JP2007293187A - プロジェクタ、スクリーン、プロジェクタシステム、およびシンチレーション除去装置 - Google Patents

Abstract

【課題】シンチレーションを効果的に除去可能であり、かつ、振動や雑音、消費電力等の点で実用性に優れたシンチレーション除去装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】本発明のプロジェクタは、振動可能に設けられ、入射された光を振動により拡散させて拡散光を射出する光拡散部２１と、自身の振動により光拡散部２１を振動させる圧電素子３０，３１を備えた振動発生部２３と、振動発生部２３が光拡散部２１を光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるように振動発生部２３を制御する制御部とを備え、光拡散部２１から射出された光を用いて画像を表示する。
【選択図】図３

Description

本発明は、プロジェクタ、スクリーン、プロジェクタシステム、およびシンチレーション除去装置に関し、特に画像表示時に発生するシンチレーションを除去する機構を備えたプロジェクタに関するものである。

光源により液晶ライトバルブ等の空間光変調器を照明し、その空間光変調器で変調された画像光を投射レンズ等の投射光学系でスクリーンに拡大投射するプロジェクタが広く知られている。この種のプロジェクタにおいて、画像光による表示を行う際、スクリーン等の散乱体で光の干渉が生じることによって明点と暗点とが縞模様あるいは斑模様に分布する、いわゆる「シンチレーション（あるいは「スペックル」とも言う）」と呼ばれる現象が発生する場合がある。

シンチレーションは、観察者に対してぎらつき感を与え、画像鑑賞時に不快感を与えるなどの悪影響を及ぼす原因となる。特にレーザ光は干渉性が高い光であることから、シンチレーションが発生しやすい。ところが、ランプ光源の場合でも近年は短アーク化によって干渉性が高くなっており、シンチレーションを除去する技術が重要になってきている。従来のレーザ投影型表示装置において、レーザ光源と空間光変調器との間にホログラフィー拡散器のような光拡散器を装入し、この光拡散器を電気モータ等の運動付与手段を用いて直線運動、円運動、ランダム運動させることによりシンチレーションを除去する技術が既に提案されている（例えば、特許文献１）。この技術は、光拡散器を運動させることでスペックルパターン（干渉模様）を動的に変化させて人間の目に感じさせないようにするというものである。
特開２００３−９８４７６号公報

上記の特許文献１に記載の技術においては、光拡散器の運動付与手段として電気モータ、振動モータ、リニアアクチュエータが例示されている。しかしながら、これらのものでは光拡散器を高速に移動させ得る応答性に乏しいという問題がある。また、振動や雑音、消費電力等についての問題も多く、実用化が極めて難しいと考えられる。したがって、この技術を用いたとしてもシンチレーションが効果的に除去できない恐れがあり、実用性の面でユーザの満足が得られないものとなってしまう。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、シンチレーションを効果的に除去可能であり、かつ、振動や雑音、消費電力等の点で実用性に優れたプロジェクタ、スクリーン、プロジェクタシステム、およびシンチレーション除去装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明のプロジェクタは、振動可能に設けられ、入射された光を振動により拡散させて拡散光を射出する光拡散部と、自身の振動により前記光拡散部を振動させる圧電素子を備えた振動発生部と、前記振動発生部が前記光拡散部を前記光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるように前記振動発生部を制御する制御部と、を備え、前記光拡散部から射出された光を用いて画像を表示することを特徴とする。なお、光拡散部の振動には、縦振動、幅振動、屈曲振動等の様々な振動モードが考えられるが、本発明で言う「共振周波数」とは、複数の振動モードのうちのいずれかの共振周波数であればよい。

本発明のプロジェクタは、光拡散部を振動させることで光の位相を変化させることにより光の干渉を低減し、シンチレーションを除去するという基本原理を持つものである。従来の構成では光拡散器を運動させるために電気モータ等が用いられていたのに対し、本発明の構成では光拡散部を振動させるための振動発生部に圧電素子が用いられている。一般に圧電素子は電気モータ等に比べて高速応答性に優れることから、本発明のプロジェクタにおいては、圧電素子の使用によってシンチレーションを効果的に除去することが可能となる。また、圧電素子を用いた場合、少ない部品で振動発生部の機構を構成できることから、振動発生部を小型かつ簡易な構成とし、優れた静粛性、省電力性、耐久性を容易に実現することもできる。また、圧電素子によって光拡散部の振動形態を変化させることで光拡散部を振動させる周波数を低減できることからも、高い静粛性、低消費電力化、信頼性の向上を図ることができる。

さらに本発明の場合、振動発生部を制御する制御部を備えており、振動発生部が光拡散部を光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるという特徴を有している。この特徴により、振動発生部を駆動するのに同じ大きさのエネルギーを与えたとしても、周波数を考慮せずに駆動した場合に比べて光拡散部の振幅を大きくすることができる。その結果、本発明の構成によれば、シンチレーションをより確実に除去することができる。また逆に考えると、光拡散部が所望の振幅を得るのに要するエネルギーが少なくて済むため、更なる低消費電力化を図ることができる。

また本発明において、前記振動発生部は１つであってもよいが、複数設けられていてもよい。
振動発生部が複数設けられた場合、光拡散部の振幅を容易に大きくすることができ、シンチレーションを確実に除去することができる。また、個々の振動発生部の寸法、配置や向き（振動方向）、印加電圧等を適宜設定すれば、光拡散部を所望の方向、所望の振幅で振動させることができ、振動の最適化が容易になる。これにより、シンチレーションの低減の度合、言い換えると表示画像の鮮鋭度を制御することもできる。

また本発明において、前記振動発生部が少なくとも２つ設けられており、２つの振動発生部の各々の振動方向が前記光拡散部の主面内において直交していることが望ましい。
複数の振動発生部を設ける場合、特に２つの振動発生部の各々の振動方向が光拡散部の主面内において直交するように配置すれば、光拡散部の主面内における全ての方向に振動を生じさせることができる。

上記のような振動を発生させる具体的な構成としては、前記光拡散部が、第１の方向に振動可能とされた枠部と、前記第１の方向に直交する第２の方向に前記枠部に対して相対的に振動可能とされた光拡散部本体とを有するものとし、前記枠部および前記光拡散部本体の各々を振動させる振動発生部をそれぞれ設けたものとすればよい。
この構成によれば、各方向の振動に対する共振周波数での振動を各振動発生部が受け持てばよいため、光拡散部の主面内における共振周波数での振動を実現し易くなる。

複数の振動発生部を設ける場合、前記複数の振動発生部のうち、少なくとも２つの振動発生部の圧電素子に対して、相互に位相がずれた波形を有する駆動信号をそれぞれ入力する構成とするのが望ましい。
この構成によれば、光拡散部がその主面内において円運動（軌道が正円である場合、楕円である場合の双方を含む）を行うことになる。円運動の場合、例えば往復直線運動の場合等とは異なり、光拡散部の運動が停止する期間がなくなるので、シンチレーションが非常に視認されにくくなる。

さらに、前記位相がずれた波形を有する駆動信号が入力された２つの圧電素子の加振周波数をそれぞれｆ１，ｆ２としたとき、ｆ１＝ｎ×ｆ２（ｎ：１以上の自然数）の関係を満たすようにすることが望ましい。
２つの圧電素子のうち、一方の圧電素子の加振周波数ｆ１を他方の圧電素子の加振周波数ｆ２のｎ倍に設定すれば、２つの駆動信号の位相がずれた状態が常に保持されるため、円運動が連続的に行われ、運動が停止することがない。したがって、光拡散部の運動が停止することでシンチレーションが視認される期間が生じることがない。

前記光拡散部が、異なる振動モードに対応する複数の共振周波数を有するものであってもよい。その場合、前記複数の共振周波数が略同一であることが望ましい。
この構成によれば、略同一の複数の共振周波数に対応する周波数で光拡散部を振動させることによって異なる振動モードの振動が同時に起こるため、円運動が生じやすくなる。なお、「共振周波数が略同一」とは、共振周波数の差が１０％以内であることを言う。少なくとも共振周波数の差が１０％以内であれば、異なる振動モードの振動が同時に起こることを本発明者らは確認している。

前記光拡散部固有の共振周波数が２０ｋＨｚ以上であることが望ましい。
一般に、２０ｋＨｚ以上の振動は人間の可聴範囲を超えると言われている。そのため、この構成によれば、シンチレーション除去のために光拡散部を振動させても、振動に伴う騒音が発生しなくなる。

また、前記光拡散部が支持部材を支点として振動可能に設置され、前記支持部材が前記光拡散部の振動の節となる位置に配置されていることが望ましい。
光拡散部を振動可能に構成するためには、例えばプロジェクタや光学エンジンの筐体等に支持部材を介して光拡散部を支持させる必要がある。すると、光拡散部は支持部材を支点として振動することになる。そのとき、支持部材を光拡散部の振動の節となる位置に配置しておけば、支持部材が振動を妨げることがなく、振幅を大きくすることができる。

前記振動発生部の設置形態としては、前記振動発生部が前記光拡散部の外部に固定端を有し、前記光拡散部外部の前記振動発生部から前記光拡散部に振動が付与されるようにしてもよい。
本構成は、光拡散部を外部から強制振動させる構成であり、光拡散部自体に振動発生部を設置するスペースがない場合などに好適である。

