JP2005500674A - 基板の熱処理方法および熱処理装置 - Google Patents

Abstract

簡単で安価に高温計に基づいた温度測定を行い、正確な温度測定が低温でも可能であるようにするため、本発明は基板の熱処理装置および熱処理方法を提供する。この装置ないし方法では、基板が少なくとも１つの第１および第２のビームにより照射され、第１のビームの所定の波長が第１のビーム源と基板との間で吸収され、基板から発するビームが所定の波長においてビーム検知器により測定され、このビーム検知器は第２のビーム源と同じ側に配置されており、第２のビーム源から発する第２のビームを変調し、第２のビーム源から発する第２のビームを検出する。

Description

【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板、とりわけ半導体基板の熱処理方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータチップ並びに他の構成素子は半導体ディスク、いわゆるウェハ上に作製され、製造過程中に熱処理される。この熱処理は、所定の雰囲気、真空または所定の負圧または高圧下においてウェハの所定の温度経過を要求する。
【０００３】
ウェハを熱処理するために高速加熱装置、いわゆるＲＴＰ装置（Rapid Thermal Processing）が使用されるようになっている。この装置により、ウェハを高速かつ反復的に所定の処理条件下で熱処理することができる。ＲＴＰ装置により、処理すべきウェハの加熱がウェハ材料に依存して１７００℃まで数秒内で可能である。ウェハを３００℃／ｓまでの加熱速度で所定の温度・時間曲線に従って現在の装置により制御して加熱することは、直径３００ｍｍのシリコンウェハで可能である。５００℃／ｓまでの比較的高い加熱速度はオープンループモードで達成されるか、または比較的直径の小さいウェハで達成されている。ＲＴＰ装置はとりわけ誘電層（例えばシリコンウェハ上に酸化により作製されるＳｉＯ_２層、窒化シリコン層、酸化窒化シリコン層）の作製、誘電層のアニーリングプロセス、オーム接点の形成プロセス、フラッシュ・アニールプロセス（例えば扁平にドープされたゾーンの活性化のため）、ケイ素化プロセス（例えば、Ti-Silizid, Co-Silizid, Ni-Silizid）、ＢＰＳＧリフリロープロセス、またはウェハの表面領域での選択的反応プロセス、例えば金属層の下にあるゲート誘電体を選択的に酸化するプロセスに使用される。さらに現代のＲＴＰ装置によって、異原子、グリッド欠陥個所、酸素および酸素析出の空間的分布を所期のように制御することができる。ＲＴＰの重要な利点は、短い処理時間に基づきウェハを個別に処理できることであり、各ウェハは同じプロセスで非常に高い再現性を以て処理される。このことは有利にはウェハの熱的負荷を軽減する。さらにＲＴＰ装置は高速加熱と高速冷却が可能であるから、従来のオーブン処理では達成できない新たなウェハ特性ないし構成素子特性を形成することができる。
【０００４】
基板、例えばシリコンからなる半導体ウェハを毎秒数百度までの温度変化に曝すことができるようにするため、ウェハは急速加熱装置（例えばＤＥ−Ａ１９９０５５２４から公知）で例えばハロゲンランプのビームにより加熱される。公知の高速加熱装置はランプビームに対して実質的に透明なプロセス室（有利には石英ガラス製）を、基板の収容のために有する。プロセス室の上方および下方には加熱ランプが配置されており、このランプは基板を熱処理するための電磁ビームを形成する。加熱ランプとプロセス室とは別の室（反応室）により取り囲むことができる。この別の室は反射性の内壁を有することができ、これにより加熱ランプにより形成された電磁ビームを反射する。
【０００５】
石英ガラスからなるプロセス室は加熱ランプにより形成される電磁ビームのスペクトルに対して実質的に透明である。プロセス室はプロセスガスに対する入口と出口を有し、このプロセスガスによって適切なガス雰囲気が基板の熱処理中にプロセス室内で形成される。プロセス室が適切に構成されていれば、負圧または高圧も室内で形成される。
【０００６】
ウェハ温度を測定するために、有利には高温計のようなビーム検知器が設けられており、ウェハの熱ビームを測定する。測定されたウェハの熱ビームからウェハの温度が推定される。ウェハから放射されたビームを、ウェハで反射されたビーム並びにウェハを通過したビームと区別するために、加熱ランプのビームが変調される。この変調により基板から放射されたビームを、基板で反射された加熱ランプのビームおよび基板を通過した加熱ランプのビームから区別することができる。さらに変調に基づいてウェハの反射率、透過率、およびそこから放射率を検出することができる。このことは、ウェハから発するビームに基づくウェハの温度検出に対して必要なことである。変調および温度検出方法の詳細はすでに述べたＤＥ−Ａ１９９０５５２４またはＵＳ−Ａ５１５４５１２に記載されている。
【０００７】
しかし高温計ベースの温度測定には、プロセス室ないし反応室に強いビーム野が存在しており、このビーム野がウェハから放射されたビームを、加熱ランプから放射されたバックグランドビームと区別するのを困難にするという問題がある。ウェハから放射され、ビーム検知器により測定すべき温度ビームに加熱ランプのバックグランドビームが重畳されることがある。これにより非常に不利な信号（ウェハから放射されたビーム）対バックグランド（加熱ランプから放射されたバックグランドビーム）比が生じる。この問題はとりわけウェハ温度が低い場合に生じる。なぜならウェハから放射されるビームは温度の低下と共に急速に減少するからである。従ってウェハ温度が低い場合には、信号対バックグランド比も低下する。約４００℃から５００℃以下ではウェハは非常に僅かなビームしか放射せず、さらにそれより下ではシリコンウェハの場合、加熱ビームに対して透過性となる。そのため信号対バックグランド比がさらに悪化する。従って４００℃以下の温度に対して通常は従来の形式で、ポリメータによりウェハ温度を検出することは不可能である。
【０００８】
