JP2005512844A - 低電圧インクジェット・プリント・モジュール - Google Patents

Abstract

強化面を有する圧電素子の形成を含むインクジェット・プリント・モジュールを製造するための方法。

Description

本発明は、低電圧インクジェット・プリント・モジュールの製造方法に関するものである。

インクジェット・プリント・モジュールは、オリフィスから被印刷物に向けてインクを噴射する。前記インクは圧電式インクジェット・プリント・モジュールによって一連の液滴として噴射される。特定のプリント・モジュールは、各々が６４のノズルから成る４つのグループに分かれている２５６のノズルを有している。圧電式インクジェット・プリント・モジュールは、モジュール本体、圧電素子、および圧電素子を駆動する電気接点を備えている。一般に、モジュール本体は矩形部材から成り、表面にインクのポンピング・チャンバーとして機能する一連のインク・チャンバーが機械加工によって形成されている。モジュール本体の表面に圧電素子を配することによりポンピング・チャンバーを覆い、ポンピング・チャンバー内のインクを加圧し噴射させることができる。
米国特許第５６４０１８４号明細書 米国特許第６０３７７０７号明細書 米国特許第５６０５６５９号明細書 米国特許第５３４０５１０号明細書

本発明のインクジェット・プリント・モジュールは強化圧電素子を備えている。強化圧電素子は、非強化圧電素子と比較し、印加電圧が低いときのインクの噴射を向上させることができるため、インクジェット・モジュールを小型化することができる。強化圧電素子は、平面圧電素子と比較し、少なくとも１つの次元において高い剛性を備えている。強化圧電素子は素子を強化する曲面を備えている。前記モジュールは６０ボルト未満の駆動電圧によりインクを噴射することができる。

１つの態様において、インクジェット・プリント・モジュールの製造方法が、成形型に先駆体を射出成形して強化圧電素子を形成し、噴射電圧を加えたとき、インク・チャンバー内のインクに噴射圧力が加わるよう前記圧電素子を前記インク・チャンバーの上部に配する各ステップを含んでいる。

別の態様において、インクをデポジットする（被印刷物の正しい位置に付着させる）方法が、インク・チャンバーにインクを供給し、強化圧電素子の表面に配されている第１および第２電極間に噴射電圧を印加して、前記インク・チャンバー内のインクに噴射圧力を加えることにより前記インク・チャンバーの出口オリフィスからインクをデポジットする各ステップを含んでいる。

別の態様において、インクジェット・プリント・モジュールが、インク・チャンバー、前記インク・チャンバーに露出している領域を有する強化圧電素子、および前記圧電素子の表面に配され、噴射電圧が印加されたとき前記圧電素子を駆動する電気接点を有している。前記圧電素子は前記インク・チャンバーの上部に配され、前記チャンバー内のインクに噴射圧力を加える。前記インク・チャンバーに露出している前記強化圧電素子の領域が曲面を成している。

前記強化圧電素子は、前記インク・チャンバーの上部において曲面を成している。前記曲面は、前記インク・チャンバーに対し凹面を成している。前記曲面は、実質的に一定の曲率半径を有している。前記曲面の形状は、球の一部または円筒の一部とすることができる。前記チャンバーの壁は、９０°を超える角度で前記強化圧電素子に接触するように配されている。前記圧電素子はチタンジルコン酸鉛を含んでいる。

前記インクジェット・プリント・モジュールは一連のチャンバーを備えている。前記チャンバーの各々は１つの圧電素子で覆われている。前記圧電素子の表面に第１電極および第２電極が配されている。

詳細については添付図面および以下の説明に記載されている。その他の特徴および効果は以下の説明、添付図面、および特許請求の範囲によって明らかとなる。

インクジェット・プリント・モジュールは、本体の噴射領域の上部に配されている圧電素子を備えている。前記噴射領域は本体のポンピング・チャンバーの一部である。前記ポンピング・チャンバーを封止することができる。電極のような電気接点を前記圧電素子の表面に配することができる。前記圧電素子が個々の噴射領域全体に及んでいる。電気接点に電圧が印加されると噴射領域の圧電素子の形状が変化し、それによって対応するポンピング・チャンバー内のインクに噴射圧力が加わる。前記インクが前記ポンピング・チャンバーから噴射され被印刷物にデポジットされる。

