JP2007108369A - Manufacturing method of liquid crystal cell substrate having TFT drive element, liquid crystal cell substrate, and liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
【課題】液晶表示装置の色視野角特性を改善するのに寄与するTFT駆動素子を有する液晶セル用基板の簡便な製造方法の提供。
【解決手段】カラーフィルタ層と一軸性もしくは二軸性の光学異方性層とTFT駆動素子とを有する液晶セル用基板の製造方法であって、下記の[1]〜[4]の工程をこの順に含む製造方法:
[1]仮支持体上に感光性樹脂層と光学異方性層とを有する転写材料をTFT基板上に転写する工程;
[2]前記TFT基板上の転写材料から仮支持体を剥離する工程;
[3]前記TFT基板上の転写材料をパターン露光する工程;
[4]前記TFT基板上の、不要な感光性樹脂層と光学異方性層を現像により除去する工程。
【選択図】 図2Provided is a simple method for manufacturing a substrate for a liquid crystal cell having a TFT driving element that contributes to improving the color viewing angle characteristics of a liquid crystal display device.
A method of manufacturing a substrate for a liquid crystal cell having a color filter layer, a uniaxial or biaxial optically anisotropic layer, and a TFT drive element, comprising the following steps [1] to [4]: Manufacturing method including this order:
[1] A step of transferring a transfer material having a photosensitive resin layer and an optically anisotropic layer onto a temporary support onto a TFT substrate;
[2] A step of peeling the temporary support from the transfer material on the TFT substrate;
[3] A step of pattern exposing the transfer material on the TFT substrate;
[4] A step of removing unnecessary photosensitive resin layers and optically anisotropic layers on the TFT substrate by development.
[Selection] Figure 2
Description
本発明は、TFT駆動素子を有する液晶セル用基板の製造方法に関し、特に転写材料を用いた、色視野角特性の優れた液晶表示装置に使用可能なTFT駆動素子を有する液晶セル用基板の製造方法、および該液晶セル用基板を用いた液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a substrate for a liquid crystal cell having a TFT driving element, and in particular, manufacturing a substrate for a liquid crystal cell having a TFT driving element that can be used for a liquid crystal display device having excellent color viewing angle characteristics using a transfer material. The present invention relates to a method and a liquid crystal display device using the liquid crystal cell substrate.
ワードプロセッサやノートパソコン、パソコン用モニターなどのOA機器、携帯端末、テレビなどに用いられる表示装置としては、CRT(Cathode Ray Tube)がこれまで主に使用されてきた。近年、液晶表示装置(LCD)が、薄型、軽量、且つ消費電力が小さいことからCRTの代わりに広く使用されてきている。液晶表示装置は、液晶セルおよび偏光板を有する。偏光板は保護フィルムと偏光膜とからなり、ポリビニルアルコールフィルムからなる偏光膜をヨウ素にて染色し、延伸を行い、その両面を保護フィルムにて積層して得られる。例えば、透過型LCDでは、この偏光板を液晶セルの両側に取り付け、さらには一枚以上の光学補償シートを配置することもある。一方、反射型LCDでは、反射板、液晶セル、一枚以上の光学補償シート、および偏光板の順に配置する。液晶セルは、液晶分子、それを封入するための二枚の基板および液晶分子に電圧を加えるための電極層からなる。液晶セルは、液晶分子の配向状態の違いで、ON、OFF表示を行い、透過型、反射型および半透過型のいずれにも適用でき、TN(Twisted Nematic)、IPS(In−Plane Switching)、OCB(Optically Compensatory Bend)、VA(Vertically Aligned)、ECB(Electrically Controlled Birefringence)、STN(Super Twisted Nematic)のような表示モードが提案されている。しかしながら、従来のLCDで表示し得る色やコントラストは、LCDを見る時の角度によって変化する。そのため、LCDの視野角特性は、CRTの性能を越えるまでには至っていない。 CRT (Cathode Ray Tube) has been mainly used as a display device used for OA devices such as word processors, notebook personal computers, personal computer monitors, portable terminals, and televisions. In recent years, liquid crystal display devices (LCDs) have been widely used instead of CRTs because of their thinness, light weight, and low power consumption. The liquid crystal display device has a liquid crystal cell and a polarizing plate. The polarizing plate is composed of a protective film and a polarizing film, and is obtained by dyeing a polarizing film made of a polyvinyl alcohol film with iodine, stretching, and laminating both surfaces with a protective film. For example, in a transmissive LCD, this polarizing plate is attached to both sides of a liquid crystal cell, and one or more optical compensation sheets may be disposed. On the other hand, in a reflective LCD, a reflective plate, a liquid crystal cell, one or more optical compensation sheets, and a polarizing plate are arranged in this order. The liquid crystal cell includes a liquid crystal molecule, two substrates for encapsulating the liquid crystal molecule, and an electrode layer for applying a voltage to the liquid crystal molecule. A liquid crystal cell performs ON / OFF display depending on the alignment state of liquid crystal molecules, and can be applied to any of a transmission type, a reflection type, and a semi-transmission type, such as TN (Twisted Nematic), IPS (In-Plane Switching), Display modes such as OCB (Optically Compensatory Bend), VA (Vertically Aligned), ECB (Electrically Controlled Birefringence), and STN (Super Twisted Nematic) are proposed. However, the color and contrast that can be displayed on a conventional LCD vary depending on the angle at which the LCD is viewed. Therefore, the viewing angle characteristic of LCD does not reach the performance of CRT.
この視野角特性を改良するために、視野角補償用位相差板(光学補償シート)が適用されてきた。これまでに上述の様々の表示モードに対して種々の光学特性を有する光学補償シートを用いることにより、優れたコントラスト視野角特性を有するLCDが提案されている。特にOCB、VA、IPSの3つのモードは広視野角モードとして全方位に渡り広いコントラスト視野角特性を有するようになり、テレビ用途として既に家庭に普及している。これら光学補償シートによる方法は、コントラスト視野角特性は有効に改良できるため、色視野角特性改良がLCDの重要な課題となっている。 In order to improve the viewing angle characteristics, a viewing angle compensation phase difference plate (optical compensation sheet) has been applied. Until now, LCDs having excellent contrast viewing angle characteristics have been proposed by using optical compensation sheets having various optical characteristics for the various display modes described above. In particular, the three modes of OCB, VA, and IPS have wide viewing angle characteristics in all directions as wide viewing angle modes, and are already widely used in televisions for home use. In these methods using an optical compensation sheet, the contrast viewing angle characteristics can be effectively improved. Therefore, the improvement of the color viewing angle characteristics is an important issue for LCDs.
LCDの色視野角特性は、R、G、Bの代表的な3つの色において波長が異なるため、同じ位相差でも偏光の位相差による変化が異なってしまうことに由来する。これを最適化するには、光学異方性材料の複屈折の波長依存性、すなわち複屈折波長分散をR、G、Bに対して最適化してやることである。現在のLCDではON、OFF表示に用いられる液晶分子の複屈折波長分散や光学補償シートの複屈折波長分散が容易に制御できないため、未だ色視野角特性を十分改良するに至っていない。 The color viewing angle characteristic of the LCD is derived from the fact that the wavelength changes in three typical colors of R, G, and B, so that the change due to the phase difference of the polarization is different even with the same phase difference. In order to optimize this, the wavelength dependence of the birefringence of the optically anisotropic material, that is, the birefringence wavelength dispersion is optimized with respect to R, G, and B. In the current LCD, since the birefringence wavelength dispersion of liquid crystal molecules used for ON / OFF display and the birefringence wavelength dispersion of the optical compensation sheet cannot be easily controlled, the color viewing angle characteristics have not been improved sufficiently.
色視野角特性のために複屈折波長分散を制御した光学補償シートとして、変性ポリカーボネートを用いた位相差板が提案されている(特許文献1)。これを反射型液晶表示装置におけるλ/4板や、VAモードにおける光学補償シートに用いることにより、色視野角特性が改善できる。しかしながら、変性ポリカーボネートフィルムは原料自体が高価というだけでなく、その製造工程において用いられる延伸においてボウイングなどの光学特性の不均一性が発生するなどの理由から、未だ広くLCDに用いられるに至っていない。 A phase difference plate using a modified polycarbonate has been proposed as an optical compensation sheet in which birefringence wavelength dispersion is controlled for color viewing angle characteristics (Patent Document 1). By using this for a λ / 4 plate in a reflective liquid crystal display device or an optical compensation sheet in the VA mode, the color viewing angle characteristics can be improved. However, the modified polycarbonate film is not yet widely used for LCDs because not only the raw material itself is expensive, but also non-uniformity in optical properties such as bowing occurs in stretching used in the production process.
一方、光学補償シートによるコントラスト視野角補償と原理は同じだが、それをR、G、Bの3色に対して独立に補償する方式も提案されている(特許文献2)。これは主に液晶セル内にカラーフィルタなどと一緒にパターニングする方法により実現される。しかしながら、液晶セル内にパターニング可能な材料で、尚且つ光学的に均一な位相差特性を有する光学異方性層を形成することは困難であった。 On the other hand, although the principle is the same as that of contrast viewing angle compensation by an optical compensation sheet, a method for independently compensating for the three colors of R, G, and B has also been proposed (Patent Document 2). This is realized mainly by a method of patterning in a liquid crystal cell together with a color filter or the like. However, it has been difficult to form an optically anisotropic layer made of a material that can be patterned in a liquid crystal cell and having optically uniform retardation characteristics.
本発明は、TFT駆動素子およびカラーフィルタを有する液晶セル用基板の簡便な製造方法を提供することを課題とする。また、本発明は、液晶表示装置の色視野角特性を改善するのに寄与するTFT駆動素子およびカラーフィルタを有する液晶セル用基板の製造方法の提供を課題とする。また、本発明は、液晶セルが正確に光学的に補償され、かつ生産性に優れ、色視野角特性が改善された液晶表示装置を提供することを課題とする。 An object of the present invention is to provide a simple method for producing a liquid crystal cell substrate having a TFT drive element and a color filter. Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a substrate for a liquid crystal cell having a TFT drive element and a color filter that contribute to improving the color viewing angle characteristics of a liquid crystal display device. It is another object of the present invention to provide a liquid crystal display device in which a liquid crystal cell is accurately optically compensated, has excellent productivity, and has improved color viewing angle characteristics.
上記課題を解決するための手段は、以下のとおりである。
(1) カラーフィルタ層と一軸性もしくは二軸性の光学異方性層とTFT駆動素子とを有する液晶セル用基板の製造方法であって、該カラーフィルタ層および該光学異方性層を、転写材料を用いて設ける工程を含む製造方法。
(2) 前記光学異方性層が、少なくとも一つの反応性基を有する液晶性化合物を含んでなる溶液を塗布乾燥して液晶相を形成した後、熱または電離放射線照射により固定化した層である(1)に記載の製造方法。
(3) 電離放射線が、偏光紫外線である(2)に記載の製造方法。
(4) 前記反応性基がエチレン性不飽和基である(1)〜(3)のいずれか一項に記載の製造方法。
(5) 前記液晶性化合物が、棒状液晶である(1)〜(4)のいずれか一項に記載の製造方法。
(6) 前記液晶性化合物が、円盤状液晶である(1)〜(4)のいずれか一項に記載の製造方法。
(7) 前記光学異方性層の正面レターデーション(Re)が実質的に0でなく、面内の遅相軸を傾斜軸(回転軸)として該光学異方性層の法線方向に対して+40°傾斜した方向から波長λnmの光を入射させて測定したレターデーション値、および面内の遅相軸を傾斜軸(回転軸)として該光学異方性層の法線方向に対して−40°傾斜した方向から波長λnmの光を入射させて測定したレターデーション値が実質的に等しい(1)〜(6)のいずれか一項に記載の製造方法。
(8) 前記光学異方性層の正面レターデーション(Re)が60〜200nm、面内の遅相軸を傾斜軸(回転軸)として該光学異方性層の法線方向に対して+40°傾斜した方向から波長λnmの光を入射させて測定したレターデーション値が50〜250nmである(1)〜(7)のいずれか一項に記載の製造方法。
(9) (1)〜(8)のいずれか一項に記載の製造方法であって、前記液晶セル用基板がさらに画素電極を有し、かつ、前記光学異方性層が、該画素電極よりも、前記TFT駆動素子側に形成されている製造方法。
(10)前記光学異方性層に、前記駆動素子と電気的接続をとるためのスルーホールが設けられている(1)〜(9)のいずれか一項に記載の製造方法。
(11)下記の[1]〜[4]の工程をこの順に含む(1)〜(10)のいずれか一項に記載の製造方法:
[1]仮支持体上に感光性樹脂層と光学異方性層とを有する転写材料をTFT基板上に転写する工程;
[2]前記TFT基板上の転写材料から仮支持体を剥離する工程;
[3]前記TFT基板上の転写材料をパターン露光する工程;
[4]前記TFT基板上の、不要な感光性樹脂層と光学異方性層を現像により除去する工程。
(12) (1)〜(11)のいずれか一項に記載の製造方法により製造された液晶セル用基板。
(13) TFT基板上に、カラーフィルタ層および該カラーフィルタ層の着色パターンと同一のパターンに形成された光学異方性層を有する液晶セル用基板。
(14) (12)または(13)に記載の液晶セル用基板を有する液晶セル。
(15) (14)に記載の液晶セルを有する液晶表示装置。
(16) 液晶モードがVA、IPSのいずれかである(15)に記載の液晶表示装置。
Means for solving the above problems are as follows.
(1) A method for producing a substrate for a liquid crystal cell having a color filter layer, a uniaxial or biaxial optically anisotropic layer, and a TFT drive element, wherein the color filter layer and the optically anisotropic layer are A manufacturing method including a step of providing using a transfer material.
(2) The optically anisotropic layer is a layer formed by applying and drying a solution containing a liquid crystalline compound having at least one reactive group to form a liquid crystal phase, and then fixing by irradiation with heat or ionizing radiation. The manufacturing method as described in (1).
(3) The production method according to (2), wherein the ionizing radiation is polarized ultraviolet rays.
(4) The production method according to any one of (1) to (3), wherein the reactive group is an ethylenically unsaturated group.
(5) The manufacturing method according to any one of (1) to (4), wherein the liquid crystalline compound is a rod-like liquid crystal.
(6) The manufacturing method according to any one of (1) to (4), wherein the liquid crystalline compound is a discotic liquid crystal.
(7) The front retardation (Re) of the optically anisotropic layer is not substantially 0, and the in-plane slow axis is the tilt axis (rotation axis) with respect to the normal direction of the optically anisotropic layer. With respect to the normal direction of the optically anisotropic layer with the retardation value measured by making light of wavelength λ nm incident from the direction inclined + 40 ° and the in-plane slow axis as the tilt axis (rotation axis) The production method according to any one of (1) to (6), wherein retardation values measured by making light having a wavelength λ nm incident from a direction inclined by 40 ° are substantially equal.
(8) The front retardation (Re) of the optically anisotropic layer is 60 to 200 nm, the in-plane slow axis is the tilt axis (rotation axis), and + 40 ° with respect to the normal direction of the optically anisotropic layer. The production method according to any one of (1) to (7), wherein a retardation value measured by making light having a wavelength λ nm incident from an inclined direction is 50 to 250 nm.
(9) The manufacturing method according to any one of (1) to (8), wherein the liquid crystal cell substrate further includes a pixel electrode, and the optically anisotropic layer includes the pixel electrode. The manufacturing method formed in the said TFT drive element side rather than.
(10) The manufacturing method according to any one of (1) to (9), wherein the optical anisotropic layer is provided with a through hole for electrical connection with the driving element.
(11) The manufacturing method according to any one of (1) to (10), including the following steps [1] to [4] in this order:
[1] A step of transferring a transfer material having a photosensitive resin layer and an optically anisotropic layer onto a temporary support onto a TFT substrate;
[2] A step of peeling the temporary support from the transfer material on the TFT substrate;
[3] A step of pattern exposing the transfer material on the TFT substrate;
[4] A step of removing unnecessary photosensitive resin layers and optically anisotropic layers on the TFT substrate by development.
(12) A liquid crystal cell substrate manufactured by the manufacturing method according to any one of (1) to (11).
(13) A liquid crystal cell substrate having a color filter layer and an optically anisotropic layer formed in the same pattern as the colored pattern of the color filter layer on a TFT substrate.
(14) A liquid crystal cell having the liquid crystal cell substrate according to (12) or (13).
(15) A liquid crystal display device having the liquid crystal cell according to (14).
(16) The liquid crystal display device according to (15), wherein the liquid crystal mode is either VA or IPS.
本発明の製造方法により、液晶表示装置の製造工程数をほとんど増やすことなく、液晶セル内に光学補償能を有する光学異方性層を含む液晶表示装置を作製することができる。すなわち、これまでは、液晶表示装置用基板の外側に、偏光版と一緒に貼り合わせ法で設けていた光学異方性層を、製造工程をほとんど増やすことなく基板の内側に設けることができるようになる。このことにより、貼り合わせ工程のリワークで必要とされるコストを減らすことができ、良好な光学特性を得つつ機能を部材から基板に集中して総合的な製造コストを抑えて付加価値を高めることができる。また、カラーフィルタおよびTFT駆動素子を有する液晶セル用基板の製造を従来のフォトリソグラフィによる方法ではなく転写材料を用いる方法によって行うことにより、レジスト塗布や剥離工程を減らして製造コストを下げることができる。さらに本発明の製造方法で作製された液晶セル用基板を有する液晶表示装置は、表示品位、特に色視野角特性が改善されている。 According to the manufacturing method of the present invention, a liquid crystal display device including an optically anisotropic layer having an optical compensation capability in a liquid crystal cell can be manufactured without increasing the number of manufacturing steps of the liquid crystal display device. That is, the optically anisotropic layer that has been provided by the bonding method together with the polarizing plate on the outside of the substrate for the liquid crystal display device so far can be provided on the inside of the substrate with almost no increase in manufacturing steps. become. This can reduce the cost required for the rework of the bonding process, and concentrate the functions from the member to the substrate while obtaining good optical characteristics, thereby reducing the total manufacturing cost and increasing the added value Can do. In addition, by manufacturing a liquid crystal cell substrate having a color filter and a TFT drive element by a method using a transfer material instead of a conventional photolithography method, it is possible to reduce the manufacturing cost by reducing the resist coating and peeling process. . Furthermore, a liquid crystal display device having a liquid crystal cell substrate produced by the production method of the present invention has improved display quality, particularly color viewing angle characteristics.
以下、本発明を詳細に説明する。
なお、本明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
In the present specification, “to” is used to mean that the numerical values described before and after it are included as a lower limit value and an upper limit value.
本明細書において、Reレターデーション値は、以下に基づき算出するものとする。Re(λ)は波長λにおける面内のレターデーションおよび厚さ方向のレターデーションを表す。Re(λ)は平行ニコル法により、波長λnmの光をフィルム法線方向に入射させて測定される。本明細書におけるλは、R、G、Bに対してそれぞれ611±5nm、545±5nm、435±5nmを指し、特に色に関する記載がなければ545±5nmまたは590±5nmを指す。 In this specification, the Re retardation value is calculated based on the following. Re (λ) represents in-plane retardation and retardation in the thickness direction at the wavelength λ. Re (λ) is measured by the parallel Nicol method, with light having a wavelength of λ nm incident in the normal direction of the film. In the present specification, λ refers to 611 ± 5 nm, 545 ± 5 nm, 435 ± 5 nm for R, G, and B, respectively, and refers to 545 ± 5 nm or 590 ± 5 nm unless otherwise specified.
本明細書において、角度について「実質的に」とは、厳密な角度との誤差が±5°未満の範囲内であることを意味する。さらに、厳密な角度との誤差は、4°未満であることが好ましく、3°未満であることがより好ましい。レターデーションについて「実質的に」とは、レターデーションが±5%以内の差であることを意味する。さらに、Reが実質的に0でないとは、Reが5nm以上であることを意味する。また、屈折率の測定波長は特別な記述がない限り、可視光域の任意の波長を指す。なお、本明細書において、「可視光」とは、波長が400〜700nmの光のことをいう。 In this specification, “substantially” for the angle means that the error from the exact angle is within a range of less than ± 5 °. Furthermore, the error from the exact angle is preferably less than 4 °, more preferably less than 3 °. With regard to retardation, “substantially” means that the retardation is within ± 5%. Furthermore, Re is not substantially 0 means that Re is 5 nm or more. In addition, the measurement wavelength of the refractive index indicates an arbitrary wavelength in the visible light region unless otherwise specified. In the present specification, “visible light” refers to light having a wavelength of 400 to 700 nm.
