JP2006040860A - Ionization device - Google Patents
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- 239000003570 air Substances 0.000 claims description 73
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 112
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 19
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 3
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
この発明は、空気中の静電気制御又はワークの除電に関し、より詳しくは、いわゆるイオン化装置に関する。 The present invention relates to static electricity control in the air or static elimination of a workpiece, and more particularly to a so-called ionizer.
クリーンルームでの清浄化や浮遊粒子の帯電防止の除電などの空気中の静電気制御やワークの除電のために、コロナ放電式のイオン化装置が多用されている。 Corona discharge ionizers are frequently used for static electricity control in the air, such as cleaning in a clean room and static elimination for preventing static charge of suspended particles, and for static elimination of workpieces.
図14は、現在入手可能なDC式イオン化装置に含まれる放電電極バーを示す。この放電電極バー1は、細長い筒状のケース2を有し、このケース2には、放電電極を囲む円筒状のノズル3が取り付けられ、これらノズル3は、長手方向に沿って互いに間隔を隔てて配置されている。
FIG. 14 shows discharge electrode bars included in currently available DC ionizers. The
なお、従来の放電電極バー1は、隣接するノズル3、3の間に高圧電源ユニット4又は制御ユニット5が配置され、また、各ノズル3から吐出されるクリーンガスは、ケース2の内部に配置された可撓性チューブ6を通じて供給される。図示のDC式放電電極バー1の正極側のノズルには3aを付し、負極側のノズルには3bを付して、図面上、識別してある。
In the conventional
放電電極の周りにノズルを設けた場合、ノズルが放電電極と同極で帯電することから、これにより放電電極の周囲の電界が緩和されてしまいイオン発生量が減少するという問題がある。 When the nozzle is provided around the discharge electrode, the nozzle is charged with the same polarity as the discharge electrode, which causes a problem that the electric field around the discharge electrode is relaxed and the amount of generated ions is reduced.
そこで、本発明の目的は、ノズルによるイオン発生量の減少を抑えることのできるコロナ放電式のイオン化装置及びこれに組み付けられる放電電極組立体を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a corona discharge ionization apparatus that can suppress a decrease in the amount of ions generated by a nozzle, and a discharge electrode assembly that is assembled thereto.
本発明の更なる目的は、放電電極の汚染を防止することのできるイオン化装置及びこれに組み付けられる放電電極組立体を提供することにある。 A further object of the present invention is to provide an ionization apparatus capable of preventing contamination of the discharge electrode and a discharge electrode assembly assembled to the ionization apparatus.
本発明の更なる目的は、放電電極の汚染防止と十分なイオン発生量との確保との両立を図ることのできるイオン化装置及びこれに組み付けられる放電電極組立体を提供することにある。 A further object of the present invention is to provide an ionization apparatus capable of achieving both prevention of contamination of the discharge electrode and ensuring of a sufficient amount of ion generation, and a discharge electrode assembly assembled thereto.
かかる技術的課題は、本発明の第1の観点によれば、
放電電極に高電圧を印加してコロナ放電させることによりイオン化エアを生成するイオン化装置において、
放電電極の先端と同軸のクリーンガス吐出口を有し、
該クリーンガス吐出口を通じてクリーンガスを噴出させることにより、このクリーンガス吐出口から噴出されるクリーンガスによって雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とするイオン化装置を提供することにより達成される。
Such a technical problem, according to the first aspect of the present invention,
In an ionization apparatus that generates ionized air by applying a high voltage to the discharge electrode and causing corona discharge,
It has a clean gas outlet coaxial with the tip of the discharge electrode,
This is achieved by providing an ionization device characterized by generating ionized air while entraining atmospheric air with clean gas ejected from the clean gas ejection port by ejecting clean gas through the clean gas ejection port. The
すなわち、本発明の第1の観点によれば、クリーンガス吐出口から噴出したクリーンガスが、放電電極の近傍で雰囲気エアを巻き込み、この雰囲気エアと共にイオン化エアとなって流下することになる。 That is, according to the first aspect of the present invention, the clean gas ejected from the clean gas discharge port entrains atmospheric air in the vicinity of the discharge electrode and flows down as ionized air together with the atmospheric air.
そして、放電電極の周りには従来のノズルが存在しない実質的に開放した状態にあることから、従来のノズルを備えたイオン化装置で問題となっていた、ノズルが同極に帯電することに伴う放電電極の周囲での電界の緩和も発生せず、これによりイオン発生量の低下を防止することができる。また、クリーンガス吐出口から放出されるクリーンガスが放電電極の先端に沿って流れることから、このクリーンガスによって放電電極の先端の汚染を防止することができる。 Since the conventional nozzle is not substantially present around the discharge electrode, the nozzle is charged to the same polarity, which has been a problem in an ionization apparatus equipped with the conventional nozzle. There is no relaxation of the electric field around the discharge electrode, thereby preventing a decrease in the amount of ions generated. Moreover, since the clean gas discharged from the clean gas discharge port flows along the tip of the discharge electrode, contamination of the tip of the discharge electrode can be prevented by this clean gas.