ＲＴＰ装置でのポリメータベースの温度測定の際に、信号対バックグランド比を改善するために、ＤＥ−Ａ４０１２６１４では、プロセス室をＯＨ含有石英ガラスから製作することが提案されている。このような石英ガラスは２．７μｍから２．８μｍの間の波長領域にある赤外線光を吸収するという特性を有する。これによりプロセス室に存在するウェハは、２．７μｍと２．８μｍとの間のスペクトルに空隙を有するビームによって加熱される。石英室には覗き窓が設けられており、この覗き窓は前記の波長領域で透明であり、この覗き窓を通してポリメータがウェハに向けられている。ポリメータはウェハから発した波長２．７μｍの赤外線ビームを測定する。加熱ランプから発したビームのうち、２．７μｍの波長領域はプロセス室に入り込むことができないから、ポリメータはウェハから放射された温度ビームだけを測定する。この方法により、ウェハのビーム強度、従ってビーム温度が非常に良好に検出される。ウェハの放射率が１から大きく異なると、このことは通常は、ウェハ温度の検出のために放射率補正が必要であり、ないしは絶対ウェハ温度を基準にした較正を行わなければならないことを意味する。
【０００９】
前記の方法で、ウェハの温度ビームは非常に良好に検出される。しかし実際にはウェハの温度検出のために、波長２．７μｍでのその反射率と透過率が既知でなければならない。このことは較正方法の面倒さを低下させる。
【００１０】
ＤＥ−Ａ１９９０５５２４から公知の、反射率、透過率、およびそこから得られる放射率を検出する方法は特徴的な変調を用いて、ウェハにより反射およびこれを透過したビームを測定する。しかしこの方法は４００℃から５００℃以下の温度では非常に高い装置コストを用いなければ実現できない。なぜならこの温度では信号対バックグランド比が非常に小さいからである。
【００１１】
従って本発明の課題は、高温計を基礎とする基板の温度測定を簡単で安価に構成し、正確な温度測定が、温度が低い場合でも可能にすることである。
【００１２】
本発明によればこの課題は、少なくとも１つの第１のビーム源と少なくとも１つの第２のビーム源を少なくとも１つの基板を加熱するために有し、少なくとも１つの透明シールドを第１のビーム源と基板との間に有し、該透明シールドは少なくとも第１のビーム源のビームの所定の波長領域を低減し、第２のビーム源の側に配置され、基板に向けられた少なくとも１つのビーム検知器を有し、該ビーム検知器はビームを少なくとも所定の波長領域内で部分的に測定し、第２のビーム源から発したビームを変調する装置を有し、さらに第２のビーム源から発したビームを検出する装置を有する、基板、とりわけ半導体ウェハの熱処理装置により解決される。本発明は、第１のビーム源から発した所定の波長領域をフィルタリングするものであり、この所定の波長領域はウェハに向けられたビーム検出器の測定領域内にある。このことにより基板ビームの、ランプのバックグランドビームに対する信号対バックグランド比が格段に改善される。さらにフィルタリングされない、ビーム検知器の側にあるランプが変調され、このランプから発するビームが検出される。このときウェハの反射率が検出され、このことにより（測定波長ないし測定波長領域にあるウェハの透過率を無視することができれば）高温計の測定波長領域にあるウェハの放射率を推定することができる。放射率およびウェハから放射されるビームに基づいて、ウェハの温度が検出される。温度検出に対して重要なことは、半球反射率と放射率が検出されることである。このことは適切に選択された高温計の視野によって達成される。通常の半導体ウェハに対して高温計の開口角は１つの面で少なくとも１５゜から１８０゜の間である。しかし視野はこれより大きく選択することもできる。このことは例えば適切な光学系によって実現できる。少なくとも１つの視野面内の視野が大きければ大きいほど、測定は正確に半球の大きさに相当する。すなわち放射および／または反射による２πの空間各内で放射されるビーム絶対量に相当する。このことにより例えばウェハ表面の粗度またはプロセス室内での高温計に対するウェハの不正確な位置などのノイズの影響が最小化され、除去される。Ｓｉウェハに対しては約３０゜の開口角が適する。この開口角はとりわけ表面粗度に依存する。
【００１３】
第１のビーム源を透明シールドによってフィルタリングするという本発明の解決手段により、ウェハの加熱が主に第１のビーム源を介して行われる場合、このウェハの加熱とウェハから放射されるビームの測定とが、第２のビーム源の側に配置されたビーム検知器によって十分に分離され、信号対バックグランド比が相応に改善される。その結果、ウェハが僅かしか放射しない低温でも、例えば３００℃から４００℃の領域でも確実に測定することができる。
【００１４】
本発明の有利な実施形態によれば、２つのビーム源は基板の反対側に配置されており、フィルタリングされたビームとフィルタリングされないビームとを分離することができる。ここではとりわけ第２のビーム源が基板の一方の側にだけ配置されており、この側にビーム検知器が向けられている。これにより高温計（ビーム検知器）では実質的にウェハから放射され、ウェハで反射されたビームだけが測定される。
【００１５】
本発明の別の有利な実施形態によれば第１のビーム源を制御するための装置が設けられており、第１のビーム源はウェハの高温計による温度検出に依存して制御される。これによりウェハの所定の温度経過が達成される。さらに有利には第２のビーム源を制御するための装置が設けられており、これにより第２のビーム源を一定に駆動することも、または場合により所定の使用点（目標点または予め定義された曲線）に従って制御することもできる。これにより有利には、フィルタリングされた第１のビーム源だけがウェハの温度制御に使用される。これにより高温計の測定波長領域にある、反射されたランプビームの強度の急速な変化が阻止される。このことは温度検出を容易にする。なぜなら温度測定システムのダイナミクスに対してとりわけ放射性検出の観点では僅かな要求しか課せられないからである。
【００１６】
有利にはビーム源は加熱ランプ、とりわけハロゲンランプまたはアークランプである。しかしビーム源はフラッシュランプおよび/またはレーザを有することもできる。本発明の択一的な実施例によれば、ランプビームまたはビーム源のビームの所定波長を吸収する透明シールドは、加熱ランプのバルブまたはビーム源のケーシングにより形成される。このことにより簡単かつコスト的に有利に、所望のフィルタ特性を達成することができる。とりわけ既存のランプベースのＲＴＰ装置において加熱ランプを交換するだけで後装備することができる。
【００１７】
本発明の択一的に実施例では、透明シールドを第１のビーム源と基板との間にあるプロセス室壁とし、このプロセス室壁が所定の波長領域を吸収する。吸収性のプロセス室壁は、基板の高温計とは反対の側に配置される。これにより基板のビーム検知器とは反対の側には所定波長領域のビームが入射しないことが保証される。
