JP2006106378A - 共焦点顕微鏡 - Google Patents

Abstract

【課題】 共焦点効果を得るための光学的フィルタリング素子としてマルチピンホールアレイを使用することにより、観察像面内のすべての方向について共焦点効果を得られる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 照射光をミラーで反射し対物レンズを介して試料の焦点面に結像させ、ミラー駆動手段により前記ミラーを回転させて前記照射光の結像点を走査し、前記試料の戻り光から共焦点画像を得る共焦点顕微鏡において、
光源の出射光から複数の点光源を生成して前記照射光とする第１のマルチピンホールアレイと、
前記試料の戻り光に対して前記焦点面以外の光を遮断する第２のマルチピンホールアレイと、
を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
【選択図】 図１

Description

本発明は、共焦点顕微鏡に関し、詳しくは、ミラーの回転によりレーザ光を走査して試料の共焦点画像を取得する共焦点顕微鏡に関するものである。

共焦点顕微鏡は、試料上の収束光点を走査し、試料からの戻り光を結像させて画像を得ることにより試料を観察するもので、生物やバイオテクノロジーなどの分野における生きた細胞の生理反応観察や形態観察あるいは半導体市場におけるＬＳＩの表面観察などに使用されている。

図１０は、従来の共焦点顕微鏡の一例を示した構成図である。
図１０において、光源１はレーザ光である照明光２を出射する。集光用光学素子３は、光路上に配置された例えばシリンドリカルレンズを組合わせた一次元のビームエクスパンダであって、この照明光２を照明光用スリット４の開口上に集光する。

照明光用スリット４は、自身の開口を通過した直後の照明光２を細長い線状の空間的光量分布をもつようにする。光路分岐用光学素子５、ミラー６、両面ミラー７は、照明光用スリット４の開口を通過した照明光２を逐次反射し、反射された照明光２は、対物レンズ８を透過して観察試料９に照射される。

この照明光２により観察試料９内で誘起された蛍光信号である観察光１０は、逆の光路（対物レンズ８→両面ミラー７→ミラー６）を辿り光路分岐用光学素子５まで戻るが、光路分岐用光学素子５の光学特性により反射せずに透過する。光路分岐光学素子５は、例えばダイクロイックミラーである。

光路分岐用光学素子５は、その分光特性により、観察光１０を透過する。観察光用スリット１１は、自身の開口上に集光される観察光１０に共焦点効果を出すための光学的フィルタリングを行う。ここで、共焦点効果とは、観察試料９の焦点面以外のからの光の遮断効果である。

観察光用スリット１１を通過した観察光１０は、ミラー１２で反射された後、リレーレンズ１３、およびミラー１４、１５、両面ミラー７における反射を経て、像面１７に再び集光する。像面１７に集光した観察光は接眼レンズ１８により観察者の肉眼１９に入射し、網膜上に線状の観察像を形成する。

この構成において、両面ミラー７の回転軸を、両面ミラー７とミラー６間の光路、両面ミラー７とミラー１５間の光路および顕微鏡観察光路１６のいずれに対しても垂直な方向にとり、この回転軸を回転中心として両面ミラー７を破線矢印で示した方向のどちらか一方に回転させることにより、照明光を観察試料９上で１次元的にスキャンすることができると同時に、観察者の網膜上に２次元の観察像を形成することができる（例えば、特許文献１参照。）。

国際公開第９２／１７８０６号パンフレット

この構成においては、両面ミラー７を光路から外す（ピボット点２０を回転中心として回転させるなど）ことにより、通常の顕微鏡観察光路１６を新たに形成することが可能なため、共焦点観察と非共焦点観察を簡単に切り替えて実現することが可能となる。

しかしながら、上述した従来の共焦点顕微鏡においては、共焦点効果を得るための光学的フィルタリング素子としてスリットを使用しているため、スリットの長手方向の光学的フィルタリングが機能しない。これにより観察像面内のスリットの長手方向に対応した方向については焦点面以外の光を遮断することができないため、共焦点効果が得られないといった問題があった。