[転写材料]
本発明の製造方法に用いられる転写材料は、仮支持体上に、少なくとも一層の光学異方性層と少なくとも一層の感光性樹脂層を形成する層とを有する。図1は転写材料のいくつかの例の概略断面図である。図1(a)に示す転写材料は、透明または不透明な仮支持体11上に光学異方性層12と感光性樹脂層13とを有する。転写材料は他の層を有していてもよく、例えば、図1(b)に示す様に、仮支持体11と光学異方性層12との間には、転写時に相手基板側の凹凸を吸収するためのクッション性のような力学特性コントロールあるいは凹凸追従性付与のための層14を有していてもよいし、また、図1(c)に示す様に、光学異方性層12中の液晶性分子の配向を制御するための配向層として機能する層15が配置されてもよいし、さらに図1(d)に示す様に双方の層を有していてもよい。また、図1(e)感光性樹脂層の表面保護などの目的から、最表面に剥離可能な保護層16を設けてもよい。
[Transfer material]
The transfer material used in the production method of the present invention has at least one optically anisotropic layer and at least one layer forming a photosensitive resin layer on a temporary support. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of several examples of transfer materials. The transfer material shown in FIG. 1A has an optically
[液晶表示装置用被転写基板]
転写材料は、TFT基板(本明細書において、「TFT基板」とは、被転写基板(支持体)上にTFT駆動素子が設けられた基板を意味する。)に転写され、および液晶セルの光学補償のための光学異方性層を有するTFT駆動素子を有する液晶セル用基板を構成し得る。得られる液晶セル用基板は、TFTアレイ基板として液晶セルの一対の基板の一方に用いられる。図2は本発明の製造方法により作製されたTFTアレイ基板(光学異方性層付きのTFT基板)の一例の概略断面図である。被転写基板(支持体)21としては透明であれば特に限定はないが、複屈折が小さいことが望ましく、ガラスや低複屈折性ポリマー等が用いられる。
被転写基板上には一般に、ゲート電極22−1、ゲート絶縁膜22−2、アモルファスシリコン層とn+アモルファスシリコン層とからなるアイランド22−3、ソースおよびドレイン電極(それぞれ22−4および22−5)が順に形成され、さらにチャネル部のn+アモルファスシリコンをエッチングして、さらに、その上に保護絶縁膜22−6を設けてTFT駆動素子22が設けられる。その上に転写材料を転写して、マスク露光を行った後、現像することによってスルーホール27が形成される。また、複数の転写材料を用いて転写、パターン露光、現像の工程を繰り返すことによって感光性樹脂層からなるカラーフィルタ層23および光学異方性層24が所望の形状にパターニングされ、カラーフィルタ層と光学異方性層が同時に設けられる。上記のスルーホールを通して透明電極層25が形成されている。図2には、画素電極をカラーフィルタ層より上に形成した態様を示したが、最近よくみられる様に、カラーフィルタ層より下に形成してもよい。光学異方性層24の上には転写材料から転写された他の層があってもよいが、液晶セル内には極力不純物は混入させないようにしなければならないため、パターニング時の現像、洗浄処理時に取り除かれていることが好ましい。光学異方性層24の上には透明電極層25、さらにその上には液晶セル中の液晶分子を配向させるための配向層26が形成されている。
転写材料を用いる本発明の製造方法により、1回の転写−露光−現像プロセスで、カラーフィルタ層と光学異方性層が同時に形成されるため、同じ工程数で、液晶表示装置の視野角特性を改良することができる。
[Transfer substrate for liquid crystal display]
The transfer material is transferred to a TFT substrate (in this specification, “TFT substrate” means a substrate in which a TFT drive element is provided on a substrate to be transferred (support)), and the optical characteristics of the liquid crystal cell. A liquid crystal cell substrate having a TFT driving element having an optically anisotropic layer for compensation can be formed. The obtained liquid crystal cell substrate is used as one of a pair of liquid crystal cell substrates as a TFT array substrate. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of an example of a TFT array substrate (TFT substrate with an optically anisotropic layer) produced by the production method of the present invention. The substrate to be transferred (support) 21 is not particularly limited as long as it is transparent, but preferably has a small birefringence, and glass, a low birefringence polymer, or the like is used.
In general, a gate electrode 22-1, a gate insulating film 22-2, an island 22-3 made of an amorphous silicon layer and an n + amorphous silicon layer, source and drain electrodes (22-4 and 22- 5) are sequentially formed, and the n + amorphous silicon in the channel portion is further etched, and further, a protective insulating film 22-6 is provided thereon to provide the
Since the color filter layer and the optically anisotropic layer are simultaneously formed in one transfer-exposure-development process by the production method of the present invention using the transfer material, the viewing angle characteristics of the liquid crystal display device can be obtained with the same number of steps. Can be improved.
[液晶表示装置]
図3は本発明の液晶表示装置の一例を示す概略断面図である。図3の例は図2のTFTアレイ基板を下側基板として用い、32に示す対向基板との間に液晶31を挟んだ液晶セル37を用いた液晶表示装置である。液晶セル37の両側には、2枚のセルロースエステルフィルム34、35に挟まれた偏光層33からなる偏光板が配置されている。液晶セル側のセルロースエステルフィルム35は光学補償シートとして用いてもよいし、34と同じでもよい。図には示さないが、反射型液晶表示装置の態様では偏光板は観察側に1枚配置したのみでよく、液晶セルの背面あるいは液晶セルの下側基板の内面に反射膜を設置する。もちろんフロントライトを液晶セル観察側に設けることも可能である。さらに、表示装置の1画素内に、透過部と反射部を設けた半透過型も可能である。本液晶表示装置の表示モードは特に制限がなく、全ての透過型および反射型液晶表示装置に用いることが可能である。中でも色視野角特性改良が望まれるVAモードに対して、本発明は効果を発揮する。
[Liquid Crystal Display]
FIG. 3 is a schematic sectional view showing an example of the liquid crystal display device of the present invention. The example of FIG. 3 is a liquid crystal display device using a
本発明の製造方法により得られる液晶セル用基板中の光学異方性層が液晶表示装置のセルの光学補償に寄与し、即ち、コントラスト視野角を拡大し、液晶表示装置の画像着色を解消するのに寄与する。転写材料を用いる本発明の製造方法により、位相差膜とカラーフィルタ層とを同時にTFT基板に転写することができ、その結果、液晶表示装置の製造コストをほとんど変えることなく、液晶表示装置の視野角特性、特に色視野角特性と透過率を改良することができる。
以下、本発明の製造方法に用いられる転写材料について、作製に用いられる材料、作製方法等について、詳細に説明するが、本発明はこの態様に限定されるものではなく、他の態様についても、以下の記載および従来公知の方法を参考にして作製できる。
The optically anisotropic layer in the liquid crystal cell substrate obtained by the production method of the present invention contributes to the optical compensation of the cell of the liquid crystal display device, that is, enlarges the contrast viewing angle and eliminates the image coloring of the liquid crystal display device. To contribute. By the manufacturing method of the present invention using a transfer material, the retardation film and the color filter layer can be simultaneously transferred to the TFT substrate. As a result, the field of view of the liquid crystal display device can be changed without changing the manufacturing cost of the liquid crystal display device. Angular characteristics, particularly color viewing angle characteristics and transmittance can be improved.
Hereinafter, the transfer material used in the production method of the present invention will be described in detail with respect to the material used for production, the production method, etc., but the present invention is not limited to this aspect, and other aspects, It can be produced with reference to the following description and conventionally known methods.
[仮支持体]
転写材料に用いられる仮支持体は、透明でも不透明でもよく特に限定はない。支持体を構成するポリマーの例には、セルロースエステル(例、セルロースアセテート、セルロースプロピオネート、セルロースブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレート)、ポリオレフィン(例、ノルボルネン系ポリマー)、ポリ(メタ)アクリル酸エステル(例、ポリメチルメタクリレート)、ポリカーボネート、ポリエステルおよびポリスルホン、ノルボルネン系ポリマーが含まれる。製造工程において光学特性を検査する目的には、透明支持体は透明で低複屈折の材料が好ましく、低複屈折性の観点からはセルロースエステルおよびノルボルネン系が好ましい。市販のノルボルネン系ポリマーとしては、アートン(JSR(株)製)、ゼオネックス、ゼオノア(以上、日本ゼオン(株)製)などを用いることができる。また安価なポリカーボネートやポリエチレンテレフタレート等も好ましく用いられる。
[Temporary support]
The temporary support used for the transfer material may be transparent or opaque and is not particularly limited. Examples of the polymer constituting the support include cellulose ester (eg, cellulose acetate, cellulose propionate, cellulose butyrate, cellulose acetate propionate, cellulose acetate butyrate), polyolefin (eg, norbornene-based polymer), poly (Meth) acrylic acid ester (eg, polymethyl methacrylate), polycarbonate, polyester and polysulfone, and norbornene-based polymer are included. For the purpose of inspecting optical properties in the production process, the transparent support is preferably a transparent and low birefringent material, and from the viewpoint of low birefringence, cellulose ester and norbornene are preferred. As a commercially available norbornene-based polymer, Arton (manufactured by JSR Co., Ltd.), Zeonex, Zeonore (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.), or the like can be used. Inexpensive polycarbonate, polyethylene terephthalate and the like are also preferably used.
[光学異方性層]
転写材料における光学異方性層は、位相差を測定したときにReが実質的に0でない入射方向が一つでもある、即ち等方性でない光学特性を有していれば特に限定はないが、液晶セル中に用いる、光学特性を制御しやすいなどの観点から、少なくとも一種の液晶性化合物を含有する液晶層に紫外線を照射することで硬化させて形成された層であることが望ましい。
[Optically anisotropic layer]
The optically anisotropic layer in the transfer material is not particularly limited as long as it has at least one incident direction in which Re is not substantially zero when the phase difference is measured, that is, has optical characteristics that are not isotropic. From the viewpoint of easy control of the optical characteristics used in the liquid crystal cell, a layer formed by curing the liquid crystal layer containing at least one liquid crystalline compound by irradiating with ultraviolet rays is desirable.
[液晶性化合物を含有する組成物からなる光学異方性層]
光学異方性層は、上記の様に、液晶セル中に組み込まれることによって、液晶表示装置の視野角を補償する光学異方性層として機能する。光学異方性層単独で充分な光学補償能を有する態様はもちろん、他の層(例えば、液晶セル外に配置される光学異方性層等)との組み合わせで光学補償に必要とされる光学特性を満足する態様も本発明の範囲に含まれる。また、転写材料が有する光学異方性層が、光学補償能に充分な光学特性を満足している必要はなく、例えば、液晶セル基板上に転写される過程において実施される露光工程を通じて、光学特性が発現または変化して、最終的に光学補償に必要な光学特性を示すものであってもよい。
[Optically Anisotropic Layer Consisting of Composition Containing Liquid Crystalline Compound]
As described above, the optically anisotropic layer functions as an optically anisotropic layer that compensates the viewing angle of the liquid crystal display device by being incorporated in the liquid crystal cell. Optically required for optical compensation in combination with other layers (for example, an optically anisotropic layer disposed outside the liquid crystal cell) as well as an aspect in which the optically anisotropic layer alone has sufficient optical compensation capability Embodiments satisfying the characteristics are also included in the scope of the present invention. In addition, the optically anisotropic layer of the transfer material does not need to satisfy the optical characteristics sufficient for the optical compensation capability. For example, the optical anisotropic layer can be optically transmitted through an exposure process performed in the process of being transferred onto the liquid crystal cell substrate. The characteristic may be manifested or changed to finally exhibit the optical characteristic necessary for optical compensation.
前記光学異方性層は、少なくとも一つの液晶性化合物を含有する組成物から形成されることが好ましい。一般的に、液晶性化合物はその形状から、棒状タイプと円盤状タイプに分類できる。さらにそれぞれ低分子と高分子タイプがある。高分子とは一般に重合度が100以上のものを指す(高分子物理・相転移ダイナミクス,土井 正男 著,2頁,岩波書店,1992)。本態様では、いずれの液晶性化合物を用いることもできるが、棒状液晶性化合物または円盤状液晶性化合物を用いるのが好ましい。2種以上の棒状液晶性化合物、2種以上の円盤状液晶性化合物、または棒状液晶性化合物と円盤状液晶性化合物との混合物を用いてもよい。温度変化や湿度変化を小さくできることから、反応性基を有する棒状液晶性化合物または円盤状液晶性化合物を用いて形成するのがより好ましく、混合物の場合少なくとも1つは1液晶分子中の反応性基が2以上あることがさらに好ましい。液晶性化合物は二種類以上の混合物でもよく、その場合少なくとも1つが2以上の反応性基を有していることが好ましい。前記光学異方性層の厚さは、0.1〜20μmであることが好ましく、0.5〜10μmであることがさらに好ましい。 The optically anisotropic layer is preferably formed from a composition containing at least one liquid crystalline compound. In general, liquid crystal compounds can be classified into a rod-shaped type and a disk-shaped type based on their shapes. In addition, there are low and high molecular types, respectively. Polymer generally refers to a polymer having a degree of polymerization of 100 or more (Polymer Physics / Phase Transition Dynamics, Masao Doi, 2 pages, Iwanami Shoten, 1992). In this embodiment, any liquid crystal compound can be used, but a rod-like liquid crystal compound or a disk-like liquid crystal compound is preferably used. Two or more kinds of rod-like liquid crystalline compounds, two or more kinds of disc-like liquid crystalline compounds, or a mixture of a rod-like liquid crystalline compound and a disk-like liquid crystalline compound may be used. Since the change in temperature and humidity can be reduced, it is more preferable to use a rod-like liquid crystal compound or a disk-like liquid crystal compound having a reactive group. In the case of a mixture, at least one of the reactive groups in one liquid crystal molecule is formed. Is more preferably 2 or more. The liquid crystalline compound may be a mixture of two or more, and in that case, at least one preferably has two or more reactive groups. The thickness of the optically anisotropic layer is preferably 0.1 to 20 μm, and more preferably 0.5 to 10 μm.
棒状液晶性化合物としては、アゾメチン類、アゾキシ類、シアノビフェニル類、シアノフェニルエステル類、安息香酸エステル類、シクロヘキサンカルボン酸フェニルエステル類、シアノフェニルシクロヘキサン類、シアノ置換フェニルピリミジン類、アルコキシ置換フェニルピリミジン類、フェニルジオキサン類、トラン類およびアルケニルシクロヘキシルベンゾニトリル類が好ましく用いられる。以上のような低分子液晶性化合物だけではなく、高分子液晶性化合物も用いることができる。上記高分子液晶性化合物は、低分子の反応性基を有する棒状液晶性化合物が重合した高分子化合物である。特に好ましく用いられる上記低分子の反応性基を有する棒状液晶性化合物としては、下記一般式(I)で表される棒状液晶性化合物である。 Examples of rod-like liquid crystalline compounds include azomethines, azoxys, cyanobiphenyls, cyanophenyl esters, benzoic acid esters, cyclohexanecarboxylic acid phenyl esters, cyanophenylcyclohexanes, cyano-substituted phenylpyrimidines, alkoxy-substituted phenylpyrimidines. , Phenyldioxanes, tolanes and alkenylcyclohexylbenzonitriles are preferably used. Not only the above low-molecular liquid crystalline compounds but also high-molecular liquid crystalline compounds can be used. The polymer liquid crystalline compound is a polymer compound obtained by polymerizing a rod-like liquid crystalline compound having a low molecular reactive group. The rod-like liquid crystal compound having a low-molecular reactive group that is particularly preferably used is a rod-like liquid crystal compound represented by the following general formula (I).
一般式(I):Q1−L1−A1−L3−M−L4−A2−L2−Q2
式中、Q1およびQ2はそれぞれ独立に、反応性基であり、L1、L2、L3およびL4はそれぞれ独立に、単結合または二価の連結基を表すが、L3およびL4の少なくとも一方は、−O−CO−O−が好ましい。A1およびA2はそれぞれ独立に、炭素原子数2〜20のスペーサ基を表す。Mはメソゲン基を表す。
Formula (I): Q 1 -L 1 -A 1 -L 3 -ML 4 -A 2 -L 2 -Q 2
Wherein, Q 1 and Q 2 respectively represent a reactive group, the L 1, L 2, L 3 and L 4 respectively represent a single bond or a divalent linking group, L 3 and At least one of L 4 is preferably —O—CO—O—. A 1 and A 2 each independently represent a spacer group having 2 to 20 carbon atoms. M represents a mesogenic group.
以下に、上記一般式(I)で表される反応性基を有する棒状液晶性化合物についてさらに詳細に説明する。式中、Q1およびQ2は、それぞれ独立に、反応性基である。反応性基の重合反応は、付加重合(開環重合を含む)または縮合重合であることが好ましい。換言すれば、反応性基は付加重合反応または縮合重合反応が可能な反応性基であることが好ましい。以下に反応性基の例を示す。 Hereinafter, the rod-like liquid crystal compound having a reactive group represented by the general formula (I) will be described in more detail. In the formula, Q 1 and Q 2 are each independently a reactive group. The polymerization reaction of the reactive group is preferably addition polymerization (including ring-opening polymerization) or condensation polymerization. In other words, the reactive group is preferably a reactive group capable of addition polymerization reaction or condensation polymerization reaction. Examples of reactive groups are shown below.
L1、L2、L3およびL4で表される二価の連結基としては、−O−、−S−、−CO−、−NR2−、−CO−O−、−O−CO−O−、−CO−NR2−、−NR2−CO−、−O−CO−、−O−CO−NR2−、−NR2−CO−O−、およびNR2−CO−NR2−からなる群より選ばれる二価の連結基であることが好ましい。上記R2は炭素原子数が1〜7のアルキル基または水素原子である。この場合、L3およびL4の少なくとも一方は、−O−CO−O−(カーボネート基)である。前記式(I)中、Q1−L1およびQ2−L2−は、CH2=CH−CO−O−、CH2=C(CH3)−CO−O−およびCH2=C(Cl)−CO−O−CO−O−が好ましく、CH2=CH−CO−O−が最も好ましい。 Examples of the divalent linking group represented by L 1 , L 2 , L 3 and L 4 include —O—, —S—, —CO—, —NR 2 —, —CO—O—, and —O—CO. —O—, —CO—NR 2 —, —NR 2 —CO—, —O—CO—, —O—CO—NR 2 —, —NR 2 —CO—O—, and NR 2 —CO—NR 2. A divalent linking group selected from the group consisting of-is preferred. R 2 is an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms or a hydrogen atom. In this case, at least one of L 3 and L 4 is —O—CO—O— (carbonate group). In the formula (I), Q 1 -L 1 and Q 2 -L 2 -are CH 2 ═CH—CO—O—, CH 2 ═C (CH 3 ) —CO—O—, and CH 2 ═C ( Cl) -CO-O-CO- O- are preferable, CH 2 = CH-CO- O- is most preferable.
A1およびA2は、炭素原子数2〜20を有するスペーサ基を表す。炭素原子数2〜12の脂肪族基が好ましく、特にアルキレン基が好ましい。スペーサ基は鎖状であることが好ましく、隣接していない酸素原子または硫黄原子を含んでいてもよい。また、前記スペーサ基は、置換基を有していてもよく、ハロゲン原子(フッ素、塩素、臭素)、シアノ基、メチル基、エチル基が置換していてもよい。 A 1 and A 2 represent spacer groups having 2 to 20 carbon atoms. An aliphatic group having 2 to 12 carbon atoms is preferable, and an alkylene group is particularly preferable. The spacer group is preferably a chain and may contain oxygen atoms or sulfur atoms that are not adjacent to each other. The spacer group may have a substituent and may be substituted with a halogen atom (fluorine, chlorine, bromine), a cyano group, a methyl group, or an ethyl group.
Mで表されるメソゲン基としては、すべての公知のメソゲン基が挙げられる。特に下記一般式(II)で表される基が好ましい。
一般式(II):−(−W1−L5)n−W2−
式中、W1およびW2は各々独立して、二価の環状脂肪族基、二価の芳香族基または二価のヘテロ環基を表し、L5は単結合または連結基を表し、連結基の具体例としては、前記式(I)中、L1〜L4で表される基の具体例、−CH2−O−、および−O−CH2−が挙げられる。nは1、2または3を表す。
Examples of the mesogenic group represented by M include all known mesogenic groups. In particular, a group represented by the following general formula (II) is preferable.
Formula (II): - (- W 1 -L 5) n -W 2 -
In the formula, W 1 and W 2 each independently represent a divalent cycloaliphatic group, a divalent aromatic group or a divalent heterocyclic group, L 5 represents a single bond or a linking group, and Specific examples of the group include specific examples of groups represented by L 1 to L 4 in the formula (I), —CH 2 —O—, and —O—CH 2 —. n represents 1, 2 or 3.