【００１８】
有利には透明シールドは所定の波長を吸収するためのフィルタ層を有する。このフィルタ層は実施形態によれば、別の透明材料、例えば石英ガラス製のプロセス室壁とは別に空間的に別にすることができる。有利には透明シールドはＯＨの濃縮された石英ガラス製の透明シールドを有する。この透明シールドは有利には２．７μｍから２．８μｍの波長を吸収する。所定の波長を吸収する透明シールドの過熱を回避するために、これを冷却するための装置が設けられている。有利には冷却装置は冷却ガラスまたは冷却液を有する。
【００１９】
本発明の有利な実施形態では、透明シールドが流体の満たされた、または流体が通流する装置を有する。この装置ではシールド作用またはフィルタリング作用が実質的に流体により生じるか、または流体が付加的にシールド作用またはフィルタリング作用を達成する。しかしこの流体は純粋にシールドの冷却にも用いることができる。この流体はガスまたは液体とすることができ、液体の場合この流体は純粋な液体、または液体の混合物、または溶液とすることができる。有利にはこの場合、シールドは透明な二重壁のプレートにより形成される。このプレートは石英および／またはＯＨの濃縮された石英からなることができ、液体が通流する。液体を介して付加的にシールドの温度を制御または調整することができ、これによりシールドはできるだけ低温に維持される。これによりシールドの固有放射が最小となる。流体として混合しない液体からなる液体混合物を選択し、例えばオイル中に水のエマルションを可溶性限界までオイルの所定温度で溶解すれば、付加的にシールドの透明性を、温度を介して制御することができる。これは所定の温度を下回ると溶解性限界のため水が滴状ないしは霧状になり、液体混合物が白濁するからである。このことはウェハを急速に冷却すべき場合に有利である。このようなシールドによってシールドの温度の他に付加的にシールドの透明度も数μｍの広い波長領域に分って制御することができる。
【００２０】
本発明の有利な実施形態によれば、ビーム検知器は高温計である。基板は有利には被覆された半導体ウェハであり、とりわけＣＯ被覆および／またはＴｉ被覆および／またはＮｉ被覆が施されている。放射率を別個に検出することを不要にするため、ウェハは有利には小さな透過率を有する。有利には基板の透過率は０．１５以下である。
【００２１】
本発明の択一的実施例では、基板に向けられた第２のビーム検知器が設けられており、このビーム検知器は有利には透過率測定が可能であるように配置されている。これにより基板の透過率をさらに精確に検出することができる。本発明の実施形態では、第２のビーム検知器は所定の波長の外にあるビームを測定し、これによりビーム源の吸収されない、変調されたビームを測定することができる。このとき第２のビーム検知器は有利には所定の波長より下および上のビームを測定し、補間により、有利には線形補間により、所定の吸収される波長領域での基板の透過率を検出することができる。
【００２２】
本発明の択一的に実施形態では、加熱ランプのバルブがフィルタ機能を有する場合に、第２のビーム検知器が基板の第２のビーム源とは反対の側に向けられ、所定の波長のビームを測定する。これにより第２の加熱ランプから発し、ウェハを通過するビームを直接、透過率検出のために使用することができる。
【００２３】
上記の実施例で、基板（一般的には複数の基板とすることができ、これらは有利には相互に積層されるか、または実質的に１つの平面に加熱のために並置され、プロセス室に配置される）は低温の場合、実質的に第１のビーム源により加熱される。第２のビーム源はここでは実質的に基板の光学的特性、例えば放射率、反射率および場合により透過率を検出するために用いられる。第２のビーム源がウェハの加熱に寄与する割合は温度が低い場合、５０％以下であり、これにより上記のようにビーム検知器を有する測定装置の信号対バックグランド比の改善が達成される。有利には温度が低い場合、第２のビーム源の寄与率は、第１のビーム源のビーム出力の２５％以下である。温度が低いとは、基板自体がほとんど固有ビームを放射しないか、または加熱ビームに対して部分的に透明であると理解されたい。純粋なシリコンウェハに対しては６００℃以下の温度を低温であると称される。なぜならこの温度以下では、基板は加熱ビーム（これがハロゲンランプにより形成される場合）に対して透明であり、ウェハ固有ビームは温度と共に放射率が非常に低下しているので大きく減少しているからである。６００℃以上の温度では、シリコンは不透明となり、放射率はハロゲンランプの波長スペクトルにほぼわたって約０．７の一定の値に達する。このことによりウェハから放射されるビームは実質的に温度によって検出される。
【００２４】
本発明により、ウェハ温度に依存しないで第１のビーム源と第２のビーム源とのビーム比を制御または調整することができる。これにより測定装置に対する所定の信号対バックグランド比を下回ることがなくなり、シリコンウェハに対しては約２５０℃から６００℃の温度領域全体にわたってウェハの最大加熱速度での確実な温度測定が可能になる。このとき第２のビーム源が全体ビームに占めるビーム寄与率はウェハ温度に依存して、ウェハが約２００℃の場合の約１％から約６００℃の場合の５０％までである。さらにこのような制御または調整により、第２のビーム源の寄与率が５０％を上回ることもでき、ウェハはもっぱら第２のビーム源により加熱される。このことはとりわけ６００℃以上の温度で、ウェハが構造化されている場合に有利である。これにより構造化されたウェハを例えばウェハの裏面から急速に加熱することができる。これにより３００℃／ｓの加熱速度であってもウェハに存在する構造体が破壊されない。
【００２５】