本発明の好ましい実施の形態では、クリーンガス吐出口の中心線上に放電電極の先端が位置ち且つ放電電極の先端はクリーンガス吐出口から前方に突出している。これにより、クリーンガス吐出口から放出されるクリーンガスは、放電電極の先端を包囲しながら流出し、これによりバリアを形成して、外気が放電電極に触れるのを阻止する。外気つまり雰囲気エアは、クリーンガス吐出口から流出するクリーンガスの外周部分が外気を引き込み、放電電極の先端から僅かに離間した前方位置で外気と一緒になりながらイオン化エアとなって前方に放出される。このことに加えて、放電電極の先端をクリーンガス吐出口から前方に突出してあるため、放電電極の先端をクリーンガス吐出口の中に配置させた場合に比べてイオン化エア生成量を多くすることができ、これにより放電電極の汚染を防止しつつ十分なイオン化エアを確保することができる。クリーンガス吐出口から突出する放電電極の先端の突出量は、放電電極の汚染防止の観点と、必要とされるイオン化エアの生成量の観点とのバランスの上に立脚して決定すればよい。 In a preferred embodiment of the present invention, the tip of the discharge electrode is located on the center line of the clean gas discharge port, and the tip of the discharge electrode protrudes forward from the clean gas discharge port. Thereby, the clean gas discharged from the clean gas discharge port flows out while surrounding the tip of the discharge electrode, thereby forming a barrier and preventing outside air from touching the discharge electrode. The outside air, that is, the ambient air, is discharged to the front as ionized air while being mixed with the outside air at the front position slightly spaced from the tip of the discharge electrode, with the outer periphery of the clean gas flowing out from the clean gas discharge port drawing the outside air. The In addition to this, since the tip of the discharge electrode protrudes forward from the clean gas discharge port, the amount of ionized air generated is larger than when the tip of the discharge electrode is placed in the clean gas discharge port. Thus, sufficient ionized air can be secured while preventing the discharge electrode from being contaminated. The amount of protrusion at the tip of the discharge electrode protruding from the clean gas discharge port may be determined on the basis of a balance between the prevention of contamination of the discharge electrode and the required amount of ionized air generated.
本発明の第2の観点よれば、上記の技術的課題は、
放電電極に高電圧を印加してコロナ放電させることによりイオン化エアを生成するイオン化装置において、
前記放電電極を支持すると共に、該放電電極の先端部分の回りをクリーンガスで包囲するように該クリーンガスを吐出するガス吐出口を備えた電極支持部材と、
前記放電電極の先端の前方に離間した位置に配設され且つ前方から前記放電電極の先端に対する指の接触を阻止すると共に前記放電電極の回りでイオン化したガスが前方に流出可能な開口を有するフィンガーガードと、
該フィンガーガードと前記電極支持体とに連結された複数の脚とを有し、
前記放電電極の先端を包囲しながら流れるクリーンガスが、前記複数の脚の間の外部エア導入用開口部を通じて該複数の脚で囲まれた空間の中に流入する雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とするイオン化装置を提供することにより達成される。
According to the second aspect of the present invention, the above technical problem is:
In an ionization apparatus that generates ionized air by applying a high voltage to the discharge electrode and causing corona discharge,
An electrode support member provided with a gas discharge port for discharging the clean gas so as to surround the discharge electrode and surround the tip portion of the discharge electrode with the clean gas;
A finger disposed at a position spaced forward of the tip of the discharge electrode and having an opening that prevents finger contact with the tip of the discharge electrode from the front and allows ionized gas to flow out forward around the discharge electrode Guard,
A plurality of legs connected to the finger guard and the electrode support;
The clean gas flowing while surrounding the tip of the discharge electrode draws in the ionized air while entraining the ambient air flowing into the space surrounded by the plurality of legs through the external air introduction opening between the plurality of legs. This is accomplished by providing an ionizer characterized by producing.
この第2の観点の発明によれば、放電電極の先端の回りには、連続した壁を作る従来のスリーブとは異なり、外部エア導入用開口部を備えた複数の脚が存在しているだけであることから、脚が放電電極と同極に帯電する電荷量を低減することができる。したがって、従来の放電電極の回りにスリーブを備えたイオン化装置に比べて、放電電極の周囲での電界の緩和を抑制することができ、これによりイオン発生量の低下を抑制することができる。また、放電電極の先端の回りが、クリーンガスで包囲された状態にあることから、このクリーンガスによって放電電極の先端の汚染を防止することができる。また、この第2の観点により発明によれば、フィンガーガードによって、作業者が誤って放電電極の先端に指を触れてしまうのを防止することができる。 According to the second aspect of the invention, unlike the conventional sleeve that forms a continuous wall, there are only a plurality of legs having openings for introducing external air around the tip of the discharge electrode. Therefore, it is possible to reduce the amount of charge that the leg charges to the same polarity as the discharge electrode. Therefore, as compared with a conventional ionization apparatus having a sleeve around the discharge electrode, it is possible to suppress the relaxation of the electric field around the discharge electrode, thereby suppressing a decrease in the amount of generated ions. Further, since the periphery of the tip of the discharge electrode is surrounded by the clean gas, contamination of the tip of the discharge electrode can be prevented by this clean gas. Further, according to the invention from the second aspect, the finger guard can prevent the operator from touching the tip of the discharge electrode by mistake.
第2の観点のイオン化装置において、好ましくは、ガス吐出口の中心に放電電極の先端部分が配置され、放電電極の先端部分に接しながらクリーンガスがガス吐出口から吐出される。更に好ましくは、放電電極の先端はガス吐出口から前方に僅かに突出して配置される。 In the ionization apparatus according to the second aspect, preferably, the front end portion of the discharge electrode is disposed at the center of the gas discharge port, and clean gas is discharged from the gas discharge port while being in contact with the front end portion of the discharge electrode. More preferably, the tip of the discharge electrode is disposed so as to slightly protrude forward from the gas discharge port.