本発明は、このような従来の共焦点顕微鏡が有していた問題を解決しようとするものであり、共焦点効果を得るための光学的フィルタリング素子としてマルチピンホールアレイを使用することにより、観察像面内のすべての方向について共焦点効果を得られる共焦点顕微鏡を提供することを目的とするものである。

本発明は次の通りの構成になった共焦点顕微鏡である。

（１）照射光をミラーで反射し、対物レンズを介して試料の焦点面に結像させ、前記ミラーを回転させて前記照射光の結像点を走査し、前記試料の戻り光から共焦点画像を得る共焦点顕微鏡において、
光源の出射光から複数の点光源を生成して前記照射光とする第１のマルチピンホールアレイと、
前記試料の戻り光に対して前記焦点面以外の光を遮断する第２のマルチピンホールアレイと、
を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

（２）前記第１のマルチピンホールアレイの各ピンホールに前記光源の出射光を集光するマルチレンズアレイを配置したことを特徴とする（１）に記載の共焦点顕微鏡。

（３）前記ミラーは、このミラーの回転軸に一致させた位置に反射面を有することを特徴とする（１）または（２）に記載の共焦点顕微鏡。

（４）前記ミラーは、ポリゴンミラーであることを特徴とする（１）または（２）に記載の共焦点顕微鏡。

（５）前記ミラーの回転位置を示す回転位置信号を出力する回転センサと、
この回転位置信号に基づき前記ミラーの回転に同期して前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする（１）から（４）のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。

（６）前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
前記対物レンズおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させた時の変位信号を出力する変位センサと、
この変位信号に基づき前記対物レンズと前記試料との間の変位と前記ミラーの回転とを同期させるミラー駆動手段と、
を備えたことを特徴とする（１）から（４）のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。

（７）前記ミラーの回転位置を示す回転位置信号を出力する回転センサと、
この回転位置信号に基づき前記ミラーの回転に同期して前記共焦点画像を取得するカメラと、
を備えたことを特徴とする（１）から（４）のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。

（８）前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
前記対物レンズおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させた時の変位信号を出力する変位センサと、
この変位信号に基づき前記対物レンズと前記試料との間の変位に同期して前記共焦点画像を取得するカメラと、
を備えたことを特徴とする（１）から（４）、（７）のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。

（９）前記共焦点画像を取得するカメラと、
このカメラの同期信号に基づき前記カメラの撮像に同期して前記ミラーを回転させるミラー駆動回路と、
を備えたことを特徴とする（１）から（４）のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。

（１０）前記共焦点画像を取得するカメラと、
このカメラの同期信号に基づき前記カメラの撮像に同期して前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする（１）から（４）、（９）のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。

（１１）前記共焦点画像を分光するダイクロイックミラーと、
このダイクロイックミラーにより分光された共焦点画像のそれぞれを撮像する複数のカメラと、
を備えたことを特徴とする（１）から（１０）のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。

本発明によれば、以下のような効果がある。

請求項１に記載の発明によれば、マルチピンホールアレイにより複数の点光源を生成すると共に光学的フィルタリング素子としてマルチピンホールアレイを使用することにより、観察像面内のすべての方向について共焦点効果を得られる共焦点顕微鏡を実現することができる。

請求項２に記載の発明によれば、マルチピンホールアレイの各ピンホールにレーザ光を集光するマイクロレンズが配置されたマルチマイクロレンズアレイを備えたことにより、レーザ光の透過率を向上させることができる。

請求項３に記載の発明によれば、観察試料の結像点を走査する両面ミラーの反射面を両面ミラーの回転軸に一致させたことにより、常に同じ光路でビームを反射することが可能となる。

請求項４に記載の発明によれば、観察試料の結像点を走査するミラーにポリゴンミラーを用いることにより、スキャンスピードを向上させることができる。

請求項５および請求項６に記載の発明によれば、両面ミラーによるスキャン周期と、対物レンズと観察試料の間の距離を制御するアクチュエータ駆動信号周期とを一致させることができるためスキャンむらのない観察画像を得ることができる。