第１のビーム源と第２のビーム源がそれぞれ基板の異なる側に配置されていれば、有利には基板をその温度と光学的特性に依存して両側で加熱することができる。その結果、基板温度を検出するための測定装置の所定の信号対バックグランド比を下回ることがない。これにより温度が低くても、基板を最大加熱速度で確実に加熱することが保証される。このときさらに加熱速度を、許容信号対バックグランド比に基づいて制御することもできる。このようにしてとりわけ低温領域でも測定装置はビーム検知器を用いて、基板の高い加熱速度でも確実に動作し、基板は温度の上昇と共に両側で加熱される。本発明の前記利点および手段はとりわけ基板を加熱するための第２のビーム源の変調によって達成される。さらに第１のビーム源を変調するための第２の装置を設けることもできる。これはとりわけ上記のように透過率を付加的に検出すべき場合に有利である。上記の透過率測定に対して択一的にまたは付加的に第１のビーム源を、第２のビーム源に対して異なる変調形式、変調周波数または変調位相で変調することができる。この第２のビーム源の異なる変調は別のビーム検知器によって、基板が少なくとも部分的に透明であるとき、第１のビーム源に対向する基板の側で測定される。第１のビーム源の変調が既知であれば、基板の透過率を検出することができる。第１のビーム源の変調は第２のビーム源と同様にして検出することができる。すなわちビーム源から放射されたビームの測定を介して直接的に、またはビーム源の電流または電圧のような電気的パラメータを介して行うことができる。後者の場合、これらのパラメータを放射されたビームと関連付けるビーム源のモデルが使用される。
【００２６】
本発明の課題はまた、以下の方法ステップを有する基板、とりわけ半導体基板の熱処理方法により解決される：すなわちこの熱処理方法では、基板を少なくとも１つの第１のビームと少なくとも１つの第２のビームにより照射して、基板を加熱し、第１のビームの所定の波長を第１のビーム源と基板との間で吸収し、基板から発するビームを所定の波長においてビーム検知器により測定し、このビーム検知器は第２のビーム源と同じ側に配置されており、第２のビーム源から発する第２のビームを変調し、第２のビーム源から発する第２のビームを検出する。この方法によって、すでに装置に関連して説明した利点が得られる。すなわち信号対バックグランド比が第１のビームの所定波長の吸収によって改善され、ウェハの放射率を第２のビームの変調により検出できるのである。
【００２７】
本発明を以下に有利な実施例に基づき図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施例による高速加熱装置の概略的断面図である。
図２は、本発明の第２実施例による高速加熱装置の概略的断面図である。
図３は、所定のウェハに対する透過率と反射率の関係を示す線図である。
図４は、コバルトの被覆されたウェハを熱的に処理する際の温度曲線を示す。
図５は、本発明の実施例による透過率測定のための測定領域に対する線図である。
【００２８】
図１は、本発明の第１実施例による、半導体ウェハを高速加熱するための高速加熱装置１の断面図である。半導体ウェハ３を収容するプロセス室２が上部の透明プレートと下部の透明プレート５，有利には石英プレートにより形成される。プロセス室２では処理すべきウェハ３が保持装置６に載置されている。プロセスガスに対する入口と出口は図示されていないが、これらにより処理に適したガス雰囲気を形成することができる。
【００２９】
プロセス室２の上方および／または下方にはランプバンク７と８の形態の加熱装置が設けられている。プレート４と５はウェハ３とランプバンク７，８の間にあり、閉鎖されたプロセス室の形成するため透明シールドの作用を有する。装置全体は外部のオーブン室９により取り囲まれており、オーブン室はプロセス室２の側壁も形成し、その壁は少なくとも部分的に反射性とすることができる。ランプバンク７と８はそれぞれ平行に配置された複数のロッド状のタングステンハロゲンランプ１０と１１を有する。しかし択一的に他のランプ、例えば「点光源ランプ」を使用することもできる。「点光源ランプ」とはそのフィラメント長がランプバルブの直径よりも小さいランプであると理解されたい。このようなランプは高速化熱装置内で実質的に垂直および／または水平のフィラメントにより駆動することができる。さらにランプ（ロッドランプおよび／または点光源ランプ）は少なくとも部分的に反射器により取り囲むことができる。もちろんランプ（ロッドランプおよび／または点光源ランプ）はフィラメント長を基準にして半導体ウェハ３に対して相対的に任意の角度で配置することができる。ランプから放射された電磁ビームによってウェハ３は加熱される。図１の実施例では、上部ランプバンク７の加熱ランプ１０のランプバルブは、ランプビームの所定の波長を吸収するランプバルブを有する。本発明のこの有利な実施例でランプバルブはＯＨ濃縮型石英ガラスから作製され、２．７μｍから２．８μｍの間の領域の波長を吸収する。これによって上部ランプバンクから発するビームは２．７μｍから２．８μｍの間のスペクトル領域に空隙を有する。下部ランプバンク８のランプ１１のランプバルブはランプの電磁ビームの全スペクトルに対して実質的に透過性であり、全スペクトルはプロセス室２のウェハ３に入射する。フィルタ作用を有する別のガラスを選択することもできる。これは例えばＰｙｒｅｘ^Ｒであり、２．９５μｍの領域にフィルタ作用を有する。
【００３０】
下部ランプバンクのランプ１１のビームは詳細に図示しない変調ユニットにより特徴的パラメータで変調される。これは例えばＤＥ−Ａ１９９０５５２４からすでに公知である。
【００３１】
ウェハ温度を測定するために高温計１３が温度測定装置として設けられている。高温計は下部ランプバンクの側に配置されており、下部ランプバンク８に向いたウェハの側に向けられている。高温計１３の測定領域は上部ランプバンクのビームの空隙にある波長領域である。例えば高温計１３は２．７μｍの波長のビームを測定する。従って高温計１３は実質的にウェハ３から放射されたビーム、または下部ランプバンク８のフィルタリングされない第２のランプから発して、ウェハで反射されるビームだけを測定する。第２のランプ１１のビームは変調を有しており、ウェハから放射されたビームはこの変調を有していないから、反射されたランプビームから区別することができる。ウェハビームの他には、下部ランプバンク８のランプ１１のフィルタリングされないビームだけが高温計の測定領域に入る。従って公知のシステムに対して改善された信号対バックグランド比が得られる。公知のシステムでは、上部ランプバンクのビームも高温計の測定領域に入る波長のビームも高温計に達する。これはとりわけ下部ランプバンクが上部ランプバンクよりも弱く制御されており、そのため上部ランプバンクが実質的にウェハの加熱に用いられ、下部ランプバンクはウェハの現場反射率測定に用いられる場合に当てはまる。
【００３２】