あるいは、前記振動発生部が前記光拡散部の外部に固定端を有することなく前記光拡散部の光入射面側および光射出面側にそれぞれ設置され、前記圧電素子の振動により前記光拡散部全体が振動するようにしてもよい。
本構成の場合、光拡散部自体に振動発生部を設置するスペースが必要になる反面、光拡散部外部からの強制加振ではないため、光拡散部の支持部さえあればよく、振動発生部の支持部は必要としなくて済む。

本発明のスクリーンは、振動可能に設けられ、入射された光を振動により拡散させて拡散光を射出する光拡散部と、自身の振動により前記光拡散部を振動させる圧電素子を備えた振動発生部と、前記振動発生部が前記光拡散部を前記光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるように前記振動発生部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
本発明のシンチレーション除去のための構成は、スクリーン単体に適用することもできる。この場合でも、圧電素子の使用によってシンチレーションを効果的に除去することができる、優れた静粛性、省電力性、耐久性を容易に実現できる、といった上記と同様の効果を得ることができる。

本発明のプロジェクタシステムは、上記本発明のスクリーンと、前記スクリーンに対して画像光を投射するプロジェクタ本体とを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、シンチレーションを効果的に除去可能であるとともに、優れた静粛性、省電力性、耐久性を兼ね備えたプロジェクタシステムを実現することができる。

本発明のシンチレーション除去装置は、振動可能に設けられ、入射された光を振動により拡散させて拡散光を射出する光拡散部と、自身の振動により前記光拡散部を振動させる圧電素子を備えた振動発生部と、前記振動発生部が前記光拡散部を前記光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるように前記振動発生部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、シンチレーションを効果的に除去でき、優れた静粛性、省電力性、耐久性を備えたシンチレーション除去装置を実現することができる。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図１〜図１０を参照して説明する。
本実施形態では、本発明をリアプロジェクタに適用した例を示し、中でもシンチレーション除去装置をリアプロジェクタの光学エンジン部に内蔵した例を示す。
図１は本実施形態のリアプロジェクタの概略構成図、図２は同、リアプロジェクタの光学エンジン部を示す概略構成図、図３は同、光学エンジン部内のシンチレーション除去装置を示す平面図、図４は図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図であり、特に振動発生部の構成を示す断面図、図５は同、シンチレーション除去装置の拡散板の一部を示す平面図、図６は同、振動発生部の動作を説明するための図、図７は同、振動発生部の縦振動について説明するための図、図８は同、縦振動時の振動発生部の変位について説明するための図、図９は同、光拡散部の振動周波数とインピーダンスとの関係を示す図、図１０は同、振動発生部の制御部を示すブロック図、である。
なお、全ての図面において、各構成部材を見やすくするため、各構成部材毎に寸法や縮尺を変えて描くこともある。

本実施形態のリアプロジェクタ（プロジェクタ）１は、図１に示すように、投射レンズ２を備えた光学エンジン部３とミラー４とが筐体５内に収容されており、筐体５の一部に設けられた開口部５ａにスクリーン６が嵌め込まれている。光学エンジン部３は、後述する空間光変調装置が内蔵されたものであって、画像信号に応じて変調された光（画像光）を射出する。投射レンズ２は、光学エンジン部３から射出された光をミラー４に向けて拡大投射する。ミラー４は、筐体５の内部の背面に設置されており、光学エンジン部３から射出された光を反射し、スクリーン６に向けて光路を折り曲げる。ミラー４は、例えば平行平板上に反射膜が形成されたものである。反射膜の材料には、高い光反射率を有する材料、例えばアルミニウム等の金属膜、誘電体多層膜などを用いることができる。

スクリーン６は、光学エンジン部３から射出された光を透過させる周知の透過型スクリーンであり、背面側から投射された光を透過し、前面側から射出する。また、スクリーン６は、ミラー４から斜めに入射する光をリアプロジェクタ１の正面方向（観察者の方向）に角度変換する角度変換部（図示せず）を有している。角度変換部としては、例えば、光を拡散させるレンチキュラーレンズアレイ、マイクロレンズアレイ、拡散材を分散させた拡散板などを採用することができる。使用者は、スクリーン６の前面から射出された光を観察することによって画像を鑑賞する。

次に、光学エンジン部３の詳細について説明する。
光学エンジン部３は、図２に示すように、赤色、緑色、青色の各色のユニット毎に画像光が生成され、色合成プリズム（クロスダイクロイックプリズム８）で各色の光が合成された後、投射レンズ２に入射される構成になっている。このため、各色の画像光を生成する３つのユニットは共通の構成である。よって、ここでは、赤色の画像光を生成するユニットを例に採り、説明する。

赤色光のユニットは、光源部９側からクロスダイクロイックプリズム８側に向けて、赤色光用光源部９Ｒ、発散レンズ１０、コリメータレンズ１１、光拡散部２１、第１インテグレータレンズ１２、第２インテグレータレンズ１３、偏光変換素子１４、重畳レンズ１５、フィールドレンズ１６、赤色光用空間光変調装置１７Ｒの順に配置されている。本実施形態の場合、赤色光用光源部９Ｒは、赤色のレーザ光を発振する半導体レーザで構成されている。赤色光用光源部９Ｒから射出された赤色光は、発散レンズ１０で発散された後、コリメータレンズ１１で平行化される。コリメータレンズ１１から射出された光は、後述するシンチレーション除去装置の光拡散部２１を透過した後、第１インテグレータレンズ１２、第２インテグレータレンズ１３を透過する。

第１インテグレータレンズ１２および第２インテグレータレンズ１３は、アレイ状に配列された複数のレンズ素子からなるレンズアレイ、いわゆるフライアイレンズである。第１インテグレータレンズ１２は、赤色光用光源部９Ｒからの光束を複数に分割するとともに、第１インテグレータレンズ１２を構成する各レンズ素子は、赤色光用光源部９Ｒからの光束を第２インテグレータレンズ１３のレンズ素子近傍に集光させる機能を有している。第２インテグレータレンズ１３を構成する各レンズ素子は、第１インテグレータレンズ１２の各レンズ素子による像を赤色光用空間光変調装置１７Ｒ上に結像する機能を有している。

偏光変換素子１４は、偏光ビームスプリッタと１／２波長板とを有し、赤色光用光源部９Ｒから射出されたランダムな偏光状態の光を特定の振動方向を有する偏光光に変換する機能を有している。したがって、２つのインテグレータレンズ１２，１３を経た光は、偏光変換素子１４により特定の振動方向を有する偏光光、例えばｓ偏光光に変換される。重畳レンズ１５は、第１インテグレータレンズ１２の各レンズ素子による像を赤色光用空間光変調装置１７Ｒ上で重畳させるためのものである。第１インテグレータレンズ１２、第２インテグレータレンズ１３および重畳レンズ１５は、赤色光用光源部９Ｒからの光の強度分布を赤色光用空間光変調装置１７Ｒ上で均一化する強度均一化手段を構成する。フィールドレンズ１６は、重畳レンズ１５からの赤色光を平行化し、赤色光用空間光変調装置１７Ｒに入射させる機能を有している。

赤色光用空間光変調装置１７Ｒは、入射された赤色光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶ライトバルブを有している。赤色光用空間光変調装置１７Ｒに備えられた液晶ライトバルブ（図示せず）は、２枚の透明基板の間に液晶層が封入されて構成されている。液晶ライトバルブの入射側、射出側にはそれぞれ偏光板（図示せず）が配置されている。液晶ライトバルブの入射側偏光板は、偏光変換素子１４により変換された偏光光、例えばｓ偏光光が透過するように偏光軸（透過軸）が配置されている。一方、液晶ライトバルブの射出側偏光板は、その偏光軸が入射側偏光板の偏光軸と直交するように配置されており、例えばｐ偏光光が透過するようになっている。したがって、液晶ライトバルブに入射したｓ偏光光は、画像信号に応じた変調によりｐ偏光光に変換された赤色光が射出される（明表示）か、もしくはｓ偏光光のままで射出側偏光板に吸収される（暗表示）ことになる。赤色光用空間光変調装置１７Ｒで変調された赤色光は、色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム８に入射する。

以下、緑色、青色の画像光を生成するユニットについて簡単に説明する。なお、赤色光のユニットと同一の構成要素には同一の符号を付し、説明は省略する。
緑色光用光源部９Ｇは、緑色のレーザ光を発振する半導体レーザで構成されている。緑色光用光源部９Ｇからの緑色光は、赤色光の場合と同様、発散レンズ１０からフィールドレンズ１６までの各光学素子を経た後、緑色光用空間光変調装置１７Ｇに入射する。緑色光用空間光変調装置１７Ｇは、緑色光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶ライトバルブである。緑色光用空間光変調装置１７Ｇに入射したｓ偏光光は、液晶ライトバルブでの変調によりｐ偏光光に変換されて射出される、あるいは射出側偏光板に吸収されて射出されない、のいずれかの状態をとる。緑色光用空間光変調装置１７Ｇで変調された緑色光は、クロスダイクロイックプリズム８に入射する。

