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JP2006126012A - 磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路 - Google Patents

磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路 Download PDF

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JP2006126012A
JP2006126012A JP2004314681A JP2004314681A JP2006126012A JP 2006126012 A JP2006126012 A JP 2006126012A JP 2004314681 A JP2004314681 A JP 2004314681A JP 2004314681 A JP2004314681 A JP 2004314681A JP 2006126012 A JP2006126012 A JP 2006126012A
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Masaki Ikeda
雅紀 池田
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Abstract

【課題】 温度などの外的条件に対して安定で、十分な磁界測定精度を得ること。
【解決手段】 ホール素子1と第1の電流源4とコイル2と第2の電流源5と制御回路6とから構成されている。ホール素子1は磁界強度を検出するもので、第1の電流源4はホール素子1に駆動電流Ihを供給するもので、コイル2はホール素子1の近傍に配置されたもので、第2の電流源5はコイル2に励起電流Icを供給するもので、制御回路6は駆動電流Ih及び励起電流Icを制御するものである。この制御回路6は、励起電流Icがコイル2に供給されているときの、ホール素子1の出力値と、励起電流Icがコイル2に供給されていないときの、ホール素子1の出力値との差が一定になるように、駆動電流Ihの電流値が制御されるように構成されている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路に関し、より詳細には、温度などの外的条件に対して安定であり、十分な磁界測定精度が得られるようにした磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路に関し、磁界強度を電気信号に変換する変換技術に関する。
磁界強度の検出を目的として、ホール素子がしばしば利用される。ホール素子において、出力電圧と磁界の関係は、一般に
E=sIB
で示される。ここで、Eは出力電圧、Iはホール素子に流す電流(ホール電流)、Bはホール素子に印加する磁界(被測定磁界)、sはホール素子の物性により決定される定数を示している。
しかしながら、sの値は、温度等の外的条件で容易に変化することから、温度が変化するような環境において、十分な磁界測定精度が得られる磁界−電圧変換回路を実現することは困難であった。
このため、磁界測定精度の向上を目的として、従来、以下の(1),(2)のようなことが行なわれていた。
(1)適当な温度特性をもった電圧変換回路を構成し、ホール素子の出力をこの変換回路を通すことにより、温度特性を補償する(例えば、特許文献1乃至3参照)。
(2)適当な温度特性をもった電流源を構成し、この出力をホール電流(I)としてホール素子に供給することにより、ホール素子の温度特性を補償する(例えば、特許文献4乃至6参照)。
特開平6−74975号公報 特開平9−54149号公報 特開平10−239410号公報 特開平6−289111号公報 特開平8−201106号公報 特開平10−253728号公報
しかしながら、上述したような手段では、オープンループでの制御となることから、どの程度の精度が得られるのか作ってみないと分からないという問題があった。また、ホール素子の温度特性に合わせて、電圧変換回路や電流源の温度特性を調整する必要があるという問題があった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、温度などの外的条件に対して安定で、十分な磁界測定精度が得られるようにした磁電変換システム及び磁電変換装置並びにその制御回路を提供することにある。
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、磁電変換システムであって、磁界強度を検出する磁気検出手段と、該磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、該磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段と、前記駆動電流及び前記励起電流を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、磁電変換システムであって、同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第1及び第2の磁気検出手段と、該第1及び第2の磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、前記第1及び第2の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第1及び第2の磁界発生手段と、該第1の磁界発生手段に励起電流を供給し、該第1の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第2の磁界発生手段が発生するように、該第2の磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段と、前記駆動電流を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、前記励起電流が前記第1及び第2の磁界発生手段に供給されているときの、前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との和に基づいて被測定磁界を検出することを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、請求項1,2又は3に記載の発明において、前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする。