請求項７および請求項９に記載の発明によれば、カメラの撮像周期と照明光による観察試料上のスキャン周期を一致させることができるため、スキャンむらのない観察画像を得ることができる。

請求項８および請求項１０に記載の発明によれば、カメラの撮像周期と対物レンズと観察試料の間の距離を制御するアクチュエータ駆動信号周期とを一致させることができるためスキャンむらのない観察画像を得ることができる。

請求項１１に記載の発明によれば、ダイクロイックミラーにより分光された共焦点画像のそれぞれを撮像する複数のカメラを備えたことにより、観察試料の多色観察が実現する。

以下図面を用いて本発明を詳細に説明する。図１は本発明に係る共焦点顕微鏡の一実施例を示した構成図である。前出の図と同様の構成要素には同様の符号を付けてその部分の説明は省略する。

前出の従来例に示した構成と異なる点は、照明光用スリット４を照明光用マルチピンホールアレイ２２に、観察光用スリット１１を観察光用マルチピンホールアレイに置き換え、照明光用マルチピンホールアレイ２２と光源１の間の光路上に光線拡大用光学素子２１を配置した点である。

光線拡大用光学素子２１は、例えば凸レンズを組合わせた二次元のビームエクスパンダであって、光源１から出射した照明光２の光線の断面積を拡大し、照明光用マルチピンホールアレイ２２に入射させる。照明光用マルチピンホールアレイ２２は、図２に示すように複数のピンホールを有し、各ピンホール２４を通過した直後の照明光２はそれぞれ点光源からの出射光とみなされる。ここで光源１は、例えばレーザ光源である。

図２は、本発明の共焦点顕微鏡に適用されるマルチピンホールアレイの一例を示した図である。このように、所定間隔でピンホールをずらして配列し、スキャン方向に対して斜めに並べることにより、ピンホールの密度を高められると共に両面ミラー７のスキャンストロークを短くすることができる。

図１に戻り、照明光用マルチピンホールアレイ２２の開口を通過した照明光２は、光路分岐用光学素子５、ミラー６、両面ミラー７で逐次反射された後、対物レンズ８を透過して観察試料９に照射される。この照明光により観察試料９内で誘起された観察光１０は、逆の光路（対物レンズ８→両面ミラー７→ミラー６）を辿り光路分岐用光学素子５まで戻るが、光路分岐用光学素子５の光学特性により反射せずに透過し、観察用マルチピンホールアレイ２３の対応するピンホール上に集光する。

観察光用マルチピンホールアレイ２３は、複数のピンホールを有し、各ピンホールは入射光に対して共焦点効果を出すための光学的フィルタリングを行う。観察光用マルチピンホールアレイ２３を通過した観察光１０は、ミラー１２で反射された後、リレーレンズ１３、およびミラー１４、１５、７における反射を経て、像面１７に再び集光する。
像面１７に集光した観察光１０は接眼レンズ１８により観察者の肉眼１９に入射し、網膜上にマルチスポットの観察画像（共焦点画像）を形成する。

この構成において、両面ミラー７の回転軸を両面ミラー７とミラー６間の光路、両面ミラー７とミラー１５間の光路および顕微鏡観察光路１６のいずれに対しても垂直な方向にとり、この回転軸を回転中心として両面ミラー７を破線矢印で示した方向のどちらか一方に回転させることにより、マルチスポットの照明光を観察試料９上で１次元的にスキャンすることができると同時に、観察者の網膜上に２次元の観察像を形成することができる。
なお、両面ミラー７は、例えばＤＣモータおよびこのモータを駆動する駆動装置（いずれも図示せず）などから構成されるミラー駆動手段により回転する。

図３は、本発明に係る共焦点顕微鏡の第２の実施例を示した構成図である。前出の図と同様の構成要素には同様の符号を付してその説明は省略する。
図３において、図１に記載の構成と異なる点は、光線拡大用光学素子２１と照射光用マルチピンホールアレイ２２との間の光路上にマルチマイクロレンズアレイ２５を配置した点である。