圧電式インクジェット・プリント・モジュールの１つに特許文献１に記載されているような剪断モード・モジュールがある。前記引用により前記特許文献の内容がそっくりそのまま本明細書に組み込まれたものとする。剪断モード・モジュールにおいては、電気接点を圧電素子のインク・チャンバーに近接した側に配置することができる。図１Ａ，１Ｂおよび２において、圧電インクジェット・ヘッド２は、マニホールド・プレート１２およびオリフィス・プレート１４が取り付けられるつば要素１０に組み立てられる１つ以上のモジュール４を備えている。つば要素１０を通してモジュール４にインクが供給される。モジュール４が作動しオリフィス・プレート１４のオリフィスからインクを噴射する。インクジェット・プリント・モジュールは、焼結カーボンまたはセラミックから成る本体２０を備えている。複数のチャンバー２２が本体２０に機械加工またはその他の方法で形成されポンピング・チャンバーを形成している。

機械加工によって本体２０に形成されているインク注入路２６を通しポンピング・チャンバーにインクが注入される。本体２０のポンピング・チャンバーの表面に配されるよう構成されている一連の電気接点３１および３１’が本体２０の対向面に配されている。電気接点３１および３１’は、集積回路３３および３３’に接続されるリード線に接続されている。これらの構成部材が一緒に封止されプリント・モジュールが構成される。

図２において、圧電素子３４は１つの面に電極４０を備えている。電極４０は電気接点３１に対応し、ドライバー集積回路によって個別にアドレス指定される。電極４０は圧電素子の表面に蒸着されている導電材料に化学エッチングを施すことにより形成することができる。適切な電極形成方法は、ここに引用することにより内容がそっくりそのまま本明細書に組み込まれたものとする特許文献２にも記載されている。前記電極は、銅、アルミニウム、チタニウムタングステン、ニッケルクロム、あるいは金のような導電体で形成することができる。各々の電極４０が、本体２０のチャンバー２２に対応する位置および大きさに形成されポンピング・チャンバーが形成される。各々の電極４０は、前記ポンピング・チャンバーの寸法より長さと幅が僅かに小さく、電極４０の周囲とポンピング・チャンバーの辺および端部との間にギャップ４３が存在する細長い領域４２を有している。ポンピング・チャンバーを中心とするこれらの電極領域４２は、圧電素子３４の噴射領域を覆っている駆動電極である。圧電素子３４上の第２電極５２は、一般に本体２０の外側チャンバー２２の領域、従って、ポンピング・チャンバーの外側に対応している。電極５２は共通（接地）電極である。電極５２は櫛形（図示）または個別にアドレス可能な電極ストリップであってよい。前記薄膜電極および圧電素子電極が充分オーバーラップすることにより、良好な電気接触を維持すると共に、薄膜と圧電素子との位置合せを容易にしている。

前記圧電素子は、１つのモノリシック・チタンジルコン酸鉛（ＰＺＴ）部材であってよい。前記圧電素子は、印加電圧によって生じる変位によってポンピング・チャンバーからインクを噴射する。前記変位量はおおよそ材料の分極処理の関数となる。圧電素子は電界を加えることにより分極処理される。前記分極処理は、例えば、ここに引用することにより内容がそっくりそのまま本明細書に組み込まれたものとする特許文献３に記載されている。分極の程度は印加電界強度および印加時間に依存する。分極電圧が取り除かれると、圧電材料のドメインの向きが揃う。圧電素子の厚さは５〜３００μｍ、１０〜２５０μｍ、１５〜１５０μｍ、１００μｍ未満、あるいは５０μｍ未満とすることができる。

その後、例えば、噴射時に電界を加えることにより、印加電界強度に比例した形状変化を得ることができる。

例えば、インク・チャンバーを覆う部分を曲面にすることにより前記圧電素子を強化することができる。前記曲面は球形または円筒形のような実質的に一定の曲面とすることができる。図３において、圧電素子３４の領域１００が湾曲している。前記湾曲はインク・チャンバー１０２に対し凹形を成している。前記凹形湾曲により、噴射時に発生する座屈を軽減することができる。インク・チャンバー１０２の壁１０４は、９０°を超える角度で前記強化圧電素子３４に接触するように配することができる。前記チャンバーの幅は１２００μｍ未満、５０〜１０００μｍ、あるいは１００〜８００μｍとすることができる。電極４２および５２が圧電素子の表面１０６に配されている。前記電極間に噴射電圧を印加することにより、前記インク・チャンバー内のインクに噴射圧力が加わり、インクが出射オリフィスから噴射される。例えば、前記噴射電圧は６０ボルト未満とすることができる。