本発明の第3の観点によれば、上記の技術的課題を達成すべく、
放電電極に高電圧を印加してコロナ放電させることによりイオン化エアを生成するイオン化装置に脱着可能に組み付けられる放電電極組立体であって、
放電電極と、
該放電電極を支持すると共に、該放電電極の先端部分の回りをクリーンガスで包囲するように該クリーンガスを吐出するガス吐出口を備えた電極支持部材と、
前記放電電極の先端の前方に離間した位置に配設され且つ前方から前記放電電極の先端に対する指の接触を阻止すると共に前記放電電極の回りでイオン化したガスが前方に流出可能な開口を有するフィンガーガードと、
該フィンガーガードと前記電極支持体とに連結された複数の脚とを有し、
前記放電電極の先端を包囲しながら流れるクリーンガスが、前記複数の脚の間の外部エア導入用開口部を通じて該複数の脚で囲まれた空間の中に流入する雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とする電極組立体が提供される。
According to a third aspect of the present invention, in order to achieve the above technical problem,
A discharge electrode assembly that is detachably assembled to an ionizer that generates ionized air by applying a high voltage to the discharge electrode to cause corona discharge,
A discharge electrode;
An electrode support member provided with a gas discharge port for discharging the clean gas so as to surround the tip portion of the discharge electrode with clean gas while supporting the discharge electrode;
A finger disposed at a position spaced forward of the tip of the discharge electrode and having an opening that prevents finger contact with the tip of the discharge electrode from the front and allows ionized gas to flow out forward around the discharge electrode Guard,
A plurality of legs connected to the finger guard and the electrode support;
The clean gas flowing while surrounding the tip of the discharge electrode draws in the ionized air while entraining the ambient air flowing into the space surrounded by the plurality of legs through the external air introduction opening between the plurality of legs. An electrode assembly is provided that is characterized by being produced.
この第3の観点による放電電極組立体によれば、これをイオン化装置に組み付けることで、上述した第2の観点のイオン化装置の作用効果を奏することは勿論のことであるが、放電電極が摩耗してイオン化装置の性能が低下したときには、放電電極組立体を交換することで、イオン化装置を初期性能まで戻すことができる。また、この交換作業の際に、作業員が指を誤って放電電極の先端に触れて怪我するのをフィンガーガードによって防止することができる。 According to the discharge electrode assembly according to the third aspect, it is a matter of course that the effect of the ionization apparatus according to the second aspect described above can be obtained by assembling the discharge electrode assembly to the ionization apparatus. Then, when the performance of the ionizer deteriorates, the ionizer can be returned to the initial performance by replacing the discharge electrode assembly. In addition, it is possible to prevent the operator from being injured by accidentally touching the tip of the discharge electrode with the finger during the replacement work.
第3の観点のイオン化装置において、好ましくは、ガス吐出口の中心に放電電極の先端部分が配置され、放電電極の先端部分に接しながらクリーンガスがガス吐出口から吐出される。更に好ましくは、放電電極の先端はガス吐出口から前方に僅かに突出して配置される。 In the ionization apparatus according to the third aspect, preferably, the front end portion of the discharge electrode is disposed at the center of the gas discharge port, and clean gas is discharged from the gas discharge port while being in contact with the front end portion of the discharge electrode. More preferably, the tip of the discharge electrode is disposed so as to slightly protrude forward from the gas discharge port.
本発明の好ましい実施の形態では、放電電極に高電圧を印加してコロナ放電させることによりイオン化エアを生成するイオン化装置において、
前記放電電極を支持すると共に、該放電電極の長手方向に沿って該放電電極の先端部分から外部に向けてクリーンガスを放出するためのガス通路を備えた電極支持部材と、
該電極支持部材から、前記放電電極の長手方向に所定距離隔てた位置に、前記電極支持部材から放出されるクリーンガスの流れを通過させる開口を有するリング本体と、該リング本体と前記電極支持体とに連結された複数の脚とを備えたガードリングとを有し、
前記リング本体が、周方向に連続した形状を有し、また、指先の侵入を防止可能な直径を有し、
前記放電電極の先端部分から放出されるクリーンガスが、互いに隣接する前記脚の間の外部エア導入用開口部を通じて前記ガードリング内に流入する雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とする。
In a preferred embodiment of the present invention, in an ionization apparatus that generates ionized air by applying a high voltage to a discharge electrode to cause corona discharge,
An electrode support member provided with a gas passage for supporting the discharge electrode and discharging clean gas from the tip end portion of the discharge electrode to the outside along the longitudinal direction of the discharge electrode;
A ring body having an opening through which a flow of clean gas discharged from the electrode support member passes at a position spaced apart from the electrode support member by a predetermined distance in the longitudinal direction of the discharge electrode; and the ring body and the electrode support body And a guard ring with a plurality of legs connected to each other,
The ring body has a shape that is continuous in the circumferential direction, and has a diameter that can prevent the penetration of a fingertip;
The clean gas discharged from the tip portion of the discharge electrode generates ionized air while entraining atmospheric air flowing into the guard ring through the external air introduction opening between the adjacent legs. To do.