図４は、本発明の共焦点顕微鏡に適用されるマルチマイクロレンズアレイの一例を示す図である。マルチマイクロレンズアレイ２５は、図４に示すように照明光用マルチピンホールアレイ２２のピンホールに対応する位置にマイクロレンズを有し、マイクロレンズ２６はピンホール２４上に照明光２を集光する。このように各マイクロレンズにより、照明光用マルチピンホールアレイ２２の各ピンホール２４上に照明光２を集光することにより、照明光２の透過率を向上させることができる。

図５は、本発明の共焦点顕微鏡に適用される両面ミラーの一例を示した図である。
図５において、両面ミラー７は、例えば所定の厚みを有する硝材から構成される。図５（ａ）に示した両面ミラー７は、反射面７１，７２を硝材の両側面に設けた構成である。この場合、反射面７１，７２がミラー回転軸７３からずれているため両面ミラー７の角度が変わるごとに光線の当たる部分が異なり、反射した光線の光路もずれてしまう。このため、光路のズレを補正する補正手段を別途設ける必要が生じる。

これに対して、図５（ｂ）に示した両面ミラー７０は、両面ミラー７０のミラー回転軸７５に一致させた反射面７４を硝材内部に備えている。このような両面ミラー７０の回転軸上に光線を当てるようにすると、両面ミラー７０の回転角度が変わっても光線の当たる部分に変化がないため、常に同じ光路でビームを反射することが可能となり、上述の補正手段を必要としない。

図６は、本発明に係る共焦点顕微鏡の第３の実施例を示した構成図である。前出の図と同様の構成要素には同様の符号を付しその部分の説明は省略する。
図６において、前出の図１に示した実施例と異なる点は、両面ミラー７をポリゴンミラー２７に置き換えて、これに伴う光路調節のための光路折曲ミラー２８，２９を備えた点である。

ポリゴンミラー２７は、多角柱で側面に反射面を有するものである。この多角柱が中心軸で回転することにより、側面に当たったビームが反射角を変え、観察試料面の集光点が走査される。同時に、ミラー１５から反射された観察光１０を他の側面で反射する。
光路折曲ミラー２８，２９は、ポリゴンミラー２７から反射された観測光１０を顕微鏡観察光路１６に合わせる。
このように、ポリゴンミラーを使用すれば、高速スキャンが可能になる。

図７は、本発明に係る共焦点顕微鏡の第４の実施例を示した構成図である。前出の図と同様の構成要素には同様の符号を付してその部分の説明は省略する。
図７において、前出の図１に示した実施例と異なる点は、観察者の肉眼で観察試料９を観察する構成に替えてカメラで観察試料９を撮像すると共にカメラの撮像周期と両面ミラーによるスキャン周期を一致させるように構成した点である。

カメラ３０は、像面１７にＣＣＤの撮像面が一致するように配置され、観察試料９の観察画像を取得する。両面ミラー駆動回路３１ａは、位置制御信号３２を出力し、図示しないＤＣモータにより所定のスピードで両面ミラー７を回転させて、照明光２の焦点位置を観察試料９上で走査させる。この両面ミラー駆動回路３１ａおよびＤＣモータがミラー駆動手段である。また、図示しない回転センサ（例えば両面ミラー７の回転軸に取り付けられたロータリエンコーダ）の出力に基づき、両面ミラー７の回転位置を示す両面ミラー回転位置信号３３を出力し、この回転位置信号３３がカメラ３０の撮像周期を決定するカメラ同期信号としてカメラ３０に入力される。
以上により、カメラ３０の撮像周期と照明光２による観察試料９上のスキャン周期を一致させることができるため、スキャンむらのない観察画像を得ることができる。

図８は、本発明に係る共焦点顕微鏡の第５の実施例を示した構成図である。前出の図と同様の構成要素には同様の符号を付してその説明は省略する。
図８において、前出の図１に示した実施例と異なる点は、対物レンズ８を光軸方向に沿って往復移動させて観察試料９に対し光軸方向における各位置でスライス画像をカメラ３０で撮像すると共に両面ミラー７の回転周期と対物レンズ８の光軸方向の移動周期とを一致させた点である。