前記曲面は実質的に一定の曲率半径を有している。湾曲度または曲率半径によってモジュールの強度および噴射特性が変化する。曲率半径は、曲面を囲む円の半径である。前記曲面は５ｍｍ未満または３ｍｍ未満の曲率半径を有することができる。前記曲面は５００〜３０００μｍ、１０００〜２８００μｍ、あるいは１５００〜２６００μｍの曲率半径を有することができる。前記曲面の形状は円筒形の一部または球の一部とすることができる。

前記インクジェット・プリント・モジュールは、強化圧電素子を形成し、噴射電圧を印加したとき、インク・チャンバー内のインクに噴射圧力が加わるよう、前記圧電素子を前記インク・チャンバーの上部に配することによって作成することができる。前記強化圧電素子は、圧電材料の薄層を研磨して曲面を形成するか、または圧電素子の曲面特性を有する成形型に先駆体を射出成形することによって作成することができる。例えば、混合物を圧電材料粉末と有機バインダーとから調製することができる。この混合物を射出成形して未焼成シートを作成し、それを加熱することにより前記バインダーを除去することができる。前記未焼成シートは、厚さが１０〜５０μｍ、または２０〜４０μｍの薄膜とすることができる。前記粉末は、例えば、論理密度の少なくとも約９５％まで焼結することができる。圧電製品を射出成形する方法は、例えば、ここに引用することにより内容がそっくりそのまま本明細書に組み込まれたものとする特許文献４に記載されている。

前記湾曲形状により圧電素子が強化されると共に、印加電圧が低いときのインクの噴射が向上する。前記圧電素子を備えるモジュールと比較し、平坦な圧電素子を備える類似のインクジェット・プリント・モジュールは、同等の体積のインク滴を噴射するのにより高い印加電圧を必要とする。インク・チャンバーに対し凹面を成すことにより、噴射時、チャンバー内の陽圧が陰圧より高くなり、例えば、噴射時の圧力がチャンバー充填時の圧力の最大２倍に達することができる。インクジェット・プリント・モジュールを小さくすると、所定体積のインク滴を噴射するのに要する電圧は高くなる。ノズルが小さいとプリント・ヘッドを更にコンパクトにすることができる。また、強化圧電素子は、少なくとも１つの次元において、平坦な圧電素子より高い剛性を備えているためインクジェット・モジュールを小型化することができる。圧電素子を弛緩状態に湾曲させると、平坦な場合と比較して圧電素子の平均的なたわみを増大させることができる。更に、インク・チャンバーを細くすると、性能が向上した小型ノズルが得られる。

円筒形および特定の曲率半径を有する伸張モード構造体（図３）の有限要素解析モデルによって、平坦な圧電素子と比較し、強化圧電素子のポンピング性能が向上することが実証された。前記モデルにおいて、ＡＮＳＹＳマルチフィジックス・カップルド・フィールド解析（ＡＮＳＹＳ、バージョン５．７、ペンシルベニア州、カノンズバーグのＡＮＳＹＳ社）を使用し、パラメータとして、インク・チャンバーの直径０．１０２ｃｍ、インク・チャンバーの深さ０．１５２ｍｍ、厚さ方向に分極処理したチタンジルコン酸鉛（ＰＺＴ５Ａ、オハイオ州、ベッドフォード、Ｍｏｒｇａｎ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｃｅｒａｍｉｃｓ社）、ＫＯＶＡＲ（登録商標）（低膨張鉄、ニッケル、コバルト合金：カリフォルニア州、シルマーのＨｉｇｈ Ｔｅｍｐ Ｍｅｔａｌｓ社）から成るキャビティー・プレート、ランド圧電幅（チャンバー間の距離）０．２５４ｍｍ、インク濃度１０００ｋｇ/ｍ^３、パルス電圧５０ボルト、圧電素子の厚さ１ミル（２５．４μｍ）〜１０ミル（２５４μｍ）、および曲率半径３０ミル（７６２μｍ）、４０ミル（１．０１６ｍｍ）、５０ミル（１．２７ｍｍ）、１００ミル（２．５４ｍｍ）、または無限（平坦）を用いた。特定の厚さおよび曲率半径を有する強化圧電素子によってもたらされた圧力および変位を表１に示す。強化圧電素子によってもたらされた圧力および全容積を図４および５に示す。比較のため、噴射電圧１００ボルトにおける剪断モードの平坦圧電素子の比較例も示してある。