ウェアに向けられた高温計１３の他に、いわゆるランプ高温計を設けることができる。ランプ高温計は下部ランプバンク８のフィルタリングされず、かつ変調された少なくとも１つのランプ１１に向けられており、そのビーム強度を検出する。ランプ１１の検出されたビーム強度並びに高温計１３で測定された、第２のランプ１１から発し、ウェハ３で反射されるビームの強度に基づき（これは変調に基づきウェハのビームから区別できる）、ウェハの反射率が検出される。反射率からさらにウェハの放射率を推定することができる。放射率はウェハの温度検出に対して必要である。なぜなら、測定されたウェハビームだけで、放射率が未知であればウェハの温度を推定することができないからである。
【００３３】
放射率を検出するためのさらなるファクタは透過率である。すなわちウェハの測定される波長領域における透過性である。半導体ウェハの場合（例えば金属層を有する、強くドープされたウェハ）、元々非常に小さな透過率を有しており、透過率を別個に検出する必要はない。なぜならこの透過率はほとんど無視できるからである。場合により放射率検出（放射率＝１−透過率−反射率）に対する定数が使用される。従って十分に正確な放射率検出が反射率の検出だけで可能である。
【００３４】
択一的にウェハの透過率を測定することもできる。このために図示しない第２の高温計が設けられており、この第２の高温計は下部ランプバンクとは反対のウェハ側に向けられており、同様に２．７μｍの領域のビームを測定する。上部ランプバンクはランプバルブのフィルタリング作用に基づいてこの波長領域ではビームを放射しないから、本来のウェハビームの他には、下部ランプバンクのランプ１１のフィルタリングされないビームだけが高温計に入射する。このビームはウェハを通過したビームである。このビームも変調を有し、これによりウェハビームとの区別が可能である。下部ランプバンクのフィルタリングされないランプ１１のビーム強度は既知であるから、ウェハの透過率が検出される。
【００３５】
もちろん下部ランプバンク８のフィルタリングされないランプ１１から発するビームの僅かな部分はオーブン室の反射性壁とウェハの表面での多重反射によって高温計に入射することがある。しかしこのビームは無視することができ、システムの最初の較正の際に考慮することができる。
【００３６】
反射率と透過率との知識に従って、ウェハ３の放射率が正確に検出される。高温計１３によって検出されるか、または図示しない上部高温計により検出されるウェハから放射されたビームに基づいて、ウェハの温度を非常に正確に検出することができる。このことはとりわけ、ウェハ３の固有ビームが僅かであるウェハ温度が低い場合（シリコンウェハに対しては４５０℃以下の温度）に対して当てはまる。この場合、ウェハビームとランプビームとの間の信号対バックグランド比が改善されている。
【００３７】
既知の温度に基づいて、次に加熱装置を制御することができる。図示の本発明の有利な実施例では、制御のためにもっぱら上部ランプバンク７のフィルタリングされたランプ１０と、下部ランプバンク８の場合によりフィルタリングされたランプが使用される。下部ランプバンク８のフィルタリングされないランプ１１は一定に駆動されるか、または所定のセット時点に制御される。これによりウェハの反射率および場合により透過率の測定に使用されるランプビームの強度変化が阻止される。従って反射率測定ないし透過率測定に対しては常に、既知の実質的に一定のランプビームが使用される。このことによりウェハに対する温度検出の改善が達成される。
【００３８】
図２には本発明の択一的実施例による高速加熱装置が示されている。この装置は外部室２０を有し、この外部室は任意の幾何的断面を有する金属室またはスチール室とすることができる。矩形または円形の室も可能である。有利には室内部壁は高反射性の層により部分的にまたは完全に鏡面化されている。室壁は小さな開口部２１を有し、この開口部により測定すべきビームが室内から出射することができる。この開口部を通って測定すべきビームはその後方に存在し、図示しないビーム測定装置、有利には高温計に直接達するか、または光ファイバのような案内装置を介して高温計に達する。
【００３９】
室カバー並びに室底部にはそれぞれ上部ランプバンク２７と下部ランプバンク２８の形式の加熱装置が設けられている。有利にはランプバンク２７，２８はランプ２９ないし３０を有する。これらのランプは可視光線を照射することもできる。とりわけランプバンクはそれぞれ複数のタングステンハロゲンランプ２９ないし３０を加熱ランプとして有する。第１の実施例と異なる点は、ランプ２９，３０のすべてのランプバルブがランプのすべてのビームスペクトルに対して実質的に透明な材料からなることである。ここではロッド状のランプを任意に配置された点状のランプとすることもできる。下部ランプバンク２８をロッド状ランプとし、上部ランプバンク２７を点状ランプとすることも、その反対も可能である。ランプバンク２７，２８内で両方のランプ形式を使用することも可能である。２つのランプバンク２７，２８がロッド状ランプからなる場合、上部ランプバンク２７のロッドランプを下部ランプバンク２８のロッドランプに平行に配置する構成、または上部ランプバンク２７のロッドランプを下部ランプバンクのロッドランプに対して有利には直角に交差させる構成も可能である。
【００４０】
ランプバンク２７と２８の間には処理すべき基板３３が配置されている。この基板は例えばディスク状の半導体ウェハであり、有利にはシリコンからなる。ウェハ３３は被覆されていなくても、被覆されていても、および／またはイオン打ち込みされていても良い。有利には被覆されたウェハが使用される。ここでウェハはＣｏ層またはＴｉ層またはそれらの化合物による被覆が有利である。なぜならそれらの透過係数は（透過率）は３５０℃の温度で０．１５より小さいからである。ディスク状のウェハ３３はその上側３５と下側３６がランプバンク２７と２８に対して平行であるように配置されている。
【００４１】
上側ランプバンク２７とウェハ３３の上側３５との間にはプレート状の透明シールド３８が配置されている。同じように基板３３の下側３６と下部ランプバンク２８との間には透明シールド３９が設けられている。シールド３８と３９は室２０の全体に張られており、これにより室２０の内部容積は３つに分割されている。とりわけシールド３８と３９によりプロセス室４２が室２０の内部で形成され、このプロセス室には基板３３が存在する。プロセス室４２の内部では、所望のプロセスに適したプロセス雰囲気（一部は侵襲性のガス）が高圧下または負圧下で形成され、ランプバンク２７と２８のランプ２９，３０または室２０の反射性内壁が損傷を受けたり、汚染されたりすることはない。このために相応のガス入口およびガス出口が設けられているが、図２には図示されてない。