青色光用光源部９Ｂは、青色のレーザ光を発振する半導体レーザで構成されている。青色光用光源部９Ｂからの青色光は、赤色光の場合と同様、発散レンズ１０からフィールドレンズ１６までの各光学素子を経た後、青色光用空間光変調装置１７Ｂに入射する。青色光用空間光変調装置１７Ｂは、青色光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶ライトバルブである。青色光用空間光変調装置１７Ｂに入射したｓ偏光光は、液晶ライトバルブでの変調によりｐ偏光光に変換されて射出される、あるいは射出側偏光板に吸収されて射出されない、のいずれかの状態をとる。青色光用空間光変調装置１７Ｂで変調された青色光は、クロスダイクロイックプリズム８に入射する。

クロスダイクロイックプリズム８は、互いに略直交するように配置された２つのダイクロイック膜８ａ，８ｂを有している。第１ダイクロイック膜８ａは、赤色光を反射し、緑色光および青色光を透過させる特性を有している。一方、第２ダイクロイック膜８ｂは、青色光を反射し、赤色光および緑色光を透過させる特性を有している。２つのダイクロイック膜８ａ，８ｂのこのような特性により、クロスダイクロイックプリズム８は、それぞれ異なる方向から入射した赤色光、緑色光、青色光を合成し、投射レンズ２に向けて射出させることができる。

なお、各色光用の光源部９Ｒ，９Ｇ，９Ｂには、半導体レーザからのレーザ光の波長を変換する波長変換素子、例えば第２高調波発生（Second-Harmonic Generation, ＳＨＧ）素子が備えられていても良い。その場合、光源部としては、半導体レーザからのレーザ光を原振として波長変換された光が射出されることになる。また、光源部には、半導体レーザに代えて、半導体レーザ励起固体（Diode Pumped Solid State, ＤＰＳＳ）レーザ、固体レーザ、液体レーザ、ガスレーザ等を用いても良い。

次に、本実施形態の最大の特徴であるシンチレーション除去装置２０の構成について説明する。
シンチレーション除去装置２０は、図３に示すように、光拡散部２１と、支持部２２と、振動発生部２３とを有している。光拡散部２１は、矩形状の拡散板２４と、拡散板２４の周囲を保持する矩形環状の拡散板枠２５とを有している。拡散板２４は、図５に示すように、透明部材２６中に透明部材２６と屈折率が異なる拡散材粒２７が分散されて構成されている。この拡散板２４は透過型の拡散板であり、光を透過させる際に拡散させる機能（前方散乱性）を有している。拡散板２４が小さい振動で大きな拡散効果を得るためには、透明部材２６中に分散させる拡散材粒２７の径ｄはできるだけ小さいこと、例えば０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍ程度であることが望ましい。また、拡散材粒２７は透明部材２６中にランダムに分散させることが望ましい。さらに、フォーカスずれを低減するためには、拡散板２４は薄い形状であることが望ましい。拡散板２４は、ガラス板のような板状部材、フィルム状部材のいずれであっても良い。あるいは、拡散板２４として、光を拡散させる機能を有するものであれば、擦りガラス板や拡散機能を有する拡散面が形成されたフィルム等を用いても良い。

図３に示すように、拡散板枠２５の長手方向の辺（上辺および下辺）を２等分した中点に支持部２２の一端が固定され、支持部２２の他端が光学エンジン部３の筐体２８に固定されている。拡散板枠２５は、例えばＳＵＳ等の金属材料で構成されている。拡散板枠２５は、図４に示すように、拡散板枠２５の内側に形成された溝２５ａに拡散板２４の周縁部が嵌合されることで拡散板２４を外側から支持している。光拡散部２１の全体は、図３に示すように、上下２つの支持部２２によって光学エンジン部３の筐体２８内に支持されている。支持部２２は、例えばゴムやバネ等の弾性部材から構成されている。以上の構成により、光拡散部２１は、光学エンジン部３の筐体２８から所定の間隔をおいて筐体２８に接触することなく、振動可能な状態で支持されている。光拡散部２１が支持部２２を支点として振動可能に設置されているため、支持部２２が接続された位置が光拡散部２１の振動の節となる。つまり、支持部２２は、光拡散部２１の振動の節となる位置に配置されていることになる。そのため、支持部２２が振動を妨げることがなく、振幅を大きくすることができる。

振動発生部２３は、光拡散部２１と筐体２８との隙間であって拡散板枠２５の一つの角部（図３の例では右下の角部）の近傍に設けられている。振動発生部２３は、図４に示すように、第１電極２９を共通の電極とする第１圧電素子３０、第２圧電素子３１の２つの圧電素子から構成されている。すなわち、振動発生部２３の圧電素子３０，３１は、光拡散部２１の光入射面側および光射出面側にそれぞれ設けられていることになる。本実施形態の場合、拡散板枠２５の一部が１つの角部（右下の角部）の近傍で外側に延在し、この延在部分が拡散板枠２５と一体化した第１電極２９を構成している。拡散板枠２５がＳＵＳ等の金属材料で構成されており、導電性を有するため、この部分は十分に電極として機能することができる。第１電極２９の両面に圧電体３２がそれぞれ貼り合わされ、各圧電体３２の外面を全て覆うように第２電極３３がそれぞれ設けられている。２つの圧電素子３０，３１を合わせた厚さは、拡散板枠２５の厚さと略同等である。また、各圧電素子３０，３１の長手方向の寸法は光拡散部２１と筐体２８との間隔にほぼ一致しており、圧電素子３０，３１の一端は拡散板枠２５に固定され、他端は筐体２８に固定されている。

第１，第２圧電素子３０，３１は、図３に示すように、短冊形の形状であり、第１，第２圧電素子３０，３１の長辺方向が光拡散部２１の長辺方向（図３のｘ方向）、第１，第２圧電素子３０，３１の短辺方向が光拡散部２１の短辺方向（図３のｙ方向）に対応している。圧電体３２の具体的な材料としては、例えばチタン酸ジルコニウム酸鉛、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を例示することができる。第２電極３３の材料としては、銀、アルミニウム等、任意の金属膜を例示することができる。

振動発生部２３を構成する第１，第２圧電素子３０，３１の第２電極３３には、図６に示すように、これら圧電素子３０，３１を駆動するための駆動部３４が接続されている。駆動部３４は電源（図示せず）を備えており、第１，第２圧電素子３０，３１の第２電極３３に対して駆動信号（駆動電圧）を供給する。第１圧電素子３０の第２電極３３および第２圧電素子３１の第２電極３３には交流信号（交番電圧）が印加される構成となっている。一方、第１，第２圧電素子３０，３１の第１電極２９は共通となっており、アースへ接続されている。このようにして、第１，第２圧電素子３０，３１の第２電極３３の電位がそれぞれ＋Ｖもしくは−Ｖとなるように、交流信号を駆動部３４から供給することにより、各圧電素子３０，３１には伸縮が生じる。

駆動部３４からの交流信号を受けて各圧電素子３０，３１が伸縮することにより、図７の側面構成に示すように、振動発生部２３は、短冊形状の長手方向であるｘ方向に伸縮する振動を発生させる。振動発生部２３は、圧電素子３０，３１の振動によりｘ方向に伸縮することで、図８の平面構成に示すように、その端部の任意の点Ｐをｘ方向に沿って変位させる。本実施形態の場合、光拡散部２１が上辺、下辺の中央の２個所で支持され、振動発生部２３が光拡散部２１の１つの角部に設けられているので、振動発生部２３の端部の点Ｐがｘ方向に変位するだけであっても、光拡散部２１はｘ方向、ｙ方向の双方に振動することになる。すなわち、ｘ方向について振動発生部２３の一端を一方向に往復運動させることにより、振動発生部２３は光拡散部２１に対して２方向の強制振動を付与することになる。特に本実施形態の場合、振動発生部２３の圧電素子３０，３１が光拡散部２１の両面側に設けられているため、シンチレーション除去にとって無駄な振動であるｚ方向の振動が抑制され、ｘ方向およびｙ方向のみに効率良く振動を生じさせることができる。

すなわち、本実施形態のシンチレーション除去装置２０は、図３に示すように、振動発生部２３による強制振動の付与、および支持部２２の弾性を利用して、光拡散部２１のうちの振動発生部２３に近い部分をｘ方向およびｙ方向に往復運動させる。そして、１つの角部に近い部分に振動が付与されるため、光拡散部２１の全体が僅かな変位でｘ方向、ｙ方向の双方に往復回動するような振動が生じるわけである。シンチレーション除去装置２０は、このようにして光拡散部２１に光を透過させる際に光拡散部２１を振動させることで、光の位相を時間的に変化させる機能を果たす。そして、光源部９から射出される光の位相を高速に変化させることによって、本実施形態のリアプロジェクタ１はシンチレーションの発生を低減することができる。

光拡散部２１の全体の周波数特性を図９に示す。この図では、横軸に振動周波数［Ｈｚ］、縦軸に機械的なインピーダンス［Ω］を採っている。この周波数特性は、振動周波数がｆ０のとき、機械的なインピーダンスが最小となり、この周波数で光拡散部２１を振動させたときに振幅が最も大きくなることを示している。換言すると、この光拡散部２１の固有の共振周波数がｆ０ということになる。本実施形態の場合、圧電素子３０，３１によって光拡散部２１を共振周波数ｆ０で振動させる構成となっている。したがって、圧電素子が小型であって付与できる振動のエネルギーは小さかったとしても、光拡散部２１を大きく振動させることができ、省エネルギーで効果的にシンチレーションを除去することができる。