本発明の好ましい実施の形態では、ガス吐出口の中心に放電電極の先端部分が配置され、放電電極の先端部分に接しながらクリーンガスがガス吐出口から吐出される。更に好ましくは、放電電極の先端はガス吐出口から前方に僅かに突出して配置される。 In a preferred embodiment of the present invention, the front end portion of the discharge electrode is disposed at the center of the gas discharge port, and clean gas is discharged from the gas discharge port while being in contact with the front end portion of the discharge electrode. More preferably, the tip of the discharge electrode is disposed so as to slightly protrude forward from the gas discharge port.
ガードリングは、リング本体によって、例えば放電電極の交換作業の際に放電電極の先端に指を触れるのを防止するフィンガーガード機能を有するだけでなく、周方向に連続した形状のリング本体つまりフィンガーガードはガードリングに剛性を付与し、放電電極を交換する際に、ガードリングを指先で把持したときにガードリングの変形を防止することができる。 The guard ring not only has a finger guard function to prevent the finger from touching the tip of the discharge electrode when the discharge electrode is replaced, for example, but also the ring body having a continuous shape in the circumferential direction, that is, the finger guard. Gives rigidity to the guard ring, and when the discharge electrode is replaced, the guard ring can be prevented from being deformed when the guard ring is gripped with a fingertip.
以下に、本発明の実施例を添付の図面を参照して詳しく説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、実施例のイオン化装置の放電電極バーの内部レイアウトを説明するための図であり、図2は、実施例の放電電極バー100の外形を示す斜視図である。
FIG. 1 is a view for explaining the internal layout of the discharge electrode bar of the ionization apparatus of the embodiment, and FIG. 2 is a perspective view showing the outer shape of the
放電電極バー100は、上端を閉じた逆U字状断面のケース10を有し、ケース10の内部には、その下側領域にガス通路ユニット11及び互いに離間した先端が尖った放電電極12が複数配置されている。
The
他方、ケース10の上側領域には、密閉ボックスに収容された高電圧ユニット13と、電源回路や例えば表示回路やCPUを含む制御ユニット14とが配置されている。ケース10の長手方向両端面には、クリーンガス用ポート15が設けられ、このクリーンガス用ポート15を通じて、図外のガス源から例えば窒素ガスなどの不活性ガスや大気中のゴミを濾過又は水分を除去した濾過エアからなるクリーンガス、より好ましくは、更に有機化合物を除去したクリーンガスがガス通路ユニット11に供給され、ガス通路ユニット11内のクリーンガスは、後に詳しく説明するように、各放電電極12に沿って外部に吐出される。このクリーンガスの吐出により放電電極12の先端を通過したクリーンガスは、雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアとなり、ワークに向かって流下する。これにより、例えばシロキサンなどの有機化合物を含むガスが放電電極12に触れるとコロナ放電により有機化合物を分解し、これにより固体になった物質が放電電極に付着して何らかの原因で落下してしまうという問題を発生することになるが、有機化合物を含まないクリーンガスを放電電極12の先端を通過させることにより、このような問題を解消することができる。
On the other hand, a
ケース10の上側領域と下側領域とは、これら領域間での気体の流通を実質的に防ぐために、長手方向に延びる中間仕切壁16(図1)によって区画されているのが好ましい。なお、参照符号17は、隣接する放電電極バー100同士を連結するためのモジュラコネクタを受け入れるための接続端子を示す。また、参照符号18は、接地した対向電極プレートを示し、この対向電極プレート18は、実質的にケース10の一部を構成しており、この対向電極プレート18によってケース10の下端開口が閉じられている。
The upper region and the lower region of the
図3、図4は、ケース10の長手方向に沿って配置される細長い形状のガス通路ユニット11を示すものであり、図3は、2つのガス通路ユニット11を連結した状態を示す斜視図であり、図4は、各ガス通路ユニット11の分解斜視図である。
3 and 4 show an elongated
図3から理解できるように、ガス通路ユニット11の長手方向の端壁には、可撓性の連結チューブ20のためのジョイント21が設けられ、このジョイント21に連結チューブ20を嵌合することにより隣接するガス通路ユニット11同士が互いに連通され、また、クリーンガス用ポート15(図1、図2)に連通される。
As can be understood from FIG. 3, a joint 21 for the
各ガス通路ユニット11は、図4から理解できるように、水平方向に延びる細長い支持プレート25と、上方に向けて開放したボックス状部材26とを有する。支持プレート25には、その下面に、矩形輪郭を有する溝27が形成され、この溝27にボックス状部材26の上端縁を嵌合することにより密閉されたクリーンガス通路28(図6)が構成され、このクリーンガス通路28は、ボックス状部材26の長手方向の各端壁に設けられた上述のジョイント21に連通している。
As can be understood from FIG. 4, each
支持プレート25には、その上面に、長手方向に延びる細長い高電圧配板30が配設され、この高電圧配板30は支持プレート25と、その上の固定プレート31とで挟持される。高電圧配板30は、各放電電極12に対応した位置にバネ性の導電性接続口32が設けられている。この導電性接続口32に代えて、高電圧配板30の一部を切り起こすことにより形成したバネ性の接触片であってもよい。支持プレート25には、また、各導電性接続口32に対応した位置に上下に延びる第1スリーブ35が形成されている。