【００４２】
上部シールド３８は、上部ランプバンク２７から放射される加熱ビームの所定の波長または所定の波長領域を吸収するように構成されている。これにより基板３３の上側は少なくとも空隙のある波長スペクトル領域を有する加熱ビームにより加熱される。このような吸収作用は、シールド３８に１つまたは複数の被覆を施した相応のフィルタによって、または１つまたは複数のフィルタシートによって達成される。フィルタシートは透明な基本材料、すなわち透明プレートに取り付けられる。有利な透明な基本材料として石英ガラスが用いられる。
【００４３】
フィルタシートを使用する場合、このシートを必ずしも透明基本プレートに取り付ける必要はなく、また直接これと接している必要もない。むしろフィルタシートは空間的に透明基本プレートから分離することができ、透明基本プレートよりも上部ランプバンク２７に接近することができる。このようなフィルタシートと透明基本プレートとが空間的に分離された構成も以下、シールド３８と称する。
【００４４】
このような被覆およびシートによって、所定の波長領域を加熱ビームのスペクトルから除去することができる。これは１つまたは複数の波長インターバルおよび／または離散的な個々の波長とすることができる。
【００４５】
図２に示された有利な実施例では、プレート状の透明シールド３８がＯＨ濃縮型石英ガラスから作製される。この石英ガラスは、２．７μｍから２．８μｍの間の波長領域の赤外線光を吸収する特性を有する。これにより加熱ビームの波長スペクトルにこのインターバルで空隙が発生する。石英プレートを被覆したり、フィルタシートを保持する場合に発生する問題点はＯＨ濃縮型石英ガラスを使用することにより回避される。
【００４６】
加熱ビームの一部の吸収によりシールド３８が加熱されるから、これの冷却が必要なこともある。なぜなら加熱されたシールド３８自体が熱的ビームを放射し、これが基板３３の所望の温度経過を損なうことがあるからである。
【００４７】
シールド３８、並びに場合によりシールド３９を冷却するために、冷却ガスを設けることができ、冷却ガスはプロセス室４２の外でシールドを介して通流する。しかし冷却ガスを相応の冷却管路を通して通流させることもできる。この冷却管路はシールド３８，３９の内側に存在する。このような場合、冷却液、例えばオイルを使用することも可能である。シールド３８が、１つまたは複数の空間的に分離されたフィルタシートを有する透明な基本プレートであれば、冷却媒体をシートと透明基本プレートとの間で通流させることもできる。
【００４８】
ランプバンク２７により形成された加熱ビームから所定の波長の一部がシールド３８により除去されるのに対して、下部シールド３９はこの波長に対して透明である。有利にはこのプレートは通常の石英ガラスからなる。
【００４９】
装置の駆動時にはまず上部ランプバンク２７から加熱ビームが放射され、この加熱ビームによりウェハ３３は所定の温度まで加熱される。この加熱ビームは種々異なる波長のスペクトルからなる。図２にはこの加熱ビームの２つの異なる波長に対して量的に２つのビームが示されている。すなわちビーム４４は波長２．７μｍの光ビームであり、ビーム４５は波長２．３μｍの光ビームである。
【００５０】
波長２．７μｍの光はＯＨ濃縮型石英ガラスからなるシールド３により吸収される。すなわちビーム４４はシールド３８を通過することはできず、これにより吸収される。ビーム４５の波長はこれに対してシールド３８の吸収領域外にあり、これを通過する。図面によればこのビームは下部シールド３８も通過し、外部室２０の反射性内壁で反射され、シールド３９を複数回通過して、ウェハ３３に当たる。ウェハ３３自体も高反射性であるから、ウェハ３３ではビーム４５の一部だけが吸収され、残りは反射される。これはなぜ加熱ビームが強力でなければならないかという理由の１つである。図面から分るように、反射は多重回繰り返されるが、そのたびにビームの一部がウェハにより吸収される。最終的にビーム４５は室２０の開口部２１に当たり、ビーム検知器に達する。
【００５１】
下部ランプ２８のランプ３０は、これが上部ランプバンク２７のランプ２９よりも弱く照射するように制御される。さらにランプ３０のビームは弱く変調される。ランプバンク２８のビームスペクトルは有利にはランプバンク２７と同じビームスペクトルである。シールド３９により、ランプバンク２８の変調されたビームは阻止されずに通過する。ここにも波長２．７μｍのビーム４９と波長２．３μｍのビーム４８が図示されている。２つのビームはシールド３９を阻止されずに通過し、基板３３により部分的に反射され、通常はウェハと室壁との間で複数回反射して外部室２０の開口部２１に当たる。
【００５２】
加熱されたウェハ３３からも同様にビームが放射される。図２にはウェハビームが破線により示されている。ここでビーム５１は波長２．７μｍのビームであり、ビーム５２は波長２．３μｍのビームである。
【００５３】
図２には、高温計の２．３μｍと２．７μｍでの測定に対する相応の信号対バックグランド比が示されている。予想どおり、波長２．７μｍのビームに対する信号対バックグランド比は、波長２．３μｍのビームに対する信号対バックグランド比よりも格段に改善されている。なぜなら後者では大部分が上部ランプバンクの加熱ビームから生じ、ウェハから放射されたビームはこの波長では隠されてしまうからである。
【００５４】
従ってウェハの温度検出のためには、波長２．７μｍのビームを測定する高温計が使用される。この波長では、良好な信号対バックグランド比がウェハビームとウェハで反射されたビームとの間で得られる。なぜならもっぱら下部ランプバンクからのビームはこの波長を以て高温計に当たるからである。下部ランプバンクのランプビームは変調されているから、ウェハビームは上記のように容易にウェハで反射されたビームから分離することができる。下部ランプバンクのランプのビーム強度は、上に記載したように高温計によって、または例えばランプにより消費される電力の測定によって検出される。従って再び上記のようにウェハの反射率およびそこからウェハの放射率を検出することができる。そして次に放射率とウェハビームに基づいてウェハの温度を検出することができる。
【００５５】
本発明を、Ｃｏ層またはＴｉ層の設けられたウェハの作製および処理の際に使用すると特に有利であることが判明した。ＣｏＳｉ_２は良好な導電体であるから、シリコンウェハをＣｏにより被覆して加熱し、ＣｏＳｉ_２からなる電気接点を作製する。ＣｏＳｉ_２の形成は４００℃から５００℃の間の温度領域で行われる。すなわちウェハの温度を所定のように案内するにはその温度を４００℃以下で制御することが必要である。