さらに、光拡散部２１や支持部２２の寸法等を最適に設計することによって、光拡散部２１の共振周波数ｆ０を２０ｋＨｚ以上となるように調整することが望ましい。一般に、２０ｋＨｚ以上の振動は人間の可聴範囲を超えると言われているため、こうすることによって、シンチレーション除去のために光拡散部２１を振動させても、振動に伴う騒音が発生しなくなる。

そのために、本実施形態のシンチレーション除去装置２０は、図１０に示すように、制御信号生成部３６（制御部）と駆動部３４とを有している。制御信号生成部３６は、振動発生部２３が光拡散部２１を固有の共振周波数に対応する振動周波数で振動させるように振動発生部２３を制御する。制御信号生成部３６には、光拡散部２１固有の共振周波数が予め記憶されており、振動発生部２３をその共振周波数で振動させるような制御信号を生成する。駆動部３４は、制御信号生成部３６からの制御信号を受けて駆動電圧を発生させ、その駆動電圧を供給することで振動発生部２３を駆動する。なお、制御信号生成部３６が、画像信号からシンチレーションの発生しやすい位置や発生の程度を判断し、シンチレーションの発生の度合いに応じて光の位相を変化させるように構成しても良い。

ところで、人間の動体視力の限界は１／６０秒間とされていることから、光拡散部２１を変位させる方向が切り替わる瞬間が１／６０秒間以上存在すると、シンチレーションが認識されやすくなってしまう。したがって、シンチレーション除去装置２０は、振動発生部２３からの振動により光拡散部２１を１秒間に６０回以上変位させることが望ましい。これにより、人間が動体を認識するより速く光の位相が変化することになり、シンチレーションの発生を十分に低減することが可能となる。本実施形態の振動発生部２３は、圧電素子３０，３１を用いているため、光拡散部２１を１秒間に６０回以上変位させる程度の高い応答性を容易に実現することができる。

一方、従来の技術で用いられる電気モータ等では、光拡散部２１を１秒間に６０回以上変位させる程度の高速駆動に対して比較的大掛かりな機構が必要となる。機構が大型になる程、不要な振動、雑音、消費電力の増大、耐久性の低下が生じることに加えて、他の光学系を設置するのも非常に困難になる。これに対して、本実施形態のような圧電素子３０，３１を用いる場合、少ない部品で振動発生部２３の機構を構成できるため、振動発生部２３を小型で簡易な構成とすることができる。また、振動や雑音が少なく、消費電力が低い等の点でも優れたシンチレーション除去装置を実現することができる。ひいては、振動発生部２３を小型にできることで振動発生部２３を光拡散部２１と筐体２８との間の狭いスペースに収めることができ、光軸方向の寸法も光拡散部２１の厚さと同等にできるため、装置の小型化に寄与することができる。

［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態について図１１を用いて説明する。
本実施形態も、シンチレーション除去装置をリアプロジェクタの光学エンジン部に内蔵した例であり、リアプロジェクタ全体の基本構成も第１実施形態と同様である。第１実施形態と異なる点は、シンチレーション除去装置の構成のみであるため、この部分のみについて説明する。
また、図１１は第１実施形態の図３に対応する図であって、光学エンジン部内のシンチレーション除去装置を示す平面図である。この図において、図３と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。なお、図１１において、圧電素子３０，３１の各電極への配線は省略した形態で記載されているが、これについては図６に従うものとする。

本実施形態のシンチレーション除去装置４０は、図１１に示すように、光拡散部２１と支持部２２と振動発生部２３とを有している点、光拡散部２１が拡散板２４と拡散板枠２５とを有している点、拡散板枠２５の上辺および下辺の中点に支持部２２が設けられ、光拡散部２１が上下２つの支持部２２で筐体２８に支持されている点などは、第１実施形態と同様である。ところが、第１実施形態では光拡散部２１の一つの角部近傍に１つの振動発生部２３が設けられていたのに対し、本実施形態では光拡散部２１の一つの角部近傍に２つの振動発生部２３ａ，２３ｂが設けられている点が異なっている。なお、本明細書では、光拡散部２１の入射側、射出側の両面に圧電素子を備えているため、１個所の振動発生部に２個の圧電素子が含まれることになるが、これを１つの振動発生部と数えることにする。

２つの振動発生部２３ａ，２３ｂは、光拡散部２１の一つの角部（図１１の例では右下の角部）の近傍に設けられている。第１の振動発生部２３ａは、矩形状の光拡散部２１の右辺の下側に設けられ、圧電素子３０，３１がその長手方向を光拡散部の長手方向（ｘ方向）に向けて固定されている。第２の振動発生部２３ｂは、光拡散部２１の下辺の右側に設けられ、圧電素子３０，３１がその長手方向を光拡散部２１の短手方向（ｙ方向）に向けて固定されている。したがって、第１の振動発生部２３ａと第２の振動発生部２３ｂの振動方向は互いに直交している。圧電素子３０，３１が光拡散部２１の表裏面にそれぞれ設けられている点は第１実施形態と同様である。各圧電素子３０，３１において、圧電体３２を介して対向する第１電極２９、第２電極３３には、２つの振動発生部２３ａ，２３ｂの計４個の圧電素子３０，３１を共通に駆動するための駆動部３４が接続されている。

本実施形態においても、シンチレーションを効果的に除去可能であり、振動や雑音、消費電力等の点で実用性に優れたリアプロジェクタを実現できる、といった第１実施形態と同様の効果を得ることができる。特に本実施形態の場合、２つの振動発生部２３ａ，２３ｂを設けたことによって、光拡散部２１により大きな振動を付与することができる。

第１実施形態では、圧電素子３０，３１の長手方向がｘ方向を向いた振動発生部２３を設け、振動発生部２３のｘ方向の伸縮だけで光拡散部２１をｘ方向、ｙ方向の双方に振動させていた。これに対して、本実施形態では、光拡散部２１の一つの角部の近傍に、圧電素子３０，３１の長手方向がｘ方向を向いた振動発生部２３ａと圧電素子３０，３１の長手方向がｙ方向を向いた振動発生部２３ｂとを設け、振動発生部２３ａのｘ方向の伸縮と振動発生部２３ｂのｙ方向の伸縮とで光拡散部２１をｘ方向、ｙ方向の双方に振動させている。そのため、駆動電圧、圧電素子の寸法（特に長手方向の寸法）や個数を変えることによって振動の方向や振幅を自由に調整することができる。これにより、振動の方向や振幅の調整を行うことで、例えばシンチレーションの低減の度合い（換言すると、画像の鮮鋭度）を制御することができる。このようにして、調整の自由度が高く、シンチレーションを効果的に除去し得るシンチレーション除去装置を実現することができる。

［第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態について図１２、図１３を用いて説明する。
本実施形態も、シンチレーション除去装置をリアプロジェクタの光学エンジン部に内蔵した例であり、リアプロジェクタ全体の基本構成も第１、第２実施形態と同様である。第１、第２実施形態と異なる点は、シンチレーション除去装置の構成のみであるため、この部分のみについて説明する。
また、図１２は第１実施形態の図３、第２実施形態の図１１に対応する図であって、光学エンジン部内のシンチレーション除去装置を示す平面図である。この図において、図３、図１１と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。なお、図１２において、圧電素子３０，３１の各電極への配線は省略した形態で記載されているが、これについては図６に従うものとする。

本実施形態のシンチレーション除去装置５０は、図１２に示すように、第２実施形態と同様、光拡散部２１の一つの角部（図１２の例では右下の角部）近傍に２つの振動発生部２３ａ，２３ｂが設けられている。第１の振動発生部２３ａは、光拡散部２１の右辺の下側に設けられ、圧電素子３０，３１がその長手方向を光拡散部２１の長手方向（ｘ方向）に向けて固定されている。第２の振動発生部２３ｂは、光拡散部２１の下辺の右側に設けられ、圧電素子３０，３１がその長手方向を光拡散部２１の短手方向（ｙ方向）に向けて固定されている。したがって、第１の振動発生部２３ａと第２の振動発生部２３ｂの振動方向は直交している。また、圧電素子３０，３１は、光拡散部２１の表裏面にそれぞれ設けられている。

第２実施形態では、各圧電素子３０，３１の第１電極２９、第２電極３３には、２つの振動発生部２３ａ，２３ｂの４個の圧電素子３０，３１を共通に駆動するための駆動部３４が接続されていた。これに対して、本実施形態では、第１の振動発生部２３ａ、第２の振動発生部２３ｂの各々に対して、圧電素子３０，３１を個別に駆動するための第１の駆動部３４ａ、第２の駆動部３４ｂがそれぞれ接続されている。したがって、第１実施形態の図６で示したような振動発生部とこれを駆動する駆動部の組が、本実施形態では２組あることになる。

図１３は、各振動発生部２３ａ，２３ｂの圧電素子３０，３１に各駆動部３４ａ，３４ｂから供給する交流信号の波形を示す図であり、横軸に時間（単位は任意）、縦軸に振幅（単位は任意）を採っている。第１の振動発生部２３ａの圧電素子３０，３１に供給する交流信号の波形を実線で示し、第２の振動発生部２３ｂの圧電素子３０，３１に供給する交流信号の波形を破線で示す。この図に示す通り、２つの振動発生部２３ａ，２３ｂの圧電素子３０，３１に対して、相互に位相がずれた波形を有する交流信号をそれぞれ入力する構成となっている。このような交流信号のタイミングは、図１０で示した制御信号生成部３６で制御することができる。