球形および特定の曲率半径を有し、全チャンバー容積が一定である図６の伸張モード構造体の有限要素解析モデルによっても、平坦な圧電素子と比較し、強化圧電素子のポンピング性能が向上することが実証された。前記モデルにおいて、ＡＮＳＹＳマルチフィジックス・カップルド・フィールド解析を使用し、パラメータとして、インク・チャンバーの直径０．１０２ｃｍ、厚さ方向に分極処理したチタンジルコン酸鉛（ＰＺＴ５Ａ）、「ＫＯＶＡＲ」から成るキャビティー・プレート、ランド圧電幅（チャンバー間の距離）０．２５４ｍｍ、インク濃度１０００ｋｇ/ｍ^３、パルス電圧５０ボルト、圧電素子の厚さ１ミル（２５．４μｍ）〜１０ミル（２５４μｍ）、および曲率半径２０ミル（５０８μｍ）、３０ミル（７６２μｍ）、４０ミル（１．０１６ｍｍ）、５０ミル（１．２７ｍｍ）、または無限（平坦）を用いた。ポンピング・チャンバーの容積は比較例の全容積と同じ３．１４×１０^−１０ｍ^３とした。チャンバーの直径が一定であり（０．１０２ｃｍ）、曲率半径が変化するためチャンバーの深さが変数となる。各々の曲率半径に対するチャンバーの深さは、Ｒ＝２０ミル（５０８μｍ）のとき２ミル（５０．８μｍ）、Ｒ＝３０ミル（７６２μｍ）のとき１１．３３ミル（２８７．７８２μｍ）、Ｒ＝４０ミル（１．０１６ｍｍ）のとき１２．５９ミル（３１９．７８６μｍ）、Ｒ＝５０ミル（１．２７ｍｍ）のとき１３．２２ミル（３３５．７８８μｍ）である。特定の厚さおよび曲率半径を有する強化圧電素子によってもたらされたチャンバー圧力および液滴体積を表２に示す。強化圧電素子によってもたらされたチャンバー圧力および液滴体積を図７および８に示す。比較のため、噴射電圧１００ボルトにおける剪断モードの平坦圧電素子の比較例も示してある。

球形および特定の曲率半径を有し、全容積が一定である図６の伸張モード構造体の別の有限要素解析モデルによって、平坦な圧電素子と比較し、強化圧電素子のポンピング性能が向上することが実証された。前記モデルにおいて、ＡＮＳＹＳマルチフィジックス・カップルド・フィールド解析を使用し、パラメータとして、インク・チャンバーの直径０．１０２ｃｍ、インク・チャンバーの深さ０．１５２ｍｍ、厚さ方向に分極処理したチタンジルコン酸鉛（ＰＺＴ５Ａ）、「ＫＯＶＡＲ」から成るキャビティー・プレート、ランド圧電幅（チャンバー間の距離）０．２５４ｍｍ、インク濃度１０００ｋｇ/ｍ^３、パルス電圧５０ボルト、圧電素子の厚さ１ミル（２５．４μｍ）〜８ミル（２０３．２μｍ）、および曲率半径２０ミル（５０８μｍ）、３０ミル（７６２μｍ）、４０ミル（１．０１６ｍｍ）、および５０ミル（１．２７ｍｍ）を用いた。チャンバーの直径が一定（０．１０２ｃｍ）であり、曲率半径が変化するためチャンバーの深さが変数となる。各々の曲率半径に対するチャンバーの深さは、Ｒ＝２０ミル（５０８μｍ）のとき２ミル（５０．８μｍ）、Ｒ＝３０ミル（７６２μｍ）のとき１１．３３ミル（２８７．７８２μｍ）、Ｒ＝４０ミル（１．０１６ｍｍ）のとき１２．５９ミル（３１９．７８６μｍ）、Ｒ＝５０ミル（１．２７ｍｍ）のとき１３．２２ミル（３３５．７８８μｍ）である。特定の厚さおよび曲率半径を有する強化圧電素子によってもたらされた液滴体積を図９に示す。

