４を用いて実装した。この時に粘着部のバンプ３３の高さ及びＴＣＰ電極３５の高さ２０μｍを考慮して５０μｍ高さの異方導電性接着剤３４を使用した。圧着時にはみ出た異方導電性接着剤３４が圧着ヘッドを汚すためフレキシブルドライバＩＣ３２上に１００μｍの厚のポリエステルフィルム３１を置き、圧着機を用いて加熱圧着し、図９（ｂ）に示す構成とした。ポリエステルフィルム３１は、はみ出した異方導電性接着剤でドライバＩＣを包み込むように接着し、補強シートとして利用した。
本実施例では、フィルム状の異方導電性接着剤（ＡＣＦ）を用いたが、異方導電性接着剤はフィルム状でなくても粘性が高いものであれば好適に用いることができるほか、シール性を高め、接着性とシール性とを合わせ持つ異方導電性シール剤（ＡＣＳ）を用いることもできる。
さらに、フィルム状の異方導電性接着剤３４を用いて、図２に示した構成の表示パネル（ＩＴＯライン電極付きフレキシブル基板を合わせたパネル基板間に黒色表示媒体と白色表示媒体とを封止してなるフレキシブル表示パネル）の回路基板に実装した。ドライバを実装した回路基板を、表示部パネルの裏側に配置して表示パネルを得、これを実施例Ａの表示パネル作製例とした。また、実施例Ｂの表示パネル作製例として、ポリエステルフィルム３１を用いないで作製したドライバＩＣを搭載した点以外は実施例Ａの表示パネル作製例と同一にして表示パネルを得た。
また、以下に示す屈曲テストにおける屈曲動作を１回行った後と、所定の１０回行った後のディスプレイパネルにテストパターン表示を行った。

（２）第２実施例
ドライバＩＣを厚さ３５μｍに研磨した以外は第１実施例と同様の実施例Ｃ、Ｄの表示パネル作製例で表示パネルを作製し、さらに、ドライバＩＣを厚さ３０μｍに研磨した以外は第１実施例と同様の実施例Ｃ’、Ｄ’の表示パネル作製例で表示パネルを作製し、評価を行った。実施例Ｃ、Ｃ’の表示パネル作製例は、実施例Ａの表示パネル作製例と同様に、ポリエステルフィルム３１を用いて作製したドライバＩＣを搭載し、実施例Ｄ、Ｄ’の表示パネル作製例は、実施例Ｂの表示パネル作製例と同様に、ポリエステルフィルム３１を用いないで作製したドライバＩＣを搭載した。
また、以下に示す屈曲テストにおける屈曲動作を１回行った後と、所定の１０回行った後のディスプレイパネルにテストパターン表示を行った。

（３）第３実施例
ドライバＩＣを厚さ１００μｍに研磨した以外は第１実施例および第２実施例と同様の実施例Ｅ、Ｆの表示パネル作製例で表示パネルを作製し、評価を行った。実施例Ｅの表示パネル作製例は、実施例Ａ、Ｃの表示パネル作製例と同様に、ポリエステルフィルム３１を用いて作製したドライバＩＣを搭載し、実施例Ｆの表示パネル作製例は、実施例Ｂ、Ｄの表示パネル作製例と同様に、ポリエステルフィルム３１を用いないで作製したドライバＩＣを搭載した。
この場合も、周辺にはみ出した異方導電性粘着剤（ＡＣＦ）がドライバＩＣの上部まで回り込み、十分な補強を図ることができた。
以下に示す屈曲テストにおける屈曲動作を１回行った後と、所定の１０回行った後のディスプレイパネルにテストパターン表示を行った。

（４）第４実施例
図１０（ａ）、（ｂ）は本発明の第４実施例の実施例Ｇ〜Ｉ’の表示パネル作製例に用いるドライバＩＣの構成を示す。第１実施例〜第３実施例で使用したポリエステルフィルム３１の代わりにテフロン（登録商標）シートを置き（言い換えれば、第４実施例においてはテフロン（登録商標）シートを用いて）、圧着後テフロン（登録商標）シートをはがし、そのフレキシブルドライバＩＣ３２の部分に粘着テープを貼り補強した。粘着テープとしては市販品（商品名：セロテープ（登録商標））を用いたが、これに限らず、他の市販粘着テープであればいずれの粘着テープであってもよい。
さらに、フィルム状の異方導電性接着剤３４を用いて、図２に示した構成の表示パネル（ＩＴＯライン電極付きフレキシブル基板を合わせたパネル基板間に黒色表示媒体と白色表示媒体とを封止してなるフレキシブル表示パネル）の回路基板に実装した。ドライバＩＣを実装した回路基板を、表示部パネルの裏側に配置してディスプレイパネルを得た。
厚さ１００μｍのドライバＩＣを用いた表示パネル作製例を実施例Ｇ、厚さ５０μｍのドライバＩＣを用いた表示パネル作製例を実施例Ｈ、厚さ３５μｍのドライバＩＣを用いた表示パネル作製例を実施例Ｉ、厚さ３０μｍのドライバＩＣを用いた表示パネル作製例を実施例Ｉ’とする。
また、以下に示す屈曲テストにおける屈曲動作を１回行った後と、所定の１０回行った後のディスプレイパネルにテストパターン表示を行った。