W1およびW2としては、1,4−シクロヘキサンジイル、1,4−フェニレン、ピリミジン−2,5−ジイル、ピリジン−2,5ジイル、1,3,4−チアジアゾール−2,5−ジイル、1,3,4−オキサジアゾール−2,5−ジイル、ナフタレン−2,6−ジイル、ナフタレン−1,5−ジイル、チオフェン−2,5−ジイル、ピリダジン−3,6−ジイルが挙げられる。1,4−シクロヘキサンジイルの場合、トランス体およびシス体の構造異性体があるが、どちらの異性体であってもよく、任意の割合の混合物でもよい。トランス体であることがより好ましい。W1およびW2は、それぞれ置換基を有していてもよい。置換基としては、ハロゲン原子(フッ素、塩素、臭素、ヨウ素)、シアノ基、炭素原子数1〜10のアルキル基(メチル基、エチル基、プロピル基など)、炭素原子数1〜10のアルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基など)、炭素原子数1〜10のアシル基(ホルミル基、アセチル基など)、炭素原子数1〜10のアルコキシカルボニル基(メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基など)、炭素原子数1〜10のアシルオキシ基(アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基など)、ニトロ基、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基などが挙げられる。 W 1 and W 2 include 1,4-cyclohexanediyl, 1,4-phenylene, pyrimidine-2,5-diyl, pyridine-2,5diyl, 1,3,4-thiadiazole-2,5-diyl, 1,3,4-oxadiazole-2,5-diyl, naphthalene-2,6-diyl, naphthalene-1,5-diyl, thiophene-2,5-diyl, pyridazine-3,6-diyl . In the case of 1,4-cyclohexanediyl, there are trans isomers and cis isomers, but either isomer may be used, and a mixture in any proportion may be used. More preferably, it is a trans form. W 1 and W 2 may each have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom (fluorine, chlorine, bromine, iodine), a cyano group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms (methyl group, ethyl group, propyl group, etc.), and an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms. (Methoxy group, ethoxy group, etc.), C1-10 acyl group (formyl group, acetyl group, etc.), C1-10 alkoxycarbonyl group (methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, etc.), carbon atom Examples thereof include an acyloxy group having 1 to 10 (acetyloxy group, propionyloxy group, etc.), nitro group, trifluoromethyl group, difluoromethyl group and the like.
前記一般式(II)で表されるメソゲン基の基本骨格で好ましいものを、以下に例示する。これらに上記置換基が置換していてもよい。 Preferred examples of the basic skeleton of the mesogenic group represented by the general formula (II) are shown below. These may be substituted with the above substituents.
以下に、前記一般式(I)で表される化合物の例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、一般式(I)で表される化合物は、特表平11−513019号公報に記載の方法で合成することができる。 Examples of the compound represented by the general formula (I) are shown below, but the present invention is not limited thereto. The compound represented by the general formula (I) can be synthesized by the method described in JP-T-11-513019.
本発明の他の態様として、前記光学異方性層にディスコティック液晶を使用した態様がある。前記光学異方性層は、モノマー等の低分子量の液晶性ディスコティック化合物の層または重合性の液晶性ディスコティック化合物の重合(硬化)により得られるポリマーの層であるのが好ましい。前記ディスコティック(円盤状)化合物の例としては、C.Destradeらの研究報告、Mol.Cryst.71巻、111頁(1981年)に記載されているベンゼン誘導体、C.Destradeらの研究報告、Mol.Cryst.122巻、141頁(1985年)、Physicslett,A,78巻、82頁(1990)に記載されているトルキセン誘導体、B.Kohneらの研究報告、Angew.Chem.96巻、70頁(1984年)に記載されたシクロヘキサン誘導体およびJ.M.Lehnらの研究報告、J.Chem.Commun.,1794頁(1985年)、J.Zhangらの研究報告、J.Am.Chem.Soc.116巻、2655頁(1994年)に記載されているアザクラウン系やフェニルアセチレン系マクロサイクルなどを挙げることができる。上記ディスコティック(円盤状)化合物は、一般的にこれらを分子中心の円盤状の母核とし、直鎖のアルキル基やアルコキシ基、置換ベンゾイルオキシ基等の基(L)が放射線状に置換された構造であり、液晶性を示し、一般的にディスコティック液晶とよばれるものが含まれる。ただし、このような分子の集合体が一様に配向した場合は負の一軸性を示すが、この記載に限定されるものではない。また、本発明において、円盤状化合物から形成したとは、最終的にできた物が前記化合物である必要はなく、例えば、前記低分子ディスコティック液晶が熱、光等で反応する基を有しており、結果的に熱、光等で反応により重合または架橋し、高分子量化し液晶性を失ったものも含まれる。 As another aspect of the present invention, there is an aspect in which a discotic liquid crystal is used for the optically anisotropic layer. The optically anisotropic layer is preferably a layer of a low molecular weight liquid crystal discotic compound such as a monomer or a polymer layer obtained by polymerization (curing) of a polymerizable liquid crystal discotic compound. Examples of the discotic (discotic) compound include C.I. Destrade et al., Mol. Cryst. 71, 111 (1981), benzene derivatives described in C.I. Destrade et al., Mol. Cryst. 122, 141 (1985), Physicslett, A, 78, 82 (1990); Kohne et al., Angew. Chem. 96, page 70 (1984) and the cyclohexane derivatives described in J. Am. M.M. Lehn et al. Chem. Commun. , 1794 (1985), J. Am. Zhang et al., J. Am. Chem. Soc. 116, page 2655 (1994), and azacrown-based and phenylacetylene-based macrocycles. The above discotic (discotic) compounds generally have a discotic nucleus at the center of the molecule, and groups (L) such as linear alkyl groups, alkoxy groups, and substituted benzoyloxy groups are substituted in a radial pattern. In other words, it has liquid crystallinity and generally includes a so-called discotic liquid crystal. However, when such an aggregate of molecules is uniformly oriented, it exhibits negative uniaxiality, but is not limited to this description. Further, in the present invention, it is not necessary that the final product is formed from a discotic compound, for example, the low molecular discotic liquid crystal has a group that reacts with heat, light, or the like. As a result, it may be polymerized or cross-linked by reaction with heat, light or the like, resulting in high molecular weight and loss of liquid crystallinity.
本発明では、下記一般式(III)で表わされるディスコティック液晶性化合物を用いるのが好ましい。
一般式(III): D(−L−P)n
式中、Dは円盤状コアであり、Lは二価の連結基であり、Pは重合性基であり、nは4〜12の整数である。
In the present invention, it is preferable to use a discotic liquid crystalline compound represented by the following general formula (III).
Formula (III): D (-LP) n
In the formula, D is a discotic core, L is a divalent linking group, P is a polymerizable group, and n is an integer of 4 to 12.
前記式(III)中、円盤状コア(D)、二価の連結基(L)および重合性基(P)の好ましい具体例は、それぞれ、特開2001−4837号公報に記載の(D1)〜(D15)、(L1)〜(L25)、(P1)〜(P18)が挙げられ、同公報に記載される円盤状コア(D)、二価の連結基(L)および重合性基(P)に関する内容をここに好ましく適用することができる。 In the formula (III), preferred specific examples of the discotic core (D), the divalent linking group (L), and the polymerizable group (P) are (D1) described in JP-A No. 2001-4837, respectively. To (D15), (L1) to (L25), (P1) to (P18), and the discotic core (D), divalent linking group (L) and polymerizable group ( The contents regarding P) can be preferably applied here.
上記ディスコティック化合物の好ましい例を下記に示す。 Preferred examples of the discotic compound are shown below.
前記光学異方性層は、液晶性化合物を含有する組成物(例えば塗布液)を、後述する配向層の表面に塗布し、所望の液晶相を示す配向状態とした後、該配向状態を熱または電離放射線の照射により固定することで作製された層であるのが好ましい。前記光学異方性層が二軸性を示すと、液晶セル、特にVAモードの液晶セルを正確に光学補償できるので好ましい。液晶性化合物として、反応性基を有する棒状液晶性化合物を用いる場合、二軸性を発現させるためにはコレステリック配向もしくは傾斜角が厚み方向に徐々に変化しながらねじれたハイブリッドコレステリック配向を、偏光照射によって歪ませることが必要である。偏光照射によって配向を歪ませる方法としては、二色性液晶性重合開始剤を用いる方法(EP1389199 A1)や分子内にシンナモイル基等の光配向性官能基を有する棒状液晶性化合物を用いる方法(特開2002−6138号公報)が挙げられる。本発明においては、いずれも利用できる。 The optically anisotropic layer is formed by applying a composition containing a liquid crystal compound (for example, a coating solution) to the surface of an alignment layer described later to obtain an alignment state exhibiting a desired liquid crystal phase, and then heating the alignment state. Or it is preferable that it is the layer produced by fixing by irradiation of ionizing radiation. It is preferable that the optically anisotropic layer exhibits biaxiality because a liquid crystal cell, particularly a VA mode liquid crystal cell, can be optically compensated accurately. When a rod-like liquid crystal compound having a reactive group is used as the liquid crystal compound, polarized light is applied to the cholesteric alignment or the twisted hybrid cholesteric alignment while the inclination angle gradually changes in the thickness direction in order to develop biaxiality. It is necessary to distort by. As a method for distorting the alignment by irradiation with polarized light, a method using a dichroic liquid crystalline polymerization initiator (EP1389199 A1) or a method using a rod-like liquid crystalline compound having a photoalignable functional group such as a cinnamoyl group in the molecule (special feature). No. 2002-6138). Any of them can be used in the present invention.
液晶性化合物として、反応性基を有する円盤状液晶性化合物を用いる場合、水平配向、垂直配向、傾斜配向、およびねじれ配向のいずれの配向状態で固定されていてもよいが、水平配向、垂直配向、ねじれ配向が好ましく、水平配向が最も好ましい。水平配向とは円盤状液晶性化合物のコアの円盤面と支持体の水平面が平行であることをいうが、厳密に平行であることを要求するものではなく、本明細書では、水平面とのなす傾斜角が10度未満の配向を意味するものとする。 When a discotic liquid crystalline compound having a reactive group is used as the liquid crystalline compound, it may be fixed in any alignment state of horizontal alignment, vertical alignment, tilt alignment, and twist alignment, but horizontal alignment, vertical alignment Twist orientation is preferred and horizontal orientation is most preferred. Horizontal alignment means that the disk surface of the core of the discotic liquid crystalline compound is parallel to the horizontal plane of the support, but is not strictly required to be parallel. In this specification, the horizontal plane is defined as the horizontal plane. It shall mean an orientation with an inclination angle of less than 10 degrees.
液晶性化合物からなる光学異方性層を2層以上積層する場合、液晶性化合物の組み合わせについては特に限定されず、全て円盤状液晶性化合物からなる層の積層体、全て棒状性液晶性化合物からなる層の積層体、円盤状液晶性化合物からなる層と棒状性液晶性化合物からなる層の積層体であってもよい。また、各層の配向状態の組み合わせも特に限定されず、同じ配向状態の光学異方性層を積層してもよいし、異なる配向状態の光学異方性層を積層してもよい。 In the case of laminating two or more optically anisotropic layers made of a liquid crystalline compound, the combination of liquid crystalline compounds is not particularly limited, and a laminate of layers made of all discotic liquid crystalline compounds, all made of rod-like liquid crystalline compounds. It may be a laminate of layers composed of a layer, a layer composed of a discotic liquid crystalline compound and a layer composed of a rod-shaped liquid crystalline compound. The combination of the alignment states of the layers is not particularly limited, and optically anisotropic layers having the same alignment state may be stacked, or optically anisotropic layers having different alignment states may be stacked.
光学異方性層は、液晶性化合物および下記の重合開始剤や他の添加剤を含む塗布液を、後述する所定の配向層の上に塗布することで形成することが好ましい。塗布液の調製に使用する溶媒としては、有機溶媒が好ましく用いられる。有機溶媒の例には、アミド(例、N,N−ジメチルホルムアミド)、スルホキシド(例、ジメチルスルホキシド)、ヘテロ環化合物(例、ピリジン)、炭化水素(例、ベンゼン、ヘキサン)、アルキルハライド(例、クロロホルム、ジクロロメタン)、エステル(例、酢酸メチル、酢酸ブチル)、ケトン(例、アセトン、メチルエチルケトン)、エーテル(例、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン)が含まれる。アルキルハライドおよびケトンが好ましい。二種類以上の有機溶媒を併用してもよい。 The optically anisotropic layer is preferably formed by applying a coating liquid containing a liquid crystalline compound and the following polymerization initiator and other additives onto a predetermined alignment layer described later. As the solvent used for preparing the coating solution, an organic solvent is preferably used. Examples of organic solvents include amides (eg, N, N-dimethylformamide), sulfoxides (eg, dimethyl sulfoxide), heterocyclic compounds (eg, pyridine), hydrocarbons (eg, benzene, hexane), alkyl halides (eg, , Chloroform, dichloromethane), esters (eg, methyl acetate, butyl acetate), ketones (eg, acetone, methyl ethyl ketone), ethers (eg, tetrahydrofuran, 1,2-dimethoxyethane). Alkyl halides and ketones are preferred. Two or more organic solvents may be used in combination.
[液晶性化合物の配向状態の固定化]
配向させた液晶性化合物は、配向状態を維持して固定することが好ましい。固定化は、液晶性化合物に導入した反応性基の重合反応により実施することが好ましい。重合反応には、熱重合開始剤を用いる熱重合反応と光重合開始剤を用いる光重合反応とが含まれるが、光重合反応がより好ましい。光重合開始剤の例には、α−カルボニル化合物(米国特許2367661号、同2367670号の各明細書記載)、アシロインエーテル(米国特許2448828号明細書記載)、α−炭化水素置換芳香族アシロイン化合物(米国特許2722512号明細書記載)、多核キノン化合物(米国特許3046127号、同2951758号の各明細書記載)、トリアリールイミダゾールダイマーとp−アミノフェニルケトンとの組み合わせ(米国特許3549367号明細書記載)、アクリジンおよびフェナジン化合物(特開昭60−105667号公報、米国特許4239850号明細書記載)およびオキサジアゾール化合物(米国特許4212970号明細書記載)が含まれる。
[Fixation of alignment state of liquid crystalline compounds]
The aligned liquid crystalline compound is preferably fixed while maintaining the alignment state. The immobilization is preferably carried out by a polymerization reaction of a reactive group introduced into the liquid crystal compound. The polymerization reaction includes a thermal polymerization reaction using a thermal polymerization initiator and a photopolymerization reaction using a photopolymerization initiator, and a photopolymerization reaction is more preferable. Examples of the photopolymerization initiator include α-carbonyl compounds (described in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2,367,670), acyloin ether (described in US Pat. No. 2,448,828), α-hydrocarbon substituted aromatic acyloin. Compound (described in US Pat. No. 2,722,512), polynuclear quinone compound (described in US Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758), a combination of triarylimidazole dimer and p-aminophenyl ketone (US Pat. No. 3,549,367) Acridine and phenazine compounds (JP-A-60-105667, U.S. Pat. No. 4,239,850) and oxadiazole compounds (U.S. Pat. No. 4,212,970).
光重合開始剤の使用量は、塗布液の固形分の0.01〜20重量%であることが好ましく、0.5〜5重量%であることがさらに好ましい。液晶性化合物の重合のための光照射は、紫外線を用いることが好ましい。照射エネルギーは、20mJ/cm2〜10J/cm2であることが好ましく、100〜800mJ/cm2であることがさらに好ましい。光重合反応を促進するため、窒素雰囲気下あるいは加熱条件下で光照射を実施してもよい。 The amount of the photopolymerization initiator used is preferably 0.01 to 20% by weight, more preferably 0.5 to 5% by weight, based on the solid content of the coating solution. Light irradiation for the polymerization of the liquid crystalline compound is preferably performed using ultraviolet rays. The irradiation energy is preferably 20mJ / cm 2 ~10J / cm 2 , further preferably 100 to 800 mJ / cm 2. In order to accelerate the photopolymerization reaction, light irradiation may be performed under a nitrogen atmosphere or under heating conditions.
前記光学異方性層は、偏光照射による光配向によって面内のレターデーションが発生した層であってもよい。この偏光照射は、上記配向固定化における光重合プロセスと同時に行ってもよいし、先に偏光照射を行ってから非偏光照射でさらに固定化を行ってもよいし、非偏光照射で先に固定化してから偏光照射によって光配向を行ってもよい。なお、偏光照射による光配向によって発生した面内のレターデーションを示す光学異方性層は、特に、VAモードの液晶表示装置を光学補償するのに優れている。 The optically anisotropic layer may be a layer in which in-plane retardation is generated by photo-alignment by polarized light irradiation. This polarized light irradiation may be performed at the same time as the photopolymerization process in the above-described orientation fixing, or may be further fixed by non-polarized light irradiation after first polarized light irradiation, or fixed first by non-polarized light irradiation. Then, photo-alignment may be performed by irradiation with polarized light. Note that the optically anisotropic layer exhibiting in-plane retardation generated by photo-alignment by polarized light irradiation is particularly excellent for optically compensating a VA mode liquid crystal display device.
[偏光照射による光配向]
前記光学異方性層は、偏光照射による光配向で面内のレターデーションが発現した層であってもよい。大きな面内レターデーションを得るために、偏光照射は液晶化合物層塗布、配向後に最初に行う必要がある。偏光照射は、酸素濃度0.5%以下の不活性ガス雰囲気下で行うのが好ましい。照射エネルギーは、20mJ/cm2〜10J/cm2であることが好ましく、100〜800mJ/cm2であることがさらに好ましい。照度は20〜1000mW/cm2であることが好ましく、50〜500mW/cm2であることがより好ましく、100〜350mW/cm2であることがさらに好ましい。偏光照射によって硬化する液晶性化合物の種類については特に制限はないが、反応性基としてエチレン不飽和基を有する液晶性化合物が好ましい。照射波長としては300〜450nmにピークを有することが好ましく、350〜400nmにピークを有することがさらに好ましい。
[Optical alignment by polarized irradiation]
The optically anisotropic layer may be a layer that exhibits in-plane retardation due to photo-alignment by polarized light irradiation. In order to obtain a large in-plane retardation, polarized light irradiation needs to be performed first after coating and alignment of the liquid crystal compound layer. The polarized light irradiation is preferably performed in an inert gas atmosphere having an oxygen concentration of 0.5% or less. The irradiation energy is preferably 20mJ / cm 2 ~10J / cm 2 , further preferably 100 to 800 mJ / cm 2. The illuminance is preferably 20 to 1000 mW / cm 2, more preferably 50 to 500 mW / cm 2, further preferably 100 to 350 mW / cm 2. Although there is no restriction | limiting in particular about the kind of liquid crystalline compound hardened | cured by polarized light irradiation, The liquid crystalline compound which has an ethylenically unsaturated group as a reactive group is preferable. The irradiation wavelength preferably has a peak at 300 to 450 nm, and more preferably has a peak at 350 to 400 nm.
[偏光照射後の紫外線照射による後硬化]
前記光学異方性層は、最初の偏光照射(光配向のための照射)の後に、偏光もしくは非偏光紫外線をさらに照射することで反応性基の反応率を高め(後硬化)、密着性等を改良すると共に、大きな搬送速度で生産できるようになる。後硬化は偏光でも非偏光でも構わないが、偏光であることが好ましい。また、2回以上の後硬化をすることが好ましく、偏光のみでも、非偏光のみでも、偏光と非偏光を組み合わせてもよいが、組み合わせる場合は非偏光より先に偏光を照射することが好ましい。紫外線照射は、不活性ガス置換してもしなくてもよいが、酸素濃度0.5%以下の不活性ガス雰囲気下で行うのが好ましい。照射エネルギーは、20mJ/cm2〜10J/cm2であることが好ましく、100〜800mJ/cm2であることがさらに好ましい。照度は20〜1000mW/cm2であることが好ましく、50〜500mW/cm2であることがより好ましく、100〜350mW/cm2であることがさらに好ましい。照射波長としては偏光照射の場合は300〜450nmにピークを有することが好ましく、350〜400nmにピークを有することがさらに好ましい。非偏光照射の場合は200〜450nmにピークを有することが好ましく、250〜400nmにピークを有することがさらに好ましい。
[Post-curing by UV irradiation after polarized irradiation]
The optically anisotropic layer is further irradiated with polarized or non-polarized ultraviolet rays after the first polarized irradiation (irradiation for photo-alignment) to increase the reaction rate of the reactive group (post-curing), adhesion, etc. It becomes possible to produce at a high conveyance speed. Post-curing may be polarized or non-polarized, but is preferably polarized. Moreover, it is preferable to carry out post-curing twice or more, and polarized light or non-polarized light may be combined with polarized light and non-polarized light. However, when combined, it is preferable to irradiate polarized light before non-polarized light. Irradiation with ultraviolet rays may or may not be replaced with an inert gas, but is preferably performed in an inert gas atmosphere having an oxygen concentration of 0.5% or less. The irradiation energy is preferably 20mJ / cm 2 ~10J / cm 2 , further preferably 100 to 800 mJ / cm 2. The illuminance is preferably 20 to 1000 mW / cm 2, more preferably 50 to 500 mW / cm 2, further preferably 100 to 350 mW / cm 2. In the case of polarized light irradiation, the irradiation wavelength preferably has a peak at 300 to 450 nm, and more preferably 350 to 400 nm. In the case of non-polarized light irradiation, it preferably has a peak at 200 to 450 nm, and more preferably has a peak at 250 to 400 nm.