また、請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の発明において、前記ホール素子は、ICプロセスの拡散抵抗により形成されたことを特徴とする。
また、請求項6に記載の発明は、請求項1,2又は3に記載の発明において、前記磁気発生手段が、コイルであることを特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の発明において、前記コイルは、ICプロセスの配線層により形成されたことを特徴とする。
また、請求項8に記載の発明は、請求項5に記載の発明において、前記ホール素子及び前記コイル並びに前記制御手段は、ICプロセスにより一体形成されていることを特徴とする。
また、請求項9に記載の発明は、磁電変換装置であった、磁界強度を検出する磁気検出手段と、該磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、該磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備え、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
また、請求項10に記載の発明は、磁電変換装置であって、同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第1及び第2の磁気検出手段と、該第1及び第2の磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、前記第1及び第2の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第1及び第2の磁界発生手段と、該第1の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第1の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第2の磁界発生手段が発生するように、前記第2の磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備え、前記励起電流が前記第1及び第2の磁界発生手段に供給されているときの、前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
また、請求項11に記載の発明は、請求項9又は10に記載の発明において、前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする。
また、請求項12に記載の発明は、磁界強度を検出する磁気検出手段と、該磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、該磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
また、請求項13に記載の発明は、同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第1及び第2の磁気検出手段と、該第1及び第2の磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、前記第1及び第2の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第1及び第2の磁界発生手段と、該第1の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第1の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第2の磁界発生手段が発生するように、前記第2の磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、前記励起電流が前記第1及び第2の磁界発生手段に供給されているときの、前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする。
また、請求項14に記載の発明は、請求項12又は13に記載の発明において、前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする。
このように、本発明者は、上述した課題を解決するために検討を重ねた結果、ホール素子の近傍にコイルを設置し、このコイルに定電流を流して定磁界を発生させ、この磁界に対するホール素子の出力を制御に用いることが、その目的に適合することを見出し、その知見に基づいて本発明をなすに至った。
つまり、本発明は、ホール素子と、その近傍に設置されたコイルと、ホール素子及びコイルに電流を供給する手段と、ホール素子からの信号を受けて必要な信号を出力する制御回路とを備えたものである。