【００５６】
本発明によりコバルトの固有特性が使用される。この固有特性には表面の高い反射率が属する。図３から分るように、コバルトにより被覆されたウェハは小さく、実質的に一定の透過率を有する。この透過率は特別の検出を必要としない。図３にはウェハの透過率が反射率の上にプロットされている。付加的に点線として一定の放射率が線図にプロットされている。これらは左から右へ減少する。なぜなら透過率、反射率および放射率は各時点で加算されて１になるからである。この線図には透過率値が種々異なるウェハに対する種々の反射率の場合でプロットされている。これらは、被覆されていないシリコンウェハないし較正ウェハに対するもの、被覆されたウェハに対するもの、コバルトにより被覆されたウェハに対するものである。被覆されないウェハの透過率値は通常は０．１５より大きく、被覆されたウェハおよびコバルトにより被覆されたウェハは０．１５より小さい。従ってコバルトにより被覆されたウェハは上記の本発明の温度制御に特に適する。なぜなら透過率の特別の検出が不要だからである。
【００５７】
一般的にウェハは金属により被覆することができる。
【００５８】
図４には、コバルトにより被覆されたウェハの温度経過が任意の時間単位で示されている。このウェハは図２の高速加熱装置で熱処理されたものである。温度は４５０℃まで上昇し、所定の時間この値に維持され、続いて再び下降する。温度経過は、このウェハに直接接触する温度センサ（曲線Ａ）と高温計（曲線Ｂ）により監視された。このとき上記の方法が使用された。驚くべきことは高温計により検出された温度経過が温度センサにより測定された温度経過と非常に一致することである。２つの曲線は、３００℃以下の温度でもほとんど重なっている。最初に高温計は軽い変動を示すが、加熱プロセスの開始と共にこの変動は消失し、高温計曲線は温度センサ曲線と一致する。冷却プロセス時の高温計曲線の短時間のピークはランプテストによるものである。
【００５９】
しかし実際にはその透過率が０．１５以上であるウェハも存在する。図３の被覆されない較正ウェハがそのような場合である。透過率、放射率および反射率の合計は常に１であるから、上記の方法に付加的にウェハに対する透過率測定を平行して実施することができ、この透過率は測定された反射率と共に放射率の検出およびウェハ温度の検出に使用される。
【００６０】
この目的のためには第１の実施例と同じように別の高温計が必要である。この高温計は室２０の相応の開口部によりウェハ３３の上部ランプバンク２７の上方に向けられている。
【００６１】
図５には曲線ＣによりＯＨ濃縮型上部石英ガラスプレート４の透過率が示されている。２．７μｍと２．８μｍの間の波長領域に対してこの石英プレートは透過率がゼロである。すなわちこのプレートはこの波長に対して不透明である。しかしこの波長領域には、下部ビーム検知器が放射率検出のためにウェハ反射率を測定するための波長が存在する。温度検出のために放射率と透過率を結合するためには、厳密にはウェハの透過率を同じこの波長で検出しなければならない。しかしこの波長の光に対して上部石英プレート３８は不透明であるのでこれは不可能である。
【００６２】
この理由から、他の波長の光の透過率を測定し、このデータから求める透過率を外挿する。この目的のために上部高温計にはフィルタが前置され、このフィルタは波長に依存する透過率経過を有する。この経過は図５に曲線Ｄにより示されている。石英プレート４の光学的不透明領域でこのフィルタは比較的大きな透過率を有する。比較的小さな波長並びに比較的大きな波長に対してはこのフィルタの透過率は減少する。
【００６３】
このようにして石英プレート３８の左と右の吸収領域の波長スペクトルから次のような波長を有する２つの領域が切り出される。すなわちＯＨ濃縮型石英プレート３８とフィルタがあってもランプバンク２７の情報の高温計に達することのできる波長を有する領域が切り出される。実際にはフィルタに対する透過曲線の経過を次のように選択する。すなわちフィルタ曲線および石英曲線が石英に対する吸収領域の側面に対して取り囲む面積がほぼ等しくなるように選択する。
【００６４】
透過数が弱いか、または例えば図５の曲線Ｅのように波長と共に線形に変化するウェハを取り扱う場合には、ウェハによる透過率を石英の吸収領域の左領域からの波長に対して、並びにウェハによる透過率を石英の吸収領域の右領域からの波長に対して測定することができる。ウェハの透過率は弱く、または近似的に波長と共に線形に変化するから、求めるべき波長に対する透過率は、石英の吸収領域から平均値形成または近似により検出される。これらの透過測定を上記のウェハの反射率測定と結合することにより、透過度が０．１５より大きなウェハにおいて放射率を検出することができる。これにより４００℃から約３００℃までの領域でも確実に温度制御することができるようになる。
【００６５】
上記の透過率測定のためには、下部ランプバンクのランプを、上部ランプバンクと下部ランプバンクのそれぞれのビームを区別できるように変調しなければならない。このような区別が相応の変調によって行われるならば、透過率測定のために下部ランプバンク２８の下方に配置された１つのビーム検知器、例えば高温計を使用することもできる。この高温計は、上記のように上部ランプバンクから発した、同様に変調されたビームを測定する。従ってこのビームはウェハビームおよび下部ランプバンクのビームから区別される。多重反射により高温計に当たるビームはシステムの較正の際に考慮するか、または透過率検出の際に無視することができる。
【００６６】
しかし有利なのは透過率測定のための第１実施例である。なぜなら第１実施例ではウェハの温度制御のために上部ランプバンクが使用され、下部ランプバンクは一定に保持されるか、または所定のセット時点（または目標値または目標曲線）に制御されるからである。このことにより反射率測定および透過率測定に対して実質的に一定の、または既知のように変化するランプビーム強度が得られる。これに対して温度制御のために使用されるランプでは、ランプビームの強度を急速に変化することができる。その結果、反射率測定および透過率測定を損なうことになる強度変化が発生する。このような強度変化が高温計により検知されれば、このことは本発明により十分に回避される。
【００６７】