なお、本発明の製造方法において、転写材料をTFT基板に転写して、光学異方性層とカラーフィルタ層とを形成する場合は、前記光学異方性層の光学特性は、R光、G光およびB光が入射した際の光学補償に最適な光学特性にそれぞれ調整されていることが好ましい。即ち感光性樹脂層を赤色に着色し転写材料をカラーフィルタのR層形成用とする場合は同転写材料の光学異方性層の光学特性はR光が入射した際の光学補償に対して最適に調整され、感光性樹脂層を緑色に着色し転写材料をカラーフィルタのG層形成用とする場合は同転写材料の光学異方性層の光学特性はG光が入射した際の光学補償に対して最適に調整され、感光性樹脂層を青色に着色し転写材料をカラーフィルタのB層形成用とする場合は同転写材料の光学異方性層の光学特性はB光が入射した際の光学補償に対して最適に調整されているのが好ましい。光学異方性層の光学特性は、例えば、液晶性化合物の種類や配向剤の種類または添加量、配向膜の種類や配向膜のラビング処理条件、または偏光照射条件等によって好ましい範囲に調整することができる。 In the production method of the present invention, when the optically anisotropic layer and the color filter layer are formed by transferring the transfer material to the TFT substrate, the optical characteristics of the optically anisotropic layer are R light, G It is preferable that the optical characteristics are adjusted to be optimal for optical compensation when light and B light are incident. That is, when the photosensitive resin layer is colored red and the transfer material is used to form the R layer of the color filter, the optical characteristics of the optically anisotropic layer of the transfer material are optimal for optical compensation when R light is incident. When the photosensitive resin layer is colored green and the transfer material is used for forming the G layer of the color filter, the optical characteristics of the optical anisotropic layer of the transfer material are optical compensation when G light is incident. In contrast, when the photosensitive resin layer is colored blue and the transfer material is used for forming the B layer of the color filter, the optical characteristics of the optically anisotropic layer of the transfer material are the same as when B light is incident. It is preferably adjusted optimally for optical compensation. The optical properties of the optically anisotropic layer are adjusted to a preferable range depending on, for example, the type of liquid crystalline compound, the type or addition amount of the alignment agent, the type of alignment film, the rubbing treatment conditions of the alignment film, or the polarization irradiation conditions. Can do.
前記光学異方性層の形成用組成物中に、下記一般式(1)〜(3)で表される化合物の少なくとも一種を含有させることで、液晶性化合物の分子を実質的に水平配向させることができる。尚、本明細書において「水平配向」とは、棒状液晶の場合、分子長軸と透明支持体の水平面が平行であることをいい、円盤状液晶の場合、円盤状液晶性化合物のコアの円盤面と透明支持体の水平面が平行であることをいうが、厳密に平行であることを要求するものではなく、本明細書では、水平面とのなす傾斜角が10度未満の配向を意味するものとする。傾斜角は0〜5度が好ましく、0〜3度がより好ましく、0〜2度がさらに好ましく、0〜1度が最も好ましい。 By containing at least one compound represented by the following general formulas (1) to (3) in the composition for forming the optically anisotropic layer, the molecules of the liquid crystalline compound are substantially horizontally aligned. be able to. In the present specification, “horizontal alignment” means that in the case of a rod-like liquid crystal, the molecular long axis and the horizontal plane of the transparent support are parallel, and in the case of a disc-like liquid crystal, the circle of the core of the disc-like liquid crystal compound. The horizontal plane of the board and the transparent support is said to be parallel, but it is not required to be strictly parallel. In the present specification, an orientation with an inclination angle of less than 10 degrees with the horizontal plane is meant. And The inclination angle is preferably 0 to 5 degrees, more preferably 0 to 3 degrees, further preferably 0 to 2 degrees, and most preferably 0 to 1 degree.
以下、下記一般式(1)〜(3)について、順に説明する。 Hereinafter, the following general formulas (1) to (3) will be described in order.
式中、Rは置換基を表し、mは0〜5の整数を表す。mが2以上の整数を表す場合、複数個のRは同一でも異なっていてもよい。Rとして好ましい置換基は、R1、R2、およびR3で表される置換基の好ましい範囲として挙げられたものと同じである。mは、好ましくは1〜3の整数を表し、特に好ましくは2または3である。 In the formula, R represents a substituent, and m represents an integer of 0 to 5. When m represents an integer greater than or equal to 2, several R may be same or different. Preferred substituents for R are the same as those listed as preferred ranges for the substituents represented by R 1 , R 2 , and R 3 . m preferably represents an integer of 1 to 3, particularly preferably 2 or 3.
式中、R4、R5、R6、R7、R8およびR9は各々独立して、水素原子または置換基を表す。R4、R5、R6、R7、R8およびR9でそれぞれ表される置換基は、好ましくは一般式(I)におけるR1、R2およびR3で表される置換基の好ましいものとして挙げたものである。本発明に用いられる水平配向剤については、特開2005−099248号公報の段落番号[0092]〜[0096]に記載の化合物を用いることができ、それら化合物の合成法も該明細書に記載されている。 In the formula, R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 and R 9 each independently represent a hydrogen atom or a substituent. The substituents represented by R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , R 8 and R 9 are preferably the substituents represented by R 1 , R 2 and R 3 in the general formula (I). It is listed as a thing. As the horizontal alignment agent used in the present invention, the compounds described in paragraphs [0092] to [0096] of JP-A-2005-099248 can be used, and the synthesis method of these compounds is also described in the specification. ing.
前記一般式(1)〜(3)で表される化合物の添加量としては、液晶性化合物の質量の0.01〜20質量%が好ましく、0.01〜10質量%がより好ましく、0.02〜1質量%が特に好ましい。なお、前記一般式(1)〜(3)にて表される化合物は、単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。 The amount of the compound represented by the general formulas (1) to (3) is preferably 0.01 to 20% by mass, more preferably 0.01 to 10% by mass based on the mass of the liquid crystal compound. 02-1 mass% is especially preferable. In addition, the compounds represented by the general formulas (1) to (3) may be used alone or in combination of two or more.
[配向層]
上記した様に、前記光学異方性層の形成には、配向層を利用してもよい。配向層は、一般に透明支持体上または該透明支持体に塗設された下塗層上に設けられる。配向層は、その上に設けられる液晶性化合物の配向方向を規定するように機能する。配向層は、光学異方性層に配向性を付与できるものであれば、どのような層でもよい。配向層の好ましい例としては、有機化合物(好ましくはポリマー)のラビング処理された層、無機化合物の斜方蒸着層、およびマイクログルーブを有する層、さらにω−トリコサン酸、ジオクタデシルメチルアンモニウムクロライドおよびステアリル酸メチル等のラングミュア・ブロジェット法(LB膜)により形成される累積膜、あるいは電場あるいは磁場の付与により誘電体を配向させた層を挙げることができる。
[Alignment layer]
As described above, an alignment layer may be used to form the optically anisotropic layer. The alignment layer is generally provided on a transparent support or an undercoat layer coated on the transparent support. The alignment layer functions so as to define the alignment direction of the liquid crystal compound provided thereon. The orientation layer may be any layer as long as it can impart orientation to the optically anisotropic layer. Preferred examples of the alignment layer include a rubbing-treated layer of an organic compound (preferably a polymer), an oblique deposition layer of an inorganic compound, and a layer having a microgroove, ω-tricosanoic acid, dioctadecylmethylammonium chloride, and stearyl. Examples thereof include a cumulative film formed by Langmuir-Blodgett method (LB film) such as methyl acid, or a layer in which a dielectric is oriented by applying an electric field or a magnetic field.
配向層用の有機化合物の例としては、ポリメチルメタクリレート、アクリル酸/メタクリル酸共重合体、スチレン/マレインイミド共重合体、ポリビニルアルコール、ポリ(N−メチロールアクリルアミド)、スチレン/ビニルトルエン共重合体、クロロスルホン化ポリエチレン、ニトロセルロース、ポリ塩化ビニル、塩素化ポリオレフィン、ポリエステル、ポリイミド、酢酸ビニル/塩化ビニル共重合体、エチレン/酢酸ビニル共重合体、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレン、ポリプロピレンおよびポリカーボネート等のポリマーおよびシランカップリング剤等の化合物を挙げることができる。好ましいポリマーの例としては、ポリイミド、ポリスチレン、スチレン誘導体のポリマー、ゼラチン、ポリビルアルコールおよびアルキル基(炭素原子数6以上が好ましい)を有するアルキル変性ポリビルアルコールを挙げることができる。 Examples of organic compounds for the alignment layer include polymethyl methacrylate, acrylic acid / methacrylic acid copolymer, styrene / maleimide copolymer, polyvinyl alcohol, poly (N-methylolacrylamide), styrene / vinyltoluene copolymer. Polymers such as chlorosulfonated polyethylene, nitrocellulose, polyvinyl chloride, chlorinated polyolefin, polyester, polyimide, vinyl acetate / vinyl chloride copolymer, ethylene / vinyl acetate copolymer, carboxymethyl cellulose, polyethylene, polypropylene and polycarbonate, and Examples of the compound include a silane coupling agent. Examples of preferable polymers include polyimide, polystyrene, polymers of styrene derivatives, gelatin, polyvinyl alcohol and alkyl-modified polyvinyl alcohol having an alkyl group (preferably having 6 or more carbon atoms).
配向層の形成には、ポリマーを使用するのが好ましい。利用可能なポリマーの種類は、液晶性化合物の配向(特に平均傾斜角)に応じて決定することができる。例えば、液晶性化合物を水平に配向させるためには配向層の表面エネルギーを低下させないポリマー(通常の配向用ポリマー)を用いる。具体的なポリマーの種類については液晶セルまたは光学補償シートについて種々の文献に記載がある。例えば、ポリビニルアルコールもしくは変性ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸もしくはポリアクリル酸エステルとの共重合体、ポリビニルピロリドン、セルロースもしくは変性セルロース等が好ましく用いられる。配向層用素材には液晶性化合物の反応性基と反応できる官能基を有してもよい。反応性基は、側鎖に反応性基を有する繰り返し単位を導入するか、あるいは、環状基の置換基として導入することができる。界面で液晶性化合物と化学結合を形成する配向層を用いることがより好ましく、かかる配向層としては特開平9−152509号公報に記載されており、酸クロライドやカレンズMOI(昭和電工(株)製)を用いて側鎖にアクリル基を導入した変性ポリビニルアルコールが特に好ましい。配向層の厚さは0.01〜5μmであることが好ましく、0.05〜2μmであることがさらに好ましい。 A polymer is preferably used for forming the alignment layer. The type of polymer that can be used can be determined according to the orientation (particularly the average tilt angle) of the liquid crystal compound. For example, in order to align the liquid crystalline compound horizontally, a polymer that does not decrease the surface energy of the alignment layer (ordinary alignment polymer) is used. Specific types of polymers are described in various documents about liquid crystal cells or optical compensation sheets. For example, polyvinyl alcohol or modified polyvinyl alcohol, a copolymer with polyacrylic acid or polyacrylate, polyvinyl pyrrolidone, cellulose, or modified cellulose are preferably used. The alignment layer material may have a functional group capable of reacting with the reactive group of the liquid crystal compound. The reactive group can be introduced by introducing a repeating unit having a reactive group in the side chain or as a substituent of a cyclic group. It is more preferable to use an alignment layer that forms a chemical bond with the liquid crystal compound at the interface. Such an alignment layer is described in JP-A-9-152509, and acid chloride or Karenz MOI (manufactured by Showa Denko KK). The modified polyvinyl alcohol in which an acrylic group is introduced into the side chain by using The thickness of the alignment layer is preferably 0.01 to 5 μm, and more preferably 0.05 to 2 μm.
また、LCDの配向層として広く用いられているポリイミド膜(好ましくはフッ素原子含有ポリイミド)も有機配向層として好ましい。これはポリアミック酸(例えば、日立化成工業(株)製のLQ/LXシリーズ、日産化学(株)製のSEシリーズ等)を支持体面に塗布し、100〜300℃で0.5〜1時間焼成した後、ラビングすることにより得られる。 A polyimide film (preferably fluorine atom-containing polyimide) widely used as an alignment layer for LCD is also preferable as the organic alignment layer. This is a polyamic acid (for example, LQ / LX series manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., SE series manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd., etc.) is applied to the support surface and baked at 100 to 300 ° C. for 0.5 to 1 hour. And then obtained by rubbing.
また、前記ラビング処理は、LCDの液晶配向処理工程として広く採用されている処理方法を利用することができる。即ち、配向層の表面を、紙やガーゼ、フェルト、ゴムあるいはナイロン、ポリエステル繊維などを用いて一定方向に擦ることにより配向を得る方法を用いることができる。一般的には、長さおよび太さが均一な繊維を平均的に植毛した布などを用いて数回程度ラビングを行うことにより実施される。 Moreover, the rubbing process can utilize a processing method widely adopted as a liquid crystal alignment process of LCD. That is, a method of obtaining the orientation by rubbing the surface of the orientation layer in a certain direction using paper, gauze, felt, rubber, nylon, polyester fiber or the like can be used. Generally, it is carried out by rubbing several times using a cloth or the like in which fibers having a uniform length and thickness are planted on average.
また、無機斜方蒸着膜の蒸着物質としては、SiO2を代表とし、TiO2、ZnO2等の金属酸化物、あるいやMgF2等のフッ化物、さらにAu、Al、等の金属が挙げられる。尚、金属酸化物は、高誘電率のものであれば斜方蒸着物質として用いることができ、上記に限定されるものではない。無機斜方蒸着膜は、蒸着装置を用いて形成することができる。フィルム(支持体)を固定して蒸着するか、あるいは長尺フィルムを移動させて連続的に蒸着することにより無機斜方蒸着膜を形成することができる。 Moreover, as a vapor deposition material for the inorganic oblique vapor deposition film, SiO 2 is representative, and metal oxides such as TiO 2 and ZnO 2 , fluorides such as MgF 2 , and metals such as Au and Al are also exemplified. . The metal oxide can be used as an oblique deposition material as long as it has a high dielectric constant, and is not limited to the above. The inorganic oblique deposition film can be formed using a deposition apparatus. An inorganic oblique vapor deposition film can be formed by fixing the film (support) and performing vapor deposition, or moving the long film and performing continuous vapor deposition.
転写材料において、光学異方性層は、液晶性化合物を仮配向層上で配向させ、その配向を固定化した後、透明支持体に粘着剤を用いるなどして転写することもできるが、生産性の観点からは転写なしに直接形成することが好ましい。 In the transfer material, the optically anisotropic layer can be transferred by aligning the liquid crystalline compound on the temporary alignment layer, fixing the alignment, and then using an adhesive on the transparent support. From the viewpoint of property, it is preferable to form directly without transfer.
[感光性樹脂層]
転写材料に用いられる感光性樹脂層は、感光性樹脂組成物よりなり、マスク等を介して光照射した際に露光部と未露光部に基板への転写性の差が生じればポジ型でもネガ型でもよく特に限定はない。前記感光性樹脂層は、少なくとも(1)アルカリ可溶性樹脂と、(2)モノマーまたはオリゴマーと、(3)光重合開始剤または光重合開始剤系と、(4)染料または顔料のような着色剤と、を含む着色樹脂組成物から形成するのが好ましい。
以下、これら(1)〜(4)の成分について説明する。
[Photosensitive resin layer]
The photosensitive resin layer used for the transfer material is made of a photosensitive resin composition, and if the transfer property to the substrate is different between the exposed part and the unexposed part when irradiated with light through a mask or the like, the positive type is also used. It may be a negative type and is not particularly limited. The photosensitive resin layer comprises at least (1) an alkali-soluble resin, (2) a monomer or oligomer, (3) a photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system, and (4) a colorant such as a dye or pigment. It is preferable to form from the coloring resin composition containing these.
Hereinafter, the components (1) to (4) will be described.
(1)アルカリ可溶性樹脂
前記アルカリ可溶性樹脂(以下、単に「バインダ」ということがある。)としては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報および特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよく、着色樹脂組成物の全固形分に対する含有量は20〜50質量%が一般的であり、25〜45質量%が好ましい。
(1) Alkali-soluble resin The alkali-soluble resin (hereinafter sometimes simply referred to as “binder”) is preferably a polymer having a polar group such as a carboxylic acid group or a carboxylic acid group in the side chain. Examples thereof include JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-57-36. A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, a partially esterified maleic acid copolymer as described in JP-A-59-71048 Etc. Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned, In addition to this, what added the cyclic acid anhydride to the polymer which has a hydroxyl group can also be used preferably. Further, as particularly preferred examples, copolymers of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in US Pat. No. 4,139,391, benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers And a multi-component copolymer. The binder polymer having these polar groups may be used alone or in the form of a composition used in combination with a normal film-forming polymer, and the content relative to the total solid content of the colored resin composition 20-50 mass% is common, and 25-45 mass% is preferable.
(2)モノマーまたはオリゴマー
前記感光性樹脂層に使用されるモノマーまたはオリゴマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を2個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマーまたはオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマーおよびオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレートおよびフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドまたはプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
(2) Monomer or oligomer The monomer or oligomer used in the photosensitive resin layer is preferably a monomer or oligomer that has two or more ethylenically unsaturated double bonds and undergoes addition polymerization upon irradiation with light. . Examples of such monomers and oligomers include compounds having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. Examples include monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) ) Acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, di Pentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexa Diol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; multifunctional such as trimethylolpropane and glycerin Polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to alcohol and then (meth) acrylated can be mentioned.
さらに特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報および特開昭51−37193号公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報および特公昭52−30490号公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。
これらの中で、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートが好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げることができる。
これらのモノマーまたはオリゴマーは、単独でも、2種類以上を混合して用いてもよく、着色樹脂組成物の全固形分に対する含有量は5〜50質量%が一般的であり、10〜40質量%が好ましい。
Further, urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034 and JP-A-51-37193; JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 And polyester acrylates described in JP-B-52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid.
Among these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferable.
In addition, “polymerizable compound B” described in JP-A-11-133600 can also be mentioned as a preferable example.
These monomers or oligomers may be used alone or in admixture of two or more. The content of the colored resin composition with respect to the total solid content is generally 5 to 50% by mass, and 10 to 40% by mass. Is preferred.
(3)光重合開始剤または光重合開始剤系
前記感光性樹脂層に使用される光重合開始剤または光重合開始剤系としては、米国特許第2367660号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第2722512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号明細書および同第2951758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載のトリアリールイミダゾール2量体とp−アミノケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4239850号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等を挙げることができる。特に、トリハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾールおよびトリアリールイミダゾール2量体が好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合開始剤C」も好適なものとしてあげることができる。
これらの光重合開始剤または光重合開始剤系は、単独でも、2種類以上を混合して用いてもよいが、特に2種類以上を用いることが好ましい。少なくとも2種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラが少なくできる。
着色樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤または光重合開始剤系の含有量は、0.5〜20質量%が一般的であり、1〜15質量%が好ましい。
(3) Photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system As the photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system used for the photosensitive resin layer, a vicinal poly disclosed in US Pat. No. 2,367,660 is disclosed. Ketaldonyl compounds, acyloin ether compounds described in US Pat. No. 2,448,828, aromatic acyloin compounds substituted with α-hydrocarbons described in US Pat. No. 2,722,512, US Pat. No. 3,046,127 And a polynuclear quinone compound described in U.S. Pat. No. 2,951,758, a combination of a triarylimidazole dimer described in U.S. Pat. No. 3,549,367 and a p-aminoketone, and a benzoin described in JP-B 51-48516. Thiazole compounds and trihalomethyl-s-triazine compounds, US Pat. No. 4,239,850 Trihalomethyl described in Saisho - triazine compound include a trihalomethyl oxadiazole compounds described in U.S. Pat. No. 4,212,976. In particular, trihalomethyl-s-triazine, trihalomethyloxadiazole, and triarylimidazole dimer are preferable.
In addition, “polymerization initiator C” described in JP-A-11-133600 can also be mentioned as a preferable example.
These photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems may be used singly or as a mixture of two or more, but it is particularly preferable to use two or more. When at least two kinds of photopolymerization initiators are used, display characteristics, particularly display unevenness, can be reduced.
The content of the photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system with respect to the total solid content of the colored resin composition is generally 0.5 to 20% by mass, and preferably 1 to 15% by mass.
(4)着色剤
前記着色樹脂組成物には、公知の着色剤(染料、顔料)を添加することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、着色樹脂組成物中に均一に分散されていることが望ましく、そのため粒子サイズが0.1μm以下、特には0.08μm以下であることが好ましい。
上記公知の染料ないし顔料としては、特開2004−302015号公報の段落番号[0033]、米国特許第6,790,568号明細書カラム14に記載の顔料等が挙げられる。
(4) Colorant Known colorants (dyes and pigments) can be added to the colored resin composition. In the case of using a pigment among the known colorants, it is desirable that the pigment is uniformly dispersed in the colored resin composition. Therefore, the particle size is preferably 0.1 μm or less, particularly preferably 0.08 μm or less. .