The
上述のボックス状部材26は、支持プレート25の第1スリーブ35に対応する位置に配設された第2スリーブ37を有し、この第2スリーブ37は、その基端部分に、好ましくは、沿面距離を拡大するための円周フランジ38を備えているのが好ましい。
The box-shaped
図4、図6に参照符号40で示す部材は電極組立体である。電極組立体40は、放電電極12を支持するための本体41(図5)と、この本体41の軸部42に嵌装されたアタッチメント43と、本体軸部42の先端部分に嵌装されたゴムなどの弾性材料からなるシール部材44とで構成されている。
4 and 6, the member indicated by
電極本体41は、放電電極12の先端部分に位置する拡大ヘッド部分45を有し、この拡大ヘッド部分45は、放電電極12の先端の周りを取り囲むと共に、放電電極12の周囲からエアを放出するエアの進行を確保するための開口部を中央部分に有するガードリング46を備えているのが好ましい。このガードリング46は、拡大ヘッド部分45に対する位置決め保持と、外部からのガードリング46内への外部エアを導入するために、放電電極12から所定の間隔を隔てて位置し且つ周方向に間隔を隔てて設けられた複数の脚部46aを有し、この脚部46aは拡大ヘッド部分45に連結され、隣接する脚部46a、46a間に外部エア導入開口部46bが形成されている。
The electrode
ガードリング46は、その先端に円形リング形状のフィンガーガードつまりリング本体46cを有し、全体として、円柱状の外形輪郭を有しているが、放電電極12の周囲からエアを放出するエアの進行を確保することができ且つ指の挿入防止機能を実現できる寸法であれば断面多角形の形状を有していてもよい。また、ガードリング46の径方向の大きさは、拡大ヘッド部分45の基部の径方向の大きさと実質的に同一又はそれ以下であってもよい。
The
また、上述した各脚部46a間に形成される外部エア導入用開口部46bは、図示のように何も存在しない空所で構成してもよいが、外部からの雰囲気エアの自由な通過を許容できる、例えば比較的大きな網目のネット状の構造を有していてもよく、また、柵状の構造を有していてもよい。このガードリング46の設計においては、各脚部46aが占有する面積を抑えて、外部エア導入用開口部46bの面積を大きく設定することが望ましい。
Further, the external air introduction opening 46b formed between the
また、拡大ヘッド部分45の先端面は、その外周部分から徐々に隆起した山の形状、つまり、放電電極12の先端の周りの領域がフラットな水平面45aと、その外周縁から傾斜した傾斜面45bとで構成されるのがよい。また、放電電極12に雰囲気エアを積極的には接触させず且つイオン化エアの流下に雰囲気エアを活用するという観点から、外部エア導入用開口部46bを通じて供給される外部からの雰囲気エアを放電電極12の先端から所定距離離れた位置で且つガードリング46の高さと実質的に同じか又はそれ以下の高さで、傾斜面45bと、放電電極12の軸線を延長した仮想軸線との交点が位置するように設定するのが好ましい。
Further, the front end surface of the
電極本体41は、放電電極12の先端部分の周囲に沿って形成されたクリーンガス通路48を有し、このクリーンガス通路48は、放電電極12の先端と同軸の小径吐出口48aを通じて外部に開放されている。すなわち、放電電極12は、クリーンガス通路48の中心軸と同軸に配設され、放電電極12の先端は小径突出口48aから前方に僅かに突出している。この電極本体41の軸部42には、軸部42に径方向に延びる入口48bを有し、電極本体41内のクリーンガス通路48は、この軸部42の入口48bを通じて外部と連通可能である。
The
電極本体41(軸部42)の周りを取り囲むアタッチメント43は、本体軸部42との間の隙間でクリーンガス通路50を形成し、この軸部周りのクリーンガス通路50には、アタッチメント43の先端部分に形成されたエア導入口50aを通じて、ガス通路ユニット11内のクリーンガス通路28からクリーンガスが導入される。
The
電極組立体40をガス通路ユニット11の第2スリーブ37に挿入すると、放電電極12の基端が、高電圧配板30の接続口32の中に嵌入して、高電圧配板30と放電電極12とが電気的に接続されると共に、本体軸部42の先端に設けたシール部材44の一部が第1スリーブ35内に嵌入して、放電電極12と高電圧配板30との接続エリアが密封される。つまり、放電電極12と高電圧配板30との接続部分は、シール部材44によってユニット11内のクリーンガス通路28から完全に隔離されているため、ガス通路ユニット11内を通るクリーンガスに影響を及ぼすことはない。図6の参照符合52はO-リングである。
When the
図7は、放電電極バー100の電気回路の概要を示すものである。放電電極バー100は、同一の放電電極12からプラスイオンとマイナスイオンとが交互に発生するパルスAC式イオン発生方式が採用されている。放電電極バー100は、プラス側高電圧発生回路80とマイナス側高電圧発生回路81とを有し、これらの高電圧発生回路80、81で高電圧ユニット13が構成されており、この高電圧ユニット13は密閉ボックス(図示せず)の中に収容されている。
FIG. 7 shows an outline of an electric circuit of the
プラス側高電圧発生回路80とマイナス側高電圧発生回路81は、共に、トランス82、83の一次側コイルに接続された自励事例発信回路84、85と、二次側コイルに接続された例えば倍整流回路からなる昇圧回路86、87とを含む。高電圧発生回路80、81と放電電極12との間には保護抵抗つまり第1抵抗R1が設けられている。
The plus side high
トランス82、83の二次コイルの接地端GNDと、フレームグランドFGとの間には、第2抵抗R2と第3抵抗R3とが直列に接続され、また、対向電極プレート18とフレームグランドFGとの間には、第4抵抗R4と上述した第3抵抗R3とが直列に接続されている。
A second resistor R2 and a third resistor R3 are connected in series between the ground terminal GND of the secondary coils of the
第4抵抗R4を流れる電流をイオン電流検知回路88で検出することにより、放電電極12の近傍のイオンバランスを知ることができる。第3抵抗R3を流れる電流をイオン電流検知回路88で検出することにより、ワーク又は帯電物の近傍のイオンバランスを知ることができる。第2抵抗R2を流れる電流を異常放電電流検知回路89で検出することで、放電電極12と対向電極プレート18又はフレームグランドFGとの間の異常放電を検出することができ、CPU14で異常放電と判別したときには、アラーム手段である表示LED90を点灯するなどして操作者に異常を知らせることができる。
By detecting the current flowing through the fourth resistor R4 by the ion