両面ミラー駆動回路３１ｂは、位置制御信号３２を出力し、図示しないＤＣモータにより所定のスピードで両面ミラー７を回転させて、照明光２の焦点位置を観察試料９上で走査させる。この両面ミラー駆動回路３１ｂおよびＤＣモータがミラー駆動手段である。また、図示しない回転センサ（例えば両面ミラー７の回転軸に取り付けられたロータリエンコーダ）の出力に基づき、両面ミラー７の回転位置を示す両面ミラー回転位置信号３３を出力し、この両面ミラー回転位置信号３３が、アクチュエータ駆動回路３５に入力される。

アクチュエータ駆動回路３５は、例えば、任意波形発生器とアクチュエータドライバなどから成り、任意波形発生器は予め設定された波形データに基づきアナログ波形信号を出力し、アクチュエータドライバがこのアナログ波形信号に比例したアクチュエータ駆動信号３７をアクチュエータ３６に出力する。任意波形発生器は、両面ミラー回転位置信号３３に基づき、両面ミラー７によるスキャン周期とアクチュエータ駆動信号３７の元になるアナログ波形の周期とを一致させる。アクチュエータ３６は、例えばピエゾ素子から成り、アクチュエータ駆動信号３７に応じて対物レンズ８を光軸方向に移動させる。
これらアクチュエータ駆動回路３５、任意波形発生器およびアクチュエータドライバが対物レンズと観察試料９の間の距離を制御する制御手段である。

以上により、両面ミラー７によるスキャン周期とアクチュエータ駆動信号周期とを一致させることができるためスキャンむらのない観察画像を得ることができる。
なお、本実施例では、対物レンズ８を移動させる構成であるが、観察試料９が乗っているステージ（図示せず）側を光軸方向に動かすようにしても良い。
また、図示していないが、アクチュエータ３６は、変位センサを備えており、対物レンズ８の位置制御は、この変位センサの出力をアクチュエータ駆動回路３５にフィードバックして行われる。この変位センサの出力に基づき対物レンズ８と観察試料９との間の距離を示す変位信号をアクチュエータ駆動回路３５が出力し、両面ミラー駆動回路３１ｂに入力する。この両面ミラー駆動回路３１ｂが、入力された変位信号を用いて両面ミラーによるスキャン周期とアクチュエータ駆動信号周期とを一致させるようにしても良い。
同様に図示していないが、図７の実施例と本実施例とを組み合わせて、カメラ３０の撮像周期と対物レンズ８の移動周期と両面ミラー７によるスキャン周期とを一致させた構成としても良い。
さらに、カメラの同期信号（例えば垂直同期信号）を両面ミラー駆動回路やアクチュエータ駆動回路に入力し、この同期信号に基づいて撮像周期、両面ミラーによるスキャン周期およびアクチュエータ駆動信号周期を一致させるようにしても良い。

図９は、本発明に係る共焦点顕微鏡の第６の実施例を示した構成図である。前出の図と同様の構成要素には同様の符号を付してその部分の説明は省略する。
図９において、前出の図１に示した実施例と異なる点は、観察者の肉眼で試料を観察する構成に替えてカメラで観察試料９を撮像する際に、観察試料９からの観察光１０を分光して複数のカメラで分光後の観察画像を取得する点である。

リレーレンズ３８は、顕微鏡観察光路１６を延長し、像面１７の光学像をダイクロイックミラー３９へ伝達する。ダイクロイックミラー３９は、伝達された光学像を自身の分光特性により分光し、分光光学像をカメラ４０，４１へ入射させ、カメラ４０，４１は分光された観察画像を取得する。これにより、観察試料９の多色観察が実現する。本実施例では２色に分光しているが、例えば、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色に分光した分光光学像を撮像して合成することによりカラー画像を取得できる。