球形および特定の曲率半径を有し、全チャンバー容積が一定である図６の伸張モード構造体の更に別の有限要素解析モデルによっても、平坦な圧電素子と比較し、強化圧電素子のポンピング性能が向上することが実証された。前記モデルにおいて、ＡＮＳＹＳマルチフィジックス・カップルド・フィールド解析を使用し、パラメータとして、インク・チャンバーの直径０．１０２ｃｍ、インク・チャンバーの深さ０．１５２ｍｍ、厚さ方向に分極処理したチタンジルコン酸鉛（ＰＺＴ５Ａ）、「ＫＯＶＡＲ」から成るキャビティー・プレート、ランド圧電幅（チャンバー間の距離）０．２５４ｍｍ、インク濃度１０００ｋｇ/ｍ^３、パルス電圧１５ボルト、圧電素子の厚さ０．０４ミル（１μｍ）、０．１０ミル（２．５μｍ）、０．３０ミル（７．５μｍ）、０．５０ミル（１２．５μｍ）、または１０ミル（２５４μｍ）、および曲率半径３０ミル（７６２μｍ）、４０ミル（１．０１６ｍｍ）、５０ミル（１．２７ｍｍ）または無限（平坦）を用いた。チャンバーの直径が一定であり（０．１０２ｃｍ）、曲率半径が変化するためチャンバーの深さが変数となる。各々の曲率半径に対するチャンバーの深さは、Ｒ＝３０ミル（７６２μｍ）のとき１１．３３ミル（２８７．７８２μｍ）、Ｒ＝４０ミル（１．０１６ｍｍ）のとき１２．５９ミル（３１９．７８６μｍ）、Ｒ＝５０ミル（１．２７ｍｍ）のとき１３．２２ミル（３３５．７８８μｍ）である。特定の厚さおよび曲率半径を有する強化圧電素子によってもたらされた圧力および液滴体積を表３に示す。強化圧電素子によってもたらされたチャンバー圧力および液滴体積を図１０および１１に示す。比較のため、噴射電圧１００ボルトにおける剪断モードの平坦圧電素子の比較例も示してある。

幾つかの実施の形態について説明した。その他の実施の形態は、特許請求の範囲に記載の範囲に包含されるものである。

インクジェット・プリント・モジュールを示す概略図。 インクジェット・プリント・モジュールを示す概略図。 インクジェット・プリント・モジュールの一部を示す概略図。 圧電素子を示す概略図。 圧電素子の厚さおよび曲面を変化させたときのインク・チャンバー内に生じた圧力を示すグラフ。 圧電素子の厚さおよび曲面を変化させたときのインク・チャンバー内に生じた体積の変化を示すグラフ。 圧電素子を示す概略図。 圧電素子の厚さおよび曲面を変化させたときのインク・チャンバー内に生じた圧力を示すグラフ。 圧電素子の厚さおよび曲面を変化させたときのインク・チャンバーによってもたらされた液滴体積を示すグラフ。 圧電素子の厚さおよび曲面を変化させたときのインク・チャンバーによってもたらされた液滴体積を示すグラフ。 圧電素子の厚さおよび曲面を変化させたときのインク・チャンバー内に生じた圧力を示すグラフ。 圧電素子の厚さおよび曲面を変化させたときのインク・チャンバーによってもたらされた液滴体積を示すグラフ。

符号の説明

２ インクジェット・ヘッド
４ モジュール
１０ つば要素
１２ マニホールド・プレート
１４ オリフィス・プレート
２０ 本体
２２ チャンバー
２６ インク注入路
３１、３１’ 電気接点
３３、３３’ 集積回路
３４ 圧電素子
４０ 電極
４２ 電極領域
５２ 第２電極
１００ 圧電素子の領域
１０２ インク・チャンバー
１０４ 壁
１０６ 圧電素子の表面

Claims (36)