以上、パルスAC式放電電極バー100の回路を説明したが、放電電極バーとしては、商用周波数でプラスイオンとマイナスイオンとが交互に発生するAC方式や、プラスイオンとマイナスイオンが同時に発生するSSDC式であってもよく、プラスイオンとマイナスイオンとが交互に発生するパルスDC式であってもよい。
The circuit of the pulsed AC
放電電極バー100は、その動作において、ガス通路ユニット11内のクリーンガスが、アタッチメント43のエア導入口50aから電極組立体40の内部通路を構成するクリーンガス通路50、48内に入り、この内部クリーンガス通路50,48を通って、放電電極12の先端周りの小径吐出口48aから吐出される。なお、図6に示す参照符号51は、シール部材であり、このシール部材51は、アタッチメント43と、電極本体41の拡大ヘッド部分45との間をシールするものである。
In the operation of the
上述した実施例によれば、放電電極12の交換は、電極組立体40又は本体41を抜き差しするだけでよく、この交換作業は簡単に行うことができる。また、放電電極12の先端の周りが従来のようにスリーブ状ノズルで囲まれておらず、実質的に外部に露出した状態にあるため、従来のスリーブ状ノズルが放電電極12の電圧と同極に帯電することに伴う電極先端の周囲の電解が緩和されてしまうことを防止することができ、この結果、イオン発生量を増加させることができる。
According to the above-described embodiment, the
また、ガス源からクリーンガス用ポート15を通じて供給されるクリーンガスが放電電極12の先端と同軸の小径吐出口48aから吐出され、この小径吐出口48aから吐出されるクリーンガスによって放電電極12の先端が覆われるため、放電電極12の先端に対する異物の付着つまり放電電極12の汚染を防止することができる。
The clean gas supplied from the gas source through the
なお、小径吐出口48aから吐出されるクリーンガスは、放電電極12を通過した直後でイオン化されるが、ガードリング46を通過して供給される雰囲気エアつまり周囲に存在するエアを巻き込んで比較的大量のイオン化エアとなって流下することになる。クリーンガスが雰囲気エアを巻き込む効果は、この吐出口48aから吐出されるクリーンガスの流速が40m/sec以上であると効果的に現れる。
The clean gas discharged from the small-
前述したように、放電電極12は、クリーンガス通路48の中心軸と同軸に配設され、放電電極12の先端は、小径のガス吐出口48aの中心軸上に配置されて、このガス吐出口48aから前方に突出して配置されている。放電電極12の先端をガス吐出口48aから前方に突出させることでイオン化エアの生成量を増大させることができるが、放電電極12をガス吐出口48aから大きく突出させると放電電極12の先端の汚染の問題が再現する。したがって、必要とされるイオン化エアの生成量と、放電電極12の汚染の問題とをバランスさせることができるように、放電電極12の突出量を決定すればよい。
As described above, the
また、放電電極12の先端の周りに、雰囲気エアの自由な通過を許容するガードリング46を設けた場合には、電極組立体40の抜き差しの作業中に放電電極12の先端に触れてしまうことを防止することができるため、安全性を高めることができる。この効果を確実なものにするのに、ガードリング46bの高さを0.5mm〜14mm、直径を2.5mm〜10mmであるのが好ましい。
Further, when a
上述した放電電極12の先端に異物が付着するのをクリーンガスによって防止する効果は、図8に示すように、放電電極12の尖った先端を切り落とした切頭形状にすることで効果的なものになる。このよれば、電界集中部分が、尖がった端ではなくて、放電電極12の先端面12aの周囲(図8中、丸で囲んだ部分)となり、この部分は、小径吐出口48aから噴出するクリーンガスが当たり易い領域であるため、クリーンガスによる異物付着防止効果を確実なものにすることができる。
As shown in FIG. 8, the effect of preventing foreign matter from adhering to the tip of the
図9〜図13は、電極組立体40の変形例110を示す。この変形例の電極組立体110は、第2スリーブ37に対して、上述したアタッチメント43無しで直接的に装着される。したがって、電極組立体110は、拡大ヘッド部分45に連続する装着部111を有し、装着部111には、第2スリーブ37を受け入れる凹所112(図10、図13)が形成されている。図13の参照符合113は、上述したO-リング52を受け入れる溝を示す。
9 to 13 show a
装着部111の凹所112は、これを規定する壁面にL字状の鍵溝114が形成されている。この鍵溝114は、図10から理解できるように、装着部111の端に開口している。この鍵溝114は、第2スリーブ37に設けられた凸部(図示せず)を受け入れる。すなわち、電極組立体110を第2スリーブ37に装着するときには、この第2スリーブ37の凸部と鍵溝114とを一致させた状態で電極組立体110の中に第2スリーブ37に挿入した後、電極組立体110を回転させることにより電極組立体110は第2スリーブ37に軸方向に移動不能に固定される。
The
この変形例の電極組立体110にあっては、軸部42のガス入口48bに対して放電電極バー100の内部クリーンガス通路28(図6)からクリーンガスが供給され、ガス入口48bに入ったクリーンガスは、放電電極12回りのガス通路48を通って放電電極12の先端回りの小径吐出口48aを通じて外部に放出される。
In the
図5、図6に図示の電極組立体40及び図11〜図13に図示の電極組立体11の要部の好ましい具体的な寸法は、水平面45aからリング本体46cの先端面までの距離は約5mmであり、リング本体46cの内径は約9mmであり、水平面45aから放電電極12の先端の突出量は約0.5mmである。また、ガードリング46の隣接する脚部46a、46a間の4つの外部エア導入開口部46bの総面積は、脚部46aと外部エア導入開口部46bとが占める仮想リング状壁の総面積に対して約67%であり、換言すれば,4つの脚部46aの総面積は、上記の仮想リング状壁の総面積に対して約33%である。
The preferred specific dimensions of the main parts of the
100 放電電極バー
10 ケース
11 ガス通路ユニット
12 放電電極
18 対向電極プレート
30 高電圧配板
32 導電性接続口
38 沿面距離拡大用の円周フランジ
40 電極組立体
41 電極本体
45a 電極本体の水平面
45b 電極本体の傾斜面
46 ガードリング
46a ガードリングの脚部
46b 外部エア導入開口部
46c ガードリングのリング本体
48b クリーンガス吐出口
DESCRIPTION OF
Claims (16)
放電電極の先端と同軸のクリーンガス吐出口を有し、