本発明を有利な実施例に基づいて説明したが、本発明はこの具体的な実施例に制限されるものではない。例えばランプのビーム強度検出のために、ランプ高温計の代わりに他の適切な測定装置、例えばランプの消費電力に基づいて強度を計算する装置を使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】図１は、本発明の第１実施例による高速加熱装置の概略的断面図である。
【００６９】
【図２】図２は、本発明の第２実施例による高速加熱装置の概略的断面図である。
【００７０】
【図３】図３は、所定のウェハに対する透過率と反射率の関係を示す線図である。
【００７１】
【図４】図４は、コバルトの被覆されたウェハを熱的に処理する際の温度曲線を示す。
【００７２】
【図５】図５は、本発明の実施例による透過率測定のための測定領域に対する線図である。

Claims (36)

1. 基板、とりわけ半導体ウェハの熱処理装置であって、
   少なくとも１つの第１のビーム源と少なくとも２つの第２のビーム源を基板の加熱のために有し、
   少なくとも１つの透明シールドを第１のビーム源と基板との間に有し、
   該透明シールドは、少なくとも第１のビーム源のビームの所定の波長を低減し、
   少なくとも１つのビーム検知器を有し、該ビーム検知器は第２のビーム源の側に配置されており、かつ基板に向けられており、
   該ビーム検知器は所定の波長領域内でビームを少なくとも部分的に測定する形式の熱処理装置において、
   少なくとも第２のビーム源から発するビームを変調するための装置と、
   第２のビーム源から発するビームを検出するための装置とが設けられている、ことを特徴とする熱処理装置。
2. 第１のビーム源と第２のビーム源とは基板の反対の側に配置されている、請求項１記載の装置。
3. 第１のビーム源を制御するための装置が設けられている、請求項１または２記載の装置。
4. 第２のビーム源を制御するための装置が設けられている、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
5. ビーム源はハロゲンランプである、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。
6. 透明シールドは加熱ランプのバルブによって形成されている、請求項５記載の装置。
7. 透明シールドは第１のビーム源と基板との間にあるプロセス室壁である、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。
8. 透明シールドは、所定の波長を吸収するために少なくとも１つのフィルタ層を有する、請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
9. フィルタ層は別の透明物質から空間的に分離されている、請求項８記載の装置。
10. 透明シールドはＯＨ濃縮型石英ガラスを有する、請求項１から９までのいずれか１項記載の装置。
11. 透明シールドは２．７μｍから２．８μｍの間の波長を吸収する、請求項１から１０までのいずれか１項記載の装置。
12. 透明シールドを冷却するための装置が設けられている、請求項１から１１までのいずれか１項記載の装置。
13. 冷却装置は冷却ガスまたは冷却液を有する、請求項１２記載の装置。
14. ビーム検知器は高温計である、請求項１から１３までのいずれか１項記載の装置。
15. 基板は被覆された半導体ウェハである、請求項１から１４までのいずれか１項記載の装置。
16. 被覆部はＣＯ層および／またはＴｉ層を有する、請求項１５記載の装置。
17. 基板は０．１５より小さい透過率を有する、請求項１から１６までのいずれか１項記載の装置。
18. 基板に向けられた第２のビーム検知器が設けられている、請求項１から１７までのいずれか１項記載の装置。
19. 第２のビーム検知器は所定の波長外のビームを測定する、請求項１８記載の装置。
20. 第２のビーム検知器は所定の波長より下および上のビームを測定する、請求項１９記載の装置。
21. 第２のビーム検知器は、第２のビーム源とは反対の基板側に向けられており、所定の波長のビームを測定する、請求項１８記載の装置。
22. 基板、とりわけ半導体基板の熱処理方法において、
    基板を少なくとも第１のビームと第２のビームにより照射して、加熱し、第１のビームの所定の波長を第１のビーム源と基板との間で吸収し、
    基板から発するビームを所定の波長において、第２のビーム源と同じ側に配置されたビーム検知器により測定し、
    第２のビーム源から発する第２のビームを変調し、
    第２のビーム源から発する第２のビームを検出する、
    ことを特徴とする熱処理方法。
23. 第１のビームと第２のビームを基板の反対側に向ける、請求項２２記載の方法。
24. 第１のビーム源を制御する、請求項２２または２３記載の方法。
25. 第２のビーム源を制御する、請求項２２から２４までのいずれか１項記載の方法。
26. ビームを加熱ランプにより形成する、請求項２２から２５までのいずれか１項記載の方法。
27. 第１のビーム源の所定の波長を第１の加熱ランプのバルブにより吸収する、請求項２６記載の方法。
28. 第１のビームの所定の波長を、第１のビーム源と基板との間にあるプロセス室壁により吸収する請求項２２から２７までのいずれか１項記載の方法。
29. 第１のビームの２．７μｍから２．８μｍの間の波長を吸収する、請求項２２から２８までのいずれか１項記載の方法。
30. 所定の波長を吸収する素子を冷却する、請求項２２から２９までのいずれか１項記載の方法。
31. 前記素子を冷却ガスまたは冷却液により冷却する、請求項３０記載の方法。
32. 基板から発するビームを高温計により測定する、請求項２２から３１までのいずれか１項記載の方法。
33. 基板から発したビームを別のビーム検知器により測定する、請求項２２から３２までのいずれか１項記載の方法。
34. 前記別のビーム検知器は所定の波長外のビームを測定する、請求項３３記載の方法。
35. 前記別のビーム検知器は所定の波長の下および上のビームを測定する、請求項３３または３４記載の方法。
36. 前記別のビーム検知器は第２のビーム源とは反対の基板側に向けられており、所定の波長のビームを測定する、請求項３３記載の方法。

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