1. インクジェット・プリント・モジュールを製造する方法であって、
   成形型に先駆体を射出成形して強化圧電素子を形成するステップ、および
   噴射電圧を加えたとき、インク・チャンバー内のインクに噴射圧力が加わるよう前記圧電素子を該インク・チャンバーの上部に配するステップ
   の各ステップを有して成ることを特徴とする方法。
2. 前記強化圧電素子が、前記インク・チャンバーの上部において曲面を成していることを特徴とする請求項１記載の方法。
3. 前記曲面が前記インク・チャンバーに対し凹面を成していることを特徴とする請求項２記載の方法。
4. 前記曲面が実質的に一定の曲率半径を有していることを特徴とする請求項２記載の方法。
5. 前記圧電素子がチタンジルコン酸鉛を含んでいることを特徴とする請求項１記載の方法。
6. 前記噴射電圧が６０ボルト未満であることを特徴とする請求項１記載の方法。
7. 前記曲面の曲率半径が５ｍｍ未満であることを特徴とする請求項２記載の方法。
8. 前記曲面の曲率半径が３ｍｍ未満であることを特徴とする請求項２記載の方法。
9. 前記圧電素子の表面に第１および第２電極を配するステップを更に有して成ることを特徴とする請求項１記載の方法。
10. 前記圧電素子の厚さが５０μｍ未満であることを特徴とする請求項１記載の方法。
11. 前記チャンバーの壁が９０°を超える角度で前記強化圧電素子に接触するよう配するステップを更に有して成ることを特徴とする請求項１記載の方法。
12. インクをデポジットする方法であって、
    インク・チャンバーにインクを供給するステップ、および
    強化圧電素子の表面に配されている第１および第２電極間に噴射電圧を印加して、前記インク・チャンバー内のインクに噴射圧力を加えることにより該インク・チャンバーの出口オリフィスからインクをデポジットするステップ
    の各ステップを有して成ることを特徴とする方法。
13. 前記強化圧電素子が、前記インク・チャンバーの上部において曲面を成していることを特徴とする請求項１２記載の方法。
14. 前記曲面が前記インク・チャンバーに対し凹面を成していることを特徴とする請求項１３記載の方法。
15. 前記曲面が実質的に一定の曲率半径を有していることを特徴とする請求項１３記載の方法。
16. 前記圧電素子がチタンジルコン酸鉛を含んでいることを特徴とする請求項１３記載の方法。
17. 前記噴射電圧が６０ボルト未満であることを特徴とする請求項１３記載の方法。
18. 前記曲面の曲率半径が５ｍｍ未満であることを特徴とする請求項１４記載の方法。
19. インクジェット・プリント・モジュールであって、
    インク・チャンバー、
    前記インク・チャンバーの上部に配され、該チャンバー内のインクに噴射圧力を加える該インク・チャンバーに露出している領域を有している強化圧電素子、および
    前記圧電素子の表面に配され該圧電素子を駆動する電気接点
    を有して成ることを特徴とするモジュール。
20. 前記インク・チャンバーに露出している前記圧電素子の領域が曲面を成していることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
21. 前記曲面が前記インク・チャンバーに対し凹面を成していることを特徴とする請求項２０記載のモジュール。
22. 前記曲面が実質的に一定の曲率半径を有していることを特徴とする請求項２０記載のモジュール。
23. 前記圧電素子がチタンジルコン酸鉛を含んでいることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
24. 前記圧電素子の厚さが５〜３００μｍであることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
25. 前記圧電素子の厚さが１０〜２５０μｍであることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
26. 前記圧電素子の厚さが１００μｍ未満であることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
27. 前記チャンバーの幅が１２００μｍ未満であることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
28. 前記チャンバーの幅が５０〜１０００μｍであることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
29. 前記チャンバーの幅が１００〜８００μｍであることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
30. 前記曲面の曲率半径が５００〜３０００μｍであることを特徴とする請求項２０記載のモジュール。
31. 前記曲面の曲率半径が１０００〜２８００μｍであることを特徴とする請求項２０記載のモジュール。
32. 前記曲面の曲率半径が１５００〜２６００μｍであることを特徴とする請求項２０記載のモジュール。
33. 前記電極が６０ボルト未満の電圧を印加するよう構成されていることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
34. 一連のチャンバーを更に有して成ることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。
35. 前記チャンバーの各々が１つの圧電素子で覆われていることを特徴とする請求項３４記載のモジュール。
36. 前記インク・チャンバーが該チャンバーに露出している前記圧電素子に９０°を超える角度で接触する壁を有していることを特徴とする請求項１９記載のモジュール。

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