該クリーンガス吐出口を通じてクリーンガスを噴出させることにより、このクリーンガス吐出口から噴出されるクリーンガスによって雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とするイオン化装置。 In an ionization apparatus that generates ionized air by applying a high voltage to the discharge electrode and causing corona discharge,
It has a clean gas outlet coaxial with the tip of the discharge electrode,
An ionizer that generates ionized air while entraining atmospheric air with clean gas ejected from the clean gas ejection port by ejecting clean gas through the clean gas ejection port.
該ガードリングは雰囲気エアの自由な通過を許容する構造を備えている、請求項1又は2に記載のイオン化装置。 Having a guard ring provided around the tip of the discharge electrode;
The ionization apparatus according to claim 1, wherein the guard ring has a structure that allows free passage of atmospheric air.
前記クリーンガス吐出口への前記クリーンガスの供給が前記電極組立体の内部通路を通じて行われる、請求項3又は4に記載のイオン化装置。 An electrode assembly is constituted by the discharge electrode and an electrode body that holds the discharge electrode,
The ionization apparatus according to claim 3 or 4, wherein the supply of the clean gas to the clean gas discharge port is performed through an internal passage of the electrode assembly.
該放電電極バーには、その長手方向に延びる高電圧配板が内蔵されると共に、前記電極組立体を挿入可能なスリーブを有し、該スリーブに前記電極組立体を挿入することにより前記放電電極が前記高電圧配板と電気的に接続される、請求項1〜7のいずれか一項に記載のイオン化装置。 The ionization apparatus comprises a discharge electrode bar in which a plurality of discharge electrodes are arranged at intervals from each other,
The discharge electrode bar has a built-in high voltage plate extending in the longitudinal direction thereof, and has a sleeve into which the electrode assembly can be inserted. By inserting the electrode assembly into the sleeve, the discharge electrode The ionization apparatus according to claim 1, wherein the ionization apparatus is electrically connected to the high-voltage board.
前記放電電極を支持すると共に、該放電電極の長手方向に沿って該放電電極の先端部分から外部に向けてクリーンガスを放出するためのガス通路を備えた電極支持部材と、
該電極支持部材から、前記放電電極の長手方向に所定距離隔てた位置に、前記電極支持部材から放出されるクリーンガスの流れを通過させる開口を有するリング本体と、該リング本体と前記電極支持体とに連結された複数の脚とを備えたガードリングとを有し、
前記リング本体が、周方向に連続した形状を有し、また、指先の侵入を防止可能な直径を有し、
前記放電電極の先端部分から放出されるクリーンガスが、互いに隣接する前記脚の間の外部エア導入用開口部を通じて前記ガードリング内に流入する雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とするイオン化装置。 In an ionization apparatus that generates ionized air by applying a high voltage to the discharge electrode and causing corona discharge,
An electrode support member provided with a gas passage for supporting the discharge electrode and discharging clean gas from the tip end portion of the discharge electrode to the outside along the longitudinal direction of the discharge electrode;
A ring body having an opening through which a flow of clean gas discharged from the electrode support member passes at a position spaced apart from the electrode support member by a predetermined distance in the longitudinal direction of the discharge electrode; and the ring body and the electrode support body And a guard ring with a plurality of legs connected to each other,
The ring body has a shape that is continuous in the circumferential direction, and has a diameter that can prevent the penetration of a fingertip;
The clean gas discharged from the tip portion of the discharge electrode generates ionized air while entraining atmospheric air flowing into the guard ring through the external air introduction opening between the adjacent legs. Ionizer to do.