本発明によれば、磁界強度を検出する磁気検出手段と、この磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段と、駆動電流及び前記励起電流を制御する制御手段とを備え、この制御手段は、励起電流が磁界発生手段に供給されているときの、磁気検出手段の出力値と、励起電流が磁界発生手段に供給されていないときの、磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、駆動電流の電流値が制御されるようにしたので、温度などの外的条件に対して安定であり、十分な磁界測定精度が得られる。
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
図1は、本発明に係る磁電変換システムの実施例1を説明するための構成図で、図中符号1はホール素子(磁気検出手段)、2はコイル(磁界発生手段)、3はスイッチ(SW)、4は電流源(第1の電流供給手段)、5は定電流源(第2の電流供給手段)、6は制御回路(制御手段)、Aはホール電流入力端子、B,Dは出力端子、Cは接地端子を示している。
ホール素子1は、ICプロセスによって形成された拡散抵抗で、4端子素子であり、ホール電流入力端子Aと接地端子Cと出力端子B,Dを備えている。ホール電流入力端子Aには、ホール電流(駆動電流)Ihを供給する電流源4が接続されていて、出力端子B,Dには、制御回路6が接続されている。
ホール素子1の近傍、具体的にはホール素子1上にコイル2が設けられており、このコイル2は、ICプロセスの配線層を用いて形成されている。また、このコイル2に接続されているスイッチ3には、定電流(励起電流)Icを供給する定電流源5が接続されている。また、このスイッチ3は、制御回路6によりON/OFF制御されるように構成されている。また、制御回路6を含むその他の構成要素もICプロセスにより一体形成されている。
次に、本実施例1における磁電変換システムの動作について説明する。
ホール電流入力端子Aに接続された電流源4により、ホール素子1にはホール電流Ihが供給されている。このとき、コイル2に接続されたスイッチ3はOFFしているものとし、また、被測定磁界Beが、図1に示した向き(紙面上から下)に、ホール素子1に印加されているものとする。その結果、ホール素子1の出力端子D−B間には、ホール電圧Eh(=sBeIh)が発生している。
いま、スイッチ3がONとなり、コイル2に定電流源5から励起電流Icが供給されたとする。コイル2の巻き数をnとしたとき、このコイル2によりBc(=knIc)の磁界が発生し、ホール素子1には、Be−Bcの磁界が印加されることになる。
この結果、ホール素子1の出力端子D−B間には、ホール電圧Ex(=s(Be−Bc)Ih)が発生する。ここで、kはコイル2の形状により与えられる係数であり、温度に対する感度はきわめて低いことから、Bcは温度に対して一定な磁界となる。従って、Eh−Ex(=sBcIh)の値が一定になるように電流源4の駆動電流Ihを調整することにより、sIhを温度によらず一定とすることができることから、温度によらず被測定磁界Beによって一意に定まるホール電圧Eh(=sBeIh)が得られることとなる。
本実施例1における制御回路6は、スイッチ3を周期的にON/OFFするとともに、OFFしている時の出力端子D−B間電圧からONしているときのD−B電圧を減算し、この電圧値と設定値を比較し、この比較値が設定値よりも小さいときは、ホール電流Ihを増加し、この比較値が設定値よりも大きいときは、ホール電流Ihを減少させる動作を行っている。
このように、本実施例1の磁電変換システムは、ホール素子1と第1の電流源4とコイル2と第2の電流源5と制御回路6とから構成されている。ホール素子1は磁界強度を検出するもので、第1の電流源4はホール素子1に駆動電流Ihを供給するもので、コイル2はホール素子1の近傍に配置されたもので、第2の電流源5はコイル2に励起電流Icを供給するもので、制御回路6は駆動電流Ih及び励起電流Icを制御するものである。
この制御回路6は、励起電流Icがコイル2に供給されていないときの、ホール素子1の出力値と、励起電流Icがコイル2に供給されているときの、ホール素子1の出力値との差が一定になるように、駆動電流Ihの電流値が制御されるように構成されている。
なお、本実施例1の磁電変換システムの構成にともない、磁電変換装置及びその制御回路も構成されることは明らかである。
本実施例2における構成図は、上述した実施例1における構成図と同じであり、実施例2の基本動作は、上述した実施例1と同様である。しかしながら、実施例1と実施例2における制御回路6の動作が異なり、本実施例2におけるホール電流Ihは一定値である。制御回路6は、スイッチ3がONしている時の出力端子D−B間電圧からOFFしているときの出力端子D−B電圧を減算し、この電圧値と設定値の比を、スイッチ3がOFFしているときの出力端子D−B電圧に乗じることにより、温度によらず被測定磁界Beによって一意に定まる電圧信号を得るように動作する。
図2は、本発明に係る磁電変換システムの実施例3を説明するための構成図で、上述した実施例1との相違は、本実施例3においてホール素子が2個設けられている点である。
図中符号11は第1のホール素子(第1の磁気検出手段),12は第1のコイル(第1の磁界発生手段),13は第2のコイル(第2の磁界発生手段)、14,18は電流源(第1の電流供給手段)、15は定電流源(第2の電流供給手段)、16は制御回路(制御手段)、17は第2のホール素子(第2の磁気検出手段)、A,Jはホール電流入力端子、B,Kは出力端子、C,Lは接地端子、D,Mは出力端子を示している。
ホール素子11,17は、ICプロセスによって形成された拡散抵抗で、各ホール素子11,17は4端子素子であり、ホール電流入力端子A,Jと接地端子C、Lと出力端子B,D及び出力端子K,Mを備えている。また、ホール素子11とホール素子17のコイル12とコイル13に流れる電流の向きは逆になっている。ホール電流入力端子A,Jには、ホール電流(駆動電流)Ihを供給する電流源14,18が接続されていて、出力端子B,Dと出力端子K,Mには、制御回路16が接続されている。