本実施形態においても、シンチレーションを効果的に除去可能であり、振動や雑音、消費電力等の点で実用性に優れたリアプロジェクタを実現できる、といった第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、２つの振動発生部２３ａ，２３ｂを配置したことで光拡散部２１に更に大きな振動を付与できるとともに、調整の自由度が高く、シンチレーションを効果的に除去することができる、といった第２実施形態と同様の効果を得ることができる。

さらに本実施形態の場合、図１３に示したように、振動方向が互いに直交する２つの振動発生部２３ａ，２３ｂの圧電素子３０，３１に供給される駆動信号の位相がずれているので、光拡散部２１がそのｘｙ面内において円運動（軌道が正円である場合、楕円である場合の双方を含む）を行う。円運動の場合、例えば往復直線運動の場合とは異なり、光拡散部２１の運動が停止する期間がなくなるので、シンチレーションが非常に視認されにくくなる。

［第４実施形態］
以下、本発明の第４実施形態について図１４、図１５を用いて説明する。
本実施形態も、リアプロジェクタ全体の基本構成は第１実施形態と同様である。第１〜第３実施形態と異なる点は、シンチレーション除去装置の構成のみであるため、この部分のみについて説明する。
図１４は第１実施形態の図３に対応する図であって、光学エンジン部内のシンチレーション除去装置を示す平面図である。図１５は第１実施形態の図４に対応する図であって、図１４のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。これらの図１４、図１５において、図３、図４と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。なお、図１４において、圧電素子６３，６４の各電極への配線は省略した形態で記載されているが、これについては図６に従うものとする。

本実施形態のシンチレーション除去装置６０は、図１４に示すように、光拡散部２１と支持部２２と振動発生部とを有している点、光拡散部２１が拡散板２４と拡散板枠２５とを有している点、拡散板枠２５の上辺および下辺の中点に支持部２２が設けられ、光拡散部２１が上下２つの支持部２２で筐体２８に支持されている点などは、第１実施形態と同様である。ところが、第１実施形態では振動発生部２３が光拡散部２１と光学エンジン部３の筐体２８との間の隙間に設けられていたのに対し、本実施形態では振動発生部６１が光拡散部２１上に直接設けられている点が異なっている。

本実施形態においては、振動発生部６１は、拡散板枠２５の一つの角部（図１４の例では右下の角部）の近傍に設けられている。振動発生部６１は、図１５に示すように、第１電極６２を共通の電極とする第１圧電素子６３、第２圧電素子６４の２つの圧電素子から構成されている。すなわち、振動発生部６１の圧電素子６３，６４は、光拡散部２１の光入射面側および光射出面側にそれぞれ設けられていることになる。本実施形態の場合、ＳＵＳ等の金属材料からなる拡散板枠２５の一部がそのまま第１電極６２として機能する。拡散板枠２５の両面の対応する位置に圧電体３２がそれぞれ貼り合わされ、各圧電体３２の外面を覆うように第２電極３３がそれぞれ設けられている。したがって、本実施形態の場合、光拡散部２１の外部に振動発生部６１の固定端を有することがなく、上記実施形態のように振動発生部６１を光学エンジン部３の筐体２８に固定する必要はなくなる。圧電体３２や電極６２，３３の材料、各圧電素子６３，６４の駆動方法などは上記実施形態と同様であり、圧電素子６３，６４は光拡散部２１を固有の共振周波数で振動させる構成となっている。

本実施形態においても、シンチレーションを効果的に除去可能であり、振動や雑音、消費電力等の点で実用性に優れたリアプロジェクタを実現できる、といった第１実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに本実施形態の場合、振動発生部６１が光拡散部２１の拡散板枠２５の両面に直接設置され、圧電素子６３，６４の振動により光拡散部２１自体が振動する。すなわち、光拡散部２１の外部から光拡散部２１を強制加振する構成ではないため、光学エンジン部３の筐体２８に対しては光拡散部２１の支持部２２さえあればよく、振動発生部６１の支持部は必要としない。そのため、光拡散部２１の拡散板枠２５に圧電素子６３，６４を形成するスペースが必要になる反面、光拡散部２１と筐体２８との間隔を設計する際に圧電素子６３，６４の寸法が制約を与えることがない。

［第５実施形態］
以下、本発明の第５実施形態について図１６〜図１８を用いて説明する。
本実施形態も、リアプロジェクタ全体の基本構成は第１実施形態と同様である。また、シンチレーション除去装置の構成は、第４実施形態と全く同様である。唯一異なる点は、光拡散部が異なる振動モードの２つの共振周波数を有する点のみである。この点について説明する。
図１６は第１実施形態の図９に対応する図であって、光拡散部の振動周波数とインピーダンスとの関係を示す図である。図１７は振動発生部の屈曲振動について説明するための図、図１８は屈曲振動時の振動発生部の変位について説明するための図、である。これらの図面において、以前の図面と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

第４実施形態の図１４に示したシンチレーション除去装置６０において、光拡散部２１の寸法や材料等の設計を最適化することによって、光拡散部２１の振動周波数とインピーダンスとの関係を、図１６に示すように、２つの共振周波数を有する特性を持つようにすることができる。なお、図１６において、ｆ１は面内縦振動モードの共振周波数（ｘ方向もしくはｙ方向の共振周波数）であり、ｆ２は面内屈曲振動モード（２次）の共振周波数である。また、図１４に示したシンチレーション除去装置６０では、振動発生部６１が拡散板枠２５に直接設けられているため、以下の説明では振動発生部６１の振動を光拡散部２１の振動と捉えることができる。

図７に示したように、振動発生部２３がｘ方向に伸縮すると、光拡散部２１の設計によっては、光拡散部２１の重量バランスの不均衡により、振動発生部２３に、振動発生部２３の重心を中心とする回転モーメントが生じることがある。すると、振動発生部６１には、図７に示すようなｘ方向への伸縮が生じるとともに、回転モーメントにより、図１７に示すように、ｙ方向に揺動する屈曲運動が生じる。図７に示すｘ方向への伸縮による振動を縦振動、図１７に示す屈曲運動による振動を屈曲振動と呼ぶことにすると、縦振動と屈曲振動とが結合されることで、図１８に示すように、振動発生部６１（光拡散部２１）の任意の点Ｐは略楕円形状の軌道を描くように変位することになる。

ここで、図１６に示す縦振動モードの共振周波数ｆ１と屈曲振動モード（２次）の共振周波数ｆ２とが極めて近く、例えばｆ１が４０ｋＨｚ、ｆ２が４１ｋＨｚであり、２つの共振周波数の差が１０％以内であったとする。一般に、振動発生部の縦振動モード、屈曲振動モードのいずれが優勢となるかは、圧電素子に供給される駆動信号の周波数に依存する。しかしながら、このように２つの共振周波数の値が近く、駆動信号の周波数をｆ１からｆ２の間の値（例えば周波数ｆ２’）に設定すれば、縦振動と屈曲振動とが同時に起こる。これにより、光拡散部２１はｘｙ面内で連続的な楕円運動を行うため、シンチレーションが非常に視認されにくくなる。よって、本実施形態によれば、振動発生部６１が１つ（表裏で２個）、駆動部３４（電源）が１つという極めてシンプルな構成で、シンチレーションを効果的に除去することができる。なお、２つの共振周波数の差が１０％を超えると、その間の周波数で駆動しても縦振動と屈曲振動とが同時に起こりにくくなるため、２つの共振周波数の差が１０％以内であることが望ましい。

［第６実施形態］
以下、本発明の第６実施形態について図１９〜図２１を用いて説明する。
本実施形態も、リアプロジェクタ全体の基本構成は第１実施形態と同様である。また、シンチレーション除去装置の構成は、第４実施形態と略同様であって、光拡散部に振動発生部を直接設置したものである。唯一異なる点は、第４実施形態では振動発生部が１個所のみに設けられていたのに対し、本実施形態では複数個所に設けられている点である。
図１９は第１実施形態の図３に対応する図であって、光学エンジン部内のシンチレーション除去装置を示す平面図である。また、図２０、図２１はそれぞれシンチレーション除去装置の変形例を示す平面図である。これら図１９〜図２１において、図３と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。なお、図１９〜図２１において、圧電素子６３，６４の各電極への配線は省略した形態で記載されているが、これについては図６に従うものとする。

本実施形態のシンチレーション除去装置７０は、図１９に示すように、第４，第５実施形態と同様、振動発生部６１ａ，６１ｂが光拡散部２１の拡散板枠２５上に直接設けられている。ただし、本実施形態の場合、振動発生部６１ａ，６１ｂは、拡散板枠２５の一つの角部（図１９の例では右下の角部）の近傍の２個所に設けられている。また、個々の振動発生部６１ａ，６１ｂは、拡散板枠２５を共通の電極とし、光拡散部２１の光入射面側および光射出面側にそれぞれ設けられた２つの圧電素子６３，６４から構成されている。２つの振動発生部６１ａ，６１ｂは、その振動方向がｘｙ面内で直交するように配置されている。圧電体や電極の材料、各圧電素子６３，６４の駆動方法などは上記実施形態と同様であり、圧電素子６３，６４は光拡散部２１を固有の共振周波数で振動させる構成となっている。また、２つの振動発生部６１ａ，６１ｂには、駆動信号を個別に供給し得る駆動部３４ａ，３４ｂが接続されている。