前記放電電極を支持すると共に、該放電電極の先端部分の回りをクリーンガスで包囲するように該クリーンガスを吐出するガス吐出口を備えた電極支持部材と、
前記放電電極の先端の前方に離間した位置に配設され且つ前方から前記放電電極の先端に対する指の接触を阻止すると共に前記放電電極の回りでイオン化したガスが前方に流出可能な開口を有するフィンガーガードと、
該フィンガーガードと前記電極支持体とに連結された複数の脚とを有し、
前記放電電極の先端を包囲しながら流れるクリーンガスが、前記複数の脚の間の外部エア導入用開口部を通じて該複数の脚で囲まれた空間の中に流入する雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とするイオン化装置。 In an ionization apparatus that generates ionized air by applying a high voltage to the discharge electrode and causing corona discharge,
An electrode support member provided with a gas discharge port for discharging the clean gas so as to surround the discharge electrode and surround the tip portion of the discharge electrode with the clean gas;
A finger disposed at a position spaced forward of the tip of the discharge electrode and having an opening that prevents finger contact with the tip of the discharge electrode from the front and allows ionized gas to flow out forward around the discharge electrode Guard,
A plurality of legs connected to the finger guard and the electrode support;
The clean gas flowing while surrounding the tip of the discharge electrode draws in the ionized air while entraining the ambient air flowing into the space surrounded by the plurality of legs through the external air introduction opening between the plurality of legs. An ionization apparatus characterized by producing.
放電電極と、
該放電電極を支持すると共に、該放電電極の先端部分の回りをクリーンガスで包囲するように該クリーンガスを吐出するガス吐出口を備えた電極支持部材と、
前記放電電極の先端の前方に離間した位置に配設され且つ前方から前記放電電極の先端に対する指の接触を阻止すると共に前記放電電極の回りでイオン化したガスが前方に流出可能な開口を有するフィンガーガードと、
該フィンガーガードと前記電極支持体とに連結された複数の脚とを有し、
前記放電電極の先端を包囲しながら流れるクリーンガスが、前記複数の脚の間の外部エア導入用開口部を通じて該複数の脚で囲まれた空間の中に流入する雰囲気エアを巻き込みながらイオン化エアを生成することを特徴とする電極組立体。 A discharge electrode assembly that is detachably assembled to an ionizer that generates ionized air by applying a high voltage to the discharge electrode to cause corona discharge,
A discharge electrode;
An electrode support member provided with a gas discharge port for discharging the clean gas so as to surround the tip portion of the discharge electrode with clean gas while supporting the discharge electrode;
A finger disposed at a position spaced forward of the tip of the discharge electrode and having an opening that prevents finger contact with the tip of the discharge electrode from the front and allows ionized gas to flow out forward around the discharge electrode Guard,
A plurality of legs connected to the finger guard and the electrode support;
The clean gas flowing while surrounding the tip of the discharge electrode draws in the ionized air while entraining the ambient air flowing into the space surrounded by the plurality of legs through the external air introduction opening between the plurality of legs. An electrode assembly produced.
放電電極と、
該放電電極を支持すると共にクリーンガスを放出するためのクリーンガス通路を備えた電極支持部材と、
前記放電電極の前方に配置され、該放電電極の先端に指が接触するのを防止しつつ前記放電電極に高電圧を印可することにより生成されたイオン化エアを流出させることのできる開口を備えたフィンガーガードと、
該フィンガーガードと前記電極支持部材とに連結された複数の脚であって、隣接する脚が周方向に離間して隣接する脚間を外気が通過可能である複数の脚とを有し、
前記放電電極の先端部分が、クリーンガス通路と同軸に配置され且つ該クリーンガス通路のガス吐出口の中心に前記放電電極の先端が位置すると共に該放電電極の先端が前記ガス吐出口から前方に突出していることからなるイオン化装置。 An ionizer that generates ionized air by applying a high voltage to a discharge electrode to cause corona discharge,
A discharge electrode;
An electrode support member provided with a clean gas passage for supporting the discharge electrode and discharging clean gas;
Provided with an opening that is arranged in front of the discharge electrode and that allows ionized air generated by applying a high voltage to the discharge electrode to flow out while preventing a finger from contacting the tip of the discharge electrode Finger guards,
A plurality of legs connected to the finger guard and the electrode support member, wherein the adjacent legs are spaced apart from each other in the circumferential direction, and outside air can pass between the adjacent legs;
The tip of the discharge electrode is disposed coaxially with the clean gas passage, and the tip of the discharge electrode is located at the center of the gas discharge port of the clean gas passage, and the tip of the discharge electrode is forward of the gas discharge port. An ionization device consisting of protrusions.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004337216A JP4573631B2 (en) | 2003-12-02 | 2004-11-22 | Ionizer |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003402497 | 2003-12-02 | ||
| JP2004185007 | 2004-06-23 | ||
| JP2004337216A JP4573631B2 (en) | 2003-12-02 | 2004-11-22 | Ionizer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006040860A true JP2006040860A (en) | 2006-02-09 |
| JP4573631B2 JP4573631B2 (en) | 2010-11-04 |
Family
ID=35905608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004337216A Expired - Fee Related JP4573631B2 (en) | 2003-12-02 | 2004-11-22 | Ionizer |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP4573631B2 (en) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071121 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100519 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100716 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100817 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4573631 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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