Examples of the known dye or pigment include pigments described in paragraph No. [0033] of JP-A No. 2004-302015 and
本発明における着色剤としては、上記の着色剤の中でも、(i)R(レッド)の着色樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・レッド254が、(ii)G(グリーン)の着色樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・グリーン36が、(iii)B(ブルー)の着色樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・ブルー15:6が好適なものとして挙げられる。さらに上記顔料は組み合わせて用いてもよい。
As the colorant in the present invention, among the above-mentioned colorants, (i) R (red) colored resin composition is C.I. I. Pigment Red 254 is C.I. in (ii) G (green) colored resin composition. I. In the colored resin composition of (iii) B (blue),
本発明において、併用するのが好ましい上記記載の顔料の組み合わせは、C.I.ピグメント・レッド254では、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッド224、C.I.ピグメント・イエロー139、または、C.I.ピグメント・バイオレット23との組み合わせが挙げられ、C.I.ピグメント・グリーン36では、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー185、C.I.ピグメント・イエロー138、または、C.I.ピグメント・イエロー180との組み合わせが挙げられ、C.I.ピグメント・ブルー15:6では、C.I.ピグメント・バイオレット23、または、C.I.ピグメント・ブルー60との組み合わせが挙げられる。
In the present invention, the combination of the above-described pigments preferably used in combination is C.I. I. In pigment red 254, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment yellow 139 or C.I. I. A combination with
このように併用する場合の顔料中のC.I.ピグメント・レッド254、C.I.ピグメント・グリーン36、C.I.ピグメント・ブルー15:6の含有量は、C.I.ピグメント・レッド254は、80重量%以上が好ましく、特に90重量%以上が好ましい。C.I.ピグメント・グリーン36は50重量%以上が好ましく、特に60重量%以上が好ましい。C.I.ピグメント・ブルー15:6は、80重量%以上が好ましく、特に90重量%以上が好ましい。 C. in the pigment when used together in this way. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. The content of Pigment Blue 15: 6 is C.I. I. Pigment Red 254 is preferably 80% by weight or more, particularly preferably 90% by weight or more. C. I. The pigment green 36 is preferably 50% by weight or more, particularly preferably 60% by weight or more. C. I. Pigment Blue 15: 6 is preferably 80% by weight or more, particularly preferably 90% by weight or more.
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒(またはビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダ)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。さらに該文献310項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。 The pigment is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle) described later. The vehicle refers to a portion of a medium in which the pigment is dispersed when the paint is in a liquid state, and is a liquid portion that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, the kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, the material may be finely pulverized using frictional force by mechanical grinding described in Item 310.
本発明で用いる着色剤(顔料)は、数平均粒子サイズ0.001〜0.1μmのものが好ましく、さらに0.01〜0.08μmのものが好ましい。顔料数平均粒子サイズが0.001μm未満であると、粒子表面エネルギーが大きくなり凝集し易くなり、顔料分散が難しくなると共に、分散状態を安定に保つのも難しくなり好ましくない。また、顔料数平均粒子サイズが0.1μmを超えると、顔料による偏光の解消が生じ、コントラストが低下し、好ましくない。尚、ここで言う「粒子サイズ」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒子サイズ」とは多数の粒子について上記の粒子サイズを求め、この100個平均値を言う。 The colorant (pigment) used in the present invention preferably has a number average particle size of 0.001 to 0.1 μm, more preferably 0.01 to 0.08 μm. If the number average particle size of the pigment is less than 0.001 μm, the particle surface energy is increased and the particles are easily aggregated, and it becomes difficult to disperse the pigment, and it is difficult to keep the dispersion state stable. On the other hand, when the pigment number average particle size exceeds 0.1 μm, the polarization is canceled by the pigment, and the contrast is lowered. The “particle size” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle size” refers to the above particle size for a number of particles, The average value of 100 is said.
着色画素のコントラストは、分散されている顔料の粒子サイズを小さくすることで向上させることができる。粒子サイズを小さくするには、顔料分散物の分散時間を調節することで達成できる。分散には、上記記載の公知の分散機を用いることができる。分散時間は好ましくは10〜30時間であり、さらに好ましくは18〜30時間、最も好ましくは24〜30時間である。分散時間が10時間未満であると、顔料粒子サイズが大きく、顔料による偏光の解消が生じ、コントラストが低下することがある。一方、30時間を越えると、分散液の粘度が上昇し、塗布が困難になることがある。また、2色以上の着色画素のコントラストの差を600以内にするには、顔料粒子サイズを調節して、所望のコントラストとすればよい。 The contrast of the colored pixels can be improved by reducing the particle size of the dispersed pigment. A reduction in the particle size can be achieved by adjusting the dispersion time of the pigment dispersion. For dispersion, the known disperser described above can be used. The dispersion time is preferably 10 to 30 hours, more preferably 18 to 30 hours, and most preferably 24 to 30 hours. When the dispersion time is less than 10 hours, the pigment particle size is large, the polarization due to the pigment is canceled, and the contrast may be lowered. On the other hand, if it exceeds 30 hours, the viscosity of the dispersion liquid increases and application may be difficult. In addition, in order to make the difference in contrast between two or more colored pixels within 600, the pigment particle size may be adjusted to obtain a desired contrast.
前記感光性樹脂層より形成されるカラーフィルタの各着色画素のコントラストは、2000以上が好ましく、より好ましくは2800以上、さらに好ましくは3000以上であり、最も好ましくは3400以上である。カラーフィルタを構成する各着色画素のコントラストが2000以下だと、これを有する液晶表示装置の画像を観察すると、全体に白っぽい印象となり、見難く好ましくない。また、各着色画素のコントラストの差が、好ましくは600以内であり、より好ましくは410以内であり、さらに好ましくは350以内、最も好ましくは200以内である。各着色画素のコントラストの差が600以内であると、黒表示時における各着色画素部からの光漏れ量が大きく相違しないため、黒表示の色バランスが良く好ましい The contrast of each colored pixel of the color filter formed from the photosensitive resin layer is preferably 2000 or more, more preferably 2800 or more, still more preferably 3000 or more, and most preferably 3400 or more. When the contrast of each colored pixel constituting the color filter is 2000 or less, when an image of a liquid crystal display device having the color pixel is observed, an overall whitish impression is obtained, which is not preferable. Further, the difference in contrast between the colored pixels is preferably within 600, more preferably within 410, even more preferably within 350, and most preferably within 200. If the difference in contrast between the colored pixels is within 600, the amount of light leakage from each colored pixel portion during black display is not significantly different, and the color balance of black display is good and preferable.
本明細書において、「着色画素のコントラスト」とは、カラーフィルタを構成するR、G、Bについて、色毎に個別に評価されるコントラストを意味する。コントラストの測定方法は次の通りである。被測定物の両側に偏光板を重ねて、偏光板の偏光方向を互いに平行にした状態で、一方の偏光板の側からバックライトを当てて、他方の偏光板を通過した光の輝度Y1を測定する。次に偏光板を互いに直交させた状態で、一方の偏光板の側からバックライトを当てて、他方の偏光板を通過した光の輝度Y2を測定する。得られた測定値を用いて、コントラストはY1/Y2で算出される。尚、コントラスト測定に用いる偏光板は、該カラーフィルタを使用する液晶表示装置に用いる偏光板と同一のものとする。 In the present specification, “contrast of colored pixels” means a contrast that is individually evaluated for each color of R, G, and B constituting the color filter. The contrast measurement method is as follows. In the state where the polarizing plates are overlapped on both sides of the object to be measured and the polarizing directions of the polarizing plates are parallel to each other, the backlight Y is applied from the side of one polarizing plate, and the luminance Y1 of the light passing through the other polarizing plate is obtained. taking measurement. Next, in a state where the polarizing plates are orthogonal to each other, a backlight is applied from the side of one polarizing plate, and the luminance Y2 of the light passing through the other polarizing plate is measured. The contrast is calculated by Y1 / Y2 using the obtained measurement value. Note that the polarizing plate used for contrast measurement is the same as the polarizing plate used for the liquid crystal display device using the color filter.
感光性樹脂層により形成されるカラーフィルタにおいては、表示ムラ(膜厚変動による色ムラ)を効果的に防止するという観点から、該着色樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。前記界面活性剤は、感光性樹脂組成物と混ざり合うものであれば使用可能である。本発明に用いる好ましい界面活性剤としては、特開2003−337424号公報[0090]〜[0091]、特開2003−177522号公報[0092]〜[0093]、特開2003−177523号公報[0094]〜[0095]、特開2003−177521号公報[0096]〜[0097]、特開2003−177519号公報[0098]〜[0099]、特開2003−177520号公報[0100]〜[0101]、特開平11−133600号公報の[0102]〜[0103]、特開平6−16684号公報の発明として開示されている界面活性剤が好適なものとして挙げられる。より高い効果を得る為にはフッ素系界面活性剤、および/またはシリコン系界面活性剤(フッ素系界面活性剤、または、シリコン系界面活性剤、フッソ原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤)のいずれか、あるいは2種以上を含有することが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。フッ素系界面活性剤を用いる場合、該界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は1〜38が好ましく、5〜25がより好ましく、7〜20が最も好ましい。フッ素原子数が多すぎるとフッ素を含まない通常の溶媒に対する溶解性が落ちる点で好ましくない。フッ素原子数が少なすぎると、ムラの改善効果が得られない点で好ましくない。 In a color filter formed of a photosensitive resin layer, an appropriate surfactant may be contained in the colored resin composition from the viewpoint of effectively preventing display unevenness (color unevenness due to film thickness variation). preferable. The surfactant can be used as long as it is mixed with the photosensitive resin composition. Preferred surfactants used in the present invention include JP2003-337424A [0090] to [0091], JP2003-177522A [0092] to [0093], and JP2003-177523A [0094]. ] To [0095], JP 2003-177521 A [0096] to [0097], JP 2003-177519 A [0098] to [0099], JP 2003-177520 A [0100] to [0101]. [0102] to [0103] of JP-A-11-133600 and surfactants disclosed as inventions of JP-A-6-16684 are preferred. In order to obtain a higher effect, a fluorosurfactant and / or a silicon surfactant (a fluorosurfactant or a silicon surfactant, a surfactant containing both a fluorine atom and a silicon atom) ) Or two or more types are preferable, and a fluorine-based surfactant is most preferable. When using a fluorosurfactant, the number of fluorine atoms in the fluorine-containing substituent in the surfactant molecule is preferably 1 to 38, more preferably 5 to 25, and most preferably 7 to 20. If the number of fluorine atoms is too large, it is not preferable in that the solubility in an ordinary solvent not containing fluorine is lowered. When the number of fluorine atoms is too small, it is not preferable in that the effect of improving unevenness cannot be obtained.
特に好ましい界面活性剤として、下記一般式(a)および、一般式(b)で表されるモノマーを含み、且つ一般式(a)/一般式(b)の質量比が20/80〜60/40の共重合体を含有するものが挙げられる。 As a particularly preferred surfactant, the following general formula (a) and a monomer represented by the general formula (b) are included, and the mass ratio of the general formula (a) / the general formula (b) is 20/80 to 60 / The thing containing 40 copolymers is mentioned.
式中、R1、R2およびR3はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示し、R4は水素原子または炭素数1〜5のアルキル基を示す。nは1〜18の整数、mは2〜14の整数を示す。p、qは0〜18の整数を示すが、p、qがいずれも同時に0になる場合は含まない。 In the formula, R 1 , R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 4 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. n represents an integer of 1 to 18, and m represents an integer of 2 to 14. p and q represent integers of 0 to 18, but are not included when both p and q are simultaneously 0.
特に好ましい界面活性剤の一般式(a)で表されるモノマーをモノマー(a)、一般式(b)で表されるモノマーをモノマー(b)と記す。一般式(a)に示すCmF2m+1は、直鎖でも分岐鎖でもよい。mは2〜14の整数を示し、好ましくは4〜12の整数である。CmF2m+1の含有量は、モノマー(a)に対して20〜70質量%が好ましく、特に好ましくは40〜60質量%である。R1は水素原子またはメチル基を示す。またnは1〜18を示し、中でも2〜10が好ましい。一般式(b)に示すR2およびR3は、各々独立に水素原子またはメチル基を示し、R4は水素原子または炭素数が1〜5のアルキル基を示す。pおよびqは0〜18の整数を示すが、p、qがいずれも0は含まない。pおよびqは好ましくは2〜8である。 A particularly preferred surfactant represented by the general formula (a) is referred to as a monomer (a), and a monomer represented by the general formula (b) is referred to as a monomer (b). C m F 2m + 1 shown in the general formula (a) may be linear or branched. m shows the integer of 2-14, Preferably it is an integer of 4-12. The content of C m F 2m + 1 is preferably 20 to 70% by mass, particularly preferably 40 to 60% by mass, based on the monomer (a). R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. Moreover, n shows 1-18, and 2-10 are preferable especially. R 2 and R 3 shown in the general formula (b) each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 4 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. p and q each represent an integer of 0 to 18, but p and q do not include 0. p and q are preferably 2 to 8.
また、特に好ましい界面活性剤1分子中に含まれるモノマー(a)としては、互いに同じ構造のものでも、上記定義範囲で異なる構造のものを用いてもよい。このことは、モノマー(b)についても同様である。 Moreover, as a particularly preferable monomer (a) contained in one molecule of the surfactant, those having the same structure or those having different structures within the above defined range may be used. The same applies to the monomer (b).
特に好ましい界面活性剤の重量平均分子量Mwは、1000〜40000が好ましく、さらには5000〜20000がより好ましい。界面活性剤は前記一般式(a)および一般式(b)で表されるモノマーを含み、且つ一般式(a)/一般式(b)の質量比が20/80〜60/40の共重合体を含有することを特徴とする。特に好ましい界面活性剤100質量部は、モノマー(a)が20〜60質量部、モノマー(b)が80〜40質量部、およびその他の任意モノマーがその残りの質量部からなることが好ましく、さらには、モノマー(a)が25〜60質量部、モノマー(b)が60〜40質量部、およびその他の任意モノマーがその残りの質量部からなることが好ましい。 The particularly preferable weight average molecular weight Mw of the surfactant is preferably 1000 to 40000, more preferably 5000 to 20000. The surfactant contains the monomers represented by the general formula (a) and the general formula (b), and the weight ratio of the general formula (a) / the general formula (b) is 20/80 to 60/40. It is characterized by containing a coalescence. Particularly preferred 100 parts by weight of the surfactant is preferably composed of 20 to 60 parts by weight of the monomer (a), 80 to 40 parts by weight of the monomer (b), and the remaining part by weight of other optional monomers. It is preferable that the monomer (a) is composed of 25 to 60 parts by mass, the monomer (b) is composed of 60 to 40 parts by mass, and other optional monomers are composed of the remaining part by mass.
モノマー(a)および(b)以外の共重合可能なモノマーとしては、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、2−メチルスチレン、クロロスチレン、ビニル安息香酸、ビニルベンゼンスルホン酸ナトリウム、アミノスチレン等のスチレンおよびその誘導体、置換体、ブタジエン、イソプレン等のジエン類、アクリロニトリル、ビニルエーテル類、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、部分エステル化マレイン酸、スチレンスルホン酸無水マレイン酸、ケイ皮酸、塩化ビニル、酢酸ビニル等のビニル系単量体等が挙げられる。 Examples of the copolymerizable monomer other than the monomers (a) and (b) include styrene, vinyltoluene, α-methylstyrene, 2-methylstyrene, chlorostyrene, vinylbenzoic acid, sodium vinylbenzenesulfonate, aminostyrene, and the like. Styrene and its derivatives, substituted products, dienes such as butadiene and isoprene, acrylonitrile, vinyl ethers, methacrylic acid, acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, partially esterified maleic acid, styrene sulfonic acid maleic anhydride, silica And vinyl monomers such as cinnamate, vinyl chloride and vinyl acetate.
特に好ましい界面活性剤は、モノマー(a)、モノマー(b)等の共重合体であるが、そのモノマー配列は特に制限はなくランダムでも規則的、例えば、ブロックでもグラフトでもよい。さらに、特に好ましい界面活性剤は、分子構造および/またはモノマー組成の異なるものを2以上混合して用いることができる。 Particularly preferred surfactants are copolymers such as monomer (a) and monomer (b), but the monomer sequence is not particularly limited and may be random or regular, for example, block or graft. Furthermore, particularly preferable surfactants can be used by mixing two or more of those having different molecular structures and / or monomer compositions.
前記界面活性剤の含有量としては、感光性樹脂層の層全固形分に対して0.01〜10質量%が好ましく、特に0.1〜7質量%が好ましい。界面活性剤は、特定構造の界面活性剤とエチレンオキサイド基、およびポリプロピレンオキサイド基とを所定量含有するもので、感光性樹脂層に特定範囲で含有することにより該感光性樹脂層を備えた液晶表示装置の表示ムラが改善される。全固形分に対して0.01質量%未満であると、表示ムラが改善されず、10質量%を超えると、表示ムラ改善の効果があまり現れない。上記の特に好ましい界面活性剤を前記感光性樹脂層中に含有させカラーフィルタを作製すると、表示ムラが改良される点で好ましい。 As content of the said surfactant, 0.01-10 mass% is preferable with respect to the layer total solid of a photosensitive resin layer, and 0.1-7 mass% is especially preferable. The surfactant contains a predetermined amount of a surfactant having a specific structure, an ethylene oxide group, and a polypropylene oxide group, and a liquid crystal provided with the photosensitive resin layer by containing it in a specific range in the photosensitive resin layer. Display unevenness of the display device is improved. If it is less than 0.01% by mass relative to the total solid content, the display unevenness is not improved, and if it exceeds 10% by mass, the effect of improving the display unevenness does not appear much. When the above-mentioned particularly preferable surfactant is contained in the photosensitive resin layer to produce a color filter, it is preferable in that display unevenness is improved.
好ましいフッ素系界面活性剤の具体例としては、特開2004−163610号公報の段落番号[0054]〜[0063]に記載の化合物が挙げられる。また、下記市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。使用できる市販の界面活性剤として、例えばエフトップEF301、EF303、(新秋田化成(株)製)、フロラードFC430、431(住友スリーエム(株)製)、メガファックF171、F173、F176、F189、R08(大日本インキ(株)製)、サーフロンS−382、SC101、102、103、104、105、106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、または、シリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)、トロイゾルS−366(トロイケミカル(株)製)もシリコン系界面活性剤として用いることができる。 Specific examples of preferable fluorine-based surfactants include compounds described in paragraph numbers [0054] to [0063] of JP-A No. 2004-163610. Moreover, the following commercially available surfactant can also be used as it is. Examples of commercially available surfactants that can be used include F-top EF301 and EF303 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Florard FC430 and 431 (manufactured by Sumitomo 3M Ltd.), MegaFuck F171, F173, F176, F189, and R08. (Dainippon Ink Co., Ltd.), Surflon S-382, SC101, 102, 103, 104, 105, 106 (Asahi Glass Co., Ltd.) and other fluorine-based surfactants or silicon-based surfactants are listed. be able to. Polysiloxane polymers KP-341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and Troisol S-366 (manufactured by Troy Chemical Co., Ltd.) can also be used as the silicon surfactant.
[その他の層]
転写材料の、支持体と光学異方性層の間には、力学特性や凹凸追従性をコントロールするために熱可塑性樹脂層を形成することが好ましい。熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平5−72724号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーVicat法(具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニルおよびそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、N−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。
[Other layers]
It is preferable to form a thermoplastic resin layer between the support and the optically anisotropic layer of the transfer material in order to control the mechanical properties and the unevenness followability. As the component used for the thermoplastic resin layer, organic polymer substances described in JP-A-5-72724 are preferable, and the polymer softening point according to the Viker Vicat method (specifically, the American Material Testing Method ASTM D1 ASTM D1235). It is particularly preferable that the softening point by the measurement method is selected from organic polymer substances having a temperature of about 80 ° C. or less. Specifically, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, ethylene copolymers such as ethylene and vinyl acetate or saponified products thereof, ethylene and acrylic acid esters or saponified products thereof, polyvinyl chloride, vinyl chloride and vinyl acetate and saponified products thereof. Vinyl chloride copolymer such as fluoride, polyvinylidene chloride, vinylidene chloride copolymer, polystyrene, styrene copolymer such as styrene and (meth) acrylic acid ester or saponified product thereof, polyvinyl toluene, vinyl toluene and (meta ) Vinyl toluene copolymer such as acrylic ester or saponified product thereof, poly (meth) acrylic ester, (meth) acrylic ester copolymer such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, vinyl acetate copolymer Combined nylon, copolymer nylon, N-alkoxy Chill nylon, and organic polymeric polyamide resins such as N- dimethylamino nylon.
転写材料においては、複数の塗布層の塗布時、および塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。該中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水またはアルカリ水溶液に分散または溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。 In the transfer material, it is preferable to provide an intermediate layer for the purpose of preventing mixing of components during application of a plurality of application layers and during storage after application. As the intermediate layer, it is preferable to use an oxygen-blocking film having an oxygen-blocking function, which is described as “separation layer” in JP-A-5-72724. This reduces the time load and improves productivity. The oxygen barrier film is preferably one that exhibits low oxygen permeability and is dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution, and can be appropriately selected from known ones. Among these, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable.
前記熱可塑性樹脂層や前記中間層を、前記配向層と兼用することもできる。特に前記中間層に好ましく用いられるポリビニルアルコールおよびポリビニルピロリドンは配向層としても有効であり、中間層と配向層を1層にすることが好ましい。 The thermoplastic resin layer and the intermediate layer can also be used as the alignment layer. In particular, polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone that are preferably used for the intermediate layer are also effective as an alignment layer, and it is preferable that the intermediate layer and the alignment layer are made into one layer.
樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護する為に薄い保護フィルムを設けることが好ましい。保護フィルムは仮支持体と同じかまたは類似の材料からなってもよいが、樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フィルム材料としては例えばシリコン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。 A thin protective film is preferably provided on the resin layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The protective film may be made of the same or similar material as the temporary support, but must be easily separated from the resin layer. As the protective film material, for example, silicon paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable.