本実施形態においても、シンチレーションを効果的に除去可能であり、振動や雑音、消費電力等の点で実用性に優れたリアプロジェクタを実現できる、といった第１実施形態と同様の効果を得ることができる。特に本実施形態の場合、振動発生部６１ａ，６１ｂを２個所に配置していることによって、光拡散部２１により大きな振動を付与することができる。また、２個所の振動発生部６１ａ，６１ｂが各々の駆動部３４ａ，３４ｂによって独立に駆動されるため、２個所の振動発生部６１ａ，６１ｂに供給する駆動信号の位相をずらすことによって円運動が生じ、シンチレーションが非常に視認されにくくなる、という効果が得られる。

また、振動発生部をさらに増やし、図２０に示すように、振動発生部６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄを拡散板枠２５の対角線上の２つの角部（図２０の例では右下と左上の角部）の近傍の２個所、計４個所に設けてもよい。この例では、４個の振動発生部６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄには個別の駆動部３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄがそれぞれ接続されている。したがって、４個の振動発生部６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄによる振動の位相を適宜ずらすことができる。これにより、より大きな振動を得ることができ、円運動を生じさせることができる。

あるいは、光拡散部の４個所に振動発生部を設ける場合でも、図２１に示すように、光拡散部２１の拡散板枠２５の長手方向の各辺（上辺、下辺）の中点、および短手方向の各辺（左辺、右辺）の中点に振動発生部６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄをそれぞれ配置しても良い。この配置を採用した場合、特に拡散板枠２５の長辺に沿って配置した振動発生部６１ｂ，６１ｃは、光拡散部２１の支持部２２の近傍に位置することになる。この例では、４個所の振動発生部６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの各々に駆動部３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄがそれぞれ接続されている。この構成を採用すると、４個所の振動発生部６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄの各々に対して駆動信号を独立に供給できるので、振動モードの調整の自由度をより向上させることができる。

［第７実施形態］
以下、本発明の第７実施形態について図２２、図２３を用いて説明する。
本実施形態も、リアプロジェクタ全体の基本構成は第１実施形態と同様である。また、シンチレーション除去装置の構成は、光拡散部が２方向に独立に振動可能に支持されているという光拡散部の支持構造が上記の実施形態と異なっている。
図２２は第１実施形態の図３に対応する図であって、光学エンジン部内のシンチレーション除去装置を示す平面図である。また、図２３はシンチレーション除去装置の変形例を示す平面図である。これら図２２、図２３において、図３と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。なお、図２２、図２３において、圧電素子３０，３１の各電極への配線は省略した形態で記載されているが、これについては図６に従うものとする。

本実施形態のシンチレーション除去装置１００は、図２２に示すように、光拡散部２１が支持部を介して光学エンジン部３の筐体２８に直接支持されているのではなく、光拡散部２１（光拡散部本体）と筐体２８との間に支持枠１０１（枠部）を介在させた構成となっている。すなわち、光拡散部２１の外径より大きく、かつ光学エンジン部３の筐体２８の内径より小さい寸法を有する長方形の額縁状の支持枠１０１が、筐体２８の内側に配置され、筐体２８に対して支持枠１０１の短手方向の２辺（図２２における右辺および左辺）の中点に設けられた支持部２２ａによって接続されている。また、光拡散部２１が、支持枠１０１の内側に配置され、支持枠１０１に対して光拡散部２１の長手方向の２辺（図２２における上辺および下辺）の中点に設けられた支持部２２ｂによって接続されている。

また、第１の振動発生部２３ａが、支持枠１０１と筐体２８との隙間の支持枠１０１の一つの角部（図２２の例では右下の角部）の近傍に設けられている。第１の振動発生部２３ａの圧電素子３０，３１は、その長辺方向が支持枠１０１の短辺方向（図２２のｙ方向）を向くように配置されている。そして、第２の振動発生部２３ｂが、光拡散部２１と支持枠１０１との隙間の光拡散部２１の一つの角部（図２２の例では右上の角部）の近傍に設けられている。第２の振動発生部２３ｂの圧電素子３０，３１は、その長辺方向が光拡散部２１の長辺方向（図２２のｘ方向）を向くように配置されている。以上の構成により、第１の振動発生部２３ａから付与される振動により光拡散部２１と支持枠１０１の全体が支持部２２ａを支点として筐体２８に対して光拡散部２１の短辺方向（図２２のｙ方向）に振動し、第２の振動発生部２３ｂから付与される振動により光拡散部２１が支持部２２ｂを支点として光拡散部２１の長辺方向（図２２のｘ方向）に振動する。よって、第１の振動発生部２３ａ、第２の振動発生部２３ｂから振動を同時に付与した場合、ｘ方向の振動とｙ方向の振動とが合成されて光拡散部２１は筐体２８に対して円運動することになる。

本実施形態の場合、第１の振動発生部２３ａ、第２の振動発生部２３ｂには、それぞれ個別の駆動部３４ａ，３４ｂが接続されている。したがって、第１の振動発生部２３ａ、第２の振動発生部２３ｂには、独立した別個の駆動信号を供給することができる。そこで、本実施形態でも、第３実施形態の図１３に示したように、第１の振動発生部２３ａ、第２の振動発生部２３ｂの各圧電素子３０，３１に対して位相をずらした駆動信号を供給することにする。さらに、第１の振動発生部２３ａの圧電素子３０，３１の加振周波数をｆ１、第２の振動発生部２３ｂの圧電素子３０，３１の加振周波数をｆ２としたとき、ｆ１＝ｎ×ｆ２（ｎ：１以上の自然数）の関係を満たすように、各駆動信号の波形が設定されている。ここで、第１の振動発生部２３ａの圧電素子３０，３１の加振周波数ｆ１は、光拡散部２１と支持枠１０１の全体を総合した振動体としての共振周波数であり、第２の振動発生部２３ｂの圧電素子３０，３１の加振周波数ｆ１は、光拡散部２１としての共振周波数である。

本実施形態においても、シンチレーションを効果的に除去可能であり、振動や雑音、消費電力等の点で実用性に優れたリアプロジェクタを実現できる、といった第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態のシンチレーション除去装置１００によれば、光拡散部２１のｘ方向、ｙ方向の各々の振動の節となる各辺の中点で光拡散部２１が支持されているため、支持部２２ａ，２２ｂが振動を妨げることがなく、ｘ方向、ｙ方向それぞれの振動の振幅を最大にでき、大きな振動を得ることができる。

また、２個所の振動発生部２３ａ，２３ｂに付与される駆動信号波形の位相がずれているので、光拡散部２１がそのｘｙ面内において連続的な円運動を行う。円運動の場合、例えば往復直線運動の場合とは異なり、光拡散部２１の運動が停止する期間がなくなるので、シンチレーションが非常に視認されにくくなる。ここで、２個所の振動発生部２３ａ，２３ｂのうち、第１の振動発生部２３ａの圧電素子３０，３１の加振周波数ｆ１を第２の振動発生部２３ｂの圧電素子３０，３１の加振周波数ｆ２のｎ倍に設定してあるため、ずらした位相が次第に揃ってくるようなことがなく、２つの駆動信号の位相がずれた状態が常に保持される。そのため、円運動が連続的に行われ、円運動が停止することがなく、シンチレーションが視認される期間が生じることがない。

また、光拡散部２１の支持構造を図２２と同様な２重構造とした上で、光拡散部２１や支持枠１０１の外部から振動発生部で強制加振するのではなく、図２３に示すように、光拡散部２１上や支持枠１０１上に振動発生部６１ａ，６１ｂを直接設置する構成としても良い。この例では、支持枠１０１の短手方向の各辺（左辺、右辺）の中点に第１の振動発生部６１ａが設置され、光拡散部２１の長手方向の各辺（上辺、下辺）の中点に第２の振動発生部６１ｂが設置されている。この配置を採用した場合も、シンチレーションを効果的に除去し得るシンチレーション除去装置を実現することができる。

［第８実施形態］
以下、本発明の第８実施形態について図２４、図２５を用いて説明する。
本実施形態も、リアプロジェクタ全体の基本構成は第１実施形態と同様である。ただし、第１〜第７実施形態では、光学エンジン部の内部にシンチレーション除去装置を配置した例を示したが、本実施形態では、投射レンズの内部にシンチレーション除去装置を配置した例について説明する。
図２４は本実施形態の投射レンズを示す概略構成図である。また、図２５は投射レンズの変形例を示す概略構成図である。図２４、図２５においては、光を結像状態を表すために、ダイクロイックプリズムの図示を省略し、１つの空間光変調装置のみを図示することにする。

本実施形態の投射レンズ２００は、図２４に示すように、レンズ鏡筒２０１内に入射側レンズ２０２、レンズ２０３、射出側レンズ２０４が収容された構成となっている。空間光変調装置１７から投射レンズ２００に入射された光は、入射側レンズ２０２とレンズ２０３とによって投射レンズ２００内で結像され、中間像を形成する。そして、シンチレーション除去装置の光拡散部２１が、投射レンズ２００内の中間像が形成される像平面に配置されている。シンチレーション除去装置の構成は、上記の第１〜第７実施形態と同様のものを用いることができるため、ここでは説明を省略する。よって、シンチレーション除去装置もレンズ鏡筒２０１内に収容されることになる。光拡散部２１を透過した光は、射出側レンズ２０４を経てスクリーン６上に結像する。

