JP2005326634A - ペリクルの収納方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明の課題は、大型ペリクル取り扱い時においても、重量増加に伴うペリクル枠の歪を最小限とし、取り扱いを容易にするとともに、収納ケースの底面の平面性の影響を受けず、輸送時の発塵を防止する点にある。
【解決手段】 ペリクル枠と、その一側端面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に粘着手段を設けたことを特徴とするペリクを収納するために用いられる装置であって、ペリクルを把持する手段と、ペリクル収納ケースに固定する手段を有することを特徴とするペリクル収納用装置や、収納用ケースさらにそのような収納方法を提供するものである。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ＬＳＩなど集積回路の製造工程において、マスクやレチクル（以下「マスク」という）に塵埃等が付着するのを防止する目的で用いられるマスク保護装置（以下「ペリクル」という）と、ペリクルを収納ケースに収納したときの支持構造に関する。

集積回路の製造工程におけるフォトリソグラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これが半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちである。この問題を解消し、マスク上に異物が付着するのを防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側端面に透明な薄膜（以下「ペリクル膜」という）を張設し、他側端面をマスク上に粘着剤や粘着テープ等の接着手段により接着してマスクに貼付し、マスクがペリクル膜により一定の間隔を存して覆うようにされたペリクルが供されるようになった。

こうしたペリクルは、異物の付着を防止するために出荷時や保管時には一つ一つ収納ケースに納められている。

しかし、収納ケースの底板は、平面性が悪く、凹凸状をなしていると、底板上に置かれるペリクルも接着剤や粘着テープ等が底板の変形に応じて変形し、ペリクルをマスクに貼り付けたとき、マスクとの間に形成される空隙部によりエアパスを誘発し、このために発塵の原因となることがある。また、収納ケースに納められたペリクルはまた、輸送事の振動等よって動き、ケースとの接触により発塵することがある。

特開平１０−４８８１２号（特許文献１）には、ペリクル枠に、次の（１）〜（３）のうち、少なくとも一つ以上の機能を有する鍔、取手或いは段等を設けたことを特徴とするマスク保護装置が記載されており、すなわち、
（１）使用時において手又はマニプュレータで掴んで把持することができる。
（２）収納ケースへの収納時に収納ケースの底板に接触しないように収納ケースに設けた受台、段等に掛けて支持することができる。
（３）固定手段で挟み着けて固定することができる。
ペリクル枠が記載されている。

しかし、ペリクルの大型化をした場合においては、ペリクルそのものの重量が増し、扱い方によってはペリクル枠の歪が大きくなったり、また、ペリクル枠に複雑な機工を細工することはかえって取り扱い困難となることがあった。
特開平１０−４８８１２号

本発明の課題は、大型ペリクル取り扱い時においても、重量増加に伴うペリクル枠の歪を最小限とし、取り扱いを容易にするとともに、収納ケースの底面の平面性の影響を受けず、輸送時の発塵を防止する点にある。

本発明者らは、従来、ペリクル収納ケースにはペリクルを直接収納されているが、ペリクルの大型化によって、ペリクルを把持する装置を用いることにより、重量増加にもかかわらず、歪がかからないで取り扱いも容易になることを見出し、本発明に至った。

本発明は、ペリクル枠と、その一側端面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に粘着手段を設けたことを特徴とするペリクルを収納するために用いられる装置であって、ペリクルを把持する手段と、ペリクル収納ケースに固定する手段を有することを特徴とするペリクル収納用装置を提供する。

また、本発明は、前記記載のペリクル収納用装置を用いてペリクルを把持してペリクル収納ケースに収納したとき、ペリクル枠の粘着剤層の側端面がペリクル収納ケースの底面に接しないように収納することを特徴とするペリクルの収納方法を提供する。

さらに、前記記載のペリクル収納ケースに固定する手段を使用時において、当該固定手段に対して適合した固定手段を備えたペリクル収納ケースを提供する。

大型化された枠の把持を容易にするために、これまでは枠自身を加工してから取手を出す方法が考案されていたが、本発明の把持装置を用いる事により、ペリクル枠自身からの取手を出す必要がなくなり、従来と同様の枠形状で使用可能となった。

また、ペリクル枠をケースに収納した際、マスク接着剤へのケース底面の平面性の影響を避けるため、枠ケースから浮かせた収納が望ましい。しかし、従来用いられていたペリクル枠では取手等がなく、ペリクル収納ケース内で枠を浮かせた固定が困難であったが、把持状態で、装置を含めたケース収納を行う事い、装置を固定する事で、前述実現が容易となり、ペリクル枠をケースに収納した際、マスク接着剤へのケース底面の平面性の影響を避けるため、枠ケースから浮かせた収納できるようになった。