（５）比較例
ドライバＩＣとして一般的な７００μｍ厚のものを用いて、上述した実施例と同様の方法で比較例Ａ、Ｂの表示パネル作製例に従い、各フレキシブル表示パネルにドライバＩＣを実装してディスプレイパネルを作製し、同様の評価を行った。
比較例Ａの表示パネル作製例の表示パネルは、７００μｍ厚のドライバＩＣを用いた点以外、実施例Ａの表示パネルの作製方法と同様な方法で作製した。
比較例Ｂの表示パネル作製例の表示パネルは、７００μｍ厚のドライバＩＣを用いた点以外、実施例Ｇ〜Ｉ’の表示パネルの作製方法と同様な方法で作製した。
また、以下に示す屈曲テストにおける屈曲動作を１回行った後と、所定の１０回行った後のディスプレイパネルにテストパターン表示を行った。

上述した第１〜４実施例および比較例の構成を表１に示す。

実施例および比較例で用いたフレキシブル表示パネルを説明する。
ベース材料が、ポリエステル（帝人デュポン製）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート：帝人デュポン製）、ＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）、ポリイミド（宇部興産製）からなる基板を準備し、基板に対し、対角５インチ、縦横比３：４で、リブ幅１０μｍ、ピッチ１５０μｍの格子状の隔壁を形成し、その中に白黒２種類の表示媒体を、２枚の基板をエポキシ接着剤で貼り合わせて封止した構成とした４種類のフレキシブル表示パネルに対してそれぞれ表１に示したドライバＩＣ実装方法を用いて実装したフレキシブルディスプレイにつき評価した。
隔壁は、感光性フィルムであるニチゴーモートン社製ドライフィルムフォトレジストＮＩＴ２５０をラミネートし、露光、現像により形成した。このレジストフィルムを用いて、所定の厚さのレジスト層とし、所定高さの隔壁とした。

表示パネル作製例に従って、フレキシブル表示パネルにドライバＩＣを実装した。
実施例Ａ〜Ｉ’の表示パネル作製例によるディスプレイパネルは、接続したドライバＩＣも含めて柔軟性に富み、比較例Ａ、Ｂの表示パネル作製例に従って、フレキシブル表示パネルにドライバＩＣを実装したディスプレイパネルに比較して、柔軟性（フレキシブル性）が格段に向上し、真にフレキシブルなフレキシブルディスプレイパネルといえるものとなった。
比較例Ａ、Ｂの表示パネル作製例のいずれにおいても、異方導電性粘着剤（ＡＣＦ）が周辺にはみ出したが、ＩＣチップ上部まで回り込むことはなく、補強用として配したポリエステルフィルムが接着されることもなく補強機能を果たさなかった。

１回の屈曲動作後に表示させた画像品質においては、実施例Ａ〜Ｉ’作製例によるディスプレイパネルはいずれも良好な表示状態といえるものであった。
１０回の屈曲動作後（評価に用いた屈曲テスト完了後）に表示させた画像品質においては、実施例Ｂ、Ｄ、Ｆ作製例によるディスプレイパネルよりも実施例Ａ、Ｃ、Ｅ作製例によるディスプレイパネルの方が良好な表示状態といえるものであった。これは、実施例Ｂ、Ｄ、Ｆ作製例によるディスプレイパネルでは屈曲動作を１０回も繰り返す屈曲テストでは、屈曲テスト中にドライバＩＣの破壊が起こってしまったためと推察される。実施例Ｇ〜Ｉ’作製例によるディスプレイパネルでは屈曲動作を１０回も繰り返す屈曲テスト後の表示画像の品質においても良好な表示状態といえる結果が得られた。
比較例Ａの表示パネル作製例によるディスプレイパネルでは、１回目の屈曲（伸縮型屈曲試験機３７のストローク距離を徐々に狭めていき（図１１（ｂ））、セットしたディスプレイパネル３８のディスプレイパネル長の二分の一に達したところ）でＩＣチップが基板から剥がれてしまった。
比較例Ｂの粘着テープを用いた表示パネル作製例によるディスプレイパネルでは、１０回屈曲を繰り返してテストを終了した後もＩＣチップは基板に付いていたが、ＩＣチップが割れていた。