光拡散部２１上に中間像を形成する構成とすることによって、図２４中の破線で示すように、光拡散部２１で拡散された光をスクリーン６上で結像させることができる。したがって、この構成によれば、画質を低下させることなく、シンチレーションを効果的に除去し、表示品位の高い画像を得ることができる。なお、投射レンズ２００の構成としては、３枚のレンズを有するものに限られることはない。シンチレーション除去装置の光拡散部２１上に結像できる構成になっていさえすれば、投射レンズに備えられるレンズは何枚であっても良い。

次に、本実施形態の投射レンズの変形例について図２５を用いて説明する。
本例の投射レンズ２１０は、図２５に示すように、レンズ鏡筒２０１内に反射部２０５を有しており、反射部２０５の近傍にシンチレーション除去装置の光拡散部２１が配置されている。反射部２０５は、入射側レンズ２０２とレンズ２０３とによって空間光変調装置１７の中間像が結像される位置に配置されている。レンズ２０３と反射部２０５との間には、反射型偏光板２０６、λ／４位相差板２０７、シンチレーション除去装置の光拡散部２１が、光入射側から順に設置されている。

反射型偏光板２０６は、その表面がレンズ２０３からの光の主光線に対して略４５°傾くように配置されている。反射型偏光板２０６は、第１の振動方向の偏光光を透過させ、第１の振動方向に略直交する第２の振動方向の偏光光を反射させる機能を有している。反射型偏光板２０６としては、例えばワイヤグリッド型偏光板を用いることができる。ワイヤグリッド型偏光板は、光学的に透明な基板、例えばガラス等の基板の上に、アルミニウム等の金属で形成される細線（ワイヤ）をストライプ状に形成したものである。ワイヤグリッド型偏光板は、振動方向がワイヤに略垂直な偏光光を透過し、振動方向がワイヤに略平行な偏光光を反射する。特定の偏光光の振動方向に対してワイヤが略垂直を向くようにワイヤグリッド型偏光板を配置することにより、特定の振動方向を持つ偏光光のみを透過させることができる。反射型偏光板２０６としては、ワイヤグリッド型偏光板の他、偏光分離膜を有する偏光ビームスプリッタを用いても良い。

シンチレーション除去装置は、上記の第１〜第７実施形態と同様のものを用いることができる。本実施形態の場合、シンチレーション除去装置はレンズ鏡筒２０１の内部に収容されている。入射側レンズ２０２から入射した光は、反射型偏光板２０６を透過し、反射部２０５で反射した後、反射型偏光板２０６で反射し、光路が略９０°折り曲げられる。その光路が折り曲げられた光が入射する位置に射出側レンズ２０４が配置されている。

ここで、空間光変調装置１７から射出された第１の振動方向の直線偏光をｐ偏光光とすると、ｐ偏光光は、反射型偏光板２０６を透過した後、λ／４位相差板２０７によって円偏光に変換される。λ／４位相差板２０７から射出された円偏光は、シンチレーション除去装置の光拡散部２１を透過した後、反射部２０５へ入射する。さらに、反射部２０５で反射した円偏光は、シンチレーション除去装置の光拡散部２１を透過した後、λ／４位相差板２０７によって第２の振動方向の直線偏光であるｓ偏光光に変換される。λ／４位相差板２０７から射出されたｓ偏光光は、反射型偏光板２０６で反射した後、射出側レンズ２０４を経てスクリーン６上に結像される。

シンチレーション除去装置の光拡散部２１が、投射レンズ２１０内の中間像が形成される像平面である反射部２０５の光入射面の近傍に配置されている。反射部２０５に極力近い位置にシンチレーション除去装置の光拡散部２１を配置することによって、図２５中の破線で示すように、光拡散部２１で拡散された光をスクリーン６上で結像させることができる。また、本例は、光拡散部２１を光が２回透過する構成のため、光の拡散の度合いを大きくすることができる。このため、本例のシンチレーション除去装置では、光拡散部２１の振動の振幅を最適な振幅の１／２にまで小さくしても、光拡散部２１に光を１回透過させたときと同程度に光を拡散させることができる。そのため、本例は、さらに静粛性、省電力性および信頼性に優れた構成とすることができる。また、本例においては、λ／４位相差板２０７を経て光拡散部２１に入射される光のうち、光拡散部２１の表面で反射した光を反射型偏光板２０６に入射させて再利用することができるため、光の利用効率を向上することができる。

例えば本変形例において、光透過型の光拡散部２１と反射部２０５に代えて、光反射型の光拡散部を用いても良い。その場合、反射部２０５を不要とすることができる。上記実施形態では全て、光が透過する際に拡散する光透過型の光拡散部を用いてきたが、光反射型の光拡散部とは、振動発生部からの振動が付与されるとともに、拡散板で光を反射させる際に光の位相を変化させ得るものである。この種の拡散板には、例えば反射面に微細な凹凸を形成する等の拡散処理が施されたアルミニウム等の高反射性部材を用いることができる。この場合も、光透過型の光拡散部を用いる場合と同様に、シンチレーションを効果的に除去することができる。

［第９実施形態］
以下、本発明の第９実施形態について図２６を用いて説明する。
本実施形態も、リアプロジェクタ全体の基本構成は第１実施形態と同様である。ただし、第１〜第７実施形態では、光学エンジン部の内部にシンチレーション除去装置を配置した例、第８実施形態では、投射レンズの内部にシンチレーション除去装置を配置した例を示したが、本実施形態ではスクリーンの入射側にシンチレーション除去装置を配置した例について説明する。
図２６は第１実施形態の図１に対応する図であって、リアプロジェクタの概略構成図である。図２６において図１と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

本実施形態のリアプロジェクタ１Ａにおいては、図２６に示すように、シンチレーション除去装置の光拡散部２１が、空間光変調装置の像が結像されるスクリーン６の入射側に配置されている。シンチレーション除去装置としては、上記実施形態と同様のものを用いることができる。光拡散部２１をスクリーン６にできるだけ近い位置に配置することによって、光拡散部２１における光の拡散がスクリーン６での結像に及ぼす影響を小さくすることができる。これにより、画質を低下させることなくシンチレーションを効果的に除去することができ、高品位の画像を提供することができる。なお、シンチレーション除去装置の光拡散部２１をスクリーン６の射出側に設けてもよく、入射側、射出側の少なくとも一方に設ければよい。

［第１０実施形態］
以下、本発明の第１０実施形態について図２７を用いて説明する。
本実施形態は、カラーシーケンシャル（色順次）方式のプロジェクタの例を示す。
図２７は本実施形態のプロジェクタの概略構成図である。

本実施形態のプロジェクタ１Ｂは、図２７に示すように、空間光変調装置として微小ミラーアレイデバイス１７Ｍを備えている。また、シンチレーション除去装置の光拡散部２１は、強度均一化手段であるロッドインテグレータ５２の入射側に設置されている。光源部である超高圧水銀ランプ５３は、赤色光、緑色光、青色光を含む白色光を射出する。超高圧水銀ランプ５３から射出された光は、集光レンズ５４を透過した後、カラーホイール５５に入射する。

カラーホイール５５には、ダイクロイック膜が組み合わされてなる回転体を光軸に略平行な回転軸を中心として回転可能としたものである。ダイクロイック膜は、特定の波長領域の光を透過させ、他の波長領域の光を反射させる機能を有している。赤色光を選択的に透過させる赤色光透過ダイクロイック膜、緑色光を選択的に透過させる緑色光透過ダイクロイック膜、青色光を選択的に透過させる青色光透過ダイクロイック膜を備えたカラーホイール５５を用いることによって、超高圧水銀ランプ５３から射出された白色光を赤色光、緑色光、青色光に分離することができる。

カラーホイール５５から出た光は、シンチレーション除去装置の光拡散部２１を透過した後、ロッドインテグレータ５２に入射する。ロッドインテグレータ５２は直方体形状の透明なガラスから構成され、ロッドインテグレータ５２に入射した光はガラスと空気との界面において全反射を繰り返しつつロッドインテグレータ５２の内部を進行する。このような作用により、ロッドインテグレータ５２は、入射した光束の強度分布を光軸に垂直な面内において均一化する。ロッドインテグレータ５２は、ガラスからなる中実の部材に限らず、内面が反射面となった中空の部材で構成しても良い。

ロッドインテグレータ５２から射出された光は、コリメータレンズ５６、非球面ミラー５７を経て微小ミラーアレイデバイス１７Ｍに入射する。微小ミラーアレイデバイス１７Ｍにおいて画像信号に応じて変調され、投射レンズ２に向けて反射された光は、投射レンズ２によってスクリーン６上に投射される。

本実施形態のプロジェクタ１Ｂにおいては、上述したように、シンチレーション除去装置の光拡散部２１が、ロッドインテグレータ５２の入射面近傍に配置されている。シンチレーション除去装置としては、上記実施形態と同様のものを用いることができる。集光レンズ５４が設けられたことによってロッドインテグレータ５２の入射面には光源像が形成される。したがって、光拡散部２１をロッドインテグレータ５２の入射面にできるだけ近い位置に配置することによって、光拡散部２１における光の拡散がスクリーン６での結像に及ぼす悪影響を小さくすることができる。これにより、画質を低下させることなくシンチレーションを効果的に除去することができ、高品位の画像を提供することができる。なお、シンチレーション除去装置の光拡散部２１をロッドインテグレータ５２の射出側に設けてもよく、入射側、射出側の少なくとも一方に設ければよい。

なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えばシンチレーション除去装置の構成として、上記実施形態では光拡散部の入射側、射出側の両面に圧電素子を設ける場合に、２つの圧電素子の第１電極を拡散板枠で共通なものとしたが、この構成に代えて、拡散板枠を絶縁体で形成し、その両側に第１電極、圧電体、第２電極がセットになった圧電素子をそれぞれ設けてもよい。
また、上記実施形態では、第１，第２圧電素子の第２電極３３に±Ｖの電圧を印加し、拡散板枠２５を介して第１電極２９，６２をアースに接続していた（つまり、第１電極２９，６２に０Ｖを印加していた）が、これらの電極に印加する電圧はこれに限られない。例えば、第１電極２９，６２に±Ｖの電圧を印加し、第１，第２圧電素子の第２電極３３に０Ｖを印加するようにしても良い。また、第１，第２圧電素子の第２電極３３には、互いに同極性であってかつ第１電極２９，６２とは逆極性の電圧を印加するようにしても良い。つまり、駆動部３４，３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄによって、互いに位相が反転した交流信号を第１電極２９，６２と第２電極３３に供給することにより、第１電極２９，６２の電位、第２電極３３の電位がそれぞれ−Ｖ，＋Ｖ、もしくは＋Ｖ，−Ｖとなるようにしても良い。したがって、本発明は、図３をはじめとする多くの図面に示したように、拡散板枠をアースに接続する構成に限られるものではない。このような電圧印加方法を採用すると、いずれか一方の電極に０Ｖを印加する場合（つまり、いずれか一方の電極をアースに接続する場合）に比べて両電極間の電位差を大きくできるため、各圧電素子３０，３１の変形の度合いを大きくすることができる。
さらに、振動発生部や支持部の位置、数、形状、材料等に関する具体的な構成、拡散板や拡散板枠の形状、材料等に関する具体的な構成については、上記実施形態で例示したものの他、適宜変更が可能である。例えば、拡散板は、光の透過とともに拡散させるもの（前方散乱タイプ）、光の反射とともに拡散させるもの（後方散乱タイプ）のいずれを用いることもできる。

また、第９実施形態で述べたように、スクリーンの入射側や射出側にシンチレーション除去装置の光拡散部を設置したものを１つのスクリーン装置とみなし、本発明のシンチレーション除去装置を単体のスクリーンに適用することもできる。あるいは、シンチレーション除去装置の光拡散部自体をスクリーンとして利用しても良い。さらに、上記実施形態で示したリアプロジェクタの他、本発明をフロントプロジェクタに適用することもできる。その場合、上述したように、スクリーンにシンチレーション除去装置が備えられていればプロジェクタ本体側は一般のフロントプロジェクタが利用可能であるし、フロントプロジェクタ本体側にシンチレーション除去装置を組み込んでも良い。また、プロジェクタの光源として光干渉性の高いレーザ光源を用いた場合、特に本発明のシンチレーション除去装置が効果的であるが、レーザ光源以外の光源、例えば超高圧水銀ランプ、発光ダイオード光源を用いたプロジェクタに本発明のシンチレーション除去装置を組み合わせても良いことは勿論である。

また、空間光変調装置としては、反射型液晶表示装置（Liquid Crystal On Silicon,ＬＣＯＳ）、光の回折効果を利用して光の向きや色等を制御する投影デバイス（例えばGrating Light Valve,ＧＬＶ）等を用いるものであっても良い。また、画像信号に応じて変調されたレーザ光を走査して画像を形成するプロジェクタ、いわゆるレーザプロジェクタに本発明を適用しても良い。レーザプロジェクタの場合は、上記実施形態の光学エンジン部に代えて、画像信号に応じて変調されたレーザ光を射出するレーザ光源と、レーザ光源からの光を走査させる走査光学系を備えることになる。

本発明の第１実施形態のリアプロジェクタの概略構成図である。 同、リアプロジェクタの光学エンジン部を示す概略構成図である。 同、光学エンジン部内のシンチレーション除去装置を示す平面図である。 図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。 同、シンチレーション除去装置の拡散板の一部を示す平面図である。 同、装置の振動発生部の動作を説明するための図である。 同、振動発生部の縦振動について説明するための図である。 同、縦振動時の振動発生部の変位について説明するための図である。 同、光拡散部の振動周波数とインピーダンスとの関係を示す図である。 同、振動発生部の制御部を示すブロック図、である。 本発明の第２実施形態のシンチレーション除去装置を示す平面図である。 本発明の第３実施形態のシンチレーション除去装置を示す平面図である。 同、装置の各振動発生部に供給する交流信号の波形を示す図である。 本発明の第４実施形態のシンチレーション除去装置を示す平面図である。 図１４のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。 本発明の第５実施形態における光拡散部の振動周波数とインピーダンスとの関係を示す図である。 同、振動発生部の屈曲振動について説明するための図である。 同、屈曲振動時の振動発生部の変位について説明するための図である。 本発明の第６実施形態のシンチレーション除去装置を示す平面図である。 同、装置の変形例を示す平面図である。 同、装置の他の変形例を示す平面図である。 本発明の第７実施形態のシンチレーション除去装置を示す平面図である。 同、装置の変形例を示す平面図である。 本発明の第８実施形態の投射レンズを示す概略図である。 同、投射レンズの変形例を示す概略図である。 本発明の第９実施形態のリアプロジェクタの概略構成図である。 本発明の第１０実施形態のプロジェクタの概略構成図である。

符号の説明

１，１Ａ，１Ｂ…リアプロジェクタ（プロジェクタ）、２…投射レンズ、３…光学エンジン部、６…スクリーン、２０，４０，５０，６０，７０，８０，９０，１００，１１０…シンチレーション除去装置、２１…光拡散部、２２，２２ａ，２２ｂ…支持部、２３，２３ａ，２３ｂ，６１，６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ…振動発生部、２４…拡散板、２５…拡散板枠、２８…（光学エンジン部の）筐体、３０，３１…圧電素子、３４，３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ…駆動部、３６…制御信号生成部（制御部）、１０１…支持枠（枠部）。

Claims (15)

1. 振動可能に設けられ、入射された光を振動により拡散させて拡散光を射出する光拡散部と、
   自身の振動により前記光拡散部を振動させる圧電素子を備えた振動発生部と、
   前記振動発生部が前記光拡散部を前記光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるように前記振動発生部を制御する制御部と、を備え、
   前記光拡散部から射出された光を用いて画像を表示することを特徴とするプロジェクタ。
2. 前記振動発生部が複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
3. 前記振動発生部が少なくとも２つ設けられており、２つの振動発生部の各々の振動方向が前記光拡散部の主面内において直交していることを特徴とする請求項２に記載のプロジェクタ。
4. 前記光拡散部が、第１の方向に振動可能とされた枠部と、前記第１の方向に直交する第２の方向に前記枠部に対して相対的に振動可能とされた光拡散部本体とを有し、
   前記枠部および前記光拡散部本体の各々を振動させる振動発生部がそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項３に記載のプロジェクタ。
5. 前記複数の振動発生部のうち、少なくとも２つの振動発生部の圧電素子に対して、相互に位相がずれた波形を有する駆動信号がそれぞれ入力されることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
6. 前記位相がずれた波形を有する駆動信号が入力された２つの圧電素子の加振周波数をそれぞれｆ１，ｆ２としたとき、ｆ１＝ｎ×ｆ２（ｎ：１以上の自然数）の関係を満たすことを特徴とする請求項５に記載のプロジェクタ。
7. 前記光拡散部が、異なる振動モードに対応する複数の共振周波数を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
8. 前記複数の共振周波数が略同一であることを特徴とする請求項７に記載のプロジェクタ。
9. 前記光拡散部固有の共振周波数が２０ｋＨｚ以上であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
10. 前記光拡散部が支持部材を支点として振動可能に設置され、前記支持部材が前記光拡散部の振動の節となる位置に配置されていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
11. 前記振動発生部が前記光拡散部の外部に固定端を有し、前記光拡散部外部の前記振動発生部から前記光拡散部に振動が付与されることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
12. 前記振動発生部が前記光拡散部の外部に固定端を有することなく前記光拡散部の光入射面側および光射出面側にそれぞれ設置され、前記圧電素子の振動により前記光拡散部全体が振動することを特徴とする１ないし１０のいずれか一項に記載のプロジェクタ。
13. 振動可能に設けられ、入射された光を振動により拡散させて拡散光を射出する光拡散部と、
    自身の振動により前記光拡散部を振動させる圧電素子を備えた振動発生部と、
    前記振動発生部が前記光拡散部を前記光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるように前記振動発生部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とするスクリーン。
14. 請求項１３に記載のスクリーンと、前記スクリーンに対して画像光を投射するプロジェクタ本体とを備えたことを特徴とするプロジェクタシステム。
15. 振動可能に設けられ、入射された光を振動により拡散させて拡散光を射出する光拡散部と、
    自身の振動により前記光拡散部を振動させる圧電素子を備えた振動発生部と、
    前記振動発生部が前記光拡散部を前記光拡散部固有の共振周波数に対応する周波数で振動させるように前記振動発生部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とするシンチレーション除去装置。
    

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