さらに、ペリクル収納ケース内でペリクル枠を浮かせた収納を実現する事により、ケース底面の平面性や寸法性を精緻に管理する必要がなくなり、製造コストの低下やケース管理の容易さが実現できる。

（本発明の構成）
図１および図３は、本発明の好ましい態様の１つを表す平面図である。

1はペリクルであり、ペリクル枠４とペリクル膜５等から成るものである。２はペリクルを把持するための装置である。ペリクル把持装置２は、２ａ，２ｂ、２ｃの３つの領域からなる。装置２は２ａ，２ｂ、２ｃがそれぞれが腕となり支点を中心として可動性であっても良い。２ａと２ｃにはペリクル枠の把持手段が付される。図１の場合は、回転式のペリクル枠把持手段として回転レバー２３を用いたものであり、この回転レバーの場合、回転させることによりペリクル枠を着脱させる。一方、ペリクル枠の方に回転レバーを嵌め込むための溝を予め掘っておいても良い。溝は、２ａおよび２ｃに対応するペリクル枠側面の領域の全面に彫っておけば、ペリクル全体を滑らせて装置に装着することができるが、溝の長さが長すぎると溝に埃が蓄積されやすくなるので、溝を掘るのであれば、ちょうど回転レバーとあたる部分に設けるのが良い。また、枠付随の装置穴を利用して装着してもよく、概略を図３に示した。

図３において、１１はペリクル枠の装置穴であり、２１はペリクルを把持するための枠固定ピンである。２２は装着した装置を持ち運ぶための装置取手である。この装置は差込式として着脱ができるようにしても良く、ペリクル収納ケースに収納した後は取り外しておけるようにしても良い。

さらに、具体的に、図１では枠把持手段として枠固定可動板２３を用い、ペリクル枠の側面に溝を設けた場合、例えば、回転レバー２３２は回転軸２３１を中心に回転するようにしておけば、回転レバーの構造を工夫することで、ペリクルの装置への着脱は容易に行うことができる。

また、図３においては、腕２ｂに設けられたスライド機構２４で腕２ａ、２ｃを開閉するし、装置穴１１に枠固定ピンを挿入、ピン構造を工夫する事で、ペリクルの装置への脱着は更に容易となる。

図２および図４は、本発明の好ましい態様の１つを表す正面図である。ペリクルを把持した装置はペリクルケース３に収納される。ペリクル収納ケースには、ペリクルを置く為の装置台座３２１を設けても良い。このとき、ペリクル把持装置２のケース底面の高さがペリクル枠１の高さよりも高いため、ペリクル１のマスク粘着材側の側端面は、ペリクルケースの底板３２に接触しないように収納することができる。これにケース上蓋を被せることにより、通常のペリクルと同様な条件において収納、保存しておくことができる。

リゾグラフィ工程に用いられるペリクルの取り扱い時において、ペリクル枠の歪を最小限とし、取り扱いを容易にするとともに、収納ケースの底面の平面性の影響を受けず、輸送時の発塵を防止することができるので、大型のペリクルが必要とされる場合等に利用することができる。

本発明の態様の１つを表す平面図である。 本発明の態様の１つを表す正面図である。 本発明の態様の１つを表す平面図である。 本発明の態様の１つを表す正面図である。

符号の説明

１ ペリクル
２ ペリクル把持装置
２ａ 腕
２ｂ 腕
２ｃ 腕
３ ケース
４ ペリクル枠
５ ペリクル膜
１１ 枠装置溝
１２ 装置穴
２１ 枠固定板（ピン）
２２ 装置取手
２３ 枠固定可動板
２４ スライド機構
３１ ケース上蓋
３２ ケース底板
２３１ 枠固定可動板回転軸
２３２ 回転レバー
３２１ 装置台座

Claims (3)

1. ペリクル枠と、その一側端面に張設されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に粘着手段を設けたことを特徴とするペリクルを収納するために用いられる装置であって、ペリクルを把持する手段と、ペリクル収納ケースに固定する手段を有することを特徴とするペリクル収納用装置。
2. 前記請求項１記載の装置を用いてペリクルを把持してペリクル収納ケースに収納したとき、ペリクル枠の粘着剤層の側端面がペリクル収納ケースの底面に接しないように収納することを特徴とするペリクルの収納方法。
3. 前記請求項１記載のペリクル収納ケースに固定する手段を使用時において、当該固定手段に対して適合した固定手段を備えたペリクル収納ケース。

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