屈曲テストについて説明する。
上記フレキシブル表示パネルとドライバＩＣとで構成したディスプレイパネルを、図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、距離を変更することができる伸縮型屈曲試験機３７にセットし、屈曲試験を行った。屈曲試験は、図１１（ａ）の状態にセットした後、伸縮型屈曲試験機３７のストローク距離を徐々に狭めていき（図１１（ｂ））、セットしたディスプレイパネル３８のディスプレイパネル長の二分の一に達したら（図１１（ｃ））、今度は伸縮型屈曲試験機３７のストローク距鏡を徐々に広げていき、元の位置まで戻すという動作を１０回繰り返すことによって行った。１回目の屈曲動作後、ディスプレイパネルの状態を目視観察してから所定のテストパターン表示を行い、さらに、屈曲動作を９回繰り返して行い、計１０回の屈曲動作を行ってテストを終了する。

本発明に係るフレキシブルディスプレイパネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディーターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル（取扱説明書）等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板（ホワイトボード）等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ（Point Of Presence、Point Of Purchase advertising）、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計などのメインの表示部、あるいは補助表示部にフレキシブル表示パネルと一体にして用いられる。無論、ガラス基板の場合と同様にフラットであってもよいが、多くの場合は、任意の形状で曲げてあるか、使用者が自由に曲げることができるものである。またフレキシブル化することで携帯中に落としても壊れないなどの利点もある。
従来、表示パネルのみがフレキシブルであったので、駆動用ドライバを１辺に集約し、かつ、駆動回路や電池は一箇所にまとめることでデザイン的に回避して一応のフレキシブルディスプレイとしてきた。
然るに、本発明のフレキシブルドライバＩＣを用いれば表示パネルのどの周辺に駆動用のドライバを接続しても、表示パネルのどの位置に駆動用のドライバを接続しても、表示パネル全体がフレキシブルでありフレキシブルに設計した回路基板（ＦＰＣ）と一体化しても、回路基板のフレキシブル性が損なわれることなく、軽くフレキシブルで壊れにくいディスプレイモジュールを提供可能となり、よりモバイル性が望まれるディスプレイへの適用もできる。

なお、本発明のフレキシブルドライバＩＣを適用するディスプレイパネルの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、セグメント駆動方式、ダイナミック駆動方式など、種々のタイプの駆動方式を用いることができる。

（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象になる表示パネルの一例を示す図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象になる表示パネルの他の例を示す図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象になる表示パネルのさらに他の例を示す図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象になる表示パネルのさらに他の例を示す図である。 本発明の対象になる表示パネルのさらに他の例を示す図である。 本発明の対象になる表示パネルのさらに他の例を示す図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のフレキシブルドライバＩＣを用いたフレキシブルディスプレイの構成図を示す。 本発明の対象になる表示パネルにおける隔壁の形状の一例を示す図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の第１実施例の実施例Ａに用いるドライバＩＣの構成を示す。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の第４実施例の実施例Ａに用いるドライバＩＣの構成を示す。 （ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ本発明の評価で用いる伸縮型屈曲試験機を示す図である。

符号の説明

１、２ 基板
３ 表示媒体
３Ｗ 白色表示媒体
３Ｗａ 表示用白色粒子（帯電性白色粒子）
３Ｂ 黒色表示媒体
３Ｂａ 表示用黒色粒子（帯電性黒色粒子）
４ 隔壁
５、６ 電極
７ 黒色板
８ 絶縁液体
９ マイクロカプセル
１０ 回転ボール
２１−１ 第１のセル
２１−２ 第２のセル
２１−３ 第３のセル
２２Ｒ 赤色カラーフィルター
２２Ｇ 緑色カラーフィルター
２２ＢＬ 青色カラーフィルター
３１ ポリエステルフィルム
３２ ドライバＩＣ（フレキシブルドライバＩＣ）
３３ バンプ
３４ 異方導電性接着剤
３５ 電極
３６ ＦＰＣ（フレキシブルプリント回路）
３７ 伸縮型屈曲試験機
３８ ディスプレイパネル

Claims (5)

1. シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバにおいて、
   前記シリコンウェハを研磨し、ドライバを１００μｍ以下の厚さにすることを特徴とするフレキシブルドライバＩＣ。
2. 前記ドライバを３０μｍ以上の厚さにすることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルドライバＩＣ。
3. フレキシブル表示パネルに直接実装するか、または、柔軟性を有するフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）に実装した後に、フレキシブル表示パネルにフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）を介して実装することを特徴とする請求項１または２に記載のフレキシブルドライバＩＣ。
4. 請求項３において、フレキシブル表示パネルに直接実装する又はフレキシブルプリント回路に実装するにあたり、異方導電性接着剤を用いて接続することを特徴とするフレキシブルドライバＩＣ。
5. 少なくとも一方が透明な対向する２枚のフレキシブルな基板間の空間に、少なくとも１種以上の粒子からなり、光学的反射率および帯電性を有する表示媒体を少なくとも１種以上封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示するフレキシブル表示パネルに実装されて用いられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のフレキシブルドライバＩＣ。
   

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