ホール素子11,17の近傍、具体的にはホール素子11,17上にコイル12,13が設けられており、このコイル12,13は、ICプロセスの配線層を用いて形成されている。また、このコイル12,13には、定電流(励起電流)Icを供給する定電流15が接続されている。電流源14,18は、制御回路16により電流量が制御されるように構成されている。また、制御回路16を含むその他の構成要素もICプロセスにより一体形成されている。
次に、本実施例3における磁電変換システムの動作について説明する。
ホール電流入力端子Aに接続された電流源14とホール電流入力端子Jに接続された電流源18により、ホール素子11及び17には同一のホール電流Ihが供給されている。被測定磁界Beが、図2に示した向き(紙面上から下)に、ホール素子11,17に印加されているものとする。さらに、ホール素子11,17のコイル12,13には、定電流源15から励起電流Icが供給されている。コイル12,13の巻き数をnとした時、このコイル12,13によりBc(=knIc)の磁界が発生することになるが、ホール素子11とホール素子17ではコイル12とコイル13に流れる電流の向きが逆であるため、ホール素子11にはBe−Bcの磁界が、ホール素子17にはBe+Bcの磁界が印加されることになる。
その結果、ホール素子11の出力端子D−B間にはホール電圧Eh1(=sIh(Be−Bc))が、ホール素子17の出力端子M−K間にはホール電圧Eh2(=sIh(Be+Bc))が発生している。
従って、Eh1,Eh2に加算または減算の処理をおこなうことで、
Esub=Eh2−Eh1=sIh(Be+Bc)−sIh(Be−Bc)
=2sIhBc
Eadd=Eh2+Eh1=sIh(Be+Bc)+sIh(Be−Bc)
=2sIhBe
となる、被測定磁界にのみ依存して決まる電圧Eaddとコイル電流によって発生される磁界のみによって決まる電圧Esub(=2sIhBc)を得ることができる。
Bcは温度に対して一定な磁界であるから、Esubが常に一定となるように駆動電流Ihを制御すれば、結果としてsIhが温度によらず一定となり、温度によらず被測定磁界Beによって一意に定まる、ホール電圧Eadd(=2sIhBe)が得られることとなる。
本実施例3における制御回路16は、出力端子M−K間の電圧から出力端子D−B間の電圧を減算し、この電圧値と設定値を比較し、この比較値が設定値よりも小さいときはホール電流Ihを増加し、この比較値が設定値よりも大きいときはホール電流Ihを減少させる動作を行っている。
このように、本実施例3の磁電変換システムは、第1及び第2のホール素子11,17と、第1の電流源14,18と、第1及び第2のコイル12,13と、第2の電流源15と、制御回路16とから構成されている。第1及び第2のホール素子11,17は同一平面上に設置され、磁界強度を検出するもので、第1の電流源14,18は第1及び第2のホール素子11,17に駆動電流Ihを供給するもので、第1及び第2のコイル12,13は第1及び第2のホール素子11,17の近傍にそれぞれ配置されたもので、第2の電流源15は、第1のコイル12に励起電流Icを供給し、この第1のコイル12に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を第2のコイル13が発生するように、この第2のコイル13に励起電流Icを供給するもので、制御回路16は駆動電流Ihを制御するものである。
この制御回路16は、励起電流Icが第1及び第2のコイル12,13に供給されているときの、第1のホール素子11の出力値と第2のホール素子17の出力値との差が一定になるように、駆動電流Ihの電流値を制御するように構成されている。
なお、本実施例3の磁電変換システムの構成にともない、磁電変換装置及びその制御回路も構成されることは明らかである。
このように、上述した各実施例による磁電変換システムは、温度などの外的条件に対して安定であり、十分な磁界測定精度が得られるものである。
本発明に係る磁電変換システムの実施例1,2を説明するための構成図である。 本発明に係る磁電変換システムの実施例3を説明するための構成図である。
符号の説明
1 ホール素子(磁気検出手段)
2 コイル(磁界発生手段)
3 スイッチ(SW)
4 電流源(第1の電流供給手段)
5 定電流源(第2の電流供給手段)
6 制御回路(制御手段)
11 第1のホール素子(第1の磁気検出手段)
12 第1のコイル(第1の磁界発生手段)
13 第2のコイル(第2の磁界発生手段)
14,18 電流源(第1の電流供給手段)
15 定電流源(第2の電流供給手段)
16 制御回路(制御手段)
17 第2のホール素子(第2の磁気検出手段)
A,J ホール電流入力端子
B,D,K,M 出力端子
C,L 接地端子

Claims (14)

  1. 磁界強度を検出する磁気検出手段と、
    該磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、
    前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、
    該磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段と、
    前記駆動電流及び前記励起電流を制御する制御手段とを備え、
    該制御手段は、
    前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換システム。
  2. 同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第1及び第2の磁気検出手段と、