なお、本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。

本発明に係る共焦点顕微鏡の一実施例を示す構成図である。 本発明の共焦点顕微鏡に適用されるマルチピンホールアレイの一例を示した図である。 本発明に係る共焦点顕微鏡の第２の実施例を示した構成図である。 本発明の共焦点顕微鏡に適用されるマルチマイクロレンズアレイの一例を示す図である。 本発明の共焦点顕微鏡に適用される両面ミラーの一例を示した図である。 本発明に係る共焦点顕微鏡の第３の実施例を示した構成図である。 本発明に係る共焦点顕微鏡の第４の実施例を示した構成図である。 本発明に係る共焦点顕微鏡の第５の実施例を示した構成図である。 本発明に係る共焦点顕微鏡の第６の実施例を示した構成図である。 従来の共焦点顕微鏡の一例を示した構成図である。

符号の説明

１ 光源
２ 照明光
５ 光路分岐用光学素子
６ ミラー
７ 両面ミラー
８ 対物レンズ
９ 観察試料
１０ 観察光
１２ ミラー
１３ リレーレンズ
１４ ミラー
１５ ミラー
１６ 顕微鏡観察光路
１７ 像面
２０ 位置切替え用ピボット点
２１ 光線拡大用光学素子
２２ 照明光用マルチピンホールアレイ
２３ 観察光用マルチピンホールアレイ
２４ ピンホール
２５ マルチマイクロレンズ
２６ マイクロレンズ
２７ ポリゴンミラー
２８ 光路折曲用ミラー
２９ 光路折曲用ミラー
３０ カメラ
３１ａ 両面ミラー駆動回路
３１ｂ 両面ミラー駆動回路
３２ 位置制御信号
３３ カメラ同期信号
３５ アクチュエータ駆動回路
３６ アクチュエータ
３７ アクチュエータ駆動信号
３８ リレーレンズ
３９ ダイクロイックミラー
４０ カメラ
４１ カメラ
７０ 両面ミラー
７４ 反射面
７５ ミラー回転軸

Claims (11)

1. 照射光をミラーで反射し、対物レンズを介して試料の焦点面に結像させ、前記ミラーを回転させて前記照射光の結像点を走査し、前記試料の戻り光から共焦点画像を得る共焦点顕微鏡において、
   光源の出射光から複数の点光源を生成して前記照射光とする第１のマルチピンホールアレイと、
   前記試料の戻り光に対して前記焦点面以外の光を遮断する第２のマルチピンホールアレイと、
   を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
2. 前記第１のマルチピンホールアレイの各ピンホールに前記光源の出射光を集光するマルチレンズアレイを配置したことを特徴とする請求項１に記載の共焦点顕微鏡。
3. 前記ミラーは、このミラーの回転軸に一致させた位置に反射面を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の共焦点顕微鏡。
4. 前記ミラーは、ポリゴンミラーであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の共焦点顕微鏡。
5. 前記ミラーの回転位置を示す回転位置信号を出力する回転センサと、
   この回転位置信号に基づき前記ミラーの回転に同期して前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
   を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。
6. 前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
   前記対物レンズおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させた時の変位信号を出力する変位センサと、
   この変位信号に基づき前記対物レンズと前記試料との間の変位と前記ミラーの回転とを同期させるミラー駆動手段と、
   を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。
7. 前記ミラーの回転位置を示す回転位置信号を出力する回転センサと、
   この回転位置信号に基づき前記ミラーの回転に同期して前記共焦点画像を取得するカメラと、
   を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。
8. 前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
   前記対物レンズおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させた時の変位信号を出力する変位センサと、
   この変位信号に基づき前記対物レンズと前記試料との間の変位に同期して前記共焦点画像を取得するカメラと、
   を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４、請求項７のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。
9. 前記共焦点画像を取得するカメラと、
   このカメラの同期信号に基づき前記カメラの撮像に同期して前記ミラーを回転させるミラー駆動回路と、
   を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。
10. 前記共焦点画像を取得するカメラと、
    このカメラの同期信号に基づき前記カメラの撮像に同期して前記対物レンズおよび前記試料が置かれたステージの少なくとも一方を光軸方向に移動させる制御手段と、
    を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４、請求項９のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。
11. 前記共焦点画像を分光するダイクロイックミラーと、
    このダイクロイックミラーにより分光された共焦点画像のそれぞれを撮像する複数のカメラと、
    を備えたことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれかに記載の共焦点顕微鏡。
    

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