光学異方性層および感光性樹脂層、および所望により形成される配向層、熱可塑性樹脂層および中間層の各層は、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法やエクストルージョンコート法(米国特許2681294号明細書)により、塗布により形成することができる。二以上の層を同時に塗布してもよい。同時塗布の方法については、米国特許2761791号、同2941898号、同3508947号、同3526528号の各明細書および原崎勇次著、コーティング工学、253頁、朝倉書店(1973)に記載がある。 The optically anisotropic layer and the photosensitive resin layer, and the orientation layer, the thermoplastic resin layer, and the intermediate layer, which are formed as required, are dip coating, air knife coating, curtain coating, roller coating, wire bar It can be formed by coating by a coating method, a gravure coating method or an extrusion coating method (US Pat. No. 2,681,294). Two or more layers may be applied simultaneously. The method of simultaneous application is described in US Pat. Nos. 2,761,791, 2,941,898, 3,508,947, and 3,526,528 and Yuji Harasaki, Coating Engineering, page 253, Asakura Shoten (1973).
[転写材料を用いたカラーフィルタ層/光学異方性層の形成方法]
転写材料を基板上に転写する方法については特に制限されず、基板上に上記光学異方性層および感光性樹脂層を同時に転写できれば特に方法は限定されない。例えば、フィルム状に形成した転写材料を、感光性樹脂面を基板表面側にして、ラミネータを用いて加熱および/または加圧したローラーまたは平板で圧着または加熱圧着して、貼り付けることができる。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネータおよびラミネート方法が挙げられるが、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。その後、支持体は剥離してもよく、剥離によって露出した光学異方性層表面に、他の層、例えば電極層等を形成してもよい。
[Method of forming color filter layer / optically anisotropic layer using transfer material]
The method for transferring the transfer material onto the substrate is not particularly limited, and the method is not particularly limited as long as the optically anisotropic layer and the photosensitive resin layer can be simultaneously transferred onto the substrate. For example, the transfer material formed in the form of a film can be attached by pressing or thermocompression bonding with a roller or flat plate heated and / or pressurized using a laminator with the photosensitive resin surface facing the substrate surface. Specific examples include laminators and laminating methods described in JP-A-7-110575, JP-A-11-77942, JP-A-2000-334836, and JP-A-2002-148794. From this point of view, it is preferable to use the method described in JP-A-7-110575. Thereafter, the support may be peeled off, and another layer such as an electrode layer may be formed on the surface of the optically anisotropic layer exposed by peeling.
転写材料を転写する基板としては、例えば、透明基板すなわち、表面に酸化ケイ素、あるいは窒化珪素等の絶縁膜を有するガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等の上に、液晶に電圧を印加するための駆動用TFT(薄膜トランジスタアレイ)を形成したものを挙げることができる。また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、感光性樹脂層との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開2000−39033号公報記載の方法が好適に用いられる。尚、特に限定されるわけではないが、基板の膜厚としては、700〜1200μmが一般的に好ましい。 As a substrate for transferring the transfer material, for example, a transparent substrate, that is, a known glass plate such as a glass plate having an insulating film such as silicon oxide or silicon nitride on its surface, low expansion glass, non-alkali glass, quartz glass plate, Alternatively, a driving TFT (thin film transistor array) for applying a voltage to the liquid crystal on a plastic film or the like can be used. Moreover, the said board | substrate can make close_contact | adherence with the photosensitive resin layer favorable by performing a coupling process previously. As the coupling treatment, a method described in JP 2000-39033 A is preferably used. In addition, although it does not necessarily limit, as a film thickness of a board | substrate, 700-1200 micrometers is generally preferable.
上記基板上に形成された感光性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスクを介してマスク上方から露光し、次いで現像液による現像を行う。現像によって、下層の電極を露出させるコンタクトパターンが形成され、さらに、特定の着色樹脂層、例えば赤色(R)樹脂層と光学異方性層との積層体が、所定の位置に基板上に配置されたR色のパターンが形成される。緑色(G)樹脂層及び青色(B)樹脂層を有する転写材料をそれぞれ用いて同様の工程を実施することにより、カラーフィルタとそのRGBパターンと同一のパターンに形成された光学異方性層とを有する光学異方性層付きカラーフィルタを有するTFT基板を得ることができる。ここで、前記露光の光源としては、樹脂層を硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nmなど)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常10〜5000mJ/cm2程度であり、好ましくは20〜500mJ/cm2程度である。 A predetermined mask is disposed above the photosensitive resin layer formed on the substrate, and then exposure is performed from above the mask through the mask, followed by development with a developer. A contact pattern that exposes the underlying electrode is formed by development, and a specific colored resin layer, for example, a laminate of a red (R) resin layer and an optically anisotropic layer is disposed on the substrate at a predetermined position. A patterned R color is formed. A color filter and an optically anisotropic layer formed in the same pattern as the RGB pattern by performing the same process using a transfer material having a green (G) resin layer and a blue (B) resin layer, respectively A TFT substrate having a color filter with an optically anisotropic layer having the above can be obtained. Here, as the light source for exposure, any light source capable of irradiating light in a wavelength region capable of curing the resin layer (for example, 365 nm, 405 nm, etc.) can be appropriately selected and used. Specifically, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. are mentioned. As an exposure amount, it is about 10-5000 mJ / cm < 2 > normally, Preferably it is about 20-500 mJ / cm < 2 >.
また、露光後の現像工程に用いられる現像液としては特に制約はなく、特開平5−72724号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。尚、現像液は樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、pKa=7〜13の化合物を0.05〜5mol/Lの濃度で含むものが好ましいが、さらに現像性を高めるために、有機溶剤を添加してもよい。有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン、テトラヒドロフラン、N−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は0.1質量%〜60質量%が好ましい。
また、上記現像液には、さらに公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
Moreover, there is no restriction | limiting in particular as a developing solution used for the image development process after exposure, Well-known developing solutions, such as the thing of Unexamined-Japanese-Patent No. 5-72724, can be used. In addition, the developer preferably has a resin layer exhibiting a dissolution type development behavior. For example, a developer containing a compound having a pKa = 7 to 13 at a concentration of 0.05 to 5 mol / L is preferred, but further developability is improved. Therefore, an organic solvent may be added. Organic solvents include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone , Ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone, tetrahydrofuran, N-methylpyrrolidone and the like. The concentration of the organic solvent is preferably 0.1% by mass to 60% by mass.
Further, a known surfactant can be further added to the developer. The concentration of the surfactant is preferably 0.01% by mass to 10% by mass.
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー&スピン現像、ディップ現像等、公知の方法を用いることができる。露光後の樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。尚、現像の前に樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。洗浄液としては公知のものを使用できるが、(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「T−SD1(富士写真フイルム(株)製)」、或いは、炭酸ナトリウム・フェノキシオキシエチレン系界面活性剤含有、商品名「T−SD2(富士写真フイルム(株)製)」)が好ましい。現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましく、また、現像液のpHは8〜13が好ましい。 As a development method, a known method such as paddle development, shower development, shower & spin development, dip development or the like can be used. By spraying a developer onto the exposed resin layer with a shower, the uncured portion can be removed. In addition, it is preferable to spray an alkaline solution having a low solubility of the resin layer by a shower or the like before development to remove the thermoplastic resin layer, the intermediate layer, and the like. Further, after the development, it is preferable to remove the development residue while spraying a cleaning agent or the like with a shower and rubbing with a brush or the like. As the cleaning liquid, known ones can be used, including (phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent and stabilizer, trade name “T-SD1 (manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.)”, or Sodium carbonate / phenoxyoxyethylene surfactant-containing, trade name “T-SD2 (Fuji Photo Film Co., Ltd.)”) is preferred. The liquid temperature of the developer is preferably 20 ° C. to 40 ° C., and the pH of the developer is preferably 8 to 13.
カラーフィルタの製造においては、特開平11−248921号公報、特許3255107号公報に記載のように、カラーフィルタを形成する着色樹脂組成物を重ねることで土台を形成し、その上に透明電極を形成し、さらに必要に応じて分割配向用の突起を重ねることでスペーサを形成することが、コストダウンの観点で好ましい。 In the production of a color filter, as described in JP-A-11-248921 and Japanese Patent No. 3255107, a base is formed by overlapping colored resin compositions that form a color filter, and a transparent electrode is formed thereon. In addition, it is preferable from the viewpoint of cost reduction that the spacers are formed by overlapping the protrusions for split orientation as necessary.
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、物質量とその割合、操作等は本発明の趣旨から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下の具体例に制限されるものではない。 The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. The materials, reagents, amounts and ratios of substances, operations, and the like shown in the following examples can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the following specific examples.
(熱可塑性樹脂層用塗布液CU−1の調製)
下記の組成物を調製し、孔径30μmのポリプロピレン製フィルタでろ過して、熱可塑性樹脂層用塗布液CU−1として用いた。
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熱可塑性樹脂層用塗布液組成(%)
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メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(共重合組成比(モル比)=55/30/10/5、重量平均分子量=10万、Tg≒70℃)
5.89
スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=65/35、重量平均分子量=1万、Tg≒100℃)
13.74
BPE−500(新中村化学工業(株)製) 9.20
メガファックF−780−F(大日本インキ化学工業(株)社製) 0.55
メタノール 11.22
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 6.43
メチルエチルケトン 52.97
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(Preparation of coating liquid CU-1 for thermoplastic resin layer)
The following composition was prepared, filtered through a polypropylene filter having a pore size of 30 μm, and used as a coating liquid CU-1 for a thermoplastic resin layer.
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Coating liquid composition for thermoplastic resin layer (%)
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Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 55/30/10/5, weight average molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.)
5.89
Styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 65/35, weight average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.)
13.74
BPE-500 (made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 9.20
Megafuck F-780-F (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 0.55
Methanol 11.22
Propylene glycol monomethyl ether acetate 6.43
Methyl ethyl ketone 52.97
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(中間層/配向層用塗布液AL−1の調製)
下記の組成物を調製し、孔径30μmのポリプロピレン製フィルタでろ過して、中間層/配向層用塗布液AL−1として用いた。
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中間層/配向層用塗布液組成(%)
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ポリビニルアルコール(PVA205、クラレ(株)製) 3.21
ポリビニルピロリドン(Luvitec K30、BASF社製) 1.48
蒸留水 52.1
メタノール 43.21
─────────────────────────────────――
(Preparation of coating liquid AL-1 for intermediate layer / alignment layer)
The following composition was prepared, filtered through a polypropylene filter having a pore size of 30 μm, and used as the intermediate layer / alignment layer coating solution AL-1.
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Coating solution composition for intermediate layer / alignment layer (%)
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Polyvinyl alcohol (PVA205, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) 3.21
Polyvinylpyrrolidone (Luvitec K30, manufactured by BASF) 1.48
Distilled water 52.1
Methanol 43.21
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(光学異方性層用塗布液LC−1の調製)
下記の組成物を調製後、孔径0.2μmのポリプロピレン製フィルタでろ過して、光学異方性層用塗布液LC−R1として用いた。
(Preparation of coating liquid LC-1 for optically anisotropic layer)
After preparing the following composition, it was filtered through a polypropylene filter having a pore size of 0.2 μm and used as the coating liquid LC-R1 for the optically anisotropic layer.
LC−1−1はTetrahedron Lett.誌誌、第43巻、6793頁(2002)に記載の方法準じて合成した。LC−1−2はEP1388538A1,page 21に記載の方法により合成した。
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光学異方性層用塗布液組成(%)
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棒状液晶(Paliocolor LC242,BASFジャパン)28.6
カイラル剤(Paliocolor LC756,BASFジャパン)
3.40
4,4’−アゾキシジアニソール 0.52
スチレンボロン酸 0.02
水平配向剤(LC−1−1) 0.10
光重合開始剤(LC−1−2) 1.36
メチルエチルケトン 66.0
─────────────────────────────────――
LC-1-1 was obtained from Tetrahedron Lett. It was synthesized according to the method described in Journal, Vol. 43, page 6793 (2002). LC-1-2 was synthesized by the method described in EP1388538A1,
─────────────────────────────────――
Coating composition for optically anisotropic layer (%)
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Bar-shaped liquid crystal (Paliocolor LC242, BASF Japan) 28.6
Chiral agent (Paliocolor LC756, BASF Japan)
3.40
4,4′-Azoxydianisole 0.52
Styreneboronic acid 0.02
Horizontal alignment agent (LC-1-1) 0.10
Photopolymerization initiator (LC-1-2) 1.36
Methyl ethyl ketone 66.0
─────────────────────────────────――
(光学異方性層用塗布液LC−2の調製)
下記の組成物を調製後、孔径0.2μmのポリプロピレン製フィルタでろ過して、光学異方性層用塗布液LC−2として用いた。LC−2−1は特開平2001−166147号公報に記載の方法で合成した。LC−2−2は、市販のヒドロキシエチルメタクリレート、アクリル酸、および、M5610(ダイキン工業(株)製)をそれぞれ重量比15/5/80でメチルエチルケトンに溶解(濃度40%)し、重合開始剤としてV−601(和光純薬(株)製)を用いて重合する事で合成した。LC−2−3はまず、過剰のハイドロキノン(和光純薬(株)製)にオクチルオキシ安息香酸(関東化学(株)製)を混合酸無水物法により導入し、モノアシルフェノール体を得た。次いで、p−ヒドロキシ安息香酸メチルを炭酸エチレンでヒドロキシエチル化、エステルの加水分解さらに、臭化水素酸によるブロム化で、2−ブロモエチルオキシ安息香酸を合成した。これら2種の化合物を混合酸無水物法によるエステル化でジエステル体とした後、ジメチルアミノピリジンで4級化することによって、オニウム塩であるLC−2−3を合成した。
─────────────────────────────────――
光学異方性層用塗布液組成(質量%)
─────────────────────────────────――
円盤状液晶性化合物(LC−2−1) 30.0
エチレンオキサイド変成トリメチロールプロパントリアクリレート
(V#360、大阪有機化学(株)製) 3.3
光重合開始剤
(イルガキュア907、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)1.0
増感剤(カヤキュアDETX、日本化薬(株)製) 0.33
空気界面側垂直配向剤(LC−2−2) 0.12
配向層側垂直配向剤(LC−2−3) 0.15
メチルエチルケトン 65.1
─────────────────────────────────――
(Preparation of coating liquid LC-2 for optically anisotropic layer)
After preparing the following composition, it was filtered through a polypropylene filter having a pore size of 0.2 μm and used as a coating liquid LC-2 for an optically anisotropic layer. LC-2-1 was synthesized by the method described in JP-A No. 2001-166147. LC-2-2 was prepared by dissolving commercially available hydroxyethyl methacrylate, acrylic acid, and M5610 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.) in methyl ethyl ketone at a weight ratio of 15/5/80 (concentration 40%). As V-601 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.). LC-2-3 first introduced octyloxybenzoic acid (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.) into excess hydroquinone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) by the mixed acid anhydride method to obtain a monoacylphenol compound. . Subsequently, methyl p-hydroxybenzoate was hydroxyethylated with ethylene carbonate, ester hydrolysis, and bromination with hydrobromic acid to synthesize 2-bromoethyloxybenzoic acid. These two compounds were converted to diesters by esterification by the mixed acid anhydride method, and then quaternized with dimethylaminopyridine to synthesize LC-2-3, which is an onium salt.
─────────────────────────────────――
Coating liquid composition for optically anisotropic layer (% by mass)
─────────────────────────────────――
Discotic liquid crystalline compound (LC-2-1) 30.0
Ethylene oxide modified trimethylolpropane triacrylate (V # 360, manufactured by Osaka Organic Chemical Co., Ltd.) 3.3
Photopolymerization initiator (Irgacure 907, manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 1.0
Sensitizer (Kayacure DETX, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 0.33
Air interface side vertical alignment agent (LC-2-2) 0.12
Alignment layer side vertical alignment agent (LC-2-3) 0.15
Methyl ethyl ketone 65.1
─────────────────────────────────――
以下に感光性樹脂層用塗布液の作製方法を説明する。表1にそれぞれの感光性樹脂層用塗布液の組成を示す。 A method for producing a coating solution for the photosensitive resin layer will be described below. Table 1 shows the composition of each coating solution for the photosensitive resin layer.
表1中の組成物は以下の通り。
[K顔料分散物組成]
──────────────────────────────────――
K顔料分散物組成(%)
──────────────────────────────────――
カーボンブラック(デグッサ社製、Special Black 250)
13.1
5−[3−オキソ−2−[4−[3,5−ビス(3−ジエチルアミノプロピルアミノカルボニル)フェニル]アミノカルボニル]フェニルアゾ]−ブチロイルアミノベンズイミダゾロン
0.65
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物
(重量平均分子量3.7万) 6.72
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53
──────────────────────────────────――
The compositions in Table 1 are as follows.
[K pigment dispersion composition]
──────────────────────────────────――
K pigment dispersion composition (%)
──────────────────────────────────――
Carbon black (Degussa, Special Black 250)
13.1
5- [3-oxo-2- [4- [3,5-bis (3-diethylaminopropylaminocarbonyl) phenyl] aminocarbonyl] phenylazo] -butyroylaminobenzimidazolone
0.65
Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio (weight average molecular weight 37,000) 6.72
Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53
──────────────────────────────────――
[R顔料分散物−1組成]
──────────────────────────────────――
R顔料分散物−1組成(%)
──────────────────────────────────――
C.I.ピグメント・レッド254 8.0
5−[3−オキソ−2−[4−[3,5−ビス(3−ジエチルアミノプロピルアミノカルボニル)フェニル]アミノカルボニル]フェニルアゾ]−ブチロイルアミノベンズイミダゾロン
0.8
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、(重量平均分子量3.7万) 8.0
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 83.2
──────────────────────────────────――
[R pigment dispersion-1 composition]
──────────────────────────────────――
R pigment dispersion-1 composition (%)
──────────────────────────────────――
C. I. Pigment Red 254 8.0
5- [3-oxo-2- [4- [3,5-bis (3-diethylaminopropylaminocarbonyl) phenyl] aminocarbonyl] phenylazo] -butyroylaminobenzimidazolone
0.8
Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio, (weight average molecular weight 37,000) 8.0
Propylene glycol monomethyl ether acetate 83.2
──────────────────────────────────――
[R顔料分散物−2組成]
──────────────────────────────────――
R顔料分散物−2組成(%)
──────────────────────────────────――
C.I.ピグメント・レッド177 18.0
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、
(重量平均分子量3.7万) 12.0
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 70.0
──────────────────────────────────――
[R pigment dispersion-2 composition]
──────────────────────────────────――
R pigment dispersion-2 composition (%)
──────────────────────────────────――
C. I. Pigment Red 177 18.0
Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio,
(Weight average molecular weight 37,000) 12.0
Propylene glycol monomethyl ether acetate 70.0
──────────────────────────────────――
[G顔料分散物組成]
──────────────────────────────────――
G顔料分散物組成(%)
──────────────────────────────────――
C.I.ピグメント・グリーン36 18.0
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、
(重量平均分子量3.7万) 12.0
シクロヘキサノン 35.0
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 35.0
──────────────────────────────────――
[G pigment dispersion composition]
──────────────────────────────────――
G pigment dispersion composition (%)