    該第1及び第2の磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、
    前記第1及び第2の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第1及び第2の磁界発生手段と、
    該第1の磁界発生手段に励起電流を供給し、該第1の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第2の磁界発生手段が発生するように、該第2の磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段と、
    前記駆動電流を制御する制御手段とを備え、
    該制御手段は、
    前記励起電流が前記第1及び第2の磁界発生手段に供給されているときの、前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換システム。
  3. 前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との和に基づいて被測定磁界を検出することを特徴とする請求項2に記載の磁電変換システム。
  4. 前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする請求項1,2又は3に記載の磁電変換システム。
  5. 前記ホール素子は、ICプロセスの拡散抵抗により形成されたことを特徴とする請求項4に記載の磁電変換システム。
  6. 前記磁気発生手段が、コイルであることを特徴とする請求項1,2又は3に記載の磁電変換システム。
  7. 前記コイルは、ICプロセスの配線層により形成されたことを特徴とする請求項6に記載の磁電変換システム。
  8. 前記ホール素子及び前記コイル並びに前記制御手段は、ICプロセスにより一体形成されていることを特徴とする請求項5に記載の磁電変換システム。
  9. 磁界強度を検出する磁気検出手段と、
    該磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、
    前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、
    該磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備え、
    前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換装置。
  10. 同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第1及び第2の磁気検出手段と、
    該第1及び第2の磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、
    前記第1及び第2の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第1及び第2の磁界発生手段と、
    該第1の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第1の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第2の磁界発生手段が発生するように、前記第2の磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備え、
    前記励起電流が前記第1及び第2の磁界発生手段に供給されているときの、前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする磁電変換装置。
  11. 前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする請求項9又は10に記載の磁電変換装置。
  12. 磁界強度を検出する磁気検出手段と、
    該磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、
    前記磁気検出手段の近傍に配置された磁界発生手段と、
    該磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、
    前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されているときの、前記磁気検出手段の出力値と、前記励起電流が前記磁界発生手段に供給されていないときの、前記磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする制御回路。
  13. 同一平面上に設置され、磁界強度を検出する第1及び第2の磁気検出手段と、
    該第1及び第2の磁気検出手段に駆動電流を供給する第1の電流供給手段と、
    前記第1及び第2の磁気検出手段の近傍にそれぞれ配置された第1及び第2の磁界発生手段と、
    該第1の磁界発生手段に励起電流を供給し、前記第1の磁界発生手段に発生した磁界の向きと反対向きの磁界を前記第2の磁界発生手段が発生するように、前記第2の磁界発生手段に励起電流を供給する第2の電流供給手段とを備えた磁電変換装置の制御回路であって、
    前記励起電流が前記第1及び第2の磁界発生手段に供給されているときの、前記第1の磁気検出手段の出力値と前記第2の磁気検出手段の出力値との差が一定になるように、前記駆動電流の電流値が制御されることを特徴とする制御回路。
  14. 前記磁気検出手段が、ホール素子であることを特徴とする請求項12又は13に記載の制御回路。
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