──────────────────────────────────――
C. I.
Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio,
(Weight average molecular weight 37,000) 12.0
Cyclohexanone 35.0
Propylene glycol monomethyl ether acetate 35.0
──────────────────────────────────――
[バインダ1組成]
──────────────────────────────────――
バインダ1組成(%)
──────────────────────────────────――
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比のランダム共重合物
(重量平均分子量4万) 27.0
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73.0
──────────────────────────────────――
[
──────────────────────────────────――
──────────────────────────────────――
Random copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio (weight average molecular weight 40,000) 27.0
Propylene glycol monomethyl ether acetate 73.0
──────────────────────────────────――
[バインダ2組成]
──────────────────────────────────――
バインダ2組成(%)
──────────────────────────────────――
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート=
38/25/37モル比のランダム共重合物(重量平均分子量3万)27.0
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73.0
──────────────────────────────────――
[Binder 2 composition]
──────────────────────────────────――
Binder 2 composition (%)
──────────────────────────────────――
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / methyl methacrylate =
Random copolymer with a 38/25/37 molar ratio (weight average molecular weight 30,000) 27.0
Propylene glycol monomethyl ether acetate 73.0
──────────────────────────────────――
[バインダ3組成]
──────────────────────────────────――
バインダ3組成(%)
──────────────────────────────────――
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート=
36/22/42モル比のランダム共重合物(重量平均分子量3万)27.0
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73.0
──────────────────────────────────――
[Binder 3 composition]
──────────────────────────────────――
Binder 3 composition (%)
──────────────────────────────────――
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / methyl methacrylate =
36/22/42 molar ratio random copolymer (weight average molecular weight 30,000) 27.0
Propylene glycol monomethyl ether acetate 73.0
──────────────────────────────────――
[DPHA組成]
──────────────────────────────────――
DPHA溶液組成(%)
──────────────────────────────────――
KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製) 76.0
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24.0
──────────────────────────────────――
[DPHA composition]
──────────────────────────────────――
DPHA solution composition (%)
──────────────────────────────────――
KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku Co., Ltd.) 76.0
Propylene glycol monomethyl ether acetate 24.0
──────────────────────────────────――
(感光性樹脂層用塗布液PP−K1の調製)
感光性樹脂層用塗布液PP−K1は、まず表1に記載の量のK顔料分散物、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpm10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、バインダ1、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA溶液、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-[4-(N,N-ジエトキシカルボニルメチル)-3-ブロモフェニル]-s-トリアジン、界面活性剤1メガファックF−176PFをはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150rpm30分間攪拌することによって得られた。
(Preparation of coating solution PP-K1 for photosensitive resin layer)
The coating solution PP-K1 for the photosensitive resin layer first weighs the K pigment dispersion and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 1, mixes at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.), and stirs at 150 rpm for 10 minutes. Then, methyl ethyl ketone,
(感光性樹脂層用塗布液PP−R1の調製)
感光性樹脂層用塗布液PP−R1は、まず表1に記載の量のR顔料分散物−1、R顔料分散物−2、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpmで10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、バインダ2、DPHA溶液、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルメチル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチル)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン、フェノチアジンをはかり取り、温度24℃(±2℃)でこの順に添加して150rpm10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のED152をはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpm20分間攪拌し、さらに、表1に記載の量の界面活性剤1メガファックF−176PFをはかり取り、温度24℃(±2℃)で添加して30rpm30分間攪拌し、ナイロンメッシュ#200で濾過することによって得られた。
(Preparation of coating solution PP-R1 for photosensitive resin layer)
The coating liquid PP-R1 for the photosensitive resin layer was first weighed in the amounts of R pigment dispersion-1, R pigment dispersion-2 and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 1, and the temperature was 24 ° C. (± 2 ° C. ) And stirred at 150 rpm for 10 minutes, and then the amounts of methyl ethyl ketone, binder 2, DPHA solution, 2-trichloromethyl-5- (p-styrylmethyl) -1,3,4-oxax as shown in Table 1 Diazole, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethyl) -3-bromophenyl] -s-triazine and phenothiazine were weighed out and the temperature was 24 ° C. (± 2 In this order and stirred at 150 rpm for 10 minutes, then weighed out the amount of ED152 listed in Table 1 and mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.) to 150 rpm. Stir for 0 minutes, and then weigh out the amount of
(感光性樹脂層用塗布液PP−G1の調製)
感光性樹脂層用塗布液PP−G1は、まず表1に記載の量のG顔料分散物、CFエローEX3393、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpm10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、バインダ1、DPHA溶液、2-トリクロロメチル-5-(p-スチリルメチル)-1,3,4-オキサジアゾール、2,4-ビス(トリクロロメチル)-6-[4-(N,N-ジエトキシカルボニルメチル)-3-ブロモフェニル]-s-トリアジン、フェノチアジンをはかり取り、温度24℃(±2℃)でこの順に添加して150rpm30分間攪拌し、さらに、表1に記載の量の界面活性剤1メガファックF−176PFをはかり取り、温度24℃(±2℃)で添加して30rpm5分間攪拌し、ナイロンメッシュ#200で濾過することによって得られた。
(Preparation of coating solution PP-G1 for photosensitive resin layer)
The coating solution PP-G1 for the photosensitive resin layer is prepared by weighing out the G pigment dispersion, CF yellow EX3393, and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 1 and mixing at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.). Stir at 150 rpm for 10 minutes, then the amount of methyl ethyl ketone, cyclohexanone,
(感光性樹脂層用塗布液PP−B1の調製)
感光性樹脂層用塗布液PP−B1は、まず表1に記載の量のCFブルーEX3357、CFブルーEX3383、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpm10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、バインダ3、DPHA溶液、2-トリクロロメチル-5-(p-スチリルメチル)-1,3,4-オキサジアゾール、フェノチアジンをはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150rpm30分間攪拌し、さらに、表1に記載の量の界面活性剤1メガファックF−176PFをはかり取り、温度24℃(±2℃)で添加して30rpm5分間攪拌し、ナイロンメッシュ#200で濾過することによって得られた。
(Preparation of coating solution PP-B1 for photosensitive resin layer)
The photosensitive resin layer coating solution PP-B1 was first weighed in the amounts of CF Blue EX3357, CF Blue EX3383 and propylene glycol monomethyl ether acetate listed in Table 1, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.) and 150 rpm 10 Stir for minutes, then weigh out the amounts of methyl ethyl ketone, binder 3, DPHA solution, 2-trichloromethyl-5- (p-styrylmethyl) -1,3,4-oxadiazole, phenothiazine as listed in Table 1, Add in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), stir at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.) at 150 rpm for 30 minutes, and then weigh out the amount of the
(偏光UV照射装置POLUV−1)
UV光源として350〜400nmに強い発光スペクトルを有するD−Bulbを搭載したマイクロウェーブ発光方式の紫外線照射装置(Light Hammer 10、240W/cm、Fusion UV Systems社製)を用い、照射面から3cm離れた位置に、ワイヤグリッド偏光フィルタ(ProFlux PPL02(高透過率タイプ)、Moxtek社製)を設置して偏光UV照射装置を作製した。この装置の最大照度は400mW/cm2であった。
(Polarized UV irradiation device POLUV-1)
A microwave emission type ultraviolet irradiation device (Light Hammer 10, 240 W / cm, manufactured by Fusion UV Systems) equipped with D-Bulb having a strong emission spectrum at 350 to 400 nm as a UV light source was separated from the irradiation surface by 3 cm. At the position, a wire grid polarizing filter (ProFlux PPL02 (high transmittance type), manufactured by Moxtek) was installed to produce a polarized UV irradiation apparatus. The maximum illuminance of this device was 400 mW / cm 2 .
(RGB用感光性樹脂転写材料の作製)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートロールフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、熱可塑性樹脂層用塗布液CU−1を塗布、乾燥させた。次に、中間層/配向層用塗布液AL−1を塗布、乾燥させた。熱可塑性樹脂層の膜厚は14.6μm、配向層は1.6μmであった。続いて、形成した配向層をラビング処理した後、その上に光学異方性層用塗布液LC−R1を#6のワイヤーバーコータで塗布し、膜面温度が95℃2分間加熱乾燥熟成して均一な液晶相を有する層を形成した。さらに熟成後直ちにこの層に対して、酸素濃度0.3%以下の窒素雰囲気下において、POLUV−1を用いて偏光板の透過軸が透明支持体のTD方向となるようにして偏光UVを照射(照度200mW/cm2、照射量200mJ/cm2)して光学異方層を固定化し、厚さ2.8μmの光学異方性層を形成した。最後に、感光性樹脂組成物PP−R1を塗布、乾燥させ、厚さ2.0μmの感光性樹脂層を形成し、本発明の実施例1であるR用感光性樹脂転写材料R−1を作製した。
G、Bについても、PP−R1の代わりにPP−G1、PP−B1を用い、光学異方性層塗布のバーをそれぞれ#6、#5にしてLC−G1、LC−B1を塗布した以外は同様にして、それぞれ実施例2、3であるG用、B用感光性樹脂層G−1、B−1を形成した。G−1、B−1の光学異方性層はそれぞれ2.75μm、2.3μmであった。
(Production of photosensitive resin transfer material for RGB)
On a polyethylene terephthalate roll film temporary support having a thickness of 75 μm, the coating liquid CU-1 for thermoplastic resin layer was applied and dried using a slit nozzle. Next, the intermediate layer / alignment layer coating solution AL-1 was applied and dried. The film thickness of the thermoplastic resin layer was 14.6 μm, and the alignment layer was 1.6 μm. Subsequently, after rubbing the formed alignment layer, the coating liquid LC-R1 for optically anisotropic layer is applied thereon with a # 6 wire bar coater, and the film surface temperature is 95 ° C. for 2 minutes by heating and aging. And a layer having a uniform liquid crystal phase was formed. Further, immediately after aging, this layer was irradiated with polarized UV using POLUV-1 so that the transmission axis of the polarizing plate was in the TD direction of the transparent support in a nitrogen atmosphere having an oxygen concentration of 0.3% or less. (An illuminance of 200 mW / cm 2 and an irradiation amount of 200 mJ / cm 2 ) was used to immobilize the optical anisotropic layer to form an optically anisotropic layer having a thickness of 2.8 μm. Finally, the photosensitive resin composition PP-R1 is applied and dried to form a photosensitive resin layer having a thickness of 2.0 μm, and R photosensitive resin transfer material R-1 which is Example 1 of the present invention is formed. Produced.
For G and B, PP-G1 and PP-B1 were used instead of PP-R1, and the optical anisotropic layer coating bars were set to # 6 and # 5, respectively, and LC-G1 and LC-B1 were applied. In the same manner, photosensitive resin layers G-1 and B-1 for G and B, which are Examples 2 and 3, respectively, were formed. The optically anisotropic layers of G-1 and B-1 were 2.75 μm and 2.3 μm, respectively.
(位相差測定)
ファイバ型分光計を用いた平行ニコル法により、波長λにおける正面レターデーションRe(0)および遅相軸を回転軸として±40度サンプルを傾斜させたときのレターデーションRe(40)、Re(−40)を測定した。R、G、Bに対してλはそれぞれ611nm、545nm、435nmのレターデーションを測定した。光学異方性層の位相差は、あらかじめ測定したカラーフィルタの透過率データで較正を行うことにより、ガラスにベタ転写した転写材料のうち位相差を有する光学異方性層の位相差のみを求めた。実施例1〜3の位相差測定結果を表1に示す。
(Phase difference measurement)
By the parallel Nicol method using a fiber-type spectrometer, the front retardation Re (0) at the wavelength λ and the retardations Re (40), Re (−) when the sample is tilted ± 40 degrees around the slow axis as the rotation axis. 40) was measured. For R, G, and B, λ was measured for retardation of 611 nm, 545 nm, and 435 nm, respectively. The phase difference of the optically anisotropic layer is obtained by calibrating with the transmittance data of the color filter measured in advance, so that only the phase difference of the optically anisotropic layer having the phase difference is obtained from the transfer material solid-transferred onto the glass. It was. Table 1 shows the phase difference measurement results of Examples 1 to 3.
(TFT基板の作製)
次の方法によりTFT基板を作製した。工程イメージを図5に示す。
−ゲート電極の形成−
洗浄:無アルカリガラス基板を、25℃に調整したセミコクリン等の洗浄剤液をシャワーにより吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワーで洗浄した。その後、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた。
成膜:真空スパッタ成膜装置により行った。真空チャンバー内で10-4Pa程度まで真空引きしてから、ヒータで基板を300度に加熱、10-1Paのアルゴンガス雰囲気でプラズマ放電をたてて、ターゲット表面からCrを飛ばし、2000Aの厚さになるまで堆積させた。
(Production of TFT substrate)
A TFT substrate was produced by the following method. A process image is shown in FIG.
-Formation of gate electrode-
Washing: The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon bristles while sprayed with a detergent solution such as semicocrine adjusted to 25 ° C. by a shower, and washed with a pure water shower. Thereafter, the water was dried with a high-pressure air knife using dry air, and the mixture was dried.
Film formation: performed by a vacuum sputtering film formation apparatus. After evacuation to about 10 −4 Pa in a vacuum chamber, the substrate is heated to 300 ° C. with a heater, plasma discharge is performed in an argon gas atmosphere of 10 −1 Pa, and Cr is blown off from the target surface. Deposited to thickness.
フォトリソグラフ:フォトリソグラフィの方法により、Cr膜を所望の電極形状にパターニングした。スピンコート法により、TFT用フォトレジスト(東京応化工業(株)製)を2μmの厚さに均一にコートした。100℃のベーク炉でプリベークを行った後、露光装置((株)ニコン製ステッパ)で所望のパターンのフォトマスクを使ってパターンを焼きこんだ。露光量と露光時間は設備の最適条件を適宜選んで決定した。露光後の基板を現像液(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド含有:東京応化工業(株)製)で現像後、120℃のベーク炉でポストベークを行い、残留溶剤を飛ばして形を固定した。次にCrのエッチング液(硝酸セリウムアンモニウム含有:関東化学(株)製)を揺動するシャワーヘッドで吹きかけながらエッチングを行い、Cr膜が十分溶けきったのを確認して、純水シャワーでエッチング液を洗い落とし、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた。次にレジストを剥離した。レジスト剥離液(2−アミノエタノール、NMP含有:東京応化工業(株)製)をシャワーヘッドで吹きかけながら、ロールブラシをかけてレジストを剥離した。剥離液は、温水シャワーとエアナイフで流して飛ばした。 Photolithograph: A Cr film was patterned into a desired electrode shape by a photolithography method. A photoresist for TFT (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was uniformly coated to a thickness of 2 μm by spin coating. After pre-baking in a 100 ° C. baking furnace, a pattern was baked using a photomask having a desired pattern with an exposure apparatus (Nikon Corporation stepper). The exposure amount and the exposure time were determined by appropriately selecting the optimum equipment conditions. The exposed substrate was developed with a developer (containing tetramethylammonium hydroxide: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) and then post-baked in a baking oven at 120 ° C. to remove the residual solvent and fix the shape. Next, etching is performed while spraying with a swinging shower head with a Cr etching solution (containing cerium ammonium nitrate: manufactured by Kanto Chemical Co., Inc.), and it is confirmed that the Cr film has been sufficiently dissolved, and etching is performed with a pure water shower. The liquid was washed off, and the water was dried with a high-pressure air knife using dry air. Next, the resist was peeled off. While spraying a resist stripping solution (containing 2-aminoethanol and NMP: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) with a shower head, the resist was stripped by applying a roll brush. The stripping solution was swept away with a hot water shower and an air knife.
−ゲート絶縁膜およびアモルファスシリコン膜の形成−
下層絶縁層の成膜:真空スパッタ成膜装置により、SiO2膜を形成した。真空チャンバー内で10-5Pa程度まで真空引きしてから、ヒータで基板を280度に加熱、10-1Paのアルゴンガス雰囲気でプラズマ放電をたてて、ターゲット表面からSiO2を飛ばし、100nmの厚さになるまで堆積させた。
洗浄:25℃に調整した純水をシャワーにより吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた。
-Formation of gate insulating film and amorphous silicon film-
Formation of lower insulating layer: A SiO 2 film was formed by a vacuum sputtering film forming apparatus. After evacuating to about 10 −5 Pa in a vacuum chamber, the substrate is heated to 280 ° C. with a heater, plasma discharge is performed in an argon gas atmosphere of 10 −1 Pa, and SiO 2 is blown off from the target surface. The film was deposited until the thickness became.
Washing: Pure water adjusted to 25 ° C. was washed with a rotating brush having nylon bristles while being sprayed by a shower, and dried with a high-pressure air knife using dry air.
3層連続成膜:プラズマCVD装置(AKT製)により、窒化珪素膜、アモルファスシリコン膜、n+アモルファスシリコン膜を順に堆積させた。基板をロードロックチャンバに入れて10-4Paまで真空に引いてから、300℃まで加熱した。窒化珪素は、SiH4,NH3,N2の各ガスをマスフローで1:1:5に流量制御しながら排気抵抗で3Paに保った。電極間距離40mmで1kw/13.56MHzの高周波をかけてグロー放電(低温プラズマ)を立て、ラジカルを生成し基板表面に窒化珪素膜を堆積させた。4000A堆積させたら、ガスを止めて高真空状態に保った。次にアモルファスシリコン膜を堆積させた。基板温度は300℃、SiH4、H2を1:5の比率で流量制御しつつ、1Paの圧力で150WのRFでプラズマを立てて、300nmほど堆積させた。次にn+アモルファスシリコン膜を堆積させた。基板温度は300℃、SiH4、PH3(3%希釈)、H2を1:1:5の比率で流量制御しつつ、1Paの圧力で150WのRFでプラズマを立てて、50nmほど堆積させた。 Three-layer continuous film formation: A silicon nitride film, an amorphous silicon film, and an n + amorphous silicon film were sequentially deposited by a plasma CVD apparatus (manufactured by AKT). The substrate was placed in a load lock chamber, evacuated to 10 −4 Pa, and then heated to 300 ° C. The silicon nitride was maintained at 3 Pa with exhaust resistance while controlling the flow rate of SiH 4 , NH 3 , and N 2 at 1: 1: 5 by mass flow. Glow discharge (low temperature plasma) was generated by applying a high frequency of 1 kw / 13.56 MHz with an electrode distance of 40 mm to generate radicals and deposit a silicon nitride film on the substrate surface. Once 4000 A was deposited, the gas was turned off and kept in a high vacuum state. Next, an amorphous silicon film was deposited. The substrate temperature was 300 ° C., SiH 4 and H 2 were flow controlled at a ratio of 1: 5, plasma was generated at 150 Pa RF with a pressure of 1 Pa, and about 300 nm was deposited. Next, an n + amorphous silicon film was deposited. The substrate temperature is 300 ° C., SiH 4 , PH 3 (3% dilution), H 2 are flow controlled at a ratio of 1: 1: 5, and plasma is generated with 150 W RF at a pressure of 1 Pa to deposit about 50 nm. It was.
―アイランドのパターニング―
フォトリソグラフ:フォトリソグラフィの方法により、アモルファスシリコンおよびn+アモルファスシリコン膜をゲート電極の上にアイランド形状にパターニングした。スピンコート法により、TFT用フォトレジスト(東京応化工業(株)製)を2μmの厚さに均一にコートした。100℃のベーク炉でプリベークを行った後、露光装置((株)ニコン製ステッパ)で所望のパターンのフォトマスクを使ってパターンを焼きこんだ。露光量と露光時間は設備の最適条件を適宜選んで決定した。露光後の基板を現像液(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド含有:東京応化工業(株)製)で現像後、120℃のベーク炉でポストベークを行い、残留溶剤を飛ばして形を固定した。次にアモルファスシリコンおよびn+アモルファスシリコン膜をドライエッチングした。RIE装置を使用し、SF6ガス(40SCCM)、0.4Paの圧力、RFパワー1500W、バイアス400Wの条件でSiNxと選択比を取りながらエッチングした。
次に、レジスト剥離液(2−アミノエタノール、NMP含有:東京応化工業(株)製)をシャワーヘッドで吹きかけながら、ロールブラシをかけてレジストを剥離した。剥離液は、温水シャワーとエアナイフで流して飛ばした。
-Island patterning-
Photolithography: Amorphous silicon and an n + amorphous silicon film were patterned into an island shape on the gate electrode by a photolithography method. A photoresist for TFT (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was uniformly coated to a thickness of 2 μm by spin coating. After pre-baking in a 100 ° C. baking furnace, a pattern was baked using a photomask having a desired pattern with an exposure apparatus (Nikon Corporation stepper). The exposure amount and the exposure time were determined by appropriately selecting the optimum equipment conditions. The exposed substrate was developed with a developer (containing tetramethylammonium hydroxide: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) and then post-baked in a baking oven at 120 ° C. to remove the residual solvent and fix the shape. Next, the amorphous silicon and n + amorphous silicon films were dry etched. Using an RIE apparatus, etching was performed while maintaining a selectivity with SiNx under the conditions of SF 6 gas (40 SCCM), 0.4 Pa pressure, RF power 1500 W, and bias 400 W.
Next, the resist was peeled off by applying a roll brush while spraying a resist stripping solution (containing 2-aminoethanol and NMP: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) with a shower head. The stripping solution was swept away with a hot water shower and an air knife.
―ドレイン電極のパターニング―
洗浄:25℃に調整した純水をシャワーにより吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた。
成膜:真空スパッタ成膜装置で行った。真空チャンバー内で10-4Pa程度まで真空引きしてから、ヒータで基板を300度に加熱、10-1Paのアルゴンガス雰囲気でプラズマ放電をたてて、ターゲット表面からCrを飛ばし、1500Aの厚さになるまで堆積させた。
フォトリソグラフ:スピンコート法により、TFT用フォトレジスト(東京応化工業(株)製)を2μmの厚さに均一にコートした。100℃のベーク炉でプリベークを行った後、露光装置((株)ニコン製ステッパ)で所望のパターンのフォトマスクを使ってパターンを焼きこんだ。露光量と露光時間は設備の最適条件を適宜選んで決定した。露光後の基板を現像液(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド含有:東京応化工業(株)製)で現像後、120℃のベーク炉でポストベークを行い、残留溶剤を飛ばして形を固定した。次にCrのエッチング液(硝酸セリウムアンモニウム含有:関東化学製)を揺動するシャワーヘッドで吹きかけながらエッチングを行い、Cr膜が十分溶けきったのを確認して、純水シャワーでエッチング液を洗い落とし、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた。次にレジストを剥離した。レジスト剥離液(2−アミノエタノール、NMP含有:東京応化工業(株)製)をシャワーヘッドで吹きかけながら、ロールブラシをかけてレジストを剥離した。剥離液は、温水シャワーとエアナイフで流して飛ばした。
−チャネルエッチング−:ドレイン電極間のn+アモルファスシリコン層をエッチングで除去する。選択的なエッチングはできないため、エッチング時間で掘り込み深さを管理する。RIE装置を使用し、SF6ガス(40SCCM)、0.4Paの圧力、RFパワー500W、バイアス100Wの条件で40secエッチングした。
―Drain electrode patterning―
Washing: Pure water adjusted to 25 ° C. was washed with a rotating brush having nylon bristles while being sprayed by a shower, and dried with a high-pressure air knife using dry air.
Film formation: Performed with a vacuum sputtering film forming apparatus. After evacuating to about 10 −4 Pa in a vacuum chamber, the substrate is heated to 300 ° C. with a heater, plasma discharge is performed in an argon gas atmosphere of 10 −1 Pa, and Cr is blown off from the target surface. Deposited to thickness.
Photolithograph: A photoresist for TFT (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was uniformly coated to a thickness of 2 μm by spin coating. After pre-baking in a 100 ° C. baking furnace, a pattern was baked using a photomask having a desired pattern with an exposure apparatus (Nikon Corporation stepper). The exposure amount and the exposure time were determined by appropriately selecting the optimum equipment conditions. The exposed substrate was developed with a developer (containing tetramethylammonium hydroxide: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) and then post-baked in a baking oven at 120 ° C. to remove the residual solvent and fix the shape. Next, etching is performed while spraying with a swinging shower head with a Cr etching solution (containing cerium ammonium nitrate: manufactured by Kanto Chemical Co., Inc.). After confirming that the Cr film is sufficiently dissolved, the etching solution is washed off with a pure water shower. The water was dried with a high-pressure air knife using dry air. Next, the resist was peeled off. While spraying a resist stripping solution (containing 2-aminoethanol and NMP: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) with a shower head, the resist was stripped by applying a roll brush. The stripping solution was swept away with a hot water shower and an air knife.
-Channel etching-: The n + amorphous silicon layer between the drain electrodes is removed by etching. Since selective etching cannot be performed, the digging depth is controlled by the etching time. Using an RIE apparatus, etching was performed for 40 seconds under the conditions of SF6 gas (40 SCCM), a pressure of 0.4 Pa, an RF power of 500 W, and a bias of 100 W.
(パシベーション層の形成)
洗浄:25℃に調整した純水をシャワーにより吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた。
保護絶縁膜の成膜:プラズマCVD装置(AKT製)により、窒化珪素膜を堆積した。基板をロードロックチャンバに入れて10-4Paまで真空に引いてから、280℃まで加熱した。窒化珪素は、SiH4,NH3,N2の各ガスをマスフローで1:1:5に流量制御しながら排気抵抗で3Paに保った。電極間距離40mmで1kw/13.56MHzの高周波をかけてグロー放電(低温プラズマ)を立て、ラジカルを生成し基板表面に窒化珪素膜を200nm堆積させた。
コンタクトホールのパターニング:スピンコート法により、TFT用フォトレジスト(東京応化工業(株)製)を2μmの厚さに均一にコートした。100℃のベーク炉でプリベークを行った後、露光装置((株)ニコン製ステッパ)で所望のパターンのフォトマスクを使ってパターンを焼きこんだ。露光量と露光時間は設備の最適条件を適宜選んで決定した。露光後の基板を現像液(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド含有:東京応化工業(株)製)で現像後、120℃のベーク炉でポストベークを行い、残留溶剤を飛ばして形を固定した。次にSiNxのエッチング液(BHF:バッファードフッ酸含有:関東化学製)を満たしたディップ槽に浸してエッチングを行い、純水シャワーでエッチング液を洗い落とし、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた後、レジスト剥離液(2−アミノエタノール、NMP含有:東京応化工業(株)製)をシャワーヘッドで吹きかけながら、ロールブラシをかけてレジストを剥離した。剥離液は、温水シャワーとエアナイフで流して飛ばした。
(Formation of passivation layer)
Washing: Pure water adjusted to 25 ° C. was washed with a rotating brush having nylon bristles while being sprayed by a shower, and dried with a high-pressure air knife using dry air.
Formation of protective insulating film: A silicon nitride film was deposited by a plasma CVD apparatus (manufactured by AKT). The substrate was placed in a load lock chamber, evacuated to 10 −4 Pa, and then heated to 280 ° C. The silicon nitride was maintained at 3 Pa with exhaust resistance while controlling the flow rate of SiH 4 , NH 3 , and N 2 at 1: 1: 5 by mass flow. Glow discharge (low temperature plasma) was generated by applying a high frequency of 1 kw / 13.56 MHz at a distance of 40 mm between the electrodes, generating radicals, and depositing 200 nm of a silicon nitride film on the substrate surface.
Contact hole patterning: A TFT photoresist (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was uniformly coated to a thickness of 2 μm by spin coating. After pre-baking in a 100 ° C. baking furnace, a pattern was baked using a photomask having a desired pattern with an exposure apparatus (Nikon Corporation stepper). The exposure amount and the exposure time were determined by appropriately selecting the optimum equipment conditions. The exposed substrate was developed with a developer (containing tetramethylammonium hydroxide: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) and then post-baked in a baking oven at 120 ° C. to remove the residual solvent and fix the shape. Next, etching is performed by immersing in a dip tank filled with an SiNx etching solution (BHF: buffered hydrofluoric acid contained: manufactured by Kanto Chemical Co., Inc.), washing off the etching solution with a pure water shower, and water with a high pressure air knife using dry air. After cutting and drying, the resist was peeled off with a roll brush while spraying a resist stripping solution (containing 2-aminoethanol and NMP: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) with a shower head. The stripping solution was swept away with a hot water shower and an air knife.
(RGB転写材料のTFT基板への転写)
上記TFT基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3%水溶液、商品名:KBM−603、信越化学)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
前記感光性樹脂材料(PP−R1)の保護フィルムを剥離後、ラミネータ((株)日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
保護フィルムを剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cm2で、Rの画素に対応するストライプパターンで、ソース電極に相当する部位にコンタクトホールを有するパターンに露光した。
次に、トリエタノールアミン系現像液(2.5%のトリエタノールアミン含有、ノニオン界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名:T−PD1、富士写真フイルム(株)製)にて30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と中間層/配向層を除去した。
引き続き炭酸Na系現像液(0.06mol/Lの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム(株)製)を用い、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画素を得た。
引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「T−SD1(富士写真フイルム(株)製)」を用い、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、スルーホールのパターンを得た。その後さらに、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で500mJ/cm2の光でポスト露光後、220℃、15分熱処理した。
同様に、前記感光性樹脂材料(PP−G1、PP−B1、)についても、それぞれG、Bの画素に対応するストライプパターンで、ソース電極に相当する部位にコンタクトホールを有するパターンに露光・現像した。
前記RGBのパターンを形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により100℃2分加熱した。
(透明電極の形成)
上で作製した絶縁層および光学異方性層を転写・パターニングしたTFT基板上に透明電極膜をITOのスパッタリングにより形成した。
成膜:真空チャンバー内で10-5Pa程度まで真空引きしてから、ヒータで基板を240度に加熱、10-1Paのアルゴンガス雰囲気でプラズマ放電をたてて、ターゲット表面からITOを飛ばし、100nmの厚さになるまで堆積させた。
フォトリソグラフ:スピンコート法により、TFT用フォトレジスト(東京応化工業(株)製)を2μmの厚さに均一にコートした。100℃のベーク炉でプリベークを行った後、露光装置((株)ニコン製ステッパ)で所望のパターンのフォトマスクを使ってパターンを焼きこんだ。露光量と露光時間は設備の最適条件を適宜選んで決定した。露光後の基板を現像液(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド含有:東京応化工業(株)製)で現像後、120℃のベーク炉でポストベークを行い、残留溶剤を飛ばして形を固定した。次にITOのエッチング液(塩化第2鉄含有:関東化学製)を揺動するシャワーヘッドで吹きかけながらエッチングを行い、ITO膜が十分溶けきったのを確認して、純水シャワーでエッチング液を洗い落とし、乾燥エアーを使った高圧エアナイフで水を切って乾燥させた。次にレジストを剥離した。レジスト剥離液(2−アミノエタノール、NMP含有:東京応化工業(株)製)をシャワーヘッドで吹きかけながら、ロールブラシをかけてレジストを剥離した。剥離液は、温水シャワーとエアナイフで流して飛ばした。
(Transfer of RGB transfer material to TFT substrate)
The TFT substrate was washed with a rotating brush having nylon bristles while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds with a shower. After pure water shower washing, a silane coupling solution (N-β (aminoethyl) γ -Aminopropyltrimethoxysilane 0.3% aqueous solution, trade name: KBM-603, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.
After peeling off the protective film of the photosensitive resin material (PP-R1), a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)) was used, and the substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes to a rubber roller temperature of 130. Lamination was performed at a temperature of 100 ° C., a linear pressure of 100 N / cm, and a conveyance speed of 2.2 m / min.
After peeling off the protective film, the exposure mask surface with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing upright with a proximity type exposure machine (Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra high pressure mercury lamp. The photosensitive resin layer was exposed to a pattern having a contact hole in a portion corresponding to the source electrode with a stripe pattern corresponding to the R pixel at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 .
Next, with a triethanolamine developer (2.5% triethanolamine-containing, nonionic surfactant-containing, polypropylene-based antifoaming agent, trade name: T-PD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) Shower development was performed at 30 ° C. for 50 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer / alignment layer.
Subsequently, a sodium carbonate developer (0.06 mol / L sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% sodium dibutylnaphthalene sulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer contained, trade name: T- CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), shower development was performed at a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa, and the photosensitive resin layer was developed to obtain a patterned pixel.
Subsequently, using a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent and stabilizer, trade name “T-SD1” (manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.)) at a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa. Residue removal was performed with a shower and a rotating brush with nylon bristles to obtain a through-hole pattern, which was further post-exposed to the substrate from the resin layer side with an ultrahigh pressure mercury lamp at a light of 500 mJ / cm 2. Thereafter, heat treatment was performed at 220 ° C. for 15 minutes.
Similarly, the photosensitive resin materials (PP-G1, PP-B1,) are also exposed and developed in a stripe pattern corresponding to the G and B pixels, respectively, and having a contact hole in a portion corresponding to the source electrode. did.
The substrate on which the RGB pattern was formed was again cleaned with a brush as described above, and after pure water shower cleaning, the substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes without using a silane coupling solution.
(Formation of transparent electrode)
A transparent electrode film was formed by sputtering ITO on the TFT substrate on which the insulating layer and the optically anisotropic layer produced above were transferred and patterned.
Film formation: After evacuating to about 10 -5 Pa in a vacuum chamber, the substrate is heated to 240 degrees with a heater, plasma discharge is performed in an argon gas atmosphere of 10 -1 Pa, and ITO is blown off from the target surface. And deposited to a thickness of 100 nm.
Photolithograph: A photoresist for TFT (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was uniformly coated to a thickness of 2 μm by spin coating. After pre-baking in a 100 ° C. baking furnace, a pattern was baked using a photomask having a desired pattern with an exposure apparatus (Nikon Corporation stepper). The exposure amount and the exposure time were determined by appropriately selecting the optimum equipment conditions. The exposed substrate was developed with a developer (containing tetramethylammonium hydroxide: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) and then post-baked in a baking oven at 120 ° C. to remove the residual solvent and fix the shape. Next, etching is performed while spraying an ITO etchant (containing ferric chloride: manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.) with a swinging shower head, confirming that the ITO film has been sufficiently dissolved, and then removing the etchant with a pure water shower. Washed off and dried with a high-pressure air knife using dry air. Next, the resist was peeled off. While spraying a resist stripping solution (containing 2-aminoethanol and NMP: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) with a shower head, the resist was stripped by applying a roll brush. The stripping solution was swept away with a hot water shower and an air knife.
(配向層の形成)
さらにその上にポリイミドの配向膜を設けた。配向材はJSR(株)製ポリイミドJALS204を使用し、ロールコート法で画素電極が配置されている領域に選択的に塗布した。塗布後、80℃の雰囲気で15分間プリベークを行い、さらに200℃で60分間焼成を行った。その結果、膜厚で約0.5μmの配向層を得た。
(Formation of alignment layer)
Further, a polyimide alignment film was provided thereon. As the alignment material, polyimide JALS204 manufactured by JSR Co., Ltd. was used, and it was selectively applied to the region where the pixel electrodes were arranged by a roll coating method. After coating, prebaking was performed for 15 minutes in an atmosphere at 80 ° C., and baking was further performed at 200 ° C. for 60 minutes. As a result, an alignment layer having a thickness of about 0.5 μm was obtained.
(対向側基板の準備)
対向基板は、透明導電膜で形成した共通電極の上に、ギャップ制御用の柱パターンと、配向制御用の突起パターンを所望の形状に有したものを準備した。
(対向側配向層の形成)
透明導電層の上にはTFTアレイ基板と同様にポリイミド配向層を形成した。配向材はJSR(株)製ポリイミドJALS204を使用し、ロールコート法で画素電極が配置されている領域に選択的に塗布した。塗布後、80℃の雰囲気で15分間プリベークを行い、さらに200℃で60分間焼成を行った。その結果、膜厚で約0.5μmの配向層を得た。
(シールパターンの形成)
TFT基板の周囲にシールパターンを形成する。スペーサ粒子を1質量%含有したエポキシ樹脂(日産化学工業(株)製ストラクトボンドXN−21S)をシールディスペンサ装置で表示領域を囲む所定の領域に液晶の注入口に相当する部分を開いた形で印刷した。これを80℃で30分間仮焼きした。
(重ね合わせ)
TFT基板と対向基板が正しい位置で重なるようにアライメントしながら重ねあわせ装置で合わせた。その状態で0.03MPaの圧力をかけながら、貼り合わされたガラス基板を180℃、90分で熱処理し、シール剤を硬化させ、2枚のガラス基板の積層体を得た。焼成にはバルーンタイプの焼成装置を使用した。
(液晶注入)
このガラス基板積層体に液晶注入装置を使って液晶材を注入した。液晶材はメルク社製MLC−6608で、これを液晶皿に入れ、基板積層体とともに真空チャンバー内で10-1Paの真空下で60分間保持して脱気した。十分真空に引いた後、シールに設けた注入口の部分を液晶に浸すようにした上で大気圧に戻して180分間保持して、ガラス基板の間隙に液晶を満たした。その後、注入装置から基板積層体を取り出し、注入口の部分をUV硬化性のエポキシ接着剤を塗布・硬化して液晶セルを得た。
(偏光版貼り付け)
この液晶セルの両面に、(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を吸収軸を直交する配置に貼り付けて液晶パネルを得た。
(Preparation of opposite substrate)
A counter substrate was prepared having a gap control column pattern and an alignment control projection pattern in a desired shape on a common electrode formed of a transparent conductive film.
(Formation of facing side alignment layer)
A polyimide alignment layer was formed on the transparent conductive layer in the same manner as the TFT array substrate. As the alignment material, polyimide JALS204 manufactured by JSR Co., Ltd. was used, and it was selectively applied to the region where the pixel electrodes were arranged by a roll coating method. After coating, prebaking was performed for 15 minutes in an atmosphere at 80 ° C., and baking was further performed at 200 ° C. for 60 minutes. As a result, an alignment layer having a thickness of about 0.5 μm was obtained.
(Seal pattern formation)
A seal pattern is formed around the TFT substrate. An epoxy resin containing 1% by mass of spacer particles (Structure Bond XN-21S manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) is opened in a predetermined area surrounding the display area with a seal dispenser device in a form corresponding to a liquid crystal injection port. Printed. This was calcined at 80 ° C. for 30 minutes.
(Overlapping)
The TFT substrate and the counter substrate were aligned with an overlapping device while being aligned so that they overlap at the correct position. In this state, while applying a pressure of 0.03 MPa, the bonded glass substrate was heat-treated at 180 ° C. for 90 minutes to cure the sealing agent, thereby obtaining a laminate of two glass substrates. A balloon-type baking apparatus was used for baking.
(Liquid crystal injection)
A liquid crystal material was injected into the glass substrate laminate using a liquid crystal injection device. The liquid crystal material was MLC-6608 manufactured by Merck & Co., Inc., which was put in a liquid crystal dish and degassed together with the substrate laminate in a vacuum chamber for 60 minutes under a vacuum of 10 −1 Pa. After sufficiently evacuating the vacuum, the portion of the inlet provided in the seal was immersed in the liquid crystal and then returned to atmospheric pressure and held for 180 minutes to fill the gap between the glass substrates with the liquid crystal. Thereafter, the substrate laminate was taken out from the injection apparatus, and a UV curable epoxy adhesive was applied to the injection port portion and cured to obtain a liquid crystal cell.
(Polarized plate pasting)
A polarizing plate HLC2-2518 (manufactured by Sanritz Co., Ltd.) was attached to both sides of the liquid crystal cell in an arrangement in which the absorption axes were orthogonal to each other to obtain a liquid crystal panel.
(実施例4のVA−LCDの作製)
カラー液晶表示装置用冷陰極管バックライトとしては、BaMg2Al16O27:Eu,Mnと、LaPO4:Ce,Tbとを重量比50:50で混合した蛍光体を緑色(G)、Y2O3:Euを赤色(R)、BaMgAl10O17:Euを青色(B)として、任意の色調を持つ白色の三波長蛍光ランプを作製した。このバックライト上に上記偏光板を付与した液晶セルを設置し、実施例4のVA−LCDを作製した。
(Production of VA-LCD of Example 4)
As a cold-cathode tube backlight for a color liquid crystal display device, a phosphor in which BaMg 2 Al 16 O 27 : Eu, Mn and LaPO 4 : Ce, Tb are mixed at a weight ratio of 50:50 is green (G), Y 2 O 3 : Eu was red (R) and BaMgAl 10 O 17 : Eu was blue (B) to produce a white three-wavelength fluorescent lamp having an arbitrary color tone. A liquid crystal cell provided with the above polarizing plate was placed on the backlight, and a VA-LCD of Example 4 was produced.
(比較例1のVA−LCDの作製)
転写材料に光学異方性層がなく、代わりに下側偏光板の液晶セル側の保護フィルム上に、AL−1とLC−G1を用いてG−1の光学異方性層を作製したのと同様の方法によって2.75μmの光学異方性層を形成した以外は実施例4と同様にして、比較例1のVA−LCDを作製した。
(Production of VA-LCD of Comparative Example 1)
There was no optically anisotropic layer in the transfer material. Instead, an optically anisotropic layer of G-1 was produced using AL-1 and LC-G1 on the protective film on the liquid crystal cell side of the lower polarizing plate. A VA-LCD of Comparative Example 1 was produced in the same manner as in Example 4 except that a 2.75 μm optically anisotropic layer was formed by the same method as in Example 1.
(VA−LCDの光学特性)
作製した液晶表示装置の視野角特性を視野角測定装置(EZ Contrast 160D、ELDIM社製)で測定した。実施例4および比較例1について、黒表示(電圧無印加)時におけるLCD正面より右方向、右上45度方向、上方向に0〜80度だけ視野角を変化させたときのxy色度図上における色変化を図4に、特に右斜め上45度方向について目視で評価した結果を表3に示す。
(Optical characteristics of VA-LCD)
The viewing angle characteristics of the manufactured liquid crystal display device were measured with a viewing angle measuring device (EZ Contrast 160D, manufactured by ELDIM). About Example 4 and Comparative Example 1 on the xy chromaticity diagram when the viewing angle is changed by 0 to 80 degrees in the right direction, the upper right 45 degrees direction, and the upward direction from the front of the LCD during black display (no voltage applied) FIG. 4 shows the color change in FIG. 4, and Table 3 shows the result of visual evaluation, particularly in the direction of 45 degrees obliquely upward to the right.
11 仮支持体
12 光学異方性層
13 感光性樹脂層
14 力学特性制御層
15 配向制御層
16 保護層
21 被転写基板(支持体)
22 TFT駆動素子
22−1 ゲート電極
22−2 ゲート絶縁膜
22−3 アイランド
22−4 ソース電極
22−5 ドレイン電極
22−6 保護絶縁膜
23 カラーフィルタ層
24 光学異方性層
25 透明電極層
26 配向層
27 スルーホール
28 転写層
30 TFTアレイ基板
31 液晶
32 対向基板
33 偏光層
34 セルロースエステルフィルム(偏光板保護フィルム)
35 セルロースエステルフィルム、または光学補償シート
36 偏光板
37 液晶セル
DESCRIPTION OF
22 TFT drive element 22-1 Gate electrode 22-2 Gate insulating film 22-3 Island 22-4 Source electrode 22-5 Drain electrode 22-6
35 Cellulose ester film or
Claims (16)
[1]仮支持体上に感光性樹脂層と光学異方性層とを有する転写材料をTFT基板上に転写する工程;
[2]前記TFT基板上の転写材料から仮支持体を剥離する工程;
[3]前記TFT基板上の転写材料をパターン露光する工程;
[4]前記TFT基板上の、不要な感光性樹脂層と光学異方性層を現像により除去する工程。 The manufacturing method as described in any one of Claims 1-10 including the process of following [1]-[4] in this order:
[1] A step of transferring a transfer material having a photosensitive resin layer and an optically anisotropic layer onto a temporary support onto a TFT substrate;
[2] A step of peeling the temporary support from the transfer material on the TFT substrate;
[3] A step of pattern exposing the transfer material on the TFT substrate;
[4] A step of removing unnecessary photosensitive resin layers and optically anisotropic layers on the TFT substrate by development.
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